KR20160007282A - 기판 열처리용 히터 및 이를 이용한 기판 열처리 장치 - Google Patents

기판 열처리용 히터 및 이를 이용한 기판 열처리 장치 Download PDF

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KR20160007282A
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이승훈
이주형
모성원
기범수
이현재
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주식회사 제우스
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Abstract

본 발명은 기판을 열처리하기 위해 열을 공급하는 히터 및 이를 이용한 기판 열처리 장치에 관한 것이다. 기판 열처리용 히터는, 외부관; 외부관 내부에 구비된 복수의 열선; 및 외부관 내부에서 상기 열선을 각각 둘러싸는 내부관; 을 포함한다. 이에 의해 복수의 열선을 구비하여 기판의 영역별로 발열량을 조절함으로써 기판을 균일하게 가열할 수 있다. 또한, 열선을 구비하는 복수의 내부관체를 내부에 구비하여 복수의 열선을 용이하게 절연시킬 수 있다.

Description

기판 열처리용 히터 및 이를 이용한 기판 열처리 장치{HEATER FOR HEAT TREATMENT OF SUBSTRATE AND SUBSTRATE HEAT TRETMENT APPARATUS USING IT}
본 발명은 기판 열처리용 히터 및 이를 이용한 기판 열처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 열처리하기 위해 열을 공급하는 히터와 이를 이용한 기판 열처리 장치에 관한 것이다.
디스플레이용 유리 기판이나 반도체용 웨이퍼와 같은 기판 제조공정 중 상온보다 고온의 상태에서 진행되는 공정의 경우, 기판의 주변에 기판을 가열하기 위한 히터가 구비된다.
기판 처리 공정에서 기판의 온도를 균일하게 유지하는 것은 기판의 얼룩을 방지하는 등 제품의 수율 및 품질에 큰 영향을 미친다. 최근 기판 처리 공정을 줄이고, 생산 원가를 낮추기 위해 기판의 크기가 커지고 있어, 기판 처리 장치에 사용되는 히터는 기판의 온도를 균일하게 유지시키는 것이 매우 중요하게 되었다.
일반적으로 발열량이 균일한 히터를 기판의 상부 또는 하부에 일정 간격으로 평행하게 배치하여 기판을 가열하는 경우, 기판의 에지부는 외부환경과 접해 있고, 히터의 영향을 더 적게 받아 중앙부에 비해 온도가 낮았다.
이러한 문제를 해결하기 위한 종래의 국내공개특허 제10-2010-0008723호에 따르면, 기판을 균일하게 가열하기 위해서 봉 형태의 히터 전 면적에 열선의 피치를 동일하게 설계하였다. 한편 필요에 따라서는 히터의 에지부가 중앙부보다 기판을 더 가열시키도록 히터의 위치에 따라 열선의 피치를 다르게 설계하였다.
그러나 상술한 종래의 기술은 에지부가 중앙부에 비해 온도가 낮은 문제를 해결할 수는 있었지만 하나의 열선이 히터에 고정되어 있어서, 히터의 발열량을 영역별로 적절히 조절하기에 용이하지 않다는 문제가 있었다.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, 히터의 중앙부와 에지부에 각각 밀한 코일 형태로 형성된 복수의 열선을 구비한 기판 열처리용 히터 및 이를 이용한 기판 열처리 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
또한 본 발명은 복수의 열선을 구비하여 각 열선의 발열량을 조절할 수 있는 기판 열처리용 히터 및 이를 이용한 기판 열처리 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
또한 본 발명은 히터 내부에 복수의 관체를 구비하고, 복수의 관체는 내부에 열선을 구비한 기판 열처리용 히터 및 이를 이용한 기판 열처리 장치를 제공함에 그 목적이 있다
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기판 열처리용 히터는, 기판을 열처리하는 히터에 있어서, 외부관; 상기 외부관 내부에 구비된 복수의 열선; 및 상기 외부관 내부에서 상기 열선을 각각 둘러싸는 내부관; 을 포함한다.
