KR20150073990A - 유동층 반응로에서의 유동화 품질을 결정하기 위한 파형요소 분해의 사용 - Google Patents

Abstract

유동층 반응로의 유동화 품질을 결정하기 위한 방법 및 장치가 개시된다. 본 방법은 압력 신호를 얻기위해 유동층 반응로 내의 압력을 측정하는 단계를 포함한다. 그 후, 압력 신호는 파형요소 분해를 사용하여 고주파 상세값들과 저주파 근사값들로 변환된다. 그 후, 다양한 특징들의 우세는 정규화된 파형요소 에너지와 관련된 각각의 특징의 에너지에 기초하여 계산된다. 그 후, 유동층 반응로의 유동화 품질은 계산된 에너지의 시간에 따른 비교로부터 결정된다.

Description

유동층 반응로에서의 유동화 품질을 결정하기 위한 파형요소 분해의 사용{USING WAVELET DECOMPOSITION TO DETERMINE THE FLUIDIZATION QUALITY IN A FLUIDIZED BED REACTOR}

관련 출원의 상호 참조

본 출원은 전체 내용이 본 출원에 참조로 포함된, 2012년 10월 19일에 출원된 미국 출원 제13/656,336호의 우선권을 주장한다.

기술분야

본 출원의 분야는 일반적으로 연속적인 유동층 반응로에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 유동층의 유동화 품질을 결정하기 위한 방법에 관한 것이다.

유동층 반응로 내의 유동화의 품질은 일반적으로 시간에 따라 변화한다. 유동화에서의 변화는 분산면(distributor plate)이 막히거나(plugged) 또는 벽의 증가(wall build-up)에 의한 반응로의 내부 부피의 변화에 의해 유발될 수 있다. 유동화의 품질은 가스 고체 혼합, 열 전이 그리고 궁극적으로는 반응로의 생산성에 영향을 미침으로써 유동층 반응로의 동작에 상당한 영향을 미친다.

일반적으로, 가스 유속, 온도 및 프리보드 압력(freeboard pressure)은 상업적인 유동층 반응로에서 제어되지만, 유동층 반응로 내의 실제 유체역학은 상대적으로 알려지지 않았다. 유동층 반응로 내의 실제 유체역학에 대한 지식이 이렇게 부족함으로 인해 유지보수 스케쥴 및 생산 목표는 각각의 반응로의 동작 실시시간에 기초하게 된다. 그러나, 동작 실시시간은 종종 유동층 반응로 유동화 성능의 최적의 지표가 아니다.

유동층 반응로는 반응로의 동작 중에 시간에 따라 계속해서 변하는 가스 농도와 고체 농도가 넓게 중복되는 스펙트럼을 갖는다. 따라서, 유동화 특징들을 식별하는 것은 유동화 과정의 동적인 본질을 유지하는 데이터 분석 방법을 보장한다. 따라서, 유동층 반응로가 동작가능한 동안에 비침습적인 방식으로 유동층 반응로 에서의 유동화 품질을 결정하기 위한 효율적이고 효과적인 시스템에 대한 요구가 존재한다. 또한, 유동층 반응로의 유동화 품질을 결정하기 위한 신뢰할 수 있는 방법에 대한 요구가 존재한다.

이러한 배경기술에 대한 섹션은 독자에게 이하에서 기술되고/되거나 청구되는 본 발명의 다양한 양태들과 관련있을 수 있는 기술분야의 다양한 양태들을 소개하기 위함이다. 이러한 논의는 본 발명의 다양한 양태들을 보다 잘 이해시키기 위해 독자에게 배경지식을 제공하는 데에 도움이 될 것이다. 따라서, 이러한 서술이 이러한 관점에서 읽혀져야하고, 종래 기술의 도입으로서 읽혀져서는 안된다는 것이 이해되어야 한다.

일 양태에서, 유동층 반응로의 유동화 품질을 결정하는 방법은 유동층 반응로에서의 압력 차이를 측정하는 단계를 포함한다. 측정된 압력 차이는 압력 신호의 형태로 제공된다. 압력 신호는 파형요소 분해(wavelet decomposition)를 이용하여 고주파 상세값들(high frequency details)과 저주파 근사값들(low frequency approximations)로 변환된다. 고주파 상세값의 에너지와 저주파 근사값의 에너지가 결정된다. 그 후, 유동층 내의 압력 신호와 연관된 정규화된 파형요소 에너지는 유동화 품질을 양적으로 결정하기 위해 결정된다.

