KR100550515B1 - 생체분자 필터 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 내부에 유로를 갖는 제 1 유로 구조물과, 다수개의 구멍들이 형성되어 이 구멍들을 통해서 유체가 통과할 수 있도록 하는 Dry Film Resist을 포함하여 구성되며, 다수개의 구멍들을 이용하여 생체 분자를 크기별로 분리하는 생체분자 필터를 제공한다.
여러 성분이 혼합된 샘플에서 분석 대상 분자를 농축할 수 있는 생체분자 필터를 랩온어칩에 제조함으로써 종래에는 칩 외부에서 전처리과정을 수행하여 분석샘플을 제조했던 것에 비해서, 분석시간, 비용을 절감할 수 있고 휴대 가능한 형태의 미소유체 소자를 제조할 수 있는 효과가 있다.
DFR(dry film resist), 미소유체소자(microfluidic device), 랩온어칩(Lab-on-a-chip), DNA칩, 필터

Description

생체분자 필터 및 그 제조방법{Biomolecular Filter And Method Thereof}
도 1, 2 및 4는 본 발명의 실시예에 따른 생체분자 필터의 제작과정을 도식적으로 표현한 사시도들이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 사용된 DFR 필름 구조의 일예이다
도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 단일 DFR필터의 구조도이고, 5b 및 5c는 본 발명의 실시예에 따른 다중 DFR필터의 모식도들이다.
도 6은 도 5c의 다중 DFR필터를 이용하는 상황을 설명하기 위한 개략적인 개념도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 DFR 필터를 실제 백혈구, 적혈구, Circulating DNA를 분리하는 원리를 설명하기 위한 개념도이다.
도 8은 도 7의 DFR 필터를 이용하는 일예를 설명하기 위한 개념도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 DFR필터를 이용하는 마이크로 제조된 미세제조 디바이스의 모식도이다.
본 발명은 생체 분자의 분석에 이용되는 생체분자 필터에 관한 것으로, 내부 에 유로를 갖는 유로 구조물 상에 다수개의 구멍들이 형성되어 이 구멍들을 통해서 유체가 통과할 수 있도록 필터를, 유로를 차단하는 것과 같은 그러나 실제로 다수개의 구멍으로 유체가 통과하는 형태로 형성된 다수개의 구멍이 있는 DFR 필터를 부착함으로써, 생체 분자를 크기별로 분리하는 생체분자 필터를 제공한다.
현재 DNA 칩에서 사용되는 시료는 정제된 DNA 시료나 백혈구가 주로 이용되고 있다. 하지만, DNA 칩이 포인트 오브 케어(point-of-care)진단 칩으로 사용되어, 가정이나 응급실 같은 장소에서 신속한 정보를 얻기 위해서는 혈액을 곧바로 분석할 수 있는 시스템이어야 한다(랩온어칩(Lab-on-a-chip)).
종래의 기술을 요약해 보면 다음과 같다. 먼저, 실리콘을 기반으로 한 마이크로 제조기술을 이용하여 마이크로 필터를 제조한 후에 이러한 필터를 혈액에서 백혈구나 적혈구를 분리하기 위하여 사용한 시도가 있었다. 그러나 이러한 마이크로필터를 제조하는 기술은 고단차(High aspect ratio)의 deep Reactive Ion Etching 식각법 과정과 같은 정교한 기술을 요구하여서, 앞으로도 많은 연구가 필요한 실정이다. 이와 유사한 시스템으로는, 유로상에 일정한 둑(weir)을 만들어 놓음으로써, 세포의 크기에 따라서 시료를 분리하는 것이 있다.
마이크로 비드(Microbead)를 마이크로 플루이딕 채널(microfluidic channel)에 충진한 후에, 이러한 비드 팩드 컬럼(bead packed column)을 크로마토 그래피(chromatography)와 유사한 원리를 이용하는 시도도 있다. 이러한 마이크로비드(microbead)는 실제로 오프칩(off-chip) 상에서 혈액으로부터 지노믹(genomic) DNA를 추출하는 많은 상업적 키드에서 이용되고 있는 시스템이다.
그러나, 마이크로 비드(microbead)를 마이크로 채널(microchannel)내에 충진해야 하는 과정이 기존의 미세 제조(microfabrication) 과정에 추가되어야 하기 때문에, 좀 더 용이한 방법이 요구되고 있는 실정이다.
