KR20150075376A - Photosensitive resin composition - Google Patents

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Abstract

The present invention is to provide a photosensitive resin composition which can form a pattern having excellent adhesion to a substrate and water resistance; a method for forming the pattern using the photosensitive resin composition; a black matrix formed by using the photosensitive resin composition including a light shielding agent among the photosensitive resin composition as a colorant; and a display device having the black matrix. A silane coupling agent (D) of a specific structure is mixed to the photosensitive resin composition including an alkali soluble resin (A), a photopolymerizable monomer (B), and a photopolymerization initiator (C).

Description

감광성 수지 조성물{PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION}[0001] PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION [0002]

본 발명은 감광성 수지 조성물과, 상기 감광성 수지 조성물을 이용하는 패턴 형성방법과, 상기 감광성 수지 조성물 중 착색제로서 차광제를 포함하는 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 블랙 매트릭스와, 상기 블랙 매트릭스를 구비하는 표시 장치에 관한 것이다.A black matrix formed by using a photosensitive resin composition, a pattern forming method using the photosensitive resin composition, a photosensitive resin composition containing a light shielding agent as a colorant in the photosensitive resin composition, and a display device .

감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 패턴은 액정 표시장치와 같은 표시장치로 대표되는 다양한 전기·전자기기에서 이용되고 있다. 예를 들면, 표시장치용의 패널에서는 컬러 필터를 구성하는 블랙 매트릭스 및 RGB의 서브 픽셀이나 블랙 컬럼 스페이서로서 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 패턴이 사용되고 있다.The pattern formed using the photosensitive resin composition is used in various electric and electronic devices typified by a display device such as a liquid crystal display device. For example, in a panel for a display device, a black matrix constituting a color filter and a pattern formed by using a photosensitive resin composition as a subpixel of RGB or a black column spacer are used.

이러한 용도로 사용되는 감광성 수지 조성물로서는 예를 들면, 특정 구조의 알칼리 가용성 수지와, 광중합 개시제와, 광중합성 모노머와, 착색제를 포함하는 감광성 수지 조성물이 알려져 있다(특허문헌 1).As a photosensitive resin composition used for this purpose, for example, a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin having a specific structure, a photopolymerization initiator, a photopolymerizable monomer, and a colorant is known (Patent Document 1).

일본 특개 2006-079064호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-079064

표시장치로 대표되는 전기·전자기기에 사용되는 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 패턴에 대하여, 기기 동작의 신뢰성 향상의 목적으로 기판에 대한 밀착성이나 고온고습 조건하에서의 사용에도 견딜 수 있는 내수성의 향상이 요구되고 있다. 특허문헌 1에 기재된 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 패턴은 기판에 대한 밀착성이나 내수성에 대하여 어느 정도 우수하지만, 이들 특성에 대하여 추가적인 향상이 요구되고 있다.The pattern formed by using the photosensitive resin composition used in electric and electronic devices typified by a display device is improved in the adhesion to the substrate and the water resistance that can withstand use under high temperature and high humidity conditions for the purpose of improving the reliability of the operation of the device Is required. The pattern formed by using the photosensitive resin composition described in Patent Document 1 is somewhat superior to the adhesion to the substrate and the water resistance, but further improvement of these properties is required.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 기판에 대한 밀착성과 내수성이 우수한 패턴을 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물과, 상기 감광성 수지 조성물을 이용하는 패턴 형성방법과, 상기 감광성 수지 조성물 중 착색제로서 차광제를 포함하는 감광성 수지를 이용하여 형성된 블랙 매트릭스와, 상기 블랙 매트릭스를 구비하는 표시장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a photosensitive resin composition capable of forming a pattern having excellent adhesion to a substrate and water resistance, a pattern forming method using the photosensitive resin composition, And a display device provided with the black matrix. The present invention also provides a display device comprising the black matrix.

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위하여 예의 연구를 거듭하였다. 그 결과, (A) 알칼리 가용성 수지, (B) 광중합성 모노머 및 (C) 광중합 개시제를 포함하는 감광성 수지 조성물에, 특정 구조의 (D) 실란 커플링제를 배합함으로써 상기 과제를 해결할 수 있음을 발견하고 본 발명을 완성하기에 이르렀다. 구체적으로는 본 발명은 이하의 것을 제공한다.The present inventors have conducted intensive studies to solve the above problems. As a result, it has been found that the above problems can be solved by blending a silane coupling agent (D) having a specific structure in a photosensitive resin composition comprising (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerizable monomer and (C) a photopolymerization initiator And completed the present invention. Specifically, the present invention provides the following.

본 발명의 제1 태양은 (A) 알칼리 가용성 수지와, (B) 광중합성 모노머와, (C) 광중합 개시제와, (D) 실란 커플링제를 포함하며,A first aspect of the present invention is a photosensitive resin composition comprising (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerizable monomer, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a silane coupling agent,

(D) 실란 커플링제가 하기 식 (1)로 표시되는 화합물인 감광성 수지 조성물이다.(D) a silane coupling agent is a compound represented by the following formula (1).

R1 mR2 (3-m)Si-R3-NH-C(O)-Y-R4-X … (1)R 1 m R 2 (3-m) Si-R 3 -NH-C (O) -YR 4 -X (One)

(식 (1) 중, R1은 알콕시기이며, R2는 알킬기이고, m은 1~3의 정수이며, R3는 알킬렌기이고, Y는 -NH-, -O- 또는 -S-이며, R4는 단결합 또는 알킬렌기이고, X는 치환기를 가져도 되고 단환이어도 다환이어도 되는 함질소 헤테로아릴기이며, X 중의 -Y-R4-와 결합하는 환은 함질소 6원 방향환이고, -Y-R4-는 상기 함질소 6원 방향환 중의 탄소 원자와 결합한다.)(In the formula (1), R 1 is an alkoxy group, R 2 is an alkyl group, m is an integer of 1 to 3, R 3 is an alkylene group, Y is -NH-, -O- or -S- , R 4 is a single bond or an alkylene group, X is a nitrogen heteroaryl group which may have a substituent or may be a monocyclic or polycyclic ring, a ring bonding with -YR 4 - in X is a nitrogen-containing six- 4 - is bonded to a carbon atom in the nitrogen-containing six-membered aromatic ring.

본 발명의 제2 태양은 제1 태양에 관한 감광성 수지 조성물을 기판상에 도포하여 도포막을 형성하는 공정과,According to a second aspect of the present invention, there is provided a process for producing a photosensitive resin composition, comprising the steps of: applying a photosensitive resin composition according to the first aspect onto a substrate to form a coating film;

상기 도포막을 위치 선택적으로 노광하는 공정과,Selectively exposing the coating film to light;

노광된 도포막을 현상하는 공정을 포함하는 패턴 형성방법이다.And developing the exposed coated film.

본 발명의 제3 태양은 제1 태양에 관한 감광성 수지 조성물 중 차광제를 착색제로서 포함하는 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 블랙 매트릭스이다.A third aspect of the present invention is a black matrix formed by using a photosensitive resin composition comprising a light-shielding agent as a coloring agent in the photosensitive resin composition according to the first aspect.

본 발명의 제4 태양은 제3 태양에 관한 블랙 매트릭스를 구비하는 표시장치이다.A fourth aspect of the present invention is the display device having the black matrix according to the third aspect.

본 발명에 의하면, 기판에 대한 밀착성과 내수성이 우수한 패턴을 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물과, 상기 감광성 수지 조성물을 이용하는 패턴 형성방법과, 상기 감광성 수지 조성물 중 착색제로서 차광제를 포함하는 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 블랙 매트릭스와, 상기 블랙 매트릭스를 구비하는 표시장치를 제공할 수 있다.According to the present invention, there is provided a photosensitive resin composition capable of forming a pattern excellent in adhesiveness to a substrate and water resistance, a pattern forming method using the photosensitive resin composition, and a photosensitive resin composition comprising a light shielding agent as a colorant in the photosensitive resin composition And a display device including the black matrix can be provided.

≪감광성 수지 조성물≫&Quot; Photosensitive resin composition &

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 (A) 알칼리 가용성 수지와, (B) 광중합성 모노머와, (C) 광중합 개시제와, 특정 구조의 (D) 실란 커플링제를 포함한다. 이하, 본 발명에 관한 감광성 수지 조성물이 포함하는 필수 또는 임의의 성분에 대하여 순서대로 설명한다.The photosensitive resin composition according to the present invention comprises (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerizable monomer, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a silane coupling agent having a specific structure. Hereinafter, essential or optional components included in the photosensitive resin composition according to the present invention will be described in order.

<(A) 알칼리 가용성 수지><(A) Alkali-soluble resin>

(A) 알칼리 가용성 수지(이하, 「(A) 성분」으로도 명명)란, 수지 농도 20중량%의 수지 용액(용매: 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트)에 의해 막 두께 1㎛의 수지막을 기판 상에 형성하고, 농도 0.05중량%의 KOH 수용액에 1분간 침지했을 때에, 막 두께 0.01㎛ 이상 용해하는 것을 말한다.(A) (hereinafter also referred to as "component (A)") refers to a resin film having a thickness of 1 μm formed on a substrate by a resin solution (solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate) having a resin concentration of 20% by weight And is dissolved in a KOH aqueous solution having a concentration of 0.05% by weight for 1 minute to dissolve in a film thickness of 0.01 탆 or more.

(A) 알칼리 가용성 수지는 상술한 알칼리 가용성을 나타내는 수지라면 특별히 한정되지 않고, 종래 공지의 수지로부터 적절히 선택하여 사용할 수 있다. (A) 알칼리 가용성 수지로서 적절한 수지로는 (A1) 카르도 구조를 갖는 수지를 들 수 있다.The alkali-soluble resin (A) is not particularly limited as long as it is the above-described alkali-soluble resin, and can be appropriately selected from conventionally known resins. Suitable resins as the (A) alkali-soluble resin include (A1) resins having a cardo structure.

(A1) 카르도 구조를 갖는 수지로는 특별히 한정되는 것은 아니고, 종래 공지의 수지를 이용할 수 있다. 그 중에서도, 하기 식 (a-1)으로 나타내는 수지가 바람직하다.The resin having (A1) cardo structure is not particularly limited, and conventionally known resins can be used. Among them, a resin represented by the following formula (a-1) is preferable.

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 식 (a-1) 중, Xa는 하기 식 (a-2)로 표시되는 기를 나타낸다.In the above formula (a-1), X a represents a group represented by the following formula (a-2).

Figure pat00002
Figure pat00002

상기 식 (a-2) 중, Ra1은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1~6의 탄화수소기, 또는 할로겐 원자를 나타내고, Ra2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 메틸기를 나타내며, Wa는 단결합 또는 하기 식 (a-3)으로 표시되는 기를 나타낸다.In formula (a-2), R a1 independently represents a hydrogen atom, a hydrocarbon group of 1 to 6 carbon atoms, or a halogen atom, R a2 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group, and W a represents a single bond Or a group represented by the following formula (a-3).

Figure pat00003
Figure pat00003

또한, 상기 식 (a-1) 중 Ya는 디카르복시산 무수물로부터 산무수물기(-CO-O-CO-)를 제외한 잔기를 나타낸다. 디카르복시산 무수물의 예로는 무수말레산, 무수숙신산, 무수이타콘산, 무수프탈산, 무수테트라히드로프탈산, 무수헥사히드로프탈산, 무수메틸-endo-메틸렌테트라히드로프탈산, 무수클로렌드산, 메틸테트라히드로무수프탈산, 무수글루타르산 등을 들 수 있다.In the formula (a-1), Y a represents a residue other than an acid anhydride group (-CO-O-CO-) from a dicarboxylic acid anhydride. Examples of dicarboxylic anhydrides include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyl-undo-methylene tetrahydrophthalic anhydride, anhydrous chloridic acid, methyltetrahydrophthalic anhydride , And anhydrous glutaric acid.

또한, 상기 식 (a-1) 중 Za는 테트라카르복시산 2무수물로부터 2개의 산무수물기를 제외한 잔기를 나타낸다. 테트라카르복시산 2무수물의 예로는 피로멜리트산 2무수물, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물, 비페닐테트라카르복시산 2무수물, 비페닐에테르테트라카르복시산 2무수물 등을 들 수 있다.In the formula (a-1), Z a represents a residue other than the two acid anhydride groups from the tetracarboxylic acid dianhydride. Examples of the tetracarboxylic acid dianhydride include pyromellitic dianhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, and biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride.

또한, 상기 식 (a-1) 중 m은 0~20의 정수를 나타낸다.In the above formula (a-1), m represents an integer of 0 to 20.

(A1) 카르도 구조를 갖는 수지의 중량 평균 분자량은 1000~40000인 것이 바람직하고, 2000~30000인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위로 함으로써, 양호한 현상성을 얻으면서, 충분한 내열성, 막 강도를 얻을 수 있다.The weight average molecular weight of the resin (A1) having a cardo structure is preferably 1000 to 40000, more preferably 2,000 to 30,000. Within the above range, sufficient heat resistance and film strength can be obtained while satisfactory developability is obtained.

(A) 알칼리 가용성 수지로는 (a1) 불포화 카르복시산과, 불포화 카르복시산의 다른 공중합 성분과의 공중합체를 이용할 수도 있다. 이러한 수지 중에서는 파괴 강도나 기판과의 밀착성이 우수한 패턴을 부여하는 감광성 수지 조성물을 얻기 쉽다는 점에서 (a1) 불포화 카르복시산과 (a2) 에폭시기 함유 불포화 화합물을 적어도 중합시킨 (A2) 공중합체를 들 수 있다.As the alkali-soluble resin (A), a copolymer of (a1) an unsaturated carboxylic acid and another copolymerizable component of an unsaturated carboxylic acid may be used. Of these resins, copolymers (A2) in which at least an unsaturated carboxylic acid (a1) and an epoxy group-containing unsaturated compound (a2) are at least polymerized are preferable because a photosensitive resin composition giving a pattern excellent in breaking strength and adhesion to a substrate is easily obtained .

