KR20150000327A - Evaporation source and apparatus for depositing having the same - Google Patents

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KR20150000327A
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황인호
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주식회사 선익시스템
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Abstract

Disclosed are an evaporation source and a depositing apparatus including the same, capable of preventing damage on a combination part. According to one aspect of the present invention, provided is the evaporation source which includes a crucible which is extended from the upper side to the outside, includes a first flange in which a plurality of first through holes are separately formed, receives an evaporation material, and discharges an evaporation particle by heating, a nozzle part which is extended from the lower side to the outside, includes a second flange which includes a plurality of through holes to face the first through holes, and sprays the evaporation particle on the substrate, a loop-shaped pressing ring which is arranged on the rear of the second flange and includes a plurality of female screw holes which are separately formed, and a fixing bolt which is screwed to the female screw hole via the first through hole and the second through hole.

Description

증발원 및 이를 구비한 증착장치{Evaporation source and apparatus for depositing having the same}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an evaporation source and a deposition apparatus having the evaporation source,

본 발명은 증발원 및 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 노즐부와 도가니의 체결 및 분리를 자주하더라도 결합부위의 파손없이 장기간 사용할 수 있는 증발원 및 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an evaporation source and a deposition apparatus having the evaporation source. More particularly, the present invention relates to an evaporation source that can be used for a long period of time without breakage of a joining portion even when the nozzle portion and the crucible are often fastened and separated, and a deposition apparatus having the evaporation source.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.BACKGROUND ART Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-light emitting devices that emit light by using an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. A backlight for applying light to a non- Therefore, a lightweight thin flat panel display device can be manufactured.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.A flat panel display device using such an organic electroluminescent device has a fast response speed and a wide viewing angle, and is emerging as a next generation display device. In particular, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착된다.The organic electroluminescent device comprises an organic thin film such as a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. / RTI >

진공열증착법은 진공의 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발원의 도가니를 가열하여 도가니에서 승화되는 유기물을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.In the vacuum thermal evaporation method, a substrate is disposed in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned on a substrate, and a crucible of an evaporation source is heated to deposit an organic material sublimated in the crucible on a substrate .

기판에 대한 증착과정에서 도가니의 증발물질이 소진된 경우, 증발물질을 재충전하기 위해 노즐부에서 도가니를 분리하고 증발물질을 충전한 후 다시 도가니를 증발원에 결합하는 과정을 거치게 되는데, 사용과정에서 노즐부와 도가니의 체결과 분리를 자주하는 경우, 도가니의 결합부위가 느슨해져 결합부위에서 증발입자가 누출되는 문제가 있다.When the evaporation material of the crucible is exhausted in the process of vapor deposition on the substrate, the crucible is separated from the nozzle unit to refill the evaporation material, the evaporation material is charged, and then the crucible is connected to the evaporation source again. When the crucible and the crucible are frequently fastened and separated, there is a problem that the joining portion of the crucible is loosened and the evaporation particles leak from the joining portion.

특히, 노즐부와 도가니를 서로 나사결합하여 결합하는 경우, 나사선이 파손되어 노즐부나 도가니 전체를 교체해야 하는 문제가 있다.
Particularly, when the nozzle unit and the crucible are screwed together, there is a problem that the screw thread is damaged and the nozzle unit or the crucible must be replaced entirely.

대한민국 특허공개공보 제2002-0083128호 (2002.11.01 공개)Korean Patent Publication No. 2002-0083128 (published on November 11, 2002)

본 발명은 노즐부와 도가니의 체결 및 분리를 자주하더라도 결합부위의 파손없이 장기간 사용할 수 있는 증발원 및 이를 구비한 증착장치를 제공하는 것이다.
The present invention provides an evaporation source and a deposition apparatus having the evaporation source that can be used for a long period of time without breakage of a joint part even if the nozzle part and the crucible are often fastened and separated.

본 발명의 일 측면에 따르면, 상단에서 외측으로 연장되고, 복수의 제1 관통홀이 이격되어 형성되는 제1 플랜지가 형성되며, 내부에 증발물질이 수용되어 가열에 따라 증발입자가 방출되는 도가니와; 하단에서 외측으로 연장되고, 상기 복수의 제1 관통홀에 각각 대향하여 복수의 제2 관통홀이 형성되는 제2 플랜지가 형성되며, 상기 증발입자를 기판에 분출하는 노즐부와; 상기 제2 플랜지의 후단에 배치되며, 복수의 암나사홀이 이격되어 형성되는 고리 형상의 가압링과; 상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀을 관통하여 상기 암나사홀에 나사결합되는 고정볼트를 포함하는, 증발원이 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a honeycomb structure including: a crucible having a first flange extending outward from an upper end thereof, the first flange being spaced apart from the first through hole and having evaporated material therein, ; A nozzle portion extending outward from a lower end of the substrate and having a plurality of second through-holes facing the plurality of first through-holes, the second flange being formed on the substrate; An annular pressing ring disposed at a rear end of the second flange and spaced apart from the plurality of female threads; And a fixing bolt threaded through the first through hole and the second through hole and screwed into the female screw hole.

