KR20150084235A - Laminate Apparatus and Method of Laminate - Google Patents

Laminate Apparatus and Method of Laminate Download PDF

Info

Publication number
KR20150084235A
KR20150084235A KR1020140004051A KR20140004051A KR20150084235A KR 20150084235 A KR20150084235 A KR 20150084235A KR 1020140004051 A KR1020140004051 A KR 1020140004051A KR 20140004051 A KR20140004051 A KR 20140004051A KR 20150084235 A KR20150084235 A KR 20150084235A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
film
carrier film
graphene
graphene film
laminate
Prior art date
Application number
KR1020140004051A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101550301B1 (en
Inventor
윤종혁
Original Assignee
한화테크윈 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한화테크윈 주식회사 filed Critical 한화테크윈 주식회사
Priority to KR1020140004051A priority Critical patent/KR101550301B1/en
Publication of KR20150084235A publication Critical patent/KR20150084235A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101550301B1 publication Critical patent/KR101550301B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/0036—Heat treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/18—Handling of layers or the laminate
    • B32B38/1858—Handling of layers or the laminate using vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
    • B32B9/005—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising one layer of ceramic material, e.g. porcelain, ceramic tile
    • B32B9/007—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00 comprising one layer of ceramic material, e.g. porcelain, ceramic tile comprising carbon, e.g. graphite, composite carbon
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2313/00—Elements other than metals
    • B32B2313/04—Carbon
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/06—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the heating method
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04—Interconnection of layers
    • B32B7/12—Interconnection of layers using interposed adhesives or interposed materials with bonding properties

Abstract

Disclosed are a laminate device for graphene and carrier film and a laminate method using the same, which is composed of: a stage where graphene film is placed on one side; a carrier film preparation unit that is equipped on one side of the stage and a roller set placed symmetrically while maintaining a greater interval than the graphene film width or length, and that prepares carrier film corresponding to the entire plane of the graphene film by using the roller set and then applies stress in the length direction to the carrier film; and a laminate unit with a squeegee, which is equipped on the opposite side of the carrier film and that contacts the squeegee to the other side of the carrier film corresponding to the graphene film and then moves the squeegee in one direction to laminate the carrier film and the graphene film.

Description

그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 장치 및 이를 이용한 래미네이트 방법 {Laminate Apparatus and Method of Laminate}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a laminating apparatus for a graphene film and a carrier film,

본 발명의 실시예들은 보이드(void) 없이 그래핀 필름과 캐리어 필름을 래미네이트하는 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 장치 및 이를 이용한 래미네이트 방법에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to a graphene film and a carrier film laminating apparatus for laminating a graphene film and a carrier film without a void and a laminating method using the same.

그래핀(Graphene)은 탄소가 육각형의 형태로 서로 연결되어 벌집 모양의 2차원 평면 구조를 이루는 물질로서, 그 두께가 매우 얇고 투명하며 전기 전도성이 매우 큰 특성을 가진다. 그래핀의 이러한 특성을 이용하여 그래핀을 터치 패널, 투명 디스플레이 또는 플렉서블(flexible) 디스플레이 등에 적용하려는 시도가 많이 이루어지고 있다. 이와 같은 그래핀에 대한 관심이 증대됨에 따라 고품질의 그래핀을 대량 생산하기 위한 방법이 요구되고 있다.Graphene is a material in which carbon is hexagonally connected to form a honeycomb-like two-dimensional planar structure. Its thickness is very thin, transparent, and has high electrical conductivity. Many attempts have been made to apply graphene to a touch panel, a transparent display, or a flexible display using such characteristics of graphene. With the growing interest in graphene, a method for mass production of high quality graphene is required.

그래핀 필름을 제조하는 과정 중에서 촉매 금속 상에 합성된 그래핀 필름을 캐리어 필름에 부착하는 단계가 있다. 이렇게 그래핀 필름을 캐리어 필름에 부착하는 단계에서 그래핀 필름과 캐리어 필름 사이에 보이드(void)가 발생하여 그래핀 필름에 주름이 생기는 경우, 최종 수득된 그래핀 필름의 면저항이 커지는 등 품질 저하가 발생하는 문제가 있다. There is a step of attaching the graphene film synthesized on the catalyst metal to the carrier film in the process of producing the graphene film. When voids are generated between the graphene film and the carrier film at the step of attaching the graphene film to the carrier film to cause wrinkles in the graphene film, the sheet resistance of the final obtained graphene film becomes large, There is a problem that arises.

본 발명의 실시예들은 보이드(void) 없이 그래핀 필름과 캐리어 필름을 래미네이트하는 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 장치 및 이를 이용한 래미네이트 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. Embodiments of the present invention aim to provide a laminating apparatus of a graphene film and a carrier film for laminating a graphene film and a carrier film without a void, and a laminating method using the same.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 일면에 그래핀 필름이 놓여지는 스테이지; 상기 스테이지의 일면 쪽에 구비되며, 상기 그래핀 필름의 너비 또는 길이보다 큰 간격을 가지고 대칭적으로 배치된 롤러 세트를 구비하고, 상기 롤러 세트에 의해 상기 그래핀 필름의 전체 면에 대응하도록 캐리어 필름을 준비한 후 상기 캐리어 필름의 길이 방향으로 장력을 가하는 캐리어 필름 준비부; 및 상기 캐리어 필름의 일면에 반대되는 타면 쪽에 구비되며, 스퀴지를 포함하고 1단계로 상기 그래핀 필름과 대응하는 상기 캐리어 필름의 타면에 스퀴지를 접촉시키고, 2단계로 접촉된 스퀴지를 일 방향으로 이동하면서 상기 그래핀 필름과 상기 캐리어 필름을 래미네이트하는 래미네이트부; 를 포함하는, 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 장치를 개시한다. According to an embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: a stage on which a graphene film is placed; And a roller set provided on one side of the stage and arranged symmetrically with a gap larger than the width or length of the graphene film, wherein the roller set is provided with a carrier film so as to correspond to the entire surface of the graphene film A carrier film preparation unit for applying a tensile force in the longitudinal direction of the carrier film after preparation; And a squeegee disposed on the other side opposite to the one side of the carrier film and including a squeegee, wherein the squeegee is brought into contact with the other side of the carrier film corresponding to the graphene film in one step, A laminate part for laminating the graphene film and the carrier film; A laminating apparatus of a graphene film and a carrier film is disclosed.

본 실시예에 있어서, 상기 캐리어 필름은 일면에 실리콘 타입의 접착제를 포함한다. In this embodiment, the carrier film includes a silicone type adhesive on one side.

본 실시예에 있어서, 상기 스퀴지는 상기 캐리어 필름의 타면과 접촉되는 끝단이 둥근형이거나, 경사진형을 가진다. In the present embodiment, the squeegee has a rounded end or an inclined end which is in contact with the other surface of the carrier film.

본 실시예에 있어서, 상기 캐리어 필름이 타면 쪽에 구비되고 정전기를 제거하는 제전부; 를 더 포함한다. In this embodiment, the carrier film is provided on the other side of the carrier and the static electricity is removed. .