(a1) 불포화 카르복시산으로는 (메타)아크릴산, 크로톤산 등의 모노카르복시산; 말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산 등의 디카르복시산; 이들 디카르복시산의 무수물; 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 공중합 반응성, 얻어지는 수지의 알칼리 용해성, 입수의 용이성 등의 점에서, (메타)아크릴산 및 무수 말레산이 바람직하다. 이들 (a1) 불포화 카르복시산은 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다. (a1) Examples of the unsaturated carboxylic acid include monocarboxylic acids such as (meth) acrylic acid and crotonic acid; Dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid; Anhydrides of these dicarboxylic acids; And the like. Of these, (meth) acrylic acid and maleic anhydride are preferable from the viewpoints of copolymerization reactivity, alkali solubility of the resin to be obtained, ease of obtaining water, and the like. These (a1) unsaturated carboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.

(a2) 에폭시기 함유 불포화 화합물로서는 (a2-I) 지환식 에폭시기를 갖는 불포화 화합물과, (a2-II) 지환식 에폭시기를 가지지 않는 불포화 화합물을 들 수 있으며, (a2-I) 지환식 에폭시기를 갖는 불포화 화합물이 바람직하다.Examples of the epoxy group-containing unsaturated compound (a2) include an unsaturated compound having an alicyclic epoxy group (a2-I) and an unsaturated compound having no alicyclic epoxy group (a2-II) Unsaturated compounds are preferred.

(a2-I) 지환식 에폭시기를 갖는 불포화 화합물에 있어서, 지환식 에폭시기를 구성하는 지환식기는 단환이어도 다환이어도 무방하다. 단환의 지환식기로는 시클로펜틸기, 시클로헥실기 등을 들 수 있다. 또한, 다환의 지환식기로는 노르보닐기, 이소보닐기, 트리시클로노닐기, 트리시클로데실기, 테트라시클로도데실기 등을 들 수 있다. 이들의 (a2-I) 지환식 에폭시기 함유 불포화 화합물은 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.In the unsaturated compound having (a2-I) alicyclic epoxy group, the alicyclic group constituting the alicyclic epoxy group may be monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic group include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group. Examples of the polycyclic alicyclic group include a norbornyl group, an isobonyl group, a tricyclononyl group, a tricyclodecyl group, and a tetracyclododecyl group. These (a2-I) alicyclic epoxy group-containing unsaturated compounds may be used alone or in combination of two or more.

구체적으로, (a2-I) 지환식 에폭시기 함유 불포화 화합물로는, 예를 들면 하기 식 (a2-1)~(a2-16)으로 표시되는 화합물을 들 수 있다. 이들 중에서도, 현상성을 적절한 것으로 하기 위해서는 하기 식 (a2-1)~(a2-6)으로 표시되는 화합물이 바람직하고, 하기 식 (a2-1)~(a2-4)로 표시되는 화합물이 보다 바람직하다.Specifically, examples of the (a2-I) alicyclic epoxy group-containing unsaturated compound include compounds represented by the following formulas (a2-1) to (a2-16). Among them, the compounds represented by the following formulas (a2-1) to (a2-6) are preferable, and the compounds represented by the following formulas (a2-1) to (a2-4) desirable.

Figure pat00004
Figure pat00004

Figure pat00005
Figure pat00005

Figure pat00006
Figure pat00006

상기 식 중, R11은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, R12는 탄소수 1~6의 2가의 지방족 포화 탄화수소기를 나타내며, R13은 탄소수 1~10의 2가의 탄화수소기를 나타내고, n은 0~10의 정수를 나타낸다. R12로는 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬렌기, 예를 들면 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 에틸에틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기가 바람직하다. R13으로는 예를 들면 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 에틸에틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기, 페닐렌기, 시클로헥실렌기, -CH2 -Ph-CH2-(Ph는 페닐렌기를 나타낸다)가 바람직하다.Wherein R 11 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 12 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, R 13 represents a divalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, and n represents an integer of 0 to 10 Represents an integer. R 12 is preferably a linear or branched alkylene group such as methylene, ethylene, propylene, tetramethylene, ethylethylene, pentamethylene, and hexamethylene. R 13 include, for example, methylene group, ethylene group, propylene group, tetramethylene group, ethyl ethylene, pentamethylene group, hexamethylene group, phenylene group, cyclohexylene group, -CH 2 - Ph-CH 2 - ( And Ph represents a phenylene group).

(a2-II) 지환식기를 갖지 않는 에폭시기 함유 불포화 화합물로는 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2-메틸글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸(메타)아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸(메타)아크릴레이트 등의 (메타)아크릴산 에폭시알킬에스테르류; α-에틸아크릴산글리시딜, α-n-프로필아크릴산글리시딜, α-n-부틸아크릴산글리시딜, α-에틸아크릴산 6,7-에폭시헵틸 등의 α-알킬아크릴산에폭시알킬에스테르류; 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 공중합 반응성, 경화 후의 수지의 강도 등의 점에서, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2-메틸글리시딜(메타)아크릴레이트, 및 6,7-에폭시헵틸(메타)아크릴레이트가 바람직하다. 이들의 (a2-II) 지환식기를 가지지 않는 에폭시기 함유 불포화 화합물은 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.Examples of the epoxy group-containing unsaturated compound having no (a2-II) alicyclic group include glycidyl (meth) acrylate, 2-methylglycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (Meth) acrylate, and 7-epoxyheptyl (meth) acrylate; ? -alkylacrylic acid epoxyalkyl esters such as glycidyl? -ethyl acrylate, glycidyl? -n-propyl acrylate, glycidyl? -n-butyl acrylate, and 6,7-epoxyheptyl? -ethylacrylate; And the like. Of these, glycidyl (meth) acrylate, 2-methylglycidyl (meth) acrylate, and 6,7-epoxyheptyl (meth) acrylate are preferable from the viewpoints of copolymerization reactivity, desirable. These epoxy group-containing unsaturated compounds having no (a2-II) alicyclic group may be used alone or in combination of two or more.

(A2) 공중합체는 상기 (a1) 불포화 카르복시산 및 (a2) 에폭시기 함유 불포화 화합물과 함께, (a3) 에폭시기를 가지지 않는 지환식기 함유 불포화 화합물을 중합시킨 것이어도 된다.(A2) copolymer may be obtained by polymerizing (a3) an alicyclic group-containing unsaturated compound having no epoxy group together with the unsaturated carboxylic acid (a1) and the unsaturated compound containing an epoxy group (a2).

(a3) 지환식기 함유 불포화 화합물로서는 지환식기를 갖는 불포화 화합물이라면 특별히 한정되지 않는다. 지환식기는 단환이어도 다환이어도 무방하다. 단환의 지환식기로는 시클로펜틸기, 시클로헥실기 등을 들 수 있다. 또한, 다환의 지환식기로는 아다만틸기, 노르보닐기, 이소보닐기, 트리시클로노닐기, 트리시클로데실기, 테트라시클로도데실기 등을 들 수 있다. 이들의 (a3) 지환식기 함유 불포화 화합물은 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.(a3) The alicyclic group-containing unsaturated compound is not particularly limited as long as it is an unsaturated compound having an alicyclic group. The alicyclic group may be monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic group include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group. Examples of the polycyclic alicyclic group include an adamantyl group, a norbornyl group, an isobonyl group, a tricyclononyl group, a tricyclodecyl group, and a tetracyclododecyl group. These (a3) alicyclic group-containing unsaturated compounds may be used alone or in combination of two or more.

구체적으로, (a3) 지환식기 함유 불포화 화합물로는 예를 들면, 하기 식 (a3-1)~(a3-7)로 나타내는 화합물을 들 수 있다. 이들 중에서도, 현상성이 양호한 감광성 수지 조성물을 얻기 쉽다는 점에서 하기 식 (a3-3)~(a3-8)로 나타내는 화합물이 바람직하고, 하기 식 (a3-3), (a3-4)로 나타내는 화합물이 보다 바람직하다.Specifically, examples of (a3) unsaturated alicyclic group-containing compounds include compounds represented by the following formulas (a3-1) to (a3-7). Among these, compounds represented by the following formulas (a3-3) to (a3-8) are preferable from the standpoint of easily obtaining a photosensitive resin composition having good developability, and the following formulas (a3-3) and Are more preferable.

Figure pat00007
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Figure pat00008
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상기 식 중, R21은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, R22는 단결합 또는 탄소수 1~6의 2가의 지방족 포화 탄화수소기를 나타내며, R23은 수소 원자 또는 탄소수 1~5의 알킬기를 나타낸다. R22로는 단결합, 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬렌기, 예를 들면 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 에틸에틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기가 바람직하다. R23으로는 예를 들면 메틸기, 에틸기가 바람직하다.In the formula, R 21 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 22 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and R 23 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. R 22 is preferably a single bond, a straight chain or branched alkylene group such as methylene, ethylene, propylene, tetramethylene, ethylethylene, pentamethylene or hexamethylene. As R 23 , for example, methyl group and ethyl group are preferable.

(A2) 공중합체는, 상기 이외의 다른 화합물을 추가로 공중합시킨 것이어도 된다. 이러한 다른 화합물로는 (메타)아크릴산에스테르류, (메타)아크릴아미드류, 알릴 화합물, 비닐에테르류, 비닐에스테르류, 스티렌류 등을 들 수 있다. 이들 화합물은 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.The (A2) copolymer may be obtained by further copolymerizing a compound other than the above. Examples of such other compounds include (meth) acrylic acid esters, (meth) acrylamides, allyl compounds, vinyl ethers, vinyl esters and styrenes. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

(메타)아크릴산에스테르류로는 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 프로필(메타)아크릴레이트, 아밀(메타)아크릴레이트, t-옥틸(메타)아크릴레이트 등의 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬(메타)아크릴레이트; 클로로에틸(메타)아크릴레이트, 2,2-디메틸히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판모노(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 퍼푸릴(메타)아크릴레이트; 등을 들 수 있다.Examples of the (meth) acrylic esters include linear or branched (meth) acrylates such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, amyl (meth) acrylate and t- Chain alkyl (meth) acrylates; (Meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane mono Perfluoro (meth) acrylate; And the like.

(메타)아크릴아미드류로는 (메타)아크릴아미드, N-알킬(메타)아크릴아미드, N-아릴(메타)아크릴아미드, N,N-디알킬(메타)아크릴아미드, N,N-아릴(메타)아크릴아미드, N-메틸-N-페닐(메타)아크릴아미드, N-히드록시에틸-N-메틸(메타)아크릴아미드 등을 들 수 있다.The (meth) acrylamides include (meth) acrylamide, N-alkyl (meth) acrylamide, N-aryl (meth) acrylamide, N, N-dialkyl (Meth) acrylamide, N-methyl-N-phenyl (meth) acrylamide and N-hydroxyethyl-N-methyl (meth) acrylamide.

알릴 화합물로는 아세트산알릴, 카프로산알릴, 카프릴산알릴, 라우르산알릴, 팔미트산알릴, 스테아르산알릴, 벤조산알릴, 아세토아세트산알릴, 젖산알릴 등의 알릴에스테르류; 알릴옥시에탄올; 등을 들 수 있다.Examples of the allyl compound include allyl esters such as allyl acetate, allyl caproate, allyl caprylate, allyl laurate, allyl palmitate, allyl stearate, allyl benzoate, allyl acetoacetate, and allyl lactate; Allyloxyethanol; And the like.

비닐에테르류로는 헥실비닐에테르, 옥틸비닐에테르, 데실비닐에테르, 에틸헥실비닐에테르, 메톡시에틸비닐에테르, 에톡시에틸비닐에테르, 클로로에틸비닐에테르, 1-메틸-2,2-디메틸프로필비닐에테르, 2-에틸부틸비닐에테르, 히드록시에틸비닐에테르, 디에틸렌글리콜비닐에테르, 디메틸아미노에틸비닐에테르, 디에틸아미노에틸비닐에테르, 부틸아미노에틸비닐에테르, 벤질비닐에테르, 테트라히드로퍼푸릴비닐에테르 등의 알킬비닐에테르; 비닐페닐에테르, 비닐톨릴에테르, 비닐클로로페닐에테르, 비닐-2,4-디클로로페닐에테르, 비닐나프틸에테르, 비닐안트라닐에테르 등의 비닐아릴에테르; 등을 들 수 있다.Examples of vinyl ethers include hexyl vinyl ether, octyl vinyl ether, decyl vinyl ether, ethylhexyl vinyl ether, methoxyethyl vinyl ether, ethoxyethyl vinyl ether, chloroethyl vinyl ether, 1-methyl-2,2- But are not limited to, ether, 2-ethylbutyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, diethylene glycol vinyl ether, dimethylaminoethyl vinyl ether, diethylaminoethyl vinyl ether, butylaminoethyl vinyl ether, benzyl vinyl ether, tetrahydrofurfuryl vinyl ether Alkyl vinyl ethers such as methyl vinyl ether; Vinyl aryl ethers such as vinyl phenyl ether, vinyl tolyl ether, vinyl chlorophenyl ether, vinyl-2,4-dichlorophenyl ether, vinyl naphthyl ether and vinyl anthranyl ether; And the like.

비닐에스테르류로는 비닐부틸레이트, 비닐이소부틸레이트, 비닐트리메틸아세테이트, 비닐디에틸아세테이트, 비닐발레이트, 비닐카프로에이트, 비닐클로로아세테이트, 비닐디클로로아세테이트, 비닐메톡시아세테이트, 비닐부톡시아세테이트, 비닐페닐아세테이트, 비닐아세토아세테이트, 비닐락테이트, 비닐-β-페닐부틸레이트, 벤조산비닐, 살리실산비닐, 클로로벤조산비닐, 테트라클로로벤조산비닐, 나프토산비닐 등을 들 수 있다.Examples of the vinyl esters include vinyl butyrate, vinyl isobutylate, vinyl trimethylacetate, vinyl diethyl acetate, vinyl valerate, vinyl caproate, vinyl chloroacetate, vinyl dichloroacetate, vinyl methoxyacetate, vinyl butoxyacetate, vinyl Phenyl acetate, vinyl acetoacetate, vinyl lactate, vinyl -? - phenyl butyrate, vinyl benzoate, vinyl salicylate, vinyl chlorobenzoate, vinyl tetrachlorobenzoate and vinyl naphthoate.

