KR20150086607A - 이송장치 - Google Patents

이송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20150086607A
KR20150086607A KR1020140006481A KR20140006481A KR20150086607A KR 20150086607 A KR20150086607 A KR 20150086607A KR 1020140006481 A KR1020140006481 A KR 1020140006481A KR 20140006481 A KR20140006481 A KR 20140006481A KR 20150086607 A KR20150086607 A KR 20150086607A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pair
rails
direction switching
disposed
conveying
Prior art date
Application number
KR1020140006481A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101595001B1 (ko
Inventor
이재훈
배용득
이성진
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020140006481A priority Critical patent/KR101595001B1/ko
Publication of KR20150086607A publication Critical patent/KR20150086607A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101595001B1 publication Critical patent/KR101595001B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/52Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices
    • B65G47/53Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices between conveyors which cross one another

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

이송장치가 개시된다. 본 발명의 이송장치는, 상호 간 이격 배치되어 물류품을 반송시키는 한 쌍의 제1 반송레일; 한 쌍의 제1 반송레일과는 다른 높이에 배치되며, 제1 반송레일과 교차되게 배치되어 물류품을 반송시키는 한 쌍의 제2 반송 레일; 및 한 쌍의 제1 반송레일과 동축적으로 배치되는 한 쌍의 제1 방향전환레일과, 한 쌍의 제2 반송레일과 동축적으로 배치되는 한 쌍의 제2 방향전환레일을 구비하며, 제1 및 제2 반송레일의 교차지점에 배치되어 물류품의 반송방향을 전환시키는 방향전환유닛을 포함하며, 한 쌍의 제1 반송레일과 한 쌍의 제1 방향전환레일 사이에 한 쌍의 제2 방향전환레일 중 어느 하나의 일단부가 배치될 수 있다.

Description

이송장치{TRANSFERRING APPARATUS}
본 발명은, 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 카세트 물류 방향이 교차되는 지점에서 카세트 물류 걸림 현상이 없이 카세트 물류의 방향을 전환시켜 카세트를 이송할 수 있는 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 평판표시장치에서 글래스 기판 또는 마스크(Mask)의 역할과 기능은 갈수록 중요한 과제로 대두되고 있는데, 이는 기판에 형성되는 다수의 회로 소자의 기능에 따라 평판디스플레이 패널의 전체적인 품질이 많은 영향을 받기 때문이다.
생산 현장에서는 작업 효율을 최대화하고 청정도를 높이기 위해, 여러 공정을 거쳐 완성된 다수개의 기판 , 글래스 기판 또는 마스크(Mask)가 로봇을 통해 카세트(Cassette)에 수납된 후 이송과정을 거쳐 스토커(Stocker)에 저장된다.
즉, 기판, 글래스 기판 또는 마스크(Mask)를 각각 수납한 카세트는 자동제어방식에 의한 자동반송대차(AGV : Automatically Guided Vehicle), 또는, 작업자가 직접 끌고 이송하는 수동반송대차(MGV : Manual Guided Vehicle)에 의해 이송장치로 운반된 후 스토커측으로 이송되어 카세트 자체 또는 카세트에 적재된 개별 물품이 스토커에 마련된 선반에 적재되거나 역과정을 거쳐 반출된다.
여기서, LCD 또는 OLED 제조 설비에서 해당 공정이 완료된 후, 다음 LCD 또는 OLED 제조 공정으로 바로 이송되지 않고 카세트 자체 또는 카세트에 적재된 개별 물품을 스토커에 일시 저장하는 이유는, 각 LCD 또는 OLED 제조 공정에서의 글래스 기판 또는 마스크의 처리 능력이나, 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위함이다.
한편, 종래 기술에서 카세트를 반송시키기 위하여 컨베이어(conveyor) 물류셔틀(shuttle)물류들을 이용한다. 물류 반송을 위해서는 직선이송구간뿐만 아니라 교차물류가 필연적으로 발생하고 이때, 카세트를 교차 반송시키기 위해서는 물류방향 전환 시스템이 요구된다.
일반적으로 물류 교차점에는 다이버트 유닛(diverter unit)을 설치하게 되는데, 다이버트 유닛의 특성상 물류 교차지점에서 물류를 회전시키는 아이들 유닛(idle unit)이 있어야만 간섭없이 원활하게 이송할 수 있다. 그러나 각각의 물류 설치 여건상 아이들 유닛을 설치할 수 없는 경우가 있다.
