KR20150132043A - Solder powder manufacture method and solder paste manufacture method and solder paste using low temperature bonding method - Google Patents

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KR20150132043A
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정재필
이준형
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덕산하이메탈(주)
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    • C25D5/10Electroplating with more than one layer of the same or of different metals

Abstract

The present invention relates to a solder powder manufacturing method, a solder paste manufacturing method, and a low temperature bonding method using a solder paste. The solder powder manufacturing method according to the present invention comprises: a step of preprocessing an object to be plated to remove a pollutant or an oxide from a surface of the object to be plated; a step of forming a nano multiple-layer plating layer on the object to be plated using an electroplating method; a step of separating the nano multiple-layer plating layer formed on the object to be plated; and a step of grinding the separated nano multiple-layer plating layer. According to the present invention, since a powder paste having a nano-layer can be manufactured in a size of a micrometer to alternately form nano-layers with all micrometer-sized powder to be used as nano-powder for low temperature bonding which is not easily oxidized unlike conventional nano-powder, has a low risk of fire or infiltration into a human body, is storable in air, does not exhibit a tangling growth phenomenon with adjacent particles at a room temperature, and is bondable at a low temperature and reduces a percentage of the nano-layer powder compared to a case of the nano-layer powder alone when the micrometer-sized powder having the nano-layers is mixed with ordinary powder having no nano-layer to further reduce a price.

Description

솔더 분말 제조 방법, 솔더 페이스트 제조 방법 및 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법 {SOLDER POWDER MANUFACTURE METHOD AND SOLDER PASTE MANUFACTURE METHOD AND SOLDER PASTE USING LOW TEMPERATURE BONDING METHOD}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a solder paste manufacturing method, a solder paste manufacturing method, and a low-temperature soldering method using a solder paste,

본 발명은 솔더 분말 제조 방법, 솔더 페이스트 제조 방법 및 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 나노 다층 구조를 갖는 분말 및 이 나노 다층 구조를 갖는 분말과 통상의 솔더 분말과 혼합한 분말을 솔더 페이스트(solder paste)로 제조하는 방법 및 솔더 페이스트를 이용하여 저온에서 접합을 하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a solder powder production method, a solder paste production method, and a low temperature bonding method using a solder paste, and more particularly, to a method of manufacturing a solder paste by mixing a powder having a nano multi-layer structure and a powder having the nano multi- The present invention relates to a method of manufacturing powders by solder paste and a method of bonding at low temperature using solder paste.

기존의 솔더링(연납땜) 기술은 접합하고자 하는 피접합재 사이에 납재(솔더)를 삽입하여 납재의 용융점 이상이면서 피접합재의 융점 이하인 온도로 가열하여 접합한다(솔더링은 납재의 융점이 450℃ 이하, 브레이징은 납재의 융점이 450℃ 이상인 것으로 정의됨). In the conventional soldering (soldering) technique, a solder is inserted between bonding materials to be bonded and heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the solder and lower than the melting point of the solder material (soldering is performed at a melting point of 450 캜 or lower, Brazing is defined as having a braze melting point above 450 ° C).

일반적인 솔더 페이스트는 보통 Sn계일 경우, Sn-Ag-Cu계, Sn-Ag계, Sn-Cu계 등이 있으며, 대표적인 것들로 Sn-(1.0-3.5)% Ag-(0.5-0.7)% Cu, Sn-(3.0-4.0)% Ag, Sn-(0.5-1.0)% Cu 등이 있다. 이 중 Sn-3.0% Ag-0.5% Cu 솔더가 가장 많이 쓰이며, 용융온도는 약 217℃, 솔더링 접합온도는 약 240-260℃ 이다. 이러한 솔더링 온도는 융점이 기존의 Sn-(37-40)% Pb (융점 183℃)에 비해 높아서, 열에 취약한 전자부품에 열적 손상을 일으키기 쉬운 문제점이 있었다.Typical solder pastes are Sn-Ag-Cu-based, Sn-Ag-based and Sn-Cu-based solders in the case of Sn-based solders. Sn- (1.0-3.5)% Ag- Sn- (3.0-4.0)% Ag, Sn- (0.5-1.0)% Cu, and the like. Of these, Sn-3.0% Ag-0.5% Cu solder is the most commonly used, with a melting temperature of about 217 ° C and a soldering junction temperature of about 240-260 ° C. Such a soldering temperature has a melting point higher than that of a conventional Sn- (37-40)% Pb (melting point 183 ° C), so that there is a problem that thermal damage is easily caused to electronic parts which are vulnerable to heat.

한편, 나노 페이스트(Nano paste)를 저온접합용으로 사용하는 경우도 있다. 이것은 나노 미터급 크기의 분말의 융점이 낮아지는 현상을 이용한 것이다. 즉, 나노 미터급 크기의 분말은 불안정하여, 이웃의 분말과 쉽게 합쳐지는 과정에서 원래 덩어리(bulk) 소재의 융점보다 융점이 낮아지는 것이다. 금속은 분말의 융점은 입자 직경(d)에 따라 Gibbs Thomson식과 같이 융점이 저하된다.On the other hand, there is a case where a nano paste is used for low temperature bonding. This is due to the fact that the melting point of a nanometer-scale powder is lowered. That is, the nanometer-scale powder is unstable, so that the melting point is lower than the melting point of the bulk material in the process of easily combining with neighboring powder. The melting point of the metal silver powder is lowered according to the particle diameter (d) as in the Gibbs Thomson equation.

또한, 기존의 나노 다층 제조기술은 증발증착(Evaporation), CVD(화학기상증착), 스퍼터링, 이온 플레이팅, 원자층 증착 등 비교적 공정비가 고가인 기술을 사용하거나 두께의 조절이 힘든 졸-겔 방법 등을 사용하였다.In addition, the conventional nano multilayer manufacturing technique is a technique of using a technique with a relatively high process cost such as evaporation, CVD (chemical vapor deposition), sputtering, ion plating, atomic layer deposition, or a sol- Were used.

이러한 페이스트 제조와 관련된 기술이 특허등록 제1276147호 및 특허등록 제1222304호에 제안된 바 있다.Techniques related to such paste production have been proposed in Patent Registration No. 1276147 and Patent Registration No. 1222304.

이하에서 종래기술로서 특허등록 제1276147호 및 특허등록 제1222304호에 개시된 솔더 페이스트, 그것을 사용한 접합 방법, 및 접합 구조 그리고 복합 은나노입자, 복합 은나노 페이스트, 그 제법, 제조장치, 접합방법 및 패턴 형성방법을 간략히 설명한다.Hereinafter, a solder paste, a bonding method using the solder paste, a bonding structure, and a composite nano particle, a composite nano paste, a manufacturing method, a bonding method, and a pattern forming method disclosed in Patent Registration No. 1276147 and Patent Registration No. 1222304 Will be briefly explained.

도 1은 특허등록 제1276147호(이하 '종래기술 1'이라 함)에서 솔더 페이스트를 사용해서 접합을 행한 경우의 거동을 모식적으로 나타내는 도면이다. 도 1에서 보는 바와 같이 종래기술 1은 Sn 계열 솔더의 고온 강도를 높이기 위하여 다른 고융점의 금속 입자를 첨가하여 제조한 솔더 페이스트 관련 기술이다.1 is a diagram schematically showing the behavior when bonding is performed using solder paste in Patent Registration No. 1276147 (hereinafter referred to as "Prior Art 1"). As shown in FIG. 1, Prior Art 1 is a solder paste-related technology that is manufactured by adding metal particles having different melting points to increase the high temperature strength of a Sn-based solder.

그러나 종래기술 1은 페이스트 접합 시 접합온도는 주석합금의 융점범위에서 이루어지므로 접합 온도의 범위가 제한적인 문제점이 있었다.However, in the prior art 1, since the bonding temperature is in the range of the melting point of the tin alloy during the paste bonding, the range of the bonding temperature is limited.

도 2는 특허등록 제1222304호(이하 '종래기술 2'라 함)에서 복합은나노 입자의 저온 생성 반응의 제1 공정의 설명도이다. 도 2에서 보는 바와 같이 종래기술 2는 패키징 공정에서 접합 시 열에 의한 충격을 줄이기 위해 은나노 입자를 이용한 저온 접합을 고안한 기술이다.2 is an explanatory diagram of a first step of a low-temperature reaction of composite silver nanoparticles in Patent Registration No. 1222304 (hereinafter referred to as "Prior Art 2"). As shown in FIG. 2, the prior art 2 is a technique for devising a low-temperature bonding using silver nanoparticles in order to reduce thermal shock during bonding in a packaging process.

그러나 종래기술 2는 나노 입자의 표면적 감소로 인하여 저온 접합을 가능하게 하지만 고가의 금속인 은을 사용하며, 산화 및 응집체 형성을 막기 위한 유기 피복제로 코팅한 물질로 가격이 고가인 문제점이 있었다. However, in the prior art 2, low-temperature bonding is possible due to reduction of the surface area of the nanoparticles, but expensive silver is used, and the material is coated with an organic coating agent to prevent oxidation and aggregation.

