KR20150050770A - 다층 형상을 포함하는 미세 구조의 제조 방법 및 그 활용. - Google Patents

다층 형상을 포함하는 미세 구조의 제조 방법 및 그 활용. Download PDF

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KR20150050770A
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이석재
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Abstract

본원 발명에서는 다층 미세 구조의 제조 방법으로 상부 미세 구조를 제조하는 단계, 하부 미세 구조를 제조하는 단계, 상기 하부 미세 구조 상에 상기 상부 미세 구조를 부착하는 단계, 상기 부착된 상부 미세 구조와 하부 미세 구조를 관통하는 제 1 홀(Hole)을 형성하여 다층 미세 구조 틀을 형성하는 단계, 상기 다층 미세 구조 틀 상부에 제 1 기판을 부착하는 단계, 상기 제 1 기판 상에 상기 상부 미세 구조 형상의 오목 부분과 관통되도록 제 2 홀(Hole)을 형성하는 단계 및 상기 제 2 홀(Hole)이 형성된 다층 미세 구조 틀의 하부에 제 2 기판을 부착하는 단계를 포함한다.
또한, 본원 발명의 다층 미세 구조 제조 방법에 의해 제조된 다층 구조는 미세 형상으로 제조하는 것이 가능하며, 하나의 기판을 사이에 두고 두 개 이상의 미세 구조를 붙이는 적층 과정을 통해 기본 다층 구조를 형성하며, 형성된 미세 구조에 유체가 이동할 수 있는 홀(Hole)을 형성하여 복층 미세 구조에 유체가 자유롭게 이동하는 것을 가능하게 한다.
이러한 다층 미세 구조는 유연한 표면의 재질에의 부착성을 향상시켰다. 또한, 두 번의 단계를 거쳐 상기 미세 구조를 경화시키는 단계를 적용함으로써 직물 등의 흡수성이 있는 표면에도 적용이 용이하다.

Description

다층 형상을 포함하는 미세 구조의 제조 방법 및 그 활용.{A FABRICATION METHOD OF FINE STRUCTURES INCLUDING MULTILAYERS AND ITS APPLICATIONS FABRICATED BY THIS METHOD.}
본원 발명은 다층 형상을 포함하는 미세 구조의 제조 방법과 이를 포함하는 랩온어필름(Lab-on-a-film) 등을 이용한 바이오 기기 및 장치 기술에 관한 내용이다. 제조 방법으로는 미세 구조를 포함하는 주조를 복층으로 구성하는 캐스팅(Casting) 방법을 이용한다.
바이오센서의 가장 큰 시장은 임상 진단을 위한 의료용이 차지하고 있다. 현재는 혈당 측정용 바이오센서가 시장의 대부분을 차지하고 있으나 관심질병의 현장 현시 측정(point-of-care testing)에 대한 요구가 증대되면서 암, 당뇨를 비롯한 각종 바이오마커, 콜레스트롤, 젖산, 요소 등 다양한 생체 물질들을 분석하는 바이오센서들에 대한 수요 또한 빠르게 증가하고 있다. 또한 다양한 환경 현장에서의 공해 물질 감시를 위한 환경용 바이오센서로 많이 응용되어 지고 있으며, 식품의 안전성을 효율적으로 관리하기 위하여 농축산품에 포함된 잔류농약, 항생제, 병원균, 기타 독성 화학물질들을 현장에서 간편하게 분석할 수 있는 바이오센서에 대한 요구도 높아지고 있다. 최근에는 전장 및 테러의 현장에서 정확하고 신속하게 생물화학적 무기 사용의 여부를 감지할 수 있는 군사용 바이오센서에 대한 관심도 꾸준히 증가하고 있으며, 산업용으로는 제약, 화학, 석유화학 등의 공정 및 생물 산업 발효 공정을 제어 관리하기 위한 목적으로 바이오센서가 많이 응용되고 있다.
