KR20140135877A - 테스트 핸들러 - Google Patents

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Abstract

테스트 핸들러는 반도체 소자를 포함하는 전자 부품을 수용하여 고온 환경에서 상기 전자 부품을 테스트하기 위한 테스트 챔버를 구비하는 테스트 핸들러에 있어서, 상기 테스트 챔버는 하나의 상기 테스트 핸들러 내에 상기 전자 부품을 수용하여 고온 환경을 조성하는 공간이 적어도 두 개가 분리된 독립 구조를 갖도록 각각으로 구비되고, 그리고 상기 독립 구조를 갖는 적어도 두 개의 상기 테스트 챔버 각각은 개별적으로 온도 제어가 가능하도록 구비되고, 상기 테스트 챔버 각각의 양측 공간 각각에는 상기 테스트 챔버 각각의 온도 분위기를 개별적으로 제어하도록 히터 및 팬 각각을 구비하고, 상기 테스트 챔버 상부에는 상기 테스트 챔버 내부의 공기를 외부로 배출시키는 배출부를 구비할 수 있다.

Description

테스트 핸들러{A test handler for testing electronic components}
본 발명은 테스트 핸들러에 관한 것으로써, 반도체 소자를 포함하는 전자 부품을 수용하여 고온 환경에서 언급한 전자 부품을 테스트하기 위한 테스트 챔버를 구비하는 테스트 핸들러에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자가 패키징된 반도체 패키지, 컴퓨터나 이동 단말기 등에서 데이터를 저장하기 위해 사용되는 에스에스디(SSD) 등과 같은 전자 부품은 온도 변화에 따른 전기적 특성을 테스트하는 공정을 수행해야 한다. 이에, 전자 부품을 수용하여 고온 환경에서 언급한 전자 부품을 테스트하기 위한 테스트 챔버를 구비하는 테스트 핸들러를 사용하여 언급한 전자 부품의 온도 변화에 따른 전기적 특성을 테스트하고 있다.
언급한 테스트 핸들러에 대한 예로서는 대한민국 공개특허 10-2009-0030643호(이하, '인용 발명'이라 함) 등에 개시되어 있다.
여기서, 언급한 인용 문헌에 개시된 테스트 핸들러의 경우에는 주로 16×3의 행렬 구조를 갖는 슬롯을 구비하는 테스트 챔버를 포함한다. 그리고 언급한 테스트 핸들러는 테스트 챔버의 상부 및 하부 각각에 가열부 각각을 배치시켜 테스트 챔버를 가열하는 구조로 구비된다. 아울러, 언급한 테스트 핸들러는 에어 칠러(air chiller) 등을 사용하여 테스트 챔버의 가열된 온도를 제어하는 구조를 갖는다.
그러나 언급한 테스트 핸들러는 16×3의 행렬 구조를 갖는 슬롯을 갖도록 구비되기 때문에 내부 볼륨(volume)의 다소 큰 관계로 테스트 챔버의 가열된 온도를 용이하게 제어하기에는 한계가 있다.
따라서 종래의 테스트 핸들러는 다소 큰 내부 볼륨을 갖도록 테스트 챔버를 구비하기 때문에 테스트 챔버 내부의 가열된 온도를 균일하게 제어하기에는 한계가 있고, 그 결과 전자 부품의 테스트에 따른 신뢰도에 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 고온 환경을 용이하게 조성하도록 용이한 온도 제어가 가능하게 내부 볼륨을 최적화시킨 테스트 챔버를 구비하는 테스트 핸들러를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러는 반도체 소자를 포함하는 전자 부품을 수용하여 고온 환경에서 상기 전자 부품을 테스트하기 위한 테스트 챔버를 구비하는 테스트 핸들러에 있어서, 상기 테스트 챔버는 하나의 상기 테스트 핸들러 내에 상기 전자 부품을 수용하여 고온 환경을 조성하는 공간이 적어도 두 개가 분리된 독립 구조를 갖도록 각각으로 구비되고, 그리고 상기 독립 구조를 갖는 적어도 두 개의 상기 테스트 챔버 각각은 개별적으로 온도 제어가 가능하도록 구비되고, 상기 테스트 챔버 각각의 양측 공간 각각에는 상기 테스트 챔버 각각의 온도 분위기를 개별적으로 제어하도록 히터 및 팬 각각을 구비하여 상기 히터 및 팬의 구동에 의해 상기 테스트 챔버 내에 조성되는 온도 분위기가 일정하게 유지되도록 상기 테스트 챔버 내의 가열 공기를 순환시키고, 상기 테스트 챔버 내부 각각에 상기 테스트 챔버 각각의 내부로 송풍이 가능한 구조를 갖는 노즐을 구비시키고, 상기 테스트 챔버 상부에는 상기 테스트 챔버 내부의 공기를 외부로 배출시키는 배출부를 구비하여 상기 노즐을 사용한 송풍 및 상기 배출부를 사용한 배출을 통하여 상기 테스트 챔버 각각의 내부 온도를 제열할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러에서, 상기 독립 구조를 갖는 적어도 두 개의 상기 테스트 챔버 각각은 8×3의 행렬 구조를 갖는 슬롯으로 구비될 수 있다.