본 실시예에 있어서, 상기 스테이지는 일면에 놓여진 상기 그래핀 필름을 고정하도록 상기 스테이지 일면을 진공 상태로 만드는 펌프; 및 상기 스퀴지가 일 방향으로 이동하는 것이 용이하도록 상기 스테이지의 일면을 가열하는 히터; 를 더 포함한다. In this embodiment, the stage includes a pump for vacuuming one surface of the stage to fix the graphene film placed on one surface; And a heater for heating one surface of the stage to facilitate movement of the squeegee in one direction; .

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 스테이지의 일면에 그래핀 필름을 놓는 단계; 롤러 세트에 의해 상기 그래핀 필름의 전체 면에 대응하도록 캐리어 필름을 준비한 후 상기 캐리어 필름의 길이 방향으로 장력을 가하는 단계; 상기 캐리어 필름의 타면에 스퀴지를 접촉시키는단계; 및 접촉된 상기 스퀴지를 일 방향으로 이동하면서 상기 그래핀 필름과 상기 캐리어 필름을 래미네이트하는 단계; 를 포함하는, 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 방법을 개시한다. According to another embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: placing a graphene film on one surface of a stage; Preparing a carrier film so as to correspond to the entire surface of the graphene film by a roller set, and then applying a tensile force in the longitudinal direction of the carrier film; Contacting a squeegee on the other side of the carrier film; And laminating the graphene film and the carrier film while moving the squeegee in one direction; Discloses a laminating method of a graphene film and a carrier film.

본 실시예에 있어서, 상기 캐리어 필름은 일면에 실리콘 타입의 접착제를 포함한다. In this embodiment, the carrier film includes a silicone type adhesive on one side.

본 실시예에 있어서, 상기 그래핀 필름을 고정하도록 상기 스테이지 일면을 진공 상태로 만드는 단계; 및 상기 스퀴지가 일 방향으로 이동하는 것이 용이하도록 상기 스테이지의 일면을 가열하는 단계; 를 더 포함한다. In this embodiment, a step of vacuuming one surface of the stage to fix the graphene film; And heating one side of the stage to facilitate movement of the squeegee in one direction; .

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.Other aspects, features, and advantages will become apparent from the following drawings, claims, and detailed description of the invention.

본 발명의 실시예들에 의하면, 보이드 없이 그래핀 필름과 캐리어 필름을 래미네이트할 수 있어 최종 수득된 그래핀 필름에 주름이 발생하는 등의 문제가 일어나지 않고 고품질의 그래핀 필름을 얻을 수 있다. According to the embodiments of the present invention, it is possible to laminate the graphene film and the carrier film without voids, and it is possible to obtain a high-quality graphene film without causing problems such as wrinkling in the finally obtained graphene film.

도 1은 본 명세서에서 언급되는 그래핀을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 명세서에서 언급되는 그래핀 필름의 제조 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 3 내지 도 5는 도 2의 흐름도에 대응되는 그래핀 필름을 포함하는 적층체의 개략적인 측단면도이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 의한 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 장치를 개략적으로 도시한 것이다.
도 7은 도 6의 래미네이트 장치에 포함된 스퀴지의 끝단의 다양한 실시예를 도시한 것이다.
도 8 내지 도 10는 도 6의 래미네이트 장치의 동작 순서를 순차적으로 도시한 것이다.
도 11 내지 도 14은 도 5에 이어서 도 2의 흐름도에 대응되는 그래핀 필름을 포함하는 적층체의 개략적인 측단면도이다.1 is a perspective view schematically illustrating the graphene referred to herein.
Fig. 2 is a flow chart schematically showing a manufacturing method of a graphene film referred to in the present specification.
Figs. 3 to 5 are schematic side cross-sectional views of a laminate including a graphene film corresponding to the flow chart of Fig. 2. Fig.
6 is a schematic view of a laminating apparatus for a graphene film and a carrier film according to an embodiment of the present invention.
Figure 7 illustrates various embodiments of the end of the squeegee included in the laminating apparatus of Figure 6;
8 to 10 sequentially show the operation sequence of the laminating apparatus of Fig.
Figs. 11 to 14 are schematic cross-sectional side views of the laminate including the graphene film corresponding to the flow chart of Fig. 2, following Fig.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 명세서에서 사용되는 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. used in this specification may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by terms. Terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 명세서에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분"위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.It will be understood that when a layer, film, region, plate, or the like is referred to as being "on" or "on" another portion, do.

이하, 본 발명에 따른 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명함에 있어 실질적으로 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Referring to the drawings, substantially identical or corresponding elements are denoted by the same reference numerals, do. In the drawings, the thickness is enlarged to clearly represent the layers and regions. In the drawings, the thicknesses of some layers and regions are exaggerated for convenience of explanation.

도 1은 본 명세서에서 언급되는 그래핀을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 1 is a perspective view schematically illustrating the graphene referred to herein.

본 명세서에서 사용되는 "그래핀(graphene)" 라는 용어는 복수개의 탄소원자들이 서로 공유결합으로 연결되어 폴리시클릭 방향족 분자를 형성하는 것으로서, 공유결합으로 연결된 탄소원자들은 기본 반복단위로서 6원환을 형성하나, 5원환 및/또는 7원환을 더 포함하는 것도 가능하다. 따라서 그래핀은 서로 공유 결합된 탄소원자들(통상 sp2 결합)의 단일층을 이룬다. 그래핀 은 다양한 구조를 가질 수 있으며, 이와 같은 구조는 그래핀 내에 포함될 수 있는 5원환 및/또는 7원환의 함량에 따라 달라질 수 있다.As used herein, the term "graphene" refers to a plurality of carbon atoms linked together by a covalent bond to form a polycyclic aromatic molecule wherein the carbon atoms linked by a covalent bond form a 6-membered ring as the basic repeat unit One, five-membered ring and / or seven-membered ring. Thus, graphene forms a single layer of covalently bonded carbon atoms (usually sp2 bonds). The graphene may have a variety of structures, and such a structure may vary depending on the content of the five-membered ring and / or the seven-membered ring which may be contained in the graphene.

그래핀 필름은 도시된 바와 같이 그래핀의 단일층으로 이루어질 수 있으나, 이들이 여러 개 서로 적층되어 복수층을 형성하는 것도 가능하며, 통상 상기 그래핀의 측면 말단부는 수소원자로 포화될 수 있다.The graphene film may be composed of a single layer of graphene as shown in the drawings, but they may be stacked to form a plurality of layers. Usually, the side ends of the graphene may be saturated with hydrogen atoms.

도 2는 본 명세서에서 언급되는 그래핀 필름의 제조 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다. 도 3 내지 도 10은 도 2의 흐름도에 대응되는 그래핀 필름를 포함하는 적층체의 개략적인 측단면도이다.Fig. 2 is a flow chart schematically showing a manufacturing method of a graphene film referred to in the present specification. Figs. 3 to 10 are schematic side cross-sectional views of a laminate including a graphene film corresponding to the flow chart of Fig. 2. Fig.