스티렌류로는 스티렌; 메틸스티렌, 디메틸스티렌, 트리메틸스티렌, 에틸스티렌, 디에틸스티렌, 이소프로필스티렌, 부틸스티렌, 헥실스티렌, 시클로헥실스티렌, 데실스티렌, 벤질스티렌, 클로로메틸스티렌, 트리플루오로메틸스티렌, 에톡시메틸스티렌, 아세톡시메틸스티렌 등의 알킬스티렌; 메톡시스티렌, 4-메톡시-3-메틸스티렌, 디메톡시스티렌 등의 알콕시스티렌; 클로로스티렌, 디클로로스티렌, 트리클로로스티렌, 테트라클로로스티렌, 펜타클로로스티렌, 브로모스티렌, 디브로모스티렌, 요오드스티렌, 플루오로스티렌, 트리플루오로스티렌, 2-브로모-4-트리플루오로메틸스티렌, 4-플루오로-3-트리플루오로메틸스티렌 등의 할로스티렌; 등을 들 수 있다.Examples of the styrenes include styrene; Examples of the monomer include methylstyrene, dimethylstyrene, trimethylstyrene, ethylstyrene, diethylstyrene, isopropylstyrene, butylstyrene, hexylstyrene, cyclohexylstyrene, decylstyrene, benzylstyrene, chloromethylstyrene, trifluoromethylstyrene, , And acetoxymethylstyrene; Alkoxystyrene such as methoxystyrene, 4-methoxy-3-methylstyrene, and dimethoxystyrene; But are not limited to, chlorostyrene, dichlorostyrene, trichlorostyrene, tetrachlorostyrene, pentachlorostyrene, bromostyrene, dibromostyrene, iodostyrene, fluorostyrene, trifluorostyrene, 2-bromo- Styrene, and 4-fluoro-3-trifluoromethylstyrene; And the like.

(A2) 공중합체에 차지하는 상기 (a1) 불포화 카르복시산 유래의 구성 단위의 비율은 1~25중량%인 것이 바람직하고, 8~16중량%인 것이 보다 바람직하다. 또한, (A2) 공중합체에 차지하는 상기 (a3) 지환식기 함유 불포화 화합물 유래의 구성 단위의 비율은 1~30중량%인 것이 바람직하고, 5~20중량%인 것이 보다 바람직하다.The proportion of the constituent unit derived from the (a1) unsaturated carboxylic acid in the (A2) copolymer is preferably 1 to 25% by weight, and more preferably 8 to 16% by weight. The proportion of the constituent unit derived from the (a3) alicyclic group-containing unsaturated compound in the (A2) copolymer is preferably 1 to 30% by weight, more preferably 5 to 20% by weight.

또한, (A2) 공중합체에 차지하는 상기 (a2) 에폭시기 함유 불포화 화합물에 유래하는 구성 단위의 비율은 20~60중량%가 바람직하고, 20~40중량%가 보다 바람직하다.The proportion of the structural unit derived from the (a2) epoxy group-containing unsaturated compound in the (A2) copolymer is preferably 20 to 60% by weight, and more preferably 20 to 40% by weight.

(A2) 공중합체의 중량 평균 분자량(Mw:겔 투과 크로마토그래피(GPC)의 폴리스티렌 환산에 의한 측정치. 본 명세서에서 동일함)은 2000~200000인 것이 바람직하고, 5000~30000인 것이 보다 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써 감광성 수지 조성물의 막 형성능, 노광 후의 현상성의 밸런스를 잡기 쉬운 경향이 있다.The weight average molecular weight (Mw: measured value by gel permeation chromatography (GPC) in terms of polystyrene conversion, which is the same in this specification) of the (A2) copolymer is preferably from 2,000 to 200,000, and more preferably from 5,000 to 30,000. When the amount is in the above range, the film forming ability of the photosensitive resin composition and the balance of developability after exposure tends to be easy to be obtained.

(A2) 공중합체는 공지의 라디칼 중합법에 의해 제조할 수 있다. 즉, 각 화합물 및 공지의 라디칼 중합 개시제를 중합 용매에 용해한 후, 가열 교반함으로써 제조할 수 있다.The copolymer (A2) can be produced by a known radical polymerization method. That is, they can be produced by dissolving each compound and a known radical polymerization initiator in a polymerization solvent and then heating and stirring.

또한, (A) 알칼리 가용성 수지로는 상기 (a1) 불포화 카르복시산에서 유래하는 구성 단위와, 후술하는 (B) 광중합성 모노머와의 중합 가능 부위를 갖는 구성 단위를 적어도 갖는 (A3) 공중합체, 또는 상기 (a1) 불포화 카르복시산에서 유래하는 구성 단위와, 상기 (a2) 에폭시기 함유 불포화 화합물에 유래하는 구성 단위와, 후술하는 광중합성 모노머 (B)와의 중합 가능 부위를 갖는 구성 단위를 적어도 갖는 (A4) 공중합체를 포함하는 수지도 적합하게 사용할 수 있다. (A) 알칼리 가용성 수지가 (A3) 공중합체 또는 (A4) 공중합체를 포함하는 경우, 감광성 수지 조성물의 기판에 대한 밀착성, 감광성 수지 조성물의 경화 후의 파괴 강도를 높일 수 있다.The (A) alkali-soluble resin is preferably a (A3) copolymer having at least a constituent unit derived from an unsaturated carboxylic acid (a1) and a constituent unit having a polymerizable moiety between a photopolymerizable monomer (B) (A4) having at least a constituent unit derived from an unsaturated carboxylic acid (a1), a constituent unit derived from the unsaturated compound having an epoxy group (a2) and a constituent unit having a polymerizable moiety between a photopolymerizable monomer (B) Resins containing a copolymer may also be suitably used. When the alkali-soluble resin (A) includes the (A3) copolymer or the (A4) copolymer, the adhesion of the photosensitive resin composition to the substrate and the destructive strength after curing of the photosensitive resin composition can be increased.

(A3) 공중합체 및 (A4) 공중합체는 (A2) 공중합체에 대하여 다른 화합물로서 기재되는 (메타)아크릴산에스테르류, (메타)아크릴아미드류, 알릴 화합물, 비닐에테르류, 비닐에스테르류, 스티렌류 등을 추가로 공중합시킨 것이어도 된다.(A3) copolymers and (A4) copolymers are copolymers of (meth) acrylic acid esters, (meth) acrylamides, allyl compounds, vinyl ethers, vinyl esters, styrene Or the like may be further copolymerized.

(B) 광중합성 모노머와의 중합 가능 부위를 갖는 구성 단위는 (B) 광중합성 모노머와의 중합 가능 부위로서 에틸렌성 불포화기를 갖는 것이 바람직하다. (A3) 공중합체에 대해서는 상기 (a1) 불포화 카르복시산의 단독 중합체에 포함되는 카르복시기의 적어도 일부와, 상기 (a2) 에폭시기 함유 불포화 화합물을 반응시킴으로써 조제할 수 있다. 또한, (A4) 공중합체는 상기 (a1) 불포화 카르복시산에서 유래하는 구성 단위와, 상기 (a2) 에폭시기 함유 불포화 화합물에서 유래하는 구성단위를 갖는 공중합체에서의 에폭시기의 적어도 일부와, (a1) 불포화 카르복시산을 반응시킴으로써 조제할 수 있다.The constituent unit having a polymerizable moiety with the photopolymerizable monomer (B) is preferably an ethylenic unsaturated group as the polymerizable moiety (B) with the photopolymerizable monomer. The (A3) copolymer can be prepared by reacting at least a part of the carboxyl groups contained in the homopolymer of (a1) unsaturated carboxylic acid with the epoxy group-containing unsaturated compound (a2). The copolymer (A4) is obtained by copolymerizing at least a part of the epoxy group in the copolymer having the constituent unit derived from the (a1) unsaturated carboxylic acid and the constituent unit derived from the unsaturated compound containing the epoxy group (a2) And then reacting it with a carboxylic acid.

(A3) 공중합체 및 (A4) 공중합체의 중량 평균 분자량은 2000~50000인 것이 바람직하고, 5000~30000인 것이 보다 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써 감광성 수지 조성물의 막 형성능, 노광 후의 현상성의 밸런스를 잡기 쉬운 경향이 있다.The weight average molecular weight of the (A3) copolymer and the (A4) copolymer is preferably from 2,000 to 50,000, and more preferably from 5,000 to 30,000. When the amount is in the above range, the film forming ability of the photosensitive resin composition and the balance of developability after exposure tends to be easy to be obtained.

(A) 알칼리 가용성 수지의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분에 대해서 30~90중량%인 것이 바람직하고, 45~75중량%인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위로 함으로써 현상성의 밸런스를 잡기 쉬운 경향이 있다.The content of the alkali-soluble resin (A) is preferably 30 to 90% by weight, more preferably 45 to 75% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition. When the amount is in the above range, balance of developability tends to be easily obtained.

(B) 광중합성 모노머와의 중합 가능 부위를 갖는 구성 단위는 (B) 광중합성 모노머와의 중합 가능 부위로서 에틸렌성 불포화기를 갖는 것이 바람직하다. 공중합체(A2)는 상기 (a1) 불포화 카르복시산에서 유래하는 구성단위와, 상기 (a2) 에폭시기 함유 불포화 화합물에서 유래하는 구성 단위를 갖는 공중합체에서의 에폭시기 일부와, (a1) 불포화 카르복시산을 반응시킴으로써 조제할 수 있다.The constituent unit having a polymerizable moiety with the photopolymerizable monomer (B) is preferably an ethylenic unsaturated group as the polymerizable moiety (B) with the photopolymerizable monomer. The copolymer (A2) is obtained by reacting a part of the epoxy group in the copolymer having the constituent unit derived from the (a1) unsaturated carboxylic acid and the constituent unit derived from the unsaturated compound containing the epoxy group (a2) with the unsaturated carboxylic acid (a1) Can be prepared.

공중합체 (A2)의 중량 평균 분자량은 2000~50000인 것이 바람직하고, 5000~30000인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위로 함으로써, 감광성 수지 조성물의 막 형성능, 노광 후의 현상성의 밸런스를 잡기 쉬운 경향이 있다.The weight average molecular weight of the copolymer (A2) is preferably from 2,000 to 50,000, more preferably from 5,000 to 30,000. Within the above range, there is a tendency that the film forming ability of the photosensitive resin composition and the balance of developability after exposure tends to be easily achieved.

(A) 알칼리 가용성 수지의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분에 대하여 30~90중량%인 것이 바람직하고, 45~75중량%인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위로 함으로써 현상성의 밸런스를 잡기 쉬운 경향이 있다.The content of the alkali-soluble resin (A) is preferably 30 to 90% by weight, more preferably 45 to 75% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition. When the amount is in the above range, balance of developability tends to be easily obtained.

<(B) 광중합성 모노머>&Lt; (B) Photopolymerizable monomer &gt;

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물에 함유되는 (B) 광중합성 모노머로서는 에틸렌성 불포화기를 갖는 모노머를 바람직하게 이용할 수 있다. 이 에틸렌성 불포화기를 갖는 모노머로는 단관능 모노머와 다관능 모노머가 있다.As the photopolymerizable monomer (B) contained in the photosensitive resin composition according to the present invention, a monomer having an ethylenic unsaturated group can be preferably used. Monomers having an ethylenic unsaturated group include monofunctional monomers and polyfunctional monomers.

단관능 모노머로는 (메타)아크릴아미드, 메틸올(메타)아크릴아미드, 메톡시메틸(메타)아크릴아미드, 에톡시메틸(메타)아크릴아미드, 프로폭시메틸(메타)아크릴아미드, 부톡시메톡시메틸(메타)아크릴아미드, N-메틸올(메타)아크릴아미드, N-히드록시메틸(메타)아크릴아미드, (메타)아크릴산, 푸마르산, 말레산, 무수말레산, 이타콘산, 무수이타콘산, 시트라콘산, 무수시트라콘산, 크로톤산, 2-아크릴아미드-2-메틸프로판설폰산, tert-부틸아크릴아미드설폰산, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 2-페녹시-2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-(메타)아크릴로일옥시-2-히드록시프로필프탈레이트, 글리세린모노(메타)아크릴레이트, 테트라히드로퍼푸릴(메타)아크릴레이트, 디메틸아미노(메타)아크릴레이트, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2,2,2-트리플루오로에틸(메타)아크릴레이트, 2,2,3,3-테트라플루오로프로필(메타)아크릴레이트, 프탈산 유도체의 하프(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들 단관능 모노머는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.Examples of the monofunctional monomer include (meth) acrylamide, methylol (meth) acrylamide, methoxymethyl (meth) acrylamide, ethoxymethyl (meth) acrylamide, propoxymethyl (meth) acrylamide, butoxymethoxy Acrylates such as methyl (meth) acrylamide, N-methylol (meth) acrylamide, N-hydroxymethyl (meth) acrylamide, (meth) acrylic acid, fumaric acid, maleic anhydride, itaconic acid, (Meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl acrylate, Hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl Acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, (Meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, dimethylamino (meth) acrylate, glycidyl (Meth) acrylate of 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate and phthalic acid derivatives . These monofunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

한편, 다관능 모노머로는 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 부틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 글리세린디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리트리톨디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 2,2-비스(4-(메타)아크릴옥시디에톡시페닐)프로판, 2,2-비스(4-(메타)아크릴옥시폴리에톡시페닐)프로판, 2-히드록시-3-(메타)아크릴로일옥시프로필(메타)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디글리시딜에테르디(메타)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디글리시딜에테르디(메타)아크릴레이트, 프탈산디글리시딜에스테르디(메타)아크릴레이트, 글리세린트리아크릴레이트, 글리세린폴리글리시딜에테르폴리(메타)아크릴레이트, 우레탄(메타)아크릴레이트(즉, 톨릴렌디이소시아네이트), 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트와 헥사메틸렌디이소시아네이트 등과 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트의 반응물, 메틸렌비스(메타)아크릴아미드, (메타)아크릴아미드메틸렌에테르, 다가 알코올과 N-메틸올(메타)아크릴아미드의 축합물 등의 다관능 모노머나, 트리아크릴포르말 등을 들 수 있다. 이들 다관능 모노머는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.Examples of the polyfunctional monomer include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, butyleneglycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (Meth) acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol (Meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth) acryloxy diethoxyphenyl) propane, (Meth) acryloyloxypropyl (meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, phthalic acid diglycidyl (Meth) acrylate, glycerin triacrylate, glycerin polyglycidyl ether poly (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate (i.e., tolylene diisocyanate), trimethylhexamethylene diisocyanate and hexamethylene di (Meth) acrylamide, (meth) acrylamide methylene ether, a condensation product of a polyhydric alcohol and N-methylol (meth) acrylamide, and a reaction product of 2-hydroxyethyl mother And the like can be meona, triacrylate formal. These polyfunctional monomers may be used alone or in combination of two or more.