상기 도가니의 상단과 상기 노즐부의 하단 사이에는 고리 형상의 실링 부재가 개재될 수 있다.An annular sealing member may be interposed between the upper end of the crucible and the lower end of the nozzle unit.

상기 실링 부재는 탄성력을 갖는 금속 재질로 이루어지는 메탈 스프링 가스켓(metal spring gasket)일 수 있다.The sealing member may be a metal spring gasket made of a metal material having elasticity.

상기 도가니의 상단과 상기 노즐부의 하단 중 어느 하나 이상에는 상기 실링 부재가 맞물리는 고리 형상의 실링홈이 마련될 수 있다.An annular sealing groove may be formed at one or more of the upper end of the crucible and the lower end of the nozzle unit to engage with the sealing member.

상기 고리 형상의 상기 가압링은, 복수 개로 분절될 수 있다.The annular pressing ring can be divided into a plurality of portions.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 증발물질을 증발시켜 기판에 증발입자를 증착하는 증착장치로서, 상기 기판이 내부에 안착되는 진공챔버와; 상기 기판에 대향하여 배치되는 상기 증발원을 포함하는, 증착장치가 제공된다.
According to another aspect of the present invention, there is provided a deposition apparatus for depositing evaporation particles on a substrate by evaporating the evaporation material, comprising: a vacuum chamber in which the substrate is placed; And the evaporation source disposed opposite to the substrate.

본 발명의 실시예에 따르면, 노즐부와 도가니의 체결 및 분리를 자주하더라도 결합부위의 파손없이 도가니를 장기간 사용할 수 있다.
According to the embodiment of the present invention, the crucible can be used for a long time without breakage of the joint portion even if the nozzle portion and the crucible are often fastened and separated.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원을 구비한 증착장치를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 분해 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 결합 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 가압링의 사시도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증발원의 사시도.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증발원의 결합 단면도.1 illustrates a deposition apparatus having an evaporation source according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded cross-sectional view of an evaporation source according to an embodiment of the present invention;
3 is an assembled sectional view of an evaporation source according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of a pressurizing ring of an evaporation source according to an embodiment of the present invention;
5 is a perspective view of an evaporation source according to another embodiment of the present invention.
6 is an assembled cross-sectional view of an evaporation source according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명에 따른 증발원 및 이를 구비한 증착장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Hereinafter, embodiments of an evaporation source and a deposition apparatus having the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like reference numerals designate like or corresponding components A duplicate description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원을 구비한 증착장치를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 분해 단면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 결합 단면도이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 가압링의 사시도이다.FIG. 1 is a view illustrating a deposition apparatus having an evaporation source according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an exploded cross-sectional view of an evaporation source according to an embodiment of the present invention. Fig. 4 is a perspective view of a pressurizing ring of an evaporation source according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4에는, 기판(10), 증발원(12), 증발물질(14), 제1 관통홀(16), 제1 플랜지(18), 도가니(20), 제2 관통홀(22), 제2 플랜지(24), 노즐부(26), 가압링(28), 암나사홀(30), 고정볼트(32), 실링 부재(33), 실링홈(34), 이송관(36), 확산관(38), 분사용 노즐(40), 증발입자(42), 진공챔버(44), 안착부(46)가 도시되어 있다.1 to 4 show an embodiment in which the substrate 10, the evaporation source 12, the evaporation material 14, the first through hole 16, the first flange 18, the crucible 20, the second through hole 22, The second flange 24, the nozzle portion 26, the pressure ring 28, the female screw hole 30, the fixing bolt 32, the sealing member 33, the sealing groove 34, the transfer tube 36, The diffusion tube 38, the dispensing nozzle 40, the evaporation particles 42, the vacuum chamber 44, and the seating portion 46 are shown.

