KR20140132577A - Testing apparatus and method for flat display device - Google Patents

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KR20140132577A KR20130051956A KR20130051956A KR20140132577A KR 20140132577 A KR20140132577 A KR 20140132577A KR 20130051956 A KR20130051956 A KR 20130051956A KR 20130051956 A KR20130051956 A KR 20130051956A KR 20140132577 A KR20140132577 A KR 20140132577A
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Abstract

The present invention provides an apparatus for testing a flat display device and a test method thereof, which can reduce contact miss faults of a test contact pin. An apparatus for testing a flat display device according to the present invention comprises: a test contact pin which supplies a test signal to a number of test pads formed on a display panel by contacting the test pads one to one; a probe unit which includes a reference contact pin contacting a guide line connected to the test pads in common; and a test part which judges a contact fault of the test contact pin and the test pad by measuring a resistance formed between a reference contact pin and the test pad.

Description

평판 표시 소자의 검사 장치 및 검사 방법{TESTING APPARATUS AND METHOD FOR FLAT DISPLAY DEVICE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a testing apparatus and a testing method for a flat panel display device,

본 발명은 검사 접촉핀의 접촉 미스 불량을 저감할 수 있는 평판 표시 소자의 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method of a flat panel display device capable of reducing contact failure of an inspection contact pin.

통상, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 액정 표시 패널에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들 각각이 비디오 신호에 따라 광투과율을 조절하게 함으로써 화상을 표시하게 된다. 2. Description of the Related Art Liquid crystal displays (LCDs) typically display an image by allowing each of liquid crystal cells arranged in a matrix form to control light transmittance according to a video signal.

이러한 종래 액정 표시 패널을 제조하기 위한 제조 공정은 박막트랜지스터 기판 및 컬러필터 기판을 마련하기 위한 패터닝 공정, 박막트랜지스터 기판과 컬러필터 기판이 액정을 사이에 두고 합착되는 합착 공정, 불량 액정 표시 패널을 검출하는 검사 공정 등으로 나뉘어진다.The manufacturing process for manufacturing such a conventional liquid crystal display panel includes a patterning process for providing a thin film transistor substrate and a color filter substrate, a cohesive process in which the thin film transistor substrate and the color filter substrate are bonded together with the liquid crystal sandwiched therebetween, And an inspection process in which

이 중 검사 공정은 액정 표시 패널에 구동 집적 회로를 부착하기 전의 상태에서 액정 표시 패널의 불량 유무를 검사하게 된다. 이를 위해, 검사 공정시 신호 라인과 접속된 검사 패드들 각각은 검사 신호를 공급하는 프로브 유닛의 검사 접촉핀과 접속된다. In the inspection process, the presence or absence of defects of the liquid crystal display panel is checked before the drive integrated circuit is attached to the liquid crystal display panel. To this end, each of the inspection pads connected to the signal line in the inspection process is connected to the inspection contact pin of the probe unit which supplies the inspection signal.

이 때, 하나의 검사 패드 당 2개의 검사 접촉핀이 접속되어 2개의 검사 접촉핀들 간의 저항을 측정하여, 측정된 저항값이 허용 범위 내에 있는지의 여부를 판단하여 검사 핀의 접촉 미스 불량을 체크한다. At this time, two inspection contact pins are connected to one inspection pad to measure the resistance between the two inspection contact pins, and it is determined whether or not the measured resistance value is within the permissible range, and the contact failure of the inspection pin is checked .

그러나, 종래 하나의 검사 패드 당 2개의 검사 접촉핀이 접속되므로 컨택 마진이 부족한다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 2개의 검사 접촉핀(22)은 하나의 검사 패드(10) 상에서 소정간격(d)을 유지하여야 하므로 허용 오차 범위(ae)는 좁아지므로 접촉 미스 불량 확률이 높아진다.However, conventionally, since two inspection contact pins are connected per one inspection pad, the contact margin is insufficient. That is, as shown in FIG. 1, since the two inspection contact pins 22 must maintain a predetermined distance d on one inspection pad 10, the allowable error range ae becomes narrow, so that the probability of poor contact failure is increased .

