KR20150015360A - Light illuminating apparatus - Google Patents

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KR20150015360A
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츠토무 키시네
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호야 칸데오 옵트로닉스 가부시키가이샤
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Abstract

Provided is a light radiating apparatus which can irradiate ring-shaped radiation areas at the same time by using only one light source. The light radiating apparatus which radiates a light on the ring-shaped radiation area of a target arranged on a determined location comprises an LED device radiating light; a first lens having the same light axis with the LED device, and narrowing the spreading angle of the light radiated from the LED device to form into the light having the predetermined spreading angle; a second lens having the same light axis with the first lens and refracting the light which has penetrated through the first lens to be a ring-shaped light having the light axis as the center; and a third lens having the same light axis with the second lens and focusing the light penetrating through the second lens into a ring shape on a radiation area.

Description

광 조사 장치{LIGHT ILLUMINATING APPARATUS}[0001] LIGHT ILLUMINATION APPARATUS [0002]

본 발명은 조사 대상물에 대하여 원환 형상의 자외광을 조사 가능한 광 조사 장치에 관한 것이다.Field of the Invention [0002] The present invention relates to a light irradiation device capable of irradiating toric ultraviolet light to an object to be irradiated.

종래, 플라스틱 렌즈 등의 광학 부품을 홀더에 고정하는 경우 등, 광학 부품의 접착 용도에 자외선 경화 수지가 널리 사용되고 있다. 이러한 자외선 경화 수지는 파장 365nm 부근의 자외광의 조사에 의해 경화하도록 설계되어 있고, 자외선 경화 수지의 경화에는 자외광을 조사하는 광 조사 장치(소위 자외선 조사 장치)가 사용된다.BACKGROUND ART [0002] Conventionally, ultraviolet ray hardening resins are widely used for bonding optical components, such as fixing an optical component such as a plastic lens to a holder. Such an ultraviolet curing resin is designed to be cured by irradiation of ultraviolet light having a wavelength of about 365 nm, and a light irradiating device (so-called ultraviolet irradiating device) for irradiating ultraviolet light is used for curing the ultraviolet curing resin.

자외선 조사 장치로서는, 종래부터 고압 수은 램프나 수은 제논 램프 등을 광원으로 하는 램프형 조사 장치가 알려져 있지만, 최근, 소비 전력의 삭감, 장수명화, 장치 사이즈의 컴팩트화의 요청으로부터, 종래의 방전 램프 대신에 LED(Light Emitting Diode)를 광원으로서 이용한 자외선 조사 장치가 실용에 제공되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1).As the ultraviolet irradiator, a lamp-type irradiator having a high-pressure mercury lamp or a mercury-xenon lamp as a light source has been conventionally known. Recently, in response to requests for reduction in power consumption, longevity, An ultraviolet ray irradiation apparatus using a light emitting diode (LED) as a light source is provided for practical use (for example, Patent Document 1).

일반적으로 플라스틱 렌즈 등의 광학 부품을 렌즈 홀더(경통)에 고정하는 경우에는, 플라스틱 렌즈의 외주부와 렌즈 홀더가 접촉하는 복수 개소에 자외선 경화 수지를 도포하고, 복수 개소의 자외선 경화 수지를 동시에 경화시킬(즉, 자외광을 동시 조사할) 필요가 있다. 이 때문에, 특허문헌 1에 기재된 자외선 조사 장치는 자외광을 조사 가능한 LED를 구비한 광원 유닛(헤드)을 복수 설치하고, 동일 원주 상의 복수 개소에 도포된 자외선 경화 수지에 대하여 자외광을 동시 조사 가능하게 구성되어 있다.In general, when an optical component such as a plastic lens is fixed to a lens holder (lens barrel), an ultraviolet ray hardening resin is applied to a plurality of portions where the outer peripheral portion of the plastic lens and the lens holder are in contact with each other, (I.e., simultaneously irradiating ultraviolet light). Therefore, in the ultraviolet ray irradiation apparatus described in Patent Document 1, a plurality of light source units (heads) provided with LEDs capable of irradiating ultraviolet light can be provided, and ultraviolet rays can be simultaneously irradiated onto the ultraviolet ray hardening resin applied to a plurality of locations on the same circumference .

일본 특허 제4303582호 명세서Japanese Patent No. 4303582 Specification

그러나, 특허문헌 1에 기재된 자외선 조사 장치에 있어서는, 자외선 경화 수지의 각 도포 위치에 대응하여 광원 유닛을 배치해야 하여, 복수의 광원 유닛이 필요하게 되기 때문에, 장치 전체의 사이즈가 대형화한다는 문제가 있다. 또, 자외광이 자외선 경화 수지에 확실하게 조사되도록, 자외선 경화 수지의 각 도포 위치에 있어서 광원 유닛으로부터 출사되는 자외광의 얼라인먼트 조정(즉, 광학 부품과 광원 유닛과의 위치 맞춤)을 행할 필요가 있다.However, in the ultraviolet light irradiation apparatus described in Patent Document 1, since the light source units must be arranged corresponding to the respective application positions of the ultraviolet cured resin, and a plurality of light source units are required, there is a problem that the size of the entire apparatus becomes large . It is also necessary to perform alignment adjustment of the ultraviolet light emitted from the light source unit (i.e., alignment with the optical component and the light source unit) at each coating position of the ultraviolet curable resin so that the ultraviolet light is reliably irradiated onto the ultraviolet- have.

여기서, 얼라인먼트 조정을 없애고, 또한 동일 원주 상의 복수 개소에 도포된 자외선 경화 수지에 대하여 동시에 자외광을 조사하는 구성으로서는 홀더와 광학 부품을 덮는 것 같은 큰 빔 직경(즉, 넓은 조사 에리어)의 자외광을 조사하는 것도 생각된다. 그러나, 이러한 구성의 경우, 자외광의 조사 에리어가 넓어지기 때문에, 단위 면적당 자외광의 파워가 작아져, 자외선 경화 수지를 안정적이고 또한 확실하게 경화시키기 위해서는 자외광의 파워를 크게 하거나 또는 조사 시간을 길게 할 필요가 있다. 자외광의 파워를 크게 하기 위해서는 고출력 타입의 LED를 사용해야 하여, 자외선 조사 장치 전체의 비용이 상승한다는 문제가 생긴다. 또, 조사 시간을 길게 하면 자외선 경화 수지를 경화시키기 위한 공정에 시간을 필요로 하여 생산 효율이 저하된다는 문제가 생긴다.Here, as a configuration for eliminating the alignment adjustment and for simultaneously irradiating ultraviolet light to the ultraviolet curing resin applied to a plurality of locations on the same circumference, there is a structure in which ultraviolet light having a large beam diameter (i.e., a wide irradiation area) May be considered. However, in such a configuration, since the irradiation area of ultraviolet light is widened, the power of the ultraviolet light per unit area becomes small. In order to stably and surely cure the ultraviolet curing resin, I need to make it longer. In order to increase the power of the ultraviolet light, a high output type LED must be used, which raises a problem that the cost of the entire ultraviolet irradiating apparatus rises. In addition, if the irradiation time is prolonged, it takes time to cure the ultraviolet ray hardening resin, thereby causing a problem that the production efficiency is lowered.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는 고출력 타입의 LED의 사용이나 조사 시간을 길게 하지 않고, 얼라인먼트 조정을 불필요하게 하며, 또한 1개의 광원 유닛(즉, 1개의 광원)을 사용하여, 동일 원주 상의 복수 개소에 도포된 자외선 경화 수지에 대하여(즉, 원환 형상의 조사 에리어에 대하여) 동시에 자외광을 조사 가능한 자외선 조사 장치(즉, 광 조사 장치)를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide an LED lighting device which does not require use of an LED of a high output type, (That is, a light irradiation apparatus) capable of simultaneously irradiating ultraviolet light to an ultraviolet curing resin applied to a plurality of locations on the same circumference (that is, to a torus-shaped irradiation area).

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 광 조사 장치는, 사전 결정된 위치에 배치된 조사 대상물의 원환 형상의 조사 에리어에 대하여 광을 조사하는 광 조사 장치로서, 광을 출사하는 LED(Light Emitting Diode) 소자와, LED 소자와 공통의 광축을 가지고, LED 소자로부터 출사된 광의 퍼짐각을 좁히고, 사전 결정된 퍼짐각을 가지는 광으로 성형하는 제1 렌즈와, 제1 렌즈와 공통의 광축을 가지고, 제1 렌즈를 투과한 광을 이 광축을 중심으로 하는 원환 형상의 광이 되도록 굴절시키는 제2 렌즈와, 제2 렌즈와 공통의 광축을 가지고, 제2 렌즈를 투과한 광을 조사 에리어 상에 원환 형상으로 포커스하는 제3 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a light irradiation apparatus of the present invention is a light irradiation apparatus for irradiating light to an annular irradiated area of an object to be irradiated arranged at a predetermined position, comprising: a light emitting diode (LED) A first lens having an optical axis common to the LED element and narrowing a spread angle of the light emitted from the LED element and shaping the light into a light having a predetermined spreading angle and a second lens having a common optical axis with the first lens, A second lens for refracting the light transmitted through the lens so as to be annular light having the optical axis as a center; and a second lens having an optical axis common to the second lens and having light transmitted through the second lens, And a third lens for focusing.

이러한 구성에 의하면, LED 소자로부터 출사되는 광이 원환 형상의 광으로 성형되어 조사 대상물의 원환 형상의 조사 에리어에 조사된다. 이 때문에, 예를 들면, 조사 에리어 내에 자외선 경화 수지가 도포되어 있는 경우, 당해 자외선 경화 수지는 광을 수광하여 한번에(즉, 동시에) 경화한다.According to this configuration, the light emitted from the LED element is formed into toric-shaped light and irradiated to the toric-shaped irradiation area of the object to be irradiated. For this reason, for example, when an ultraviolet ray hardening resin is coated in the irradiation area, the ultraviolet ray hardening resin receives light and hardens at one time (that is, simultaneously).

또, 제3 렌즈를 제2 렌즈에 대하여 상대적으로 이동시키는 렌즈 이동 수단을 추가로 구비할 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 조사 대상물의 위치에 따라, 제2 렌즈를 투과한 광의 포커스 위치를 변경할 수 있다.It is also possible to further include a lens moving means for moving the third lens relative to the second lens. According to this configuration, the focus position of the light transmitted through the second lens can be changed according to the position of the object to be irradiated.

또, 제2 렌즈는 원추면을 제1 렌즈측 또는 제3 렌즈측을 향하게 한 액시콘 렌즈로 구성할 수 있다.Further, the second lens can be composed of an axicon lens having the conical surface directed to the first lens side or the third lens side.

또, 제2 렌즈는 원추면을 제1 렌즈측 및 제3 렌즈측에 구비한 액시콘 렌즈로 구성할 수 있다.Further, the second lens can be constituted by an axicon lens having a conical surface on the first lens side and the third lens side.

