KR20150072831A - Air pressure distributor for fluid supply - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an air pressure distributor for a fluid supplier, comprising: an air supply pipe to supply air; a plurality of solenoid valves connected to the air supply pipe in a parallel manner; a plurality of loads connected to each solenoid valve through a supply pipe to receive air from the air supply pipe; an exhaust pipe connected to the solenoid valves to discharge air supplied to each load to the outside; and a pressure detection unit placed in each supply pipe to detect and transmit the pressure inside the pipe to a control part of a fluid supplier. The air pressure distributor for a fluid supplier includes pressure switches which are installed in a connection pipe for connecting each solenoid valve to the loads to detect pressure. Therefore, the air pressure distributor for a fluid supplier prevents the malfunction of the loads by checking the operation of the loads induced by the pressure decrease of air supplied to the loads due to the abnormalities of each solenoid valve or the connection pipe.

Description

유체 공급장치의 공압 분배기{Air pressure distributor for fluid supply}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an air pressure distributor for a fluid supply device,

본 발명은 유체 공급장치의 공압 분배기에 관한 것으로, 더 상세하게는 상호 병렬 연결된 솔레노이드 밸브들을 포함하는 유체 공급장치의 공압 분배기에 관한 것이다.
The present invention relates to a pneumatic distributor of a fluid supply apparatus, and more particularly to a pneumatic distributor of a fluid supply apparatus including solenoid valves connected to each other in parallel.

일반적으로 반도체나 평판 디스플레이 장치를 제조하는 제조설비에 가스의 공급 제어나 케미컬의 공급 제어를 위하여 공기압으로 구동되는 공압밸브를 사용하고 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] Generally, air pressure-driven pneumatic valves are used for gas supply control and chemical supply control in manufacturing facilities for manufacturing semiconductor or flat panel display devices.

이러한 공압밸브의 동작을 제어하기 위하여 통상 다수의 솔레노이드밸브를 병렬로 연결하고, 그 솔레노이드밸브들을 동시에 제어하여 다수의 공압밸브로 공기 압력을 공급하거나, 공압밸브의 공기를 외부로 배출하는 구성을 가지고 있다.
In order to control the operation of such a pneumatic valve, usually, a plurality of solenoid valves are connected in parallel, the solenoid valves are simultaneously controlled to supply air pressure to the plurality of pneumatic valves, or air of the pneumatic valves is discharged to the outside have.

이와 같은 유체 공급장치의 공압 분배기에 사용되는 솔레노이드밸브는 동작 방식에 따라 다양한 종류가 선택되어 사용될 수 있으나, 기본적으로 공기 압력의 공급과 배출을 수행할 수 있는 2스위치 3포트 싱글방식의 솔레노이드밸브가 사용될 수 있다.
A solenoid valve used in a pneumatic distributor of such a fluid supply device may be selected from a variety of types depending on the operation mode, but a solenoid valve of 2-switch, 3-port, single-type can basically perform supply and discharge of air pressure Can be used.

도 1은 종래 유체 공급장치의 공압 분배기의 일실시 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a schematic illustration of a pneumatic distributor of a conventional fluid supply device. Fig.

도 1을 참조하면 종래 유체 공급장치의 공압 분배기는, 에어가 공급되는 에어 공급라인(1)과, 상기 에어 공급라인(1)에 공급포트인 제1포트가 연결되며, 출력포트인 제2포트가 각각의 부하(3)에 연결되는 다수의 솔레노이드밸브(2)와, 상기 솔레노이드밸브(2)의 배기포트인 제3포트에 연결되어 상기 부하(3)의 공기를 외부로 배기하는 배기라인(4)과, 상기 에어 공급라인(1)에 마련된 에어공급밸브(5)로 구성된다.
Referring to FIG. 1, a conventional air supply device for a fluid supply device includes an air supply line 1 to which air is supplied, a first port which is a supply port to the air supply line 1, A plurality of solenoid valves 2 connected to respective loads 3 and an exhaust line connected to a third port serving as an exhaust port of the solenoid valve 2 for exhausting the air of the load 3 to the outside 4 and an air supply valve 5 provided in the air supply line 1.

