KR20150061105A - Cleaning unit and substrate treating apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 세정 유닛 및 이를 이용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cleaning unit and a substrate processing apparatus for processing a substrate using the cleaning unit.
일반적으로 웨이퍼의 화학적 기계적 평탄화 공정 이후에는 웨이퍼를 세정 장치에 투입함으로써, 상기 웨이퍼의 표면에 묻어 있는 각종 슬러리성 컴파운드(slurry compound)를 제거한다. 이러한 세정 장치는 크게 1차 세정 공정과 2차 세정 공정을 수행하는데, 1차 세정 공정에서는 웨이퍼를 회전시키면서 상면과 하면을 세정하고, 2차 세정 공정에서는 웨이퍼를 린스 및 건조시킨다. 1차 세정 공정은 주로 롤 브러쉬, 세정용 케미컬 및 회전 부재에 의해 수행된다. 이 때, 롤 브러쉬가 회전하며 웨이퍼를 세정하는데, 롤 브러쉬는 파티클과 같은 이물질에 의해 오염되어 세정력이 떨어진다. Generally, after the chemical mechanical planarization process of the wafer, the wafer is put into a cleaning device to remove various slurry compounds on the surface of the wafer. Such a cleaning apparatus largely performs a primary cleaning process and a secondary cleaning process. In the primary cleaning process, the top and bottom surfaces are cleaned while the wafer is rotated, and the wafer is rinsed and dried in the secondary cleaning process. The primary cleaning process is mainly performed by a roll brush, a cleaning chemical, and a rotating member. At this time, the roll brush rotates to clean the wafer, and the roll brush is contaminated by foreign matter such as particles and deteriorates the cleaning ability.
본 발명은 롤 브러쉬를 세정하는 세정 유닛 및 기판 처리 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a cleaning unit and a substrate processing method for cleaning a roll brush.
또한, 본 발명은 더미 웨이퍼를 사용하지 않고 롤 브러쉬를 에이징하는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus for aging a roll brush without using a dummy wafer.
본 발명이 해결하고자 하는 과제가 상술한 과제들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명의 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and the problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description and the accompanying drawings will be.
본 발명은 세정 유닛을 제공한다. The present invention provides a cleaning unit.
본 발명의 일 실시예에 따른 세정 유닛은, 기판을 세정하는 세정 유닛에 있어서, 기판에 접촉하도록 제공되고, 그 중심축을 기준으로 회전되는 롤 브러쉬를 포함하는 프레임, 상기 롤 브러쉬의 파티클을 흡착하는 진공 홀을 포함하고 상기 롤 브러쉬를 세정하는 진공 부재, 그리고 상기 진공 부재를 이동시키는 구동기를 포함할 수 있다.A cleaning unit according to an embodiment of the present invention is a cleaning unit for cleaning a substrate, comprising: a frame provided to be in contact with a substrate and including a roll brush rotated about a center axis thereof; A vacuum member including a vacuum hole for cleaning the roll brush, and a driver for moving the vacuum member.
상기 프레임은 상기 진공 부재를 포함하고, 상기 세정 유닛은 상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되, 상기 진공 부재는 상기 롤 브러쉬와 이격되게 제공될 수 있다.The frame may further include the vacuum member, and the cleaning unit may further include a controller for controlling the actuator, wherein the vacuum member may be provided apart from the roll brush.
상기 구동기는 상기 롤 브러쉬로 상기 기판을 세정할 때는 상기 진공 부재를 상기 롤 브러쉬로부터 제 1 거리만큼 이격된 제 1 위치에 위치시키고, 상기 진공 부재로 상기 롤 브러쉬를 세정할 때는 상기 진공 부재를 상기 롤 브러쉬로부터 제 2 거리만큼 이격된 제 2 위치에 위치시키되, 상기 제 2 거리는 상기 제 1 거리보다 가까울 수 있다.Wherein the actuator is configured to position the vacuum member at a first position spaced a first distance away from the roll brush when the substrate is cleaned with the roll brush and when the roll brush is cleaned with the vacuum member, And the second distance may be closer to the first distance than the second distance.
상기 세정 유닛은 에이징 부재를 더 포함하고, 상기 에이징 부재는 상기 롤 브러쉬 부재의 길이 방향을 따라 대향되게 제공되는 나이프를 포함할 수 있다.The cleaning unit may further include an aging member, and the aging member may include a knife provided opposite to the longitudinal direction of the roll brush member.