또, 제2 렌즈는 원추면을 제1 렌즈측 또는 제3 렌즈측에 각각 구비한 한 쌍의 액시콘 렌즈로 구성할 수 있다.The second lens may be constituted by a pair of axicon lenses each having a conical surface on the first lens side or the third lens side.

또, 원추면의 정점의 각도가 120°~150°인 것이 바람직하다.It is also preferable that the angle of the vertex of the cone surface is 120 ° to 150 °.

또, 제1 렌즈는 양측 볼록 렌즈, 평볼록 렌즈 또는 요철 렌즈로 구성할 수 있다.Further, the first lens can be composed of a double-convex lens, a plano-convex lens or a concave-convex lens.

또, 제3 렌즈는 양측 볼록 렌즈, 평볼록 렌즈 또는 요철 렌즈로 구성할 수 있다.Further, the third lens may be composed of a double convex lens, a plano-convex lens, or a concave-convex lens.

또, 광 조사 장치로부터 조사되는 광이 자외역의 파장의 광인 것이 바람직하다. 또, 이 경우, 자외역의 파장의 광은 자외선 경화형 수지에 작용하는 파장을 포함하는 광인 것이 바람직하다.It is also preferable that the light irradiated from the light irradiation device is light with a wavelength in the ultraviolet region. In this case, it is preferable that the light having a wavelength in the ultraviolet curing type resin is a light including a wavelength which acts on the ultraviolet curable resin.

이상과 같이 본 발명의 광 조사 장치에 의하면, 1개의 LED 소자로부터 출사되는 광이 원환 형상의 광으로 성형되어 조사 대상물의 원환 형상의 조사 에리어에 조사된다. 이 때문에, 종래와 같이 광원 유닛을 복수 설치하지 않고, 조사 에리어 내의 복수 개소에 도포된 자외선 경화 수지를 동시에 조사할 수 있다. 또, 종래 필요했던 얼라인먼트 조정이 불필요하게 된다. 또한, 원환 형상의 조사 에리어에만 광이 조사되기 때문에, 고출력 타입의 LED를 사용할 필요도 없고, 또 조사 시간을 길게 할 필요도 없다.As described above, according to the light irradiation apparatus of the present invention, light emitted from one LED element is formed into annular light, and irradiated to the toric-shaped irradiation area of the object to be irradiated. Therefore, it is possible to simultaneously irradiate the ultraviolet-curing resin applied to a plurality of places in the irradiation area without providing a plurality of light source units as in the prior art. In addition, alignment adjustment that is conventionally required becomes unnecessary. In addition, since light is irradiated only to the irradiated area of the toric shape, there is no need to use a high-output type LED and there is no need to lengthen the irradiation time.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 광학 헤드의 구성을 설명하는 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈를 X축 방향에서 보았을 때의 외형도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 광학 헤드를 X축 방향에서 보았을 때의(즉, Y-Z 평면 상의) 광로도의 일례이다.
도 5는 도 4의 WD=20mm의 위치에 있어서의 조사 강도 분포를 나타내는 농담도이다.
도 6은 도 4의 WD=20mm, WD=30mm, WD=40mm의 각 위치에 있어서의 Y축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 광학 헤드를 X축 방향에서 보았을 때의(즉, Y-Z 평면 상의) 광로도의 일례이다.
도 8은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 광학 헤드를 X축 방향에서 보았을 때의(즉, Y-Z 평면 상의) 광로도의 일례이다.
도 9는 도 7의 WD=30mm의 위치에 있어서의 Y축 방향의 조사 강도 분포와, 도 8의 WD=40mm의 위치에 있어서의 Y축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 10은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 입사면의 정점의 각도 α를 160°로 변경했을 때의 광로도, 및 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 11은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 입사면의 정점의 각도 α를 150°로 변경했을 때의 광로도, 및 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 12는 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 입사면의 정점의 각도 α를 120°로 변경했을 때의 광로도, 및 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 13은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 입사면의 정점의 각도 α를 100°로 변경했을 때의 광로도, 및 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 14는 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 입사면의 정점의 각도 α를 80°로 변경했을 때의 광로도, 및 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 15는 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 제1 변형예를 나타내는 광로도, 및 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 16은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 제2 변형예를 나타내는 광로도, 및 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 17은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 제3 변형예를 나타내는 광로도, 및 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 18은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 제4 변형예를 나타내는 광로도, 및 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 19는 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 제5 변형예를 나타내는 광로도, 및 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 20은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치의 제2 렌즈의 제6 변형예를 나타내는 광로도, 및 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다.1 is a perspective view showing a schematic configuration of a light irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a side cross-sectional view for explaining the configuration of an optical head of a light irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is an external view when the second lens of the light irradiation device according to the embodiment of the present invention is viewed in the X-axis direction.
4 is an example of the optical path when the optical head of the light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention is viewed in the X-axis direction (i.e., on the YZ plane).
5 is a graph showing a distribution of irradiation intensity at a position of WD = 20 mm in Fig. 4. Fig.
Fig. 6 is a graph showing the irradiation intensity distribution in the Y-axis direction at each position of WD = 20 mm, WD = 30 mm, and WD = 40 mm in Fig.
7 is an example of the optical path when the optical head of the light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention is viewed in the X-axis direction (i.e., on the YZ plane).
8 is an example of the optical path when the optical head of the light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention is viewed in the X-axis direction (i.e., on the YZ plane).
Fig. 9 is a graph showing the irradiation intensity distribution in the Y-axis direction at the position of WD = 30 mm and the irradiation intensity distribution in the Y-axis direction at the position of WD = 40 mm in Fig.
10 is a graph showing the optical path when the angle α of the apex of the incident surface of the second lens of the light irradiation device according to the embodiment of the present invention is changed to 160 ° and the optical path when the angle of the X axis on the predetermined work distance WD Of the irradiation intensity distribution in the direction perpendicular to the irradiation direction.
11 is a graph showing the optical path when the angle? Of the vertex of the incident surface of the second lens of the light irradiation device according to the embodiment of the present invention is changed to 150 占 and the optical path when the X axis Of the irradiation intensity distribution in the direction perpendicular to the irradiation direction.
12 is a view showing the optical path when the angle α of the apex of the incident surface of the second lens of the light irradiation device according to the embodiment of the present invention is changed to 120 ° and the optical path when the angle of the X axis on the predetermined work distance WD Of the irradiation intensity distribution in the direction perpendicular to the irradiation direction.
13 is a graph showing the optical path when the angle? Of the vertex of the incident surface of the second lens of the light irradiation device according to the embodiment of the present invention is changed to 100 占 and the optical path when the X axis Of the irradiation intensity distribution in the direction perpendicular to the irradiation direction.
14 is a graph showing the optical path when the angle? Of the apex of the incident surface of the second lens of the light irradiation device according to the embodiment of the present invention is changed to 80 degrees, and the optical path of the X axis on the predetermined work distance WD Of the irradiation intensity distribution in the direction perpendicular to the irradiation direction.
15 is an optical path diagram showing a first modification of the second lens of the light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention and a graph showing the irradiation intensity distribution in the X axis direction.
16 is an optical path diagram showing a second modification of the second lens of the light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention and a graph showing the irradiation intensity distribution in the X-axis direction.
17 is an optical path diagram showing a third modification of the second lens of the light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention and a graph showing the irradiation intensity distribution in the X axis direction.
18 is an optical path diagram showing a fourth modification of the second lens of the light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention, and a graph showing the irradiation intensity distribution in the X-axis direction.
19 is an optical path diagram showing a fifth modification of the second lens of the light irradiation device according to the embodiment of the present invention, and a graph showing the irradiation intensity distribution in the X-axis direction.
20 is an optical path diagram showing a sixth modification of the second lens of the light irradiation apparatus according to the embodiment of the present invention, and a graph showing the irradiation intensity distribution in the X-axis direction.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면 중 동일 또는 상당 부분에는 동일한 부호를 붙이고 그 설명은 반복하지 않는다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof is not repeated.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치(1)의 개략 구성을 나타내는 사시도이다. 본 실시형태의 광 조사 장치(1)는 피조사 대상물(렌즈(L))의 외주면으로부터 원환 형상으로 돌출하는 플랜지부(La)에 사전 결정된 조사 강도 분포(빔 프로파일)의 자외광(예를 들면, 파장 365nm의 광)을 조사하는 장치이다. 플랜지부(La)의 기단면(Lb)(도 1 중, 사선으로 나타내는 측의 면)은 접착면으로 되어 있고, 복수 개소에 자외선 경화 수지가 도포되어, 도시하지 않는 렌즈 홀더와 맞닿아 있다. 플랜지부(La)에 자외광이 조사되면, 플랜지부(La)와 렌즈 홀더 사이의 자외선 경화 수지가 경화하여, 렌즈(L)가 렌즈 홀더에 고정된다.1 is a perspective view showing a schematic structure of a light irradiation apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. The light irradiating apparatus 1 of the present embodiment is configured such that ultraviolet light of a predetermined irradiation intensity distribution (beam profile) (for example, , Light having a wavelength of 365 nm). The base end surface Lb of the flange portion La (the surface on the side shown by oblique lines in FIG. 1) is an adhesive surface, and the ultraviolet hardening resin is applied to a plurality of places and abuts against a lens holder (not shown). When the flange portion La is irradiated with ultraviolet light, the ultraviolet hardening resin between the flange portion La and the lens holder is cured, and the lens L is fixed to the lens holder.

도 1에 나타내는 바와 같이, 광 조사 장치(1)는 자외광을 출사하는 광학 헤드(100)와, 광학 헤드(100)에 전력을 공급함과 아울러, 광학 헤드(100)로부터 출사되는 자외광의 조사 강도를 조절하는 전원 유닛(200)과, 광학 헤드(100)와 전원 유닛(200)을 전기적으로 접속하는 케이블(300)을 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태의 케이블(300)은 후술하는 LED 소자(12)의 애노드 단자 및 캐소드 단자에 각각 접속되는 2개의 리드선(300a, 300b)(도 2)으로 구성되어 있다.1, the light irradiating device 1 includes an optical head 100 for emitting ultraviolet light, and a light source 100 for supplying power to the optical head 100 and irradiating ultraviolet light emitted from the optical head 100 And a cable 300 for electrically connecting the optical head 100 and the power source unit 200. The power source unit 200 includes a power source unit 200, The cable 300 of the present embodiment is composed of two lead wires 300a and 300b (FIG. 2) connected to the anode terminal and the cathode terminal of the LED element 12 described later, respectively.

