KR20140130576A

KR20140130576A - 기판 증착 시스템

Info

Publication number: KR20140130576A
Application number: KR20130048998A
Authority: KR
Inventors: 최교원; 최병호; 허무용; 강창호
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2013-05-01
Filing date: 2013-05-01
Publication date: 2014-11-11
Also published as: KR101473833B1

Abstract

기판 증착 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 증착 시스템은, 기판을 처킹하는 척을 구비한 기판 캐리어; 기판을 지지하되, 기판을 기판 캐리어 방향으로 상승시키는 제1 기판 지지유닛; 및 제1 기판 지지유닛의 양측에 인접하게 마련되어 기판을 지지하되, 제1 기판 지지유닛에 대해 시간간격을 두고 기판을 기판 캐리어 방향으로 상승시키는 제2 기판 지지유닛을 포함하며, 제1 기판 지지유닛은, 기판을 접촉 지지하되, 기판 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 상호 이격된 복수의 제1 지지핀부; 및 복수의 제1 지지핀부에 연결되되, 복수의 제1 지지핀부가 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 기판에 가해지는 압력을 일정하게 유지시키는 제1 탄성력 조절부를 포함하며, 제2 기판 지지유닛은, 기판을 접촉 지지하되, 기판 양측변의 끝단부를 가로지르는 방향으로 상호 이격된 복수의 제2 지지핀부; 및 복수의 제2 지지핀부에 연결되되, 복수의 제2 지지핀부가 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 기판에 가해지는 압력을 일정하게 유지시키는 제2 탄성력 조절부를 포함한다.

Description

기판 증착 시스템{SUBSTRATE DEPOSITION SYSTEM}

본 발명은, 기판 증착 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판 캐리어에 마련된 척에 기판을 부착하는 기판 증착 시스템에 관한 것이다.

정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광 받고 있다.

이러한 평판표시소자에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.

이 중에서 유기전계발광소자, 예컨대 OLED는 빠른 응답속도, 기존의 LCD보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어서 초박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 소자로서 각광받고 있다.

이러한 유기전계발광소자는 기판 위에 양극 막, 유기 박막, 음극 막을 순서대로 입히고, 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써 적당한 에너지의 차이가 유기 박막에 형성되어 스스로 발광하는 원리이다.

다시 말해, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며, 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기 물질의 도펀트의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라(full color)의 구현이 가능하다.

도 1은 유기전계발광소자의 구조도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 유기전계발광소자는 기판 상에 애노드(anode), 정공 주입층(hole injection layer), 정공 운송층(hole transfer layer), 발광층(emitting layer), 전자 운송층(electron transfer layer), 전자 주입층(electron injection layer), 캐소드(cathode) 등의 막이 순서대로 적층되어 형성된다.

여기서, 애노드는 면 저항이 작고 투과성이 좋은 ITO(Indium Tin Oxide)가 주로 사용되고, 유기 박막은 발광 효율을 높이기 위하여 정공 주입층, 정공 운송층, 발광층, 전자 운송층, 전자 주입층의 다층으로 구성되며, 발광층으로 사용되는 유기물질은 Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, TCTA 등이 사용된다. 그리고, 캐소드는 LiF-Al 금속막이 사용된다.

그리고, 유기 박막이 공기 중의 수분과 산소에 매우 약하므로 소자의 수명(life time)을 증가시키기 위해 봉합하는 봉지막이 최상부에 형성된다.

한편, 도 1에 도시한 바와 같이, 유기전계발광소자는 구동 시 정공이 애노드로부터 발광층으로 주입되고, 전자는 캐소드로부터 발광층으로 주입된다.

발광층으로 주입된 정공과 전자는 결합하여 엑시톤(exciton)을 생성하고, 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 전이하면서 빛을 방출하게 된다.

이러한 유기전계발광소자는 구현하는 색상에 따라 단색 또는 풀 칼라(full color) 유기전계발광소자로 구분된다.

풀 칼라 유기전계발광소자는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)으로 패터닝된 발광층을 구비함으로써 풀 칼라를 구현한다.

풀 칼라 유기전계발광소자에 있어서, 발광층을 패터닝하는 것은 발광층을 형성하는 물질에 따라 다르게 수행될 수 있다.

발광층을 패터닝하는 OLED 증착 방식에는 FMM(Fine Metal Mask)을 이용한 직접 패터닝 방식, LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식, SMS(Small Mask Scanning) 증착 방식 등이 있다.

마스크를 적용하여 대형 OLED를 제작할 경우, 챔버 내부에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후, 기판에 유기물을 증착하는 수평식 상향 증착공법이 적용된다.

수평식 상향 증착공법은, 챔버 등의 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 얼라인한 후 합착시켜 수평 상태에서 대형 기판에 유기물을 증착시키는 방법이다.

한편, 전술한 OLED 증착 방식 중 하나인 SMS 증착 방식은, 기판을 증발 존(Evaporation Zone)에 진입시키기 전에, 로딩 포지션(Loading Position)에서 기판 캐리어(Carrier)에 기판을 부착 또는 결합시키고, 기판이 부착된 기판 캐리어를 증발 존으로 진입시킨다.

그러나, 기판이 부착된 기판 캐리어는 증발 존으로 이송하는 동안 파티클이 발생하는 것을 방지하기 위하여 자기부상 방식으로 이송된다. 따라서, 기판을 상승시켜 정전척에 부착하는 경우에 있어, 기판 및 정전척에 가하는 압력에 제한이 따른다.

대한민국 공개특허 제10-2001-0051925호 (어플라이드 머티어리얼스. 인코포레이티드) 2001.06.25 공개

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 기판을 상승시켜 기판 캐리어에 마련된 정전척에 부착하는데 있어서 기판 및 정전척에 가해지는 압력을 일정하게 유지할 수 있는 기판 증착 시스템을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 처킹하는 척을 구비한 기판 캐리어; 상기 기판을 지지하되, 상기 기판을 상기 기판 캐리어 방향으로 상승시키는 제1 기판 지지유닛; 및 상기 제1 기판 지지유닛의 양측에 인접하게 마련되어 상기 기판을 지지하되, 상기 제1 기판 지지유닛에 대해 시간간격을 두고 상기 기판을 상기 기판 캐리어 방향으로 상승시키는 제2 기판 지지유닛을 포함하며, 상기 제1 기판 지지유닛은, 상기 기판을 접촉 지지하되, 상기 기판 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 상호 이격된 복수의 제1 지지핀부; 및 상기 복수의 제1 지지핀부에 연결되되, 상기 복수의 제1 지지핀부가 상기 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 상기 기판에 가해지는 압력을 일정하게 유지시키는 제1 탄성력 조절부를 포함하며, 상기 제2 기판 지지유닛은, 상기 기판을 접촉 지지하되, 상기 기판 양측변의 끝단부를 가로지르는 방향으로 상호 이격된 복수의 제2 지지핀부; 및 상기 복수의 제2 지지핀부에 연결되되, 상기 복수의 제2 지지핀부가 상기 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 상기 기판에 가해지는 압력을 일정하게 유지시키는 제2 탄성력 조절부를 포함하는 기판 증착 시스템이 제공될 수 있다

상기 제1 기판 지지유닛과 상기 제2 기판 지지유닛은, 상기 기판의 양측 단변을 가로지르는 방향으로 길게 배치될 수 있다.

상기 제1 기판 지지유닛은, 상기 복수의 제1 지지핀부에 연결되되, 상기 복수의 제1 지지핀부를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제1 지지핀 승강부를 더 포함하며, 상기 제1 지지핀 승강부는, 상기 복수의 제1 지지핀부에 연결되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 승강되어 상기 복수의 제1 지지핀부를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제1 승강부재; 및 상기 제1 승강부재에 연결되되, 상기 제1 승강부재를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제1 승강부재 구동부를 포함할 수 있다.

상기 복수의 제1 지지핀부는, 상기 기판의 일측변을 바라볼 때 상기 기판 일측변의 중심부로 갈수록 높이가 증가될 수 있다.

상기 제1 지지핀부는, 상기 기판의 저면을 지지하는 제1 기판 서포터; 및 상기 제1 기판 서포터에 연결되되, 상기 제1 기판 서포터를 탄력 지지하는 제1 서포터 탄성체를 포함할 수 있다.

상기 제1 지지핀부는, 상기 제1 승강부재에 연결되되, 일측에 상기 제1 기판 서포터와 상기 제1 서포터 탄성체가 결합되는 제1 브라케트; 및 상기 제1 서포터 탄성체와 상기 제1 브라케트를 연결하되, 상기 기판이 상승되어 상기 척에 밀착되는 경우에 상기 제1 서포터 탄성체가 상기 제1 브라케트에 대해 슬라이딩 이동가능하게 하는 제1 탄성체 지지용 슬라이더를 더 포함할 수 있다.

상기 제1 탄성체 지지용 슬라이더는, 상기 제1 브라케트에 결합되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 길게 배치된 제1 가이드부재; 및 일단부가 상기 제1 가이드부재에 연결되고 타단부가 상기 제1 서포터 탄성체에 연결되어 상기 제1 가이드부재를 따라 슬라이딩되는 제1 슬라이딩 블록을 포함할 수 있다.