본 실시예에 따른 증발원(12)은, 상단에서 외측으로 연장되고, 복수의 제1 관통홀(16)이 이격되어 형성되는 제1 플랜지(18)가 형성되며, 내부에 증발물질(14)이 수용되어 가열에 따라 증발입자(42)가 방출되는 도가니(20)와; 하단에서 외측으로 연장되고, 상기 복수의 제1 관통홀(16)에 각각 대향하여 복수의 제2 관통홀(22)이 형성되는 제2 플랜지(24)가 형성되며, 상기 증발입자(42)를 기판(10)에 분출하는 노즐부(26)와; 상기 제2 플랜지(24)의 후단에 배치되며, 복수의 암나사홀(30)이 이격되어 형성되는 고리 형상의 가압링(28)과; 상기 제1 관통홀(16) 및 상기 제2 관통홀(22)을 관통하여 상기 암나사홀(30)에 나사결합되는 고정볼트(32)를 포함하여, 노즐부(26)와 도가니(20)의 체결 및 분리를 자주하더라도 결합부위의 파손없이 장기간 사용할 수 있다.The evaporation source 12 according to the present embodiment includes a first flange 18 extending outward from an upper end thereof and formed with a plurality of first through holes 16 spaced apart from each other, A crucible 20 in which evaporation particles 42 are discharged according to heating; And a second flange 24 extending outward from the lower end and facing the plurality of first through holes 16 and having a plurality of second through holes 22 formed therein, A nozzle unit (26) for jetting onto the substrate (10); An annular pressing ring 28 disposed at a rear end of the second flange 24 and spaced apart from the plurality of female screw holes 30; And a fixing bolt 32 which penetrates through the first through hole 16 and the second through hole 22 and is screwed to the internal thread hole 30 so that the nozzle portion 26 and the crucible 20 It can be used for a long time without breakage of the bonding site even if it is often fastened and separated.

도 1은 본 실시예에 따른 증발원(12)을 구비하는 증착장치를 도시한 도면으로서, 본 실시예에 따르면, 노즐부(26)와 도가니(20)에 나사결합을 위한 나사부를 형성하지 않고 노즐부(26)와 도가니(20)를 밀실하게 체결할 수 있기 때문에, 노즐부(26)와 도가니(20)의 반복적인 체결 및 분리에도 열화가 발생하지 않아 장기간 사용이 가능하다.1 is a view showing a deposition apparatus having an evaporation source 12 according to the present embodiment. According to this embodiment, a screw portion for screw connection is not formed in the nozzle portion 26 and the crucible 20, Since the crucible 20 and the crucible 20 can be tightly coupled to each other, deterioration does not occur in repetitive fastening and detachment of the nozzle portion 26 and the crucible 20, so that the crucible 20 can be used for a long period of time.

이하에서는 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 실시예에 따른 증발원(12) 및 증착장치의 각 구성에 대해 보다 구체적으로 설명하도록 한다.Hereinafter, the constitution of the evaporation source 12 and the deposition apparatus according to the present embodiment will be described in more detail with reference to FIG. 1 to FIG.

진공챔버(44)의 내부는 증발입자(42)의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(10)이 진공챔버(44)의 안착부(46)에 안착되어 진공챔버(44)의 내부에 수용된다. 기판(10)에 대향하는 위치에는 증발원(12)이 배치되고, 가열부(미도시)에 의한 도가니(20)의 가열에 따라 증발물질(14)이 증발되면서 증발입자(42)가 도가니(20)로부터 방출된다. 도가니(20)로부터 방출된 증발입자(42)는 노즐부(26)를 통해 기판(10)에 증착된다.A vacuum atmosphere is maintained in the vacuum chamber 44 for the deposition of the evaporation particles 42 and the substrate 10 is seated in the seating portion 46 of the vacuum chamber 44 and held in the vacuum chamber 44 . An evaporation source 12 is disposed at a position opposite to the substrate 10 and the evaporation material 14 evaporates as the crucible 20 is heated by the heating unit . The evaporated particles 42 emitted from the crucible 20 are deposited on the substrate 10 through the nozzle portion 26.

도가니(20)는, 상단이 개방되고, 내부에 증발물질(14)이 수용되는 용기 형상을 형성되며, 가열부에 의한 도가니(20)의 가열에 따라 증발물질(14)이 증발되어 상단에서 증발입자(42)가 분출된다. 도가니(20)의 상단에서는 외측으로 제1 플랜지(18)가 연장되고, 제1 플랜지(18)에는 복수의 제1 관통홀(16)이 이격되어 형성된다.The crucible 20 has a container shape in which the upper end is opened and the evaporation material 14 is accommodated therein and the evaporation material 14 is evaporated as the crucible 20 is heated by the heating unit, The particles 42 are ejected. A first flange 18 extends outward from the upper end of the crucible 20 and a plurality of first through holes 16 are formed spaced apart from the first flange 18.