바람직하게, 상기 내부관 중 적어도 2개 이상은 상호 접하는 외주면의 일부 또는 전체가 접합된다.
바람직하게, 상기 열선 중 적어도 어느 하나에 대해 코일 형태를 유지시키는 1 이상의 스토퍼; 를 더 포함한다.
바람직하게, 상기 내부관은, 제1, 제2 열선을 각각 구비한 제1, 제2 내부관으로 이루어지고, 상기 제1 열선은 상기 중앙부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 상기 제2 열선은 상기 중앙부 양측의 에지부에 밀한 코일 형태로 연결 형성된다.
바람직하게, 상기 내부관은, 제1 내지 제3 열선을 각각 구비한 제1 내지 제3 내부관으로 이루어지고, 상기 제1 열선은 상기 중앙부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 상기 제2, 제3 열선 각각은 상기 중앙부 양측 에지부에 밀한 코일 형태로 연결 형성된다.
바람직하게, 상기 내부관은, 제1 내지 제3 열선을 각각 구비한 제1 내지 제3 내부관으로 이루어지고, 상기 제1 열선은 상기 중앙부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 상기 제2 열선은 상기 중앙부 일측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성되며, 상기 제3 열선은 상기 중앙부 타측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성된다.
바람직하게, 상기 내부관은, 제1 내지 제3 열선을 각각 구비한 제1 내지 제3 내부관으로 이루어지고, 상기 제1 열선은 상기 중앙부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 상기 제2, 제3 열선 각각은 상기 중앙부 양측의 에지부에 밀한 코일 형태로 분리 형성되며 분리된 각각의 내측단이 상기 제2, 제3 내부관을 관통하여 전기적으로 연결된다.
바람직하게, 상기 제2, 제3 열선의 분리된 각각의 내측단은 커넥터를 매개로 전기적으로 연결된다.
바람직하게, 상기 제2, 제3 내부관 각각에 관통구가 형성되고, 상기 커넥터의 양단이 상기 관통구에 삽입되어 상기 제2, 제3 열선과 연결된다.
바람직하게, 상기 중앙부와 상기 에지부 중 적어도 어느 하나는 복수의 영역으로 분할되고, 상기 복수의 영역 각각에 상기 열선 중 어느 하나가 밀한 코일 형태로 형성된다.
바람직하게, 상기 내부관은, 제1 내지 제4 열선을 각각 구비한 제1 내지 제4 내부관으로 이루어지고, 상기 제1, 제4 열선 각각은 상기 중앙부의 분할된 영역에 밀한 코일 형태로 형성되고, 상기 제2 열선은 상기 중앙부 일측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성되며, 상기 제3 열선은 상기 중앙부 타측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성된다.
바람직하게, 상기 내, 외부관 중 적어도 하나는 불투명 관으로 구성된다. 이때, 상기 내, 외부관 중 적어도 어느 하나는 상기 열선이 밀한 코일 형태로 형성된 구간을 포함하는 일부가 불투명 관으로 구성된다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 기판 열처리용 히터를 이용한 기판 열처리 장치는, 상술한 히터를 이용한 기판 열처리 장치에 있어서, 기판을 열처리하는 내부공간을 갖는 챔버부; 상기 챔버부 내부에 1 이상의 상기 기판을 지지하는 기판 지지부; 지지된 상기 기판의 상부 또는 하부에 배치된 복수개의 상기 히터; 를 포함한다.
본 발명의 기판 열처리용 히터에 의하면, 히터의 중앙부와 에지부에 각각 밀한 코일 형태로 형성된 복수의 열선을 구비하여 히터 에지부의 발열량을 중앙부보다 많게 함으로써 기판의 에지부와 중앙부를 균일하게 가열할 수 있다.
또한, 복수의 열선을 구비하고 각 열선의 전력량을 달리함으로써 히터의 중앙부와 에지부의 분할된 영역별로 발열량을 각각 조절할 수 있다.
또한, 열선을 내부에 구비하는 복수의 내부관체를 외부관체 내부에 구비하여 복수의 열선을 용이하게 절연시킬 수 있다.