이 밖에도 채널 내에 포러스(porous)한 고분자 구조물을 제조하여, 필터로 사용하려는 시도도 진행되고 있다. 그러나 혈액내에서 원하는 백혈구를 분리해 내기 위해서는 포어의 크기나 분포를 재현성 있게 제어해야 하기 때문에, 좀 더 정교하게 이러한 구조를 제어하는 방법이 요구된다.
샘플내 세포를 포함한 biomolecule의 농축은 현재 연구개발중인 바이오칩을 포함한 랩온어칩의 소형화에 큰 장애가 되고 있으며 대부분 아직까지 칩 외부에서 전처리 과정을 통해 샘플내의 분석대상물질을 농축, 정제 하고 있다. 이는 추가적인 비용과 시간소모를 유발하고 있다.
생체 분자를 분석대상으로 하는 랩온어칩(이하, 바이오칩)의 시료는 혈액, 조직 세포 추출물, 혈청, DNA, 단백질 등 정제된 샘플에서부터 비정제된 샘플이 될 수 있는 데 현재는 보다 높은 민감도를 가지기 위해서 샘플을 바이오칩 외부에서 1차 전처리과정을 통해서 농축, 정제과정을 거치는 것이 대부분이다. 전 처리과정은 바이오칩을 소형화, 휴대화시키는 데 있어서 가장 큰 장애가 되고 있으며 비용 및 분석시간 소모의 주 원인이 되고 있다.
예를 들어, DNA 증폭용 바이오칩의 경우 혈액으로부터 게놈DNA를 뽑는 전처리과정은 현재 대부분 칩 외부에서 수행되고 있으며, 일부 이 전처리과정을 칩부속 의 일부로 제작한 것(Nanogen사의 SDA방식을 이용한 DNA증폭용 랩온어칩)의 경우 부피가 매우 커져 휴대하기는 불가능한 형태가 되었다.
상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 PR(photo-resist)과 반도체 공정을 이용해서 바이오칩의 샘플 투입부에 미세 필터를 제조하는 방식을 사용하여 비정제 혼합물로부터 원하는 물질만을 농축 하여 부분정제가 가능하도록 하여 바이오칩에서 샘플의 전처리에서부터 분석까지 수행가능토록 할 수 있으며 칩의 소형화와 휴대성을 향상시킬 수 있도록 하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 생체분자의 분석을 위한 랩온어칩 또는 미소분석모듈의 개발에 있어서 분석 시간과 소형화 문제에 장애가 되고 있는 시료의 전처리 과정인 '농축’과정을 칩이나 모듈 내에서 수행가능 하도록 유로 구조물 내에 필터를 제조하는 기술을 제공하는 것이다.
바이오칩은 목적하는 바에 따라 다양한 종류와 형태가 될 수 있는 데, 본 발명에서는 생체분자를 분석대상으로 하는 랩온어칩에서 특정바이오분자를 정제, 농축이 요구되는 경우를 예로 설명하겠다. 그러나, 랩온어칩 가운데 유사한 목적을 수행해야 하는 경우 본 발명의 기술이 적용될 수 있음은 당업자에게는 자명하다.
본 발명에 따라 제조된 DFR필터는 정제된 DNA 시료나 백혈구와 같은 생체 물 질을 셈플 전처리(sample pretreatment (Lysis 포함)) 과정과 PCR 반응, 그리고 감지 기능을 소형화된 미소 진단 칩내에서 모두 구현하고자 하는데 필수적인 요소이다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 일측면은 생체분자 필터에 있어서, 내부에 유로를 갖는 제 1 유로 구조물; 및 다수개의 구멍들이 형성되어 이 구멍들을 통해서 유체가 통과할 수 있도록, 상기 유로를 차단하는 형태로 형성된 DFR을 포함하여 구성되며, 상기 다수개의 구멍들을 이용하여 생체 분자를 크기별로 분리하는 생체분자 필터를 제공한다.
생체분자 필터는 적어도 2개 이상이 연결된 구조를 가지고 형성될 수 있으며, 이들에 형성된 구멍들은 서로 동일한 크기를 갖거나 서로 다른 크기를 가질 수 있다. 상기 구멍들의 직경은 수십 nm에서 수천nm로 형성가능하다.
