KR20150015221A - Device for conveying substrate - Google Patents

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KR20150015221A
KR20150015221A KR1020130090998A KR20130090998A KR20150015221A KR 20150015221 A KR20150015221 A KR 20150015221A KR 1020130090998 A KR1020130090998 A KR 1020130090998A KR 20130090998 A KR20130090998 A KR 20130090998A KR 20150015221 A KR20150015221 A KR 20150015221A
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김민수
프루신스키 발레리
장윤호
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

A substrate conveying apparatus includes: a body part which includes a top side on which a substrate is arranged, and both sides extended from the top side; and a convey member which includes a plurality of roller members arranged on both sides of the body part. The substrate conveying apparatus includes: a pair of guide rails which include a sidewall part separated from the roller member with a preset interval; and a bottom part extended from the sidewall part supporting the convey member. The bottom part is partially inclined to the vertical surface of the sidewall part.

Description

기판 운송 장치{DEVICE FOR CONVEYING SUBSTRATE}[0001] DEVICE FOR CONVEYING SUBSTRATE [

본 발명은 기판 운송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가이드 레일 상에서 운송 부재의 진행을 원활하게 하는 기판 운송 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate transport apparatus, and more particularly, to a substrate transport apparatus for smoothly advancing a transport member on a guide rail.

유기 발광 표시(organic light emitting display; OLED)장치는 양극(anode)으로부터 제공되는 정공들과 음극(cathode)으로부터 제공되는 전자들이 상기 양극 및 음극 사이의 유기 발광층에서 결합하여 광을 출사한다. 상기 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고, 응답속도가 빠르며, 두께가 얇고 전력소모가 낮은 장점들이 있다.In an organic light emitting display (OLED) device, holes provided from an anode and electrons provided from a cathode are combined in the organic light emitting layer between the anode and the cathode to emit light. The organic light emitting display has advantages of wide viewing angle, high response speed, thin thickness, and low power consumption.

상기 유기 발광 표시장치는 기판 및 상기 기판 상에 배치되는 유기물 패턴을 포함한다. 상기 유기물 패턴은 소정의 마스크(mask)를 이용하여 상기 기판 상에 증착될 수 있다. 예를 들어, 미세 금속 마스크(fine metal mask; FMM) 공정에서는, 통상적인 마스크보다 더 미세한 서브화소 크기의 슬릿을 갖는 마스크를 이용하여 유기물층이 패터닝될 수 있다.The OLED display includes a substrate and an organic pattern disposed on the substrate. The organic material pattern may be deposited on the substrate using a predetermined mask. For example, in a fine metal mask (FMM) process, an organic layer can be patterned using a mask having sub-pixel size slits that are finer than conventional masks.

최근에는, 운반체 상에 기판을 부착한 다음, 상기 운반체를 마스크가 배치된 경로로 이동시키며 상기 기판에 스캐닝함으로써 유기물을 증착시키는 소 마스크 스캐닝(small mask scanning; SMS) 공정이 개발되고 있다.Recently, a small mask scanning (SMS) process has been developed in which an organic substance is deposited by attaching a substrate on a carrier, moving the carrier to a path on which the mask is disposed, and scanning the carrier on the substrate.

그러나, 상기 소 마스크 스캐닝 공정에 사용되는 SMS 장비 내에서는, 상기 운반체가 진행할 때 좌우 또는 상하로 유동됨에 따라, 운반체가 레일에 끼여 SMS 공정 전체가 멈추는 문제점이 있다.However, in the SMS equipment used in the small-mask scanning process, there is a problem that the entire SMS process stops when the carrier is moved leftward or rightward or upward and downward as the carrier advances, and the carrier is caught by the rail.

이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 운송 부재의 진행을 원활하게 할 수 있는 기판 운송 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of smoothly advancing a transfer member.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 기판 운송 장치는, 기판이 배치되는 상면 및 상기 상면으로부터 연장되는 양 측면을 갖는 몸체부와, 상기 몸체부의 양 측면에 배치되는 복수의 롤러 부재를 포함하는 운송 부재; 및 상기 롤러 부재로부터 소정의 간격만큼 이격되는 측벽부 및 상기 측벽부로부터 연장되어 상기 운송 부재를 지지하는 바닥부를 포함하는 한 쌍의 가이드 레일을 포함한다. 상기 바닥부는 적어도 부분적으로 상기 측벽부의 수직면에 대해 경사진다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a substrate transfer apparatus including: a body having an upper surface on which a substrate is disposed and both sides extending from the upper surface; a plurality of rollers disposed on both sides of the body, A transporting member including a member; And a pair of guide rails including a side wall portion spaced apart from the roller member by a predetermined distance and a bottom portion extending from the side wall portion and supporting the transportation member. The bottom portion is at least partially inclined with respect to a vertical plane of the side wall portion.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 롤러 부재는 상기 운송 부재의 진행 방향에 수직인 단면에서 볼 때, 사다리꼴 형상을 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the roller member may have a trapezoidal shape when viewed from a cross section perpendicular to the traveling direction of the transportation member.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 롤러 부재는, 상기 측벽부에 대향하는 제1 면의 하단 높이가 상기 몸체부의 측면에 대향하는 제2 면의 하단 높이보다 높도록 제1 각도로 경사질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the roller member may be inclined at a first angle such that the lower end height of the first surface facing the side wall portion is higher than the lower end height of the second surface facing the side surface of the body portion have.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 바닥부 및 측벽부가 이루는 각도는 둔각일 수 있다.In an embodiment of the present invention, the angle formed by the bottom portion and the side wall portion may be an obtuse angle.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 바닥부는, 상기 측벽부로부터 멀어짐에 따라 높이가 낮아지도록 상기 측벽부의 수직면에 대해 상기 제1 각도로 경사질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the bottom portion may be inclined at the first angle with respect to the vertical surface of the side wall portion so that the height decreases as the distance from the side wall portion decreases.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 각도는 5도 이상 45도 이하일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first angle may be 5 degrees or more and 45 degrees or less.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 롤러 부재는, 상기 측벽부에 대향하는 제1 면의 하단 높이가 상기 몸체부의 측면에 대향하는 제2 면의 하단 높이보다 낮도록 제2 각도로 경사질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the roller member may be inclined at a second angle such that the lower end height of the first surface facing the side wall portion is lower than the lower end height of the second surface facing the side surface of the body portion have.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 바닥부 및 측벽부가 이루는 각도는 예각일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the angle formed by the bottom portion and the side wall portion may be an acute angle.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 바닥부는, 상기 측벽부로부터 멀어짐에 따라 높이가 높아지도록 상기 측벽부의 수직면에 대해 상기 제2 각도로 경사질 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the bottom portion may be inclined at the second angle with respect to the vertical surface of the side wall portion so that the height increases with distance from the side wall portion.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 각도는 5도 이상 45도 이하일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the second angle may be between 5 degrees and 45 degrees.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 운송 부재는, 상기 몸체부의 양 측면에 배치되고 상기 측벽부와의 접촉을 완충하는 수평 롤러 부재를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the transporting member may further include horizontal roller members disposed on both sides of the body portion and buffering contact with the side wall portions.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 롤러 부재는, 상기 운송 부재의 진행 방향에 수직한 단면에서 볼 때, 상단 및 하단이 오목하게 함몰될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the roller member may be recessed at an upper end and a lower end in a cross section perpendicular to the traveling direction of the transport member.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 바닥부는, 상기 롤러 부재의 함몰된 부분에 대응하여 돌출되는 가이드 턱을 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the bottom portion may include a guide protrusion protruding corresponding to a depressed portion of the roller member.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 롤러 부재의 함몰된 부분 및 상기 가이드 턱은 각각, 각진 형상을 가질 수 있다.In one embodiment of the present invention, the depressed portion of the roller member and the guide jaw may each have an angular shape.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 롤러 부재는, 상기 운송 부재의 진행 방향에 수직한 단면에서 볼 때, 상단 및 하단이 볼록하게 돌출될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the roller member may protrude upward and downward when viewed from a cross section perpendicular to the traveling direction of the transportation member.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 바닥부는, 상기 롤러 부재의 돌출된 부분에 대응하여 함몰되는 가이드 홈을 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the bottom portion may include a guide groove recessed corresponding to the protruding portion of the roller member.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 몸체부는 상기 기판을 고정시키는 정전 척을 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the body may further include an electrostatic chuck for fixing the substrate.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 몸체부는 외부로부터 제어 신호를 인가받는 무선 통신부를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the body may further include a wireless communication unit receiving a control signal from the outside.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 각각의 상기 롤러 부재는, 평면에서 볼 때 상기 운송 부재가 진행하는 방향의 수직선 상에서 서로 대응할 수 있다.In one embodiment of the present invention, each of the roller members can correspond to each other on a vertical line in a direction in which the transport member advances as viewed in a plane.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 운송 부재는 각각의 상기 롤러 부재를 상기 몸체부의 양 측면에 연결하는 연결 샤프트를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the carrying member may further include a connecting shaft connecting each of the roller members to both sides of the body portion.