또한, 히터 내부에 스토퍼를 구비하여 열선의 코일 형태를 유지시킬 수 있다.
또한, 히터를 이루는 내, 외부 관체의 일부 또는 전체를 불투명 관으로 구성함으로써 열을 효과적으로 확산시켜 기판을 균일하게 가열시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 열선의 배치를 나타낸 개략도.
도 2는 도 1의 'A'부분 확대단면도.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 의한 열선의 배치를 나타낸 개략도.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 의한 열선의 배치를 나타낸 개략도.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 의한 열선의 배치를 나타낸 개략도.
도 6은 본 발명의 제5 실시예에 의한 열선의 배치를 나타낸 개략도.
도 7은 본 발명의 제5 실시예에 의한 도 6의 'B'부분 확대사시도.
도 8은 본 발명의 제5 실시예에 의한 도 6의 C-C 단면도.
도 9는 본 발명의 제6 실시예에 의한 열선의 배치를 나타낸 개략도.
본 발명의 기판 열처리용 히터는 복수의 열선을 내부에 구비한 외부관 및 외부관 내부에서 열선을 각각 둘러싸는 내부관을 포함한다. 이로써 각 열선을 효과적으로 절연시킬 수 있다.
외부관 및 내부관은 일반적으로 석영으로 이루어지는 관이며, 복수의 내부관 중 적어도 2개 이상이 외접하도록 배치할 수 있고, 상호 접하는 외주면의 일부 또는 전체를 접합시킬 수 있다.
히터의 중앙부와 중앙부 양측의 에지부 각각에 열선 중 어느 하나가 밀한 코일 형태로 형성된다. 특히 히터의 중앙부와 에지부 중 적어도 어느 하나를 복수의 영역으로 분할하고, 복수의 영역 각각에 열선 중 어느 하나가 밀한 코일 형태로 형성되게 할 수 있다. 이는 챔버의 내부구조, 기판이 출입하는 도어의 위치 등에 따라 기판 중앙부나 에지부의 온도가 좌우 비대칭성을 갖기 때문에 이에 대응하여 발열량의 개별적인 조절이 필요하기 때문이다.
이하에서는 본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 기판 열처리용 히터는 제1 내지 제5 실시예로 구분할 수 있으며, 각 실시예의 구성요소 중 동일한 구성에 대해서는 간단히 설명하고, 구성의 차이점을 중심으로 설명한다.
본 발명의 제1 실시예에 의한 기판 열처리용 히터는 도 1 내지 도 2에 도시한 바와 같이 크게 외부관(11), 제1 내부관(21), 제1 열선(31), 제2 내부관(41), 제2 열선(51) 및 스토퍼(80)로 이루어진다.
외부관(11)은 히터의 표면을 구성한다.
제1 열선(31)은 제1 내부관(21)의 내부에 구비되며, 히터의 중앙부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 중앙부 양측의 에지부에 소한 코일 형태 또는 일직선으로 형성된다.
제2 열선(51)은 제2 내부관(41)의 내부에 구비되며, 히터의 중앙부에 소한 코일 형태 또는 일직선으로 형성되고, 중앙부 양측 에지부에 밀한 코일 형태로 연결되어 형성된다.
스토퍼(80)는 코일 형태를 유지시키도록 열선이 밀한 코일 형태를 가지는 영역의 경계에 설치된다. 스토퍼(80)는 도 2에 도시한 바와 같이 제1 내부관(21) 내부에 설치되어 제1 열선(31)의 코일 형태를 유지시키는 제1 스토퍼(81) 및 제2 내부관(41) 내부에 설치되어 제2 열선(51)의 코일 형태를 유지시키는 제2 스토퍼(82)로 구분할 수 있으며, 제1, 제2 스토퍼(81, 82)는 동시에 또는 선택적으로 설치될 수 있다.
