KR20150002644A - Organic-material refining device - Google Patents

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KR20150002644A
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마사하루 이토
야스노리 가도이
료 하가
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이데미쓰 고산 가부시키가이샤
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Abstract

유기 재료의 정제 장치는 내부에 유기 재료가 공급되는 제 1 내통체 (51), 및 제 1 내통체 (51) 의 외측에 배치되고, 공급된 유기 재료를 기화시키는 가열 히터 (53) 를 구비한 기화기 (5) 와, 기화기 (5) 의 제 1 내통체 (51) 와 연통하는 제 2 내통체 (61), 및 제 2 내통체 (61) 의 외측에 배치되고, 제 2 내통체 (61) 의 온도를 조정하는 온도 조정 히터 (63) 를 구비하고, 기화기 (5) 로 기화시킨 기체상의 유기 재료를 제 2 내통체 (61) 의 내면에서 포집하는 포집기 (6) 와, 제 2 내통체 (61) 의 내부에 배치되고, 제 2 내통체 (61) 의 축 방향을 따라 연장되는 면을 가지고, 기체상의 유기 재료와의 접촉 면적을 증가시키는 제 3 통체 (70) 와, 포집기 (6) 의 하류측 단부에 접속된 진공 펌프 (3) 를 구비하는 것을 특징으로 한다.The apparatus for purifying an organic material includes a first internal cylinder 51 into which an organic material is supplied and a heating heater 53 disposed outside the first internal cylinder 51 for vaporizing the supplied organic material A second inner cylinder 61 which communicates with the first inner cylinder 51 of the carburetor 5 and a second inner cylinder 61 which is disposed outside the second inner cylinder 61 and which is connected to the second inner cylinder 61, A collector 6 for collecting the gaseous organic material vaporized by the vaporizer 5 on the inner surface of the second inner cylinder 61, and a temperature adjusting heater 63 for adjusting the temperature of the second inner cylinder 61 A third cylinder 70 disposed inside the first inner cylinder 61 and extending along the axial direction of the second inner cylinder 61 to increase the contact area with the organic material on the gas phase, And a vacuum pump (3) connected to the downstream side end portion.

Figure P1020147027856
Figure P1020147027856

Description

유기 재료의 정제 장치{ORGANIC-MATERIAL REFINING DEVICE}[0001] ORGANIC-MATERIAL REFINING DEVICE [0002]

본 발명은 유기 재료의 정제 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for purifying an organic material.

종래, 유기 재료의 정제 방법으로는, 칼럼 크로마토그래피, 재결정, 증류, 승화 등이 알려져 있다. 전자 재료나 광학 재료로서 사용되는 유기 재료는, 그 순도가 성능에 큰 영향을 주는 경우가 있는 점에서 고순도로 정제된다.Conventionally, as a method for purifying an organic material, column chromatography, recrystallization, distillation, sublimation, and the like are known. Organic materials used as electronic materials and optical materials are purified to high purity in that their purity may greatly affect the performance.

전자 재료의 일례로는, 최근 연구 개발이 활발하게 이루어지고 있는 유기 일렉트로루미네선스 소자 (이하, 유기 EL 소자라고 하는 경우가 있다) 에 사용되는 재료를 들 수 있다. 유기 EL 소자에 사용되는 재료 (이하, 유기 EL 소자용 재료라고 하는 경우가 있다) 의 중에 불순물이 혼입되어 있으면, 그 불순물이 캐리어 (전자나 정공) 의 트랩이 되거나 소광의 원인이 되거나 하여, 유기 EL 소자의 발광 강도, 발광 효율 및 내구성이 저하된다. 따라서, 불순물을 줄이기 위해서, 유기 EL 소자용 재료를 고순도로 정제할 필요가 있다.An example of the electronic material is a material used in an organic electroluminescence element (hereinafter, sometimes referred to as an organic EL element) in which research and development is actively conducted. When an impurity is mixed in a material used for an organic EL device (hereinafter also referred to as a material for an organic EL device), the impurity becomes a trap of a carrier (electron or hole) or causes extinction, The light emission intensity, the luminous efficiency and the durability of the EL element are lowered. Therefore, in order to reduce impurities, it is necessary to purify the organic EL device material with high purity.

유기 EL 소자용 재료를 정제하기 위한 정제 장치로는, 예를 들어 특허문헌 1 에 개시되어 있다. 특허문헌 1 에 기재된 정제 장치는, 격벽과 그 대략 중앙에 형성된 구멍을 구비하는 연결 부재에 의해 복수의 구간으로 나눠진 내관을 구비하여, 각 구간의 온도를 제어 가능하도록 구성되어 있다. 그리고, 특허문헌 1 에 기재된 정제 장치에서는 내관의 일단에 진공 펌프를 배치하고, 내관의 반대 (타단) 로부터 캐리어 가스를 공급한다. 그리고, 내관의 첫 번째의 구간에 정제 대상 물질 (유기 전계 발광 재료) 이 유지된 셀을 배치하고, 진공 펌프로 장치 내를 감압시키고, 캐리어 가스를 흘림과 동시에, 첫 번째 구간을 가열하여 정제 대상 물질을 승화시킨다. 승화된 정제 대상 물질 중, 불순물은 격벽 및 구멍에 의해 다른 구간으로 이동하는 것이 방지되고, 정제 대상 물질은 격벽의 구멍을 통과하여, 다른 구간으로 이동함으로써 서서히 정제된다.A refining apparatus for refining a material for an organic EL device is disclosed in Patent Document 1, for example. The refining apparatus disclosed in Patent Document 1 is provided with an inner pipe divided into a plurality of sections by a connecting member having a partition and a hole formed substantially at the center thereof so that the temperature of each section can be controlled. In the refining apparatus described in Patent Document 1, a vacuum pump is disposed at one end of the inner tube, and a carrier gas is supplied from the opposite end (the other end) of the inner tube. Then, the cell in which the substance to be purified (organic electroluminescence material) is held is disposed in the first section of the inner tube, the inside of the apparatus is depressurized with a vacuum pump, and the first section is heated, Substances are sublimated. Among the substances to be purified, the impurities are prevented from moving to another section by the partition and the hole, and the substance to be purified is gradually refined by passing through the hole of the partition and moving to another section.

또, 특허문헌 2 에 기재된 정제 장치에서는, 승화된 유기 재료가 유통하는 내통체 내에 개구부가 서로 축 방향으로 겹치지 않도록 배치한 원반상의 정류판이 복수 지점에 형성되어 있다. 유기 재료는 구부러지면서 이 개구부를 유통하여, 내통체의 내주면 및 정류판의 표리면에 부착된다. 또, 정류판은 하류측의 불순물이 역류하는 것을 막고 있다.In the refining apparatus described in Patent Document 2, a disc-shaped rectifying plate is disposed at a plurality of points so that the openings in the inner cylinder through which the sublimated organic material flows do not overlap each other in the axial direction. The organic material flows through the opening while bending, and is attached to the inner peripheral surface of the inner cylinder and the front and rear surfaces of the rectifying plate. In addition, the rectification plate prevents the impurities on the downstream side from flowing backward.

일본 공표특허공보 2005-511864호Japanese Published Patent Application No. 2005-511864 일본 공개특허공보 2011-50853호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2011-50853

특허문헌 1 에 기재된 정제 장치에서는, 대략 중앙에 형성된 구멍을 구비하는 연결 부재에 의해 각 구간이 구획되어 있지만, 내관 단면 중앙부를 유통하는 유기 전계 발광 재료가 내관의 내면에 접촉하지 않고, 당해 구멍을 통과하여 하류측까지 유통하여 장치 외로 배출될 우려가 있다. 그 결과, 유기 재료가 포집되지 않고 진공 펌프로 흡인되어, 원하는 유기 재료의 정제량이 감소하여 정제 효율이 저하된다. 특히, 유기 재료의 정제량을 늘리기 위해서 내관의 직경을 크게 하면, 유기 전계 발광 재료는 제 2 통체의 단면 중앙부를 흐르기 쉬워져 정제 효율이 저하된다.In the refining apparatus described in Patent Document 1, although each section is divided by a connecting member having a hole formed at a substantially central portion, the organic electroluminescent material flowing through the center section of the inner end surface of the tube does not contact the inner surface of the inner tube, There is a fear that it may flow through to the downstream side and be discharged to the outside of the apparatus. As a result, the organic material is not collected but sucked by the vacuum pump, and the purification amount of the desired organic material is reduced, thereby lowering the purification efficiency. Particularly, if the diameter of the inner tube is increased to increase the amount of refining of the organic material, the organic electroluminescent material can easily flow at the center of the end face of the second cylinder and the purification efficiency is lowered.

또, 특허문헌 2 에 기재된 정제 장치에서는, 내통체 내부에 축 방향에 걸쳐서 원반상의 정류판이 복수 지점에 형성되어 있기 때문에, 내통체의 단면 중앙부를 유통하는 유기 재료도 정류판에 접촉한다. 그러나, 특허문헌 2 에 기재된 정제 장치에서는, 하류측의 불순물이 역류하는 것을 방지하는 목적 상, 정류판을 많이 형성할 필요가 있고, 그 결과, 유기 재료는 빈번하게 사행 (蛇行) 하면서 하류측으로 유통하게 되고, 정제에 시간이 걸려 정제 효율이 저하된다.Further, in the refining apparatus described in Patent Document 2, since the disc-shaped rectifying plates are formed at a plurality of points in the axial direction within the inner cylinder, the organic material flowing through the central portion of the end face of the inner cylinder also contacts the rectifying plate. However, in the refining apparatus described in Patent Document 2, it is necessary to form a large number of rectifying plates for the purpose of preventing backward flow of impurities on the downstream side. As a result, the organic material frequently flows in the downstream direction And the purification takes time and the purification efficiency is lowered.

본 발명의 목적은 유기 재료의 정제 효율을 향상시킬 수 있는 유기 재료의 정제 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an apparatus for purifying an organic material capable of improving purification efficiency of an organic material.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치는,The apparatus for purifying an organic material according to the present invention comprises:

내부에 유기 재료가 공급되는 제 1 통체, 및 이 제 1 통체의 외측에 배치되고, 공급된 유기 재료를 기화시키는 가열 히터를 구비한 기화기와,A vaporizer provided on the outside of the first cylinder and having a heating heater for vaporizing the supplied organic material;

상기 기화기의 상기 제 1 통체와 연통하는 제 2 통체, 및 이 제 2 통체의 외측에 배치되고, 상기 제 2 통체의 온도를 조정하는 온도 조정 히터를 구비하고, 상기 기화기로 기화시킨 기체상의 유기 재료를 상기 제 2 통체의 내면에서 포집하는 포집기와,A second cylinder communicating with the first cylinder of the carburetor; and a temperature adjusting heater disposed outside the second cylinder for adjusting the temperature of the second cylinder, wherein the gas-phase organic material vaporized by the vaporizer A second collecting unit for collecting the first fluid,

상기 제 2 통체의 내부에 배치되고, 상기 제 2 통체의 축 방향을 따라 연장되는 면을 가지고, 상기 기체상의 유기 재료와의 접촉 면적을 증가시키는 포집 면적 확대 부재와,A collecting area enlarging member disposed inside the second cylinder and having a surface extending along the axial direction of the second cylinder and increasing a contact area with the organic material on the substrate;

상기 포집기의 하류측 단부에 접속된 배기 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다.And an exhaust device connected to an end portion on the downstream side of the collecting device.

본 발명에 의하면, 제 2 통체 내부에 당해 제 2 통체의 축 방향을 따라 연장된 면을 갖는 포집 면적 확대 부재가 배치되어 있다. 그리고, 포집기의 하류측 단부에는 배기 장치가 접속되어 있다. 그 때문에, 배기 장치에 의해 제 1 통체 내부로부터 제 2 통체 내부로 향하는 기류가 생기고, 기체상의 유기 재료는 제 2 통체의 내면 및 포집 면적 확대 부재의 표면에 접촉하여 고화 또는 액화되어 포집된다. 요컨대, 포집 면적 확대 부재는 유기 재료가 포집되는 포집면의 면적을 확대시키고, 제 2 통체의 단면 중앙부를 흐르는 유기 재료가 접촉하는 부위를 늘려, 포집되기 쉽게 하기 위한 부재이다.According to the present invention, a collection area enlarging member having a surface extending along the axial direction of the second cylinder is disposed inside the second cylinder. An exhaust device is connected to the downstream end of the collector. Therefore, an air flow is generated from the inside of the first tubular body toward the inside of the second tubular body by the exhaust device, and the gaseous organic material comes into contact with the inner surface of the second tubular body and the surface of the collecting area expanding member to be solidified or liquefied and collected. In short, the trapping area increasing member is a member for enlarging the area of the trapping surface on which the organic material is trapped, and increasing the portion where the organic material flowing in the center portion of the end face of the second cylinder is in contact with the trapping surface.

또, 본 발명에 의하면, 유기 재료는 제 2 통체의 내면과 포집 면적 확대 부재의 표면 사이에 형성되고, 제 2 통체의 축 방향을 향해 연장되는 유로를 흐르기 때문에 배기 저항이 적어, 유기 재료를 단시간에 효율적으로 하류측으로 유통시킬 수 있다.According to the present invention, the organic material is formed between the inner surface of the second cylinder and the surface of the collecting area expanding member, flows through the flow path extending toward the axial direction of the second cylinder, To the downstream side efficiently.