본 발명의 실시예들에 따른 기판 운송 장치에 따르면, 운송 부재의 롤러가 적어도 부분적으로 경사진 단면을 갖고, 상기 운송 부재를 지지하는 가이드 레일의 바닥부가 상기 경사진 단면에 대응함으로써, 상기 운송 부재의 진행시 발생 가능한 좌우 또는 상하 방향의 유동으로 인한 상기 운송 부재의 걸림을 감소시키고, 그에 따라 상기 운송 부재의 진행을 원활하게 할 수 있다.According to the substrate conveying apparatus according to the embodiments of the present invention, the roller of the conveying member has at least a partially inclined cross section, and the bottom portion of the guide rail supporting the conveying member corresponds to the inclined cross- It is possible to reduce the engagement of the transportation member due to the flow in the right and left or the up and down direction that can occur when the transportation of the transportation member is progressed,

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운송 장치가 적용되는 소 마스크 스캐닝(SMS) 장치에서의 순환 공정을 개략적으로 도시한 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 B 공정의 기판 운송 장치를 도시한 부분 사시도이다.
도 3a은 도 2의 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다.
도 3b는 도 3a의 I-I 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다.
도 4b는 도 4a의 II-II 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 4c는 도 4b의 기판 운송 장치에서 롤러 부재 및 가이드 레일을 확대 도시한 부분 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다.
도 5b는 도 5a의 III-III 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 6a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다.
도 6b는 도 6a의 기판 운송 장치를 도시한 부분 사시도이다.
도 7a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다.
도 7b는 도 7a의 IV-IV 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 8a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다.
도 8b는 도 8a의 V-V 라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 9a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다.
도 9b는 도 9a의 VI-VI 라인을 따라 절단한 단면도이다.1 is a conceptual diagram schematically illustrating a circulation process in a small-mask scanning (SMS) apparatus to which a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention is applied.
FIG. 2 is a partial perspective view showing the substrate transport apparatus of the process B shown in FIG.
FIG. 3A is a plan view showing the substrate transfer apparatus of FIG. 2. FIG.
FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line II of FIG. 3A.
4A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
4B is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 4A.
FIG. 4C is a partial cross-sectional view showing an enlarged view of the roller member and the guide rail in the substrate transfer apparatus of FIG. 4B. FIG.
5A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
5B is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 5A.
6A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
6B is a partial perspective view showing the substrate transfer apparatus of FIG. 6A.
7A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 7A. FIG.
8A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
8B is a cross-sectional view taken along line VV in FIG. 8A.
9A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
FIG. 9B is a cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 9A.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운송 장치가 적용되는 소 마스크 스캐닝(SMS) 장치에서의 순환 공정을 개략적으로 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram schematically illustrating a circulation process in a small-mask scanning (SMS) apparatus to which a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention is applied.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운송 장치가 적용되는 소 마스크 스캐닝(small mask scanning; SMS) 장치(900)는, 외부로부터 기판(100)을 제공받는 A 공정, 상기 제공된 기판(100)을 운반 부재(600)에 배치하고, 상기 운반 부재(600)가 가이드 레일(500)을 따라 진행하면서 소 마스크(700)를 통해 유기물이 스캐닝 및 증착되는 B 공정, 상기 유기물이 증착되어 유기물 패턴(110)이 형성된 기판(100)을 외부로 배출하는 C 공정, 및 기판 배출 후 상기 운반 부재(600)가 가이드 레일(500)을 따라 다시 원래 위치로 되돌아가는 D 공정을 수행할 수 있다. 본 실시예에서, 상기 기판(100)은 상기 A 공정 및 B 공정에서 상기 운반 부재(600)에 적어도 하나 이상 배치될 수 있다. 또한, 상기 운반 부재(600)는 외부로부터 무선으로 제어 신호를 인가받아, 상기 가이드 레일(500)을 따라 상기 SMS 장치(900) 내부를 순환할 수 있다.1, a small mask scanning (SMS) apparatus 900 to which a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention is applied includes an A process for receiving a substrate 100 from the outside, A step B in which the substrate 100 is disposed on the transport member 600 and the organic material is scanned and deposited on the transporting member 600 along the guide rail 500 through the small mask 700; A C process for discharging the substrate 100 having the organic pattern 110 formed thereon to the outside and a D process for returning the carrying member 600 to the original position along the guide rail 500 after the substrate is discharged have. In the present embodiment, the substrate 100 may be disposed on the carrying member 600 in the A process and the B process. In addition, the carrying member 600 may receive a control signal from outside from the outside and circulate inside the SMS device 900 along the guide rail 500.

도 2는 도 1에 도시된 B 공정의 기판 운송 장치를 도시한 부분 사시도이다.FIG. 2 is a partial perspective view showing the substrate transport apparatus of the process B shown in FIG.

도 2를 참조하면, 본 실시예에서, 기판 운송 장치는 운송 부재(600) 및 가이드 레일(500)을 포함한다. 상기 운송 부재(600)는, 기판(100)이 배치되는 상면과, 상기 상면으로부터 연장되는 양 측면을 갖는 몸체부(610)를 포함하고, 상기 양 측면에 배치되는 복수의 롤러 부재(cam follower)(620)를 더 포함한다. 상기 몸체부(610)에는 상기 운송 수단의 이동을 위한 제어 신호를 인가받는 무선 통신부(611)가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 몸체부(610)에는 상기 기판(100)을 안정적으로 배치시키기 위한 정전 척(electrostatic chuck)(미도시됨)이 더 포함될 수 있다. 이 경우, 상기 정전 척에 의해, 상기 기판(100)에 정전기가 유도됨으로써, 상기 기판(100)이 상기 몸체부(610)의 상면에 견고하게 부착될 수 있다.Referring to FIG. 2, in this embodiment, the substrate transport apparatus includes a transport member 600 and a guide rail 500. The transport member 600 includes a body portion 610 having a top surface on which the substrate 100 is disposed and both sides extending from the top surface, and a plurality of roller followers (cam followers) (620). The body unit 610 may further include a wireless communication unit 611 receiving a control signal for moving the transportation means. The body portion 610 may further include an electrostatic chuck (not shown) for stably arranging the substrate 100. In this case, the electrostatic chuck can induce static electricity on the substrate 100, thereby firmly attaching the substrate 100 to the upper surface of the body portion 610.

상기 운송 부재(600)는 상기 롤러 부재(620)들이 상기 가이드 레일(500)을 따라 회전 및 병진하면서, 제1 방향(Y0)으로 진행한다. 상기 가이드 레일(500)은 상기 운송 부재(600)의 양 측에 한 쌍이 배치될 수 있다. 각각의 상기 가이드 레일(500)은 상기 몸체부(610)의 측면에 대향하는 측벽부(510) 및 상기 롤러 부재(620)에 접촉하여 상기 운송 부재(600)를 지지하는 바닥부(520)를 포함할 수 있다.The conveying member 600 proceeds in the first direction Y0 while the roller members 620 are rotated and translated along the guide rail 500. [ The pair of guide rails 500 may be disposed on both sides of the conveying member 600. Each of the guide rails 500 includes a side wall portion 510 opposed to a side surface of the body portion 610 and a bottom portion 520 supporting the conveying member 600 in contact with the roller member 620 .

