KR20150106636A - Device for Aligning and Measuring of Substrate - Google Patents

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KR20150106636A
KR20150106636A KR1020140028941A KR20140028941A KR20150106636A KR 20150106636 A KR20150106636 A KR 20150106636A KR 1020140028941 A KR1020140028941 A KR 1020140028941A KR 20140028941 A KR20140028941 A KR 20140028941A KR 20150106636 A KR20150106636 A KR 20150106636A
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이성수
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Abstract

The present invention relates to a device for measuring the sizes of substrates and aligning the substrates which simultaneously aligning substrates while automatically measuring the sizes of substrates. The device for measuring the sizes of substrates and aligning the substrates comprises: a table on which an object to be measured is placed; an X axis pusher which pushes the object placed on the table from both sides toward the inside of the table; a Y axis pusher for pushing the object placed on the table from both sides toward the inside of the table in the direction orthogonal to the direction in which the X axis pusher pushes the measurement target; and a control unit for calculating the size of a measured target by measuring the distances that the X axis pusher and the Y axis pusher move.

Description

기판 크기측정 및 정렬장치{Device for Aligning and Measuring of Substrate}≪ Desc / Clms Page number 1 > Device for Aligning and Measuring Substrate &

본 발명은 기판 크기측정 및 정렬장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가공된 기판을 크기를 자동으로 측정하면서 동시에 정렬하는 기판 크기측정 및 정렬장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate size measuring and aligning apparatus, and more particularly, to a substrate size measuring and aligning apparatus for automatically measuring and simultaneously aligning processed substrates.

최근 전자기기의 발달에 따라 모니터나 TV, 핸드폰 등 평판표시장치의 사용이 급격히 증가함에 따라 평판표시장치 및 이의 터치스크린패널에 사용되는 유리기판(글래스)의 사용이 증대되고 있다.BACKGROUND ART [0002] With the recent development of electronic devices, the use of flat panel display devices such as monitors, TVs, and mobile phones has been rapidly increasing, and the use of glass substrates (glass) used in flat panel displays and touch screen panels thereof has been increasing.

이러한 글래스는 여러가지 공정을 통해 생산되는데, 생산공정 중에 글래스의 크기가 기준에 맞는지를 검사하는 크기검사과정이 필수적으로 수행되고 있다.Such a glass is produced through various processes, and a size inspection process for checking whether the size of the glass meets the standard during the production process is essential.

이러한 글래스의 크기검사과정은 작업자가 직접 자 등의 길이측정도구를 사용하여 측정하였다.The size of the glass was measured by the operator directly using a length measuring tool.

그러나, 작업자가 손수 측정하다보니 크기검사과정에서 소요되는 시간이 늘어나며, 오차가 많이 발생하는 문제점이 발생하였다.However, when the operator manually measures the time, the time required for the size checking process is increased and errors are generated.

또한, 최근에는 각 부품들의 요구 정밀도가 높아짐에 따라 글래스 크기에 대한 정밀도 요구도 높아지고 있는데, 작업자가 손수 측정하는 방식으로서는 요구되는 정밀도를 충족하기 곤란한 문제점도 있다.In addition, in recent years, as the required precision of each component is increased, the precision requirement for the glass size is also increasing, and there is also a problem that it is difficult to satisfy the required precision as a method of measuring by hand by an operator.

또한, 최근에는 유리기판의 크기가 대형화 됨에 따라 작업자가 별도의 장비없이 크기를 정확하게 측정하는데 많은 무리가 발생하고 있다.In addition, recently, as the size of the glass substrate has been increased, there has been a great deal of difficulty for the operator to accurately measure the size without any additional equipment.

또한, 크기검사과정 후 후속공정으로 유리기판을 이송하기 위해서는 정해진 위치에 유리기판을 올려놓는 정렬과정이 필수적인데, 이를 위해서는 별도의 장비 및 추가공정이 필요하여 생산성이 낮아지는 문제점이 있다.Further, in order to transfer the glass substrate to the subsequent process after the size inspection process, the alignment process of placing the glass substrate at the predetermined position is indispensable. To this end, separate equipment and an additional process are required to reduce the productivity.

한국등록특허 10-1310808Korean Patent No. 10-1310808

본 출원은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판의 크기측정과 정렬을 동시에 수행할 수 있는 기판 크기측정 및 정렬장치를 제공하는 것이 과제이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a substrate size measuring and aligning apparatus capable of simultaneously performing size measurement and alignment of a substrate.