이하, 상기와 같이 구성되는 종래 유체 공급장치의 공압 분배기의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the structure and operation of the pneumatic distributor of the conventional fluid supply apparatus constructed as above will be described in more detail.

먼저, 상기 솔레노이드밸브(2)는 2스위치 3포트 싱글 방식이며, 스위치의 상태에 따라서 상기 에어 공급라인(1)을 통해 공급되는 공기를 부하(3)로 공급하거나, 부하(3)측의 공기를 배기라인(4)을 통해 배출하도록 구성된다.First, the solenoid valve 2 is of a two-switch, three-port, single type, and supplies air supplied through the air supply line 1 to the load 3 or air Through the exhaust line (4).

상기 솔레노이드밸브(2)의 수는 필요에 따라 결정되는 것이며, 상기 부하(3)는 공기의 압력에 따라 개폐상태가 제어되는 공압밸브일 수 있다.
The number of the solenoid valves 2 may be determined as necessary, and the load 3 may be a pneumatic valve whose open / closed state is controlled according to the pressure of the air.

먼저, 에어공급밸브(5)가 열린 상태에서 상기 솔레노이드밸브(2)의 스위치가 제1상태일 때, 그 에어공급밸브(5)와 에어 공급라인(1)을 통해 공급된 에어를 부하(3)로 각각 공급하게 된다.First, when the switch of the solenoid valve 2 is in the first state while the air supply valve 5 is open, the air supplied through the air supply valve 5 and the air supply line 1 is supplied to the load 3 Respectively.

상기 솔레노이드밸브(2)를 통해 공기를 공급받은 부하(3)는 그 공기의 공급상태에 따라 특정한 제어를 수행하게 된다. 상기 부하(3)가 공압밸브인 경우 그 상태를 열린 상태로 변경하여 가스나 케미컬 등의 유체를 공급하는 상태로 전환된다.
The load 3 supplied with the air through the solenoid valve 2 performs specific control according to the supply state of the air. When the load 3 is a pneumatic valve, the state is changed to an opened state and the state is switched to a state of supplying a fluid such as gas or chemical.

이와 같은 상태에서 상기 솔레노이드밸브(2)의 스위치 상태가 제2상태로 전환되면, 상기 에어 공급라인(1)의 에어를 상기 부하(3)로 공급하는 동작을 중단하고, 이전 상태에서 상기 부하(3)에 공급된 에어를 상기 배기라인(4)을 통해 배기한다.In this state, when the switch state of the solenoid valve 2 is switched to the second state, the operation of supplying the air of the air supply line 1 to the load 3 is interrupted, 3) through the exhaust line (4).

이러한 배기에 따라 상기 부하(2)는 앞서 설명한 가스나 케이컬 등의 유체를 공급 중단하는 상태로 전환된다.
According to such exhaust, the load 2 is switched to a state in which the supply of the fluid such as the gas or the cable is stopped.

이처럼 종래 솔레노이드밸브(2)를 이용한 유체 공급장치의 공압 분배기는, 다수의 부하(3)에 에어를 공급하거나, 부하(3)에 공급된 에어를 외부로 배기함으로써 다수의 부하(3)를 동시에 제어할 수 있게 된다.
As described above, the conventional pneumatic distributor of the fluid supply device using the solenoid valve 2 can simultaneously supply a plurality of loads 3 by supplying air to the loads 3 or exhausting the air supplied to the loads 3 to the outside. It becomes possible to control.

