KR20150113507A - 유체의 제어 방법 - Google Patents

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KR20150113507A
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키미히토 사사오
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아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤
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Abstract

설정 에어 압력과 비례하는 압력으로 2차측의 유체의 압력을 자력으로 조정하는 압력 제어 밸브를 포함하는 유량 제어 장치를 이용하여 피제어 유체를 소정의 유량으로 제어하는 유체의 제어 방법에 관한 것으로, 유체의 유량에 영향을 주는 영향 변수들을 미리 추출하는 단계와, 미리 추출한 영향 변수들의 각각의 조합에 대하여, 설정 에어 압력으로부터 유량을 계산하는데 필요한 파라미터를 전공변환기 내장 컨트롤러에 입력하는 단계와, 영향 변수들의 조합의 절환이 행해지면, 전공변환기 내장 컨트롤러는 절환된 영향 변수들의 조합에 대응되는 파라미터를 이용하여 피제어 유체를 소정의 유량으로 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

유체의 제어 방법{CONTROL METHOD OF FLUID}
본 발명은 압력 제어 밸브를 포함하는 유량 제어 장치를 이용하여 피제어 유체(액체 또는 기체)를 소정의 유량 또는 압력으로 제어하되, 유량 제어 장치의 설치 위치 또는 피제어 유체의 특성을 고려하여 유체를 제어하는 방법에 관한 것이다.
도 1에 도시한 유체의 유량을 제어하는 장치는 전공변환기(電空變換機) 내장 컨트롤러(10), 유량계(11), 압력 제어 밸브(12), 개폐 밸브(13)로 구성된다. 유체는 유량계(11), 압력 제어 밸브(12), 개폐 밸브(13)를 순차적으로 통과하여 흐른다. 유량계(11)는 배관 유로를 흐르는 유체의 유량을 측정하여 측정된 유량값에 대응되는 전기 신호를 전공변환기 내장 컨트롤러(10)로 전송한다. 전공변환기 내장 컨트롤러(10)는 입력부를 통해 입력받은 피제어 유체의 설정 유량값과 유량계(11)로부터 전송받은 실제의 유량값의 차이로부터 피제어 유체의 유량값을 설정 유량값으로 제어하기 위한 전기 신호를 생성하고, 이 전기 신호를 압력 신호로 변환하여 압력 제어 밸브(12)로 출력한다. 압력 제어 밸브(12)는 전공변환기 내장 컨트롤러(10)로부터 압력 신호를 입력받아, 다이어프램을 이용하여 2차측(유출측)의 유체의 압력을 설정 에어 압력과 비례하는 압력으로 일정하게 제어한다. 개폐 밸브(13)는 공기압에 의해 유체 유로를 개폐하는 공기압 조작 밸브(air operated valve)로 이루어진다.
도 1에 도시된 유량 제어 장치의 전공변환기 내장 컨트롤러(10)에서 피제어 유체의 유량값을 설정 유량값으로 제어하기 위해 단순히 피드백 제어만을 수행하는 경우에는 피제어 유체의 유량이 설정 유량값으로 수렴하기까지 오버슈트나 언더슈트를 반복하는 불안정 영역이 길어지는 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 출원인은 일본공개특허공보 특개 2004-150488호에서, 도 2에 도시된 바와 같이, 배관 유로에 설치된 개폐 밸브를 닫은 상태에서, 이 개폐 밸브가 열리기 전부터 압력 제어 밸브에 대해서 피제어 유체의 설정 유량값(S)에 대응하는 초기 설정 에어 압력(F)에서 예비 에어 가압이 이루어지고, 개폐 밸브가 열리고 나서도 압력 제어 밸브에 대해서 설정 유량값(S)에 대응하는 초기 설정 에어 압력(F)에서 가압이 이루어지는 것(피드포워드 제어)과 아울러, 개폐 밸브의 개폐 신호에 지연하여 압력 제어 밸브에 대해서 유량계의 신호로 피드백 제어하는 유체의 제어 방법을 제안한 바 있다. 이러한 제어 방법에 의해 피제어 유체의 유량 등의 제어에 대한 응답특성이 좋고, 유량 등의 값이 신속하게 안정 영역에 이르게 된다.