본 출원의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present application are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따르면, 측정대상물이 놓여지는 테이블, 상기 테이블에 놓여진 측정대상물을 마주보는 양 측에서 테이블 내측을 향하여 미는 X축 푸셔, 상기 테이블에 놓여진 측정대상물을 상기 X축 푸셔에서 미는 방향과 직교되는 방향으로 양측에서 테이블 내측을 향하여 미는 Y축 푸셔 및 상기 X축 푸셔와 Y축 푸셔가 이동하는 거리를 측정하여 피측정대상물의 크기를 산출하는 제어부를 포함하는 기판 크기측정 및 정렬장치가 개시된다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a measurement apparatus including a table on which a measurement object is placed, an X-axis pusher pushing the measurement object on opposite sides of the table from the opposite sides toward the inside of the table, A Y-axis pusher which pushes the object from the both sides toward the inside of the table in a direction orthogonal to the direction of pushing the object by the X-axis pusher, and a control unit which calculates the size of the object to be measured by measuring the distance that the X- An apparatus for measuring and aligning a substrate size is disclosed.

상기 X축 푸셔 및 Y축 푸셔의 상기 측정대상물과 연접하는 지점에 각각 구비되며, 상기 측정물에 의해 가압되는 압력을 측정하는 센서가 더 구비되고, 상기 제어부는, 상기 센서에서 측정되는 압력이 일정압력 이상인지를 판단하여 상기 X축 푸셔 및 Y축 푸셔의 가압을 중지하도록 이루어질 수 있다.Further comprising a sensor provided at each of the X axis pusher and the Y axis pusher and connected to the measurement object to measure a pressure to be pressurized by the measurement object, The pressure of the X-axis pusher and the Y-axis pusher may be stopped.

상기 X축 푸셔 및 Y축 푸셔에 의해 밀려진 측정대상물의 위치를 고정하는 고정부가 더 구비될 수 있다.And a fixing part for fixing the position of the measurement object pushed by the X-axis pusher and the Y-axis pusher.

상기 X축 푸셔는, 회전력을 발생시키는 X축 모터, 상기 X축 모터에 의해 회전되며 어느 일측방향으로 연장되고, 외주면에 나사산이 형성되되 상기 나사산은 중앙부를 기준으로 양 측에 서로 반대방향으로 형성되는 X축 스크류, 상기 X축 스크류의 중앙부를 기준으로 양 측에 각각 치합되어 상기 X축 스크류의 회전에 따라 서로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 슬라이딩하며 상기 측정대상물의 테두리와 연접되어 측정대상물을 미는 한 쌍의 X축 푸쉬블록을 포함할 수 있다.The X-axis pusher includes: an X-axis motor for generating a rotational force; a motor for driving the X-axis motor, the X-axis motor being rotated by the X-axis motor and extending in a certain direction and forming a thread on an outer circumferential surface, A pair of X-axis screws which are respectively engaged with both sides of the center of the X-axis screw, sliding in a direction approaching or departing from each other in accordance with rotation of the X-axis screw and being connected to the rim of the measurement object, Axis push block of the < / RTI >

상기 Y축 푸셔는, 회전력을 발생시키는 Y축 모터, 상기 Y축 모터에 의해 회전되며 어느 상기 X축 스크류와는 직교하는 방향으로 연장되고, 외주면에 나사산이 형성되되 상기 나사산은 중앙부를 기준으로 양 측에 서로 반대방향으로 형성되는 Y축 스크류, 상기 Y축 스크류의 중앙부를 기준으로 양 측에 각각 치합되어 상기 Y축 스크류의 회전에 따라 서로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 슬라이딩하며 상기 측정대상물의 테두리와 연접되어 측정대상물을 미는 한 쌍의 Y축 푸쉬블록을 포함할 수 있다.The Y-axis pusher includes a Y-axis motor for generating a rotational force, a Y-axis motor for rotating the Y-axis motor, extending in a direction orthogonal to the X-axis screw, a screw thread formed on an outer circumferential surface, A Y-axis screw formed in a direction opposite to the Y-axis screw, the Y-axis screw being engaged with both sides with respect to a center of the Y-axis screw, sliding in a direction approaching or separating from each other according to rotation of the Y- And a pair of Y-axis push blocks pushing the measurement object.

상기 X축 스크류와 X축 푸쉬블록 및 Y축 스크류와 Y축 푸쉬블록은 상기 테이블의 하측에 놓여지며, 상기 테이블에는 상기 X축 푸쉬블록과 Y축 푸쉬블록이 움직이는 경로를 따라 개구된 슬릿이 형성되고, 상기 슬릿을 통해 테이블의 상측까지 연장될 수 있다.The X-axis screw, the X-axis push block, the Y-axis screw, and the Y-axis push block are placed on the lower side of the table, and the table is provided with a slit opened along the path along which the X- And can extend to the upper side of the table through the slit.

상기 테이블의 상기 X축 스크류와 Y축 스크류가 서로 교차하는 지점에 개구부가 형성되며, 상기 테이블의 개구부가 형성된 지점에 X축 푸셔 및 Y축 푸셔에 의해 밀려진 측정대상물의 위치를 고정하는 고정부가 구비될 수 있다.An opening is formed at a position where the X axis screw and the Y axis screw of the table cross each other and a fixing part for fixing the position of the measurement object pushed by the X axis pusher and the Y axis pusher is provided at a point where the opening of the table is formed .