종래의 또 다른 솔더 페이스트는 솔더 금속 분말이 Sn-Ag, 혹은 Sn-Cu, Sn-Ag-Cu 합금이 모두 한꺼번에 용융되어 이루어진 덩어리(bulk) 형태이다. 따라서, 이 덩어리 형태의 합금분말은 분말로 되기 이전의 합금 주괴(ingot)의 융점과 동일하다. 예를 들어, Sn-3.5% Ag, Sn-0.7% Cu, Sn-3.0% Ag-0.5% Cu의 합금 분말의 융점은 주괴(ingot)의 융점과 동일하며, 각각 약 221℃, 227℃, 217℃ 이다. 따라서, 이들 합금 분말을 사용하면 주괴와 같은 온도에서 용융되며, 솔더링 접합온도는 솔더의 용융점보다 높은 온도에서 접합하게 된다. 이렇게 솔더의 용융온도가 높을 경우 가열에 따른 에너지 소모 비용이 많고, 때로는 모재에 열 손상을 유발시킬 우려도 있다.Another conventional solder paste is a bulk type in which the solder metal powder is formed by melting Sn-Ag, Sn-Cu and Sn-Ag-Cu alloys all at once. Thus, the lump-shaped alloy powder is the same as the melting point of the alloy ingot before it is turned into a powder. For example, the melting point of an alloy powder of Sn-3.5% Ag, Sn-0.7% Cu and Sn-3.0% Ag-0.5% Cu is equal to the melting point of the ingot and is about 221 ° C, 227 ° C, 217 ° C / RTI > Therefore, when these alloy powders are used, they are melted at the same temperature as the ingot, and the soldering joint temperature is bonded at a temperature higher than the melting point of the solder. When the melting temperature of the solder is high, the energy consumption cost due to the heating is high, and sometimes the thermal damage to the base material may be caused.

한편, 기존의 나노미터급 크기의 분말 및 페이스트를 사용하여 저온접합 하는 방법의 경우에는 저온접합이 가능하지만 분말 내 성분이 동일하며 아래와 같은 문제점이 있다. On the other hand, in the case of the conventional method of low temperature bonding using powder and paste having a nanometer scale size, low temperature bonding is possible but the components in the powder are the same and the following problems are posed.

-산화가 어려운 귀금속 Ag, Au 나노 분말 등이 실용화되어 있고, 구리나 주석 등 산화되기 쉬운 물질들은 실용화에 어려움이 있다. - Precious metals such as Ag, Au nanoparticles, etc. which are difficult to oxidize have been put to practical use, and substances which are easily oxidized, such as copper and tin, are difficult to be put to practical use.

-나노 금속 분말이 매우 산화되기 쉬워서 산화방지를 위해 산화방지 화학물질 등으로 분말 표면을 피복해야 하는 불편함이 있다. - Nanometer metal powder is very easily oxidized, so there is an inconvenience to cover the powder surface with an antioxidant chemical to prevent oxidation.

-나노 분말의 급격한 산화로 인해서 폭발이나 화재의 위험성이 크다. - There is a great risk of explosion or fire due to rapid oxidation of nano powder.

-나노 분말을 제조하거나 보관할 때, 산화방지를 위해 불활성 분위기에서 행하는 등 불편하다. - When making or storing nano powder, it is inconvenient to perform in an inert atmosphere to prevent oxidation.

-산화를 방지하기 위한 나노 분말 표면에 코팅이나, 나노 분말과의 혼합 등으로 인해 제조 공정이 복잡하다. - Manufacturing process is complicated due to coating on nanoparticle surface to prevent oxidation and mixing with nano powder.

-나노 분말은 상온에서도 서로 인접한 분말과 엉켜붙어 성장하므로 분말의 크기가 성장하면서 나노 분말의 특성을 잃기 쉽다. - Nano powders are clinging to adjacent powders even at room temperature, so it is easy to lose the properties of the nano powder while the size of powders grow.

-나노 분말이나 페이스트는 고가이다.- Nano powder or paste is expensive.

-나노 분말이 인체에 침투하기 쉬우며 이는 유해할 수 있다. - Nano powder is likely to penetrate the human body and this can be harmful.

KR 1276147 B1KR 1276147 B1 KR 1222304 B1KR 1222304 B1

본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 나노층을 갖는 마이크로 미터 크기의 분말 페이스트 제조가 가능하여 크기가 마이크로 사이즈이지만, 분말은 모두 나노 층으로 교대로 적층되므로 나노 분말처럼 저온 접합용으로 사용할 수 있고, 기존의 나노 분말과 달리 쉽게 산화되지 않고, 화재의 위험이나 인체 침투의 위험이 적고, 대기 중에서 보관 가능하고, 상온에서 인접한 입자와 엉켜붙어 성장하는 현상이 없으며, 나노 적층을 갖는 마이크로미터 크기의 분말과 나노 적층이 없는 일반 분말을 혼합하여 사용하는 경우, 저온 접합이 가능하면서 나노 적층 분말만으로 이루어진 경우에 비해 나노 적층 분말의 비율이 감소되어 가격을 더욱 낮출 수 있게 한 솔더 분말 제조 방법, 솔더 페이스트 제조 방법 및 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법을 제공하는 것이다.The object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, and it is possible to manufacture a micrometer-sized powder paste having a nanosized layer, It can be used for low-temperature bonding like powders. Unlike conventional nano powders, it is not easily oxidized. There is no risk of fire or human penetration. It can be stored in the atmosphere. There is no phenomenon of clinging to adjacent particles at room temperature. , When the micrometer-sized powder having the nano-laminated layer and the ordinary powder having no nano-laminated layer are mixed, the ratio of the nano-laminated powder can be reduced and the price can be lowered Of producing solder powder, solder paste manufacturing method and solder To provide a low-temperature bonding method using the yeast.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은, 도금 대상물의 표면에 오염물이나 산화물 제거를 위해 전처리하는 단계; 상기 도금 대상물에 전해도금법을 이용하여 나노 다층 도금층을 형성하는 단계; 상기 도금 대상물에 형성된 나노 다층 도금층을 박리하는 단계; 및 상기 박리된 나노 다층 도금층을 분쇄하는 단계를 포함하는 솔더 분말 제조 방법을 통해 달성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a plating method comprising the steps of: pre-treating a surface of a plating object to remove contaminants or oxides; Forming a nano-multilayered plating layer on the object to be plated using an electrolytic plating method; Peeling the nano multilayer plating layer formed on the object to be plated; And a step of pulverizing the exfoliated nano multi-layered plated layer.

또한, 본 발명은, 상용 솔더 분말을 바렐 도금장치 내에 반입시키는 단계; 상기 상용 솔더 분말의 표면에 오염물이나 산화물 제거를 위해 전처리하는 단계; 상기 상용 솔더 분말 표면에 나노 다층 도금층을 형성하는 단계; 상기 나노 다층 도금층이 형성된 솔더 분말을 상기 바렐 도금장치에서 반출시키는 단계; 및 상기 반출된 솔더 분말을 세척 및 건조하는 단계를 포함하는 솔더 분말 제조 방법을 통해 달성된다.Further, the present invention provides a method for manufacturing a solder ball, comprising: bringing commercial solder powder into a barrel plating apparatus; Pretreating the surface of the commercial solder powder to remove contaminants or oxides; Forming a nano-multilayer plating layer on the surface of the commercial solder powder; Removing the solder powder formed with the nano multilayered plating layer from the barrel plating apparatus; And a step of washing and drying the carried solder powder.

또한, 본 발명에서의 상기 나노 다층 도금층은 두 종류 이상의 원소 혹은 그 합금이 교대로 도금되어 적층된 다층의 금속 분말을 사용할 수 있다.In addition, the nano-multilayer plating layer in the present invention may be a multilayer metal powder in which two or more kinds of elements or alloys thereof are alternately plated and laminated.

또한, 본 발명에서의 상기 나노 다층 도금막은 다층 내 교대로 도금되는 한 층 각각이 0.1㎚에서 100μm 이하 범위의 두께로 형성될 수 있다.In addition, the nano multilayered plated film in the present invention may be formed such that each of the alternately plated layers in the multilayer may have a thickness ranging from 0.1 nm to 100 탆 or less.

