KR20150057381A - Apparatus for treating substrate - Google Patents

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Abstract

The present invention provides an apparatus for treating a substrate. The apparatus for treating the substrate comprises: a chamber providing a treating space which treats the substrate inside; and a treatment solution supplying unit supplying a treatment solution on the substrate, wherein the chamber comprises: a housing in which one surface is opened; and a door assembly which opens and closes the one surface, and the door assembly rotates around the center axis, and opens and closes the one surface. A handle member opens and closes a housing by rotating around the center axis so that a problem that the housing is forcibly opened by inner pressure can be solved.

Description

기판처리장치{Apparatus for treating substrate}[0001] Apparatus for treating substrate [0002]

본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for processing a substrate.

반도체소자를 제조하기 위해서, 기판에 포토리소그라피, 식각, 애싱, 이온주입, 그리고 박막증착등의 다양한 공정들을 통해 원하는 패턴을 기판에 형성한다. 각각의 공정에는 다양한 처리액들이 사용하여 기판을 처리한다. 이 중 강산 또는 강염기의 성질을 가지는 처리액을 공정은 챔버 내의 밀폐된 공간에서 그 공정을 진행한다.In order to manufacture a semiconductor device, a desired pattern is formed on a substrate through various processes such as photolithography, etching, ashing, ion implantation, and thin film deposition on the substrate. In each process, various treatment liquids are used to treat the substrate. Among them, the process liquid having a property of strong acid or strong base proceeds in the closed space in the chamber.

일반적으로, 챔버는 상부가 개방된 하우징과 그 하우징을 개폐하는 커버로 제공되며, 하우징과 커버 사이에는 이들의 틈을 실링하는 실링부재가 제공된다. 그러나 실링부재는 장시간 노출됨에 따라 경화되고, 그 위치를 이탈한다. 이로 인해 챔버 내에서 발생된 퓸은 그 외부로 누출되고, 다른 장치를 손상시킨다.Generally, the chamber is provided with a housing having an open top and a cover for opening and closing the housing, and a sealing member is provided between the housing and the cover for sealing the gap therebetween. However, the sealing member hardens as it is exposed for a long time, and leaves the position. This causes the fumes generated in the chamber to leak to the outside and damage other devices.

또한 커버는 슬라이딩 방식으로 하우징을 개폐하고, 볼트체결 방식으로 하우징 및 커버를 결합시킨다. 그러나 볼트는 처리액 또는 퓸에 의해 손상되고, 커버는 챔버의 내압에 의해 강제 개방될 수 있다.The cover also opens and closes the housing in a sliding manner, and engages the housing and the cover in a bolt-fastening manner. However, the bolt is damaged by the treatment liquid or the fume, and the cover can be forcibly opened by the internal pressure of the chamber.

본 발명은 새로운 구조로 챔버를 실링할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.The present invention seeks to provide an apparatus that can seal a chamber with a new structure.

본 발명은 챔버의 내부공간을 보다 견고하게 실링할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention seeks to provide a device capable of sealing the internal space of a chamber more firmly.

본 발명의 실시예는 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판처리장치는 내부에 기판을 처리하는 처리공간을 제공하는 챔버 및 기판 상에 처리액을 공급하는 처리액 공급유닛을 포함하되, 상기 챔버는 일면이 개방된 하우징 및 상기 일면을 개폐하는 커버를 가지는 도어 어셈블리를 포함하되, 상기 도어 어셈블리는 그 중심축을 중심으로 회전되어 상기 일면을 개폐한다.An embodiment of the present invention provides an apparatus for processing a substrate. The substrate processing apparatus includes a chamber for providing a processing space for processing a substrate therein, and a processing liquid supply unit for supplying the processing liquid onto the substrate, wherein the chamber includes a housing having an open side and a cover for opening and closing the one side Wherein the door assembly is rotated about its central axis to open and close the one face.