이러한 경우, 업/다운(UP/DOWN) 방식이 적용되는 다이버트 유닛(diverter unit)이 아이들 유닛을 대신하여 카세트 물류의 방향전환을 수행할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 이송 장치의 개략적인 평면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 업/다운(UP/DOWN) 방식의 다이버트 유닛(diverter unit,3)은, 예컨데 제1 컨베이어(1)를 따라 카세트(C)가 다이버트 유닛(3) 위에 도달하면, 다이버트 유닛(3) 중에서 제2 컨베이어(2)와 나란하게 배치되는 다이버트 컨베이어(4)가 상승하여 제2 컨베이어(2)로 카세트(C)를 이송하도록 되어 있다.
그런데, 다이버트 유닛(3)과 제1 컨베이어(1)와 교차되는 제2 컨베이어(2)와의 접속 간격이 멀어 다이버트 유닛(3)에서 제2 컨베이어로 카세트(C)가 이송되는 과정에서 카세트(C)가 다이버트 유닛(3)과 제2 컨베이어(2) 사이의 이격 공간(B)에 걸려 제2 컨베이어(2)를 타고 넘어가지 못하는 걸림 현상이 빈번하게 일어난다.
이로 인해, 카세트(C) 반송 시간이 지연될 뿐만 아니라 카세트(C)에 수납된 글래스 기판이 충격으로 손상되는 등의 문제점이 있다.
또한, 종래의 이송장치의 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 전후좌우 4방향에서 카세트가 진입할 수 있도록 물류 레이아웃(LAYOUT)을 구현하기도 어렵다.
대한민국 공개특허 10-2010-0105376 (무라다기카이가부시끼가이샤)
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 카세트 물류 방향이 교차되는 지점에서 물류 레이아웃(LAYOUT)을 십자교차물류로 구현할 수 있으며 카세트의 걸림 현상 없이 원활하게 카세트를 이송할 수 있는 이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 상호 간 이격 배치되어 물류품을 반송시키는 한 쌍의 제1 반송레일; 상기 한 쌍의 제1 반송레일과는 다른 높이에 배치되며, 상기 제1 반송레일과 교차되게 배치되어 상기 물류품을 반송시키는 한 쌍의 제2 반송 레일; 및 상기 한 쌍의 제1 반송레일과 동축적으로 배치되는 한 쌍의 제1 방향전환레일과, 상기 한 쌍의 제2 반송레일과 동축적으로 배치되는 한 쌍의 제2 방향전환레일을 구비하며, 상기 제1 및 제2 반송레일의 교차지점에 배치되어 상기 물류품의 반송방향을 전환시키는 방향전환유닛을 포함하며, 상기 한 쌍의 제1 반송레일과 상기 한 쌍의 제1 방향전환레일 사이에 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일 중 어느 하나의 일단부가 배치되는 이송장치가 제공될 수 있다.
상기 한 쌍의 제2 반송레일과 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일 사이에 상기 한 쌍의 제1 방향전환레일 중 어느 하나의 일단부가 배치될 수 있다.
상기 한 쌍의 제1 방향전환레일과 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일은 상호 간섭없이 상하로 상대이동이 가능하게 배치되되, 상기 한 쌍의 제1 방향전환레일의 어느 일단부는 상기 제1 반송레일에 인접하게 동축적으로 배치되고 다른 타단부는 상기 제2 방향전환레일에 인접하고 교차되게 배치되며, 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일의 어느 일단부는 상기 제2 반송레일에 인접하게 동축적으로 배치되고 다른 타단부는 상기 제1 방향전환레일에 인접하고 교차되게 배치될 수 있다.
상기 한 쌍의 제1 방향전환레일과 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일은 사각형의 루프 형상으로 상호간 각각의 일단부들이 엇갈리게 배치될 수 있다.
상기 한 쌍의 제1 방향전환레일의 길이와 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일의 길이는 서로 동일할 있다.
상기 한 쌍의 제1 방향전환레일과 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일 중 적어도 어느 하나는 해당 위치에서 업/다운(UP/DOWN) 구동되는 승강형 레일일 수 있다.
상기 한 쌍의 제1 방향전환레일은 해당 위치에서 고정되는 고정형 레일이며, 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일은 해당 위치에서 업/다운(UP/DOWN) 구동되는 승강형 레일일 수 있다.