상기 진공 홀은 상기 에이징 부재에 형성될 수 있다.The vacuum hole may be formed in the aging member.
상기 구동기는 상기 롤 브러쉬를 에이징 할 때는 상기 에이징 부재를 상기 롤 브러쉬와 접촉되는 제 3 위치에 위치시킬 수 있다. The agitating member may be positioned at a third position in contact with the roll brush when aging the roll brush.
상기 에이징 부재는 상기 롤 브러쉬와 동일한 재질로 제공될 수 있다.The aging member may be provided in the same material as the roll brush.
또한, 본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다.The present invention also provides a substrate processing apparatus.
본 발명의 다른 실시예에 의한 기판을 처리하는 장치에 있어서, 하우징, 기판을 지지하고 상기 기판을 회전시키는 지지 유닛, 그리고 상기 지지 유닛에 지지된 상기 기판을 세정하는 세정 유닛을 포함하되, 상기 세정 유닛은, 상기 기판에 접촉하도록 제공되고, 그 중심축을 기준으로 회전되는 롤 브러쉬를 포함하는 프레임, 상기 롤 브러쉬의 파티클을 흡착하는 진공 홀을 포함하고 상기 롤 브러쉬를 세정하는 진공 부재, 그리고 상기 진공 부재를 이동시키는 구동기를 포함할 수 있다.An apparatus for processing a substrate according to another embodiment of the present invention, comprising: a housing; a support unit for supporting the substrate and rotating the substrate; and a cleaning unit for cleaning the substrate supported by the support unit, The unit includes a frame including a roll brush provided to be in contact with the substrate and rotated about a center axis thereof, a vacuum member for cleaning the roll brush, including a vacuum hole for sucking particles of the roll brush, And a driver for moving the member.
상기 프레임은 상기 진공 부재를 포함하고, 상기 세정 유닛은 상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되, 상기 진공 부재는 상기 롤 브러쉬와 이격되게 제공될 수 있다.The frame may further include the vacuum member, and the cleaning unit may further include a controller for controlling the actuator, wherein the vacuum member may be provided apart from the roll brush.
상기 구동기는 상기 롤 브러쉬로 상기 기판을 세정할 때는 상기 진공 부재를 상기 롤 브러쉬로부터 제 1 거리만큼 이격된 제 1 위치에 위치시키고, 상기 진공 부재로 상기 롤 브러쉬를 세정할 때는 상기 진공 부재를 상기 롤 브러쉬로부터 제 2 거리만큼 이격된 제 2 위치에 위치시키되, 상기 제 2 거리는 상기 제 1 거리보다 가까울 수 있다.Wherein the actuator is configured to position the vacuum member at a first position spaced a first distance away from the roll brush when the substrate is cleaned with the roll brush and when the roll brush is cleaned with the vacuum member, And the second distance may be closer to the first distance than the second distance.
상기 세정 유닛은 에이징 부재를 더 포함하고, 상기 에이징 부재는 상기 롤 브러쉬 부재의 길이 방향을 따라 대향되게 제공되는 나이프를 포함할 수 있다.The cleaning unit may further include an aging member, and the aging member may include a knife provided opposite to the longitudinal direction of the roll brush member.
상기 진공 홀은 상기 에이징 부재에 형성될 수 있다.The vacuum hole may be formed in the aging member.
상기 구동기는 상기 롤 브러쉬를 에이징 할 때는 상기 에이징 부재를 상기 롤 브러쉬와 접촉되는 제 3 위치에 위치시킬 수 있다. The agitating member may be positioned at a third position in contact with the roll brush when aging the roll brush.
상기 에이징 부재는 상기 롤 브러쉬와 동일한 재질로 제공될 수 있다.The aging member may be provided in the same material as the roll brush.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 롤 브러쉬를 세정하는 세정 유닛 및 기판 처리 방법을 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a cleaning unit for cleaning the roll brush and a substrate processing method can be provided.
또한, 본 발명은 더미 웨이퍼를 사용하지 않고 롤 브러쉬를 에이징하는 기판 처리 장치를 제공할 수 있다.In addition, the present invention can provide a substrate processing apparatus for aging a roll brush without using a dummy wafer.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and the effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the present specification and attached drawings.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 설비를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 세정 유닛을 상부에서 바라본 도면이다.
도 3은 도 2의 세정 유닛을 측면에서 바라본 도면이다.
