KR101185032B1 - Nonstop gas supply control apparatus for semiconductor manufacturing equitments and control method of the same - Google Patents
Nonstop gas supply control apparatus for semiconductor manufacturing equitments and control method of the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR101185032B1 KR101185032B1 KR1020110081006A KR20110081006A KR101185032B1 KR 101185032 B1 KR101185032 B1 KR 101185032B1 KR 1020110081006 A KR1020110081006 A KR 1020110081006A KR 20110081006 A KR20110081006 A KR 20110081006A KR 101185032 B1 KR101185032 B1 KR 101185032B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- unit
- power
- cylinder cabinet
- power supply
- valve
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
Abstract
Description
본 발명은 가스 공급 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 실린더 캐비넷 타입의 가스 공급 시스템에서 전원 차단으로 인해 반도체 제조 설비로 가스 공급이 중단되는 것을 방지하여 제조 수율을 향상시키는 무정지 가스 공급 제어 장치 및 그의 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a gas supply device, and more particularly to a non-stop gas supply control device for improving the production yield by preventing the gas supply to the semiconductor manufacturing equipment due to the power interruption in the cylinder cabinet type gas supply system and its It relates to a control method.
일반적으로 반도체 기판은 사진, 확산, 식각, 증착 등의 다수의 일련 공정들을 반복 수행하여 반도체 소자로 제작된다. 이러한 각 공정을 수행하는 반도체 제조 설비에는 반도체 기판 상에 요구되는 가스를 공급하기 위한 가스 공급 시스템(gas supply system)이 필수적으로 설치되어 있다.In general, a semiconductor substrate is fabricated as a semiconductor device by repeatedly performing a plurality of series processes such as photography, diffusion, etching, and deposition. In a semiconductor manufacturing facility that performs each of these processes, a gas supply system for supplying a gas required on a semiconductor substrate is essentially installed.
가스 공급 시스템은 가스 공급원으로부터 공정 가스를 공급받아서 동일 또는 서로 다른 공정을 처리하는 복수 개의 반도체 제조 설비로 공정 가스를 공급한다. 이러한 가스 공급 시스템으로는 가스 공급원으로부터 공정 가스를 받아서 반도체 제조 설비로 분배하여 공급하는 밸브 매니폴드 박스(Valve Manifold Box : VMB) 또는 밸브 매니폴드 패널(Valve Manifold Pannel : VMP) 타입의 가스 분배 장치와, 공정 가스가 저장된 하나 이상의 가스 실린더(gas cylinder)를 구비하는 실린더 캐비넷(Cylinder Cabinet : CC) 또는 가스 캐비넷(Gas Cabinet : GC) 타입의 가스 공급 장치 등이 있다.The gas supply system supplies process gas to a plurality of semiconductor manufacturing facilities that receive process gas from a gas source and process the same or different processes. Such a gas supply system includes a valve manifold box (VMB) or a valve manifold panel (VMP) type gas distribution device that receives a process gas from a gas source and distributes the same to a semiconductor manufacturing facility. And a gas supply device of a cylinder cabinet (CC) or a gas cabinet (GC) type having one or more gas cylinders in which process gases are stored.
기존의 실린더 캐비넷(CC) 타입의 가스 공급 장치는 전원이 차단되거나 밸브 등의 오동작으로 이상이 발생되면, 가스 공급 장치를 제어하지 못하여 반도체 제조 설비로의 공정 가스의 공급이 중단되는 경우가 빈번히 발생된다. 그 결과, 공정 가스의 공급 중단으로 현재 진행 중인 반도체 제조 설비에서의 반도체 제조 공정이 중단되므로, 현재 처리 중인 반도체 기판이 손상되는 문제점이 있다. 이러한 문제점으로 인하여 반도체 제조 설비의 제조 수율이 저하된다.Conventional cylinder cabinet (CC) type gas supply device frequently stops the supply of process gas to semiconductor manufacturing equipment because the gas supply device cannot be controlled when the power is cut off or abnormality occurs due to a malfunction such as a valve. do. As a result, since the semiconductor manufacturing process in the semiconductor manufacturing facility currently in progress is stopped due to the supply of process gas, there is a problem that the semiconductor substrate currently being processed is damaged. Due to this problem, the manufacturing yield of semiconductor manufacturing equipment is lowered.
본 발명의 목적은 반도체 제조 설비로 안정적인 가스 공급을 제어하기 위한무정지 가스 공급 제어 장치 및 그의 제어 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a non-stop gas supply control apparatus and a control method thereof for controlling a stable gas supply to a semiconductor manufacturing facility.
본 발명의 다른 목적은 실린더 캐비넷 타입의 가스 공급 시스템을 제어하는 무정지 가스 공급 제어 장치 및 그의 제어 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a non-stop gas supply control apparatus and a control method thereof for controlling a gas supply system of a cylinder cabinet type.
본 발명의 또 다른 목적은 실린더 캐비넷 타입의 가스 공급 시스템의 전원 차단시에도 안정적인 가스 공급을 위한 무정지 가스 공급 제어 장치 및 그의 제어 방법을 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a non-stop gas supply control apparatus and a control method thereof for stable gas supply even when the cylinder cabinet type gas supply system is powered off.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치는 실린더 캐비넷 타입의 가스 공급 시스템에서의 전원 차단 시에도 안정적으로 공정 가스를 공급하도록 제어하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같은 무정지 가스 공급 제어 장치는 안정적인 공정 가스 공급을 유지하여, 반도체 제조 수율이 가능하고, 공정이 중단되는 것을 예방할 수 있다.In order to achieve the above objects, the non-stop gas supply control apparatus of the present invention is characterized in that it controls to supply process gas stably even when power is cut off in the cylinder cabinet type gas supply system. Such a non-stop gas supply control device maintains a stable process gas supply, and thus the semiconductor production yield can be prevented and the process can be prevented from being interrupted.
이 특징에 따른 무정지 가스 공급 제어 장치는 하나 이상의 반도체 제조 설비로 공정 가스를 공급하는 하나 이상의 실린더 캐비넷을 제어한다.A non-stop gas supply control device in accordance with this feature controls one or more cylinder cabinets that supply process gas to one or more semiconductor manufacturing facilities.
상기 무정지 가스 공급 제어 장치는, 상기 실린더 캐비넷의 내부에 설치되어 이상 발생 여부를 감지하는 하나 이상의 센서들과; 상기 실린더 캐비넷으로부터 상기 공정 가스를 상기 반도체 제조 설비로 공급하도록 개폐되는 하나 이상의 에어 밸브와; 상기 실린더 캐비넷의 전원을 공급하는 제 1 전원 공급부와; 상기 제 1 전원 공급부의 전원 공급 상태를 감지하는 전원 감지 회로와; 상기 제 1 전원 공급부로부터 상기 실린더 캐비넷의 전원이 차단되면, 상기 센서들로 전원을 공급하는 제 2 전원 공급부와; 상기 실린더 캐비넷의 전원 차단 시, 상기 에어 밸브의 개폐를 구동하는 밸브 구동 가스를 상기 에어 밸브로 공급하거나 차단하는 하나 이상의 솔레노이드 밸브와; 상기 솔레노이드 밸브를 개폐하도록 구동하는 밸브 구동부 및; 상기 센서들로부터 감지 신호를 받아서 상기 실린더 캐비넷의 이상 발생 여부를 모니터링하고, 상기 전원 감지 회로로부터 감지 신호를 받아서 상기 실린더 캐비넷의 전원이 차단되면, 상기 제 2 전원 공급부로부터 상기 센서들로 전원을 공급하도록 제어하고, 상기 솔레노이드 밸브를 개폐하도록 상기 밸브 구동부를 제어하는 제어부를 포함한다.The non-stop gas supply control device may include one or more sensors installed inside the cylinder cabinet and detecting whether an abnormality occurs; One or more air valves opened and closed to supply the process gas from the cylinder cabinet to the semiconductor manufacturing facility; A first power supply for supplying power to the cylinder cabinet; A power detection circuit detecting a power supply state of the first power supply unit; A second power supply unit supplying power to the sensors when the cylinder cabinet is disconnected from the first power supply unit; At least one solenoid valve for supplying or blocking a valve driving gas for driving the opening and closing of the air valve to the air valve when the cylinder cabinet is powered off; A valve driving unit which drives the opening and closing of the solenoid valve; Receiving a detection signal from the sensors to monitor the occurrence of abnormality in the cylinder cabinet, and receives a detection signal from the power detection circuit when the power of the cylinder cabinet is cut off, the power is supplied from the second power supply to the sensors And a control unit for controlling the valve driving unit to open and close the solenoid valve.
한 실시예에 있어서, 상기 센서는; 상기 실린더 캐비넷 내부에 설치되어 가스 누출을 감지하는 가스 누출 센서와; 상기 실린더 캐비넷 내부에 설치되어 온도를 감지하는 온도 센서 및; 상기 실린더 캐비넷 내부에 설치되어 화재 발생을 감지하는 빛(UV) 센서를 포함한다.In one embodiment, the sensor; A gas leak sensor installed inside the cylinder cabinet to detect a gas leak; A temperature sensor installed inside the cylinder cabinet and sensing a temperature; It is installed in the cylinder cabinet includes a light (UV) sensor for detecting the occurrence of fire.