또한, 본 발명에서의 상기 나노 다층 도금막은 Sn(주석), Cu(구리), Zn(아연), Ni(니켈), Ti(티타늄), V(바나듐), Cr(크롬), Mn(망간), Fe(철), Co(코발트), Ga(갈륨), Ge(저마늄), As(비소), Al(알루미늄), Se(셀레늄), Zr(지르코늄), Nb(나이오븀), Mo(몰리브덴), Tc(테크네튬), Ru(루테늄), Rh(로듐), Pd(팔라듐), Ag(은), Cd(카드뮴), In(인듐), Sb(안티몬), Te(텔루륨), Hf(하프늄), Ta(탄탈륨), W(텅스텐), Re(레늄), Os(오스뮴), Ir(이리듐), Pt(백금), Au(금), Hg(수은), Tl(탈륨), Pb(납), Bi(비스무트), Po(폴로늄) 원소로 이루어진 군에서 둘 이상을 포함할 수 있다.The nano multilayered plating film of the present invention may be formed of a metal such as Sn (tin), Cu (copper), Zn (zinc), Ni (nickel), Ti (titanium), V (vanadium) , Fe (iron), Co (cobalt), Ga (gallium), Ge (germanium), As (arsenic), Al (aluminum), Se (selenium), Zr (zirconium) (Ruthenium), Rh (rhodium), Pd (palladium), Ag (silver), Cd (cadmium), In (indium), Sb (antimony), Te (tellurium), Hf (Platinum), Au (gold), Hg (mercury), Tl (thallium), Pb (hafnium), Ta (tantalum), W (tungsten), Re (Lead), Bi (bismuth), and Po (polonium).

*또한, 본 발명에서의 상기 나노 다층 도금막은 각각 다른 금속층이 2층 이상 적층될 수 있다.In addition, in the nano multilayer plating film of the present invention, two or more different metal layers may be stacked.

또한, 본 발명에서의 상기 솔더 분말은 볼 밀(ball mill)법을 포함하는 분쇄방법 또는 바렐(barrel) 도금법에 의해 형성될 수 있다.In addition, the solder powder in the present invention may be formed by a pulverization method including a ball mill method or a barrel plating method.

또한, 본 발명은, 전해 도금법에 의해 형성된 나노 다층 도금층을 분쇄하여 제조된 솔더 분말 또는 바렐 도금법에 의해 상용 솔더의 표면에 나노 다층 도금층을 형성하여 제조된 솔더 분말 자체를 사용하거나, 상기 솔더 분말에 일반 솔더 분말을 혼합 사용하는 단계; 및 상기 솔더 분말 또는 상기 혼합 분말에 도금 대상물과 분말을 고정시켜 주는 바인더와 상기 도금 대상물 및 분말의 산화를 막아주기 위한 플럭스가 첨가되는 단계를 포함하는 솔더 페이스트 제조 방법을 통해 달성된다.The present invention also relates to a method for manufacturing a solder ball which comprises using a solder powder prepared by pulverizing a nano-multilayer plating layer formed by an electrolytic plating method or a solder powder prepared by forming a nano-multilayer plating layer on the surface of a commercial solder by barrel plating, Mixing the common solder powder; And a binder for fixing the object to be plated and the powder to the solder powder or the mixed powder and a flux for preventing oxidation of the object to be plated and the powder are added.

또한, 본 발명에서의 상기 페이스트에 사용되는 금속 분말은 상기 전해도금법에 의해 형성된 나노 다층 도금층을 분쇄하여 제조된 솔더 분말 또는 상용 솔더의 표면에 나노 다층 도금층을 형성하여 제조된 솔더 분말만으로 이루어지거나, 일반 금속 분말에 상기 나노 다층 도금층 분말을 10% 이상 혼합한 분말인 것을 특징으로 할 수 있다.The metal powder used in the paste of the present invention may be composed of solder powder prepared by pulverizing a nano-multilayered plating layer formed by the electrolytic plating method or solder powder prepared by forming a nano-multilayered plating layer on the surface of commercial solder, And a powder obtained by mixing at least 10% of the nano multilayer coating layer powder with a general metal powder.

또한, 본 발명에서의 상기 나노 다층 도금층은 두 종류 이상의 원소 혹은 그 합금이 교대로 도금되어 적층된 다층의 금속 분말을 사용할 수 있다.In addition, the nano-multilayer plating layer in the present invention may be a multilayer metal powder in which two or more kinds of elements or alloys thereof are alternately plated and laminated.

또한, 본 발명에서의 상기 나노 다층 도금막은 다층 내 교대로 도금되는 한 층 각각이 0.1㎚에서 100μm 이하 범위의 두께로 형성될 수 있다.In addition, the nano multilayered plated film in the present invention may be formed such that each of the alternately plated layers in the multilayer has a thickness ranging from 0.1 nm to 100 탆 or less.

또한, 본 발명에서의 상기 나노 다층 도금막은 Sn(주석), Cu(구리), Zn(아연), Ni(니켈), Ti(티타늄), V(바나듐), Cr(크롬), Mn(망간), Fe(철), Co(코발트), Ga(갈륨), Ge(저마늄), As(비소), Al(알루미늄), Se(셀레늄), Zr(지르코늄), Nb(나이오븀), Mo(몰리브덴), Tc(테크네튬), Ru(루테늄), Rh(로듐), Pd(팔라듐), Ag(은), Cd(카드뮴), In(인듐), Sb(안티몬), Te(텔루륨), Hf(하프늄), Ta(탄탈륨), W(텅스텐), Re(레늄), Os(오스뮴), Ir(이리듐), Pt(백금), Au(금), Hg(수은), Tl(탈륨), Pb(납), Bi(비스무트), Po(폴로늄) 원소로 이루어진 군에서 둘 이상을 포함할 수 있다.The nano multilayered plating film of the present invention may be formed of a metal such as Sn (tin), Cu (copper), Zn (zinc), Ni (nickel), Ti (titanium), V (vanadium) , Fe (iron), Co (cobalt), Ga (gallium), Ge (germanium), As (arsenic), Al (aluminum), Se (selenium), Zr (zirconium) (Ruthenium), Rh (rhodium), Pd (palladium), Ag (silver), Cd (cadmium), In (indium), Sb (antimony), Te (tellurium), Hf (Platinum), Au (gold), Hg (mercury), Tl (thallium), Pb (hafnium), Ta (tantalum), W (tungsten), Re (Lead), Bi (bismuth), and Po (polonium).

또한, 본 발명에서의 상기 나노 다층 도금막은 각각 다른 금속층이 2층 이상 적층될 수 있다.Further, in the nano multilayer plating film of the present invention, two or more different metal layers may be stacked.

또한, 본 발명은, 전해도금법에 의해 형성된 나노 다층 도금층을 분쇄하여 제조된 솔더 분말 또는 상용 솔더의 표면에 나노 다층 도금층을 형성하여 제조된 솔더 분말을 사용하거나, 상기 솔더 분말에 의해 제조된 솔더 페이스트를 제 1 및 제 2 피접합물의 접합면의 사이에 도포하는 단계; 상기 제 1 및 제 2 피접합물을 저온에서 가열하는 단계; 및 상기 다층 도금막들의 상호 반응에 의해 저온에서 접합되는 단계를 포함하는 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법을 통해 달성된다.The present invention also relates to a solder powder prepared by pulverizing a nano-multilayer plating layer formed by electrolytic plating or a solder powder prepared by forming a nano-multilayer plating layer on the surface of a commercial solder, or a solder paste Between the joining surfaces of the first and second members to be joined; Heating the first and second members to be bonded at a low temperature; And a step of bonding at a low temperature by mutual reaction of the multilayer plating films.

또한, 본 발명에서의 상기 제 1 및 제 2 피접합물은 금속, 세라믹 및 고분자재료를 포함하는 고체형태의 피접합체인 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the first and second members to be bonded in the present invention may be characterized by being a bonded body in the form of a solid including metals, ceramics, and high molecular materials.

본 발명에 의하면, 나노층을 갖는 마이크로 미터 크기의 분말 페이스트 제조가 가능하여 크기가 마이크로 사이즈이지만, 분말은 모두 나노 층으로 교대로 적층되므로 나노 분말처럼 저온 접합용으로 사용할 수 있고, 기존의 나노 분말과 달리 쉽게 산화되지 않고, 화재의 위험이나 인체 침투의 위험이 적고, 대기 중에서 보관 가능하고, 상온에서 인접한 입자와 엉켜붙어 성장하는 현상이 없으며, 나노 적층을 갖는 마이크로미터 크기의 분말과 나노 적층이 없는 일반 분말을 혼합하여 사용하는 경우, 저온 접합이 가능하면서 나노 적층 분말만으로 이루어진 경우에 비해 나노 적층 분말의 비율이 감소되어 가격을 더욱 낮출 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to manufacture a micrometer-sized powder paste having a nano-layer, and the size is micro-sized. However, since the powders are alternately stacked as nano-layers, they can be used for low-temperature bonding like nano powder, , There is no risk of fire or human infiltration, it is possible to store it in the atmosphere, and there is no phenomenon of being adhered to adjacent particles at room temperature, and a micrometer-sized powder and nano laminate having a nano- It is possible to achieve a low temperature bonding and a reduction in the ratio of the nano-laminated powder compared to the case of using only the nano-laminated powder, thereby further reducing the price.