도 4는 도 2의 세정 유닛의 내부를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 4의 롤 브러쉬 부재가 기판을 세정하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 6 내지 도 8은 도 4의 진공 부재가 롤 브러쉬를 세정하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 도 4의 진공 부재가 롤 브러쉬를 에이징하는 모습을 각각 보여주는 도면이다.1 is a view illustrating a substrate processing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a top view of the cleaning unit of Fig. 1; Fig.
Figure 3 is a side view of the cleaning unit of Figure 2;
Figure 4 is a view showing the interior of the cleaning unit of Figure 2;
Fig. 5 is a view showing a state in which the roll brush member of Fig. 4 cleans the substrate.
Figs. 6 to 8 are views showing a state in which the vacuum member of Fig. 4 cleans the roll brush. Fig.
Fig. 9 is a view showing a state in which the vacuum member of Fig. 4 ages the roll brush; Fig.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention can be modified into various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Thus, the shape of the elements in the figures has been exaggerated to emphasize a clearer description.
본 실시예에서 기판(S)은 반도체 칩 제조에 사용되는 웨이퍼(W)를 예로 들어 설명한다. 그러나 이와 달리, 대체로 원판 형상으로 제공된 다양한 종류의 기판일 수 있다.In the present embodiment, the substrate S is described taking the wafer W used for manufacturing semiconductor chips as an example. Alternatively, however, it may be various types of substrates provided in a generally disc shape.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 설비(10)를 개략적으로 보여주는 도면이다. 기판 처리 설비(10)는 인덱스 모듈(100), 반송 로봇(200), 처리 모듈(300), 그리고 세정 모듈(400)을 가진다. 1 is a schematic view of a substrate processing apparatus 10 according to a preferred embodiment of the present invention. The substrate processing apparatus 10 has an
인덱스 모듈(100)은 복수의 웨이퍼(W)들이 수납된 카세트와 세정 모듈(400) 간에 웨이퍼(W)를 반송한다. 인덱스 모듈(100)은 로드 포트(110)와 인터페이스 로봇(120)을 가진다. 로드 포트(110)에는 웨이퍼(W)가 수납된 카세트가 안착된다. 로드 포트(110)는 복수 개 제공될 수 있다. 도 1을 참조하면, 로드 포트(112, 114, 116, 118)는 4개가 일렬로 배치된다. 로드 포트(110)의 개수는 공정 효율 및 풋 프린트 조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수 있다. 인터페이스 로봇(120)은 로드 포트(110)에 놓인 카세트로부터 웨이퍼(W)를 꺼내 버퍼부(460)에 안착시킨다.The
반송 로봇(200)은 처리 모듈(300)과 세정 모듈(400) 사이에 제공된다. 반송 로봇(200)은 처리 모듈(300) 과 세정 모듈(400) 간에 웨이퍼(W)를 반송시킨다. The
처리 모듈(300)은 웨이퍼(W)를 처리한다. 이하에서는, 처리 모듈(300)이 연마 공정을 수행하는 연마 모듈(300)인 것을 예로 들어 설명한다. 연마 모듈(300)은 웨이퍼(W)를 화학적, 기계적 연마한다. 연마 모듈(300)은 익스체인져(Exchanger, 310), 로딩 컵(320), 연마 스테이션(330), 아암(340), 연마 헤드(350)를 포함한다. 익스체인져(310)는 반송 로봇(200)과 인접하게 제공된다. 익스체인져(310)는 반송 로봇(200)으로부터 받은 웨이퍼(W)를 로딩 컵(320)에 제공한다. 로딩 컵(320)에 놓인 웨이퍼(W)는 연마 헤드(350)에 장착된다. 연마 스테이션(330)은 웨이퍼(W) 연마 공정을 수행한다. 연마 스테이션(330)은 연마 패드가 부착된 플래튼을 가진다. 