KR20150088630A - 터치센서 - Google Patents

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KR20150088630A KR1020140009161A KR20140009161A KR20150088630A KR 20150088630 A KR20150088630 A KR 20150088630A KR 1020140009161 A KR1020140009161 A KR 1020140009161A KR 20140009161 A KR20140009161 A KR 20140009161A KR 20150088630 A KR20150088630 A KR 20150088630A
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metal thin
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유영석
허강헌
한성
양덕진
신재호
김연수
신승주
이현동
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삼성전기주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 터치센서는 윈도우 기판, 상기 윈도우 기판의 일면에 접합되며, 베이스 기판의 일면에 적어도 둘 이상의 전극층이 적층되어 형성되는 제 1 금속세선으로 이루어진 제 1 전극패턴, 상기 베이스 기판의 타면에 적어도 둘 이상의 전극층이 적층되어 형성되는 제 2 금속세선으로 이루어진 제 2 전극패턴을 포함하고, 상기 제 1 및 2 금속세선은 상기 적층되는 전극층의 갯수가 상호 상이할 수 있다.

Description

터치센서{Touch sensor}
본 발명은 터치센서에 관한 것이다.
디지털 기술을 이용하는 컴퓨터가 발달함에 따라 컴퓨터의 보조 장치들도 함께 개발되고 있으며, 개인용 컴퓨터, 휴대용 전송장치, 그 밖의 개인 전용 정보처리장치 등은 키보드, 마우스와 같은 다양한 입력장치(Input Device)를 이용하여 텍스트 및 그래픽 처리를 수행한다.
하지만, 정보화 사회의 급속한 진행에 따라 컴퓨터의 용도가 점점 확대되는 추세에 있는 바, 현재 입력장치 역할을 담당하는 키보드 및 마우스만으로는 효율적인 제품의 구동이 어려운 문제점이 있다. 따라서, 간단하고 오조작이 적을 뿐 아니라, 누구라도 쉽게 정보입력이 가능한 기기의 필요성이 높아지고 있다.
또한, 입력장치에 관한 기술은 일반적 기능을 충족시키는 수준을 넘어서 고 신뢰성, 내구성, 혁신성, 설계 및 가공 관련기술 등으로 관심이 바뀌고 있으며, 이러한 목적을 달성하기 위해서 텍스트, 그래픽 등의 정보 입력이 가능한 입력장치로서 터치센서(Touch Panel)이 개발되었다.
이러한 터치센서는 전자수첩, 액정표시장치(LCD; Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), El(Electroluminescence) 등의 평판 디스플레이 장치 및 CRT(Cathode Ray Tube)와 같은 디스플레이의 표시면에 설치되어, 사용자가 디스플레이를 보면서 원하는 정보를 선택하도록 하는데 이용되는 도구이다.
또한, 터치센서의 종류는 저항막방식(Resistive Type), 정전용량방식(Capacitive Type), 전기자기장방식(Electro-Magnetic Type), 소오방식(SAW Type; Surface Acoustic Wave Type) 및 인프라레드방식(Infrared Type)으로 구분된다. 이러한 다양한 방식의 터치센서는 신호 증폭의 문제, 해상도의 차이, 설계 및 가공 기술의 난이도, 광학적 특성, 전기적 특성, 기계적 특성, 내환경 특성, 입력 특성, 내구성 및 경제성을 고려하여 전자제품에 채용되는데, 현재 가장 광범위한 분야에서 사용하는 방식은 저항막방식 터치센서과 정전용량방식 터치센서가다.
한편, 터치센서는 하기의 선행기술문헌에 기재된 특허문헌과 같이, 금속을 이용하여 전극패턴을 형성하려는 연구가 활발히 진행되고 있다. 이와 같이, 금속으로 전극패턴을 형성하면, 전기전도도가 우수하며, 수급이 원활하다는 장점이 있다. 다만, 금속으로 전극패턴을 형성하는 경우, 사용자에게 전극패턴이 시인될 수 있는 문제점이 있었다. 특히, 전도성을 위해 사용되는 금속전극의 불투명성에 의한 전극패턴 시인문제, 노출된 전극패턴이 내부식성에 의한 신뢰성 저감 또는 투명기판의 양면에 전극패턴을 형성하는 과정에서 열응력에 의한 상기 투명기판 또는 전극패턴의 변형등의 다양한 문제점이 있었다.