도 3a은 도 2의 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다. 도 3b는 도 3a의 I-I 라인을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 3A is a plan view showing the substrate transfer apparatus of FIG. 2. FIG. FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line I-I of FIG. 3A.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 실시예에서, 복수의 롤러 부재(620)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직하는 선 상에서 상기 몸체부(610)의 양 측에서 서로 대응할 수 있다. 상기 롤러 부재(620)는 윗면 및 아랫면이 실질적으로 동일한 크기를 갖는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러 부재(620)는 상기 제1 방향(Y0)에 대해 수직인 단면이 직사각 형상을 가질 수 있다. 도 3b에서는, 상기 롤러 부재(620)가 상기 가이드 레일(500)의 바닥부(520)로부터 이격되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 이는 이해의 편의를 위한 것으로서, 실질적으로는, 상기 롤러 부재(620)가 상기 바닥부(520)에 접촉하여 상기 운송 부재(600)를 이동시킬 수 있다.Referring to FIGS. 3A and 3B, in this embodiment, a plurality of roller members 620 may correspond to each other on both sides of the body portion 610 on a line perpendicular to the first direction Y0. The roller member 620 may have a cylindrical shape whose upper and lower surfaces have substantially the same size. For example, the roller member 620 may have a rectangular cross section perpendicular to the first direction Y0. 3B, the roller member 620 is illustrated as being spaced apart from the bottom 520 of the guide rail 500. However, this is for the sake of understanding, May contact the bottom portion 520 to move the transporting member 600.

상기 롤러 부재(620)와 상기 측벽부(510)는 소정의 간격만큼 서로 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 운송 부재(600)의 진행 방향인 상기 제1 방향(Y0)을 기준으로 하여, 좌측에 배치된 가이드 레일(500)의 측벽부(510)는 상기 몸체부(610)의 좌측에 배치된 롤러 부재(620)와 제1 간격(INT1)만큼 이격될 수 있다. 또한, 상기 제1 방향(Y0)을 기준으로 하여, 우측에 배치된 가이드 레일(500)의 측벽부(510)는 상기 몸체부(610)의 우측에 배치된 롤러 부재(620)와 제2 간격(INT2)만큼 이격될 수 있다. 상기 제1 간격(INT1) 및 제2 간격(INT2)은 상기 운송 부재(600)가 상기 가이드 레일(500)을 따라 진행함에 따라 각각, 작아지거나 커질 수 있다. 예를 들어, 상기 운송 부재(600)가 무선으로 제어되면서 상기 제1 방향(Y0)으로 이동하는 도중에 중력, 마찰력 또는 다른 부품과의 전자기력 등의 외력으로 인해 좌우로 유동되는 경우, 상기 운송 부재(600)는 상기 제1 방향(Y0)에 대하여 좌측으로 기울어진 제2 방향(Y1) 또는 우측으로 기울어진 제3 방향(Y2)으로 진행될 수 있다. 또는, 상기 운송 부재(600)는 부분적으로 상기 제1 방향(Y0)에 대하여 상하로 유동될 수 있다. 이와 같이, 상기 운송 부재(600)의 롤러 부재(620)가 병진 및 회전 운동을 하면서 상기 가이드 레일(500)의 바닥부(520)를 따라 진행하는 동안, 상기 운송 부재(600)의 진행 방향은 원래 의도하는 방향(Y0)으로부터 틀어질 수 있다. 만일, 상기 틀어짐이 크지 않은 경우에는, 상기 운송 부재(600)가 다시 원래의 방향(Y0)을 따라 진행될 수 있으나, 상기 틀어짐이 과도한 경우에는, 상기 운송 부재(600)의 몸체부(610)가 양 측에 배치된 가이드 레일(500) 중 어느 하나의 가이드 레일(500)에 부분적으로 접촉할 수 있고, 그에 따라 롤러 부재(620)의 회전에도 불구하고, 상기 운송 부재(600)가 더 이상 진행하지 못할 수 있다. 이하, 본 발명의 다른 실시예들을 참조하여, 상기 운송 부재(600)가 원활하게 진행될 수 있는 롤러 부재 및 가이드 레일의 구조를 상세히 설명하도록 한다.The roller member 620 and the side wall part 510 may be separated from each other by a predetermined distance. The side wall part 510 of the guide rail 500 disposed on the left side of the body part 610 is positioned on the left side of the body part 610 with respect to the first direction Y0, May be spaced apart from the roller member 620 by a first distance INT1. The side wall portion 510 of the guide rail 500 disposed on the right side of the first direction Y0 is positioned between the roller member 620 disposed on the right side of the body portion 610 and the second gap (INT2). The first interval INT1 and the second interval INT2 may be reduced or increased as the conveying member 600 moves along the guide rail 500, respectively. For example, when the transporting member 600 is controlled by radio and flows to the left and right due to an external force such as gravity, frictional force or electromagnetic force with other parts while moving in the first direction Y0, 600 may proceed in a second direction Y1 that is tilted to the left with respect to the first direction Y0 or a third direction Y2 that is tilted to the right. Alternatively, the carrying member 600 may partially move up and down with respect to the first direction Y0. As the roller member 620 of the conveying member 600 travels along the bottom portion 520 of the guide rail 500 while translating and rotating the conveying member 600, It can be switched from the originally intended direction Y0. If the displacement is not large, the conveying member 600 may move along the original direction Y0 again. However, if the deformation is excessive, the body portion 610 of the conveying member 600 may be moved It is possible to partially contact one of the guide rails 500 disposed on both sides of the guide rail 500 so that the conveying member 600 can no longer move even though the roller member 620 rotates I can not. Hereinafter, the structure of the roller member and the guide rail in which the conveying member 600 can proceed smoothly will be described in detail with reference to other embodiments of the present invention.

도 4a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다. 도 4b는 도 4a의 II-II 라인을 따라 절단한 단면도이다. 도 4c는 도 4b의 기판 운송 장치에서 롤러 부재 및 가이드 레일을 확대 도시한 부분 단면도이다.4A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention. 4B is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 4A. FIG. 4C is a partial cross-sectional view showing an enlarged view of the roller member and the guide rail in the substrate transfer apparatus of FIG. 4B. FIG.

도 4a, 도 4b 및 도 4c를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 운송 장치는 운송 부재 및 가이드 레일을 포함한다. 상기 운송 부재는 몸체부(610) 및 복수의 롤러 부재(630)를 포함한다. 상기 운송 부재는 상기 몸체부(610) 및 롤러 부재(630)를 연결하는 연결 샤프트(615)를 더 포함할 수 있다. 상기 몸체부(610)는 기판이 배치되는 상면 및 상기 상면으로부터 연장되는 양 측면을 포함한다. 상기 롤러 부재(630)는 상기 몸체부(610)의 양 측면에 복수개 배치된다. 상기 복수의 롤러 부재(630)는 상기 운송 부재의 진행 방향인 제1 방향(Y0)에 대하여 수직하는 선 상에서 서로 대응할 수 있다.4A, 4B, and 4C, the substrate transfer apparatus according to the present embodiment includes a transfer member and a guide rail. The transport member includes a body portion 610 and a plurality of roller members 630. The transporting member may further include a connection shaft 615 connecting the body 610 and the roller member 630. The body portion 610 includes an upper surface on which the substrate is disposed and both side surfaces extending from the upper surface. A plurality of the roller members 630 are disposed on both sides of the body portion 610. The plurality of roller members 630 may correspond to each other on a line perpendicular to the first direction Y0 that is the traveling direction of the transport member.