증발물질(14)은 고형 성분으로서, 증발물질(14)의 충전이 완료된 증발원(12)은 증발물질(14)을 기화시켜 증발입자(42)를 생성하며, 기화된 증발입자(42)는 노즐부(26)의 분사용 노즐(40)을 통해 기판(10)을 향해 분사된다.The evaporation source 14 is a solid component and the evaporation source 12 in which the evaporation material 14 has been charged has vaporized the evaporation material 14 to generate evaporation particles 42. The evaporation particles 42, Is sprayed toward the substrate (10) through the spray nozzle (40) of the nozzle (26).

도가니(20)는, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 노즐부(26)의 하부에 배치되고, 증발물질(14)이 수용되며 가열에 따라 증발물질(14)이 증발되어 증발입자(42)가 생성되어 상부로 방출될 수 있다.1 to 3, the crucible 20 is disposed at a lower portion of the nozzle portion 26 and accommodates the evaporation material 14 and the evaporation material 14 is evaporated as the heating causes the evaporation particles 42 may be generated and emitted upward.

도가니(20)에 증발물질(14)이 수용된 상태에서 도가니(20)의 외주에 마련되어 있는 가열부에 의해 도가니(20)를 가열하면 도가니(20) 내의 증발물질(14)이 기화 또는 승화되어 생성되는 증발입자(42)가 도가니(20)의 개방된 상단에서 분출된다. 도가니(20)에서 분출되는 증발입자(42)는 노즐부(26)를 통해 기판(10)을 향해 분출된다. When the crucible 20 is heated by the heating unit provided on the outer periphery of the crucible 20 in a state where the evaporation material 14 is accommodated in the crucible 20, the evaporation material 14 in the crucible 20 is vaporized or sublimated Evaporated particles 42 are ejected from the open upper end of the crucible 20. The evaporation particles 42 ejected from the crucible 20 are ejected toward the substrate 10 through the nozzle unit 26. [

노즐부(26)는 도 1에 도시된 바와 같이 진공챔버(44) 내부에 설치되어 기판(10)에 증착을 위한 증발입자(42)를 제공한다. The nozzle unit 26 is installed inside the vacuum chamber 44 as shown in FIG. 1 to provide evaporation particles 42 for deposition on the substrate 10.

노즐부(26)는 기판(10)을 향하여 다수의 분사용 노즐(40)이 형성되며, 그 하단은 도가니(20)와 연결된다. 도가니(20)에서 방출되는 증발입자(42)는 노즐부(26)의 내부에서 다수의 분사용 노즐(40)로 분기되어 분출된다.A plurality of nozzles 40 are formed in the nozzle unit 26 toward the substrate 10 and the lower ends thereof are connected to the crucible 20. The evaporation particles 42 emitted from the crucible 20 are branched into a plurality of spray nozzles 40 in the nozzle unit 26 and sprayed.

도가니(20)와 연결되는 노즐부(26)의 하단에서는 외측으로 제2 플랜지(24)가 연장되고, 제2 플랜지(24)에는 복수의 제1 관통홀(16)에 각각 대향하는 복수의 제2 관통홀(22)이 이격되어 형성된다. 제1 관통홀(16)과 제2 관통홀(22)은 각각 서로 연통되며, 후술한 고정볼트(32)의 볼트몸체가 제1 관통홀(16) 및 제2 관통홀(22)을 관통된다. A second flange 24 extends outward from the lower end of the nozzle portion 26 connected to the crucible 20 and a plurality of second flanges 24 opposed to the plurality of first through holes 16 are formed in the second flange 24, 2 through-holes 22 are formed apart from each other. The first through hole 16 and the second through hole 22 communicate with each other and the bolt body of the fixing bolt 32 described later penetrates through the first through hole 16 and the second through hole 22 .

본 실시예에 따른 노즐부(26)는, 도가니(20)와 연통되도록 하단이 도가니(20)의 상단에 결합되는 이송관(36)과, 이송관(36)과 연통되도록 이송관(36)의 상단에 횡방향으로 결합되며, 상측에 길이 방향으로 형성되는 분사용 노즐(40)이 형성되는 확산관(38)으로 구성된다.The nozzle unit 26 according to the present embodiment includes a conveyance pipe 36 whose lower end is coupled to the upper end of the crucible 20 so as to communicate with the crucible 20 and a conveyance pipe 36 communicated with the conveyance pipe 36, And a diffusion tube 38 coupled to the upper end of the showerhead 40 in a transverse direction and having a spray nozzle 40 formed in a longitudinal direction on the upper side thereof.