그러나 종래 유체 공급장치의 공압 분배기는 솔레노이드밸브(2) 자체의 이상 또는 솔레노이드밸브(2)와 부하(3)를 연결하는 관의 파손에 의해 부하(3)에 공급되는 에어의 압력이 저하되어 부하(3)가 정상적으로 동작하지 않는 경우가 생길 수 있으며, 이를 검출할 특별한 수단이 없어 부하(3)의 동작 오류로 인한 가스나 케미컬 등의 공급이 중단될 수 있는 문제점이 있었다.
However, in the conventional pneumatic distributor of the fluid supply device, the pressure of the air supplied to the load 3 by the abnormality of the solenoid valve 2 itself or the tube connecting the solenoid valve 2 and the load 3 is lowered, There is a possibility that the load 3 may not operate normally and there is no special means for detecting the load 3, so that there is a problem that supply of gas or chemicals due to an operation error of the load 3 may be stopped.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 다수의 솔레노이드밸브의 이상 또는 솔레노이드밸브를 통해 부하에 에어를 공급하는 관로에 이상이 발생함을 검출할 수 있는 유체 공급장치의 공압 분배기를 제공함에 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a pneumatic distributor of a fluid supply device capable of detecting an abnormality in a plurality of solenoid valves or a conduit for supplying air to a load through a solenoid valve, .

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 유체 공급장치의 공압 분배기는, 에어를 공급하는 에어 공급관과, 상기 에어 공급관에 상호 병렬 연결되는 다수의 솔레노이드밸브와, 상기 솔레노이드밸브들의 각각에 공급관을 통해 연결되어, 상기 에어 공급관의 공기를 공급받는 다수의 부하와, 상기 솔레노이드밸브들에 연결되어 상기 부하들 각각에 공급된 에어를 외부로 배기하는 배기관과, 상기 공급관들 각각에 위치하여 공급관 내부 압력을 검출하여 유체 공급장치의 제어부에 전달하는 압력검출수단을 포함한다.
According to an aspect of the present invention, there is provided a pneumatic dispenser of a fluid supply apparatus including an air supply pipe for supplying air, a plurality of solenoid valves connected to the air supply pipe in parallel with each other, An exhaust pipe connected to the solenoid valves and exhausting the air supplied to each of the loads to the outside, and an exhaust pipe located in each of the supply pipes to detect a supply pipe internal pressure To the control unit of the fluid supply device.

본 발명 유체 공급장치의 공압 분배기는, 솔레노이드밸브들 각각과 부하를 연결하는 연결관에 설치되어 압력을 검출하는 압력스위치들을 포함하여, 솔레노이드밸브 각각의 이상 또는 연결관의 이상으로 인하여 부하에 공급되는 에어의 압력 저하에 따른 부하의 동작 상태를 확인할 수 있어, 부하의 오동작을 방지할 수 있는 효과가 있다.
The pneumatic distributor of the fluid supply device of the present invention includes pressure switches which are installed in connection pipes connecting the respective solenoid valves and the load to detect the pressure and are supplied to the load due to abnormality of each of the solenoid valves or abnormality of the connection pipe It is possible to confirm the operation state of the load in accordance with the air pressure drop, thereby preventing malfunction of the load.

도 1은 종래 유체 공급장치의 공압 분배기의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체 공급장치의 공압 분배기의 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a configuration diagram of a pneumatic distributor of a conventional fluid supply device. Fig.
2 is a configuration diagram of a pneumatic distributor of a fluid supply device according to a preferred embodiment of the present invention.