상기 제1 탄성력 조절부는, 상기 제1 브라케트에 마련되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 길게 배치된 제1 랙기어; 상기 제1 랙기어에 치합되는 제1 피니언기어를 구비하며, 상기 제1 슬라이딩 블록에 연결되어 상기 제1 슬라이딩 블록과 함께 이동되는 제1 이송블록; 및 상기 제1 슬라이딩 블록과 상기 제1 이송블록에 인접하게 배치된 제1 고정블록에 연결되되, 상기 제1 기판 서포터가 상기 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 상기 제1 서포터 탄성체에 의해 상기 제1 기판 서포터가 상기 기판에 가하는 압력을 일정하게 유지하는 제1 탄성력 조절부재를 포함할 수 있다.

상기 제1 탄성력 조절부재는, 일단부가 상기 제1 슬라이딩 블록에 연결되고 타단부가 상기 제1 고정블록에 연결되는 인장 스프링일 수 있다.

상기 제2 기판 지지유닛은, 상기 복수의 제2 지지핀부에 연결되되, 상기 복수의 제2 지지핀부를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제2 지지핀 승강부를 더 포함하며, 상기 제2 지지핀 승강부는, 상기 복수의 제2 지지핀부에 연결되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 승강되어 상기 복수의 제2 지지핀부를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제2 승강부재; 및 상기 제2 승강부재에 연결되되, 상기 제2 승강부재를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제2 승강부재 구동부를 포함할 수 있다.

상기 제2 지지핀부는, 상기 기판의 저면을 지지하는 제2 기판 서포터; 및 상기 제2 기판 서포터에 연결되되, 상기 제2 기판 서포터를 탄력 지지하는 제2 서포터 탄성체를 포함할 수 있다.

상기 제2 지지핀부는, 상기 제2 승강부재에 연결되되, 일측에 상기 제2 기판 서포터와 상기 제2 서포터 탄성체가 결합되는 제2 브라케트; 및 상기 제2 서포터 탄성체와 상기 제2 브라케트를 연결하되, 상기 기판이 상승되어 상기 척에 밀착되는 경우에 상기 제2 서포터 탄성체가 상기 제2 브라케트에 대해 슬라이딩 이동가능하게 하는 제2 탄성체 지지용 슬라이더를 더 포함할 수 있다.

상기 제2 탄성체 지지용 슬라이더는, 상기 제2 브라케트에 결합되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 길게 배치된 제2 가이드부재; 및 일단부가 상기 제2 가이드부재에 연결되고 타단부가 상기 제2 서포터 탄성체에 연결되어 상기 제2 가이드부재를 따라 슬라이딩되는 제2 슬라이딩 블록을 포함할 수 있다.

상기 제2 탄성력 조절부는, 상기 제2 브라케트에 마련되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 길게 배치된 제2 랙기어; 상기 제2 랙기어에 치합되는 제2 피니언기어를 구비하며, 상기 제2 슬라이딩 블록에 연결되어 상기 제2 슬라이딩 블록과 함께 이동되는 제2 이송블록; 및 상기 제2 슬라이딩 블록과 상기 제2 이송블록에 인접하게 배치된 제2 고정블록에 연결되되, 상기 제2 기판 서포터가 상기 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 상기 제2 서포터 탄성체에 의해 상기 제2 기판 서포터가 상기 기판에 가하는 압력을 일정하게 유지하는 제2 탄성력 조절부재를 포함할 수 있다.

상기 제2 탄성력 조절부재는, 일단부가 상기 제2 슬라이딩 블록에 연결되고 타단부가 상기 제2 고정블록에 연결되는 인장 스프링일 수 있다.

상기 척에 부착된 상기 기판을 분리하는 기판 분리유닛을 더 포함하며, 상기 기판 분리유닛은, 상기 기판 캐리어의 내부에 마련되되, 상기 척에 부착된 상기 기판을 가압하도록 상기 기판 캐리어의 둘레를 따라 배치되는 복수의 푸시 핀 모듈; 및 상기 기판 캐리어의 상부에 배치되되, 상기 척으로부터 상기 기판을 분리하는 경우에 상기 복수의 푸시 핀 모듈을 구동시키는 푸시 핀 모듈 구동부를 포함할 수 있다.

상기 푸시 핀 모듈은, 상기 기판 캐리어에 형성된 홀부에 결합되는 핀 모듈 바디; 상기 핀 모듈 바디의 하부에 배치되되, 상기 푸시 핀 모듈 구동부의 동작에 따라 상기 기판을 가압하여 상기 척과 상기 기판을 분리하는 푸시 핀; 및 상기 핀 모듈 바디의 내부에 삽입되되, 상기 푸시 핀 모듈 구동부의 동작에 따라 상기 푸시 핀을 가압하는 핀 가압 샤프트를 포함할 수 있다.

상기 푸시 핀 모듈은, 상기 핀 모듈 바디의 내부에 마련되되, 상기 핀 가압 샤프트에 연결되어 상기 핀 가압 샤프트가 원상태로 복귀되도록 상기 핀 가압 샤프트를 탄력 지지하는 탄성부재; 상기 핀 모듈 바디에 연결되되, 상기 탄성부재의 이탈을 방지하는 탄성부재 스토퍼; 및 상기 핀 모듈 바디에 연결되되, 상기 탄성부재 스토퍼를 상기 핀 모듈 바디에 고정하는 엔드 캡을 더 포함할 수 있다.

상기 푸시 핀 모듈은, 상기 핀 모듈 바디와 상기 푸시 핀 사이에 마련되되, 상기 핀 가압 샤프트가 삽입되어 팽창 또는 수축되는 벨로우즈를 더 포함할 수 있다.

상기 푸시 핀 모듈 구동부는, 상기 기판 캐리어의 상부에 마련된 승강 플레이트; 상기 승강 플레이트에 연결되되, 상기 복수의 푸시 핀 모듈 각각에 대응되는 위치에 배치되어 상기 핀 가압 샤프트를 가압하는 복수의 핀부재; 및 상기 승강 플레이트에 연결되되, 상기 복수의 핀부재가 상기 핀 가압 샤프트를 가압할 수 있도록 상기 승강 플레이트를 승강시키는 승강 플레이트 구동부를 포함할 수 있다.

상기 기판 캐리어와 상기 푸시 핀 모듈 구동부를 지지하는 지지 프레임을 더 포함하며, 상기 승강 플레이트 구동부는, 상기 승강 플레이트에 연결되어 승강하는 승강 로드; 및 상기 지지 프레임에 마련되되, 상기 승강 로드에 연결되어 상기 승강 로드의 승강운동을 안내하는 가이드 레일을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시 예들은, 기판을 상승시켜 기판 캐리어에 마련된 정전척에 부착하는데 있어서 제1 탄성력 조절부 및 제2 탄성력 조절부를 이용하여 기판 및 정전척에 가해지는 압력을 일정하게 유지할 수 있다.

도 1은 유기전계발광소자를 나타내는 구조도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 증착 시스템에서 기판 지지용 스테이지를 나타내는 측면 구조도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 기판 지지유닛 및 제2 기판 지지유닛을 나타내는 확대도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 지지핀부 및 제2 지지핀부를 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 지지핀부 및 제2 지지핀부의 동작 상태도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 누름유닛을 나타내는 사시도이다.
도 7 내지 도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 기판 지지유닛 및 제2 기판 지지유닛의 동작 상태도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 분리유닛을 나타내는 확대도이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 일 실시 예에 따른 푸시핀 모듈의 동작을 나타내는 도면이다.
도 14는 본 발명의 일 실시 예에 따른 푸시 핀 모듈의 단면 구조도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

또한, 이하에서 설명될 기판은 OLED 제조용 기판을 포함한다.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 증착 시스템에서 기판 지지용 스테이지를 나타내는 측면 구조도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 기판 지지유닛 및 제2 기판 지지유닛을 나타내는 확대도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 지지핀부 및 제2 지지핀부를 나타내는 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 지지핀부 및 제2 지지핀부의 동작 상태도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 누름유닛을 나타내는 사시도이고, 도 7 내지 도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 제1 기판 지지유닛 및 제2 기판 지지유닛의 동작 상태도이고, 도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 분리유닛을 나타내는 확대도이고, 도 12 및 도 13은 본 발명의 일 실시 예에 따른 푸시핀 모듈의 동작을 나타내는 도면이고, 도 14는 본 발명의 일 실시 예에 따른 푸시 핀 모듈의 단면 구조도이다.

도 2 내지 도 14를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착 시스템은, 기판(G)을 처킹하는 척(110)을 구비한 기판 캐리어(100)와, 기판 캐리어(100)의 하부에 마련되되 기판(G)을 지지하고 척(110)에 기판(G)을 부착하는 기판 지지용 스테이지(200)와, 기판 지지용 스테이지(200)의 하부에 마련되어 기판 캐리어(100)에 대한 기판(G)의 위치를 정렬하는 얼라인유닛(300)과, 척(110)에 부착된 기판(G)을 분리하는 기판 분리유닛(400)을 포함한다.

기판 캐리어(100)는 기판(G)을 이송하는 운반체 역할을 한다.

전술한 바와 같이, SMS 증착 방식에서는 기판(G)을 증발 존(Evaporation Zone)으로 진입시키기 전에, 로딩 포지션(Loading Position)에서 기판(G)을 기판 캐리어(100)에 부착시키고, 기판(G)이 부착된 기판 캐리어(100)를 증발 존으로 진입시킨다.

