KR20140146447A - Printed circuit board and method for manufacturing of the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법에 관한 것입니다.
The present invention relates to a printed circuit board and a method for manufacturing a printed circuit board.
최근 전자제품은 다기능화 및 고속화의 추세가 빠른 속도로 진행되고 있다. 이런 추세에 대응하기 위해서 반도체 칩 및 반도체 칩이 실장되는 인쇄회로기판도 매우 빠른 속도로 발전하고 있다. 이와 같은 인쇄회로기판은 경박단소화, 미세 회로화, 우수한 전기적 특성, 고신뢰성, 고속 신호전달 등이 요구된다. Recently, trend of multi - functional and high - speed electronic products is progressing at a rapid pace. In order to cope with this trend, printed circuit boards on which semiconductor chips and semiconductor chips are mounted are also developing at a very high speed. Such a printed circuit board is required to have a light weight and short circuit, a fine circuit, excellent electrical characteristics, high reliability, and high-speed signal transmission.
한편, 종래에는 내부에 코어층을 삽입하여 인쇄회로기판의 휨 현상(Warpage)을 방지하는 코어기판이 주로 사용되어 왔다. 그러나 코어기판의 경우, 두께가 두껍고 신호처리시간이 긴 문제점이 (미국공개특허 제20040058136호) 이에 따라, 인쇄회로기판의 발전에 따른 박판화에 대응하기 위하여, 코어층을 제거하여 전체적인 두께를 줄이고, 신호처리시간을 단축할 수 있는 코어리스 기판이 주목받고 있다. 코어리스 기판의 빌드업층을 형성할 때, 층간의 연결을 위해서 비아를 형성한다. 비아 형성은 절연층에 비아홀을 가공하고 비아홀에 비아를 형성한 후, 연마 공정이 수행된다. 또는 비아를 먼저 형성하고 절연층을 형성하더라도 비아의 상면을 노출하기 위한 연마가 수행되어야 한다. 이와 같은 연마 공정은 기판에 스트레스를 부가하게 된다.
Conventionally, a core substrate for preventing warpage of a printed circuit board by inserting a core layer therein has been mainly used. However, in the case of the core substrate, the thickness is thick and the signal processing time is long (US Patent Publication No. 20040058136). Accordingly, in order to cope with thinning of the printed circuit board due to power generation, A coreless substrate capable of shortening a signal processing time has been attracting attention. When forming the build-up layer of the core-less substrate, a via is formed for interlayer connection. The via formation is performed after the via hole is formed in the insulating layer and the via is formed in the via hole, followed by the polishing process. Or even if a via is formed first and an insulating layer is formed, polishing must be performed to expose the top surface of the via. Such a polishing process adds stress to the substrate.
본 발명의 일 측면은 연마 공정을 생략할 수 있는 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법을 제공하는 데 있다.One aspect of the present invention is to provide a printed circuit board and a printed circuit board manufacturing method which can omit the polishing process.
본 발명의 다른 측면은 다양한 개수의 층을 용이하게 제작할 수 있는 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법을 제공하는 데 있다.Another aspect of the present invention is to provide a printed circuit board and a method of manufacturing a printed circuit board which can easily manufacture various numbers of layers.
본 발명의 실시 예에 따르면, 절연층, 절연층 내부에 다수개가 형성되며, 다수개가 상호 적층된 금속 필러 및 절연층에 형성되며, 적층된 금속 필러 사이에 형성된 회로층을 포함하는 인쇄회로기판에 제공된다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a printed circuit board comprising a plurality of insulating layers, a plurality of insulating layers formed in the insulating layer, a plurality of metal fillers formed on the insulating layers and a circuit layer formed between the metal fillers, / RTI >
회로층은 금속 필러 상에 형성되며, 절연층의 일면 및 타면 중 적어도 한 면에 더 형성될 수 있다.The circuit layer is formed on the metal pillar and may be further formed on at least one of the one surface and the other surface of the insulating layer.
절연층의 일면 및 타면 중 적어도 한 면에 형성되며, 회로층을 노출하는 개구부를 포함하는 솔더 레지스트층을 더 포함할 수 있다.And a solder resist layer formed on at least one of the one surface and the other surface of the insulating layer and including an opening exposing the circuit layer.
절연층은 ABF(Ajinomoto Build up Film)로 형성될 수 있다.The insulating layer may be formed of ABF (Ajinomoto Build up Film).
절연층 내부에는 한 층 이상의 내층 회로층이 더 형성될 수 있다.One or more inner layer circuit layers may be further formed in the insulating layer.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 캐리어 기판을 준비하는 단계, 캐리어 기판에 제1 금속 필러를 형성하는 단계, 캐리어 기판에 형성되며, 제1 금속 필러의 일면을 노출하도록 형성되는 제1 절연층을 형성하는 단계, 캐리어 기판을 제거하는 단계 및 제1 절연층 및 제1 금속 필러의 일면 및 타면 중 적어도 하나에 형성된 제1 회로층을 형성하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법에 제공된다.According to another embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of preparing a carrier substrate, forming a first metal filler on a carrier substrate, forming a first insulating layer on the carrier substrate, Forming a first circuit layer on at least one of a first surface and a second surface of the first insulating layer and the first metal filler.
캐리어 기판은 절연 수지 및 절연 수지의 적어도 일면에 형성된 동박을 포함할 수 있다.The carrier substrate may include an insulating resin and a copper foil formed on at least one surface of the insulating resin.
금속 필러를 형성하는 단계는 캐리어 기판의 일면 및 타면 중 적어도 한 면에 형성되며, 제1 개구부를 포함하는 제1 감광성 레지스트를 형성하는 단계, 제1 개구부를 전도성 금속으로 충진하여 제1 금속 필러를 형성하는 단계 및 제1 감광성 레지스트를 제거하는 단계를 포함할 수 있다.The step of forming the metal filler includes the steps of forming a first photosensitive resist, which is formed on at least one surface of the carrier substrate and on the other surface, the first photosensitive resist including a first opening, filling the first opening with a conductive metal, And removing the first photosensitive resist.
제1 절연층을 형성하는 단계는 제1 금속 필러가 삽입되는 개구부가 형성된 제1 절연층을 준비하는 단계 및 제1 금속 필러가 개구부에 삽입되도록 캐리어 기판에 제1 절연층을 적층하는 단계를 포함하되, 캐리어 기판에 적층된 제1 절연층의 일면과 제1 금속 필러의 일면은 동일 선상에 위치할 수 있다.The step of forming the first insulating layer includes the steps of preparing a first insulating layer having an opening through which the first metal filler is inserted, and stacking a first insulating layer on the carrier substrate so that the first metal filler is inserted into the opening One surface of the first insulating layer stacked on the carrier substrate and one surface of the first metal filler may be located on the same line.
제1 회로층을 형성하는 단계는 제1 절연층에 제1 도금층을 형성하는 단계, 제1 도금층 상부에 형성되며, 제1 회로층과 대응되는 영역에 위치하도록 패터닝된 제1 에칭 레지스트를 형성하는 단계, 제1 도금층을 에칭하여 제1 회로층을 형성하는 단계 및 제1 에칭 레지스트를 제거하는 단계를 포함할 수 있다.The step of forming the first circuit layer includes the steps of forming a first plating layer on the first insulating layer, forming a first etching resist patterned on the first plating layer and patterned to be located in a region corresponding to the first circuit layer Etching the first plated layer to form a first circuit layer, and removing the first etch resist.
제1 도금층을 형성하는 단계 이전에 제1 절연층에 무전해 도금 방법으로 제1 시드층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.Forming the first seed layer by an electroless plating method on the first insulating layer before the step of forming the first plating layer.
제1 도금층을 형성하는 단계에서 제1 도금층은 전해 도금 방법으로 형성할 수 있다.In the step of forming the first plating layer, the first plating layer may be formed by an electrolytic plating method.
제1 회로층을 형성하는 단계 이후에 제1 절연층에 형성되며, 제1 회로층을 노출하도록 개구부가 형성된 제1 솔더 레지스트를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.And forming a first solder resist, which is formed on the first insulating layer after the step of forming the first circuit layer, on which the opening is formed to expose the first circuit layer.
제1 회로층을 형성하는 단계 이후에 제1 회로층 상에 제2 금속 필러를 형성하는 단계, 제1 절연층 상에 형성되며, 제2 금속 필러의 일면 또는 타면을 노출하는 제2 절연층을 형성하는 단계 및 제2 절연층 및 제2 금속 필러에 형성되는 제2 회로층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.Forming a second metal filler on the first circuit layer after the step of forming the first circuit layer, forming a second insulating layer on the first insulating layer and exposing one surface or the other surface of the second metal filler And forming a second circuit layer on the second insulating layer and the second metal filler.
제2 금속 필러를 형성하는 단계는 제1 절연층에 형성되며, 제1 회로층을 노출하는 제2 개구부를 포함하는 제2 감광성 레지스트를 형성하는 단계, 제2 개구부를 전도성 금속으로 충진하여 제2 금속 필러를 형성하는 단계 및 제2 감광성 레지스트를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.Forming a second metal filler comprises forming a second photosensitive resist formed in the first insulating layer and including a second opening exposing the first circuit layer, filling the second opening with a conductive metal to form a second, Forming the metal filler, and removing the second photosensitive resist.