이송관(36)은, 길이 방향으로 관통부가 형성된 튜브 형태로서, 하단이 도가니(20)의 개방된 상단과 연통되도록 결합될 수 있다. 도가니(20)에서 분출되는 증발입자(42)는 이송관(36)을 통해 확산관(38)으로 안내된다.The transfer pipe 36 may have a tube shape having a penetrating portion in the longitudinal direction, and the lower end may be coupled to the open upper end of the crucible 20. The evaporation particles 42 ejected from the crucible 20 are guided to the diffusion pipe 38 through the transfer pipe 36.

이송관(36)의 하단에는 상술한 제2 플랜지(24)가 형성되며, 도가니(20)의 제1 플랜지(18)와 면접되면서 노즐부(26)와 도가니(20)가 밀실하게 연결된다.The second flange 24 is formed at the lower end of the transfer pipe 36 and the nozzle unit 26 and the crucible 20 are tightly connected to each other while being interfaced with the first flange 18 of the crucible 20.

확산관(38)은, 양단이 막히고 내부에 중공부가 마련된 튜브 형태로서, 이송관(36)의 내부와 확산관(38)의 내부가 서로 연통되도록 이송관(36)의 상단에 횡방향으로 결합된다. 서로 결합된 이송관(36)과 확산관(38)은 대략 T형 상을 갖게 된다. 확산관(38)의 상단에는 확산관(38)의 길이 방향으로 분사용 노즐(40)이 형성된다. The diffusion tube 38 is a tubular type in which both ends are closed and a hollow portion is provided therein and is connected to the upper end of the transfer tube 36 in the lateral direction so that the inside of the transfer tube 36 and the inside of the diffusion tube 38 are communicated with each other. do. The transfer tube 36 and the diffusion tube 38 coupled to each other have a substantially T-shaped phase. At the upper end of the diffusion tube (38), a distribution nozzle (40) is formed in the longitudinal direction of the diffusion tube (38).

분사용 노즐(40)은, 다수의 노즐공이 확산관(38)의 길이 방향으로 이격되어 형성된 형태이거나, 확산관(38)의 길이 방향으로 형성된 긴 슬릿 형태일 수 있다. 본 실시예에서는 분사용 노즐(40)로서 확산관(38)의 길이 방향을 따라 다수의 노즐이 형성된 형태를 제시한다.The spray nozzles 40 may be formed in such a manner that a plurality of nozzle holes are spaced apart from each other in the longitudinal direction of the diffusion tube 38 or may be in the form of long slits formed in the longitudinal direction of the diffusion tube 38. In this embodiment, a plurality of nozzles are formed along the longitudinal direction of the diffusion tube 38 as the spray nozzle 40.

가압링(28)은, 고리 형상으로서, 제2 플랜지(24)의 후단에 배치되며, 고정볼트(32)의 조임에 따라 제2 플랜지(24)의 후단을 가압한다. 가압링(28)에는 복수의 제2 관통홀(22) 각각에 대향하는 복수의 암나사홀(30)이 형성된다. 암나사홀(30)은, 홀의 내면에 나사부가 형성된 형태로서, 고정볼트(32)가 제1 관통홀(16) 및 제2 관통홀(22)을 관통하여 암나사홀(30)에 나사결합되면서 가압링(28)이 제2 플랜지(24)의 후단을 가압하도록 구성된다.The pressing ring 28 is annular and disposed at the rear end of the second flange 24 and presses the rear end of the second flange 24 as the fixing bolt 32 tightens. The presser ring (28) is provided with a plurality of female screw holes (30) opposing each of the plurality of second through holes (22). The female thread hole 30 has a threaded portion formed on the inner surface of the hole so that the fixing bolt 32 is screwed to the female thread hole 30 through the first through hole 16 and the second through hole 22, And the ring 28 is configured to press the rear end of the second flange 24.

본 실시예에서는 가압링(28)이 폐합된 고리 형태를 갖는 것을 제시하고 있으나, 가압링(28)의 설치를 용이하게 하기 위해 고리 형상의 가압링(28)이 복수 개로 분절된 형태를 취할 수 있다. 예를 들면, 반 고리 형태의 가압링(28) 두 개를 고리 형상을 갖도록 제2 플랜지(24) 후단에 배치하여 고정볼트(32)와 나사결합하는 것도 가능하다.In the present embodiment, the pressing ring 28 has a ring shape in which the pressing ring 28 is closed. However, in order to facilitate the mounting of the pressing ring 28, an annular pressing ring 28 may be divided into a plurality of have. For example, it is also possible to arrange two semi-annular pressing rings 28 at the rear end of the second flange 24 so as to have an annular shape and to screw them together with the fixing bolt 32.