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 검사 접촉핀의 접촉 미스 불량을 저감할 수 있는 평판 표시 소자의 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다.In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an inspection apparatus and a method for inspecting a flat panel display element capable of reducing contact failure of an inspection contact pin.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 검사 장치는 표시 패널 상에 형성된 다수의 검사 패드와 일대일 접촉하여 상기 다수의 검사 패드에 검사 신호를 공급하는 검사 접촉핀과, 상기 다수의 검사 패드들이 공통으로 접속되는 가이드 라인과 접촉하는 기준 접촉핀을 포함하는 프로브 유닛과; 상기 기준 접촉핀과 상기 검사 패드 사이에 형성되는 저항값을 측정하여 상기 검사 접촉핀과 상기 검사 패드의 접촉 불량을 판단하는 검사부를 구비하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting a flat panel display device, including: an inspection contact pin contacting a plurality of inspection pads formed on a display panel to supply inspection signals to the plurality of inspection pads; A probe unit including a reference contact pin in contact with a guideline to which inspection pads of the probe unit are commonly connected; And an inspection unit for measuring a resistance value formed between the reference contact pin and the inspection pad to determine a poor contact between the inspection contact pin and the inspection pad.

상기 검사부는 상기 측정된 저항값이 임계치 이상이면 불량 접촉으로 판단하고, 상기 측정된 저항값이 임계치 미만이면 정상 접촉으로 판단하는 것을 특징으로 한다.The inspecting unit judges that the contact is a bad contact if the measured resistance value is equal to or more than the threshold value, and determines that the contact is normal if the measured resistance value is less than the threshold value.

상기 가이드 라인은 상기 표시 패널의 정전기 제거하기 위해 도전층으로 형성되며 스크라이빙 공정시 제거되는 것을 특징으로 한다.The guide line is formed as a conductive layer for removing static electricity of the display panel and is removed in the scribing process.

상기 검사 접촉핀 및 기준 접촉핀은 니들형 핀 또는 포고형 핀으로 형성되는 것을 특징으로 한다.Wherein the inspection contact pin and the reference contact pin are formed of a needle type pin or a pogo type pin.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 검사 방법은 다수의 검사 패드들과, 상기 다수의 검사 패드들이 공통으로 접속되는 가이드 라인이 형성된 표시 패널을 로딩하는 단계와; 상기 표시 패널 상부에 다수의 검사 접촉핀들과 기준 접촉핀을 가지는 프로브 유닛을 정렬하는 단계와; 상기 검사 패드와 상기 검사 접촉핀을 일대일 접촉시킴과 동시에 상기 가이드 라인과 기준 접촉핀을 접촉시키는 단계와; 상기 기준 접촉핀과 상기 검사 패드 사이에 형성되는 저항값을 측정하여 상기 검사 접촉핀과 상기 검사 패드의 접촉 불량을 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of inspecting a flat panel display device including loading a display panel having a plurality of test pads and a guide line to which the plurality of test pads are connected in common; Aligning a probe unit having a plurality of inspection contact pins and a reference contact pin on the display panel; Contacting the inspection pads with the inspection contact pins in one-to-one contact with each other and contacting the guide lines with the reference contact pins; And determining a contact failure between the inspection contact pin and the inspection pad by measuring a resistance value formed between the reference contact pin and the inspection pad.

상기 검사 접촉핀과 상기 검사 패드의 접촉 불량을 판단하는 단계는 상기 측정된 저항값이 임계치 이상이면 불량 접촉으로 판단하고, 상기 측정된 저항값이 임계치 미만이면 정상 접촉으로 판단하는 것을 특징으로 한다.Wherein the step of judging the contact failure between the inspection contact pin and the inspection pad determines that the contact is a contact failure if the measured resistance value is equal to or greater than the threshold value and determines that the contact is normal if the measured resistance value is less than the threshold value.

이와 같이, 본 발명은 검사 접촉핀과 검사 패드가 일대일 접촉하므로 검사 패드와 검사 접촉핀의 컨택 마진을 확보할 수 있어 접촉 미스 불량 확률을 종래보다 줄일 수 있다.As described above, since the inspection contact pin and the inspection pad are in one-to-one contact with each other, the contact margin between the inspection pad and the inspection contact pin can be ensured, thereby reducing the probability of failure in contact failure.