다른 실시예에 있어서, 상기 무정지 가스 공급 제어 장치는; 상기 센서들과, 상기 전원 감지 회로로부터 감지 신호를 받아서 상기 제어부로 제공하고, 상기 제 2 전원 공급부로부터 공급되는 전원을 받아서 상기 센서들의 전원으로 제공하는 인터페이스부를 더 포함한다.In another embodiment, the non-stop gas supply control device; The sensor may further include an interface unit that receives a sensing signal from the power sensing circuit and provides the sensing signal to the controller, and receives the power supplied from the second power supply unit and provides the power to the sensors.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 무정지 가스 공급 제어 장치는; 상기 제 2 전원 공급부로부터 전원을 공급받고, 상기 실린더 캐비넷에서 상기 제 1 전원 공급부의 전원이 차단되면, 상기 제어부의 제어를 받아서 상기 인터페이스부를 통해 상기 센서들의 전원을 공급하도록 전환하는 전원 전환부를 더 포함한다.In still another embodiment, the non-stop gas supply control device; When the power is supplied from the second power supply unit, and the power supply of the first power supply unit is cut off in the cylinder cabinet, under the control of the controller further includes a power switching unit for switching to supply the power of the sensors through the interface unit do.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 무정지 가스 공급 제어 장치는; 상기 센서들 중 하나 이상을 선택하도록 하는 조작부와; 상기 조작부로부터 선택된 센서들에 대응되는 감지 신호를 상기 인터페이스부를 통해 받아들여서 디코딩하여 상기 제어부로 제공하는 선택부를 더 포함한다.In still another embodiment, the non-stop gas supply control device; An operation unit for selecting one or more of the sensors; The apparatus may further include a selector configured to receive a sense signal corresponding to the sensors selected from the manipulation unit, receive the decoding signal through the interface unit, and provide the decoding signal to the controller.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 무정지 가스 공급 제어 장치는; 상기 에어 밸브 각각에 대응하여 상기 무정지 가스 공급 제어 장치 내부에 설치되고, 상기 에어 밸브의 압력 변동을 감지하는 하나 이상의 압력 센서와; 상기 압력 센서로부터 감지된 압력 정보를 상기 제어부로 전달하는 압력 전달부를 더 포함한다.In still another embodiment, the non-stop gas supply control device; At least one pressure sensor installed in the non-stop gas supply control device corresponding to each of the air valves, and configured to sense a pressure change of the air valve; The apparatus may further include a pressure transmitting unit which transmits the pressure information sensed by the pressure sensor to the controller.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 무정지 가스 공급 제어 장치는; 상기 실린더 캐비넷의 전원 공급 상태와 이상 발생 여부와, 상기 무정지 가스 공급 제어 장치의 동작 상태와, 상기 압력 센서의 동작 상태 및, 상기 에어 밸브의 동작 상태를 나타내는 표시부와; 상기 제어부로부터 제어를 받아서 상기 표시부를 구동하는 표시 구동부를 더 포함한다.In still another embodiment, the non-stop gas supply control device; A display unit for indicating a power supply state and abnormality of the cylinder cabinet, an operating state of the non-stop gas supply control device, an operating state of the pressure sensor, and an operating state of the air valve; The display driver may further include a display driver configured to drive the display unit under control of the controller.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 하나 이상의 반도체 제조 설비로 공정 가스를 공급하는 하나 이상의 실린더 캐비넷을 제어하는 무정지 가스 공급 제어 장치의 제어 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 실린더 캐비넷의 전원이 차단되어도 무정지 가스 공급 제어 장치로부터 실린더 캐비넷의 일부 센서들로 전원을 공급하여 실린더 캐비넷의 동작 상태를 실시간으로 모니터링하고, 공정 가스를 현재 진행 중인 공정이 완료될 때까지 공급하도록 밸브 구동 가스를 공급한다.According to another feature of the invention, there is provided a control method of a non-stop gas supply control apparatus for controlling one or more cylinder cabinets for supplying process gas to one or more semiconductor manufacturing facilities. According to this method, even when the power of the cylinder cabinet is cut off, power is supplied from the non-stop gas supply control device to some sensors of the cylinder cabinet to monitor the operating state of the cylinder cabinet in real time, and the process gas to be completed can be completed. Supply the valve drive gas to supply until.
이 특징에 따른 무정지 가스 공급 제어 장치의 제어 방법은, 상기 실린더 캐비넷의 제 1 전원 공급부로부터 메인 전원을 공급하고, 상기 실린더 캐비넷의 전원이 차단되는 지를 모니터링한다. 상기 실린더 캐비넷에 상기 제 1 전원 공급부의 메인 전원이 차단되면, 상기 무정지 가스 공급 제어 장치의 제 2 전원 공급부로부터 상기 실린더 캐비넷의 화재, 가스 누출 및 온도를 감지하는 센서들로 보조 전원을 공급한다. 이어서 상기 실린더 캐비넷으로부터 상기 반도체 제조 설비로 상기 공정 가스를 공급하는 상기 실린더 캐비넷의 하나 이상의 에어 밸브로 밸브 구동 가스를 공급하여 상기 에어 밸브를 개방시킨다.In the control method of the non-stop gas supply control device according to this aspect, the main power is supplied from the first power supply of the cylinder cabinet, and the power supply of the cylinder cabinet is monitored. When the main power supply of the first power supply unit is cut off to the cylinder cabinet, auxiliary power is supplied from the second power supply unit of the non-stop gas supply control device to sensors for detecting fire, gas leakage and temperature of the cylinder cabinet. The air valve is then opened by supplying a valve drive gas to one or more air valves of the cylinder cabinet that supply the process gas from the cylinder cabinet to the semiconductor manufacturing facility.
한 실시예에 있어서, 상기 밸브 구동 가스를 공급하는 것은; 상기 무정지 가스 공급 제어 장치에 상기 에어 밸브에 대응하여 하나 이상의 솔레노이드 밸브를 구비하여, 상기 밸브 구동 가스를 상기 에어 밸브로 공급하도록 상기 솔레노이드 밸브를 개방시킨다.In one embodiment, supplying the valve drive gas; The non-stop gas supply control device is provided with one or more solenoid valves corresponding to the air valves to open the solenoid valves to supply the valve driving gas to the air valves.
상술한 바와 같이, 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치는 실린더 캐비넷의 전원 차단 시, 현재 진행 중인 공정이 중단되지 않도록 실린더 캐비넷의 센서들로 전원을 공급하고, 공정 가스를 공급하는 에어 밸브를 구동하는 밸브 구동 가스를 공급함으로써, 현재 처리 중인 반도체 기판을 처리 완료하도록 하여 제조 수율을 향상시킬 수 있다.As described above, the non-stop gas supply control apparatus of the present invention supplies power to the sensors of the cylinder cabinet so that the current process is not interrupted when the cylinder cabinet is powered off, and drives an air valve supplying the process gas. By supplying the valve driving gas, the semiconductor substrate currently being processed can be completed to improve the production yield.
또 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치는 실린더 캐비넷의 전원 차단 시, 공정 중단을 예방할 수 있다.In addition, the non-stop gas supply control apparatus of the present invention can prevent a process interruption when the cylinder cabinet is powered off.
또한 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치는 실린더 캐비넷의 전원 공급 차단, 단선 및 단락 등 부품 불량, 컨트롤러 및 제어 프로그램의 오류 등으로 인한 이상 발생 시에도 실린더 캐비넷의 에어 밸브들을 구동할 수 있으므로, 제조 수율을 향상시킬 수 있으며, 이로 인해 고객의 요구를 충족시킬 수 있다.In addition, the non-stop gas supply control apparatus of the present invention can drive the air valves of the cylinder cabinet even when an abnormality occurs due to component defects such as power supply cutoff, disconnection and short circuit of the cylinder cabinet, and errors in the controller and control program. It can be improved to meet customer's needs.
또한 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치는 조작부 및 선택부를 통해 센서 옵션을 선택할 수 있으므로, 제조사 및 제품 모델 등에 따른 다양한 종류의 실린더 캐비넷에 적용이 가능하다.In addition, the non-stop gas supply control apparatus of the present invention can select the sensor option through the operation unit and the selection unit, it can be applied to various kinds of cylinder cabinet according to the manufacturer and product model.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 실린더 캐비넷 타입의 가스 공급 시스템을 제어하는 무정지 가스 공급 제어 장치의 개략적인 구성을 도시한 블럭도;
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 실린더 캐비넷 타입의 가스 공급 시스템을 제어하는 무정지 가스 공급 제어 장치의 구성을 도시한 블럭도;
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 무정지 가스 공급 제어 장치의 상세한 구성을 도시한 블럭도;
도 4는 도 3에 도시된 제어부의 구성을 나타내는 회로도;
도 5는 도 3에 도시된 제 2 전원 공급부의 구성을 도시한 회로도;
도 6은 도 3에 도시된 전원 전환부의 구성을 도시한 회로도;
도 7은 도 3에 도시된 인터페이스부의 구성을 도시한 회로도;
도 8은 도 3에 도시된 압력 전달부의 구성을 도시한 회로도;
도 9는 도 3에 도시된 조작부 및 선택부의 구성을 도시한 회로도;
도 10은 도 3에 도시된 밸브 구동부의 구성을 도시한 회로도;
도 11은 도 3에 도시된 표시부 및 표시 구동부의 구성을 도시한 회로도;
도 12는 도 3에 도시된 실시예에 따른 가스 공급 제어를 설명하기 위한 일부 구성을 도시한 블럭도; 그리고
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 무정지 가스 공급 제어 장치의 외부 전면의 구성을 도시한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a non-stop gas supply control apparatus for controlling a gas supply system of a cylinder cabinet type according to a first embodiment of the present invention;
2 is a block diagram showing the configuration of a non-stop gas supply control apparatus for controlling a gas supply system of a cylinder cabinet type according to a second embodiment of the present invention;
3 is a block diagram showing a detailed configuration of the non-stop gas supply control device shown in FIGS. 1 and 2;
4 is a circuit diagram showing a configuration of a control unit shown in FIG. 3;
5 is a circuit diagram showing the configuration of a second power supply shown in FIG. 3;
FIG. 6 is a circuit diagram showing the configuration of the power switching unit shown in FIG. 3; FIG.