그러므로, 본 발명에 의하면, 제 2 통체의 내면뿐만 아니라, 포집 면적 확대 부재의 표면에 있어서도 유기 재료를 포집할 수 있어, 유기 재료의 정제 효율을 향상 시킬 수 있다.Therefore, according to the present invention, the organic material can be collected not only on the inner surface of the second cylinder but also on the surface of the trapping area enlarging member, thereby improving the purification efficiency of the organic material.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치에서는, 상기 포집 면적 확대 부재는 상기 제 2 통체의 단면 중앙부에 배치되어 있는 것이 바람직하다.In the apparatus for purifying an organic material of the present invention, it is preferable that the collecting area increasing member is disposed at the center of the end face of the second cylinder.

본 발명에 의하면, 포집 면적 확대 부재는 제 2 통체의 단면 중앙부에 배치되어 있다. 그 때문에, 당해 단면 중앙부를 유통하고자 하는 유기 재료는, 포집 면적 확대 부재에 접촉하거나 포집 면적 확대 부재를 피하여 제 2 통체 내면에 더 근접하여 유통하거나 하게 된다. 그 결과, 유기 재료는 제 2 통체 내면이나 포집 면적 확대 부재 표면에 접촉하기 쉬워진다. 그러므로, 본 발명에 의하면 유기 재료의 정제 효율을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the trapping area increasing member is disposed at the center of the end face of the second cylinder. Therefore, the organic material to be circulated in the central portion of the cross section is caused to flow closer to the inner surface of the second cylinder, avoiding contact with the collection area enlarging member or avoiding the collection area enlarging member. As a result, the organic material is likely to come into contact with the inner surface of the second cylinder or the surface of the trapped area increasing member. Therefore, according to the present invention, the purification efficiency of the organic material can be improved.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치에서는,In the organic material refining apparatus of the present invention,

상기 포집 면적 확대 부재는 통상 (筒狀) 의 제 3 통체이고,The collection area expanding member is a cylindrical third cylinder,

상기 제 3 통체의 축 방향은 상기 제 2 통체의 축 방향을 따르는 것이 바람직하다.And the axial direction of the third cylinder follows the axial direction of the second cylinder.

본 발명에 의하면, 제 2 통체의 축 방향을 따라 제 3 통체가 배치된다. 유기 재료는 제 2 통체 내면과 제 3 통체 내면 및 외면에 접촉 가능해지기 때문에, 접촉 면적이 증대한다.According to the present invention, the third cylinder is disposed along the axial direction of the second cylinder. Since the organic material can be brought into contact with the inner surface of the second cylinder and the inner surface and the outer surface of the third cylinder, the contact area increases.

그러므로, 본 발명에 의하면, 유기 재료의 정제 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.Therefore, according to the present invention, the purification efficiency of the organic material can be further improved.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치에서는, 상기 제 3 통체의 양단의 개구가 봉지되어 있는 것이 바람직하다.In the apparatus for purifying an organic material of the present invention, openings at both ends of the third cylinder are preferably sealed.

본 발명에 의하면, 제 3 통체의 양단의 개구가 봉지되어 있기 때문에, 유기 재료가 유통 가능한 제 2 통체 내부의 공간을 작게 할 수 있다. 그리고 제 1 통체 내부로부터 제 2 통체 내부로 향하는 기류는 제 3 통체 내부를 통과하지 않고, 제 2 통체 내면과 제 3 통체 외면 사이를 통과하게 된다. 그러므로, 본 발명에 의하면 유기 재료가 제 2 통체 내면과 제 3 통체 외면에 있어서 효율적으로 포집할 수 있게 되어, 정제 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.According to the present invention, since the openings at both ends of the third cylinder are sealed, the space inside the second cylinder through which the organic material can flow can be reduced. The air flow from the inside of the first cylinder to the inside of the second cylinder does not pass through the inside of the third cylinder but passes between the inner surface of the second cylinder and the outer surface of the third cylinder. Therefore, according to the present invention, the organic material can be efficiently collected on the inner surface of the second cylinder and the outer surface of the third cylinder, and the purification efficiency can be further improved.

또, 본 발명에 의하면, 유기 재료가 제 2 통체 내면과 제 3 통체 외면에서 선택적으로 포집되기 때문에, 정제 후의 회수 작업이 용이해진다.Further, according to the present invention, since the organic material is selectively collected on the inner surface of the second cylinder and the outer surface of the third cylinder, the recovery operation after purification can be facilitated.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치에서는, 상기 제 3 통체의 외면에는 상기 제 3 통체의 축 방향에 걸쳐서 연장되는 복수의 리브가 형성되어 있는 것이 바람직하다.In the refining apparatus for organic materials of the present invention, it is preferable that a plurality of ribs extending in the axial direction of the third cylinder are formed on the outer surface of the third cylinder.

본 발명에 의하면, 제 3 통체의 외면에는 제 3 통체의 축 방향에 걸쳐서 연장되는 복수의 리브가 형성되어 있다. 그 때문에, 본 발명에 의하면, 제 2 통체의 내면과 제 3 통체의 외면 사이에 형성되는 유기 재료의 유로를 축 방향으로 연장되는 복수의 보다 작은 유로로 나눌 수 있고, 즉 분할 유로를 형성할 수 있다. 그 결과, 유기 재료는 분할 유로를 통과하면서 제 2 통체 내면과 제 3 통체 외면과 리브 표면에서 포집되게 된다. 그러므로, 본 발명에 의하면, 유기 재료의 정제 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.According to the present invention, on the outer surface of the third cylinder, a plurality of ribs extending in the axial direction of the third cylinder are formed. Therefore, according to the present invention, the flow path of the organic material formed between the inner surface of the second cylinder and the outer surface of the third cylinder can be divided into a plurality of smaller flow paths extending in the axial direction, have. As a result, the organic material is collected at the inner surface of the second cylinder, the outer surface of the third cylinder and the rib surface while passing through the divided flow path. Therefore, according to the present invention, the purification efficiency of the organic material can be further improved.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치에서는, 상기 복수의 리브는 상기 제 3 통체의 외면으로부터 상기 제 2 통체의 내면을 향하여 돌출되는 방향이, 상기 제 3 통체의 상류측으로부터 하류측을 향하는 도중에 상이하도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.In the refining apparatus for organic materials according to the present invention, the plurality of ribs are arranged so that the direction in which the plurality of ribs protrude from the outer surface of the third cylinder toward the inner surface of the second cylinder is different on the way from the upstream side to the downstream side of the third cylinder .

본 발명에 의하면, 복수의 리브는 제 3 통체의 외면으로부터 제 2 통체의 내면을 향해 돌출되는 방향이, 제 3 통체의 상류측으로부터 하류측을 향하는 도중에 상이하도록 형성되어 있기 때문에, 분할 유로를 사행시킬 수 있다. 그 결과, 유기 재료는, 당해 분할 유로를 사행하면서 하류측을 향해 흐르기 때문에, 제 2 통체 내면과 제 3 통체 외면과 리브 표면에서 한층 더 포집되기 쉬워진다. 그러므로, 본 발명에 의하면, 유기 재료의 정제 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.According to the present invention, since the plurality of ribs are formed so that the direction in which the ribs project from the outer surface of the third cylinder toward the inner surface of the second cylinder is different on the way from the upstream side toward the downstream side of the third cylinder, . As a result, since the organic material flows toward the downstream side while meandering the divided flow path, the organic material is more likely to be collected at the second tubular inner surface, the third tubular outer surface, and the rib surface. Therefore, according to the present invention, the purification efficiency of the organic material can be further improved.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치에서는, 상기 포집 면적 확대 부재는 상기 제 2 통체의 축 방향을 따라 연장되는 복수의 판상 부재를 조합하여 격자상으로 형성된 격자 부재인 것이 바람직하다.In the apparatus for purifying an organic material according to the present invention, it is preferable that the trap area enlarging member is a lattice member formed in a lattice form by combining a plurality of plate members extending along the axial direction of the second cylinder.

본 발명에 의하면, 포집 면적 확대 부재는 제 2 통체의 축 방향을 따라 연장되는 복수의 판상 부재를 조합하여 격자상으로 형성된 격자 부재이기 때문에, 분할 유로를 보다 많이 형성할 수 있다. 그러므로, 본 발명에 의하면, 제 2 내통체의 내면뿐만 아니라, 격자 부재의 표면에 있어서도 유기 EL 소자용 재료를 포집할 수 있어 정제 효율을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, since the trapping area increasing member is a lattice member formed in a lattice form by combining a plurality of plate members extending along the axial direction of the second cylinder, a larger number of divided channels can be formed. Therefore, according to the present invention, the organic EL element material can be collected not only on the inner surface of the second inner cylinder but also on the surface of the lattice member, thereby improving the purification efficiency.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치에서는, 상기 포집 면적 확대 부재는 분할 가능하도록 형성되어 있는 것이 바람직하다.In the apparatus for purifying an organic material of the present invention, it is preferable that the collection area expanding member is formed so as to be divisible.

본 발명에 의하면, 상기 포집 면적 확대 부재는 분할 가능하게 형성되어 있다. 그 때문에, 본 발명에 의하면, 유기 재료의 포집면이 통체나 격자 부재 등인 경우에 비해, 유기 재료의 회수가 용이해진다.According to the present invention, the collection area increasing member is formed to be divisible. Therefore, according to the present invention, recovery of the organic material becomes easier than in the case where the trapping surface of the organic material is a cylinder, a grid member, or the like.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치에서는, 상기 제 2 통체는 분할 가능하게 형성되어 있는 것이 바람직하다.In the organic material refining apparatus of the present invention, it is preferable that the second cylinder is formed so as to be divisible.

본 발명에 의하면, 제 2 통체는 분할 가능하게 형성되어 있다. 그 때문에, 본 발명에 의하면, 유기 재료의 포집면이 통체인 경우에 비해, 유기 재료의 회수가 용이해진다.According to the present invention, the second cylinder is formed to be divisible. Therefore, according to the present invention, recovery of the organic material is facilitated, as compared with the case where the trapping surface of the organic material is continuous.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치에서는, 상기 제 2 통체 및 상기 제 3 통체가 불활성 금속 또는 세라믹스로 형성되어 있는 것이 바람직하다.In the organic material refining apparatus of the present invention, it is preferable that the second cylinder and the third cylinder are formed of inert metal or ceramics.

본 발명에 의하면, 제 2 통체 및 제 3 통체의 재질로서 불활성 금속 또는 세라믹스를 사용할 수 있다. 그 때문에, 유기 재료의 정제 작업에 적합한 재질을 선택할 수 있게 되어 정제 작업이 용이해진다. 불활성 금속으로는, 예를 들어 스테인리스, 탄탈, 텅스텐, 몰리브덴, 티탄 등을 들 수 있고, 세라믹스로는, 예를 들어 석영, 지르코니아, 알루미나, 질화 붕소, 질화 규소 등을 들 수 있다. 예를 들어, 스테인리스제로 하면 제 2 통체 및 제 3 통체의 파손을 방지할 수 있다. 또, 석영제로 하면, 석영은 신축성이 낮아 내부의 확인이 용이해진다.According to the present invention, inert metals or ceramics can be used as the materials of the second and third cylinders. Therefore, a material suitable for the refining operation of the organic material can be selected, and the refining operation is facilitated. Examples of the inert metal include stainless steel, tantalum, tungsten, molybdenum and titanium. Examples of the ceramics include quartz, zirconia, alumina, boron nitride, silicon nitride and the like. For example, if made of stainless steel, breakage of the second cylinder and the third cylinder can be prevented. In addition, when quartz is used, quartz has low elasticity so that the inside of the quartz can easily be confirmed.

본 발명의 유기 재료의 정제 장치에서는,In the organic material refining apparatus of the present invention,

상기 제 1 통체 및 상기 제 2 통체를 내부에 수용하는 외통체를 구비하고,And an outer cylinder that houses the first cylinder and the second cylinder therein,

상기 가열 히터는 상기 제 1 통체 및 상기 외통체의 외측에 배치되고,Wherein the heating heater is disposed outside the first cylinder and the outer cylinder,

상기 온도 조정 히터는 상기 제 2 통체 및 상기 외통체의 외측에 배치되어 있는 것이 바람직하다.And the temperature adjusting heater is disposed outside the second cylinder and the outer cylinder.

본 발명에 의하면, 정제 장치는 외통체 내부에 제 1 통체 및 제 2 통체가 수용된 이중관식 구조로 되고, 이와 같은 이중관식 구조의 정제 장치에 있어서의 정제 중이어도 제 2 통체의 내부 온도를 보다 정확하게 측정 및 제어할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 이중관식 구조의 정제 장치에 있어서도, 제 2 통체의 내면뿐만 아니라, 포집 면적 확대 부재의 표면에 있어서도 유기 재료를 포집할 수 있어, 유기 재료의 정제 효율을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the refining apparatus has a double tube structure in which the first cylinder and the second cylinder are accommodated in the outer cylinder, and even during refining in the double tube type refining apparatus, the internal temperature of the second cylinder can be more accurately Measurement and control. Therefore, according to the present invention, the organic material can be collected not only on the inner surface of the second cylinder but also on the surface of the trapping area enlarging member, even in the double tube type purifying apparatus, and the purification efficiency of the organic material can be improved .