그렇지만, 예비 에어 가압에 의한 피드포워드 제어로부터 피드백 제어로의 이행할 때의 에어 압력의 차가 유체의 유량 등의 제어에 대한 응답특성에 영향을 준다. 그리고 컨트롤러에 미리 설정되어 있는, 유량과 설정 에어 압력의 관계는 사용되고 있는 유체 배관의 길이, 유체의 토출 위치(높이), 유체의 점도 등에 따라 달라지게 된다.
한편, 반도체 기판을 회전시키면서 반도체 기판에 세정액을 공급해 1장씩 처리하는 매엽식(枚葉式) 세정장치와 같이, 복수의 웨이퍼 처리부를 가지는 장치의 경우, 웨이퍼 처리부의 수에 맞춰 복수의 유량 제어 장치를 탑재하게 된다.
이러한 이유로, 동일한 파라미터 즉, 컨트롤러에 설정되어 있는 유량과 설정 에어 압력 간의 관계 하에서는, 압력 제어 밸브의 설치 위치, 사용 유체의 종류에 따라 웨이퍼 처리부마다 응답특성에 미묘한 차이가 발생할 우려가 있기 때문에, 웨이퍼 처리부에 대해 실제로 공급되는 세정액의 유량의 차이를 고려하여 각각 개별적으로 처리 시간 등을 설정할 필요가 생기게 된다. 그러나, 고품질의 반도체를 효율적으로 제조하기 위해서는 웨이퍼 처리부마다 동일한 유량의 세정액을 공급하여 동일한 조건에서 동일한 시간 동안 세정 작업을 수행하는 것이 중요하므로, 유량 제어에 있어서 웨이퍼 처리부마다 유량의 차이가 생기는 것은 바람직하지 않다.
일본공개특허공보 특개 2004-150488호
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 응답 특성에 대한 개체차를 줄임과 아울러, 한층 신속한 제어가 가능한 유체의 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 설정 에어 압력과 비례하는 압력으로 2차측의 유체의 압력을 자력으로 조정하는 압력 제어 밸브를 포함하는 유량 제어 장치를 이용하여 피제어 유체를 소정의 유량으로 제어하는 유체의 제어 방법에 있어서, 유체의 유량에 영향을 주는 영향 변수들을 미리 추출하는 단계와, 미리 추출한 영향 변수들의 각각의 조합에 대하여, 설정 에어 압력으로부터 유량을 계산하는데 필요한 파라미터를 전공변환기 내장 컨트롤러에 입력하는 단계와, 영향 변수들의 조합의 절환이 행해지면, 전공변환기 내장 컨트롤러는 절환된 영향 변수들의 조합에 대응되는 파라미터를 이용하여 피제어 유체를 소정의 유량으로 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체의 제어 방법을 제공한다.
유체의 유량에 영향을 주는 영향 변수는 유체의 토출 높이 및 유체의 점도인 것을 특징으로 한다.
영향 변수들의 조합의 절환은 로터리 스위치에 의해 수행되는 것을 특징으로 한다.
전공변환기 내장 컨트롤러에 다양한 조건에 대응하는 설정 에어 압력과 유량과의 관계를 입력시켜 두고, 전공변환기 내장 컨트롤러에 탑재된 로터리 스위치를 절환하여, 유량에 영향을 주는 각각의 조건에 대한 최적의 설정 에어 압력과 유량과의 관계를 재설정함으로써, 유체의 제어에 대한 응답 속도를 개선하고, 유량 제어 장치에 있어서의 개체 차이를 경감시킬 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 유체의 제어 방법에 사용되는 유량 제어 장치를 나타내는 개요도이다.
도 2는 종래기술에 따른 유체의 제어 방법의 타임 챠트이다.
도 3은 본 발명에 따른 유체의 제어 방법에 사용되는 유량 제어 장치를 나타내는 개요도이다.
도 4는 유량과 설정 에어 압력의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 5는 유체의 토출 높이의 변화에 따른 유량과 설정 에어 압력의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 6은 유체의 점도의 변화에 따른 유량과 설정 에어 압력의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명에 따른 유체의 제어 방법을 나타내는 순서도이다.