한편, 본 발명의 셍체분자 필터는 마이크로 디바이스와 결합되어 유전자 전달, 약물 전달 시스템에 적용가능하다.
본 발명의 다른 측면은 내부에 유로를 갖는 제 1 유로 구조물을 준비하는 단계; 및 상기 유로를 덮는 형식으로 상기 제 1 유로 구조물 상부에 DFR을 형성하는 단계; 및 상기 유로 상부에 형성된 DFR에 유체가 통과할 수 있도록 다수개의 구멍을 형성하는 단계를 포함하는 생체분자 필터의 제조방법을 제공한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 생체분자 필터의 제조방법을 상세히 설명한다. 본 실시예에서의 핵심 공정 중 하나는 액체의 유로(flow channel) 상부에 텐트(tent)를 친 것과 같은 모양의 덮개를 형성하는 텐팅(tenting)을 필름형 레지스트인 DFR(Dry Film Resist)를 라미네이터 장비를 사용하여 유로 상부에 부착하여 마이크로 구멍을 형성하는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 셍체분자 필터에 사용될 유로(flow channel)의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 2단 트렌치가 계단형의 유로(20)를 갖는 유로 구조물(10)이 형성되어 있다. 유로(10) 단면의 모양은 특별히 한정되지 않고 유체의 흐름을 유도할 수 있는 것이다. 유로 구조물(10)의 재료는 실리콘 또는 플라스틱 재료가 가능하며, 유로(20)를 형성하는 방법은 재질이 실리콘인 경우는 deep RIE 또는 KOH용액을 사용하여 식각할 수 있고, 플라스틱인 경우는 드릴링 또는 핫프레싱(hot pressing)을 이용할 수 있다.
도 2를 참조하면, 유로 구조물(10)의 최상부에 두께 5~200㎛ 정도의 DFR(dry film resist:30)을 접착온도 70~100℃ 정도로 5~10㎏/cm2 압력 하에서 라미네이팅 방법으로 접착한다. 라미네이팅 방법은 흔히 PCB(printed circuit board)산업에서 사용하는 방법이 이용된다. 도 3은 본 발명의 실시예에 이용되는 DFR 필름의 상세 구조를 도시하고 있다. DFR(dry film resist)은 필시트(peel sheet)에 감광성 물질 (photopolymer)을 적당한 두께로 도포하고 그 위에 커버시트(cover sheet)가 부착된 형태를 갖는다. 필시트는 폴리오레핀 릴리즈 라이너(polyolefin release liner)이고, 감광 및 접착 기능의 두 가지 요소를 수행하는 감광성 물질은 감광 및 현상이 가능한 필름형(photodevelopable dry film)이며 커버시트는 보호막 및 산소 방지 기능을 갖는다.
DFR 부착공정을 상세히 설명하면, 먼저, 부착하고자 하는 기판 위에 필시트를 떼어낸 DFR의 감광성 물질층과 기판을 마주대고 온도90℃, 압력 10㎏/cm2 압력하에서 라미네이팅 장비를 사용하여 DFR을 부착한다. 라미네이팅 장비는 PCB기판 공정에 사용되는 일반적인 장비를 엘로우룸(yellow room)에서 실시한다. 라미네이팅 후의 트렌치 상단의 DFR은 그 두께가 수 마이크로미터에도 불구하고 트렌치 상부 평면에서 처지지 않는다.
도 4를 참조하면, DFR 상부에 리소그래피 방법으로 마이크로 구멍을 형성한다. DFR은 UV의 김광성 재료이므로 구멍의 직경을 수십 nm에서 수천nm까지 정교하게 조절할 수 있는 g-line 혹은 i-line 스테퍼를 사용하여 리소그래피한다. UV를 노광한 후, 현상액 중에서 구멍 부위를 녹여내면 DFR위에 다수개의 구멍을 형성할 수 있다.
본 명세서에서는 DFR을 트렌치 구조물 위에 라미네이팅법으로 부착한 후 리소그래피법으로 생체 물질의 크기에 맞게 그 직경을 형성한 것을 DFR 필터라 명명한다.
한편, 상술한 바와 같이 상부에 DFR이 형성된 유로 구조물에는 DFR 상부에 유로가 연속적으로 이어져 형성될 수 있도록 다른 유로 구조물이 추가로 형성되는 것도 가능하다.