상기 도어 어셈블리는 상기 커버의 상면에 결합되는 핸들부재 및 상기 하우징에 고정결합되며, 상기 핸들부재에 대향되는 위치에 일측면에 닫힘홈이 형성되는 블럭을 포함하되, 상기 핸들부재는 회전되어 상기 닫힘홈에 삽입 가능하도록 제공될 수 있다. 상기 핸들부재는 상기 커버의 상면에 결합되는 회전축 및 상기 회전축의 외측면 감싸도록 제공되며, 상기 닫힘홈에 대향되도록 상기 회전축에 고정결합되는 플레이트를 포함할 수 있다. 상기 플레이트는 상기 회전축의 중심축을 중심으로 회전되어 상기 닫힘홈에 삽입 가능하도록 제공될 수 있다. 상기 플레이트는 그 일단부가 절단된 절단면을 가질 수 있다. 상기 닫힘홈이 형성되는 블럭의 바닥면 및 천장면은 일측단에서 타측단으로 갈수록 그 간격이 넓어지도록 상기 바닥면 및 상기 천장면 중 어느 하나가 경사지도록 제공되며, 상기 플레이트는 상기 닫힘홈에 삽입되는 영역이 상기 닫힘홈에 대응되도록 상기 플레이트의 상면 및 저면 중 어느 하나가 경사지도록 제공될 수 있다. 상기 도어 어셈블리는 상기 하우징과 상기 커버 간의 틈을 실링하는 실링부재를 포함하되, 상기 실링부재는 상기 커버 및 상기 하우징 중 어느 하나에 고정결합되며, 가이드홈이 형성되는 몸체 및 상기 커버 및 상기 하우징 중 다른 하나에 고정결합되며, 상기 가이드홈에 삽입 가능한 패킹부재를 포함할 수 있다. 상기 실링부재는 복수 개로 제공될 수 있다. 상기 처리액은 식각액으로 제공되며, 상기 패킹부재는 불소를 포함한 재질로 제공될 수 있다.Wherein the door assembly includes a handle member coupled to an upper surface of the cover, and a block fixedly coupled to the housing and having a closed groove formed at one side thereof at a position facing the handle member, It may be provided to be insertable into the groove. The handle member may include a rotating shaft coupled to an upper surface of the cover, and a plate provided to surround the outer surface of the rotating shaft and fixedly coupled to the rotating shaft so as to face the closing groove. The plate may be provided to be rotatable about a central axis of the rotation shaft and inserted into the closed groove. The plate may have a cut surface with one end cut off. Wherein the bottom surface and the ceiling surface of the block in which the closing groove is formed are provided such that one of the bottom surface and the ceiling surface is inclined so that the interval between the bottom surface and the ceiling surface becomes wider from one end to the other end, May be provided so that one of the upper surface and the lower surface of the plate is inclined so that the region corresponding to the closed groove corresponds to the closed groove. Wherein the door assembly includes a sealing member sealing a gap between the housing and the cover, wherein the sealing member is fixedly coupled to any one of the cover and the housing, the body having a guide groove formed therein, And a packing member fixedly coupled to the other and insertable into the guide groove. The sealing member may be provided in plurality. The treatment liquid may be provided as an etchant, and the packing member may be provided with a material containing fluorine.

본 발명의 실시예에 의하면, 핸들부재는 중심축을 중심으로 회전되어 하우징을 개폐하므로, 내압에 의해 하우징이 강제 개방되는 문제점을 해결할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, since the handle member is rotated around the central axis to open and close the housing, it is possible to solve the problem that the housing is forcibly opened by the internal pressure.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 실링부재는 가이드홈에 삽입되므로, 실링부재의 위치가 이탈되는 것을 방지할 수 있다.Further, according to the embodiment of the present invention, since the sealing member is inserted into the guide groove, it is possible to prevent the position of the sealing member from being deviated.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 실링부재는 불소를 포함하는 재질로 제공되므로, 처리액에 대해 내화학성이 향상될 수 있다.Further, according to the embodiment of the present invention, since the sealing member is made of a material containing fluorine, the chemical resistance can be improved with respect to the treatment liquid.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치를 보여주는 단면도이다.
도2는 도1의 반송유닛을 보여주는 사시도이다.
도3은 도1의 공정모듈을 보여주는 사시도이다.
도4는 도3의 도어 어셈블리의 실링부재를 보여주는 사시도이다.
도5는 도3의 도어 어셈블리의 블럭 및 핸들부재를 보여주는 사시도이다.
도6은 블럭을 정면에서 바라본 정면도이다.
도7 내지 도9는 도3의 챔버가 닫혀지는 과정을 보여주는 과정도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view showing the transport unit of Fig. 1;
Figure 3 is a perspective view showing the process module of Figure 1;
4 is a perspective view showing a sealing member of the door assembly of FIG.
Figure 5 is a perspective view showing the block and handle member of the door assembly of Figure 3;
6 is a front view of the block viewed from the front.
FIGS. 7 to 9 are process charts showing the process of closing the chamber of FIG. 3. FIG.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited due to the embodiments described below. This embodiment is provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. The shape of the elements in the figures is therefore exaggerated in order to emphasize a clearer description.

