KR20150077533A

KR20150077533A - 플라즈마 발생 장치 및 그를 포함하는 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR20150077533A
Application number: KR1020130165436A
Authority: KR
Inventors: 박승진; 구일교; 임두호; 김영빈; 성효성; 이수진; 멜리키안 해리; 다니엘얀 엠마
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2013-12-27
Filing date: 2013-12-27
Publication date: 2015-07-08
Also published as: KR102175081B1

Abstract

본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 그를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는, RF 신호를 생성하는 RF 전원; 상기 RF 신호를 인가받아 전자장을 유도하여 플라즈마를 발생시키는 다수의 코일; 및 상기 RF 전원으로부터 공급되는 전력을 각각의 코일로 분배하는 전력 분배기를 포함하되, 상기 전력 분배기는: 상기 다수의 코일 중 제 1 코일에 직렬로 연결되는 공진기; 및 상기 제 1 코일에 병렬로 연결되는 가변 리액턴스 소자;를 포함할 수 있다.

Description

플라즈마 발생 장치 및 그를 포함하는 기판 처리 장치{PLASMA GENERATING DEVICE AND APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE COMPRISING THE SAME}

본 발명은 플라즈마 발생 장치 및 그를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

반도체 제조 공정은 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 공정을 포함할 수 있다. 예를 들어, 반도체 제조 공정 중 에칭 공정은 플라즈마를 이용하여 기판 상의 박막을 제거할 수 있다.

기판 처리 공정에 플라즈마를 이용하기 위해, 공정 챔버에 플라즈마를 발생시킬 수 있는 플라즈마 소스가 장착된다. 이 플라즈마 소스는 플라즈마 발생 방식에 따라 크게 CCP(Capacitively Coupled Plasma) 타입과 ICP(Inductively Coupled Plasma) 타입으로 나뉜다.

CCP 타입의 소스는 챔버 내에 두 전극이 서로 마주보도록 배치되고, 두 전극 중 어느 하나 또는 둘 모두에 RF 신호를 인가하여 챔버 내에 전기장을 형성함으로써 플라즈마를 생성한다. 반면, ICP 타입의 소스는 챔버에 하나 또는 그 이상의 코일이 설치되고, 코일에 RF 신호를 인가하여 챔버 내에 전자장을 유도함으로써 플라즈마를 생성한다.

챔버에 둘 이상의 코일이 설치되고, 둘 이상의 코일이 하나의 RF 전원으로부터 전력을 공급받는 경우, RF 전원과 코일들 사이에는 전력 분배기가 구비될 수 있다. 이 전력 분배기는 RF 전원으로부터 공급되는 전력을 소정의 비율로 분배하여 각각의 코일에 공급한다. 하지만, 종래의 전력 분배기는 제어 가능한 전력 분배 범위가 매우 제한적인 문제가 있었다.

본 발명의 실시예는 각각의 코일에 공급되는 전력량을 넓은 범위에 걸쳐 제어할 수 있는 플라즈마 발생 장치 및 그를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 장치는, RF 신호를 생성하는 RF 전원; 상기 RF 신호를 인가받아 전자장을 유도하여 플라즈마를 발생시키는 다수의 코일; 및 상기 RF 전원으로부터 공급되는 전력을 각각의 코일로 분배하는 전력 분배기를 포함하되, 상기 전력 분배기는: 상기 다수의 코일 중 제 1 코일에 직렬로 연결되는 공진기; 및 상기 제 1 코일에 병렬로 연결되는 가변 리액턴스 소자;를 포함할 수 있다.

상기 공진기는 병렬로 연결된 커패시터 및 인덕터를 포함할 수 있다.

상기 공진기는 직렬로 연결된 커패시터 및 인덕터를 포함할 수 있다.

상기 공진기는: 직렬로 연결된 제 1 커패시터 및 제 1 인덕터를 포함하는 제 1 서브 공진기; 및 병렬로 연결된 제 2 커패시터 및 제 2 인덕터를 포함하는 제 2 서브 공진기를 포함하며, 상기 제 1 서브 공진기와 상기 제 2 서브 공진기는 직렬로 연결될 수 있다.

