KR20150037075A

KR20150037075A - Heater

Info

Publication number: KR20150037075A
Application number: KR20130116298A
Authority: KR
Inventors: 김경민
Original assignee: (주)티티에스
Priority date: 2013-09-30
Filing date: 2013-09-30
Publication date: 2015-04-08

Abstract

본 발명에 따른 히터는 상부에 기판이 안착되는 히터 플레이트, 히터 플레이트 내에 내설되어, 상기 히터 플레이트를 가열하는 발열체를 포함하고; 발열체는 상기 히터 플레이트로부터 외각 영역까지 연장 형성되며, 복수번 절곡된 라인 형상의 패턴을 형성한다.
따라서, 본 발명의 실시형태들에 의하면, 기판을 균일하게 가열할 수 있다.The heater according to the present invention includes a heater plate on which a substrate is placed, a heating element inserted in the heater plate and heating the heater plate, The heating element extends from the heater plate to the outer peripheral region, and forms a line-shaped pattern bent a plurality of times.
Therefore, according to the embodiments of the present invention, the substrate can be uniformly heated.

Description

Heater

본 발명은 히터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 온도 균일성이 향상된 히터에 관한 것이다.The present invention relates to a heater, and more particularly, to a heater having improved temperature uniformity.

평판 판넬 디스플레이(FPD) 기판 공정에 있어서 기술이 발전함에 따라 대형 판넬의 공정에 필요한 열원 장치에 온도 균일도가 우수한 히터가 요구 된다. 기술이 발전함에 따라 공정에 필요한 열원의 온도 균일도는 수율을 결정하는 중요한 원인이 된다.As technology develops in flat panel display (FPD) substrate processing, a heater having excellent temperature uniformity is required for a heat source device required for a large panel process. As technology develops, the temperature uniformity of the heat source required for the process is an important determinant of yield.

기판을 가열하는 일반적인 히터는 한국등록특허 10-0726931에도 개시된 바와 같이, 상부에 기판이 안착되는 히터 플레이트, 히터 플레이트 내에 내설된 발열체를 포함하며, 상기 발열체는 히터 플레이트의 중심으로부터 외측 방향으로 연장되며, 소정의 형상을 이루도록 패턴을 이룬다. 이때, 종래의 사각 히터 플레이트 상에 형성되는 발열체 패턴의 형상은 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 대략 삼지창의 형상이며, 라인과 라인 간의 간격은 300mm 내지 400mm이다. 이러한 발열체 패턴의 형상의 경우, 라인과 라인 간의 간격이 넓어, 히터 플레이트 및 그 상부에 안착되는 기판이 불균일하게 가열되는 문제가 발생된다. 또한, 히터 플레이트의 외각을 따라 연장된 발열체의 외측 라인과 그 내측에 위치하는 내측 라인 사이의 이격 공간이 커, 패턴 간 이격 공간에서 온도 균일도가 불량한 문제가 있다.A typical heater for heating a substrate includes a heater plate on which a substrate is placed and a heating element disposed in the heater plate, the heating element extending outward from the center of the heater plate, as disclosed in Korean Patent No. 10-0726931 So as to form a predetermined shape. At this time, the shape of the heating element pattern formed on the conventional rectangular heater plate is approximately triangular shape as shown in FIGS. 3 and 5, and the distance between the lines and the lines is 300 mm to 400 mm. In the case of such a shape of the heating element pattern, the distance between the line and the line is widened, and the heater plate and the substrate mounted on the heater plate are heated unevenly. In addition, there is a problem that the spacing distance between the outer line of the heating element extending along the outer periphery of the heater plate and the inner line located inside thereof is large, and the temperature uniformity in the space between the patterns is poor.

