KR20150118228A - Parallel beam optic device for X-ray - Google Patents

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KR20150118228A
KR20150118228A KR1020140043439A KR20140043439A KR20150118228A KR 20150118228 A KR20150118228 A KR 20150118228A KR 1020140043439 A KR1020140043439 A KR 1020140043439A KR 20140043439 A KR20140043439 A KR 20140043439A KR 20150118228 A KR20150118228 A KR 20150118228A
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metal plates
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KR1020140043439A
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박병훈
조형욱
천권수
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대구가톨릭대학교산학협력단
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Abstract

The present invention relates to a collimated beam optical element for X-rays. The collimated beam optical element comprises: a plurality of thin metal plates manufactured with a thickness of hundreds of micrometer which are arranged in parallel and stacked inside a main body in a form of a hollow cylinder (for example, a hollow hexahedron) whose front side portion, rear side portion, and upper side portion are opened, while maintaining predetermined intervals from each other; and slits through which X-rays pass, formed between the metal plates as a plurality of thin auxiliary metal plates with a thickness of hundreds of micrometer are stacked on the edges of both sides of the metal plate and maintain intervals between the metal plates. As the present invention comprises the metal plates and the auxiliary metal plates stacked in the man body, and forms the slits, through which X-rays pass, between the metal plates, the collimated beam optical element is capable of improving the degree of parallelization of incident X-rays by minimizing errors occurring during assembling and manufacturing processes, when compared to a conventional technology which is to make a plurality of grooves at regular intervals of hundreds of micrometer on the left and right sides of the main body to maintain predetermined intervals between the metal plates. Specifically, the present invention is capable of controlling the degree of parallelization of incident X-rays by changing the thickness of the auxiliary metal plates, and of reducing manufacturing cost since it is unnecessary to form a plurality of grooves as in the conventional technology.

Description

엑스선용 평행빔 광학소자{Parallel beam optic device for X-ray}[0001] The present invention relates to a parallel beam optical device for X-

본 발명은 엑스선(X-ray)용 평행빔 광학소자에 관한 것이며, 더욱 상세히는 입사되는 엑스선의 평행도를 오차를 최소화하면서 용이하게 조정하고 일정하게 유지시킬 수 있는 엑스선용 평행빔 광학소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a parallel beam optical element for X-ray, and more particularly, to a parallel beam optical element for X-ray which can easily adjust and maintain the parallelism of an incident X- .

오늘날 엑스선(X-ray)은 많은 분야에서 사용되고 있다.Today, X-rays are used in many fields.

엑스선 영상촬영장치, 컴퓨터 단층촬영장치 등이 의료 분야에서 사용되고 있고, 엑스선 회절분석기, 엑스선 형광분석기, 엑스선 분광분석기 등이 산업 분야에서도 광범위하게 쓰이고 있다.X-ray imaging apparatus, and computerized tomography apparatus are used in the medical field, and X-ray diffractometer, X-ray fluorescence analyzer, X-ray spectrometer and the like are widely used in industry.

엑스선을 이용한 물질의 분석법은 비파과적으로 물질을 정성적, 정량적으로 분석할 수 있기 때문에 그 적용분야가 점점 늘어나고 있다.The application of X-ray analysis method is increasingly applied because it can analyze qualitatively and quantitatively materials.

그 중 엑스선 회절 분석법은 시료의 격자상수, 결정화 정도, 결정립 크기 및 변형 등의 정보를 분석할 수 있으며, 고체, 분말, 판상 등 다양한 시료에 대해 정성 또는 정량적으로 분석할 수 있다.Among them, X-ray diffraction analysis can analyze information such as lattice constant, crystallization degree, grain size and deformation of sample, and can analyze qualitatively or quantitatively various samples such as solid, powder, and plate.

엑스선 회절분석은 파장이 일정하고 평행한 엑스선을 시료에 조사하여 시료속에 포함된 결정 입자의 격자간격(d)과 시료에 입사되는 엑스선의 파장과 각도(θ) 사이에 브래그 조건(nλ=2sinθ, n=정수)을 만족하는 엑스선만이 회절되는 현상을 이용하는 기법이다. 엑스선 회절분석의 정밀도는 엑스선 회절분석기의 기계적인 정밀도, 입사 엑스선의 단일 파장성과 빔의 평행도에 의해 결정된다.X-ray diffraction analysis was carried out by irradiating a sample with a constant and parallel wavelength of X-ray and determining Bragg conditions (nλ = 2 sin θ, θ) between the lattice spacing (d) of the crystal grains contained in the sample and the wavelength and angle n = integer) is used. The accuracy of the x-ray diffraction analysis is determined by the mechanical precision of the x-ray diffractometer, the single wavelength of the incident x-ray and the parallelism of the beam.

도 1은 엑스선 회절분석기(X-ray diffractometer)(10)의 구성을 나타낸 실시예이다.FIG. 1 is an embodiment showing the construction of an X-ray diffractometer 10.

도 1을 참조하면, 엑스선 튜브 광원(11)으로부터 나온 콘빔(cone beam) 모양의 엑스선은 콜리메이터(12)를 통과하면서 팬빔(fan beam) 모양으로 제한되어 포물선 기반의 다층박막 거울(13)을 지나면서 반사되어 단색의 평행빔(parallel beam)으로 전환된다. 그러나, 엑스선 튜브 광원(11)은 초점이 유한하기 때문에 상기 포물선 기반의 다층박막 거울(13)을 지나면서 반사되는 평행한 단색빔은 평행도가 상당히 떨어지는 빔들을 포함하게 되는데, 이 단색빔이 평행빔 광학소자(14)를 통과하며 평행도가 높은 빔만이 시료(15)에 조사되며, 시료(15)로부터 나오는 빔 역시 평행도가 떨어지는 단색빔이 평행빔 광학소자(14)에 의해 제거되고 평행도가 높은 빔만이 통과하여 검출기(16)에서 검출되고 컴퓨터를 이용하여 분석된다.1, an X-ray beam in the form of a cone beam emerging from an X-ray tube light source 11 passes through a collimator 12 and is restricted to a fan beam shape and passes through a parabolic-based multilayer thin film mirror 13 And is converted into a monochromatic parallel beam. However, since the x-ray tube light source 11 has a finite focal length, the parallel monochromatic beam reflected through the parabolic-based multilayer thin-film mirror 13 includes beams whose parallelism is significantly lowered, Only a beam having a high degree of parallelism passing through the optical element 14 is irradiated onto the sample 15 and the beam emitted from the specimen 15 is also removed by the parallel beam optical element 14 and the beam having a high degree of parallelism Is detected by the detector 16 and analyzed using a computer.