바이오센서는 초기에 포도당센서와 같이 효소를 신호변환기 소자에 고정하여 제작한 것이 대부분이었으나, 최근에는 분자생물학의 발달과 더불어 단일클론 항체나 항체-효소 결합체 등을 사용하여 제작한 센서들이 개발되어 사용되고 있다. 효소를 이용한 촉매센서와 항원-항체 반응을 이용한 친화결합센서 외에도 대량의 유전정보를 초고속으로 처리하기 위한 DNA칩 및 단백질칩, 시료의 처리 및 분석을 일괄적으로 처리할 수 있는 랩온어칩 (Lab-on-a-chip)과 같은 칩센서에 대한 개발 연구들이 활기를 띠고 있으며, 분자생물학기술(BT), 나노기술(NT) 및 정보통신기술 (IT)들이 융합된 첨단 센서들의 개발에 많은 노력이 집중되고 있다.
바이오칩이란 DNA, 단백질, 항체, 또는 세포 등의 생체물질들을 유리, 실리콘, 고분자 등의 고체기질 위에 고밀도로 집적화한 생체정보 감지소자로 극미량의 시료를 초고속으로 분석하는데 매우 적절한 기술로 유전자 발현 양상, 유전자 결함, 단백질 분포 등의 생물학적 정보를 얻거나 생화학적 동정 및 반응속도 또는 정보처리 속도를 높이는 도구나 장치를 말한다.
상기 랩온어칩 (Lab-on-a-chip)은 마이크로어레이 칩에 MEMS 기술을 이용하여 초소형, 고감도의 휴대형 진단기를 구현하는 기술로서, 실질적으로 U-헬스케어 서비스 보편화에 반드시 필요하다. 칩 표면에 용액이 흐를 수 있는 미세 채널 네트워크, 생체시료, 처리, 반응제어, 검출 등을 MEMS 공정을 사용하여 하나의 칩에 집적화시키며, 소량의 시료 채취 및 시료 분리 등이 용이한 시료처리 기술이 중요하다. 무선 통신 등 기존 통신망과 연계가 가능한 소형화된 단말기 형태의 검출 모듈용으로 제작 가능하여, 다양한 건강정보 서비스를 제공할 수 있다.
랩온어칩은 MEMS 공정을 이용하여 사진 감광 공정과 증착 및 식각 공정을 이용하여 반복적으로 제작 공정을 진행함으로써 소자를 제작한다. 이것은 원하는 패턴을 얻기 위하여 포토마스크를 사용하며, 특정 물질을 증착하고 식각하는 공정망을 사용하여야 하는 문제점이 있다.
또한, 기판의 유체 주입구를 기판을 관통하여 형성한 후에는 감광제 코팅이 매우 어려우므로 후속 사진 식각 공정이 매우 어려운 문제점이 있다.
가장 큰 문제점은 이러한 랩온어칩(Lap-on-a-chip)은 유연한 기판에 사용하는 것이 어려운 단점이 있다. 또한 복층의 구조를 구현하는 것이 쉽지 않으며, 재사용이 어려워 일회용으로 사용해야 하기 때문에 측정 장치에 활용하기에는 비용적으로 큰 부담으로 작용한다.