또 다른 양태에서, 유동층 반응로의 유동화 품질을 결정하는 방법은 반응로 챔버를 정의하는 반응로 용기를 제공하는 단계를 포함한다. 반응로 용기는 반응로 챔버 내의 압력을 결정하고 대응하는 신호를 생성하기 위한, 반응로 용기와 연결된 압력 탭(pressure tap)을 갖는다. 프로세서는 압력 탭으로부터 압력 신호를 수신하기 위해 압력 탭에 연결된다. 프로세서는 파형요소 분해를 사용하여 압력신호를 변환하고 반응로 챔버 내의 에너지를 계산하도록 구성된다. 반응로 챔버 내의 압력은 압력 탭에 의해 측정되고, 압력 신호의 형태로 프로세서에 제공된다. 압력 신호는 파형요소 분해를 사용하여 고주파 상세값과 저주파 근사값으로 변환된다. 고주파 상세값의 에너지와 저주파 근사값의 에너지가 결정된다. 그 후, 유동층 내의 압력 신호와 연관된 정규화된 파형요소 에너지가 결정된다.

또 다른 양태에서, 다결정 실리콘을 생산하기 위한 유동층 반응로는 반응로 용기, 압력 탭, 프로세서를 포함한다. 반응로 용기는 반응로 챔버를 정의한다. 압력 탭은 반응로 챔버 내의 압력을 결정하고 대응하는 신호를 생성하도록 반응로 용기와 연결된다. 프로세서는 압력 탭으로부터 압력 신호를 수신하도록 압력 탭에 연결된다. 프로세서는 파형요소 분해를 사용하여 압력 신호를 변환시킬 수 있고 신호의 에너지를 계산할 수 있다.

위에 기술된 양태들과 관련하여 기술된 특징들의 다양한 개선들이 존재한다. 또한 추가적인 특징들이 위에 기술된 양태들에 통합될 수 있다. 이러한 개선들 및 추가적인 특징들은 개별적으로 또는 임의의 조합으로 존재할 수 있다. 예를 들어, 기술된 실시예들과 관련하여 이하에서 논의된 다양한 특징들은 독자적으로 또는 임의의 조합으로 위에서 기술된 임의의 양태들에 통합될 수 있다.

도 1은 일 실시예에 따른 유동층 반응로의 단면도;
도 2는 프레시(fresh) 반응로의 시간 대비 압력 강하를 나타내는 그래프;
도 3은 프레시 반응로의 스케일 대비 E_Dj/E_all을 나타내는 그래프;
도 4는 막힌 반응로의 시간 대비 압력 강하를 나타내는 그래프.
도 5는 막힌 반응로의 스케일 대비 E_Dj/E_all을 나타내는 그래프;
도 6은 프레시 반응로와 막힌 반응로에 대한 실시 시간 대비 E_D3/E_all을 나타내는 그래프;
도 7은 수 개의 반응로들에 대한 E_D1/E_all과 실시 시간을 나타내는 그래프;
다양한 도면들에서의 유사한 참조 기호들은 유사한 요소들을 가리킨다.

본 명세서에서 기술된 실시예들은 전체 내용이 본 명세서에 포함된 미국 특허 제4,820,587호 및 제4,883,687호에 기술된 바와 같이 일반적으로 고순도 폴리실리콘을 만들기 위한 유동층 반응로의 사용에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 명세서에서 기술된 실시예들은 입자들의 유동층에서 화학 기상 증착을 통해 실리콘을 피착시키는 것에 관한 것이다. 본 명세서에서 기술된 방법은 이러한 특정한 프로세스 또는 반응로의 구성에 제한되지 않고, 연속적인 유동층 반응로의 동작에 관한 임의의 다른 실시예에 적용가능하다.

도 1을 참조하면, 일 실시예에서의 유동층 반응로는 일반적으로 참조번호(10)으로 나타난다. 유동층 반응로(10)는 일반적으로 반응로 챔버(14)를 정의하는 반응로 용기(12)를 포함한다. 주입구(16)는 반응로 챔버(14)에 염분 및 유체화 가스(예컨대, 수소 가스)를 공급하는 것을 제공한다. 오프가스(off gas)는 배출구(18)을 통해 배출된다. 반응로 챔버(14)는 공급 튜브(20)를 통해 실리콘 입자를 공급받고, 큰 입자/고체는 배출 튜브(22)를 통해 반응로 챔버(14)로부터 제거된다.