상기 방향전환유닛은, 상기 한 쌍의 제1 방향전환레일을 상기 한 쌍의 제1 반송레일과 동일한 높이로 이격되게 지지하며, 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일이 업/다운 동작되게 수용하는 유닛본체를 더 포함할 수 있다.
상기 유닛본체는, 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일을 지지하는 지지프레임; 및 상기 지지프레임을 승하강시키는 승하강구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 승하강구동부는, 상기 지지프레임의 하부에 결합되어 상기 지지프레임을 승하강시키는 적어도 하나의 유압실린더를 포함할 수 있다.
상기 적어도 하나의 유압실린더는, 복수 개가 마련되며, 상기 승하강구동부는, 상기 지지프레임의 하부에 결합되어 상기 지지프레임을 수평하게 승하강되도록 지지하여 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일을 동기화시키는 파워베이스를 더 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일은, 상기 물류품의 양측부와 접촉하며, 상기 물류품을 이송시키기 위하여 나란하게 배치되는 복수의 이송롤러; 상기 복수의 이송롤러가 각각 결합되는 복수의 회전축; 및 상기 복수의 회전축에 각각 결합되어 상기 복수의 회전축을 회전구동시키는 구동모터를 포함할 수 있다.
상기 복수의 이송롤러는 실질적을 상기 물류품이 접촉되는 표면보다 상대적으로 직경이 더 큰 플랜지부가 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 카세트 물류 방향이 교차되는 지점에서 물류 레이아웃(LAYOUT)을 십자교차물류로 구현할 수 있으며 카세트의 걸림 현상 없이 원활하게 카세트를 이송할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 이송 장치의 개략적인 평면도이다.
도 2 본 발명의 실시예에 따른 이송 장치의 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 2의 제1 및 제2 반송레일의 부분 확대 사시도이다.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 이송 장치에서 방향전환유닛의 작동도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 승하강구동부의 사시도이다.
도 7은 도 6의 평면도이다.
도 8은 도 6의 측면도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도면 대비 설명에 앞서 이송장치란 피이송물을 이송하는 장치이다. 여기서, 피이송물이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 기판, 반도체용 웨이퍼(wafer), 기판이나 웨이퍼를 수용하여 지지하는 트레이나 카세트가 될 수 있을 뿐만 아니라 일반적인 박스(box)를 비롯한 각종 다양한 물류품이 될 수 있다. 하지만, 설명의 편의를 위해 이하에서는 글래스 기판을 수용하여 지지하는 카세트에 대하여 한정하여 설명하기로 한다.
도 2 본 발명의 실시예에 따른 이송 장치의 개략적인 평면도이고, 도 3은 도 2의 제1 및 제2 반송레일의 부분 확대 사시도이고, 도 4 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 이송 장치에서 방향전환유닛의 작동도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 승하강구동부의 사시도이고, 도 7은 도 6의 평면도이고, 도 8은 도 6의 측면도이다.
기판에 대한 공정을 수행하는 클린룸 내부에는 복수의 스토커가 배치되어 있으며, 복수의 공정장비가 각각의 스토커에 인접하게 배치된다.
즉, 각각의 공정장비는 각각의 스토커 주변에 배치되어, 스토커로부터 제공되는 카세트에 적재된 기판을 이용하여 공정을 수행한다. 그리고, 각 공정을 끝낸 기판들은 다시 카세트에 적재되어 스토커에 보관되며, 이때 카세트는 이송장치에 의해 다른 공정장비로 이송된다.
이와 같이, 이하에서는 해당 공정장비로 카세트를 이송시킬 수 있는 본 발명에 따른 이송장치에 대해 자세히 설명하기로 한다.
도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 이송장치(5)는, 카세트(C)를 일측 방향을 반송시키는 한 쌍의 제1 반송레일(10)과, 한 쌍의 제1 반송레일(10)과 교차되게 배치되는 한 쌍의 제2 반송레일(20)과, 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)의 교차지점에 배치되어 한 쌍의 제1 반송레일(10)을 따라 반송되어온 카세트(C)를 한 쌍의 제2 반송레일(20)을 따라 반송될 수 있게 반송 방향을 전환시키는 방향전환유닛(100)을 포함한다.