FIG. 7 is a circuit diagram showing the configuration of the interface unit shown in FIG. 3; FIG.
FIG. 8 is a circuit diagram showing the configuration of the pressure transmitting part shown in FIG. 3; FIG.
9 is a circuit diagram showing the configuration of an operation unit and a selection unit shown in FIG. 3;
FIG. 10 is a circuit diagram showing the configuration of the valve drive unit shown in FIG. 3; FIG.
FIG. 11 is a circuit diagram showing the configuration of a display unit and a display driver shown in FIG. 3;
12 is a block diagram showing some components for explaining gas supply control according to the embodiment shown in FIG. 3; And
FIG. 13 is a diagram illustrating a configuration of an outer front surface of the non-stop gas supply control apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.The embodiments of the present invention can be modified into various forms and the scope of the present invention should not be interpreted as being limited by the embodiments described below. The present embodiments are provided to enable those skilled in the art to more fully understand the present invention. Therefore, the shapes and the like of the components in the drawings are exaggerated in order to emphasize a clearer explanation.
이하 첨부된 도 1 내지 도 13을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 13.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 무정지 가스 공급 제어 장치의 개략적인 구성을 도시한 블럭도들이다.1 and 2 are block diagrams showing a schematic configuration of a non-stop gas supply control apparatus according to embodiments of the present invention.
도 1을 참조하면, 이 실시예의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 하나 이상의 반도체 제조 설비(20)로 공정 가스를 공급하는 실린더 캐비넷(Cylinder Cabinet : CC)(10)를 제어한다.Referring to FIG. 1, the non-stopping gas
실린더 캐비넷(10)은 동일한 공정 가스를 각각 저장하는 복수 개의 가스 실린더를 구비한다. 실린더 캐비넷(10)은 예를 들어, 2 개의 가스 실린더를 구비하고, 이들을 교대하여 공정 가스를 반도체 제조 설비(20)로 공급한다. 반도체 제조 설비(20)는 하나 이상이 구비되고, 각각은 동일한 공정 가스를 이용하여 동일한 반도체 제조 공정으로 반도체 기판을 처리한다.The
실린더 캐비넷(10)은 각각의 가스 실린더에 저장된 공정 가스를 공정 레시피에 대응하여 일정 압력 및 일정 유량을 조절하고, 반도체 제조 설비(20)로 공정 가스를 공급한다. 이를 위해 실린더 캐비넷(10)은 도 3에 도시된 바와 같이, 내부에 복수 개의 에어 밸브들을 포함하는 밸브 박스(13)와, 밸브 박스(13)의 제반 동작을 제어하는 CC 제어부(12)를 포함한다.The
또 실린더 캐비넷(10)에는 메인 전원을 공급하는 제 1 전원 공급부(11)와, 복수 개의 센서(14 ~ 19)들을 구비한다. 센서들은 에어 밸브들 각각의 압력을 측정하는 복수 개의 압력 센서(14)들을 포함한다. 또 센서들은 예를 들어, 빛(U/V), 가스 누출 및 온도 등을 감지하는 센서(15 ~17)들과, 비상 발생 상황을 외부로 알리는 비상 발생(EMO) 버튼(18)의 누름을 감지하고, 전원 공급 상태를 감지하는 전원 감지 회로(19) 등을 포함한다.In addition, the
그리고 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 CC 제어부(12) 및 센서(15 ~ 19)들과 연동해서 실린더 캐비넷(10)의 동작 상태를 실시간으로 모니터링하고, 실린더 캐비넷(10)의 전원 차단 시, 반도체 제조 설비(20)에서 현재 진행 중인 공정이 완료될 때까지 안정적으로 공정 가스를 공급하도록 제어한다. 예를 들어, 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 실린더 캐비넷(10)을 모니터링하는 중 메인 전원이 차단되면, 반도체 제조 설비(20)로 공정 가스의 공급이 중단될 수 있다. 이 때, 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 현재 진행 중인 공정이 완료될 때까지 보조 전원을 이용하여 실린더 캐비넷(10)의 화재, 가스 누출 및 온도 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급하고, 실린더 캐비넷(10)의 에어 밸브들을 구동하여 공정 가스를 반도체 제조 설비(20)로 공급하도록 제어한다.And the non-stop gas
다른 예로서, 도 2를 참조하면, 이 실시예의 무정지 가스 공급 시스템(100)은 동일한 공정 가스를 공급하는 하나의 실린더 캐비넷(10)으로부터 공정 가스를 공급받아서 하나 이상의 반도체 제조 설비(20)로 공정 가스를 분배하여 공급하는 밸브 매니폴드 박스(Valve Manifold Box : VMB)(30)를 더 구비한다. 이 경우에도 반도체 제조 설비(20)는 반도체 기판에 동일한 반도체 제조 공정을 처리한다.As another example, referring to FIG. 2, the non-stopping
따라서 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 도 1의 경우와 동일하거나 대체로 유사하게 구성하고, CC 제어부(12)와 연동해서 실린더 캐비넷(10)의 전원 차단 시에도 공정 가스를 공급하도록 제어한다.Therefore, the non-stop gas
이러한 제 1 및 제 2 실시예들에서의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 실린더 캐비넷(10)의 외부에 독립적으로 구비되지만, 실린더 캐비넷(10)의 내부에 제공될 수도 있다. 이 경우, 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 실린더 캐비넷(10)의 CC 제어부(12)와 병합될 수도 있다. 또 밸브 매니폴드 박스(30)의 내부에는 VMB 제어부(미도시됨)를 제공하고, 이들을 통해 상호 연동하여 실린더 캐비넷(10)의 제반 동작을 제어할 수도 있다.The non-stop gas
구체적으로 도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 무정지 가스 공급 제어 장치의 상세한 구성을 도시한 블럭도이고, 도 4 내지 도 13은 도 3에 도시된 무정지 가스 공급 제어 장치의 각 구성들에 대한 회로도들이다.Specifically, FIG. 3 is a block diagram illustrating a detailed configuration of the non-stop gas supply control apparatus shown in FIGS. 1 and 2, and FIGS. 4 to 13 are respective configurations of the non-stop gas supply control apparatus illustrated in FIG. 3. Circuit diagrams.
도 3을 참조하면, 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 하나 이상의 실린더 캐비넷(10)에 설치되어, 실린더 캐비넷(10)에서 전원 차단, 화재, 가스 누출 및 온도 상승 등으로 인한 이상 발생을 실시간으로 모니터링하고, 실린더 캐비넷(10)의 전원이 차단되면, 반도체 제조 설비(20)에서 현재 진행 중인 공정이 완료될 때까지 공정 가스를 반도체 제조 설비(20)로 공급하도록 제어한다. 이러한 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 복수 개의 실린더 캐비넷(10) 예를 들어, 약 8 개의 실린터 캐비넷(10)들을 동시에 제어 가능하다.Referring to FIG. 3, the non-stop gas
실린더 캐비넷(10)은 도 12에 도시된 바와 같이, 복수 개(예를 들어, 2 개)의 가스 실린더(CA, CB)를 구비한다. 각 가스 실린더(CA, CB)에는 반도체 제조 설비(20)로 공정 가스를 공급하거나 차단하기 위한 복수 개(예를 들어, 4 개)의 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들을 가스 공급 배관 상에 구비한다. 또 가스 실린더(CA, CB)들 각각에는 밸브 셔터(valve shutter)(VSA, VSB)를 더 구비한다. 이 밸브 셔터(VSA, VSB)들은 옵션(option)으로 제공될 수 있다.The
또 실린더 캐비넷(10)은 전원을 공급하는 제 1 전원 공급부(11)와, 복수 개의 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들을 구비하는 밸브 박스(13) 및, 공정 레시피에 대응하여 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들을 개폐하도록 밸브 박스(13)를 제어하는 CC 제어부(12)를 포함한다. 이러한 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)들은 밸브 구동 가스를 공급받아서 개방된다. 밸브 구동 가스는 예를 들어, 질소 가스(N2), 에어(air) 등을 포함한다.The