본 출원의 기판 크기측정 및 정렬장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.According to the substrate size measuring and aligning apparatus of the present application, the following effects are obtained.

첫째, 기판의 크기가 자동으로 측정되므로, 작업자가 손수 측정할 때에 비하여 측정시간을 단축할 수 있고, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있어 검사의 신뢰성 및 생산성을 향상시킬 수 있다.First, since the size of the substrate is automatically measured, it is possible to shorten the measurement time and improve the measurement accuracy as compared with when the operator performs manual measurement, thereby improving the reliability and productivity of the inspection.

둘째, 기판의 크기측정과 동시에 기판의 정렬이 동시에 이루어질 수 있어 별도의 정렬장치 및 정렬과정을 수행할 필요가 없으므로 생산성을 향상시킬 수 있으며, 추가장비를 구비할 비용 및 장비설치면적을 절감할 수 있다.Second, since the size of the substrate can be measured and the alignment of the substrate can be performed at the same time, there is no need to perform a separate aligning device and alignment process. Therefore, productivity can be improved, cost for installing additional equipment, have.

셋째, 하나의 장비로 소면적 기판부터 대면적 기판까지 기판의 크기에 상관없이 크기의 측정 및 정렬을 수행할 수 있어 장비의 범용성이 높다.Third, the equipment can be measured and aligned regardless of the size of the substrate from a small-sized substrate to a large-sized substrate with one apparatus, which is high in versatility of the apparatus.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

아래에서 설명하는 본 출원의 바람직한 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 바람직한 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 크기측정 및 정렬장치의 사시도;
도 2는 도 1의 평면도;
도 3은 도 2의 기판 크기측정 및 정렬장치에 기판이 올려져 측정되는 모습을 도시한 평면도;
도 4는 도 1의 테이블에 기판이 올려진 상태를 도시한 측단면도; 그리고,
도 5는 도 3의 측단면도 이다.The foregoing summary, as well as the detailed description of the preferred embodiments of the present application set forth below, may be better understood when read in conjunction with the appended drawings. For the purpose of illustrating the invention, there are shown preferred embodiments in the figures. It should be understood, however, that this application is not limited to the precise arrangements and instrumentalities shown.
1 is a perspective view of a substrate size measuring and aligning apparatus according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a plan view of Figure 1;
FIG. 3 is a plan view showing a state where a substrate is measured and measured in the substrate size measuring and aligning apparatus of FIG. 2; FIG.
FIG. 4 is a side sectional view showing a state in which a substrate is placed on the table of FIG. 1; FIG. And,
5 is a side sectional view of Fig.

이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiment, the same designations and the same reference numerals are used for the same components, and further description thereof will be omitted.

본 실시예에 따른 기판 크기측정 및 정렬장치(100)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 테이블(110)과 X축 푸셔(120), Y축 푸셔(130) 및 제어부(150)를 포함할 수 있다.The substrate size measuring and aligning apparatus 100 according to the present embodiment includes a table 110 and an X-axis pusher 120, a Y-axis pusher 130, and a controller 150, as shown in FIGS. 1 and 2 .

상기 테이블(110)은 측정대상물(10)이 놓여지는 구성요소로서, 평판의 형태로 이루어지며, 받침을 이루는 베이스(102)로부터 지지대 등에 의해 상측으로 이격되어 위치될 수 있다.The table 110 is a component in which the measurement object 10 is placed, and is in the form of a flat plate. The table 110 can be spaced upward from the base 102,

상기 X축 푸셔(120)는 상기 테이블(110)에 놓여진 측정대상물(10)을 마주보는 양 측에서 테이블(110) 내측을 향하여 미는 구성요소로서, 상기 테이블(110)의 하측에 구비될 수 있다.The X-axis pusher 120 is a component that pushes the measurement object 10 placed on the table 110 from opposite sides facing the inside of the table 110, and may be provided below the table 110 .

또한, 상기 Y축 푸셔(130)는 상기 테이블(110)에 놓여진 측정대상물(10)을 상기 X축 푸셔(120)에서 미는 방향과 직교되는 방향으로 양측에서 테이블(110) 내측을 향하여 미는 구성요소로서, 상기 테이블(110)의 하측에 구비될 수 있다.The Y-axis pusher 130 is a member for pushing the measurement object 10 placed on the table 110 toward the inside of the table 110 from both sides in a direction orthogonal to the direction in which the measurement object 10 is pushed by the X-axis pusher 120 And may be provided on the lower side of the table 110.