이하, 본 발명 유체 공급장치의 공압 분배기에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
Hereinafter, a pneumatic distributor of the fluid supply apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체 공급장치의 공압 분배기의 구성도이다.2 is a configuration diagram of a pneumatic distributor of a fluid supply device according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체 공급장치의 공압 분배기는, 에어를 공급하는 에어 공급관(10)과, 제1상태에서 상기 에어 공급관(10)을 통해 공급된 에어를 각각의 포트에 연결된 공급관(30)을 통해 부하(40)에 공급하는 다수의 솔레노이드밸브(20)와, 상기 공급관(30)의 압력을 검출하여 그 검출된 압력 정보를 유체 공급장치의 제어부(70)로 전달하는 압력검출수단(50)과, 상기 솔레노이드밸브(20)의 제2상태에서 상기 부하(40)에 공급된 에어를 외부로 배출하는 배기관(60)을 포함하여 구성된다.
2, the pneumatic distributor of the fluid supply device according to the preferred embodiment of the present invention includes an air supply pipe 10 for supplying air, and an air supply pipe 10 for supplying air supplied through the air supply pipe 10 in the first state, A plurality of solenoid valves 20 for supplying the load 40 with the supply pipe 30 connected to the port and a pressure sensor for detecting the pressure of the supply pipe 30 and supplying the detected pressure information to the control unit 70 of the fluid supply device And an exhaust pipe 60 for discharging the air supplied to the load 40 from the second state of the solenoid valve 20 to the outside.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유체 공급장치의 공압 분배기의 구성과 작용을 더 상세히 설명한다.
Hereinafter, the construction and operation of the pneumatic distributor of the fluid supply apparatus according to the preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 에어 공급관(10)에는 밸브(11)를 통해 외부에서 소정 압력의 에어가 공급되며, 상기 소정 압력의 에어는 상호 병렬 연결되어 있는 다수의 솔레노이드밸브(20)의 입력포트에 각각 공급된다.First, the air supply pipe 10 is supplied with air of a predetermined pressure from the outside through the valve 11, and the air of the predetermined pressure is supplied to the input ports of the plurality of solenoid valves 20 connected in parallel to each other.

상기 솔레노이드밸브(20)들은 각각 2스위치 3포트 싱글방식일 수 있으며, 제1상태에서 상기 에어 공급관(10)을 통해 공급된 에어를 공급관(30)을 통해 부하(40)로 공급하게 된다. 상기 부하(40)는 공압 밸브일 수 있으며, 에어의 공급에 따라 가스나 약액 등의 유체를 공급하는 동작을 하게 된다.
The solenoid valves 20 may be two-switch, three-port, single-mode, respectively. In the first state, the air supplied through the air supply pipe 10 is supplied to the load 40 through the supply pipe 30. The load 40 may be a pneumatic valve and operates to supply a fluid such as a gas or a chemical liquid according to the supply of air.

이때, 상기 공급관(30)들은 각각 하나의 솔레노이드밸브(20)와 하나의 부하(40)에 일대일로 대응하도록 마련되어 있으며, 그 공급관(30)들에는 압력검출수단(50)이 각각 마련되어 있다.At this time, the supply pipes 30 are provided so as to correspond to one solenoid valve 20 and one load 40 in a one-to-one correspondence, respectively, and pressure detecting means 50 is provided in the supply pipes 30.

즉, 솔레노이드밸브(20)의 수와 압력검출수단(50)이 동일한 수로 마련되어 있으며, 따라서 압력검출수단(50)이 설치된 공급관(30)과 그 공급관(30)이 연결되는 솔레노이드밸브(20)에 이상이 있는 것을 개별적으로 검출함이 가능하게 된다.
That is, the number of the solenoid valves 20 and the pressure detecting means 50 are set to the same number, so that the supply pipe 30 provided with the pressure detecting means 50 and the solenoid valve 20 connected to the supply pipe 30 It is possible to individually detect the abnormality.

상기 솔레노이드밸브(20)가 제1상태로 동작해야 하는 상태에서, 배기관(60)을 통해 배기하는 제2상태로 동작하거나, 동작 불능인 상태가 되는 이상이 발생하면, 상기 공급관(30)의 에어 압력은 부하(40)가 동작하기 위한 압력에 미치지 못하게 된다. When the solenoid valve 20 is operated in the first state and the second state in which the solenoid valve 20 is operated through the exhaust pipe 60 or an operation failure occurs, The pressure does not reach the pressure for the load 40 to operate.