또, 정제 장치를 이중관 구조로 함으로써, 제 1 통체 및 제 2 통체를 장치 외부로 분리하여 청소하고 있는 동안, 다른 제 1 통체 및 제 2 통체를 외통체 내부에 배치하여 정제를 시작할 수 있다. 그러므로, 정제 장치의 가동률을 향상시킬 수 있다.In addition, by making the refining apparatus of a double pipe structure, refinement can be started by disposing the first and second cylinders inside the outer cylinder while the first and second cylinders are separated and cleaned outside the apparatus. Therefore, the operating rate of the purification apparatus can be improved.

도 1 은, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 유기 재료의 정제 장치의 단면 개략도이다.
도 2 는, 상기 제 1 실시형태에 관련된 정제 장치의 기화기의 단면 개략도이다.
도 3 은, 상기 제 1 실시형태에 관련된 정제 장치의 포집기의 단면 개략도이다.
도 4 는, 상기 제 1 실시형태에 관련된 정제 장치의 포집기의 단면 개략도 로서, 도 3 의 단면 위치보다 하류측에 있어서의 도면이다.
도 5 는, 상기 포집기의 제 2 통체를 구성하는 포집통체의 사시도이다.
도 6 은, 상기 포집기의 제 2 통체를 구성하는 도 5 와는 다른 포집통체의 사시도이다.
도 7 은, 상기 포집기의 상류측 단부에 장착되어 있는 봉지통체의 사시도이다.
도 8 은, 제 2 실시형태에 관련된 제 2 통체의 사시도이다.
도 9 는, 상기 제 2 실시형태에 관련된 제 3 통체의 사시도이다.
도 10 은, 제 3 실시형태에 관련된 유기 재료의 정제 장치의 단면 개략도이다.
도 11 은, 상기 제 3 실시형태에 관련된 정제 장치의 포집기의 단면 개략도이다.
도 12 는, 실시형태의 변형예에 관련된 포집 면적 확대 부재의 형상을 설명하는 사시도이다.
도 13 은, 실시형태의 변형예에 관련된 상기 포집 면적 확대 부재의 형상을 설명하는 단면도이다.
도 14 는, 실시형태의 변형예에 관련된 다른 포집 면적 확대 부재의 형상을 설명하는 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view of an organic material refining apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view of the vaporizer of the purifier according to the first embodiment.
3 is a schematic cross-sectional view of the trapping device of the purification device according to the first embodiment.
Fig. 4 is a schematic cross-sectional view of the trapping device of the purifier according to the first embodiment, and is a view on the downstream side than the cross-sectional position of Fig. 3;
5 is a perspective view of a collecting cylinder constituting a second cylinder of the collector.
Fig. 6 is a perspective view of a collecting cylinder different from that of Fig. 5 constituting the second cylinder of the collector.
7 is a perspective view of the bag cylinder mounted on the upstream side end of the collector.
8 is a perspective view of a second cylinder according to the second embodiment.
9 is a perspective view of a third cylinder according to the second embodiment.
10 is a schematic cross-sectional view of an organic material refining apparatus according to the third embodiment.
11 is a schematic cross-sectional view of the collector of the purification apparatus according to the third embodiment.
12 is a perspective view for explaining a shape of a collection area expanding member according to a modification of the embodiment;
Fig. 13 is a cross-sectional view for explaining the shape of the collection area expanding member according to the modified example of the embodiment. Fig.
14 is a cross-sectional view for explaining a shape of another trapping area expanding member related to a modification of the embodiment.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

<제 1 실시형태>&Lt; First Embodiment >

(1) 정제 장치의 구성(1) Composition of the purification apparatus

도 1 에는, 제 1 실시형태에 관련된 유기 재료의 정제 장치 (1) 의 길이 방향을 따른 단면의 개략도가 나타나 있다.1 is a schematic view of a section along the longitudinal direction of the organic material refining apparatus 1 according to the first embodiment.

정제 장치 (1) 는, 유기 재료를 정제하는 장치 본체 (2) 와, 장치 본체 (2) 내부를 감압하는 배기 장치로서의 진공 펌프 (3) 와, 장치 본체 (2) 의 온도를 제어하는 온도 컨트롤러 (4) 를 구비한다. 이하, 유기 EL 소자용 재료를 정제하는 경우를 예로 들어 설명한다.The purification device 1 includes a device body 2 for purifying an organic material, a vacuum pump 3 as an exhaust device for depressurizing the inside of the device body 2, a temperature controller (4). Hereinafter, the case of refining the material for an organic EL device will be described as an example.

(1-1) 장치 본체(1-1)

장치 본체 (2) 는 원통상의 내통체 (21) 와, 이 내통체 (21) 의 외측에 배치되어 내통체 (21) 를 내부에 수용하는 원통상의 외통체 (22) 를 구비하고, 외통체 (22) 의 양단이 덮개부 (23, 24) 로 폐색된 이중관 구조이다.The apparatus main body 2 is provided with a cylindrical inner cylinder 21 and a cylindrical outer cylinder 22 disposed on the outer side of the inner cylinder 21 to receive the inner cylinder 21 therein, And both ends of the body 22 are closed by the lid portions 23 and 24.

장치 본체 (2) 에는 내통체 (21) 및 외통체 (22) 의 일방측에 있어서 기화기 (5) 가 형성되고, 내통체 (21) 및 외통체 (22) 의 타방측에 있어서 포집기 (6) 가 형성되어 있고, 기화기 (5) 와 포집기 (6) 는 장치 본체 (2) 의 수평 방향으로 연속하여 형성되어 있다.The apparatus main body 2 is provided with a vaporizer 5 on one side of the inner cylinder 21 and the outer cylinder 22 and a collecting device 6 on the other side of the inner cylinder 21 and the outer cylinder 22, And the vaporizer 5 and the collecting device 6 are formed continuously in the horizontal direction of the apparatus main body 2. [

또, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 장치 본체 (2) 의 포집기 (6) 측의 단부에 형성된 덮개부 (24) 에는 진공 펌프 (3) 가 접속되어 있다. 이 진공 펌프 (3) 에는 밸브 (3a) 를 개재하여 배관 부재가 형성되고, 배관 부재는 장치 본체 (2) 의 내부와 연통하도록 덮개부 (24) 에 접속되어 있다. 그 때문에, 진공 펌프 (3) 는 장치 본체 (2) 의 내부를 배기할 수 있다. 본 실시형태에서는, 장치 본체 (2) 내의 압력을 10-1 ㎩ 이하로 한다. 장치 본체 (2) 와 진공 펌프 (3) 사이에 트랩 장치 (도시하지 않음) 를 개재시켜 두는 것이 바람직하다.1, a vacuum pump 3 is connected to the lid unit 24 formed at the end of the apparatus main body 2 on the side of the collector 6. The vacuum pump 3 is provided with a piping member via a valve 3a and the piping member is connected to the lid unit 24 so as to communicate with the inside of the apparatus main body 2. [ Therefore, the vacuum pump 3 can exhaust the inside of the apparatus main body 2. In the present embodiment, the pressure in the apparatus main body 2 is 10 -1 Pa or less. It is preferable that a trap device (not shown) is interposed between the apparatus main body 2 and the vacuum pump 3.

이와 같은 장치 본체 (2) 에서는, 유기 EL 소자용 재료는 기화기 (5) 의 내부에서 기화하고, 기화된 기체상의 유기 EL 소자용 재료는 진공 펌프 (3) 의 흡인에 의해 포집기 (6) 에 흘러 들고, 포집기 (6) 의 내부에서 고화되고 포집된다. 이와 같이, 정제되는 유기 EL 소자용 재료는 기화기 (5) 측으로부터 포집기 (6) 측으로 흐른다. 이하, 유기 EL 소자용 재료의 흐름 방향에 입각하여, 장치 본체 (2) 의 기화기 (5) 가 배치되어 있는 일방측을 상류측, 장치 본체 (2) 의 포집기 (6) 가 배치되어 있는 타방측을 하류측으로 칭하는 경우가 있다.In this apparatus main body 2, the organic EL element material is vaporized inside the vaporizer 5, and the vaporized organic EL element material flows into the collector 6 by the suction of the vacuum pump 3 And is solidified and collected inside the collecting device 6. Thus, the purified organic EL element material flows from the vaporizer 5 side to the collector 6 side. One side on which the vaporizer 5 of the apparatus main body 2 is disposed is referred to as an upstream side and the other side where the collector 6 of the apparatus main body 2 is disposed May be referred to as the downstream side.

(1-1-1) 기화기(1-1-1) Vaporizer

기화기 (5) 는 장치 본체 (2) 의 상류측에 배치된다. 기화기 (5) 는, 내통체 (21) 의 상류측을 구성하는 제 1 통체로서의 제 1 내통체 (51) 와, 외통체 (22) 의 상류측을 구성하고 제 1 내통체 (51) 의 외측에 배치되는 제 1 외통체 (52) 와, 제 1 외통체 (52) 의 외측에 배치되는 가열 히터 (53) 와, 제 1 내통체 (51) 내부에 배치되는 원료 용기로서의 수용부 (54) 를 구비한다.The vaporizer (5) is disposed on the upstream side of the apparatus main body (2). The vaporizer 5 has a first internal cylinder 51 as a first cylinder and an upstream side of the external cylinder 22 and constitutes an upstream side of the first internal cylinder 51 A heating heater 53 disposed on the outer side of the first outer cylinder 52 and an accommodating portion 54 serving as a raw material container disposed inside the first inner cylinder 51. The first outer cylinder 52, Respectively.

도 2 에는, 기화기 (5) 의 제 1 내통체 (51) 및 제 1 외통체 (52) 의 단면도가 나타나 있다.2 is a sectional view of the first inner cylinder 51 and the first outer cylinder 52 of the vaporizer 5. As shown in Fig.

제 1 내통체 (51) 및 제 1 외통체 (52) 는 원통상으로 형성되어 있다.The first inner cylinder 51 and the first outer cylinder 52 are formed cylindrically.

제 1 내통체 (51) 의 내면에는 수용부 (54) 를 지지하기 위한 지지 돌기 (512) 가 도 2 에 나타내는 바와 같이 좌우에 각각 형성되어 있다.On the inner surface of the first inner cylinder 51, support protrusions 512 for supporting the accommodating portion 54 are formed on the left and right sides, respectively, as shown in Fig.

가열 히터 (53) 는 적외선 히터 등에 의해 구성되고, 제 1 외통체 (52) 의 외측에 고리상으로 배치된다.The heating heater 53 is constituted by an infrared heater or the like and is arranged annularly on the outside of the first outer cylinder 52.

수용부 (54) 는 제 1 내통체 (51) 의 내부에 배치되어 있다. 수용부 (54) 는, 예를 들어 사각형 판상의 바닥면과, 이 바닥면의 주연 (周緣) 으로부터 면외 방향으로 기립하는 측면을 구비한 접시상으로 형성되고, 분말상 등 고체의 유기 EL 소자용 재료를 수용하고 있다.The accommodating portion 54 is disposed inside the first inner cylinder 51. The receptacle 54 is formed in a plate shape having, for example, a bottom surface in the form of a rectangular plate and side surfaces rising in the out-of-plane direction from the peripheral edge of the bottom surface, Respectively.

제 1 내통체 (51), 제 1 외통체 (52) 및 수용부 (54) 의 재질은, 유기 EL 소자용 재료에 대해 불활성인 재질로 구성되는 것이 바람직하고, 본 실시형태에서는 석영 유리로 구성되어 있다.The material of the first inner cylinder 51, the first outer cylinder 52 and the accommodating portion 54 is preferably made of a material inert to the material for the organic EL device. In this embodiment, .

(1-1-2) 포집기(1-1-2) Collector

포집기 (6) 는 장치 본체 (2) 의 하류측에 배치된다. 포집기 (6) 는, 내통체 (21) 의 하류측을 구성하는 제 2 통체로서의 제 2 내통체 (61) 와, 외통체 (22) 의 하류측을 구성하고 제 2 내통체 (61) 의 외측에 배치되는 제 2 외통체 (62) 와, 제 2 외통체 (62) 의 외측에 배치되는 온도 조정 히터 (63) 와, 제 2 내통체 (61) 의 내부에 배치되는 포집 면적 확대 부재로서의 제 3 통체 (70) 를 구비한다.The collector 6 is disposed on the downstream side of the apparatus main body 2. The collector 6 includes a second inner cylinder 61 as a second cylinder constituting the downstream side of the inner cylinder 21 and a second inner cylinder 61 constituting the downstream side of the outer cylinder 22, A temperature adjusting heater 63 disposed on the outside of the second outer cylinder 62 and a second outer cylinder 62 disposed in the second inner cylinder 61. The second outer cylinder 62 is disposed in the second inner cylinder 61, And a three-cylinder body 70.