다음은 상기 본 발명의 제작방법을 응용한 사례들을 열거 한다.
도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 단일 DFR필터의 구조도이고, 5b 및 5c는 본 발명의 실시예에 따른 다중 DFR필터의 모식도들이다.
다중 DFR필터는 마이크로 포어(Micropore) 또는 나노포어 멤브레인(nanopore membrane)을 적층 구조로 만들어 다중 DFR필터로 이용하여 제조한 예를 나타내고 있다. 이 경우, 포어의 크기나 형태를 조절함으로써, 여러 가지 화합물을 그 크기에 따라 분리할 수 있다.
도 5a를 참조하면, 단일 DFR필터는 유로가 형성된 유로 구조물(100, 120)의 중간 부분에 미세구멍(115)이 형성되어 있는 라미네팅된 DFR(110)을 구비하는 구조를 가지고 있다.
도 5b를 참조하면, 다중 DFR필터는 유로가 형성된 유로 구조물(200,220, 240)의 2개의 중간 부분에 미세구멍(215, 225)들이 각각 형성되어 있는 2개의 라미네팅 DFR(210,230)을 구비하는 구조를 가지고 있다. 이 경우는 2개의 DFR필터가 연결된 구조를 갖는 것으로 미세구멍(215)은 동일한 크기를 갖도록 구성할 수도 있고, 서로 다른 구멍 크기를 갖도록 구성할 수도 있다.
도 5c를 참조하면, 다중 DFR필터는 다수개의 유로 구조물에서 각각의 유로 구조물(300,320,340)이 2개의 중간 부분에 미세구멍(315, 325)들이 형성되어 있는 2개의 라미네팅 DFR(310,330)을 구비하는 구조를 가지고 있다. 결국, 도 5c의 다중 DFR필터는 도 5b의 다중 DFR필터가 복수개 연결되어 있는 구조를 갖고 있는 경우이다. 이 경우는 각각의 유로 구조물(300,320,340)의 미세구멍들(315,325)은 동일한 크기, 서로 다른 구멍 크기 등 구멍의 개수와 크기 등에서 다양한 변형의 조합으로 구성할 수 있다. 즉, 각 DFR필터들은 분리하고자 하는 물질의 특성에 맞게 표면 개질을 함으로써 예를 들면, 친수성, 혹은 소수성으로 표면을 개질하여 특정 성분 만을 선택적으로 분리할 수 있을 것이다.
도 6은 도 5c의 다중 DFR필터를 이용하는 상황을 설명하기 위한 개략적인 개념도이다. 샘플은 각 필터들(필터1,2,3)을 이용하여 필터링하여 전처리, 반응 및 감지를 거쳐서 하나의 칩 상에서 얻을 수 있는 정보를 통합할 수 있는 구조를 나타낸다. 예컨대, DNA와 같은 생물학적 물질의 경우에는, 증폭 반응과 적절한 감지 방법을 통하여 여러 가지 유용한 유전 정보를 얻을 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 DFR 필터를 실제 백혈구, 적혈구, Circulating DNA를 분리하는 원리를 설명하기 위한 개념도이다.
백혈구, 적혈구, Circulating DNA 등 여러 가지 성분으로 이루어진 혈액을 그 구성 성분의 크기에 따라서 분리한다. 도 7에 도시된 바와 같이, 백혈구, 적혈구, Circulating DNA의 크기 순은 백혈구>적혈구>Circulating DNA로 나열할 수 있다. 따라서, DFR 필터1 (Filter1)은 백혈구와 적혈구 사이의 크기를 갖는 미세구멍(500)을 형성하여, 백혈구는 필터링하여 OUT1으로 보내고 나머지 적혈구와 Circulating DNA는 다음 DFR 필터로 통과시킨다. 마찬가지 원리로, DFR 필터 2(Filter2)는 적혈구와 Circulating DNA 사이의 크기를 갖는 미세구멍(510)을 형성하여 적혈구를 OUT2로 보내고 Circulating DNA는 OUT3으로 보낸다. 이와 같은 과정을 통해 백혈구, 적혈구, Circulating DNA는 각각 분리된다.