도 1은 종래 표시 패널의 검사 접촉핀의 허용 오차 범위를 설명하기 위한 도면이다.
도 2은 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 검사 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 프로브 유닛의 다른 실시예를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 2 및 도 3에 도시된 프로브 유닛과 박막트랜지스터 기판과의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 2 및 도 3에 도시된 포고형 핀을 가지는 프로브 유닛을 나타내는 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 포고형 핀을 상세히 설명하기 위한 도면이다.
도 7a는 본 발명에 따른 프로브 유닛의 검사 접촉핀과 검사 패드의 정상 접촉을 설명하기 위한 도면이며, 도 7b는 본 발명에 따른 프로브 유닛의 검사 접촉핀과 검사 패드의 불량 접촉을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 프로브 유닛의 검사 접촉핀의 허용 오차 범위를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.1 is a view for explaining a tolerance range of an inspection contact pin of a conventional display panel.
2 is a plan view for explaining an apparatus for testing a flat panel display device according to the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing another embodiment of the probe unit shown in FIG. 2. FIG.
FIG. 4 is a view for explaining the relationship between the probe unit and the thin film transistor substrate shown in FIGS. 2 and 3. FIG.
Fig. 5 is a view showing a probe unit having the pogo pins shown in Figs. 2 and 3. Fig.
Fig. 6 is a view for explaining the pogo type pin shown in Fig. 5 in detail.
FIG. 7A is a view for explaining the normal contact between the inspection contact pin and the inspection pad of the probe unit according to the present invention, FIG. 7B is a view for explaining the poor contact between the inspection contact pin and the inspection pad of the probe unit according to the present invention to be.
8 is a view for explaining the tolerance range of the inspection contact pin of the probe unit according to the present invention.
9 is a flowchart for explaining a method of testing a flat panel display device according to the present invention.

이하, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and embodiments.

도 2는 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 검사 장치를 나타내는 도면이다. 2 is a view showing an apparatus for testing a flat panel display according to the present invention.

도 2에 도시된 검사 장치는 액정 표시 패널(100)을 검사하기 위한 프로브 유닛(120)과, 검사부(140)를 구비한다.The inspection apparatus shown in FIG. 2 includes a probe unit 120 for inspecting the liquid crystal display panel 100 and an inspection unit 140.

액정 표시 패널(100)은 박막트랜지스터 기판(102)과 컬러 필터 기판(104)이 액정층을 사이에 두고 합착함으로써 형성된다. The liquid crystal display panel 100 is formed by laminating a thin film transistor substrate 102 and a color filter substrate 104 with a liquid crystal layer interposed therebetween.

이러한 액정 표시 패널(100)에는 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)의 교차점에 접속된 박막트랜지스터(TFT)와, 박막트랜지스터(TFT)와 접속된 액정셀(Clc)이 형성된다. 게이트 라인(GL)들은 게이트 구동부를 통해 스캔 펄스를 공급받는다. 데이터 라인(DL)들은 데이터 구동부를 통해 아날로그 형태의 화소 전압 신호를 공급받는다. 박막 트랜지스터(TFT)는 게이트 라인(GL)에 공급되는 스캔 신호에 응답하여 데이터 라인(DL)에 공급되는 화소 전압 신호를 액정셀(Clc)에 공급한다.In this liquid crystal display panel 100, a thin film transistor (TFT) connected to the intersection of the gate line GL and the data line DL and a liquid crystal cell Clc connected to the thin film transistor TFT are formed. The gate lines GL are supplied with a scan pulse through a gate driver. The data lines DL are supplied with an analog type pixel voltage signal through a data driver. The thin film transistor TFT supplies a pixel voltage signal supplied to the data line DL to the liquid crystal cell Clc in response to a scan signal supplied to the gate line GL.

한편, 컬러 필터 기판(104)에 의해 노출된 박막트랜지스터 기판(102)에는 검사 패드(110) 및 가이드 라인(112)이 형성된다.On the other hand, the inspection pad 110 and the guide line 112 are formed on the thin film transistor substrate 102 exposed by the color filter substrate 104.

검사 패드(110)는 게이트 라인(GL) 및 데이터 라인(DL) 중 적어도 어느 하나의 신호 라인에 검사 신호를 공급한다.The test pad 110 supplies an inspection signal to at least one of signal lines of the gate line GL and the data line DL.