도 2를 참조하면, 그리고, 기판 캐리어(100)는 하부에 기판(G)을 부착, 즉 처킹하는 척(chuck,110)을 구비한다. 본 실시 예에서는 정전척(Electrostatic Chuck,110)을 사용한다.

정전척(110)은 정전력(Electrostatic Force)을 이용하여 기판(G)을 처킹한다.

정전척(110)은 Uni-polar, Bi-polar, Tri-polar 타입 등이 있다.

Uni-polar 타입은 척(110)에 (+) 전압만을 인가하고 플라즈마(Plasma) 발생에 의해 접지(Ground)와 연결되어 처킹을 하는데, 처킹 해제(Dechucking)를 하려면 반대의 역바이어스를 걸어주어야 한다. 만약, 반대의 역바이어스를 걸어주지 않으면 전원 공급이 중단되더라도 기판(G)을 수 내지 수십 분 동안 흡착하는 성질이 있다.

Bi-polar 타입은 척(110)에 ＋/－ DC 전압이 인가됨으로써 처킹을 위해 인가된 전압의 역바이어스를 걸어주면 처킹 해제가 되는 구조이다. 척(110) 자체만으로 처킹 또는 처킹 해제가 가능하도록 한 것이며, 플라즈마가 필요 없다는 이점이 있다.

Tri-polar 타입은 Bi-polar 타입과 비슷한데, 한 가지 다른 것은 플라즈마에서 발생한 DC Self 바이어스(Bias)를 읽어(Reading) ＋/－ 전압을 Vdc 만큼 보상해 줌으로써 기판(G)과 척(110) 사이의 네트 차지(Net charge)를 제로(zero)화 해야 하는 것이다.

한편, 본 실시 예에서는 정전척(110)에 기판(G)을 부착한 후, 기판 캐리어(100)를 이송하는 경우에 기판 캐리어(100)의 이송에 따른 파티클의 발생을 방지하도록, 기판 캐리어(100)는 자기부상 방식으로 이송된다.

한편, 기판 캐리어(100)의 하부에 배치된 정전척(110)에 기판(G)을 부착하기 위해 기판(G)을 기판 캐리어(100), 특히 정전척(110) 방향으로 상승시켜야 한다.

그러나, 최근에 OLED가 대형화됨에 따라 기판(G)도 점점 대형화 및 고중량화되어 기판(G)을 상승시키는 경우에 기판(G)이 중력방향으로 처지는 현상이 발생된다.

따라서, 본 실시 예에 따른 기판 지지용 스테이지(200)는 기판 캐리어(100)의 하부에 배치되며, 기판(G)이 중력방향으로 처지는 것을 방지하기 위해 기판(G)의 중심부가 상부로 볼록한 곡면을 형성하면서 상승되도록 한다. 또한, 기판 지지용 스테이지(200)는 기판 캐리어(100)의 정전척(110)에 기판(G)을 부착하는 로딩 포지션(loading position)에 마련된다.

그리고, 기판 지지용 스테이지(200)를 이용하여 기판 캐리어(100)의 하부에 기판(G)이 하방을 향하도록 부착하므로 별도의 플립(flip) 동작 없이 기판 캐리어(100)를 통해 기판(G)을 증발 존으로 진입시킬 수 있다.

그리고, 플립 동작을 생략할 수 있어 택트 타임(tact time) 감소에 따른 생산성을 향상시킬 수 있으며, 파티클 발생을 방지할 수 있다.

도 2 내지 도 10을 참조하면, 본 실시 예에 따른 기판 지지용 스테이지(200)는, 기판(G) 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 길게 배치되어 기판(G)을 지지하되, 기판(G)을 기판 캐리어(100) 방향으로 상승시키는 제1 기판 지지유닛(210)와, 제1 기판 지지유닛(210)의 양측에 인접하게 마련되되, 기판(G) 양측변의 끝단부를 가로지르는 방향으로 길게 배치되어 기판(G)을 지지하고, 기판(G)의 일측변을 바라볼 때 기판(G)의 일측변의 중심부가 볼록한 곡면을 형성하며 상승하도록 제1 기판 지지유닛(210)에 대해 시간간격을 두고 기판(G)을 기판 캐리어(100) 방향으로 상승시키는 제2 기판 지지유닛(250)과, 기판(G)의 양측변에 인접하게 마련되되, 기판(G)의 양측변을 제1 기판 지지유닛(210) 쪽으로 가압하여 기판(G)의 펴짐에 의한 슬립(slip)현상을 방지하는 기판 누름유닛(290)을 포함한다.

제1 기판 지지유닛(210)은, 기판(G) 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 길게 배치되어 기판(G)의 중심부를 지지함과 동시에 기판(G)을 기판 캐리어(100), 특히 정전척(110) 방향으로 상승시키는 역할을 한다.

도 3을 참조하면, 제1 기판 지지유닛(210)은, 기판(G)을 접촉 지지하되, 기판(G) 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 상호 이격된 복수의 제1 지지핀부(220)와, 복수의 제1 지지핀부(220)에 연결되되, 복수의 제1 지지핀부(220)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시키는 제1 지지핀 승강부(230)를 포함한다.

기판(G)을 지지하는 복수의 제1 지지핀부(220)는 제1 지지핀 승강부(230)에 의해 승강되어, 기판(G)을 정전척(110)에 부착한다.

여기서, 제1 지지핀 승강부(230)는, 복수의 제1 지지핀부(220)에 연결되되, 기판 캐리어(100) 방향으로 승강되어 복수의 제1 지지핀부(220)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시키는 제1 승강부재(231)와, 제1 승강부재(231)에 연결되되, 제1 승강부재(231)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시키는 제1 승강부재 구동부(232)를 포함한다.

제1 승강부재(231)는 플레이트 형상으로 형성되고, 제1 승강부재(231)에는 복수의 제1 지지핀부(220)가 배치된다. 본 실시 예에서 복수의 제1 지지핀부(220)가 기판(G) 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 상호 이격되게 배치되므로, 제1 승강부재(231)도 역시 기판(G) 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 배치된다.

그리고, 제1 승강부재 구동부(232)는 제1 승강부재(231)에 연결되어, 제1 승강부재(231)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시키는 역할을 한다.

여기서, 제1 승강부재 구동부(232)는 실린더로 적용될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 모터, 볼 스크류 등 제1 승강부재(231)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시킬 수 있는 수단이면 어느 것이든 사용가능하다.

그리고, 제1 승강부재 구동부(232)는 파티클 발생을 방지하도록 벨로우즈를 포함한다.

한편, 복수의 제1 지지핀부(220)는, 반입된 기판(G)의 저면을 접촉 지지하는 역할을 한다. 그리고, 복수의 제1 지지핀부(220)는 제1 승강부재(231)에 결합된다.

본 실시 예에서 복수의 제1 지지핀부(220)는 기판(G) 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 상호 이격되게 배치된다.

그리고, 복수의 제1 지지핀부(220)는 기판(G)의 중심부가 상부로 볼록한 곡면을 형성하면서 상승될 수 있도록, 기판(G)의 일측변을 바라볼 때 기판(G) 일측변의 중심부로 갈수록 그 높이가 증가되도록 배치된다. 이를 위해 후술할 제1 기판 접촉부재(222)의 끝단부의 높이기 기판(G) 일측변의 중심부로 갈수록 증가되게 배치된다.

따라서, 복수의 제1 지지핀부(220)가 상승되는 경우에 기판(G)은 상부로 볼록한 곡면을 형성하며 기판 캐리어(100) 방향으로 상승된다.

이처럼, 기판(G)을 상부로 볼록한 곡면을 형성하여 기판 캐리어(100) 방향으로 상승시켜 대형화된 기판(G)이 자중에 의해 하방으로 쳐지는 것을 방지할 수 있으며, 기판(G)과 정전척(110)의 접촉면적을 최대화할 수 있다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 복수의 제1 지지핀부(220) 각각은, 기판(G)의 저면을 지지하는 제1 기판 서포터(221)와, 제1 기판 서포터(221)에 연결되되, 제1 기판 서포터(221)를 탄력 지지하는 제1 서포터 탄성체(224)와, 제1 승강부재(231)에 연결되되, 일측에 제1 기판 서포터(221)와 제1 서포터 탄성체(224)가 결합되는 제1 브라케트(225)와, 제1 서포터 탄성체(224)와 제1 브라케트(225)를 연결하되, 기판(G)이 상승되어 정전척(110)에 밀착되는 경우에 제1 서포터 탄성체(224)가 제1 브라케트(225)에 대해 슬라이딩 이동가능하게 하는 제1 탄성체 지지용 슬라이더(226)와, 제1 서포터 탄성체(224)에 연결되되, 제1 기판 서포터(221)가 기판(G)에 접촉되어 상승되는 경우에 기판(G)에 가해지는 압력을 일정하게 유지시키는 제1 탄성력 조절부(240)를 포함한다.

제1 기판 서포터(221)는 특히 대형 기판(G)을 처짐없이 안정적으로 지지하는 역할을 한다.

제1 기판 서포터(221)는, 기판(G)의 저면에 접촉되는 제1 기판 접촉부재(222)와, 제1 기판 접촉부재(222)와 제1 서포터 탄성체(224)를 연결하는 제1 서포터 연결부재(223)를 포함한다.