이들 에틸렌성 불포화기를 갖는 모노머 중에서도 감광성 수지 조성물의 기판에 대한 밀착성, 감광성 수지 조성물의 경화 후의 강도를 높일 수 있는 점에서 3 관능 이상의 다관능 모노머가 바람직하고, 6 관능 이상의 다관능 모노머가 보다 바람직하다.Among these monomers having an ethylenically unsaturated group, a multifunctional monomer having three or more functional groups is preferable, and a multifunctional monomer having six or more functional groups is more preferable because the adhesion of the photosensitive resin composition to the substrate and the strength after curing of the photosensitive resin composition can be enhanced .

(B) 성분의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분에 대하여 5~60중량%인 것이 바람직하고, 10~50중량%인 것이 보다 바람직하다. 상기 범위로 함으로써, 감도, 현상성, 해상성의 밸런스를 잡기 쉬운 경향이 있다.The content of the component (B) is preferably 5 to 60% by weight, more preferably 10 to 50% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition. When the concentration is in the above range, a balance between sensitivity, developability and resolution tends to be easily obtained.

<(C) 광중합 개시제><(C) Photopolymerization initiator>

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물에 함유되는 (C) 광중합 개시제로는 특별히 한정되지 않으며, 종래 공지의 광중합 개시제를 이용할 수 있다.The photopolymerization initiator (C) contained in the photosensitive resin composition according to the present invention is not particularly limited, and conventionally known photopolymerization initiators can be used.

광중합 개시제로서 구체적으로는, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 비스(4-디메틸아미노페닐)케톤, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-몰폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-몰폴리노페닐)-부탄-1-온, 에탄온,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일],1-(O-아세틸옥심), (9-에틸-6-니트로-9H-카바졸-3-일)[4-(2-메톡시-1-메틸에톡시)-2-메틸페닐]메탄온 O-아세틸옥심, 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)-,2-(O-벤조일옥심)], 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 4-벤조일-4'-메틸디메틸설파이드, 4-디메틸아미노벤조산, 4-디메틸아미노벤조산메틸, 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산부틸, 4-디메틸아미노-2-에틸헥실벤조산, 4-디메틸아미노-2-이소아밀벤조산, 벤질-β-메톡시에틸아세탈, 벤질디메틸케탈, 1-페닐-1,2-프로판디온-2-(O-에톡시카보닐)옥심, o-벤조일벤조산메틸, 2,4-디에틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤, 티옥산텐, 2-클로로티옥산텐, 2,4-디에틸티옥산텐, 2-메틸티옥산텐, 2-이소프로필티옥산텐, 2-에틸안트라퀴논, 옥타메틸안트라퀴논, 1,2-벤즈안트라퀴논, 2,3-디페닐안트라퀴논, 아조비스이소부티로니트릴, 벤조일퍼옥시드, 큐민퍼옥시드, 2-머캅토벤조이미다졸, 2-머캅토벤조옥사졸, 2-머캅토벤조티아졸, 2-(o-클로로페닐)-4,5-디(m-메톡시페닐)-이미다졸 2량체, 벤조페논, 2-클로로벤조페논, p,p'-비스디메틸아미노벤조페논, 4,4'-비스디에틸아미노벤조페논, 4,4'-디클로로벤조페논, 3,3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 벤질, 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인-n-부틸에테르, 벤조인이소부틸에테르, 벤조인부틸에테르, 아세토페논, 2,2-디에톡시아세토페논, p-디메틸아세토페논, p-디메틸아미노프로피오페논, 디클로로아세토페논, 트리클로로아세토페논, p-tert-부틸아세토페논, p-디메틸아미노아세토페논, p-tert-부틸트리클로로아세토페논, p-tert-부틸디클로로아세토페논, α,α-디클로로-4-페녹시아세토페논, 티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 디벤조스베론, 펜틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 9-페닐아크리딘, 1,7-비스-(9-아크리디닐)헵탄, 1,5-비스-(9-아크리디닐)펜탄, 1,3-비스-(9-아크리디닐)프로판, p-메톡시트리아진, 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(푸란-2-일)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-에톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-n-부톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(3-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진, 2,4-비스-트리클로로메틸-6-(2-브로모-4-메톡시)스티릴페닐-s-트리아진 등을 들 수 있다. 이들 광중합 개시제는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.Specific examples of the photopolymerization initiator include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- [4- (2- hydroxyethoxy) 2-methylpropan-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy- 2-methylpropan-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, bis (4-dimethylaminophenyl) 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, ethanone, (9-ethyl-6-nitro-9H-carbazol-3-yl) 1- [4- (2-methoxy-1-methylethoxy) -2-methylphenyl] methanone O- Acetyl oxime, (O-benzoyloxime)], 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 4-benzoyl-4'-methyldimethylsulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, Dimethylamino-2-ethylhexylbenzoic acid, 4-dimethylamino-2-isoamylbenzoic acid, benzyl- beta -methoxyethyl acetal, benzyldimethyl Ketal, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (O-ethoxycarbonyl) oxime, methyl o-benzoylbenzoate, 2,4- 4-dimethylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, thioxanthene, 2-chlorothioxanthene, 2,4-diethylthioxanthene, Benzoyl peroxide, cumene peroxide, 2-ethylhexanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, Mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) -imidazole dimer, benzo Phenone, 2-chlorobenzophenone, p, p'-bisdimethylaminobenzophenone, 4,4 ' -Bisdiethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether , Benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, P-tert-butylacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone,?,? -Dichloro-4-phenoxyacetophenone, p- Phenylacetone, 1,7-bis- (9-phenylacetone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, pentyl- Acridinyl) heptane, 1,5-bis- (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis- (9-acridinyl) propane, p-methoxytriazine, Tris (Tree (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4, (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis 2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [ (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis 4-methoxyphenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo-4- methoxy) Phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) styrylphenyl- - (2-bromo-4-methoxy) styryl Phenyl-s-triazine, and the like. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

이들 중에서도, 옥심계 광중합 개시제를 이용하는 것이 감도의 면에서 특히 바람직하다. 옥심계 광중합 개시제 중에서도 특히 바람직한 것으로는 에탄온,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일],1-(O-아세틸옥심), 에탄온,1-[9-에틸-6-(피롤-2-일카보닐)-9H-카바졸-3-일],1-(O-아세틸옥심) 및 1,2-옥탄디온,1-[4-(페닐티오)-,2-(O-벤조일옥심)]을 들 수 있다.Among them, it is particularly preferable to use an oxime-based photopolymerization initiator in terms of sensitivity. Especially preferred among the oxime-based photopolymerization initiators are ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] 1- (O- 1- (9-ethyl-6- (pyrrol-2-ylcarbonyl) -9H-carbazol-3-yl] (Phenylthio) -, 2- (O-benzoyloxime)].

(C) 성분의 함유량은 감광성 수지 조성물의 고형분에 대하여 0.5~30중량%인 것이 바람직하고, 1~20중량%인 것이 보다 바람직하다. (C) 성분의 함유량을 상기 범위로 함으로써 내수성이 우수한 패턴을 형성할 수 있는 감광성 수지 조성물을 얻을 수 있다.The content of the component (C) is preferably 0.5 to 30% by weight, more preferably 1 to 20% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition. When the content of the component (C) is within the above range, a photosensitive resin composition capable of forming a pattern having excellent water resistance can be obtained.

또한, 이 (C) 성분에 광개시조제를 조합해도 된다. 광개시조제로는 트리에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리이소프로판올아민, 4-디메틸아미노벤조산메틸, 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산이소아밀, 4-디메틸아미노벤조산2-에틸헥실, 벤조산2-디메틸아미노에틸, N,N-디메틸파라톨루이딘, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 9,10-디메톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디메톡시안트라센, 9,10-디에톡시안트라센, 2-에틸-9,10-디에톡시안트라센, 2-머캅토벤조티아졸, 2-머캅토벤조옥사졸, 2-머캅토벤조이미다졸, 2-머캅토-5-메톡시벤조티아졸, 3-머캅토프로피온산, 3-머캅토프로피온산메틸, 펜타에리트리톨테트라머캅토아세테이트, 3-머캅토프로피오네이트 등의 티올 화합물 등을 들 수 있다. 이들 광개시조제는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.Further, the photoinitiator may be combined with the component (C). Examples of the photoinitiator include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid isoamyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, Dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 9,10- dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, Diethoxyanthracene, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzooxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercapto-5- Thiol compounds such as methoxybenzothiazole, 3-mercaptopropionic acid, methyl 3-mercaptopropionate, pentaerythritol tetramercaptoacetate, and 3-mercaptopropionate. These photoinitiators may be used alone or in combination of two or more.

<(D) 실란 커플링제>&Lt; (D) Silane coupling agent &gt;

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 하기 식 (1)로 나타내는 실란 커플링제를 포함한다. 이로 인해, 본 발명에 관한 감광성 수지 조성물을 이용함으로써 기판에 대한 밀착성, 내수성이 양호한 패턴을 형성할 수 있다. 감광성 수지 조성물은 식 (1)로 나타내는 실란 커플링제를 2종 이상 조합하여 포함해도 된다.The photosensitive resin composition according to the present invention includes a silane coupling agent represented by the following formula (1). Thus, by using the photosensitive resin composition according to the present invention, it is possible to form a pattern having good adhesion to a substrate and good water resistance. The photosensitive resin composition may contain two or more kinds of silane coupling agents represented by the formula (1) in combination.

R1 mR2 (3-m)Si-R3-NH-C(O)-Y-R4-X … (1)R 1 m R 2 (3-m) Si-R 3 -NH-C (O) -YR 4 -X (One)

(식 (1) 중, R1은 알콕시기이며, R2는 알킬기이고, m은 1~3의 정수이며, R3는 알킬렌기이고, Y는 -NH-, -O- 또는 -S-이며, R4는 단결합 또는 알킬렌기이고, X는 치환기를 가져도 되고 단환이어도 다환이어도 되는 함질소 헤테로아릴기이며, X 중의 -Y-R4-와 결합하는 환은 함질소 6원 방향환이고, -Y-R4-는 상기 함질소 6원 방향환 중의 탄소 원자와 결합한다.)(In the formula (1), R 1 is an alkoxy group, R 2 is an alkyl group, m is an integer of 1 to 3, R 3 is an alkylene group, Y is -NH-, -O- or -S- , R 4 is a single bond or an alkylene group, X is a nitrogen heteroaryl group which may have a substituent or may be a monocyclic or polycyclic ring, a ring bonding with -YR 4 - in X is a nitrogen-containing six- 4 - is bonded to a carbon atom in the nitrogen-containing six-membered aromatic ring.

식 (1) 중, R1은 알콕시기이다. R1에 대하여 알콕시기의 탄소 원자수는 1~6이 바람직하고, 1~4가 보다 바람직하며, (D) 실란 커플링제의 반응성의 관점에서 1 또는 2가 특히 바람직하다. R1의 바람직한 구체예로서는 메톡시기, 에톡시기, n-프로폭시기, 이소프로폭시기, n-부톡시기, 이소부톡시기, sec-부톡시기, tert-부톡시기, n-펜틸옥시기 및 n-헥실옥시기를 들 수 있다. 이들 알콕시기 중에서는 메톡시기 및 에톡시기가 바람직하다.In the formula (1), R 1 is an alkoxy group. The number of carbon atoms of the alkoxy group relative to R 1 is preferably 1 to 6, more preferably 1 to 4, and particularly preferably 1 or 2 in view of the reactivity of the silane coupling agent (D). Specific preferred examples of R 1 include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propoxy group, an isopropoxy group, an n-butoxy group, an isobutoxy group, Hexyloxy group. Of these alkoxy groups, a methoxy group and an ethoxy group are preferable.

알콕시기인 R1이 가수분해되어 생성하는 실라놀기가 기판의 표면 등과 반응함으로써 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 패턴의 기판 표면에 대한 밀착성이 향상된다. 이로 인해, 패턴의 기판 표면에 대한 밀착성을 향상시키기 쉽다는 점에서 m은 3인 것이 바람직하다.The silanol group formed by the hydrolysis of the alkoxy group R 1 reacts with the surface of the substrate or the like to improve the adhesion of the pattern formed by using the photosensitive resin composition to the substrate surface. Therefore, it is preferable that m is 3 in view of easiness of improving the adhesion of the pattern to the substrate surface.

식 (1) 중, R2는 알킬기이다. R2에 대하여, 알킬기의 탄소 원자수는 1~12가 바람직하고, 1~6이 보다 바람직하며, (D) 실란 커플링제의 반응성의 관점에서 1 또는 2가 특히 바람직하다. R2의 바람직한 구체예로서는 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, n-노닐기, n-데실기, n-운데실기 및 n-도데실기를 들 수 있다.In the formula (1), R 2 is an alkyl group. As to R 2 , the number of carbon atoms of the alkyl group is preferably 1 to 12, more preferably 1 to 6, and particularly preferably 1 or 2 in view of the reactivity of the silane coupling agent (D). Specific preferred examples of R 2 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec- Heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group and n-dodecyl group.