한편, 엑스선 형광분석법은 비파괴적으로 물질을 구성하고 있는 성분과 양을 측정할 수 있고, 분석하고자 하는 시료에 일정 에너지 이상을 가지는 엑스선을 조사하고 시료에서 방출되는 특성 엑스선의 에너지 또는 파장을 측정하여 분석하는 방법이다.On the other hand, X-ray fluorescence analysis can measure the constituents and amounts constituting a substance in a non-destructive manner, irradiate an X-ray having a certain energy or more to a sample to be analyzed, and measure energy or wavelength of a characteristic X-ray emitted from the sample It is a method of analysis.

엑스선 형광분석기는 시료에서 방출되는 에너지를 분석하는 에너지 분산형 형광분석기(ED-XRF; Energy Dispersive X-ray Fluorescence Spectrometer)와 파장 분산형 형광분석기(WD-XRF; Wavelength Dispersive X-ray fluorescence spectrometer)가 있다.The X-ray fluorescence spectrometer is an energy dispersive X-ray fluorescence spectrometer (ED-XRF) and a wavelength dispersive X-ray fluorescence spectrometer (WD-XRF) have.

상기 파장 분산형 형광분석기(WD-XRF)는 에너지 분산형 형광분석기(ED-XRF)에 비해 복잡한 구성을 하고 있지만 분해능은 더 높다.The wavelength dispersive fluorescence analyzer (WD-XRF) has a more complicated structure than the energy dispersive fluorescence analyzer (ED-XRF), but has a higher resolution.

도 2는 파장 분산형 형광분석기(WD-XRF)(20)의 구성을 나타낸 실시예이다.Fig. 2 shows an embodiment showing the configuration of a wavelength dispersive fluorescence analyzer (WD-XRF) 20. Fig.

도 2를 참조하면, 엑스선 튜브 광원(21)으로부터 발생되는 엑스선이 분석하고자 하는 시료(22)에 조사되며, 시료(22)로부터 나오는 빔 중 발산하는 빔이 평행빔 광학소자(23)를 통과하면서 평행도가 높은 빔만 통과되어 포물선 기반의 다층박막 거울(24)을 지나면서 반사되어 엑스선 분석기(25)로 입사된다.2, an X-ray generated from an X-ray tube light source 21 is irradiated onto a specimen 22 to be analyzed, and a beam of a beam emitted from the specimen 22 passes through a parallel beam optical element 23 Passes through the parabolic-based multilayer thin-film mirror 24, is reflected, and is incident on the X-ray analyzer 25.

상기 파장 분산형 형광분석기(WD-XRF)(20)에는 분해능과 분석의 정밀도를 향상시키기 위해 평행빔 광학소자(23)와 다층박막 거울(24)이 장착되며 고니어미터(goniometer)를 이용하여 기하학 구조를 제어한다.The parallel-beam optical element 23 and the multilayer thin-film mirror 24 are mounted on the WD-XRF 20 to improve the resolution and the accuracy of the analysis. Using a goniometer, Control the geometry.

상기한 바에서 알 수 있듯이, 종래의 엑스선 회절분석기(10)나 엑스선 형광분석기(20)에서 엑스선 튜브 광원(11,21)을 사용하는 경우에는, 엑스선 튜브 광원(11,21)으로부터 발생되는 엑스선이 초점의 크기에 따라 퍼짐이 달라지기 때문에 발생되는 엑스선은 평행하지 않는 빔들이 많이 발생하며, 이는 분석하고자 하는 물질에 부정확한 정보를 주기 때문에 분석의 정밀도를 떨어뜨린다. 따라서, 상기와 같이 평행빔 광학소자(14,23)를 이용하여 발산하는 빔을 제거하여 분석의 정밀도를 향상시킬 필요가 있다.As can be seen from the above description, when the X-ray tube light sources 11 and 21 are used in the conventional X-ray diffraction analyzer 10 or X-ray fluorescence analyzer 20, the X- Because the spread depends on the magnitude of the focal spot, the generated x-rays have many non-parallel beams, which gives inaccurate information to the material to be analyzed, which reduces the accuracy of the analysis. Therefore, it is necessary to improve the accuracy of the analysis by removing the beam diverging by using the parallel beam optical elements 14 and 23 as described above.

상기한 바와 같은 평행빔 광학소자(14,23)는 얇은 금속판(예컨대, 구리, 스테인리스 스틸, 강화 스틸 등으로 만든 금속판)을 평행하게 규칙적으로 배열한 것이며, 광축에서 정해진 각도를 벗어나는 빔들은 얇은 금속판에 의해 흡수되어 제거된다.The parallel beam optical elements 14 and 23 as described above are regularly arranged in parallel in a thin metal plate (for example, a metal plate made of copper, stainless steel, or reinforced steel), and the beams deviating from the predetermined angle in the optical axis, And is then removed.

상기한 평행빔 광학소자(14,23)는 금속판 사이의 간격(d)과 길이(L)에 따라 평행도가 결정되며, 도 3은 상기한 평행빔 광학소자(14,23)의 얇은 금속판의 배치 구조를 나타낸 실시예이고, 평행도(θ)는 하기의 수학식 1로 결정된다.The parallel beam optical elements 14 and 23 are determined in accordance with the distance d and the length L between the metal plates. FIG. 3 shows the arrangement of the thin metal plates 14 and 23 of the parallel beam optical elements 14 and 23 Structure, and the degree of parallelism? Is determined by the following equation (1).

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 수학식 1에서 알 수 있듯이, 상기한 평행빔 광학소자(14,23)의 평행도는 금속판 사이의 간격(d)이 작으면 작을수록, 금속판의 길이(L)가 길어지면 길어질수록 향상된다.As can be seen from Equation (1), the parallelism of the parallel beam optical elements 14 and 23 is improved as the distance d between the metal plates is smaller and as the length L of the metal plate is longer.