JP2011-175967 A1
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 터치센서의 전극패턴을 적어도 둘 이상의 이종재질을 사용한 적층구조를 이용함으로써, 전극패턴의 노출부의 내부식성 및 전극패턴과 투명기판사이의 접착 신뢰성이 향상되고, 전도성 금속에 의한 전극패턴의 시인문제가 개성된 터치센서를 제공하기 위한 것이다.
또한, 투명기판의 양면에 형성되는 전극패턴의 적층구조 및 적층두께를 달리하여 형성함으로써, 투명기판의 양면에 전극패턴을 증착하는 과정에서 발생할 수 있는 열응력에 의한 상기 투명기판 및 전극패턴의 열적손상을 방지할 수 있는 터치센서를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 터치센서는 윈도우 기판, 상기 윈도우 기판의 일면에 접합되며, 베이스 기판의 일면에 적어도 둘 이상의 전극층이 적층되어 형성되는 제 1 금속세선으로 이루어진 제 1 전극패턴, 상기 베이스 기판의 타면에 적어도 둘 이상의 전극층이 적층되어 형성되는 제 2 금속세선으로 이루어진 제 2 전극패턴을 포함하고, 상기 제 1 및 2 금속세선은 상기 적층되는 전극층의 갯수가 상호 상이할 수 있다.
또한, 상기 제 1 금속세선은 제 1 전극층, 제 2 전극층 및 제 3 전극층이 순차적으로 적층되어 형성되며, 상기 제 2 금속세선은 제 4 전극층 및 제 5 전극층이 순차적으로 적층되어 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 금속세선은 상기 제 1 및 3 전극층의 적층방향의 두께가 상기 제 2 전극층의 두께보다 얇게 형성되며,상기 제 2 금속세선은 상기 제 4 전극층의 적층방향의 두께가 상기 제 5 전극층의 두께보다 얇게 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 2 금속세선은 상기 제 4 전극층의 적층방향의 두께가 상기 제 1 전극패턴의 제 1 전극층의 적층방향의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 2 금속세선은 상기 제 5 전극층의 적층방향의 두께가 상기 제 1 금속세선의 제 2 금속층의 적층방향의 두께보다 두껍게 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 전극층의 두께는 30 nm 이며, 상기 제 4 전극층의 두께는
30nm ~ 50nm 으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 전극층, 상기 제 3 전극층 및 상기 제 4전극층은 구리(CU) 와 니켈(NI)의 합금일 수 있다.
또한, 상기 제 2 전극층 과 상기 제 5 전극층은 구리(CU) , 알루미늄(Al) 또는 그 조합으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 및 2 전극패턴은 상기 금속세선으로 형성된 메쉬패턴일 수 있다.
또한, 상기 제 2 전극패턴은 상기 제 5 전극층의 적층방향으로의 두께가 상기 제 1 전극패턴의 상기 제 2 전극층의 적층방향으로의 두께보다 10% ~ 15% 더 두껍게 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 터치센서의 전극패턴의 다층 구조를 통해, 투명기판에 접하는 전극패턴의 전극층을 박막층으로 형성함으로써, 투명기판과의 접착력을 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 사용자에 의해 시인되는 최외곽에 노출되는 전극패턴 상부 전극층을 니켈(Ni)을 포함한 합금층으로 형성함으로써, 사용자에 의한 전극패턴의 시인성을 저감시킬 수 있다.