제1 기판 접촉부재(222)는 반입된 기판(G)이 안착되는 경우와 기판(G)을 상승시키는 경우에 있어 기판(G)의 저면에 접촉된다.

그리고, 제1 서포터 연결부재(223)는 제1 기판 접촉부재(222)에 일단부가 연결되며 타단부가 후술할 제1 서포터 탄성체(224)와 연결되는 샤프트 형상으로 형성된다.

한편, 본 실시 예에서 제1 기판 접촉부재(222)와 제1 서포터 연결부재(223)는 일체형으로 형성될 수 있다.

그리고, 제1 서포터 탄성체(224)는 제1 기판 서포터(221), 특히 제1 서포터 연결부재(223)를 탄력 지지하는 역할을 한다.

제1 서포터 탄성체(224)는 일종의 탄성 베어링으로 구성될 수 있으며, 하우징에 탄성체가 내재되고, 하우징에 삽입된 제1 서포터 연결부재(223)를 탄성체가 탄력 지지하도록 구성될 수 있다.

이처럼, 제1 서포터 탄성체(224)를 이용하여 제1 기판 서포터(221)를 탄력 지지하기 때문에 기판(G)을 안정적으로 지지할 수 있다.

그리고, 상기한 제1 기판 서포터(221) 및 제1 서포터 탄성체(224)는 제1 브라케트(225)에 의해 제1 승강부재(231)에 연결된다. 즉, 제1 브라케트(225)의 일측에는 제1 기판 서포터(221)와 제1 서포터 탄성체(224)가 결합되며, 타측에는 제1 승강부재(231)가 결합된다.

본 실시 예에서 기판 지지용 스테이지(200)는 기판(G)을 상부로 볼록하게 형성하여 정전척(110)에 기판(G)을 밀착하므로, 기판(G)의 중심부를 지지하는 제1 기판 지지유닛(210)이 정전척(110)에 먼저 밀착되며, 나중에 기판(G)의 테두리부를 지지하는 제2 기판 지지유닛(250)이 정전척(110)에 밀착된다.

따라서, 제1 탄성체 지지용 슬라이더(226)는 기판(G)이 상승되어 정전척(110)에 밀착되는 경우에 제1 서포터 탄성체(224)를 하방으로 이동시키는 역할을 한다.

제1 탄성체 지지용 슬라이더(226)는 제1 서포터 탄성체(224)가 제1 브라케트(225)에 대해 슬라이딩 이동가능하게 한다.

여기서, 제1 탄성체 지지용 슬라이더(226)는, 제1 브라케트(225)에 결합되되, 기판 캐리어(100) 방향으로 길게 배치된 제1 가이드부재(227)와, 일단부가 제1 가이드부재(227)에 연결되고 타단부가 제1 서포터 탄성체(224)에 연결되어 제1 가이드부재(227)를 따라 슬라이딩되는 제1 슬라이딩 블록(228)을 포함한다.

복수의 제1 기판 접촉부재(222)의 높이는 기판(G)의 중심부로 갈수록 그 높이가 높기 때문에, 기판(G)의 중심부에 위치한 기판(G) 및 제1 기판 접촉부재(222)가 정전척(110)에 먼저 밀착되므로, 제1 탄성체 지지용 슬라이더(226)는 복수의 제1 기판 접촉부재(222)의 높이를 일률적으로 맞추기 위한 수단이다.

즉, 제1 서포터 탄성체(224)가 연결된 제1 슬라이딩 블록(228)이 제1 가이드부재(227)를 따라 하방으로 이동되어 복수의 제1 기판 접촉부재(222)의 높이를 일률적으로 맞추게 된다.

한편, 기판(G)이 부착된 기판 캐리어(100)는 증발 존으로 이송하는 동안 파티클이 발생하는 것을 방지하기 위하여 자기부상 방식으로 이송된다. 따라서, 기판(G)을 정전척(110)에 부착하는 경우에 있어, 제1 기판 서포터(221), 특히 제1 기판 접촉부재(222)에 의해 기판(G)에 가해지는 압력에 제한이 따른다.

그러므로, 기판(G)에 가해지는 압력을 최소화하기 위해 본 실시 예에서는 제1 탄성력 조절부(240)가 마련된다.

제1 탄성력 조절부(240)는 기판(G)을 정전척(110)에 밀착하는 데 있어 기판(G)에 가해지는 압력을 최소화하는 역할을 한다. 즉, 제1 탄성력 조절부(240)는 기판(G)에 소정압력 이상이 가해지는 것을 방지하고 기판(G)에 가해지는 압력을 일정하게 유지한다.

이러한, 제1 탄성력 조절부(240)는, 제1 브라케트(225)에 마련되되, 기판 캐리어(100) 방향으로 길게 배치된 제1 랙기어(241)와, 제1 랙기어(241)에 치합되는 제1 피니언기어(242)를 구비하며, 제1 슬라이딩 블록(228)에 연결되어 제1 슬라이딩 블록(228)과 함께 이동되는 제1 이송블록(243)과, 제1 슬라이딩 블록(228)과 제1 이송블록(243)에 인접하게 배치된 제1 고정블록(244)에 연결되되, 제1 기판 서포터(221)가 기판(G)에 접촉되어 상승되는 경우에 제1 서포터 탄성체(224)에 의해 제1 기판 서포터(221)가 기판(G)에 가하는 압력을 일정하게 유지하는 제1 탄성력 조절부재(245)를 포함한다.

본 실시 예에서는 기판(G)이 상부로 볼록한 형상을 가지며 상승되도록 제1 기판 접촉부재(222)는 기판(G)의 일측변을 바라볼 때 기판 일측변의 중심부로 갈수록 그 높이가 증가된다.

따라서, 제1 승강부재(231)가 상승되는 경우에 기판(G)의 중심부가 먼저 정전척(110)에 밀착되고 점차 중심부에서 테두리부 방향으로 밀착된다.

그러므로, 기판(G)의 중심부에 위치한 제1 기판 접촉부재(222)가 외각에 배치된 제1 기판 접촉부재(222)보다 더 많이 상승되고, 이로써, 제1 서포터 탄성체(224)의 탄성변형이 더 커지게 되고 제1 서포터 탄성체(224)의 탄성변형에 따른 반발력, 즉 복원력에 의해 기판(G)의 중심부로 갈수로 기판(G)에 가해지는 압력이 커지게 된다.

따라서, 제1 탄성력 조절부(240)는 기판(G)의 전면적에 가해지는 압력을 일정하게 유지하도록 마련된다.

도 5를 참조하면, 제1 승강부재(231)가 상승되어 제1 기판 접촉부재(222)가 기판(G)을 정전척(110)에 밀착하고, 제1 승강부재(231)가 더욱 상승되면 제1 기판 접촉부재(222)에 연결된 제1 서포터 탄성체(224)는 제1 가이드부재(227)를 따라 하방으로 하강된다.

이때, 제1 서포터 탄성체(224)가 하강함에 따라 제1 기판 접촉부재(222)로 가해지는 탄성 반발력, 즉 복원력이 더 커지게 되고, 제1 기판 접촉부재(222)가 기판(G)에 가압하는 압력도 역시 증가된다.

그러므로, 제1 기판 접촉부재(222)에 의해 기판(G)에 가해지는 압력이 소정압력 이상 상승하는 것을 방지하기 위해 제1 서포터 탄성체(224)에 제1 탄성력 조절부(240)가 연결된다.

제1 서포터 탄성체(224)가 하강하는 경우에, 제1 슬라이딩 블록(228)에 연결된 제1 이송블록(243)이 하강한다. 제1 이송블록(243)의 하강은 제1 브라케트(225)에 마련된 제1 랙기어(241)를 따라 제1 이송블록(243)에 마련된 제1 피니언기어(242)의 치합되어 회전됨에 따라 이뤄진다.

그리고, 제1 서포터 탄성체(224)의 복원력을 상쇄시키기 위해 제1 슬라이딩 블록(228)에 일단부가 연결되고 타단부가 제1 이송블록(243)에 인접하게 배치된 제1 고정블록(244)에 연결되는 제1 탄성력 조절부재(245)가 마련된다.

여기서 제1 탄성력 조절부재(245)는 제1 서포터 탄성체(224)의 복원력을 상쇄시키기 위해 인장 스프링이 사용된다.

한편, 제1 기판 지지유닛(210)은 기판(G)의 중심부를 지지하며 기판(G)을 정전척(110)에 부착함에 반하여, 기판(G)의 테두리부는 제2 기판 지지유닛(250)에 의해 지지되고 상승되어 정전척(110)에 부착된다.

이하, 제2 기판 지지유닛(250)을 설명하면 다음과 같다.

제2 기판 지지유닛(250)은, 제1 기판 지지유닛(210)의 양측에 인접하게 별개로 마련되며 제1 기판 지지유닛(210)과 별개로 기판(G)을 지지하고 상승시킨다.

도 3을 참조하면, 제2 기판 지지유닛(250)은, 기판(G)을 접촉 지지하되, 기판(G) 양측변의 끝단부를 가로지르는 방향으로 상호 이격된 복수의 제2 지지핀부(260)와, 복수의 제2 지지핀부(260)에 연결되되, 복수의 제2 지지핀부(260)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시키는 제2 지지핀 승강부(270)를 포함한다.