또한 수지재 튜브인 공급관(30)이 손상된 경우에도 상기 솔레노이드밸브(20)를 통해 공급되는 상기 에어 공급관(10)의 에어가 외부로 누설되어 상기 부하(40)의 동작에 필요한 압력보다 더 낮은 압력이 된다.The air in the air supply pipe 10 supplied through the solenoid valve 20 leaks to the outside so that the pressure lower than the pressure required for the operation of the load 40 .

따라서 부하(40)가 제어와는 다르게 오동작하게 되며, 유체의 공급이 이루어지지 않을 수 있다.
Therefore, the load 40 may malfunction differently from the control, and the fluid may not be supplied.

상기 공급관(30)의 압력을 검출한 압력검출수단(50)의 검출신호는 유체 공급장치의 제어부(70)에 공급된다. 이때 제어부(70)는 현재 상태의 정상 압력인 제1기준압력과 상기 압력검출수단(50)의 검출압력을 비교하여, 그 검출압력이 낮을 때 알람을 발생시켜 관리자가 공압 분배기에 이상이 있음을 확인할 수 있도록 한다.The detection signal of the pressure detection means 50, which detects the pressure of the supply pipe 30, is supplied to the control unit 70 of the fluid supply device. At this time, the controller 70 compares the first reference pressure, which is the normal pressure of the current state, with the detection pressure of the pressure detecting means 50, generates an alarm when the detection pressure is low, So that it can be confirmed.

이때 상기 제어부(70)는 다수의 압력검출수단(50)에서 검출된 압력을 각각 제1기준압력과 비교하고, 이상이 있는 위치를 표시함으로써, 관리자가 이상이 있는 위치를 정확하게 인지하고 유지 보수를 할 수 있도록 하여, 유지 및 보수에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
At this time, the controller 70 compares the pressures detected by the plurality of pressure detecting means 50 with the first reference pressures, and displays the positions where the abnormalities are detected. Thus, So that the time required for maintenance and repair can be shortened.

상기 압력검출수단(50)은 압력계 또는 압력스위치를 사용할 수 있으며, 부하(40)에 공급되는 에어의 압력을 실시간으로 검출하여, 이상의 발생을 관리자가 즉시 인지할 수 있게 한다.
The pressure detecting means 50 can use a pressure gauge or a pressure switch and detects the pressure of the air supplied to the load 40 in real time so that the manager can immediately recognize the occurrence of the abnormality.

상기 솔레노이드밸브(20)가 제2상태로 전환되면, 상기 부하(40)에 공급된 에어를 상기 배기관(60)을 통해 외부로 배기하여 상기 부하(40)의 동작 상태를 변경하게 된다.When the solenoid valve 20 is switched to the second state, the air supplied to the load 40 is exhausted to the outside through the exhaust pipe 60 to change the operation state of the load 40.

이때에도 상기 솔레노이드밸브(20)에 이상이 발생한 경우 상기 부하(40)와 솔레노이드밸브(20)를 연결하는 공급관(30)의 압력을 압력검출수단(50)에 의해 검출되어 제어부(70)로 전달된다.
At this time, when an abnormality occurs in the solenoid valve 20, the pressure of the supply pipe 30 connecting the load 40 and the solenoid valve 20 is detected by the pressure detection means 50 and transmitted to the control unit 70 do.

솔레노이드밸브(20)가 제2상태로 동작할 때에는 상기 부하(40)에 공급되었던 에어가 공급관(30), 솔레노이드밸브(20) 및 배기관(60)을 통해 배기 되기 때문에 상기 압력검출수단(50)에서 검출되는 상기 공급관(30)의 내부 압력은 제2기준 압력에 비하여 더 낮아야 하는데, 상기 솔레노이드밸브(20)가 손상된 경우 그 공급관(30)의 에어가 외부로 배기 되지 못하여 높은 압력 상태가 유지된다.
When the solenoid valve 20 is operated in the second state, since the air supplied to the load 40 is exhausted through the supply pipe 30, the solenoid valve 20 and the exhaust pipe 60, When the solenoid valve 20 is damaged, the air in the supply pipe 30 can not be exhausted to the outside, and the high pressure state is maintained .