제2 절연층을 형성하는 단계는 제2 금속 필러가 삽입되는 개구부가 형성된 제2 절연층을 준비하는 단계 및 제2 금속 필러가 개구부에 삽입되도록 제1 절연층에 제2 절연층을 적층하는 단계를 포함하되, 제1 절연층에 적층된 제2 절연층의 일면과 제2 금속 필러의 일면은 동일 선상에 위치할 수 있다.The forming of the second insulating layer may include preparing a second insulating layer having an opening into which the second metal filler is inserted, and stacking a second insulating layer on the first insulating layer such that the second metal filler is inserted into the opening Wherein one surface of the second insulating layer stacked on the first insulating layer and one surface of the second metal filler may be located on the same line.
제2 회로층을 형성하는 단계는 제2 절연층에 제2 도금층을 형성하는 단계, 제2 도금층 상부에 형성되며, 제2 회로층과 대응되는 영역에 위치하도록 패터닝된 제2 에칭 레지스트를 형성하는 단계, 제2 도금층을 에칭하여 제2 회로층을 형성하는 단계 및 제2 에칭 레지스트를 제거하는 단계를 포함할 수 있다.The step of forming the second circuit layer includes the steps of forming a second plating layer on the second insulating layer, forming a second etching resist patterned on the second plating layer and patterned to be located in a region corresponding to the second circuit layer Etching the second plating layer to form a second circuit layer, and removing the second etching resist.
제2 도금층을 형성하는 단계 이전에 제2 절연층에 무전해 도금 방법으로 제2 시드층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.And forming the second seed layer by an electroless plating method on the second insulating layer before the step of forming the second plating layer.
제2 도금층을 형성하는 단계에서 제2 도금층은 전해 도금 방법으로 형성될 수 있다.In the step of forming the second plating layer, the second plating layer may be formed by an electrolytic plating method.
제2 회로층을 형성하는 단계 이후에 제2 절연층에 형성되며, 제2 회로층을 노출하도록 개구부가 형성된 제2 솔더 레지스트를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.And forming a second solder resist, which is formed on the second insulating layer after the step of forming the second circuit layer, and in which an opening is formed to expose the second circuit layer.
제1 절연층 내부에는 한 층 이상의 내층 회로층이 더 형성될 수 있다.
One or more inner layer circuit layers may be further formed in the first insulating layer.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
Prior to that, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best explain its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.
본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법은 금속 필러를 형성함으로써, 연마 공정을 생략할 수 있다. In the method for manufacturing a printed circuit board and a printed circuit board according to an embodiment of the present invention, the metal pillar is formed, so that the polishing process can be omitted.
본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법은 연마 공정의 생략으로 인쇄회로기판에 가해지는 스트레스(Stress)가 감소할 수 있다. In the method of manufacturing a printed circuit board and a printed circuit board according to an embodiment of the present invention, the stress applied to the printed circuit board may be reduced by omitting the polishing process.
본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법은 다양한 개수의 층을 용이하게 제작할 수 있다.
The printed circuit board and the printed circuit board manufacturing method according to the embodiments of the present invention can easily manufacture various numbers of layers.
도1은 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 예시도이다.
도2 내지 도28은 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도29는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 예시도이다.
도30 내지 도40은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 인쇄회로기판 제조 방법을 나타낸 순서도이다.1 is an exemplary view illustrating a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
2 to 28 are flowcharts illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
29 is an exemplary view illustrating a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.
30 to 40 are flowcharts illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, "제1", "제2", "일면", "타면" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 이하, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The objectives, specific advantages, and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. It should be noted that, in the present specification, the reference numerals are added to the constituent elements of the drawings, and the same constituent elements are assigned the same number as much as possible even if they are displayed on different drawings. It will be further understood that terms such as " first, "" second," " one side, "" other," and the like are used to distinguish one element from another, no. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the following description of the present invention, detailed description of related arts which may unnecessarily obscure the gist of the present invention will be omitted.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도1은 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 예시도이다.1 is an exemplary view illustrating a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
도1을 참조하면, 인쇄회로기판(100)은 5층의 회로층을 포함하는 코어리스(Coreless) 기판이다. 인쇄회로기판(100)은 제1 절연층(121) 내지 제4 절연층(124), 제1 금속 필러(111) 내지 제4 금속 필러(114), 제1 회로층(151) 내지 제5 회로층(155) 및 제1 솔더 레지스트층(161) 내지 제2 솔더 레지스트층(162)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the printed
제1 절연층(121) 내지 제4 절연층(124)은 무전해 도금이 가능한 절연 재질일 수 있다. 예를 들어, ABF(Ajinomoto Build up Film)로 형성될 수 있다. 그러나 제1 절연층(121) 내지 제4 절연층(124)의 재질은 ABF로 한정되는 것은 아니며, 무전해 도금이 가능한 절연 재질이면 어느 것도 채용될 수 있다. 또한, 제1 절연층(121) 내지 제4 절연층(124)은 기판 또는 필름의 형태로 형성될 수 있다. The first
제1 금속 필러(111) 내지 제4 금속 필러(114)는 제1 절연층(121) 내지 제4 절연층(124) 내부에 매립되도록 형성될 수 있다. 제1 금속 필러(111) 내지 제4 금속 필러(114)는 전기 전도성 금속으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 금속 필러(111) 내지 제4 금속 필러(114)는 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제1 금속 필러(111) 내지 제4 금속 필러(114)의 재질은 구리로 한정되는 것은 아니다. 제1 금속 필러(111) 내지 제4 금속 필러(114)는 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다.The
제1 회로층(151) 내지 제5 회로층(155)은 회로 패턴 및 접속 패드를 포함할 수 있다. 여기서, 접속 패드는 적층된 금속 필러들을 전기적으로 연결하는 구성이다. 본 발명의 실시 예에서는 회로 패턴, 접속 패드와 같이 전기 신호를 전달하는 구성을 회로층이라 통칭하여 설명하도록 한다. 제1 회로층(151) 내지 제5 회로층(155)은제1 금속 필러(111) 내지 제4 금속 필러(114)와 전기적으로 연결될 수 있다. 여기서 인쇄회로기판(100)의 최외각에 형성된 제4 회로층(154) 및 제5 회로층(155)은 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)과의 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 회로층(151) 내지 제5 회로층(155)은 전기 전도성 금속으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 회로층(151) 내지 제5 회로층(155)은 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제1 회로층(151) 내지 제5 회로층(155)의 재질은 구리로 한정되는 것은 아니다. 제1 회로층(151) 내지 제5 회로층(155)은 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다.The first to
도1에 도시된 5층 구조의 인쇄회로기판(100)에 따르면, 제1 절연층(121) 내부에 제1 금속 필러(111)가 형성될 수 있다. 제1 회로층(151)은 제1 절연층(121) 및 제1 금속 필러(111)의 일면에 형성될 수 있다. 제2 절연층(122)은 제1 절연층(121) 및 제1 회로층(151)의 일면에 형성될 수 있다. 제2 금속 필러(112)는 제1 회로층(151)의 일면에 형성되며, 제2 절연층(122)에 매립되도록 형성될 수 있다. 제2 회로층(152)은 제2 절연층(122) 및 제2 금속 필러(112)의 일면에 형성될 수 있다. 제3 절연층(123)은 제2 절연층(122) 및 제2 회로층(152)의 일면에 형성될 수 있다. 제3 금속 필러(113)는 제2 회로층(152)의 일면에 형성되며, 제3 절연층(123)에 매립되도록 형성될 수 있다. 제3 회로층(153)은 제3 절연층(123) 및 제3 금속 필러(113)의 일면에 형성될 수 있다. 제4 절연층(124)은 제3 절연층(123) 및 제3 회로층(153)의 일면에 형성될 수 있다. 제4 금속 필러(114)는 제3 회로층(153)의 일면에 형성되며, 제4 절연층(124)에 매립되도록 형성될 수 있다. 제4 회로층(154)은 제4 절연층(124) 및 제4 금속 필러(114) 일면에 형성될 수 있다. 제5 회로층(155)은 제1 절연층(121) 및 제1 금속 필러(111)의 타면에 형성될 수 있다.According to the printed
제1 솔더 레지스트층(161)은 제4 절연층(124)의 일면에 형성될 수 있다. 또한, 제1 솔더 레지스트층(161)은 제4 회로층(154)의 접속 패드를 외부로 노출하는 개구부가 형성될 수 있다. The first solder resist
제2 솔더 레지스트층(162)은 제1 절연층(121)의 타면에 형성될 수 있다. 또한, 제2 솔더 레지스트층(162)은 제5 회로층(155)의 접속 패드를 외부로 노출하는 개구부가 형성될 수 있다.The second solder resist
본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판(100)은 도시하지 않았지만, 제4 절연층(124)의 일면에 회로 패턴이 형성되면, 회로 패턴은 제1 솔더 레지스트층(161)에 의해 매립되어 보호될 수 있다. 또한, 제1 절연층(121)의 타면에 회로 패턴이 형성되면, 회로 패턴은 제2 솔더 레지스트층(162)에 의해 매립되어 보호될 수 있다.