기판(G)을 지지하는 복수의 제2 지지핀부(260)는 제2 지지핀 승강부(270)에 의해 승강되어, 기판(G)을 정전척(110)에 부착한다.

여기서, 제2 지지핀 승강부(270)는, 복수의 제2 지지핀부(260)에 연결되되, 기판 캐리어(100) 방향으로 승강되어 복수의 제2 지지핀부(260)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시키는 제2 승강부재(271)와, 제2 승강부재(271)에 연결되되, 제2 승강부재(271)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시키는 제2 승강부재 구동부(272)를 포함한다.

제2 승강부재(271)는 플레이트 형상으로 형성되고, 제2 승강부재(271)에는 복수의 제2 지지핀부(260)가 배치된다. 본 실시 예에서 복수의 제2 지지핀부(260)가 기판(G) 양측변의 끝단부를 가로지르는 방향으로 상호 이격되게 배치되므로, 제2 승강부재(271)도 역시 기판(G) 양측변의 끝단부를 가로지르는 방향으로 배치된다.

그리고, 제2 승강부재 구동부(272)는 제2 승강부재(271)에 연결되어, 제2 승강부재(271)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시키는 역할을 한다.

여기서, 제2 승강부재 구동부(272)는 실린더로 적용될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 모터, 볼 스크류 등 제2 승강부재(271)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시킬 수 있는 수단이면 어느 것이든 사용가능하다.

그리고, 제2 승강부재 구동부(272)는 파티클 발생을 방지하도록 벨로우즈를 포함한다.

한편, 복수의 제2 지지핀부(260)는, 반입된 기판(G)의 저면을 접촉 지지하는 역할을 한다. 그리고, 복수의 제2 지지핀부(260)는 제2 승강부재(271)에 결합된다.

본 실시 예에서 복수의 제2 지지핀부(260)는 기판(G)의 양측변의 끝단부를 가로지르는 방향으로 상호 이격되게 배치된다.

따라서, 복수의 제1 지지핀부(220)에 의해 기판(G)이 중심부가 상부로 볼록한 곡면을 형성하면서 상승되는 경우에, 복수의 제2 지지핀부(260)는 기판(G)의 테두리부를 지지하며 기판(G)이 하방으로 쳐지는 것을 방지한다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 복수의 제2 지지핀부(260) 각각은, 기판(G)의 저면을 지지하는 제2 기판 서포터(261)와, 제2 기판 서포터(261)에 연결되되, 제2 기판 서포터(261)를 탄력 지지하는 제2 서포터 탄성체(264)와, 제2 승강부재(271)에 연결되되, 일측에 제2 기판 서포터(261)와 제2 서포터 탄성체(264)가 결합되는 제2 브라케트(265)와, 제2 서포터 탄성체(264)와 제2 브라케트(265)를 연결하되, 기판(G)이 상승되어 정전척(110)에 밀착되는 경우에 제2 서포터 탄성체(264)가 제2 브라케트(265)에 대해 슬라이딩 이동가능하게 하는 제2 탄성체 지지용 슬라이더(266)와, 제2 서포터 탄성체(264)에 연결되되, 제2 기판 서포터(261)가 기판(G)에 접촉되어 상승되는 경우에 기판(G)에 가해지는 압력을 일정하게 유지시키는 제2 탄성력 조절부(280)를 포함한다.

제2 기판 서포터(261)는 기판(G)의 테두리부를 처짐없이 안정적으로 지지하는 역할을 한다.

제2 기판 서포터(261)는, 기판(G)의 저면에 접촉되는 제2 기판 접촉부재(262)와, 제2 기판 접촉부재(262)와 제2 서포터 탄성체(264)를 연결하는 제2 서포터 연결부재(263)를 포함한다.

또한, 복수의 제2 지지핀부(260)는 기판(G)이 상승됨에 따라 중심부가 상부로 볼록한 곡면을 형성할 수 있도록, 기판(G)의 일측변을 바라볼 때 기판(G) 일측변의 끝단부에서 중심부로 갈수록 그 높이가 증가되도록 배치된다. 따라서, 기판(G) 일측변의 끝단부에서 중심부로 갈수록 제2 기판 접촉부재(262)의 끝단부의 높이 증가된다.

본 실시 예에 따른 제2 기판 서포터(261)를 구성하는 제2 기판 접촉부재(262) 및 제2 서포터 연결부재(263)는, 제1 기판 서포터(221)를 구성하는 제1 기판 접촉부재(222) 및 제2 서포터 연결부재(263)와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

그리고, 제2 서포터 탄성체(264)는 제2 기판 서포터(261), 특히 제2 서포터 연결부재(263)를 탄력 지지하는 역할을 한다.

제2 서포터 탄성체(264)는 일종의 탄성 베어링으로 구성될 수 있으며, 하우징에 탄성체가 내재되고, 하우징에 삽입된 제2 서포터 연결부재(263)를 탄성체가 탄력 지지하도록 구성될 수 있다.

그리고, 상기한 제2 기판 서포터(261) 및 제2 서포터 탄성체(264)는 제2 브라케트(265)에 의해 제2 승강부재(271)에 연결된다. 즉, 제2 브라케트(265)의 일측에는 제2 기판 서포터(261)와 제2 서포터 탄성체(264)가 결합되며, 타측에는 제2 승강부재(271)가 결합된다.

그리고, 제2 탄성체 지지용 슬라이더(266)는 기판(G)이 상승되어 정전척(110)에 밀착되는 경우에 제2 서포터 탄성체(264)를 하방으로 이동시키는 역할을 한다.

복수의 제2 기판 접촉부재(262)의 높이는 기판(G)의 중심부로 갈수록 그 높이가 높기 때문에, 기판(G)의 중심부 측이 가까이 위치한 기판(G) 및 제2 기판 접촉부재(262)가 정전척(110)에 먼저 밀착되므로, 제2 탄성체 지지용 슬라이더(266)는 복수의 제2 기판 접촉부재(262)의 높이를 일률적으로 맞추기 위한 수단이다.

여기서, 제2 탄성체 지지용 슬라이더(266)는, 제2 브라케트(265)에 결합되되, 기판 캐리어(100) 방향으로 길게 배치된 제2 가이드부재(267)와, 일단부가 제2 가이드부재(267)에 연결되고 타단부가 제2 서포터 탄성체(264)에 연결되어 제2 가이드부재(267)를 따라 슬라이딩되는 제1 슬라이딩 블록(228)을 포함한다.

본 실시 예에 따른 제2 탄성체 지지용 슬라이더(266)를 구성하는 제2 가이드부재(267) 및 제2 슬라이딩 블록(268)은, 제1 탄성체 지지용 슬라이더(226)를 구성하는 제1 가이드부재(227) 및 제1 슬라이딩 블록(228)과 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

그리고, 제2 탄성력 조절부(280)는 기판(G)을 정전척(110)에 밀착하는 데 있어 기판(G)에 가해지는 압력을 최소화하는 역할을 한다. 즉, 제2 탄성력 조절부(280)는 기판(G)에 소정압력 이상이 가해지는 것을 방지하고 기판(G)에 가해지는 압력을 일정하게 유지한다.

이러한, 제2 탄성력 조절부(280)는, 제2 브라케트(265)에 마련되되, 기판 캐리어(100) 방향으로 길게 배치된 제2 랙기어(281)와, 제2 랙기어(281)에 치합되는 제2 피니언기어(282)를 구비하며, 제2 슬라이딩 블록(268)에 연결되어 제2 슬라이딩 블록(268)과 함께 이동되는 제2 이송블록(283)과, 제2 슬라이딩 블록(268)과 제2 이송블록(283)에 인접하게 배치된 제2 고정블록(284)에 연결되되, 제2 기판 서포터(261)가 기판(G)에 접촉되어 상승되는 경우에 제2 서포터 탄성체(264)에 의해 제2 기판 서포터(261)가 기판(G)에 가하는 압력을 일정하게 유지하는 제2 탄성력 조절부재(285)를 포함한다.

본 실시 예에 따른 제2 탄성력 조절부(280)를 구성하는 제2 랙기어(281), 제2 피니언기어(282), 제2 이송블록(283) 및 제2 탄성력 조절부재(285)는, 제1 탄성력 조절부(240)를 구성하는 제1 랙기어(241), 제1 피니언기어(242), 제1 이송블록(243) 및 제1 탄성력 조절부재(245)와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

한편, 제1 기판 지지유닛(210)과 제2 기판 지지유닛(250)은, 기판(G)의 양측 단변을 가로지르는 방향으로 길게 배치된다. 이는 기판(G)의 볼록한 곡면을 형성하는데 있어, 기판(G)의 단변 끝단부의 굽힘량을 최소화하고, 기판(G)과 정전척(110)의 초기 접촉면적을 최대화하여 정전척(110)에 기판(G)을 견고하게 부착하기 위함이다.

한편, 기판(G)을 정전척(110)에 부착하는 과정에서 기판(G)의 펴짐에 의한 슬립(slip)현상이 발생하는 경우, 기판(G)이 틀어져 얼라인 정밀도에 악영향을 미칠 수 있다. 특히 기판(G)이 대형화됨에 따라 슬립현상이 빈번하게 발생된다.

본 실시 예에서는 기판(G)의 슬립현상을 방지하기 위해 기판 누름유닛(290)이 마련된다.