상기 롤러 부재(630)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면에서 볼 때, 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 롤러 부재(630)는 상기 측벽부(510)에 대향하는 제1 면이 상기 몸체부(610)에 대향하는 제2 면 보다 작은 크기를 갖는 비스듬한 원통 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러 부재(630)의 상기 측벽부(510)에 대향하는 제1 면의 하단 높이는 상기 롤러 부재(630)의 상기 몸체부(610)에 대향하는 제2 면의 하단 높이보다 더 높을 수 있다. 이 경우, 상기 제1 면의 하단으로부터 상기 제2 면의 하단으로 연결되는 경사면이 갖는 제1 각도(ANG)는, 약 5도 이상 45도 이하일 수 있다.The roller member 630 may have a trapezoidal shape when viewed from a cross section perpendicular to the first direction Y0. The roller member 630 may have an oblique cylindrical shape with a first surface opposed to the side wall portion 510 having a smaller size than a second surface opposed to the body portion 610. The height of the lower surface of the first surface of the roller member 630 facing the side wall portion 510 is greater than the height of the lower surface of the second surface of the roller member 630 facing the body portion 610 Can be high. In this case, the first angle (ANG) of the inclined surface connected from the lower end of the first surface to the lower end of the second surface may be about 5 degrees or more and 45 degrees or less.

상기 가이드 레일은 상기 롤러 부재(630)에 대향하는 측벽부(510) 및 상기 롤러 부재(630)에 접촉하는 바닥부(530)를 포함한다. 상기 바닥부(530)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면 상에서, 상기 롤러 부재(630)의 사다리꼴 형상에 대응하도록 기울어질 수 있다. 예를 들어, 상기 바닥부(530)는 상기 측벽부(510)와 둔각을 이룰 수 있다. 이 경우, 상기 바닥부(530)는 상기 측벽부(510)로부터 멀어짐에 따라 높이가 낮아지도록 상기 측벽부(510)에 수직한 면에 대해 상기 제1 각도(ANG)로 경사질 수 있다.The guide rail includes a side wall portion 510 opposed to the roller member 630 and a bottom portion 530 contacting the roller member 630. The bottom portion 530 may be inclined to correspond to the trapezoidal shape of the roller member 630 on a section perpendicular to the first direction Y0. For example, the bottom portion 530 may form an obtuse angle with the side wall portion 510. In this case, the bottom portion 530 may be inclined at the first angle ANG with respect to a plane perpendicular to the side wall portion 510 so that the bottom portion 530 decreases in height from the side wall portion 510.

도 4b를 참조하면, 본 실시예에서, 운송 부재에 포함된 롤러 부재(630)는 가이드 레일의 바닥부(530)와 이격된 것으로 도시되었으나, 이는 이해의 편의를 위한 것으로, 실질적으로 상기 롤러 부재(630)는 상기 바닥부(530)에 접촉하여 회전 또는 병진할 수 있다. 4B, in this embodiment, the roller member 630 included in the transport member is shown as being spaced apart from the bottom 530 of the guide rail, but this is for the sake of understanding, (630) may contact the bottom (530) and rotate or translate.

이와 같이, 롤러 부재(630)의 단면이 사다리꼴 형상을 갖고, 측벽부(510)에 대향하는 제1 면의 하단 높이보다 몸체부(610)의 측면에 대향하는 제2 면의 하단 높이가 더 낮고, 상기 바닥부(530)도 상기 롤러 부재(630)의 단면에 대응하는 경사면을 포함함으로써, 상기 운송 부재가 제1 방향(Y0)으로 진행하는 동안, 상기 몸체부(610) 및 롤러 부재(630)의 무게로 인하여, 운송 부재의 무게 중심이 양 가이드 레일의 중앙 부분으로 유지될 수 있고, 그로 인해 상기 롤러 부재(630) 및 측벽부(510) 간의 간격들(INT1, INT2)이 유지될 수 있다. 따라서, 상기 운송 부재가 상기 가이드 레일에 걸림 없이, 원활하게 진행할 수 있다.Thus, the lower end height of the second face, which is opposite to the side face of the body portion 610, is lower than the lower end height of the first face opposite to the side wall portion 510 The bottom portion 530 includes an inclined surface corresponding to the end surface of the roller member 630 so that the body portion 610 and the roller member 630 The center of gravity of the conveying member can be held at the center portion of both guide rails so that the intervals INT1 and INT2 between the roller member 630 and the side wall portion 510 can be maintained have. Therefore, the transporting member can smoothly advance without being caught by the guide rail.

도 5a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다. 도 5b는 도 5a의 III-III 라인을 따라 절단한 단면도이다.5A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention. 5B is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 5A.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 운송 장치는 운송 부재 및 가이드 레일을 포함한다. 상기 운송 부재는 몸체부(610) 및 복수의 롤러 부재(640)를 포함한다. 상기 운송 부재는 상기 몸체부(610) 및 롤러 부재(640)를 연결하는 연결 샤프트를 더 포함할 수 있다. 상기 몸체부(610)는 기판이 배치되는 상면 및 상기 상면으로부터 연장되는 양 측면을 포함한다. 상기 롤러 부재(640)는 상기 몸체부(610)의 양 측면에 복수개 배치된다. 상기 복수의 롤러 부재(640)는 상기 운송 부재의 진행 방향인 제1 방향(Y0)에 대하여 수직하는 선 상에서 서로 대응할 수 있다.5A and 5B, the substrate transport apparatus according to the present embodiment includes a transport member and a guide rail. The transporting member includes a body portion 610 and a plurality of roller members 640. The transport member may further include a connection shaft for connecting the body portion 610 and the roller member 640. The body portion 610 includes an upper surface on which the substrate is disposed and both side surfaces extending from the upper surface. A plurality of the roller members 640 are disposed on both sides of the body portion 610. The plurality of roller members 640 may correspond to each other on a line perpendicular to the first direction Y0 that is the traveling direction of the transport member.

상기 롤러 부재(640)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면에서 볼 때, 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 롤러 부재(640)는 상기 측벽부(510)에 대향하는 제1 면이 상기 몸체부(610)에 대향하는 제2 면 보다 큰 크기를 갖는 비스듬한 원통 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러 부재(640)의 상기 측벽부(510)에 대향하는 제1 면의 하단 높이는 상기 롤러 부재(630)의 상기 몸체부(610)에 대향하는 제2 면의 하단 높이보다 더 낮을 수 있다. 이 경우, 상기 제1 면의 하단으로부터 상기 제2 면의 하단으로 연결되는 경사면이 갖는 제2 각도는, 약 5도 이상 45도 이하일 수 있다.The roller member 640 may have a trapezoidal shape when viewed from a cross section perpendicular to the first direction Y0. The roller member 640 may have an oblique cylindrical shape in which a first surface facing the side wall portion 510 is larger than a second surface opposite to the body portion 610. The height of the lower surface of the first surface of the roller member 640 facing the side wall portion 510 is greater than the height of the lower surface of the second surface of the roller member 630 facing the body portion 610 Can be low. In this case, the second angle of the inclined surface connected to the lower end of the second surface from the lower surface of the first surface may be about 5 degrees or more and 45 degrees or less.

상기 가이드 레일은 상기 롤러 부재(640)에 대향하는 측벽부(510) 및 상기 롤러 부재(640)에 접촉하는 바닥부(540)를 포함한다. 상기 바닥부(540)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면 상에서, 상기 롤러 부재(640)의 사다리꼴 형상에 대응하도록 기울어질 수 있다. 예를 들어, 상기 바닥부(540)는 상기 측벽부(510)와 예각을 이룰 수 있다. 이 경우, 상기 바닥부(540)는 상기 측벽부(510)로부터 멀어짐에 따라 높이가 높아지도록 상기 측벽부(510)에 수직한 면에 대해 상기 제2 각도로 경사질 수 있다.The guide rail includes a side wall portion 510 opposed to the roller member 640 and a bottom portion 540 contacting the roller member 640. The bottom portion 540 may be inclined to correspond to the trapezoidal shape of the roller member 640 on a section perpendicular to the first direction Y0. For example, the bottom portion 540 may be at an acute angle with the side wall portion 510. In this case, the bottom portion 540 may be inclined at the second angle with respect to a plane perpendicular to the side wall portion 510 so that the bottom portion 540 increases in height from the side wall portion 510.