본 명세서에서 사용되는 "적층체" 라는 용어는 그래핀 필름을 포함하는 복수의 층을 지칭하는 것으로서, 적층체는 그래핀 필름 이외에도 촉매 금속 필름, 캐리어 필름, 타겟 필름, 커버 필름 중 적어도 하나 이상의 층을 포함한 상태를 나타낼 수 있다.As used herein, the term "laminate" refers to a plurality of layers including a graphene film, and the laminate may include at least one of a catalytic metal film, a carrier film, a target film, Can be represented.

먼저 도 3을 참조하면 촉매 금속 필름을 전처리 한다.(S21) First, referring to FIG. 3, the catalyst metal film is pretreated (S21)

촉매 금속 필름(101)은 그래핀 성장을 위한 촉매로서 시트 타입, 기판 타입, 롤 필름 타입으로 이루어 질 수 있다. 촉매 금속 필름(101)은 구리(Cu), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 마그네슘(Mg), 망간(Mn), 몰리브덴(Mo), 로듐(Rh), 실리콘(Si), 탄탈럼(Ta), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 우라늄(U), 바나듐(V), 팔라듐(Pd), 이트리움(Y), 지르코늄(Zr), 게르마늄(Ge), 황동(brass), 청동(bronze), 백동(white brass) 및 스테인레스 스틸(stainless steel) 중 적어도 하나의 금속 또는 합금을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. The catalytic metal film 101 may be a sheet type, a substrate type, or a roll film type catalyst as a catalyst for graphene growth. The catalytic metal film 101 may be formed of at least one selected from the group consisting of copper (Cu), nickel (Ni), cobalt (Co), iron (Fe), platinum (Pt), gold (Au), silver (Ag) ), Magnesium (Mg), manganese (Mn), molybdenum (Mo), rhodium (Rh), silicon (Si), tantalum (Ta), titanium (Ti), tungsten (W), uranium V, at least one of Pd, Y, Zr, Ge, Brass, Bronze, White Brass and Stainless Steel. Metals, or alloys, but is not limited thereto.

촉매 금속 필름(101)은 단일 층일 수도 있고, 적어도 2개의 층으로 이루어진 다층 기판 중 한 개의 층이 촉매 금속 필름(101)일 수 있다. 이 경우 촉매 금속 필름(101)은 다층 기판의 최외곽에 배치된다.The catalytic metal film 101 may be a single layer, and one layer of the multi-layer substrate made of at least two layers may be the catalytic metal film 101. [ In this case, the catalytic metal film 101 is disposed at the outermost portion of the multilayer substrate.

그래핀 필름이 형성되기 전에 촉매 금속 필름(101)의 표면을 세정하는 전처리 과정을 진행한다. 전처리 과정은 촉매 금속 필름(101)의 표면에 존재하는 이물질을 제거하기 위한 것으로, 수소 기체를 사용할 수 있다. 또한, 산 또는 알칼리 용액 등을 사용하여 촉매 금속 필름(101)의 표면을 세정함으로써, 이후의 공정인 그래핀 필름 형성 시 결함을 줄일 수 있다. 촉매 금속 필름(101)의 표면을 세정하는 본 단계는 필요에 따라 생략될 수 있다.A pretreatment process is performed to clean the surface of the catalytic metal film 101 before the graphene film is formed. The pretreatment process is for removing foreign substances present on the surface of the catalytic metal film 101, and hydrogen gas can be used. Further, by cleaning the surface of the catalytic metal film 101 using an acid or an alkali solution or the like, it is possible to reduce defects in formation of a graphene film, which will be described later. This step of cleaning the surface of the catalytic metal film 101 may be omitted if necessary.

다음으로, 도 4를 참조하면 그래핀 형성 공정이 진행된다. (S22)Next, referring to FIG. 4, a graphene forming process is performed. (S22)

촉매 금속 필름(101)이 챔버로 이송되면, 챔버 내에 기상의 탄소공급원을 투입하고 열처리한다. 열처리는 가열 및 냉각으로 이루어진다. 그래핀 필름 형성 공정에는 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition: CVD), 열 화학기상증착법(Thermal Chemical Vapor Deposition: TCVD), 급속 열 화학기상증착법(Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition: PTCVD), 유도결합플라즈마 화학기상증착법(Inductive Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition: ICP-CVD), 원자층증착법(Atomic Layer Deposition: ATLD) 등 다양한 공정이 이용될 수 있다. When the catalytic metal film 101 is transferred to the chamber, a gaseous carbon source is introduced into the chamber and heat-treated. The heat treatment consists of heating and cooling. The graphene film forming process includes a chemical vapor deposition (CVD) method, a thermal chemical vapor deposition (TCVD) method, a rapid thermal chemical vapor deposition (PTCVD) method, an inductively coupled plasma chemical vapor deposition Various processes such as inductively coupled plasma chemical vapor deposition (ICP-CVD) and atomic layer deposition (ATLD) may be used.

기상의 탄소 공급원은 메탄(CH4), 일산화탄소(CO), 에탄(C2H6), 에틸렌(CH2), 에탄올(C2H5), 아세틸렌(C2H2), 프로판(CH3CH2CH3), 프로필렌(C3H6), 부탄(C4H10), 펜탄(CH3(CH2)3CH3), 펜텐(C5H10), 사이클로펜타디엔(C5H6), 헥산(C6H14), 시클로헥산(C6H12), 벤젠(C6H6), 톨루엔(C7H8) 등 탄소 원자가 포함된 군에서 선택된 하나 이상이 사용될 수 있다. 이와 같은 기상의 탄소 공급원은 고온에서 탄소 원자와 수소 원자로 분리된다. 분리된 탄소 원자는 가열된 촉매 금속 필름(101)에 증착되고, 촉매 금속 필름(101)이 냉각되면서 그래핀 필름(110)이 형성된다.A carbon source of the vapor is methane (CH 4), carbon monoxide (CO), ethane (C 2 H 6), ethylene (CH 2), ethanol (C 2 H 5), acetylene (C 2 H 2), propane (CH 3 CH 2 CH 3), propylene (C 3 H 6), butane (C 4 H 10), pentane (CH 3 (CH 2) 3 CH 3), pentene (C 5 H 10), dicyclopentadiene (C 5 H 6 carbon atoms such as hexane (C 6 H 14 ), cyclohexane (C 6 H 12 ), benzene (C 6 H 6 ), and toluene (C 7 H 8 ). Such a gaseous carbon source is separated into carbon atoms and hydrogen atoms at high temperatures. The separated carbon atoms are deposited on the heated catalyst metal film 101, and the graphene film 110 is formed while the catalyst metal film 101 is cooled.

그래핀 필름(110)은 촉매 금속 필름(101)의 적어도 한 면에 형성될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이 촉매 금속 필름(101)의 양 면에 그래핀 필름(110)이 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 촉매 금속 필름(101)의 한 면에만 그래핀 필름(110)을 형성할 수도 있다. The graphene film 110 may be formed on at least one side of the catalytic metal film 101. 4, the graphene film 110 may be formed on both sides of the catalytic metal film 101, but the present invention is not limited thereto. The graphene film 110 may be formed on only one side of the catalytic metal film 101, ) May be formed.