렌즈(L)는 광학 헤드(100)로부터 사전 결정된 거리만큼 떨어지고, 또한 광축(AX)이 광학 헤드(100)의 광축(0)과 동일 축이 되도록 위치 조정되어 배치된다. 이하, 광학 헤드(100)의 출사단면과 렌즈(L)의 기단면(Lb)(접착면) 사이의 거리를 「워크 디스턴스(WD)」라고 한다.The lens L is positioned and disposed such that the optical axis AX is coaxial with the optical axis O of the optical head 100 by a predetermined distance from the optical head 100. [ Hereinafter, the distance between the exit face of the optical head 100 and the base end face Lb (adhesion face) of the lens L is referred to as " work distance WD ".

또, 본 명세서에 있어서는, 광학 헤드(100)로부터 출사되는 자외광의 출사 방향(즉, 광축(AX) 방향)을 Z축 방향이라고 하고, Z축과 직교하고, 또한 서로 직교하는 2방향을 X축 방향 및 Y축 방향이라고 정의하여 설명한다.In the present specification, the direction of emission of the ultraviolet light emitted from the optical head 100 (i.e., the direction of the optical axis AX) is referred to as the Z-axis direction, and the two directions orthogonal to the Z- Axis direction and a Y-axis direction.

도 2는 광학 헤드(100)의 구성을 설명하는 측단면도이다. 도 2(a)는 광학 헤드(100)의 조립 전의 분해도이며, 도 2(b) 및 (c)는 광학 헤드(100)의 조립 후의 측단면도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 광학 헤드(100)는 LED 유닛(10)과, 제1 렌즈 유닛(20)과, 로크 나사(30)와, 제2 렌즈 유닛(40)으로 구성되어 있다. 도 2(b) 및 (c)에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 광학 헤드(100)는 로크 나사(30)의 위치를 조정함으로써, 제1 렌즈 유닛(20)과 제2 렌즈 유닛(40)의 상대적인 위치 관계를 조정 가능하게 구성되어 있다.2 is a side cross-sectional view for explaining the configuration of the optical head 100. Fig. Fig. 2 (a) is an exploded view of the optical head 100 before assembly, and Figs. 2 (b) and 2 (c) are side sectional views after the optical head 100 is assembled. 2, the optical head 100 of the present embodiment includes an LED unit 10, a first lens unit 20, a lock screw 30, and a second lens unit 40 have. The optical head 100 of the present embodiment adjusts the position of the lock screw 30 to adjust the position of the first lens unit 20 and the second lens unit 40, So that the relative positional relationship between the two can be adjusted.

LED 유닛(10)은 케이스(11)와, 케이스(11)에 고정된 LED(Light Emitting Diode) 소자(12)를 구비하고 있다. 케이스(11)는 개구부(11a)와, 원통형의 측벽부(11b)와, 측벽부(11b)에 연결접촉하여 일체적으로 형성된 바닥부(11c)를 가지는 바닥이 있는 통 형상체 형상의 부재이며, 케이블(300)이 개구부(11a)로부터 삽입되어 고정되어 있다. 또, 바닥부(11c)에는 광학 헤드(100)의 광축(0)과 평행하게 뻗는 2개의 관통 구멍(11ca, 11cb)이 형성되어 있고, 관통 구멍(11ca, 11cb)으로부터는 케이블(300)의 2개의 리드선(300a, 300b)이 각각 인출되어, LED 소자(12)의 애노드 단자(도시하지 않음) 및 캐소드 단자(도시하지 않음)에 각각 접속되어 있다. 또, 바닥부(11c)에는 LED 소자(12)를 접착 고정하기 위한 돌기부(11d)가 광학 헤드(100)의 광축(0)을 따라 돌출되도록 형성되어 있다.The LED unit 10 includes a case 11 and a light emitting diode (LED) element 12 fixed to the case 11. The case 11 is a bottomed cylindrical body member having an opening 11a, a cylindrical side wall portion 11b and a bottom portion 11c integrally formed in contact with the side wall portion 11b , The cable 300 is inserted and fixed from the opening 11a. Two through holes 11ca and 11cb extending in parallel to the optical axis O of the optical head 100 are formed in the bottom portion 11c and the two through holes 11ca and 11cb are formed in the bottom portion 11c from the through holes 11ca and 11cb. Two lead wires 300a and 300b are respectively drawn and connected to an anode terminal (not shown) and a cathode terminal (not shown) of the LED element 12, respectively. A protrusion 11d for adhering and fixing the LED element 12 is formed on the bottom portion 11c so as to protrude along the optical axis O of the optical head 100. [

LED 소자(12)는 대략 정사각형 형상의 발광면(12a)(도 2에 있어서 도시하지 않음)과, 커버 유리(12b)(도 2에 있어서 도시하지 않음)를 가지고, 이 발광면(12a)에서 발광한 파장 365nm의 자외광을 커버 유리(12b)를 통과시켜 출사하는 반도체 발광 소자이다. LED 소자(12)는 그 광축이 광학 헤드(100)의 광축(0)과 일치하도록(즉, 케이스(11)의 중심축과 일치하도록) 위치 조정되어, 돌기부(11d)의 선단에 접착 고정된다. 상기 서술한 바와 같이, LED 소자(12)의 애노드 단자 및 캐소드 단자는 케이블(300)을 통하여 전원 유닛(200)에 접속되어 있고, LED 소자(12)로부터는 전원 유닛(200)으로부터 공급되는 구동 전류에 따른 사전 결정된 광량의 자외광이 출사된다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, LED 소자(12)로부터는 광축(0)을 중심으로 60°의 퍼짐각으로 원 형상으로 퍼지면서 진행하는 자외광이 출사되는 것으로 하여 설명한다.2), and a cover glass 12b (not shown in Fig. 2). The LED element 12 has a substantially square-shaped light emitting surface 12a (not shown in Fig. 2) And emits ultraviolet light having a wavelength of 365 nm emitted through the cover glass 12b. The LED element 12 is adjusted in position and adhered and fixed to the tip of the projection 11d so that its optical axis coincides with the optical axis O of the optical head 100 (i.e., coincides with the center axis of the case 11) . The anode terminal and the cathode terminal of the LED element 12 are connected to the power source unit 200 via the cable 300 and the LED element 12 is driven by the power source unit 200 Ultraviolet light having a predetermined amount of light according to the current is emitted. In the present embodiment, it is assumed that the LED element 12 emits ultraviolet light which spreads in a circular shape at a spreading angle of 60 degrees around the optical axis 0 and proceeds as advancing.

제1 렌즈 유닛(20)은 경통(21)과, 제1 렌즈(22)와, 제2 렌즈(23)를 구비하고 있다. 경통(21)은 개구부(21a, 21b)와, 원통형의 측벽부(21c)를 가지는 중공 통 형상체 형상의 부재이다. 경통(21)의 개구부(21a)측의 내경은 케이스(11)의 측벽부(11b)의 외경보다 약간 크게 되어 있고, 케이스(11)(단, LED 유닛(10))가 개구부(21a)로부터 삽입되어 경통(21) 내의 사전 결정된 위치에 고정되어 있다(도 2(b), (c)). 또한, 상세한 것은 후술하지만, 경통(21)의 측벽부(21c)의 외주면에는 로크 나사(30)의 내주면 및 제2 렌즈 유닛(40)의 내주면에 형성된 암나사부와 걸어맞춤 가능한 수나사부(도시하지 않음)가 형성되어 있다.The first lens unit 20 includes a lens barrel 21, a first lens 22, and a second lens 23. The lens barrel 21 is a hollow cylindrical member having openings 21a and 21b and a cylindrical side wall portion 21c. The inner diameter of the lens barrel 21 on the side of the opening 21a is slightly larger than the outer diameter of the side wall portion 11b of the case 11 and the case 11 (LED unit 10) And is fixed at a predetermined position in the barrel 21 (Figs. 2 (b) and 2 (c)). The outer peripheral surface of the side wall portion 21c of the lens barrel 21 is provided with a male screw portion (not shown) engageable with the female screw portion formed on the inner peripheral surface of the lock screw 30 and the inner peripheral surface of the second lens unit 40, Is formed.

또, 경통(21)의 개구부(21b)측에는 제1 렌즈(22) 및 제2 렌즈(23)가 수용되어 있다. 제1 렌즈(22)는 그 광축이 LED 소자(12)의 광축(즉, 광학 헤드(100)의 광축(0))과 일치하도록 경통(21)의 내주면에 위치 결정되어 접착 고정되어 있고, LED 유닛(10)이 경통(21) 내에 수용되었을 때, 제1 렌즈(22)는 LED 소자(12)에 근접하여(예를 들면, 0.35mm의 간격을 두고) 배치된다. 본 실시형태의 제1 렌즈(22)는 두께 3.75mm의 양측 볼록 렌즈이며, LED 소자(12)로부터 출사된 자외광의 퍼짐각을 좁혀, 사전 결정된 퍼짐각을 가지는 광으로 성형한다.The first lens 22 and the second lens 23 are accommodated in the opening 21b of the lens barrel 21. The first lens 22 is fixed and adhered to the inner peripheral surface of the lens barrel 21 so that its optical axis coincides with the optical axis of the LED element 12 (that is, the optical axis O of the optical head 100) When the unit 10 is housed in the lens barrel 21, the first lens 22 is disposed close to the LED element 12 (for example, at an interval of 0.35 mm). The first lens 22 of the present embodiment is a double convex lens having a thickness of 3.75 mm and narrows the spreading angle of the ultraviolet light emitted from the LED element 12 and is formed into light having a predetermined spreading angle.

제2 렌즈(23)는 제1 렌즈(22)와 사전 결정된 간격(예를 들면, 1.5mm의 간격)을 두고), 그 광축이 제1 렌즈(22)의 광축(즉, 광학 헤드(100)의 광축(0))과 일치하도록 경통(21)의 내주면에 위치 결정되어 접착 고정되어 있다. 본 실시형태의 제2 렌즈(23)는 원추면을 제1 렌즈(22)측을 향하게 한 두께 4mm의 액시콘 렌즈이며, 제1 렌즈(22)를 투과한 자외광을 광축(O)을 중심으로 하는 원환 형상의 광이 되도록(즉, 광축(0)의 주변을 통과하는 광이 없어지도록) 굴절시킨다. 도 3은 본 실시형태의 제2 렌즈(23)를 X축 방향에서 보았을 때의 외형도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 제2 렌즈(23)는 원추 형상의 입사면(23a)과 평면의 출사면(23b)을 가지는 액시콘 렌즈이며, 본 실시형태에 있어서는, 원추 형상의 입사면(23a)의 정점의 각도 α(즉, 제2 렌즈(23)의 Y-Z 평면에 있어서의 단면의 2개의 능선 사이의 각도)가 140°인 것을 사용하고 있다.The optical axis of the second lens 23 is spaced apart from the optical axis of the first lens 22 (i.e., the optical head 100) by a predetermined distance (e.g., an interval of 1.5 mm) (The optical axis 0 of the lens barrel 21). The second lens 23 according to the present embodiment is an axicon lens having a thickness of 4 mm with the conical surface facing the first lens 22 side. The ultraviolet light transmitted through the first lens 22 is focused on the optical axis O (That is, the light passing through the periphery of the optical axis 0 disappears). 3 is an external view when the second lens 23 of the present embodiment is viewed in the X-axis direction. As shown in Fig. 3, the second lens 23 of the present embodiment is an axicon lens having a conical incidence surface 23a and a planar emission surface 23b. In the present embodiment, The angle 留 of the apex of the incident surface 23a (that is, the angle between the two ridges of the second lens 23 in the YZ plane) is 140 占 is used.