식 (1) 중, R3는 알킬렌기이다. R3에 대하여 알킬렌기의 탄소 원자수는 1~12가 바람직하고, 1~6이 보다 바람직하며, 2~4가 특히 바람직하다. R3의 바람직한 구체예로서는 메틸렌기, 1,2-에틸렌기, 1,1-에틸렌기, 프로판-1,3-디일기, 프로판-1,2-디일기, 프로판-1,1-디일기, 프로판-2,2-디일기, 부탄-1,4-디일기, 부탄-1,3-디일기, 부탄-1,2-디일기, 부탄-1,1-디일기, 부탄-2,2-디일기, 부탄-2,3-디일기, 펜탄-1,5-디일기, 펜탄-1,4-디일기 및 헥산-1,6-디일기, 헵탄-1,7-디일기, 옥탄-1,8-디일기, 노난-1,9-디일기, 데칸-1,10-디일기, 운데칸-1,11-디일기 및 도데칸-1,12-디일기를 들 수 있다. 이들 알킬렌기 중에서는 1,2-에틸렌기, 프로판-1,3-디일기 및 부탄-1,4-디일기가 바람직하다.In the formula (1), R 3 is an alkylene group. The number of carbon atoms of the alkylene group relative to R 3 is preferably from 1 to 12, more preferably from 1 to 6, and particularly preferably from 2 to 4. Specific preferred examples of R 3 include a methylene group, a 1,2-ethylene group, a 1,1-ethylene group, a propane-1,3-diyl group, a propane-1,2-diyl group, Butane-1,4-diyl group, butane-1,3-diyl group, butane-1,2-diyl group, butane-1,1-diyl group, butane- Diyl group, a butane-2,3-diyl group, a pentane-1,5-diyl group, a pentane-1,4-diyl group and a hexane-1,6-diyl group, A nonyl-1,9-diyl group, a decan-1,10-diyl group, an undecane-1,11-diyl group and a dodecane-1,12-diyl group. Of these alkylene groups, a 1,2-ethylene group, a propane-1,3-diyl group and a butane-1,4-diyl group are preferable.

Y는 -NH-, -O- 또는 -S-이며, -NH-인 것이 바람직하다. -CO-O- 또는 -CO-S-로 나타내는 결합보다도 -CO-NH-로 나타내는 결합인 쪽이 가수분해를 받기 어렵기 때문에 Y가 -NH-인 화합물을 (D) 실란 커플링제로서 포함하는 감광성 수지 조성물을 이용하면 내수성이 우수한 패턴을 형성하기 쉽다.Y is preferably -NH-, -O- or -S-, and is preferably -NH-. (D) as a silane coupling agent because a bond represented by -CO-NH- is lower than a bond represented by -CO-O- or -CO-S- because Y is -NH- because the bond is more difficult to hydrolyze When a photosensitive resin composition is used, it is easy to form a pattern having excellent water resistance.

R4는 단결합 또는 알킬렌기이며, 단결합인 것이 바람직하다. R4가 알킬렌기인 경우의 바람직한 예는 R3와 동일하다.R 4 is a single bond or an alkylene group, preferably a single bond. A preferable example of the case where R 4 is an alkylene group is the same as R 3 .

X는 치환기를 가지고 있어도 되고 단환이어도 다환이어도 되는 함질소 헤테로아릴기이며, X 중의 -Y-R4-와 결합하는 환은 함질소 6원 방향환이고, -Y-R4-는 상기 함질소 6원 방향환 중의 탄소 원자와 결합한다. 이유는 명확하지 않지만, 이러한 X를 갖는 화합물을 (D) 실란 커플링제로서 포함하는 감광성 수지 조성물을 이용하면 기판에 대한 밀착성과 내수성이 우수한 패턴을 형성할 수 있다.X is a nitrogen-containing heteroaryl group which may have a substituent, may be monocyclic or polycyclic, a ring bonding with -YR 4 - in X is a nitrogen-containing 6-membered aromatic ring, and -YR 4 - Carbon atoms. Although the reason is not clear, when a photosensitive resin composition comprising the compound (X) having X as a silane coupling agent is used, a pattern excellent in adhesion to a substrate and water resistance can be formed.

X가 다환 헤테로아릴기인 경우, 헤테로아릴기는 복수의 단환이 축합한 기이어도 되며, 복수의 단환이 단결합을 개재하여 결합한 기여도 된다. X가 다환 헤테로아릴기인 경우, 다환 헤테로아릴기에 포함되는 환 수는 1~3이 바람직하다. X가 다환 헤테로아릴기인 경우, X 중의 함질소 6원 방향환에 축합 또는 결합하는 환은 헤테로원자를 포함하고 있어도 포함하고 있지 않아도 되며, 방향환이어도 방향환이 아니어도 무방하다.When X is a polycyclic heteroaryl group, the heteroaryl group may be a group condensed with a plurality of monocyclic rings, or a plurality of monocyclic rings may be bonded through a single bond. When X is a polycyclic heteroaryl group, the number of rings contained in the polycyclic heteroaryl group is preferably 1 to 3. When X is a polycyclic heteroaryl group, the ring condensed or bonded to the nitrogen-containing six-membered aromatic ring in X may or may not contain a heteroatom, and may not be an aromatic ring or an aromatic ring.

함질소 헤테로아릴기인 X가 가지고 있어도 되는 치환기로는 탄소 원자수 1~6의 알킬기, 탄소 원자수 1~6의 알콕시기, 탄소 원자수 2~6의 알케닐기, 탄소 원자수 2~6의 알케닐옥시기, 탄소 원자수 2~6의 지방족 아실기, 벤조일기, 니트로기, 니트로소기, 아미노기, 히드록시기, 머캅토기, 시아노기, 설폰산기, 카르복실기 및 할로겐 원자 등을 들 수 있다. X가 가지는 치환기의 수는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위로 특별히 한정되지 않는다. X가 가지는 치환기의 수는 5 이하가 바람직하고, 3 이하가 보다 바람직하다. X가 복수의 치환기를 갖는 경우, 복수의 치환기는 동일하거나 상이해도 된다.Examples of the substituent which X as the nitrogen-containing heteroaryl group may have include an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms A nitro group, a nitro group, an amino group, a hydroxyl group, a mercapto group, a cyano group, a sulfonic acid group, a carboxyl group and a halogen atom. The number of substituents of X is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. The number of substituents of X is preferably 5 or less, more preferably 3 or less. When X has a plurality of substituents, the plurality of substituents may be the same or different.

X의 바람직한 예로는 하기 식의 기를 들 수 있다.Preferable examples of X include groups represented by the following formulas.

Figure pat00009
Figure pat00009

상기 식 중에서도 하기 식의 기가 X로서 보다 바람직하다.Among these formulas, the group of the following formula is more preferable as X.

Figure pat00010
Figure pat00010

이상 설명한 식 (1)로 나타내는 화합물의 적합한 구체예로서는 이하의 화합물 1~8을 들 수 있다.Specific examples of the compound represented by the formula (1) described above include the following compounds 1 to 8.

Figure pat00011
Figure pat00011

(D) 성분의 함유량은 착색제를 제외하고 감광성 수지 조성물의 고형분에 대하여 0.2~10중량%인 것이 바람직하고, 0.5~7중량%인 것이 보다 바람직하다. (D) 성분의 함유량을 상기의 범위로 함으로써 감광성 수지 조성물을 이용하여 기판에 대한 밀착성과 내수성이 우수한 패턴을 형성하기 용이하다.The content of the component (D) is preferably 0.2 to 10% by weight, more preferably 0.5 to 7% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition, excluding the coloring agent. By setting the content of the component (D) in the above range, it is easy to form a pattern excellent in adhesion to a substrate and water resistance by using a photosensitive resin composition.

<(E) 착색제><(E) Colorant>

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 추가로 (E) 착색제를 포함해도 된다.The photosensitive resin composition according to the present invention may further contain (E) a colorant.

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물에 함유되는 (E) 착색제로는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 컬러 인덱스(C.I.; The Society of Dyers and Colourists사 발행)에 있어서, 피그먼트(Pigment)로 분류되어 있는 화합물, 구체적으로는 하기와 같은 컬러 인덱스(C.I.) 번호가 붙어 있는 것을 이용하는 것이 바람직하다.The colorant (E) contained in the photosensitive resin composition according to the present invention is not particularly limited. For example, a color index (CI) (published by The Society of Dyers and Colourists) is classified into pigments It is preferable to use a compound having a color index (CI) number as described below.

적합하게 사용할 수 있는 황색 안료의 예로서는 C.I. 피그먼트 옐로 1(이하, 「C.I. 피그먼트 옐로」는 동일하며, 번호만을 기재한다), 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116, 117, 119, 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175, 180 및 185를 들 수 있다.Examples of suitable yellow pigments include C.I. Pigment Yellow 1 (hereinafter, "CI Pigment Yellow" is the same and only the numbers are described below), 3,11,12,13,14,15,16,17,20,24,31,35,55,60 , 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, , 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, .

적합하게 사용할 수 있는 오렌지색 안료의 예로서는 C.I. 피그먼트 오렌지 1(이하, 「C.I. 피그먼트 오렌지」는 동일하며, 번호만을 기재한다), 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71 및 73을 들 수 있다.Examples of suitable orange pigments include C.I. Pigment Orange 1 (hereinafter, "CI Pigment Orange" is the same and only the numbers are described), 5,13,14,16,17,24,34,36,38,40,43,46,49,51 , 55, 59, 61, 63, 64, 71, and 73, respectively.

적합하게 사용할 수 있는 자색 안료의 예로서는 C.I. 피그먼트 바이올렛 1(이하, 「C.I. 피그먼트 바이올렛」은 동일하며, 번호만을 기재한다), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40 및 50을 들 수 있다.Examples of suitable purple pigments include C.I. Pigment Violet 1 (hereinafter, the same is true of C. I. Pigment Violet), and only the numbers are listed. 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40,

적합하게 사용할 수 있는 적색 안료의 예로서는 C.I. 피그먼트 레드 1(이하, 「C.I. 피그먼트 레드」는 동일하며, 번호만을 기재한다), 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 53:1, 57, 57:1, 57:2, 58:2, 58:4, 60:1, 63:1, 63:2, 64:1, 81:1, 83, 88, 90:1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264 및 265를 들 수 있다.Examples of suitable red pigments include C.I. Pigment Red 1 (hereinafter, "CI Pigment Red" is the same and only the numbers are described below), 2,3,4,5,6,7,8,9,10,11,12,14,15,16 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 1, 48, : 2, 50: 1, 52: 1, 53: 1, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 2, 58: 4, 60: 1, 63: : 1, 83, 88, 90: 1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217 , 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264 and 265.

적합하게 사용할 수 있는 청색 안료의 예로서는 C.I. 피그먼트 블루 1(이하, 「C.I. 피그먼트 블루」는 동일하며, 번호만을 기재한다), 2, 15, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 60, 64 및 66을 들 수 있다.Examples of suitable blue pigments include C.I. Pigment Blue 1 (hereinafter, "CI Pigment Blue" is the same and only the numbers are listed), 2, 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, .

적합하게 사용할 수 있는 상기 다른 색상의 안료의 예로서는 C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 그린 37 등의 녹색 안료, C.I. 피그먼트 브라운 23, C.I. 피그먼트 브라운 25, C.I. 피그먼트 브라운 26, C.I. 피그먼트 브라운 28 등의 갈색 안료, C.I. 피그먼트 블랙 1, C.I. 피그먼트 블랙 7 등의 흑색 안료를 들 수 있다.Examples of the pigments of the other colors that can be suitably used include C.I. Pigment Green 7, C.I. Pigment Green 36, C.I. Green pigments such as Pigment Green 37, C.I. Pigment Brown 23, C.I. Pigment Brown 25, C.I. Pigment Brown 26, C.I. Brown pigments such as Pigment Brown 28, C.I. Pigment Black 1, C.I. Pigment Black 7 and the like.

또한, 착색제를 차광제로 하는 경우, 차광제로서는 흑색 안료나 자색 안료를 이용하는 것이 바람직하다. 흑색 안료나 자색 안료의 예로서는 카본 블랙, 페릴렌계 안료, 티탄 블랙, 구리, 철, 망간, 코발트, 크롬, 니켈, 아연, 칼슘, 은 등의 금속 산화물, 복합 산화물, 금속 황화물, 금속 황산염 또는 금속 탄산염 등, 유기물, 무기물을 불문하고 각종의 안료를 들 수 있다. 이들 중에서도 높은 차광성을 가지는 카본 블랙을 이용하는 것이 바람직하다.When a colorant is used as the light shielding agent, it is preferable to use a black pigment or a purple pigment as the light shielding agent. Examples of the black pigments and violet pigments include metal oxides, complex oxides, metal sulfides, metal sulfates or metal carbonates such as carbon black, perylene pigments, titanium black, copper, iron, manganese, cobalt, chromium, nickel, Etc., organic substances, and inorganic substances. Among these, it is preferable to use carbon black having high light shielding properties.

카본 블랙으로서는 채널 블랙, 퍼니스 블랙, 서멀 블랙, 램프 블랙 등의 공지의 카본 블랙을 이용할 수 있지만, 차광성이 우수한 채널 블랙을 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 수지 피복 카본 블랙을 사용해도 된다.As the carbon black, known carbon black such as channel black, furnace black, thermal black and lamp black can be used, but it is preferable to use channel black having excellent light shielding properties. Resin-coated carbon black may also be used.

또한, 차광제로서는 페릴렌계 안료도 바람직하다. 페릴렌계 안료의 구체예로서는 하기 식 (e-1)로 표시되는 페릴렌계 안료, 하기 식 (e-2)로 표시되는 페릴렌계 안료 및 하기 식 (e-3)으로 표시되는 페릴렌계 안료를 들 수 있다. 시판품으로는 BASF사 제의 제품명 K0084 및 K0086이나 피그먼트 블랙 21, 30, 31, 32, 33 및 34 등을 페릴렌계 안료로서 바람직하게 사용할 수 있다.As the light-shielding agent, a perylene pigment is also preferable. Specific examples of the perylene pigments include perylene pigments represented by the following formula (e-1), perylene pigments represented by the following formula (e-2) and perylene pigments represented by the following formula (e-3) have. As commercial products, products such as K0084 and K0086 manufactured by BASF, or Pigment Black 21, 30, 31, 32, 33 and 34 may be suitably used as a perylene pigment.

Figure pat00012
Figure pat00012

식 (e-1) 중, Re1 및 Re2는 각각 독립적으로 수소 원자수 1~3의 알킬렌기를 나타내고, Re3 및 Re4는 각각 독립적으로 수소 원자, 수산기, 메톡시기 또는 아세틸기를 나타낸다.In the formula (e-1), R e1 and R e2 each independently represent an alkylene group having 1 to 3 hydrogen atoms, and R e3 and R e4 each independently represent a hydrogen atom, a hydroxyl group, a methoxy group or an acetyl group.

Figure pat00013
Figure pat00013

식 (e-2) 중, Re5 및 Re6는 각각 독립적으로 수소 원자수 1~7의 알킬렌기를 나타낸다.In the formula (e-2), R e5 and R e6 each independently represent an alkylene group having 1 to 7 hydrogen atoms.