또한, 투명기판의 양면에 형성되는 전극패턴을 구성하는 전극층의 적층구조 및 적층두께를 달리하여 형성함으로써, 투명기판의 양면에 전극패턴을 증착하는 과정에서 발생할 수 있는 열응력에 의한 상기 투명기판 및 전극패턴의 열적손상을 방지할 수 있으며, 이를 통해, 터치센서의 작동성능 및 구동의 신뢰성을 보다 용이하게 확보할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 터치센서의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전극패턴의 평면도이다.
도 3는 도 2의 I - I' 를 기준으로 절단한 전극패턴의 다른 실시예에 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전극패턴을 구성하는 전극층의 두께에 대한 빛의 투과도를 나타낸 도면이다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, "일면", "타면", "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 이하, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명인 터치센서에 대한 실시예를 상세히 설명하기로 하며, 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 터치센서의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 전극패턴의 평면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 터치센서(10)는 베이스기판(200), 상기 베이스기판(200)의 양면에 각각 형성된 제 1 및 2 전극패턴(210,220)을 포함하며, 상기 제 1 및 2 전극패턴(210,220)은 적어도 둘 이상의 전극층이 적층되어 형성될 수 있고, 터치센서에 의한 사용자의 입력에 대한 출력값을 나타내기 위한 디스플레이부(400)는 상기 베이스기판(200)의 타면에 형성된 상기 제 2 전극패턴(220)상에 접착제(300)등에 의해 접착될 수 있다. 여기에서, 디스플레이부(400)는 영상장치로써 LCD,OLED 등 다양한 디스플레이장치가 포함될 수 있으며, 특별한 종류의 장치에 한정되는 것은 아니다.
윈도우 기판(100)은 터치센서(10)의 최외각에 배치되어 사용자의 터치를 입력받음과 동시에 강화유리등으로 형성되어 보호층의 역할을 동시에 수행할 수 있으며, 윈도우 기판(100)의 배면에는 베젤부(미도시) 와 전극패턴(121,122)이 형성될 수 있으므로, 윈도우 기판(100)과 베젤부(미도시) 또는 전극패턴(121,122)사이의 접착력을 향상시키기 위해서 윈도우 기판(100)의 배면에 고주파 처리 또는 프라이머(primer)처리 등을 수행하여 표면처리층(미도시)을 형성할 수 있다.
베이스기판(200)은 소정강도 이상을 보유한 재질로써 투명하여 디스플레이부(40)의 영상이 출력될 수 있는 것이라면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리카보네이트(PC), 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리에테르술폰(PES), 고리형 올레핀 고분자(COC), TAC(Triacetylcellulose) 필름, 폴리비닐알코올(Polyvinyl alcohol; PVA) 필름, 폴리이미드(Polyimide; PI) 필름, 폴리스틸렌(Polystyrene; PS), 이축연신폴리스틸렌(K레진 함유 biaxially oriented PS; BOPS), 유리 또는 강화유리 등으로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 베이스기판(200)의 일면에는 전극패턴(210,220)이 형성될 수 있으므로 베이스기판(200)과 전극패턴(210,220) 사이의 접착력을 향상시키기 위해서 베이스기판(200)의 일면에 고주파 처리 또는 프라이머(primer) 처리 등을 수행하 여 표면처리층을 형성할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 전극패턴(210)은 베이스기판(200)의 일면에 상호 평행하게 형성되며, 제 2 전극패턴(220)은 베이스기판(200)의 타면에 제 1 전극패턴(210)의 형성방향과 교차되도록 형성될 수 있다. 이경우, 일반적으로 제1 전극패턴(210)과 제2 전극패턴(220)을 바(bar)패턴으로 도시하였으나, 본 발명에 따른 제 1 및 2 전극패턴(210,220)의 형상 및 구조는 특별히 한정되는 것은 아니다.
그리고, 제 1 및 2 전극패턴(210,220)은 금속세선으로 형성되는 메쉬패턴으로 형성되는 것이 적절하며, 그 메쉬패턴을 이루는 형상은 사각형, 삼각형, 다이아몬드형 등 다각형 형상을 포함하며, 특별한 형상에 한정을 두는 것은 아니다. 전극패턴(20)은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 금(Au), 은(Ag), 티타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 크롬(Cr), 니켈(Ni) 또는 이들의 조합을 이용하여 메시패턴(Mesh Pattern)으로 형성할 수 있다.