고정볼트(32)는, 제1 플랜지(18)의 제1 관통홀(16) 및 제2 플랜지(24)의 제2 관통홀(22)을 관통하여 가압링(28)의 암나사홀(30)에 나사결합된다. 고정볼트(32)의 볼트머리는 제1 플랜지(18)의 후단에 지지되고, 고정볼트(32)의 볼트몸체는 제1 관통홀(16) 및 제2 관통홀(22)을 관통하여 가압링(28)의 암나사홀(30)에 나사결합된다. 고정볼트(32)의 조임에 따라 볼트머리 및 가압링(28)이 제1 플랜지(18)의 후단 및 제2 플랜지(24)의 후단을 각각 가압하여 제1 플랜지(18)와 제2 플랜지(24)가 서로 밀착되면서 도가니(20)와 노즐부(26)가 밀실하게 체결된다.The fixing bolt 32 is inserted through the first through-hole 16 of the first flange 18 and the second through-hole 22 of the second flange 24 and into the female thread hole 30 of the press- As shown in Fig. The bolt head of the fixing bolt 32 is supported at the rear end of the first flange 18 and the bolt body of the fixing bolt 32 passes through the first through hole 16 and the second through hole 22, And is screwed into the female screw hole (30) of the female screw (28). The bolt head and the presser ring 28 press the rear end of the first flange 18 and the rear end of the second flange 24 respectively to fasten the first flange 18 and the second flange 24 The crucible 20 and the nozzle unit 26 are tightly fastened together.

상술한 바와 같이, 노즐부(26)와 도가니(20)에는 나사결합을 위한 나사부가 형성되지 않기 때문에 고정볼트(32)를 가압링(28)에 나사결합하더라도 노즐부(26) 및 도가니(20)에는 손상이 발생하지 않아 장기간 사용할 수 있다.As described above, since the nozzle portion 26 and the crucible 20 are not provided with threaded portions for screw connection, even if the fixing bolt 32 is screwed to the pressure ring 28, the nozzle portion 26 and the crucible 20 ) Is not damaged and can be used for a long time.

한편, 도가니(20)의 상단과 노즐부(26)의 하단 사이에는 고리 형상의 실링 부재(33)가 개재될 수 있다. 고정볼트(32)의 조임에 따라 제1 플랜지(18) 및 제2 플랜지(24)는 서로 밀착되는데 그 사이에 개재된 실링 부재(33)가 압착되면서 노즐부(26)와 도가니(20)를 밀실하게 체결할 수 있다.On the other hand, an annular sealing member 33 may be interposed between the upper end of the crucible 20 and the lower end of the nozzle unit 26. The first flange 18 and the second flange 24 come into close contact with each other as the fixing bolt 32 is tightened and the sealing member 33 sandwiched therebetween is pressed and attached to the nozzle portion 26 and the crucible 20 Can be locked tightly.

실링 부재(33)는 탄성력을 갖는 금속 재질로 이루어지는 메탈 스프링 가스켓(metal spring gasket)일 수 있다.The sealing member 33 may be a metal spring gasket made of a metal having elasticity.

그리고, 노즐부(26)와 도가니(20)의 보다 밀실한 연결을 위하여, 도가니(20)의 상단과 노즐부(26)의 하단 중 어느 하나 이상에는 실링 부재(33)가 맞물리는 고리 형상의 실링홈(34)이 형성될 수 있다. 실링홈(34)은 도가니(20) 상단이나 노즐부(26) 하단 중 어느 하나에 형성되거나 도가니(20) 상단 및 노즐부(26) 하단에 각각 형성될 수 있다. 본 실시예에서는 도가니(20) 상단 및 노즐부(26) 하단에 각각 형성된 형태를 제시한다.The sealing member 33 is engaged with the upper end of the crucible 20 and the lower end of the nozzle unit 26 in order to connect the nozzle unit 26 and the crucible 20 more tightly. A sealing groove 34 may be formed. The sealing grooves 34 may be formed on either the upper end of the crucible 20 or the lower end of the nozzle unit 26 or the upper end of the crucible 20 and the lower end of the nozzle unit 26, respectively. In this embodiment, shapes formed at the upper end of the crucible 20 and the lower end of the nozzle portion 26 are shown, respectively.