본 실시예에서 기판(S)은 평판 표시 패널 제조에 사용되는 기판(S)을 예로 들어 설명한다. 그러나 이와 달리 기판(S)은 반도체 칩 제조에 사용되는 웨이퍼일 수 있다. 또한 본 실시예에는 기판(S)을 식각 처리하는 공정에 대해 설명한다. 그러나 본 발명은 반송되는 기판(S) 상에 처리액을 공급 및 회수하고 기판(S)을 세정 처리하는 공정을 수행하는 다양한 구조 및 다양한 공정의 장치에 적용될 수 있다.In this embodiment, the substrate S is described by taking a substrate S used for manufacturing a flat panel display panel as an example. Alternatively, however, the substrate S may be a wafer used for semiconductor chip fabrication. In this embodiment, the step of etching the substrate S will be described. However, the present invention can be applied to various structures and devices of various processes for performing a process of supplying and recovering a process liquid onto a substrate S to be transported and cleaning the substrate (S).

이하, 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 8. FIG.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치를 보여주는 단면도이다. 도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 기판(S)을 식각 처리하는 공정을 수행한다. 기판 처리 장치는 공정모듈(100) 및 세정모듈(200)을 포함한다. 공정모듈(100)은 기판(S) 상에 처리액을 공급하여 기판(S)을 식각처리하는 장치이다. 세정모듈(200)은 식각처리된 기판(S)을 세정처리하는 장치이다. 공정모듈(100) 및 세정모듈(200)은 제1방향(12)을 따라 일렬로 배치된다.1 is a cross-sectional view illustrating a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, the substrate processing apparatus 10 performs a process of etching the substrate S. The substrate processing apparatus includes a processing module 100 and a cleaning module 200. The process module 100 is an apparatus for etching the substrate S by supplying a process liquid onto the substrate S. The cleaning module 200 is a device for cleaning the substrate S subjected to the etching treatment. The process module 100 and the cleaning module 200 are arranged in a line along the first direction 12.

공정모듈(100)은 공정챔버(110), 반송유닛(300), 그리고 처리액공급유닛(400)을 포함한다. 공정챔버(110)는 내부에 공정이 수행되는 제1처리공간을 제공한다. 공정챔버(110)는 대체로 직육면체의 형상을 가진다. 공정챔버(110)의 양단에는 개구가 형성된다. 공정챔버(110)의 일단에 형성된 개구(102)는 기판(S)이 반입되는 입구로 제공되고, 타단에 형성된 개구(104)는 기판(S)이 반입되는 출구로 제공된다. 공정챔버(110)의 출구는 세정모듈(200)과 대향되게 위치된다. 공정챔버(110)의 제1처리공간은 세정모듈(200)의 내부와 서로 통하도록 제공된다.The process module 100 includes a process chamber 110, a transfer unit 300, and a process liquid supply unit 400. The process chamber 110 provides a first process space in which processes are performed. The process chamber 110 has a generally rectangular parallelepiped shape. Openings are formed at both ends of the process chamber 110. The opening 102 formed at one end of the process chamber 110 is provided with an inlet through which the substrate S is introduced and the opening 104 formed at the other end is provided with an outlet through which the substrate S is introduced. The exit of the process chamber 110 is positioned opposite the cleaning module 200. The first processing space of the process chamber 110 is provided to communicate with the interior of the cleaning module 200.

반송유닛(300)은 기판(S)을 제1방향(12)으로 반송한다. 반송유닛(300)은 공정모듈(100)과 세정모듈(200)에 각각 배치된다. 도2는 도1의 반송유닛을 보여주는 사시도이다. 도2를 참조하면, 반송유닛(300)은 샤프트(330), 반송롤러(320), 그리고 프레임(340)을 포함한다. 샤프트(330)는 복수 개로 제공된다. 각각의 샤프트(330)는 그 길이방향이 제1방향(12)과 수직한 제2방향(14)을 향하도록 제공된다. 샤프트들(330)은 제1방향(12)을 따라 나란히 배치된다. 각각의 샤프트(330)는 서로 간에 이격되게 배치된다. 샤프트(330)는 입구 및 출구에 대응되는 높이에 위치된다.The transfer unit 300 transfers the substrate S in the first direction 12. The transfer unit 300 is disposed in the process module 100 and the cleaning module 200, respectively. Fig. 2 is a perspective view showing the transport unit of Fig. 1; Referring to Fig. 2, the transport unit 300 includes a shaft 330, a transport roller 320, and a frame 340. A plurality of shafts 330 are provided. Each shaft 330 is provided so that its longitudinal direction is directed in a second direction 14 perpendicular to the first direction 12. The shafts 330 are disposed side by side along the first direction 12. Each of the shafts 330 is spaced apart from each other. The shaft 330 is positioned at a height corresponding to the inlet and outlet.