기판 누름유닛(290)은, 기판(G)의 양측변에 인접하게 마련되어 기판(G)의 양측변을 제1 기판 지지유닛(210) 쪽으로 가압하여 기판(G)의 펴짐에 의한 슬립현상을 방지하는 역할을 한다.

도 3 및 도 6을 참조하면, 기판 누름유닛(290)은, 본체부(291)와, 기판(G)의 양측변을 가압하는 복수의 가압부재(292)와, 복수의 가압부재(292) 각각에 연결되어 기판 캐리어(100) 방향으로 배치되는 샤프트(293)와, 샤프트(293)에 연결되어 샤프트(293)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시키는 샤프트 승강부(294)와, 샤프트(293)에 연결되어 샤프트(293)를 회전시키는 샤프트 회전부(295)를 포함한다.

본체부(291)는, 기판 누름유닛(290)의 외관을 형성한다. 본체부(291)는 제1 기판 지지유닛(210) 및 제2 기판 지지유닛(250)에 인접하게 배치된다.

특히, 제1 기판 지지유닛(210)이 기판(G) 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 길게 배치되고, 제1 기판 지지유닛(210)에 의해 기판(G)의 일측변을 바라볼 때 기판(G) 일측변의 중심부가 상부로 볼록한 형태로 상승된다. 따라서, 본체부(291)는 기판(G)의 볼록한 양측변을 누를 수 있도록 제1 기판 지지유닛(210)에 인접하게 배치된다.

그리고, 본체부(291)는 후술할 얼라인 테이블(310)에 결합된다.

그리고, 샤프트(293)는 본체부(291)에 기판 캐리어(100) 방향인 상하 방향을 따라 수직되게 배치되는 봉형상의 축이다. 샤프트(293)의 외측에는 벨로우즈가 마련된다.

가압부재(292)는 기판(G)의 양측변을 가압하는 역할을 한다.

가압부재(292)는 샤프트(293)의 상단부에 연결되어 기판(G)을 가압한다. 가압부재(292)는 샤프트(293)의 상단부에서 샤프트(293)에 교차되게 배치된다.

가압부재(292)가 샤프트(293)의 상단부에 연결되기 때문에 샤프트(293)와 함께 운동한다. 따라서, 샤프트(293)와 가압부재(292)는 함께 승강되면서 회전된다.

샤프트 승강부(294)는 본체부(291)와 샤프트(293)에 연결되어 샤프트(293)를 기판 캐리어(100) 방향으로 승강시키는 역할을 한다.

샤프트 승강부(294)는 실린더로 구성될 수 있으며, 샤프트 승강부(294)의 동작에 따라 샤프트(293)와 함께 가압부재(292)가 승강된다.

샤프트 회전부(295)는 본체부(291)와 샤프트(293)에 연결되어 샤프트(293)를 회전시키는 역할을 한다. 샤프트 회전부(295)는 회전모터로 구성될 수 있다.

샤프트 회전부(295)에 의해 샤프트(293)가 회전되는 경우에 샤프트(293)의 상단부에 연결된 가압부재(292)도 함께 회전된다.

한편, 기판(G)이 정전척(110)에 부착될 때에는 샤프트 회전부(295)가 샤프트(293)를 회전시켜 가압부재(292)를 기판(G)의 바깥쪽으로 회전시켜, 기판(G)을 가압해제한다. 따라서, 기판(G)이 정전척(110)에 부착되는 경우에 가압부재(292)에 의한 간섭현상을 피할 수 있다.

한편, 정전척(110)에 기판(G)을 부착하는 공정뿐만 아니라 기판(G)이 부착된 기판 캐리어(100)를 증발 존에 진입시켜 증착작업을 수행하는데 있어서도 정전척(110)과 기판(G)을 정확히 정렬하여야 한다.

이에 본 실시 예에 따른 얼라인유닛(300)은 기판 캐리어(100), 특히 정전척(110)과 기판(G)의 위치를 정확하게 정렬하는 역할을 한다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 얼라인유닛(300)은 제1 기판 지지유닛(210)과 제2 기판 지지유닛(250)의 하부에 마련된다.

그리고, 얼라인유닛(300)은, 제1 기판 지지유닛(210) 및 상기 제2 기판 지지유닛(250)이 결합되는 얼라인 테이블(310)과, 기판(G)의 하부에 배치되되, 기판 캐리어(100)의 기준점과 기판(G)의 기준점을 촬영하는 비젼부(320)와, 얼라인 테이블(310)에 결합되되, 비젼부(320)로부터 제공되는 기판 캐리어(100)의 기준점과 기판(G)의 기준점의 위치를 기초로 얼라인 테이블(310)을 이동시켜 기판 캐리어(100)에 대한 기판(G)의 위치를 정렬하는 얼라인 구동부(미도시)를 포함한다.

여기서, 비젼부(320)는, 기판(G)이 제1 기판 지지유닛(210) 및 제2 기판 지지유닛(250)에 안착되는 경우에, 기판 캐리어(100)의 기준점과 기판(G)의 기준점을 촬영하는 제1 카메라(321)와, 제1 기판 지지유닛(210) 및 제2 기판 지지유닛(250)이 상승하여 기판(G)이 정전척(110)에 인접하게 이송된 경우에, 기판 캐리어(100)의 기준점과 기판(G)의 기준점을 촬영하는 제2 카메라(322)를 포함한다.

반입된 기판(G)은 제1 기판 지지유닛(210)의 제1 기판 접촉부재(222) 및 제2 기판 지지유닛(250)의 제2 기판 접촉부재(262)에 안착되어 지지된다. 이때, 기판(G)의 하부에 배치된 제1 카메라(321)를 이용하여 기판 캐리어(100)의 기준점과 기판(G)의 기준점을 촬영한다.

그리고, 제1 카메라(321)에 의해 촬영된 기판 캐리어(100)의 기준점과 기판(G)의 기준점의 위치 정보를 기초로 얼라인 테이블(310)을 이동시켜 기판 캐리어(100)에 대한 기판(G)의 위치를 정렬하고, 기판 누름유닛(290)의 가압부재(292)를 이용하여 기판(G)을 가압한다.

또한, 제1 기판 지지유닛(210)의 제1 승강부재(231) 및 제2 기판 지지유닛(250)의 제2 승강부재(271)를 상승시켜 기판(G)을 정전척(110)에 인접하게 상승시킨다. 이때, 기판(G)의 하부에 배치된 제2 카메라(322)를 이용하여 기판 캐리어(100)의 기준점과 기판(G)의 기준점을 재촬영한다.

그리고, 제2 카메라(322)에 의해 촬영된 기판 캐리어(100)의 기준점과 기판(G)의 기준점의 위치 정보를 기초로 얼라인 테이블(310)을 이동시켜 기판 캐리어(100)에 대한 기판(G)의 위치를 정밀하게 정렬한 후, 기판(G)을 정전척(110)에 부착한다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 증착 시스템에 따라 정전척(110)에 기판(G)을 부착하는 동작을 설명하면 다음과 같다.

도 7에서 도시한 바와 같이, 반입된 기판(G)은 복수의 제1 기판 접촉부재(222)와 복수의 제2 기판 접촉부재(262)에 안착되어 지지된다. 이때, 제1 카메라(321)를 이용하여 기판 캐리어(100)의 기준점과 기판(G)의 기준점을 촬영하고, 얼라인 테이블(310)을 이송하여 기판 캐리어(100), 즉 정전척(110)과 기판(G)을 정렬한다. 또한, 가압부재(292)로 기판(G)의 양측변을 가압한다.

그리고, 도 8에서 도시한 바와 같이, 제1 승강부재(231)를 상승시켜 복수의 제1 기판 접촉부재(222)를 상승시켜 기판(G)이 상부로 볼록한 형상을 갖도록 한다.

그리고, 제1 승강부재(231) 상승시켜 기판(G)이 상부로 볼록한 형상을 유지하면서 제2 승강부재(271)를 상승시킨다.

그리고, 기판(G)이 정전척(110)에 인접하게 이송된 경우에 제2 카메라(322)를 이용하여 기판 캐리어(100)의 기준점과 기판(G)의 기준점을 촬영하고, 얼라인 테이블(310)을 이송하여 정전척(110)과 기판(G)을 정밀하게 정렬한다.

그리고, 도 9에서 도시한 바와 같이, 제1 승강부재(231)와 제2 승강부재(271)를 더욱 상승시켜 기판(G)의 상부로 볼록한 부위를 정전척(110)에 먼저 부착한다.

그리고, 도 10에서 도시한 바와 같이, 복수의 제2 기판 접촉부재(262)가 배치된 기판(G)의 테두리부를 정전척(110)에 순차로 부착한다.

상기와 같이, 기판(G)을 상부가 볼록한 곡면을 형성한 상태에서 상승시킨 후 기판(G)을 정전척(110)에 부착하여, 대형화된 기판(G)이 자중에 의해 하방으로 쳐지는 것을 방지할 수 있고, 기판(G)과 정전척(110)의 접촉면적을 최대화하여 기판(G)을 견고하게 부착할 수 있다.

한편, 기판 캐리어(100)에 부착된 기판(G)을 분리하는 경우, 예를 들어 기판 캐리어(100)를 증발 존에 진입시켜 증착공정을 완료한 후 기판 캐리어(100)를 언로딩 포지션으로 이송하여 정전척(110)으로부터 기판(G)을 분리하고자 하는 경우에, 기판 분리유닛(400)은 정전척(110)으로부터 기판(G)을 원할하게 분리하는 역할을 한다.