다음으로, 도 5를 참조하면 그래핀 필름(110) 상에 캐리어 필름(120)을 형성한다.(S23)5, the carrier film 120 is formed on the graphene film 110. In step S23,

캐리어 필름(120)은 도 4의 적층체(400)를 지지하여 이송을 용이하게 하며, 그래핀 필름(110)의 모양을 유지하고 손상을 방지하는 역할을 한다. The carrier film 120 supports the layered body 400 of FIG. 4 to facilitate transport, and maintains the shape of the graphene film 110 and prevents damage.

일반적으로는 캐리어 필름(120)으로 열박리 테이프나, 폴리머 지지체를 사용할 수 있다. 열박리 테이프는 상온에서 일면이 접착성을 가지지만, 소정의 박리 온도 이상으로 가열되면 접착성을 잃는 성질을 가지는 것이다. 폴리머 지지체는 폴리메틸메타크릴레이트 (Polymethylmethacrylate:PMMA) 등과 같은 유기 폴리머를 포함하며 그래핀 필름(110)의 일면에 유기 폴리머를 액상으로 드롭-코팅(drop-coating)한 후 굳히는 방법으로 폴리머 지지체를 형성하며, 이 후 유기 용매로 제거할 수 있다. In general, the carrier film 120 may be a heat peeling tape or a polymer support. The heat peeling tape has a property that one side has adhesive property at room temperature but loses adhesiveness when heated to a predetermined peeling temperature or more. The polymer support includes an organic polymer such as polymethylmethacrylate (PMMA), and is formed by drop-coating an organic polymer into a liquid phase on one side of the graphene film 110 and then solidifying the polymer support. , And then may be removed with an organic solvent.

그런데, 열박리 테이프의 경우 열박리 테이프를 그래핀 필름(110)에 붙일 때 열박리 테이프의 그래핀 필름(110) 사이에 보이드(viod)가 발생하여 그래핀 필름(110)에 주름이 발생하거나 그래핀 필름(110)이 손상되는 문제가 발생한다. 한편, 폴리머 지지체의 경우 그래핀 필름(110)이 작은 면적일 때 적용하는 것이며 그래핀 필름(110)의 대량 생산시에 적용하기 어렵고 그래핀 필름(110)에 폴리머 지지체를 형성하는 공정 시간이나 비용이 많이 소요되는 문제가 있다. However, in the case of a heat peeling tape, when a heat peeling tape is applied to the graphene film 110, viodes are generated between the graphene films 110 of the heat peeling tape to cause wrinkles in the graphene film 110 There is a problem that the graphene film 110 is damaged. On the other hand, in the case of a polymer support, it is applied when the graphene film 110 has a small area and is difficult to apply to mass production of the graphene film 110, There is a problem that takes a lot of time.

본 발명의 일 실시예에 의하면 보이드의 발생이 없이 스퀴지(squeegee)를 이용하여 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)을 래미네이트 하기 위한 장치 및 이를 이용한 래이네이트 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이러한 장치 및 방법을 적용하기 위해서는 종래의 열박리 테이프나 폴리머 지지체가 아닌 다른 캐리어 필름(120)을 사용해야 한다. It is an object of the present invention to provide an apparatus for laminating a graphene film 110 and a carrier film 120 using a squeegee without generating voids and a method of using the same do. In order to apply such an apparatus and method, a carrier film 120 other than a conventional heat peeling tape or a polymer substrate should be used.

본 발명의 일 실시예에 의한 장치 및 방법에 사용되는 캐리어 필름(120)은 그래핀 필름(110)과 닿는 부분에 실리콘 타입의 접착층이 포함된 것을 특징으로 한다. 실리콘 타입의 접착층은 슬립(slip)성이 좋은 특징이 있다. 여기서 슬립성이란 일 방향으로 잘 미끄러지는 성질을 뜻하는 것으로, 실리콘 타입이 접착층을 포함하는 캐리어 필름(120)을 사용함으로써 스퀴지를 포함하는 래미네이트 장치를 통해 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)을 래미네이트할 수 있는 것이다. 만약 열박리 테이프를 사용하는 경우 열박리 테이프의 접착층에 포함된 발포셀에 의해 스퀴지를 포함하는 래미네이트 장치를 사용하여 그래핀 필름(110)과 열박리 테이프를 접착할 경우 그래핀 필름(110)에 손상을 초래하는 문제가 발생한다. 또한 폴리머 지지체의 경우 그래핀 필름 상에 드롭 코팅을 통해 직접 형성하는 것이므로 본 발명의 일 실시예에 의한 래미네이트 장치 및 방법이 사용될 수 없다. The carrier film 120 used in the apparatus and method according to an embodiment of the present invention is characterized in that a silicon-type adhesive layer is included in a portion contacting the graphene film 110. The silicon type adhesive layer has a good slip property. Here, slip property refers to a property of slipping in one direction. By using the carrier film 120 including the adhesive layer of silicon type, the graphene film 110 and the carrier film (not shown) 120). ≪ / RTI > If a heat peeling tape is used, when the graphene film 110 and the heat peeling tape are adhered to each other using a laminating apparatus including a squeegee by the foam cells included in the adhesive layer of the heat peeling tape, There arises a problem of causing damage to the substrate. Also, in the case of the polymer support, the laminate is directly formed on the graphene film through the drop coating, so that the laminating apparatus and method according to one embodiment of the present invention can not be used.

하지만, 본 발명의 다른 실시예에 의하면 캐리어 필름(120)의 접착층은 실리콘 타입 외에 이형성이 뛰어난 실리콘-아크릴 계열, 불소계열 또는 우레탄계열을 사용할 수도 있다. 한편, 열박리 테이프를 사용하는 경우라도 열박리 테이프의 접착층에 포함된 발포셀의 발포 강도 제어, 접착 성분의 제어를 수행하여 그래핀 필름(110)에 손상을 가하지 않게 된다면 본 발명의 실시예에 적용이 가능할 것이다. However, according to another embodiment of the present invention, the adhesive layer of the carrier film 120 may be a silicon-acrylic type, a fluorine type, or a urethane type having excellent releasability in addition to the silicone type. On the other hand, even in the case of using the heat peeling tape, if the foam strength of the foamed cell included in the adhesive layer of the heat peeling tape is controlled and the adhesive component is controlled so as not to damage the graphene film 110, It will be possible to apply.

한편, 캐리어 필름(120)에서 접착층의 두께는 약 25 내지 45 마이크로미터일 수 있고, 접착층이 구비된 베이스층의 두께는 약 50 내지 125 마이크로미터일 수 있다. 만약 접착층이나 베이스층이 상기 최소두께 미만인 경우나 상기 최대두께 초과인 경우에는 스퀴지를 포함한 래미네이트 장치(1)에 의한 래미네이트 공정이 불가능하다. On the other hand, in the carrier film 120, the thickness of the adhesive layer may be about 25 to 45 micrometers, and the thickness of the base layer having the adhesive layer may be about 50 to 125 micrometers. If the adhesive layer or the base layer is less than the minimum thickness or exceeds the maximum thickness, the laminating process by the laminating apparatus 1 including the squeegee is impossible.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)의 래미네이트 장치(1)를 개략적으로 도시한 것이다. 6 schematically shows a laminating apparatus 1 of a graphene film 110 and a carrier film 120 according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 래미네이트 장치(1)는 스테이지(10), 캐리어 필름 준비부(20), 래미네이트부(30) 및 제전부(23)를 포함한다. 6, the laminating apparatus 1 includes a stage 10, a carrier film preparation unit 20, a laminate unit 30, and a charge unit 23.