도 1은 종래기술 1에 의한 솔더 페이스트를 사용해서 접합을 행한 경우의 거동을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 종래기술 2에 의한 복합은나노 입자의 저온 생성 반응의 제1 공정의 설명도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법을 도시한 블록도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법 수행시 분쇄하기 전 벌크형태로 Sn-Cu가 교대로 나노 다층 도금된 예를 나타낸 사진이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에서 나노 다층 도금층을 형성하기 위한 다층 도금층 제조 장치를 도시한 개략도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법을 도시한 블록도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조된 나도 다층 도금 솔더 분말 및 바렐 도금장치를 도시한 개략도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조된 나도 다층 도금층의 표면을 확대한 사진이다.
도 9는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트 제조 방법을 도시한 블록도이다.
도 10은 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트 제조 방법에서 분쇄로 제조된 나노 다층 도금 페이스트의 공정도이다.
도 11은 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법을 도시한 블록도이다.
도 12는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법에서 나노 도금층 분말과 일반 솔더와의 혼합한 페이스트를 사용하여 접합한 상태를 도시한 개략도이다.
도 13은 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법에서 나노 도금층 분말만을 사용하여 접합한 상태를 도시한 개략도이다.
도 14는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법 구현시 나노 도금층 두께가 각각 50nm인 Sn-Cu 나노 다층 도금 DSC 분석결과를 나타낸 그래프이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram schematically showing a behavior when bonding is performed using a solder paste according to Prior Art 1. FIG.
2 is an explanatory diagram of a first step of a low-temperature reaction for producing composite nano-particles according to the prior art 2. Fig.
3 is a block diagram showing a method of manufacturing solder powder according to the first embodiment of the present invention.
4 is a photograph showing an example in which Sn-Cu is alternately nano-multilayered in a bulk form before pulverization in the method of manufacturing the solder powder according to the first embodiment of the present invention.
5 is a schematic view showing a multilayer plating layer producing apparatus for forming a nano multilayer plating layer in the solder powder manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.
6 is a block diagram showing a method of manufacturing a solder powder according to a second embodiment of the present invention.
7 is a schematic view showing a multilayer plating solder powder and a barrel plating apparatus manufactured by the solder powder manufacturing method according to the second embodiment of the present invention.
8 is an enlarged photograph of the surface of the noble metal multi-layered plating layer produced by the solder powder manufacturing method according to the second embodiment of the present invention.
9 is a block diagram showing a solder paste manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a process diagram of a nano-multilayer plating paste produced by pulverization in the solder paste production method according to the first embodiment of the present invention.
11 is a block diagram showing a low temperature bonding method using solder paste according to the first embodiment of the present invention.
12 is a schematic view showing a state in which a nano-plated layer powder and a general solder are bonded using a paste in a low-temperature bonding method using a solder paste according to the first embodiment of the present invention.
13 is a schematic view showing a state in which only the nano-plated layer powder is bonded in the low-temperature bonding method using the solder paste according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a graph showing the results of Sn-Cu nano-multilayer plating DSC analysis of nano plated layer thicknesses of 50 nm each in the case of implementing a low temperature bonding method using solder paste according to the first embodiment of the present invention.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The terms or words used in the present specification and claims are intended to mean that the inventive concept of the present invention is in accordance with the technical idea of the present invention based on the principle that the inventor can appropriately define the concept of the term in order to explain its invention in the best way Should be interpreted as a concept.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. Throughout the specification, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements as well, without excluding other elements unless specifically stated otherwise.

이하 도면을 참고하여 본 발명에 의한 솔더 분말 제조 방법, 솔더 페이스트 제조 방법 및 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법에 대한 실시 예의 구성을 상세하게 설명하기로 한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a method of manufacturing a solder powder, a method of manufacturing a solder paste, and a low temperature bonding method using a solder paste according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3에는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법이 블록도로 도시되어 있고, 도 4에는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법 수행시 분쇄하기 전 벌크형태로 Sn-Cu가 교대로 나노 다층 도금된 예가 사진으로 나타나 있으며, 도 5에는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에서 나노 다층 도금층을 형성하기 위한 다층 도금층 제조 장치가 개략도로 도시되어 있다.FIG. 3 is a block diagram illustrating a method of manufacturing a solder powder according to a first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a graph showing the relationship between Sn-Cu FIG. 5 is a schematic view of a multilayer plating layer producing apparatus for forming a nano multilayer plating layer in the solder powder manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.

이들 도면에 의하면, 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법은 전처리 단계(S100), 도금 회로 구성 단계(S110), 나노 다층 도금층 형성 단계(S120), 나노 다층 도금층 박리 단계(S130) 및 분쇄 단계(S140)를 포함한다.According to the drawings, the method for manufacturing a solder powder according to the first embodiment of the present invention includes a preprocessing step S100, a plating circuit forming step S110, a nano multilayer plating layer forming step S120, a nano multilayer plating layer removing step S130, And a grinding step (S140).

전처리 단계(S100)는 도금 대상물인 기판의 표면에 오염물이나 산화물 제거를 위해 전처리하는 단계이다. 즉, 상기 전처리 단계(S100)는 나노미터급 다층 도금 처리를 위한 전처리 과정으로 도금이 되는 기판 표면의 오염물이나 산화물 제거를 위해 금속재 등으로 구비되는 기판의 표면을 1~10vol% 염산 수용액 등 산 희석액으로 약 10초~5분간 세척한 후 증류수를 이용하여 세척(rinse) 한다. 여기서 산 수용액이 금속산화물을 제거하게 되어 도금을 더욱 용이하게 한다.The preprocessing step S100 is a step of pretreatment for removing contaminants or oxides on the surface of the substrate to be plated. That is, in the pretreatment step (S100), the surface of the substrate, which is made of a metal material or the like, for removing contaminants or oxides on the surface of the substrate to be plated by pretreatment for a multi-layered plating process of nanometer scale, For about 10 seconds to 5 minutes, then rinse using distilled water. Here, the aqueous acid solution removes the metal oxide, thereby facilitating the plating.

도금 회로 구성 단계(S110)는 전류가 전원-양극-도금액-음극-전원의 순서로 흐르도록 회로를 구성하는 단계이다.The plating circuit configuration step (S110) is a step of configuring the circuit so that current flows in the order of power source-anode-plating liquid-cathode-power source.

나노 다층 도금층 형성 단계(S120)는 기판에 전해도금법을 이용하여 나노 다층 도금층을 형성하는 단계로, 도금층의 두께에 따라 전류밀도를 조절하여 나노 다층 도금층을 형성한다.The nano multilayer plating layer forming step (S120) is a step of forming a nano multilayer plating layer on the substrate by electrolytic plating. The nano multilayer plating layer is formed by adjusting the current density according to the thickness of the plating layer.

특히, 상기 나노 다층 도금층 형성 단계(S120)에서 형성되는 나노 다층 도금층은 도 4에 도시된 바와 같이 두 종류 이상의 원소 혹은 그 합금이 교대로 도금되어 적층된 다층의 금속 분말을 사용하되, 접합 매개물(납재)인 나노 미터급 다층 도금층으로, 접합 매개물로는 전자부품의 접합에 주로 이용이 되는 납재로 사용되는 주석합금 중 Sn-Cu 나노 다층 도금층을 사용하였다. 본 발명에서 실시 예로 사용한 Sn-Cu를 교대로 형성한 나노 다층 도금층의 Sn 및 Cu의 두께는 각각 10~30nm(바람직하게는 20nm)이다. 실시 예에 사용된 Cu 기판 및 Sn-Cu 나노 도금층은 예시적인 것에 불과하며, 철계, 알루미늄계 등의 다양한 금속 및 합금을 접합하기 위하여도 모두 이용이 가능하다. In particular, as shown in FIG. 4, the nano-multilayer plating layer formed in the nano-multilayer plating layer forming step S120 uses a multilayer metal powder in which two or more kinds of elements or alloys thereof are alternately plated and laminated, Sn-Cu nano-multilayer plating layer among tin alloys used as a brazing material mainly used for bonding electronic components was used as a bonding medium. The thicknesses of Sn and Cu in the nano-multilayer plating layer in which Sn-Cu is alternately formed as an example in the present invention are 10 to 30 nm (preferably 20 nm). The Cu substrate and the Sn-Cu nano-plated layer used in the examples are merely illustrative, and can be used for bonding various metals and alloys such as iron-based and aluminum-based alloys.