연마 스테이션(330)은 복수 개 제공될 수 있다. 일 예로, 도 1과 같이, 연마 스테이션(330)은 3개가 제공된다. 복수 개의 연마 스테이션(332, 334, 336)들은 순차적으로 연마 공정을 수행할 수 있다. 연마 공정은 각각의 연마 스테이션(332, 334, 336)에서 하나의 웨이퍼(W)에 대해 부분적으로 진행될 수 있다. 아암(340)은 연마 스테이션(330) 상부에 제공된다. 도 1을 참조하면, 아암(340)의 단부에 각각 연마 헤드(350)가 고정 결합되어 제공된다. 아암(340)은 그 중심축을 기준으로, 연마 헤드(350)를 회전시킨다. 연마 헤드(350)는 웨이퍼(W)를 연마 스테이션(330)으로 이동시킨다. 연마 헤드(350)는 진공을 이용하여 웨이퍼(W)를 흡착한다. 연마 공정이 끝나면, 연마 헤드(350)는 웨이퍼(W)를 로딩 컵(320)에 언로딩한다. 언로딩된 웨이퍼(W)는 익스체인져(310)로부터 다시 반송 로봇(200)으로 제공된다. 또한, 도면에서는 도시되지 않았지만, 연마 모듈(300)은 슬러리 공급부 등을 포함할 수 있다.The
세정 모듈(400)은 인덱스 모듈(100)와 연마 모듈(300) 사이에 제공된다. 도 1을 참조하면, 세정 모듈(400)는 인덱스 모듈(100)에 인접하게 제공된다. 세정 모듈(400)는 복수 개의 세정 장치(410, 420, 430, 440), 이송 유닛(450), 그리고 버퍼부(460)를 포함한다. 도 1과 같이, 세정 모듈(400)은 4개의 세정 장치(410, 420, 430, 440)를 포함할 수 있다. 복수 개의 세정 장치(410, 420, 430, 440)는 각각 순차적으로 세정 공정을 수행할 수 있다. 일 예로, 복수 개의 세정 장치(410, 420, 430, 440)는 서로 동일한 세정 공정 또는 상이한 세정 공정을 수행할 수 있다. 버퍼부(460)에는 웨이퍼(W)가 수직한 상태로 재치된다. 이 경우, 인터페이스 로봇(120)과 반송 로봇(200)은 웨이퍼(W)를 지지하는 핸드가 수평 상태와 수직 상태 간에 변환이 가능하다. 따라서, 인터페이스 로봇(120)은 로드 포트(110)에서 웨이퍼(W)를 수평 상태로 꺼낸 후, 버퍼부(460)에 수직 상태로 제공한다. 반송 로봇(400)은 버퍼부(460)에서 웨이퍼(W)를 수직 상태로 꺼낸 후, 로딩 컵(320)에 수평 상태로 제공한다. 버퍼부(460)에 웨이퍼(W)가 수직 상태로 재치됨에 따라, 세정 모듈(400)의 점유 면적(foot print)를 줄일 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치(10)는 한정된 공간 내에서 공간 효율성이 높아진다. The
이하, 위 세정 장치들 중 브러쉬를 이용하여 세정 공정을 수행하는 기판 처리 장치(410)에 대해 설명한다. 도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(4100)를 보여주는 도면이다. 기판 처리 장치(4100)는 하우징(4110), 지지 유닛(4120), 그리고 세정 유닛(4130)을 포함한다. 하우징(4110)은 기판 처리 공정이 수행되는 공간을 제공한다. 지지 유닛(4120)은 기판을 지지한다. 지지 유닛(4120)은 웨이퍼(W)를 회전시킨다. Hereinafter, a
도 2는 도 1의 세정 유닛(4130)을 상부에서 바라본 도면이다. 도 3은 도 2의 세정 유닛(4130)을 측면에서 바라본 도면이다. 도 4는 각 도 2의 세정 유닛(4130)의 내부를 보여주는 도면이다. 세정 유닛(4130)은 지지 유닛(4120)에 지지된 웨이퍼(W)를 세정한다. 세정 유닛(4130)은 프레임(4140), 롤 브러쉬(4150), 진공 부재(4160), 진공 홀(4165), 에이징 부재(4170), 나이프(4175), 구동기(4180), 그리고 제어기(4190)를 포함한다. 연마 공정 후에는, 웨이퍼(W) 상에 케미컬 또는 슬러리 등이 잔존한다. 따라서, 웨이퍼(W)는 기판 처리 장치(4100)에서 세정된다.2 is a top view of the
프레임(4140)은 롤 브러쉬(4150), 에이징 부재(4170), 그리고 구동기(4180)를 포함한다. 프레임(4140)의 하부에는 롤 브러쉬(4150)가 결합된다. 프레임(4140)은 웨이퍼(W)의 지름과 대응되는 길이로 제공된다. The
롤 브러쉬(4150)는 웨이퍼(W)에 접촉하도록 제공된다. 롤 브러쉬(4150)는 그 중심축을 기준으로 회전된다. 롤 브러쉬(4150)는 그 길이 방향이 웨이퍼(W)의 지름에 대응되게 제공된다. The
진공 부재(4160)는 롤 브러쉬(4150)를 세정한다. 도 4와 같이, 진공 부재(4160)는 프레임(4140) 내 롤 브러쉬(4150)의 상부에 위치할 수 있다. 진공 부재(4160)는 롤 브러쉬(4150)와 이격되게 제공된다. 선택적으로, 진공 부재(4160)는 롤 브러쉬(4150)의 상부가 아닌 측부에 제공될 수 있다. 진공 부재(4160)는 진공 홀(4165)을 포함한다. 진공 홀(4165)은 롤 브러쉬(4150)에 잔류하는 파티클을 흡착한다. 도 4를 참조하면, 진공 홀(4165)은 진공 부재(4160)의 중앙부를 관통하여 형성될 수 있다. 이 때, 진공 홀(4165)은 에이징 부재(4170)에 형성될 수 있다.