또 실린더 캐비넷(10)은 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 각각에 연결되어 압력을 감지하는 복수 개의 압력 센서(14)들과, 실린더 캐비넷(10)의 내부에서 빛(U/V), 가스 누출 및 온도를 각각 감지하는 빛 센서(15), 가스 누출 센서(16) 및, 온도 센서(17)를 포함한다. 또 실린더 캐비넷(10)은 비상 발생 상황을 외부로 알리도록 하는 비상 발생 버튼(18)과, 전원 공급 상태를 감지하는 전원 감지 회로(19)를 포함한다.In addition, the
이러한 실린더 캐비넷(10)은 가스 실린더(CA, CB)들을 교대하여 반도체 제조 설비(20)로 공정 가스를 공급한다. 실린더 캐비넷(10)은 정상 동작 시, 제 1 전원 공급부(11)로부터 전원을 공급받고, CC 제어부(12)의 제어를 받아서 공정 가스를 반도체 제조 설비(20)로 공급한다. 그러나 실린더 캐비넷(10)은 제 1 전원 공급부(11)로부터 전원이 차단되면, 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)로부터 전원 및 제어를 받아서 현재 진행 중인 반도체 제조 공정을 완료할 수 있도록 공정 가스를 반도체 제조 설비(20)로 공급한다.The
이를 위해 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 제어부(110)와, 제 2 전원 공급부(150)와, 인터페이스부(130)와, 전원 전환부(120)와, 압력 전달부(140)와, 선택부(170)와, 조작부(160)와, 복수 개의 솔레노이드 밸브(200)들과, 밸브 구동부(180)와, 표시부(210) 및, 표시 구동부(190)를 포함한다. 또 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 몸체를 형성하는 케이스(도 13의 102) 내부에 제 2 전원 공급부(150), 제어부(110), 인터페이스부(130), 전원 전환부(120), 압력 전달부(140), 선택부(170), 조작부(160), 밸브 구동부(180) 및 표시 구동부(190)가 장착된 제어 보드(PLC)(미도시됨)를 설치하고, 케이스(102) 외부 일측(예컨대, 전면)에 다수의 표시부(210, 도 14의 212 ~ 218, 142, 182)가 설치된다. 또 가스 공급 제어 장치(100)는 케이스(102) 전면에 알람 버튼(185b), 리셋 버튼(185c) 및 회로 보호기(circuit protector)(104) 또는 배선 차단기(circuit breaker) 등이 설치된다.To this end, the non-stop gas
따라서 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 기존의 다양한 종류의 실린더 캐비넷(10)의 제조사, 제품 모델 등에 관계없이 독립적인 유닛(Self Holding Unit : SHU)으로 구비함으로써, 설치 및 적용이 용이하다.Therefore, the non-stop gas
다시 도 3을 참조하면, 제 2 전원 공급부(150)는 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 전원을 공급한다. 제 2 전원 공급부(150)는 실린더 캐비넷(10)의 제 1 전원 공급부(11)로부터 전원이 차단되면, 제어부(110)의 제어를 받아서 실린더 캐비넷(10)의 이상 발생 여부를 감지하는 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급하는 보조 전원 공급부로서 작용한다. 이는 제 1 전원 공급부(11)의 전원이 차단되어도 실린더 캐비넷(10)에서 현재 진행 중인 반도체 제조 공정에 따른 공정 가스의 공급을 유지할 때, 실린더 캐비넷(10)에서 화재, 가스 누출, 온도 상승 등의 이상이 발생되는 것을 감지하기 위함이다.Referring back to FIG. 3, the second
구체적으로 제 2 전원 공급부(150)는 도 5에 도시된 바와 같이, AC 전원을 공급받아서 DC 전원으로 출력하는 전원 공급부(SMPS)(152)와, 전원 공급부(152)로부터 DC 전원(24V)을 받아서 일정 레벨의 DC 전원(VCC)으로 출력하는 DC/DC 컨버터(154) 및, DC/DC 컨버터(154)로부터 출력되는 DC 전원(VCC)을 일정 전압 및 전류의 전원(VDD)으로 출력하는 레귤레이터(Low Dropout regulator)(156)를 포함한다.Specifically, as shown in FIG. 5, the second
또 제 2 전원 공급부(150)는 과전류를 차단하는 휴즈(F1)와, 휴즈(F1)와 출력단 사이에 구비되어 안정적인 전압을 공급하도록 상호 병렬로 연결되는 복수 개의 캐패시터(C1 ~ C11)들을 포함한다. 이러한 제 2 전원 공급부(150)는 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 전원을 공급하고, 실린더 캐비넷(10)의 제 1 전원 공급부(11)로부터 전원이 차단되면, 제어부(110)의 제어를 받아서 실린더 캐비넷(10)의 일부 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급한다.In addition, the second
도 3 및 도 6을 참조하면, 전원 전환부(120)는 제 2 전원 공급부(150)와 제어부(110) 사이에 구비된다. 전원 전환부(120)는 실린더 캐비넷(10)의 제 1 전원 공급부(11)로부터 전원 공급에 이상이 발생 즉, 차단되면, 실린더 캐비넷(10)으로부터 현재 진행 중인 공정이 완료될 때까지 공정 가스를 공급하도록 하기 위하여, 제어부(110)의 제어를 받아서 제 2 전원 공급부(150)로부터 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급하도록 전환한다.3 and 6, the
전원 전환부(120)는 제 2 전원 공급부(150)로부터 전원(VCC)을 공급받고, 제어부(110)로부터 제어 신호(PS1, PS2)를 받아서 인터페이스부(130)를 통해 실린더 캐비넷(10)의 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급하도록 전환한다. 즉, 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 제 1 전원 공급부(26)로부터 실린더 캐비넷(10)으로 전원 공급 중 전원이 차단되면, 전원 감지 회로(19)를 통해 이를 감지하고, 이 감지 신호(PW)를 인터페이스부(130)를 통해 제어부(110)로 제공한다. 이 때, 전원 전환부(120)는 제어부(110)로부터 제 2 전원 공급부(150)의 전원을 실린더 캐비넷(10)의 센서(15 ~ 17)들로 공급하도록 하는 제어 신호(PS1, PS2)를 받아서 제 2 전원 공급부(150)로부터 실린더 캐비넷(10)의 일부 센서(15 ~ 19)들로 전원(S_PWR)을 공급하도록 전환한다.The
이러한 전원 전환부(120)는 제 1 내지 제 5 릴레이 회로(RLY1 ~ RLY5)와, 제 1 및 제 2 디지털 논리 게이트(122a, 122b)를 포함하는 하나의 이중 주변 드라이버(dual peripheral driver)(122)와, 복수 개의 다이오드(D1, D2)들 및 복수 개의 저항(R2 ~ R6)들을 포함한다.The
제 1 및 제 2 릴레이 회로(RLY1, RLY2)와, 제 3 및 제 4 릴레이 회로(RLY3, RLY4) 각각은 상호 병렬로 연결된다. 제 3 및 제 4 릴레이 회로(RLY3, RLY4) 각각은 입력단이 제 1 디지털 논리 게이트(122a)의 출력단에 각각 연결되고, 출력단이 제 1 및 제 2 릴레이 회로(RLY1, RLY2)의 출력단에 연결된다. 그리고 제 5 릴레이 회로(RLY5)는 입력단이 제 2 디지털 논리 게이트(122b)의 출력단에 연결되고, 출력단이 제 1 및 제 2 릴레이 회로(RLY1, RLY2)의 입력단에 연결된다. 이중 주변 드라이버(122)는 컨트롤러(110)로부터 제 L1 및 제 2 디지털 논리 게이트(122a, 122b)의 입력단 각각으로 약 5 V의 디지털 입력 신호 즉, 제 2 전원 공급부(150)로부터 전원을 공급시키는 제어 신호(PS1, PS2)를 받아서 제 1 내지 제 5 릴레이 회로(RLY1 ~ RLY5)에 전달한다.The first and second relay circuits RLY1 and RLY2 and the third and fourth relay circuits RLY3 and RLY4 are connected in parallel with each other. Each of the third and fourth relay circuits RLY3 and RLY4 has an input terminal connected to an output terminal of the first
따라서 전원 전환부(120)는 인터페이스부(130)로부터 전원 공급 상태에 따른 감지 신호(MC_PWR)를 받아서 제 1 전원 공급부(26)의 전원이 정상 상태로 공급되면, 컨트롤러(110)의 제어 신호(PS1, PS2)에 응답해서 제 1 및 제 2 릴레이 회로(RLY1, RLY2)에 의해 제 2 전원 공급부(150)의 전원이 공급되지 않도록 하고, 인터페이스부(130)로부터 감지 신호(MC_PWR)를 받아서 제 1 전원 공급부(26)의 전원이 차단되면, 컨트롤러(110)의 제어 신호(PS1, PS2)에 응답해서 제 3 및 제 4 릴레이 회로(RLY3, RLY4)에 의해 제 2 전원 공급부(150)로부터 센서(28)들로 전원(S_PWR)이 공급되도록 전환되어 인터페이스부(130)로 제공한다.Therefore, when the
도 3 및 도 7을 참조하면, 인터페이스부(130)는 실린더 캐비넷(10)과 무정지 가스 공급 제어 장치(100) 간에 신호 전송 및 전원 공급을 처리한다. 이를 위해 인터페이스부(130)는 커넥터로 구비되며, 커넥터와 선택부(170) 사이에 복수 개의 다이오드(D3 ~ D9)들과 하나의 저항(R7)이 구비된다.3 and 7, the
인터페이스부(130)는 실린더 캐비넷(10)에 구비되는 복수 개의 센서(15 ~ 19)들과 전기적으로 연결되고, 센서(15 ~ 19)들로부터 다양한 감지 정보 예를 들어, 화재 감지용 빛(UV), 가스 누출, 온도, 비상 발생 버튼(18) 입력 및 전원 공급 상태, CC 제어부(12)의 회로 연결 상태에 따른 감지 신호를 받아서 선택부(170)로 제공한다.The