더욱이, 나노 다층 도금막은 다층 내 교대로 도금되는 한 층 각각이 0.1㎚에서 100μm 이하 범위의 두께로 형성되며, Sn(주석), Cu(구리), Zn(아연), Ni(니켈), Ti(티타늄), V(바나듐), Cr(크롬), Mn(망간), Fe(철), Co(코발트), Ga(갈륨), Ge(저마늄), As(비소), Al(알루미늄), Se(셀레늄), Zr(지르코늄), Nb(나이오븀), Mo(몰리브덴), Tc(테크네튬), Ru(루테늄), Rh(로듐), Pd(팔라듐), Ag(은), Cd(카드뮴), In(인듐), Sb(안티몬), Te(텔루륨), Hf(하프늄), Ta(탄탈륨), W(텅스텐), Re(레늄), Os(오스뮴), Ir(이리듐), Pt(백금), Au(금), Hg(수은), Tl(탈륨), Pb(납), Bi(비스무트), Po(폴로늄) 원소로 이루어진 군에서 둘 이상을 포함하는 금속층이다. 이때, 상기 나노 다층 도금막은 각각 다른 금속층이 2층 이상 적층될 수 있다.Further, the nano multilayered plating film is formed by alternately plating each of the multilayered platelets in a thickness ranging from 0.1 nm to 100 탆 or less. The nano multilayered plating film may be formed of Sn (tin), Cu (copper), Zn (zinc) (Aluminum), Se (cobalt), Ga (gallium), Ge (germanium), As (arsenic), Al (Selenium), Zr (zirconium), Nb (niobium), Mo (molybdenum), Tc (technetium), Ru (ruthenium), Rh (rhodium), Pd (palladium) (Tin), Re (rhenium), Os (osmium), Ir (iridium), Pt (platinum), indium (In), Sb (antimony), Te (tellurium), Hf , Au (gold), Hg (mercury), Tl (thallium), Pb (lead), Bi (bismuth), and Po (polonium). At this time, the nano multilayered plated film may have two or more different metal layers stacked thereon.

여기서, 도 5에 도시된 바와 같이 나노 다층 도금층을 형성하기 위한 다층 도금층 제조 장치(10)는 용기(11), 기준 전극(12), 양극(13), 음극(14), 교반용 마그네틱(16) 및 PC(20)를 포함한다.5, the multilayer plating layer producing apparatus 10 for forming a nano multilayer plating layer includes a container 11, a reference electrode 12, an anode 13, a cathode 14, a stirring magnet 16 And a PC 20. [

용기(11)는 개구된 상단을 마개(11a)로 마감하며, 내부 바닥에 교반용 마그네틱(16)이 설치되는 도금욕이다. The vessel (11) is a plating bath in which an opened top is closed with a stopper (11a) and a stirring magnet (16) is installed on an inner bottom.

기준 전극(12)으로는 포화 칼로멜 전극을 사용하였다. 양극(13) 전극으로는 10mm×10mm의 백금(Pt) 전극을 사용하였으며, 음극(14) 전극으로는 10mm×10mm의 구리(Cu) 전극을 사용하였다. 전원은 일정전류와 일정전압을 교대로 줄 수 있는 전원의 사용이 모두 가능하다.As the reference electrode 12, a saturated calomel electrode was used. A 10 mm × 10 mm platinum (Pt) electrode was used for the anode 13 and a 10 mm × 10 mm copper electrode was used for the cathode 14. It is possible to use a power source that can alternately supply a constant current and a constant voltage.

교반용 마그네틱(16)은 상기 용기(11)의 바닥면에 배치되어 상기 용기(11) 내에 저장된 도금액을 교반시키며, 상기 용기(11)의 하단에서 구동축에 구동 마그네틱(도면에 미도시)이 구비된 구동모터(도면에 미도시)를 구동시키면 자력에 의해 상기 구동 마그네틱이 상기 용기(11)의 바닥면에 배치된 교반용 마그네틱(16)이 연동시키는 원리를 이용하여 작동된다.The stirring magnet 16 is disposed on the bottom surface of the container 11 to stir the plating liquid stored in the container 11 and drive magnet (not shown) is provided on the drive shaft at the lower end of the container 11 (Not shown in the drawing) is driven, the driving magnet is operated by the principle of interlocking the stirring magnet 16 disposed on the bottom surface of the container 11 by the magnetic force.

PC(20)는 전압 및 전류 파형이 조절 가능한 전원, 파형 조절 프로그램 등의 소프트웨어가 설치되어 있고, 입력 및 조작을 통해 전압 및 전류 파형 제어가 가능하다. 한편, 상기 PC(20)에는 양극(13)과 전선을 통해 전기적으로 연결되도록 전원의 양극(17)이 설치되고, 기준 전극(12)과 전선을 통해 전기적으로 연결되도록 전원의 기준전극(18)이 설치되며, 음극(14)과 전선을 통해 전기적으로 연결되도록 전원의 음극(19)이 설치된다.The PC 20 is provided with software such as a power supply capable of adjusting voltage and current waveforms and a waveform control program, and it is possible to control voltage and current waveforms through input and manipulation. The PC 20 is provided with a positive electrode 17 of a power source to be electrically connected to the positive electrode 13 through a wire and a reference electrode 18 of a power source to be electrically connected to the reference electrode 12 through a wire, And a negative electrode 19 of a power source is provided so as to be electrically connected to the negative electrode 14 through electric wires.

나노 다층 도금층 박리 단계(S130)는 기판에 형성된 나노 다층 도금층을 박리하는 단계이다.The nano multilayer plating layer peeling step (S130) is a step of peeling the nano multilayer plating layer formed on the substrate.

분쇄 단계(S140)는 박리된 나노 다층 도금층을 볼 밀(ball mill) 등의 방법을 통해 분쇄하는 단계이다.The pulverizing step (S140) is a step of pulverizing the exfoliated nano multilayer coating layer by a method such as a ball mill.

<실시예 1>&Lt; Example 1 >

본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 다음과 같은 실시예 1을 구현할 수 있다.The following Embodiment 1 can be implemented by the solder powder manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.

가. 전해도금법을 이용하여 금속 기판(예: STS316)위에 다층 나노 도금층(예: Sn 및 Cu 각각 20nm 두께)을 형성한다.(예 1500층, 총 두께 60㎛)end. A multilayer nano-plated layer (eg, 20 nm thick each of Sn and Cu) is formed on a metal substrate (eg, STS316) by electrolytic plating (eg, 1500 layers, total thickness 60 μm)

나. 형성된 나노 도금층을 박리한다.(예: 중량 250mg)I. The formed nano-plated layer is peeled off (e.g., weight 250 mg)

다. 박리된 나노 도금층을 분쇄하여 파우더로 제조한다.(예: 볼 밀 200rpm, 3시간)All. The exfoliated nano-plated layer is pulverized into a powder (for example, a ball mill at 200 rpm for 3 hours)

라. 파우더를 체를 이용하여 걸러서 일정 크기로 분류한다.(예: 분말 크기 2㎛) la. Filter the powder using a sieve and classify it into a certain size (eg powder size 2 μm).

도 6에는 본 발명의 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법이 블록도로 도시되어 있고, 도 7에는 본 발명의 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조된 나도 다층 도금 솔더 분말 및 바렐 도금장치가 개략도로 도시되어 있으며, 도 8에는 본 발명의 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조된 나도 다층 도금층의 표면을 확대한 사진이 나타나 있다.FIG. 6 is a block diagram illustrating a method of manufacturing a solder powder according to a second embodiment of the present invention. FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a solder powder according to a second embodiment of the present invention, 8 is a schematic view of the plating apparatus, and FIG. 8 is an enlarged view of the surface of the multilayer plating layer made by the solder powder manufacturing method according to the second embodiment of the present invention.

이들 도면에 의하면, 본 발명의 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법은 상용 솔더 분말 반입 단계(S200), 전처리 단계(S210), 나노 다층 도금층 형성 단계(S220), 솔더 분말 반출 단계(S230) 및 솔더 분말 세척 및 건조 단계(S240)를 포함한다.According to the drawings, the solder powder manufacturing method according to the second embodiment of the present invention includes the steps of bringing the solder powder into the solder powder S200, the preprocessing step S210, the nano multilayer plating layer forming step S220, And a solder powder cleaning and drying step (S240).

상용 솔더 분말 반입 단계(S200)는 준비한 상용 솔더 분말을 바렐 도금장치(도면에 미도시) 내에 반입시키는 단계이다.The commercial solder powder carry-in step (S200) is a step of bringing the prepared commercial solder powder into a barrel plating apparatus (not shown in the figure).

전처리 단계(S210)는 상용 솔더 분말의 표면에 오염물이나 산화물 제거를 위해 전처리하는 단계로, 앞선 제1 실시예에서의 전처리 단계와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.The preprocessing step S210 is a step of pretreating the surface of the commercial solder powder for removing contaminants or oxides, which is the same as the preprocessing step in the first embodiment, and thus a detailed description thereof will be omitted.

나노 다층 도금층 형성 단계(S220)는 상용 솔더 분말 표면에 바렐(barrel) 도금법을 이용하여 나노 다층 도금층을 형성하는 단계이다.The nano multilayer plating layer forming step S220 is a step of forming a nano multilayer plating layer on the surface of commercial solder powder using a barrel plating method.

특히, 상기 나노 다층 도금층 형성 단계(S220)에서 형성되는 나노 다층 도금층은 앞선 실시예의 그것과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.In particular, since the nano multilayer plating layer formed in the nano multilayer plating layer forming step (S220) is the same as that of the preceding embodiment, detailed description is omitted.