유동층 반응로(10)는, 또한 압력 탭들(26, 28)의 쌍에 연결된 프로세서(24)를 포함한다. 압력 탭들(26, 28)은 반응로 용기(12)의 반응로 챔버 내에 포함된 폴리실리콘 같은 고순도 물칠들의 오염을 방지하도록 반응로 챔버(14)의 경계의 밖에 위치한다. 압력 탭들(26,28)은 유동층 반응로(10) 내의 압력을 측정하고, 측정된 압력을 나타내는 대응하는 압력 신호를 생성한다. 이러한 실시예의 프로세서(24)는 반응로 챔버(14)에서의 압력 차이를 결정하기 위해 압력 탭들(26, 28)에 접속되고 압력 탭들(26, 28)로부터 압력 신호를 수신한다. 그 후, 압력 차이는 프로세서(24)에 의해 압력 차이를 고주파 상세값과 저주파 근사값으로 변환시키는 파형요소 분해를 사용하여 분석된다.

그 후, 고주파 상세값의 연관된 에너지와 저주파 근사값의 연관된 에너지는 압력 차이와 연관된 정규화된 파형요소 에너지와 함께 결정되어, 유동화 품질을 양적으로 결정한다. 그 후, 정규화된 파형요소 에너지는 정규화된 파형요소 에너지들의 어떤 부분이 고주파 상세값과 저주파 근사값에 기여가능한지 결정하는 데에 사용된다. 시간에 따라 고주파 상세값에 기여가능한 정규화된 파형요소 에너지의 부분은 유동층 반응로에서의 유동화 품질의 수용가능한 레벨을 결정하기 위해 미리결정된 저하값(degradation value)과 비교된다.

동작 동안에, 유동층 반응로(10)는 공급 튜브(20)을 통해 챔버(14)로 도입되는 입자(도시되지 않음)를 공급받는다. 챔버(14) 내의 입자는 주입구(16)를 통해 도입되는 수소 가스에 의해 유동화된다. 실란 가스(silane gas)가 입자의 표면을 지나가고, 실리콘이 입자 위에 피착되어, 입자들은 크기가 커진다. 입자들이 유체화 가스에 의해 지지되기에 너무 커지면, 큰 입자들은 떨어져 내리고, 배출 튜브(22)를 통해 챔버(14)로부터 제거된다.

유동층 반응로(10)가 동작함에 따라, 압력 탭들(26, 28)은 반응로 챔버(14) 내의 유동화 거동을 나타내는 압력 신호들을 프로세서(24)에 제공한다. 그 후 프로세서(24)는 압력 차이 신호를 생성하기 위해 압력 신호에 기초하여 압력 차이를 계산한다. 그 후, 이러한 압력 차이 신호는 (이하에서 추가적으로 기술되는 바와 같이) 파형요소 분해를 통해 프로세서(24)에 의해 변환된다. 유동화 품질은 신호의 다양한 주파수 범위 내에 포함된 에너지의 결정을 통해 평가된다. 다른 실시예들에서, 온도, 절대압력 또는 음향 신호와 같은 다른 측정 신호들이 동일한 목표를 달성하기 위해 사용될 수 있다.

일반적으로, 파형요소 분해는 유동화 품질을 단순한 수치로서 수량화하는 데에 사용된다. 이러한 실시예에서, 미리정해진 주파수 범위의 정규화된 파형요소 에너지는 유동층 반응로(10)의 유동화 거동을 관찰하기 위해 시간에 따라 변한다. 그 후, 이러한 정보는 생산 목표 및 유지보수 스케쥴을 설정하는 데에 사용된다. 수량화된 유동화 품질은 반응로 수명주기보다 반응로(10)의 남은 수명의 보다 정확한 예측을 제공한다. 또 다른 실시예에서, 에너지가 미리정해진 레벨 밑으로 떨어지는 경우, 신호가 유동층 반응로(10)에 대한 조작자에게 송신되어 유지보수를 위해 작동하지 않게 된다. 다른 실시예들에서, 유지보수 신호는 자동적으로 유동층 반응로이 작동하지 않도록, 예컨대 신호는 제어기(도시되지 않음)에 송신되고, 유동층 반응로는 자동적으로 작동하지 않게 된다.