즉, 인터페이스부(130)는 CC 제어부(12), 센서(15 ~ 17)들, 비상 발생 버튼(18) 및 전원 감지 회로(19)와 전기적으로 연결되어 감지 신호(UV_S, LEAK_S, H/T, EMO, MC_POWER, S_POWER)를 받아들이고, 감지 신호(UV_S, LEAK_S, H/T, EMO, MC_POWER, S_POWER)를 선택부(170)로 제공한다. 인터페이스부(130)는 실린더 캐비넷(10)의 CC 제어부(12)의 단락 및 쇼트 상태에 따른 감지 신호(PLC_IN)를 받아서 선택부(170)로 제공한다. 또 인터페이스부(130)는 전원 전환부(120)에 의해 제 2 전원 공급부(150)로부터 공급되는 전원을 받아서 실린더 캐비넷(10)의 일부 센서(15 ~ 17)들의 전원으로 제공한다.That is, the
도 3 및 도 8을 참조하면, 압력 전달부(140)는 실린더 캐비넷(10)의 압력 센서(14)들과 전기적으로 연결되어, 각 압력 센서(14)들로부터 각 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)의 압력에 대응하는 감지 신호(VS2A, VS3A, VS2B, VS3B)를 받아서 제어부(110)로 전달한다. 여기서 압력 센서(14)들은 무정지 가스 공급 제어 장치(20)의 내부에 구비되어, 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)의 압력을 감지하여 공정 가스의 공급 여부를 판별한다. 이 실시예에서 압력 센서(14)들은 도 12에 도시된 바와 같이, 솔레노이드 밸브(200)들과 하나의 블럭으로 구성되어, 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들의 압력을 각각 감지한다.3 and 8, the
또 압력 전달부(140)는 가스 실린터(CA, CB)를 개폐하는 밸브 셔터(VSA, VSB)의 압력에 대응하는 감지 신호(VST1, VST2)를 받아서 제어부(110)로 전달한다.In addition, the
구체적으로 압력 전달부(140)는 압력 센서(14 : 14a ~ 14f)들로부터 감지 신호를 받아서 압력 센서(14a ~ 14f)들의 동작 상태를 표시하는 복수 개의 발광 다이오드(142 : LED1 ~ LED6)들과, 압력 센서(14a ~ 14f)들로부터 감지 신호(VS2A, VS3A, VS2B, VS3B, VST1, VST2)를 받아서 제어부(110)로 전달하는 제 1 및 제 2 입력 모듈(144, 146)을 포함한다. 제 1 및 제 2 입력 모듈(144, 146)들 각각은 4 개의 채널과 2 개의 채널을 갖는 AC-DC 입력 모듈로 구비된다.In detail, the
제 1 입력 모듈(144)은 제 1 내지 제 4 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들의 압력을 감지하는 제 1 내지 제 4 압력 센서(14a ~ 14d)들로부터 감지 신호(VS2A, VS3A, VS2B, VS3B)를 받아서 디코딩하여 제어부(110)로 전달한다.The
제 2 입력 모듈(144)은 제 1 내지 제 2 밸브 셔터(VSA, VSB)들의 압력을 감지하는 제 5 및 제 6 압력 센서(14e, 14f)들로부터 감지 신호(VST1, VST2)를 받아서 디코딩하여 제어부(110)로 전달한다. 이러한 압력 전달부(140)는 밸브 셔터가 없는 실린더 캐비넷의 경우, 제 2 입력 모듈(146)은 제거될 수 있다.The
도 3 및 도 9를 참조하면, 조작부(160)는 센서(15 ~ 17)들 중 하나 이상의 센서 기능을 선택하는 딥 스위치(DIP switch)로 구비되고, 선택부(170)의 입력단에 전기적으로 연결된다. 즉, 조작부(160)는 실린더 캐비넷(10)의 센서 옵션에 따른 하나 이상의 센서 기능을 선택한다. 예컨대, 조작부(160)는 딥 스위치를 이용하여 실린더 캐비넷(10)의 빛, 가스 누출 및 온도 센서(15 ~ 17)들 중 하나 이상을 선택할 수 있다.3 and 9, the
선택부(170)는 센서(15 ~ 17)들 중 조작부(160)에 의해 선택된 센서 기능에 따라 제공되는 감지 신호(UV_S, LEAK_S, H/T)를 인터페이스부(130)를 통해 받아들이고, 이를 디코딩(UV, LEAK, HT)하여 제어부(110)로 제공한다. 또 선택부(170)는 비상 발생 버튼(18)이 눌러지면, 이에 대응하는 감지 신호(EMO)를 인터페이스부(130)를 통해 받아서 디코딩하고, 디코딩된 감지 신호(EMO)를 제어부(110)로 제공한다. 또 선택부(170)는 전원 감지 회로(19)와 센서(15 ~ 17)들로부터 전원 차단이 감지되면, 이에 대응하는 감지 신호(MC_PWR, S_PWR)를 인터페이스부(130)를 통해 받아서 디코딩하고, 디코딩된 감지 신호(PW)를 컨트롤러(110)로 제공한다.The
이를 위해 선택부(170)는 감지 신호들을 디코딩하여 제어부(110)로 제공하는 디코더(178)와, 디코더(178)의 입력단에 연결되는 제 3 내지 제 5 입력 모듈(172 ~ 176)과, 복수 개의 저항(R8 ~ R13)들 및 복수 개의 다이오드(D10 ~ D13)들을 포함한다.To this end, the
제 3 입력 모듈(172)은 하나의 채널을 갖는 릴레이 소자로 구비되며, 인터페이스부(130)를 통해 실린더 캐비넷(10)의 전원 공급 상태에 따른 감지 신호(MC_PWR)를 받아서 디코더(178)로 제공(CC_POWER)한다.The
제 4 입력 모듈(174)은 4 개의 채널을 갖는 릴레이 소자로 구비되며, 조작부(160)에 의해 선택된 센서 기능에 따른 감지 신호(UV_S, LEAK_S, H/T)들을 인터페이스부(130)를 통해 받아들여서 디코더(178)로 제공한다. 또 제 4 입력 모듈(174)은 각 센서(15 ~ 17)들의 전원 공급 상태에 따른 감지 신호(S_PWR)를 받아서 디코더(178)로 제공한다. 또 제 4 입력 모듈(174)은 인터페이스부(130)를 통해 CC 제어부(12)의 단락 및 쇼트 상태를 판별하기 위한 감지 신호(PLC_IN)를 받아서 CC 제어부(12)의 이상 유무에 따른 감지 신호(PLC_Fault)를 제어부(110)로 제공한다.The
제 5 입력 모듈(176)은 하나의 채널을 갖는 릴레이 소자로 구비되며, 실린더 캐비넷(10)에서 비상 발생 버튼(18)이 눌러지면, 인터페이스부(130)를 통해 이에 대응하는 감지 신호(EMO)를 받아서 디코더(178)로 제공한다.The
그리고 디코더(178)는 예를 들어, 마이크로컨트롤러, PLD(Programmable Logic Device) 또는 다수의 논리 게이트를 이용하여 프로그램 가능한 로직 회로(gate array logic) 등으로 구비된다. 디코더(178)는 선택부(160)에 의해 선택된 센서 기능들에 대응하여 제 3 내지 제 5 입력 모듈(172 ~ 176)로부터 각종 감지 신호(CC_POWER, UV_S, LEAK_S, H/T, EMO)를 받아서 디코딩하고, 디코딩된 감지 신호(UV, LEAK, HT, EMO, PW)들을 제어부(110)로 제공한다. 이에 제어부(110)는 선택부(170)로부터 제공되는 다양한 감지 신호(UV, LEAK, HT, EMO, PW)를 받아서 실린더 캐비넷(20)의 동작을 모니터링한다.The
도 3 및 도 10을 참조하면, 밸브 구동부(180)는 복수 개의 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)로 밸브 구동 가스를 공급하도록 솔레노이드 밸브(200)들을 구동한다. 솔레노이드 밸브(200)들은 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)에 대응하여 복수 개가 구비된다.3 and 10, the
이러한 솔레노이드 밸브(200)들은 밸브 구동부(180)에 의해 실린더 캐비넷(20)의 밸브 박스(13)가 반도체 제조 설비(20)로 공정 가스를 공급하도록 하기 위하여, 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)를 구동하는 밸브 구동 가스(예를 들어, 질소 가스, 에어 등)를 각각의 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)로 공급한다.These
따라서 밸브 구동부(180)는 제어부(110)의 제어를 받아서 솔레노이드 밸브 (200)들을 개폐한다. 즉, 밸브 구동부(180)는 밸브 박스(13)의 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)들을 선택적으로 개폐하기 위하여 솔레노이드 밸브(200)들을 선택적으로 개폐한다.Therefore, the
구체적으로 밸브 구동부(180)는 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)들의 개폐 상태를 표시하는 복수 개의 발광 다이오드들(182 : LED7 ~ LED12)과, 제어부(110)의 제어를 받아서 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)들을 개폐시키는 드라이버(driver IC)(184)와, 제어부(110)로부터 제어 신호를 받아서 드라이버(184)로 전달하는 제 6 및 제 7 입력 모듈(186, 188)을 포함한다. 또 밸브 구동부(180)는 램프(185a), 알람 버튼(185b), 리셋 버튼(185c)과 전기적으로 연결하기 위한 커넥터(183)와, 알람 버튼(185b), 리셋 버튼(185c)으로부터 스위칭 신호(SW)를 받아서 제어부(110)로 전달하는 제 8 입력 모듈(189) 및 부저(BZ1)을 더 포함한다.In detail, the
드라이버(184)는 제어부(110)로부터 제어 신호(V3A, V2A, V3B, V2B, VS1, VS2)를 제 6 및 제 7 입력 모듈(186, 188)을 통해 받아서 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)들 각각의 개폐를 구동한다. 또 드라이버(184)는 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)들의 개폐 상태에 대응하여 발광 다이오드(182)들을 구동하고, 알람 버튼(185b)이 눌러지면 제어부(110)로부터 제어 신호(LAMP, BZ)를 받아서, 외부로 알람 발생을 알리도록 램프(185a) 및 부저(BZ1)를 구동한다.The
도 3 및 도 4를 참조하면, 제어부(110)는 인터페이스부(130)와 압력 전달부(140)로부터 제공되는 다양한 감지 정보를 받아서 실린더 캐비넷(10)의 동작 상태를 실시간으로 모니터링하고, 실린더 캐비넷(10)에서 전원이 차단되면, 인터페이스부(110)를 통해 일부 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급하여 실린더 캐비넷(10)의 이상 발생 여부를 모니터링하고, 현재 진행 중인 공정이 완료될 때까지 안정적인 공정 가스 공급을 위해 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들 및 밸브 셔터(VSA, VSB)들의 구동을 제어한다.3 and 4, the