스테이지(10)는 일면에 도 4의 적층체(400)가 놓여진다. 스테이지(10)는 그래핀 필름(110)에 캐리어 필름(120)을 래미네이팅할 때, 그래핀 필름(110)을 지지하는 역할을 한다. 도 4의 적층체(400)는 촉매 금속 필름(101)이 구비된 면이 스테이지(10)의 일면과 접촉하도록, 즉 그래핀 필름(110)이 형성된 면이 캐리어 필름(120)을 향하도록 준비된다. The stage 10 has the laminate 400 of FIG. 4 on one side. The stage 10 serves to support the graphene film 110 when the carrier film 120 is laminated on the graphene film 110. 4 is prepared so that the surface provided with the catalytic metal film 101 is in contact with one surface of the stage 10, that is, the surface on which the graphene film 110 is formed faces the carrier film 120 do.

스테이지(10)는 일면에 놓여진 도 4의 적층체(400) 및 이 후 단계에서 캐리어 필름(120)을 고정하도록 스테이지(10) 일면을 진공 상태로 만들기 위한 펌프(12)를 더 구비한다. 스테이지(10)의 일면을 진공 상태로 만들기 위하여 펌프(12)는 스테이지 하부에 구비될 수 있다. 한편, 스테이지(10) 일면에는 복수개의 홀이 구비되고, 펌프(12)를 이용하여 홀을 통해 공기를 흡입함으로써 스테이지(10) 일면을 진공 상태로 만들 수 있다. 예를 들어 스테이지(10) 일면은 수 내지 수십 나노미터 사이즈의 홀이 구비된 나노 기공 소재로 형성될 수 있다. 이와 같이 펌프(12)를 이용하여 스테이지(10) 일면을 진공 상태로 만들어 스테이지(10) 일면 위에 놓인 구성을 고정하는 경우, 별도의 클립과 같은 고정 기구가 필요하지 않고 고정 기구가 그래핀 필름(110)이나 캐리어 필름(120)을 손상시키는 문제가 발생하지 않는다. 또한 펌프(12)로 진공 상태나 진공 면적을 조절함에 따라 고정 정도를 쉽게 제어할 수 있는 특징이 있다. The stage 10 further includes a laminate 400 of FIG. 4 placed on one side and a pump 12 for bringing one side of the stage 10 into a vacuum state to fix the carrier film 120 in a subsequent stage. A pump 12 may be provided at the lower portion of the stage to make one side of the stage 10 in a vacuum state. On one side of the stage 10, a plurality of holes are provided, and one side of the stage 10 can be evacuated by sucking air through the holes by using the pump 12. For example, one surface of the stage 10 may be formed of a nanoporous material having holes of several to several tens of nanometers in size. In this case, when the stage 10 is vacuumed by using the pump 12 to fix the structure placed on one side of the stage 10, a fixing mechanism such as a separate clip is not required, 110 and the carrier film 120 are not damaged. Further, the degree of fixation can be easily controlled by controlling the vacuum state or the vacuum area by the pump 12.

또한, 스테이지(10)는 일면을 가열함으로써 스퀴지를 통해 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)의 래미네이트가 용이하게 이루어지도록 한다. 스테이지(10)의 일면을 가열하기 위하여 스테이지는 히터(11)를 더 포함할 수 있으며 히터(11)는 스테이지의 하부에 구비될 수 있다. 이와 같이 히터(11)를 통해 스테이지(10) 일면을 가열하는 경우, 캐리어 필름(120)에 포함된 실리콘 타입 접착층의 슬립성이 더욱 향상되어 스퀴지가 용이하게 이동할 수 있게 된다. In addition, the stage 10 can easily heat the one surface to easily laminate the graphene film 110 and the carrier film 120 through the squeegee. In order to heat one surface of the stage 10, the stage may further include a heater 11, and the heater 11 may be provided at a lower portion of the stage. When the one side of the stage 10 is heated through the heater 11, the slipperiness of the silicon type adhesive layer included in the carrier film 120 is further improved, and the squeegee can be easily moved.

캐리어 필름 준비부(20)는 캐리어 필름(120)을 이동 및 고정시키는 롤러 세트(21)와 이러한 롤러 세트를 제어하는 구동부(22)를 포함한다. 롤러 세트(21)는 스테이지(10)의 일면 쪽에 구비되며 그래핀 필름(110)의 너비 또는 길이보다 큰 간격으로 대칭적으로 배치된다. 이러한 롤러 세트(21)는 구동부(22)에 의하여 그래핀 필름(110)의 전체 면에 대응하도록 캐리어 필름(120)을 이동 및 고정시키고, 캐리어 필름(120)에 소정의 방향으로 장력을 가한다. 도 5에서는 롤러 세트(21)가 그래핀 필름(110)의 길이 방향(x방향) 보다 큰 간격으로 대칭적으로 배치된 것이 도시되어 있다. 그러나 이는 예시적인 것이며 롤러 세트(@1)가 그래핀 필름(110)의 너비 방향(y방향) 보다 큰 간격으로 대칭적으로 배치될 수도 있다. 한편, 도 5에는 롤러 세트(21)가 캐리어 필름(120)의 길이 방향(x방향)으로 장력을 가할 수 있도록 캐리어 필름(120)을 길이 방향(x방향)으로 잡고 있는 것이 도시되어 있다. 롤러 세트(21)는 캐리어 필름(120)의 길이 방향으로 배치되어야 하는데, 그래야만 롤러 세트(21)가 회전을 통해 캐리어 필름(120)을 일방향(x방향)으로 이송이 가능하기 때문이다. The carrier film preparation section 20 includes a roller set 21 for moving and fixing the carrier film 120 and a driving section 22 for controlling such a roller set. The roller set 21 is provided on one side of the stage 10 and is arranged symmetrically with a gap larger than the width or length of the graphene film 110. The roller set 21 moves and fixes the carrier film 120 to correspond to the entire surface of the graphene film 110 by the driving unit 22 and applies tension to the carrier film 120 in a predetermined direction . In Fig. 5, the roller sets 21 are symmetrically arranged at intervals larger than the longitudinal direction (x direction) of the graphene film 110. [ However, this is exemplary and the roller set (1) may be arranged symmetrically with a gap larger than the width direction (y direction) of the graphene film 110. 5 shows that the roller set 21 holds the carrier film 120 in the longitudinal direction (x direction) so that tension can be applied in the longitudinal direction (x direction) of the carrier film 120. The roller set 21 should be disposed in the longitudinal direction of the carrier film 120 so that the roller set 21 can be conveyed in one direction (x direction) through rotation.