한국 등록 특허 제 10-1116125 호는 랩온어칩(Lap-on-a-chip) 제조방법에 있어서, 준비된 하부기판 표면으로 하부전극을 프린팅하는 단계, 상기 하부전극 표면으로 미세유로(microchannel) 형성을 위한 미세유로패턴을 프린팅하는 단계, 상기 미세유로패턴 바깥쪽으로 접착제를 도포하여 접착층을 형성하는 단계, 준비된 상부기판 위에 상부전극을 프린팅하는 단계 및 상기 하부기판과 상부기판을 상기 접착제 도포단계에서 형성된 접착층을 적용하여 조립하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 공정비용을 크게 절감시킬 수 있고, 상/하부기판을 상온에서 무압 방식으로 본딩(접합) 할 수 있는 등 다양한 이점이 있다. 즉, MEMS공정을 이용하지 않아 공정비용절감을 달성할 수 있는 랩온어칩 제조방법을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다. 또한, 고온, 고압, 고전압의 접합방법을 사용하지 않아 에너지 소비를 크게 낮출 수 있고, 이와 더불어 제한적인 재료 사용의 문제점을 해결할 수 있는 제조방법을 제공하고자 한다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 본원 발명에서는 유연한 기판에 사용될 수 있는 랩온어필름(Lab-on-a-film)과 이를 포함하는 장치를 제조하기 위한 다층 미세 구조를 제조하는 방법을 제시하고자 한다.
최근에 많이 사용되고 있는 랩온어칩(Lap-on-a-chip)의 단점을 보완하며 또한, 다층 미세 구조를 미세 유체 이동 채널을 구현하는 것을 목표로 한다.
이를 위해 본원 발명에서는 다층 미세 구조의 제조 방법으로 상부 미세 구조를 제조하는 단계, 하부 미세 구조를 제조하는 단계, 상기 하부 미세 구조 상에 상기 상부 미세 구조를 부착하는 단계, 상기 부착된 상부 미세 구조와 하부 미세 구조를 관통하는 제 1 홀(Hole)을 형성하여 다층 미세 구조 틀을 형성하는 단계, 상기 다층 미세 구조 틀 상부에 제 1 기판을 부착하는 단계, 상기 제 1 기판 상에 상기 상부 미세 구조 형상의 오목 부분과 관통되도록 제 2 홀(Hole)을 형성하는 단계 및 상기 제 2 홀(Hole)이 형성된 다층 미세 구조 틀의 하부에 제 2 기판을 부착하는 단계를 포함한다.
본원 발명의 다층 미세 구조 제조 방법에 의해 제조된 다층 구조는 미세 형상으로 제조하는 것이 가능하며, 하나의 기판을 사이에 두고 두 개 이상의 미세 구조를 붙이는 적층 과정을 통해 기본 다층 구조를 형성하며, 형성된 미세 구조에 유체가 이동할 수 있는 홀(Hole)을 형성하여 복층 미세 구조에 유체가 자유롭게 이동하는 것을 가능하게 한다.
이러한 다층 미세 구조는 유연한 표면의 재질에의 부착성을 향상시켰다. 또한, 두 번의 단계를 거쳐 상기 미세 구조를 경화시키는 단계를 적용함으로써 직물 등의 흡수성이 있는 표면에도 적용이 용이하다.
도 1은 본원 발명의 다층 미세 구조의 제조 방법을 나타낸다.
도 2는 본원 발명의 다층 미세 구조 제조 방법 중, 미세 구조를 제조하는 방법을 나타낸다.
도 3은 본원 발명의 미세 구조 각 제조 단계의 단면도를 나타낸다.
도 4는 본원 발명의 다층 미세 구조 각 제조 단계의 단면도를 나타낸다.
도 5는 본원 발명의 실시 예에 의한 다층 미세 구조의 각 제조 단계를 나타낸다.
도 6은 본원 발명에 의해 제조된 다층 미세 구조의 단면도를 나타낸다.
도 7은 본원 발명에 의해 제조된 다층 미세 구조를 포함하는 랩온어필름(Lab-on-a-film)을 나타낸다.
도 8은 본원 발명에 의해 제조된 랩온어필름(Lab-on-a-film)을 포함하는 다층 미세 구조를 포함하는 장치를 나타낸다.
도 1은 본원 발명의 다층 미세 구조(300)의 제조 방법을 나타낸다.