가이드 라인(112)은 액정 표시 패널(100) 내부에 정전기 발생시 정전기 방출 경로로 이용된다. 즉, 가이드 라인(112)에는 신호 라인(GL,DL)과 접속된 검사 패드(110)들이 공통으로 접속되므로, 액정 표시 패널(100) 내부에서 발생된 정전기는 신호 라인(GL.DL), 검사 패드(110) 및 가이드 라인(112)을 통해 외부로 빠르게 빠져나가게 된다. 이 때, 가이드 라인(112)과 검사 패드(110) 사이에는 박막트랜지스터(TFT)의 게이트 전극, 소스/드레인 전극과, 화소 전극 중 적어도 어느 하나와 동일한 도전재질로 동시에 형성되는 연결부(116)가 형성되므로 가이드 라인(112)과 검사 패드(110)는 전기적으로 접속된다.The guide line 112 is used as an electrostatic discharge path when static electricity is generated inside the liquid crystal display panel 100. That is, since the test lines 110 connected to the signal lines GL and DL are commonly connected to the guide line 112, the static electricity generated inside the liquid crystal display panel 100 is transmitted through the signal line GL.DL, Through the pad 110 and the guide line 112. As shown in FIG. At this time, a connection portion 116 formed between the guideline 112 and the test pad 110 is formed of the same conductive material as at least one of the gate electrode, the source / drain electrode, and the pixel electrode of the thin film transistor TFT The guide line 112 and the test pad 110 are electrically connected to each other.

이러한 가이드 라인(112)은 컷팅라인(CL)을 따라 박막트랜지스터 기판(102)을 컷팅하는 스크라이빙 공정시 제거된다.This guideline 112 is removed during the scribing process for cutting the thin film transistor substrate 102 along the cutting line CL.

프로브 유닛(120)은 컬러 필터 기판(104)에 의해 노출된 박막트랜지스터 기판(102) 상부에 위치하게 된다. 이러한 프로브 유닛(120)은 플레이트 블록(126)과, 검사 접촉핀(122) 및 기준 접촉핀(124)을 구비한다.The probe unit 120 is positioned above the thin film transistor substrate 102 exposed by the color filter substrate 104. The probe unit 120 includes a plate block 126, an inspection contact pin 122, and a reference contact pin 124.

플레이트 블록(126)은 도 2에 도시된 바와 같이 박막트랜지스터 기판(102) 상의 검사 패드들(110) 전체를 커버하도록 검사 패드들(110) 상부에 일체형으로 형성되거나, 도 3에 도시된 바와 같이 다수의 그룹으로 구분된 검사 패드들(110) 상부에 다수개 형성된다. 이러한 플레이트 블록(126)은 도 4에 도시된 바와 같이 검사 접촉핀(122)이 검사 패드(110)와 접촉되고 기준 접촉핀(124)이 가이드 라인(112)과 접촉될 수 있도록 상하좌우로 이동하여 박막트랜지스터 기판(102) 상부에 정렬된다. The plate block 126 may be integrally formed on the inspection pads 110 to cover the entire inspection pads 110 on the thin film transistor substrate 102 as shown in FIG. 2, A plurality of test pads 110 are formed on the plurality of groups. The plate block 126 is moved up and down and left and right so that the inspection contact pin 122 is in contact with the inspection pad 110 and the reference contact pin 124 is in contact with the guide line 112, And aligned on top of the thin film transistor substrate 102.

검사 접촉핀(122) 및 기준 접촉핀(124)은 플레이트 블록(126) 상에 도 4에 도시된 바와 같이 니들(Niddle)형 핀으로 형성되거나 도 5에 도시된 바와 같이 포고(Pogo)형 핀으로 형성된다. 특히, 포고형 핀의 검사 접촉핀(122)은 도 6에 도시된 바와 같이 하우징(122D)과, 하우징(122D) 내부에 수납되는 스프링(122C)과, 하우징(122D)에서 돌출되어 스프링(122C)에 의해 신장 및 수축 가능한 접촉핀(122A)과, 포고형 핀이 플레이트 블럭(126)에 고정되도록 하우징(122D)의 상측에 형성된 소켓(122B)으로 구성된다. 포고형 핀의 기준 접촉핀(124) 역시 포고형 핀의 검사 접촉핀(122)과 동일 구조로 형성된다.The inspection contact pin 122 and the reference contact pin 124 may be formed on the plate block 126 as a Niddle type pin as shown in Figure 4 or as a Pogo type pin . 6, the inspection contact pin 122 of the pogo type pin includes a housing 122D, a spring 122C housed in the housing 122D, and a spring 122C protruding from the housing 122D, And a socket 122B formed on the upper side of the housing 122D so that the pogo pins are fixed to the plate block 126. The contact pins 122A and 122B can be extended and contracted, The reference contact pin 124 of the pogo pin is also formed in the same structure as the inspection contact pin 122 of the pogo pin.