도 3 에는, 포집기 (6) 의 제 2 내통체 (61) 및 제 2 외통체 (62) 의 단면도가 나타나 있다. 도 4 에는, 도 3 의 단면의 위치보다 하류측에 있어서의 포집기 (6) 의 제 2 내통체 (61) 및 제 2 외통체 (62) 의 단면도가 나타나 있다.3 is a cross-sectional view of the second inner cylinder 61 and the second outer cylinder 62 of the collector 6. Fig. 4 shows a cross-sectional view of the second inner cylinder 61 and the second outer cylinder 62 of the trapping device 6 on the downstream side of the position of the section in Fig.

제 2 내통체 (61), 제 3 통체 (70) 및 제 2 외통체 (62) 는 원통상으로 형성되어 있다. 제 2 외통체 (62) 는, 본 실시형태에서는 제 1 외통체 (52) 와 일체의 원통상으로 형성되어 있다.The second inner cylinder 61, the third cylinder 70, and the second outer cylinder 62 are formed in a cylindrical shape. In the present embodiment, the second outer cylinder 62 is formed integrally with the first outer cylinder 52 in a cylindrical shape.

제 2 내통체 (61) 는, 본 실시형태에서는 원통상의 포집통체가 3 개, 구체적으로는 상류측으로부터 순서대로 제 1 포집통체 (61A), 제 2 포집통체 (61B) 및 제 3 포집통체 (61C) 가 분할 가능하게 연결되어 구성된다. 제 1 포집통체 (61A) 와 제 3 포집통체 (61C) 는 동일한 구조이다.In the present embodiment, the second inner cylinder 61 has three cylindrical collecting cylinders, specifically, the first collecting cylinder 61A, the second collecting cylinder 61B and the third collecting cylinder 61B in this order from the upstream side. (61C) are connected in a dividable manner. The first collection cylinder 61A and the third collection cylinder 61C have the same structure.

제 1 포집통체 (61A) 의 내부가 제 1 포집실 (R1) 이 되고, 제 2 포집통체 (61B) 의 내부가 제 2 포집실 (R2) 이 되고, 제 3 포집통체 (61C) 의 내부가 제 3 포집실 (R3) 이 되고, 포집실 (R1, R2, R3) 은 하류측을 향하여 수평 방향으로 연속하여 형성되고 서로 연통되어 있다.The inside of the first collecting cylinder 61A becomes the first collecting chamber R1 and the inside of the second collecting cylinder 61B becomes the second collecting chamber R2 and the inside of the third collecting cylinder 61C becomes And the collecting chambers R1, R2, and R3 are formed continuously in the horizontal direction toward the downstream side and communicate with each other.

제 3 통체 (70) 는 그 축 방향이 제 2 내통체 (61) 의 축 방향을 따르고 있고, 제 2 내통체 (61) 내부의 단면 중앙부에 배치되고, 제 2 내통체 (61) 의 내면과 제 3 통체 (70) 의 외면 사이에 유기 EL 소자용 재료의 유로를 형성하여, 제 2 내통체 (61) 의 단면 중앙부를 흐르는 유기 재료를 당해 유로로 흘러 들기 쉽게 한다. 또, 제 3 통체 (70) 는 원통상이기 때문에, 그 표면은 제 2 내통체 (61) 의 축 방향을 따라 연장되어 있다.The third cylindrical body 70 has an axial direction extending along the axial direction of the second inner cylindrical body 61 and disposed at the center of the inner end surface of the second cylindrical body 61, An organic EL element material flow path is formed between the outer surfaces of the third tubular body 70 so that the organic material flowing in the central portion of the end surface of the second inner tubular body 61 can flow easily into the flow path. Since the third cylinder 70 is cylindrical, the surface of the third cylinder 70 extends along the axial direction of the second inner cylinder 61.

도 5 에는 포집통체 (61A, 61C) 의 사시도가 나타나 있고, 도 6 에는 제 2 포집통체 (61B) 의 사시도가 나타나 있다.Fig. 5 shows a perspective view of the collection cylinders 61A and 61C, and Fig. 6 shows a perspective view of the second collection cylinder 61B.

전술한 바와 같이, 제 2 내통체 (61) 는 3 개의 포집통체로 분할 가능한 것에 수반하여, 제 3 통체 (70) 도 도 5 및 도 6 에 나타내는 바와 같이, 포집통체 (61A, 61B, 61C) 와 함께 3 개의 소통체 (70A, 70B, 70C) 로 분할되어 있다. 소통체 (70A, 70B, 70C) 는 동일한 크기의 원통상이다.As described above, as the second inner cylinder 61 can be divided into the three capturing cylinders, the third cylinder 70 is also provided with the collecting cylinders 61A, 61B and 61C as shown in Figs. 5 and 6, 70B, and 70C along with three communication members 70A, 70B, and 70C. The communicating members 70A, 70B, 70C are cylinders of the same size.

제 3 통체 (70) 의 외면에는 도 3 ∼ 도 6 에 나타내는 바와 같이, 복수의 리브 (711, 712) 가 형성되어 있다. 리브 (711, 712) 는 제 3 통체의 축 방향에 걸쳐서 연장되는 판상으로 형성되어 있다. 또, 복수의 리브 (711, 712) 의 표면은 제 2 내통체 (61) 의 축 방향을 따라 연장되어 있다.On the outer surface of the third cylinder 70, as shown in Figs. 3 to 6, a plurality of ribs 711 and 712 are formed. The ribs 711 and 712 are formed in a plate shape extending in the axial direction of the third cylinder. The surfaces of the plurality of ribs 711 and 712 extend along the axial direction of the second inner cylinder 61.

리브 (711) 는 도 3 및 도 5 에 나타나 있는 바와 같이, 소통체 (70A, 70C) 의 외면 (상면, 바닥면 및 측면) 에 4 개 형성되고, 당해 외면으로부터 포집통체 (61A, 61C) 의 내면을 향하여 상하 방향 및 좌우 방향으로 연장되어 포집통체 (61A, 61C) 의 내면에 접속되어 있다.As shown in Figs. 3 and 5, four ribs 711 are formed on the outer surface (upper surface, bottom surface and side surface) of the communicating members 70A and 70C, and ribs 711 are formed on the outer surfaces of the collecting tubes 61A and 61C And extends in the vertical direction and in the lateral direction toward the inner surface, and is connected to the inner surfaces of the collection cylinders 61A and 61C.

리브 (712) 는 도 4 및 도 6 에 나타나 있는 바와 같이, 소통체 (70B) 의 외면으로부터 제 2 포집통체 (61B) 의 내면을 향하여 경사 방향으로 연장되어, 제 2 포집통체 (61B) 의 내면에 접속되어 있다.4 and 6, the rib 712 extends in the oblique direction from the outer surface of the communicating body 70B toward the inner surface of the second collecting cylinder 61B, and the inner surface of the second collecting cylinder 61B Respectively.

여기서, 포집통체 (61A, 61B, 61C) 를 연결시킨 상태로, 제 2 내통체 (61) 를 상류측으로부터 하류측을 향하여 보면, 리브 (711) 와 리브 (712) 에서는 돌출 되는 방향이 상이하도록 형성되어 있다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 소통체 (70A, 70C) 의 상하 방향 및 좌우 방향으로 연장되는 리브 (711) 에 대해, 2 점 사슬선으로 나타내는 소통체 (70B) 의 리브 (712) 는, 경사 방향으로 연장되어 있고, 소통체 (70A, 70C) 와 이웃하는 소통체 (70B) 에서는, 리브의 돌출 방향이 상이하다. 또, 도 4 에 대해서도 동일하게, 소통체 (70B) 의 경사 방향으로 연장되는 리브 (712) 에 대해, 2 점 사슬선으로 나타내는 소통체 (70A, 70C) 의 리브 (711) 는 상하 방향 및 좌우 방향으로 연장되어 있다.Here, when the second inner cylinder 61 is viewed from the upstream side to the downstream side with the collection cylinders 61A, 61B, 61C connected, the direction in which the ribs 711 and the ribs 712 protrude are different from each other Respectively. 3, the ribs 712 of the communication body 70B indicated by the two-point chain line with respect to the ribs 711 extending in the vertical direction and the horizontal direction of the communication bodies 70A, And in the communication member 70B adjacent to the communication members 70A, 70C, the projecting directions of the ribs are different. 4, the ribs 711 of the communicating members 70A and 70C indicated by the two-point chain line are connected to the ribs 712 extending in the oblique direction of the communicating body 70B, .

제 2 내통체 (61) 의 내면과 제 3 통체 (70) 의 외면 사이에 형성되는 유기 EL 소자용 재료의 유로는, 제 3 통체 (70) 의 축 방향에 걸쳐서 연장되는 판상의 리브 (711, 712) 에 의해, 당해 축 방향으로 연장되는 복수의 보다 작은 유로로 나눌 수 있고, 즉 분할 유로를 형성할 수 있다. 또, 포집실 (R1, R2, R3) 도 리브 (711, 712) 에 의해 각각 4 개의 작은 방으로 구획된다. 포집통체 (61A, 61B, 61C) 를 연결시키면, 4 개로 구획된 작은 방은, 축 방향에 걸쳐서 연통되어 있다.The flow path of the material for the organic EL element formed between the inner surface of the second inner cylinder 61 and the outer surface of the third cylinder 70 is formed by the ribs 711 and 711 extending in the axial direction of the third cylinder 70, 712 can be divided into a plurality of smaller flow paths extending in the axial direction, that is, divided flow paths can be formed. Also, the collecting chambers R1, R2, and R3 are partitioned into four small chambers by the ribs 711 and 712, respectively. When the collection cylinders 61A, 61B, and 61C are connected, the small chamber partitioned into four is communicated in the axial direction.

제 3 통체 (70) (소통체 (70A)) 의 상류측의 개구부는, 제 2 내통체 (61) (제 1 포집통체 (61A)) 와 제 1 내통체 (51) 의 사이에 형성되는 봉지통체 (65) 에 의해 봉지되어 있다.The opening on the upstream side of the third tubular body 70 (communicating body 70A) is located at a position upstream of the second tubular body 61 (the first collecting cylinder 61A) And is sealed by a cylinder 65.

도 7 에는 봉지통체 (65) 의 사시도가 나타나 있다. 봉지통체 (65) 는 제 1 포집통체 (61A) 와 대략 동일한 형상이지만, 축 방향의 길이 치수가 짧게 형성되어 있다. 또, 봉지통체 (65) 의 단면 중앙부에는 원통상으로 형성되고, 축 방향 단부의 일방의 개구가 봉지판 (751) 에 의해 봉지된 봉지용 소통체 (75) 가 배치되어 있다. 봉지용 소통체 (75) 의 축 방향의 길이 치수는 봉지통체 (65) 와 동일하다. 봉지용 소통체 (75) 의 외면으로부터는 리브 (711) 와 마찬가지로 상하 방향 및 좌우 방향으로 연장되고, 봉지통체 (65) 에 접속하고 있는 리브 (752) 가 형성되어 있다.Fig. 7 shows a perspective view of the envelope cylinder 65. Fig. The sealing cylinder 65 has substantially the same shape as the first collecting cylinder 61A, but has a short axial dimension. An encapsulating communicating body 75 is disposed at the center of the end face of the end portion of the end portion of the end portion of the end portion of the endoscope body 65 and is sealed by an encapsulation plate 751. The length dimension of the sealing communication body 75 in the axial direction is the same as that of the sealing cylinder 65. [ Like the ribs 711, ribs 752 extending in the up-and-down direction and the left-right direction and connected to the sealing cylinder 65 are formed from the outer surface of the sealing communication body 75.

봉지통체 (65) 가 제 1 포집통체 (61A) 에 장착되면, 소통체 (70A) 와 봉지 용 소통체 (75) 가 겹치고, 봉지판 (751) 에 의해 소통체 (70A) 의 상류측의 개구부가 봉지된다.When the sealing cylinder 65 is mounted on the first collecting cylinder 61A, the communication body 70A and the sealing communication body 75 are overlapped with each other, and the sealing plate 751 covers the opening on the upstream side of the communication body 70A Is sealed.

제 3 통체 (70) (소통체 (70C)) 의 하류측 개구부는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 2 내통체 (61) (제 3 포집통체 (61C)) 의 하류측 단부에 장착되어 있는 봉지 부재 (76) 에 의해 봉지되어 있다.1, the downstream side opening of the third cylinder 70 (communication body 70C) is attached to the downstream end of the second inner cylinder 61 (the third collecting cylinder 61C) And is sealed by the sealing member 76.

온도 조정 히터 (63) 는 적외선 히터 등에 의해 구성되고, 제 2 외통체 (62) 의 외측에 고리상으로 배치된다. 온도 조정 히터 (63) 는 제 1 포집실 (R1) 의 온도를 조정하는 제 1 온도 조정 히터 (63A) 와, 제 2 포집실 (R2) 의 온도를 조정하는 제 2 온도 조정 히터 (63B) 와, 제 3 포집실 (R3) 의 온도를 조정하는 제 3 온도 조정 히터 (63C) 를 구비한다. 이들 온도 조정 히터 (63A, 63B, 63C) 는 각각 후술하는 온도 조정 히터 제어 수단으로서의 제어부 (44) 에 의해 각 포집실 (R1, R2, R3) 의 내부의 온도를 독립적으로 조정할 수 있다.The temperature adjusting heater 63 is constituted by an infrared heater or the like, and is arranged annularly on the outside of the second outer cylinder 62. The temperature adjusting heater 63 includes a first temperature adjusting heater 63A for adjusting the temperature of the first collecting chamber R1 and a second temperature adjusting heater 63B for adjusting the temperature of the second collecting chamber R2, And a third temperature adjustment heater 63C for adjusting the temperature of the third collection chamber R3. Each of the temperature adjusting heaters 63A, 63B and 63C can independently adjust the temperature inside each of the collecting chambers R1, R2 and R3 by a control section 44 serving as temperature adjusting heater controlling means which will be described later.