반송롤러(320)는 각각의 샤프트(330)에 복수 개로 제공된다. 반송롤러(320)는 샤프트(330)에 장착되어 기판(S)의 저면을 지지한다. 반송롤러(320)는 그 중심축에 홀이 형성되고, 샤프트(330)는 홀에 강제 끼움된다. 반송롤러(320)는 샤프트(330)와 함께 회전된다.A plurality of conveying rollers 320 are provided on each shaft 330. The conveying roller 320 is mounted on the shaft 330 to support the bottom surface of the substrate S. The conveying roller 320 has a hole formed in its central axis, and the shaft 330 is forced into the hole. The conveying roller 320 is rotated together with the shaft 330.

프레임(340)은 샤프트(330)들이 회전 가능하도록 샤프트(330)들을 지지한다. 프레임(340)은 샤프트(330)의 양측에 각각 배치되어 샤프트(330)들의 양단을 지지한다. 프레임(340)은 그 길이방향이 제1방향(12)을 향하도록 제공된다. 프레임(340)은 샤프트(330)의 양단이 서로 동일한 높이를 가지도록 고정 설치된다.The frame 340 supports the shafts 330 such that the shafts 330 are rotatable. The frames 340 are disposed on both sides of the shaft 330 to support both ends of the shafts 330. The frame 340 is provided so that its longitudinal direction is directed in the first direction 12. The frame 340 is fixedly installed so that both ends of the shaft 330 have the same height.

처리액공급유닛(400)은 기판(S) 상에 처리액을 공급한다. 처리액공급유닛(400)은 제1처리공간에서 샤프트(330)의 상부에 위치된다. 처리액공급유닛(400)은 제1방향(12)으로 반송되는 기판(S) 상에 처리액을 공급한다. 처리액 공급유닛(400)은 공정노즐(400)을 포함한다. 공정노즐(400)은 바 형상을 가지며, 그 길이방향이 제2방향(14)을 향하도록 제공된다. 일 예에 의하면, 공정노즐(400)의 길이는 기판(S)의 폭과 대응되거나 이보다 길게 제공될 수 있다. 공정노즐(400)의 저면에는 복수의 분사구들이 형성된다. 분사구들은 제2방향(14)을 따라 순차적으로 나열된다. 예컨대, 처리액은 식각액일 수 있다.The process liquid supply unit 400 supplies the process liquid onto the substrate S. The treatment liquid supply unit 400 is located on the upper side of the shaft 330 in the first treatment space. The treatment liquid supply unit 400 supplies the treatment liquid onto the substrate S conveyed in the first direction 12. The process liquid supply unit 400 includes a process nozzle 400. The process nozzle 400 has a bar shape and is provided so that its longitudinal direction faces the second direction 14. According to one example, the length of the process nozzle 400 may be provided corresponding to or longer than the width of the substrate S. A plurality of jetting ports are formed on the bottom surface of the process nozzle 400. The nozzles are sequentially arranged along the second direction (14). For example, the treatment liquid may be an etchant.

세정모듈(200)은 세정챔버(210) 및 세정액공급유닛(500)을 포함한다. 세정챔버(210)는 공정챔버(110)와 대체로 유사한 형상을 가진다. 세정챔버(210)는 직육면체 형상을 가지도록 제공된다. 세정챔버(210)는 내부에 제2처리공간을 제공한다. 세정챔버(210)의 양단에는 개구가 형성된다. 세정챔버(210)의 일단에 형성된 개구는 기판(S)이 반입되는 입구로 제공되고, 타단에 형성된 개구는 기판(S)이 반입되는 출구로 제공된다. 세정챔버(210)의 입구는 공정챔버(110)의 출구와 대향되게 위치된다. 상술한 바와 같이, 반송유닛(300)은 제1방향(12)을 따라 제1처리공간 및 제2처리공간 각각에 연장되게 위치된다. 반송유닛(300)은 제1처리공간에 제공된 기판(S)을 제1방향(12)에 따라 제2처리공간으로 반송한다.The cleaning module 200 includes a cleaning chamber 210 and a cleaning liquid supply unit 500. The cleaning chamber 210 has a shape that is generally similar to the process chamber 110. The cleaning chamber 210 is provided to have a rectangular parallelepiped shape. The cleaning chamber 210 provides a second processing space therein. Openings are formed at both ends of the cleaning chamber 210. The opening formed at one end of the cleaning chamber 210 is provided with an inlet through which the substrate S is introduced and the opening formed at the other end is provided with an outlet through which the substrate S is introduced. The inlet of the cleaning chamber 210 is positioned opposite the outlet of the process chamber 110. As described above, the transfer unit 300 is positioned to extend in the first processing space and the second processing space along the first direction 12, respectively. The transfer unit 300 transfers the substrate S provided in the first processing space to the second processing space along the first direction 12. [