로크 나사(30)(도 2)는 중심에 나사 구멍(30a)을 가진 원환 형상의 부재이며, 후술하는 제2 렌즈 유닛(40)을 경통(21)에 대하여 고정한다. 나사 구멍(30a)의 내경은 경통(21)의 측벽부(21c)의 외경보다 약간 크고, 나사 구멍(30a)에는 경통(21)의 측벽부(21c)의 외주면에 형성된 수나사부와 걸어맞춰지는 암나사부(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 따라서, 나사 구멍(30a)에 경통(21)(즉, 제1 렌즈 유닛(20))의 선단부(개구부(21b)측의 단부)를 비틀어넣고, 로크 나사(30)를 시계 방향으로 회전시킴으로써, 로크 나사(30)는 경통(21)의 측벽부(21c)에 부착된다.The lock screw 30 (FIG. 2) is a toric member having a screw hole 30a at the center, and fixes the second lens unit 40, which will be described later, to the lens barrel 21. The inner diameter of the threaded hole 30a is slightly larger than the outer diameter of the side wall portion 21c of the lens barrel 21 and the threaded hole 30a is engaged with a male thread portion formed on the outer peripheral surface of the side wall portion 21c of the lens barrel 21 Female threads (not shown) are formed. Therefore, the distal end portion (the end on the opening 21b side) of the lens barrel 21 (i.e., the first lens unit 20) is twisted into the screw hole 30a and the lock screw 30 is rotated clockwise, The lock screw (30) is attached to the side wall portion (21c) of the lens barrel (21).

제2 렌즈 유닛(40)은 경통(41)과, 제3 렌즈(42)를 구비하고 있다. 경통(41)은 개구부(41a, 41b)와, 원통형의 측벽부(41c)를 가지는 중공 통 형상체 형상의 부재이다. 경통(41)의 개구부(41a)측의 내경은 경통(21)의 측벽부(21c)의 외경보다 약간 크고, 경통(41)의 내주면에는 경통(21)의 측벽부(21c)의 외주면에 형성된 수나사부와 걸어맞춰지는 암나사부(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 따라서, 경통(41)의 개구부(41a)에 경통(21)(즉, 제1 렌즈 유닛(20))의 선단부(개구부(21b)측의 단부)를 비틀어넣고, 시계 방향으로 회전시킴으로써, 경통(21)은 경통(41)의 내부에 삽입된다. 그리고, 경통(41)은 경통(41)의 기단부(개구부(41a)측의 단부)가 로크 나사(30)와 맞닿은 위치에서 고정된다. 이와 같이, 본 실시형태의 경통(41)과 로크 나사(30)는 소위 더블 너트의 구조로 되어 있고, 로크 나사(30)의 위치를 변경함으로써, 경통(41)을 경통(21)에 대하여 광축(O)을 따라(즉, Z축 방향으로) 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 즉, 바꾸어 말하면, 로크 나사(30)의 위치를 변경함으로써, 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격을 변경하는 것이 가능하게 된다. 경통(21)에 경통(41)을 부착한 후, 로크 나사(30)를 반시계 방향으로 회전시킴으로써, 경통(41)이 경통(21)에 대하여 완전히 고정된다.The second lens unit 40 includes a lens barrel 41 and a third lens 42. The lens barrel 41 is a member of a hollow cylindrical shape having openings 41a and 41b and a cylindrical side wall portion 41c. The inner diameter of the lens barrel 41 on the side of the opening 41a is slightly larger than the outer diameter of the side wall portion 21c of the lens barrel 21 and is formed on the inner peripheral surface of the lens barrel 41 on the outer peripheral surface of the side wall portion 21c (Not shown) engaged with the male threaded portion. Therefore, the distal end portion (the end on the opening 21b side) of the lens barrel 21 (i.e., the first lens unit 20) is twisted into the opening 41a of the lens barrel 41 and rotated in the clockwise direction, 21 are inserted into the inside of the barrel 41. The barrel 41 is fixed at a position where the proximal end (the end on the opening 41a side) of the barrel 41 is in contact with the lock screw 30. The lens barrel 41 and the lock screw 30 according to the present embodiment have a so-called double-nut structure and can change the position of the lock screw 30 to change the position of the lens barrel 41 relative to the lens barrel 21, (In other words, in the Z-axis direction). In other words, by changing the position of the lock screw 30, it is possible to change the interval between the second lens 23 and the third lens 42. The barrel 41 is completely fixed to the barrel 21 by rotating the lock screw 30 counterclockwise after attaching the barrel 41 to the barrel 21.

경통(41)의 개구부(41b)측에는 제3 렌즈(42)가 수용되어 있다. 제3 렌즈(42)는 그 광축이 제1 렌즈(22) 및 제2 렌즈(23)의 광축(즉, 광학 헤드(100)의 광축(0))과 일치하도록 경통(41)의 내주면에 위치 결정되어 접착 고정되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 경통(21)이 경통(41)에 부착되었을 때, 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격은 로크 나사(30)의 위치에 따라 2mm(도 2(b))~25mm(도 2(c))의 범위 내에서 조정된다. 본 실시형태의 제3 렌즈(42)는 두께 3mm의 평볼록 렌즈이며, 제2 렌즈(23)를 투과한 자외광을 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 배치된 렌즈(L)의 기단면(Lb)(접착면)에 원환 형상으로 포커스(투영)한다.The third lens 42 is accommodated in the opening 41b side of the lens barrel 41. The third lens 42 is positioned on the inner peripheral surface of the lens barrel 41 so that its optical axis coincides with the optical axis of the first lens 22 and the second lens 23 (i.e., the optical axis O of the optical head 100) And is adhered and fixed. In the present embodiment, when the lens barrel 21 is attached to the lens barrel 41, the distance between the second lens 23 and the third lens 42 is 2 mm b)) to 25 mm (Fig. 2 (c)). The third lens 42 of the present embodiment is a flat convex lens having a thickness of 3 mm and the ultraviolet light transmitted through the second lens 23 is irradiated onto the base end face Lb (adhesive surface).

도 4는 본 실시형태의 광학 헤드(100)를 X축 방향에서 보았을 때의(즉, Y-Z 평면 상의) 광로도의 일례이며, 워크 디스턴스(WD)가 20mm가 되도록(즉, 광학 헤드(100)의 출사단면으로부터 20mm 떨어진 위치에 원환 형상의 자외광이 투영되도록), 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격을 사전 결정된 거리(예를 들면, 19mm)로 조정한 경우의 광로도이다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, LED 소자(12)로부터 원 형상으로 퍼지면서 진행하는 자외광이 조사되기 때문에, Z축을 통과하는 어떠한 평면 상의 광로도도 도 4와 마찬가지가 된다. 이 때문에, 본 명세서에 있어서는, 도 4를 사용하여 Y-Z 평면 상의 광로에 대해서만 설명한다.4 is an example of the optical path of the optical head 100 according to the present embodiment when viewed in the X axis direction (i.e., on the YZ plane). The optical path length of the optical head 100 is set such that the work distance WD is 20 mm And the distance between the second lens 23 and the third lens 42 is adjusted to a predetermined distance (for example, 19 mm) so that the circularly shaped ultraviolet light is projected at a position 20 mm away from the outgoing end face of the light- Rhode Island. Further, in the present embodiment, since the ultraviolet light advancing while spreading in a circular shape is irradiated from the LED element 12, any plane light passing through the Z axis is the same as in Fig. For this reason, in this specification, only the optical path on the Y-Z plane will be described using Fig.

또, 도 4에 있어서는, 도면을 보기 쉽게 하기 위해서, 광학 헤드(100)의 일부의 구성을 생략하여 LED 소자(12)와, 제1 렌즈(22)와, 제2 렌즈(23)와, 제3 렌즈(42)를 나타내고, LED 소자(12)로부터 출사되는 60°의 퍼짐각의 자외광의 광로를 10°마다 나타내고 있다. 또한, 도 4에 있어서는, LED 소자(12)로부터 출사되는 자외광 중, 광축(0)을 통과하는 광로의 자외광을 퍼짐각 0°인 광(즉, 출사 각도 O°인 광)으로 하고, 광축(0)보다 상측(즉, Y축 방향 +측)을 향하여 출사되는 자외광을 +의 퍼짐각의 자외광이라고 하고, 광축(0)보다 하측(즉, Y축 방향 -측)을 향하여 출사되는 자외광을 -의 퍼짐각의 자외광으로서 나타내고 있다. 또, 도 4에 있어서는, 워크 디스턴스(WD)가 20mm, 30mm, 40mm인 위치를 각각 「WD=20mm」, 「WD=30mm」, 「WD=40mm」로서 나타내고 있다.4, a part of the optical head 100 is omitted and the LED element 12, the first lens 22, the second lens 23, 3 lens 42 and shows an optical path of ultraviolet light having a spreading angle of 60 degrees emitted from the LED element 12 every 10 degrees. 4, the ultraviolet light in the optical path passing through the optical axis O among the ultraviolet light emitted from the LED element 12 is made to be light with a spreading angle of 0 (that is, light having an emission angle of O °) The ultraviolet light emitted toward the upper side (i.e., the Y axis direction + side) from the optical axis 0 is called the ultraviolet ray with the spreading angle of + Is expressed as ultraviolet light of a spreading angle of -. In FIG. 4, the positions where the work distance WD is 20 mm, 30 mm, and 40 mm are shown as "WD = 20 mm", "WD = 30 mm", and "WD = 40 mm", respectively.

도 4에 나타내는 바와 같이, LED 소자(12)의 발광면(12a)에서 발광한 파장 365nm의 자외광은 커버 유리(12b)를 통과하여 제1 렌즈(22)에 입사한다. 제1 렌즈(22)에 입사한 자외광은 제1 렌즈(22)에 의해 굴절되고, 퍼짐각을 좁혀, 제2 렌즈(23)에 입사한다. 본 실시형태에 있어서는, LED 소자(12)로부터 출사되는 퍼짐각 ±60°의 자외광의 대략 전부가 제2 렌즈(23)에 입사하도록 구성되어 있다.Ultraviolet light having a wavelength of 365 nm emitted from the light emitting surface 12a of the LED element 12 is incident on the first lens 22 through the cover glass 12b as shown in Fig. The ultraviolet light incident on the first lens 22 is refracted by the first lens 22, narrowing the spreading angle, and entering the second lens 23. In the present embodiment, substantially all of the ultraviolet light with a spreading angle of 60 deg. Emitted from the LED element 12 is made incident on the second lens 23.