파형요소 분해는 실시간으로 유동층 측정 데이터의 결정적인 특징들을 인식하는 것을 용이하게 하기 위해 압력 신호의 타임스탬프(timestamp)를 유지하면서 상이한 주파수 범위들을 추출하는 데에 유용하다. 특히, 파형요소 분해는 반복적으로 신호를 고주파 상세값들(D)과 저주파 근사값들(A)로 분리함으로써 데이터 신호들의 상이한 주파수 범위들을 추출하는 데에 사용된다. 분해의 첫 번째 스케일에서는, N Hz의 원래 신호가 근사값(A₁)의 첫 번째 스케일 및 상세값(D₁)의 첫 번째 스케일로 나누어진다. 주파수 범위의 하위 절반은 A₁에 포함되고, 상위 절반은 D₁에 포함된다. j 내지 j+1 스케일에서의 추가적인 증가는 후속하여 각각의 근사값 A_j가 저주파 A_j+1 신호 및 고주파 D_j+1 신호로 분해되도록 한다.

그 후, 이러한 상세값들 및 근사값들은 특징들의 각각의 에너지를 결정하는 데에 사용되어, 결국 다양한 유동화 특징들의 우세를 식별하는 것을 용이하게 한다. 각각의 근사값 신호의 연관된 에너지 및 상세값 신호의 연관된 에너지는 이하의 공식을 이용하여 계산될 수 있다.

공식 1 내지 공식 3에서, E는 각각의 (원래의 또는 분해된) 신호의 에너지이고, n은 (압력 신호) 데이터 포인트의 총 수이고, j는 분해의 스케일이고, J는 분해의 최대 스케일이다.

공식 1 내지 공식 3은 각각의 분해된 스케일 또는 레벨에 포함된 에너지가 수량화되도록 한다. E_j,all(공식 3)에 대한 E_Dj(공식 1)의 비율인 정규화된 파형요소 에너지는 상업적 유동층 반응로를 보다 잘 제어하고 동작시키기 위해 단일 수치값으로서 유동화 품질을 결정하는 데에 사용되고, 벽과 분배기(distributor)에서의 유체상 피착으로 인해 유동화 특징들은 시간에 따라 변한다. 따라서, 정규화된 파형요소 에너지는, 또한 시간에 따라 변하고 유동층 내의 유동화 품질의 적합한 근사값이 계산되도록 한다.

유동화 품질에서의 혼란으로 이어지는 기구들의 다른 운용상의 오작동도 이러한 방법으로 검출될 수 있다. 일 실시예에서, 주입구(16)를 통해서 유동화 가스를 공급하는 유량측정계의 오작동은 반응로 챔버(14)에서의 유동화 거동에 영향을 미치고, 이것은 계산된 정규화된 파형요소 에너지 수치를 통해 검출될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 공급 가스에 대한 온도 탐침의 오작동은 주입구(16)을 통해 공급된 가스의 체적 유량(volumetric flow rate)을 변경할 것이고, 이것은 기술된 방법을 이용하여 검출될 수 있다.

실험적 데이터

제어된 실험적 조건을 하에서, 층에서의 압력 강하(DP_bed)의 신호는 0.5 Hz의 데이터 수집 주파수에서 수집되었고, DP_bed 신호의 파형요소 분해는 매트랩(Matlab)에서의 파형요소 툴박스를 통해 달성되었다. 도 2 내지 도 5는 프레시 반응로의 DP_bed 신호 및 대응하는 E_Dj/E_all 구성(도 2 및 도 3) 그리고 막힌 반응로의 DP_bed 신호 및 대응하는 E_Dj/E_all 구성(도 4 및 도 5)을 나타낸다. 도 3에 도시된 바와 같이, 양호한 유동화를 나타내는 우세한 피크는 스케일 3에 존재한다. 특히, 높은 E_D3/E_all는 양호한 유동화를 의미하는데 반해, 낮은 E_D3/E_all는 빈약한 유동화를 의미한다. 특히, 도 3 및 도 5는 완전히 다르고, 이것은 결국 반응로들에서의 양호한 유동화 품질 및 빈약한 유동화 품질을 각각 정확히 반영한다. 양호한 유동화 품질을 갖는 프레시 반응로 및 빈약한 유동화 품질을 갖는 막힌 반응로에 대한 추가적인 관찰은 도 6에서의 DP_bed 신호의 E_D3/E_all로 이어지고, 유동화 품질의 지표로서의 E_D3/E_all의 기능은 명백하다.