도 8은 복수의 웨이퍼 처리부를 가지고 있는 매엽식 세정장치를 나타내는 개요도이다.
도 9는 유체의 토출 높이가 변화하는 실시예를 나타내는 개요도이다.
도 10은 본 발명에 따른 유체의 제어 방법에 사용되는 유량 제어 장치의 다른 실시예를 나타내는 개요도이다.
도 11은 유체의 토출 높이의 변화에 따른 실시예를 나타내는 그래프이다.
도 12는 유체의 점도의 변화에 따른 실시예를 나타내는 그래프이다.
도 3은 본 발명에 따른 유체의 제어 방법에 사용되는 유량 제어 장치를 나타내는 개요도이다. 유량계(111)는 압력 제어 밸브(112)의 상류에 위치하고 있으나, 경우에 따라 압력 제어 밸브(112)의 하류 즉, 압력 제어 밸브(112)와 개폐 밸브(113)의 사이에 위치할 수도 있다. 아래에서 설명하듯이, 본 발명의 전공변환기 내장 컨트롤러(110)에 다양한 조건에 대응하는 설정 에어 압력과 유량과의 관계를 입력시켜 두고, 전공변환기 내장 컨트롤러(110)에 탑재된 로터리 스위치(120)를 절환하여, 유량에 영향을 주는 각각의 조건에 대한 최적의 설정 에어 압력과 유량과의 관계를 재설정할 수 있다.
설정 에어 압력과 비례하는 압력으로 2차측(유출측)의 유체의 압력을 자력(自力)으로 조정하는 압력 제어 밸브(112), 및 전공변환기 내장 컨트롤러(110)를 사용하는 경우, 설정 에어 압력과 유량과의 관계는 도 4와 같이 나타내 진다.
압력 제어 밸브의 설치 위치, 사용 유체의 종류에 따라 유량 계수의 값이 달라지고, 그에 따라 설정 에어 압력과 유량과의 관계도 달라진다. 유체 배관의 길이, 유체의 토출 높이 등 2차측 부하가 달라지는 경우에 대해 먼저 살펴보면, 유체 배관의 길이가 길어지거나, 유체의 토출 높이가 높아지게 되어 2차측 부하가 커지는 경우, 유체의 유량을 동일하게 유지하기 위해서는 설정 에어 압력이 커져야 한다. 반대로 유체 배관의 길이가 짧아지거나, 유체의 토출 높이가 낮아지게 되어 2차측 부하가 작아지는 경우, 유체의 유량을 동일하게 유지하기 위해서는 설정 에어 압력이 작아져야 한다. 도 5는 유체의 토출 높이의 변화에 따른 유량과 설정 에어 압력의 관계를 도시한 것이다. 유체의 토출 높이가 1 m인 경우를 기준으로 하여, 유체의 토출 높이가 1.5 m로 증가하였을 때의 유량을 유체의 토출 높이가 1 m인 경우의 유량과 동일하게 유지하기 위해서는 설정 에어 압력을 증가시켜야 한다. 유체의 토출 높이가 1 m에서 0.5 m로 감소하였을 때의 유량을 유체의 토출 높이가 1 m인 경우의 유량과 동일하게 유지하기 위해서는 설정 에어 압력을 감소시켜야 한다. 도 5에 표시되어 있는 화살표가 이러한 관계를 보여주고 있다. 유체 배관의 길이에 따른 유량과 설정 에어 압력의 관계도 도 5와 유사한 그래프로 표시할 수 있다.