전술한 바와 같이, 기판에 대한 공정을 수행하는 클린룸 내부에는 복수의 스토커가 배치되어 있으며, 복수의 공정장비가 각각의 스토커에 인접하게 배치되어 있기 때문에 카세트(C) 물류의 반송을 위해서는 필연적으로 다수의 직선 물류와 교차 물류가 필요하다.
이에 카세트(C) 물류 반송을 위한 다수의 직선 물류는 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)이 담당하고 교차 물류는 방향전환유닛(100)이 담당한다.
본 실시예에 따른 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)은 롤러 타입의 컨베이어로써, 도 2에 도시된 바와 같이, 상호간 방향전환유닛(100)을 가운데 두고 십자"+" 형태로 교차되게 배치될 수 있다. 그러나 본 실시예와 달리 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)들은 예컨데, 교차지점에 방향전환유닛(100)을 두고 한글 "ㄱ","ㄴ"자 또는 "ㅏ"자 형태와 같이로 배치될 수도 있다.
이때, 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)은 박스(box) 형태로 가로 및 세로로 조립된 금속 프레임에 의해 상호 다른 높이로 배치된다. 이는 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일(110,120)과 선택적으로 연결시키기 위함으로 이에 대한 자세한 설명은 편의상 후술하기로 한다.
도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)에 대해 살펴보면, 카세트(C)의 양측부가 안착되어 구름접촉되는 복수의 이송롤러(30)와, 복수의 이송롤러(30)가 각각 결합되는 복수의 회전축(31)과, 복수의 회전축(31)에 각각 결합되어 복수의 회전축(31)을 회전구동시키는 구동모터를 포함한다.
복수의 회전축(31)은 각각의 이송롤러(30)들을 회전 가능하게 지지한다. 이러한 복수의 회전축(31)은 구동모터(미도시)의 샤프트와 헬리컬 기어구조로 연결될 수 있다.
구동모터(미도시)는 회전축(31)을 정,역방향으로 회전시키기 위한 구동력을 제공하는 역할을 하며, 기어하우징(32) 내부에 마련될 수 있다.
복수의 이송롤러(30)는 실질적으로 카세트(C)를 이송시키는 부분이다. 카세트(C)에 수납된 글래스 기판은 외부로부터 가해지는 충격에 취약한 특성을 가지므로 카세트(C)가 복수의 이송롤러(30)에 의해 접촉되어 이송되는 과정에서 충격이 발생되어서는 아니 된다. 따라서 본 실시예에서는 복수의 이송롤러(30)를 우레탄이나 실리콘, 혹은 고무와 같은 재질로 제작하고 있다.
또한, 복수의 이송롤러(30)는 비대칭 형상으로 마련된다. 즉, 각각의 이송롤러(30)들에는 실질적으로 카세트(C)가 접촉되는 표면보다 상대적으로 직경이 더 큰 플랜지부(30a)가 형성되어 있다.
이러한 플랜지부(30a)는 카세트(C)가 이송 라인(line)을 벗어나 제1 및 제2 반송레일(10,20)의 외측으로 이탈되는 것을 저지하는 역할을 한다.
한편, 본 실시예에 따른 방향전환유닛(100)은, 한 쌍의 제1 반송레일(10)과 동축적으로 배치되는 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)과, 한 쌍의 제2 반송레일(20)과 동축적으로 배치되는 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)과, 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)과 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)이 상호 간섭없이 상하로 상대이동 가능하게 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일(110,120)을 지지하는 유닛본체(130)를 포함한다.
본 실시예에서 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일(110,120)은 기본적으로 전술한 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)과 같은 구조로 마련되므로, 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일(110,120)의 구성에 대한 설명은 전술한 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)에 대한 설명으로 대체하기로 하고, 이하에서는 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)에 각각 선택적으로 연결되는 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일(110,120)의 배치구조 및 동작에 대해 자세히 설명하기로 한다.
먼저, 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)의 배치구조에 대해 간략히 살펴본다.
한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)은 둘 중 어느 하나가 다른 하나보다 높거나 낮은 위치에 배치되는데, 본 실시예에서는 한 쌍의 제1 반송레일(10)이 한 쌍의 제2 반송레일(20)보다 낮은 위치에 배치되어 있다. 또한, 카세트(C)가 전후좌우 4방향에서 진입될 수 있도록 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)들이 교차지점에 방향전환유닛(100)을 두고 "+" 형태로 배치된다.