Although the printed
도2 내지 도28은 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 2 to 28 are flowcharts illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법에 의하면, 5층 구조의 코어리스 기판을 제조 할 수 있다.
According to the method for manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention, a coreless substrate having a five-layer structure can be manufactured.
도2를 참조하면, 캐리어 기판(210)이 제공될 수 있다. 본 발명의 실시 예에 따르면, 캐리어 기판(210)은 절연재(211) 및 절연재(211) 양면에 동박(212)이 적층된 동박 적층판(CCL) 구조를 가질 수 있다. 그러나 캐리어 기판(210)의 종류는 이에 한정되지 않으며, 통상적으로 사용되는 캐리어 기판(210)의 종류 중 어느 것도 가능하다.
Referring to FIG. 2, a
도3을 참조하면, 캐리어 기판(210)의 일면 및 타면에 제1 도금 레지스트(221)가 형성될 수 있다. 제1 도금 레지스트(221)는 감광성 레지스트일 수 있다. 예를 들어, 제1 도금 레지스트(221)는 드라이 필름(Dry Film)으로 형성될 수 있다. 제1 도금 레지스트(221)는 노광 및 현상을 수행하여 패터닝 될 수 있다. 제1 도금 레지스트(221)는 추후 제1 금속 필러(도4의 111)가 형성될 영역이 개방되도록 패터닝 될 수 있다.Referring to FIG. 3, a first plating resist 221 may be formed on one side and the other side of the
도4를 참조하면, 제1 금속 필러(111)가 형성될 수 있다. 제1 금속 필러(111)는 제1 도금 레지스트(221)에 의해서 개방된 영역에 전기 전도성 금속을 충진하여 형성될 수 있다. 예를 들어 제1 금속 필러(111)는 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제1 금속 필러(111)의 재질은 구리로 한정되지 않으며, 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다. 제1 금속 필러(111)가 형성된 후, 제1 도금 레지스트(221)를 제거할 수 있다.
Referring to FIG. 4, a
도5를 참조하면, 제1 절연층(121)이 형성될 수 있다. 제1 절연층(121)은 제1 금속 필러(111)가 매립되도록 형성될 수 있다. 이때, 제1 금속 필러(111)의 일면과 제1 절연층(121)의 일면은 동일 선상에 위치하여, 제1 금속 필러(111)의 일면이 외부로 노출될 수 있다. 예를 들어, 제1 절연층(121)은 제1 금속 필러(111)가 삽입되는 개구부가 미리 형성될 수 있다. 제1 절연층(121)은 개구부에 제1 금속 필러(111)를 삽입하며 캐리어 기판(210)에 적층될 수 있다. 제1 절연층(121)은 캐리어 기판(210)에 적층 되었을 때, 제1 절연층(121)의 일면과 제1 금속 필러(111)의 일면이 동일 선상에 위치할 수 있는 두께를 가질 수 있다.Referring to FIG. 5, a first insulating
제1 절연층(121)은 화학동도금이 가능한 재질일 수 있다. 예를 들어, 제1 절연층(121)은 ABF(Ajinomoto Build up Film)가 될 수 있다. 그러나 제1 절연층(121)의 재질은 ABF로 한정되는 것은 아니며, 화학동도금이 가능한 절연 재질 중 어느 것으로도 채용될 수 있다.The first insulating
본 발명의 실시 예에서 금속 필러는 개구부가 형성된 도금 레지스트에 의해서 형성될 수 있다. 따라서, 다수개의 금속 필러는 모두 동일한 두께를 갖도록 형성할 수 있다. 금속 필러가 동일한 두께를 갖도록 형성할 수 있으므로, 절연층도 금속 필러의 일면과 동일 선상에 위치할 수 있는 두께를 갖도록 미리 패터닝 할 수 있다. 이와 같이 절연층의 두께를 미리 조절한 후 기판에 적층함으로써, 종래와 같이 절연층 적층 후 수행되는 연마 공정 또는 비아홀 가공 공정을 생략할 수 있다.
In an embodiment of the present invention, the metal filler may be formed by a plating resist having an opening formed therein. Therefore, the plurality of metal pillar can be formed to have the same thickness. Since the metal filler can be formed to have the same thickness, the insulating layer can also be patterned in advance so as to have a thickness that can be located on the same line as one surface of the metal filler. By previously adjusting the thickness of the insulating layer and then laminating the insulating layer on the substrate, the polishing step or the via hole forming step performed after the insulating layer is stacked as in the conventional method can be omitted.
도6을 참조하면, 제1 도금층(141)이 형성될 수 있다. 우선, 제1 절연층(121) 및 제1 금속 필러(111)의 일면에 제1 시드층(131)이 형성될 수 있다. 제1 시드층(131)은 무전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 시드층(131)은 화학동도금 방법으로 형성될 수 있다. 또한, 제1 시드층(131)은 PVD(Physical Vapor Deposition) 또는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법으로 얇게 형성될 수 있다. 제1 시드층(131) 일면에 제1 도금층(141)이 형성될 수 있다. 제1 도금층(141)은 전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 제1 시드층(131) 및 제1 도금층(141)은 전기 전도성 금속으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 시드층(131) 및 제1 도금층(141)은 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제1 시드층(131) 및 제1 도금층(141)의 재질은 구리로 한정되는 것은 아니다. 제1 시드층(131) 및 제1 도금층(141)은 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다.
Referring to FIG. 6, a
도7을 참조하면, 제1 도금층(141)의 일면에 제1 에칭 레지스트(231)가 형성될 수 있다. 제1 에칭 레지스트(231)는 제1 도금층(141) 중 추후 제1 회로층(도8의 151)이 형성될 부분에만 존재하도록 패터닝 될 수 있다. 예를 들어, 제1 에칭 레지스트(231)는 제1 금속 필러(111)의 상부 영역에 존재하도록 패터닝 될 수 있다.
Referring to FIG. 7, a first etching resist 231 may be formed on one surface of the
도8을 참조하면, 제1 회로층(151)이 형성될 수 있다. 제1 회로층(151)은 회로 패턴 및 접속 패드를 포함할 수 있다. 제1 에칭 레지스트(231)를 형성 후, 제1 도금층(141) 및 제1 시드층(131)의 에칭이 수행될 수 있다. 이에, 제1 에칭 레지스트(231)가 존재하지 않은 영역의 제1 도금층(141) 및 제1 시드층(131)이 제거될 수 있다. 이후, 제1 에칭 레지스트(231)를 제거할 수 있다. 이와 같은 과정을 통해서 제1 금속 필러(111)와 전기적으로 연결되는 제1 회로층(151)이 형성될 수 있다.
Referring to FIG. 8, a
도9를 참조하면, 제1 절연층(121) 및 제1 회로층(151)의 일면에 제2 도금 레지스트(222)가 형성될 수 있다. 제2 도금 레지스트(222)는 감광성 레지스트일 수 있다. 예를 들어, 제2 도금 레지스트(222)는 드라이 필름(Dry Film)으로 형성될 수 있다. 제2 도금 레지스트(222)는 노광 및 현상을 수행하여 패터닝 될 수 있다. 제2 도금 레지스트(222)는 추후 제2 금속 필러(도10의 112)가 형성될 영역이 개방되도록 패터닝 될 수 있다.Referring to FIG. 9, a second plating resist 222 may be formed on one surface of the first insulating
캐리어 기판(210)의 일면 및 타면에 회로층, 절연층 및 금속 필러의 형성 공정은 동일하므로, 이후의 캐리어 기판(210)의 타면에 수행되는 공정 순서에 대한 설명 및 도시는 생략하도록 한다.Since the process of forming the circuit layer, the insulating layer, and the metal filler is the same on one side and the other side of the
도10을 참조하면, 제2 금속 필러(112)가 형성될 수 있다. 제2 금속 필러(112)는 제2 도금 레지스트(222)에 의해서 개방된 영역에 전기 전도성 금속을 충진하여 형성될 수 있다. 제2 금속 필러(112)는 전기 도금 방법으로 형성될 수 있다. 제2 금속 필러(112)가 형성된 후, 제2 도금 레지스트(222)를 제거할 수 있다.
Referring to FIG. 10, a
도11을 참조하면, 제2 절연층(122)이 형성될 수 있다. 제2 절연층(122)은 제2 금속 필러(112)의 일면을 노출하도록 형성될 수 있다. 이때, 제2 금속 필러(112)의 일면과 제2 절연층(122)의 일면은 동일 선상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제2 절연층(122)은 제2 금속 필러(112)가 삽입되는 개구부가 미리 형성될 수 있다. 제2 절연층(122)은 개구부에 제2 금속 필러(112)를 삽입하며 제1 절연층(121)에 적층될 수 있다. 제2 절연층(122)은 제1 절연층(121)에 적층 되었을 때, 제2 절연층(122)의 일면과 제2 금속 필러(112)의 일면이 동일 선상에 위치할 수 있는 두께를 가질 수 있다.Referring to FIG. 11, a second insulating
제2 절연층(122)은 화학동도금이 가능한 재질일 수 있다. 예를 들어, 제2 절연층(122)은 ABF(Ajinomoto Build up Film)가 될 수 있다. 그러나 제2 절연층(122)의 재질은 ABF로 한정되는 것은 아니며, 화학동도금이 가능한 절연 재질 중 어느 것으로도 채용될 수 있다.