상기 가변 리액턴스 소자는 가변 커패시터를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판이 처리되는 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 내에 위치하며, 상기 기판을 지지하는 기판 지지 유닛; 상기 챔버 내부로 가스를 공급하는 가스 공급 유닛; 및 상기 챔버 내 가스를 플라즈마 상태로 여기시키는 플라즈마 발생 유닛을 포함하며, 상기 플라즈마 발생 유닛은: RF 신호를 생성하는 RF 전원; 상기 RF 신호를 인가받아 상기 챔버 내에 전자장을 유도하는 다수의 코일; 및 상기 RF 전원으로부터 공급되는 전력을 각각의 코일로 분배하는 전력 분배기를 포함하되, 상기 전력 분배기는: 상기 다수의 코일 중 제 1 코일에 직렬로 연결되는 공진기; 및 상기 제 1 코일에 병렬로 연결되는 가변 리액턴스 소자;를 포함할 수 있다.

상기 다수의 코일은 상기 챔버의 상부에 배치될 수 있다.

상기 다수의 코일은 상기 챔버의 측부에 배치될 수 있다.

상기 다수의 코일 중 일부는 상기 챔버의 상부에 배치되고, 나머지는 상기 챔버의 측부에 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 각 코일에 공급되는 전력량 및 그 비율을 넓은 범위에 걸쳐 제어할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 유닛을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전력 분배기의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 전력 분배기의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전력 분배기의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전력 분배기의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전력 분배기의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.

이하, 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(10)를 예시적으로 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 플라즈마를 이용하여 기판(W)을 처리한다. 예를 들어, 기판 처리 장치(10)는 기판(W)에 대하여 식각 공정을 수행할 수 있다. 기판 처리 장치(10)는 챔버(100), 기판 지지 유닛(200), 가스 공급 유닛(300), 플라즈마 발생 유닛(400) 및 배플 유닛(500)을 포함할 수 있다.

챔버(100)는 기판 처리 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 챔버(100)는 하우징(110), 밀폐 커버(120) 및 라이너(130)를 포함한다.

하우징(110)은 내부에 상면이 개방된 공간을 갖는다. 하우징(110)의 내부 공간은 기판 처리 공정이 수행되는 처리 공간으로 제공된다. 하우징(110)은 금속 재질로 제공된다. 하우징(110)은 알루미늄 재질로 제공될 수 있다. 하우징(110)은 접지될 수 있다. 하우징(110)의 바닥면에는 배기홀(102)이 형성된다. 배기홀(102)은 배기 라인(151)과 연결된다. 공정 과정에서 발생한 반응 부산물 및 하우징의 내부 공간에 머무르는 가스는 배기 라인(151)을 통해 외부로 배출될 수 있다. 배기 과정에 의해 하우징(110) 내부는 소정의 압력으로 감압된다.

밀폐 커버(120)는 하우징(110)의 개방된 상면을 덮는다. 밀폐 커버(120)는 판 형상으로 제공되며, 하우징(110)의 내부 공간을 밀폐시킨다. 밀폐 커버(120)는 유전체(dielectric substance) 창을 포함할 수 있다.

라이너(130)는 하우징(110) 내부에 제공된다. 라이너(130)는 상면 및 하면이 개방된 공간의 내부에 형성된다. 라이너(130)는 원통 형상으로 제공될 수 있다. 라이너(130)는 하우징(110)의 내측면에 상응하는 반경을 가질 수 있다. 라이너(130)는 하우징(110)의 내측면을 따라 제공된다. 라이너(130)의 상단에는 지지 링(131)이 형성된다. 지지 링(131)은 링 형상의 판으로 제공되며, 라이너(130)의 둘레를 따라 라이너(130)의 외측으로 돌출된다. 지지 링(131)은 하우징(110)의 상단에 놓이며, 라이너(130)를 지지한다. 라이너(130)는 하우징(110)과 동일한 재질로 제공될 수 있다. 즉, 라이너(130)는 알루미늄 재질로 제공될 수 있다. 라이너(130)는 하우징(110) 내측면을 보호한다. 공정 가스가 여기되는 과정에서 챔버(100) 내부에는 아크(Arc) 방전이 발생될 수 있다. 아크 방전은 주변 장치들을 손상시킨다. 라이너(130)는 하우징(110)의 내측면을 보호하여 하우징(110)의 내측면이 아크 방전으로 손상되는 것을 방지한다. 또한, 기판 처리 공정 중에 발생한 불순물이 하우징(110)의 내측벽에 증착되는 것을 방지한다. 라이너(130)는 하우징(110)에 비하여 비용이 저렴하고, 교체가 용이하다. 따라서, 아크 방전으로 라이너(130)가 손상될 경우, 작업자는 새로운 라이너(130)로 교체할 수 있다.