도 3에 나타난 바와 같이, 최적으로 동작하는 유동층 반응로는 대략 0.6의 E_D3/E_all를 가진다. 그와 반대로, 막힌 분배기를 갖는 유동층 반응로는 도 5에 도시된 바와 같이, 0.2보다 작은 E_D3/E_all를 나타낸다. 따라서, 낮은 E_D3/E_all는 빈약한 유동화를 반영하고, 이것은 반응로가 유지보수를 위해 꺼지도록 또는 대체되도록 스케쥴링 되어야 한다는 것을 조기에 인식하는 것을 제공한다. E_Dj/E_all의 수용가능한 범위는 실증적인 관찰에 기초하고, 프로세스에 따라 변화할 수 있다.

또 다른 원인은 데이터 시스템 로드 제약을 고려시, 이러한 분석에 대해 요구되는 최소 데이터 수집 주파수의 결정에 기인한다. E_D3/E_all가 0.5 Hz의 데이터 수집 주파수에서의 우세한 피크이므로, 이러한 유동층 프로세스에서의 우세적인 주파수는 0 내지 0.0625 Hz의 범위에 존재한다. 따라서, 이러한 프로세스의 유동화 품질을 관찰하기 위해 요구되는 최소 데이터 수집 주파수는 0.1 Hz이다. 0.1 Hz 데이터 수집 주파수에 의하면, 유동화의 품질은 이에 대응하여 E_D1/E_all를 이용하여 관찰된다.

0.1 Hz 데이터 수집 주파수, DP_bed 신호의 E_D1/E_all 및 반응로들의 동작가능한 실시시간을 적용한 것이 도 7에 나타나 있고, 이것은 반응로들의 총 동작가능한 실시시간과 유동화 품질이 그다지 연관성이 있지 않다는 것을 나타낸다. 가장 중요한 것은, 도 7에서는, 유동층 반응로에서의 유동화 품질의 저하에 다수의 상이한 요인들이 작용하기 때문에, 동작 실시시간에 기초하여 유지보수 스케쥴 및/또는 생산 목표를 설정하는 것은 비생산적일 수 있다는 것을 나타낸다. 따라서, 본 명세서에 개시된 유동화 품질을 결정하기 위한 방법은 유동층 반응로의 동작 및 생산성에 대한 보다 나은 이해를 제공하고, 이것은 언제 유지보수가 수행되어야 하는지를 보다 잘 나타내는 것을 제공하는 데에 사용될 수 있다.

본 발명의 요소들 또는 실시예(들)을 소개하는 경우, 관사는 하나 이상의 요소가 존재한다는 것을 의미하기 위함이다. "포함하는" 및 "갖는"이라는 용어는 포괄적임을 뜻하기 위함이고, 나열된 요소들 외에도 추가적인 요소들이 존재할 수 있다는 것을 의미한다.

본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서, 위 구성들 및 방법들에 다양한 변화들이 이루어질 수 있으므로, 위 발명의 상세한 설명에 포함되고, 첨부된 도면들에 도시된 모든 사항들은 설명적으로 해석되어야 하고, 제한적인 것으로 해석되어서는 안된다. 본 명세서에서 기술된 방법은 본 명세서에서 기술된 특정한 프로세스 또는 반응로 구성에 의해 제한되지 않는다. 예를 들어, 본 방법은 연속적인 유동층 반응로의 동작에 관련된 다른 구성들 및 프로세스들에 적용될 수 있다.