또한, 종래에는 도 5에 도시된 바와 같이 발열체가 코일형태로 가열되는 형태이며, 이러한 발열체의 경우, 코일 간의 간격이 일정하지 않아 히터 플레이트에서 온도차를 유발시키는 요인이 된다.As shown in FIG. 5, a heating element is heated in a coil shape. In the case of such a heating element, a gap between the coils is not constant, which causes a temperature difference in the heater plate.

한국등록특허 10-0726931Korean Patent No. 10-0726931

본 발명은 온도 균일성이 향상된 히터를 제공한다.The present invention provides a heater with improved temperature uniformity.

또한, 본 발명은 온도 균일성이 향상된 히터를 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다.Further, the present invention provides a substrate processing apparatus including a heater having improved temperature uniformity.

본 발명에 따른 히터는, 상부에 기판이 안착되는 히터 플레이트. 상기 히터 플레이트 내에 내설되어, 상기 히터 플레이트를 가열하는 발열체;를 포함하고; 상기 발열체는 상기 히터 플레이트로부터 외각 영역까지 연장 형성되며, 복수번 절곡된 라인 형상의 패턴을 형성한다.A heater according to the present invention is a heater plate on which a substrate is placed. And a heating element inserted in the heater plate and heating the heater plate; The heating element extends from the heater plate to an outer peripheral region, and forms a line-shaped pattern that is bent a plurality of times.

상기 발열체의 패턴은 상기 히터 플레이트의 중심으로부터 외각을 따라 형성된 외측 패턴; 및 상기 외측 패턴의 내측 영역에 위치하며, 상기 히터 플레이트의 중심으로부터 외측 방향으로 연장되도록 형성된 내측 패턴을 포함한다.Wherein the pattern of the heating element is an outer pattern formed along the outer periphery of the center of the heater plate; And an inner pattern located in an inner region of the outer pattern and extending outward from a center of the heater plate.

본 발명의 실시형태에 의하면, 기판을 균일하게 가열할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, the substrate can be uniformly heated.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 히터를 도시한 상면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 단면도를 나타난 단면도
도 3 및 도 4는 종래의 히터를 도시한 상면도이다.
도 5는 종래의 발열체를 도시한 단면도1 is a top view illustrating a heater according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing a cross-sectional view according to an embodiment of the present invention
3 and 4 are top views showing a conventional heater.
5 is a cross-sectional view showing a conventional heating element

이하, 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. It should be understood, however, that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but is capable of other various forms of implementation, and that these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, It is provided to let you know completely.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 히터는 상부에 기판이 안착되는 히터 플레이트, 상기 히터 플레이트 내에 내설되어, 상기 히터 플레이트를 가열하는 발열체를 포함한다. 여기서, 발열체는 상기 히터 플레이트로부터 외각 영역까지 연장 형성되며, 복수번 절곡된 라인 형상의 패턴을 형성한다. 발열체의 패턴은 상기 히터 플레이트의 중심으로부터 외각을 따라 형성된 외측 패턴 및 외측 패턴의 내측 영역에 위치하며, 상기 히터 플레이트의 중심으로부터 외측 방향으로 연장되도록 형성된 내측 패턴을 포함한다.
Referring to FIG. 1, a heater according to an embodiment of the present invention includes a heater plate on which a substrate is placed, and a heater that is installed in the heater plate and heats the heater plate. Here, the heating element extends from the heater plate to the outer peripheral region, and forms a line-shaped pattern bent several times. The pattern of the heating element includes an outer pattern formed along the outer periphery from the center of the heater plate and an inner pattern located in the inner region of the outer pattern and formed to extend outward from the center of the heater plate.

히터 플레이트에서 기판을 가열하는 히팅 영역(heating zone)은 예컨대, 내측에 위치한 내측 패턴(Inner Pattern) 2개, 외곽 부위에 위치한 외측 패턴(Outer Pattern) 2개로 구성되어 내측 패턴(Inner Pattern)이 히터 플레이트의 70% 이상의 영역을 담당하여 발열시킨다. 또한 외각 영역(outer zone)은 30% 이하의 히팅(heating) 영역을 담당하여 에지(edge) 부위를 발열시켜 온도 균일도가 최소가 되게한다.The heating zone for heating the substrate in the heater plate is composed of, for example, two inner patterns located inside and two outer patterns located at the outer area, It takes up more than 70% of the plate and generates heat. In addition, the outer zone is responsible for a heating area of 30% or less, so that the edge area is heated to minimize temperature uniformity.