언급한 본 발명에 따른 테스트 핸들러는 하나의 테스트 핸들러 내에 전자 부품을 수용하여 고온 환경을 조성하는 공간이 적어도 두 개가 분리된 독립 구조를 갖도록 각각으로 구비되고, 그리고 독립 구조를 갖는 적어도 두 개의 테스트 챔버 각각은 개별적으로 온도 제어가 가능하도록 구비됨과 아울러 적어도 두 개의 테스트 챔버 각각에 팬 및 히터를 구비할 수 있다. 즉, 단일 구조의 테스트 핸들러 내에 적어도 두 개의 독립된 공간 및 온도 제어가 각각 가능한 적어도 두 개의 테스트 챔버와 그리고 팬 및 히터를 구비할 수 있는 것이다.
또한, 본 발명의 테스트 핸들러는 상기 테스트 챔버 내부 각각에 상기 테스트 챔버 각각의 내부로 송풍이 가능한 구조를 갖는 노즐을 구비시킴과 더불어 상기 테스트 챔버 상부에는 상기 테스트 챔버 내부의 공기를 외부로 배출시키는 배출부를 구비함으로써 보다 효율적인 온도 제어가 가능하다. 특히, 언급한 노즐 및 배출부를 사용하여 테스트 챔버 각각에 테스트를 위하여 조성된 고온 환경을 냉각시킬 경우에는 보다 효율적일 수 있다.
따라서 본 발명의 테스트 핸들러의 경우 테스트 챔버는 내부 볼륨이 고온 환경을 용이하게 조성하도록 용이한 온도 제어가 가능하게 최적화된 구조를 가질 수 있다.
이에, 본 발명의 테스트 핸들러는 언급한 바와 같이 고온 환경을 용이하게 조성할 수 있을 뿐만 아니라 온도 제어 또한 용이하게 조정할 수 있는 최적화된 내부 볼륨을 갖는 테스트 챔버를 구비함으로써 테스트 핸들러를 사용하는 테스트 공정의 수행시 테스트 챔버 내부의 가열된 온도를 균일하게 제어할 수 있기 때문에 전자 부품의 테스트에 따른 신뢰도가 향상되는 효과를 기대할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 테스트 챔버를 개략적으로 나타내는 구성도들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
먼저, 도시하지는 않았지만 본 발명의 테스트 핸들러를 이용하여 테스트하기 위한 전자 부품의 하나인 에스에스디(SSD)에 대하여 설명하면 다음과 같다.
언급한 에스에스디는 베어 구조를 대상으로 테스트를 수행하는 것으로써, 베어 구조는 케이스가 조립되지 않은 상태를 의미한다. 언급한 베어 상태의 에스에스디는 인쇄회로기판, 다수개의 플래쉬 메모리, 제어기, 입출력 제어기, 커넥터 등을 포함할 수 있다. 여기서, 언급한 다수개의 플래쉬 메모리, 제어기, 입출력 제어기, 커넥터 등이 인쇄회로기판에 실장되는 구조를 갖는 것으로써, 인쇄회로기판의 일면에 제어기와 입출력 제어기가 그리고 인쇄회로기판의 타면에 플레쉬 메모리가 실장되는 구조를 가질 수 있다.
따라서 본 발명에서는 테스트 핸들러를 사용하여 언급한 바와 같이 에스에스디 등과 같은 전자 부품을 고온 환경에서 전기적 신뢰도를 테스트할 수 있다.
아울러, 언급한 테스트 핸들러를 이용한 전자 부품의 테스트에서는 전자 부품을 수용하는 테스트 트레이를 사용하여 로딩 및 언로딩할 수 있다. 또한, 언급한 테스트 핸들러는 전자 부품에 대한 전기적 신뢰도를 검사할 때 푸싱 부재를 사용하여 테스트 장치의 테스트 소켓 등에 전자 부품을 푸싱하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 또한, 언급한 테스트 핸들러는 전자 부품의 검사시 구동을 위한 구동 부재 등을 다양하게 구비할 수 있다.