열선은 기판을 가열하기 위해 발열하고, 발열하는 열선은 팽창한다. 열선이 팽창함에 따라 열선의 코일 형태가 변형되어 쉽게 파손될 수 있고, 각 열선이 밀한 코일 형태로 형성된 히터의 중앙부와 에지부의 영역에 변화를 주어 기판을 균일하게 가열시키기 어려울 수 있다. 따라서 제1, 제2 스토퍼(81, 82)를 설치하여 제1, 제2 열선(30, 50) 중 어느 하나의 코일 형태를 유지시킬 수 있다.
제1 실시예에 의하면 제1, 제2 열선(31, 51)에 공급되는 전력량을 달리하여 히터의 중앙부와 에지부의 발열량을 조절함으로써 기판의 중앙부와 에지부를 균일한 온도로 가열할 수 있다.
본 발명의 제2 실시예는 도 3에 도시한 바와 같이 외부관(12), 제1, 제2 내부관(22, 42) 및 제2 열선(52)의 구조는 제1 실시예와 동일하며, 제1 열선(32)의 구조에 있어 차이가 있다.
제1 열선(32)은 제1 내부관(22)의 전체 영역에 밀한 코일 형태로 형성된다.
제2 실시예에 의하면 제1 열선(32)은 히터 전체를 균일하게 가열하고, 제2 열선(52)은 히터의 양측 에지부를 중점적으로 가열하므로, 제1, 제2 열선(32, 52)에 동일한 전력을 공급하여도 중앙부에 비해 상대적으로 저온인 에지부의 온도를 보상할 수 있다.
본 발명의 제3 실시예는 도 4에 도시한 바와 같이 외부관(13), 제1, 제2 내부관(23, 43) 및 제1, 제2 열선(33, 53)의 구조는 제1 실시예와 동일하며, 제3 내부관(63) 및 제3 열선(73)의 구조에 있어 차이가 있다.
제3 열선(73)은 제3 내부관(63)의 내부에 구비되며, 히터의 중앙부에 소한 코일 형태 또는 일직선으로 형성되고, 중앙부 양측 에지부에 밀한 코일 형태로 연결되어 형성된다.
제3 실시예에 의하면 제1 실시예에 비하여 에지부의 발열량을 높일 수 있고, 히터 중앙부와 에지부의 발열량을 조절하여 기판의 중앙부와 에지부의 온도를 균일하게 가열할 수 있다.
본 발명의 제4 실시예는 도 5에 도시한 바와 같이 외부관(14), 제1 내지 제3 내부관(24, 44, 64), 제1 열선(34),의 구조는 제3 실시예와 동일하며, 제2 열선(54) 및 제3 열선(74)의 구조에 있어 차이가 있다.
제2 열선(54)은 일단이 히터의 중앙부 일측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 타단이 히터의 중앙부와 중앙부 타측 에지부에 일직선으로 형성된다.
제3 열선(74)은 일단이 히터의 중앙부 타측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 타단이 히터의 중앙부와 중앙부 일측 에지부에 일직선으로 형성된다.
제4 실시예에 의하면 히터 일측과 타측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성된 열선을 각각 배치함으로써 히터 양측 에지부의 온도를 개별적으로 조절할 수 있다.
본 발명의 제5 실시예는 도 6 내지 도 8에 도시한 바와 같이 외부관(15), 제1 내부관(25) 및 제1 열선(35)의 구조는 제3 실시예와 동일하며, 제2, 제3 내부관(45, 65), 제2, 제3 열선(55, 75) 및 커넥터(90)의 구조에 있어 차이가 있다.
제2, 제3 내부관(45, 65)은 히터의 중앙부와 에지부 경계에 제2, 제3 내부관(45, 65)의 내, 외부를 관통하는 관통구(45a, 65a)가 형성된다.
제2, 제3 열선(55, 75) 각각은 히터 중앙부 양측의 에지부에 밀한 코일 형태로 분리되어 형성된다.
제5 실시예에 의하면 제3 실시예에 비해 히터 양측 에지부의 온도를 개별적으로 조절할 수 있고, 제4 실시예에 비해 히터 에지부의 발열량을 더 높일 수 있다.