Figure pat00014
Figure pat00014

식 (e-3) 중, Re7 및 Re8은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소 원자수 1~22의 알킬기이고, N, O, S 또는 P의 헤테로 원자를 포함해도 된다. Re7 및 Re8이 알킬기인 경우, 상기 알킬기는 직쇄상이거나 분기쇄상이어도 된다.In the formula (e-3), R e7 and R e8 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 22 carbon atoms, and may contain a hetero atom of N, O, S or P. When R e7 and R e8 are alkyl groups, the alkyl groups may be linear or branched.

상기 식 (e-1)로 나타내는 화합물, 식 (e-2)로 나타내는 화합물 및 식 (e-3)으로 나타내는 화합물은 예를 들면, 특개소62-1753호 공보, 특공소63-26784호 공보에 기재된 방법을 이용하여 합성할 수 있다. 즉, 페릴렌-3,5,9,10-테트라카르복시산 또는 그의 2무수물과 아민류를 원료로 하여, 물 또는 유기용매 중에서 가열반응을 수행한다. 그리고, 얻어진 조제물을 황산 중에서 재침전시키거나 또는 물, 유기용매 혹은 이들의 혼합 용매 중에서 재결정시킴으로써 목적물을 얻을 수 있다.Examples of the compound represented by the above formula (e-1), the compound represented by the formula (e-2) and the compound represented by the formula (e-3) are described in JP 62-1753 A, , And the like. That is, a heating reaction is conducted in water or an organic solvent using perylene-3,5,9,10-tetracarboxylic acid or its dianhydride and amines as raw materials. Then, the obtained preparation is re-precipitated in sulfuric acid or recrystallized in water, an organic solvent or a mixed solvent thereof to obtain the desired product.

감광성 수지 조성물 중에 있어서 페릴렌계 안료를 양호하게 분산시키기 위해서는 페릴렌계 안료의 평균 입자경은 10~1000nm인 것이 바람직하다.In order to disperse the perylene-based pigment well in the photosensitive resin composition, the average particle diameter of the perylene-based pigment is preferably 10 to 1000 nm.

차광제는 색조 조제의 목적 등에서, 상기 흑색 안료나 자색 안료와 함께 적, 청, 녹, 황 등의 색상의 색소를 포함해도 된다. 흑색 안료나 자색 안료 외의 색상의 색소는 공지의 색소로부터 적절히 선택할 수 있다. 예를 들면, 흑색 안료나 자색 안료 외의 색상의 색소로서는 상기의 다양한 안료를 이용할 수 있다. 흑색 안료나 자색 안료 이외의 다른 색상의 색소 사용량은 차광제의 전중량에 대하여 15중량% 이하가 바람직하고, 10중량% 이하가 보다 바람직하다.The light-shielding agent may contain pigments of hue such as red, blue, green, and sulfur together with the above-mentioned black pigment or purple pigment for the purpose of preparing a color tone. The color pigment other than the black pigment or the purple pigment can be appropriately selected from known pigments. For example, as the pigment of a color other than a black pigment or a purple pigment, the above-mentioned various pigments can be used. The amount of the coloring matter of a different color other than the black pigment or the violet pigment is preferably 15% by weight or less, more preferably 10% by weight or less based on the total weight of the light-shielding agent.

상기의 착색제를 감광성 수지 조성물에 있어서 균일하게 분산시키기 위해서는 추가로 분산제를 사용해도 된다. 이러한 분산제로서는 폴리에틸렌이민계, 우레탄 수지계, 아크릴 수지계의 고분자 분산제를 이용하는 것이 바람직하다. 특히, 착색제로서 카본 블랙을 이용하는 경우에는 분산제로서 아크릴 수지계의 분산제를 이용하는 것이 바람직하다.In order to uniformly disperse the colorant in the photosensitive resin composition, a dispersant may be further used. As such a dispersing agent, it is preferable to use a polymeric dispersant of polyethylene imine type, urethane resin type or acrylic resin type. Particularly, when carbon black is used as the colorant, it is preferable to use an acrylic resin-based dispersant as the dispersant.

또한, 무기 안료와 유기 안료는 각각 단독 또는 2종 이상 병용해도 되지만, 병용하는 경우에는 무기 안료와 유기 안료의 총량 100중량부에 대하여, 유기 안료를 10~80중량부의 범위로 이용하는 것이 바람직하고, 20~40중량부의 범위로 이용하는 것이 보다 바람직하다.The inorganic pigments and the organic pigments may be used alone or in combination of two or more. When used in combination, the organic pigments are preferably used in an amount of 10 to 80 parts by weight based on 100 parts by weight of the total of the inorganic pigments and the organic pigments, And more preferably 20 to 40 parts by weight.

감광성 수지 조성물에서의 착색제의 사용량은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 적절히 선택할 수 있고, 전형적으로는 감광성 수지 조성물의 고형분의 합계 100중량부에 대하여 5~70중량부가 바람직하고, 25~60중량부가 보다 바람직하다.The amount of the coloring agent to be used in the photosensitive resin composition can be appropriately selected within a range that does not impair the object of the present invention. Typically, the amount is preferably 5 to 70 parts by weight, more preferably 25 to 60 parts by weight per 100 parts by weight of the total solid content of the photosensitive resin composition The weight part is more preferable.

착색제는 분산제를 이용하여 적당한 농도로 분산시킨 분산액으로 한 후, 감광성 수지 조성물에 첨가하는 것이 바람직하다.The colorant is preferably added to the photosensitive resin composition after preparing a dispersion in which the colorant is dispersed at a suitable concentration using a dispersant.

<(S) 유기용제><(S) Organic solvents>

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 도포성의 개선이나 점도 조정을 위해 (S) 유기용제(이하, 「(S) 성분」으로도 명명)를 포함하는 것이 바람직하다.The photosensitive resin composition according to the present invention preferably contains (S) an organic solvent (hereinafter also referred to as "(S) component") for improving the applicability and adjusting the viscosity.

유기용제로서 구체적으로는 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노에틸에테르 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르류; 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA), 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류; 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 테트라히드로푸란 등의 다른 에테르류; 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논 등의 케톤류; 2-히드록시프로피온산메틸, 2-히드록시프로피온산에틸 등의 젖산알킬에스테르류; 2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 에톡시아세트산에틸, 히드록시아세트산에틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산메틸, 3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산에틸, 아세트산n-프로필, 아세트산i-프로필, 아세트산n-부틸, 아세트산i-부틸, 포름산n-펜틸, 아세트산i-펜틸, 프로피온산n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산n-프로필, 부티르산i-프로필, 부티르산n-부틸, 피르빈산메틸, 피르빈산에틸, 피르빈산n-프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부탄산에틸 등의 다른 에스테르류; 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류; N-메틸피롤리돈, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드 등의 아미드류; 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 알킬렌글리콜모노알킬에테르류, 알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류, 상술한 다른 에테르류, 젖산알킬에스테르류, 상술한 다른 에스테르류가 바람직하고, 알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류, 상술한 다른 에테르류, 상술한 다른 에스테르류가 보다 바람직하다. 이들 용제는 단독 또는 2종 이상 조합하여 이용할 수 있다.Specific examples of the organic solvent include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, Diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono- propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, (Poly) alkylene glycols such as glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether and the like Call monomethyl ether; (Propylene glycol monomethyl ether acetate), ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) Alkylene glycol monoalkyl ether acetates; Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether and tetrahydrofuran; Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone and 3-heptanone; Lactic acid alkyl esters such as methyl 2-hydroxypropionate and ethyl 2-hydroxypropionate; Methyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl propionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, isopropyl acetate, Propyl acetate, n-butyl acetate, n-butyl butyrate, n-butyl butyrate, n-butyl acetate, i-pentyl acetate, n-butyl acetate, Other esters such as methyl, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate and ethyl 2-oxobutanoate; Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; Amides such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide; And the like. Of these, alkylene glycol monoalkyl ethers, alkylene glycol monoalkyl ether acetates, the above-mentioned other ethers, alkyl lactates, and other esters described above are preferable, and alkylene glycol monoalkyl ether acetates, Other ethers, and the above-mentioned other esters are more preferable. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

(S) 성분의 함유량은 특별히 한정되지 않으며, 기판 등에 도포 가능한 농도로 도포 박막에 따라 적절히 설정된다. 감광성 수지 조성물의 점도는 5~500cp인 것이 바람직하고, 10~50cp인 것이 보다 바람직하며, 20~30cp인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 고형분 농도는 5~100중량%인 것이 바람직하고, 20~50중량%인 것이 보다 바람직하다.The content of the component (S) is not particularly limited and is suitably set according to the applied thin film at a concentration applicable to a substrate or the like. The viscosity of the photosensitive resin composition is preferably 5 to 500 cp, more preferably 10 to 50 cp, and even more preferably 20 to 30 cp. The solid concentration is preferably 5 to 100% by weight, more preferably 20 to 50% by weight.

<기타 성분><Other ingredients>

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물에는 필요에 따라 계면 활성제, 밀착성 향상제, 열중합 금지제, 소포제 등의 첨가제를 함유시킬 수 있다. 어느 첨가제든 종래 공지의 것을 사용할 수 있다. 계면 활성제로서는 음이온계, 양이온계, 비이온계 등의 화합물을 들 수 있고, 밀착성 향상제로서는 종래 공지의 실란 커플링제를 들 수 있으며, 열중합 금지제로서는 히드로퀴논, 히드로퀴논모노에틸에테르 등을 들 수 있고, 소포제로서는 실리콘계, 불소계 화합물 등을 들 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention may contain an additive such as a surfactant, an adhesion improver, a thermal polymerization inhibitor, and a defoaming agent, if necessary. Any additive may be any conventionally known one. Examples of the surfactant include anionic, cationic and nonionic surfactants. Examples of the adhesion improver include conventionally known silane coupling agents. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monoethyl ether and the like Examples of the antifoaming agent include silicon compounds and fluorine compounds.

<감광성 수지 조성물의 조제방법>&Lt; Preparation method of photosensitive resin composition >

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물은 상기 각 성분을 3단 롤밀, 볼밀, 샌드밀 등의 교반기로 혼합(분산·혼련)하고, 필요에 따라서 5㎛ 멤브레인 필터 등의 필터로 여과하여 조제할 수 있다.The photosensitive resin composition according to the present invention can be prepared by mixing (dispersing and kneading) each of the above components with a stirrer such as a three-stage roll mill, a ball mill, a sand mill or the like, and filtering with a filter such as a 5 占 퐉 membrane filter as necessary.

≪패턴 형성방법≫«Pattern formation method»

본 발명의 감광성 수지 조성물을 이용하여 패턴을 형성하기에는 우선, 롤 코터, 리버스 코터, 바 코터 등의 접촉 전사형 도포 장치나 스피너(회전식 도포 장치), 커튼 플로우 코터 등의 비접촉형 도포 장치를 이용하여 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포하여 도포막을 형성한다.In order to form a pattern using the photosensitive resin composition of the present invention, first, a non-contact type coating device such as a contact transfer type coating device such as a roll coater, a reverse coater, or a bar coater, a spinner (rotary coating device), a curtain flow coater, The resin composition is coated on a substrate to form a coating film.

이어서, 필요에 따라서 도포막을 건조시킨다. 건조 방법은 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면, (1) 핫플레이트에서 80~120℃, 바람직하게는 90~100℃의 온도에서 60~120초간 건조시키는 방법, (2) 실온에서 수시간~수일간 방치하는 방법, (3) 온풍 히터나 적외선 히터 중에 수십분간~수시간 넣어 용제를 제거하는 방법 등을 들 수 있다.Subsequently, the coating film is dried as required. The drying method is not particularly limited and includes, for example, (1) a method of drying on a hot plate at a temperature of 80 to 120 ° C, preferably 90 to 100 ° C for 60 to 120 seconds, (2) (3) a method of removing the solvent by putting it in a warm air heater or an infrared heater for several minutes to several hours, and the like.

이어서, 네거티브형의 마스크를 개재하고, 적외선, 엑시머레이저광 등의 활성 에너지선을 조사하여 기판 상의 도포막을 위치 선택적으로 노광한다. 조사하는 에너지 선량은 감광성 수지 조성물의 조성에 의해서도 달라지지만, 예를 들면 30~2000mJ/cm2 정도가 바람직하다.Subsequently, an active energy ray such as an infrared ray, an excimer laser beam or the like is irradiated through a negative type mask to expose the coated film on the substrate in a position-selective manner. The energy dose to be irradiated varies depending on the composition of the photosensitive resin composition, but is preferably about 30 to 2000 mJ / cm 2 , for example.

위치 선택적으로 노광된 도포막을 현상액에 의해 현상함으로써 원하는 형상의 패턴이 형성된다. 현상 방법은 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 침지법, 스프레이법 등을 이용할 수 있다. 현상액으로서는 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 유기계의 것이나 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 암모니아, 4급 암모늄염 등의 수용액을 들 수 있다.A pattern of a desired shape is formed by developing the positionally selectively exposed film with a developing solution. The developing method is not particularly limited, and for example, a dipping method, a spraying method, or the like can be used. Examples of the developer include organic ones such as monoethanolamine, diethanolamine and triethanolamine; and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia and quaternary ammonium salts.

이어서, 현상액의 패턴에 대하여 200℃~250℃ 정도에서 포스트베이크하는 것이 바람직하다.Subsequently, post-baking is preferably performed at about 200 ° C to 250 ° C with respect to the pattern of the developer.

본 발명에 관한 감광성 수지 조성물을 이용하여 이상 설명한 방법에 따라 형성되는 패턴은 기판에 대한 밀착성 및 내수성이 우수하기 때문에 다양한 용도로 적합하게 사용된다. 특히, 액정 표시 장치로 대표되는 다양한 표시 장치에 구비되는 블랙 매트릭스에서는 제품의 신뢰성 관점에서 기판에 대한 밀착성 및 내수성이 우수한 것이 강하게 요구된다. 이로 인해, 본 발명에 관한 감광성 수지 조성물 중, 차광제를 포함하는 착색제를 함유하는 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 패턴은 블랙 매트릭스로서 적합하게 사용된다.The pattern formed by the above-described method using the photosensitive resin composition of the present invention is suitably used for various purposes because of its excellent adhesion to substrates and water resistance. Particularly, in a black matrix provided in various display devices typified by a liquid crystal display device, it is strongly required that the black matrix has excellent adhesion to a substrate and water resistance from the viewpoint of reliability of a product. Accordingly, in the photosensitive resin composition according to the present invention, a pattern formed using a photosensitive resin composition containing a colorant containing a light-shielding agent is suitably used as a black matrix.