더욱이, 나노 다층 도금층을 형성하기 위한 다층 도금층 제조 장치 역시 앞선 실시예의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.Furthermore, the multi-layered plating layer manufacturing apparatus for forming the nano multi-layered plating layer also has the same structure and function as those of the previous embodiment, and thus a detailed description thereof will be omitted.

솔더 분말 반출 단계(S230)는 나노 다층 도금층이 형성된 솔더 분말을 바렐 도금장치에서 반출시키는 단계이다.In the solder powder take-off step (S230), the solder powder formed with the nano-multilayer plating layer is taken out from the barrel plating apparatus.

솔더 분말 세척 및 건조 단계(S240)는 반출된 솔더 분말을 세척 및 건조하는 단계로, 공정이 끝난 솔더 분말을 꺼내어 증류수로 세척한 후 건조시켜 나노 다층 도금 처리된 솔더 분말을 얻는다.The solder powder washing and drying step (S240) is a step of washing and drying the discharged solder powder. The solder powder after the process is taken out, washed with distilled water and dried to obtain a nano-multilayered solder powder.

<실시예 1>&Lt; Example 1 >

본 발명의 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 다음과 같은 실시예 1을 구현할 수 있다.The following Embodiment 1 can be implemented by the solder powder manufacturing method according to the second embodiment of the present invention.

가. 바렐 도금장치 내에 상용 솔더 분말(예: SAC 305, 크기 40㎛, 중량 5g)을 투입한다.end. A commercially available solder powder (eg, SAC 305, size 40 μm, weight 5 g) is placed in the barrel plating apparatus.

나. 바렐 도금장치를 나노 다층 도금층이 형성된 막(예: Sn-Cu)에 넣은 후 금속 양극(예: Pt)을 설치한다 (도 6 참조).I. A barrel plating apparatus is placed in a film (e.g., Sn-Cu) having a nano-multilayered plating layer formed thereon, and then a metal anode (e.g., Pt) is provided (see FIG.

다. 바렐 도금장치를 작동시켜 계속 회전하게 하여 솔더 분말이 엉겨붙지 않도록 한다.All. Operate the barrel plating device to continue rotating so that the solder powder does not cling.

라. 도금 회로를 구성(표면적을 계산)하고 전류를 가하여 솔더 분말 표면에 다층 나노 도금층(예: Sn 및 Cu층 두께 각각 20nm, Sn+Cu 총 50층)을 형성한다.la. A plating circuit is formed (surface area is calculated), and a current is applied to form a multilayer nano-plated layer (for example, 20 nm each of Sn and Cu layer thickness, and a total of 50 layers of Sn + Cu) on the solder powder surface.

마. 바렐 도금장치 내부의 솔더 분말을 꺼내고, 증류수를 이용하여 세척한다.hemp. The solder powder inside the barrel plating apparatus is taken out and washed with distilled water.

본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법과 본 발명의 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법은 다층 나노 도금층 분말 제조시 큰 덩어리에서 깎아 내려가는 방식인 분쇄방법과 입자에서 성장시켜 분말을 제조하는 방식 모두 가능하다. 실시 예에서는 각각의 방식의 대표적인 방식인 볼 밀 분쇄법과 바렐 도금법을 제안하였으나 통상의 분말 제조 방법을 이용하여 다층 나노 도금층 분말을 제조할 수 있다.The solder powder manufacturing method according to the first embodiment of the present invention and the second embodiment of the present invention is a method of manufacturing a multilayer nano-plated layer powder by grinding the powder from a large lump, Both methods are possible. Although the ball milling method and the barrel plating method, which are representative methods of each method, have been proposed in the embodiments, the multilayer nano-plated layer powder can be manufactured by using a conventional powder manufacturing method.

도 9에는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트 제조 방법이 블록도로 도시되어 있고, 도 10에는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트 제조 방법에서 분쇄로 제조된 나노 다층 도금 페이스트의 공정도가 도시되어 있다.FIG. 9 is a block diagram of a solder paste manufacturing method according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a process chart of a nano multilayer plating paste produced by the pulverization in the solder paste manufacturing method according to the first embodiment of the present invention Are shown.

이들 도면에 의하면, 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트 제조 방법은 솔더 분말 또는 혼합 분말 사용 단계(S300) 및 바인더 및 플럭스 첨가 단계(S310)를 포함한다.According to these drawings, the solder paste manufacturing method according to the first embodiment of the present invention includes a solder powder or mixed powder use step (S300), a binder and a flux addition step (S310).

솔더 분말 또는 혼합 분말 사용 단계(S300)는 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법(전해도금법에 의해 형성된 나노 다층 도금층을 분쇄하여 제조)에 의해 제조되는 솔더 분말 또는 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법(상용 솔더의 표면에 나노 다층 도금층을 형성하여 제조)에 의해 제조되는 솔더 분말 자체를 사용하거나, 상기 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조되는 솔더 분말 또는 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조되는 솔더 분말에 일반 솔더 분말을 혼합한 혼합 분말을 사용하는 단계이다.The solder powder or mixed powder use step (S300) may be a solder powder prepared by the solder powder production method according to the first embodiment (produced by pulverizing a nano multilayered plating layer formed by the electrolytic plating method) or a solder powder according to the second embodiment The solder powder itself produced by the manufacturing method (manufactured by forming the nano multilayer plating layer on the surface of the commercial solder) or the solder powder produced by the solder powder production method according to the first embodiment or the second embodiment And the solder powder produced by the solder powder manufacturing method according to the present invention is mixed with a general solder powder.

바인더 및 플럭스 첨가 단계(S310)는 솔더 분말 또는 혼합 분말에 도금 대상물과 분말을 고정시켜 주는 바인더(binder)와 상기 도금 대상물 및 분말의 산화를 막아주기 위한 플럭스(flux)가 첨가되는 단계이다.The binder and flux adding step S310 is a step of adding a binder for fixing the object to be plated and the powder to the solder powder or the mixed powder and a flux for preventing the oxidation of the object to be plated and the powder.

결국, 본 발명에 따른 솔더 페이스트 제조 방법은 다층 나노 도금층 분말의 저온 접합 특성을 솔더 페이스트에 적용할 때 다층 나노 도금층 분말만을 사용할 수 있으며, 또한 상용 솔더 분말과 다층 나노 도금층 분말을 혼합함으로써 유사한 저온접합을 기대할 수 있으며, 전체 분말대비 나노 적층 분말의 비율감소로 가격을 더욱 낮출 수 있다. 페이스트를 제조하기 위해서는 기판과 분말을 고정시켜주는 바인더와 기판 및 분말의 산화를 막아주기 위한 플럭스가 첨가되어야 한다. 바인더 및 플럭스는 저온 접합공정 시 분해되어야 하므로 열분해성이 우수한 물질로 구성되어야 한다.As a result, the solder paste manufacturing method according to the present invention can use only the multilayer nano-plated layer powder when the low-temperature bonding properties of the multilayer nano-plated layer powder are applied to the solder paste. Also, by mixing the commercial solder powder and the multilayer nano- And the price can be further lowered by reducing the ratio of the nano-laminated powder to the total powder. In order to manufacture the paste, a binder for fixing the substrate and the powder and a flux for preventing the oxidation of the substrate and the powder should be added. Binders and fluxes should be composed of materials that are highly pyrolytic because they must be degraded during the low temperature bonding process.

그리고 상기 페이스트에 사용되는 금속 분말은 상기 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조되는 솔더 분말로, 상기 전해도금법에 의해 형성된 나노 다층 도금층을 분쇄하여 제조된 솔더 분말 또는 상기 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조되는 솔더 분말로, 상용 솔더의 표면에 나노 다층 도금층을 형성하여 제조된 솔더 분말만으로 이루어지거나, 일반 금속 분말에 상기 나노 다층 도금층 분말을 10% 이상 혼합한 분말이 적용될 수 있다.The metal powder used in the paste is a solder powder produced by the solder powder production method according to the first embodiment. The solder powder prepared by pulverizing the nano-multilayered plating layer formed by the electrolytic plating method, Or solder powder prepared by forming a nano-multilayer plating layer on the surface of a commercial solder, or a powder obtained by mixing at least 10% of the nano-multilayer plating layer powder with a general metal powder Can be applied.

그리고 본 발명에 따른 솔더 페이스트 제조 방법은 패키징에서 사용되는 솔더 페이스트를 대체함으로써 저온 공정이 가능하게 된다. 이것으로 솔더링에서 발생하는 기판의 열에 의한 손상이나 불량을 줄일 수 있고, 또한 저온에서 진행되므로 에너지 절감에 기여한다. The solder paste manufacturing method according to the present invention replaces the solder paste used in the packaging, thereby enabling a low-temperature process. This can reduce the damage or badness of the substrate due to the soldering which is caused by the soldering, and it also proceeds at a low temperature, thereby contributing to energy saving.

<실시예 1>&Lt; Example 1 >

본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트 제조 방법에 의해 다음과 같은 실시예 1을 구현할 수 있다.The following Embodiment 1 can be implemented by the solder paste manufacturing method according to the first embodiment of the present invention.