제 1 및 2 전극패턴(210,220)의 형성방법은 건식 공정, 습식 공정 또는 다이렉트(direct) 패터닝 공정으로 형성할 수 있다. 여기서, 건식공정은 스퍼터링(Sputtering), 증착(Evaporation) 등을 포함하고, 습식 공정은 딥 코팅(Dip coating), 스핀 코팅(Spin coating), 롤 코팅(Roll coating), 스프레이 코팅(Spray coating) 등을 포함하며, 다이렉트 패터닝 공정은 스크린 인쇄법(Screen Printing), 그라비아 인쇄법(Gravure Printing), 잉크젯 인쇄법(Inkjet Printing) 등을 포함하는 것이다.
또한, 포토리소그래피를 이용하여, 베이스기판(200)상에 제 1 및 2 전극패턴(210,220)상에 감광물질을 도포하고, 원하는 패턴으로 형성된 마스크를 이용하여 빛을 조사한다. 이때 빛을 받은 감광물질부분을 현상액으로 제거하거나, 빛을 받지 않은 부분을 현상액으로 제거하는 등 원하는 패턴을 형성하기 위한 현상공정을 진행한다 이후에, 감광물질이 특정 패턴으로 형성되고, 감광물질을 레지스트로 하여 에칭액으로 나머지 부분을 제거한 후, 감광물질을 제거하면, 원하는 패턴의 전극패턴(210,220)을 제작할 수 있다.
이러한 메쉬패턴은 불투명한 금속세선을 이용하여 제 1 및 2 전극패턴(210,220)을 형성함에 따라 터치센서의 사용자에 의한 제 1 및 2 전극패턴(210,220)이 시인되는 문제점이 있었다. 그러므로, 메쉬패턴을 포함하는 제 1 및 2 전극패턴(210,220)은 미세패턴으로 구현함과 함께 제 1 및 2 전극패턴(210,220)의 시인성을 저감시킬 필요가 있다. 또한, 금속성의 세선을 이용하여 제 1 및 2 전극패턴(210,220)을 형성함으로써, 전위차 또는 양극-음극을 연결하는 전극배선에 연결됨에 따라 쉽게 부식될 수 있는 내구성의 문제 등이 발생될 수 있었다.
따라서, 본 발명에서는 제 1 및 2 전극패턴(210,220)의 재질을 효과적으로 조합한 적어도 둘이상의 전극층을 순차적으로 적층하여, 형성하며, 제 1 및 2 전극패턴(210,220)의 전도성 확보 및 부식등을 방지하기 위한 별도 재질의 금속등을 합금함으로써, 제 1 및 2 전극패턴(210,220)의 내환경성 및 시인특성을 보다 효과적으로 향상시킬 수 있다.
이하, 도 3 과 도 4를 참고하여, 본 발명에 따른 터치센서의 제 1 및 2 전극패턴을 구성하는 복수의 전극층에 대해 보다 상세히 설명할 것이다.