다층 미세 구조(300)의 제조 방법은 상부 미세 구조(130)를 제조하는 단계, 하부 미세 구조(230)를 제조하는 단계, 상기 하부 미세 구조(230) 상에 상기 상부 미세 구조(130)를 부착하는 단계, 상기 부착된 상부 미세 구조(130)와 하부 미세 구조(130)를 연결하여 관통하는 제 1 홀(Hole)(410)을 형성하여 다층 미세 구조 틀(100)을 형성하는 단계, 상기 다층 미세 구조 틀(100) 상부에 제 1 필름(310)을 부착하는 단계, 상기 제 1 필름(310) 상에 상기 상부 미세 구조를 관통하도록 제 2 홀(Hole)(420)을 형성하는 단계 및 상기 제 2 홀(Hole)(420)이 형성된 다층 미세 구조 틀(300)의 하부에 제 2 필름(320)을 부착하는 단계를 포함한다.
상기 하부 미세 구조(230) 상에 상기 상부 미세 구조(130)를 부착하는 단계에서 상기 상부 미세 구조(130)와 하부 미세 구조(230)가 향후 형성되는 제 1 홀(Hole)(410)에 의해 연결될 수 있도록 조정(Align)하여 부착한다.
상기 부착된 상부 미세 구조(130)와 하부 미세 구조(130)를 연결하여 관통하는 제 1 홀(Hole)(410)을 형성하여 다층 미세 구조 틀(100)을 형성하는 단계는 상기 부착된 상부 미세 구조(130)의 오목 형상과 하부 미세 구조(130)의 오목 형상을 연결하여 관통하는 제 1 홀(Hole)(410)을 형성하여 다층 미세 구조 틀(100)을 형성한다.
또한, 상기 다층 미세 구조 틀(100) 상부에 제 1 필름(310)을 부착하는 단계, 상기 제 1 필름(310) 상에 상기 상부 미세 구조를 관통하도록 제 2 홀(Hole)(420)을 형성하는 단계는 상기 다층 미세 구조 내부로 유체가 투입되거나 배출될 수 있도록 투입구 또는 배출구를 형성하는 단계로 상기 제 1 필름 상에 상기 상부 미세 구조 오목 형상과 관통하도록 제 2 홀(Hole)을 형성하는 것이 가능하다.
도 2는 본원 발명의 다층 미세 구조 제조 방법 중, 미세 구조를 제조하는 방법을 나타낸다.
자세히 살펴 보면, 다층 미세 구조(300)의 제조 방법은 상부 미세 구조(130)를 제조하는 단계 또는 하부 미세 구조(230)를 제조하는 단계는 마스터 몰드 상에 고분자 용액을 도포하고, 경화시켜 고분자 몰드(120, 220)를 제조하는 단계, 상기 경화된 고분자 몰드(120, 220)를 상기 마스터 몰드에서 분리하는 단계, 상기 분리된 고분자 몰드(120, 220) 상에 고분자 용액(130, 230)을 도포하고, 상기 고분자 용액(130, 230)을 반경화시키는 단계를 포함한다.
상부 미세 구조(130)를 제조하는 단계에 있어서, 상기 경화된 고분자 몰드(120)를 상기 마스터 몰드에서 분리하는 단계, 상기 분리된 고분자 몰드(120) 상에 고분자 용액(130)을 도포하고, 상기 고분자 용액(130)을 반경화시키는 단계 이후에, 상기 반경화된 고분자 용액(130) 상에 기판(140)을 부착시키고, 상기 고분자 용액(130)을 경화시켜 미세 구조(130)를 완성하는 단계를 포함한다.
상기 고분자 용액은 폴리우레탄(Poly urethane, PU)계, 폴리디메틸실옥산(Polydimethylsiloxane, PDMS)계, NOA(Noland Optical Adhesive)계, 에폭시(Epoxy)계 및 그 혼합물 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하여 선택한다.
상기 경화된 고분자 몰드(120, 220)를 상기 마스터 몰드에서 분리하는 단계에서, 상기 도포된 고분자 용액(130, 230) 상에 지지기판(110, 210)을 부착시키고, 상기 지지기판(110, 210) 상에 자외선을 조사하는 방법으로 상기 고분자 용액을 경화시킨다.