물론 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)이 "+" 형태로 배치되는 것에 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니며 본 실시예와 달리 교차지점을 두고 2방향 또는 3방향에서 진입될 수 있도록 "ㄱ","ㄴ" 또는 "ㅓ","ㅏ" 자 형태로 배치될 수도 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.
다음으로 본 실시예에 따른 방향전환유닛(100)의 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환유닛(100)의 배치구조를 살펴본다.
도 2 및 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 방향전환유닛(100)은 한 쌍의 제1 및 제2 반송레일(10,20)의 교차지점에 배치되며 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)은 한 쌍의 제1 반송레일(10)과 같은 높이에서 동축적으로 배치되고, 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)은 한 쌍의 제2 반송레일(20)과 동축적으로 배치되되 높낮이가 조절되도록 업/다운(UP/DOWN) 가능하게 마련된다.
즉, 본 실시예에서 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)은 한 쌍의 제1 반송레일(10)과 같은 높이에 고정되는 고정형 레일이고, 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)은 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)의 상하로 업/다운(UP/DOWN) 구동되는 승강형 레일로 설계되어 있다.
그리고 한 쌍의 제2 방향전환레일(120) 중 어느 하나의 일단부는 한 쌍의 제1 반송레일(10)과 한 쌍의 제1 방향전환레일(110) 사이에 배치되고, 한 쌍의 제1 방향전환레일(110) 중 어느 하나의 일단부는 한 쌍의 제2 반송레일(20)과 한 쌍의 제2 방향전환레일(120) 사이에 배치된다.
이에 따르면, 본 실시예에 따른 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)과 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)은 위에서 아래로 바라볼 때 상호간 각각의 일단부들이 엇갈리어 사각형의 루프 형상으로 배치될 수 있다.
즉, 본 실시예에 따른 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일(110,120)의 배치구조를 더 구체적으로 살펴보면, 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일(110,120)은 상호 간섭없이 상하로 상대이동 가능하게 배치되되, 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)의 어느 일단부는 제1 반송레일(10)에 인접하게 동축적으로 배치되고 다른 타단부는 제2 방향전환레일(120)에 인접하게 교차되어 배치된다. 그리고 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)의 어느 일단부는 제2 반송레일(20)에 인접하게 동축적으로 배치되고 다른 타단부는 제1 방향전환레일(110)에 인접하게 교차되어 배치된다.
이와 같이 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일(110,120)을 엇갈림 배치시킴으로써, 전후좌우 4방향에서 진입되는 카세트(C)의 방향을 전환시켜 이웃한 제1 반송레일(10) 또는 제2 반송레일(20)로 이송할 때 전술한 카세트(C) 걸림 현상을 효과적으로 해결할 수 있다.
이하에서는, 도 2에 도시된 카세트(C) 이송방향을 참조하여, 카세트(C)가 제1 반송레일(10)을 따라 이송되다가 방향전환유닛(100)을 거쳐 제2 반송레일(20)을 따라 이송되는 경우를 예시하여 카세트(C) 걸림 현상을 해결할 수 있는 방향전환유닛(100)의 동작에 대해 자세히 설명하기로 한다.
먼저, 카세트(C)는 제1 반송레일(10)의 복수의 이송롤러(30)에 양측부가 구름접촉되어 교차지점에 마련된 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)까지 이송된다. 이때, 전술한 바와 같이, 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)은 한 쌍의 제1 반송레일(10)과 같은 높이에 위치하고, 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)은 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)보다 낮은 위치에 있기 때문에 카세트(C)는 제2 방향전환레일(120)에 간섭되지 않는다.
또한, 한 쌍의 제1 방향전환레일(110) 중 어느 하나의 일단부는 제1 반송레일(10)에 인접하게 배치되어 있기 때문에 카세트(C)는 제1 반송레일(10)과 연결되는 제1 방향전환레일(110)의 일단부에 의해 지지될 수 있어 카세트(C)가 넘어오는 과정에서 걸림 현상이 발생하지 않는다.
다음으로, 카세트(C)가 완전히 한 쌍의 제1 방향전환레일(110) 상에 위치되면, 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)이 상승하기 시작한다.
한 쌍의 제1 방향전환레일(110) 위의 카세트(C)는 상승하는 한 쌍의 제2 방향전환레일(120) 위에 다시 안착된 다음, 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)은 한 쌍의 제2 반송레일(20)과 같은 높이에서 상승을 멈춘다.