다른 한편, 본 출원인(혹은 발명자)는 비특허문헌1에 게재된 바와 같이, 금속판을 알루미늄 재질의 본체의 내부 좌우측면에 형성된 홈에 삽입하여 고정하여 금속판 사이의 간격을 유지하도록 제작한 엑스선용 평행빔 광학소자를 개발한 바가 있다.On the other hand, as disclosed in Non-Patent Document 1, the present applicant (or inventor) has proposed a method of forming a parallel plate for X-ray, which is made by inserting a metal plate into a groove formed on the inner left and right sides of the aluminum body, A beam optical element has been developed.

도 4 내지 도 5는, 각각 비특허문헌1에 게재된 종래의 엑스선용 평행빔 광학소자의 구성을 나타낸 사시도 및 분해 사시도이다.Figs. 4 to 5 are a perspective view and an exploded perspective view showing the structure of a conventional parallel beam optical element for X-ray, which is disclosed in Non-Patent Document 1, respectively.

도 4 내지 도 5를 참조하면, 종래의 엑스선용 평행빔 광학소자(30)는 본체(31)와 한 쌍의 윈도우 프레임(32), 및 상기 본체(31)의 내부에 서로 정해진 간격을 유지하면서 평행하게 배열되어 고정되는 다수의 금속판(33)으로 구성된다.4 to 5, a conventional X-ray collimated beam optical element 30 includes a main body 31, a pair of window frames 32, and a main body 31, And a plurality of metal plates 33 arranged and fixed in parallel.

상기 본체(31)는 전면부와 배면부가 개방되어 관통하는 알루미늄 재질의 중공형 통체(예컨대, 중공형 육면체)이며, 내부 좌우측면에 상기 금속판(33)들이 서로 정해진 간격을 유지하면서 삽입되어 고정되는 다수의 홈(31a)이 정해진 깊이로 형성되어 상기 금속판(33)과 금속판(33)의 사이에 엑스선이 통과하는 슬릿(slit)을 형성한다.The main body 31 is an aluminum hollow cylinder (for example, a hollow hexahedron) through which the front portion and the back portion are opened. The metal plates 33 are inserted and fixed to the left and right sides of the main body 31, A plurality of grooves 31a are formed at a predetermined depth to form a slit through which the X-ray passes between the metal plate 33 and the metal plate 33. [

상기 한 쌍의 윈도우 프레임(32)은 상기 본체(31)의 정면부와 배면부에 각각 장착되어 상기 금속판(33)들을 상기 본체(31) 내부에 고정하며, 엑스선이 입사되는 정해진 폭과 높이의 정면 윈도우와 엑스선이 방출되는 정해진 폭과 높이의 배면 윈도우를 형성한다.The pair of window frames 32 are mounted on the front and rear portions of the main body 31 to fix the metal plates 33 inside the main body 31. The front and rear portions of the window frame 32 have a predetermined width and height, Forms a rear window of defined width and height with window and x-ray emission.

상기 한 쌍의 윈도우 프레임(32)은 상기 본체(31)의 전면부와 배면부 모퉁에 형성된 나사 홈(31b)과 이 본체(31)의 나사 홈(31b)과 연통하도록 상기 한 쌍의 윈도우 프레임(32)에 형성된 나사 구멍(32a)을 관통하여 체결되는 나사(34)에 의해 상기 본체(31)에 고정된다.The pair of window frames 32 includes a screw groove 31b formed in the front and rear corners of the body 31 and a pair of window frames 31a and 31b communicating with the screw groove 31b of the body 31. [ 32 are fixed to the main body 31 by a screw 34 which is inserted through a screw hole 32a formed in the main body 31. [

상기 금속판(33)은 정해진 폭과 길이 및 두께를 가지며, 구리, 스테인리스 스틸, 강화 스틸 등으로 텅스텐 와이어 컷(wire cut) 공정을 사용하여 제작된다.The metal plate 33 has a predetermined width, length and thickness, and is manufactured using a tungsten wire cut process using copper, stainless steel, hardened steel, or the like.

예컨대, 상기한 종래의 엑스선용 평행빔 광학소자(30)는 폭과 길이 및 두께가 각각 30mm와 50mm 및 0.3mm인 스테인리스 스틸 금속판(33)들을 정면 윈도우와 배면 윈도우 각각의 폭과 높이가 각각 30mm와 20mm인 알루미늄 재질의 본체(31)의 내부 좌우측면에 형성된 2.0mm 깊이의 홈(31a)에 끼워 고정하여 금속판(33) 사이의 간격이 0.3mm가 되도록 제작할 수 있다.For example, the conventional X-ray collimated beam optical element 30 described above has stainless steel metal plates 33 having width, length, and thickness of 30 mm, 50 mm, and 0.3 mm, respectively, in width and height of 30 mm And the groove 31a formed on the right and left sides of the inner surface of the body 31 made of aluminum having a thickness of 20 mm, so that the interval between the metal plates 33 is 0.3 mm.

상기한 규격으로 제작한 종래의 엑스선용 평행빔 광학소자(30)를 50kVp, 200mA, 0.25sec의 조건에서 엑스선 광원과 1000mm 거리를 둔 검출기(image plate) 사이에 배치하여 평행도를 측정한 결과 평행도는 6.6mrad으로 확인되었다.As a result of measuring the parallelism between the conventional X-ray parallel beam optical element 30 manufactured by the above-described standard and an image plate having a distance of 1000 mm from the X-ray light source under the conditions of 50 kVp, 200 mA and 0.25 sec, 6.6 mrad.

상기와 같이 제작되는 종래의 엑스선용 평행빔 광학소자(30)는 다음과 같은 단점이 있다.The conventional X-ray parallel beam optical element 30 manufactured as described above has the following disadvantages.

첫째로, 상기 금속판(33) 사이를 정해진 간격으로 유지하기 위하여 상기 본체(31)의 내부 좌우측면에 다수의 홈(31a)을 가공할 때 발생하는 오차에 비례하여 평행도가 저하되는 구조적인 단점이 있다.First, there is a structural disadvantage that parallelism is reduced in proportion to an error occurring when a plurality of grooves 31a are machined on the left and right inner sides of the main body 31 in order to maintain a predetermined distance between the metal plates 33 have.

둘째로, 상기 홈(31a)을 와이어 컷(wire cut) 공정을 사용하여 수백 마이크로미터(㎛)의 균일한 간격으로 형성하기 때문에 제작비가 비싸다는 단점이 있다.Second, since the grooves 31a are formed at uniform intervals of several hundreds of micrometers (m) using a wire cut process, the production cost is high.