한편, 상기 제어부(150)는 상기 X축 푸셔(120)와 Y축 푸셔(130)가 이동하는 거리를 측정함으로써 상기 피측정대상물(10)의 크기를 산출하는 구성요소일 수 있다.The control unit 150 may be a component that calculates the size of the measured object 10 by measuring the distance the X-axis pusher 120 and the Y-axis pusher 130 move.

본 실시예의 설명에서, 상기 측정대상물(10)로는 배경기술에서 설명한 평판표시장치 또는 터치스크린패널에 사용되는 사각 형태의 유리기판이 적용되는 것을 예로 들어 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 다른 대상물도 적용 가능하다.In the description of the present embodiment, a rectangular plate glass substrate used in the flat panel display device or the touch screen panel described in the background art will be described as an example of the measurement object 10. However, the present invention is not limited thereto, and other objects are also applicable.

또한, 상기 제어부(150)는 상기 X축 푸셔(120)와 Y축 푸셔(130)가 이동하는 거리를 측정하여 이를 디스플레이 할 수도 있으며, 상기 X축 푸셔(120)와 Y축 푸셔(130)를 제어할 수 있다.The X axis pusher 120 and the Y axis pusher 130 may measure the distance of movement of the X axis pusher 120 and the Y axis pusher 130, Can be controlled.

한편, 상기 X축 푸셔(120) 및 Y축 푸셔(130)에는 상기 측정대상물(10)을 밀기 위해 측정대상물(10)과 연접하는데, 이 때, 상기 측정대상물(10)에 의해 가압되는 압력을 측정하는 센서(129b, 139b)가 구비되며, 상기 제어부(150)는 상기 센서(129b, 139b)에서 측정되는 압력의 크기가 일정압력이상이면 상기 X축 푸셔(120) 및 Y축 푸셔(130)의 상기 측정대상물(10)의 가압을 중지시키도록 이루어질 수 있다.The X axis pusher 120 and the Y axis pusher 130 are connected to the measurement object 10 in order to push the measurement object 10. The pressure applied by the measurement object 10 at this time is Axis pusher 120 and the Y axis pusher 130 when the pressure measured by the sensors 129b and 139b is equal to or greater than a predetermined pressure, To stop the pressurization of the measurement object (10).

상기와 같은 X축 푸셔(120)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, X축 모터(122)와 X축 스크류(124) 및 X축 푸쉬블록(126)을 포함할 수 있다.The X-axis pusher 120 may include an X-axis motor 122, an X-axis screw 124, and an X-axis push block 126, as shown in FIGS.

상기 X축 모터(122)는 상기 제어부(150)에 의해 그 회전방향 및 회전각도가 제어될 수 있다. 그리고, 상기 X축 스크류(124)는 상기 X축 모터(122)에 의해 회전되며 일측방향으로 연장될 수 있다. The rotation direction and the rotation angle of the X-axis motor 122 can be controlled by the controller 150. The X-axis screw 124 may be rotated by the X-axis motor 122 and extend in one direction.

한편, 상기 X축 스크류(124)는 그 외주면에 나사산이 형성되는데, 상기 나사산은 상기 X축 스크류(124)의 중앙지점을 기준으로 양 측에 서로 반대방향으로 형성될 수 있다.On the other hand, the X axis screw 124 is formed with threads on the outer circumferential surface thereof, and the threads may be formed on opposite sides of the X axis screw 124 on both sides with respect to the center point of the X axis screw 124.

그리고, 상기 X축 푸쉬블록(126)은 상기 X축 스크류(124)의 중앙부를 기준으로 양 측에 각각 치합되어 구비될 수 있다. 그리고, 상기 베이스에는 상기 X축 푸쉬블록(126)의 슬라이딩을 안내하는 레일(128)이 배치될 수 있다.The X-axis push block 126 may be coupled to both sides of the X-axis screw 124 with reference to the center of the X-axis screw 124. A rail 128 for guiding the sliding of the X-axis push block 126 may be disposed on the base.

상기 X축 스크류(124)의 나사산이 중앙부를 기준으로 서로 반대방향으로 형성되어 있으므로, 상기 X축 푸쉬블록(126)은 상기 X축 스크류(124)의 회전에 따라 서로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 슬라이딩 할 수 있다.Since the X-axis screw 124 is formed in a direction opposite to the center with respect to the center, the X-axis push block 126 slides in a direction to approach or move away from each other as the X-axis screw 124 rotates .