The second
도12를 참조하면, 제2 도금층(142)이 형성될 수 있다. 우선, 제2 절연층(122) 및 제2 금속 필러(112)의 일면에 제2 시드층(132)이 형성될 수 있다. 제2 시드층(132)은 무전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제2 시드층(132)은 화학동도금 방법으로 형성될 수 있다. 또한, 제2 시드층(132)은 PVD(Physical Vapor Deposition) 또는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법으로 얇게 형성될 수 있다. 제2 시드층(132) 일면에 제2 도금층(142)이 형성될 수 있다. 제2 도금층(142)은 전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 제2 시드층(132) 및 제2 도금층(142)은 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제2 시드층(132) 및 제2 도금층(142)의 재질은 구리로 한정되는 것은 아니며, 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다.
Referring to FIG. 12, a
도13을 참조하면, 제2 도금층(142)의 일면에 제2 에칭 레지스트(232)가 형성될 수 있다. 제2 에칭 레지스트(232)는 제2 도금층(142) 중 추후 제2 회로층(도14의 152)이 형성될 영역에만 존재하도록 패터닝 될 수 있다. 예를 들어, 제2 에칭 레지스트(232)는 제2 금속 필러(112)의 상부 영역에 존재하도록 패터닝 될 수 있다.
Referring to FIG. 13, a second etching resist 232 may be formed on one surface of the
도14를 참조하면, 제2 회로층(152)이 형성될 수 있다. 제2 회로층(152)은 제2 에칭 레지스트(232)에 의해서 노출된 영역의 제2 도금층(142) 및 제2 시드층(132)에 에칭을 수행하여 형성될 수 있다. 이후, 제2 에칭 레지스트(232)를 제거할 수 있다. 이와 같이 형성된 제2 회로층(152)은 제2 금속 필러(112)와 전기적으로 연결될 수 있다.Referring to FIG. 14, a
도15를 참조하면, 제2 절연층(122) 및 제2 회로층(152)의 일면에 제3 도금 레지스트(223)가 형성될 수 있다. 제3 도금 레지스트(223)는 감광성 레지스트일 수 있다. 예를 들어, 제3 도금 레지스트(223)는 드라이 필름(Dry Film)으로 형성될 수 있다. 제3 도금 레지스트(223)는 노광 및 현상을 수행하여 패터닝 될 수 있다. 제3 도금 레지스트(223)는 추후 제3 금속 필러(도16의 113)가 형성될 영역이 개방되도록 패터닝 될 수 있다.
Referring to FIG. 15, a third plating resist 223 may be formed on one surface of the second insulating
도16을 참조하면, 제3 금속 필러(113)가 형성될 수 있다. 제3 금속 필러(113)는 제3 도금 레지스트(223)에 의해서 개방된 영역에 전기 전도성 금속을 충진하여 형성될 수 있다. 제3 금속 필러(113)는 전기 도금 방법으로 형성될 수 있다. 제3 금속 필러(113)가 형성된 후, 제3 도금 레지스트(223)를 제거할 수 있다.
Referring to FIG. 16, a
도17을 참조하면, 제3 절연층(123)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제3 절연층(123)은 제3 금속 필러(113)가 삽입되는 개구부가 미리 형성될 수 있다. 제3 절연층(123)은 개구부에 제3 금속 필러(113)를 삽입하며 제2 절연층(122)에 적층될 수 있다. 제3 절연층(123)은 제2 절연층(122)에 적층 되었을 때, 제3 절연층(123)의 일면과 제3 금속 필러(113)의 일면이 동일 선상에 위치할 수 있는 두께를 가질 수 있다. 제3 절연층(123)은 ABF(Ajinomoto Build up Film)와 같은 화학동도금이 가능한 절연 재질일 수 있다.Referring to FIG. 17, a third
도18을 참조하면, 제3 도금층(143)이 형성될 수 있다. 우선, 제3 절연층(123) 및 제3 금속 필러(113)의 일면에 제3 시드층(133)이 형성될 수 있다. 제3 시드층(133)은 무전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제3 시드층(133)은 화학동도금 방법으로 형성될 수 있다. 또한, 제3 시드층(133)은 PVD(Physical Vapor Deposition) 또는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법으로 얇게 형성될 수 있다. 제3 시드층(133) 일면에 제3 도금층(143)이 형성될 수 있다. 제3 도금층(143)은 전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 제3 시드층(133) 및 제3 도금층(143)은 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제3 시드층(133) 및 제3 도금층(143)의 재질은 구리로 한정되는 것은 아니며, 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다.
Referring to FIG. 18, a
도19를 참조하면, 제3 도금층(143)의 일면에 제3 에칭 레지스트(233)가 형성될 수 있다. 제3 에칭 레지스트(233)는 제3 도금층(143) 중 추후 제3 회로층(도20의 153)이 형성될 영역에만 존재하도록 패터닝 될 수 있다. 예를 들어, 제3 에칭 레지스트(233)는 제3 금속 필러(113)의 상부 영역에 존재하도록 패터닝 될 수 있다.
Referring to FIG. 19, a third etching resist 233 may be formed on one surface of the
도20을 참조하면, 제3 회로층(153)이 형성될 수 있다. 제3 회로층(153)은 제3 에칭 레지스트(233)에 의해서 노출된 영역의 제3 도금층(143) 및 제3 시드층(133)에 에칭을 수행하여 형성될 수 있다. 이후, 제3 에칭 레지스트(233)를 제거할 수 있다. 이와 같이 형성된 제3 회로층(153)은 제3 금속 필러(113)와 전기적으로 연결될 수 있다.
Referring to FIG. 20, a
도21 참조하면, 제3 절연층(123) 및 제3 회로층(153)의 일면에 제4 도금 레지스트(224)가 형성될 수 있다. 제4 도금 레지스트(224)는 감광성 레지스트일 수 있다. 예를 들어, 제4 도금 레지스트(224)는 드라이 필름(Dry Film)으로 형성될 수 있다. 제4 도금 레지스트(224)는 노광 및 현상을 수행하여 패터닝 될 수 있다. 제4 도금 레지스트(224)는 추후 제4 금속 필러(도22의 114)가 형성될 영역이 개방되도록 패터닝 될 수 있다.
Referring to FIG. 21, a fourth plating resist 224 may be formed on one surface of the third insulating
도22를 참조하면, 제4 금속 필러(114)가 형성될 수 있다. 제4 금속 필러(114)는 제4 도금 레지스트(224)에 의해서 개방된 영역에 전기 전도성 금속을 충진하여 형성될 수 있다. 제4 금속 필러(114)는 전기 도금 방법으로 형성될 수 있다. 제4 금속 필러(114)가 형성된 후, 제4 도금 레지스트(224)를 제거할 수 있다.
Referring to FIG. 22, a
도23을 참조하면, 제4 절연층(124)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제4 절연층(124)은 제4 금속 필러(114)가 삽입되는 개구부가 미리 형성될 수 있다. 제4 절연층(124)은 개구부에 제4 금속 필러(114)를 삽입하며 제3 절연층(123)에 적층될 수 있다. 제4 절연층(124)은 제3 절연층(123)에 적층 되었을 때, 제4 절연층(124)의 일면과 제4 금속 필러(114)의 일면이 동일 선상에 위치할 수 있는 두께를 가질 수 있다. 제4 절연층(124)은 ABF(Ajinomoto Build up Film)와 같은 화학동도금이 가능한 절연 재질일 수 있다.
Referring to FIG. 23, a fourth insulating
도24를 참조하면, 캐리어 기판(도23의 210)을 제거할 수 있다. 캐리어 기판(도23의 210)을 제거 함으로써, 캐리어 기판(도23의 210)의 일면과 타면에 각각 형성된 빌드업층(A)이 분리될 수 있다. 캐리어 기판(도23의 210)은 통상의 캐리어 기판 제거 방법에 의해서 제거 될 수 있다. 도24에서는 캐리어 기판(도23의 210)의 일면에 형성된 빌드업층(A)만 도시되었지만, 캐리어 기판(210)의 타면에 형성된 빌드업층도 동일한 구조를 가지며, 추후 동일한 공정이 수행됨은 자명하다.
Referring to Fig. 24, the carrier substrate 210 (Fig. 23) can be removed. By removing the carrier substrate 210 (Fig. 23), the buildup layer A formed on one side and the other side of the carrier substrate 210 (Fig. 23) can be separated. The carrier substrate 210 (Fig. 23) can be removed by a conventional carrier substrate removing method. Although only the buildup layer A formed on one side of the carrier substrate 210 (FIG. 23) is shown in FIG. 24, it is obvious that the buildup layer formed on the other side of the
도25를 참조하면, 제4 도금층(144) 및 제5 도금층(145)이 형성될 수 있다. 우선, 제4 절연층(124) 및 제4 금속 필러(114)의 일면에 제4 시드층(134)이 형성될 수 있다. 또한, 제1 절연층(121) 및 제1 금속 필러(111)의 타면에 제5 시드층(135)이 형성될 수 있다. 제4 시드층(134) 및 제5 시드층(135)은 무전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제4 시드층(134) 및 제5 시드층(135)은 화학동도금 방법으로 형성될 수 있다. 또한, 제4 시드층(134) 및 제5 시드층(135)은 PVD(Physical Vapor Deposition) 또는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법으로 얇게 형성될 수 있다. 제4 시드층(134) 일면에 제4 도금층(144)이 형성될 수 있다. 또한, 제5 시드층(135) 타면에 제5 도금층(145)이 형성될 수 있다. 제4 도금층(144) 및 제5 도금층(145)은 전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 제4 시드층(134), 제5 시드층(135), 제4 도금층(144) 및 제5 도금층(145)은 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제4 시드층(134), 제5 시드층(135), 제4 도금층(144) 및 제5 도금층(145)의 재질은 구리로 한정되는 것은 아니며, 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다.