실링홈(34)은 실링 부재(33)와 대응되는 형상을 가지면서 실링 부재(33)보다 작은 사이즈로 형성될 수 있으며, 이에 따라 실링 부재(33)가 실링홈(34) 내에 억지끼움(tight fit)되어 도가니(20)와 노즐부(26) 간에 효과적인 밀봉이 가능하다.The sealing grooves 34 may have a shape corresponding to that of the sealing member 33 and may be formed to be smaller than the sealing member 33 so that the sealing member 33 is tightly held in the sealing groove 34 fit so that effective sealing between the crucible 20 and the nozzle portion 26 is possible.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증발원(12)의 사시도이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증발원(12)의 결합 단면도이다. FIG. 5 is a perspective view of an evaporation source 12 according to another embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an assembled cross-sectional view of an evaporation source 12 according to another embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6에는 증발물질(14), 제1 플랜지(18), 도가니(20), 제2 플랜지(24), 노즐부(26), 가압링(28), 고정볼트(32)가 도시되어 있다. 5 and 6 show the evaporation material 14, the first flange 18, the crucible 20, the second flange 24, the nozzle portion 26, the pressurizing ring 28 and the fixing bolt 32, .

본 실시예에 따른 도가니(20)는 상단이 개방되고 긴 박스 형태의 용기 형상이고, 노즐부(26)는 도가니(20)에 상응하여 하단이 개방되고 상부에 분사용 노즐(40)이 형성되는 긴 박스 형태로 형성된다. 이에 따라 노즐부(26)에서 분출되는 증발입자(42)는 선형의 형태로 기판(10)을 향하여 분출된다.The crucible 20 according to the present embodiment has an open top and a long box-shaped container shape. The nozzle portion 26 has a lower end corresponding to the crucible 20 and a dispensing nozzle 40 formed thereon And is formed in a long box shape. The evaporation particles 42 ejected from the nozzle unit 26 are ejected toward the substrate 10 in a linear form.

상기 일 실시예에서와 마찬가지로, 도가니(20)의 상단에는 외측으로 연장되는 제1 플랜지(18)가 형성되며, 제1 플랜지(18)에는 복수의 제1 관통홀이 서로 이격되어 형성된다. 제1 플랜지(18)는 직사각형 형태을 이루게 되며, 복수의 제1 관통홀은 직사각형 형태의 제1 플랜지(18)의 변을 따라 서로 이격되어 형성된다.A first flange 18 extending outward is formed at an upper end of the crucible 20 and a plurality of first through holes are formed in the first flange 18 so as to be spaced apart from each other. The first flange 18 is formed in a rectangular shape, and the plurality of first through holes are formed to be spaced from each other along the sides of the first flange 18 in a rectangular shape.

그리고, 노즐부(26)의 개방된 하단에는 외측으로 제2 플랜지(24)가 연장되고, 제2 플랜지(24)에는 복수의 제1 관통홀에 각각 대향하는 복수의 제2 관통홀이 이격되어 형성된다.A second flange 24 extends outwardly from the lower end of the nozzle portion 26. A plurality of second through holes opposed to the plurality of first through holes are spaced apart from each other in the second flange 24 .

제1 플랜지(18)와 제2 플랜지(24)는 서로 면접되도록 마주하게 되고, 제2 플랜지(24)의 후단에는 제2 플랜지(24)의 형상과 상응하여 사각형 형상의 고리 형태의 가압링(28)이 배치된다. 가압링(28)에는 복수의 제2 관통홀 각각에 대향하는 복수의 암나사홀이 형성된다.The first flange 18 and the second flange 24 face each other so as to face each other and the rear end of the second flange 24 is provided with a rectangular ring- 28 are disposed. The presser ring (28) is provided with a plurality of female screw holes opposed to each of the plurality of second through holes.

본 실시예에서는 가압링(28)이 폐합된 사각형 형상의 고리 형태를 갖는 것을 제시하고 있으나, 상술한 바와 같이, 가압링(28)의 설치를 용이하게 하기 위해 고리 형상의 가압링(28)이 복수 개로 분절된 형태를 취할 수 있다.In the present embodiment, the presser ring 28 has a rectangular ring shape in which the presser ring 28 is closed. However, as described above, in order to facilitate the installation of the presser ring 28, It can take the form of being divided into a plurality of parts.