셋째로, 상기 금속판(33)을 와이어 컷(wire cut) 공정을 사용하여 수백 마이크로미터(㎛)의 두께로 얇게 제작하기 때문에 상기 금속판(33)을 홈(31a)에 삽입할 때 가해지는 물리적인 힘에 의해 상기 금속판(33)이 쉽게 휘어지게 되고, 그 결과로 평행도가 저하되는 단점이 있다.Thirdly, since the metal plate 33 is thinly formed to a thickness of several hundreds of micrometers (탆) using a wire cut process, the physical property of the metal plate 33 when the metal plate 33 is inserted into the groove 31a The metal plate 33 is easily bent by the force, and as a result, the parallelism is lowered.

넷째로, 상기 금속판(33)이 상기 홈(31a)에 삽입될 때의 마찰에 의해서도 상기 금속판(33)이 휘게 되므로 이를 방지하기 위하여 상기 홈(31a)을 가공할 때 공차를 두어야 하며, 그 결과로 평행도 향상에 제약이 따르는 단점이 있다.Fourth, since the metal plate 33 is bent by the friction when the metal plate 33 is inserted into the groove 31a, it is necessary to provide a tolerance when machining the groove 31a in order to prevent it, There is a drawback that there is a restriction in improving the parallelism.

"엑스선용 평행빔 광학소자 개발 및 평가", 한국방사선확회, Vol.6, No.6, p477-481(2012년 12월 31일 출판) "Development and Evaluation of Parallel Beam Optical Element for X-ray ", Korean Radiation Seeking Association, Vol.6, No.6, p477-481 (published on December 31, 2012)

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 전면부와 배면부 및 상면부가 개방되어 있는 중공형 통체(예컨대, 중공형 육면체)로 된 본체 내부에 수백 마이크로미터(㎛)의 두께로 얇게 제작된 금속판들이 서로 정해진 간격을 유지하면서 평행하게 배열되어 적층되고, 수백 마이크로미터(㎛)의 두께로 얇게 제작된 보조 금속판들이 상기 금속판의 양측 가장자리에 적층되어 상기 금속판과 금속판 사이의 간격을 유지함으로써 상기 금속판과 금속판의 사이에 엑스선이 통과하는 슬릿(slit)을 형성하는 엑스선용 평행빔 광학소자를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a hollow cylinder (for example, a hollow hexahedron) in which a front part, a rear part, The auxiliary metal plates which are thinly formed to a thickness of several hundred micrometers (占 퐉) are laminated on both side edges of the metal plate, and the metal plate and the metal plate And a slit through which the X-ray passes is formed between the metal plate and the metal plate by maintaining a gap between the metal plate and the metal plate.

본 발명의 다른 목적은 상기 본체의 상면부를 덮는 상부 덮개가 상기 본체 내부에 적층된 상기 금속판들을 정해진 힘으로 눌러 고정하는 엑스선용 평행빔 광학소자를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a parallel beam optical element for X-ray, wherein an upper lid covering the upper surface portion of the body pushes the metal plates stacked in the body by a predetermined force.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 엑스선용 평행빔 광학소자는, 전면부와 배면부 및 상면부가 개방되어 있는 중공형 통체로 된 본체 내부에 정해진 두께로 얇게 제작된 금속판들이 서로 정해진 간격을 유지하면서 평행하게 배열되어 적층되고, 보조 금속판들이 상기 금속판의 양측 가장자리에 적층되어 상기 금속판과 금속판 사이의 간격을 유지함으로써 상기 금속판과 금속판의 사이에 엑스선이 통과하는 슬릿(slit)을 형성하는 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the object of the present invention, the parallel beam optical element for X-ray according to the present invention includes a hollow cylindrical body having a front portion, a rear portion and an upper portion opened, The auxiliary metal plates are stacked on both side edges of the metal plate to maintain a gap between the metal plate and the metal plate so that a slit through which the X-ray passes is formed between the metal plate and the metal plate .

본 발명에 따른 엑스선용 평행빔 광학소자에 있어서, 상기 본체의 상면부를 덮는 상부 덮개가 상기 본체 내부에 적층된 상기 금속판들을 정해진 힘으로 눌러 고정하는 것을 특징으로 한다.In the parallel beam optical element for X-ray according to the present invention, an upper lid that covers the upper surface portion of the main body may press and fix the metal plates stacked in the main body with a predetermined force.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 엑스선용 평행빔 광학소자는, 전면부와 배면부 및 상면부가 개방되어 있는 중공형 통체이며, 내부에 정해진 두께로 얇게 제작된 금속판들이 서로 정해진 간격을 유지하면서 평행하게 배열되어 적층되어 상기 금속판과 금속판의 사이에 엑스선이 통과하는 슬릿(slit)을 형성하는 본체와; 상기 본체의 정면부와 배면부에 각각 장착되어 상기 금속판들을 상기 본체 내부에 적층된 상태로 고정하며, 엑스선이 입사되는 정해진 폭과 높이의 정면 윈도우와 엑스선이 방출되는 정해진 폭과 높이의 배면 윈도우를 형성하는 한 쌍의 윈도우 프레임; 상기 본체의 상면부를 덮어 상기 본체 내부에 적층된 상기 금속판들을 정해진 힘으로 눌러 고정하는 상부 덮개; 정해진 폭과 길이 및 두께를 가지며 와이어 컷(wire cut) 공정을 사용하여 제작되어 상기 본체 내부에 서로 정해진 간격을 유지하면서 평행하게 배열되어 적층되는 금속판; 및 정해진 폭과 길이 및 두께를 가지며 와이어 컷(wire cut) 공정을 사용하여 제작되고, 상기 금속판의 양측 가장자리에 적층되어 상기 금속판과 금속판 사이의 간격을 유지하는 보조 금속판;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the object of the present invention, the parallel beam optical element for X-ray according to the present invention is a hollow cylinder having a front portion, a rear portion and an upper portion opened, and metal plates, A main body which is stacked in parallel while maintaining a predetermined gap and forms a slit through which an X-ray passes between the metal plate and the metal plate; A front window having a predetermined width and height to which the X-ray is incident, and a rear window having a predetermined width and height, in which the X-ray is emitted, are formed on the front and rear portions of the body, respectively, A pair of window frames; An upper cover which covers the upper surface of the main body and presses the metal plates stacked in the main body by a predetermined force; A metal plate having a predetermined width, length and thickness and being manufactured using a wire cut process and being stacked in parallel and arranged in the body while maintaining predetermined intervals therebetween; And an auxiliary metal plate having a predetermined width, length and thickness, which are manufactured using a wire cut process, and which are stacked on both side edges of the metal plate to maintain a gap between the metal plate and the metal plate .