커넥터(90)는 도전성 재질로, 제2, 제3 내부관(45, 65)의 관통구(45a, 65a)에 삽입되어 커넥터(90)의 양단이 히터 중앙부 일측에 형성된 제2, 제3 열선(55, 75)의 내측단에 각각 연결된다. 히터 중앙부 타측에 형성된 제2, 제3 열선(55, 75) 또한 커넥터(90)를 이용하여 같은 방법으로 연결된다.
한편, 커넥터(90)는 제2, 제3 열선(45, 65)의 분리된 각각의 내측단을 전기적으로 연결시키는 것이라면 어떠한 형태라도 가능하다.
위와 같이 구성된 히터는 열선이 발열함에 따라 열선의 형태가 변화하여도 열선에 연결된 커넥터(90)의 위치가 내부관에 형성된 관통구(45a, 65a)에 의해 제한되어 열선의 코일 형태를 유지시킬 수 있다.
본 발명의 제6 실시예는 도 9에 도시한 바와 같이 외부관(16), 제1 내지 제3 내부관(26, 46, 66) 및 제2, 제3 열선(36, 56)의 구조는 제4 실시예와 동일하며, 제4 내부관(86) 및 제1, 제4 열선(36, 96)의 구조에 있어 차이가 있다.
제1, 제4 열선(36, 96) 각각은 제1, 제4 내부관(26, 96) 내부에 구비된다. 제1 열선은 히터의 중앙부 일측에 밀한 코일 형태로 형성되고, 제4 열선(96)은 히터의 중앙부 타측에 밀한 코일 형태로 형성되며, 밀한 코일 형태로 형성된 나머지 부분은 소한 코일 형태 또는 일직선으로 형성된다.
제6 실시예에 의하면 히터 에지부의 온도를 보상하고, 히터 에지부 양측의 온도를 개별적으로 조절할 수 있다. 또한 히터 중앙부 일측과 타측의 발열량도 개별적으로 조절 가능하고, 기판 중앙부의 온도가 좌우 비대칭인 경우에도 이에 대응하여 기판을 균일하게 가열할 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만 제3 내지 제6 실시예에 의한 본 발명의 기판 열처리용 히터는 제1 실시예와 같이 열선의 코일 형태를 유지시키는 스토퍼를 더 포함할 수 있다. 스토퍼는 각 열선이 밀한 코일 형태를 가지는 영역의 경계에 하나 이상이 설치되며, 제1 내지 제4 열선 중 어느 하나의 코일 형태를 유지시킬 수 있다.
또한 도면에 도시하지는 않았지만, 내, 외부관 중 적어도 하나를 불투명 관으로 구성할 수 있다. 또는 열선이 밀한 코일 형태로 형성된 구간을 포함하도록 내, 외부관의 일부를 불투명 관으로 구성할 수 있다. 불투명 관은 투명 관에 비해 열을 더 효과적으로 확산시키기 때문에 같은 조건이라면 내, 외부관의 전체 또는 일부를 불투명 관으로 구성하는 것이 투명관으로 구성하는 것보다 기판을 균일하게 가열시킬 수 있다.
또한 도면에 도시하지는 않았지만 각 실시예에 의한 본 발명의 기판 열처리용 히터를 이용한 기판 열처리 장치는 챔버부, 기판 지지부 및 히터로 이루어진다.
챔버부는 기판을 열처리하는 내부공간을 가진다. 기판 지지부는 챔버부 내부에 하나 이상의 기판을 지지한다. 히터는 지지된 기판의 상부 또는 하부에 복수개가 배치되며, 상술한 제1 내지 제6 실시예의 히터 중 어느 것이라도 가능하다.
이상에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상을 중심으로 그 변형물 또는 균등물에까지 미침은 자명하다 할 것이다.