제1 렌즈(22)를 투과한 자외광은 제2 렌즈(23)의 입사면(23a)에 입사한다. 상기 서술한 바와 같이, 본 실시형태의 제2 렌즈(23)는 액시콘 렌즈이며, 입사면(23a)은 원추면으로 되어 있으므로, 각 광로는 광축(0)의 방향을 향하여 접어구부러진다. 그리고, 제2 렌즈(23)의 출사면(23b)으로부터 출사되는 자외광은 제2 렌즈(23)의 내측을 통과하는 광일수록(즉, 퍼짐각이 작은 광일수록) 출사 각도(광축(0)과 이루는 각도)가 크게 되고, 제2 렌즈(23)에 가까운 위치에서 광축(0)과 교차하도록 출사된다. 이와 같이, 본 실시형태의 제2 렌즈(23)의 출사면(23b)으로부터 출사되는 자외광은 광축(0)에 가까운 광일수록 큰 각도로 굴절되고, 광축(0)으로부터 떨어진 광일수록 작은 각도로 굴절되기 때문에, 광축(0)의 주변을 통과하는 광이 없어지고(즉, 광축(0)의 주변을 통과하는 광이 광축(0)으로부터 떨어진 광에 서서히 겹쳐), 광축(0)을 중심으로 하는 대략 원환 형상의 광이 되도록 출사된다.The ultraviolet light transmitted through the first lens 22 is incident on the incident surface 23a of the second lens 23. As described above, the second lens 23 of the present embodiment is an axicon lens. Since the incident surface 23a is a conical surface, each optical path is bent in a direction toward the optical axis 0. The more the ultraviolet light emitted from the exit surface 23b of the second lens 23 passes through the inside of the second lens 23 (that is, the smaller the spread angle is) And is emitted so as to intersect with the optical axis 0 at a position near the second lens 23. As described above, the ultraviolet light emitted from the exit surface 23b of the second lens 23 according to the present embodiment is refracted at a large angle as the light near the optical axis 0 is incident, and as the light leaving the optical axis 0 becomes incident at a small angle The light passing through the periphery of the optical axis 0 gradually overlaps with the light away from the optical axis O and the light passing through the periphery of the optical axis 0 is eliminated So that the light is emitted in a substantially annular shape.

제2 렌즈(23)를 투과한 자외광은 제3 렌즈(42)에 의해 더욱 굴절되어, WD=20mm의 위치에 있어서 원환 형상으로 포커스된다. 그리고, WD=20mm의 위치에 원환 형상으로 포커스된 자외광은 거리가 멀어짐에 따라 서서히 디포커스되어간다.The ultraviolet light transmitted through the second lens 23 is further refracted by the third lens 42, and is focused into a toric shape at a position of WD = 20 mm. Then, the ultraviolet light focused in a torus shape at the position of WD = 20 mm is gradually defocused as the distance increases.

도 5는 도 4의 WD=20mm의 위치에 있어서의 조사 강도 분포를 나타내는 농담도이다. 도 5의 종축은 광축(0)을 0으로 하는 Y축 방향의 거리(mm)를 나타내고, 가로축은 광축(0)을 0으로 하는 X축 방향의 거리(mm)를 나타내며, 조사 강도(mW/cm2)를 4단계의 농담에 의해 나타내고 있다. 또, 도 6은 도 4의 WD=20mm, WD=30mm, WD=40mm의 각 위치에 있어서의 Y축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프이다. 도 6의 종축은 조사 강도(mW/cm2)이며, 횡축은 광축(0)을 0으로 하는 Y축 방향의 거리(mm)이다.5 is a graph showing a distribution of irradiation intensity at a position of WD = 20 mm in Fig. 4. Fig. 5 shows the distance (mm) in the Y-axis direction with the optical axis 0 being 0, and the horizontal axis shows the distance (mm) in the X-axis direction with the optical axis 0 being 0, cm < 2 >) are shown by four levels of shading. 6 is a graph showing the irradiation intensity distribution in the Y-axis direction at each position of WD = 20 mm, WD = 30 mm and WD = 40 mm in Fig. 6 is the irradiation intensity (mW / cm 2 ), and the abscissa is the distance (mm) in the Y-axis direction with the optical axis 0 being zero.

도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, WD=20mm의 위치에 있어서는, 광학 헤드(100)로부터 출사된 자외광이 원환 형상으로 포커스되기 때문에, 약1800mW/cm2의 피크 강도를 가지는 직경 약8mm의 원환 형상의 자외광이 얻어진다.As it is shown in Figs. 5 and 6, because in the location of the WD = 20mm, the ultraviolet light emitted from the optical head 100 is to focus the annular shape, with a peak strength of about 1800mW / cm 2 having a diameter of about 8mm An annular ultraviolet light is obtained.

또, 도 6에 나타내는 바와 같이, WD=30mm의 위치에 있어서는, 자외광이 디포커스하기 때문에, 피크 강도가 약600mW/cm의 완만한 조사 강도 분포가 되고, WD=40mm의 위치에 있어서는, 자외광이 더욱 디포커스하기 때문에, 원환 형상의 광이 되지 않는 것을 알 수 있다.6, since the ultraviolet light is defocused at the position of WD = 30 mm, the peak intensity becomes a gentle irradiation intensity distribution of about 600 mW / cm, and at the position of WD = 40 mm, The external light is further defocused, so that it can be seen that the light does not become toric shape.

이와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 광원으로서 60°의 퍼짐각의 자외광을 출사하는 LED 소자(12)를 사용하고 있기 때문에, 제2 렌즈(23)의 입사면(23a)에는 평행광이 입사하지 않고, 제3 렌즈(42)를 투과한 자외광은 평행한 원환 형상의 자외광이 되지는 않는다. 이 때문에, 워크 디스턴스(WD)가 상이하면, 원하는 조사 강도의 원환 형상의 자외광이 얻어지지 않는다는 문제가 있다. 그래서, 본 실시형태에 있어서는, 원하는 워크 디스턴스(WD) 상에서 원하는 조사 강도의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있도록, 경통(41)을 경통(21)에 대하여 광축(O)을 따라 이동 가능하게 구성하고, 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격을 조정할 수 있도록 하고 있다.As described above, in the present embodiment, since the LED element 12 that emits ultraviolet light with a spreading angle of 60 degrees is used as the light source, parallel light enters the incident surface 23a of the second lens 23 The ultraviolet light transmitted through the third lens 42 does not become parallel annular ultraviolet light. For this reason, when the work distance WD is different, there is a problem that ultraviolet light in toric form having a desired irradiation intensity can not be obtained. Therefore, in the present embodiment, the lens barrel 41 is configured so as to be movable along the optical axis O with respect to the lens barrel 21 so as to obtain toric ultraviolet light having a desired irradiation intensity on a desired work distance WD And the distance between the second lens 23 and the third lens 42 can be adjusted.

도 7 및 도 8은 본 실시형태의 광학 헤드(100)를 X축 방향에서 보았을 때의(즉, Y-Z 평면 상의) 광로도의 일례이다. 도 7은 워크 디스턴스(WD)가 30mm가 되도록(즉, 광학 헤드(100)의 출사단면으로부터 30mm 떨어진 위치에 원환 형상의 자외광이 투영되도록), 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격을 사전 결정된 거리(예를 들면, 15mm)로 조정한 경우의 광로도이다. 또, 도 8은 워크 디스턴스(WD)가 40mm가 되도록(즉, 광학 헤드(100)의 출사단면으로부터 40mm 떨어진 위치에 원환 형상의 자외광이 투영되도록), 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격을 사전 결정된 거리(예를 들면, 8mm)로 조정한 경우의 광로도이다. 또, 도 9는 도 7의 WD=30mm의 위치에 있어서의 Y축 방향의 조사 강도 분포(도 9 중, 「WD=30mm」이라고 나타냄)와, 도 8의 WD=40mm의 위치에 있어서의 Y축 방향의 조사 강도 분포(도 9 중, 「WD=40mm」이라고 나타냄)를 나타내는 그래프이다. 도 9의 종축은 조사 강도(mW/cm2)이며, 횡축은 광축(0)을 0으로 하는 Y축 방향의 거리(mm)이다.Figs. 7 and 8 show an example of the optical path when the optical head 100 of the present embodiment is viewed in the X-axis direction (i.e., on the YZ plane). 7 shows a state in which the work distance WD is 30 mm (that is, the circular-shaped ultraviolet light is projected 30 mm away from the exit end face of the optical head 100), and the second lens 23 and the third lens 42 ) Is adjusted to a predetermined distance (for example, 15 mm). 8 shows a state in which the work distance WD is 40 mm (that is, the circular-shaped ultraviolet light is projected 40 mm away from the exit end face of the optical head 100), and the second lens 23 and the third lens (For example, 8 mm) in the case where the distance between the light-shielding portions 42 is adjusted to a predetermined distance. 9 shows the distribution of the irradiation intensity in the Y-axis direction (indicated by "WD = 30 mm" in FIG. 9) at WD = 30 mm in FIG. 7 and the Y (Shown as " WD = 40 mm " in Fig. 9) in the axial direction. 9 is the irradiation intensity (mW / cm 2 ), and the abscissa is the distance (mm) in the Y-axis direction with the optical axis 0 being zero.

도 7, 도 9에 나타내는 바와 같이, 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격을 조정하면, 원환 형상의 자외광을 WD=30mm의 위치에 포커스시킬 수 있고, WD=30mm의 위치에 약580mW/cm2의 피크 강도를 가지는 직경 약10mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다.As shown in Figs. 7 and 9, when the distance between the second lens 23 and the third lens 42 is adjusted, the toric ultraviolet light can be focused at a position of WD = 30 mm, It is possible to obtain a toric ultraviolet light having a peak intensity of about 580 mW / cm < 2 > and a diameter of about 10 mm.