그 다음, 제2 방향전환레일(120)의 복수의 이송롤러(30)가 동작되고 카세트(C)는 제2 반송레일(20)을 따라 이송될 수 있다.
이때, 전술한 바와 같이, 한 쌍의 제2 방향전환레일(120) 중 어느 하나의 일단부는 제2 반송레일(20)에 인접하게 배치되어 있어 카세트(C)가 제2 방향전환레일(120)에서 제2 반송레일(20)로 넘어가는 과정에서 걸림 현상이 발생하지 않는다.
반대로, 카세트(C)가 제2 반송레일(20)을 따라 이송되다가 방향전환유닛(100)을 거쳐 제1 반송레일(10)을 따라 이송되는 경우는 전술한 과정의 역과정으로 진행될 수 있다. 물론, 카세트(C)가 제1 반송레일(10) 또는 제2 반송레일(20)을 따라서 직선으로 이송되어야 할 경우에는 제1 및 제2 방향전환레일(110,120)은 상호 간섭없이 해당위치에 고정된 상태로 있으면 된다.
한편, 본 실시예와 달리, 제1 및 제2 반송레일(10,20)이 교차지점에 방향전환유닛(100)을 두고 한글"ㄱ", "ㄴ" 로 배치되는 경우, 예컨데, 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)은 어느 하나의 일단부가 한 쌍의 제1 반송레일(10)과 한 쌍의 제1 방향전환레일(110) 사이에 배치될 수 있으면 족하다. 즉, 반드시 본 실시예와 같이, 제1 및 제2 방향전환레일(110,120) 각각이 상호간 엇갈림되게 배치되는데 본 발명의 권리범위가 반드시 한정되는 것은 아니다.
도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일(110,120)들은 유닛본체(130)에 의해 지지된다. 유닛본체(130)는 박스(box) 형태로 가로 및 세로로 조립된 금속 프레임과, 금속 프레임의 내측에 배치되고 한 쌍의 제2 방향전환레일(120) 승하강 가능하게 지지하는 지지프레임(131)과, 지지프레임(131)을 업/다운시키는 승하강구동부(132)를 포함한다.
본 실시예에서 한 쌍의 제1 방향전환레일(110)은 금속 프레임의 양측부에 지지되어 고정되고 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)은 금속 프레임의 내측에 마련된 지지프레임(131) 위에 지지되어 있다.
지지프레임(131)은 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)을 이격되게 지지할 수 있는 판면을 갖지며, 승하강구동부(132)에 의해 수평하게 업/다운된다.
본 실시예에서 지지프레임(131)은 사각 형태로 마련되되 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)이 배치되는 한 쌍의 제2 방향전환레일(120)의 길이방향을 따라 제2 방향전환레일(120)의 일단부를 지지하기 위한 받침용 브라켓(131a)이 더 마련될 있다.
승하강구동부(132)는 지지프레임(131)의 하면에 중앙 영역에 결합되어 상하방향으로 왕복운동하는 유압 실린더(133)와, 지지프레임(131)의 4개의 모서리 영역에 결합되어 지지프레임(131)을 수평하게 지지하는 파워베이스(134)를 포함한다.
본 실시예에서 유압 실린더(133)는 2개가 마련되나, 이와 달리, 하나 또는 3개 이상이 마련될 수도 있으며, 또한 유압 실린더(133)를 대신하여 공압 실린더 또는 LM 가이드나 볼,스크류 및 구동모터의 조합등으로 지지프레임(131)을 업/다운 시킬 수 있는 장치가 적용될 수도 있을 것이다.
파워베이스(134)는 2개의 유압 실린더(133)에 의해 입력되는 가압력이 다르더라도 지지프레임(131)에 작용하는 힘을 균일하게 분산시켜 지지프레임(131)을 항상 수평하게 승하강 가능하게 지지하는 역할을 담당한다.
이러한 파워베이스(134)트는 지지프레임(131)을 지지하는 4개의 지지샤프트(135)와, 4개의 지지샤프트(135)와 교차되게 배치되는 4개의 동기화샤프트(136)와, 4개의 기어박스(137)를 포함한다.
4개의 지지샤프트(135)들은 각각 유압 실린더(133)의 왕복운동 시 동시에 같은 높이로 승하강됨으로써 지지프레임(131)을 수평하게 지지하는 부분으로 기어박스(137) 내부에서 베벨기어 등으로 4개의 동기화샤프트(136)에 기어연결된다.