에이징 부재(4170)는 진공 부재(4160)의 하부에 제공된다. 에이징 부재(4170)는 롤 브러쉬(4150)를 에이징한다. 에이징 부재(4170)는 롤 브러쉬(4150)와 동일한 재질로 제공될 수 있다. 에이징 부재(4170)는 나이프(4175)를 포함할 수 있다. 나이프(4175)는 롤 브러쉬(4150)의 길이 방향을 따라 대향되게 제공된다. 나이프(4175)는 롤 브러쉬(4150)에 접촉되어 롤 브러쉬(4150)를 에이징할 수 있다. The aging
구동기(4180)는 프레임(4140)에 제공된다. 일 예로, 구동기(4180)는 프레임(4140) 내부에 제공될 수 있다. 구동기(4180)는 진공 부재(4160)를 이동시킨다. 구동기(4180)는 진공 부재(4160)를 제 1 위치, 제 2 위치, 그리고 제 3 위치 간에 위치시킨다. 제 1 위치는 진공 부재(4160)가 롤 브러쉬(4150)로부터 제 1 거리(D1)만큼 이격된 위치이다. 제 2 위치는 진공 부재(4160)가 롤 브러쉬(4150)로부터 제 2 거리(D2)만큼 이격된 위치이다. 이 때, 제 2 거리(D2)는 제 1 거리(D1)보다 가깝다. 제 3 위치는 진공 부재(4160)가 롤 브러쉬(4150)와 접촉되는 위치이다. 제어기(4190)는 구동기(4180)를 제어한다. The
이하, 도 5 내지 도 9를 참조하여 롤 브러쉬(4150)를 세정하는 과정과 에이징하는 과정을 설명한다. 도 5는 롤 브러쉬(4150)로 웨이퍼(W)를 세정하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 6 내지 도 8은 진공 부재(4160)로 롤 브러쉬(4150)를 세정하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 9는 에이징 부재(4170)로 롤 브러쉬(4150)를 에이징하는 모습을 보여주는 도면이다. 도 5 내지 도 9는 설명을 용이하게 하기 위해, 프레임(4140)을 제외한 진공 부재(4160)와 롤 브러쉬(4150)만을 도시하였다. 롤 브러쉬(4150)가 웨이퍼(W)를 세정할 때는, 구동기(4180)는 진공 부재(4160)를 제 1 위치에 위치시킨다. 진공 부재(4160)는 롤 브러쉬(4150)와 제 1 거리(D1)만큼 떨어지도록 제공된다. 롤 브러쉬(4150)를 세정해야 할 때는, 구동기(4180)가 진공 부재(4160)를 제 2 위치에 위치시킨다. 제 2 위치에서, 진공 부재(4160)는 롤 브러쉬(4150)와 제 2 거리(D2)만큼 이격된다. 제 2 거리(D2)는 제 1 거리(D1)보다 가깝다. 제 2 위치에서, 진공 부재(4160)는 롤 브러쉬(4150)와 매우 인접하나, 롤 브러쉬(4150) 또는 롤 브러쉬(4150)에 형성되는 유막에서 이격되게 제공된다. 진공 부재(4160)는 롤 브러쉬(4150) 상에 잔류하는 파티클을 진공 홀(4165)로 흡착시켜 배출시킨다. 이에 따라, 롤 브러쉬(4150)는 세정된다. 롤 브러쉬(4150)를 에이징할 때는, 도 9와 같이 진공 부재(4160)가 제 3 위치에 놓인다. 이 때, 진공 부재(4160)는 롤 브러쉬(4150)에 접촉된다. 이에 따라, 나이프(4175)와 롤 브러쉬(4150)가 접촉되어, 마찰에 의해 포어가 마모되고, 롤 브러쉬(4150)는 에이징된다. 롤 브러쉬(4150)가 나이프(4175)에 의해 직접 마모되어, 기판 처리 장치(4100)는 더미 웨이퍼(W)를 사용하지 않을 수 있다. 나이프(4175)는 롤 브러쉬(4150)와 동일한 재질로 제공된다. Hereinafter, the process of cleaning and aging the
이상의 본 실시예에서는 프레임(4140) 내부에 롤 브러쉬(4150)와 진공 부재(4160)가 포함되는 것으로 설명하였으나, 이와 달리, 롤 브러쉬(4150)와 진공 부재(4160)는 각각의 바디로 제공될 수 있다. 또한, 선택적으로, 에이징 부재(4170)도 별도의 바디로 제공될 수 있다. The
이상에서는 처리 모듈(300)이 웨이퍼(W)에 대해 화학적, 기계적 연마하는 공정을 수행하는 모듈인 것으로 설명하였으나, 이와 달리 다른 공정을 수행하는 모듈일 수 있다. 또한, 세정 모듈(400)이 처리 모듈(300)과 하나의 장치로 제공되는 것으로 설명하였으나, 선택적으로, 세정 모듈(400)은 처리 모듈(300)과 독립적으로 제공될 수 있다. 이 때, 세정 모듈(400)은 별도의 장치로 제공되고, 세정 모듈(400)과 처리 모듈(300)간에 웨이퍼(W)를 반송하는 반송 로봇 및 웨이퍼(W)를 재치하는 용기 등이 제공될 수 있다. In the above description, the