즉, 언급한 본 발명의 테스트 핸들러의 일 예로서는 에스에스디를 검사하기 위한 에스에스디 테스트 핸들러를 들 수 있다. 그리고 언급한 에스에스디 테스트 핸들러는 주로 적재부, 테스트 챔버, 캐리어 이송 로봇, 셔틀부, 제1 테스트 트레이 회전 이송부, 제2 테스트 트레이 회전 이송부, 에스에스디 이송 로봇 등을 구비할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에서의 테스트 핸들러는 후술하는 테스트 챔버를 구비할 수 있는 것으로써, 본 발명의 테스트 챔버를 구비하는 테스트 핸들러에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 테스트 챔버를 개략적으로 나타내는 구성도들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 테스트 핸들러(100)는 반도체 소자를 포함하는 전자 부품, 예를 들면 에스에스디 등을 수용하여 고온 환경에서 언급한 전자 부품을 테스트하기 위한 테스트 챔버(11)를 구비할 수 있다. 여기서, 언급한 테스트 챔버(11)의 경우에는 전자 부품이 수용되는 공간 및 고온 환경을 조성하는 공간을 제공하는 부재일 수 있다.
특히, 본 발명에서의 언급한 테스트 챔버(11)는 하나의 테스트 핸들러(100) 내에 적어도 두 개의 테스트 챔버(13, 15)를 갖도록 구비할 수 있다. 여기서, 언급한 테스트 챔버(11)는 단일 구조를 갖는 하나의 테스트 핸들러(100) 내에 적어도 두 개의 테스트 챔버(13, 15) 구비되는 것으로써, 적어도 두 개의 테스트 챔버(13, 15)가 구비될 경우에는 그 개수에 한정되지 않는다.
언급한 하나의 테스트 핸들러(100) 내에 적어도 두 개가 구비되는 테스트 챔버(13, 15) 각각은 서로 분리된 독립 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 이때, 언급한 적어도 두 개의 테스트 챔버(13, 15) 각각은 개별적으로 온도 제어가 가능하도록 구비될 수 있다. 보다 구체적으로, 본 발명의 테스트 챔버(13, 15) 각각은 8×3의 행렬 구조를 갖는 슬롯(17)이 구비될 수 있는 것이다. 이에, 언급한 테스트 챔버(13, 15) 각각에는 24개의 슬롯(17)이 구비되는 구조를 가질 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 테스트 핸들러(100)는 하나의 테스트 핸들러(100) 내에 적어도 두 개의 테스트 챔버(13, 15)를 독립 공간 및 개별 온도 제어가 가능하게 구비함으로써, 도시된 바와 같이 적어두 두 개의 테스트 챔버(13, 15) 각각에 구비되는 슬롯(17) 모두에 테스트를 위하여 조성되는 온도 분위기를 전달할 수 있다. 즉, 본 발명의 테스트 핸들러(100)를 사용하는 전자 부품의 테스트에서는 온도 제어를 보다 용이하게 수행할 수 있기 때문에 슬롯(17) 각각 마다의 온도 안정화가 가능한 것이다.
이와 같이, 본 발명에 따른 테스트 핸들러(100)는 내부 볼륨이 고온 환경을 용이하게 조성하도록 용이한 온도 제어가 가능하게 최적화된 구조를 갖는 테스트 챔버(11)를 독립된 구조를 갖도록 구비할 수 있다.
아울러, 본 발명에서의 테스트 핸들러(100)는 하나의 테스트 핸들러(100) 내에 독립적으로 구비되는 테스트 챔버(13, 15) 각각의 양측 공간 각각에 테스트 챔버(11) 각각의 온도 분위기를 개별적으로 제어하도록 히터(21) 및 팬(19) 각각을 구비할 수 있다. 이에, 본 발명에서의 테스트 핸들러(100)는 독립적으로 구비되는 테스트 챔버(13, 15) 각각의 전 영역에 동일한 풍량을 분배할 수 있고, 그 결과 독립적으로 구비되는 테스트 챔버(13, 15) 각각의 온도 제어를 보다 용이하게 수행할 수 있다. 다시 말해, 본 발명의 테스트 핸들러(100)는 히터(21) 및 팬(19) 각각을 구비함으로써 크로스 팬 구조에 따른 대류 방식으로 테스트 챔버(11) 각각의 전 영역에 동일한 풍량을 분배할 수 있기 때문에 독립적으로 구비되는 테스트 챔버(13, 15) 각각의 온도 제어를 보다 용이하게 수행할 수 있는 것이다.
아울러, 본 발명의 테스트 핸들러(100)는 언급한 히터(21) 및 팬(19)을 구비하여 테스트 챔버(11) 각각의 전 영역에 동일한 풍량을 분배할 수 있을 뿐만 아니라 테스트 챔버(11) 각각에 조성되는 온도 분위기를 일정하게 유지할 수 있도록 가열 온도를 순환시킬 수 있다. 이에, 본 발명의 테스트 핸들러(100)를 사용한 전자 부품의 검사에서는 테스트 챔버(11) 각각에 대한 온도 제어가 보다 용이하게 이루어질 수 있다.