한편, 롤러 세트(21)가 캐리어 필름(120)을 이송할 때, 캐리어 필름(120)에 장력을 가할 때 정전기가 발생할 수 있는데 제전을 위하여 제전부(23)가 구비된다. 제전부(23)는 캐리어 필름(120)의 타면 쪽에 구비되고 캐리어 필름(120)을 이송할 때, 캐리어 필름(120)에 장력이 가해질 때 발생하는 정전기를 제거할 수 있다. 도 5에서는 두 개의 제전부(23)가 도시되었으나, 이는 예시적인 것이며 제전부(23)는 적어도 하나이상 구비될 수 있다. On the other hand, when the roller set 21 transports the carrier film 120, a static electricity may be generated when tension is applied to the carrier film 120, and a charge removing unit 23 is provided for eliminating static electricity. The electrification part 23 is provided on the other side of the carrier film 120 and can remove static electricity generated when tension is applied to the carrier film 120 when the carrier film 120 is transferred. Although two charge units 23 are shown in FIG. 5, this is only an example, and at least one charge unit 23 may be provided.

래미네이트부(30)는 스퀴지(squeegee)(31)를 포함하며 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)을 래미네이트한다. 상세히 래미네이트부(30)는 캐리어 필름(120)의 타면 쪽에 구비될 수 있는데, 스퀴지(31)와 스퀴지(31)를 구동하는 제어부(32)를 포함한다. 스퀴지(31)는 제어부(32)에 의해 하강하여 1단계로 캐리어 필름(120)의 타면에 접촉한다. 다음으로 제어부(32)에 의해 2단계로 접촉된 스퀴지(31)가 일 방향으로 이동하면서 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)을 래미네이트한다. 이 때 스퀴지(31)는 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120) 사이의 보이드를 제거하면서 이동하는 것을 특징으로 한다. The laminate portion 30 includes a squeegee 31 and laminates the graphene film 110 and the carrier film 120. The laminating unit 30 may be provided on the other side of the carrier film 120 and includes a control unit 32 for driving the squeegee 31 and the squeegee 31. The squeegee 31 is lowered by the control unit 32 and contacts the other surface of the carrier film 120 in one step. Next, the squeegee 31 contacted in two steps by the control unit 32 moves in one direction to laminate the graphene film 110 and the carrier film 120. Here, the squeegee 31 moves while removing voids between the graphene film 110 and the carrier film 120.

도 7은 도 6의 래미네이트 장치(1)에 포함된 스퀴지(31)의 끝단의 다양한 실시예를 도시한 것이다. Fig. 7 shows various embodiments of the end of the squeegee 31 included in the laminating apparatus 1 of Fig.

도 7을 참조하면, 스퀴지(31)는 캐리어 필름(120)의 타면에 접촉되는 끝단이 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들어 도 7의 (a)와 같이 끝단이 둥근형을 가질 수도 있고, 도 7의 (b)와 같이 끝단이 경사진형을 가질 수도 있다. 이러한 두가지 형태 모두 스퀴지(31)의 끝단과 캐리어 필름(120) 타면이 소정의 각도를 가질 수 있게 함으로써, 보이드를 밀어내면서 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)이 래미네이트할 수 있다. Referring to FIG. 7, the squeegee 31 may have various shapes at its ends contacting the other surface of the carrier film 120. For example, the end may have a round shape as shown in FIG. 7 (a), or the end may have an inclined shape as shown in FIG. 7 (b). In both of these shapes, the graphene film 110 and the carrier film 120 can be laminated while pushing the voids by allowing the edge of the squeegee 31 and the other surface of the carrier film 120 to have a predetermined angle.

도 8 내지 도 10는 도 6의 래미네이트 장치(1)의 동작 순서를 순차적으로 도시한 것이다. 8 to 10 sequentially show the operation sequence of the laminating apparatus 1 of Fig.

먼저, 도 8을 참조하면, 스테이지(10) 일면에 도 4의 적층체(400)를 그래핀 필름(110)이 상면에 오도록 놓는다. 스테이지(10) 일면은 펌프(12)로 인하여 진공 상태가 유지되므로 도 4의 적층체(400)는 스테이지(10) 일면에 고정될 수 있다. 한편, 스테이지(10) 일면은 히터(11)에 의해 가열될 수 있다. First, referring to FIG. 8, the stack 400 of FIG. 4 is placed on one surface of the stage 10 with the graphene film 110 on the top surface. Since the vacuum pump is maintained by the pump 12 on one side of the stage 10, the laminate 400 of FIG. 4 can be fixed on one side of the stage 10. [ On the other hand, one surface of the stage 10 can be heated by the heater 11.

다음으로, 롤러 세트(21)에 의해 캐리어 필름(120)을 스테이지(10) 상면에 대응하도록 이동시킨다. 보다 상세하게 롤러 세트(21)는 스테이지(10) 일면에 놓인 그래핀 필름(110)의 전체 면에 대응하도록 캐리어 필름(120)을 준비한다. 그리고, 캐리어 필름(120)의 길이 방향(x방향)으로 캐리어 필름(120)에 장력을 가한다. 이 때 제전부(23)는 캐리어 필름(120)에 발생할 수 있는 정전기를 제거할 수 있다. Next, the carrier film 120 is moved by the roller set 21 to correspond to the upper surface of the stage 10. More specifically, the roller set 21 prepares the carrier film 120 so as to correspond to the entire surface of the graphene film 110 placed on one side of the stage 10. Then, tension is applied to the carrier film 120 in the longitudinal direction (x direction) of the carrier film 120. At this time, the discharger 23 can remove static electricity that may occur in the carrier film 120.

다음으로 도 9을 참조하면, 스퀴지(31)가 하강하여 캐리어 필름(120)의 타면에 접촉한다. 스퀴지(31)의 끝단은 도 7과 같은 형태를 가지므로 스퀴지(31)와 캐리어 필름(120)은 선 접촉할 수 있다. Next, referring to FIG. 9, the squeegee 31 descends to come in contact with the other surface of the carrier film 120. Since the end of the squeegee 31 has a shape as shown in FIG. 7, the squeegee 31 and the carrier film 120 can be linearly contacted.

다음으로 도 10를 참조하면, 캐리어 필름(120)의 타면에 접촉된 스퀴지(31)가 일 방향으로 이동하면서 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)을 래미네이트한다. 도 9에서는 스퀴지(31)가 x방향으로 이동하면서 래미네이트하는 것을 도시하였으나, 스퀴지(31)는 보이드 없이 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)을 래미네이트하기 위해 일정한 방향으로 이동하면 되는 것이고, 그 방향은 도 9에 도시된 바에 한정되지 않는다. Referring to FIG. 10, the squeegee 31 contacting the other surface of the carrier film 120 moves in one direction to laminate the graphene film 110 and the carrier film 120. 9, the squeegee 31 is moved in the x direction to laminate, but the squeegee 31 may be moved in a certain direction to laminate the graphene film 110 and the carrier film 120 without voids And the direction is not limited to that shown in Fig.

