KR20160003393A

KR20160003393A - 반도체공정 데이터 저장방법 및 이를 이용한 저장장치

Info

Publication number: KR20160003393A
Application number: KR1020140081635A
Authority: KR
Inventors: 유승권
Original assignee: 주식회사 디와이티
Priority date: 2014-07-01
Filing date: 2014-07-01
Publication date: 2016-01-11

Abstract

본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장장치는 반도체 제조장치로부터 데이터를 수신하거나 또는 제조장치로 데이터를 출력하기 위한 입/출력포트(10)와, 다수의 저장장치(20)들과, 상기 입/출력포트(10)와 상기 다수의 저장장치(20)들 사이에 위치하여 상기 저장장치를 제어하는 RAID(30)와, 상기 다수의 저장장치(20)에 전력을 공급하는 전원선(40)과, 상기 다수의 저장장치들 중 선택된 저장장치의 동작을 제어하는 클럭컨트롤러(50)로 구성되고, 상기 전원선(40)의 다수의 저장장치(20)들 중 하나에 직접 연결되고, 나머지 저장장치들에는 클럭컨트롤러를 통해 연결된다.

Description

반도체공정 데이터 저장방법 및 이를 이용한 저장장치{Method for storing data used in semiconductor processing and appartus using the same}

본 발명은 반도체공정 데이터 저장방법 및 이를 이용한 저장장치에 관한 것으로서, 특히 반도체를 제조하는 제조장치에서 발생하는 데이터를 백업하는 방법과 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체를 제조하는 공정에는 다양한 반도체 제조장치가 사용된다. 일반적으로 반도체의 품질의 균일화를 위해 항상 일정한 공정데이터가 필요하다. 이러한 공정데이터는 온도, 시간, 압력, 열 등 다양한 데이터가 있고, 확립된 이들 데이터는 항상 일정한 품질의 반도체를 제조하기 위해 매우 중요하다.

일반적으로, 반도체 제조장치는 유지보수를 위해 정지할 경우가 있고, 또한 급작스러운 정전사고로 인해 정지할 경우가 발생할 수 있다. 이러한 경우에, 공정데이터가 미리 확보되어 있지 않으면 이전과 동일한 품질의 반도체를 제작하는데 매운 큰 어려움이 있게 된다. 따라서, 반도체 제조장치에는 공정 중에 발생하는 데이터를 저장하기 위한 저장장치를 설치되어 있다. 그러나, 저장장치에는 빈번하게 데이터가 저장 또는 출력되는 관계로 저장장치가 열화에 의해 고장이 날 경우도 있다. 만일 저장장치가 고장이 난 경우에는, 저장된 데이터를 사용하지 못해 반도체 제조공정 셋업에 많은 어려움이 발생하게 된다.

이와 같은 단점을 해결하기 위해, 현재 반도체 제조장치에는 독립된 다수 개의 디스크(RAID : Redundant Array of Independant Disks)를 사용하여 공정데이터를 저장하기 된다. 즉 주 저장장치와 백업저장장치를 사용하여 데이터 보존의 안전성을 확보하고 있다.

현재 사용하고 있는 저장방식은 도 1에 도시한 바와 같이 RAID 컨트롤러(1)를 통해 두 개의 저장장치(2)(즉, 일반적으로 하드디스크)를 연결하고 또한 두 개의 저장장치에 하나의 상시 전원(4)을 연결하여 구성하고 있다. 따라서, 입출력포트(본 발명에서는 SATA 케이블)(3)를 통해 들어온 공정데이터는 RAID 컨트롤러를 통해 두 개의 저장장치에 동일하게 저장되게 된다.