유체의 특성 특히, 점도가 달라지는 경우에 대해 살펴보면, 유체의 점도가 커지는 경우, 유량계, 압력 제어 밸브, 개폐 밸브 및 이들을 연결하는 유체 배관을 흐르는 유체에 의한 항력이 증가하여, 유체의 유량을 동일하게 유지하기 위해서는 설정 에어 압력이 커져야 한다. 반대로 유체의 점도가 작아지는 경우, 유량계, 압력 제어 밸브, 개폐 밸브 및 이들을 연결하는 유체 배관을 흐르는 유체에 의한 항력이 감소하여, 유체의 유량을 동일하게 유지하기 위해서는 설정 에어 압력이 작아져야 한다. 도 6은 유체의 점도의 변화에 따른 유량과 설정 에어 압력의 관계를 도시한 것이다. 유체의 점도가 1 cP인 경우를 기준으로 하여, 유체의 점도가 3 cP로 증가하였을 때의 유량을 유체의 점도가 1 cP인 경우의 유량과 동일하게 유지하기 위해서는 설정 에어 압력을 증가시켜야 하고, 유체의 점도가 5 cP로 증가하였을 때의 유량을 유체의 점도가 1 cP인 경우의 유량과 동일하게 유지하기 위해서는 설정 에어 압력을 더욱 더 증가시켜야 한다. 역으로 유체의 점도가 5 cP로부터 5 cP보다 작은 값으로 감소하였을 때의 유량을 유체의 점도가 5 cP인 경우의 유량과 동일하게 유지하기 위해서는 설정 에어 압력을 감소시켜야 한다. 도 6에 표시되어 있는 화살표가 이러한 관계를 보여주고 있다.
상기한 바와 같이, 다양한 작동 조건에 의해 유량과 설정 에어 압력의 관계가 달라지기 때문에, 유체의 유량 등의 제어에 대한 응답특성을 향상시키기 위해서는 유량에 영향을 주는 각각의 조건에 대해 설정 에어 압력과 유량과의 관계를 최적으로 설정할 필요가 있다. 도 3의 전공변환기 내장 컨트롤러(110)에 로터리 스위치(120)를 탑재하고, 사용되는 유량 제어 장치에 대해서, 생각할 수 있는 제어 패턴(토출 위치, 유체의 점도 등)을 미리 얻은 후, 대응에 필요한 파라미터 또는 계수를 컨트롤러에 입력시켜 두고, 제어 패턴의 변화에 대응하여, 최적의 제어가 될 수 있도록 로터리 스위치를 절환한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 본 발명은 유체의 유량에 영향을 주는 영향 변수들을 미리 추출하는 단계(S300)와, 미리 추출한 영향 변수들의 각각의 조합에 대하여, 설정 에어 압력으로부터 유량을 계산하는데 필요한 파라미터를 전공변환기 내장 컨트롤러에 입력하는 단계(S310)와, 영향 변수들의 조합의 절환이 행해지면(S320), 전공변환기 내장 컨트롤러는 절환된 영향 변수들의 조합에 대응되는 파라미터를 이용하여 피제어 유체를 소정의 유량으로 제어하는 단계(S330)를 포함한다. 영향 변수들의 조합의 절환이 행해지지 않으면 초기 설정된 영향 변수들의 조합에 대응되는 파라미터를 이용하여 피제어 유체를 소정의 유량으로 제어한다(S340). 피제어 유체를 소정의 유량으로 제어하는 단계는, 배관 유로에 설치된 개폐 밸브를 닫은 상태에서, 이 개폐 밸브가 열리기 전부터 압력 제어 밸브에 대해서 피제어 유체의 설정 유량값(S)에 대응하는 초기 설정 에어 압력(F)에서 예비 에어 가압이 이루어지고, 개폐 밸브가 열리고 나서도 압력 제어 밸브에 대해서 설정 유량값(S)에 대응하는 초기 설정 에어 압력(F)에서 가압이 이루어지는 것과 아울러, 개폐 밸브의 개폐 신호에 지연하여 압력 제어 밸브에 대해서 유량계의 신호로 피드백 제어하는 단계를 포함한다.
도 8은 복수의 웨이퍼 처리부(80a, 80b, 80c, 80d)를 가지고 있는 매엽식 세정장치를 나타내는 개요도이다. 웨이퍼 처리부는 챔버라고도 불리는데, 1개의 매엽식 세정장치에 12개의 챔버를 가지는 것도 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 처리부는 그 위치에 차이가 있고, 따라서 웨이퍼 처리부에 토출되는 유체의 토출 위치도 차이가 있다. 또한, 세정 조건에 따라 다른 종류의 유체를 사용할 수 있다.