세정액공급유닛(500)은 제2처리공간에 위치된 기판(S)으로 세정액을 공급한다. 세정액공급유닛(500)은 세정노즐(500)을 포함한다. 세정노즐(500)은 바 형상을 가지며, 그 길이방향이 제2방향(14)을 향하도록 제공된다. 일 예에 의하면, 세정노즐(500)의 길이는 기판(S)의 폭과 대응되거나 이보다 길게 제공될 수 있다. 세정노즐(500)의 저면에는 슬릿 형상의 분사구들이 형성된다. 분사구의 길이방향은 제2방향(14)을 향하도록 제공된다. 예컨대, 세정액은 순수일 수 있다.The cleaning liquid supply unit 500 supplies the cleaning liquid to the substrate S placed in the second processing space. The cleaning liquid supply unit 500 includes a cleaning nozzle 500. The cleaning nozzle 500 has a bar shape and is provided so that its longitudinal direction faces the second direction 14. According to an example, the length of the cleaning nozzle 500 may be equal to or longer than the width of the substrate S. On the bottom surface of the cleaning nozzle 500, slit-shaped injection ports are formed. The longitudinal direction of the jetting port is provided so as to face the second direction (14). For example, the cleaning liquid may be pure water.

다음은 공정챔버(110)에 대해 보다 상세히 설명한다. 도3은 도1의 공정모듈을 보여주는 사시도이고, 도3을 참조하면, 공정챔버(110)는 하우징(120) 및 도어 어셈블리(130)를 포함한다. 하우징(120)은 상부가 개방된 통 형상으로 제공된다. 하우징(120)은 그 수평 단면이 직사각의 형상을 가지도록 제공된다. The following describes the process chamber 110 in more detail. FIG. 3 is a perspective view of the process module of FIG. 1, and FIG. 3 illustrates a process chamber 110 including a housing 120 and a door assembly 130. The housing 120 is provided in a cylindrical shape with its top opened. The housing 120 is provided such that its horizontal cross section has a rectangular shape.

도어 어셈블리(130)는 하우징(120)의 개방된 상부를 개폐한다. 도어 어셈블리(130)는 커버(140), 실링부재(150), 블럭(160), 그리고 핸들부재(170)를 포함한다. 커버(140)는 하우징(120)의 개방된 상부와 대체로 유사한 형상으로 제공된다. 커버(140)는 직사각의 판 형상으로 제공된다. 커버(140)는 그 일단이 하우징(120)에 힌지 결합되어 하우징(120)을 개폐한다. The door assembly 130 opens and closes the open top of the housing 120. The door assembly 130 includes a cover 140, a sealing member 150, a block 160, and a handle member 170. The cover 140 is provided in a shape that is generally similar to the open top of the housing 120. The cover 140 is provided in the shape of a rectangular plate. One end of the cover 140 is hinged to the housing 120 to open and close the housing 120.

실링부재(150)는 커버(140)와 하우징(120) 간의 틈을 실링한다. 도4는 도3의 도어 어셈블리의 실링부재를 보여주는 사시도이다. 도4를 참조하면, 실링부재(150)는 제1실링부재(150a) 및 제2실링부재(150b)를 포함한다. The sealing member 150 seals a gap between the cover 140 and the housing 120. 4 is a perspective view showing a sealing member of the door assembly of FIG. Referring to FIG. 4, the sealing member 150 includes a first sealing member 150a and a second sealing member 150b.