그러나, RAID 컨트롤러를 사용해 두 개의 디스크, 즉 메인 저장장치와 백업저장치에 데이터를 저장하는 경우에, H/W(Hardware)나 S/W(Software)적인 불량이 발생하는 경우 두 개의 디스크에서 H/W나 S/W적인 불량이 동시에 발생하게 된다는 단점이 있다. 또한, 시스템 전체에 이상이 발생할 경우에, 두 개의 디스크에서 동시에 이상이 발생하여 결국에는 시스템 자체가 정지하게 된다는 단점도 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 반도체 공정데이터를 안정적으로 저장하여, 시스템의 중단이 중단하는 일이 없이 지속적으로 작동할 수 있게 하는 반도체공정 데이터 저장방법 및 이를 이용한 저장장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본원 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장장치는, 입/출력포트와, 다수의 저장장치와, 입/출력포트와 다수의 저장장치들 사이에 설치되어 다수의 저장장치를 제어하는 RAID 컨트롤러와, 다수의 저장장치들 중 하나를 제외한 나머지 저장장치들의 저장시간을 제어하기 위한 클럭컨트롤러로 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장장치에서, 상기 다수의 저장장치들은 세 개 이상의 저장장치들로 이루어지고, 상기 세 개 이상의 저장장치들 중 하나는 반도체 공정데이터를 상시 저장하고 또한 저장된 데이터를 출력하는 메인 저장장치이고, 나머지는 공정데이터 백업용 저장장치인 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장장치에서, 메인 저장장치에는 전원이 직접 연결되고, 공정데이어 백업용 저장장치에는 상기 클럭컨트롤러를 통해 연결되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장장치에서, 상기 입/출력포트는 SATA 케이블인 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장장치에서, 저장장치들은 하드디스크 또는 솔리트 스테이트 디스크(SSD)인 것을 특징으로 한다.

본원 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장방법에 있어서, 방법은 입/출력포트와, 다수의 저장장치와, 입/출력포트와 다수의 저장장치들 사이에 설치되어 다수의 저장장치를 제어하는 RAID 컨트롤러와, 다수의 저장장치들 중 하나를 제외한 나머지 저장장치들의 저장시간을 제어하기 위한 클럭컨트롤러로 구성되는 반도체 공정데이터 저장장치에서, 다수의 저장장치들 중 하나에는 상시로 공정데이터를 저장하고, 나머지 저장장치들에는 클럭컨트롤러의 제어 하에 지정된 시간에만 공정데이터를 저장하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장방법에서, 상기 다수의 저장장치들은 세 개 이상의 저장장치들로 이루어지고, 상기 세 개 이상의 저장장치들 중 하나는 반도체 공정데이터를 상시 저장하는 메인 저장장치이고, 나머지는 공정데이터 백업용 저장장치인 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장방법에서, 메인 저장장치에는 전원이 직접 연결되고, 공정데이어 백업용 저장장치에는 상기 클럭컨트롤러를 통해 연결되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장방법에서, 상기 입/출력포트는 SATA 케이블인 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장방법에서, 저장장치들은 하드디스크 또는 솔리트 스테이트 디스크(SSD)인 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따라 시스템의 중단없이 반도체 공정데이터를 안정적으로 저장할 수 있고 빠르게 복구할 수 있게 되는 효과가 있다.

도 1은 종래 반도체 공정데이터 저장장치를 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 본원 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장장치를 개략적으로 도시하 도면.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 함께 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 이하, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.

이하 첨부도면을 참조하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장장치를 개략적으로 도시한 것이다.

도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 공정데이터 저장장치는 반도체 제조장치로부터 데이터를 수신하거나 또는 제조장치로 데이터를 출력하기 위한 입/출력포트(10)와, 다수의 저장장치(20)들과, 상기 입/출력포트(10)와 상기 다수의 저장장치(20)들 사이에 위치하여 상기 저장장치를 제어하는 RAID(30)와, 상기 다수의 저장장치(20)에 전력을 공급하는 전원선(40)과, 상기 다수의 저장장치들 중 선택된 저장장치의 동작을 제어하는 클럭컨트롤러(50)와, 백업 선택스위치(60)로 구성되고, 상기 전원선(40)의 다수의 저장장치(20)들 중 하나에 직접 연결되고, 나머지 저장장치들에는 클럭컨트롤러를 통해 연결된다. 이외에도 도시하지는 않았지만, 본 발명의 반도체 공정데이터 저장장치는 외부에 위치한 제어장치, 예컨대 반도체 공정장치 전체를 제어하는 제어장치에 의해 제어된다.