하우징(110)의 내부에는 기판 지지 유닛(200)이 위치한다. 기판 지지 유닛(200)은 기판(W)을 지지한다. 기판 지지 유닛(200)은 정전기력을 이용하여 기판(W)을 흡착하는 정전 척(210)을 포함할 수 있다. 이와 달리, 기판 지지 유닛(200)은 기계적 클램핑과 같은 다양한 방식으로 기판(W)을 지지할 수도 있다. 이하에서는 정전 척(210)을 포함하는 기판 지지 유닛(200)에 대하여 설명한다.

기판 지지 유닛(200)은 정전 척(210), 절연 플레이트(250) 및 하부 커버(270)를 포함한다. 기판 지지 유닛(200)은 챔버(100) 내부에서 하우징(110)의 바닥면으로부터 상부로 이격되어 위치될 수 있다.

정전 척(210)은 유전판(220), 전극(223), 히터(225), 지지판(230) 및 포커스 링(240)을 포함한다.

유전판(220)은 정전 척(210)의 상단부에 위치한다. 유전판(220)은 원판 형상의 유전체(dielectric substance)로 제공된다. 유전판(220)의 상면에는 기판(W)이 놓인다. 유전판(220)의 상면은 기판(W)보다 작은 반경을 갖는다. 때문에, 기판(W) 가장자리 영역은 유전판(220)의 외측에 위치한다. 유전판(220)에는 제 1 공급 유로(221)가 형성된다. 제 1 공급 유로(221)는 유전판(210)의 상면으로부터 저면으로 제공된다. 제 1 공급 유로(221)는 서로 이격하여 복수 개 형성되며, 기판(W)의 저면으로 열전달 매체가 공급되는 통로로 제공된다.

유전판(220)의 내부에는 하부 전극(223)과 히터(225)가 매설된다. 하부 전극(223)은 히터(225)의 상부에 위치한다. 하부 전극(223)은 제 1 하부 전원(223a)과 전기적으로 연결된다. 제 1 하부 전원(223a)은 직류 전원을 포함한다. 하부 전극(223)과 제 1 하부 전원(223a) 사이에는 스위치(223b)가 설치된다. 하부 전극(223)은 스위치(223b)의 온/오프에 의해 제 1 하부 전원(223a)과 전기적으로 연결될 수 있다. 스위치(223b)가 온 되면, 하부 전극(223)에는 직류 전류가 인가된다. 하부 전극(223)에 인가된 전류에 의해 하부 전극(223)과 기판(W) 사이에는 정전기력이 작용하며, 정전기력에 의해 기판(W)은 유전판(220)에 흡착된다.

히터(225)는 제 2 하부 전원(225a)과 전기적으로 연결된다. 히터(225)는 제 2 하부 전원(225a)에서 인가된 전류에 저항함으로써 열을 발생시킨다. 발생된 열은 유전판(220)을 통해 기판(W)으로 전달된다. 히터(225)에서 발생된 열에 의해 기판(W)은 소정 온도로 유지된다. 히터(225)는 나선 형상의 코일을 포함한다.

유전판(220)의 하부에는 지지판(230)이 위치한다. 유전판(220)의 저면과 지지판(230)의 상면은 접착제(236)에 의해 접착될 수 있다. 지지판(230)은 알루미늄 재질로 제공될 수 있다. 지지판(230)의 상면은 중심 영역이 가장자리 영역보다 높게 위치되도록 단차질 수 있다. 지지판(230)의 상면 중심 영역은 유전판(220)의 저면에 상응하는 면적을 가지며, 유전판(220)의 저면과 접착된다. 지지판(230)에는 제 1 순환 유로(231), 제 2 순환 유로(232) 및 제 2 공급 유로(233)가 형성된다.