제1실링부재(150a)는 몸체(152) 및 패킹부재(154)를 포함한다. 몸체(150)는 직사각의 링 형상을 가지도록 제공된다. 몸체(152)는 하우징(120)과 대응되거나 이보다 조금 작게 제공된다. 몸체(152)는 하우징(120)의 상면 가장자리에 위치된다. 몸체(152)는 하우징(120)의 상단과 대응되는 크기를 가지는 직사각의 링 형상으로 제공된다. 몸체(152)는 하우징(120)에 고정결합된다. 몸체(152)의 상면에는 가이드홈(153)이 형성된다. 가이드홈(153)은 직사각의 링 형상으로 제공된다. The first sealing member 150a includes a body 152 and a packing member 154. The body 150 is provided to have a rectangular ring shape. The body 152 is provided corresponding to or slightly smaller than the housing 120. The body 152 is located at the upper edge of the housing 120. The body 152 is provided in the shape of a rectangular ring having a size corresponding to the upper end of the housing 120. The body 152 is fixedly coupled to the housing 120. A guide groove 153 is formed on the upper surface of the body 152. The guide groove 153 is provided in a rectangular ring shape.

패킹부재(154)는 하우징(120)의 저면에 고정결합된다. 패킹부재(154)는 가이드홈(153)과 대응되는 형상을 가지도록 제공된다. 예컨대, 패킹부재(154)는 직사각의 링 형상을 가질 수 있다. 패킹부재(154)는 커버(140)가 하우징(120)을 닫을 시 가이드홈(153)과 대향되도록 하우징(120)에 위치된다. 패킹부재(154)는 커버(140)의 내측면 가장자리에 위치된다. 패킹부재(154)는 커버(140)에 고정결합된다. 패킹부재(154)는 가이드홈(153)과 대응되거나 이보다 조금 큰 폭을 가진다. 일 예에 의하면, 커버(140)가 하우징(120)을 실링한 상태에서 패킹부재(154)의 일부는 가이드홈(153)에 삽입되고, 다른 일부는 몸체(152)의 상단을 감싸도록 제공될 수 있다. 패킹부재(154)는 불소를 포함한 재질로 제공될 수 있다.The packing member 154 is fixedly coupled to the bottom surface of the housing 120. The packing member 154 is provided so as to have a shape corresponding to the guide groove 153. For example, the packing member 154 may have a rectangular ring shape. The packing member 154 is positioned in the housing 120 such that the cover 140 faces the guide groove 153 when the housing 120 is closed. The packing member 154 is located at the inner peripheral edge of the cover 140. The packing member 154 is fixedly coupled to the cover 140. The packing member 154 has a width corresponding to or slightly larger than the guide groove 153. A portion of the packing member 154 is inserted into the guide groove 153 while the other portion of the packing member 154 is provided so as to surround the upper end of the body 152 in a state in which the cover 140 seals the housing 120 . The packing member 154 may be provided with a material containing fluorine.

제2실링부재(150b)는 제1실링부재(150a)와 동일한 구성으로 제공된다. 다만, 제2실링부재(150b)의 몸체(156)는 커버(140)에 고정결합되고, 패킹부재(158)는 하우징(120)에 고정결합된다. 제2실링부재(150b)는 제1실링부재(150a)의 외측에 위치된다. 이로 인해 실링부재(150)는 하우징(120)과 커버(140) 간의 틈을 이중 실링할 수 있다.The second sealing member 150b is provided in the same configuration as the first sealing member 150a. The body 156 of the second sealing member 150b is fixedly coupled to the cover 140 and the packing member 158 is fixedly coupled to the housing 120. [ And the second sealing member 150b is located outside the first sealing member 150a. This allows the sealing member 150 to double seal the gap between the housing 120 and the cover 140.