로터리 스위치(120)의 절환 번호 0 내지 8에 대해서 표 1과 같은 제어 패턴을 미리 입력시켜두고, 도 8에 도시된 바와 같은, 복수의 웨이퍼 처리부(80a, 80b, 80c, 80d)를 가지고 있는 매엽식 세정장치에 유량 제어 장치를 현장에서 설치할 때, 토출 위치, 유체의 점도에 따라 로터리 스위치를 간단하게 절환시킴으로써, 실제의 세정 조건에 맞도록 복수의 웨이퍼 처리부에 동일한 유량으로 유체를 공급할 수 있게 된다.
로터리 스위치의 절환 번호 제어 패턴
토출 높이 유체의 점도
0 1.0 m 1 cP
1 1.5 m 1 cP
2 0.5 m 1 cP
3 1.0 m 3 cP
4 1.0 m 5 cP
5 1.5 m 3 cP
6 1.5 m 5 cP
7 0.5 m 3 cP
8 0.5 m 5 cP
도 9에 도시된 실시예에 있어서, 피제어 유체의 점도가 1 cP일 때, 유량 제어 장치가 토출 높이 1.0 m에서 웨이퍼 처리부에 설치되는 경우에는 로터리 스위치의 절환 번호를 0으로 세팅하고, 유량 제어 장치가 토출 높이 1.5 m에서 웨이퍼 처리부에 설치되는 경우에는 로터리 스위치의 절환 번호를 1로 세팅하고, 유량 제어 장치가 토출 높이 0.5 m에서 웨이퍼 처리부에 설치되는 경우에는 로터리 스위치의 절환 번호를 2로 세팅한다.
현장에서 실제 사용되는 세정 조건이 컨트롤러에 미리 입력된 제어 패턴과 차이가 있는 경우에는 실제의 세정 조건에 부합하도록 제어 패턴을 변경하여 현장에서 컨트롤러에 직접 입력시킬 수 있다.
전공변환기가 내장된 컨트롤러를 예로 들었지만, 도 10에 도시된 바와 같이, 모터 동작 등에 의한 개도 컨트롤러(210)에도 전공변환기가 내장된 컨트롤러와 동일한 형태의 제어 패턴 절환 기능을 수행하는 로터리 스위치(220)를 탑재하여, 개도 컨트롤러(210)가 개도 조정 밸브(212)를 제어하게 함으로써, 응답 특성을 향상시킬 수 있다. 개도 조정 밸브(212)는 액츄에이터부에 모터를 사용하고, 모터에 입력되는 펄스를 조정함으로써 개도를 조정하여 유량을 변경시킨다. 전공변환기 내장 컨트롤러 및 압력 제어 밸브를 대신하여, 개도 컨트롤러(210) 및 개도 조정 밸브(212)를 사용하는 경우, 압력 제어 밸브에 대한 예비 에어 가압에 대응되는 기능을 구현하기 위해서는, 개폐 밸브(213)가 열리기 전부터 개도 조정 밸브(212)의 개도를 피제어 유체의 설정 유량값에 대응하는 개도로 개방시켜 두면 된다. 그리고 압력 제어 밸브에 대한 피드포워드 제어를 구현하기 위해서는, 개폐 밸브(213)가 열리고 나서도 개도 조정 밸브(212)의 개도를 피제어 유체의 설정 유량값에 대응하는 개도로 개방시켜 두면 된다.
또한, 파라미터 조건의 절환 방법은 유량 제어 장치에 탑재된 로터리 스위치 등의 스위치 류 이외에도, 전기 신호를 이용한 방법 등 다양하게 선택할 수 있다.
압력 제어 밸브의 2차측 압력과 유량의 관계가 달라지는 경우에 대해 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
토출 위치의 차이에 의한 응답 특성에의 영향을 살펴보면, 토출위치가 다른 경우, 그 위치 관계에 의해 압력 제어 밸브에 수두압(水頭壓)이 걸리게 된다. 이에 의해, 동일한 유량으로 제어하려고 해도, 필요한 설정 에어 압력이 달라지게 된다. 이렇게 되면, 예비 가압으로부터 제어 압력까지의 압력 차가 커지게 되기 때문에, 설정 유량까지의 응답 특성에 차이가 나오게 된다.