한편, 상기 측정대상물(10)은 테이블(110)의 상면에 놓여지며, 상기 X축 푸쉬블록(126)은 테이블(110)의 하측에 구비되므로, 상기 X축 푸쉬블록(126)이 상기 테이블(110)의 상면에 놓여진 측정대상물(10)을 밀기 위해서 상기 테이블(110)의 X축 푸쉬블록(126)이 움직이는 경로를 따라 개구된 슬릿(112)이 형성되며, 상기 X축 푸쉬블록(126)은 상기 슬릿(112)을 통해 테이블(110)의 상측까지 연장될 수 있다.Since the X-axis push block 126 is disposed on the lower side of the table 110, the X-axis push block 126 is positioned on the table 110 Axis push block 126 of the table 110 is slid along a path along which the X-axis push block 126 of the table 110 moves to push the measurement object 10 placed on the upper surface of the X- May extend to the upper side of the table 110 through the slit 112.

또한, 상기 X축 푸쉬블록(126)의 테이블(110) 상부로 연장된 부분의 상기 측정대상물(10)과 연접되는 부분에는 푸쉬돌기(129a) 및 측정대상물(10)과의 압력을 측정하는 압력센서(129b)가 구비될 수 있다.The push projection 129a and the pressure measuring the pressure of the measurement object 10 are applied to the portion of the X-axis push block 126 extending to the upper portion of the table 110 and connected to the measurement object 10, A sensor 129b may be provided.

또한, 상기 Y축 푸셔(130)는, Y축 모터(132)와 Y축 스크류(134) 및 Y축 푸쉬블록(136)을 포함할 수 있다.The Y axis pusher 130 may include a Y axis motor 132, a Y axis screw 134, and a Y axis push block 136.

상기 Y축 모터(132)는 상기 제어부(150)에 의해 그 회전방향 및 회전각도가 제어될 수 있다. 그리고, 상기 Y축 스크류(134)는 상기 Y축 모터(132)에 의해 회전되며, 상기 X축 스크류(124)와는 직교하는 방향으로 연장될 수 있다. 한편, 상기 Y축 스크류(134)는 그 외주면에 나사산이 형성되는데, 상기 나사산은 상기 Y축 스크류(134)의 중앙지점을 기준으로 양 측에 서로 반대방향으로 형성될 수 있다.The rotation direction and the rotation angle of the Y-axis motor 132 can be controlled by the controller 150. The Y-axis screw 134 is rotated by the Y-axis motor 132 and may extend in a direction orthogonal to the X-axis screw 124. On the other hand, the Y-axis screw 134 is formed with threads on the outer circumferential surface thereof, and the threads may be formed in opposite directions on both sides with respect to the center point of the Y-axis screw 134.

또한, 상기 Y축 스크류(134)는 그 중앙지점이 상기 X축 스크류(124)의 중앙지점과 교차하도록 배치될 수 있다.In addition, the Y-axis screw 134 may be disposed such that its center point intersects the center point of the X-axis screw 124.

그리고, 상기 Y축 푸쉬블록(136)은 상기 Y축 스크류(134)의 중앙부를 기준으로 양 측에 각각 치합되어 구비될 수 있다. 그리고, 상기 베이스(102)에는 상기 Y축 푸쉬블록(136)의 슬라이딩을 안내하는 레일이 배치될 수 있다.The Y-axis push block 136 may be provided on both sides of the Y-axis screw 134, respectively. A rail for guiding sliding of the Y-axis push block 136 may be disposed on the base 102.

상기 Y축 스크류(134)의 나사산이 중앙부를 기준으로 서로 반대방향으로 형성되어 있으므로, 상기 Y축 푸쉬블록(136)은 상기 Y축 스크류(134)의 회전에 따라 서로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 슬라이딩 할 수 있다.Since the Y-axis screws 134 are formed in opposite directions with respect to the center of the Y-axis screw 134, the Y-axis push block 136 slides in a direction approaching or moving away from each other as the Y-axis screw 134 rotates .

한편, 상기 측정대상물(10)은 테이블(110)의 상면에 놓여지며, 상기 Y축 푸쉬블록(136)은 테이블(110)의 하측에 구비되므로, 상기 Y축 푸쉬블록(136)이 상기 테이블(110)의 상면에 놓여진 측정대상물(10)을 밀기 위해서 상기 테이블(110)의 Y축 푸쉬블록(136)이 움직이는 경로를 따라 개구된 슬릿(112)이 형성되며, 상기 Y축 푸쉬블록(136)은 상기 슬릿(112)을 통해 테이블(110)의 상측까지 연장될 수 있다.Since the Y-axis push block 136 is provided on the lower side of the table 110, the Y-axis push block 136 is disposed on the table 110 Axis push block 136 of the table 110 is slid along a path along which the Y-axis push block 136 of the table 110 is moved to push the measurement object 10 placed on the upper surface of the Y- May extend to the upper side of the table 110 through the slit 112.

또한, 상기 Y축 푸쉬블록(136)의 테이블(110) 상부로 연장된 부분의 상기 측정대상물(10)과 연접되는 부분에는 푸쉬돌기(139a) 및 측정대상물(10)과의 압력을 측정하는 압력센서(139b)가 구비될 수 있다.The push projection 139a and the pressure measuring the pressure of the measurement object 10 are applied to the portion of the Y-axis push block 136 extending to the upper portion of the table 110 and connected to the measurement object 10, A sensor 139b may be provided.