구체적으로, 제어부(110)는 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 제반 동작을 제어하는 컨트롤러(112)와, 컨트롤러(112)로부터 제어 신호를 받아서 밸브 구동부(180)를 제어하는 제어 신호(V3A, V2A, V3B, V2B, VS1, VS2, LAMP, BZ)를 출력하는 인버터(114)를 포함한다. 또 제어부(110)는 컨트롤러(112)의 내부 메모리(미도시됨)에 제어 프로그램을 기입하기 위한 커넥터(programmable port)(116)와, 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 제어 보드에 대한 단락 및 쇼트 상태를 감지하는 단락 감지 회로(118)를 더 포함한다.In detail, the
컨트롤러(112)는 예컨대, 마이크로컨트롤러, 마이크로프로세서 또는 마이크로 컨트롤 유닛(MCU) 등으로 구비된다. 컨트롤러(112)는 내부에 프로그램 가능한 메모리(미도시됨)를 구비하여 제어 프로그램을 저장한다. 따라서 컨트롤러(112)는 제어 프로그램에 의해 본 발명에 따른 가스 공급 제어 수순을 처리한다.The
컨트롤러(112)는 실린더 캐비넷(10)의 동작 상태를 모니터링하기 위하여 다양한 센서(14 ~ 19)들로부터 압력 전달부(140), 인터페이스부(130) 및 선택부(170)를 통해 다양한 감지 정보를 받아서 전원 전환부(120)와 밸브 구동부(180) 및 표시 구동부(190)를 제어한다.The
즉, 컨트롤러(112)는 압력 전달부(140)로부터 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들과 밸브 셔터(VSA, VSB)들의 압력에 대한 감지 신호(VS2A, VS3A, VS2B, VS3B, VST1, VST2)를 받아서 밸브 압력을 모니터링한다. 이는 실린더 캐비넷(10)의 가스 실린더(CA, CB)에서 가스 저장 용량에 따라 압력 변화가 발생되므로, 실시간으로 압력 변화를 모니터링할 필요가 있기 때문이다. 따라서 컨트롤러(112)는 압력 센서(14)들을 이용하여 밸브 압력을 모니터링하는 중에 밸브 불량, 유량 변화 등으로 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들과 밸브 셔터(VSA, VSB)들의 압력이 변동되면, 일정 압력을 유지하도록 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들과 밸브 셔터(VSA, VSB)들을 제어할 수 있다.That is, the
컨트롤러(112)는 빛, 가스 누출 및 온도 센서(15 ~ 17)와, 비상 발생 버튼(18) 및 전원 감지 회로(19)로부터 출력되는 감지 신호를 선택부(170)를 통해 받아서 실린더 캐비넷(10)의 이상 발생 여부를 판별한다. 예컨대, 컨트롤러(112)는 선택부(170)로부터 CC 제어부(12)의 전원 공급 상태에 따른 감지 신호(PW)를 받아서, 제 1 전원 공급부(11)의 전원이 차단되면, 전원 전환부(120)로 제어 신호(PS1, PS2)를 출력하여 제 2 전원 공급부(150)로부터 일부 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급하도록 제어한다.The
컨트롤러(112)는 빛, 가스 누출 및 온도 센서(15 ~ 17)의 동작 상태와, 비상 발생 버튼(18)의 입력 상태와, 제 1 및 제 2 전원 공급부(11, 150)의 전원 공급 상태 및 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 동작 상태를 표시하도록 표시 구동부(190)로 제어 신호(UV, LEAK, HT, EMO, P1, P2, RUN)를 출력한다.The
또 컨트롤러(112)는 선택부(170)를 통해 CC 제어부(12)의 단락 및 쇼트 상태에 대한 감지 신호(PLC_Fault)를 받아서 CC 제어부(12)와 다수의 커넥터 및 연결 케이블 등의 배선 결함 여부를 모니터링한다. 또 컨트롤러(112)는 단락 감지 회로(118)로부터 감지 신호(PLC_Fault_NU)를 받아서 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 제어 보드와 다수의 커넥터 및 연결 케이블 등에 대한 배선 결함 여부를 모니터링한다. 또 컨트롤러(112)는 알람 버튼(185b) 및 리셋 버튼(185c)으로부터 스위칭 신호(SW)를 받아서 램프(185a) 및 부저(BZ1)를 구동하도록 인버터(114)를 제어한다. 이에 응답해서 인버터(114)는 밸브 구동부(180)로 제어 신호(LAMP, BZ)를 출력한다.In addition, the
인버터(114)는 초기 상태에서 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B) 및 밸브 셔터(VSA, VSB)의 구동을 방지한다. 인버터(114)는 컨트롤러(112)의 제어를 받아서 밸브 구동부(180)로 제어 신호(V3A, V2A, V3B, V2B, VS1, VS2, LAMP, BZ)를 출력한다.The
따라서 제어부(110)는 실린더 캐비넷(10)에서 전원이 차단되면, 전원 전환부(120)를 제어하여 실린더 캐비넷(10)의 일부 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급하도록 제어하여 현재 진행 중인 공정이 완료될 때까지 반도체 제조 설비(20)로 공정 가스를 공급하도록 제어한다.Therefore, when the power is cut off in the
그리고 도 3 및 도 11을 참조하면, 표시부(210)는 예를 들어, 복수 개의 발광 다이오드(LED), 액정 표시(LCD) 장치 등으로 구비되며, 일정 압력이 유지되는지를 확인할 수 있는 압력 정보와, 센서(14 ~ 19)들의 동작 상태를 나타내는 센서 상태 정보와, 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 동작 상태를 나타내는 동작 정보 및, 각종 밸브들의 개폐 상태를 나타내는 밸브 개폐 정보 등을 표시한다.3 and 11, the
표시 구동부(190)는 제어부(110)의 제어를 받아서, 다양한 정보들을 표시하도록 표시부(210)를 구동한다. 즉, 표시 구동부(190)는 컨트롤러(112)로부터 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 동작 상태에 따른 제어 신호(RUN)와 실린더 캐비넷(10)의 전원 공급 상태에 따른 제어 신호(P1, P2)와, 선택부(170)로부터 빛, 가스 누출, 온도 센서(15 ~ 17)들과 비상 발생 버튼(18)의 동작 상태에 따른 다양한 감지 신호에 대응하는 제어 신호(UV, LEAK, HT, EMO)를 받아서 해당 정보를 나타내도록 표시부(210)를 구동한다.The
표시부(210)는 이 실시예에서 복수 개의 발광 다이오드(LED13 ~ LED19 : 도 14의 218)들로 구비되고, 표시 구동부(190)에 의해 각 발광 다이오드(LED13 ~ LED19)들 각각이 해당 정보를 표시하도록 구동된다. 이 실시예에서 표시부(210)는 제 1 내지 제 7 발광 다이오드(LED13 ~ LED19)들을 포함한다. 제 1 발광 다이오드(LED13)는 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 동작 상태를 나타낸다. 즉, 제 1 발광 다이오드(LED13)는 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 정상 동작 시 점멸되고, 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 동작 오류 시, 항상 온이나 오프된다. 제 2 발광 다이오드(LED14)는 제 1 전원 공급부(11)로부터 실린더 캐비넷(10)의 전원이 공급되면 온(on) 된다. 제 3 발광 다이오드(LED15)는 제 1 전원 공급부(11)의 전원이 차단되고, 제 2 전원 공급부(150)로부터 실린더 캐비넷(10)의 일부 센서(15 ~ 17)들의 전원이 공급되면 온 된다. 즉, 제 3 발광 다이오드(LED15)는 제 2 발광 다이오드(LED14)가 오프될 때, 온 된다. 제 4 내지 제 6 발광 다이오드(LED16 ~ LED18)들 각각은 빛 센서(15), 가스 누출 센서(16) 및 온도 센서(17) 각각이 동작 시 즉, 빛(UV) 감지, 가스 누출 감지, 온도 상승 등 이상 상황이 발생되면 온 된다. 또 제 7 발광 다이오드(LED19)는 비상 발생 버튼(18)이 눌러지면 온 된다.The
또 표시부(210)는 도 13에 도시된 바와 같이, 복수 개의 제 1 내지 제 3 액정 표시 패널(212 ~ 216)을 더 구비하고, 이들을 통해 밸브 압력 정보를 표시하거나, 실린더 캐비넷(10)의 가스 실린더(CA, CB) 압력 정보를 표시한다. 예컨대, 제 1 액정 표시 패널(212)은 압력 네비게이터(navigator)로서, 4 개의 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B)들에 대한 압력 정보를 표시하고, 제 2 및 제 3 액정 표시 패널(214, 216) 각각은 제 1 및 제 2 가스 실린더(CA, CB)의 압력 정보를 표시한다.In addition, the
따라서 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 압력 전달부(140)와 밸브 구동부(180) 및 표시부(210)에 구비되는 복수 개의 발광 다이오드(142, 182, 218)들을 이용하여 압력 센서(14)들의 동작 상태와, 에어 밸브(AV3A, AV2A, AV3B, AV2B) 및 밸브 셔터(VSA, VSB)의 개폐 상태 및, 무정지 가스 공급 제어 장치(100)의 동작 상태 그리고 실린더 캐비넷(10)의 전원 공급 상태 등을 표시할 수 있다.Therefore, the non-stop gas
본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 도 12에 도시된 바와 같이, 실린더 캐비넷(10)의 전원 공급 상태와 각종 센서(14 ~ 19)들의 동작 상태를 모니터링하여, 제어부(110)로 다양한 감지 정보를 제공하고, 감지 정보에 의해 실린더 캐비넷(10)에 전원이 차단되면, 제 2 전원 공급부(150)로 전원 공급을 전환하여 실린더 캐비넷(20)의 일부 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급한다. 이어서 제어부(110)는 솔레노이드 밸브(200 : 202 ~ 206)들을 구동시켜서 실린더 캐비넷(10)의 밸브 박스(13 : 13a ~ 13c)로 밸브 구동 가스를 공급한다. 이에 밸브 박스(13)는 에어 밸브(AV3A, AV2A, Av3B, AV2B) 및 밸브 셔터(VSA, VSB)를 개폐하여 제 1 또는 제 2 가스 실린더(CA 또는 CB)로부터 반도체 제조 설비(20)로 현재 진행 중인 공정이 완료될 때까지 공정 가스를 공급한다. 물론 작업자가 비상 발생 버튼(18) 등을 이용하여 공정 가스의 공급을 중단시키기 전까지 제 2 전원 공급부(150)로부터 실린더 캐비넷(20)의 일부 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급하고, 솔레노이드 밸브(200 : 202 ~ 206)들을 구동할 수도 있음은 자명하다 하겠다.As shown in FIG. 12, the non-stop gas