도 11 내지 도 14를 참조하면, 기판 분리유닛(400)은, 기판 캐리어(100)의 내부에 마련되되, 정전척(110)에 부착된 기판(G)을 가압하도록 기판 캐리어(100)의 둘레를 따라 배치되는 복수의 푸시 핀 모듈(410)과, 기판 캐리어(100)의 상부에 배치되되, 정전척(110)으로부터 기판(G)을 분리하는 경우에 복수의 푸시 핀 모듈(410)을 구동시키는 푸시 핀 모듈 구동부(420)를 포함한다. 여기서, 기판 캐리어(100)와 푸시 핀 모듈 구동부(420)는 지지 프레임(150)에 의해 지지된다.

복수의 푸시 핀 모듈(410)은 정전척(110)의 처킹 동작이 해제된 때, 정전척(110)으로부터 기판(G)을 분리(detach)시키는 역할을 한다.

푸시 핀 모듈(410)은 푸시 핀 모듈 구동부(420)에 의해 동작되는 데, 이러한 푸시 핀 모듈(410)은 기판 캐리어(100)의 내부에 배치된다. 즉, 푸시 핀 모듈(410)은 기판 캐리어(100)를 관통하는 홀부에 배치된다.

특히, 푸시 핀 모듈(410)은 기판(G)의 유효영역(Effective Area)을 제외한 기판 캐리어(100)의 둘레를 따라 복수 개 배치된다.

푸시 핀 모듈(410)은, 기판 캐리어(100)에 형성된 홀부에 결합되는 핀 모듈 바디(411)와, 핀 모듈 바디(411)의 하부에 배치되되, 푸시 핀 모듈 구동부(420)의 동작에 따라 기판(G)을 가압하여 정전척(110)과 기판(G)을 분리하는 푸시 핀(412)과, 핀 모듈 바디(411)의 내부에 삽입되되, 푸시 핀 모듈 구동부(420)의 동작에 따라 푸시 핀(412)을 가압하는 핀 가압 샤프트(413)와, 핀 모듈 바디(411)의 내부에 마련되되, 핀 가압 샤프트(413)에 연결되어 핀 가압 샤프트(413)가 원상태로 복귀되도록 핀 가압 샤프트(413)를 탄력 지지하는 탄성부재(414)와, 핀 모듈 바디(411)에 연결되되, 탄성부재(414)의 이탈을 방지하는 탄성부재 스토퍼(416)와, 핀 모듈 바디(411)에 연결되되, 탄성부재 스토퍼(416)를 핀 모듈 바디(411)에 고정하는 엔드 캡(417)과, 핀 모듈 바디(411)와 푸시 핀(412) 사이에 마련되되, 핀 가압 샤프트(413)가 삽입되어 팽창 또는 수축되는 벨로우즈(419)를 포함한다.

핀 모듈 바디(411)는 푸시 핀 모듈(410)의 외관을 이루는 하우징으로서, 기판 캐리어(100)의 홀부에 결합되어 고정된다. 핀 모듈 바디(411)는 볼트 결합 방식에 의해 기판 캐리어(100)에 고정될 수 있다.

그리고, 푸시 핀(412)은 핀 모듈 바디(411)의 하부에 배치되며, 정전척(110)의 처킹동작이 해제된 때, 정전척(110)으로부터 기판(G)을 가압하여 분리하는 역할을 한다.

그리고, 핀 가압 샤프트(413)는 핀 모듈 바디(411)의 내부에 마련되어 푸시 핀 모듈 구동부(420)의 동작 시 구동되어 푸시 핀(412)을 가압한다.

핀 가압 샤프트(413)에는 하방으로 가압되어 위치가 가변된 핀 가압 샤프트(413)가 원상태로 복귀되도록 탄력 지지하는 탄성부재(414)가 연결된다.

탄성부재(414)는 핀 모듈 바디(411)의 내부에 탄성부재 자리홈부(415)에 배치되는 비틀림 코일 압축스프링일 수 있다.

이러한 탄성부재(414)는 핀 모듈 바디(411)의 상부에 결합되는 탄성부재 스토퍼(416)에 의해 지지되어 자리 이탈이 방지된다. 그리고, 탄성부재 스토퍼(416)는 핀 모듈 바디(411)에 연결되는 엔드 캡(417)에 의해 위치가 고정된다. 엔드 캡(417)은 볼트에 의해 핀 모듈 바디(411)에 연결될 수 있다.

그리고, 핀 모듈 바디(411)와 푸시 핀(412) 사이에는 LM 부시(418)가 개재되어 푸시 핀(412)의 승강운동을 가이드한다.

그리고, 벨로우즈(419)는 LM 부시(418)에 연결되며, 핀 가압 샤프트(413)가 삽입되어 팽창 또는 수축되는 부재이다. 벨로우즈(419)는 푸시 핀 모듈(410)의 구동 시 발생될 수 있는 파티클이 기판(G)으로 전달되는 것을 방지하는 역할을 한다.

한편, 푸시 핀 모듈 구동부(420)는 기판 캐리어(100)의 상부에 마련되며, 기판(G)의 분리동작 시 푸시 핀 모듈(410)을 구동시켜 푸시 핀(412)이 기판(G)을 가압하도록 하는 구동력을 제공한다.

푸시 핀 모듈 구동부(420)는, 기판 캐리어(100)의 상부에 마련된 승강 플레이트(421)와, 승강 플레이트(421)에 연결되되, 복수의 푸시 핀 모듈(410) 각각에 대응되는 위치에 배치되어 핀 가압 샤프트(413)를 가압하는 복수의 핀부재(422)와, 승강 플레이트(421)에 연결되되, 복수의 핀부재(422)가 핀 가압 샤프트(413)를 가압할 수 있도록 승강 플레이트(421)를 승강시키는 승강 플레이트 구동부(423)를 포함한다.

그리고, 승강 플레이트 구동부(423)는. 승강 플레이트(421)에 연결되어 승강하는 승강 로드(424)와, 지지 프레임(150)에 마련되되 승강 로드(424)에 연결되어 승강 로드(424)의 승강운동을 안내하는 가이드 레일(425)을 포함한다.

승강 플레이트(421)에 마련된 핀부재(422)는 푸시 핀 모듈(410)에 대응되는 위치에 마련되므로, 승강 플레이트 구동부(423)에 의해 승강 플레이트(421)가 하강되면 복수의 핀부재(422)가 하강되어 푸시 핀 모듈(410)을 가압한다. 따라서, 푸시 핀(412)이 정전척(110)으로부터 기판(G)을 하방으로 밀어낸다.

푸시 핀(412)이 기판(G)을 하방으로 밀어내는 경우에 정전척(110)의 작동이 정지된 상태이므로 정전척(110)으로부터 기판(G)을 용이하게 분리할 수 있다.

상기와 같은 기판 분리유닛(400)에 의해 효율적으로 정전척(110)으로부터 기판(G)을 분리할 수 있으며 또한 기판(G)의 분리공정 시 파티클이 발생되는 것을 방지할 수 있다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

100: 기판 캐리어 110: 정전척
200: 기판 지지용 스테이지 210: 제1 기판 지지유닛
220: 제1 지지핀부 230: 제1 지지핀 승강부
240: 제1 탄성력 조절부 250: 제2 기판 지지유닛
260: 제2 지지핀부 270: 제2 지지핀 승강부
280: 제2 탄성력 조절부 290: 기판 누름유닛
300: 얼라인유닛 400: 기판 분리유닛
410: 푸시 핀 모듈 420: 푸시 핀 모듈 구동부

