KR20160005823A - 기판 처리 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 공정 챔버, 기판 지지 유닛, 안테나 및 마이크로파 인가 유닛 등을 포함한다. 안테나에는 복수개의 슬롯이 형성된다. 슬롯의 전부 또는 일부는 그 내측면이 안테나의 반경 방향에 대해 수직에서 벗어나도록 형성됨으로써, 내측면의 마감처리가 용이하고, 영역별 슬롯의 상하 면적을 조절함으로써 영역에 따라 마이크로파 전계의 밀도를 조절할 수 있다.
Description
본 발명은 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플라스마를 이용하여 기판을 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
플라즈마는 매우 높은 온도나, 강한 전계 혹은 고주파 전자계(RF Electromagnetic Fields)에 의해 생성되며, 이온이나 전자, 라디칼등으로 이루어진 이온화된 가스 상태를 말한다. 반도체 소자 제조 공정에서는 플라즈마를 사용하여 다양한 공정을 수행한다. 일 예로 식각 공정은 플라즈마에 함유된 이온 입자들이 기판과 충돌함으로써 수행된다.
마이크로파를 이용하여 플라스마를 생성하는 경우, 복수개의 슬롯이 형성된 안테나에 의해 챔버 내로 마이크로 파가 전달된다. 도 1은 일반적인 슬롯이 형성된 안테나의 단면을 나타낸 단면도이다. 도 1을 참고하면, 일반적으로 안테나(1)의 슬롯의 단면(2)은 안테나의 반경 방향과 수직이 되도록 가공된다. 이 경우, 단면(2)의 마감 처리가 용이하지 않으므로 파티클 및 가공 흔적이 존재하게 될 가능성이 높다. 따라서, 파티클 또는 가공 흔적에 전계가 집중되고 이는 아킹(Arcing) 발생의 원인이 된다.
또한, 마이크로파를 이용하여 플라즈마를 생성하는 경우, 영역별로 균일한 밀도의 플라스마를 발생시키기 위해 영역별 플라스마 밀도를 조절하는 기술이 필요하다. 일반적으로 이는 안테나(2)의 슬롯의 저면에서 바라본 형태 또는 배치 등에 의해 조절되나, 이것 만으로 플라스마의 균일도를 제어하기에 용이하지 않다.
본 발명은 플라스마를 이용한 기판 처리 장치에 이용되는 안테나 슬롯의 마감 처리를 용이하게 할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 안테나의 영역별 전계 집중도를 조절할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 일 실시예에 의하면, 기판 처리 장치는 내부에 공간이 형성된 공정 챔버와; 상기 공정 챔버 내에서 기판을 지지하는 기판 지지 유닛과; 상기 기판 지지 유닛의 상부에 배치되며, 복수개의 슬롯이 형성된 안테나와; 상기 안테나로 마이크로파를 인가하는 마이크로파 인가 유닛을 포함하되, 상기 복수개의 슬롯의 전부 또는 일부는, 그 내측면이 상기 안테나의 반경 방향에 대해 수직에서 벗어나게 형성된다.
상기 복수개의 슬롯의 전부 또는 일부는, 아래로 갈수록 폭이 넓어지거나, 아래로 갈수록 폭이 좁아지거나, 또는 그 내측면이 볼록하게 제공될 수 있다.
또한, 상기 복수개의 슬롯의 일부는 아래로 갈수록 폭이 넓어지고, 다른 일부는 아래로 갈수록 폭이 좁아질 수 있다.
상기 슬롯은, 상기 안테나의 상하면에 형성된 개구면인 제 1 면; 및 제 2 면;을 가지고, 상기 제 1 면의 개구 면적과 상기 제 2 면의 개구 면적은 서로 상이하게 제공될 수 있다. 상기 제 1 면은, 상기 안테나의 상면에 형성되고, 상기 제 2 면은, 상기 안테나의 하면에 형성되되, 상기 제 1 면의 개구 면적은 상기 제 2 면의 개구 면적보다 작게 제공되거나, 크게 제공될 수 있다.
또한, 본 발명은 기판 처리 방법을 제공한다. 기판 처리 방법에 있어서, 상기 기판 처리 장치는, 제 1 기판은, 상기 제 1 면이 상기 안테나의 상면에 형성되도록 안테나를 설치하여 처리하고, 제 2 기판은, 상기 제 1 면이 상기 안테나의 하면에 형성되도록 안테나를 설치하여 처리한다.
본 발명의 기판 처리 장치는 그 장치에 이용되는 안테나 슬롯의 마감 처리를 용이하게 할 수 있다.