검사 접촉핀(122)은 다수의 검사 패드(110)와 일대일 접촉하여 검사 공정시 검사 패드(110)에 검사 신호를 공급함으로써 액정 표시 패널(100)의 불량여부를 검사한다.The inspection contact pins 122 are in one-to-one contact with the plurality of inspection pads 110 to check whether the liquid crystal display panel 100 is defective by supplying inspection signals to the inspection pads 110 during the inspection process.

기준 접촉핀(124)은 검사 접촉핀들(122)과 같은 열 또는 다른 열에서 검사 접촉핀들(122)과 이격되도록 위치한다. 이러한 기준 접촉핀(124)은 가이드 라인(112)과 접촉하여 검사 공정시 검사 접촉핀(124)과 검사 패드(110)의 접촉 미스 불량을 확인한다. 즉, 기준 접촉핀(124)이 가이드 라인(122)과 접촉하고, 검사 접촉핀(124)이 검사 패드(110)와 일대일 접촉하게 되면, 도 2에 도시된 검사부(140)는 기준 접촉핀(124)과 검사 패드(110) 간의 저항값을 측정한다. The reference contact pin 124 is positioned to be spaced apart from the test contact pins 122 in the same row or other row as the test contact pins 122. The reference contact pin 124 is in contact with the guide line 112 to check for contact failure between the inspection contact pin 124 and the inspection pad 110 during the inspection process. That is, when the reference contact pin 124 comes into contact with the guide line 122 and the inspection contact pin 124 makes a one-to-one contact with the inspection pad 110, the inspection unit 140 shown in FIG. 124 and the test pad 110 is measured.

측정된 저항값이 도 7a에 도시된 바와 같이 임계치(예를 들어, 1000kΩ) 미만, 바람직하게는 10kΩ이하이면, 검사 접촉핀(122)과 검사 패드(110)가 접촉되어 정상으로 판단한다. 이 때 검사 접촉핀(122)과 검사 패드(110)가 정상 접촉되면, 도전체인 검사 접촉핀(122)과 도전체인 검사 패드(110)의 접촉으로 측정된 저항값은 상대적으로 낮다.If the measured resistance value is less than a threshold value (for example, 1000 k?) As shown in Fig. 7A, preferably less than 10 k ?, the inspection contact pin 122 and the inspection pad 110 are contacted and judged as normal. At this time, when the inspection contact pin 122 and the inspection pad 110 are in normal contact, the resistance value measured by the contact between the inspection contact pin 122 as a conductive layer and the inspection pad 110 as a conductive layer is relatively low.

측정된 저항값이 도 7b에 도시된 바와 같이 임계치 이상이면, 검사 접촉핀(122)과 검사 패드(110)의 접촉 미스 불량으로 판단한다. 이 때, 검사 접촉핀(122)과 검사 패드(110)가 접촉되지 않으면, 도전체인 검사 접촉핀(122)과, 검사 패드(110) 주변의 절연막(예를 들어, 게이트 절연막 및 보호막)의 접촉으로 측정된 저항값은 상대적으로 높아진다.If the measured resistance value is equal to or greater than the threshold value as shown in FIG. 7B, it is determined that there is a contact failure between the inspection contact pin 122 and the inspection pad 110. At this time, if the inspection contact pin 122 and the inspection pad 110 are not in contact with each other, the contact between the inspection contact pin 122 as a conductive layer and the insulating film (for example, a gate insulating film and a protective film) Is relatively high.