제 2 내통체 (61), 제 2 외통체 (62), 제 3 통체 (70), 봉지통체 (65), 봉지 용 소통체 (75), 리브 (711, 712, 752) 및 봉지 부재 (76) 의 재질은, 유기 EL 소자용 재료에 대해 불활성인 재질로 구성되는 것이 바람직하다. 본 실시형태에서는, 제 2 외통체 (62) 가 석영 유리로 구성되고, 제 2 내통체 (61), 제 3 통체 (70), 봉지통체 (65), 봉지용 소통체 (75), 리브 (711, 712, 752) 및 봉지 부재 (76) 는 스테인리스로 구성되어 있다.The second inner cylinder 61, the second outer cylinder 62, the third cylinder 70, the sealing cylinder 65, the sealing communication body 75, the ribs 711, 712, 752 and the sealing member 76 ) Is preferably made of a material inert to the material for the organic EL device. In this embodiment, the second outer cylinder 62 is made of quartz glass, and the second inner cylinder 61, the third cylinder 70, the sealing cylinder 65, the sealing communication body 75, the ribs 711, 712, and 752 and the sealing member 76 are made of stainless steel.

(1-1-3) 온도 컨트롤러(1-1-3) Temperature controller

온도 컨트롤러 (4) 는, 기화기 (5) 내부의 온도를 측정하는 온도 센서 (41) 와, 온도 센서 (41) 로 측정한 온도 정보에 기초하여 가열 히터 (53) 를 제어하는 제어부 (42) 와 포집기 (6) 내부의 온도를 측정하는 온도 센서 (43) 와, 온도 센서 (43) 로 측정한 온도 정보에 기초하여 온도 조정 히터 (63) 를 제어하는 제어부 (44) 를 구비한다.The temperature controller 4 includes a temperature sensor 41 for measuring the temperature inside the vaporizer 5, a controller 42 for controlling the heater 53 based on the temperature information measured by the temperature sensor 41, A temperature sensor 43 for measuring the temperature inside the collector 6 and a control unit 44 for controlling the temperature adjusting heater 63 based on the temperature information measured by the temperature sensor 43. [

온도 센서 (41) 는, 내통체 (21) 의 상류측 단부로부터 제 1 내통체 (51) 의 내부에 삽입된 제 1 통체용 열전쌍 (412) 을 구비한다. 열전쌍 (412) 은 장치 본체 (2) 외부에 배치된 제어부 (42) 와 접속되어 있다. 열전쌍 (412) 으로 측정한 온도 정보는 제어부 (42) 로 보내진다.The temperature sensor 41 has a thermocouple 412 for the first cylinder inserted into the first inner cylinder 51 from the upstream end of the inner cylinder 21. [ The thermocouple 412 is connected to a control section 42 disposed outside the apparatus main body 2. The temperature information measured by the thermocouple 412 is sent to the control unit 42.

제어부 (42) 는 가열 히터 (53) 에 접속되고, 온도 센서 (41) 로부터 입력된 온도 정보에 기초하여, 가열 히터 (53) 에 의한 가열을 제어한다.The control unit 42 is connected to the heating heater 53 and controls the heating by the heating heater 53 based on the temperature information inputted from the temperature sensor 41. [

온도 센서 (43) 는 내통체 (21) 의 하류측 단부로부터 제 2 내통체 (61) 의 내부에 삽입된 제 2 통체용 3 개의 열전쌍 (432A, 432B, 432C) 을 구비한다. 열전쌍 (432A, 432B, 432C) 은 장치 본체 (2) 외부에 배치된 제어부 (44) 와 접속되어 있다. 온도 센서 (43) 의 열전쌍 (432A, 432B, 432C) 으로 측정한 온도 정보는 제어부 (44) 로 보내진다.The temperature sensor 43 has three thermocouples 432A, 432B and 432C for the second cylinder inserted from the downstream end of the inner cylinder 21 into the second inner cylinder 61. [ The thermocouples 432A, 432B, and 432C are connected to a control unit 44 disposed outside the apparatus body 2. [ The temperature information measured by the thermocouples 432A, 432B, and 432C of the temperature sensor 43 is sent to the control unit 44. [

열전쌍 (432A) 은 제 1 포집실 (R1) 의 내부에 배치되고, 열전쌍 (432B) 은 제 2 포집실 (R2) 의 내부에 배치되고, 열전쌍 (432C) 은 제 3 포집실 (R3) 의 내부에 배치되어 있다.The thermocouple 432A is disposed inside the first collecting chamber R1 and the thermocouple 432B is disposed inside the second collecting chamber R2 and the thermocouple 432C is disposed inside the third collecting chamber R3 Respectively.

제어부 (44) 는 온도 조정 히터 (63) 에 접속되어, 온도 센서 (43) 로부터 입력된 온도 정보에 기초하여, 온도 조정 히터 (63) 에 의한 가열을 제어한다. 본 실시형태에서는, 제어부 (44) 는 포집실 (R1, R2, R3) 별 온도 조정 히터 (63A, 63B, 63C) 를 독립적으로 제어한다. 예를 들어, 제어부 (44) 는 온도가 제 1 포집실 (R1) 측으로부터 제 3 포집실 (R3) 측을 향해 연속적 또는 단계적으로 상이하도록 온도 조정 히터 (63A, 63B, 63C) 를 제어한다.The control unit 44 is connected to the temperature adjusting heater 63 and controls the heating by the temperature adjusting heater 63 based on the temperature information inputted from the temperature sensor 43. [ In this embodiment, the control unit 44 independently controls the temperature adjustment heaters 63A, 63B, and 63C for each of the collection chambers R1, R2, and R3. For example, the control unit 44 controls the temperature adjusting heaters 63A, 63B, and 63C such that the temperature is continuously or stepwise different from the first collecting chamber R1 side toward the third collecting chamber R3 side.

(1-2) 유기 EL 소자용 재료(1-2) Materials for organic EL devices

정제 대상인 유기 EL 소자용 재료는 유기 EL 소자에 사용되는 재료로서 특별히 한정되지 않는다.The material for the organic EL device to be purified is not particularly limited as a material used for the organic EL device.

(2) 정제 장치에 의한 정제 방법(2) Purification method using a purification apparatus

정제 장치 (1) 를 사용하여 유기 EL 소자용 재료를 정제하는 방법을 설명한다.A method for purifying a material for an organic EL device using the purification apparatus 1 will be described.

먼저, 수용부 (54) 에 고체 분말상의 승화성의 유기 EL 소자용 재료를 수용한다.First, a material for a sublimable organic EL element in the form of a solid powder is accommodated in the receptacle 54.

다음으로, 덮개부 (23, 24) 를 장착하여 기화기 (5) 및 포집기 (6) 내부를 밀폐한다.Next, the cover portions 23 and 24 are mounted to seal the inside of the vaporizer 5 and the collector 6. [

다음으로, 기화기 (5) 의 상류측 단부로부터 제 1 내통체 (51) 내부에 온도 센서 (41) (열전쌍 (412)) 를 삽입한다. 한편, 포집기 (6) 의 하류측 단부로부터 제 2 내통체 (61) 내부에 온도 센서 (43) (열전쌍 (432A, 432B, 432C)) 를 삽입한다.Next, a temperature sensor 41 (thermocouple 412) is inserted into the first inner cylinder 51 from the upstream end of the vaporizer 5. [ On the other hand, a temperature sensor 43 (thermocouples 432A, 432B and 432C) is inserted into the second inner cylinder 61 from the downstream side end of the collector 6.

이어서, 장치 본체 (2) 내부를 진공 펌프 (3) 로 10-1 ㎩ 이하로 감압한다.Subsequently, the inside of the apparatus main body 2 is decompressed to 10 -1 Pa or less by the vacuum pump 3.

감압 후, 가열 히터 (53) 로 제 1 내통체 (51) 을 가열하고, 온도 조정 히터 (63) 로 제 2 내통체 (61) 를 가열하여 온도 조정을 실시한다. 이 때, 온도 컨트롤러 (4) 가 온도 센서 (41), 온도 센서 (43) 의 측정 온도 정보에 기초하여, 가열 히터 (53) 및 온도 조정 히터 (63) 에 의한 가열을 제어한다. 구체적으로는, 가열 히터 (53) 는 고체 분말상의 유기 EL 소자용 재료가 승화 (고체로부터 기체로 변화) 하는 온도 (승화 온도) 까지 제 1 내통체 (51) 를 가열하고, 당해 온도 로 유지한다. 온도 조정 히터 (63A, 63B, 63C) 는 서로 독립적으로 소정 온도로 가열하여, 제 1 포집실 (R1), 제 2 포집실 (R2) 및 제 3 포집실 (R3) 의 온도를 조정한다. 본 실시형태에서는, 정제 대상이 되는 유기 EL 소자용 재료가 기체로부터 고체로 변화하는 온도에 대해, 제 1 포집실 (R1) 을 약간 높게 온도 조정하고, 제 2 포집실 (R2) 을 동 온도보다 낮게 온도 조정하고, 제 3 포집실 (R3) 을 제 2 포집실 (R2) 보다 더욱 낮게 온도 조정한다.After the pressure reduction, the first inner cylinder 51 is heated by the heater 53, and the second inner cylinder 61 is heated by the temperature adjusting heater 63 to adjust the temperature. At this time, the temperature controller 4 controls the heating by the heating heater 53 and the temperature adjusting heater 63 based on the measured temperature information of the temperature sensor 41 and the temperature sensor 43. Specifically, the heating heater 53 heats the first inner cylinder 51 to a temperature (sublimation temperature) at which the material for the organic EL device in the form of a solid powder is sublimated (changes from solid to gas), and is maintained at the temperature . The temperature adjustment heaters 63A, 63B and 63C independently heat the respective components to a predetermined temperature to adjust the temperatures of the first collection chamber R1, the second collection chamber R2 and the third collection chamber R3. In the present embodiment, the temperature of the first collecting chamber R1 is adjusted to be slightly higher than the temperature at which the material for the organic EL device to be purified changes from a gas to a solid, and the temperature of the second collecting chamber The temperature of the third collection chamber R3 is adjusted to be lower than that of the second collection chamber R2.

수용부 (54) 에 수용된 고체 분말상의 유기 EL 소자용 재료는 수용부 (54) 가 승화 온도까지 가열 유지되면 기화한다. 기체상의 유기 EL 소자용 재료는 포집기 (6) 측으로 이동하고, 각 포집실 (R1, R2, R3) 에 대응하는 제 2 내통체 (61) 의 내표면에서 고화시켜 포집한다.The material for the organic EL element in the form of a solid powder contained in the housing portion 54 is vaporized when the housing portion 54 is heated to the sublimation temperature and held. The gaseous organic EL element material moves to the collector 6 side and is solidified and collected on the inner surface of the second inner cylinder 61 corresponding to each of the collection chambers R1, R2 and R3.

본 실시형태에서는, 각 포집실 (R1, R2, R3) 이 정제 대상이 되는 유기 EL 소자용 재료의 기화 (승화) 온도에 대해 상기 서술한 바와 같은 관계로 가열 유지되고 있다. 그 때문에, 당해 기화 (승화) 온도에 대해, 낮은 온도로 가열 유지된 제 2 포집실 (R2) 에서 정제 대상이 되는 유기 EL 소자용 재료가 높은 순도로 포집된다. 제 1 포집실 (R1) 및 제 3 포집실 (R3) 에서는, 수용부 (54) 에 공급된 유기 EL 소자용 재료에 함유되어 있던 불순물 성분이 농축되어 포집된다.In the present embodiment, the respective collection chambers R1, R2, and R3 are heated and held in the above-described relationship with respect to the vaporization (sublimation) temperature of the organic EL element material to be purified. Therefore, the organic EL device material to be purified in the second collection chamber R2 heated and held at a low temperature is collected at a high purity with respect to the vaporization (sublimation) temperature. In the first collecting chamber R1 and the third collecting chamber R3, the impurity components contained in the material for the organic EL device supplied to the accommodating portion 54 are concentrated and collected.

(3) 실시형태의 효과 (3) Effect of Embodiment

제 1 실시형태에 관련된 정제 장치 (1) 및 정제 장치 (1) 를 사용한 정제 방법에 의하면 다음과 같은 효과를 발휘한다.According to the purification method using the purification apparatus 1 and the purification apparatus 1 according to the first embodiment, the following effects are exhibited.