그리고 본 발명의 테스트 핸들러(100)는 테스트 챔버(11) 내부 각각에 테스트 챔버(11) 각각의 내부로 송풍이 가능한 구조를 갖는 노즐(25)을 구비시킴과 더불어 테스트 챔버(11) 상부에는 테스트 챔버(11) 내부의 공기를 외부로 배출시키는 배출부(23)를 구비함으로써 보다 효율적인 온도 제어가 가능하다. 즉, 노즐(25) 및 배출부(23)를 사용하여 냉각 공기를 순환시킴으로써 테스트 챔버(11) 각각에 전자 부품의 테스트를 위하여 조성된 고온 환경을 보다 용이하게 단시간에 냉각시킬 수 있기 때문에 테스트 핸들러(100)의 사용에 따른 효율적인 온도 제어가 가능한 것이다.
그러므로 본 발명의 테스트 핸들러(100)는 테스트 챔버(11) 각각에서의 슬롯(17) 위치에 따른 온도를 개별적으로 제어하고, 전자 부품의 특성에 따른 온도도 개별적으로 제어하고, 고온 및 냉각에 따른 제어를 효율적으로 수행할 수 있다.
아울러, 도시하지는 않았지만 테스트 챔버(11) 각각의 슬롯(17)에 온도 센서를 구비하여 이를 통해 테스트 챔버(11) 각각의 슬롯(17) 각각에 대한 온도 제어를 보다 용이하게 수행할 수도 있다.
또한, 본 발명의 따른 테스트 핸들러(100)는 독립 구조의 적어도 두 개의 테스트 챔버(13, 15)를 단일의 테스트 핸들러(100)에 구비되는 구조를 갖도록 형성함으로써, 언급한 테스트 핸들러(100)를 사용한 테스트 시간에도 지장을 끼치지 않는다.
본 발명의 테스트 핸들러는 언급한 바와 같이 고온 환경을 용이하게 조성할 수 있을 뿐만 아니라 온도 제어 또한 용이하게 조정할 수 있고 아울러 팬과 히터를 이용하여 온도 제어를 함께 수행할 수 있는 최적화된 내부 볼륨을 갖는 테스트 챔버를 구비함으로써 테스트 핸들러를 사용하는 테스트 공정의 수행시 테스트 챔버 내부의 가열된 온도를 균일하게 제어할 수 있기 때문에 전자 부품의 테스트에 따른 신뢰도의 향상을 기대할 수 있고, 그 결과 전자 부품의 제조에 따른 신뢰도의 향상을 통하여 제품 신뢰도를 충분하게 확보할 수 있다.
아울러 본 발명의 테스트 핸들러는 언급한 노즐 및 배출부를 구비함으로써 보다 효율적인 온도 제어를 도모할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11, 13, 15 : 테스트 챔버
17 : 슬롯 19 : 팬
21 : 히터 23 : 배출부
25 : 노즐 100 : 테스트 핸들러

Claims (2)

  1. 반도체 소자를 포함하는 전자 부품을 수용하여 고온 환경에서 상기 전자 부품을 테스트하기 위한 테스트 챔버를 구비하는 테스트 핸들러에 있어서,
    상기 테스트 챔버는 하나의 상기 테스트 핸들러 내에 상기 전자 부품을 수용하여 고온 환경을 조성하는 공간이 적어도 두 개가 분리된 독립 구조를 갖도록 각각으로 구비되고, 그리고 상기 독립 구조를 갖는 적어도 두 개의 상기 테스트 챔버 각각은 개별적으로 온도 제어가 가능하도록 구비되고,
    상기 테스트 챔버 각각의 양측 공간 각각에는 상기 테스트 챔버 각각의 온도 분위기를 개별적으로 제어하도록 히터 및 팬 각각을 구비하여 상기 히터 및 팬의 구동에 의해 상기 테스트 챔버 내에 조성되는 온도 분위기가 일정하게 유지되도록 상기 테스트 챔버 내의 가열 공기를 순환시키고,
    상기 테스트 챔버 내부 각각에 상기 테스트 챔버 각각의 내부로 송풍이 가능한 구조를 갖는 노즐을 구비시키고, 상기 테스트 챔버 상부에는 상기 테스트 챔버 내부의 공기를 외부로 배출시키는 배출부를 구비하여 상기 노즐을 사용한 송풍 및 상기 배출부를 사용한 배출을 통하여 상기 테스트 챔버 각각의 내부 온도를 제열할 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 독립 구조를 갖는 적어도 두 개의 상기 테스트 챔버 각각은 8×3의 행렬 구조를 갖는 슬롯으로 구비되는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러.
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