상기 RAID(30)는 저장장치의 저장동작을 제어하는 것이고, 클럭컨트롤러(50)는 저장장치의 저장기능 활성화 시간을 결정하는 것이다. 또한, 상기 입/출력포트(10)는 바람직하게 SATA 케이블이지만, PCI를 사용할 수 있거나 또는 다른 입/출력포트를 사용할 수 있다.

상기 다수의 저장장치(20)들은 바람직하게 세 개 이상 또는 네 개 이상으로 구성되고, 하드디스크 또는 솔리드 스테이트 디스크(SSD)로 이루어질 수 있다.

상기 다수의 저장장치들 중 전원선(40)에 직접 연결되는 것은 공정데이터를 상시 저장하는 메인 저장장치이고, 클럭컨트롤러(50)에 연결되는 저장장치들은 백업용 저장장치이다.

이와 같이, 구성된 저장장치에서 공정데이터의 저장과 백업을 살펴보면, 입/출력포트(10)를 통해 반도체 공정장치(미도시)로부터 공정데이터가 입력되면, 입력된 공정데이터는 메인 저장장치에 상시로 저장된다. 그리고, 이 공정데이터는 클럭컨트롤러(50)에 의해 활성화된 백업용 저장장치에 백업되게 된다. 이때, 클럭컨트롤러(50)에 의해 일정 시간마다 백업용 저장장치들 중 하나가 활성되어 공정데이터를 백업하게 된다.

따라서, 만일 메인 저장장치에 H/W나 S/W적인 불량이 발생하게 되는 경우에, 활성화된 백업용 저장장치에 H/W나 S/W적인 불량이 동시에 발생하게 되지만 활성화되지 않은 다른 백업용 저장장치(들)에는 H/W나 S/W적인 불량이 발생하게 되지 않게 된다.

또한, 메인 저장장치와 활성화된 백업용 저장장치가 시스템 이상으로 인해 동시에 이상이 발생하여 그 기능을 상실하게 된다 하더라도, RAID에 의해 활성화 상태에 있지 않은 다른 백업용 저장장치가 활성화되어 기능을 대체하게 되어 시스템은 중단이 없게 된다. 따라서, 반도체 공정장치의 작동중지라는 상황이 발생하지 않게 된다.

한편, 반도체장비를 운영하는 중에 현장에서 반도체장비의 운영 데이터의 분석이 필요가 경우가 발생할 수 있다. 이러한 경우, 반도체장비의 동작을 일시 정지시켜 저장장치로부터 데이터를 인출하여 데이터분석에 사용하여야 한다. 그러나, 반도체장비를 일시 중단시키는 것은 막대한 손실을 발생시키기 때문에 실질적으로 반도체방비를 운영하는 도중에 운영 데이터를 분석하는 것은 매우 어려운 일이다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본원 발명에서는 클럭컨트롤러(50)에 백업 선택스위치(60)를 설치한다. 상기 백업 선택스위치(60)는 백업 저장장치들 중 하나를 미리 선택하여 백업 기능이 활성화되게 하는 것이다. 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.

반도체 장비를 운영하는 도중에 다수의 백업 저장장치들에 반도체 장비 운영 데이터가 클럭컨트롤러(50)에 의해 정해진 순서로 지속으로 백업되게 된다. 그러나, 다수의 백업 저장장치들에 저장되는 운영 데이터는 클럭컨트롤러에 의해 제어되기 때문에 어느 백업 저장장치에 지금 현재까지의 데이터가 백업되었는지를 파악하기 어렵다. 이때, 백업 선택스위치(60)를 누르게 되면, 백업 선택스위치(60)는 클럭컨트롤러(50)가 미리 선택된 백업 저장장치를 활성화시키도록 하여, 선택된 백업 저장장치는 지금 현재까지의 데이터를 즉시 저장하게 된다.