또한, 본 발명의 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법은 안테나의 영역별 전계 집중도를 조절할 수 있다.
도 1은 일반적인 슬롯이 형성된 안테나의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1의 안테나의 저면을 나타낸 평면도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1의 안테나의 슬롯의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 방법을 나타낸 순서도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1의 안테나의 저면을 나타낸 평면도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1의 안테나의 슬롯의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 방법을 나타낸 순서도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(10)를 나타낸 단면도이다. 도 2을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 기판(W)에 대하여 플라즈마 공정 처리를 수행한다. 기판 처리 장치(10)는 공정 챔버(100), 기판 지지 유닛(200), 가스 공급 유닛(300), 마이크로파 인가 유닛(400), 안테나(500), 지파판(600) 그리고 유전판(700)을 포함한다.
공정 챔버(100)는 내부에 공간(101)이 형성되며, 내부 공간(101)은 기판(W)처리 공정이 수행되는 공간으로 제공된다. 공정 챔버(100)는 바디(110)와 커버(120)를 포함한다. 바디(110)는 상면이 개방되며 내부에 공간이 형성된다. 커버(120)는 바디(110)의 상단에 놓이며, 바디(110)의 개방된 상면을 밀폐한다. 커버(120)는 상부 공간이 하부 공간보다 더 큰 반경을 갖도록 하단부 내측이 단차진다.
공정 챔버(100)의 일 측벽에는 개구(미도시)가 형성될 수 있다. 개구는 기판(W)이 공정 챔버(100) 내부로 출입할 수 있는 통로로 제공된다. 개구는 도어(미도시)에 의해 개폐된다.
공정 챔버(100)의 바닥면에는 배기홀(102)이 형성된다. 배기홀(102)은 배기 라인(131)과 연결된다. 배리 라인(131)을 통한 배기로, 공정 챔버(100)의 내부는 상압보다 낮은 압력으로 유지될 수 있다. 그리고, 공정 과정에서 발생한 반응 부산물 및 공정 챔버(100) 내부에 머무르는 가스는 배기 라인(131)을 통해 외부로 배출될 수 있다.
기판 지지 유닛(200)은 공정 챔버(100)의 내부에 위치하며, 기판(W)을 지지한다. 기판 지지 유닛(200)은 지지 플레이트(210), 리프트 핀(미도시), 히터(220)와 지지축(230)을 포함한다.
지지 플레이트(210)는 소정 두께를 가지며, 기판(W) 보다 큰 반경을 갖는 원판으로 제공된다. 지지 플레이트(210)의 상면에는 기판(W)이 놓인다. 실시예에 의하면, 지지 플레이트(210)에는 기판(W)을 고정하는 구성이 제공되지 않으며, 기판(W)은 지지 플레이트(210)의 상면에 놓인 상태로 공정에 제공된다. 이와 달리, 지지 플레이트(210)는 정전기력을 이용하여 기판(W)을 고정시키는 정전 척으로 제공되거나, 기계적 클램핑 방식으로 기판(W)을 고정시키는 척으로 제공될 수 있다.
리프트 핀은 복수 개 제공되며, 지지 플레이트(210)에 형성된 핀 홀(미도시)들 각각에 위치한다. 리프트 핀들은 핀 홀들을 따라 상하방향으로 이동하며, 기판(W)을 지지 플레이트(210)에 로딩하거나 지지 플레이트(210)에 놓인 기판(W)을 언로딩한다.
히터(220)는 지지 플레이트(210)의 내부에 제공된다. 히터(220)는 나선 형상의 코일로 제공되며, 균일한 간격으로 지지 플레이트(210) 내부에 매설될 수 있다. 히터(220)는 외부 전원(미도시)과 연결되며, 외부 전원에서 인가된 전류에 저항함으로써 열을 발생시킨다. 발생된 열은 지지 플레이트(210)를 거쳐 기판(W)으로 전달되며, 기판(W)을 소정 온도로 가열한다.
지지축(230)은 지지 플레이트(210)의 하부에 위치하며, 지지 플레이트(210)를 지지한다.
가스 공급 유닛(300)은 공정 챔버(100) 내부로 공정 가스를 공급한다. 가스 공급 유닛(300)는 공정 챔버(100)의 측벽에 형성된 가스 공급홀(105)을 통해 공정 챔버(100) 내부로 공정 가스를 공급할 수 있다.
마이크로파 인가 유닛(400)은 안테나(500)로 마이크로파를 인가한다. 마이크로파 인가 유닛(400)은 마이크로파 발생기(410), 제1도파관(420), 제2도파관(430), 위상 변환기(440), 그리고 매칭 네트워크(450)를 포함한다.