정제 장치 (1) 에 의하면, 포집 면적 확대 부재로서의 제 3 통체 (70) 가 제 2 내통체 (61) 의 내부에 배치되어 있다. 그리고, 포집기 (6) 의 하류측 단부에는 진공 펌프 (3) 가 접속되어 있다. 그 때문에, 진공 펌프 (3) 에 의해 제 1 내통체 (51) 의 내부로부터 제 2 내통체 (61) 의 내부로 향하는 기류가 생기고, 기체상의 유기 EL 소자용 재료는 제 2 내통체 (61) 의 내면 및 제 3 통체 (70) 의 표면에 접촉하여 고화되어 포집된다. 또, 유기 EL 소자용 재료는, 제 2 내통체 (61) 의 내면과 제 3 통체 (70) 의 외면 사이에 형성되고, 제 2 내통체 (61) 의 축 방향을 향해 연장되는 유로를 흐르기 때문에 배기 저항이 적고, 유기 EL 소자용 재료를 단시간에 효율적으로 하류측으로 유통시킬 수 있다.According to the refining apparatus 1, the third cylinder 70 as the collection area increasing member is disposed inside the second inner cylinder 61. A vacuum pump 3 is connected to the downstream end of the collector 6. As a result, the vacuum pump 3 generates airflow from the inside of the first inner cylinder 51 toward the inside of the second inner cylinder 61, and the material for the organic EL element in the form of a gas passes through the second inner cylinder 61, And the surface of the third cylinder 70 is solidified and collected. The material for the organic EL element is formed between the inner surface of the second inner cylinder 61 and the outer surface of the third cylinder 70 and flows through the flow path extending toward the axial direction of the second inner cylinder 61 The exhaust resistance is small and the material for the organic EL device can be efficiently flowed to the downstream side in a short time.

그러므로, 정제 장치 (1) 에 의하면, 제 2 내통체 (61) 의 내면뿐만 아니라, 제 3 통체의 표면에 있어서도 유기 EL 소자용 재료를 포집할 수 있어, 정제 효율을 향상시킬 수 있다.Therefore, according to the refining apparatus 1, it is possible to collect the organic EL element-forming material not only on the inner surface of the second inner cylinder 61 but also on the surface of the third cylinder, thereby improving the purification efficiency.

정제 장치 (1) 에 의하면, 제 3 통체 (70) 는 제 2 내통체 (61) 의 단면 중앙부에 배치되어 있다. 그 때문에, 당해 단면 중앙부를 유통하고자 하는 유기 EL 소자용 재료는, 제 3 통체 (70) 에 접촉하거나 제 3 통체 (70) 를 피하여 제 2 내통체 (61) 내면에 보다 근접하여 유통하거나 하게 된다. 그 결과, 유기 EL 소자용 재료는 제 2 통체 내면이나 제 3 통체 표면에 접촉하기 쉬워진다. 그러므로, 본 발명에 의하면, 유기 EL 소자용 재료의 정제 효율을 향상시킬 수 있다.According to the refining apparatus 1, the third cylinder 70 is disposed at the center of the end surface of the second inner cylinder 61. Therefore, the material for the organic EL element which is intended to flow through the central portion of the end face is brought into contact with the third cylinder 70 or flows closer to the inner face of the second inner cylinder 61, avoiding the third cylinder 70 . As a result, the material for the organic EL device becomes easy to contact the inner surface of the second cylinder and the surface of the third cylinder. Therefore, according to the present invention, the purification efficiency of the material for an organic EL device can be improved.

정제 장치 (1) 에 의하면, 제 3 통체 (70) (소통체 (70A)) 의 상류측의 개구부가 봉지통체 (65) 의 봉지판 (751) 에 의해 봉지되고, 제 3 통체 (70) (소통체 (70C)) 의 하류측의 개구부는 봉지 부재 (76) 에 의해 봉지되어 있다. 그 때문에, 유기 EL 소자용 재료가 유통 가능한 제 2 내통체 (61) 내부 공간을 작게 할 수 있다. 그리고, 제 1 내통체 (51) 내부로부터 제 2 내통체 (61) 내부로 향하는 기류는, 제 3 통체 (70) 내부를 통과하지 않고, 제 2 내통체 (61) 의 내면과 제 3 통체 (70) 의 외면 사이를 통과하게 된다.According to the refining apparatus 1, the opening on the upstream side of the third cylinder 70 (communication body 70A) is sealed by the sealing plate 751 of the sealing cylinder 65, and the third cylinder 70 The communicating body 70C) is sealed by the sealing member 76. The sealing member 76 is a sealing member. Therefore, the inner space of the second inner cylinder 61 through which the material for the organic EL device can flow can be reduced. The airflow from the inside of the first inner cylinder 51 toward the inside of the second inner cylinder 61 does not pass through the inside of the third cylinder 70 but flows through the inner surface of the second inner cylinder 61 and the inner surface of the third cylinder 70 70, respectively.

그러므로, 정제 장치 (1) 에 의하면, 유기 EL 소자용 재료가 제 2 내통체 (61) 의 내면과 제 3 통체 외면에 있어서 효율적으로 포집할 수 있게 되어, 정제 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.Therefore, according to the refining apparatus 1, the organic EL element material can be efficiently collected on the inner surface of the second inner cylinder 61 and the outer surface of the third cylinder, and the refining efficiency can be further improved.

또, 정제 장치 (1) 에 의하면, 유기 EL 소자용 재료가 제 2 내통체 (61) 의 내면과 제 3 통체 (70) 의 외면에서 선택적으로 포집되기 때문에, 정제 후의 회수 작업이 용이해진다.Further, according to the refining apparatus 1, since the material for the organic EL device is selectively collected on the inner surface of the second inner cylinder 61 and the outer surface of the third cylinder 70, the recovery operation after purification can be facilitated.

정제 장치 (1) 에 의하면, 제 3 통체의 외면에 형성된 복수의 리브 (711, 712) 에 의해, 제 2 내통체 (61) 의 내면과 제 3 통체 (70) 의 외면 사이에 형성되는 유기 EL 소자용 재료의 유로를, 축 방향으로 연장되는 복수의 분할 유로로 할 수 있다. 그 결과, 유기 EL 소자용 재료는, 분할 유로를 통과하면서 제 2 내통체 (61) 의 내면과, 제 3 통체 (70) 의 외면과, 리브 (711, 712) 의 표면에서 포집되게 된다. 그러므로, 정제 장치 (1) 에 의하면, 유기 EL 소자용 재료의 정제 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.The purifying device 1 is configured such that the plurality of ribs 711 and 712 formed on the outer surface of the third tubular body allow the organic EL The flow path of the material for element can be divided into a plurality of divided flow paths extending in the axial direction. As a result, the material for the organic EL device is collected on the inner surface of the second inner cylinder 61, the outer surface of the third cylinder 70, and the surfaces of the ribs 711 and 712 while passing through the divided flow path. Therefore, according to the refining apparatus 1, the refining efficiency of the material for an organic EL device can be further improved.

정제 장치 (1) 에 의하면, 복수의 리브 (711, 712) 는, 제 3 통체 (70) 의 외면으로부터 제 2 내통체 (61) 의 내면을 향해 돌출되는 방향이, 제 3 통체 (70) 의 상류측으로부터 하류측을 향하는 도중에 상이해지도록 형성되어 있기 때문에, 분할 유로를 사행시킨 형상으로 할 수 있다. 그 결과, 유기 재료는 당해 분할 유로를 사행하면서 하류측을 향해 흐르기 때문에, 제 2 내통체 (61) 내면과, 제 3 통체 (70) 외면과, 리브 (711, 712) 표면에서 더욱 포집되기 쉬워진다. 그러므로, 정제 장치 (1) 에 의하면, 유기 재료의 정제 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.The plurality of ribs 711 and 712 are arranged in such a manner that the direction in which the ribs 711 and 712 protrude from the outer surface of the third cylinder 70 toward the inner surface of the second inner cylinder 61, And is formed so as to be different on the way from the upstream side toward the downstream side. As a result, since the organic material flows toward the downstream side while meandering the divided flow path, it is more likely to be collected at the inner surface of the second inner cylinder 61, the outer surface of the third cylinder 70, and the surfaces of the ribs 711 and 712 Loses. Therefore, the purification apparatus 1 can further improve the purification efficiency of the organic material.

<제 2 실시형태>&Lt; Second Embodiment >

다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 유기 EL 소자용 재료의 정제 장치에 대해 설명한다.Next, an apparatus for purifying an organic EL device material according to a second embodiment of the present invention will be described.

또한, 이하의 설명에서는, 이미 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하여 그 설명을 생략 또는 간락하게 한다.In the following description, the same portions as those already described are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted or made coarse.

도 8 에는 제 2 실시형태에 관련된 유기 재료의 정제 장치가 구비한 제 2 내통체 (67) 의 사시도가 나타나고, 도 9 에는 제 2 내통체 (67) 내부에 배치되는 제 3 통체 (72) 의 사시도가 나타나 있다.8 shows a perspective view of the second internal cylinder 67 provided in the organic material refining apparatus according to the second embodiment. Fig. 9 shows a perspective view of the third cylindrical body 72 disposed inside the second internal cylinder 67 A perspective is shown.

제 2 내통체 (67) 는 제 1 실시형태의 제 2 내통체 (61) 와 형상은 거의 동일하지만, 제 2 내통체 (67) 는 2 개로 분할 가능하게 형성되어 있는 점에서 상이하다.The second inner cylinder 67 is substantially identical in shape to the second inner cylinder 61 of the first embodiment, but differs in that the second inner cylinder 67 is divided into two.

포집 면적 확대 부재로서의 제 3 통체 (72) 는 제 1 실시형태의 제 3 통체 (70) 와 형상은 거의 동일하지만, 제 3 통체 (72) 는 2 개로 분할 가능하게 형성되어 있는 점에서 상이하다.The third cylinder 72 as the collection area increasing member is substantially the same in shape as the third cylinder 70 of the first embodiment, but differs in that the third cylinder 72 is divided into two.

그 외의 점에 있어서는, 제 1 실시형태의 정제 장치 (1) 와 거의 동일하기 때문에 설명을 생략 또는 간락하게 한다.In other respects, since the purification apparatus 1 of the first embodiment is substantially the same as the purification apparatus 1 of the first embodiment, the description is omitted or made to be intermittent.

도 8 에 나타내는 바와 같이, 원통상의 제 2 내통체 (67) 는 축 방향을 따라 2 개로 분할된 반원체 (671) 와 반원체 (672) 가 힌지 등의 연결구 (673) 로 연결되어 있다. 2 개의 반원체 (671, 672) 를 조합하여 원통상으로 했을 때에는, 연결구 (673) 는 제 2 내통체 (67) 의 외면에 위치한다.As shown in Fig. 8, the cylindrical second internal cylinder 67 is connected to the semi-cylindrical body 671 and the semi-cylindrical body 672, which are divided into two along the axial direction, by a connecting hole 673 such as a hinge. When the two half bodies 671 and 672 are combined to form a cylindrical shape, the connecting hole 673 is located on the outer surface of the second inner cylinder 67.

도 9 에 나타내는 바와 같이, 원통상의 제 3 통체 (72) 도 동일하게 축 방향을 따라 2 개로 분할된 반원체 (721) 와 반원체 (722) 가 힌지 등의 연결구 (723) 로 연결되어 있다. 2 개의 반원체 (721, 722) 를 조합하여 원통상으로 했을 때에는, 연결구 (723) 는 제 3 통체 (72) 의 내면에 위치한다. 리브 (711) 는 반원체 (721, 722) 에 대해 비스 등에 의해 착탈 가능하게 장착되어 있다.As shown in Fig. 9, the cylindrical third cylinder 72 is also connected to the semispherical body 721 and the semispherical body 722, which are divided into two along the axial direction, by a connecting hole 723 such as a hinge . When the two semi-cylinders 721 and 722 are combined and cylindrically formed, the connecting port 723 is located on the inner surface of the third cylinder 72. The ribs 711 are detachably attached to the semispherical bodies 721 and 722 by screws or the like.

유기 EL 소자용 재료를 정제할 때는, 2 개의 반원체 (671, 672) 를 조합하여 제 2 내통체 (67) 로 하고, 2 개의 반원체 (721, 722) 를 조합하여 제 3 통체 (72) 로 하고, 제 2 내통체 (67) 내부에 제 3 통체 (72) 를 삽입하고, 리브 (711) 의 단부를 제 2 내통체 (67) 의 내면에 도시하지 않은 비스 등으로 고정시킨다.The material for the organic EL device is purified by combining the two semitransparent members 671 and 672 into a second internal cylindrical body 67 and combining the semi- The third cylinder 72 is inserted into the second inner cylinder 67 and the end of the rib 711 is fixed to the inner surface of the second inner cylinder 67 with a screw or the like not shown.

제 2 실시형태에 관련된 유기 EL 소자용 재료의 정제 장치에 의하면, 제 1 실시형태와 동일한 효과를 발휘하는 것 외에, 다음과 같은 효과를 발휘한다.According to the refining apparatus for a material for an organic EL device according to the second embodiment, besides exerting the same effects as those of the first embodiment, the following effects are exhibited.

제 2 실시형태에 관련된 유기 EL 소자용 재료의 정제 장치에 의하면, 제 2 내통체 (67) 및 제 3 통체 (72) 는 각각으로 분할할 수 있도록, 2 개로 분할 가능하게 형성되어 있다. 그 때문에, 포집면이 통상체인 경우에 비해, 유기 EL 소자용 재료의 회수가 용이해진다.According to the apparatus for purifying an organic EL device material according to the second embodiment, the second inner cylinder 67 and the third cylinder 72 can be divided into two so as to be divided into two. Therefore, the recovery of the material for the organic EL device is easier than in the case where the trapping surface is a normal chain.