이와 같이, 본 발명은 도 8에 도시된 바와 같이 검사 접촉핀(122)과 검사 패드(110)가 일대일 접촉하므로 종래와 같은 동일한 검사 패드 상에 위치하는 2개의 검사 접촉핀간의 이격거리가 불필요하므로 허용 오차 범위를 넓힐 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 검사 접촉핀(122)과 검사 패드(110) 간의 접촉 미스 불량 확률을 종래 11.6%에서 0.08%로 줄일 수 있다. 8, since the inspection contact pin 122 and the inspection pad 110 are in one-to-one contact with each other as shown in FIG. 8, the distance between the two inspection contact pins located on the same inspection pad as the conventional one is unnecessary The tolerance range can be widened. Accordingly, the present invention can reduce the probability of poor contact failure between the inspection contact pin 122 and the inspection pad 110 from 0.06% to 11.6%.

도 9는 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.9 is a flowchart for explaining a method of testing a flat panel display device according to the present invention.

도 9에 도시된 바와 같이 검사 패드 및 가이드 라인이 형성된 액정 표시 패널(100)이 검사 스테이지(도시하지 않음) 상에 로딩된다(S1단계). 그런 다음, 검사 패드(110) 및 가이드 라인(112) 상부에 프로브 유닛(120)이 정렬된다(S2단계). 검사 접촉핀(122)이 검사 패드와 일대일 접촉하고, 기준 접촉핀(124)이 가이드 라인(112)과 접촉되도록 프로브 유닛(120)은 상하좌우로 이동한다(S3단계). 그런 다음, 기준 접촉핀(124)과 검사 패드(110) 간의 저항값을 측정하여 검사 접촉핀(122)이 검사 패드(110)간의 접촉 미스 불량 여부를 판단한다(S4단계). As shown in FIG. 9, the liquid crystal display panel 100 having the inspection pads and guide lines is loaded on an inspection stage (step S1). Then, the probe unit 120 is aligned on the inspection pad 110 and the guide line 112 (step S2). The probe unit 120 is moved up and down and left and right so that the probe pin 122 comes into contact with the probe pad one to one and the reference contact pin 124 comes into contact with the guide line 112 in step S3. Then, the resistance value between the reference contact pin 124 and the test pad 110 is measured to determine whether the test contact pin 122 is in contact with the test pad 110 (step S4).

측정된 저항값이 임계치(예를 들어, 1000kΩ) 미만, 바람직하게는 10kΩ이하이면, 검사 접촉핀(122)과 검사 패드(110)가 접촉되어 정상 접촉으로 판단한다. 측정된 저항값이 임계치 이상이면, 검사 접촉핀(122)과 검사 패드(110)의 불량 접촉으로 판단한다. If the measured resistance value is less than the threshold value (for example, 1000 k?), Preferably less than or equal to 10 k ?, the inspection contact pin 122 and the inspection pad 110 are contacted and judged as normal contact. If the measured resistance value is equal to or greater than the threshold value, it is determined that there is a poor contact between the inspection contact pin 122 and the inspection pad 110.

불량으로 판단되면, 프로브 유닛(120)을 상하좌우로 이동하여 검사 접촉핀(122)과 검사 패드(110)의 접촉이 정상으로 판단될 때까지 검사 접촉핀(122)과 검사 패드(110)를 재접촉시킨다(S3단계).The probe unit 120 is moved vertically and horizontally to move the inspection contact pins 122 and the inspection pads 110 until the contact between the inspection contact pins 122 and the inspection pads 110 is determined to be normal (Step S3).

정상으로 판단되면, 검사 패드(110)를 통해 신호 라인(GL,DL)에 검사 신호를 공급하여 액정 표시 패널의 불량 유무(신호라인의 오픈, 쇼트, 얼룩, 박막트랜지스터 등의 불량 유무)를 판단(S5단계)한 후 액정 표시 패널은 언로딩(S6단계)된다.If it is judged normal, an inspection signal is supplied to the signal lines GL and DL through the inspection pad 110 to judge whether there is a defect in the liquid crystal display panel (whether the signal line is open, shorted, stained, (Step S5), the liquid crystal display panel is unloaded (step S6).

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Will be clear to those who have knowledge of.