제 1 순환 유로(231)는 열전달 매체가 순환하는 통로로 제공된다. 제 1 순환 유로(231)는 지지판(230) 내부에 나선 형상으로 형성될 수 있다. 또는, 제 1 순환 유로(231)는 서로 상이한 반경을 갖는 링 형상의 유로들이 동일한 중심을 갖도록 배치될 수 있다. 각각의 제 1 순환 유로(231)는 서로 연통될 수 있다. 제 1 순환 유로(231)는 동일한 높이에 형성된다.

제 2 순환 유로(232)는 냉각 유체가 순환하는 통로로 제공된다. 제 2 순환 유로(232)는 지지판(230) 내부에 나선 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 제 2 순환 유로(232)는 서로 상이한 반경을 갖는 링 형상의 유로들이 동일한 중심을 갖도록 배치될 수 있다. 각각의 제 2 순환 유로(232)는 서로 연통될 수 있다. 제 2 순환 유로(232)는 제 1 순환 유로(231)보다 큰 단면적을 가질 수 있다. 제 2 순환 유로(232)는 동일한 높이에 형성된다. 제 2 순환 유로(232)는 제 1 순환 유로(231)의 하부에 위치될 수 있다.

제 2 공급 유로(233)는 제 1 순환 유로(231)부터 상부로 연장되며, 지지판(230)의 상면으로 제공된다. 제 2 공급 유로(243)는 제 1 공급 유로(221)에 대응하는 개수로 제공되며, 제 1 순환 유로(231)와 제 1 공급 유로(221)를 연결한다.

제 1 순환 유로(231)는 열전달 매체 공급라인(231b)을 통해 열전달 매체 저장부(231a)와 연결된다. 열전달 매체 저장부(231a)에는 열전달 매체가 저장된다. 열전달 매체는 불활성 가스를 포함한다. 실시예에 의하면, 열전달 매체는 헬륨(He) 가스를 포함한다. 헬륨 가스는 공급 라인(231b)을 통해 제 1 순환 유로(231)에 공급되며, 제 2 공급 유로(233)와 제1 공급 유로(221)를 순차적으로 거쳐 기판(W) 저면으로 공급된다. 헬륨 가스는 플라즈마에서 기판(W)으로 전달된 열이 정전 척(210)으로 전달되는 매개체 역할을 한다.

제 2 순환 유로(232)는 냉각 유체 공급 라인(232c)을 통해 냉각 유체 저장부(232a)와 연결된다. 냉각 유체 저장부(232a)에는 냉각 유체가 저장된다. 냉각 유체 저장부(232a) 내에는 냉각기(232b)가 제공될 수 있다. 냉각기(232b)는 냉각 유체를 소정 온도로 냉각시킨다. 이와 달리, 냉각기(232b)는 냉각 유체 공급 라인(232c) 상에 설치될 수 있다. 냉각 유체 공급 라인(232c)을 통해 제 2 순환 유로(232)에 공급된 냉각 유체는 제 2 순환 유로(232)를 따라 순환하며 지지판(230)을 냉각한다. 지지판(230)은 냉각되면서 유전판(220)과 기판(W)을 함께 냉각시켜 기판(W)을 소정 온도로 유지시킨다.

포커스 링(240)은 정전 척(210)의 가장자리 영역에 배치된다. 포커스 링(240)은 링 형상을 가지며, 유전판(220)의 둘레를 따라 배치된다. 포커스 링(240)의 상면은 외측부(240a)가 내측부(240b)보다 높도록 단차질 수 있다. 포커스 링(240)의 상면 내측부(240b)는 유전판(220)의 상면과 동일 높이에 위치된다. 포커스 링(240)의 상면 내측부(240b)는 유전판(220)의 외측에 위치된 기판(W)의 가장자리 영역을 지지한다. 포커스 링(240)의 외측부(240a)는 기판(W)의 가장자리 영역을 둘러싸도록 제공된다. 포커스 링(240)은 챔버(100) 내에서 플라즈마가 기판(W)과 마주하는 영역으로 집중되도록 한다.

지지판(230)의 하부에는 절연 플레이트(250)가 위치한다. 절연 플레이트(250)는 지지판(230)에 상응하는 단면적으로 제공된다. 절연 플레이트(250)는 지지판(230)과 하부 커버(270) 사이에 위치한다. 절연 플레이트(250)는 절연 재질로 제공되며, 지지판(230)과 하부 커버(270)를 전기적으로 절연시킨다.