이와 같이 본 발명의 실시예에 의하면, 스퀴지(31)를 포함한 래미네이트 장치(1)를 사용하여 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)을 래미네이트함으로써, 종래 그래핀 필름(110)에 발생하는 주름이나 손상을 방지하고 품질이 좋은 그래핀 필름(110)을 수득할 수 있는 장점이 있다. 또한, 펌프(12) 및 히터(11)를 구비한 스테이지(10)를 통해 도 4의 적층체(400)를 편평하게 펴 줄 수 있어 그래핀 필름(110)과 캐리어 필름(120)의 부착시 불량률을 낮출 수 있다. As described above, according to the embodiment of the present invention, by laminating the graphene film 110 and the carrier film 120 using the laminating apparatus 1 including the squeegee 31, There is an advantage that graphene film 110 having good quality can be obtained while preventing wrinkles or damage from occurring. 4 can be flattened through the stage 10 having the pump 12 and the heater 11 so that the adhesion of the graphene film 110 and the carrier film 120 The defective rate can be lowered.

다음으로 도 11을 참조하면, 도 5의 적층체(500)의 촉매 금속 필름(101)을 제거한다. (S24)Next, referring to FIG. 11, the catalyst metal film 101 of the stack 500 of FIG. 5 is removed. (S24)

촉매 금속 필름(101)을 제거하는 공정은 촉매 금속 필름(101)을 제거하여 그래핀 시트(110)와 캐리어 필름(120)으로 구성되는 도 6의 적층체(600)를 형성하는 단계이다. 촉매 금속 필름(101)을 제거하는 공정은 습식 에칭 공정을 사용할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고 습식 에칭 공정 전에 촉매 금속 필름(101)의 일면을 플라즈마(plasma)로 에칭 하거나, 폴리싱(polishing) 하는 건식 에칭 공정을 추가함으로써 촉매 금속 필름(101) 제거 공정 시간을 단축할 수 있다. 촉매 금속 필름(101) 제거 단계 이후에는 적층체에 잔류하는 촉매 금속 제거액을 세정하는 단계 및 건조 하는 단계를 더 포함할 수도 있다. The step of removing the catalytic metal film 101 is a step of removing the catalytic metal film 101 to form the laminate 600 of FIG. 6 composed of the graphene sheet 110 and the carrier film 120. The process of removing the catalytic metal film 101 may employ a wet etching process. However, the present invention is not limited to this, and the process time for removing the catalytic metal film 101 may be shortened by adding a dry etching process for etching or polishing one side of the catalytic metal film 101 with plasma before the wet etching process have. After the step of removing the catalytic metal film 101, the catalytic metal removing liquid remaining in the laminate may be further washed and dried.

다음으로, 도 12을 참조하면, 그래핀 시트(110)를 타켓 필름(130)에 전사하는 공정 및 캐리어 필름(120)을 제거하는 공정이 진행된다. (S25)12, the process of transferring the graft sheet 110 to the target film 130 and the process of removing the carrier film 120 proceed. (S25)

타켓 필름(130)은 최종적으로 그래핀 시트(110)가 형성될 기재를 의미한다. 타켓 필름(130)으로는 폴리에틸렌테레프탈레이트 (polyethylene terephthalate:PET), 폴리이미드 (polyimide:PI), 폴리디메틸실록산(PDMS: polydimethylsiloxane), 플라스틱, 유리 및 금속 중 적어도 하나를 사용할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 이렇게 그래핀 시트(110)가 코팅된 타켓 필름(130)은 플렉시블 디스플레이, 유기발광소자, 태양 전지 등의 투명전극 필름으로 사용될 수 있다.The target film 130 means the substrate on which the graphen sheet 110 is finally formed. As the target film 130, at least one of polyethylene terephthalate (PET), polyimide (PI), polydimethylsiloxane (PDMS), plastic, glass, and metal may be used, It is not. The target film 130 coated with the graphen sheet 110 may be used as a transparent electrode film such as a flexible display, an organic light emitting device, or a solar cell.

캐리어 필름(120)은 물리적인 힘으로 제거하거나, 접착층의 접착력을 줄이는 용매 등을 사용하여 접착력을 줄인 후 물리적인 힘으로 제거할 수 있다. 특히 접착층이 실리콘 타입인 경우 이형성이 뛰어나기 때문에 약간의 물리적 힘으로도 쉽게 제거가 가능한 특징이 있다. 캐리어 필름(120)의 접착층이 실리콘 타입인 경우 접착 성분, 가열 정도를 조절하여 접착력의 세기 및 이형성 제어가 가능하므로 본 발명의 일 실시예에 적합하게 맞춤형으로 제작이 가능하다. The carrier film 120 may be removed by physical force, or may be removed by physical force after reducing the adhesive force using a solvent or the like which reduces the adhesive force of the adhesive layer. Particularly, when the adhesive layer is a silicon type, it is excellent in releasability, so that it can be easily removed even by a slight physical force. When the adhesive layer of the carrier film 120 is a silicone type, it is possible to control the strength of the adhesive force and the releasability by adjusting the adhesive component and the degree of heating, so that it can be manufactured in a customized manner according to an embodiment of the present invention.

다음으로, 도 13을 참조하면, 그래핀 필름(110) 도핑 공정이 진행된다. (S26)Next, referring to FIG. 13, the doping process of the graphene film 110 proceeds. (S26)

노출된 그래핀 필름(110) 의 전기적 특성을 향상시키기 위하여 도핑을 수행할 수 있는데, 건식 도핑 또는 습식 도핑 방법으로 진행될 수 있다. Doping may be performed to improve the electrical characteristics of the exposed graphene film 110, which may be performed by a dry doping method or a wet doping method.

다음으로, 도 14을 참조하면, 그래핀 필름(110) 상에 커버 필름(140)을 부착한다. (S27) 커버 필름(140)은 그래핀 필름(110) 를 외부로부터 보호하는 역할을 한다. Next, referring to FIG. 14, a cover film 140 is attached on the graphene film 110. (S27) The cover film 140 serves to protect the graphene film 110 from the outside.

이렇게 제작된 그래핀 필름(110) 는 손상이 없는지, 어떠한 전기적 특성을 가지는 분석하는 분석 공정 등을 더 진행할 수도 있다. 상술한 그래핀 필름(110)의 제조 공정은 기술한 바에 한정되지 않으며, 일부 순서가 바뀔 수도 있고, 일부 단계가 생략되거나 추가될 수도 있다. The graphene film 110 thus fabricated may further be subjected to an analysis process or the like to be free from any damage or to have any electrical characteristics. The manufacturing process of the graphene film 110 described above is not limited to the description, and some of the steps may be changed, or some steps may be omitted or added.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the exemplary embodiments, and that various changes and modifications may be made therein without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

1: 래미네이트 장치
10: 스테이지
20: 캐리어 필름 준비부
30: 래미네이트부1: laminating device
10: stage
20: Carrier film preparing section
30: laminate part

Claims (8)