도5는 도3의 도어 어셈블리의 블럭 및 핸들부재를 보여주는 사시도이다. 도6은 블럭을 정면에서 바라본 정면도이다. 도5 및 도6을 참조하면, 블럭(160)은 하우징(120)의 상단에 고정결합된다. 블럭은 복수 개로 제공되며, 각각은 하우징(120)의 가장자리부를 따라 하우징(120)의 상단에 배열된다. 블럭(160)의 일측면에는 닫힘홈(162)이 형성된다. 상부에서 바라볼 때, 닫힘홈(162)은 하우징(120)의 개방된 상부를 향하도록 제공된다. 닫힘홈(162)을 정면에서 바라볼 때, 닫힘홈(162)이 형성되는 블럭(160)의 천장면 및 바닥면은 일측단에서 타측단으로 갈수록 서로 간의 간격이 넓어진다. 일 예에 의하면, 상기 천장면은 일측단에서 타측단으로 갈수록 수평하게 제공되고, 상기 바닥면은 일측단에서 타측단으로 갈수록 하향경사지도록 제공될 수 있다. 선택적으로 천장면은 경사지고, 바닥면은 수평하게 제공될 수 있다. 또한 천장면 및 바닥면은 각각 경사지도록 제공될 수 있다. 블럭(160)의 양측단은 닫힘홈(162)에 의해 개방되도록 제공된다. 따라서 닫힘홈(162)의 일측단은 그 면적이 타측단에 비해 작게 제공된다.Figure 5 is a perspective view showing the block and handle member of the door assembly of Figure 3; 6 is a front view of the block viewed from the front. Referring to FIGS. 5 and 6, the block 160 is fixedly coupled to the upper end of the housing 120. A plurality of blocks are provided, each of which is arranged at an upper end of the housing 120 along an edge portion of the housing 120. A closing groove 162 is formed on one side of the block 160. When viewed from above, the closure groove 162 is provided to face the open top of the housing 120. When the closure groove 162 is viewed from the front, the ceiling surface and the bottom surface of the block 160 in which the closure groove 162 is formed have a wider spacing from one end to the other end. According to an embodiment of the present invention, the ceiling surface is provided horizontally from one end to the other end, and the bottom surface may be provided so as to be inclined downward from one end to the other end. Alternatively, the ceiling scene may be inclined and the floor surface may be provided horizontally. Further, the ceiling surface and the bottom surface may be provided so as to be inclined, respectively. Both ends of the block 160 are provided to be opened by the closing groove 162. Therefore, one end of the closed groove 162 is provided in a smaller area than the other end.

핸들부재(170)는 공정챔버(110)를 잠김상태 또는 열림상태로 전환한다. 핸들부재(170)는 그 중심축을 중심으로 회전하여 닫힘홈(162)에 삽입 가능하다. 핸들부재(170)는 회전축(172) 및 플레이트(174)를 포함한다. 회전축(172)은 복수 개로 제공된다. 회전축들(172)은 커버(140)의 상면 가장자리영역에 위치된다. 각각의 회전축(172)은 하우징(120)이 커버(140)에 의해 잠김상태에서 각각의 블럭(160)과 인접하게 위치된다. 각각의 회전축(172)은 하우징(120)이 커버(140)에 의해 잠김상태에서 각각의 블럭(160)과 대향되게 위치된다. 회전축(172)은 중심축을 중심으로 회전 가능하도록 제공된다.The handle member 170 converts the process chamber 110 into a locked or open condition. The handle member 170 is rotatable about its central axis and can be inserted into the closed groove 162. [ The handle member 170 includes a rotary shaft 172 and a plate 174. [ A plurality of rotation shafts 172 are provided. The rotation shafts 172 are located in the upper surface edge region of the cover 140. Each of the rotation shafts 172 is positioned adjacent to each block 160 in a state where the housing 120 is locked by the cover 140. Each of the rotation shafts 172 is positioned so as to face the respective blocks 160 while the housing 120 is locked by the cover 140. The rotation axis 172 is provided so as to be rotatable about the central axis.

플레이트(174)는 복수 개로 제공된다. 각각의 플레이트(174)는 각각의 회전축(172)을 감싸도록 제공된다. 플레이트(174)는 그 중심축이 회전축(172)의 중심축과 일치되도록 위치된다. 플레이트(174)는 회전축(172)과 함께 회전 가능하도록 회전축(172)에 고정결합된다. 공정챔버(110)가 잠김상태에서 플레이트(174)는 닫힘홈(162)과 대향되는 높이에 위치된다. 플레이트(174)는 일부가 수직으로 절단된 절단면을 가지는 원판 형상으로 제공된다. 이하, 절단면(174b)과 반대되는 플레이트의 영역을 삽입부(174a)로 정의한다. 삽입부(174a)는 블럭(160)의 닫힘홈(162)과 대응되도록 제공된다. 삽입부(174a)는 정면에서 바라볼 때, 일측단에서 타측단으로 갈수록 그 상면과 저면 간의 간격이 넓게 제공된다. 일 예에 의하면, 삽입부는 일측단에서 타측단으로 갈수록 그 저면이 하향 경사지도록 제공된다. 삽입부(174a)는 커버(140)가 하우징(120)을 닫은 상태에서 이와 인접한 블럭(160)을 향하도록 회전되는 경우, 닫힘홈(162)에 삽입될 수 있다. 이와 달리, 절단면(174b)이 형성된 플레이트(174)의 영역은 블럭(160)을 향하도록 회전되는 경우, 블럭(160)과 이격되게 위치된다.A plurality of plates 174 are provided. Each plate 174 is provided to enclose the respective rotation axis 172. The plate 174 is positioned such that its central axis coincides with the central axis of the rotary shaft 172. The plate 174 is fixedly coupled to the rotary shaft 172 so as to be rotatable together with the rotary shaft 172. When the process chamber 110 is in the locked state, the plate 174 is positioned at a height opposite to the closed groove 162. The plate 174 is provided in the shape of a disk having a partially cut section cut vertically. Hereinafter, an area of the plate opposite to the cut surface 174b is defined as an insertion portion 174a. The insertion portion 174a is provided so as to correspond to the closing groove 162 of the block 160. [ As seen from the front, the inserting portion 174a is provided with a wide gap between the upper surface and the lower surface from one end to the other end. According to one example, the insertion portion is provided such that its bottom surface is inclined downward from one end to the other end. The insertion portion 174a can be inserted into the closing groove 162 when the cover 140 is rotated to face the block 160 adjacent to the housing 120 while the housing 120 is closed. Alternatively, the area of the plate 174 on which the cut surface 174b is formed is spaced apart from the block 160 when rotated toward the block 160.