도 5b를 참조하면, 본 실시예에서, 운송 부재에 포함된 롤러 부재(640)는 가이드 레일의 바닥부(540)와 이격된 것으로 도시되었으나, 이는 이해의 편의를 위한 것으로, 실질적으로 상기 롤러 부재(640)는 상기 바닥부(540)에 접촉하여 회전 또는 병진할 수 있다. 5B, in this embodiment, the roller member 640 included in the conveying member is shown as being spaced apart from the bottom 540 of the guide rail, but this is for the sake of understanding, (640) may contact the bottom (540) and rotate or translate.

이와 같이, 롤러 부재(640)의 단면이 사다리꼴 형상을 갖고, 측벽부(510)에 대향하는 제1 면의 하단 높이보다 몸체부(610)의 측면에 대향하는 제2 면의 하단 높이가 더 높고, 상기 바닥부(540)도 상기 롤러 부재(640)의 단면에 대응하는 경사면을 포함함으로써, 상기 운송 부재가 제1 방향(Y0)으로 진행하는 동안, 상기 몸체부(610)의 무게 및 상기 몸체부(610)의 양 측면에 배치된 롤러 부재(640)가 상기 바닥부(540)와 갖는 마찰력으로 인하여, 운송 부재의 무게 중심이 양 가이드 레일의 중앙 부분으로 유지될 수 있고, 그로 인해 상기 롤러 부재(640) 및 측벽부(510) 간의 간격들(INT1, INT2)이 유지될 수 있다. 따라서, 상기 운송 부재가 상기 가이드 레일에 걸림 없이, 원활하게 진행할 수 있다.As described above, the cross section of the roller member 640 has a trapezoidal shape, and the height of the lower surface of the second surface opposite to the side surface of the body portion 610 is higher than the height of the lower surface of the first surface facing the side wall portion 510 The bottom portion 540 includes an inclined surface corresponding to the end surface of the roller member 640 so that the weight of the body portion 610 and the weight of the body 610, The center of gravity of the conveying member can be held at the center portion of both guide rails due to the frictional force that the roller member 640 disposed on both sides of the portion 610 has with the bottom portion 540, The intervals INT1 and INT2 between the member 640 and the side wall portion 510 can be maintained. Therefore, the transporting member can smoothly advance without being caught by the guide rail.

도 6a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다. 도 6b는 도 6a의 기판 운송 장치를 도시한 부분 사시도이다.6A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention. 6B is a partial perspective view showing the substrate transfer apparatus of FIG. 6A.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 운송 장치는 운송 부재 및 가이드 레일을 포함한다. 상기 운송 부재는 몸체부(610) 및 복수의 롤러 부재(630)를 포함한다. 본 실시예에 따른 기판 운송 장치는 상기 몸체부(610)의 양 측면에 수평 롤러 부재(635)가 더 포함되는 것을 제외하면, 도 4a, 도 4b 및 도 4c에 도시된 기판 운송 장치와 실질적으로 동일하다.6A and 6B, the substrate transport apparatus according to the present embodiment includes a transport member and a guide rail. The transport member includes a body portion 610 and a plurality of roller members 630. 4A, 4B and 4C, except that a horizontal roller member 635 is further provided on both sides of the body portion 610, the substrate transfer apparatus according to the present embodiment is substantially identical to the substrate transfer apparatus shown in FIGS. same.

상기 운송 부재는 상기 몸체부(610) 및 롤러 부재(630)를 연결하는 연결 샤프트를 더 포함할 수 있다. 상기 몸체부(610)는 기판이 배치되는 상면 및 상기 상면으로부터 연장되는 양 측면을 포함한다. 상기 롤러 부재(630)는 상기 몸체부(610)의 양 측면에 복수개 배치된다. 상기 복수의 롤러 부재(630)는 상기 운송 부재의 진행 방향인 제1 방향(Y0)에 대하여 수직하는 선 상에서 서로 대응할 수 있다.The transport member may further include a connection shaft connecting the body portion 610 and the roller member 630. The body portion 610 includes an upper surface on which the substrate is disposed and both side surfaces extending from the upper surface. A plurality of the roller members 630 are disposed on both sides of the body portion 610. The plurality of roller members 630 may correspond to each other on a line perpendicular to the first direction Y0 that is the traveling direction of the transport member.

상기 롤러 부재(630)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면에서 볼 때, 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 롤러 부재(630)는 상기 측벽부(510)에 대향하는 제1 면이 상기 몸체부(610)에 대향하는 제2 면 보다 작은 크기를 갖는 비스듬한 원통 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러 부재(630)의 상기 측벽부(510)에 대향하는 제1 면의 하단 높이는 상기 롤러 부재(630)의 상기 몸체부(610)에 대향하는 제2 면의 하단 높이보다 더 높을 수 있다.The roller member 630 may have a trapezoidal shape when viewed from a cross section perpendicular to the first direction Y0. The roller member 630 may have an oblique cylindrical shape with a first surface opposed to the side wall portion 510 having a smaller size than a second surface opposed to the body portion 610. The height of the lower surface of the first surface of the roller member 630 facing the side wall portion 510 is greater than the height of the lower surface of the second surface of the roller member 630 facing the body portion 610 Can be high.

상기 가이드 레일은 상기 롤러 부재(630)에 대향하는 측벽부(510) 및 상기 롤러 부재(630)에 접촉하는 바닥부(530)를 포함한다. 상기 바닥부(530)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면 상에서, 상기 롤러 부재(630)의 사다리꼴 형상에 대응하도록 기울어질 수 있다. 예를 들어, 상기 바닥부(530)는 상기 측벽부(510)와 둔각을 이룰 수 있다.The guide rail includes a side wall portion 510 opposed to the roller member 630 and a bottom portion 530 contacting the roller member 630. The bottom portion 530 may be inclined to correspond to the trapezoidal shape of the roller member 630 on a section perpendicular to the first direction Y0. For example, the bottom portion 530 may form an obtuse angle with the side wall portion 510.

상기 수평 롤러 부재(635)는 상기 측벽부(510)와의 접촉을 완충할 수 있다. 상기 수평 롤러 부재(635)는 상기 롤러 부재(630)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 수평 롤러 부재(635)는 상기 운송 부재의 진행 방향인 상기 제1 방향(Y0)에 대하여 수직하는 선 상에서 서로 대응할 수 있다. 상기 몸체부(610)의 양 측면에 배치되는 상기 수평 롤러 부재(635)의 개수는 상기 롤러 부재(630)의 개수보다 더 적을 수 있다.The horizontal roller member 635 can buffer the contact with the side wall portion 510. The horizontal roller member 635 may be disposed between the roller members 630. The horizontal roller member 635 may correspond to each other on a line perpendicular to the first direction Y0, which is the traveling direction of the transportation member. The number of the horizontal roller members 635 disposed on both sides of the body portion 610 may be smaller than the number of the roller members 630.

이와 같이, 롤러 부재(630)의 단면이 사다리꼴 형상을 갖고, 측벽부(510)에 대향하는 제1 면의 하단 높이보다 몸체부(610)의 측면에 대향하는 제2 면의 하단 높이가 더 낮으며, 상기 바닥부(530)도 상기 롤러 부재(630)의 단면에 대응하는 경사면을 포함함으로써, 상기 운송 부재가 제1 방향(Y0)으로 진행하는 동안, 운송 부재의 무게 중심이 양 가이드 레일의 중앙 부분으로 유지될 수 있고, 그로 인해 상기 롤러 부재(630) 및 측벽부(510) 간의 간격들(INT1, INT2)이 유지될 수 있다. 따라서, 상기 운송 부재가 상기 가이드 레일에 걸림 없이, 원활하게 진행할 수 있다.Thus, the lower end height of the second surface, which is opposite to the side surface of the body portion 610, is lower than the lower end height of the first surface opposite to the side wall portion 510, And the bottom portion 530 also includes an inclined surface corresponding to the end surface of the roller member 630 so that the center of gravity of the conveying member can be moved in both directions So that the intervals INT1 and INT2 between the roller member 630 and the side wall portion 510 can be maintained. Therefore, the transporting member can smoothly advance without being caught by the guide rail.

도 7a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다. 도 7b는 도 7a의 IV-IV 라인을 따라 절단한 단면도이다.7A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention. FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 7A. FIG.