상술한 예들에서는 웨이퍼(W)에 대한 세정 공정이 이루어지도록 설명하였으나, 이와 달리 공정의 종류와 공정 챔버의 수는 상이할 수 있다. 또한, 웨이퍼(W)에 대해 스팀 부재 또는 노즐 부재 등이 더 제공될 수 있다. 이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 수정, 치환 및 변형이 가능하므로 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니다. 또한, 본 명세서에서 설명된 실시예들은 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.In the above examples, the cleaning process for the wafer W has been described. However, the number of process chambers and the number of process chambers may be different from each other. Further, a steam member, a nozzle member or the like may be further provided for the wafer W. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. The present invention is not limited to the drawings. In addition, the embodiments described herein are not limited to be applied, and all or some of the embodiments may be selectively combined so that various modifications can be made.
100 : 인덱스 모듈 200 : 반송 로봇
300 : 연마 모듈 400 : 세정 모듈
4120 : 지지 유닛 4130 : 세정 유닛
4140 : 프레임 4150 : 롤 브러쉬
4160 : 진공 부재 4165 : 진공 홀
4170 : 에이징 부재 4175 : 나이프
4180 : 구동기 4190 : 제어기 100: Index module 200: Transport robot
300: polishing module 400: cleaning module
4120: support unit 4130: cleaning unit
4140: Frame 4150: Roll brush
4160: Vacuum member 4165: Vacuum hole
4170: aging member 4175: knife
4180: driver 4190: controller
Claims (2)
기판에 접촉하도록 제공되고, 그 중심축을 기준으로 회전되는 롤 브러쉬를 포함하는 프레임;
상기 롤 브러쉬에 잔류하는 파티클을 흡착하는 진공 홀을 포함하고 상기 롤 브러쉬를 세정하는 진공 부재; 그리고
상기 진공 부재를 이동시키는 구동기를 포함하는 세정 유닛.A cleaning unit for cleaning a substrate,
A frame provided in contact with the substrate and including a roll brush rotated about its central axis;
A vacuum member including a vacuum hole for adsorbing particles remaining in the roll brush and cleaning the roll brush; And
And a driver for moving the vacuum member.
상기 프레임은 상기 진공 부재를 포함하고,
상기 세정 유닛은 상기 구동기를 제어하는 제어기를 더 포함하되,
상기 진공 부재는 상기 롤 브러쉬와 이격되게 제공되는 세정 유닛.
The method according to claim 1,
The frame including the vacuum member,
The cleaning unit further includes a controller for controlling the driver,
Wherein the vacuum member is provided so as to be spaced apart from the roll brush.
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