가. 위 방법으로 제조된 나노 적층 솔더 분말(Sn-Cu)을 그대로 사용하거나 일반 솔더 분말(예: Sn, SAC305, SAC105)와 혼합한다.end. The nano-laminated solder powder (Sn-Cu) prepared by the above method may be used as is or mixed with general solder powder (eg Sn, SAC305, SAC105).

나. 페이스트 특성을 나타내기 위해 바인더 및 플럭스를 혼합하여 페이스트를 제조한다. 사용하는 바인더 및 플럭스는 접합이 이루어지는 온도에서 완전히 열분해가 일어나는 물질을 사용하는 것이 좋다. I. A paste is produced by mixing the binder and the flux to exhibit the paste characteristics. The binder and the flux to be used are preferably made of a material which is completely pyrolyzed at the temperature at which the bonding is carried out.

도 11에는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법이 블록도로 도시되어 있고, 도 12에는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법에서 나노 도금층 분말과 일반 솔더와의 혼합한 페이스트를 사용하여 접합한 상태가 개략도로 도시되어 있고, 도 13에는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법에서 나노 도금층 분말만을 사용하여 접합한 상태가 개략도로 도시되어 있으며, 도 14에는 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법 구현시 나노 도금층 두께가 각각 50nm인 Sn-Cu 나노 다층 도금 DSC 분석결과를 나타낸 그래프가 나타나 있다.FIG. 11 is a block diagram showing a low temperature bonding method using a solder paste according to the first embodiment of the present invention. FIG. 12 is a cross-sectional view showing a method of bonding a nano plated layer powder and a solder paste in a low temperature bonding method using solder paste according to the first embodiment of the present invention. 13 is a schematic view showing a state of bonding using a paste mixed with general solder. Fig. 13 shows a state in which only the nano-plated layer powder is bonded in the low temperature bonding method using the solder paste according to the first embodiment of the present invention And FIG. 14 is a graph showing the results of Sn-Cu nano-multilayer plating DSC analysis of nano-plated layers each having a thickness of 50 nm when implementing the low-temperature bonding method using the solder paste according to the first embodiment of the present invention.

이들 도면에 의하면, 본 발명의 제1 실시예에 의한 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법은 솔더 분말 또는 솔더 페이스트의 제1 및 제2 피접합물의 사이 도포 단계(S400), 제1 및 제2 피접합물 가열 단계(S410) 및 저온 접합 단계(S420)를 포함한다.According to these drawings, the low temperature bonding method using the solder paste according to the first embodiment of the present invention includes a step S400 of applying solder powder or a solder paste between the first and second materials to be bonded (S400) Water heating step S410 and a low temperature bonding step S420.

솔더 분말 또는 솔더 페이스트의 제1 및 제2 피접합물의 사이 도포 단계(S400)는 다층 나노 도금층 분말이나 페이스트를 제1, 2 피접합물(430, 440) 사이에 도포하는 단계이다. The step of applying the solder powder or the solder paste between the first and second members to be bonded (S400) is a step of applying a multilayer nano-plating layer powder or paste between the first and second members 430 and 440.

즉, 상기 솔더 분말 또는 솔더 페이스트의 제1 및 제2 피접합물의 사이 도포 단계(S400)는 상기 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조되는 솔더 분말(도 14 참조) 또는 상기 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조되는 솔더 분말(도 13 참조)을 사용하거나, 상기 제1, 2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조되는 솔더 분말에 의해 제조된 솔더 페이스트를 제 1 및 제 2 피접합물(430, 440)의 접합면의 사이에 도포하는 단계이다.That is, the step (S400) of applying the solder powder or the solder paste between the first and second members to be bonded may be performed by the solder powder (see FIG. 14) produced by the solder powder manufacturing method according to the first embodiment, The solder paste prepared by the solder powder manufacturing method according to the embodiment (see Fig. 13) or the solder paste produced by the solder powder manufacturing method according to the first and second embodiments can be used as the solder paste 1 and the joining surfaces of the second members to be joined 430, 440.

이때, 상기 제1 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조되는 솔더 분말은 전해도금법에 의해 형성된 나노 다층 도금층을 분쇄하여 제조된 솔더 분말(450)이고, 상기 제2 실시예에 의한 솔더 분말 제조 방법에 의해 제조되는 솔더 분말은 상용 솔더(460)의 표면에 나노 다층 도금층을 형성하여 제조된 솔더 분말(450)을 말한다.At this time, the solder powder produced by the solder powder manufacturing method according to the first embodiment is the solder powder 450 produced by pulverizing the nano multi-layered plating layer formed by the electrolytic plating method. In the solder powder manufacturing method according to the second embodiment, Method refers to solder powder 450 produced by forming a nano-multilayer plating layer on the surface of commercial solder 460.

여기서, 상기 제 1 및 제 2 피접합물(430, 440)은 금속, 세라믹 및 고분자재료를 포함하는 고체형태의 피접합체 등이 이에 접목된다.Here, the first and second materials 430 and 440 are bonded to a solid body in the form of a metal, a ceramic, and a polymer material.

제1 및 제2 피접합물 가열 단계(S410)는 상기 제 1 및 제 2 피접합물(430, 440)을 저온에서 가열하는 단계이다.The first and second materials to be joined are heated (S410) by heating the first and second materials 430 and 440 at a low temperature.

저온 접합 단계(S420)는 다층 도금막들의 상호 반응에 의해 제 1 및 제 2 피접합물(430, 440)이 저온에서 접합층을 통해 접합되는 단계이다.The low-temperature bonding step (S420) is a step in which the first and second materials 430 and 440 are bonded through the bonding layer at a low temperature by mutual reaction of the multilayer plating films.

즉, 본 발명에 의한 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법은 표면 산화층이 발생하지 않는 재료이거나 페이스트로 제조하여 접합온도에서 사용 가능한 용제(flux)를 사용할 경우 리플로우 머신이나 핫플레이트 등 대기 중에서의 접합이 가능하다. That is, the low-temperature bonding method using the solder paste according to the present invention is a method in which a surface oxidation layer is not formed, or when a flux that can be used at a bonding temperature is used as a paste and is used as a reflowing machine or a hot plate, It is possible.

그리고 분말만을 사용하여 접합 시 표면의 산화막 생성을 억제하기 위해 진공 분위기에서 가열한다. 가열하는 피크 온도는 DSC를 이용하여 발열반응이 끝나는 부분의 온도로 하였으며 그 이상의 온도에서도 접합이 가능하다. In order to suppress the formation of oxide film on the surface during bonding, it is heated in a vacuum atmosphere using only powder. The peak temperature to be heated is the temperature at the end of the exothermic reaction using DSC, and it is possible to bond even at higher temperatures.

다층 나노 도금층 분말이나 페이스트를 접합 매개물로 사용할 때 온도가 증가함에 따라 나노 도금층이 활성화가 되어 접합이 일어나게 된다.When a multilayer nano-plated layer powder or paste is used as a bonding medium, the nano-plated layer is activated and the bonding occurs as the temperature increases.

본 발명에서는 예로서, 전자패키징 산업에 많이 사용되는 구리를 피접합재로 하였으며, 나노 다층 도금층 솔더 페이스트로 하였다. In the present invention, copper, which is widely used in the electronic packaging industry, is used as a bonding material, and a nano multilayer plating layer solder paste is used.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. This is possible.

그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the described embodiments, but should be determined by the equivalents of the appended claims, as well as the appended claims.

430: 제 1 피접합물
440: 제 2 피접합물
450: 솔더 분말
460: 상용 솔더
430: first bonded member
440: second bonded member
450: solder powder
460: Commercial Solder

Claims (15)