마이크로파 발생기(410)는 마이크로파를 발생시킨다.
제1도파관(420)은 마이크로파 발생기(410)와 연결되며, 내부에 통로가 형성된다. 마이크로파 발생기(410)에서 발생된 마이크로파는 제1도파관(420)을 따라 위상 변환기(440) 측으로 전달된다.
제2도파관(430)은 외부 도체(432) 및 내부 도체(434)를 포함한다.
외부 도체(432)는 제 1 도파관(420)의 끝단에서 수직한 방향으로 아래로 연장되며, 내부에 통로가 형성된다. 외부 도체(432)의 상단은 제 1 도파관(420)의 하단에 연결되고, 외부 도체(432)의 하단은 커버(120)의 상단에 연결된다.
내부 도체(434)는 외부 도체(432) 내에 위치한다. 내부 도체(434)는 원기둥 형상의 로드(rod)로 제공되며, 그 길이방향이 상하방향과 나란하게 배치된다. 내부 도체(434)의 상단은 위상 변환기(440)의 하단부에 삽입 고정된다. 내부 도체(434)는 아래 방향으로 연장되어 그 하단이 공정 챔버(100)의 내부에 위치한다. 내부 도체(434)의 하단은 안테나(500)의 중심에 고정 결합된다. 내부 도체(434)는 안테나(500)의 상면에 수직하게 배치된다. 내부 도체(434)는 구리 재질의 로드에 제1도금막과 제2도금막이 순차적으로 코팅되어 제공될 수 있다. 일 실시예에 의하면, 제1도금막은 니켈(Ni) 재질이고, 제2도금막은 금(Au) 재질로 제공될 수 있다. 마이크로파는 주로 제1도금막을 통해 안테나(500)로 전파된다.
위상 변환기(440)에서 위상이 변환된 마이크로파는 제2도파관(430)를 따라 안테나(500) 측으로 전달된다.
위상 변환기(440)는 제1도파관(420)과 제2도파관(430)이 접속되는 지점에 제공되며, 마이크로파의 위상을 변화시킨다. 위상 변환기(440)는 아래가 뾰족한 콘 형상으로 제공될 수 있다. 위상 변환기(440)는 제1도파관(420)으로부터 전달된 마이크로파를 모드가 변환된 상태로 제2도파관(430)에 전파한다. 위상 변환기(440)는 마이크로파를 TE 모드에서 TEM 모드로 변환시킬 수 있다.
매칭 네트워크(450)는 제1도파관(420)에 제공된다. 매칭 네트워크(450)는 제1도파관(420)을 통해 전파되는 마이크로파를 소정 주파수로 매칭시킨다.
도 3은 안테나(500)의 저면을 나타내는 도면이다. 도 1 및 도3를 참조하면, 안테나(500)는 플레이트 형상으로 제공된다. 일 예로, 안테나(500)는 두께가 얇은 원판으로 제공될 수 있다. 안테나(500)는 지지 플레이트(210)에 대향되도록 기판 지지 유닛(200)의 상부에 배치된다. 안테나(500)에는 복수의 슬롯(501)들이 형성된다. 슬롯(501)들은 '×'자 형상으로 제공될 수 있다. 이와 달리, 슬롯들의 형상 및 배치는 다양하게 변경될 수 있다. 슬롯(501)들은 복수개가 서로 조합되어 복수개의 링 형상으로 배치된다. 이하, 슬롯(501)들이 형성된 안테나(500) 영역을 제1영역(A1, A2, A3)이라 하고, 슬롯(501)들이 형성되지 않은 안테나(500) 영역을 제2영역(B1, B2, B3)이라 한다. 제1영역(A1, A2, A3)과 제2영역(B1, B2, B3)은 각각 링 형상을 가진다. 제1영역(A1, A2, A3)은 복수개 제공되며, 서로 상이한 반경을 갖는다. 제1영역(A1, A2, A3)들은 동일한 중심을 가지며, 안테나(500)의 반경 방향으로 서로 이격되어 배치 된다. 제2영역(B1, B2, B3)은 복수개 제공되며, 서로 상이한 반경을 갖는다. 제2영역(B1, B2, B3)들은 동일한 중심을 가지며, 안테나(500)의 반경 방향으로 서로 이격되어 배치된다. 제1영역(A1, A2, A3)은 인접한 제2영역(B1, B2, B3)들 사이에 각각 위치한다. 안테나(500)의 중심부에는 홀(502)이 형성된다. 내부 도체(434)는 그 하단이 홀(502)를 관통하여 안테나(500)와 결합된다. 마이크로파는 슬롯(501)들을 투과하여 유전판(700)으로 전달된다.