그리고, 상기 테이블의 X축 스크류(124)의 Y축 스크류(134)가 서로 교차하는 지점에는 개구부(114)가 형성되며, 상기 개구부(114)에는 측정대상물(10)의 위치를 고정하는 고정부(140)가 더 구비될 수 있다.An opening 114 is formed at a position where the Y axis screw 134 of the X axis screw 124 of the table intersects with each other and the opening 114 is provided with a fixing portion (140) may be further provided.

상기 고정부(140)는 측정대상물(10)의 하면을 진공을 이용하여 흡착고정하는 방식을 사용할 수 있다.The fixing part 140 may be a method of adsorbing and fixing the lower surface of the measurement object 10 using vacuum.

한편, 상기 제어부(150)는 전술한 바와 같이, 상기 X축 모터(122), Y축 모터(132)및 고정부(140)를 제어하며, X축 모터(122), Y축 모터(132)의 회전각도를 측정하며 상기 압력센서(129b, 139b)에서 측정된 압력을 수신할 수 있다. The control unit 150 controls the X-axis motor 122, the Y-axis motor 132 and the fixing unit 140 and controls the X-axis motor 122, the Y-axis motor 132, And receives the measured pressure from the pressure sensors 129b and 139b.

또한 상기 제어부(150)에는 상기 X축 푸쉬블록(126)과 Y축 푸쉬블록(136)의 초기위치부터의 X축 스크류(124)의 중앙지점까지의 거리(dcx) 및 Y축 스크류(134)의 중앙지점까지의 거리(dcy)가 입력될 수 있다.The controller 150 is further provided with a distance d cx from the initial position of the X axis push block 126 and the Y axis push block 136 to the center point of the X axis screw 124, (D cy ) to the center point of the center point of the image.

이와 같이 구비된 본 실시예에 따른 기판 크기측정 및 정렬장치(100)는 다음과 같이 작동될 수 있다.The substrate size measuring and aligning apparatus 100 according to the present embodiment thus provided can be operated as follows.

먼저, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 테이블(110) 위에 측정대상물(10)이 놓여진 후에, 상기 X축 모터(122)와 Y축 모터(132)가 회전하여, 상기 X축 푸쉬블록(126)과 Y축 푸쉬블록(136)이 작동하면서 상기 측정대상물(10)이 테이블(110) 내측방향으로 밀려 이동된다.4 and 5, after the measurement object 10 is placed on the table 110, the X-axis motor 122 and the Y-axis motor 132 rotate, and the X- The block 126 and the Y-axis push block 136 are operated to move the measurement object 10 in the inward direction of the table 110.

이 때, 상기 X축 푸쉬블록(126)과 Y축 푸쉬블록(136)이 각각 X축과 Y축 양 측에서 동시에 동일한 양 만큼 이동되므로, 상기 측정대상물(10)이 상기 테이블(110)의 중앙지점으로 밀려 이동될 수 있다.Since the X-axis push block 126 and the Y-axis push block 136 are simultaneously moved by the same amount on both the X-axis and the Y-axis, the measurement object 10 is moved in the center of the table 110 And can be moved to the point.

즉, 상기 한 쌍의 X축 푸셔(120)는 하나의 X축 스크류(124)에 의해 구동되므로 동일한 양 만큼 이동되며, 마찬가지로 한 쌍의 Y축 푸셔(130)는 하나의 Y축 스크류(134)에 의해 구동되므로 동일한 양 만큼 이동되므로, 상기 측정대상물(10)이 자연스럽게 테이블(110) 중앙으로 기판이 정렬될 수 있다.That is, the pair of X-axis pushers 120 are moved by the same amount since they are driven by one X-axis screw 124, and similarly, the pair of Y-axis pushers 130 are moved by one Y-axis screw 134, The substrate can be naturally aligned to the center of the table 110 because the measurement object 10 is moved by the same amount.

상기 측정대상물(10)이 테이블(110)의 중앙부로 이동이 완료된 경우 상기 X축 푸쉬블록(126)과 Y축 푸쉬블록(136)은 더 이상 이동을 하지 못하므로 압력센서(129b, 139b)에서 측정되는 압력이 증가한다.When the measurement object 10 is moved to the center of the table 110, the X-axis push block 126 and the Y-axis push block 136 can not move any more. Therefore, the pressure sensors 129b and 139b The measured pressure increases.