본 발명은 본체에 금속판과 보조 금속판을 적층하여 상기 금속판과 금속판의 사이에 엑스선이 통과하는 슬릿(slit)을 형성하므로, 금속판들이 서로 정해진 간격을 유지하도록 본체 내부 좌우측면에 수백 마이크로미터(㎛)의 균일한 간격으로 다수의 홈을 가공하는 종래의 기술과 비교해 볼 때, 조립 및 제작 과정에서 발생하는 오차를 최소화하여 입사되는 엑스선의 평행도를 개선할 수 있으며, 특히 보조 금속판의 두께를 변화시킴으로써 용이하게 입사되는 엑스선의 평행도를 조정할 수 있고, 종래의 다수의 홈 가공이 필요 없기 때문에 제작비용이 절감되는 장점이 있다.The present invention forms a slit through which an X-ray passes between a metal plate and a metal plate by laminating a metal plate and an auxiliary metal plate on the body, so that the metal plates are spaced a few hundreds of micrometers (탆) It is possible to improve the parallelism of the incident x-rays by minimizing the errors occurring in the assembling and manufacturing process, and in particular, to improve the parallelism of the auxiliary metal plate by changing the thickness of the auxiliary metal plate It is possible to adjust the parallelism of the X-rays incident on the wafer, and the manufacturing cost can be reduced because there is no need to process a plurality of conventional grooves.

도 1은 엑스선 회절분석기의 구성을 나타낸 실시예.
도 2는 엑스선 형광분석기의 구성을 나타낸 실시예.
도 3은 평행빔 광학소자의 얇은 금속판의 배치 구조를 나타낸 실시예.
도 4는 종래의 엑스선용 평행빔 광학소자의 구성을 나타낸 사시도.
도 5는 도 4의 분해 사시도
도 6은 본 발명에 따른 엑스선용 평행빔 광학소자의 구성을 나타낸 사시도.
도 7은 도 6의 분해 사시도.1 is a view showing the configuration of an X-ray diffraction analyzer.
FIG. 2 is a view showing the configuration of an X-ray fluorescence analyzer. FIG.
Fig. 3 shows an arrangement structure of a thin metal plate of a parallel beam optical element. Fig.
4 is a perspective view showing the configuration of a conventional parallel beam optical element for X-ray.
Fig. 5 is an exploded perspective view of Fig.
6 is a perspective view showing a configuration of a parallel beam optical element for X-ray according to the present invention.
7 is an exploded perspective view of Fig.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 6 내지 도 7은, 각각 본 발명에 따른 엑스선용 평행빔 광학소자의 구성을 나타낸 사시도 및 분해 사시도이다.6 to 7 are a perspective view and an exploded perspective view, respectively, showing the configuration of a parallel beam optical element for X-ray according to the present invention.

도 6 내지 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 엑스선용 평행빔 광학소자(100)는 본체(110)와 한 쌍의 윈도우 프레임(120), 상부 덮개(130), 상기 본체(110)의 내부에 서로 정해진 간격을 유지하면서 평행하게 배열되어 적층되는 다수의 금속판(140), 및 상기 다수의 금속판(140)의 사이에 적층되어 상기 금속판(140) 사이의 간격을 유지하는 보조 금속판(150)으로 구성된다.6 to 7, an X-ray parallel beam optical element 100 according to the present invention includes a main body 110, a pair of window frames 120, an upper lid 130, A plurality of metal plates 140 stacked and arranged in parallel while maintaining predetermined intervals between the metal plates 140 and an auxiliary metal plate 150 stacked between the metal plates 140 to maintain a gap between the metal plates 140 .

상기 본체(110)는 전면부와 배면부 및 상면부가 개방되어 있는 알루미늄 재질의 중공형 통체(예컨대, 중공형 육면체)이며, 내부에 상기 금속판(140)들이 서로 정해진 간격을 유지하면서 적층되어 상기 금속판(140)과 금속판(140)의 사이에 엑스선이 통과하는 슬릿(slit)을 형성한다.The main body 110 is an aluminum hollow cylinder (for example, a hollow hexahedron) having a front surface, a back surface and an upper surface opened. The metal plates 140 are laminated while maintaining a predetermined gap therebetween, 140 and the metal plate 140 through the X-ray tube.

상기 한 쌍의 윈도우 프레임(120)은 상기 본체(110)의 정면부와 배면부에 각각 장착되어 상기 금속판(140)들을 상기 본체(110) 내부에 적층된 상태로 고정하며, 엑스선이 입사되는 정해진 폭과 높이의 정면 윈도우와 엑스선이 방출되는 정해진 폭과 높이의 배면 윈도우를 형성한다.The pair of window frames 120 are mounted on the front and rear portions of the main body 110 to fix the metal plates 140 in a stacked state in the main body 110, And a front window of height and a rear window of defined width and height to which x-rays are emitted.

상기 한 쌍의 윈도우 프레임(120)은 상기 본체(110)의 전면부와 배면부 모퉁에 형성된 나사 홈(111)과 이 본체(110)의 나사 홈(111)과 연통하도록 상기 한 쌍의 윈도우 프레임(120)에 형성된 나사 구멍(121)을 관통하여 체결되는 나사(160)에 의해 상기 본체(110)에 고정된다.The pair of window frames 120 includes a screw groove 111 formed in the front and rear corners of the main body 110 and a pair of window frames 111 120 are fixed to the main body 110 by a screw 160 which is inserted through a screw hole 121 formed in the main body 110.

상기 상부 덮개(130)는 상기 본체(110)의 상면부를 덮어 상기 본체(110) 내부에 적층된 상기 금속판(140)들을 정해진 힘으로 눌러 고정한다.The upper lid 130 covers the upper surface of the main body 110 and presses the metal plates 140 stacked in the main body 110 with a predetermined force.