또, 도 8, 도 9에 나타내는 바와 같이, 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격을 조정하면, 원환 형상의 자외광을 WD=40mm의 위치에 포커스시킬 수 있고, WD=40mm의 위치에 약200mW/cm2의 피크 강도를 가지는 직경 약14mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다.8 and 9, when the interval between the second lens 23 and the third lens 42 is adjusted, the toric ultraviolet light can be focused at a position of WD = 40 mm, and WD = A circularly shaped ultraviolet light having a peak intensity of about 200 mW / cm 2 and a diameter of about 14 mm can be obtained at a position of 40 mm.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 광 조사 장치(1)에 의하면, 1개의 LED 소자(12)로부터 출사되는 자외광이 원환 형상의 자외광으로 성형되어, 워크 디스턴스(WD) 상에 배치된 조사 대상물(즉, 렌즈(L))의 원환 형상의 조사 에리어(즉, 기단면(Lb))에 조사된다. 이 때문에, 종래와 같이 광원 유닛(광학 헤드)을 복수 설치하지 않고, 조사 에리어 내의 복수 개소에 도포된 자외선 경화 수지를 자외광에 의해 동시에 조사할 수 있다. 또, 종래 필요했던 얼라인먼트 조정이 불필요하게 된다. 또한, 원환 형상의 조사 에리어에만 자외광이 조사되기 때문에, 고출력 타입의 LED를 사용할 필요도 없고, 또 조사 시간을 길게 할 필요도 없다.As described above, according to the light irradiation apparatus 1 of the present embodiment, the ultraviolet light emitted from one LED element 12 is formed into the toric ultraviolet light, and the irradiation (That is, the base end face Lb) of the object (that is, the lens L). For this reason, it is possible to simultaneously irradiate the ultraviolet cured resin applied to a plurality of places in the irradiation area with ultraviolet light, without providing a plurality of light source units (optical heads) as in the prior art. In addition, alignment adjustment that is conventionally required becomes unnecessary. In addition, since ultraviolet light is irradiated only on the irradiated area of the toric shape, there is no need to use a high output type LED and there is no need to lengthen the irradiation time.

또, 상기 서술한 바와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 로크 나사(30)의 위치를 변경함으로써, 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격을 변경할 수 있도록 구성되어 있다. 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격을 변경하면, 제2 렌즈(23)를 투과한 자외광의 포커스 위치가 변경되기 때문에 워크 디스턴스(WD)가 변경된다. 즉 ,본 실시형태의 구성에 의하면, 제2 렌즈(23)와 제3 렌즈(42)의 간격을 변경함으로써, 다양한 워크 디스턴스(WD)에 대응할 수 있어, 워크 디스턴스(WD)에 따른 위치(즉, 렌즈(L)의 기단면(접착면))에 원환 형상의 자외광을 효율적으로 조사하는 것이 가능하게 된다.As described above, in the present embodiment, the interval between the second lens 23 and the third lens 42 can be changed by changing the position of the lock screw 30. [ Changing the distance between the second lens 23 and the third lens 42 changes the work distance WD because the focus position of the ultraviolet light transmitted through the second lens 23 is changed. That is, according to the configuration of the present embodiment, it is possible to cope with various work distances WD by changing the interval between the second lens 23 and the third lens 42, and the position according to the work distance WD (Adhesive surface) of the lens L) can be efficiently irradiated with the toric ultraviolet light.

이상이 본 실시형태의 설명인데, 본 발명은 상기한 구성에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에 있어서 다양한 변형이 가능하다.The present invention is not limited to the above-described configuration, and various modifications are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

예를 들면, 본 실시형태의 광 조사 장치(1)는 원환 형상의 조사 에리어의 자외선 경화 수지를 경화시키는 것으로서 설명했지만, 이러한 용도에 한정되는 것은 아니며, 원환 형상의 광을 필요로 하는 다른 용도(예를 들면, 중심부에 광을 조사하고 싶지 않은 원 형상의 조사 대상물에 대한 조사)에도 적용하는 것이 가능하다.For example, the light irradiation apparatus 1 of the present embodiment has been described as curing the ultraviolet ray hardening resin in the toric irradiation area. However, the present invention is not limited to this application, For example, it is also possible to apply the present invention to irradiation of a circular object to be irradiated which does not want to irradiate light to the central portion).

또, 본 실시형태의 광 조사 장치(1)는 파장 365nm의 자외광을 조사하는 장치로서 설명했지만, 자외역의 다른 파장의 자외광을 조사하는 것이어도 된다. 최근, 자외역에 가까운 파장(예를 들면, 파장 405nm)의 광을 조사하는 LED 소자가 실용에 제공되어 있지만, 이러한 LED 소자를 본 실시형태의 광 조사 장치(1)에 적용하는 것도 가능하다. 즉, 본 명세서에 있어서의 「자외광」, 「자외역의 파장의 광」은 자외역에 가까운 파장의 광을 포함하는 의미이며, 본 발명의 작용·효과를 나타내는 이상, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내이다. 또, 상기 서술한 바와 같이, 본 실시형태의 광 조사 장치(1)를 원환 형상의 광을 필요로 하는 다른 용도(즉, 자외선 경화 수지를 경화시키는 용도 이외의 용도)에 적용하는 경우에는, 광 조사 장치(1)는 반드시 자외광을 조사하는 것일 필요는 없고, 가시역 또는 적외역의 파장의 광을 조사하는 것이어도 된다.Although the light irradiation device 1 of the present embodiment is described as an apparatus for irradiating ultraviolet light having a wavelength of 365 nm, it may be irradiated with ultraviolet light having other wavelengths in the ultraviolet region. In recent years, an LED element for irradiating light with a wavelength close to the ultraviolet region (for example, a wavelength of 405 nm) has been practically used, but it is also possible to apply such an LED element to the light irradiation apparatus 1 of the present embodiment. In other words, the terms "ultraviolet light" and "ultraviolet light" in this specification include light having a wavelength close to the ultraviolet region, indicating the operation and effect of the present invention. Thus, the technical idea of the present invention Within the range. In addition, as described above, when the light irradiation device 1 of the present embodiment is applied to other uses requiring toric light (that is, for applications other than the application for curing the ultraviolet hardening resin) The irradiation device 1 does not necessarily need to irradiate ultraviolet light, but may irradiate light having a wavelength in a visible region or an infrared region.

또, 본 실시형태의 제1 렌즈(22)는 양측 볼록 렌즈로서 설명했지만, 이 구성에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 평볼록 렌즈 또는 요철 렌즈를 적용하는 것도 가능하다.Although the first lens 22 of the present embodiment has been described as a double convex lens, the present invention is not limited to this configuration. For example, a flat convex lens or a concave-convex lens can be applied.

또, 본 실시형태의 제3 렌즈(42)는 평볼록 렌즈로서 설명했지만, 이 구성에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 양측 볼록 렌즈 또는 요철 렌즈를 적용하는 것도 가능하다. 또, 평볼록 렌즈인 경우에, 볼록면이 입사면, 평면이 출사면이 되도록 배치해도 된다.Although the third lens 42 of the present embodiment has been described as a plano-convex lens, the present invention is not limited to this configuration. For example, a double-convex lens or a concave-convex lens may be applied. In the case of a flat convex lens, the convex surface may be an incident surface and the plane may be an exit surface.

또, 본 실시형태에 있어서는, 제2 렌즈(23)의 원추 형상의 입사면(23a)의 정점의 각도 α를 140°로서 설명했지만, 이러한 구성에 한정되는 것은 아니다. 도 10~도 14는 본 실시형태의 제2 렌즈(23)의 입사면(23a)의 정점의 각도 α를 각각 160°, 150°, 120°, 100°, 80°로 변경했을 때의 광로도(도 10(a)~도 14(a)), 및 사전 결정된 워크 디스턴스(WD=20mm) 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프(도 10(b)~도 14(b))이다. 또한, 도 10(b)~도 14(b)의 종축은 도 6과 마찬가지로 조사 강도(mW/cm2)이며, 횡축은 광축(0)을 0으로 하는 X축 방향 및 Y축 방향의 거리(mm)이다.In the present embodiment, the angle 留 of the apex of the conical incidence surface 23a of the second lens 23 is 140 占. However, the present invention is not limited to this configuration. 10 to 14 are optical paths when the angle α of the vertex of the incident surface 23a of the second lens 23 according to the present embodiment is changed to 160 °, 150 °, 120 °, 100 °, and 80 °, respectively (FIG. 10 (b) to FIG. 14 (b)) showing the irradiation intensity distribution in the X-axis direction on the predetermined work distance (FIG. 10 (a) )to be. The ordinate of FIG. 10 (b) to FIG. 14 (b) shows the irradiation intensity (mW / cm 2 ) in the same manner as in FIG. 6, and the abscissa represents the distance in the X axis direction and the Y axis direction mm).

도 10에 나타내는 바와 같이, 제2 렌즈(23)의 입사면(23a)의 정점의 각도 α가 160°인 경우, 제2 렌즈(23)에 의한 굴절력이 작아지기 때문에, 광축(0) 주변(즉, 중심부)에 200mW/cm2정도의 광이 잔존하고, 완전한 원환 형상의 자외광을 얻을 수 없다. 이와 같이, 조사 에리어의 중심부에 광이 잔존하면, 그 만큼 주변의 광의 광량이 감소하기 때문에, 피크 강도는 약간 낮은 것이 되지만, 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상의 자외선 경화 수지를 경화시킬 수 있으면, 이러한 구성을 적용할 수 있다.10, when the angle? Of the vertex of the incident surface 23a of the second lens 23 is 160 degrees, the refractive power of the second lens 23 becomes small. Therefore, That is, the center portion) of about 200 mW / cm 2 remains, and ultraviolet light in a complete annular shape can not be obtained. As described above, if light remains at the center of the irradiated area, the intensity of the light around it decreases, so that the peak intensity is slightly lower. However, if the ultraviolet curable resin on the predetermined work distance WD can be cured, Configuration can be applied.

도 11에 나타내는 바와 같이, 제2 렌즈(23)의 입사면(23a)의 정점의 각도 α가 150°인 경우, 본 실시형태와 마찬가지로 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 직경 약10mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다.As shown in Fig. 11, when the angle alpha of the vertex of the incident surface 23a of the second lens 23 is 150 deg., An annular shape having a diameter of about 10 mm is formed on the predetermined work distance WD in the same manner as in the present embodiment Ultraviolet light can be obtained.

도 12에 나타내는 바와 같이, 제2 렌즈(23)의 입사면(23a)의 정점의 각도 α가 120°인 경우, 제2 렌즈(23)가 두꺼워지기 때문에, 제1 렌즈(22)를 투과한 자외광의 일부(퍼짐각이 큰 광)가 제2 렌즈(23)에 입사하지 않고, 광의 이용 효율이 약간 저하되지만, 본 실시형태와 마찬가지로 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 직경 약12mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다. 또한, 본 변형예에 있어서 광의 이용 효율을 높이기 위해서는, 제2 렌즈(23)의 외경을 크게 하면 된다.12, when the angle 留 of the apex of the incident surface 23a of the second lens 23 is 120 占 the second lens 23 becomes thick, A part of the ultraviolet light (light having a large spreading angle) is not incident on the second lens 23 and the light utilization efficiency is slightly lowered. However, in the same manner as in the present embodiment, Ultraviolet light of the shape can be obtained. In order to improve the utilization efficiency of light in this modification, the outer diameter of the second lens 23 may be increased.