또, 리브 (711) 는 반원체 (721, 722) 에 대해 비스 등에 의해 착탈 가능하게 장착되어 있기 때문에, 유기 EL 소자용 재료의 회수가 더욱 용이해진다.Further, since the ribs 711 are detachably attached to the semispherical bodies 721 and 722 with screws or the like, the material for the organic EL element can be more easily recovered.

<제 3 실시형태>&Lt; Third Embodiment >

다음으로, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 유기 EL 소자용 재료의 정제 장치 (1A) 에 대해 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 이미 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하여 그 설명을 생략 또는 간락하게 한다.Next, a refinement apparatus 1A for a material for an organic EL device according to a third embodiment of the present invention will be described. In the following description, the same portions as those already described are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted or made coarse.

도 10 에는, 제 3 실시형태에 관련된 유기 재료의 정제 장치의 단면 개략도가 나타나 있다. 제 3 실시형태에 관련된 유기 EL 소자용 재료의 정제 장치 (1A) 는, 제 2 내통체 (61) 내부에 배치되는 포집 면적 확대 부재의 형상이 상기 실시형태와 상이하다. 그 이외의 점에 대해서는 거의 동일하기 때문에 설명을 생략 또는 간락하게 한다.Fig. 10 shows a schematic cross-sectional view of an apparatus for purifying an organic material according to the third embodiment. The refining apparatus 1A of the material for an organic EL device according to the third embodiment differs from the above embodiment in the shape of the collecting area expanding member disposed inside the second inner cylinder 61. [ Since the other points are almost the same, the description is omitted or made to be relaxed.

정제 장치 (1A) 에서 사용되는 포집 면적 확대 부재는, 제 2 내통체 (61) 의 축 방향을 따라 연장되는 복수의 판상 부재 (81) 를 격자상으로 조합한 격자 부재 (80) 이다.The collection area expanding member used in the purification apparatus 1A is a lattice member 80 in which a plurality of plate members 81 extending along the axial direction of the second inner cylinder 61 are combined in a lattice.

도 11 에는, 상기 제 3 실시형태에 관련된 정제 장치의 포집기 (6) 의 단면 개략도가 나타나 있다.Fig. 11 shows a schematic cross-sectional view of the trapping device 6 of the purifier according to the third embodiment.

도 11 에 나타나 있는 바와 같이, 격자 부재 (80) 는 대략 수평 방향에 걸쳐서 배치된 복수의 판상 부재 (81) 와, 대략 수직 방향에 걸쳐서 배치된 복수의 판상 부재 (81) 가 격자상으로 조합되어 형성되어 있다. 각 판상 부재 (81) 의 단부는 제 2 내통체 (61) 의 내면에 맞닿는다.As shown in Fig. 11, the lattice member 80 includes a plurality of plate members 81 arranged in a substantially horizontal direction and a plurality of plate members 81 arranged in a substantially vertical direction in a lattice form Respectively. The end portions of the plate members 81 are in contact with the inner surface of the second inner cylinder 61.

격자 부재 (80) 에 의해서도, 제 2 내통체 (61) 의 내부의 유기 EL 소자용 재료의 유로는, 축 방향으로 연장되는 복수의 분할 유로로 할 수 있다. 또, 포집실 (R1, R2, R3) 도 격자 부재 (80) 에 의해 다수의 작은 방 (허니컴상) 으로 구획된다.The flow path of the material for the organic EL element inside the second inner cylinder 61 can be a plurality of divided flow paths extending in the axial direction by the grid member 80 as well. Also, the trapping chambers R1, R2, and R3 are partitioned into a plurality of small chambers (honeycomb) by the lattice member 80. [

또한, 상기 서술한 바와 같이, 제 2 내통체 (61) 가 3 개의 포집통체로 분할 가능한 것에 수반하여, 격자 부재 (80) 도 포집통체 (61A, 61B, 61C) 와 함께 3 개의 격자 부재로 분할 가능하게 형성되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는 격자 부재 (80) 의 상류측에는, 제 1 실시형태와 같은 봉지통체 (65) 를 장착하지 않고, 제 2 내통체 (61) 의 단면 중앙부를 유통하는 기화된 유기 EL 소자용 재료를 격자 부재 (80) 의 다수의 작은 방 내에 도입시킨다.As described above, as the second inner cylinder 61 can be divided into three collection cylinders, the grid member 80 is divided into three grid members together with the collection cylinders 61A, 61B and 61C Respectively. In this embodiment, the sealing cylinder 65 as in the first embodiment is not mounted on the upstream side of the lattice member 80, and the vaporized organic EL element for the vaporized organic EL element Thereby introducing the material into the plurality of small chambers of the grid member (80).

제 3 실시형태에 관련된 유기 EL 소자용 재료의 정제 장치 (1A) 에 의하면, 다음과 같은 효과를 발휘한다.According to the refinement apparatus 1A for a material for an organic EL device according to the third embodiment, the following effects are exhibited.

정제 장치 (1A) 에 의하면, 포집 면적 확대 부재로서의 격자 부재 (80) 가 제 2 내통체 (61) 의 내부에 배치되어 있다. 그 때문에, 제 2 내통체 (61) 의 내부의 유기 EL 소자용 재료의 유로는 축 방향으로 연장되는 복수의 분할 유로로 할 수 있다. 그 결과, 유기 EL 소자용 재료는 제 2 내통체 (61) 의 내면과 격자 부재 (80) 외면 사이의 유로나, 격자 부재 (80) 의 판상 부재 (81) 끼리로 둘러싸인 유로를 흘러, 제 2 내통체 (61) 의 내면이나 판상 부재 (81) 표면에서 효율적으로 포집된다. 또, 제 2 내통체 (61) 의 축 방향을 향해 연장되는 당해 유로를 통과하기 때문에, 유기 EL 소자용 재료를 단시간에 효율적으로 하류측에 유통시킬 수 있다.According to the refinement apparatus 1A, the lattice member 80 serving as the trapping area enlarging member is disposed inside the second inner cylinder 61. Therefore, the flow path of the material for the organic EL element inside the second inner cylinder 61 can be a plurality of divided flow paths extending in the axial direction. As a result, the material for the organic EL device flows through the flow path between the inner surface of the second inner cylinder 61 and the outer surface of the lattice member 80 and the lattice member 80 of the lattice member 80, And is effectively collected on the inner surface of the inner cylinder 61 and on the surface of the sheet member 81. Further, since the organic EL device material passes through the flow path extending toward the axial direction of the second inner cylinder 61, the organic EL element material can be efficiently flowed to the downstream side in a short time.

그러므로, 정제 장치 (1) 에 의하면, 제 2 내통체 (61) 의 내면뿐만 아니라, 격자 부재 (80) 의 표면에 있어서도 유기 EL 소자용 재료를 포집할 수 있어 정제 효율을 향상시킬 수 있다.Therefore, according to the refining apparatus 1, the organic EL element material can be collected not only on the inner surface of the second inner cylinder 61 but also on the surface of the grid member 80, thereby improving the purification efficiency.

또, 정제 장치 (1A) 에 의하면, 격자 부재 (80) 는 판상 부재 (81) 를 조합하여 구성되어 있기 때문에, 유기 EL 소자용 재료의 정제 후, 격자 부재 (80) 를 분해하여 복수의 판상 부재 (81) 로 하고서 회수하면, 회수 작업의 효율화를 도모할 수 있다.Further, according to the refining apparatus 1A, since the grid member 80 is formed by combining the sheet members 81, after the organic EL element material is purified, the grid member 80 is disassembled to form a plurality of sheet- (81) and recovered, the efficiency of the recovery operation can be improved.

<실시형태의 변형><Modification of Embodiment>

또한, 본 발명은, 상기 서술한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 범위에서 이하에 나타내는 변형 등도 포함한다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes modifications and the like which are described below within the scope of achieving the object of the present invention.

포집 면적 확대 부재로는, 상기 실시형태에서 설명한 양태에 한정되지 않는다.The collection area enlarging member is not limited to the embodiment described in the above embodiment.

예를 들어, 상기 제 3 실시형태에서 설명한 바와 같은 격자 부재 (80) 의 구성을 다음과 같이 변경해도 된다. 도 12 에는, 실시형태의 변형예에 관련된 포집 면적 확대 부재로서의 격자 부재 (80A) 의 형상을 설명하는 사시도가 나타나 있다.For example, the configuration of the grid member 80 as described in the third embodiment may be changed as follows. 12 is a perspective view for explaining the shape of the grating member 80A as a collecting area increasing member related to a modification of the embodiment.

도 12 에 나타내는 바와 같이, 격자 부재 (80A) 는 대략 수직 방향에 걸쳐서 배치된 복수의 종판 부재 (82) 로 구성되는 영역 (S1) 과, 대략 수평 방향에 걸쳐서 배치된 복수의 횡판 부재 (83) 로 구성되는 영역 (S2) 을, 제 2 내통체 (61) 의 축 방향에 있어서 교대로 형성한 형상으로 해도 된다. 이와 같은 격자 부재 (80A) 를 제 2 내통체 (61) 의 내부에 배치하고, 제 2 내통체 (61) 의 상류측으로부터 하류측을 향하여 보면, 도 13 에 나타내는 단면도와 같이, 격자상으로 종판 부재 (82) 와 횡판 부재 (83) 가 배치되어 있다.12, the lattice member 80A includes a region S1 composed of a plurality of vertical plate members 82 arranged substantially in the vertical direction, a plurality of horizontal plate members 83 arranged substantially in the horizontal direction, May be alternately formed in the axial direction of the second inner cylinder 61. In this case, When the lattice member 80A as described above is disposed inside the second inner cylinder 61 and is viewed from the upstream side to the downstream side of the second inner cylinder 61 as shown in the cross-sectional view of Fig. 13, A member 82 and a transverse plate member 83 are disposed.

격자 부재 (80A) 를 제 2 내통체 (61) 의 내부에 배치하면, 유기 EL 소자용 재료는 제 2 내통체 (61) 와 종판 부재 (82) 사이 또는 종판 부재 (82) 끼리의 사이를 유통하고, 영역 (S1) 을 통과하고, 그 후 영역 (S2) 으로 흘러 든다. 영역 (S2) 에서는, 유기 EL 소자용 재료는 제 2 내통체 (61) 와 횡판 부재 (83) 사이 또는 횡판 부재 (83) 끼리의 사이를 유통하고, 영역 (S2) 을 통과하고, 그 후 다음에 형성된 영역 (S1) 으로 흘러 든다. 그 때문에, 유기 EL 소자용 재료는 영역 (S1) 으로부터 영역 (S2) 으로 흘러들 때에 사행한다. 그 결과, 유기 EL 소자용 재료를 제 2 내통체 (61) 의 내면이나 격자 부재 (80A) 의 표면에 의해 접촉하기 쉽게 할 수 있다. 그러므로, 격자 부재 (80A) 를 배치함으로써 정제 효율을 향상시킬 수 있다. 또, 격자 부재 (80A) 도 종판 부재 (82) 와 횡판 부재 (83) 로 분할 가능하게 조립하고, 정제 후에 분해하여 유기 EL 소자용 재료를 회수하는 것이 바람직하다.When the grid member 80A is disposed inside the second inner cylinder 61, the material for the organic EL element is distributed between the second inner cylinder 61 and the end plate member 82 or between the end plate members 82 Passes through the region S1, and then flows into the region S2. In the region S2, the organic EL element material flows between the second inner cylinder 61 and the transverse plate member 83 or between the transverse plate members 83, passes through the region S2, And then flows into the region S1 formed in the substrate. Therefore, the material for the organic EL device meanders when flowing from the region S1 to the region S2. As a result, the material for the organic EL device can easily contact the inner surface of the second inner cylinder 61 or the surface of the grid member 80A. Therefore, the purification efficiency can be improved by disposing the grid members 80A. It is also preferable that the grating member 80A is also assembled in such a manner that the grating member 80 can be divided into the end plate member 82 and the transverse plate member 83 and is decomposed after purification to recover the material for the organic EL device.

포집 면적 확대 부재로서의 제 3 통체는 상기 실시형태에서 설명한 바와 같은 원통상체에 한정되지 않는다. 그 밖에, 단면 타원상의 통체, 단면 다각형 (삼각형, 사각형, 오각형, 팔각형 등) 등의 형상으로 할 수 있다.The third cylinder as the collection area increasing member is not limited to the cylindrical member as described in the above embodiment. In addition, it can be formed into a shape such as a cross-section elliptical cylinder, a cross-section polygon (triangular, rectangular, pentagonal, octagonal, etc.).