도 8은 도 7에서 언급된 DFR 필터를 이용하는 일예를 설명하기 위한 개념도이다.
도 8을 참조하면, 지노믹(genomic)DNA를 이용하여 세포를 용해(Lysis)하고 PCR 과정을 거쳐서 감지함으로써, 여러 가지 유용한 유전정보를 얻을 수 있고, 백혈구와 적혈구까지 분리된 혈액에서는 유용 단백질이나 Circulating DNA를 이용하여, 암과 같은 질병의 진단 분야에 유용하게 이용될 수 있다. 이러한 과정은 감지하고자 하는 목적에 맞게 PCR 증폭 방법을 이용하거나, 일반적인 Immunoassay 방법을 이용할 수 있다.
도 9는 DFR필터를 이용하는 마이크로 제조된 미세제조 디바이스(600)를 도시하고 있다. 미세제조 디바이스(600)는 시그널링부(signaling part)(610), 마이크로 포어(micropore) 또는 나노포어(nanopore)를 갖는 멤브레인(membrane)구조의 약품제어부(640), 조절부(actuation part)(630), 신호분석부(620)를 포함하여 구성될 수 있다. 이 디바이스를 통해서 유전자 전달(gene delivery), 약물 전달 시스템(DDS; Drug Delivery System)에 적용될 수 있다.
현재의 약물전달 시스템에서는 주로 약물을 약물 전달체(drug carrier)에 담 지한 후에, 몸속에 주입시킴으로써 가능하다. 그러나, 당뇨병에서 처럼, 체내에서 일어나는 글루코스의 상대적인 양이 시시각각으로 변화하는 경우에는, 그 시기마다 일일이 약물을 주입시켜야 하는 번거로움이 있을 수 있다. 이러한 관점에서, 몸속에서 일어나는 글루코스의 양을 자동적으로 감지하고 분석함으로써, 이상이 있을 경우에, 필요한 약물을 해당되는 양만큼 전달해 줄 수 있는 초소형 소자의 개발이 절실한 실정이다.
이러한 초소형 약물 전달 소자에 이러한 마이크로 포어 또는 나노포어 구조를 도입함으로써, 전달되는 약물의 양을 조절할 수 있을 것이다. 생체 내에서 일어나는 신호의 변화(예를 들면, 글루코스의 양의 변화)를 감지할 수 있는 감지부(610)에서 신호를 감지하고, 감지된 신호를 신호분석부(620)에서 정량 혹은 정성적으로 분석함으로써, 해당되는 양 만큼의 약물만을 소자내에서 몸속으로 내 보낼 수 있도록 마이크로 포어 또는 나노포어의 약물의 이동을 조절하는 조절부(630)를 하나의 초소형 소자내에 통합하여 구성할 수 있다는 것이다. 특히, 나노포어 크기를 갖는 멤브레인은 최근에 DNA의 구조나 특성 감지, 분자 감지 (molecular sensing) 분야에서 활발한 관심의 대상이 되고 있다.
본 발명의 방법으로 제조되는 DFR 필터는 진단분야로 응용도 가능할 것으로 보이는데 포어 사이즈를 다양하게 조절도 가능하기 때문에 진단 샘플예 가운데 혈액속 질병 바이러스의 감염 여부를 진단하는 칩의 제조에도 사용가능하다. 현재 바이러스 감염여부는 거의 항원 항체반응을 이용한 검사인데, 이를 응용하여 칩 내부에 고착 항체를 부착시키고 혈액을 칩내부에 투입시킬 때 상기 필터를 투과시키면 항원 항체반응을 더디게 만들 수 있는 다양한 혈구들을 제거하고 보다 정제된 세럼(serum)상태의 샘플이 항원 항체 반응부로 진입되도록 할 수 있을 것이다. 항원항체 반응부를 여러개 만들고 그곳에 부착되는 진단용 항체를 다양하게 한다면 한 번 채취된 혈액으로 여러 바이러스성 혹은 세균성 질병을 동시에 진단하는 데 용이하게 이용될 수 있을 것이라 기대된다.