Referring to FIG. 25, a
도26을 참조하면, 제4 도금층(144)의 일면에 제4 에칭 레지스트(234)가 형성될 수 있다. 또한, 제5 도금층(145) 타면에 제5 에칭 레지스트(235)가 형성될 수 있다. Referring to FIG. 26, a fourth etching resist 234 may be formed on one surface of the
제4 에칭 레지스트(234)는 추후 제4 회로층(도27의 154)이 형성될 영역에만 존재하도록 패터닝 될 수 있다. 예를 들어, 제4 에칭 레지스트(234)는 제4 금속 필러(114)의 상부 영역에 존재하도록 패터닝 될 수 있다.The fourth etching resist 234 may be patterned so as to be present only in a region where the fourth circuit layer (154 in FIG. 27) is to be formed later. For example, a fourth etch resist 234 may be patterned to reside in the upper region of the
제5 에칭 레지스트(235)는 추후 제5 회로층(도27의 155)이 형성될 영역에만 존재하도록 패터닝 될 수 있다. 예를 들어, 제5 에칭 레지스트(235)는 제1 금속 필러(111)의 하부 영역에 존재하도록 패터닝 될 수 있다.
The fifth etching resist 235 may be patterned so as to exist later only in the region where the fifth circuit layer (155 in FIG. 27) is to be formed. For example, the fifth etching resist 235 may be patterned to exist in the lower region of the
도27을 참조하면, 제4 회로층(154) 및 제5 회로층(155)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 27, a
제4 회로층(154)은 제4 에칭 레지스트(234)에 의해서 노출된 영역의 제4 도금층(144) 및 제4 시드층(134)에 에칭을 수행하여 형성될 수 있다. 이후, 제4 에칭 레지스트(234)를 제거할 수 있다. 이와 같이 형성된 제4 회로층(154)의 일면은 추후 실장될 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제4 회로층(154)의 타면은 제4 금속 필러(114)와 전기적으로 연결될 수 있다. The
제5 회로층(155)은 제5 에칭 레지스트(235)에 의해서 노출된 영역의 제5 도금층(145) 및 제5 시드층(135)에 에칭을 수행하여 형성될 수 있다. 이후, 제5 에칭 레지스트(235)를 제거할 수 있다. 이와 같이 형성된 제5 회로층(155)의 일면은 제1 금속 필러(111)와 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제5 회로층(155) 타면은 추후 실장될 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)과 전기적으로 연결될 수 있다.
The
도28을 참조하면, 제1 솔더 레지스트층(161) 및 제2 솔더 레지스트층(162)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 28, a first solder resist
제1 솔더 레지스트층(161) 및 제2 솔더 레지스트층(162)은 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판(100)에 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)이 실장될 때, 제4 회로층(154) 및 제5 회로층(155)을 보호하기 위해 형성될 수 있다. The first solder resist
제1 솔더 레지스트층(161)은 제4 절연층(124)의 일면에 형성될 수 있다. 제1 솔더 레지스트층(161)은 제4 회로층(154)을 노출하는 개구부가 형성될 수 있다. 여기서, 제1 솔더 레지스트층(161)에 의해서 노출되는 제4 회로층(154)은 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)과 전기적으로 연결되는 접속 패드가 될 수 있다. The first solder resist
제2 솔더 레지스트층(162)은 제1 절연층(121)의 타면에 형성될 수 있다. 제2 솔더 레지스트층(162)은 제5 회로층(155)을 노출하는 개구부가 형성될 수 있다. 여기서, 제2 솔더 레지스트층(162)에 의해서 노출되는 제5 회로층(155)은 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)과 전기적으로 연결되는 접속 패드가 될 수 있다.The second solder resist
본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판 제조 방법은 금속 필러를 형성함으로써, 회로층 간의 전기적 연결을 위한 비아홀 형성 및 비아홀 충진 공정을 생략할 수 있다.In the method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention, the formation of a via hole and the filling of a via hole for electrical connection between circuit layers can be omitted by forming a metal filler.
본 발명의 실시 예에서, 5층 구조의 인쇄회로기판 및 이를 제조 하는 방법을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법으로부터 5층 구조뿐만 아니라 홀수개의 회로층을 갖는 인쇄회로기판이 제조 될 수 있다.
In the embodiments of the present invention, a printed circuit board having a five-layer structure and a method of manufacturing the same are described, but the present invention is not limited thereto. That is, a printed circuit board having an odd number of circuit layers as well as a five-layer structure can be manufactured from the printed circuit board and the manufacturing method thereof according to the embodiment of the present invention.
도29는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 인쇄회로기판을 나타낸 예시도이다.29 is an exemplary view illustrating a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.
도29를 참조하면, 인쇄회로기판(300)은 6층의 회로층을 포함하는 코어리스(Coreless) 기판이다. 인쇄회로기판(300)은 제1 절연층(121) 내지 제5 절연층(125), 제1 금속 필러(111) 내지 제5 금속 필러(115), 제1 회로층(151) 내지 제6 회로층(156) 및 제1 솔더 레지스트층(161) 내지 제2 솔더 레지스트층(162)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 29, the printed
제1 절연층(121) 내지 제5 절연층(125)은 무전해 도금이 가능한 절연 재질일 수 있다. 예를 들어, ABF(Ajinomoto Build up Film)로 형성될 수 있다. 그러나 제1 절연층(121) 내지 제5 절연층(125)의 재질은 ABF로 한정되는 것은 아니며, 무전해 도금이 가능한 절연 재질이면 어느 것도 채용될 수 있다. The first insulating
제1 금속 필러(111) 내지 제5 금속 필러(115)는 제1 절연층(121) 내지 제5 절연층(125) 내부에 매립되도록 형성될 수 있다. 제1 금속 필러(111) 내지 제5 금속 필러(115)는 전기 전도성 금속으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 금속 필러(111) 내지 제5 금속 필러(115)는 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제1 금속 필러(111) 내지 제5 금속 필러(115)의 재질은 구리로 한정되는 것은 아니다. 제1 금속 필러(111) 내지 제5 금속 필러(115)는 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다. The
제1 회로층(151) 내지 제6 회로층(156)은 회로 패턴 및 접속 패드를 포함할 수 있다. 여기서, 제1 회로층(151) 내지 제6 회로층(156)은 제1 금속 필러(111) 내지 제5 금속 필러(115)와 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 인쇄회로기판(300)의 최외각에 형성된 제5 회로층(155) 및 제6 회로층(156)은 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)과의 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 회로층(151) 내지 제6 회로층(156)은 전기 전도성 금속으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1 회로층(151) 내지 제6 회로층(156)은 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제1 회로층(151) 내지 제6 회로층(156)의 재질은 구리로 한정되는 것은 아니다. 제1 회로층(151) 내지 제6 회로층(156)은 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다.The first to sixth circuit layers 151 to 156 may include circuit patterns and connection pads. The
제1 솔더 레지스트층(161)은 제5 절연층(125)의 일면에 형성될 수 있다. 또한, 제1 솔더 레지스트층(161)은 제5 회로층(155)의 접속 패드를 외부로 노출하는 개구부가 형성될 수 있다. The first solder resist
제2 솔더 레지스트층(162)은 제1 절연층(121)의 타면에 형성될 수 있다. 또한, 제2 솔더 레지스트층(162)은 제6 회로층(156)의 접속 패드를 외부로 노출하는 개구부가 형성될 수 있다.
The second solder resist
도30 내지 도40은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 인쇄회로기판 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 30 to 40 are flowcharts illustrating a method of manufacturing a printed circuit board according to another embodiment of the present invention.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법에 의하면, 6층 구조의 코어리스 기판을 제조 할 수 있다. According to the method for manufacturing a printed circuit board according to another embodiment of the present invention, a coreless substrate having a six-layer structure can be manufactured.
6층 구조의 인쇄회로기판을 제조하는 방법 중에서 제3 절연층(123)을 형성하는 단계까지는 도2 내지 도17의 캐리어 기판(210) 제공 내지 제3 절연층(123)을 형성하는 단계와 재질 및 형성 방법이 동일하다. 따라서 이에 해당하는 도면 및 설명은 도2 내지 도17을 참조하며, 본 실시 예에서는 생략하도록 한다. 또한, 캐리어 기판(210)의 일면 및 타면에 회로층, 절연층 및 금속 필러의 형성 공정은 동일하므로, 캐리어 기판(210)의 타면에 수행되는 공정 순서에 대한 설명 및 도시는 생략하도록 한다.Up to the step of forming the third insulating
도30을 참조하면, 제3 절연층(123)까지 형성된 후, 캐리어 기판(도17의 210)을 제거할 수 있다. 캐리어 기판(도17의 210)을 제거함으로써, 캐리어 기판(도17의 210)의 일면과 타면에 각각 형성된 빌드업층(B)이 분리될 수 있다. 캐리어 기판(도17의 210)은 통상의 캐리어 기판 제거 방법에 의해서 제거 될 수 있다.