도 3는 도 2의 I - I' 를 기준으로 절단한 전극패턴의 실시예에 따른 단면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전극패턴을 구성하는 전극층의 두께에 대한 빛의 투과도를 나타낸 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제 1 전극패턴(210)은 윈도우 기판(100)의 일면에 접합되며, 베이스기판(200)의 일면에 제 1 전극층(211a1), 제 2 전극층(211a2) 및 제 3 전극층(211a3)이 순차적으로 적층되고, 패터닝 공정을 통해 형성된 제 1 금속세선(211)을 포함할 수 있으며, 제 1 내지 3 전극층(211a1 211a2 211a3)의 적층방향으로의 두께(d1,d2,d3)는 제 1 전극층(211a1)의 두께(d1)가 제 2 전극층(211a2)의 두께(d2)보다 얇게 형성될 수 있으며, 제 3 전극층(211a3) 및 제 1 전극층(211a1)의 두께(d3,d1)는 동일하게 형성될 수 있는바, 제 1 전극층(211a1) 및 제 3 전극층(211a3)의 두께(d1,d3)는 30 nm 으로, 제 2 전극층(211a2)은 160 nm 으로 형성될 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고, 제 2 전극패턴(220)은 베이스기판(200)의 타면에 제 4 전극층( 221a1) 및 제 5 전극층(221a2)이 순차적으로 적층되고, 패터닝을 통해 형성된 제 2 금속세선(221)을 포함할 수 있으며, 제 4 전극층(221a1)의 적층방향의 두께(d4)는 제 1 금속세선(211)의 제 1 전극층(211a1)의 적층방향의 두께(d1)보다 두껍게 형성될 수 있으며, 제 4 전극층(221a1)의 두께(d4)는 30 nm 내지 50 nm으로 형성될 수 있다.
즉, 베이스기판(200)의 타면에 접촉되는 제 4 전극층(221a1)은 제 2 전극패턴(220)의 형성을 위해 수반될 수 있는 에칭공정에서의 에칭 레이트(etching rate)를 향상시켜, 미세 전극패턴(220)의 구현을 보다 용이하게 할 수 있는 기능 뿐만 아니라, 베이스기판(200)과의 접착력을 확보하고, 제 4 전극층(221a1)상에 적층되며, 구리등으로 형성되는 제 5 전극층(221a2)의 시인특성을 경감시킬 필요성이 있다.
따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 제 4 전극층(221a1)의 두께(d4)는 베이스기판(200)과의 접착력을 확보하기 위해 10 nm ~ 15 nm 이내에서 형성될 수 있지만, 제 4 전극층(221a1 )상에 형성되는 제 5 전극층(221a2)의 시인특성을 경감시키기 위해서는 빛의 투과도(%)가 10 %이하가 될 수 있도록, 제 4 전극층(221a1)의 두께(d4)는 30 nm 이상으로 형성될 수 있으며, 30 nm 내지 50 nm 에서 형성되는 것이 바람직할 것이다.
그리고, 제 5 전극층(221a2)의 적층방향의 두께(d5)는 제 1 금속세선(211)의 제 2 전극층(211a2)의 두께(d2) 보다 두껍게 형성될 수 있으며, 제 5 전극층(221a2)의 두께(d5)는 제 1 금속세선(211)의 제 2 전극층(211a2)의 두께(d2)보다 10 % 내지 15 % 더 두껍게 형성될 수 있다.
즉, 베이스기판(200)의 일면에 스퍼터링 공정을 통해, 제 1 전극패턴(210)을 증착한 후, 베이스기판(200)의 타면에 스퍼터링 공정을 통해, 제 2 전극패턴(220)을 형성하는 공정에서 발생할 수 있는 베이스기판(200) 또는 제 1 전극패턴(210)의 열적손상(열주름등)을 방지하기 위해, 제 5 전극층(221a2)의 두께(d5)는 제 1 전극패턴(210)의 제 2 전극층(211a2)의 두께(d2)보다 더 두껍게 형성될 수 있으며, 제 2 전극층(211a2)의 두께(d2)보다 10 % 내지 15% 더 두껍게 형성하는 것이 바람직할 것이다.
여기에서, 베이스 기판(200)의 일면에 형성되는 제 1 금속세선(211)의 제 1 전극층(211a1) 과 타면에 형성되는 제 2 금속세선(221)의 제 4 전극층(221a1 )은 구리와 니켈의 합금으로 형성될 수 있으며, 베이스기판(200)과의 접착력을 확보하고, 제 1 및 2 전극패턴(210,220) 형성을 위해 수반될 수 있는 에칭공정에서의 에칭레이트(etching rate)를 향상시켜 미세 전극패턴(210,220)의 구현을 보다 용이하게 할 수 있다.