또, 포집 면적 확대 부재로는, 도 14 에 나타내는 바와 같이 제 2 내통체 (61) 의 축 방향을 따라 연장되는 판상 부재 (90) 를 교차시킨 형상이어도 된다. 도 14 에는, 제 2 내통체 (61) 내부의 상하 방향에 걸쳐서 배치된 종판 부재 (91) 와, 좌우 방향에 걸쳐서 배치된 횡판 부재 (92) 가 십자상으로 교차하고 있는 판상 부재 (90) 가 나타나 있다. 이와 같은 판상 부재 (79) 에 의해서도, 유기 EL 소자용 재료의 유로를 4 개의 분할 유로로 할 수 있기 때문에, 상기 서술한 바와 동일하게 정제 효율을 향상시킬 수 있다.As shown in Fig. 14, the trapping area enlarging member may be formed by crossing the plate-shaped member 90 extending along the axial direction of the second inner cylinder 61. 14 shows an end plate member 91 arranged in the vertical direction inside the second inner cylinder 61 and a plate member 90 crosswise crossing the horizontal plate member 92 arranged in the lateral direction Is shown. Since the flow path of the material for the organic EL device can be divided into four divided flow paths by such a plate member 79, the purification efficiency can be improved as described above.

상기 실시형태에서는, 내통체 (21) 및 외통체 (22) 가 원통상인 경우를 예로 들어 설명했지만, 예를 들어 상자상, 통상, 탱크형, 입방체형 등의 임의의 형상을 들 수 있다. 또, 내통체 (21) 및 외통체 (22) 의 단면 형상으로는 원형, 사각형, 반원형 등의 형상을 들 수 있다. 또, 그 단면 형상은 일정해도 되고, 또 부분적으로 단면 형상이 상이해도 된다. 또, 내통체 (21) 와 외통체 (22) 가 동일한 단면 형상이 아니어도 된다.Although the inner cylinder 21 and the outer cylinder 22 are cylindrical in the above-described embodiment, for example, any shape such as a box, a tank, a cube, and the like can be used. The cross-sectional shape of the inner cylinder 21 and the outer cylinder 22 may be circular, rectangular, semicircular, or the like. The cross-sectional shape may be constant or may be partially different from the cross-sectional shape. In addition, the inner cylinder 21 and the outer cylinder 22 may not have the same cross-sectional shape.

또, 상기 실시형태에서는, 제 2 내통체 (61) 를 3 개의 포집통체로 구성하는 양태를 예로 들어 설명했지만, 이와 같은 양태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 일체로 형성된 제 2 내통체를 사용해도 된다.In the above-described embodiment, the second inner cylinder 61 is formed by three capture cylinders. However, the present invention is not limited to such an embodiment. For example, a second inner cylinder formed integrally may be used.

또, 상기 실시형태에서는, 장치 본체 (2) 가 외통체 (22) 의 내부에 내통체 (21) 를 수용시킨 구조를 예로 들어 설명했지만, 이와 같은 양태에 한정되지 않고, 외통체 (22) 를 형성하지 않고 내통체 (21) 의 내부에 포집 면적 확대 부재를 배치한 양태로 해도 된다.Although the above embodiment has been described by taking the structure in which the apparatus main body 2 accommodates the inner cylinder 21 in the outer cylinder 22 as an example, The trapping area enlarging member may be disposed inside the inner cylinder 21 without forming the trapping area enlarging member.

상기 제 2 실시형태에서는, 제 2 내통체 (67) 및 제 3 통체 (72) 는 2 개로 분할 가능하게 형성되어 있지만, 이것에 한정되지 않고 더욱 미세하게 분할 가능하게 형성되어 있어도 된다.In the second embodiment, the second inner cylinder 67 and the third cylinder 72 are formed so as to be divisible into two, but the present invention is not limited thereto but may be formed to be more finely divisible.

상기 실시형태에서는, 유기 EL 소자용 재료에 대해 불활성인 재질로서 주로 석영 유리를 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 불활성 금속으로서 스테인리스, 탄탈, 텅스텐, 몰리브덴, 티탄 등을 사용할 수 있고, 세라믹스로서 석영, 지르코니아, 알루미나, 질화 붕소, 질화 규소 등을 사용할 수 있다. 그 외에 카본, 테프론 (등록 상표) 등도 사용할 수 있다.In the above-described embodiment, mainly quartz glass is used as a material which is inactive to the material for the organic EL device, but the present invention is not limited to this. For example, stainless steel, tantalum, tungsten, molybdenum, titanium and the like can be used as the inert metal, and quartz, zirconia, alumina, boron nitride, silicon nitride and the like can be used as the ceramics. In addition, carbon and Teflon (registered trademark) may be used.

또, 장치 본체의 재질은 전체가 유기 EL 소자용 재료에 대해 불활성인 재질 인 경우에 한정되지 않는다. 유기 EL 소자용 재료가 접촉하는 부위에 대해 당해 불활성인 재질로 구성하고, 그 이외의 부위에 대해서는 그 밖의 재질로 구성할 수도 있다.Further, the material of the apparatus main body is not limited to the case where the material is inactive for the entire organic EL element-use material. It may be made of a material that is inactive with respect to a portion where the material for the organic EL device contacts, and other materials may be formed in other portions.

기화기 (5) 및 포집기 (6) 를 가열하기 위한 가열 수단이나 가열 방법은, 상기 실시형태에서 설명한 것에 한정되지 않는다. 가열 방법으로는, 저항 가열법 (금속계, 비금속계 등), 광 가열법 (적외선 가열법, 아크 복사 가열, 레이저 복사 가열 등), 유도 가열법, 플라즈마 가열법, 아크 가열법, 프레임 가열법 등을 들 수 있다. 예를 들어, 유도 가열법으로 가열하는 경우에는, 기화기 및 포집기의 재질을 스테인리스 등의 전자 (電磁) 유도에 의해 발열하는 재질로 구성한다.The heating means and the heating method for heating the vaporizer 5 and the collecting device 6 are not limited to those described in the above embodiments. Examples of the heating method include a resistance heating method (metal system, nonmetal system, etc.), a light heating method (infrared heating method, arc radiation heating, laser radiation heating and the like), an induction heating method, a plasma heating method, . For example, in the case of heating by the induction heating method, the material of the vaporizer and the collector is made of a material that generates heat by electromagnetic induction such as stainless steel.

상기 실시형태에서는, 포집기 (6) 의 제 2 내통체 (61) 가 3 개의 포집실 (R1, R2, R3) 로 나누어져 있는 예를 들어 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다. 장치 본체의 크기에 따르기도 하지만, 포집실의 수를 늘리고 보다 다단계의 온도 설정으로 포집함으로써, 보다 고순도의 유기 EL 소자용 재료를 얻기 쉽다.In the above embodiment, the second inner cylinder 61 of the collector 6 is divided into three collection chambers R1, R2, and R3. However, the present invention is not limited to this. Although it depends on the size of the apparatus main body, it is easy to obtain a material for an organic EL device with a higher purity by increasing the number of the collection chambers and collecting it in a more multi-stage temperature setting.

포집기 (6) 의 각 포집실 (R1, R2, R3) 에 대한 가열 온도의 설정은 상기 실시형태에서 설명한 것에 한정되지 않는다.The setting of the heating temperature for each of the trapping chambers R1, R2, and R3 of the trapping device 6 is not limited to that described in the above embodiment.

상기 실시형태에서는, 수용부 (54) 에 분말상의 유기 EL 소자용 재료를 수용하고, 이것을 기화시켜 정제했지만, 수용부 (54) 에 액체상의 재료를 수용하고, 이것을 기화시켜 정제해도 된다.In the above embodiment, the powdered organic EL element material is contained in the housing portion 54 and is refined by vaporizing it. However, the liquid portion may be contained in the housing portion 54 and then refined by vaporizing it.

본 발명의 정제 장치에서 정제되는 유기 재료는, 유기 EL 소자용 재료에 한정되지 않는다. 또, 본 발명의 정제 장치에서 정제된 유기 재료를, 반복 정제 하여 더욱 순도를 높여도 된다.The organic material to be purified in the refining apparatus of the present invention is not limited to the material for the organic EL device. Further, the purified organic material may be repeatedly purified in the purification apparatus of the present invention to further increase the purity.

산업상 이용가능성Industrial availability

본 발명은 유기 EL 소자용 재료 등의 유기 재료의 정제에 이용할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for the purification of an organic material such as a material for an organic EL device.

1 : 유기 재료의 정제 장치
3 : 진공 펌프 (배기 장치)
5 : 기화기
51 : 제 1 내통체 (제 1 통체)
53 : 가열 히터
6 : 포집기
61 : 제 2 내통체 (제 2 통체)
63 : 온도 조정 히터
70 : 제 3 통체 (포집 면적 확대 부재)
711, 712 : 리브
80 : 격자 부재 (포집 면적 확대 부재)
R1, R2, R3 : 포집실1: Purification device of organic material
3: Vacuum pump (exhaust system)
5: Carburetor
51: first inner cylinder (first cylinder)
53: Heating heater
6: Collector
61: second inner cylinder (second cylinder)
63: Temperature adjusting heater
70: Third cylinder (collection area enlargement member)
711, 712: rib
80: Grating member (collecting area enlarging member)
R1, R2, R3: Collection chamber

Claims (11)

내부에 유기 재료가 공급되는 제 1 통체, 및 이 제 1 통체의 외측에 배치되고, 공급된 유기 재료를 기화시키는 가열 히터를 구비한 기화기와,
상기 기화기의 상기 제 1 통체와 연통하는 제 2 통체, 및 이 제 2 통체의 외측에 배치되어, 상기 제 2 통체의 온도를 조정하는 온도 조정 히터를 구비하고, 상기 기화기로 기화시킨 기체상의 유기 재료를 상기 제 2 통체의 내면에서 포집하는 포집기와,
상기 제 2 통체의 내부에 배치되어 상기 제 2 통체의 축 방향을 따라 연장되는 면을 가지고, 상기 기체상의 유기 재료와의 접촉 면적을 증가시키는 포집 면적 확대 부재와,
상기 포집기의 하류측 단부에 접속된 배기 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.A vaporizer provided on the outside of the first cylinder and having a heating heater for vaporizing the supplied organic material;
A second cylinder communicating with the first cylinder of the carburetor; and a temperature adjusting heater disposed outside the second cylinder for adjusting a temperature of the second cylinder, wherein the gas-phase organic material vaporized by the vaporizer A second collecting unit for collecting the first fluid,
A collecting area enlarging member which is disposed inside the second cylinder and has a face extending along the axial direction of the second cylinder and increases a contact area with the organic material on the base body;
And an exhaust device connected to the downstream end of the trapping device. 제 1 항에 있어서,
상기 포집 면적 확대 부재는 상기 제 2 통체의 단면 중앙부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.The method according to claim 1,
And the trapping area increasing member is disposed at the center of the end face of the second cylinder. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 포집 면적 확대 부재는 통상의 제 3 통체이고,
상기 제 3 통체의 축 방향은 상기 제 2 통체의 축 방향을 따르고 있는 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
The collection area increasing member is a normal third cylinder,
And the axial direction of the third cylinder follows the axial direction of the second cylinder. 제 3 항에 있어서,
상기 제 3 통체의 양단의 개구가 봉지되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.The method of claim 3,
And an opening at both ends of the third cylinder is sealed. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 제 3 통체의 외면에는 상기 제 3 통체의 축 방향에 걸쳐서 연장되는 복수의 리브가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.The method according to claim 3 or 4,
And an outer surface of the third cylinder is provided with a plurality of ribs extending in the axial direction of the third cylinder. 제 5 항에 있어서,
상기 복수의 리브는, 상기 제 3 통체의 외면으로부터 상기 제 2 통체의 내면을 향해 돌출되는 방향이 상기 제 3 통체의 상류측으로부터 하류측을 향하는 도중에서 상이하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.6. The method of claim 5,
Characterized in that the plurality of ribs are formed such that the direction in which the ribs project from the outer surface of the third cylinder toward the inner surface of the second cylinder is different on the way from the upstream side toward the downstream side of the third cylinder / RTI &gt; 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 포집 면적 확대 부재는 상기 제 2 통체의 축 방향을 따라 연장되는 복수의 판상 부재를 조합하여 격자상으로 형성된 격자 부재인 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the trapping area increasing member is a lattice member formed in a lattice pattern by combining a plurality of plate members extending along the axial direction of the second cylinder. 제 3 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 포집 면적 확대 부재는 분할 가능하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.8. The method according to any one of claims 3 to 7,
Wherein the trapping area enlarging member is formed in a dividable manner. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 2 통체는 분할 가능하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.9. The method according to any one of claims 1 to 8,
And the second cylinder is formed in a dividable manner. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 2 통체 및 상기 포집 면적 확대 부재가 불활성 금속 또는 세라믹스로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.10. The method according to any one of claims 1 to 9,
Wherein the second cylinder and the trapping area enlarging member are formed of inert metal or ceramics. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 통체 및 상기 제 2 통체를 내부에 수용하는 외통체를 구비하고,
상기 가열 히터는 상기 제 1 통체 및 상기 외통체의 외측에 배치되고,
상기 온도 조정 히터는 상기 제 2 통체 및 상기 외통체의 외측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 재료의 정제 장치.11. The method according to any one of claims 1 to 10,
And an outer cylinder that houses the first cylinder and the second cylinder therein,
Wherein the heating heater is disposed outside the first cylinder and the outer cylinder,
Wherein the temperature adjusting heater is arranged outside the second cylinder and the outer cylinder.
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