도금 대상물의 표면에 오염물이나 산화물 제거를 위해 전처리하는 단계;
상기 도금 대상물에 전해도금법을 이용하여 나노 다층 도금층을 형성하는 단계;
상기 도금 대상물에 형성된 나노 다층 도금층을 박리하는 단계; 및
상기 박리된 나노 다층 도금층을 분쇄하는 단계를 포함하는 솔더 분말 제조 방법.
Pretreatment for removing contaminants or oxides on the surface of the object to be plated;
Forming a nano-multilayered plating layer on the object to be plated using an electrolytic plating method;
Peeling the nano multilayer plating layer formed on the object to be plated; And
And grinding the peeled nano multilayer plating layer.
상용 솔더 분말을 바렐 도금장치 내에 반입시키는 단계;
상기 상용 솔더 분말의 표면에 오염물이나 산화물 제거를 위해 전처리하는 단계;
상기 상용 솔더 분말 표면에 나노 다층 도금층을 형성하는 단계;
상기 나노 다층 도금층이 형성된 솔더 분말을 상기 바렐 도금장치에서 반출시키는 단계; 및
상기 반출된 솔더 분말을 세척 및 건조하는 단계를 포함하는 솔더 분말 제조 방법.
Bringing the commercial solder powder into the barrel plating apparatus;
Pretreating the surface of the commercial solder powder to remove contaminants or oxides;
Forming a nano-multilayer plating layer on the surface of the commercial solder powder;
Removing the solder powder formed with the nano multilayered plating layer from the barrel plating apparatus; And
And washing and drying the unloaded solder powder.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 나노 다층 도금층은 두 종류 이상의 원소 혹은 그 합금이 교대로 도금되어 적층된 다층의 금속 분말을 사용하는 솔더 분말 제조 방법.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the nano multilayered plating layer is formed of a multilayer metal powder in which two or more kinds of elements or alloys thereof are alternately plated and laminated.
제1항에 있어서,
상기 나노 다층 도금막은 다층 내 교대로 도금되는 한 층 각각이 0.1㎚에서 100μm 이하 범위의 두께로 형성되는 솔더 분말 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the nano multilayered plating film is formed in a multilayered structure in which each of the alternately plated layers has a thickness ranging from 0.1 nm to 100 탆 or less.
제1항에 있어서,
상기 나노 다층 도금막은 Sn(주석), Cu(구리), Zn(아연), Ni(니켈), Ti(티타늄), V(바나듐), Cr(크롬), Mn(망간), Fe(철), Co(코발트), Ga(갈륨), Ge(저마늄), As(비소), Al(알루미늄), Se(셀레늄), Zr(지르코늄), Nb(나이오븀), Mo(몰리브덴), Tc(테크네튬), Ru(루테늄), Rh(로듐), Pd(팔라듐), Ag(은), Cd(카드뮴), In(인듐), Sb(안티몬), Te(텔루륨), Hf(하프늄), Ta(탄탈륨), W(텅스텐), Re(레늄), Os(오스뮴), Ir(이리듐), Pt(백금), Au(금), Hg(수은), Tl(탈륨), Pb(납), Bi(비스무트), Po(폴로늄) 원소로 이루어진 군에서 둘 이상을 포함하는 금속층인 솔더 분말 제조 방법.
The method according to claim 1,
The nano multilayered plating film may be formed of at least one of Sn (tin), Cu (copper), Zn (zinc), Ni (nickel), Ti (titanium), V (vanadium), Cr (chromium) (Molybdenum), Tc (technetium), Co (cobalt), Ga (gallium), Ge (germanium), As (arsenic), Al ), Ru (ruthenium), Rh (rhodium), Pd (palladium), Ag (silver), Cd (cadmium), In (indium), Sb (antimony) Tantalum), W (tungsten), Re (rhenium), Os (osmium), Ir (iridium), Pt (platinum), Au (gold), Hg (mercury) Bismuth), Po (polonium), and the like.
제5항에 있어서,
상기 나노 다층 도금막은 각각 다른 금속층이 2층 이상 적층되는 솔더 분말 제조 방법.
6. The method of claim 5,
Wherein the nano multilayered plated film is formed by laminating two or more different metal layers.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 솔더 분말은 볼 밀(ball mill)법을 포함하는 분쇄방법 또는 바렐 (barrel) 도금법에 의해 형성되는 솔더 분말 제조 방법.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the solder powder is formed by a pulverization method including a ball mill method or a barrel plating method.
전해 도금법에 의해 형성된 나노 다층 도금층을 분쇄하여 제조된 솔더 분말 또는 바렐 도금법에 의해 상용 솔더의 표면에 나노 다층 도금층을 형성하여 제조된 솔더 분말 자체를 사용하거나, 상기 솔더 분말에 일반 솔더 분말을 혼합 사용하는 단계; 및
상기 솔더 분말 또는 상기 혼합 분말에 도금 대상물과 분말을 고정시켜 주는 바인더와 상기 도금 대상물 및 분말의 산화를 막아주기 위한 플럭스가 첨가되는 단계를 포함하는 솔더 페이스트 제조 방법.
A solder powder prepared by pulverizing a nano-multilayer plating layer formed by electrolytic plating or a solder powder prepared by forming a nano-multilayer plating layer on the surface of a commercial solder by barrel plating, or using a solder powder mixed with the solder powder ; And
A binder for fixing the object to be plated and the powder to the solder powder or the mixed powder, and a flux for preventing oxidation of the object to be plated and the powder are added.
제7항에 있어서,
상기 페이스트에 사용되는 금속 분말은 상기 전해도금법에 의해 형성된 나노 다층 도금층을 분쇄하여 제조된 솔더 분말 또는 상용 솔더의 표면에 나노 다층 도금층을 형성하여 제조된 솔더 분말만으로 이루어지거나, 일반 금속 분말에 상기 나노 다층 도금층 분말을 10% 이상 혼합한 분말인 솔더 페이스트 제조 방법.
8. The method of claim 7,
The metal powder used for the paste may be composed of solder powder prepared by pulverizing a nano-multilayered plating layer formed by the electrolytic plating method or solder powder prepared by forming a nano-multilayered plating layer on the surface of commercial solder, A method for producing a solder paste which is a powder obtained by mixing 10% or more of multi-layered plated layer powders.
제7항에 있어서,
상기 나노 다층 도금층은 두 종류 이상의 원소 혹은 그 합금이 교대로 도금되어 적층된 다층의 금속 분말을 사용하는 솔더 페이스트 제조 방법.
8. The method of claim 7,
Wherein the nano multilayered plated layer is a multilayered metal powder in which two or more kinds of elements or alloys thereof are alternately plated and laminated.
제7항에 있어서,
상기 나노 다층 도금막은 다층 내 교대로 도금되는 한 층 각각이 0.1㎚에서 100μm 이하 범위의 두께로 형성되는 솔더 페이스트 제조 방법.
8. The method of claim 7,
Wherein each of the nano-multilayer plating films has a thickness in a range from 0.1 nm to 100 m or less, each of the alternately plated layers being multilayered.
제7항에 있어서,
상기 나노 다층 도금막은 Sn(주석), Cu(구리), Zn(아연), Ni(니켈), Ti(티타늄), V(바나듐), Cr(크롬), Mn(망간), Fe(철), Co(코발트), Ga(갈륨), Ge(저마늄), As(비소), Al(알루미늄), Se(셀레늄), Zr(지르코늄), Nb(나이오븀), Mo(몰리브덴), Tc(테크네튬), Ru(루테늄), Rh(로듐), Pd(팔라듐), Ag(은), Cd(카드뮴), In(인듐), Sb(안티몬), Te(텔루륨), Hf(하프늄), Ta(탄탈륨), W(텅스텐), Re(레늄), Os(오스뮴), Ir(이리듐), Pt(백금), Au(금), Hg(수은), Tl(탈륨), Pb(납), Bi(비스무트), Po(폴로늄) 원소로 이루어진 군에서 둘 이상을 포함하는 금속층인 솔더 페이스트 제조 방법.
8. The method of claim 7,
The nano multilayered plating film may be formed of at least one of Sn (tin), Cu (copper), Zn (zinc), Ni (nickel), Ti (titanium), V (vanadium), Cr (chromium) (Molybdenum), Tc (technetium), Co (cobalt), Ga (gallium), Ge (germanium), As (arsenic), Al ), Ru (ruthenium), Rh (rhodium), Pd (palladium), Ag (silver), Cd (cadmium), In (indium), Sb (antimony) Tantalum), W (tungsten), Re (rhenium), Os (osmium), Ir (iridium), Pt (platinum), Au (gold), Hg (mercury) Bismuth), Po (polonium), and the like.
제12항에 있어서,
상기 나노 다층 도금막은 각각 다른 금속층이 2층 이상 적층되는 솔더 페이스트 제조 방법.
13. The method of claim 12,
Wherein the nano multilayer plating film is formed by laminating two or more different metal layers.
전해도금법에 의해 형성된 나노 다층 도금층을 분쇄하여 제조된 솔더 분말 또는 상용 솔더의 표면에 나노 다층 도금층을 형성하여 제조된 솔더 분말을 사용하거나, 상기 솔더 분말에 의해 제조된 솔더 페이스트를 제 1 및 제 2 피접합물의 접합면의 사이에 도포하는 단계;
상기 제 1 및 제 2 피접합물을 저온에서 가열하는 단계; 및
상기 다층 도금막들의 상호 반응에 의해 저온에서 접합되는 단계를 포함하는 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법.
A solder powder prepared by pulverizing a nano-multilayer plating layer formed by electrolytic plating or a solder powder prepared by forming a nano-multilayer plating layer on the surface of commercial solder, or the solder paste prepared by the solder powder may be used as first and second Between the bonding surfaces of the materials to be bonded;
Heating the first and second members to be bonded at a low temperature; And
Wherein the low temperature bonding is performed at a low temperature by mutual reaction of the multilayer plating films.
제14항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 피접합물은 금속, 세라믹 및 고분자재료를 포함하는 고체형태의 피접합체인 솔더 페이스트를 이용한 저온 접합 방법.




15. The method of claim 14,
Wherein the first and second materials to be bonded are solid materials in the form of a body including a metal, a ceramic and a polymer material.




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