본 발명은 바이오칩의 샘플 투입구 쪽에 비정제된 샘플로부터 분석대상물질만 농축할 수 있도록 PR과 반도체 공정을 이용하여 커트 오프(cut-off)방식 필터를 제조하는 기술이다. 하나의 칩에 하나의 미소필터를 제조할 수도 있으며 목적하는 바에 따라 다른 cut-off 사이즈를 가지는 필터를 하나의 칩내에 제조할 수도 있다. 예를 들어 농축 정제하고자 하는 물질이 혼합물내에 2종류 이상인 경우 cut-off사이즈가 다른 필터를 각 각 구조물에 제조하고 두 구조물을 접착하여 하나의 칩형태로도 만들 수 있다. 뿐만 아니라 사용하는 PR에 따라 최종 필터의 표면성질이 달라질 수 있는 데 이런 특성은 사용하는 바에 따라 농축, 정제 효과증대를 가져올 수 있으리라 기대한다.
이와 같이 제조된 DFR 필터는 미세 크기로 제작할 수 있으며 DFR이 쉽게 부착되는 성질을 이용하여 PCR 챔버 등에 응용하면, PCR 반응과 감지 반응을 동시에 수행할 수 있는 미소칩에 혈액에서 DNA를 분리할 수 있는 시스템을 통합하여 하나의 소자로 만들 수 있다.
또한, 본 발명에 의해 제조된 DFR 필터는 PCR칩, DNA칩, 단백질칩등의 유전자칩등에 일체형으로 형성되어 총칭 렙온어칩(Lab. on a chip)을 형성한다.
한편, 생체분자(즉, 생체물질 또는 약물)외에 미세분말등의 일반 공업용 재료의 분리에 사용될 수도 있다..
랩온어칩에서 분석할 대상샘플의 전처리과정 중 정제, 농축을 칩외부에서 수행할 때 발생하는 시간과 비용소모를 절약할 수 있을 뿐 만 아니라 랩온어칩 자체에서 모든 과정을 수행 가능토록 함으로써 칩의 휴대성을 증대할 수 있을 것으로 기대한다.

Claims (12)

  1. 생체분자 필터에 있어서,
    내부에 유로를 갖는 제 1 유로 구조물; 및
    다수개의 구멍들이 형성되어 이 구멍들을 통해서 유체가 통과할 수 있도록 하는 DFR(Dry Film Resist)을 포함하여 구성되며,
    상기 다수개의 구멍들을 이용하여 생체 분자를 크기별로 분리하는 것을 특징으로 하는 생체분자 필터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 DFR은 5 ㎛(마이크로미터) 내지 1000 ㎛(마이크로미터)의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 생체분자 필터.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 유로 구조물은 실리콘 또는 플라스틱 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 생체분자 필터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 DFR 상부에 제 2 유로 구조물이 추가로 제조되어 있는 것을 특징으로 하는 생체분자 필터.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 생체분자 필터는 적어도 2개 이상이 연결된 구조를 가지며, 이들에 형성된 구멍들은 서로 동일한 크기를 갖거나 서로 다른 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 생체분자 필터.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 DFR은 필시트, 감광성 물질 및 커버시트를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 생체분자 필터.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 구멍들의 직경은 수십 nm(나노미터)에서 수천 nm(나노미터)로 형성되는 것을 특징으로 하는 생체분자 필터.
  8. 제 1 항에 있어서,
    마이크로 디바이스와 결합되어 유전자 전달, 약물 전달 시스템에 적용되는 것을 특징으로 하는 생체분자 필터.
  9. 내부에 유로를 갖는 제 1 유로 구조물을 준비하는 단계; 및
    상기 유로를 덮는 형식으로 상기 제 1 유로 구조물 상부에 DFR(Dry Film Resist)을 형성하는 단계; 및
    상기 유로 상부에 형성된 DFR에 유체가 통과할 수 있도록 다수개의 구멍을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생체분자 필터의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 DFR의 형성은 접착온도 70~100℃ 정도로 5~10㎏/cm2 압력 하에서 라미네이팅 방법으로 접착하는 것을 특징으로 하는 생체분자 필터의 제조방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 DFR에 다수개의 구멍들을 형성하는 단계는 반도체 공정에서 사용되는 UV 리소그래피 방법으로 노광, 현상, 및 식각하여 형성하는 것을 특징으로 하는 생체분자 필터의 제조방법.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 생체분자 필터는 생체물질, 약물 또는 미세분말의 분리에 사용되는 것을 특징으로 하는 생체분자 필터의 제조방법.
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