Claims

기판을 처킹하는 척을 구비한 기판 캐리어;
상기 기판을 지지하되, 상기 기판을 상기 기판 캐리어 방향으로 상승시키는 제1 기판 지지유닛; 및
상기 제1 기판 지지유닛의 양측에 인접하게 마련되어 상기 기판을 지지하되, 상기 제1 기판 지지유닛에 대해 시간간격을 두고 상기 기판을 상기 기판 캐리어 방향으로 상승시키는 제2 기판 지지유닛을 포함하며,
상기 제1 기판 지지유닛은,
상기 기판을 접촉 지지하되, 상기 기판 양측변의 중심부를 가로지르는 방향으로 상호 이격된 복수의 제1 지지핀부; 및
상기 복수의 제1 지지핀부에 연결되되, 상기 복수의 제1 지지핀부가 상기 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 상기 기판에 가해지는 압력을 일정하게 유지시키는 제1 탄성력 조절부를 포함하며,
상기 제2 기판 지지유닛은,
상기 기판을 접촉 지지하되, 상기 기판 양측변의 끝단부를 가로지르는 방향으로 상호 이격된 복수의 제2 지지핀부; 및
상기 복수의 제2 지지핀부에 연결되되, 상기 복수의 제2 지지핀부가 상기 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 상기 기판에 가해지는 압력을 일정하게 유지시키는 제2 탄성력 조절부를 포함하는 기판 증착 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제1 기판 지지유닛과 상기 제2 기판 지지유닛은,
상기 기판의 양측 단변을 가로지르는 방향으로 길게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 증착 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제1 기판 지지유닛은,
상기 복수의 제1 지지핀부에 연결되되, 상기 복수의 제1 지지핀부를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제1 지지핀 승강부를 더 포함하며,
상기 제1 지지핀 승강부는,
상기 복수의 제1 지지핀부에 연결되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 승강되어 상기 복수의 제1 지지핀부를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제1 승강부재; 및
상기 제1 승강부재에 연결되되, 상기 제1 승강부재를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제1 승강부재 구동부를 포함하는 기판 증착 시스템.
제3항에 있어서,
상기 복수의 제1 지지핀부는,
상기 기판의 일측변을 바라볼 때 상기 기판 일측변의 중심부로 갈수록 높이가 증가되는 것을 특징으로 하는 기판 증착 시스템.
제3항에 있어서,
상기 제1 지지핀부는,
상기 기판의 저면을 지지하는 제1 기판 서포터; 및
상기 제1 기판 서포터에 연결되되, 상기 제1 기판 서포터를 탄력 지지하는 제1 서포터 탄성체를 포함하는 기판 증착 시스템.
제5항에 있어서,
상기 제1 지지핀부는,
상기 제1 승강부재에 연결되되, 일측에 상기 제1 기판 서포터와 상기 제1 서포터 탄성체가 결합되는 제1 브라케트; 및
상기 제1 서포터 탄성체와 상기 제1 브라케트를 연결하되, 상기 기판이 상승되어 상기 척에 밀착되는 경우에 상기 제1 서포터 탄성체가 상기 제1 브라케트에 대해 슬라이딩 이동가능하게 하는 제1 탄성체 지지용 슬라이더를 더 포함하는 기판 증착 시스템.
제7항에 있어서,
상기 제1 탄성체 지지용 슬라이더는,
상기 제1 브라케트에 결합되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 길게 배치된 제1 가이드부재; 및
일단부가 상기 제1 가이드부재에 연결되고 타단부가 상기 제1 서포터 탄성체에 연결되어 상기 제1 가이드부재를 따라 슬라이딩되는 제1 슬라이딩 블록을 포함하는 기판 증착 시스템.
제9항에 있어서,
상기 제1 탄성력 조절부는,
상기 제1 브라케트에 마련되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 길게 배치된 제1 랙기어;
상기 제1 랙기어에 치합되는 제1 피니언기어를 구비하며, 상기 제1 슬라이딩 블록에 연결되어 상기 제1 슬라이딩 블록과 함께 이동되는 제1 이송블록; 및
상기 제1 슬라이딩 블록과 상기 제1 이송블록에 인접하게 배치된 제1 고정블록에 연결되되, 상기 제1 기판 서포터가 상기 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 상기 제1 서포터 탄성체에 의해 상기 제1 기판 서포터가 상기 기판에 가하는 압력을 일정하게 유지하는 제1 탄성력 조절부재를 포함하는 기판 증착 시스템.
제8항에 있어서,
상기 제1 탄성력 조절부재는,
일단부가 상기 제1 슬라이딩 블록에 연결되고 타단부가 상기 제1 고정블록에 연결되는 인장 스프링인 것을 특징으로 하는 기판 증착 시스템.
제1항에 있어서,
상기 제2 기판 지지유닛은,
상기 복수의 제2 지지핀부에 연결되되, 상기 복수의 제2 지지핀부를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제2 지지핀 승강부를 더 포함하며,
상기 제2 지지핀 승강부는,
상기 복수의 제2 지지핀부에 연결되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 승강되어 상기 복수의 제2 지지핀부를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제2 승강부재; 및
상기 제2 승강부재에 연결되되, 상기 제2 승강부재를 상기 기판 캐리어 방향으로 승강시키는 제2 승강부재 구동부를 포함하는 기판 증착 시스템.
제10항에 있어서,
상기 제2 지지핀부는,
상기 기판의 저면을 지지하는 제2 기판 서포터; 및
상기 제2 기판 서포터에 연결되되, 상기 제2 기판 서포터를 탄력 지지하는 제2 서포터 탄성체를 포함하는 기판 증착 시스템.
제11항에 있어서,
상기 제2 지지핀부는,
상기 제2 승강부재에 연결되되, 일측에 상기 제2 기판 서포터와 상기 제2 서포터 탄성체가 결합되는 제2 브라케트; 및
상기 제2 서포터 탄성체와 상기 제2 브라케트를 연결하되, 상기 기판이 상승되어 상기 척에 밀착되는 경우에 상기 제2 서포터 탄성체가 상기 제2 브라케트에 대해 슬라이딩 이동가능하게 하는 제2 탄성체 지지용 슬라이더를 더 포함하는 기판 증착 시스템.
제12항에 있어서,
상기 제2 탄성체 지지용 슬라이더는,
상기 제2 브라케트에 결합되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 길게 배치된 제2 가이드부재; 및
일단부가 상기 제2 가이드부재에 연결되고 타단부가 상기 제2 서포터 탄성체에 연결되어 상기 제2 가이드부재를 따라 슬라이딩되는 제2 슬라이딩 블록을 포함하는 기판 증착 시스템.
제13항에 있어서,
상기 제2 탄성력 조절부는,
상기 제2 브라케트에 마련되되, 상기 기판 캐리어 방향으로 길게 배치된 제2 랙기어;
상기 제2 랙기어에 치합되는 제2 피니언기어를 구비하며, 상기 제2 슬라이딩 블록에 연결되어 상기 제2 슬라이딩 블록과 함께 이동되는 제2 이송블록; 및
상기 제2 슬라이딩 블록과 상기 제2 이송블록에 인접하게 배치된 제2 고정블록에 연결되되, 상기 제2 기판 서포터가 상기 기판에 접촉되어 상승되는 경우에 상기 제2 서포터 탄성체에 의해 상기 제2 기판 서포터가 상기 기판에 가하는 압력을 일정하게 유지하는 제2 탄성력 조절부재를 포함하는 기판 증착 시스템.
제14항에 있어서,
상기 제2 탄성력 조절부재는,
일단부가 상기 제2 슬라이딩 블록에 연결되고 타단부가 상기 제2 고정블록에 연결되는 인장 스프링인 것을 특징으로 하는 기판 증착 시스템.
제1항에 있어서,
상기 척에 부착된 상기 기판을 분리하는 기판 분리유닛을 더 포함하며,
상기 기판 분리유닛은,
상기 기판 캐리어의 내부에 마련되되, 상기 척에 부착된 상기 기판을 가압하도록 상기 기판 캐리어의 둘레를 따라 배치되는 복수의 푸시 핀 모듈; 및
상기 기판 캐리어의 상부에 배치되되, 상기 척으로부터 상기 기판을 분리하는 경우에 상기 복수의 푸시 핀 모듈을 구동시키는 푸시 핀 모듈 구동부를 포함하는 기판 증착 시스템.
제16항에 있어서,
상기 푸시 핀 모듈은,
상기 기판 캐리어에 형성된 홀부에 결합되는 핀 모듈 바디;
상기 핀 모듈 바디의 하부에 배치되되, 상기 푸시 핀 모듈 구동부의 동작에 따라 상기 기판을 가압하여 상기 척과 상기 기판을 분리하는 푸시 핀; 및
상기 핀 모듈 바디의 내부에 삽입되되, 상기 푸시 핀 모듈 구동부의 동작에 따라 상기 푸시 핀을 가압하는 핀 가압 샤프트를 포함하는 기판 증착 시스템.
제17항에 있어서,
상기 푸시 핀 모듈은,
상기 핀 모듈 바디의 내부에 마련되되, 상기 핀 가압 샤프트에 연결되어 상기 핀 가압 샤프트가 원상태로 복귀되도록 상기 핀 가압 샤프트를 탄력 지지하는 탄성부재;
상기 핀 모듈 바디에 연결되되, 상기 탄성부재의 이탈을 방지하는 탄성부재 스토퍼; 및
상기 핀 모듈 바디에 연결되되, 상기 탄성부재 스토퍼를 상기 핀 모듈 바디에 고정하는 엔드 캡을 더 포함하는 기판 증착 시스템.
제17항에 있어서,
상기 푸시 핀 모듈은,
상기 핀 모듈 바디와 상기 푸시 핀 사이에 마련되되, 상기 핀 가압 샤프트가 삽입되어 팽창 또는 수축되는 벨로우즈를 더 포함하는 기판 증착 시스템.
제17항에 있어서,
상기 푸시 핀 모듈 구동부는,
상기 기판 캐리어의 상부에 마련된 승강 플레이트;
상기 승강 플레이트에 연결되되, 상기 복수의 푸시 핀 모듈 각각에 대응되는 위치에 배치되어 상기 핀 가압 샤프트를 가압하는 복수의 핀부재; 및
상기 승강 플레이트에 연결되되, 상기 복수의 핀부재가 상기 핀 가압 샤프트를 가압할 수 있도록 상기 승강 플레이트를 승강시키는 승강 플레이트 구동부를 포함하는 기판 증착 시스템.
제20항에 있어서,
상기 기판 캐리어와 상기 푸시 핀 모듈 구동부를 지지하는 지지 프레임을 더 포함하며,
상기 승강 플레이트 구동부는,
상기 승강 플레이트에 연결되어 승강하는 승강 로드; 및
상기 지지 프레임에 마련되되, 상기 승강 로드에 연결되어 상기 승강 로드의 승강운동을 안내하는 가이드 레일을 포함하는 기판 증착 시스템.