도 11a에 도시된 실시예에 대해 검토해 보면, 로터리 스위치가 절환 번호 0 즉, 토출 높이 1.0 m, 유체의 점도 1 cP로 세팅되어 있는 상태에서, 토출 높이가 1.5 m로 높아지면, 토출 높이의 증가에 의해 수두압이 증가하기 때문에, 개폐 밸브가 개방된 후에 설정 유량보다 적은 유량으로 피제어 유체가 공급되는 시간이 길어진다(왼쪽 그래프). 토출 높이가 1.5 m로 높아졌을 때, 로터리 스위치를 절환 번호 1로 세팅하면, 토출 높이 1.5 m에 적합한 파라미터가 사용되기 때문에, 개폐 밸브가 개방된 후 바로 피제어 유체가 설정 유량으로 제어된다(오른쪽 그래프).
도 11b에 도시된 실시예에서는, 로터리 스위치가 절환 번호 0 즉, 토출 높이 1.0 m, 유체의 점도 1 cP로 세팅되어 있는 상태에서, 토출 높이가 0.5 m로 낮아지면, 토출 높이의 감소에 의해 수두압이 감소하기 때문에, 개폐 밸브가 개방된 후에 설정 유량보다 많은 유량으로 피제어 유체가 공급되는 시간이 길어진다(왼쪽 그래프). 토출 높이가 0.5 m로 낮아졌을 때, 로터리 스위치를 절환 번호 2로 세팅하면, 토출 높이 0.5 m에 적합한 파라미터가 사용되기 때문에, 개폐 밸브가 개방된 후 바로 피제어 유체가 설정 유량으로 제어된다(오른쪽 그래프).
유체의 점도에 의한 응답 특성에의 영향을 살펴보면, 유량은 어느 부하에 대한 차압, 유량 계수 및 그 유체의 비중에 의해 결정된다. 점도가 변하는 경우, 그 점도에 따라, 유량 계수가 변해 버리기 때문에, 동일한 차압에서는 유량을 동일하게 할 수 없다. 그 때문에 각 점도에 대응되는 보정 계수를 확인하는 것으로, 압력과 유량의 관계를 도출해 내는 것이 가능해 진다.
도 12에 도시된 실시예에 대해 검토해 보면, 로터리 스위치가 절환 번호 0 즉, 토출 높이 1.0 m, 유체의 점도 1 cP로 세팅되어 있는 상태에서, 피제어 유체가 점도가 3 cP인 유체로 변경되면, 유량 제어 장치를 흐르는 유체에 의한 항력이 증가하기 때문에, 개폐 밸브가 개방된 후에 설정 유량보다 적은 유량으로 피제어 유체가 공급되는 시간이 길어진다(왼쪽 그래프). 피제어 유체가 점도가 3 cP인 유체로 변경되었을 때, 로터리 스위치를 절환 번호 3으로 세팅하면, 유체가 점도 3 cP에 적합한 파라미터가 사용되기 때문에, 개폐 밸브가 개방된 후 바로 피제어 유체가 설정 유량으로 제어된다(오른쪽 그래프).
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예들은, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
110: 전공변환기 내장 컨트롤러 111, 211: 유량계
112: 압력 제어 밸브 113, 213: 개폐 밸브
120, 220: 로터리 스위치 210: 개도 컨트롤러
212: 개도 조정 밸브

Claims (3)

  1. 설정 에어 압력과 비례하는 압력으로 2차측의 유체의 압력을 자력으로 조정하는 압력 제어 밸브를 포함하는 유량 제어 장치를 이용하여 피제어 유체를 소정의 유량으로 제어하는 유체의 제어 방법에 있어서,
    유체의 유량에 영향을 주는 영향 변수들을 미리 추출하는 단계와,
    미리 추출한 영향 변수들의 각각의 조합에 대하여, 설정 에어 압력으로부터 유량을 계산하는데 필요한 파라미터를 전공변환기 내장 컨트롤러에 입력하는 단계와,
    영향 변수들의 조합의 절환이 행해지면, 전공변환기 내장 컨트롤러는 절환된 영향 변수들의 조합에 대응되는 파라미터를 이용하여 피제어 유체를 소정의 유량으로 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체의 제어 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 유체의 유량에 영향을 주는 영향 변수는 유체의 토출 높이 및 유체의 점도인 것을 특징으로 하는 유체의 제어 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 영향 변수들의 조합의 절환은 로터리 스위치에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 유체의 제어 방법.
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