하부 커버(270)는 기판 지지 유닛(200)의 하단부에 위치한다. 하부 커버(270)는 하우징(110)의 바닥면에서 상부로 이격되어 위치한다. 하부 커버(270)는 상면이 개방된 공간이 내부에 형성된다. 하부 커버(270)의 상면은 절연 플레이트(250)에 의해 덮어진다. 따라서, 하부 커버(270)의 단면의 외부 반경은 절연 플레이트(250)의 외부 반경과 동일한 길이로 제공될 수 있다. 하부 커버(270)의 내부 공간에는 반송되는 기판(W)을 외부의 반송 부재로부터 정전 척(210)으로 이동시키는 리프트 핀 모듈(미도시) 등이 위치할 수 있다.

하부 커버(270)는 연결 부재(273)를 갖는다. 연결 부재(273)는 하부 커버(270)의 외측면과 하우징(110)의 내측벽을 연결한다. 연결 부재(273)는 하부 커버(270)의 외측면에 일정한 간격으로 복수 개 제공될 수 있다. 연결 부재(273)는 기판 지지 유닛(200)을 챔버(100) 내부에서 지지한다. 또한, 연결 부재(273)는 하우징(110)의 내측벽과 연결됨으로써 하부 커버(270)가 전기적으로 접지되도록 한다. 제 1 하부 전원(223a)과 연결되는 제 1 전원 라인(223c), 제 2 하부 전원(225a)과 연결되는 제 2 전원라인(225c), 열전달 매체 저장부(231a)와 연결된 열전달 매체 공급라인(231b), 및 냉각 유체 저장부(232a)와 연결된 냉각 유체 공급 라인(232c) 등은 연결 부재(273)의 내부 공간을 통해 하부 커버(270) 내부로 연장된다.

가스 공급 유닛(300)은 챔버(100) 내부에 공정 가스를 공급한다. 가스 공급 유닛(300)은 가스 공급 노즐(310), 가스 공급 라인(320) 및 가스 저장부(330)를 포함한다. 가스 공급 노즐(310)은 밀폐 커버(120)의 중앙부에 설치된다. 가스 공급 노즐(310)의 저면에는 분사구가 형성된다. 분사구는 밀폐 커버(120)의 하부에 위치하며, 챔버(100) 내부의 처리공간으로 공정 가스를 공급한다. 가스 공급 라인(320)은 가스 공급 노즐(310)과 가스 저장부(330)를 연결한다. 가스 공급 라인(320)은 가스 저장부(330)에 저장된 공정 가스를 가스 공급 노즐(310)에 공급한다. 가스 공급 라인(320)에는 밸브(321)가 설치된다. 밸브(321)는 가스 공급 라인(320)을 개폐하며, 가스 공급 라인(320)을 통해 공급되는 공정 가스의 유량을 조절한다.

플라즈마 발생 유닛(400)은 챔버(100) 내 공정 가스를 플라즈마 상태로 여기시킨다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 플라즈마 발생 유닛(400)은 ICP 타입으로 구성될 수 있다. 이 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 플라즈마 발생 유닛(400)은 RF 전력을 공급하는 RF 전원(420), 상기 RF 전원(420)에 전기적으로 연결되어 RF 전력을 인가받는 제 1 코일(411) 및 제 2 코일(413), 그리고 상기 RF 전원(420)으로부터 공급되는 전력을 각각의 코일로 분배하는 전력 분배기(430)를 포함할 수 있다.

제 1 코일(411) 및 제 2 코일(413)은 기판(W)에 대향하는 위치에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 코일(411) 및 제 2 코일(413)은 챔버(100)의 상부에 설치될 수 있다. 제 1 코일(411)은 제 2 코일(413)보다 직경이 작아 챔버(100)의 상부 안쪽에 위치하고, 제 2 코일(413)은 챔버(100)의 상부 바깥쪽에 위치할 수 있다.

실시예에 따라, 상기 제 1 및 제 2 코일(411, 413)은 챔버(100)의 측부에 배치될 수도 있다. 실시예에 따라, 상기 제 1 및 제 2 코일(411, 413) 중 어느 하나는 챔버(100)의 상부에 배치되고, 다른 하나는 챔버(100)의 측부에 배치될 수도 있다. 복수의 코일이 챔버(100) 내에 플라즈마를 생성하는 한, 코일의 위치는 제한되지 않는다.