Referring to FIG. 30, after the third insulating
도31을 참조하면, 제3 도금층(143) 및 제4 도금층(144)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 31, a
우선, 제3 시드층(133) 및 제4 시드층(134)이 형성될 수 있다. 제3 시드층(133)은 제3 절연층(123) 및 제3 금속 필러(113) 일면에 형성될 수 있다. 제4 시드층(134)은 제1 절연층(121) 및 제1 금속 필러(111) 타면에 형성될 수 있다. 제3 시드층(133) 및 제4 시드층(134)은 무전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제3 시드층(133) 및 제4 시드층(134)은 화학동도금 방법으로 형성될 수 있다. 또한, 제3 시드층(133) 및 제4 시드층(134)은 PVD(Physical Vapor Deposition) 또는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법으로 얇게 형성될 수 있다.First, a
제3 도금층(143)은 제3 시드층(133) 일면에 형성될 수 있다. 또한, 제4 도금층(144)은 제4 시드층(134) 타면에 형성될 수 있다. 제3 도금층(143) 및 제4 도금층(144)은 전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 제3 시드층(133), 제4 시드층(134), 제3 도금층(143) 및 제4 도금층(144)은 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제3 시드층(133), 제4 시드층(134), 제3 도금층(143) 및 제4 도금층(144)의 재질은 구리로 한정되는 것은 아니며, 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다.
The
도32를 참조하면, 제3 도금층(143)의 일면에 제3 에칭 레지스트(233)가 형성될 수 있다. 또한, 제4 도금층(144)의 타면에 제4 에칭 레지스트(234)가 형성될 수 있다.Referring to FIG. 32, a third etching resist 233 may be formed on one surface of the
제3 에칭 레지스트(233)는 추후 제3 회로층(도33의 153)이 형성될 영역에만 존재하도록 패터닝 될 수 있다. 예를 들어, 제3 에칭 레지스트(233)는 제3 금속 필러(113)의 상부 영역에 존재하도록 패터닝 될 수 있다.The third etching resist 233 may be patterned so as to exist later only in the region where the third circuit layer (153 in FIG. 33) is to be formed. For example, the third etch resist 233 may be patterned to be present in the upper region of the
제4 에칭 레지스트(234)는 추후 제4 회로층(도33의 154)이 형성될 영역에만 존재하도록 패터닝 될 수 있다. 예를 들어, 제4 에칭 레지스트(234)는 제1 금속 필러(111)의 하부 영역에 존재하도록 패터닝 될 수 있다.
The fourth etching resist 234 may be patterned so that the fourth circuit layer (154 of FIG. 33) is present only in the region where it is to be formed. For example, a fourth etch resist 234 may be patterned to reside in the lower region of the
도33을 참조하면, 제3 회로층(153) 및 제4 회로층(154)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 33, a
제3 회로층(153)은 제3 에칭 레지스트(233)에 의해서 노출된 영역의 제3 도금층(143) 및 제3 시드층(133)에 에칭을 수행하여 형성될 수 있다. 이후, 제3 에칭 레지스트(233)를 제거할 수 있다. The
제4 회로층(154)은 제4 에칭 레지스트(234)에 의해서 노출된 영역의 제4 도금층(144) 및 제4 시드층(134)에 에칭을 수행하여 형성될 수 있다. 이후, 제4 에칭 레지스트(234)를 제거할 수 있다.
The
도34를 참조하면, 제3 도금 레지스트(223) 및 제4 도금 레지스트(224)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 34, the third plating resist 223 and the fourth plating resist 224 may be included.
제3 도금 레지스트(223)는 제3 절연층(123) 및 제3 회로층(153)의 일면에 형성될 수 있다. 제3 도금 레지스트(223)는 추후 제4 금속 필러(도35의 114)가 형성될 영역이 개방되도록 패터닝 될 수 있다. The third plating resist 223 may be formed on one surface of the third insulating
제4 도금 레지스트(224)는 제4 절연층(124) 및 제4 회로층(154)의 타면에 형성될 수 있다. 제4 도금 레지스트(224)는 추후 제5 금속 필러(도35의 115)가 형성될 영역이 개방되도록 패터닝 될 수 있다. The fourth plating resist 224 may be formed on the other surface of the fourth insulating
제3 도금 레지스트(223) 및 제4 도금 레지스트(224)는 감광성 레지스트일 수 있다. 예를 들어, 제3 도금 레지스트(223) 및 제4 도금 레지스트(224)는 드라이 필름(Dry Film)으로 형성될 수 있다. 제3 도금 레지스트(223) 및 제4 도금 레지스트(224)는 노광 및 현상을 수행하여 패터닝 될 수 있다.
The third plating resist 223 and the fourth plating resist 224 may be photosensitive resist. For example, the third plating resist 223 and the fourth plating resist 224 may be formed of a dry film. The third plating resist 223 and the fourth plating resist 224 may be patterned by performing exposure and development.
도35를 참조하면, 제4 금속 필러(114) 및 제5 금속 필러(115)가 형성될 수 있다. 제4 금속 필러(114)는 제3 도금 레지스트(223)에 의해서 개방된 영역에 전기 전도성 금속을 충진하여 형성될 수 있다. 제5 금속 필러(115)는 제4 도금 레지스트(224)에 의해서 개방된 영역에 전기 전도성 금속을 충진하여 형성될 수 있다. 예를 들어 제4 금속 필러(114) 및 제5 금속 필러(115)는 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제4 금속 필러(114) 및 제5 금속 필러(115)의 재질은 구리로 한정되지 않으며, 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다. 제4 금속 필러(114) 및 제5 금속 필러(115)가 형성된 후, 제3 도금 레지스트(223) 및 제4 도금 레지스트(224)를 제거할 수 있다.
Referring to FIG. 35, a
도36을 참조하면, 제4 절연층(124) 및 제5 절연층(125)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 36, a fourth insulating
제4 절연층(124)은 제3 절연층(123) 일면에 형성되며, 제4 절연층(124)의 일면과 제4 금속 필러(114)의 일면이 동일 선상에 위치하도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 제4 절연층(124)은 제4 금속 필러(114)가 삽입되는 개구부가 미리 형성될 수 있다. 제4 절연층(124)은 개구부에 제4 금속 필러(114)를 삽입하며 제3 절연층(123)에 적층될 수 있다. 제4 절연층(124)은 제3 절연층(123)에 적층 되었을 때, 제4 절연층(124)의 일면과 제4 금속 필러(114)의 일면이 동일 선상에 위치할 수 있는 두께를 가질 수 있다. The fourth insulating
제5 절연층(125)은 제1 절연층(121) 타면에 형성되며, 제5 절연층(125)의 타면과 제5 금속 필러(115)의 타면이 동일 선상에 위치하도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 제5 절연층(125)은 제5 금속 필러(115)가 삽입되는 개구부가 미리 형성될 수 있다. 제5 절연층(125)은 개구부에 제5 금속 필러(115)를 삽입하며 제1 절연층(121)의 타면에 적층될 수 있다. 제5 절연층(125)은 제1 절연층(121)에 적층 되었을 때, 제5 절연층(125)의 타면과 제5 금속 필러(115)의 타면이 동일 선상에 위치할 수 있는 두께를 가질 수 있다. The fifth insulating
본 발명의 실시 예에 따른 제4 절연층(124) 및 제5 절연층(125)은 화학동도금이 가능한 재질일 수 있다. 예를 들어, 제4 절연층(124) 및 제5 절연층(125)은 ABF(Ajinomoto Build up Film)가 될 수 있다. 그러나 제4 절연층(124) 및 제5 절연층(125)의 재질은 ABF로 한정되는 것은 아니며, 화학동도금이 가능한 절연 재질 중 어느 것으로도 채용될 수 있다.The fourth insulating
도37을 참조하면, 제5 도금층(145) 및 제6 도금층(146)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 37, a
우선, 제5 시드층(135) 및 제6 시드층(136)이 형성될 수 있다. 제5 시드층(135)은 제4 절연층(124) 및 제4 금속 필러(114) 일면에 형성될 수 있다. 제6 시드층(136)은 제5 절연층(125) 및 제5 금속 필러(115) 타면에 형성될 수 있다. 제5 시드층(135) 및 제6 시드층(136)은 무전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제5 시드층(135) 및 제6 시드층(136)은 화학동도금 방법으로 형성될 수 있다. 또한, 제5 시드층(135) 및 제6 시드층(136)은 PVD(Physical Vapor Deposition) 또는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법으로 얇게 형성될 수 있다.First, a
제5 도금층(145)은 제5 시드층(135) 일면에 형성될 수 있다. 또한, 제6 도금층(146)은 제6 시드층(136) 타면에 형성될 수 있다. 제5 도금층(145) 및 제6 도금층(146)은 전해 도금 방법으로 형성될 수 있다. 제5 시드층(135), 제6 시드층(136), 제5 도금층(145) 및 제6 도금층(146)은 구리로 형성될 수 있다. 그러나 제5 시드층(135), 제6 시드층(136), 제5 도금층(145) 및 제6 도금층(146)의 재질은 구리로 한정되는 것은 아니며, 회로 기판 분야에서 통상적으로 사용되는 전도성 금속으로 사용되는 것이라면 제한 없이 적용 가능하다.