도 7a 및 도 7b를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 운송 장치는 운송 부재 및 가이드 레일을 포함한다. 상기 운송 부재는 몸체부(610) 및 복수의 롤러 부재(650)를 포함한다. 상기 운송 부재는 상기 몸체부(610) 및 롤러 부재(650)를 연결하는 연결 샤프트를 더 포함할 수 있다. 상기 몸체부(610)는 기판이 배치되는 상면 및 상기 상면으로부터 연장되는 양 측면을 포함한다. 상기 롤러 부재(650)는 상기 몸체부(610)의 양 측면에 복수개 배치된다. 상기 복수의 롤러 부재(650)는 상기 운송 부재의 진행 방향인 제1 방향(Y0)에 대하여 수직하는 선 상에서 서로 대응할 수 있다.7A and 7B, the substrate transport apparatus according to the present embodiment includes a transport member and a guide rail. The transport member includes a body portion 610 and a plurality of roller members 650. The transfer member may further include a connection shaft connecting the body 610 and the roller member 650. The body portion 610 includes an upper surface on which the substrate is disposed and both side surfaces extending from the upper surface. A plurality of the roller members 650 are disposed on both sides of the body portion 610. The plurality of roller members 650 may correspond to each other on a line perpendicular to the first direction Y0 that is the traveling direction of the transport member.

상기 롤러 부재(650)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면에서 볼 때, 상단 및 하단이 오목하게 함몰된 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 상단의 함몰된 정도는 상기 하단의 함몰된 정도와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러 부재(650)의 상기 상단의 중앙부는 상기 상단의 좌우 단부보다 낮을 수 있다. 또한, 상기 롤러 부재(650)의 상기 하단의 중앙부는 상기 하단의 좌우 단부보다 높을 수 있다.The roller member 650 may have a shape in which the upper end and the lower end of the roller member 650 are concave when seen from a cross section perpendicular to the first direction Y0. In addition, the degree of depression of the upper end may be substantially the same as the degree of depression of the lower end. For example, the central portion of the upper end of the roller member 650 may be lower than the left and right end portions of the upper end. In addition, the central portion of the lower end of the roller member 650 may be higher than the left and right end portions of the lower end.

상기 가이드 레일은 상기 롤러 부재(650)에 대향하는 측벽부(510) 및 상기 롤러 부재(650)에 접촉하는 바닥부(550)를 포함한다. 상기 바닥부(550)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면 상에서, 상기 롤러 부재(650)의 형상에 대응하도록 돌출된 부분을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 바닥부(550)는 상기 롤러 부재(650)의 함몰된 부분에 대응하여 돌출되는 가이드 턱을 포함할 수 있다. 상기 가이드 턱의 곡률은 상기 롤러 부재(650)의 함몰된 부분의 곡면과 실질적으로 동일할 수 있다.The guide rail includes a side wall portion 510 opposed to the roller member 650 and a bottom portion 550 contacting the roller member 650. The bottom portion 550 may have a protruding portion corresponding to the shape of the roller member 650 on a section perpendicular to the first direction Y0. For example, the bottom portion 550 may include a guide protrusion protruding corresponding to a depressed portion of the roller member 650. The curvature of the guide jaw may be substantially the same as the curved surface of the depressed portion of the roller member 650. [

도 7b를 참조하면, 본 실시예에서, 운송 부재에 포함된 롤러 부재(650)는 가이드 레일의 바닥부(550)와 이격된 것으로 도시되었으나, 이는 이해의 편의를 위한 것으로, 실질적으로 상기 롤러 부재(650)는 상기 바닥부(550)에 접촉하여 회전 또는 병진할 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러 부재(650)는 상기 함몰된 부분이, 상기 바닥부(550)에 포함된 가이드 턱에 접촉하여 회전 또는 병진할 수 있다.7B, in this embodiment, the roller member 650 included in the transportation member is shown as being spaced apart from the bottom portion 550 of the guide rail, but this is for the sake of understanding, (650) may contact the bottom (550) and rotate or translate. For example, the roller member 650 may be rotated or translated by contacting the depressed portion with the guide tab included in the bottom portion 550.

이와 같이, 롤러 부재(650)는 단면 상에서 상단 및 하단이 오목하게 함몰된 형상을 갖고, 상기 바닥부(550)는 상기 함몰된 형상에 대응하는 가이드 턱을 포함함으로써, 상기 운송 부재가 제1 방향(Y0)으로 진행하는 동안, 운송 부재의 무게 중심이 양 가이드 레일의 중앙 부분으로 유지될 수 있고, 그로 인해 상기 롤러 부재(650) 및 측벽부(510) 간의 간격들(INT1, INT2)이 유지될 수 있다. 따라서, 상기 운송 부재가 상기 가이드 레일에 걸림 없이, 원활하게 진행할 수 있다.As described above, the roller member 650 has a shape in which the upper and lower ends are recessed concavely on a cross section, and the bottom portion 550 includes a guide step corresponding to the recessed shape, The center of gravity of the conveying member can be held at the center portion of both guide rails so that the intervals INT1 and INT2 between the roller member 650 and the side wall portion 510 are maintained . Therefore, the transporting member can smoothly advance without being caught by the guide rail.

도 8a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다. 도 8b는 도 8a의 V-V 라인을 따라 절단한 단면도이다.8A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention. 8B is a cross-sectional view taken along line V-V of FIG. 8A.

도 8a 및 도 8b를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 운송 장치는 운송 부재 및 가이드 레일을 포함한다. 상기 운송 부재는 몸체부(610) 및 복수의 롤러 부재(660)를 포함한다. 상기 운송 부재는 상기 몸체부(610) 및 롤러 부재(660)를 연결하는 연결 샤프트를 더 포함할 수 있다. 상기 몸체부(610)는 기판이 배치되는 상면 및 상기 상면으로부터 연장되는 양 측면을 포함한다. 상기 롤러 부재(660)는 상기 몸체부(610)의 양 측면에 복수개 배치된다. 상기 복수의 롤러 부재(660)는 상기 운송 부재의 진행 방향인 제1 방향(Y0)에 대하여 수직하는 선 상에서 서로 대응할 수 있다.8A and 8B, the substrate transport apparatus according to the present embodiment includes a transport member and a guide rail. The transport member includes a body portion 610 and a plurality of roller members 660. The transport member may further include a connection shaft for connecting the body portion 610 and the roller member 660. The body portion 610 includes an upper surface on which the substrate is disposed and both side surfaces extending from the upper surface. A plurality of roller members 660 are disposed on both sides of the body portion 610. The plurality of roller members 660 may correspond to each other on a line perpendicular to the first direction Y0 that is the traveling direction of the transport member.

상기 롤러 부재(660)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면에서 볼 때, 상단 및 하단이 볼록하게 돌출된 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 상단의 돌출된 정도는 상기 하단의 돌출된 정도와 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러 부재(660)의 상기 상단의 중앙부는 상기 상단의 좌우 단부보다 높을 수 있다. 또한, 상기 롤러 부재(660)의 상기 하단의 중앙부는 상기 하단의 좌우 단부보다 낮을 수 있다.The roller member 660 may have a shape in which the upper end and the lower end protrude convexly when viewed in a section perpendicular to the first direction Y0. In addition, the projected degree of the upper end may be substantially equal to the projected degree of the lower end. For example, the central portion of the upper end of the roller member 660 may be higher than the left and right end portions of the upper end. In addition, the central portion of the lower end of the roller member 660 may be lower than the left and right ends of the lower end.

상기 가이드 레일은 상기 롤러 부재(660)에 대향하는 측벽부(510) 및 상기 롤러 부재(660)에 접촉하는 바닥부(560)를 포함한다. 상기 바닥부(560)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면 상에서, 상기 롤러 부재(660)의 형상에 대응하도록 함몰된 부분을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 바닥부(560)는 상기 롤러 부재(660)의 돌출된 부분에 대응하여 함몰되는 가이드 홈을 포함할 수 있다. 상기 가이드 홈의 곡률은 상기 롤러 부재(660)의 돌출된 부분의 곡면과 실질적으로 동일할 수 있다.The guide rail includes a side wall portion 510 opposed to the roller member 660 and a bottom portion 560 contacting the roller member 660. The bottom portion 560 may have a recessed portion corresponding to the shape of the roller member 660 on a section perpendicular to the first direction Y0. For example, the bottom portion 560 may include a guide groove that is recessed corresponding to the protruding portion of the roller member 660. The curvature of the guide groove may be substantially the same as the curved surface of the protruding portion of the roller member 660.