제 1 코일(411) 및 제 2 코일(413)은 RF 전원(420)으로부터 RF 전력을 인가받아 챔버에 시변 전자장을 유도할 수 있으며, 그에 따라 챔버(100)에 공급된 공정 가스는 플라즈마로 여기될 수 있다.

배플 유닛(500)은 하우징(110)의 내측벽과 기판 지지 유닛(200) 사이에 위치된다. 배플 유닛(500)은 관통홀이 형성된 배플을 포함한다. 배플은 환형의 링 형상으로 제공된다. 하우징(110) 내에 제공된 공정가스는 배플의 관통홀들을 통과하여 배기홀(102)로 배기된다. 배플의 형상 및 관통홀들의 형상에 따라 공정가스의 흐름이 제어될 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 발생 유닛(400)을 예시적으로 나타내는 도면이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 플라즈마 발생 유닛(400)은 RF 전원(420), 다수의 코일(411, 413) 및 전력 분배기(430)를 포함할 수 있다.

상기 RF 전원(420)은 RF 신호를 생성할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 상기 RF 전원(420)은 기 설정된 주파수를 갖는 정현파를 생성할 수 있다. 그러나, 상기 RF 전원(420)이 생성하는 신호의 파형은 이에 제한되지 않고 톱니파, 삼각파 등 다양한 파형을 가질 수 있다.

상기 다수의 코일(411, 413)은 RF 전원(420)으로부터 RF 신호를 인가받아 전자장을 유도하여 플라즈마를 발생시킨다.

도 2에 도시된 플라즈마 발생 유닛(400)은 플라즈마 소스로 총 두 개의 코일(411, 413)을 구비하나, 상기 코일의 개수는 이에 제한되지 않고 실시예에 따라 셋 또는 그 이상일 수도 있다.

상기 플라즈마 발생 유닛(400)은 임피던스 정합기(440)를 더 포함할 수 있다. 상기 임피던스 정합기(440)는 상기 RF 전원(420)의 출력단에 연결되어 전원 측의 출력 임피던스와 부하 측의 입력 임피던스를 정합시킬 수 있다.

상기 전력 분배기(430)는 상기 RF 전원(420)과 다수의 코일(411, 413) 사이에 설치되어 상기 RF 전원(420)으로부터 공급되는 전력을 각각의 코일로 분배한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전력 분배기(430)의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 전력 분배기(430)는 다수의 코일 중 제 1 코일(411)에 직렬로 연결되는 공진기(431), 및 상기 제 1 코일(411)에 병렬로 연결되는 가변 리액턴스 소자(432)를 포함할 수 있다.

상기 공진기(431)는 상기 제 1 코일(411) 및 상기 가변 리액턴스 소자(432)와 조합되어 다양한 임피던스 값을 구현할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 공진기(431)는 커패시터와 인덕터로 구성될 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 전력 분배기(430)의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.

도 4를 참조하면, 일 실시예에 따른 공진기(431)는 서로 병렬로 연결된 커패시터(4311) 및 인덕터(4312)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 공진기(431)를 구성하는 커패시터(4311) 및 인덕터(4312)는 서로 병렬로 연결될 수 있다.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전력 분배기(430)의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.

도 5를 참조하면, 다른 실시예에 따른 공진기(431)는 서로 직렬로 연결된 커패시터(4311) 및 인덕터(4312)를 포함할 수 있다. 즉, 상기 공진기(431)를 구성하는 커패시터(4311) 및 인덕터(4312)는 서로 직렬로 연결될 수 있다.

상기 커패시터(4311)의 커패시턴스 및 상기 인덕터(4312)의 인덕턴스는 제 1 코일(411)의 임피던스 및 상기 제 1 코일로 공급할 전력량에 따라 결정될 수 있다.

도 4 및 도 5에 도시된 커패시터(4311) 및 인덕터(4312)는 각각 커패시턴스 및 인덕턴스가 고정된 고정 커패시터 및 고정 인덕터이나, 실시예에 따라 상기 커패시터(4311) 및 상기 인덕터(4312) 중 적어도 하나는 소자 값이 가변하는 가변 리액턴스 소자일 수도 있다.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전력 분배기(430)의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.