도 13에 나타내는 바와 같이, 제2 렌즈(23)의 입사면(23a)의 정점의 각도 α가 100°인 경우, 각도 α가 120°인 경우보다 제2 렌즈(23)가 두꺼워지기 때문에, 광의 이용 효율이 더욱 저하되지만, 본 실시형태와 마찬가지로 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 직경 약18mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다. 또한, 본 변형예에 있어서 광의 이용 효율을 높이기 위해서는 각도 α가 120°인 경우와 마찬가지로 제2 렌즈(23)의 외경을 크게 하면 된다.13, when the angle? Of the vertex of the incident surface 23a of the second lens 23 is 100, the second lens 23 becomes thicker than when the angle? Is 120. Therefore, The efficiency of use is lowered. However, as in the present embodiment, toric ultraviolet light having a diameter of about 18 mm can be obtained on the predetermined work distance WD. In addition, in the present modification, the outer diameter of the second lens 23 may be increased in a manner similar to the case where the angle? Is 120 degrees, in order to increase the utilization efficiency of light.

도 14에 나타내는 바와 같이, 제2 렌즈(23)의 입사면(23a)의 정점의 각도 α가 80°인 경우, 각도 α가 100°인 경우보다 제2 렌즈(23)가 더욱 두꺼워지기 때문에, 광의 이용 효율이 더욱 저하되지만, 본 실시형태와 마찬가지로 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 직경 약24mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다. 또한, 본 변형예에 있어서 광의 이용 효율을 높이기 위해서는, 각도 α가 120°, 100°인 경우와 마찬가지로 제2 렌즈(23)의 외경을 크게 하면 된다.14, when the angle alpha of the apex of the incident surface 23a of the second lens 23 is 80, the second lens 23 becomes thicker than when the angle alpha is 100, The efficiency of utilization of light is further lowered. However, as in the present embodiment, circularly shaped ultraviolet light having a diameter of about 24 mm can be obtained on a predetermined work distance WD. In addition, in order to increase the utilization efficiency of light in this modification, the outer diameter of the second lens 23 may be increased as in the case where the angle α is 120 ° and 100 °.

이와 같이, 본 실시형태의 제2 렌즈(23)의 원추 형상의 입사면(23a)의 정점의 각도 α는 140°에 한정되는 것은 아니며, 160° 이하이면 사전 결정된 워크 디스턴스(WD) 상에 있어서 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다. 또한, 상기 서술한 바와 같이, 제2 렌즈(23)의 입사면(23a)의 정점의 각도 α가 160°인 경우, 중심부에 광이 잔존하기 때문에 광의 이용 효율이 저하되고, 또 각도 α가 작아질수록 제2 렌즈(23)가 두꺼워져, 광의 이용 효율이 저하된다. 이 때문에, 제2 렌즈(23)의 입사면(23a)의 정점의 각도 α는 120°~150°가 적합하다.As described above, the angle [alpha] of the apex of the cone-shaped incident surface 23a of the second lens 23 of the present embodiment is not limited to 140 [deg.]. When the angle is 160 [deg.] Or less, on the predetermined work distance WD Ultraviolet light in the toric shape can be obtained. As described above, when the angle? Of the apex of the incident surface 23a of the second lens 23 is 160, the light utilization efficiency is lowered because the light remains in the central portion, and the angle? The second lens 23 becomes thicker and the use efficiency of light is lowered. Therefore, the angle 留 of the apex of the incident surface 23a of the second lens 23 is preferably 120 deg. To 150 deg.

또, 본 실시형태의 제2 렌즈(23)는 원추면을 제1 렌즈(22)측을 향하게 한 액시콘 렌즈로서 설명했지만, 이러한 구성에 한정되는 것은 아니며, 다양한 변형예가 생각된다.The second lens 23 of the present embodiment has been described as an axicon lens having a conical surface facing the first lens 22 side. However, the present invention is not limited to this configuration, and various modifications may be considered.

도 15는 본 실시형태의 제2 렌즈(23)의 제1 변형예를 나타내는 광로도(도 15(a)) 및 WD=20mm 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프(도 15(b))이다. 본 변형예의 제2 렌즈(231)는 원추면을 제3 렌즈(42)측을 향하게 한 액시콘 렌즈인 점에서 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 상이하다. 이와 같이, 원추면을 출사면측에 배치해도 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 마찬가지로 기능하고, WD=20mm 상에서 직경 약7mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다.15 is a graph showing an optical path diagram (Fig. 15 (a)) showing a first modification of the second lens 23 of the present embodiment and an irradiation intensity distribution in the X-axis direction on WD = 20 mm (b). The second lens 231 of this modification is different from the second lens 23 of the present embodiment in that it is an axicon lens having a conical surface facing the third lens 42 side. Thus, even when the conical surface is disposed on the emission surface side, it can function similarly to the second lens 23 of the present embodiment, and the toric ultraviolet light having a diameter of about 7 mm on the WD = 20 mm can be obtained.

도 16은 본 실시형태의 제2 렌즈(23)의 제2 변형예를 나타내는 광로도(도 16(a)) 및 WD=20mm 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프(도 16(b))이다. 본 변형예의 제2 렌즈(232)는 제1 렌즈(22)측(즉, 입사면측) 및 제3 렌즈(42)측(즉, 출사면측)에 원추면을 가지는 액시콘 렌즈인 점에서 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 상이하다. 이와 같이, 입사면 및 출사면을 원추면으로 구성해도 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 마찬가지로 기능하고, WD=20mm 상에서 직경 약14mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다. 또한, 본 변형예에 있어서는, 광축(0)의 주변(즉, 중심부)에 있어서도 약간의 자외광의 조사가 인정되지만, 워크 디스턴스(WD) 상에서 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있으면, 렌즈(L)의 기단면(Lb)의 자외선 경화 수지를 경화시킬 수 있기 때문에, 특별히 문제가 되지는 않는다.16 is a graph showing an optical path diagram (Fig. 16 (a)) showing a second modification of the second lens 23 of the present embodiment and an irradiation intensity distribution in the X-axis direction on WD = 20 mm (b). The second lens 232 of this modification is an axicon lens having a conical surface on the side of the first lens 22 (that is, on the incident surface side) and on the side of the third lens 42 The second lens 23 of the second lens group 22 is different. As described above, even when the incident surface and the emergent surface are formed as conical surfaces, the same function as the second lens 23 of the present embodiment can be obtained, and toric ultraviolet light having a diameter of about 14 mm on WD = 20 mm can be obtained. In this modification, a slight amount of ultraviolet light can be irradiated even in the periphery (i.e., the central portion) of the optical axis O. However, if the torus shaped ultraviolet light can be obtained on the work distance WD, The ultraviolet curing resin of the base end face Lb of the base material can be cured, so that there is no particular problem.

도 17은 본 실시형태의 제2 렌즈(23)의 제3 변형예를 나타내는 광로도(도 17(a)) 및 WD=20mm 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프(도 17(b))이다. 본 변형예의 제2 렌즈(233)는 원추면을 제3 렌즈(42)측을 향하게 한 제1 액시콘 렌즈(233a)와, 원추면을 제1 렌즈(22)측을 향하게 한 제2 액시콘 렌즈(233b)로 구성되어 있는 점에서 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 상이하다. 이와 같이, 원추면이 상대하도록 배치된 한 쌍의 액시콘 렌즈는 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 마찬가지로 기능하고, 이러한 구성에 의해서도 WD=20mm 상에서 직경 약15mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다.17 is a graph showing an optical path diagram (FIG. 17 (a)) showing a third modification of the second lens 23 of the present embodiment and an irradiation intensity distribution in the X-axis direction on WD = 20 mm (b). The second lens 233 of the present modification example has a first axicon lens 233a having a conical surface facing the third lens 42 side and a second axicon lens 233a having a conical surface oriented toward the first lens 22 233b, which is different from the second lens 23 of the present embodiment. As described above, the pair of axicon lenses arranged so that the conical surfaces are opposed to each other function in the same manner as the second lens 23 of the present embodiment. By this configuration, the annular ultraviolet light having a diameter of about 15 mm on the WD = .

도 18은 본 실시형태의 제2 렌즈(23)의 제4 변형예를 나타내는 광로도(도 18 (a)) 및 WD=20mm 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프(도 18(b))이다. 본 변형예의 제2 렌즈(234)는 원추면을 제1 렌즈(22)측을 향하게 한 제1 액시콘 렌즈(234a)와, 원추면을 제3 렌즈(42)측을 향하게 한 제2 액시콘 렌즈(234b)로 구성되어 있는 점에서 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 상이하다. 이와 같이, 원추면이 역방향을 향하도록 배치된 한 쌍의 액시콘 렌즈는 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 마찬가지로 기능하고, 이러한 구성에 의해서도 WD=20mm 상에서 직경 약14mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다. 또한, 본 변형예에 있어서는, 제2 변형예와 마찬가지로 광축(O)의 주변(즉, 중심부)에 있어서도 자외광의 조사가 인정되지만, 워크 디스턴스(WD) 상에서 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있으면, 렌즈(L)의 기단면(Lb)의 자외선 경화 수지를 경화시킬 수 있기 때문에, 특별히 문제가 되지는 않는다.18 is a graph showing an optical path diagram (Fig. 18 (a)) showing a fourth modification of the second lens 23 of the present embodiment and an irradiation intensity distribution in the X-axis direction on WD = 20 mm (b). The second lens 234 of this modification includes a first axicon lens 234a having a conical surface facing the first lens 22 side and a second axicon lens 234a having a conical surface oriented toward the third lens 42 234b, which is different from the second lens 23 of the present embodiment. As described above, the pair of axicon lenses arranged so that the conical surfaces face in opposite directions function in the same manner as the second lens 23 of the present embodiment. With this configuration, the annular ultraviolet light having a circular- Can be obtained. In this modification, ultraviolet light can be irradiated even in the periphery (i.e., the central portion) of the optical axis O as in the second modification. However, if the ultraviolet light in the toric form can be obtained on the work distance WD , The ultraviolet curing resin of the base end face Lb of the lens L can be cured, so that this is not a particular problem.

도 19는 본 실시형태의 제2 렌즈(23)의 제5 변형예를 나타내는 광로도(도 19 (a)) 및 WD=20mm 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프(도 19(b))이다. 본 변형예의 제2 렌즈(235)는 원추면을 제1 렌즈(22)측을 향하게 한 제1 액시콘 렌즈(235a)와 제2 액시콘 렌즈(235b)로 구성되어 있는 점에서 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 상이하다. 이와 같이, 원추면이 제1 렌즈(22)측을 향하도록 배치된 한 쌍의 액시콘 렌즈는 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 마찬가지로 기능하고, 이러한 구성에 의해서도 WD=20mm 상에서 직경 약14mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다. 또한, 본 변형예에 있어서도, 제2, 제4 변형예와 마찬가지로 광축(0)의 주변(즉, 중심부)에 있어서도 자외광의 조사가 인정되지만, 워크 디스턴스(WD) 상에서 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있으면, 렌즈(L)의 기단면(Lb)의 자외선 경화 수지를 경화시킬 수 있기 때문에, 특별히 문제가 되지는 않는다.Fig. 19 is a graph showing the optical path diagram (Fig. 19 (a)) showing the fifth modification of the second lens 23 of the present embodiment and the irradiation intensity distribution in the X-axis direction on WD = 20 mm (b). Since the second lens 235 of the present modification example is constituted by the first axicon lens 235a and the second axicon lens 235b with the conical surface facing the first lens 22 side, 2 lens 23 in the second embodiment. A pair of axicon lenses arranged so that the conical surface faces the first lens 22 side functions in the same manner as the second lens 23 of the present embodiment, and even with WD = 20 mm, a diameter of about 14 mm Can be obtained. Also in the present modified example, as in the second and fourth modified examples, the irradiation of ultraviolet light can be recognized even at the periphery (i.e., the center portion) of the optical axis 0, The ultraviolet curable resin of the base end face Lb of the lens L can be cured, so that no problem is particularly caused.