나아가, 제 1 금속세선(211)의 제 3 전극층(211a3)은 제 1 및 2 전극패턴(210,220)의 부식에 의한 전기적 신뢰성 저하를 방지하기 위한 내부식성 재질을 채용하거나, 최외곽에서 사용자에 의한 시인특성을 향상시키기 위한 재질로 형성하는 것이 적절하고, 제 1 금속세선(211)의 제 2 전극층(211a2) 과 제 2 금속세선(221)의 제 4 전극층(221a1)은 구리,알루미늄 또는 그 조합으로 형성될 수 있으며, 전기전도성을 고려하여 선택, 적용되는 것이 적절하다.
상기에서 검토한 바와 같이, 투명기판의 양면에 형성되는 전극패턴을 구성하는 전극층의 적층구조 및 적층두께를 달리하여 형성함으로써, 투명기판의 양면에 전극패턴을 증착하는 과정에서 발생할 수 있는 열응력에 의한 상기 투명기판 및 전극패턴의 열적손상을 방지할 수 있으며, 이를 통해, 터치센서의 작동성능 및 구동의 신뢰성을 보다 용이하게 확보할 수 있다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 터치센서는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
10 : 터치센서
100 : 윈도우 기판 200 : 투명기판
210 : 제 1 전극패턴 211a1 : 제 1 전극층
211a2 : 제 2 전극층 211a3: 제 3 전극층
220 : 제 2 전극패턴 221a1 : 제 4 전극층
221a2 : 제 5 전극층 300 : 접착제
400 : 디스플레이부

Claims (10)

  1. 윈도우 기판;
    상기 윈도우 기판의 일면에 접합되며, 베이스 기판의 일면에 적어도 둘 이상의 전극층이 적층되어 형성되는 제 1 금속세선으로 이루어진 제 1 전극패턴;
    상기 베이스 기판의 타면에 적어도 둘 이상의 전극층이 적층되어 형성되는 제 2 금속세선으로 이루어진 제 2 전극패턴을 포함하고,
    상기 제 1 및 2 금속세선은 상기 적층되는 전극층의 갯수가 상호 상이한 터치센서.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 금속세선은
    제 1 전극층, 제 2 전극층 및 제 3 전극층이 순차적으로 적층되어 형성되며,
    상기 제 2 금속세선은
    제 4 전극층 및 제 5 전극층이 순차적으로 적층되어 형성되는 터치센서.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제 1 금속세선은
    상기 제 1 및 3 전극층의 적층방향의 두께가 상기 제 2 전극층의 두께보다 얇게 형성되며,
    상기 제 2 금속세선은
    상기 제 4 전극층의 적층방향의 두께가 상기 제 5 전극층의 두께보다 얇게 형성되는 터치센서.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제 2 금속세선은
    상기 제 4 전극층의 적층방향의 두께가
    상기 제 1 전극패턴의 제 1 전극층의 적층방향의 두께보다 두껍게 형성되는 터치센서.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제 2 금속세선은
    상기 제 5 전극층의 적층방향의 두께가
    상기 제 1 금속세선의 제 2 금속층의 적층방향의 두께보다 두껍게 형성되는 터치센서.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제 1 전극층의 두께는 30 nm 이며,
    상기 제 4 전극층의 두께는
    30nm ~ 50nm 으로 형성되는 터치센서.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 제 1 전극층, 상기 제 3 전극층 및 상기 제 4전극층은
    구리(CU) 와 니켈(NI)의 합금인 터치센서.
  8. 청구항 2에 있어서,
    상기 제 2 전극층 과 상기 제 5 전극층은
    구리( CU) , 알루미늄(Al) 또는 그 조합으로 형성되는 터치센서.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 및 2 전극패턴은
    상기 금속세선으로 형성된 메쉬패턴인 터치센서.
  10. 청구항 5에 있어서,
    상기 제 2 전극패턴은
    상기 제 5 전극층의 적층방향으로의 두께가
    상기 제 1 전극패턴의 상기 제 2 전극층의 적층방향으로의 두께보다 10% ~ 15% 더 두껍게 형성되는 터치센서.
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