또한, 단계, 상기 경화된 고분자 몰드(120, 220)를 상기 마스터 몰드에서 분리하는 단계, 상기 분리된 고분자 몰드(120, 220) 상에 고분자 용액(130, 230)을 도포하고, 상기 고분자 용액(130, 230)을 반경화시키는 단계에서, 상기 고분자 용액에 자외선을 조사하는 방법으로 상기 고분자 용액을 반경화시킨다.
마찬가지로, 상기 반경화된 고분자 용액(130, 230) 상에 기판(140)을 부착시키고, 상기 고분자 용액(130, 230)을 경화시켜 미세 구조(130, 230)를 완성하는 단계에서, 상기 기판(140) 상에 자외선을 조사하는 방법으로 상기 고분자 용액을 경화시킨다.
상기 기판(140), 제 1 필름(310) 및 제 2 필름(320) 중의 어느 하나는
COC(cyclic olefin copolymer), 유리(glass), PET(polyethylene terephthalate), 종이(paper), 금속 박(metal foil), 직물(fabric), 그리드(grid) 및 플라스틱(plastic) 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함한다.
도 3 및 도 4는 본원 발명의 다층 미세 구조 각 제조 단계의 단면도를 나타낸다.
상기 고분자 몰드상에 고분자 용액을 도포하는 단계 이전에, 상기 고분자 몰드를 SiO2로 코팅하여, 제조되는 상기 미세 구조 표면에 친수성을 부여하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직할 것이다.
상기 방법을 통해 친수성이 부여된 상기 미세 구조는 바이오, 생물과 관련된 장치로 활용이 적합하게 된다.
상기 하부 미세 구조(230) 상에 상기 상부 미세 구조(130)를 부착하는 단계는 상기 상부 미세 구조(130)에 부착된 상기 기판(140)이 상기 하부 미세 구조의 기판으로 작용하도록 상기 하부 미세 구조(130)의 반경화된 고분자 용액 상에 상기 기판(140)을 부착시킨다.
상기 부착된 상부 미세 구조(130)와 하부 미세 구조(130)를 연결하여 관통하는 제 1 홀(Hole)(410)을 형성하여 다층 미세 구조 틀(100)을 형성하는 단계, 상기 제 1 필름(310) 상에 상기 상부 미세 구조를 관통하도록 제 2 홀(Hole)(420)을 형성하는 단계는 드릴(Drill)을 이용하여 상기 제 1 홀(410) 또는 상기 제 2 홀(420)을 형성한다.
또한, 상기 부착된 상부 미세 구조(130)와 하부 미세 구조(130)를 연결하여 관통하는 제 1 홀(Hole)(410)을 형성하여 다층 미세 구조 틀(100)을 형성하는 단계, 상기 제 1 필름(310) 상에 상기 상부 미세 구조를 관통하도록 제 2 홀(Hole)(420)을 형성하는 단계는 전에, 상기 드릴이 삽입되거나 관통되는 층의 표면에 보호층을 부착하는 단계를 더 포함하는 것이 가능하다.
상기 보호층은 PE(polyethylene), PET(polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate), silicon(Si), PDMS(polydimethylsiloxane), PP(polypropylene) 및 PU(polyurethene) 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것이 바람직할 것이다.
도 6은 본원 발명에 의해 제조된 다층 미세 구조의 단면도를 나타낸다.
본원 발명의 다층 미세 구조 제조 방법에 의해 제조되는 다층 미세 구조는 플렉서블(Flexible)한 표면에 부착되는 것이 가능하다.
도 7은 본원 발명에 의해 제조된 다층 미세 구조를 포함하는 랩온어필름(Lab-on-a-film)을 나타낸다.
이러한 미세 구조를 유체 이동 채널로 포함하는 것 랩온어필름(Lab-on-a-film)을 제조하는 것도 가능할 것이다.