일면에 그래핀 필름이 놓여지는 스테이지;
상기 스테이지의 일면 쪽에 구비되며, 상기 그래핀 필름의 너비 또는 길이보다 큰 간격을 가지고 대칭적으로 배치된 롤러 세트를 구비하고, 상기 롤러 세트에 의해 상기 그래핀 필름의 전체 면에 대응하도록 캐리어 필름을 준비한 후 상기 캐리어 필름의 길이 방향으로 장력을 가하는 캐리어 필름 준비부; 및
상기 캐리어 필름의 일면에 반대되는 타면 쪽에 구비되며, 스퀴지를 포함하고 1단계로 상기 그래핀 필름과 대응하는 상기 캐리어 필름의 타면에 스퀴지를 접촉시키고, 2단계로 접촉된 스퀴지를 일 방향으로 이동하면서 상기 그래핀 필름과 상기 캐리어 필름을 래미네이트하는 래미네이트부;
를 포함하는, 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 장치.A stage on which a graphene film is placed;
And a roller set provided on one side of the stage and arranged symmetrically with a gap larger than the width or length of the graphene film, wherein the roller set is provided with a carrier film so as to correspond to the entire surface of the graphene film A carrier film preparation unit for applying a tensile force in the longitudinal direction of the carrier film after preparation; And
A squeegee disposed on one side of the carrier film opposite to the one side of the carrier film and including a squeegee and contacting the other side of the carrier film corresponding to the graphene film in one step, A laminate portion for laminating the graphene film and the carrier film;
Wherein the laminate is a laminate of a graphene film and a carrier film. 제1항에 있어서,
상기 캐리어 필름은 일면에 실리콘 타입의 접착제를 포함하는, 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 장치.The method according to claim 1,
Wherein the carrier film comprises a silicone type adhesive on one side. 제1항에 있어서,
상기 스퀴지는 상기 캐리어 필름의 타면과 접촉되는 끝단이 둥근형이거나, 경사진형을 가진, 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 장치.The method according to claim 1,
Wherein the squeegee has a rounded end or an inclined end which is in contact with the other surface of the carrier film. 제1항에 있어서,
상기 캐리어 필름이 타면 쪽에 구비되고 정전기를 제거하는 제전부;
를 더 포함하는, 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 장치.The method according to claim 1,
A charge removing part provided on the other side of the carrier film and removing static electricity;
Further comprising a laminate of a graphene film and a carrier film. 제1항에 있어서,
상기 스테이지는 일면에 놓여진 상기 그래핀 필름을 고정하도록 상기 스테이지 일면을 진공 상태로 만드는 펌프; 및
상기 스퀴지가 일 방향으로 이동하는 것이 용이하도록 상기 스테이지의 일면을 가열하는 히터;
를 더 포함하는, 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 장치.The method according to claim 1,
Wherein the stage comprises: a pump for vacuuming one surface of the stage to fix the graphene film placed on one surface; And
A heater for heating one surface of the stage so that the squeegee can easily move in one direction;
Further comprising a laminate of a graphene film and a carrier film. 스테이지의 일면에 그래핀 필름을 놓는 단계;
롤러 세트에 의해 상기 그래핀 필름의 전체 면에 대응하도록 캐리어 필름을 준비한 후 상기 캐리어 필름의 길이 방향으로 장력을 가하는 단계;
상기 캐리어 필름의 타면에 스퀴지를 접촉시키는단계; 및
접촉된 상기 스퀴지를 일 방향으로 이동하면서 상기 그래핀 필름과 상기 캐리어 필름을 래미네이트하는 단계;
를 포함하는, 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 방법.Placing a graphene film on one side of the stage;
Preparing a carrier film so as to correspond to the entire surface of the graphene film by a roller set, and then applying a tensile force in the longitudinal direction of the carrier film;
Contacting a squeegee on the other side of the carrier film; And
Laminating the graphene film and the carrier film while moving the squeegee in contact in one direction;
≪ / RTI > wherein the laminate is a laminate of a graphene film and a carrier film. 제6항에 있어서,
상기 캐리어 필름은 일면에 실리콘 타입의 접착제를 포함하는, 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 방법.The method according to claim 6,
Wherein the carrier film comprises a silicone type adhesive on one side. 제6항에 있어서,
상기 그래핀 필름을 고정하도록 상기 스테이지 일면을 진공 상태로 만드는 단계; 및
상기 스퀴지가 일 방향으로 이동하는 것이 용이하도록 상기 스테이지의 일면을 가열하는 단계;
를 더 포함하는, 그래핀 필름과 캐리어 필름의 래미네이트 방법.The method according to claim 6,
Placing a surface of the stage in a vacuum state to fix the graphene film; And
Heating one side of the stage to facilitate movement of the squeegee in one direction;
≪ / RTI > further comprising the steps of: providing a laminate of a graphene film and a carrier film.
KR1020140004051A 2014-01-13 2014-01-13 Laminate Apparatus and Method of Laminate KR101550301B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140004051A KR101550301B1 (en) 2014-01-13 2014-01-13 Laminate Apparatus and Method of Laminate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140004051A KR101550301B1 (en) 2014-01-13 2014-01-13 Laminate Apparatus and Method of Laminate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150084235A true KR20150084235A (en) 2015-07-22
KR101550301B1 KR101550301B1 (en) 2015-09-07

Family

ID=53874221

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140004051A KR101550301B1 (en) 2014-01-13 2014-01-13 Laminate Apparatus and Method of Laminate

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101550301B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102566098B1 (en) * 2021-08-31 2023-08-14 주식회사 안머터리얼즈 Graphene composite manufacturing device

Also Published As

Publication number Publication date
KR101550301B1 (en) 2015-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101858642B1 (en) Graphene transfer method
KR101842018B1 (en) Method for manufacturing film comprising graphene
Choubak et al. No graphene etching in purified hydrogen
Wang et al. Electrochemical delamination of CVD-grown graphene film: toward the recyclable use of copper catalyst
Yang et al. Chemical vapour deposition of graphene: Layer control, the transfer process, characterisation, and related applications
US20130299077A1 (en) Method for transferring graphene using a hot press
KR101912798B1 (en) Apparatus and method for manufacturing graphene
KR101767921B1 (en) Method for post treatment of graphene and method for manufacturing graphene using the same
JP5705315B2 (en) Low temperature manufacturing method of graphene and direct transfer method of graphene using the same
KR101429518B1 (en) Method and apparatus for transferring graphene
JP6071763B2 (en) Carbon nanotube sheet manufacturing method and carbon nanotube sheet
US10196272B2 (en) Apparatus and method of manufacturing graphene film
KR101284535B1 (en) Transferring method of graphene, and graphene transferred flexible substrate thereby
KR101982154B1 (en) Method of manufacturing Graphene film
KR101806917B1 (en) Method for manufacturing graphene
KR101614322B1 (en) Method for preparing graphene having controled layer number and method for fabricating electronic device using the same
KR101475266B1 (en) Board for growing high quality graphene layer and growing method thereof
KR101905646B1 (en) Low-temperature transfer method of graphene
KR101926488B1 (en) Method of manufacturing grapheme film
KR101982156B1 (en) Method for transferring graphene
KR101550301B1 (en) Laminate Apparatus and Method of Laminate
KR101662710B1 (en) Preparing method of diamond like carbon film using hydrogen plasma
KR20130028582A (en) Method for getting graphene
KR101842019B1 (en) Manufacturing method for multi-layer graphene sheet
KR101716187B1 (en) Method for transferring graphene

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180726

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190729

Year of fee payment: 5