11 : 외부관
21 : 제1 내부관
31 : 제1 열선
41 : 제2 내부관
51 : 제2 열선
63 : 제3 내부관
73 : 제3 열선
86 : 제4 내부관
96 : 제4 열선
80 : 스토퍼
90 : 커넥터
45a, 65a : 관통구

Claims (15)

  1. 기판을 열처리하는 히터에 있어서,
    외부관;
    상기 외부관 내부에 구비된 복수의 열선; 및
    상기 외부관 내부에서 상기 열선을 각각 둘러싸는 내부관; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 히터.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 히터의 중앙부와 상기 중앙부 양측의 에지부 각각에 상기 열선 중 어느 하나가 밀한 코일 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 히터.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 내부관 중 적어도 2개 이상은 상호 접하는 외주면의 일부 또는 전체가 접합된 것을 특징으로 하는 히터.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 열선 중 적어도 어느 하나에 대해 코일 형태를 유지시키는 1 이상의 스토퍼; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히터.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 내부관은, 제1, 제2 열선을 각각 구비한 제1, 제2 내부관으로 이루어지고,
    상기 제1 열선은 상기 중앙부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 상기 제2 열선은 상기 중앙부 양측의 에지부에 밀한 코일 형태로 연결 형성된 것을 특징으로 하는 히터.
  6. 청구항 2에 있어서,
    상기 내부관은, 제1 내지 제3 열선을 각각 구비한 제1 내지 제3 내부관으로 이루어지고,
    상기 제1 열선은 상기 중앙부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 상기 제2, 제3 열선 각각은 상기 중앙부 양측 에지부에 밀한 코일 형태로 연결 형성된 것을 특징으로 하는 히터.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 내부관은, 제1 내지 제3 열선을 각각 구비한 제1 내지 제3 내부관으로 이루어지고,
    상기 제1 열선은 상기 중앙부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 상기 제2 열선은 상기 중앙부 일측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성되며, 상기 제3 열선은 상기 중앙부 타측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 히터.
  8. 청구항 2에 있어서,
    상기 내부관은, 제1 내지 제3 열선을 각각 구비한 제1 내지 제3 내부관으로 이루어지고,
    상기 제1 열선은 상기 중앙부에 밀한 코일 형태로 형성되고, 상기 제2, 제3 열선 각각은 상기 중앙부 양측의 에지부에 밀한 코일 형태로 분리 형성되며 분리된 각각의 내측단이 상기 제2, 제3 내부관을 관통하여 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 히터.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 제2, 제3 열선의 분리된 각각의 내측단은 커넥터를 매개로 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 히터.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 제2, 제3 내부관 각각에 관통구가 형성되고, 상기 커넥터의 양단이 상기 관통구에 삽입되어 상기 제2, 제3 열선과 연결되는 것을 특징으로 하는 히터.
  11. 청구항 2에 있어서,
    상기 중앙부와 상기 에지부 중 적어도 어느 하나는 복수의 영역으로 분할되고,
    상기 복수의 영역 각각에 상기 열선 중 어느 하나가 밀한 코일 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 히터.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 내부관은, 제1 내지 제4 열선을 각각 구비한 제1 내지 제4 내부관으로 이루어지고,
    상기 제1, 제4 열선 각각은 상기 중앙부의 분할된 영역에 밀한 코일 형태로 형성되고, 상기 제2 열선은 상기 중앙부 일측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성되며, 상기 제3 열선은 상기 중앙부 타측 에지부에 밀한 코일 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 히터.
  13. 청구항 1에 있어서,
    상기 내, 외부관 중 적어도 하나는 불투명 관으로 구성된 것을 특징으로 하는 히터.
  14. 청구항 2에 있어서,
    상기 내, 외부관 중 적어도 어느 하나는 상기 열선이 밀한 코일 형태로 형성된 구간을 포함하는 일부가 불투명 관으로 구성된 것을 특징으로 하는 히터.
  15. 청구항 1의 히터를 이용한 기판 열처리 장치에 있어서,
    기판을 열처리하는 내부공간을 갖는 챔버부;
    상기 챔버부 내부에 1 이상의 상기 기판을 지지하는 기판 지지부;
    지지된 상기 기판의 상부 또는 하부에 배치된 복수개의 상기 히터; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20190051692A (ko) * 2017-11-07 2019-05-15 주식회사 원익아이피에스 열처리 시스템

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