이처럼 배기상태에서 특정 압력검출수단(50)에서 검출된 압력이 제2기준 압력에 비하여 낮은 경우에도 알람을 발생시켜, 해당 위치의 솔레노이드밸브(20)에 이상이 발생함을 관리자에게 인지시키게 된다.
In this way, even when the pressure detected by the specific pressure detecting means 50 is lower than the second reference pressure in the exhaust state, an alarm is generated so that the manager is notified that an abnormality occurs in the solenoid valve 20 at that position.

상기와 같이 본 발명은 다수의 솔레노이드밸브(20)를 사용하는 공압 분배기에서, 그 솔레노이드밸브(20) 각각의 이상을 검출할 수 있음과 아울러 그 솔레노이드밸브(20)들 각각과 부하(40)들 각각을 연결하는 공급관(30)에 이상이 있음을 검출할 수 있어, 공압 분배기의 이상에 의해 유체 공급의 이상이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.
As described above, according to the present invention, in a pneumatic distributor using a plurality of solenoid valves 20, it is possible to detect an abnormality of each of the solenoid valves 20 and to detect the abnormality of each of the solenoid valves 20 and the loads 40 It is possible to detect that there is an abnormality in the supply pipe 30 connecting each of them, and it is possible to prevent the occurrence of an abnormality of the fluid supply due to the abnormality of the pneumatic distributor.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention will be.

10:에어 공급관 11:밸브
20:솔레노이드밸브 30:공급관
40:부하 50:압력검출수단
60:배기관 70:제어부10: air supply pipe 11: valve
20: Solenoid valve 30: Supply pipe
40: load 50: pressure detecting means
60: Exhaust pipe 70:

Claims (3)

에어를 공급하는 에어 공급관;
상기 에어 공급관에 상호 병렬 연결되는 다수의 솔레노이드밸브;
상기 솔레노이드밸브들의 각각에 공급관을 통해 연결되어, 상기 에어 공급관의 공기를 공급받는 다수의 부하;
상기 솔레노이드밸브들에 연결되어 상기 부하들 각각에 공급된 에어를 외부로 배기하는 배기관; 및
상기 공급관들 각각에 위치하여 공급관 내부 압력을 검출하여 유체 공급장치의 제어부에 전달하는 압력검출수단을 포함하는 유체 공급장치의 공압 분배기.
An air supply pipe for supplying air;
A plurality of solenoid valves mutually connected in parallel to the air supply pipe;
A plurality of loads connected to each of the solenoid valves through a supply pipe to receive air from the air supply pipe;
An exhaust pipe connected to the solenoid valves and exhausting the air supplied to each of the loads to the outside; And
And pressure detecting means for detecting a pressure inside the supply pipe and delivering the pressure to a control unit of the fluid supply unit, the pressure detection means being located in each of the supply pipes.
제1항에 있어서,
상기 압력검출수단은,
압력계 또는 압력스위치인 것을 특징으로 하는 유체 공급장치의 공압 분배기.
The method according to claim 1,
Wherein the pressure detecting means comprises:
Wherein the fluid supply device is a pressure gauge or a pressure switch.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 압력검출수단들 각각에서 검출된 압력을 기준압력과 비교하여 차이가 있는 경우 알람을 발생하되, 상기 압력검출수단들 중 이상이 있는 압력검출수단의 위치를 표시하는 것을 특징으로 하는 유체 공급장치의 공압 분배기.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein,
Wherein the pressure detecting means is configured to compare the pressure detected by each of the pressure detecting means with a reference pressure to generate an alarm when there is a difference and to indicate the position of the pressure detecting means having an abnormality among the pressure detecting means Pneumatic distributor.
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