도 8은 본원 발명에 의해 제조된 랩온어필름(Lab-on-a-film)을 포함하는 다층 미세 구조를 포함하는 장치를 나타낸다.
이러한 랩온어필름(Lab-on-a-film)을 포함하며, 바이오 칩, 바이오 센서, 웨어러블 센서(wearable sensor), 광학 부품 및 배터리 제조 기판 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 장치를 제조하는 것도 가능할 것이다.
도 5는 본원 발명의 실시 예에 의한 다층 미세 구조의 각 제조 단계를 나타낸다.
(1) Si mold에서 top channel을 1st casting한다.
(2) 상기 몰드를 spin coater에 장착하고 PUNO(Polyurethen+NOA)를 스핀 코팅한다.
(3) 스핀 코칭한 PUNO 위에 PET 필름을 rolling을 이용하여 기포 없이 붙인다.
(4) UV조사를 하여 curing을 한 후 release한다.
(5) bottom channel mold를 (2)와 같은 방법으로 PUNO를 코팅한다.
(6) (3)에서 만들어진 top channel의 반대면(PET면)을 (5)의 bottom channel과 현미경으로 align한다.
(7) UV를 조사하여 PET 필름 양면에 마이크로 채널을 형성한다.
(8) Top와 bottom channel 사이로 유체가 흐를 수 있도록 드릴을 이용하여 홀을 만든다. 이 때 channel의 손상을 막기 위해 양쪽으로 보호 필름을 붙인 후 작업한다.
(9) Top channel의 cover 필름을 UV 에폭시를 이용하여 semi-curing후 붙인다.
(10) Inlet과 outlet의 구멍을 드릴을 이용하여 가공한다.
(11) Bottom channel의 cover 필름을 UV 에폭시를 이용하여 semi-curing 후 붙여주면 양면 channel을 갖는 랩 온 어 필름이 완성된다.
본원 발명을 첨부된 도면과 함께 설명하였으나, 이는 본 발명의 요지를 포함하는 다양한 실시 형태 중의 하나의 실시 예에 불과하며, 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 하는 데에 그 목적이 있는 것으로, 본 발명은 상기 설명된 실시 예에만 국한되는 것이 아님은 명확하다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 하기의 청구범위에 의해 해석되어야 하며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서의 변경, 치환, 대체 등에 의해 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함될 것이다. 또한, 도면의 일부 구성은 구성을 보다 명확하게 설명하기 위한 것으로 실제보다 과장되거나 축소되어 제공된 것임을 명확히 한다.
100 : 미세 구조 틀
110 : 상부 미세 구조의 지지 기판
120 : 상부 미세 구조의 고부자 몰드
130 : 상부 미세 구조의 미세 구조
140 : 상부 미세 구조의 기판
210 : 하부 미세 구조의 지지 기판
220 : 하부 미세 구조의 고분자 몰드
230 : 하부 미세 구조
300 : 다층 미세 구조
310 : 제 1 필름
320 : 제 2 필름
410 : 제 1 홀(Hole)
420 : 제 2 홀(Hole)

Claims (15)

  1. 다층 미세 구조의 제조 방법에 있어서,
    (i) 상부 미세 구조를 제조하는 단계;
    (ii) 하부 미세 구조를 제조하는 단계;
    (iii) 상기 하부 미세 구조 상에
    상기 상부 미세 구조를 부착하는 단계;
    (iv) 상기 부착된 상부 미세 구와 하부 미세 구조를 연결하여 관통하는 제 1 홀(Hole)을 형성하여 다층 미세 구조 틀을 형성하는 단계;
    (v) 상기 다층 미세 구조 틀 상부에 제 1 필름을 부착하는 단계;
    (vi) 상기 제 1 필름 상에 상기 상부 미세를 관통하도록 제 2 홀(Hole)을 형성하는 단계; 및
    (vii) 상기 제 2 홀(Hole)이 형성된 다층 미세 구조 틀의 하부에 제 2 필름을 부착하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 (i) 단계의 상기 상부 미세 구조, 또는 (ii) 단계의 상기 하부 미세 구조를 제조하는 단계는
    (a) 마스터 몰드 상에 고분자 용액을 도포하고, 경화시켜 고분자 몰드를 제조하는 단계;
    (b) 상기 경화된 고분자 몰드를 상기 마스터 몰드에서 분리하는 단계;
    (c) 상기 분리된 고분자 몰드 상에 고분자 용액을 도포하고,