The
도38을 참조하면, 제5 도금층(145)의 일면에 제5 에칭 레지스트(235)가 형성될 수 있다. 또한, 제6 도금층(146)의 타면에 제6 에칭 레지스트(236)가 형성될 수 있다.Referring to FIG. 38, a fifth etching resist 235 may be formed on one surface of the
제5 에칭 레지스트(235)는 추후 제5 회로층(도39의 155)이 형성될 영역에만 존재하도록 패터닝 될 수 있다. 예를 들어, 제5 에칭 레지스트(235)는 제4 금속 필러(114)의 상부 영역에 존재하도록 패터닝 될 수 있다.The fifth etching resist 235 may be patterned so as to exist later only in the region where the fifth circuit layer (155 in FIG. 39) is to be formed. For example, a fifth etch resist 235 may be patterned to reside in the upper region of the
제6 에칭 레지스트(236)는 추후 제6 회로층(도39의 156)이 형성될 영역에만 존재하도록 패터닝 될 수 있다. 예를 들어, 제6 에칭 레지스트(236)는 제5 금속 필러(115)의 하부 영역에 존재하도록 패터닝 될 수 있다.
The sixth etching resist 236 may be patterned so as to be present only in a region where a sixth circuit layer (156 in FIG. 39) is to be formed later. For example, the sixth etching resist 236 may be patterned to be present in the lower region of the
도39를 참조하면, 제5 회로층(155) 및 제6 회로층(156)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 39, a
제5 회로층(155)은 제5 에칭 레지스트(235)에 의해서 노출된 영역의 제5 도금층(145) 및 제5 시드층(135)에 에칭을 수행하여 형성될 수 있다. 이후, 제5 에칭 레지스트(235)를 제거할 수 있다. 이와 같이 형성된 제5 회로층(155)의 일면은 추후 실장될 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)과 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제5 회로층(155)의 타면은 제4 금속 필러(114)와 전기적으로 연결될 수 있다. The
제6 회로층(156)은 제6 에칭 레지스트(236)에 의해서 노출된 영역의 제6 도금층(146) 및 제6 시드층(136)에 에칭을 수행하여 형성될 수 있다. 이후, 제6 에칭 레지스트(236)를 제거할 수 있다. 이와 같이 형성된 제6 회로층(156)의 일면은 제5 금속 필러(115)와 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제6 회로층(156)의 타면은 추후 실장될 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)과 전기적으로 연결될 수 있다.
The
도40을 참조하면, 제1 솔더 레지스트층(161) 및 제2 솔더 레지스트층(162)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 40, a first solder resist
제1 솔더 레지스트층(161) 및 제2 솔더 레지스트층(162)은 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판(300)에 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)이 실장될 때, 제5 회로층(155) 및 제6 회로층(156)을 보호하기 위해 형성될 수 있다. The first solder resist
제1 솔더 레지스트층(161)은 제4 절연층(124)의 일면에 형성될 수 있다. 제1 솔더 레지스트층(161)은 제5 회로층(155)의 접속 패드를 노출하는 개구부가 형성될 수 있다. The first solder resist
제2 솔더 레지스트층(162)은 제5 절연층(125)의 타면에 형성될 수 있다. 제2 솔더 레지스트층(162)은 제6 회로층(156)의 접속 패드를 노출하는 개구부가 형성될 수 있다. The second solder resist
여기서, 제5 회로층(155) 및 제6 회로층(156)의 접속 패드는 외부의 전자 부품(미도시) 또는 기판(미도시)과 전기적으로 연결되는 구성부 일 수 있다.Here, the connection pads of the
본 발명의 실시 예에서, 6층 구조의 인쇄회로기판 및 이를 제조 하는 방법을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법으로부터 6층 구조뿐만 아니라 짝수개의 회로층을 갖는 인쇄회로기판이 제조 될 수 있다.
In the embodiments of the present invention, a printed circuit board having a six-layer structure and a method of manufacturing the same are described, but the present invention is not limited thereto. That is, a printed circuit board having an even number of circuit layers as well as a six-layer structure can be manufactured from the printed circuit board and the manufacturing method thereof according to the embodiment of the present invention.
본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법은 금속 필러를 형성함으로써, 비아홀 형성 및 연마 공정을 생략할 수 있다. 이와 같은 비아홀 형성 또는 연마 공정의 생략으로 인쇄회로기판에 가해지는 스트레스(Stress)가 감소할 수 있다. 또한, 감광성 레지스트를 이용하여 금속 필러를 형성함으로써, 층간 간격을 동일하게 형성할 수 있다 또한, 본 발명의 실시 예에 따른 인쇄회로기판 및 인쇄회로기판 제조 방법은 다양한 개수의 층을 용이하게 제작할 수 있는 코어리스 기판을 제작할 수 있다.
In the method of manufacturing a printed circuit board and a printed circuit board according to an embodiment of the present invention, the formation of the via hole and the polishing step can be omitted by forming the metal filler. Omission of the via hole forming or polishing process may reduce the stress applied to the printed circuit board. In addition, by forming the metal filler using the photosensitive resist, the interlayer spacing can be formed to be the same. Further, the printed circuit board and the printed circuit board manufacturing method according to the embodiment of the present invention can easily manufacture various numbers of layers The core-less substrate can be manufactured.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the present invention. It is obvious that the modification or improvement is possible.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
100, 300: 인쇄회로기판 111: 제1 금속 필러
112: 제2 금속 필러 113: 제3 금속 필러
114: 제4 금속 필러 115: 제5 금속 필러
121: 제1 절연층 122: 제2 절연층
123: 제3 절연층 124: 제4 절연층
125: 제5 절연층 131: 제1 시드층
132: 제2 시드층 133: 제3 시드층
134: 제4 시드층 135: 제5 시드층
136: 제6 시드층 141: 제1 도금층
142: 제2 도금층 143: 제3 도금층
144: 제4 도금층 145: 제5 도금층
146: 제6 도금층 151: 제1 회로층
152: 제2 회로층 153: 제3 회로층
154: 제4 회로층 155: 제5 회로층
156: 제6 회로층 161: 제1 솔더 레지스트층
162: 제2 솔더 레지스트층 210: 캐리어 기판
211: 절연재 212: 동박
221: 제1 도금 레지스트 222: 제2 도금 레지스트
223: 제3 도금 레지스트 224: 제4 도금 레지스트
231: 제1 에칭 레지스트 232: 제2 에칭 레지스트
233: 제3 에칭 레지스트 234: 제4 에칭 레지스트
235: 제5 에칭 레지스트 236: 제6 에칭 레지스트
A, B: 빌드업층100, 300: printed circuit board 111: first metal filler
112: second metal filler 113: third metal filler
114: fourth metal filler 115: fifth metal filler
121: first insulation layer 122: second insulation layer
123: third insulating layer 124: fourth insulating layer
125: fifth insulating layer 131: first seed layer
132: second seed layer 133: third seed layer
134: fourth seed layer 135: fifth seed layer
136: sixth seed layer 141: first plating layer
142: second plating layer 143: third plating layer
144: fourth plated layer 145: fifth plated layer
146: sixth plating layer 151: first circuit layer
152: second circuit layer 153: third circuit layer
154: fourth circuit layer 155: fifth circuit layer
156: sixth circuit layer 161: first solder resist layer
162: second solder resist layer 210: carrier substrate
211: Insulation material 212: Copper foil
221: first plating resist 222: second plating resist
223: third plating resist 224: fourth plating resist
231: first etching resist 232: second etching resist
233: Third etching resist 234: Fourth etching resist
235: Fifth etching resist 236: Sixth etching resist
A, B: buildup layer
Claims (21)
상기 절연층 내부에 다수개가 형성되며, 상기 다수개가 상호 적층된 금속 필러; 및
상기 절연층에 형성되며, 상기 적층된 금속 필러 사이에 형성된 회로층;
을 포함하는 인쇄회로기판.
Insulating layer;
A plurality of metal pillars in which a plurality of the insulating layers are stacked; And
A circuit layer formed on the insulating layer and formed between the stacked metal pillars;
And a printed circuit board.
상기 회로층은 상기 금속 필러 상에 형성되며, 상기 절연층의 일면 및 타면 중 적어도 한 면에 더 형성되는 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the circuit layer is formed on the metal pillar and is further formed on at least one of the one surface and the other surface of the insulating layer.
상기 절연층의 일면 및 타면 중 적어도 한 면에 형성되며, 상기 회로층을 노출하는 개구부를 포함하는 솔더 레지스트층을 더 포함하는 인쇄회로기판.
The method of claim 2,
And a solder resist layer formed on at least one of the one surface and the other surface of the insulating layer and including an opening exposing the circuit layer.