도 8b를 참조하면, 본 실시예에서, 운송 부재에 포함된 롤러 부재(660)는 가이드 레일의 바닥부(560)와 이격된 것으로 도시되었으나, 이는 이해의 편의를 위한 것으로, 실질적으로 상기 롤러 부재(660)는 상기 바닥부(560)에 접촉하여 회전 또는 병진할 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러 부재(660)는 상기 돌출된 부분이, 상기 바닥부(560)에 포함된 가이드 홈에 접촉하여 회전 또는 병진할 수 있다.8B, in this embodiment, the roller member 660 included in the conveying member is shown as being spaced apart from the bottom 560 of the guide rail, but this is for the sake of understanding, (660) may contact or rotate with the bottom portion (560). For example, the roller member 660 can be rotated or translated by contacting the protruded portion in contact with the guide groove included in the bottom portion 560.

이와 같이, 롤러 부재(660)는 단면 상에서 상단 및 하단이 볼록하게 돌출된 형상을 갖고, 상기 바닥부(560)는 상기 돌출된 형상에 대응하는 가이드 홈을 포함함으로써, 상기 운송 부재가 제1 방향(Y0)으로 진행하는 동안, 상기 롤러 부재(660) 및 측벽부(510) 간의 간격들(INT1, INT2)이 유지될 수 있다. 따라서, 상기 운송 부재가 상기 가이드 레일에 걸림 없이, 원활하게 진행할 수 있다.Thus, the roller member 660 has a shape in which the upper end and the lower end protrude in a convex shape on a cross section, and the bottom portion 560 includes a guide groove corresponding to the protruded shape, The intervals INT1 and INT2 between the roller member 660 and the side wall portion 510 can be maintained while the process proceeds to the step Y0. Therefore, the transporting member can smoothly advance without being caught by the guide rail.

도 9a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 운송 장치를 도시한 평면도이다. 도 9b는 도 9a의 VI-VI 라인을 따라 절단한 단면도이다.9A is a plan view showing a substrate transfer apparatus according to another embodiment of the present invention. FIG. 9B is a cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 9A.

도 9a 및 도 9b를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 운송 장치는 운송 부재 및 가이드 레일을 포함한다. 상기 운송 부재는 몸체부(610) 및 복수의 롤러 부재(670)를 포함한다. 상기 운송 부재는 상기 몸체부(610) 및 롤러 부재(670)를 연결하는 연결 샤프트를 더 포함할 수 있다. 상기 몸체부(610)는 기판이 배치되는 상면 및 상기 상면으로부터 연장되는 양 측면을 포함한다. 상기 롤러 부재(670)는 상기 몸체부(610)의 양 측면에 복수개 배치된다. 상기 복수의 롤러 부재(670)는 상기 운송 부재의 진행 방향인 제1 방향(Y0)에 대하여 수직하는 선 상에서 서로 대응할 수 있다. 본 실시예에 따른 기판 운송 장치는 상기 롤러 부재(670) 및 가이드 레일의 바닥부(570)에 형성된 돌출 및 함몰 부분이 각진 형상을 갖는 것을 제외하면, 도 7a 및 도 7b에 도시된 기판 운송 장치와 실질적으로 동일하다.9A and 9B, the substrate transport apparatus according to the present embodiment includes a transport member and a guide rail. The transport member includes a body portion 610 and a plurality of roller members 670. The transporting member may further include a connecting shaft connecting the body 610 and the roller member 670. The body portion 610 includes an upper surface on which the substrate is disposed and both side surfaces extending from the upper surface. The roller members 670 are disposed on both sides of the body portion 610. The plurality of roller members 670 may correspond to each other on a line perpendicular to the first direction Y0 that is the traveling direction of the transport member. 7A and 7B, except that the projection and depression formed in the roller member 670 and the bottom portion 570 of the guide rail have an angular shape, .

상기 롤러 부재(670)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면에서 볼 때, 상단 및 하단이 오목하게 함몰된 형상을 가질 수 있다. 상기 상단의 함몰된 정도는 상기 하단의 함몰된 정도와 실질적으로 동일할 수 있다. 또한, 상기 함몰된 부분은 상기 단면 상에서 각진 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러 부재(650)의 상기 상단의 중앙부는 상기 상단의 좌우 단부보다 낮을 수 있다. 또한, 상기 롤러 부재(650)의 상기 하단의 중앙부는 상기 하단의 좌우 단부보다 높을 수 있다. 상기 상단 또는 하단의 중앙부로부터 좌우 단부까지는 선형적으로 연결될 수 있다.The roller member 670 may have a shape in which the upper end and the lower end of the roller member 670 are concave when viewed from a cross section perpendicular to the first direction Y0. The degree of depression of the upper end may be substantially the same as the degree of depression of the lower end. Further, the recessed portion may have an angular shape on the cross section. For example, the central portion of the upper end of the roller member 650 may be lower than the left and right end portions of the upper end. In addition, the central portion of the lower end of the roller member 650 may be higher than the left and right end portions of the lower end. And may be linearly connected from the upper end or the lower end central portion to the left and right end portions.

상기 가이드 레일은 상기 롤러 부재(670)에 대향하는 측벽부(510) 및 상기 롤러 부재(670)에 접촉하는 바닥부(570)를 포함한다. 상기 바닥부(570)는 상기 제1 방향(Y0)에 수직인 단면 상에서, 상기 롤러 부재(670)의 형상에 대응하도록 돌출된 부분을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 바닥부(570)는 상기 롤러 부재(670)의 함몰된 부분에 대응하여 돌출되는 가이드 턱을 포함할 수 있다. 상기 가이드 턱은 단면 상에서 각진 상단을 포함할 수 있다.The guide rail includes a side wall portion 510 opposed to the roller member 670 and a bottom portion 570 contacting the roller member 670. The bottom portion 570 may have a protruding portion corresponding to the shape of the roller member 670 on a section perpendicular to the first direction Y0. For example, the bottom portion 570 may include a guide protrusion protruding corresponding to a depressed portion of the roller member 670. The guide jaws may include an angled top on a cross section.

도 9b를 참조하면, 본 실시예에서, 운송 부재에 포함된 롤러 부재(670)는 가이드 레일의 바닥부(570)와 이격된 것으로 도시되었으나, 이는 이해의 편의를 위한 것으로, 실질적으로 상기 롤러 부재(670)는 상기 바닥부(570)에 접촉하여 회전 또는 병진할 수 있다. 예를 들어, 상기 롤러 부재(670)는 상기 함몰된 부분이, 상기 바닥부(570)에 포함된 가이드 턱에 접촉하여 회전 또는 병진할 수 있다.9B, in this embodiment, the roller member 670 included in the transport member is shown as being spaced apart from the bottom portion 570 of the guide rail, but this is for the sake of understanding, (670) may contact or rotate with the bottom portion (570). For example, the roller member 670 can be rotated or translated by contacting the depressed portion with the guide tab included in the bottom portion 570.

이와 같이, 롤러 부재(670)는 단면 상에서 상단 및 하단이 오목하게 함몰된 형상을 갖고, 상기 바닥부(570)는 상기 함몰된 형상에 대응하는 가이드 턱을 포함함으로써, 상기 운송 부재가 제1 방향(Y0)으로 진행하는 동안, 상기 롤러 부재(670) 및 측벽부(510) 간의 간격들(INT1, INT2)이 유지될 수 있다. 따라서, 상기 운송 부재가 상기 가이드 레일에 걸림 없이, 원활하게 진행할 수 있다.As described above, the roller member 670 has a shape in which the upper and lower ends are recessed concavely on a cross section, and the bottom portion 570 includes a guide protrusion corresponding to the recessed shape, The intervals INT1 and INT2 between the roller member 670 and the side wall portion 510 can be maintained while the process proceeds to the step Y0. Therefore, the transporting member can smoothly advance without being caught by the guide rail.