상기 제어부(150)에서는 압력센서(129b, 139b)에서 측정되는 압력이 설정된 기준을 초과하는 경우 측정대상물(10)의 정렬이 완료된 것으로 판단하여 X축 모터(122)와 Y축 모터(132)의 작동을 중지시킬 수 있다.When the pressure measured by the pressure sensors 129b and 139b exceeds a preset reference value, the control unit 150 determines that the alignment of the measurement object 10 is completed and the X-axis motor 122 and the Y- The operation can be stopped.

이 때, 상기 제어부(150)에는 상기 X축 푸쉬블록(126)이 이동한 거리(dmx) 및 Y축 푸쉬블록(136)이 이동한 거리(dmy)를 측정하며, 이 측정된 거리와 기 입력된 상기 X축 푸쉬블록(126)과 Y축 푸쉬블록(136)의 초기위치부터의 X축 스크류(124)의 중앙지점, Y축 스크류(134)의 중앙지점까지의 거리(dcx, dcy)를 비교하여 상기 측정대상물(10)의 각 변의 길이(dx, dy)를 산출할 수 있다.At this time, the controller 150 measures a distance d mx of the X-axis push block 126 and a distance d my of the Y-axis push block 136, The distance d cx from the initial position of the X axis push block 126 and the Y axis push block 136 to the center point of the X axis screw 124 and the center point of the Y axis screw 134, d cy) can be compared by calculating the respective side length (d x, d y) of the object to be measured 10 a.

이 때, 상기 X축 푸쉬블록(126)이 이동한 거리(dmx) 및 Y축 푸쉬블록(136)이 이동한 거리(dmy)는 상기 X축 스크류(124) 및 Y축 스크류(134)의 나사산의 피치 및 상기 X축 스크류(124) 및 Y축 스크류(134)의 총 회전각도를 측정함으로써 알 수 있다. 또한, 상기 X축 스크류(124) 및 Y축 스크류(134)의 총 회전각도는 X축 모터(122)와 Y축 모터(132)의 회전각도를 측정함으로써 알 수 있다.At this time, the X-axis push block 126 is moved a distance (d mx) and the Y-axis by the push block 136, the moving distance (d my) is the X-axis screw 124 and the Y-axis screw 134 And the total rotation angle of the X-axis screw 124 and the Y-axis screw 134 can be found. The total rotation angle of the X-axis screw 124 and the Y-axis screw 134 can be found by measuring the rotation angle of the X-axis motor 122 and the Y-axis motor 132.

따라서, 상기 기판 크기의 측정 및 정렬을 동시에 수행할 수 있다.Therefore, measurement and alignment of the substrate size can be performed at the same time.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It is obvious to them. Therefore, the above-described embodiments are to be considered as illustrative rather than restrictive, and the present invention is not limited to the above description, but may be modified within the scope of the appended claims and equivalents thereof.

100: 기판 크기측정 및 정렬장치 102: 베이스
110: 테이블 112: 슬릿
114: 개구부 120: X축 푸셔
122: X축 모터 124: X축 스크류
126: X축 푸쉬블록 128: 레일
129a: 푸쉬돌기 129b: 압력센서
130: Y축 푸셔 132: Y축 모터
134: Y축 스크류 136: Y축 푸쉬블록
138: 레일 139a: 푸쉬돌기
139b: 압력센서 140: 고정부
150: 제어부100: substrate size measuring and aligning device 102: base
110: Table 112: Slit
114: opening 120: X-axis pusher
122: X-axis motor 124: X-axis screw
126: X axis push block 128: rail
129a: push projection 129b: pressure sensor
130: Y-axis pusher 132: Y-axis motor
134: Y axis screw 136: Y axis push block
138: rail 139a: push projection
139b: pressure sensor 140:
150:

Claims (7)