    상기 고분자 용액을 반경화시키는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 (i) 단계의 상기 상부 미세 구조를 제조하는 단계에 있어서,
    상기 (c) 단계 이후에,
    (d) 상기 반경화된 고분자 용액 상에 기판을 부착시키고,
    상기 고분자 용액을 경화시켜 미세 구조를 완성하는 단계를 포함하는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 고분자 용액은 폴리우레탄(Poly urethane, PU)계, 폴리디메틸실옥산(Polydimethylsiloxane, PDMS)계, NOA(Noland Optical Adhesive)계, 에폭시(Epoxy)계 및 그 혼합물 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 (a) 단계에서,
    상기 마스터 몰드 상에 도포된 고분자 용액 상에 지지기판을 부착시키고,
    상기 지지기판 상에 자외선을 조사하는 방법으로 상기 고분자 용액을 경화시키는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  6. 청구항 2에 있어서,
    상기 (c) 단계에서,
    상기 고분자 몰드 상에 도포된 고분자 용액에
    자외선을 조사하는 방법으로
    상기 고분자 용액을 반경화시키는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 (d) 단계에서,
    상기 기판 상에 자외선을 조사하는 방법으로 상기 고분자 용액을 경화시키는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  8. 청구항 3에 있어서,
    상기 기판, 제 1 필름 및 제 2 필름 중의 어느 하나는
    COC(cyclic olefin copolymer), 유리(glass), PET(polyethylene terephthalate), 종이(paper), 금속 박(metal foil), 직물(fabric), 그리드(grid) 및 플라스틱(plastic) 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  9. 청구항 3에 있어서,
    상기 (iii) 단계는
    상기 상부 미세 구조에 부착된 상기 기판이
    상기 하부 미세 구조의 기판으로 작용하도록
    상기 하부 미세 구조의 반경화된 고분자 용액 상에
    상기 기판을 부착시키는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 (iv) 또는 (vi) 단계에서,
    드릴(Drill)을 이용하여 상기 제 1 홀 또는 상기 제 2 홀을 형성하는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 (iv) 또는 (vi) 단계 전에,
    상기 드릴이 삽입되거나 관통되는 층의 표면에
    보호층을 부착하는 단계를 더 포함하는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 보호층은
    PE(polyethylene), PET(polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate), silicon(Si), PDMS(polydimethylsiloxane), PP(polypropylene) 및 PU(polyurethene) 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조의 제조 방법.
  13. 다층 미세 구조에 있어서,
    상기 청구항 1 내지 12 중의 어느 하나의 방법으로 제조되며,
    플렉서블(Flexible)한 표면에 부착 가능한 것을 특징으로 하는
    다층 미세 구조.
  14. 청구항 13의 다층 미세 구조를
    다층 미세 구조의 유체 이동 채널로 포함하는 것
    을 특징으로 하는 랩온어필름(Lab-on-a-film).
  15. 다층 미세 구조를 포함하는 장치에 있어서,
    청구항 14의 랩온어필름(Lab-on-a-film)을 포함하며,
    바이오 칩, 바이오 센서, 웨어러블 센서(wearable sensor), 광학 부품 및 배터리 제조 기판 중의 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 것
    을 특징으로 하는 다층 미세 구조를 포함하는 장치.
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