상기 상부 덮개(130)는 상기 본체(110)의 양측 바닥면부의 가장자리 근처에 정해진 간격으로 형성된 다수의 나사 홈(112)과 이 본체(110)의 나사 홈(112)과 연통하도록 상기 상부 덮개(130)의 양측 가장자리 근처에 정해진 간격으로 형성된 나사 구멍(131)을 관통하고 상기 상부 덮개(130)와 상기 본체(110)의 양측 바닥면부 사이에 적층된 상기 금속판(140)과 상기 보조 금속판(150)을 관통하여 체결되는 나사(170)에 의해 상기 본체(110)에 고정된다.The upper lid 130 includes a plurality of screw grooves 112 formed at predetermined intervals near edges of both side bottom portions of the main body 110 and the upper lid 130 communicating with the screw grooves 112 of the main body 110 The metal plate 140 and the auxiliary metal plate 150 which are stacked between the upper cover 130 and the bottom surface portions of both sides of the main body 110 pass through a screw hole 131 formed at predetermined intervals near both side edges of the main body 110, And is fastened to the main body 110 by a screw 170 which is fastened through the main body 110.

상기 본체(110)의 양측 바닥면부의 가장자리 근처에 정해진 간격으로 형성된 다수의 나사 홈(112)은 나사 구멍으로 형성할 수 있다.The plurality of screw grooves 112 formed at predetermined intervals near the edges of the bottom surface portions of the main body 110 may be formed as screw holes.

상기 금속판(140)은 수백 마이크로미터(㎛)의 두께로 얇게 제작되어 정해진 폭과 길이 및 두께를 가지며, 구리, 스테인리스 스틸, 강화 스틸 등으로 텅스텐 와이어 컷(wire cut) 공정을 사용하여 제작된다.The metal plate 140 is made thinly to a thickness of several hundred micrometers (㎛), has a predetermined width, length and thickness, and is manufactured using a tungsten wire cut process using copper, stainless steel,

상기 금속판(140)의 양측 가장자리 부근에는 상기 상부 덮개(130)의 나사 구멍(131)과 연통하는 다수의 나사 구멍(141)이 형성되어 있다.A plurality of screw holes 141 communicating with the screw holes 131 of the upper cover 130 are formed near both side edges of the metal plate 140.

상기 보조 금속판(150)은 수백 마이크로미터(㎛)의 두께로 얇게 제작되어 정해진 폭과 길이 및 두께를 가지며, 구리, 스테인리스 스틸, 강화 스틸 등으로 텅스텐 와이어 컷(wire cut) 공정을 사용하여 제작된다.The auxiliary metal plate 150 is manufactured to a thickness of several hundreds of micrometers (μm) and has a predetermined width, length, and thickness, and is manufactured using a tungsten wire cut process using copper, stainless steel, .

상기 보조 금속판(150)은 상기 금속판(140)의 양측 가장자리에 적층되어 상기 금속판(140)과 금속판(140) 사이의 간격을 유지한다.The auxiliary metal plate 150 is stacked on both side edges of the metal plate 140 to maintain a gap between the metal plate 140 and the metal plate 140.

상기 보조 금속판(150)에는 상기 금속판(140)의 나사 구멍(141)과 연통하는 다수의 나사 구멍(151)이 형성되어 있다.The auxiliary metal plate 150 is formed with a plurality of screw holes 151 communicating with the screw holes 141 of the metal plate 140.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 엑스선용 평행빔 광학소자(100)는 다음과 같이 조립되어 제작된다.The parallel beam optical element 100 for X-ray according to the present invention constructed as described above is assembled and manufactured as follows.

가장 먼저, 수백 마이크로미터(㎛)의 두께로 얇게 제작된 상기 금속판(140)과 상기 보조 금속판(150)이 준비되면, 상기 본체(110)의 바닥면에서부터 상면부를 향하여 상기 금속판(140)을 적층한 다음 해당 금속판(140)의 양측 가장자리에 상기 보조 금속판(150)을 적층한 후 해당 보조 금속판(150) 위에 다른 금속판(140)을 다시 적층하는 과정을 반복함으로써 상기 본체(110) 내부에 상기 금속판(140)들을 적층한다.First, when the metal plate 140 and the auxiliary metal plate 150, which are thinly formed to a thickness of several hundreds of micrometers (m), are prepared, the metal plate 140 is stacked from the bottom surface of the main body 110 toward the top surface. The auxiliary metal plate 150 is laminated on both side edges of the metal plate 140 and then the other metal plate 140 is laminated on the auxiliary metal plate 150 again, (140).

이에 따라서, 상기 금속판(140)들은 상기 보조 금속판(150)에 의해 서로 정해진 간격을 유지하면서 상기 금속판(140)과 금속판(140)의 사이에 엑스선이 통과하는 슬릿(slit)을 형성한다.Accordingly, the metal plates 140 form a slit through which the X-ray passes between the metal plate 140 and the metal plate 140 while maintaining a predetermined gap therebetween by the auxiliary metal plate 150.

상기 본체(110)의 바닥면에서부터 상면부를 향하여 정해진 높이로 상기 금속판(140)들과 보조 금속판(150)들이 적층 완료되면, 상기 한 쌍의 윈도우 프레임(120)과 상기 상부 덮개(130)를 상기 본체(110)에 장착하여 상기 금속판(140)들과 보조 금속판(150)들을 상기 본체(110) 내부에서 평행하게 배열된 상태로 고정시킴으로써 입사되는 엑스선의 평행도를 일정하게 유지시킬 수 있다.When the metal plates 140 and the auxiliary metal plates 150 are stacked at a predetermined height from the bottom surface of the main body 110 to the top surface of the main body 110, the pair of window frames 120 and the top cover 130 The parallelism of the incident x-rays can be kept constant by fixing the metal plates 140 and the auxiliary metal plates 150 in a state where they are arranged in parallel in the main body 110 by mounting the main body 110 on the main body 110.

상기 본체(110)에 상기 한 쌍의 윈도우 프레임(120)과 상기 상부 덮개(130)를 장착하는 순서는, 상기 한 쌍의 윈도우 프레임(120)을 먼저 장착한 후 상기 상부 덮개(130)를 나중에 장착하거나, 이와 반대로 상기 상부 덮개(130)를 먼저 장착한 후 상기 한 쌍의 윈도위 프레임(120)을 나중에 장착할 수 있다.The pair of window frames 120 and the upper lid 130 may be attached to the main body 110 by first mounting the pair of window frames 120 and then attaching the upper lid 130 later Alternatively, the upper cover 130 may be mounted first, and then the pair of window frames 120 may be mounted later.