도 4 내지 도 6은 도 1의 안테나(500)의 슬롯(501)의 단면을 나타낸 단면도이다. 도 4 내지 도 6을 참고하면, 복수개의 슬롯(501)의 전부 또는 일부는, 그 내측면(501)이 안테나(500)의 반경 방향에 대해 수직에서 벗어나게 형성된다. 따라서, 내측면(501a)이 안테나(500)의 반경 방향이 수직으로 제공된 경우에 비해 마감 처리 장비가 내측면(501a)에 접근이 용이하다. 따라서, 내측면(501)에 파티클 또는 가공 흔적을 보 용이하게 제거하여, 파티클 또는 가공 흔적으로의 전계 집중으로 인한 아킹(Arcing)방지할 수 있다. 예를 들면, 슬롯(501)은 안테나(500)의 상하면에 형성된 개구면인 제 1 면(501b) 및 제 2 면(501c)을 가진다. 제 1 면(501b)은 안테나(500)의 상면에 형성되고, 제 2 면(501c)은 안테나의 하면에 형성될 수 있다.
상기 제 1 면의 개구 면적과 상기 제 2 면의 개구 면적은 서로 상이하게 제공될 수 있다. 예를 들면, 제 1 면(501b)의 개구 면적은 제 2 면(501c)의 개구 면적보다 작게 제공되거나, 제 1 면(501b)의 개구 면적은 제 2 면(501c)의 개구 면적보다 크게 제공될 수 있다.
도 4를 참고하면, 복수개의 슬롯(501)의 전부 또는 일부는 아래로 갈수록 폭이 넓어지도록 제공될 수 있다. 이 경우, 슬롯(501)을 통한 전계가 보다 분산되는 경향을 가진다.
도 5를 참고하면, 복수개의 슬롯(501)의 전부 또는 일부는 아래로 갈수록 폭이 좁아지도록 제공될 수 있다. 이 경우, 슬롯(501)을 통한 전계가 보다 집중되는 경향을 가진다.
따라서, 복수개의 슬롯(501)의 일부는 아래로 갈수록 폭이 넓어지고, 다른 일부는 아래로 갈수록 폭이 좁아지도록 제공함으로써, 안테나(500)의 영역에 따라 마이크로파의 전계의 집중도를 조절하여 보다 균일한 밀도의 플라스마를 발생시킬 수 있다.
도 6을 참고하면, 복수개의 슬롯(501)의 전부 또는 일부는 그 내측면이 볼록하게 제공될 수 있다. 이 경우, 내측면(501a)이 안테나(500)의 반경 방향이 수직으로 제공된 경우에 비해 마감 처리 장비가 내측면(501a)에 접근이 용이하다.
다시 도 1을 참조하면, 지파판(600)은 안테나(500)의 상부에 위치하며, 소정 두께를 갖는 원판으로 제공된다. 지파판(600)은 커버(120)의 내측에 상응하는 반경을 가질 수 있다. 내부 도체(434)를 통해 수직 방향으로 전파된 마이크로파는 지파판(600)의 반경 방향으로 전파된다. 지파판(600)에 전파된 마이크로파는 파장이 압축되며, 공진된다. 또한 유전판(700)으로부터 반사된 마이크로파를 재반사하여 유전판(700)으로 돌려보낸다. 지파판(600)은 유전체 재질로 제공된다.
유전판(700)은 안테나(500)의 하부에 위치하며, 소정 두께를 갖는 원판으로 제공된다. 유전판(700)의 저면은 내측으로 만입된 오목면으로 제공된다. 유전판(700)은 저면이 커버(120)의 하단과 동일 높이에 위치할 수 있다. 유전판(700)의 측부는 상단이 하단보다 큰 반경을 갖도록 단차진다. 유전판(700)의 상단은 커버(120)의 단차진 하단부에 놓인다. 유전판(700)의 하단은 커버(120)의 하단부보다 작은 반경을 가지며, 커버(120)의 하단부와 소정 간격을 유지한다. 실시 예에 의하면, 지파판(600), 안테나(500) 그리고 유전판(700)은 서로 밀착될 수 있다. 마이크로파는 유전판(700)을 거쳐 공정 챔버(100) 내부로 방사된다. 방사된 마이크로파의 전계에 의하여 공정 챔버(100) 내에 공급된 공정 가스는 플라즈마 상태로 여기된다. 유전판(700)은 유전체 재질로 제공된다.