[[ 실시예Example ]]

이하, 본 발명을 실시예에 의해 보다 상세하게 설명하지만, 본 발명이 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited to these examples.

[실시예][Example]

실시예에서는 실란 커플링제로서 이하의 화합물 1~8을 이용하였다. 비교예에서는 실란 커플링제로서 이하의 화합물 9~17을 이용하였다.In the examples, the following compounds 1 to 8 were used as silane coupling agents. In the comparative examples, the following compounds 9 to 17 were used as silane coupling agents.

Figure pat00015
Figure pat00015

Figure pat00016
Figure pat00016

실시예 1~10 및 비교예 1~9에서는 알칼리 가용성 수지로서 이하에 설명하는 방법으로 합성된 수지 (A-1)를 이용하였다.In Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 9, a resin (A-1) synthesized by the method described below as an alkali-soluble resin was used.

우선, 500ml 4구 플라스크 중에 비스페놀 플루오렌형 에폭시 수지(에폭시 당량 235) 235g, 테트라메틸암모늄클로라이드 110mg, 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀 100mg 및 아크릴산 72.0g을 준비하고, 여기에 25ml/분의 속도로 공기를 불어넣으면서 90∼100℃에서 가열 용해하였다. 이어서, 용액이 백탁한 상태인 채로 서서히 승온하고 120℃로 가열하여 완전 용해시켰다. 이때, 용액은 점차 투명 점조로 되었지만 그대로 교반을 계속하였다. 이 사이, 산가를 측정하여, 1.0mg KOH/g 미만이 될 때까지 가열 교반을 계속하였다. 산가가 목표치에 도달할 때까지 12시간이 필요하였다. 그리고 실온까지 냉각하고, 무색 투명이며 고체 상태의 하기 식 (a-4)로 나타내는 비스페놀 플루오렌형 에폭시아크릴레이트를 얻었다.First, 235 g of bisphenol fluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), 110 mg of tetramethylammonium chloride, 100 mg of 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol and 72.0 g of acrylic acid were prepared in a 500 ml four- At a rate of 25 ml / min while blowing air. Subsequently, the solution was gradually elevated to a cloudy state and heated to 120 DEG C to be completely dissolved. At this time, the solution became gradually transparent dots, but stirring was continued. During this period, the acid value was measured, and heating and stirring were continued until the concentration was less than 1.0 mg KOH / g. It took 12 hours until the acid value reached the target value. Then, the mixture was cooled to room temperature to obtain a bisphenol fluorene-type epoxy acrylate represented by the following formula (a-4) which was colorless and transparent and was in a solid state.

Figure pat00017
Figure pat00017

이어서, 이와 같이 하여 얻어진 상기 비스페놀 플루오렌형 에폭시아크릴레이트 307.0g에 3-메톡시부틸아세테이트 600g을 가하여 용해한 후, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물 80.5g 및 브롬화테트라에틸암모늄 1g을 혼합하고 서서히 승온하여 110∼115℃에서 4시간 반응시켰다. 산무수물기의 소실을 확인한 후, 1,2,3,6-테트라히드로무수프탈산 38.0g을 혼합하고, 90℃에서 6시간 반응시켜 수지 (A-1)을 얻었다. 산무수물기의 소실은 IR 스펙트럼에 의해 확인하였다. 또한, 이 수지 (A-1)은 상기 식 (a-1)로 나타내는 수지에 상당한다.Subsequently, 600 g of 3-methoxybutyl acetate was added to 307.0 g of the bisphenol fluorene-type epoxy acrylate thus obtained, and then 80.5 g of benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were mixed and slowly heated to 110 Lt; RTI ID = 0.0 &gt; 115 C &lt; / RTI &gt; After confirming disappearance of the acid anhydride group, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90 DEG C for 6 hours to obtain a resin (A-1). The disappearance of the acid anhydride group was confirmed by IR spectrum. The resin (A-1) corresponds to the resin represented by the formula (a-1).

실시예 11~18 및 비교예 10~18에서는 이하에 나타내는 I~III의 단위로 이루어진 수지 (A-2)를 알칼리 가용성 수지로서 이용하였다. 하기 식 중, 각 단위의 우측 하단 숫자는 수지 (A-2) 중의 각 단위의 함유량(중량%)을 의미한다. 수지 (A-2)의 중량 평균 분자량은 7000이었다.In Examples 11 to 18 and Comparative Examples 10 to 18, a resin (A-2) composed of the following units I to III shown below was used as an alkali-soluble resin. In the following formulas, the lower right figure of each unit means the content (% by weight) of each unit in Resin (A-2). The weight average molecular weight of Resin (A-2) was 7000.

Figure pat00018
Figure pat00018

실시예 및 비교예에서는 광중합성 모노머로서 디펜타에리트리톨 헥사아크릴레이트(DPHA)를 이용하였다.In the Examples and Comparative Examples, dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA) was used as a photopolymerizable monomer.

실시예 및 비교예에서는 하기 식으로 나타내는 광중합 개시제를 이용하였다.In Examples and Comparative Examples, a photopolymerization initiator represented by the following formula was used.

Figure pat00019
Figure pat00019

실시예 1~8 및 비교예 1~9에서는 착색제로서 3-메톡시부틸아세테이트에 카본 블랙을 분산시킨 카본 블랙 분산액(CF 블랙(미쿠니시키소 주식회사 제), 고형분 농도 25중량%)을 이용하였다.In Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 9, a carbon black dispersion (CF black (manufactured by Mikuni Shikiso Co., Ltd., solid content concentration of 25% by weight) in which carbon black was dispersed in 3-methoxybutyl acetate was used.

[실시예 1~8 및 비교예 1~9][Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 9]

알칼리 가용성 수지(수지(A-1)) 100중량부와, 광중합성 모노머(DPHA) 35중량부와, 광중합 개시제 15중량부와, 표 1에 기재된 종류의 실란 커플링제 3중량부와, 카본 블랙 분산액 500중량부를 혼합한 후, 혼합물을 유기 용제로 고형분 농도 15중량%로 희석하여 감광성 수지 조성물을 얻었다. 혼합물의 희석에 이용한 유기 용제로서는 3-메톡시부틸아세테이트(MA)와, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PM)와, 시클로헥사논(AN)이 MA/PM/AN = 60/20/20(중량비)으로 혼합된 혼합 용제를 이용하였다. 얻어진 감광성 수지 조성물에 대하여 하기 방법을 따라 세선 밀착성과 내수성을 평가하였다.100 parts by weight of an alkali-soluble resin (resin (A-1)), 35 parts by weight of a photopolymerizable monomer (DPHA), 15 parts by weight of a photopolymerization initiator, 3 parts by weight of a silane coupling agent of the kind shown in Table 1, And 500 parts by weight of the dispersion were mixed, and the mixture was diluted with an organic solvent to a solid concentration of 15% by weight to obtain a photosensitive resin composition. As the organic solvent used for diluting the mixture, 3-methoxybutyl acetate (MA), propylene glycol monomethyl ether acetate (PM) and cyclohexanone (AN) were mixed at a MA / PM / AN = ) Were used. The obtained photosensitive resin composition was evaluated in terms of fine line adhesion and water resistance by the following methods.

(세선 밀착성 평가)(Evaluation of fine wire adhesion)

감광성 수지 조성물을 유리 기판(100mm×100mm) 위에 스핀 코터를 이용하여 도포하고, 90℃에서 120초간 프리베이크를 수행하여, 막 두께 1.0㎛의 도포막을 형성하였다. 이어서, 밀러 프로젝션 얼라이너(제품명: TME-150RTO, 주식회사 토프콘 제)를 사용하여, 노광 갭을 50㎛로 하고, 폭 5㎛의 패턴이 형성된 네거티브마스크를 개재하여 도포막에 자외선을 조사하였다. 노광량은 10, 20, 40 및 100mJ/cm2의 4단계로 하였다. 노광 후의 도포막을 26℃의 0.04중량% KOH 수용액으로 50초간 현상한 후, 230℃에서 30분간 포스트베이크를 수행하여 라인 패턴을 형성하였다.The photosensitive resin composition was coated on a glass substrate (100 mm x 100 mm) using a spin coater and prebaked at 90 캜 for 120 seconds to form a coating film having a thickness of 1.0 탆. Subsequently, the coating film was irradiated with ultraviolet rays using a Miller Projection aligner (trade name: TME-150RTO, manufactured by Topcon Co., Ltd.) through a negative mask having an exposure gap of 50 占 퐉 and a pattern with a width of 5 占 퐉. The exposure was performed in four steps of 10, 20, 40 and 100 mJ / cm 2 . After the exposure, the coated film was developed with a 0.04 wt% KOH aqueous solution at 26 DEG C for 50 seconds, and post-baked at 230 DEG C for 30 minutes to form a line pattern.

각 노광량으로 형성된 라인 패턴을 광학 현미경에 의해 관찰하여 세선 밀착성을 평가하였다. 형성된 패턴에 기판으로부터의 박리가 관찰되지 않았던 경우를 「양호」라고 판정하였다. 형성된 패턴의 일부 또는 전부가 기판으로부터 박리하여 원하는 형상의 패턴을 형성할 수 없었던 경우를 「불량」이라고 판정하였다. 각 실시예 및 비교예의 감광성 수지 조성물의 세선 밀착성의 판정을 노광량 별로 표 1에 기재한다.The line pattern formed at each exposure amount was observed by an optical microscope to evaluate the fine line adhesion. &Quot; Good &quot; was determined when no peeling from the substrate was observed in the formed pattern. &Quot; Bad &quot; was determined when a part or all of the formed pattern could not be separated from the substrate to form a pattern of a desired shape. Determination of the fine line adhesion of the photosensitive resin compositions of each of the Examples and Comparative Examples is shown in Table 1 for each exposure amount.

(내수성 평가)(Water resistance evaluation)

세선 밀착성의 평가와 마찬가지로 하여 유리 기판 위에 막 두께 1.0㎛의 도포막을 형성하였다. 형성된 도포막에 대하여 마스크를 개재하지 않고 노광량 100mJ/cm2로 노광을 수행하여 유리 기판 위에 경화막을 형성하였다. 형성된 경화막을 이용하여 내수성을 평가하였다. 경화막을 구비하는 유리 기판을 120℃, 2기압, 습도 100%의 분위기 하에서 24시간, 내압 용기 내에 정치하였다. 2시간, 6시간, 12시간 및 24시간의 시점에서 유리 기판을 내압 용기로부터 취출하고, 유리 기판으로부터의 경화막의 박리 유무를 관찰하였다. 유리 기판으로부터의 경화막의 박리가 관찰되지 않았던 경우를 「양호」라고 판정하였다. 유리 기판으로부터의 경화막의 박리가 관찰된 경우를 「불량」이라고 판정하였다.A coating film having a film thickness of 1.0 mu m was formed on a glass substrate in the same manner as in the evaluation of fine wire adhesion. The formed coating film was exposed to light at an exposure dose of 100 mJ / cm 2 without interposing a mask to form a cured film on the glass substrate. And the water resistance was evaluated using the cured film formed. The glass substrate having the cured film was placed in a pressure-resistant container for 24 hours under the atmosphere of 120 캜, 2 atmospheric pressure, and 100% humidity. At the time points of 2 hours, 6 hours, 12 hours and 24 hours, the glass substrate was taken out from the pressure-resistant container, and the presence or absence of peeling of the cured film from the glass substrate was observed. And the case where peeling of the cured film from the glass substrate was not observed was judged as &quot; good &quot;. The case where peeling of the cured film from the glass substrate was observed was judged as &quot; defective &quot;.


실란
커플링제
종류
Silane
Coupling agent
Kinds
세선 밀착성Fine wire adhesion
10
mJ/cm2
10
mJ / cm 2
20
mJ/cm2
20
mJ / cm 2
40
mJ/cm2
40
mJ / cm 2
100
mJ/cm2
100
mJ / cm 2
실시예 1Example 1 화합물 1Compound 1 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 2Example 2 화합물 2Compound 2 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 3Example 3 화합물 3Compound 3 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 4Example 4 화합물 4Compound 4 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 5Example 5 화합물 5Compound 5 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 6Example 6 화합물 6Compound 6 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 7Example 7 화합물 7Compound 7 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 8Example 8 화합물 8Compound 8 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 1Comparative Example 1 화합물 9Compound 9 불량Bad 불량Bad 불량Bad 불량Bad 비교예 2Comparative Example 2 화합물 10Compound 10 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 3Comparative Example 3 화합물 11Compound 11 불량Bad 불량Bad 불량Bad 불량Bad 비교예 4Comparative Example 4 화합물 12Compound 12 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 5Comparative Example 5 화합물 13Compound 13 불량Bad 불량Bad 양호Good 양호Good 비교예 6Comparative Example 6 화합물 14Compound 14 불량Bad 불량Bad 불량Bad 양호Good 비교예 7Comparative Example 7 화합물 15Compound 15 불량Bad 불량Bad 양호Good 양호Good 비교예 8Comparative Example 8 화합물 16Compound 16 불량Bad 불량Bad 불량Bad 양호Good 비교예 9Comparative Example 9 화합물 17Compound 17 불량Bad 불량Bad 불량Bad 양호Good


실란
커플링제
종류
Silane
Coupling agent
Kinds
내수성Water resistance
2시간
2 hours
6시간6 hours 12시간12 hours 24시간24 hours
실시예 1Example 1 화합물 1Compound 1 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 2Example 2 화합물 2Compound 2 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 3Example 3 화합물 3Compound 3 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 4Example 4 화합물 4Compound 4 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 5Example 5 화합물 5Compound 5 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 6Example 6 화합물 6Compound 6 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 7Example 7 화합물 7Compound 7 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 8Example 8 화합물 8Compound 8 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 1Comparative Example 1 화합물 9Compound 9 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 2Comparative Example 2 화합물 10Compound 10 양호Good 불량Bad 불량Bad 불량Bad 비교예 3Comparative Example 3 화합물 11Compound 11 불량Bad 불량Bad 불량Bad 불량Bad 비교예 4Comparative Example 4 화합물 12Compound 12 양호Good 불량Bad 불량Bad 불량Bad 비교예 5Comparative Example 5 화합물 13Compound 13 불량Bad 불량Bad 불량Bad 불량Bad 비교예 6Comparative Example 6 화합물 14Compound 14 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 7Comparative Example 7 화합물 15Compound 15 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 8Comparative Example 8 화합물 16Compound 16 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 9Comparative Example 9 화합물 17Compound 17 양호Good 양호Good 양호Good 불량Bad