바람직하게는, 상기 본체(110)의 상면부를 덮는 상기 상부 덮개(130)를 나중에 본체(110)에 장착함으로써 상기 본체(110) 내부에서 전면부와 후면부에 대하여 상기 한 쌍의 윈도우 프레임(120)에 의해 정렬이 되어 적층된 상기 금속판(140)들과 보조 금속판(150)들을 정해진 힘으로 눌러 고정하는 것이 바람직하다.The upper lid 130 covering the upper surface of the main body 110 may be later mounted on the main body 110 so that the pair of window frames 120 may be inserted into the main body 110, And the metal plates 140 and the auxiliary metal plates 150 are pressed and fixed by a predetermined force.

이때, 상기 한 쌍의 윈도우 프레임(120)은 상기 본체(110)의 전면부와 배면부 모퉁에 형성된 나사 홈(111)과 상기 한 쌍의 윈도우 프레임(120)에 형성된 나사 구멍(121)을 관통하여 체결되는 나사(160)에 의해 상기 본체(110)에 고정된다.The pair of window frames 120 pass through threaded holes 111 formed in front and rear corner portions of the main body 110 and screw holes 121 formed in the pair of window frames 120 And is fixed to the main body 110 by a screw 160 to be fastened.

또한, 상기 상부 덮개(130)는 상기 본체(110)의 양측 바닥면부의 가장자리 근처에 정해진 간격으로 형성된 다수의 나사 홈(112)과 상기 상부 덮개(130)의 양측 가장자리 근처에 정해진 간격으로 형성된 나사 구멍(131)을 관통하고 상기 상부 덮개(130)와 상기 본체(110)의 양측 바닥면부 사이에 적층된 상기 금속판(140)과 상기 보조 금속판(150)을 관통하여 체결되는 나사(170)에 의해 상기 본체(110)에 고정된다. 이때, 상기 상부 덮개(130)를 본체(110)에 고정하는 나사(170)는 상기 금속판(140)의 나사 구멍(141)과 상기 보조 금속판(150)의 나사 구멍(151)을 관통하여 상기 본체(110)의 바닥면부에 형성된 나사 홈(112)에 체결된다.The upper lid 130 includes a plurality of screw grooves 112 formed at predetermined intervals near edges of both side bottom portions of the main body 110 and a plurality of screw grooves 112 formed at predetermined intervals near both side edges of the upper lid 130, And a screw 170 passing through the hole 131 and passing through the metal plate 140 and the auxiliary metal plate 150 stacked between the upper cover 130 and the bottom surface portions of both sides of the main body 110 And is fixed to the main body 110. The screw 170 for fixing the upper lid 130 to the main body 110 passes through the screw hole 141 of the metal plate 140 and the screw hole 151 of the auxiliary metal plate 150, (112) formed on the bottom surface of the base plate (110).

상기와 같이 제작되는 본 발명에 따른 엑스선용 평행빔 광학소자(100)는 본체(110)에 금속판(140)과 보조 금속판(150)을 적층하여 상기 금속판(140)과 금속판(140)의 사이에 엑스선이 통과하는 슬릿(slit)을 형성하므로, 도 5에 나타낸 바와 같이, 금속판(33)들이 서로 정해진 간격을 유지하도록 본체(31) 내부 좌우측면에 수백 마이크로미터(㎛)의 균일한 간격으로 다수의 홈(31a)을 가공하는 종래의 기술과 비교해 볼 때, 조립 및 제작 과정에서 발생하는 오차를 최소화하여 입사되는 엑스선의 평행도를 개선할 수 있으며, 특히 보조 금속판(150)의 두께를 변화시킴으로써 용이하게 입사되는 엑스선의 평행도를 조정할 수 있고, 종래의 다수의 홈(31a) 가공이 필요 없기 때문에 제작비용이 절감되는 장점이 있다.The parallel beam optical element 100 for X-ray according to the present invention is manufactured by stacking a metal plate 140 and an auxiliary metal plate 150 on the main body 110 to form a gap between the metal plate 140 and the metal plate 140 5, a plurality of metal plates 33 are formed on the left and right sides of the main body 31 at uniform intervals of several hundred micrometers (占 퐉) so that the metal plates 33 are spaced from each other at regular intervals, It is possible to improve the parallelism of the incident X-rays by minimizing the error occurring in the assembling and manufacturing process, and in particular, to improve the parallelism of the X-ray by changing the thickness of the auxiliary metal plate 150 It is possible to adjust the parallelism of the X-rays incident on the X-ray tube, and the manufacturing cost can be reduced because there is no need to process a large number of conventional grooves 31a.

실제로, 상기한 비특허문헌 1에 게재된 바와 같이 폭과 길이 및 두께가 각각 30mm와 50mm 및 0.3mm인 금속판을 정면 윈도우와 배면 윈도우 각각의 폭과 높이가 각각 30mm와 20mm인 알루미늄 재질의 본체의 내부 좌우측면에 형성된 2.0mm 깊이의 홈에 삽입 후 고정하여 금속판 사이의 거리가 0.3mm가 되도록 제작한 종래의 엑스선용 평행빔 광학소자를 엑스선 광원과 1000mm 거리를 둔 검출기(image plate) 사이에 배치하여 측정한 평행도가 6.6mrad인 경우와 동일한 조건에서, 본 발명에 따라 폭과 길이 및 두께가 각각 30mm와 50mm 및 0.3mm인 금속판을 금속판 사이의 거리가 0.3mm가 되도록 적층하여 제작한 엑스선용 평행빔 광학소자를 엑스선 광원과 1000mm 거리를 둔 검출기(image plate) 사이에 배치하여 측정한 평행도가 3.7mrad으로 대폭 향상됨을 확인할 수 있었다. 이로부터, 동일한 평행도 측정 조건에서 본 발명이 종래에 비해 대략 80% 이상의 평행도 개선 효과를 나타냄을 알 수 있다.Actually, a metal plate having a width, a length, and a thickness of 30 mm, 50 mm, and 0.3 mm, as shown in the above-described Non-Patent Document 1, is mounted on an aluminum-made main body having a front window and a rear window, A conventional parallel beam optical element for X-ray, which is formed so as to have a distance of 0.3 mm between the metal plates, is inserted between the X-ray light source and the image plate at a distance of 1000 mm And a parallel plate having a width, a length and a thickness of 30 mm, 50 mm, and 0.3 mm, respectively, were laminated in such a manner that the distance between the metal plates was 0.3 mm, It was confirmed that the parallelism measured by arranging the beam optical element between the X-ray source and the image plate at a distance of 1000 mm was significantly improved to 3.7 mrad. From this, it can be seen that the present invention exhibits an improvement in parallelism of about 80% or more as compared with the conventional art under the same parallelism measuring conditions.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 엑스선용 평행빔 광학소자는 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있는 범위까지 그 기술적 정신이 있다.The parallel beam optical element for X-ray according to the present invention described above is not limited to the above-described embodiments, and can be applied to various types of optical elements having a common knowledge in the field of the present invention without departing from the gist of the present invention There is a technical spirit to the extent that anyone can make various changes.