상기 절연층은 ABF(Ajinomoto Build up Film)로 형성된 인쇄회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the insulating layer is formed of ABF (Ajinomoto Build-up Film).
상기 절연층 내부에는 한 층 이상의 내층 회로층이 더 형성된 인쇄회로기판 제조 방법.
The method according to claim 1,
Wherein one or more inner layer circuit layers are further formed inside the insulating layer.
상기 캐리어 기판에 제1 금속 필러를 형성하는 단계;
상기 캐리어 기판에 형성되며, 상기 제1 금속 필러의 일면을 노출하도록 형성되는 제1 절연층을 형성하는 단계;
상기 캐리어 기판을 제거하는 단계; 및
상기 제1 절연층 및 상기 제1 금속 필러의 일면 및 타면 중 적어도 한 면에 형성된 제1 회로층을 형성하는 단계;
를 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
Preparing a carrier substrate;
Forming a first metal filler on the carrier substrate;
Forming a first insulation layer on the carrier substrate, the first insulation layer being formed to expose one surface of the first metal filler;
Removing the carrier substrate; And
Forming a first circuit layer on at least one side of the first insulating layer and the first metal filler;
≪ / RTI >
상기 캐리어 기판은 절연 수지 및 상기 절연 수지의 적어도 일면에 형성된 동박을 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
The method of claim 6,
Wherein the carrier substrate includes an insulating resin and a copper foil formed on at least one surface of the insulating resin.
상기 금속 필러를 형성하는 단계는,
상기 캐리어 기판의 일면 및 타면 중 적어도 한 면에 형성되며, 제1 개구부를 포함하는 제1 감광성 레지스트를 형성하는 단계;
상기 제1 개구부를 전도성 금속으로 충진하여 상기 제1 금속 필러를 형성하는 단계; 및
상기 제1 감광성 레지스트를 제거하는 단계;
를 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
The method of claim 6,
Wherein forming the metal filler comprises:
Forming a first photosensitive resist on at least one surface of the carrier substrate, the first photosensitive resist including a first opening;
Filling the first opening with a conductive metal to form the first metal filler; And
Removing the first photosensitive resist;
≪ / RTI >
상기 제1 절연층을 형성하는 단계는,
상기 제1 금속 필러가 삽입되는 개구부가 형성된 제1 절연층을 준비하는 단계; 및
상기 제1 금속 필러가 상기 개구부에 삽입되도록 상기 캐리어 기판에 상기 제1 절연층을 적층하는 단계;
를 포함하되, 상기 캐리어 기판에 적층된 상기 제1 절연층의 일면과 상기 제1 금속 필러의 일면은 동일 선상에 위치하는 인쇄회로기판 제조 방법.
The method of claim 6,
The forming of the first insulating layer may include:
Preparing a first insulating layer having an opening through which the first metal filler is inserted; And
Stacking the first insulating layer on the carrier substrate such that the first metal filler is inserted into the opening;
Wherein one surface of the first insulating layer laminated on the carrier substrate and one surface of the first metal pillar are located on the same line.
상기 제1 회로층을 형성하는 단계는,
상기 제1 절연층에 제1 도금층을 형성하는 단계;
상기 제1 도금층 상부에 형성되며, 상기 제1 회로층과 대응되는 영역에 위치하도록 패터닝된 제1 에칭 레지스트를 형성하는 단계;
상기 제1 도금층을 에칭하여 상기 제1 회로층을 형성하는 단계; 및
상기 제1 에칭 레지스트를 제거하는 단계;
를 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
The method of claim 6,
Wherein forming the first circuit layer comprises:
Forming a first plating layer on the first insulating layer;
Forming a first etch resist patterned on the first plating layer and patterned to be located in a region corresponding to the first circuit layer;
Etching the first plating layer to form the first circuit layer; And
Removing the first etch resist;
≪ / RTI >
상기 제1 도금층을 형성하는 단계 이전에,
제1 절연층에 무전해 도금 방법으로 제1 시드층을 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
The method of claim 6,
Before the step of forming the first plating layer,
And forming a first seed layer on the first insulating layer by an electroless plating method.
상기 제1 도금층을 형성하는 단계에서,
상기 제1 도금층은 전해 도금 방법으로 형성되는 인쇄회로기판 제조 방법.
The method of claim 10,
In the step of forming the first plating layer,
Wherein the first plating layer is formed by an electrolytic plating method.
상기 제1 회로층을 형성하는 단계 이후에,
상기 제1 절연층에 형성되며, 상기 제1 회로층을 노출하도록 개구부가 형성된 제1 솔더 레지스트를 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
The method of claim 6,
After the step of forming the first circuit layer,
Further comprising forming a first solder resist formed on the first insulating layer and having an opening to expose the first circuit layer.
상기 제1 회로층을 형성하는 단계 이후에,
상기 제1 회로층 상에 제2 금속 필러를 형성하는 단계;
상기 제1 절연층 상에 형성되며, 상기 제2 금속 필러의 일면 또는 타면을 노출하는 제2 절연층을 형성하는 단계; 및
상기 제2 절연층 및 상기 제2 금속 필러에 형성되는 제2 회로층을 형성하는 단계;
를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
The method of claim 6,
After the step of forming the first circuit layer,
Forming a second metal filler on the first circuit layer;
Forming a second insulating layer on the first insulating layer and exposing one surface or the other surface of the second metal filler; And
Forming a second circuit layer on the second insulating layer and the second metal filler;
Further comprising the steps of:
상기 제2 금속 필러를 형성하는 단계는,
상기 제1 절연층에 형성되며, 상기 제1 회로층을 노출하는 제2 개구부를 포함하는 제2 감광성 레지스트를 형성하는 단계;
상기 제2 개구부를 전도성 금속으로 충진하여 상기 제2 금속 필러를 형성하는 단계; 및
상기 제2 감광성 레지스트를 제거하는 단계;
를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Wherein forming the second metal filler comprises:
Forming a second photosensitive resist on the first insulating layer, the second photosensitive resist including a second opening exposing the first circuit layer;
Filling the second opening with a conductive metal to form the second metal filler; And
Removing the second photosensitive resist;
Further comprising the steps of:
상기 제2 절연층을 형성하는 단계는,
상기 제2 금속 필러가 삽입되는 개구부가 형성된 제2 절연층을 준비하는 단계; 및
상기 제2 금속 필러가 상기 개구부에 삽입되도록 상기 제1 절연층에 상기 제2 절연층을 적층하는 단계;
를 포함하되, 상기 제1 절연층에 적층된 상기 제2 절연층의 일면과 상기 제2 금속 필러의 일면은 동일 선상에 위치하는 인쇄회로기판 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Wherein forming the second insulating layer comprises:
Preparing a second insulating layer having an opening through which the second metal filler is inserted; And
Stacking the second insulating layer on the first insulating layer such that the second metal filler is inserted into the opening;
Wherein one surface of the second insulating layer laminated on the first insulating layer and one surface of the second metal filler are located on the same line.
상기 제2 회로층을 형성하는 단계는,
상기 제2 절연층에 제2 도금층을 형성하는 단계;
상기 제2 도금층 상부에 형성되며, 상기 제2 회로층과 대응되는 영역에 위치하도록 패터닝된 제2 에칭 레지스트를 형성하는 단계;
상기 제2 도금층을 에칭하여 제2 회로층을 형성하는 단계; 및
상기 제2 에칭 레지스트를 제거하는 단계;
를 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Wherein forming the second circuit layer comprises:
Forming a second plating layer on the second insulating layer;
Forming a second etch resist patterned on the second plating layer and patterned to be located in a region corresponding to the second circuit layer;
Etching the second plating layer to form a second circuit layer; And
Removing the second etch resist;
≪ / RTI >
상기 제2 도금층을 형성하는 단계 이전에,
제2 절연층에 무전해 도금 방법으로 제2 시드층을 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
15. The method of claim 14,
Before the step of forming the second plating layer,
And forming a second seed layer on the second insulating layer by an electroless plating method.
상기 제2 도금층을 형성하는 단계에서,
상기 제2 도금층은 전해 도금 방법으로 형성되는 인쇄회로기판 제조 방법.
18. The method of claim 17,
In the step of forming the second plating layer,
Wherein the second plating layer is formed by an electrolytic plating method.
상기 제2 회로층을 형성하는 단계 이후에,
상기 제2 절연층에 형성되며, 상기 제2 회로층을 노출하도록 개구부가 형성된 제2 솔더 레지스트를 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.
15. The method of claim 14,
After the step of forming the second circuit layer,
Further comprising forming a second solder resist formed on the second insulating layer and having an opening to expose the second circuit layer.
상기 제1 절연층 내부에는 한 층 이상의 내층 회로층이 더 형성된 인쇄회로기판 제조 방법.The method of claim 6,
Wherein at least one inner layer circuit layer is further formed inside the first insulating layer.
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KR1020130069185A KR20140146447A (en) | 2013-06-17 | 2013-06-17 | Printed circuit board and method for manufacturing of the same |
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Cited By (1)
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US11758653B2 (en) | 2020-11-30 | 2023-09-12 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Printed circuit board |
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- 2013-06-17 KR KR1020130069185A patent/KR20140146447A/en not_active Application Discontinuation
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