이상에서와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 운송 장치에 따르면, 운송 부재의 롤러 부재가 적어도 부분적으로 경사진 단면을 갖고, 상기 운송 부재를 지지하는 가이드 레일의 바닥부가 상기 경사진 단면에 대응함으로써, 상기 운송 부재의 진행시 발생 가능한 좌우 또는 상하 방향의 유동으로 인한 상기 운송 부재의 걸림을 감소시키고, 그에 따라 상기 운송 부재의 진행을 원활하게 할 수 있다.As described above, according to the substrate conveying apparatus according to the embodiments of the present invention, the roller member of the conveying member has at least a partially inclined cross section, and the bottom of the guide rail supporting the conveying member is inclined It is possible to reduce the engagement of the transportation member due to the flow in the left and right or up and down directions that can occur when the transportation member travels, thereby making it possible to smoothly advance the transportation member.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. It will be possible.

100: 기판 110: 유기물 패턴
500: 가이드 레일 510: 측벽부
520, 530, 540, 550, 560, 570: 바닥부
600: 운송 부재 610: 몸체부
611: 무선 통신부 615: 연결 샤프트
620, 630, 640, 650, 660, 670: 롤러 부재
635: 수평 롤러 부재 700: 마스크
900: SMS 장치100: substrate 110: organic pattern
500: guide rail 510: side wall portion
520, 530, 540, 550, 560, 570:
600: transport member 610:
611: Wireless communication unit 615: Connection shaft
620, 630, 640, 650, 660, 670:
635: horizontal roller member 700: mask
900: SMS device

Claims (20)

기판이 배치되는 상면 및 상기 상면으로부터 연장되는 양 측면을 갖는 몸체부와, 상기 몸체부의 양 측면에 배치되는 복수의 롤러 부재를 포함하는 운송 부재; 및
상기 롤러 부재로부터 소정의 간격만큼 이격되는 측벽부 및 상기 측벽부로부터 연장되어 상기 운송 부재를 지지하는 바닥부를 포함하는 한 쌍의 가이드 레일을 포함하고,
상기 바닥부는 적어도 부분적으로 상기 측벽부의 수직면에 대해 경사진 기판 운송 장치.A transporting member including a body portion having an upper surface on which the substrate is disposed and both side surfaces extending from the upper surface, and a plurality of roller members disposed on both sides of the body portion; And
And a pair of guide rails extending from the side wall portion and spaced apart from the roller member by a predetermined distance, and a bottom portion supporting the transport member,
Wherein the bottom portion is at least partially inclined relative to a vertical plane of the side wall portion. 제1항에 있어서, 상기 롤러 부재는 상기 운송 부재의 진행 방향에 수직인 단면에서 볼 때, 사다리꼴 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein the roller member has a trapezoidal shape when viewed from a cross section perpendicular to a traveling direction of the transport member. 제2항에 있어서, 상기 롤러 부재는, 상기 측벽부에 대향하는 제1 면의 하단 높이가 상기 몸체부의 측면에 대향하는 제2 면의 하단 높이보다 높도록 제1 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The roller member according to claim 2, wherein the roller member is inclined at a first angle such that the lower end height of the first surface facing the side wall portion is higher than the lower end height of the second surface facing the side surface of the body portion Substrate transport device. 제3항에 있어서, 상기 바닥부 및 측벽부가 이루는 각도는 둔각인 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The substrate transport apparatus according to claim 3, wherein an angle formed by the bottom portion and the side wall portion is an obtuse angle. 제4항에 있어서, 상기 바닥부는, 상기 측벽부로부터 멀어짐에 따라 높이가 낮아지도록 상기 측벽부의 수직면에 대해 상기 제1 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.5. The substrate transport apparatus according to claim 4, wherein the bottom portion is inclined at the first angle with respect to the vertical plane of the side wall portion so that the height decreases as the distance from the side wall portion decreases. 제3항에 있어서, 상기 제1 각도는 5도 이상 45도 이하인 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The substrate transport apparatus according to claim 3, wherein the first angle is 5 degrees or more and 45 degrees or less. 제2항에 있어서, 상기 롤러 부재는, 상기 측벽부에 대향하는 제1 면의 하단 높이가 상기 몸체부의 측면에 대향하는 제2 면의 하단 높이보다 낮도록 제2 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The roller member according to claim 2, wherein the roller member is inclined at a second angle such that the lower end height of the first surface facing the side wall portion is lower than the lower end height of the second surface facing the side surface of the body portion Substrate transport device. 제7항에 있어서, 상기 바닥부 및 측벽부가 이루는 각도는 예각인 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.8. The substrate transport apparatus according to claim 7, wherein an angle formed between the bottom portion and the side wall portion is an acute angle. 제8항에 있어서, 상기 바닥부는, 상기 측벽부로부터 멀어짐에 따라 높이가 높아지도록 상기 측벽부의 수직면에 대해 상기 제2 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.9. The substrate transport apparatus according to claim 8, wherein the bottom portion is inclined at the second angle with respect to the vertical plane of the side wall portion so that the height becomes higher as the side portion is further away from the side wall portion. 제7항에 있어서, 상기 제2 각도는 5도 이상 45도 이하인 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The substrate transport apparatus according to claim 7, wherein the second angle is 5 degrees or more and 45 degrees or less. 제1항에 있어서, 상기 운송 부재는, 상기 몸체부의 양 측면에 배치되고 상기 측벽부와의 접촉을 완충하는 수평 롤러 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein the transporting member further includes a horizontal roller member disposed on both sides of the body portion and buffering contact with the side wall portion. 제1항에 있어서, 상기 롤러 부재는, 상기 운송 부재의 진행 방향에 수직한 단면에서 볼 때, 상단 및 하단이 오목하게 함몰된 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.2. The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein the roller member is recessed at an upper end and a lower end in a cross section perpendicular to a traveling direction of the transporting member. 제12항에 있어서, 상기 바닥부는, 상기 롤러 부재의 함몰된 부분에 대응하여 돌출되는 가이드 턱을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.13. The substrate transport apparatus according to claim 12, wherein the bottom portion includes a guide protrusion protruding corresponding to a depressed portion of the roller member. 제13항에 있어서, 상기 롤러 부재의 함몰된 부분 및 상기 가이드 턱은 각각, 각진 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.14. The substrate transport apparatus according to claim 13, wherein the depressed portion of the roller member and the guide jaw each have an angular shape. 제1항에 있어서, 상기 롤러 부재는, 상기 운송 부재의 진행 방향에 수직한 단면에서 볼 때, 상단 및 하단이 볼록하게 돌출된 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein the roller member protrudes at an upper end and a lower end when viewed from a cross section perpendicular to a traveling direction of the transporting member. 제15항에 있어서, 상기 바닥부는, 상기 롤러 부재의 돌출된 부분에 대응하여 함몰되는 가이드 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.16. The substrate transport apparatus according to claim 15, wherein the bottom portion includes a guide groove that is recessed corresponding to a protruding portion of the roller member. 제1항에 있어서, 상기 몸체부는 상기 기판을 고정시키는 정전 척을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.2. The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein the body further comprises an electrostatic chuck for fixing the substrate. 제1항에 있어서, 상기 몸체부는 외부로부터 제어 신호를 인가받는 무선 통신부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein the body further comprises a wireless communication unit receiving a control signal from the outside. 제1항에 있어서, 각각의 상기 롤러 부재는, 평면에서 볼 때 상기 운송 부재가 진행하는 방향의 수직선 상에서 서로 대응하는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein each of the roller members corresponds to each other on a vertical line in a direction in which the transport member advances as viewed in plan. 제1항에 있어서, 상기 운송 부재는 각각의 상기 롤러 부재를 상기 몸체부의 양 측면에 연결하는 연결 샤프트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운송 장치.The substrate transport apparatus according to claim 1, wherein the transporting member further comprises a connection shaft connecting each of the roller members to both sides of the body portion.
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