10: 엑스선 회절분석기 11: 엑스선 튜브 광원
12: 콜리메이터 13: 다층박막 거울
14: 평행빔 광학소자 15: 시료
16: 검출기 20: 형광분석기
21: 엑스선 튜브 광원 22: 시료
23: 평행빔 광학소자 24: 다층박막 거울
30: 평행빔 광학소자 31: 본체
31a: 홈 31b: 나사 홈
32; 윈도우 프레임 32a: 나사 구멍
33: 금속판 34: 나사
100: 평행빔 광학소자 110: 본체
111,112: 나사 홈 120: 윈도우 프레임
121: 나사 구멍 130: 상부 덮개
131: 나사 구멍 140: 금속판
141: 나사 구멍 150: 보조 금속판
151: 나사 구멍 160: 나사
170: 나사10: X-ray diffraction analyzer 11: X-ray tube light source
12: collimator 13: multilayer thin film mirror
14: parallel beam optical element 15: sample
16: detector 20: fluorescence analyzer
21: X-ray tube light source 22: sample
23: parallel beam optical element 24: multilayer thin film mirror
30: Parallel beam optical element 31:
31a: groove 31b: screw groove
32; Window frame 32a: screw hole
33: metal plate 34: screw
100: parallel beam optical element 110:
111, 112: screw groove 120: window frame
121: screw hole 130: upper cover
131: screw hole 140: metal plate
141: screw hole 150: auxiliary metal plate
151: screw hole 160: screw
170: Screw

Claims (3)

전면부와 배면부 및 상면부가 개방되어 있는 중공형 통체로 된 본체 내부에 정해진 두께로 얇게 제작된 금속판들이 서로 정해진 간격을 유지하면서 평행하게 배열되어 적층되고, 보조 금속판들이 상기 금속판의 양측 가장자리에 적층되어 상기 금속판과 금속판 사이의 간격을 유지함으로써 상기 금속판과 금속판의 사이에 엑스선이 통과하는 슬릿(slit)을 형성하는 것을 특징으로 하는 엑스선용 평행빔 광학소자.Metal plates which are thinly formed to a predetermined thickness are stacked and arranged in parallel with each other while maintaining a predetermined gap therebetween, and auxiliary metal plates are stacked on both side edges of the metal plate And a slit through which the X-ray passes is formed between the metal plate and the metal plate by maintaining a space between the metal plate and the metal plate. 제 1 항에 있어서, 상기 본체의 상면부를 덮는 상부 덮개가 상기 본체 내부에 적층된 상기 금속판들을 정해진 힘으로 눌러 고정하는 것을 특징으로 하는 엑스선용 평행빔 광학소자.The parallel beam optical element for X-ray according to claim 1, wherein the upper cover covering the upper surface of the main body presses the metal plates stacked in the main body with a predetermined force. 전면부와 배면부 및 상면부가 개방되어 있는 중공형 통체이며, 내부에 정해진 두께로 얇게 제작된 금속판들이 서로 정해진 간격을 유지하면서 평행하게 배열되어 적층되어 상기 금속판과 금속판의 사이에 엑스선이 통과하는 슬릿(slit)을 형성하는 본체와;
상기 본체의 정면부와 배면부에 각각 장착되어 상기 금속판들을 상기 본체 내부에 적층된 상태로 고정하며, 엑스선이 입사되는 정해진 폭과 높이의 정면 윈도우와 엑스선이 방출되는 정해진 폭과 높이의 배면 윈도우를 형성하는 한 쌍의 윈도우 프레임;
상기 본체의 상면부를 덮어 상기 본체 내부에 적층된 상기 금속판들을 정해진 힘으로 눌러 고정하는 상부 덮개;
정해진 폭과 길이 및 두께를 가지며 와이어 컷(wire cut) 공정을 사용하여 제작되어 상기 본체 내부에 서로 정해진 간격을 유지하면서 평행하게 배열되어 적층되는 금속판; 및
정해진 폭과 길이 및 두께를 가지며 와이어 컷(wire cut) 공정을 사용하여 제작되고, 상기 금속판의 양측 가장자리에 적층되어 상기 금속판과 금속판 사이의 간격을 유지하는 보조 금속판;
으로 구성되는 것을 특징으로 하는 엑스선용 평행빔 광학소자.A hollow cylinder having a front part, a back part and an upper part opened, and metal plates thinly formed in a predetermined thickness are arranged in parallel with each other while maintaining a predetermined gap therebetween, slit;
A front window having a predetermined width and height to which the X-ray is incident, and a rear window having a predetermined width and height, in which the X-ray is emitted, are formed on the front and rear portions of the body, respectively, A pair of window frames;
An upper cover which covers the upper surface of the main body and presses the metal plates stacked in the main body by a predetermined force;
A metal plate having a predetermined width, length and thickness and being manufactured using a wire cut process and being stacked in parallel and arranged in the body while maintaining predetermined intervals therebetween; And
An auxiliary metal plate having a predetermined width, length and thickness and being manufactured using a wire cut process and stacked on both side edges of the metal plate to maintain a gap between the metal plate and the metal plate;
And an optical element for X-ray parallel beam.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2765486C1 (en) * 2021-06-07 2022-01-31 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук Thermonuclear target for indirect initiation

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