구체적으로, 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 실린더 캐비넷(10)에서 전원 차단으로 공정 가스의 공급이 중단되면, 현재 진행 중인 공정이 완료될 수 있도록 공정 가스를 공급하는 에어 밸브(AV3A, AV2A, Av3B, AV2B) 및 밸브 셔터(VSA, VSB)들로 밸브 구동 가스 예컨대, 질소(N2) 가스의 공급을 제어한다. 이를 위해 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 실린더 캐비넷(10)에 설치된 복수 개의 에어 밸브(AV3A, AV2A, Av3B, AV2B) 및 밸브 셔터(VSA, VSB)들을 제어하기 위해 복수 개의 솔레노이드 밸브(200)들의 개폐를 제어한다.In detail, the non-stop gas
따라서 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 실린더 캐비넷(10)의 전원이 차단되어 현재 진행 중인 반도체 제조 공정이 완료되지 못하고, 중단됨에 따라 반도체 기판의 손상으로 인한 제조 수율이 저하되는 문제점을 해결하기 위하여, 현재 진행 중인 공정이 완료될 때까지 제 2 전원 공급부(150)로부터 센서(15 ~ 17)들로 전원을 공급하고, 밸브 구동 가스를 공급하는 솔레노이드 밸브(200)를 구동시킴으로써, 실린더 캐비넷(10)에서 공정 가스의 공급 중단을 방지할 수 있다.Therefore, the non-stop gas
또 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 실린더 캐비넷(10)에서 제 1 전원 공급부(11)의 전원이 차단되어 제 2 전원 공급부(150)로부터 센서(15 ~ 17)들의 전원을 공급함으로써, 공정 가스 공급 중에 센서(15 ~ 17)들을 통해 실린더 캐비넷(10)에 화재, 가스 누출 또는 온도 상승 등 이상 발생 여부를 모니터링할 수 있다.In addition, in the non-stop gas
또한, 본 발명의 무정지 가스 공급 제어 장치(100)는 모니터링 중 이상 발생이 감지되면, 솔레노이드 밸브(200)들을 제어하여 밸브 구동 가스의 공급을 중단함으로써, 실린더 캐비넷(10)에서 반도체 제조 설비(20)로 공정 가스의 공급이 중지되어 안정성을 확보할 수 있다.In addition, the non-stop gas
이상에서, 본 발명에 따른 실린더 캐비넷을 제어하는 무정지 가스 공급 제어 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.In the above, the configuration and operation of the non-stop gas supply control device for controlling the cylinder cabinet according to the present invention is shown in accordance with the detailed description and drawings, but this is only described by way of example, the scope does not depart from the spirit of the present invention Various changes and modifications are possible within the scope.
10 : 실린더 캐비넷 11 : 제 1 전원 공급부
12 : CC 제어부 13 : 밸브 박스
14 : 압력 센서 15 : 빛(화재) 센서
16 : 가스 누출 센서 17 : 온도 센서
18 : 비상 발생 버튼 19 : 전원 감지 회로
100 : 무정지 가스 공급 제어 장치 110 : 제어부
120 : 전원 전환부 130 : 인터페이스부
140 : 압력 전달부 150 : 제 2 전원 공급부
160 : 조작부 170 : 선택부
180 : 밸브 구동부 190 : 표시 구동부
200 : 솔레노이드 밸브 210 : 표시부10 cylinder cabinet 11: first power supply
12
14
16: gas leak sensor 17: temperature sensor
18: emergency button 19: power detection circuit
100: non-stop gas supply control device 110: control unit
120: power switching unit 130: interface unit
140: pressure transmitter 150: second power supply
160: operation unit 170: selection unit
180: valve drive unit 190: display drive unit
200: solenoid valve 210: display portion
Claims (9)
상기 실린더 캐비넷의 내부에 설치되어 이상 발생 여부를 감지하는 하나 이상의 센서들과;
상기 실린더 캐비넷으로부터 상기 공정 가스를 상기 반도체 제조 설비로 공급하도록 개폐되는 하나 이상의 에어 밸브와;
상기 실린더 캐비넷의 전원을 공급하는 제 1 전원 공급부와;
상기 제 1 전원 공급부의 전원 공급 상태를 감지하는 전원 감지 회로와;
상기 제 1 전원 공급부로부터 상기 실린더 캐비넷의 전원이 차단되면, 상기 센서들로 전원을 공급하는 제 2 전원 공급부와;
상기 실린더 캐비넷의 전원 차단 시, 상기 에어 밸브의 개폐를 구동하는 밸브 구동 가스를 상기 에어 밸브로 공급하거나 차단하는 하나 이상의 솔레노이드 밸브와;
상기 솔레노이드 밸브를 개폐하도록 구동하는 밸브 구동부 및;
상기 센서들로부터 감지 신호를 받아서 상기 실린더 캐비넷의 이상 발생 여부를 모니터링하고, 상기 전원 감지 회로로부터 감지 신호를 받아서 상기 실린더 캐비넷의 전원이 차단되면, 상기 제 2 전원 공급부로부터 상기 센서들로 전원을 공급하도록 제어하고, 상기 솔레노이드 밸브를 개폐하도록 상기 밸브 구동부를 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 센서는;
상기 실린더 캐비넷 내부에 설치되어 가스 누출을 감지하는 가스 누출 센서와;
상기 실린더 캐비넷 내부에 설치되어 온도를 감지하는 온도 센서 및;
상기 실린더 캐비넷 내부에 설치되어 화재 발생을 감지하는 빛(UV) 센서를 포함하고,
상기 센서들과, 상기 전원 감지 회로로부터 감지 신호를 받아서 상기 제어부로 제공하고, 상기 제 2 전원 공급부로부터 공급되는 전원을 받아서 상기 센서들의 전원으로 제공하는 인터페이스부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무정지 가스 공급 제어 장치.A non-stop gas supply control device for controlling one or more cylinder cabinets supplying process gases to one or more semiconductor manufacturing facilities:
One or more sensors installed inside the cylinder cabinet and detecting whether an abnormality occurs;
One or more air valves opened and closed to supply the process gas from the cylinder cabinet to the semiconductor manufacturing facility;
A first power supply for supplying power to the cylinder cabinet;
A power detection circuit detecting a power supply state of the first power supply unit;
A second power supply unit supplying power to the sensors when the cylinder cabinet is disconnected from the first power supply unit;
At least one solenoid valve for supplying or blocking a valve driving gas for driving the opening and closing of the air valve to the air valve when the cylinder cabinet is powered off;
A valve driving unit which drives the opening and closing of the solenoid valve;
Receiving a detection signal from the sensors to monitor the occurrence of abnormality in the cylinder cabinet, and receives a detection signal from the power detection circuit when the power of the cylinder cabinet is cut off, the power is supplied from the second power supply to the sensors And a control unit to control the valve driving unit to open and close the solenoid valve,
The sensor;
A gas leak sensor installed inside the cylinder cabinet to detect a gas leak;
A temperature sensor installed inside the cylinder cabinet and sensing a temperature;
Is installed inside the cylinder cabinet includes a light (UV) sensor for detecting the occurrence of fire,
And an interface unit configured to receive the sensing signal from the sensors and the power sensing circuit and provide the sensing signal to the controller, and receive the power supplied from the second power supply and provide the power to the sensors. controller.