도 6을 참조하면, 또 다른 실시예에 따른 공진기(431)는 제 1 서브 공진기(431a) 및 제 2 서브 공진기(432b)를 포함할 수 있다.

상기 제 1 서브 공진기(431a)는 직렬로 연결된 제 1 커패시터(4313) 및 제 1 인덕터(4314)를 포함할 수 있다. 반면, 상기 제 2 서브 공진기(431b)는 병렬로 연결된 제 2 커패시터(4315) 및 제 2 인덕터(4316)를 포함할 수 있다.

그리고, 상기 제 1 서브 공진기(431a) 및 상기 제 2 서브 공진기(432b)는 서로 직렬로 연결될 수 있다.

도 4 및 도 5에 도시된 실시예와 마찬가지로, 상기 제 1 및 제 2 커패시터(4313, 4315) 그리고 상기 제 1 및 제 2 인덕터(4314, 4316)는 소자 값이 고정된 고정 리액턴스 소자일 수 있으나, 실시예에 따라 이들 중 적어도 하나는 소자 값이 가변하는 가변 리액턴스 소자일 수도 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 상기 공진기(431)가 다수의 서브 공진기(431a, 431b)로 구성되는 경우, 보다 넓은 범위에 걸쳐 임피던스 값을 구현할 수 있다.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전력 분배기(430)의 구성을 예시적으로 나타내는 도면이다.

도 7을 참조하면, 상기 전력 분배기(430)는 다수의 코일 중 제 1 코일(411)에 직렬로 연결되는 공진기(431), 및 다수의 코일 중 제 2 코일(413)에 병렬로 연결되는 가변 리액턴스 소자(432)를 포함할 수 있다.

다시 말해, 도 3에 도시된 바와 달리, 상기 전력 분배기(430)의 가변 리액턴스 소자(432)는 제 1 코일(411)이 아닌 제 2 코일(413)에 병렬로 연결될 수 있다.

또한, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 가변 리액턴스 소자(432)는 가변 커패시터를 포함할 수 있으나, 실시예에 따라 상기 가변 리액턴스 소자는 가변 인덕터를 포함할 수도 있다.

전술한 가변 소자들은 제어기(미도시)로부터 제어 신호를 수신하여 그에 따라 소자값이 변경될 수 있다. 상기 제어기는 플라즈마를 이용하는 공정에 따라 소자값을 조절하여 해당 공정에 적합하도록 플라즈마의 특성을 제어할 수 있다.

전술한 본 발명의 실시예에 따르면, 제 1 코일(411)에 공진기(431)를 연결함으로써 보다 넓은 범위에 걸쳐 다양한 임피던스 값을 구현할 수 있다. 그 결과, 제 2 코일(413)의 설계가 보다 용이해지고, 나아가 각 코일에 공급되는 전력량 및 그 비율을 보다 용이하게 제어할 수 있게 된다.

이상에서 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 위 실시예는 단지 본 발명의 사상을 설명하기 위한 것으로 이에 한정되지 않는다. 통상의 기술자는 전술한 실시예에 다양한 변형이 가해질 수 있음을 이해할 것이다. 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구범위의 해석을 통해서만 정해진다.

10: 기판 처리 장치
100: 챔버
200: 기판 지지 유닛
300: 가스 공급 유닛
400: 플라즈마 발생 유닛
411: 제 1 코일
413: 제 2 코일
420: RF 전원
430: 전력 분배기
431: 공진기
432: 가변 리액턴스 소자
500: 배플 유닛
4311: 커패시터
4312: 인덕터
4313: 제 1 커패시터
4314: 제 1 인덕터
4315: 제 2 커패시터
4316: 제 2 인덕터

Claims

RF 신호를 생성하는 RF 전원;
상기 RF 신호를 인가받아 전자장을 유도하여 플라즈마를 발생시키는 다수의 코일; 및
상기 RF 전원으로부터 공급되는 전력을 각각의 코일로 분배하는 전력 분배기를 포함하되, 상기 전력 분배기는:
상기 다수의 코일 중 제 1 코일에 직렬로 연결되는 공진기; 및
상기 제 1 코일에 병렬로 연결되는 가변 리액턴스 소자;
를 포함하는 플라즈마 발생 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 공진기는 병렬 또는 직렬로 연결된 커패시터 및 인덕터를 포함하는 플라즈마 발생 장치.