이때, 발열을 이루는 라인과 라인 간의 간격은 150mm 이하, 보다 바람직하게는 100mm 이하이며, 라인과 라인 간의 간격은 등간격 또는 구역별로 상이한 간격을 가지도록 형성될 수 있다.
At this time, the distance between the line and the line that makes the heat is 150 mm or less, more preferably 100 mm or less, and the interval between the lines and the lines may be formed to have a uniform interval or a different interval for each zone.

발열체 패턴(Pattern)의 형태는 제품의 외곽 형태와 동일하게 구성된다. 제품의 외곽 형태가 4각이므로 패턴(pattern) 또한 4각의 형태를 갖는다. 내측 패턴(Inner pattern)의 경우 제품의 중앙에서 시작하여 좌우 측으로 분기하다가, 1/4 지점의 중앙에서 다시 상하로 분기하여 제품의 외곽의 형태와 같은 4각의 형상으로 일정한 간격을 유지하면서 패턴(pattern)의 형상을 구성한다. 외측 패턴(Outer pattern)의 경우 중앙에서 시작하여 피가열체인 기판 보다 외부에 위치한 형태의 구조로 제품의 최외곽을 4각 형태로 돌아 다시 중앙으로 위치한다.The shape of the heating element pattern is the same as that of the outer shape of the product. Since the outer shape of the product is quadrilateral, the pattern also has a quadrangular shape. In the case of the inner pattern, it starts from the center of the product and diverges to the left and right. Then, it branches off from the center of the 1/4 point again and forms a quadrangle like the outer shape of the product, pattern. In the case of the outer pattern, the outermost part of the product is turned to a quadrangle and is located at the center.

내측 패턴(Inner pattern)의 경우 150mm 이하의 간격으로 하여, 6 turn으로 구성될 수 있으며, 외측 패턴(Outer pattern)의 경우 외곽을 1 turn으로 구성될 수 있다.In the case of the inner pattern, it may be constituted by 6 turns with an interval of 150 mm or less. In the case of the outer pattern, the outer shape may be composed of 1 turn.

본 발명에서는 내부 발열체는 코일 형태의 발열체를 사용하지 않고, 발열체가 직선으로 구성된 발열체를 사용한다. 이유는 코일 형태의 발열체는 코일 간의 간격이 일정하지 않아 발열체 튜브에 국부적으로 온도차를 유발시켜 제품의 온도차의 원인이 된다. 그러나 코일 형태가 아닌 직선형태의 발열체는 국부발열을 하지 않아 일정한 온도를 발열하여 제품의 온도 균일도 향상에 큰 영향을 준다.In the present invention, a coil-shaped heating element is not used for the internal heating element, and a heating element made of a linear heating element is used. The reason is that the coil-shaped heating element has a constant gap between the coils, which causes local temperature difference in the heating element tube, which causes the temperature difference of the product. However, a linear heating element, which is not a coil, does not generate localized heat and generates heat at a constant temperature, which greatly affects the temperature uniformity of the product.

100: 히터100: heater

Claims

A heater plate on which a substrate is placed;
A heating element installed in the heater plate to heat the heater plate;
;
Wherein the heating element extends from the heater plate to an outer peripheral region and forms a line-shaped pattern bent a plurality of times.

The method according to claim 1,
Wherein the pattern of the heating element is an outer pattern formed along the outer periphery of the center of the heater plate; And
An inner pattern located in an inner region of the outer pattern and extending outward from a center of the heater plate;
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