고정볼트(32)는, 제1 플랜지(18)의 제1 관통홀 및 제2 플랜지(24)의 제2 관통홀을 관통하여 암나사홀에 나사결합된다. 고정볼트(32)의 볼트머리는 제1 플랜지(18)의 후단에 지지되고, 고정볼트(32)의 볼트몸체는 제1 관통홀 및 제2 관통홀을 관통하여 가압링(28)의 암나사홀에 나사결합된다. 고정볼트(32)의 조임에 따라 볼트머리 및 가압링(28)이 제1 플랜지(18)의 후단 및 제2 플랜지(24)의 후단을 각각 가압하여 제1 플랜지(18)와 제2 플랜지(24)가 서로 밀착되면서 도가니(20)와 노즐부(26)가 밀실하게 체결된다.The fixing bolt 32 is screwed into the female screw hole through the first through hole of the first flange 18 and the second through hole of the second flange 24. The bolt head of the fixing bolt 32 is supported at the rear end of the first flange 18 and the bolt body of the fixing bolt 32 passes through the first through hole and the second through hole, As shown in Fig. The bolt head and the presser ring 28 press the rear end of the first flange 18 and the rear end of the second flange 24 respectively to fasten the first flange 18 and the second flange 24 The crucible 20 and the nozzle unit 26 are tightly fastened together.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as set forth in the following claims It will be understood that the invention may be modified and varied without departing from the scope of the invention.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

10: 기판 12: 증발원
14: 증발물질 16: 제1 관통홀
18: 제1 플랜지 20: 도가니
22: 제2 관통홀 24: 제2 플랜지
26: 노즐부 28: 가압링
30: 암나사홀 32: 고정볼트
33: 실링 부재 34: 실링홈
36: 이송관 38: 확산관
40: 분사용 노즐 42: 증발입자
44: 진공챔버 46: 안착부10: substrate 12: evaporation source
14: evaporation material 16: first through hole
18: first flange 20: crucible
22: second through hole 24: second flange
26: nozzle unit 28: pressure ring
30: Female thread hole 32: Fixing bolt
33: sealing member 34: sealing groove
36: transfer tube 38: diffusion tube
40: minute nozzle 42: evaporated particles
44: vacuum chamber 46: seat part

Claims (6)

상단에서 외측으로 연장되고, 복수의 제1 관통홀이 이격되어 형성되는 제1 플랜지가 형성되며, 내부에 증발물질이 수용되어 가열에 따라 증발입자가 방출되는 도가니와;
하단에서 외측으로 연장되고, 상기 복수의 제1 관통홀에 각각 대향하여 복수의 제2 관통홀이 형성되는 제2 플랜지가 형성되며, 상기 증발입자를 기판에 분출하는 노즐부와;
상기 제2 플랜지의 후단에 배치되며, 복수의 암나사홀이 이격되어 형성되는 고리 형상의 가압링과;
상기 제1 관통홀 및 상기 제2 관통홀을 관통하여 상기 암나사홀에 나사결합되는 고정볼트를 포함하는, 증발원.
A crucible having a first flange extending outwardly from an upper end thereof and formed with a plurality of first through holes spaced apart, the evaporation material being contained in the crucible;
A nozzle portion extending outward from a lower end of the substrate and having a plurality of second through holes formed in opposition to the plurality of first through holes, the nozzle portion ejecting the evaporation particles to the substrate;
An annular pressing ring disposed at a rear end of the second flange and spaced apart from the plurality of female threads;
And a fixing bolt threaded through the first through hole and the second through hole and screwed into the female screw hole.
제1항에 있어서,
상기 도가니의 상단과 상기 노즐부의 하단 사이에는 고리 형상의 실링 부재가 개재되는 것을 특징으로 하는, 증발원.
The method according to claim 1,
And an annular sealing member is interposed between the upper end of the crucible and the lower end of the nozzle unit.
제2항에 있어서,
상기 실링 부재는 탄성력을 갖는 금속 재질로 이루어지는 메탈 스프링 가스켓(metal spring gasket)인 것을 특징으로 하는, 증발원.
3. The method of claim 2,
Wherein the sealing member is a metal spring gasket made of a metal material having an elastic force.
제2항에 있어서,
상기 도가니의 상단과 상기 노즐부의 하단 중 어느 하나 이상에는 상기 실링 부재가 맞물리는 고리 형상의 실링홈이 마련되는 것을 특징으로 하는, 증발원.
3. The method of claim 2,
Wherein an annular sealing groove is formed in at least one of an upper end of the crucible and a lower end of the nozzle unit, the sealing member engaging with the sealing member.
제1항에 있어서,
상기 고리 형상의 상기 가압링은, 복수 개로 분절되는 것을 특징으로 하는, 증발원.
The method according to claim 1,
Wherein the ring-shaped pressure ring is divided into a plurality of portions.
증발물질을 증발시켜 기판에 증발입자를 증착하는 증착장치로서,
상기 기판이 내부에 안착되는 진공챔버와;
상기 기판에 대향하여 배치되는 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 증발원을 포함하는, 증착장치.A vapor deposition apparatus for evaporating evaporation material to evaporate evaporation particles on a substrate,
A vacuum chamber in which the substrate is seated;
The evaporation apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the evaporation source is disposed opposite to the substrate.
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