이하, 도 1의 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리 하는 기판 처리 방법에 관하여 설명한다. 도 7은 본 발명의 기판 처리 방법을 개략적으로 나타낸 순서도이다. 도1 및 도 4 내지 도 7을 참고하면, 기판 처리 방법은 제 1 면(501b)이 안테나(500)의 상면에 형성되도록 안테나(500)를 설치(S1)하여 제 1 기판을 처리하고(S2), 제 1 면(501b)이 안테나(500)의 하면에 형성되도록 안테나(500)를 설치(S3)하여 제 2 기판을 처리(S2)한다. 제 1 기판 및 제 2 기판은 서로 종류가 상이하게 제공될 수 있다.
제 1 기판을 처리하는 단계(S2)에서는 제 1 랏(lot)에 복수개 제공된 제 1 기판이 순차적으로 공정 챔버(100)에 반입되어 공정 처리된다. 제 1 랏에 제공된 제 1 기판이 모두 공정 처리 된 후, 제 1 면(501b)이 안테나(500)의 하면에 형성되도록 상기 안테나(500)를 설치(S3)하고, 이 후, 제 2 기판을 처리하는 단계(S4)에서는 제 2 랏(lot)에 복수개 제공된 제 2 기판이 순차적으로 공정 챔버(100)에 반입되어 공정 처리된다.
상술한 바와 같이, 슬롯의 양면의 개구 면적이 상이한 안테나의 방향을 기판의 종류에 따라 상이하게 변경시켜줌으로써 기판의 종류에 따른 적절한 마이크로파 전계의 영역별 밀도를 조절할 수 있다.
W:기판
10: 기판 처리 장치
100: 공정 챔버 200: 기판 지지 유닛
300: 가스 공급 유닛 400: 마이크로파 인가 유닛
500: 안테나 501: 슬롯
501a: 내측면 600: 지파판
700: 유전판
100: 공정 챔버 200: 기판 지지 유닛
300: 가스 공급 유닛 400: 마이크로파 인가 유닛
500: 안테나 501: 슬롯
501a: 내측면 600: 지파판
700: 유전판
Claims (9)
- 내부에 공간이 형성된 공정 챔버와;
상기 공정 챔버 내에서 기판을 지지하는 기판 지지 유닛과;
상기 기판 지지 유닛의 상부에 배치되며, 복수개의 슬롯이 형성된 안테나와;
상기 안테나로 마이크로파를 인가하는 마이크로파 인가 유닛을 포함하되,
상기 복수개의 슬롯의 전부 또는 일부는,
그 내측면이 상기 안테나의 반경 방향에 대해 수직에서 벗어나게 형성되는 기판 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 복수개의 슬롯의 전부 또는 일부는,
아래로 갈수록 폭이 넓어지는 기판 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 복수개의 슬롯의 전부 또는 일부는,
아래로 갈수록 폭이 좁아지는 기판 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 복수개의 슬롯의 전부 또는 일부는,
그 내측면이 볼록하게 제공되는 기판 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 복수개의 슬롯의 일부는 아래로 갈수록 폭이 넓어지고, 다른 일부는 아래로 갈수록 폭이 좁아지는 기판 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 슬롯은,
상기 안테나의 상하면에 형성된 개구면인 제 1 면; 및 제 2 면;을 가지고,
상기 제 1 면의 개구 면적과 상기 제 2 면의 개구 면적은 서로 상이하게 제공되는 기판 처리 장치. - 제 6 항에 있어서,
상기 제 1 면은, 상기 안테나의 상면에 형성되고,
상기 제 2 면은, 상기 안테나의 하면에 형성되되,
상기 제 1 면의 개구 면적은 상기 제 2 면의 개구 면적보다 작게 제공되는 기판 처리 장치. - 제 6 항에 있어서,
상기 제 1 면은, 상기 안테나의 상면에 형성되고,
상기 제 2 면은, 상기 안테나의 하면에 형성되되,
상기 제 1 면의 개구 면적은 상기 제 2 면의 개구 면적보다 크게 제공되는 기판 처리 장치. - 제 6 항의 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 방법에 있어서,
상기 기판 처리 장치는,
제 1 기판은, 상기 제 1 면이 상기 안테나의 상면에 형성되도록 안테나를 설치하여 처리하고,
제 2 기판은, 상기 제 1 면이 상기 안테나의 하면에 형성되도록 안테나를 설치하여 처리하는 기판 처리 방법.
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| KR1020140084387A KR102344527B1 (ko) | 2014-07-07 | 2014-07-07 | 기판 처리 장치 및 방법 |
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|---|---|
| KR20160005823A true KR20160005823A (ko) | 2016-01-18 |
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| KR102344527B1 (ko) | 2021-12-30 |
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