그리고 4개의 동기화샤프트(136)는 상호 연결되어 연동되게 마련되어 지지프레임(131)에 작용하는 유압 실린더(133)의 힘을 균등하게 분산시킴으로써 지지샤프트(135)들이 유압 실린더(133)에 의해 동시에 승하강되도록 한다.
이와 같이 본 발명에 따른 이송장치(5)에 의하면, 간단한 구성으로 카세트(C) 물류 방향이 교차되는 지점에서 카세트(C) 물류의 걸림 현상 없이 효과적으로 카세트 물류의 방향을 전환시킬 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
10 : 제1 반송레일 20 : 제2 반송레일
30 : 이송롤러 30a : 플랜지부
31 : 회전축 32 : 기어하우징
100 : 방향전환유닛 110 : 제1 방향전환레일
120 : 제2 방향전환레일 130 : 유닛본체
131 : 지지프레임 132 : 승하강구동부
133 : 유압 실린더 134 : 파워베이스
135 : 지지샤프트 136 : 동기화샤프트
137 : 기어박스

Claims (13)

  1. 상호 간 이격 배치되어 물류품을 반송시키는 한 쌍의 제1 반송레일;
    상기 한 쌍의 제1 반송레일과는 다른 높이에 배치되며, 상기 제1 반송레일과 교차되게 배치되어 상기 물류품을 반송시키는 한 쌍의 제2 반송 레일; 및
    상기 한 쌍의 제1 반송레일과 동축적으로 배치되는 한 쌍의 제1 방향전환레일과, 상기 한 쌍의 제2 반송레일과 동축적으로 배치되는 한 쌍의 제2 방향전환레일을 구비하며, 상기 제1 및 제2 반송레일의 교차지점에 배치되어 상기 물류품의 반송방향을 전환시키는 방향전환유닛을 포함하며,
    상기 한 쌍의 제1 반송레일과 상기 한 쌍의 제1 방향전환레일 사이에 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일 중 어느 하나의 일단부가 배치되는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제2 반송레일과 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일 사이에 상기 한 쌍의 제1 방향전환레일 중 어느 하나의 일단부가 배치되는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제1 방향전환레일과 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일은 상호 간섭없이 상하로 상대이동이 가능하게 배치되되, 상기 한 쌍의 제1 방향전환레일의 어느 일단부는 상기 제1 반송레일에 인접하게 동축적으로 배치되고 다른 타단부는 상기 제2 방향전환레일에 인접하고 교차되게 배치되며,
    상기 한 쌍의 제2 방향전환레일의 어느 일단부는 상기 제2 반송레일에 인접하게 동축적으로 배치되고 다른 타단부는 상기 제1 방향전환레일에 인접하고 교차되게 배치되는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제1 방향전환레일과 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일은 사각형의 루프 형상으로 상호간 각각의 일단부들이 엇갈리게 배치되는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제1 방향전환레일의 길이와 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일의 길이는 서로 동일한 것을 특징으로 하는 이송장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제1 방향전환레일과 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일 중 적어도 어느 하나는 해당 위치에서 업/다운(UP/DOWN) 구동되는 승강형 레일인 것을 특징으로 하는 이송장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제1 방향전환레일은 해당 위치에서 고정되는 고정형 레일이며,
    상기 한 쌍의 제2 방향전환레일은 해당 위치에서 업/다운(UP/DOWN) 구동되는 승강형 레일인 것을 특징으로 하는 이송장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 방향전환유닛은,
    상기 한 쌍의 제1 방향전환레일을 상기 한 쌍의 제1 반송레일과 동일한 높이로 이격되게 지지하며, 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일이 업/다운 동작되게 수용하는 유닛본체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 유닛본체는,
    상기 한 쌍의 제2 방향전환레일을 지지하는 지지프레임; 및
    상기 지지프레임을 승하강시키는 승하강구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 승하강구동부는,
    상기 지지프레임의 하부에 결합되어 상기 지지프레임을 승하강시키는 적어도 하나의 유압실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 유압실린더는, 복수 개가 마련되며,
    상기 승하강구동부는,
    상기 지지프레임의 하부에 결합되어 상기 지지프레임을 수평하게 승하강되도록 지지하여 상기 한 쌍의 제2 방향전환레일을 동기화시키는 파워베이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 제1 및 제2 방향전환레일은,
    상기 물류품의 양측부와 접촉하며, 상기 물류품을 이송시키기 위하여 나란하게 배치되는 복수의 이송롤러;
    상기 복수의 이송롤러가 각각 결합되는 복수의 회전축; 및
    상기 복수의 회전축에 각각 결합되어 상기 복수의 회전축을 회전구동시키는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 복수의 이송롤러는 실질적을 상기 물류품이 접촉되는 표면보다 상대적으로 직경이 더 큰 플랜지부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 이송장치.