100 : 액정 표시 패널 102 : 박막트랜지스터 기판
104 : 컬러필터 기판 110 : 검사 패드
112 : 가이드 라인 120 : 프로브 유닛
122 : 검사 접촉핀 124 : 기준 접촉핀
126 : 프로브 블록100: liquid crystal display panel 102: thin film transistor substrate
104: Color filter substrate 110: Inspection pad
112: guideline 120: probe unit
122: inspection contact pin 124: reference contact pin
126: Probe block

Claims (7)

표시 패널 상에 형성된 다수의 검사 패드와 일대일 접촉하여 상기 다수의 검사 패드에 검사 신호를 공급하는 검사 접촉핀과, 상기 다수의 검사 패드들이 공통으로 접속되는 가이드 라인과 접촉하는 기준 접촉핀을 포함하는 프로브 유닛과;
상기 기준 접촉핀과 상기 검사 패드 사이에 형성되는 저항값을 측정하여 상기 검사 접촉핀과 상기 검사 패드의 접촉 불량을 판단하는 검사부를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 검사 장치.And a reference contact pin which is in contact with a plurality of test pads formed on the display panel to contact the plurality of test pads in a one-to-one contact with the plurality of test pads, A probe unit;
And an inspection unit for measuring a resistance value formed between the reference contact pin and the inspection pad to determine a contact failure between the inspection contact pin and the inspection pad. 제 1 항에 있어서,
상기 검사부는 상기 측정된 저항값이 임계치 이상이면 불량 접촉으로 판단하고, 상기 측정된 저항값이 임계치 미만이면 정상 접촉으로 판단하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the inspection unit judges that the contact is a bad contact if the measured resistance value is equal to or more than a threshold value and determines that the contact is normal if the measured resistance value is less than a threshold value. 제 1 항에 있어서,
상기 가이드 라인은 상기 표시 패널의 정전기 제거하기 위해 도전층으로 형성되며 스크라이빙 공정시 제거되는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the guide line is formed as a conductive layer for removing static electricity from the display panel and is removed in the scribing process. 제 1 항에 있어서,
상기 검사 접촉핀 및 기준 접촉핀은 니들형 핀 또는 포고형 핀으로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 검사 장치.The method according to claim 1,
Wherein the inspection contact pin and the reference contact pin are formed of a needle type pin or a pogo type pin. 다수의 검사 패드들과, 상기 다수의 검사 패드들이 공통으로 접속되는 가이드 라인이 형성된 표시 패널을 로딩하는 단계와;
상기 표시 패널 상부에 다수의 검사 접촉핀들과 기준 접촉핀을 가지는 프로브 유닛을 정렬하는 단계와;
상기 검사 패드와 상기 검사 접촉핀을 일대일 접촉시킴과 동시에 상기 가이드 라인과 기준 접촉핀을 접촉시키는 단계와;
상기 기준 접촉핀과 상기 검사 패드 사이에 형성되는 저항값을 측정하여 상기 검사 접촉핀과 상기 검사 패드의 접촉 불량을 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 검사 방법.The method comprising: loading a plurality of test pads and a display panel having guide lines to which the plurality of test pads are connected in common;
Aligning a probe unit having a plurality of inspection contact pins and a reference contact pin on the display panel;
Contacting the inspection pads with the inspection contact pins in one-to-one contact with each other and contacting the guide lines with the reference contact pins;
And determining a contact failure between the inspection contact pin and the inspection pad by measuring a resistance value formed between the reference contact pin and the inspection pad. 제 5 항에 있어서,
상기 검사 접촉핀과 상기 검사 패드의 접촉 불량을 판단하는 단계는
상기 측정된 저항값이 임계치 이상이면 불량 접촉으로 판단하고, 상기 측정된 저항값이 임계치 미만이면 정상 접촉으로 판단하는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 검사 방법.6. The method of claim 5,
Wherein the step of determining the contact failure between the inspection contact pin and the inspection pad
And judging that the contact is a normal contact when the measured resistance value is less than the threshold value. 제 5 항에 있어서,
상기 가이드 라인은 상기 표시 패널의 정전기 제거하기 위해 도전층으로 형성되며 스크라이빙 공정시 제거되는 것을 특징으로 하는 표시 소자의 검사 방법.6. The method of claim 5,
Wherein the guide line is formed of a conductive layer for removing static electricity of the display panel and is removed in a scribing process.
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