도7 내지 도9는 도1의 공정챔버가 닫혀지는 과정을 보여주는 과정도이다. 도7 내지 도9를 참조하면, 하우징(120)의 상부가 개방된 상태에서 커버는 축 회전하여 하우징의 상부를 닫는다. 제1실링부재 및 제2실링부재 각각의 패킹부재는 서로 대응되는 가이드홈에 삽입된다. 회전축(172)은 삽입부가 닫힘홈에 삽입되도록 그 중심축을 중심으로 회전된다. 플레이트 모두가 닫힘홈에 삽입되면, 공정챔버가 닫힘상태로 판단하고 그 내부에 위치된 기판 처리 공정을 수행한다.7 to 9 are process diagrams illustrating a process of closing the process chamber of FIG. 7 to 9, when the upper portion of the housing 120 is opened, the cover rotates to close the upper portion of the housing. The packing members of the first sealing member and the second sealing member are inserted into the guide grooves corresponding to each other. The rotary shaft 172 is rotated about its center axis so that the insert is inserted into the closed groove. Once all of the plates are inserted into the closed groove, the process chamber is determined to be in a closed state and the substrate processing process located therein is performed.

상술한 실시예에는 플레이트(174)가 회전축(172)에 고정결합되어 회전축(172)과 함께 회전되는 것으로 설명하였다. 그러나 회전축(172)은 고정되고, 플레이트(174)는 회전축(172)에 대해 독립되게 회전될 수 있다. 플레이트(174)는 회전축(172)을 중심축을 중심으로 회전될 수 있다.In the above-described embodiment, the plate 174 is described as being fixedly coupled to the rotating shaft 172 and rotated together with the rotating shaft 172. However, the rotation axis 172 is fixed, and the plate 174 can be independently rotated with respect to the rotation axis 172. The plate 174 can be rotated about the central axis about the rotation axis 172. [

120: 하우징 140: 커버
150: 실링부재 160: 블럭
170: 핸들부재 120: housing 140: cover
150: sealing member 160: block
170: handle member

Claims (2)

내부에 기판을 처리하는 처리공간을 제공하는 챔버와;
기판 상에 처리액을 공급하는 처리액 공급유닛을 포함하되,
상기 챔버는,
일면이 개방된 하우징과;
상기 일면을 개폐하는 커버를 가지는 도어 어셈블리를 포함하되,
상기 도어 어셈블리는 그 중심축을 중심으로 회전되어 상기 일면을 개폐하는 기판처리장치.A chamber for providing a processing space for processing the substrate therein;
And a processing liquid supply unit for supplying the processing liquid onto the substrate,
The chamber may comprise:
A housing having an open side;
And a door assembly having a cover that opens and closes the one surface,
Wherein the door assembly is rotated about its central axis to open and close the one face. 제1항에 있어서,
상기 도어 어셈블리는,
상기 커버의 상면에 결합되는 핸들부재와;
상기 하우징에 고정결합되며, 상기 핸들부재에 대향되는 위치에 일측면에 닫힘홈이 형성되는 블럭을 포함하되,
상기 핸들부재는 회전되어 상기 닫힘홈에 삽입 가능하도록 제공되는 기판처리장치.



The method according to claim 1,
The door assembly includes:
A handle member coupled to an upper surface of the cover;
A block fixedly coupled to the housing and having a closed groove formed at one side thereof at a position facing the handle member,
Wherein the handle member is rotatably provided to be insertable into the closed groove.



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