[실시예 9 및 10][Examples 9 and 10]

카본 블랙 분산액을 하기 구조의 페릴렌계 안료의 분산액(고형분 함유량: 20중량%, 용제: 3-메톡시부틸아세테이트)으로 바꾼 점 외에는 실시예 2 및 4와 동일하게 하여 감광성 수지 조성물을 얻었다. 얻어진 감광성 수지 조성물을 이용하여 실시예 2 및 4와 마찬가지로 세선 밀착성과 내수성을 평가하였다. 세선 밀착성의 판정과 내수성의 판정을 표 3에 기재한다.A photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Examples 2 and 4 except that the carbon black dispersion was changed to a dispersion of perylene pigment (solid content: 20% by weight, solvent: 3-methoxybutyl acetate) having the following structure. Using the obtained photosensitive resin composition, the fine line adhesion and the water resistance were evaluated in the same manner as in Examples 2 and 4. Determination of fine wire adhesion and determination of water resistance are shown in Table 3. &lt; tb &gt; &lt; TABLE &gt;

Figure pat00020
Figure pat00020


실란
커플링제
종류
Silane
Coupling agent
Kinds
세선 밀착성Fine wire adhesion
10
mJ/cm2
10
mJ / cm 2
20
mJ/cm2
20
mJ / cm 2
40
mJ/cm2
40
mJ / cm 2
100
mJ/cm2
100
mJ / cm 2
실시예 9Example 9 화합물 2Compound 2 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 10Example 10 화합물 4Compound 4 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good


실란
커플링제
종류
Silane
Coupling agent
Kinds
내수성Water resistance
2시간
2 hours
6시간6 hours 12시간12 hours 24시간24 hours
실시예 9Example 9 화합물 2Compound 2 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 10Example 10 화합물 4Compound 4 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good

표 1 내지 3으로부터, 알칼리 가용성 수지와, 광중합성 모노머와, 광중합 개시제와, 착색제를 포함하며, 전술한 식 (1)로 표시되는 화합물을 실란 커플링제로서 포함하는 실시예의 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 패턴이라면, 양호한 패턴의 기판에 대한 밀착성과 양호한 내수성을 양립할 수 있음을 알 수 있다.From the Tables 1 to 3, it was confirmed that the photosensitive resin composition of the embodiment containing the alkali-soluble resin, the photopolymerizable monomer, the photopolymerization initiator and the colorant as the silane coupling agent and the compound represented by the formula (1) It can be seen that both the adhesion to a substrate of a good pattern and the good water resistance can be achieved.

한편, 표 1 및 표 2로부터, 알칼리 가용성 수지와, 광중합성 모노머와, 광중합 개시제와 착색제를 포함하지만, 전술한 식 (1)로 표시되는 화합물을 실란 커플링제로서 포함하지 않는 비교예의 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 패턴은 양호한 패턴의 기판에 대한 밀착성과 양호한 내수성을 양립할 수 없음을 알 수 있다.On the other hand, from Table 1 and Table 2, it can be seen that the photosensitive resin composition of the comparative example which contains the alkali-soluble resin, the photopolymerizable monomer, the photopolymerization initiator and the colorant but does not contain the compound represented by the formula (1) It can be seen that the pattern formed by using the resist pattern can not satisfy the adhesion to the substrate of a good pattern and the good water resistance.

특히, 비교예 6~8에 의하면, 감광성 수지 조성물에 포함되는 실란 커플링제에 대하여, -NH-CO-NH-기에 직결하는 복소환이 함질소 5원환인 경우, 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 패턴은 내수성이 우수하여도 세선 밀착성이 떨어진다는 것을 알 수 있다.Particularly, according to Comparative Examples 6 to 8, when the heterocyclic ring is a nitrogen-containing five-membered ring directly bonded to the -NH-CO-NH- group with respect to the silane coupling agent contained in the photosensitive resin composition, It can be seen that the pattern is poor in thin wire adhesion even when water resistance is excellent.

또한, 비교예 9에 의하면, 감광성 수지 조성물에 포함되는 실란 커플링제에 대하여, -NH-CO-NH-기에 벤젠환이 직결하고 있는 경우, 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 패턴은 세선 밀착성이 떨어지고, 내수성이 약간 떨어짐을 알 수 있다.Further, according to Comparative Example 9, when the benzene ring is directly bonded to the -NH-CO-NH- group with respect to the silane coupling agent contained in the photosensitive resin composition, the pattern formed using the photosensitive resin composition has poor thin wire adhesion, The water resistance is slightly lowered.

[실시예 11~18 및 비교예 10~18][Examples 11 to 18 and Comparative Examples 10 to 18]

알칼리 가용성 수지(수지(A-2)) 58.5중량부와, 광중합성 모노머(DPHA) 40중량부와, 광중합 개시제 1.5중량부와 표 2에 기재된 종류의 실란 커플링제 3중량부를 혼합한 후, 혼합물을 유기 용제로 고형분 농도 15중량%로 희석하여, 감광성 수지 조성물을 얻었다. 혼합물의 희석에 이용한 유기용제로는 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르(MEDG)와, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PM)가 MEDG/PM = 60/40/(중량비)로 혼합된 혼합 용제를 이용하였다. 얻어진 감광성 수지 조성물에 대하여, 실시예 1과 동일하게 하여 세선 밀착성과 내수성을 평가하였다.58.5 parts by weight of an alkali-soluble resin (resin (A-2)), 40 parts by weight of a photopolymerizable monomer (DPHA), 1.5 parts by weight of a photopolymerization initiator and 3 parts by weight of a silane coupling agent of the kind shown in Table 2, Was diluted with an organic solvent to a solid concentration of 15% by weight to obtain a photosensitive resin composition. A mixed solvent in which diethylene glycol methyl ethyl ether (MEDG) and propylene glycol monomethyl ether acetate (PM) were mixed at MEDG / PM = 60/40 / (weight ratio) was used as an organic solvent used for diluting the mixture. The obtained photosensitive resin composition was evaluated in the same manner as in Example 1 for its fine line adhesion and water resistance.


실란
커플링제
종류
Silane
Coupling agent
Kinds
세선 밀착성Fine wire adhesion
10
mJ/cm2
10
mJ / cm 2
20
mJ/cm2
20
mJ / cm 2
40
mJ/cm2
40
mJ / cm 2
100
mJ/cm2
100
mJ / cm 2
실시예 11Example 11 화합물 1Compound 1 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 12Example 12 화합물 2Compound 2 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 13Example 13 화합물 3Compound 3 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 14Example 14 화합물 4Compound 4 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 15Example 15 화합물 5Compound 5 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 16Example 16 화합물 6Compound 6 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 17Example 17 화합물 7Compound 7 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 18Example 18 화합물 8Compound 8 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 10Comparative Example 10 화합물 9Compound 9 불량Bad 불량Bad 불량Bad 불량Bad 비교예 11Comparative Example 11 화합물 10Compound 10 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 12Comparative Example 12 화합물 11Compound 11 불량Bad 불량Bad 불량Bad 양호Good 비교예 13Comparative Example 13 화합물 12Compound 12 불량Bad 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 14Comparative Example 14 화합물 13Compound 13 불량Bad 불량Bad 양호Good 양호Good 비교예 15Comparative Example 15 화합물 14Compound 14 불량Bad 불량Bad 불량Bad 양호Good 비교예 16Comparative Example 16 화합물 15Compound 15 불량Bad 불량Bad 양호Good 양호Good 비교예 17Comparative Example 17 화합물 16Compound 16 불량Bad 불량Bad 불량Bad 양호Good 비교예 18Comparative Example 18 화합물 17Compound 17 불량Bad 불량Bad 불량Bad 양호Good


실란
커플링제
종류
Silane
Coupling agent
Kinds
내수성Water resistance
2시간
2 hours
6시간6 hours 12시간12 hours 24시간24 hours
실시예 11Example 11 화합물 1Compound 1 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 12Example 12 화합물 2Compound 2 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 13Example 13 화합물 3Compound 3 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 14Example 14 화합물 4Compound 4 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 15Example 15 화합물 5Compound 5 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 16Example 16 화합물 6Compound 6 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 17Example 17 화합물 7Compound 7 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 실시예 18Example 18 화합물 8Compound 8 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 10Comparative Example 10 화합물 9Compound 9 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 11Comparative Example 11 화합물 10Compound 10 양호Good 불량Bad 불량Bad 불량Bad 비교예 12Comparative Example 12 화합물 11Compound 11 양호Good 불량Bad 불량Bad 불량Bad 비교예 13Comparative Example 13 화합물 12Compound 12 양호Good 양호Good 불량Bad 불량Bad 비교예 14Comparative Example 14 화합물 13Compound 13 불량Bad 불량Bad 불량Bad 불량Bad 비교예 15Comparative Example 15 화합물 14Compound 14 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 16Comparative Example 16 화합물 15Compound 15 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 17Comparative Example 17 화합물 16Compound 16 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good 비교예 18Comparative Example 18 화합물 17Compound 17 양호Good 양호Good 양호Good 양호Good

표 5 및 표 6으로부터, 알칼리 가용성 수지와, 광중합성 모노머와, 광중합 개시제를 포함하며, 전술한 식 (1)로 표시되는 화합물을 실란 커플링제로서 포함하는 실시예의 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 패턴이라면, 양호한 패턴의 기판에 대한 밀착성과 양호한 내수성을 양립할 수 있음을 알 수 있다.From Table 5 and Table 6, it can be seen that a pattern formed using the photosensitive resin composition of the Example containing the alkali-soluble resin, the photopolymerizable monomer, and the photopolymerization initiator and containing the compound represented by the formula (1) described above as the silane coupling agent It can be seen that both the adhesion to a substrate of a good pattern and the good water resistance can be achieved.

한편, 표 5 및 표 6으로부터, 알칼리 가용성 수지와, 광중합성 모노머와, 광중합 개시제를 포함하지만, 전술한 식 (1)로 표시되는 화합물을 실란 커플링제로서 포함하지 않는 비교예의 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 패턴은 양호한 패턴의 기판에 대한 밀착성과 양호한 내수성을 양립할 수 없음을 알 수 있다.On the other hand, it can be seen from Tables 5 and 6 that the photosensitive resin composition of the comparative example which contains the alkali-soluble resin, the photopolymerizable monomer and the photopolymerization initiator but does not contain the compound represented by the above-mentioned formula (1) It can be seen that the pattern formed can not satisfy the adhesion to the substrate of a good pattern and the good water resistance.

특히, 비교예 15~18에 의하면, 감광성 수지 조성물에 포함되는 실란 커플링제에 대하여, -NH-CO-NH-기에 직결하는 환이 함질소 5원환이거나 벤젠환인 경우, 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 패턴은 내수성이 우수하여도 세선 밀착성이 떨어진다는 것을 알 수 있다.Particularly, according to Comparative Examples 15 to 18, when the ring is a nitrogen-containing 5-membered ring directly bonded to the -NH-CO-NH- group with respect to the silane coupling agent contained in the photosensitive resin composition or a benzene ring, It can be seen that the pattern is poor in thin wire adhesion even when water resistance is excellent.

Claims (6)

(A) 알칼리 가용성 수지와, (B) 광중합성 모노머와, (C) 광중합 개시제와, (D) 실란 커플링제를 포함하며,
상기 (D) 실란 커플링제가 하기 식 (1)로 표시되는 화합물인 감광성 수지 조성물:
R1 mR2 (3-m)Si-R3-NH-C(O)-Y-R4-X … (1)
(식 (1) 중, R1은 알콕시기이며, R2는 알킬기이고, m은 1~3의 정수이며, R3는 알킬렌기이고, Y는 -NH-, -O- 또는 -S-이며, R4는 단결합 또는 알킬렌기이고, X는 치환기를 가져도 되고 단환이어도 다환이어도 되는 함질소 헤테로아릴기이며, X 중의 -Y-R4-와 결합하는 환은 함질소 6원 방향환이고, -Y-R4-는 상기 함질소 6원 방향환 중의 탄소 원자와 결합한다).
(A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerizable monomer, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a silane coupling agent,
Wherein the silane coupling agent (D) is a compound represented by the following formula (1):
R 1 m R 2 (3-m) Si-R 3 -NH-C (O) -YR 4 -X (One)
(In the formula (1), R 1 is an alkoxy group, R 2 is an alkyl group, m is an integer of 1 to 3, R 3 is an alkylene group, Y is -NH-, -O- or -S- , R 4 is a single bond or an alkylene group, X is a nitrogen heteroaryl group which may have a substituent or may be a monocyclic or polycyclic ring, a ring bonding with -YR 4 - in X is a nitrogen-containing six- 4 - is bonded to the carbon atom in the nitrogen-containing six-membered aromatic ring.
청구항 1에 있어서,
추가로 (E) 착색제를 함유하는 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
(E) a colorant.
청구항 2에 있어서,
상기 (E) 착색제가 차광제인 감광성 수지 조성물.
The method of claim 2,
Wherein the coloring agent (E) is a light-shielding agent.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포하여 도포막을 형성하는 공정과,
상기 도포막을 위치 선택적으로 노광하는 공정과,
노광된 상기 도포막을 현상하는 공정을 포함하는, 패턴 형성방법.
A step of applying the photosensitive resin composition described in any one of claims 1 to 3 on a substrate to form a coating film;
Selectively exposing the coating film to light;
And developing the exposed coating film.
청구항 3에 기재된 감광성 수지 조성물을 이용하여 형성된 블랙 매트릭스.A black matrix formed by using the photosensitive resin composition according to claim 3. 청구항 5에 기재된 블랙 매트릭스를 구비하는 표시장치.A display device comprising the black matrix according to claim 5.
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