상기 무정지 가스 공급 제어 장치는;
상기 제 2 전원 공급부로부터 전원을 공급받고, 상기 실린더 캐비넷에서 상기 제 1 전원 공급부의 전원이 차단되면, 상기 제어부의 제어를 받아서 상기 인터페이스부를 통해 상기 센서들의 전원을 공급하도록 전환하는 전원 전환부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무정지 가스 공급 제어 장치.The method of claim 1,
The non-stop gas supply control device;
When the power is supplied from the second power supply unit, and the power supply of the first power supply unit is cut off in the cylinder cabinet, under the control of the controller further includes a power switching unit for switching to supply the power of the sensors through the interface unit Non-stop gas supply control device, characterized in that.
상기 무정지 가스 공급 제어 장치는;
상기 센서들 중 하나 이상을 선택하도록 하는 조작부와;
상기 조작부로부터 선택된 센서들에 대응되는 감지 신호를 상기 인터페이스부를 통해 받아들여서 디코딩하여 상기 제어부로 제공하는 선택부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무정지 가스 공급 제어 장치.The method of claim 1,
The non-stop gas supply control device;
An operation unit for selecting one or more of the sensors;
And a selection unit which receives a detection signal corresponding to the sensors selected from the operation unit, receives the decoding signal through the interface unit, and provides the decoding signal to the control unit.
상기 무정지 가스 공급 제어 장치는;
상기 에어 밸브 각각에 대응하여 상기 무정지 가스 공급 제어 장치 내부에 설치되고, 상기 에어 밸브의 압력 변동을 감지하는 하나 이상의 압력 센서와;
상기 압력 센서로부터 감지된 압력 정보를 상기 제어부로 전달하는 압력 전달부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무정지 가스 공급 제어 장치.The method of claim 1,
The non-stop gas supply control device;
At least one pressure sensor installed in the non-stop gas supply control device corresponding to each of the air valves, and configured to sense a pressure change of the air valve;
And a pressure transmitting unit which transmits the pressure information sensed by the pressure sensor to the control unit.
상기 무정지 가스 공급 제어 장치는;
상기 실린더 캐비넷의 전원 공급 상태와 이상 발생 여부와, 상기 무정지 가스 공급 제어 장치의 동작 상태와, 상기 압력 센서의 동작 상태 및, 상기 에어 밸브의 동작 상태를 나타내는 표시부와;
상기 제어부로부터 제어를 받아서 상기 표시부를 구동하는 표시 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무정지 가스 공급 제어 장치.The method of claim 4, wherein
The non-stop gas supply control device;
A display unit for indicating a power supply state and abnormality of the cylinder cabinet, an operating state of the non-stop gas supply control device, an operating state of the pressure sensor, and an operating state of the air valve;
And a display driver for driving the display by receiving control from the controller.
상기 실린더 캐비넷의 제 1 전원 공급부로부터 메인 전원을 공급하고, 상기 실린더 캐비넷의 전원이 차단되는 지를 모니터링하고, 상기 실린더 캐비넷에 상기 제 1 전원 공급부의 메인 전원이 차단되면, 상기 무정지 가스 공급 제어 장치의 제 2 전원 공급부로부터 상기 실린더 캐비넷의 화재, 가스 누출 및 온도를 감지하는 센서들로 보조 전원을 공급하고, 이어서 상기 실린더 캐비넷으로부터 상기 반도체 제조 설비로 상기 공정 가스를 공급하는 상기 실린더 캐비넷의 하나 이상의 에어 밸브로 밸브 구동 가스를 공급하여 상기 에어 밸브를 개방시키는 것을 특징으로 하는 무정지 가스 공급 제어 장치의 제어 방법.A method of controlling a non-stop gas supply control apparatus for controlling one or more cylinder cabinets supplying process gases to one or more semiconductor manufacturing facilities:
Supplying main power from the first power supply of the cylinder cabinet, monitoring whether the power of the cylinder cabinet is cut off, and if the main power of the first power supply to the cylinder cabinet is cut off, the non-stop gas supply control device At least one air in the cylinder cabinet supplying auxiliary power from a second power supply to sensors sensing fire, gas leakage and temperature of the cylinder cabinet, and subsequently supplying the process gas from the cylinder cabinet to the semiconductor manufacturing facility And a valve driving gas supplied to a valve to open the air valve.
상기 밸브 구동 가스를 공급하는 것은;
상기 무정지 가스 공급 제어 장치에 상기 에어 밸브에 대응하여 하나 이상의 솔레노이드 밸브를 구비하여, 상기 밸브 구동 가스를 상기 에어 밸브로 공급하도록 상기 솔레노이드 밸브를 개방시키는 것을 특징으로 하는 무정지 가스 공급 제어 장치의 제어 방법.The method according to claim 6,
Supplying the valve drive gas;
The non-stop gas supply control device includes one or more solenoid valves corresponding to the air valves to open the solenoid valves to supply the valve driving gas to the air valves. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020110081006A KR101185032B1 (en) | 2011-08-16 | 2011-08-16 | Nonstop gas supply control apparatus for semiconductor manufacturing equitments and control method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020110081006A KR101185032B1 (en) | 2011-08-16 | 2011-08-16 | Nonstop gas supply control apparatus for semiconductor manufacturing equitments and control method of the same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101185032B1 true KR101185032B1 (en) | 2012-09-21 |
Family
ID=47113968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020110081006A KR101185032B1 (en) | 2011-08-16 | 2011-08-16 | Nonstop gas supply control apparatus for semiconductor manufacturing equitments and control method of the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101185032B1 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180133977A (en) * | 2017-06-07 | 2018-12-18 | 주식회사 명성시스템 | Redundant gas supply control apparatus |
| WO2018232292A1 (en) | 2017-06-15 | 2018-12-20 | Versum Materials Us, Llc | Gas supply system |
| KR20190085766A (en) * | 2018-01-11 | 2019-07-19 | (주)유시스템 | Pressure control valve apparatus equipped with power switch in gas chamber for semiconductor manufacturing process |
| KR102137821B1 (en) * | 2020-06-02 | 2020-07-27 | 주식회사 명성시스템 | Dual gas supply system |
| KR102137822B1 (en) * | 2020-06-02 | 2020-07-27 | 주식회사 명성시스템 | Recording medium having managing program for dual gas supply system |
-
2011
- 2011-08-16 KR KR1020110081006A patent/KR101185032B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180133977A (en) * | 2017-06-07 | 2018-12-18 | 주식회사 명성시스템 | Redundant gas supply control apparatus |
| KR101942398B1 (en) * | 2017-06-07 | 2019-01-31 | 주식회사 명성시스템 | Redundant gas supply control apparatus |
| WO2018232292A1 (en) | 2017-06-15 | 2018-12-20 | Versum Materials Us, Llc | Gas supply system |
| KR20190018064A (en) * | 2017-06-15 | 2019-02-21 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | Gas Supply System |
| KR101988361B1 (en) * | 2017-06-15 | 2019-06-12 | 버슘머트리얼즈 유에스, 엘엘씨 | Gas Supply System |
| EP3655143A4 (en) * | 2017-06-15 | 2021-06-09 | Versum Materials US, LLC | Gas supply system |
| KR20190085766A (en) * | 2018-01-11 | 2019-07-19 | (주)유시스템 | Pressure control valve apparatus equipped with power switch in gas chamber for semiconductor manufacturing process |
| KR102025838B1 (en) | 2018-01-11 | 2019-09-25 | (주)유시스템 | Pressure control valve apparatus equipped with power switch in gas chamber for semiconductor manufacturing process |
| KR102137821B1 (en) * | 2020-06-02 | 2020-07-27 | 주식회사 명성시스템 | Dual gas supply system |
| KR102137822B1 (en) * | 2020-06-02 | 2020-07-27 | 주식회사 명성시스템 | Recording medium having managing program for dual gas supply system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101185032B1 (en) | Nonstop gas supply control apparatus for semiconductor manufacturing equitments and control method of the same | |
| US9488990B2 (en) | Solenoid valve system | |
| US9206590B2 (en) | Water supply apparatus | |
| US9482220B2 (en) | Dual redundancy in fire pump controllers | |
| KR100816984B1 (en) | Switching fire watch control unit | |
| KR101185033B1 (en) | Nonstop gas supply control apparatus for semiconductor manufacturing equitments and control method of the same | |
| JP4876041B2 (en) | Image forming apparatus | |
| US20070182255A1 (en) | Safety switching module | |
| KR101988361B1 (en) | Gas Supply System | |
| JP2007312573A (en) | Io unit in safety controller of building block type | |
| US9358921B2 (en) | LED signal lamp | |
| CN108350822B (en) | Apparatus and method for assigning and indicating engine control authority | |
| KR20150078489A (en) | Dual power supply apparatus for high voltage direct current system and control method using the same | |
| KR102108219B1 (en) | Air pressure distributor for fluid supply | |
| US20100138054A1 (en) | Microprocessor based jockey pump controller | |
| CN110278685A (en) | A kind of D.C. high voltage transmission DCS control method | |
| KR100979144B1 (en) | Temperature controller for heating pad and method thereof | |
| CA2824421C (en) | Gas engine system with detection function of abnormality occurrence of gas pressure detection mechanism | |
| CN105141254A (en) | Monitoring device of solar power generation system | |
| JP5609387B2 (en) | Hot water system | |
| KR100626737B1 (en) | Duplex control apparatus for micro control of diesel dispersion control system remote terminal equipment | |
| CN104396138A (en) | Motor starter system and method for operating same | |
| KR20030091141A (en) | Motor auto change-over start controller | |
| CN109088543B (en) | Unit with power supply circuit and load protection circuit | |
| JPS625041A (en) | Centralized supervisory device for air-conditioning machine |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| A302 | Request for accelerated examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |