KR20150054517A - Method and apparatus for inspecting of display panel - Google Patents

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KR20150054517A
KR20150054517A KR1020130137037A KR20130137037A KR20150054517A KR 20150054517 A KR20150054517 A KR 20150054517A KR 1020130137037 A KR1020130137037 A KR 1020130137037A KR 20130137037 A KR20130137037 A KR 20130137037A KR 20150054517 A KR20150054517 A KR 20150054517A
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display panel
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이현민
강성용
강민구
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(주) 인텍플러스
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Abstract

A method and an apparatus for inspecting a display panel are provided to to detect the surface defect of a display panel and to accurately determine what the type of the detected surface defect is. According to the present invention, the method comprises the steps of: outputting lighting from a first light source placed inclining as much as a first angle (θ1) to the surface of a display panel on the top of one side of the display panel; acquiring a reflection image by the first light source through an image acquiring means placed inclining as much as a second angle (θ2), which is smaller than the first angle (θ1), to the surface of the display panel on the top of the other side of the display panel; outputting lighting from a second light source placed inclining as much as a third angle (θ3), which is smaller than the second angle (θ2), to the surface of the display panel on the top of one side of the display panel; acquiring a reflection image by the second light source through the image acquiring means; comparing the intensity distribution of the reflection images by the first light source and the second light source; and determining the type of surface defect according to whether the trends of the intensity distribution are the same.

Description

디스플레이 패널의 표면 검사방법 및 검사장치{Method and apparatus for inspecting of display panel}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a method of inspecting a display panel,

본 발명은 디스플레이 패널의 표면 검사방법 및 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 패널의 표면 결함 유무는 물론 표면 결함의 종류까지 파악할 수 있는 디스플레이 패널의 표면 검사방법 및 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting a surface of a display panel, and more particularly, to a method and an apparatus for inspecting a surface of a display panel capable of grasping a surface defect of a display panel as well as a surface defect.

최근 각종 반도체 부품의 급속한 발전에 따라, 빠른 응답 속도 및 넓은 시야각을 제공하는 경량의 디스플레이장치, 예컨대 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기 EL(Electronic Light)가 많이 보급되고 있는 실정이다.BACKGROUND ART [0002] Recently, with the rapid development of various semiconductor parts, a light display device such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic EL (Electronic Light), which provide a fast response speed and a wide viewing angle, It is true.

이러한 디스플레이 장치의 표면에는 두께가 얇은 글라스(glass)가 설치되고, 상기 글라스에 다양한 패턴을 형성하도록 식각 및 세정 공정을 수행하게 된다.A thin glass is provided on the surface of the display device, and an etching and cleaning process is performed to form various patterns on the glass.

하지만 세정 공정 이후, 디스플레이 장치의 패널 글라스의 표면에 치핑(chippig) 또는 크랙(crack) 이 존재할 경우, 디스플레이 장치 성능을 저하시키는 문제를 야기하므로, 글라스 표면에 존재하는 결함 존재 여부를 판별하는 검사 공정을 수행하게 된다.However, if chippings or cracks are present on the surface of the panel glass of the display device after the cleaning process, a problem of deteriorating the performance of the display device is caused. Therefore, an inspection process for determining the presence or absence of defects existing on the surface of the glass .

종래 디스플레이 패널 글라스 표면의 결함 검사 방법은 검사자가 육안으로 검사하거나, 카메라 등의 촬영부를 이용하여, 글라스 영상을 분석하는 방법으로 이루어진다.Conventionally, a method of inspecting defects on the surface of a display panel glass is performed by a method of analyzing a glass image by an inspection by an examiner or by using a photographing section such as a camera.

특히, OLED패널의 경우 유리기판이 아닌 플렉시블한 플라스틱 기판으로 이루어져 경도가 낮아 작업공정 중 표면이 눌려져 덴트(dent)가 발생한다. 하지만, 이러한 덴트(dent)는 쉽게 검출할 수 없었고, 검출되더라도 이물(foreign materials)과 구분이 어려운 문제가 있다. In particular, the OLED panel is made of a flexible plastic substrate rather than a glass substrate, and its hardness is low, so that the surface of the OLED panel is pressed during the working process, resulting in a dent. However, such a dent can not be easily detected, and even if it is detected, it is difficult to distinguish it from foreign materials.

한국공개특허 10-2011-0109576Korean Patent Publication No. 10-2011-0109576

상기와 같은 종래 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 디스플레이 패널의 표면결함을 검출하는 것은 물론, 검출된 결함의 종류가 무엇인지를 정확히 판별할 수 있는 디스플레이 패널 검사방법 및 검사장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a method and an apparatus for inspecting a display panel capable of accurately detecting what types of defects are detected, as well as detecting surface defects of a display panel .

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 디스플레이 패널의 표면 검사방법은, 디스플레이 패널의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 제1각도(θ1)만큼 경사지게 배치된 제1광원으로부터 조명을 출력하는 단계와, 상기 디스플레이 패널의 타측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 상기 제1각도(θ1)보다 작은 제2각도(θ2)만큼 경사지게 배치된 이미지 획득수단을 통해 상기 제1광원에 의한 반사이미지를 획득하는 단계와, 상기 디스플레이 패널의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 상기 제2각도(θ2)보다 작은 제3각도(θ3)만큼 경사지게 배치된 제2광원으로부터 조명을 출력하는 단계와, 상기 이미지 획득수단을 통해 상기 제2광원에 의한 반사이미지를 획득하는 단계와, 상기 제1광원과 제2광원에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포(intensity distribution)를 비교하는 단계와, 상기 인텐시티 분포의 경향이 동일한지 여부에 따라 표면 결함의 종류를 판별하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a surface of a display panel, including the steps of: outputting light from a first light source disposed at an upper end of a display panel at a first angle (? 1 ) And a reflection image by the first light source is obtained through an image acquiring means disposed at the other upper end of the display panel at a second angle (? 2 ) smaller than the first angle (? 1 ) ; Outputting illumination from a second light source arranged at an upper end of the display panel at a third angle (? 3 ) smaller than the second angle (? 2 ) with the surface of the display panel; Acquiring a reflection image by the second light source through an acquiring means; acquiring an intensity distribution of the reflected image by the first light source and the second light source, inte nsity distribution) of the plurality of surface defects, and discriminating the type of surface defect according to whether the tendency of the intensity distribution is the same or not.

또한, 디스플레이 패널의 표면 검사장치는 디스플레이 패널의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 제1각도(θ1)만큼 경사지게 배치되어 낙사조명을 출력하는 제1광원과, 상기 디스플레이 패널의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 상기 제1각도(θ1)보다 작은 제3각도(θ3)만큼 경사지게 배치되어 낙사조명을 출력하는 제2광원과, 상기 디스플레이 패널의 타측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 상기 제1각도(θ1)보다 작고 제3각도(θ3)보다 큰 제2각도(θ2)만큼 경사지게 배치되어, 상기 제1광원과 제2광원에 의한 반사이미지를 획득하는 이미지 획득수단과, 상기 이미지 획득수단에서 획득한 제1광원과 제2광원에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포(intensity distribution)를 비교하는 비교부와, 상기 인텐시티 분포의 경향이 동일한지 여부에 따라 표면 결함의 종류를 판별하는 판정부를 포함한다.In addition, the surface inspection apparatus of the display panel may include a first light source disposed at one upper end of the display panel and inclined by a first angle (? 1 ) with respect to the surface of the display panel, A second light source disposed obliquely to the surface of the display panel at a third angle (? 3 ) smaller than the first angle (? 1 ) to output a fall illumination; and a second light source Image acquiring means arranged to be inclined at a second angle (? 2 ) smaller than the first angle (? 1 ) and larger than the third angle (? 3 ) to acquire a reflection image by the first light source and the second light source; A comparison unit for comparing an intensity distribution of the reflection image by the first light source and the second light source acquired by the image acquisition unit; And a judgment unit for judging the kind of the surface defect according to the presence or absence of the surface defect.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 디스플레이 패널의 표면 결함을 검출하는 것은 물론, 검출된 결함의 종류가 무엇인지를 정확히 판별할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, the surface defect of the display panel can be detected, and the type of the detected defect can be accurately determined.

도 1은 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 표면 검사방법의 순서도,
도 2는 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 표면 검사장치의 구성도,
도 3 내지 도 4는 디스플레이 패널의 제1영역의 제1광원과 제2광원에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포를 비교한 도면,
도 5 내지 도 6은 디스플레이 패널의 제2영역의 제1광원과 제2광원에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포를 비교한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a flow chart of a method of testing a surface of a display panel according to the present invention;
2 is a configuration diagram of a surface inspection apparatus for a display panel according to the present invention,
FIGS. 3 to 4 are diagrams comparing intensity distributions of reflected images by the first light source and the second light source in the first region of the display panel,
5 to 6 are diagrams comparing intensity distributions of reflected images by the first light source and the second light source in the second region of the display panel.

본 발명은 디스플레이 패널의 표면 결함 유무는 물론 표면 결함의 종류까지 파악할 수 있는 디스플레이 패널의 표면 검사방법 및 검사장치에 관한 것으로, 그 일 실시 예를 도 1 내지 도 2에 나타내 보였다.The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting a surface of a display panel capable of grasping the presence or absence of surface defects of a display panel as well as the types of surface defects. One embodiment thereof is shown in Figs.

본 발명의 일 실시 예에 따른 디스플레이 패널 검사방법은 제1각도(θ1)로 낙사조명을 출력하는 단계(S110)와, 1차적으로 반사이미지를 획득하는 단계(S120)와, 제3각도(θ3)로 낙사조명을 출력하는 단계(S130)와, 2차적으로 반사이미지를 획득하는 단계(S140)와, 반사이미지의 인텐시티 분포(intensity distribution)를 비교하는 단계(S150)와, 인텐시티 분포의 경향이 동일한지 여부에 따라 표면 결함의 종류를 판별하는 단계(S160)를 포함한다.A method of inspecting a display panel according to an exemplary embodiment of the present invention includes the steps of (S110) outputting oblique illumination at a first angle (? 1 ), obtaining a reflected image (S120) and a step (S150) to θ 3) comparing step (S130), and obtaining a reflected image secondarily (S140), and intensity distribution of the reflection image (intensity distribution) of outputting the incident illumination to, the intensity distribution (S160) of determining the type of the surface defect according to whether the tendencies are the same or not.

본 발명에서 설명되는 디스플레이 패널(10)은 LCD패널, OLED패널 등과 같은 공지의 다양한 표시수단이 해당될 수 있다. 그 중 OLED패널의 경우 유리기판이 아닌 플렉시블한 플라스틱 기판으로 이루어져 경도가 낮아 작업공정 중 표면이 눌려져 덴트(dent)가 발생한다. 하지만, 이러한 덴트(dent)는 쉽게 검출할 수 없었고, 검출되더라도 이물(foreign materials)과 구분이 어려운 문제가 있다. The display panel 10 described in the present invention may be a variety of known display means such as an LCD panel, an OLED panel, and the like. Among them, the OLED panel is made of a flexible plastic substrate rather than a glass substrate, and its hardness is low, so that the surface of the OLED panel is pressed during the working process and a dent is generated. However, such a dent can not be easily detected, and even if it is detected, it is difficult to distinguish it from foreign materials.

먼저, S110단계에서는 디스플레이 패널(10)의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널(10)의 표면과 제1각도(θ1)만큼 경사지게 배치된 제1광원(110)으로부터 조명을 출력한다. First, in step S110, the first light source 110 disposed at an upper end of the display panel 10 at an angle of a first angle (? 1 ) with the surface of the display panel 10 outputs light.

이후, S120단계에서는 상기 디스플레이 패널(10)의 타측 상단에 상기 디스플레이 패널(10)의 표면과 상기 제1각도(θ1)보다 작은 제2각도(θ2)만큼 경사지게 배치된 이미지 획득수단(200)을 통해 상기 제1광원(110)에 의한 반사이미지를 획득한다. Thereafter, in step S120, the image acquiring means 200 (see FIG. 1) disposed at the other upper end of the display panel 10 and inclined by a second angle? 2 smaller than the first angle? 1 with the surface of the display panel 10, To obtain a reflection image by the first light source 110. [

상기 이미지 획득수단(200)은 상기 제1광원(110)에서 출력되고 디스플레이 패널(10)에서 반사된 이미지를 획득하도록 제1광원(110) 및 후술되는 제2광원(120)의 맞은편에 배치된다. 이때, 상기 디스플레이 패널(10)의 표면과 제1광원(110)이 형성하는 제1각도(θ1)와 디스플레이 패널(10)의 표면과 이미지 획득수단(200)이 형성하는 제2각도(θ2)는 서로 상이하다. 일례로, 상기 제1각도(θ1)는 제2각도(θ2)보다 크게 형성될 수 있고, 후술되는 제3각도(θ3)는 제2각도(θ2)보다 작게 형성될 수 있다. 하지만 경우에 따라서는 상기 제1각도(θ1)가 제2각도(θ2)보다 작게 형성되고 제3각도(θ3)는 제2각도(θ2)보다 크게 형성될 수 있다.The image acquiring means 200 is arranged to face the first light source 110 and a second light source 120 described later to obtain an image output from the first light source 110 and reflected at the display panel 10 do. At this time, a first angle? 1 formed by the surface of the display panel 10 and the first light source 110, a second angle? 1 formed by the surface of the display panel 10 and the image obtaining means 200, 2 are different from each other. For example, the first angle? 1 may be greater than the second angle? 2 , and the third angle? 3 to be described later may be less than the second angle? 2 . However, in some cases, the first angle? 1 may be formed to be smaller than the second angle? 2 , and the third angle? 3 may be formed to be larger than the second angle? 2 .

종래의 경우, 디스플레이 패널(10)의 표면과 제1광원(110)이 형성하는 제1각도(θ1)와 디스플레이 패널(10)의 표면과 이미지 획득수단(200)이 형성하는 제2각도(θ2)를 동일하게 형성하여 이미지 획득수단(200)은 정반사된 이미지를 획득하였고, 이러한 정반사 이미지를 통해서는 덴트(dent)등의 결함을 검출하기 어려웠다. 하지만 상기와 같이 제1각도(θ1), 제2각도(θ2), 제3각도(θ3)를 각각 다르게 형성할 경우, 정반사에서는 검출하지 못했던 덴트(dent)등의 결함을 검출할 수 있다.A first angle? 1 formed by the surface of the display panel 10 and the first light source 110 and a second angle? 1 formed by the surface of the display panel 10 and the image obtaining means 200 θ 2) in the same manner to form the image pickup means (200) has attained a specular reflection image, it is regularly reflected by these pictures it has been difficult to detect defects such as a dent (dent). However, if the first angle (? 1 ), the second angle (? 2 ), and the third angle (? 3 ) are different from each other as described above, it is possible to detect defects such as dents have.

상기 S130단계에서는 상기 디스플레이 패널(10)의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널(10)의 표면과 상기 제2각도(θ2)보다 작은 제3각도(θ3)만큼 경사지게 배치된 제2광원(120)으로 부터 조명을 출력한다. 이때, 상기 제1광원(110)은 꺼진 상태이다.The second light source 120 disposed at an upper end of one side of the display panel 10 and inclined at a third angle? 3 smaller than the second angle? 2 with the surface of the display panel 10, Lt; / RTI > At this time, the first light source 110 is turned off.

S140단계에서는 상기 이미지 획득수단(200)을 통해 상기 제2광원(120)에 의한 반사이미지를 획득한다. 따라서, 상기 이미지 획득수단(200)은 상기 제1광원(110)에 의한 반사이미지와, 제2광원(120)에 의한 반사이미지를 획득한다.In step S140, the reflection image is acquired by the second light source 120 through the image acquisition unit 200. [ Accordingly, the image acquiring unit 200 acquires a reflection image by the first light source 110 and a reflection image by the second light source 120. [

S150단계에서는 상기 제1광원(110)과 제2광원(120)에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포(intensity distribution)의 경향을 비교한다. In step S150, the intensity distribution of the reflection image by the first light source 110 and the second light source 120 is compared.

상기 도 3 내지 도 4와, 도 5 내지 도 6과 같은 경우, 일부 구간에서 인텐시티의 분포가 높아지거나 낮아지는 현상이 발생하는데, 이러한 경우 해당 영역의 표면에 결함이 존재함을 확인할 수 있다. 또한, 인텐시티의 분포가 일직선으로 유지되는 구간에 대해서는 표면 결함이 없는 것으로 간주할 수 있다.In the case of FIGS. 3 to 4 and FIGS. 5 to 6, the distribution of the intensity increases or decreases in a certain section. In this case, it can be confirmed that defects exist on the surface of the corresponding region. In addition, it can be regarded that there is no surface defect in a section in which the distribution of the intensity is maintained in a straight line.

도 3 내지 도 4는 상기와 같은 제1광원(110)과 제2광원(120)에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포를 비교한 도면이다. 상기 반사이미지는 디스플레이 패널(10)의 제1영역에 대한 것으로, 비교 결과를 보면 두 개의 인텐시티 분포의 경향이 상이함을 확인할 수 있다. FIGS. 3 to 4 are views comparing the intensity distributions of the reflected images by the first light source 110 and the second light source 120. FIG. The reflection image is for the first area of the display panel 10, and the comparison result shows that the tendency of the two intensity distributions is different.

한편, 도 5 내지 도 6은 역시 상기와 같은 제1광원(110)과 제2광원(120)에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포를 비교한 도면이다. 상기 반사이미지는 디스플레이 패널(10)의 제2영역에 대한 것으로, 비교 결과를 보면 두 개의 인텐시티 분포의 경향이 동일함을 확인할 수 있다.5 to 6 are diagrams comparing the intensity distributions of the reflection images by the first light source 110 and the second light source 120, respectively. The reflection image is for the second area of the display panel 10, and the comparison results show that the tendencies of the two intensity distributions are the same.

S160단계에서는 상기 S150단계에서 상기 2개의 반사이미지의 인텐시티 분포의 경향이 동일한지 여부의 비교결과에 따라 표면 결함의 종류를 판별한다.In step S160, the type of the surface defect is determined according to the comparison result of whether or not the tendencies of the intensity distributions of the two reflection images are the same in step S150.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 표면 결함의 종류를 판별하는 S160단계는, 상기 제1조명(110)과 제2조명(120)에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포의 경향이 상이할 경우 덴트(dent)로 판별한다. 즉, 도 3 내지 도 4와 같이 제1광원(110)과 제2광원(120)에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포의 경향이 상이할 경우, 특히 인텐시티 분포의 경향이 정반대로 나타날 경우 이때 검출된 결함은 디스플레이 패널(10)의 표면에 오목하게 형성된 덴트(dent)로 판별할 수 있다. According to an exemplary embodiment of the present invention, the step of determining the kind of the surface defect may include determining a type of the surface defect based on a dent (dent) when the tendency of the intensity distribution of the reflected image by the first illumination 110 and the second illumination 120 is different dent). That is, when the tendency of the intensity distribution of the reflected image by the first light source 110 and the second light source 120 is different as shown in FIGS. 3 to 4, particularly when the tendency of the intensity distribution appears to be opposite, Can be determined as a dent formed concavely on the surface of the display panel 10.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 표면 결함의 종류를 판별하는 S160단계는, 상기 제1조명(110)과 제2조명(120)에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포의 경향이 동일할 경우 이물(foreign materials)로 판별한다. 즉, 도 5 내지 도 6과 같이 제1광원(110)과 제2광원(120)에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포의 경향이 동일하게 나타날 경우 이때 검출된 결함은 디스플레이 패널(10)의 표면에 볼록하게 형성된 이물(foreign materials)로 판별할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the step S160 of determining the kind of the surface defect may be performed when the intensity distribution of the reflection image by the first illumination 110 and the second illumination 120 is the same, foreign materials). 5 to 6, when the tendency of the intensity distribution of the reflected image by the first light source 110 and the second light source 120 is the same, the detected defects are detected as convex And can be identified as foreign materials.

참고로, 상기 제1각도(θ1)와 제3각도(θ3)의 차이 및 제2각도(θ2)와 제3각도(θ3)의 차이는 덴트(dent)의 크기나 깊이 또는 조명 조건 등에 따라 다양하게 설정될 수 있다.
The difference between the first angle? 1 and the third angle? 3 and the difference between the second angle? 2 and the third angle? 3 are determined by the size or depth of the dent, And may be variously set according to conditions and the like.

본 발명에 따른 디스플레이 패널의 표면 검사장치는 제1광원(110)과 제2광원9120)과 이미지 획득수단(200)과, 비교부(300)와, 판정부(400)를 포함한다. The apparatus for inspecting the surface of a display panel according to the present invention includes a first light source 110 and a second light source 9120, an image acquiring unit 200, a comparing unit 300, and a determining unit 400.

먼저, 상기 제1광원(110)은 상기 디스플레이 패널(10)의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널(10)의 표면과 제1각도(θ1)만큼 경사지게 배치되어 디스플레이 패널(10)을 향해 낙사조명을 출력한다. The first light source 110 is disposed at an upper end of one side of the display panel 10 so as to be inclined at a first angle? 1 with respect to the surface of the display panel 10, Output.

제2 광원(120)은 상기 디스플레이 패널(10)의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널(10)의 표면과 상기 제1각도(θ1)보다 작은 제3각도(θ3)만큼 경사지게 배치되어 낙사조명을 출력한다.The second light source 120 is arranged at an upper end of one side of the display panel 10 so as to be inclined at a third angle? 3 smaller than the first angle? 1 with the surface of the display panel 10, Output.

상기 제1광원(110)과 제2광원(120)은 동일한 밝기의 조명을 출력하고, 다만 빛을 조사하는 각도만 다르게 설정된다. 또한, 제1광원(110)과 제2광원(120)은 동시에 빛을 출력하지 않고 번갈아 가며 빛을 출력한다.The first light source 110 and the second light source 120 output lights having the same brightness, but only the angle for irradiating light is set differently. Also, the first light source 110 and the second light source 120 alternately output light without outputting light at the same time.

이미지 획득수단(200)은 상기 디스플레이 패널(10)의 타측 상단에 상기 디스플레이 패널(10)의 표면과 상기 제1각도(θ1)보다 작고 제3각도(θ3)보다 큰 제2각도(θ2)만큼 경사지게 배치되어, 상기 제1광원(110)과 제2광원(120)에 의한 반사이미지를 획득한다. 상기 이미지 획득수단(200)은 이미지 센서 등을 내장할 수 있으며, 상기 제1광원(110)과 제2광원(120) 모두 정반사된 이미지를 획득하지 않도록 제1각도(θ1)보다 작고 제3각도(θ3)보다 큰 제2각도(θ2)만큼 경사지게 배치된다. 상기 이미지 획득수단(200)은 상기 제1광원(110)에 의한 반사이미지와 제2광원(120)에 의한 반사이미지를 순차적으로 획득한다. The image acquiring means 200 acquires a second angle? 2 smaller than the first angle? 1 and larger than the third angle? 3 with the surface of the display panel 10 at the other upper end of the display panel 10, So as to obtain a reflection image by the first light source 110 and the second light source 120. Wherein the image acquiring means 200 may be built in such an image sensor, the first light source 110 and second light source 120, both so as not to obtain the regular-reflection image of the smaller than the first angle (θ 1) of claim 3 3 by a second angle? 2 larger than the angle? 3. The image acquiring unit 200 sequentially acquires a reflection image by the first light source 110 and a reflection image by the second light source 120.

비교부(300)는 상기 이미지 획득수단(200)에서 획득한 제1광원(110)과 제2광원(120)에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포(intensity distribution)의 경향을 비교한다.The comparing unit 300 compares the intensity distribution of the reflection image obtained by the first light source 110 and the second light source 120 acquired by the image acquiring unit 200 with each other.

판정부(400)는 상기 인텐시티 분포의 경향이 동일한지 여부에 따라 표면 결함의 종류를 판별한다. 보다 상세하게는 상기 판정부(400)에서 상기 제1조명(110)과 제2조명(120)에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포의 경향이 상이할 경우 덴트(dent)로 판별할 수 있고, 상기 제1조명(110)과 제2조명(120)에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포의 경향이 동일할 경우 이물(foreign materials)로 판별할 수 있다.The determining section (400) determines the type of surface defect according to whether the tendency of the intensity distribution is the same or not. More specifically, the determination unit 400 can determine a dent when the tendency of the intensity distribution of the reflection image by the first illumination 110 and the second illumination 120 is different, If the tendency of the intensity distribution of the reflection image by the first illumination 110 and the second illumination 120 is the same, it can be discriminated as foreign materials.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 디스플레이 패널(10)의 표면 결함을 검출하는 것은 물론, 검출된 결함의 종류가 무엇인지를 정확히 판별할 수 있는 장점이 있다. According to the present invention, the surface defect of the display panel 10 can be detected, and the type of the detected defect can be accurately discriminated.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the invention.

따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be determined only by the appended claims.

10 : 디스플레이 패널
110 : 제1광원
120 : 제2광원
200 : 이미지 획득수단
300 : 비교부
400 : 판정부10: Display panel
110: first light source
120: second light source
200: image acquiring means
300:
400:

Claims (4)

디스플레이 패널의 표면 결함을 검사하는 검사방법에 있어서.
상기 디스플레이 패널의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 제1각도(θ1)만큼 경사지게 배치된 제1광원으로부터 조명을 출력하는 단계;
상기 디스플레이 패널의 타측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 상기 제1각도(θ1)보다 작은 제2각도(θ2)만큼 경사지게 배치된 이미지 획득수단을 통해 상기 제1광원에 의한 반사이미지를 획득하는 단계;
상기 디스플레이 패널의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 상기 제2각도(θ2)보다 작은 제3각도(θ3)만큼 경사지게 배치된 제2광원으로부터 조명을 출력하는 단계;
상기 이미지 획득수단을 통해 상기 제2광원에 의한 반사이미지를 획득하는 단계;
상기 제1광원과 제2광원에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포(intensity distribution)를 비교하는 단계;
상기 인텐시티 분포의 경향이 동일한지 여부에 따라 표면 결함의 종류를 판별하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 표면 검사방법.An inspection method for inspecting surface defects of a display panel.
Outputting an illumination from a first light source disposed at an upper end of the display panel at an angle of a first angle (? 1 ) with respect to a surface of the display panel;
And a reflection image by the first light source is obtained through an image acquiring means disposed at the other upper end of the display panel at a second angle (? 2 ) smaller than the first angle (? 1 ) step;
Outputting a light from a second light source disposed at an upper end of the display panel at a third angle (? 3 ) smaller than the second angle (? 2 ) with a surface of the display panel;
Acquiring a reflection image by the second light source through the image acquisition means;
Comparing an intensity distribution of the reflected image by the first light source and the second light source;
And determining the type of surface defect according to whether the tendency of the intensity distribution is the same or not. 제 1항에 있어서,
상기 표면 결함의 종류를 판별하는 단계는, 상기 제1조명과 제2조명에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포의 경향이 상이할 경우 덴트(dent)로 판별하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 표면 검사방법.The method according to claim 1,
Wherein the step of discriminating the types of surface defects is determined as a dent when the tendencies of the intensity distribution of the reflection images by the first illumination and the second illumination are different. 제 1항에 있어서,
상기 표면 결함의 종류를 판별하는 단계는, 상기 제1조명과 제2조명에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포의 경향이 동일할 경우 이물(foreign materials)로 판별하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 표면 검사방법. The method according to claim 1,
Wherein the step of discriminating the types of surface defects includes discrimination as foreign materials when the tendencies of the intensity distribution of the reflection images by the first illumination and the second illumination are the same. . 디스플레이 패널의 표면 결함을 검사하는 검사장치에 있어서.
상기 디스플레이 패널의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 제1각도(θ1)만큼 경사지게 배치되어 낙사조명을 출력하는 제1광원;
상기 디스플레이 패널의 일측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 상기 제1각도(θ1)보다 작은 제3각도(θ3)만큼 경사지게 배치되어 낙사조명을 출력하는 제2광원;
상기 디스플레이 패널의 타측 상단에 상기 디스플레이 패널의 표면과 상기 제1각도(θ1)보다 작고 제3각도(θ3)보다 큰 제2각도(θ2)만큼 경사지게 배치되어, 상기 제1광원과 제2광원에 의한 반사이미지를 획득하는 이미지 획득수단;
상기 이미지 획득수단에서 획득한 제1광원과 제2광원에 의한 반사이미지의 인텐시티 분포(intensity distribution)를 비교하는 비교부;
상기 인텐시티 분포의 경향이 동일한지 여부에 따라 표면 결함의 종류를 판별하는 판정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 표면 검사장치.An inspection apparatus for inspecting surface defects of a display panel, the apparatus comprising:
A first light source arranged at an upper end of the display panel at an angle to the surface of the display panel at a first angle (? 1 ) to output a night illumination;
A second light source arranged at an upper end of one side of the display panel so as to be inclined at a third angle (? 3 ) smaller than the first angle (? 1 ) with a surface of the display panel to output a bottom illumination;
Are arranged inclined by the surface and the first angle (θ 1) smaller the third angle (θ 3) larger second angle (θ 2) than the display panel at the top of another side of the display panel, and the first light source of claim Image acquiring means for acquiring a reflection image by two light sources;
A comparing unit comparing an intensity distribution of the reflection image obtained by the first light source and the second light source acquired by the image acquiring unit;
And a determination unit that determines the type of surface defect according to whether the tendency of the intensity distribution is the same or not.
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