측정대상물이 놓여지는 테이블;
상기 테이블에 놓여진 측정대상물을 마주보는 양 측에서 테이블 내측을 향하여 미는 X축 푸셔;
상기 테이블에 놓여진 측정대상물을 상기 X축 푸셔에서 미는 방향과 직교되는 방향으로 양측에서 테이블 내측을 향하여 미는 Y축 푸셔; 및
상기 X축 푸셔와 Y축 푸셔가 이동하는 거리를 측정하여 피측정대상물의 크기를 산출하는 제어부;
를 포함하는 기판 크기측정 및 정렬장치.A table on which the object to be measured is placed;
An X-axis pusher which pushes the measurement object placed on the table from both sides facing each other toward the inside of the table;
A Y-axis pusher which pushes the measurement object placed on the table from both sides toward the inside of the table in a direction orthogonal to the direction of pushing the X-axis pusher; And
A control unit for calculating a size of an object to be measured by measuring a distance of movement of the X-axis pusher and the Y-axis pusher;
Wherein the substrate size measurement and alignment apparatus comprises: 제1항에 있어서,
상기 X축 푸셔 및 Y축 푸셔의 상기 측정대상물과 연접하는 지점에 각각 구비되며, 상기 측정대상물에 의해 가압되는 압력을 측정하는 센서가 더 구비되고,
상기 제어부는, 상기 센서에서 측정되는 압력이 일정압력 이상인지를 판단하여 상기 X축 푸셔 및 Y축 푸셔의 가압을 중지하는 기판 크기측정 및 정렬장치.The method according to claim 1,
Axis pusher and the Y-axis pusher, wherein the sensor further comprises a sensor provided at a position where the X-axis pusher and the Y-axis pusher are connected to the measurement object,
Wherein the controller stops the pressurization of the X-axis pusher and the Y-axis pusher by determining whether the pressure measured by the sensor is equal to or higher than a predetermined pressure. 제1항에 있어서,
상기 X축 푸셔 및 Y축 푸셔에 의해 밀려진 측정대상물의 위치를 고정하는 고정부가 더 구비되는 기판 크기측정 및 정렬장치.The method according to claim 1,
Further comprising a securing portion for securing a position of the measurement object pushed by the X-axis pusher and the Y-axis pusher. 제1항에 있어서,
상기 X축 푸셔는,
회전력을 발생시키는 X축 모터;
상기 X축 모터에 의해 회전되며 어느 일측방향으로 연장되고, 외주면에 나사산이 형성되되 상기 나사산은 중앙부를 기준으로 양 측에 서로 반대방향으로 형성되는 X축 스크류;
상기 X축 스크류의 중앙부를 기준으로 양 측에 각각 치합되어 상기 X축 스크류의 회전에 따라 서로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 슬라이딩하며 상기 측정대상물의 테두리와 연접되어 측정대상물을 미는 한 쌍의 X축 푸쉬블록;을 포함하는 기판 크기측정 및 정렬장치.The method according to claim 1,
The X-
An X-axis motor for generating a rotational force;
An X-axis screw which is rotated by the X-axis motor and extends in one direction and has threads formed on an outer circumferential surface thereof and the threads are formed in opposite directions on opposite sides with respect to a center portion;
And a pair of X-axis push blocks that are engaged with both sides of the center of the X-axis screw and slide in a direction of approaching or moving away from each other according to the rotation of the X-axis screw and are connected to the rim of the measurement object, And a substrate size measurement and alignment device. 제4항에 있어서,
상기 Y축 푸셔는,
회전력을 발생시키는 Y축 모터;
상기 Y축 모터에 의해 회전되며 어느 상기 X축 스크류와는 직교하는 방향으로 연장되고, 외주면에 나사산이 형성되되 상기 나사산은 중앙부를 기준으로 양 측에 서로 반대방향으로 형성되는 Y축 스크류;
상기 Y축 스크류의 중앙부를 기준으로 양 측에 각각 치합되어 상기 Y축 스크류의 회전에 따라 서로 가까워지거나 멀어지는 방향으로 슬라이딩하며 상기 측정대상물의 테두리와 연접되어 측정대상물을 미는 한 쌍의 Y축 푸쉬블록;을 포함하는 기판 크기측정 및 정렬장치.5. The method of claim 4,
The Y-
A Y-axis motor for generating a rotational force;
A Y-axis screw which is rotated by the Y-axis motor and extends in a direction orthogonal to any of the X-axis screws, a screw thread is formed on an outer circumferential surface of the Y-axis motor,
And a pair of Y-axis push blocks which are engaged with both sides of the center of the Y-axis screw and slide in a direction of approaching or moving away from each other according to the rotation of the Y-axis screw and are connected to the rim of the measurement object, And a substrate size measurement and alignment device. 제5항에 있어서,
상기 X축 스크류와 X축 푸쉬블록 및 Y축 스크류와 Y축 푸쉬블록은 상기 테이블의 하측에 놓여지며, 상기 테이블에는 상기 X축 푸쉬블록과 Y축 푸쉬블록이 움직이는 경로를 따라 개구된 슬릿이 형성되고, 상기 슬릿을 통해 테이블의 상측까지 연장되는 기판 크기측정 및 정렬장치.6. The method of claim 5,
The X-axis screw, the X-axis push block, the Y-axis screw, and the Y-axis push block are placed on the lower side of the table, and the table is provided with a slit opened along the path along which the X- And extends through the slit to an upper side of the table. 제5항에 있어서,
상기 테이블의 상기 X축 스크류와 Y축 스크류가 서로 교차하는 지점에 개구부가 형성되며,
상기 테이블의 개구부가 형성된 지점에 X축 푸셔 및 Y축 푸셔에 의해 밀려진 측정대상물의 위치를 고정하는 고정부가 구비되는 기판 크기측정 및 정렬장치.6. The method of claim 5,
An opening is formed at a position where the X-axis screw and the Y-axis screw cross each other,
And a fixing portion for fixing the position of the measurement object pushed by the X-axis pusher and the Y-axis pusher at a position where the opening of the table is formed.
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