따라서, 현장에서 운영 데이터를 분석할 경우에는 백업 선택스위치에 의해 선택되어 지금까지 데이터를 백업한 저장장치를 반도체장비로부터 분리하여 별도의 장치, 예컨대 노트북 컴퓨터와 같은 컴퓨터수단을 통해 운영 데이터를 분석할 수 있게 된다.

상기에서는, 백업 선택스위치(60)가 지정된 백업 저장장치만을 작동시키는 것으로 설명하였지만, 필요에 따라 다수의 백업 저장장치들 중에서 원하는 것을 선택하여 작동시키는 것도 가능하고, 이는 본원발명의 범위에 포함되는 것을 본 기술분야의 당업자라면 잘 이해할 것이다.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명은 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적이 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.

Claims

입/출력포트와, 다수의 저장장치와, 입/출력포트와 다수의 저장장치들 사이에 설치되어 다수의 저장장치를 제어하는 RAID 컨트롤러와, 다수의 저장장치들 중 하나를 제외한 나머지 저장장치들의 저장시간을 제어하기 위한 클럭컨트롤러과 백업 선택스위치로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정데이터 저장장치.
제1항에 있어서, 상기 다수의 저장장치들은 세 개 이상의 저장장치들로 이루어지고, 상기 세 개 이상의 저장장치들 중 하나는 반도체 공정데이터를 상시 저장하고 또한 저장된 데이터를 출력하는 메인 저장장치이고, 나머지는 공정데이터 백업용 저장장치인 것을 특징으로 하는 반도체 공정데이터 저장장치.
제2항에 있어서, 상기 메인 저장장치에는 전원이 직접 연결되고, 공정데이터 백업용 저장장치에는 상기 클럭컨트롤러를 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정데이터 저장장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입/출력포트는 SATA 케이블 또는 PCI인 것을 특징으로 하는 반도체 공정데이터 저장장치.
제4항에 있어서, 상기 백업 선택스위치는 클럭컨트롤러를 통해 백업 저장장치들 중 미리 선택된 하나의 동작을 제어하는 특징으로 하는 반도체 공정데이터 저장장치.
제4항에 있어서, 상기 저장장치들은 하드디스크 또는 솔리트 스테이트 디스크(SSD)인 것을 특징으로 하는 반도체 공정데이터 저장장치.
입/출력포트와, 다수의 저장장치와, 입/출력포트와 다수의 저장장치들 사이에 설치되어 다수의 저장장치를 제어하는 RAID 컨트롤러와, 다수의 저장장치들 중 하나를 제외한 나머지 저장장치들의 저장시간을 제어하기 위한 클럭컨트롤러로 구성되는 반도체 공정데이터 저장장치에서, 다수의 저장장치들 중 하나에는 상시로 공정데이터를 저장하고, 나머지 저장장치들에는 클럭컨트롤러의 제어 하에 지정된 시간에만 공정데이터를 저장하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정데이터 저장방법.
제7항에 있어서, 상기 다수의 저장장치들은 세 개 이상의 저장장치들로 이루어지고, 상기 세 개 이상의 저장장치들 중 하나는 반도체 공정데이터를 상시 저장하는 메인 저장장치이고, 나머지는 공정데이터 백업용 저장장치인 것을 특징으로 하는 방법.
제8항에 있어서, 상기 메인 저장장치에는 전원이 직접 연결되고, 공정데이어 백업용 저장장치에는 상기 클럭컨트롤러를 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 방법.
제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입/출력포트는 SATA 케이블 또는 PCI인 것을 특징으로 하는 방법.
제10항에 있어서, 상기 저장장치들은 하드디스크 또는 솔리트 스테이트 디스크(SSD)인 것을 특징으로 하는 방법.