Claims (12)

1. 유동층 반응로의 유동화 품질을 결정하는 방법으로서,
   상기 유동층 반응로에서 압력 차이를 결정하는 단계;
   상기 압력 차이를 파형요소 분해(wavelet decomposition)에 의해 고주파 상세값들(high frequency details)과 저주파 근사값들(low frequency approximations)로 변환시키는 단계;
   상기 고주파 상세값들의 에너지를 결정하는 단계;
   상기 저주파 근사값들의 에너지를 결정하는 단계; 및
   상기 유동화 품질을 양적으로 결정하기 위해 상기 유동층 내의 압력 차이와 연관된 정규화된 파형요소 에너지를 결정하는 단계
   를 포함하는 유동화 품질 결정 방법.
2. 제1항에 있어서,
   상기 고주파 상세값에 기여가능한 상기 정규화된 파형요소 에너지의 부분을 결정하는 단계를 더 포함하는 유동화 품질 결정 방법.
3. 제2항에 있어서,
   상기 유동층 반응로에서의 유동화 품질의 수용가능한 레벨을 결정하기 위해 시간에 따라 상기 고주파 상세값들에 기여가능한 상기 정규화된 파형요소 에너지의 부분을 미리결정된 저하값(degradation value)과 비교하는 단계를 더 포함하는 유동화 품질 결정 방법.
4. 제1항에 있어서,
   상기 저주파 근사값들에 기여가능한 상기 정규화된 파형요소 에너지의 부분을 결정하는 단계를 더 포함하는 유동화 품질 결정 방법.
5. 유동층 반응로의 유동화 품질을 결정하는 방법으로서,
   반응로 챔버를 정의하는 반응로 용기를 제공하는 단계 - 상기 반응로 용기는 상기 반응로 챔버 내의 압력을 결정하고 대응하는 신호를 생성하기 위한 상기 반응로 용기에 연결된 압력 탭 및 상기 압력 탭으로부터 압력 신호를 수신하도록 상기 압력 탭에 연결된 프로세서를 갖고, 상기 프로세서는 파형요소 분해를 이용하여 상기 압력 신호를 변환시킬 수 있고 상기 반응로 챔버 내의 에너지를 계산할 수 있음 - ;
   상기 압력 탭에 의해 상기 반응로 챔버 내의 압력을 측정하는 단계;
   상기 압력 탭으로부터의 상기 측정된 압력을 압력 신호의 형태로 상기 프로세서에 제공하는 단계;
   상기 압력 신호를 파형요소 분해에 의해 고주파 상세값들과 저주파 근사값들로 변환시키는 단계;
   상기 고주파 상세값들의 에너지를 결정하는 단계;
   상기 저주파 근사값들의 에너지를 결정하는 단계; 및
   상기 유동화 품질을 양적으로 결정하기 위해 상기 유동층 내의 정규화된 파형요소 에너지를 결정하는 단계
   를 포함하는 유동화 품질 결정 방법.
6. 제5항에 있어서,
   상기 고주파 상세값들에 기여가능한 상기 정규화된 파형요소 에너지의 부분을 결정하는 단계를 더 포함하는 유동화 품질 결정 방법.
7. 제6항에 있어서,
   상기 유동층 반응로에서의 유동화 품질의 수용가능한 레벨을 결정하기 위해 시간에 따라 상기 고주파 근사값들에 기여가능한 상기 정규화된 파형요소 에너지의 부분을 미리결정된 저하값과 비교하는 단계를 더 포함하는 유동화 품질 결정 방법.
8. 제5항에 있어서,
   상기 저주파 근사값들에 기여가능한 상기 정규화된 파형요소 에너지의 부분을 결정하는 단계를 더 포함하는 유동화 품질 결정 방법.
9. 다결정 실리콘(polycrystalline silicon)의 생산을 위한 유동층 반응로로서,
   반응로 챔버를 정의하는 반응로 용기;
   상기 반응로 챔버 내의 압력을 결정하고 대응하는 신호를 생성하기 위한, 상기 반응로 용기에 연결된 압력 탭; 및
   상기 압력 탭으로부터 상기 압력 신호를 수신하도록 상기 압력 탭에 연결된 프로세서 - 상기 프로세서는 파형요소 분해를 이용하여 상기 압력 신호를 변환시킬 수 있고 상기 신호의 에너지를 계산할 수 있음 -
   를 포함하는 유동층 반응로.
10. 제9항에 있어서,
    상기 반응로 챔버에 실리콘 입자를 제공하기 위한 공급 튜브를 더 포함하는 유동층 반응로.
11. 제9항에 있어서,
    상기 반응로 챔버로부터 실리콘 입자를 제거하기 위한 배출 튜브를 더 포함하는 유동층 반응로.
12. 제9항에 있어서,
    상기 반응로 챔버에 유체화 가스를 제공하기 위한 주입구를 더 포함하는 유동층 반응로.

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