도 20은 본 실시형태의 제2 렌즈(23)의 제6 변형예를 나타내는 광로도(도 20(a)) 및 WD=20mm 상에 있어서의 X축 방향의 조사 강도 분포를 나타내는 그래프(도 20(b))이다. 본 변형예의 제2 렌즈(236)는 원추면을 제3 렌즈(42)측을 향하게 한 제1 액시콘 렌즈(236a)와 제2 액시콘 렌즈(236b)로 구성되어 있는 점에서 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 상이하다. 이와 같이, 원추면이 제3 렌즈(42)측을 향하도록 배치된 한 쌍의 액시콘 렌즈는 본 실시형태의 제2 렌즈(23)와 마찬가지로 기능하고, 이러한 구성에 의해서도 WD=20mm 상에서 직경 약14mm의 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있다. 또한, 본 변형예에 있어서도, 제2, 제4, 제5 변형예와 마찬가지로 광축(0) 주변에 있어서도 자외광의 조사가 인정되지만, 워크 디스턴스(WD) 상에서 원환 형상의 자외광을 얻을 수 있으면, 렌즈(L)의 기단면(Lb)의 자외선 경화 수지를 경화시킬 수 있기 때문에, 특별히 문제가 되지는 않는다.20 shows the optical path diagram (Fig. 20 (a)) showing the sixth modification of the second lens 23 of the present embodiment and the graph showing the irradiation intensity distribution in the X-axis direction on the WD = 20 mm (b). The second lens 236 of the present modification example is constituted by the first axicon lens 236a and the second axicon lens 236b with the conical surface facing the third lens 42 side, 2 lens 23 in the second embodiment. A pair of axicon lenses arranged so that the conical surface faces the third lens 42 side functions in the same manner as the second lens 23 of the present embodiment, and even with WD = 20 mm, a diameter of about 14 mm Can be obtained. Also in the present modified example, as in the second, fourth, and fifth modified examples, the irradiation of ultraviolet light is also allowed around the optical axis 0, but when the toric ultraviolet light can be obtained on the work distance WD , The ultraviolet curing resin of the base end face Lb of the lens L can be cured, so that this is not a particular problem.

또한, 이번에 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것이 아니다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라, 특허청구의 범위에 의해 표시되고, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.Furthermore, the embodiments disclosed herein are illustrative in all respects and are not restrictive. The scope of the present invention is not limited to the above description, but is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to those of the claims, which are indicated by the claims.

1…광 조사 장치
10…LED 유닛
11…케이스
11a…개구부
11b…측벽부
11c…바닥부
11ca, 11cb…관통 구멍
12…LED 소자
12a…발광면
12b…커버 유리
20…제1 렌즈 유닛
21…경통
21a, 21b…개구부
21c…측벽부
22…제1 렌즈
23, 231, 232, 233, 234, 235, 236…제2 렌즈
23a…입사면
23b…출사면
30…로크 나사
30a…나사 구멍
40…제2 렌즈 유닛
41…경통
41a, 41b…개구부
41c…측벽부
42…제3 렌즈
100…광학 헤드
200…전원 유닛
300…케이블
300a, 300b…리드선
L…렌즈
La…플랜지부
Lb…기단면One… Light irradiation device
10 ... LED unit
11 ... case
11a ... Opening
11b ... Side wall portion
11c ... Bottom portion
11c, 11cb ... Through hole
12 ... LED element
12a ... Emitting surface
12b ... Cover glass
20 ... The first lens unit
21 ... Barrel
21a, 21b ... Opening
21c ... Side wall portion
22 ... The first lens
23, 231, 232, 233, 234, 235, 236 ... The second lens
23a ... Incidence plane
23b ... Exit surface
30 ... Lock screw
30 ... Screw hole
40 ... The second lens unit
41 ... Barrel
41a, 41b ... Opening
41c ... Side wall portion
42 ... Third lens
100 ... Optical head
200 ... Power unit
300 ... cable
300a, 300b ... Lead wire
L ... lens
La ... Flange portion
Lb ... Basic cross-section

Claims (10)

사전 결정된 위치에 배치된 조사 대상물의 원환 형상의 조사 에리어에 대하여 광을 조사하는 광 조사 장치로서,
상기 광을 출사하는 LED(Light Emitting Diode) 소자와,
상기 LED 소자와 공통의 광축을 가지고, 상기 LED 소자로부터 출사된 광의 퍼짐각을 좁히고, 사전 결정된 퍼짐각을 가지는 광으로 성형하는 제1 렌즈와,
상기 제1 렌즈와 공통의 광축을 가지고, 상기 제1 렌즈를 투과한 광을 이 광축을 중심으로 하는 원환 형상의 광이 되도록 굴절시키는 제2 렌즈와,
상기 제2 렌즈와 공통의 광축을 가지고, 상기 제2 렌즈를 투과한 광을 상기 조사 에리어 상에 원환 형상으로 포커스하는 제3 렌즈를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.A light irradiation apparatus for irradiating a light onto an annular irradiation area of an object to be irradiated arranged at a predetermined position,
An LED (Light Emitting Diode) element for emitting the light,
A first lens having an optical axis common to the LED element and narrowing a spreading angle of light emitted from the LED element and shaping the light into a light having a predetermined spreading angle,
A second lens having an optical axis common to the first lens and refracting the light transmitted through the first lens so as to be annular light having the optical axis as a center;
And a third lens having an optical axis common to the second lens and focusing the light transmitted through the second lens on the irradiation area in a toric shape. 제 1 항에 있어서, 상기 제3 렌즈를 상기 제2 렌즈에 대하여 상대적으로 이동시키는 렌즈 이동 수단을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The light irradiation apparatus according to claim 1, further comprising lens moving means for moving said third lens relative to said second lens. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제2 렌즈는 원추면을 상기 제1 렌즈측 또는 상기 제3 렌즈측을 향하게 한 액시콘 렌즈인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.3. The light irradiation apparatus according to claim 1 or 2, wherein the second lens is an axicon lens whose conical surface faces the first lens side or the third lens side. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제2 렌즈는 원추면을 상기 제1 렌즈측 및 상기 제3 렌즈측에 구비한 액시콘 렌즈인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.3. The light irradiation apparatus according to claim 1 or 2, wherein the second lens is an axicon lens having a conical surface on the first lens side and the third lens side. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제2 렌즈는 원추면을 상기 제1 렌즈측 또는 상기 제3 렌즈측에 각각 구비한 한 쌍의 액시콘 렌즈인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The light irradiation apparatus according to claim 1 or 2, wherein the second lens is a pair of axicon lenses each having a conical surface on the first lens side or the third lens side. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 원추면의 정점의 각도가 120°~150°인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.6. The light irradiation apparatus according to any one of claims 3 to 5, wherein an angle of an apex of the conical surface is 120 DEG to 150 DEG. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 렌즈는 양측 볼록 렌즈, 평볼록 렌즈 또는 요철 렌즈인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.7. The light irradiation apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the first lens is a double convex lens, a flat convex lens, or a concave-convex lens. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제3 렌즈는 양측 볼록 렌즈, 평볼록 렌즈, 또는 요철 렌즈인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.8. The light irradiation apparatus according to any one of claims 1 to 7, wherein the third lens is a convex positive lens, a convex convex lens, or a convex-concave lens. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광 조사 장치로부터 조사되는 광이 자외역의 파장의 광인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.9. The light irradiation apparatus according to any one of claims 1 to 8, wherein light emitted from the light irradiation device is light having a wavelength in the ultraviolet region. 제 9 항에 있어서, 상기 자외역의 파장의 광은 자외선 경화형 수지에 작용하는 파장을 포함하는 광인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.10. The light irradiation apparatus according to claim 9, wherein the light having a wavelength in the ultraviolet region is a light having a wavelength that acts on the ultraviolet curable resin.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6532338B2 (en) * 2015-07-28 2019-06-19 日立造船株式会社 UV irradiation device
WO2018136486A1 (en) * 2017-01-19 2018-07-26 Umarex Usa, Inc. Projecting spotlight
JP7236371B2 (en) * 2019-11-26 2023-03-09 株式会社フジクラ Beam shaper, processing device, and beam shaping method

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4961622A (en) * 1988-02-25 1990-10-09 University Of Houston - University Park Optical coupler and refractive lamp
EP0687956B2 (en) * 1994-06-17 2005-11-23 Carl Zeiss SMT AG Illumination device
EP0955641B1 (en) * 1998-05-05 2004-04-28 Carl Zeiss Illumination system,particularly for deep ultraviolet lithography
JPH11328667A (en) * 1998-05-19 1999-11-30 Fuji Electric Co Ltd Manufacture of magnetic recording medium
JP4303582B2 (en) * 2003-06-04 2009-07-29 株式会社キーエンス UV irradiation equipment
JP2006178388A (en) * 2004-11-29 2006-07-06 Konica Minolta Holdings Inc Optical element fixing method and optical element fixing structure
JP2009136796A (en) * 2007-12-07 2009-06-25 Citizen Electronics Co Ltd Uv irradiation apparatus
CN101477239B (en) * 2009-01-16 2010-09-01 中国人民解放军国防科学技术大学 Star sensor lens and its use method in large-temperature range accurate fixed star azimuth measurement
CN101487692B (en) * 2009-01-16 2011-02-09 中国人民解放军国防科学技术大学 Miniature type star sensor optical imaging device
JP2011060798A (en) * 2009-09-07 2011-03-24 Nakakyu:Kk Ultraviolet irradiation device
JP2012119098A (en) * 2010-11-29 2012-06-21 Gigaphoton Inc Optical device, laser device, and extreme ultraviolet light generation apparatus
CN102841426A (en) * 2011-06-21 2012-12-26 亚洲光学股份有限公司 Cam lens cone
CN202356277U (en) * 2011-12-30 2012-08-01 深圳市能佳自动化设备有限公司 Water cooling LED (Light Emitting Diode) ultraviolet point light source illuminating head structure

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