KR1020140006481A 2014-01-20 2014-01-20 이송장치 KR101595001B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140006481A KR101595001B1 (ko) 2014-01-20 2014-01-20 이송장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140006481A KR101595001B1 (ko) 2014-01-20 2014-01-20 이송장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150086607A true KR20150086607A (ko) 2015-07-29
KR101595001B1 KR101595001B1 (ko) 2016-02-26

Family

ID=53876136

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140006481A KR101595001B1 (ko) 2014-01-20 2014-01-20 이송장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101595001B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114083497A (zh) * 2021-12-02 2022-02-25 南京晨光集团有限责任公司 用于机电产品装配的天轨转运装置、系统及装配方法
CN116654595A (zh) * 2023-07-28 2023-08-29 广州运沃自动化设备有限公司 一种传输工作系统
CN116767816A (zh) * 2023-07-28 2023-09-19 广州运沃自动化设备有限公司 一种交叉传输方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070082051A (ko) * 2006-02-14 2007-08-20 아시스트 신꼬, 인코포레이티드 턴테이블
KR20080022377A (ko) * 2006-09-06 2008-03-11 삼성전자주식회사 기판이송장치
KR20100105376A (ko) 2009-03-17 2010-09-29 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송 시스템과 물품의 이동 재치 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070082051A (ko) * 2006-02-14 2007-08-20 아시스트 신꼬, 인코포레이티드 턴테이블
KR20080022377A (ko) * 2006-09-06 2008-03-11 삼성전자주식회사 기판이송장치
KR20100105376A (ko) 2009-03-17 2010-09-29 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송 시스템과 물품의 이동 재치 방법

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114083497A (zh) * 2021-12-02 2022-02-25 南京晨光集团有限责任公司 用于机电产品装配的天轨转运装置、系统及装配方法
CN114083497B (zh) * 2021-12-02 2024-01-09 南京晨光集团有限责任公司 用于机电产品装配的天轨转运装置、系统及装配方法
CN116654595A (zh) * 2023-07-28 2023-08-29 广州运沃自动化设备有限公司 一种传输工作系统
CN116767816A (zh) * 2023-07-28 2023-09-19 广州运沃自动化设备有限公司 一种交叉传输方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101595001B1 (ko) 2016-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101559146B1 (ko) 방향전환을 위한 오토 디버터
WO2013190800A1 (ja) 基板搬送システム
KR101595001B1 (ko) 이송장치
KR20020070780A (ko) 판형상체 반송장치
KR20060086794A (ko) 글라스 기판 등의 반송시스템
KR101727118B1 (ko) 소재 반송 시스템
KR101203890B1 (ko) 이송 시스템
CN101428708B (zh) 基板移载装置及方法
KR101737816B1 (ko) 비접촉식 기판 이송장치
US10553471B2 (en) Substrate conveying system and method
KR101374670B1 (ko) 카세트 이송 장치
KR101346277B1 (ko) 컨베이어 가이드 이송 장치
CN105109950B (zh) 一种电子管座的输送定位装置
KR20150072260A (ko) 기판 턴장치
KR100816391B1 (ko) 기판 이송장치
KR101583475B1 (ko) 탄성수단을 이용한 기판 이송 안내 장치
KR20080022378A (ko) 기판이송장치
KR101427596B1 (ko) 기판이송장치
KR101553625B1 (ko) 기판 턴장치
KR101731261B1 (ko) 기립형 기판 이송시스템
KR101875373B1 (ko) 대형프레스를 이용한 고효율 프레스 시스템 및 그 프레스 방법
KR101857966B1 (ko) 비접촉식 기판 틸팅장치
KR20080074275A (ko) 카세트 시스템
KR101742020B1 (ko) 기립형 기판 이송시스템
KR101057791B1 (ko) 4방향 물류 리프터

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190201

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200102

Year of fee payment: 5