KR20140111173A - Mehtod for manufacturing low core loss grain-oriented elecrrical steel sheet having exceelent energy efficiency - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 에너지 효율이 우수한 저철손 방향성 전기 강판의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대형 발전기나 모터 등의 전기기기의 부품으로 이용될 수 있는 에너지 효율이 우수한 저철손 방향성 전기 강판의 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a low iron loss directional electric steel sheet having excellent energy efficiency and more particularly to a method of manufacturing a low iron loss directional electric steel sheet which can be used as a component of an electric appliance such as a large- .
최근 에너지의 효율적 이용에 대한 관심이 높아짐에 따라, 화석연료 고갈에 따른 에너지 비용의 증가 문제가 대두되고 있으며, 이로 인해 전기에너지의 효율적 이용을 위한 저철손 방향성 전기 강판의 개발이 요구되고 있다. 에너지 손실량을 나타내는 철손을 감소시키기 위해서는 쇳물 속 규소의 양을 증가시킴으로써 강판의 비저항을 증대시키는 방법을 이용할 수 있으나, 3.3%이상의 규소 첨가는 냉간압연시 판파단과 같은 문제를 야기한다. 이로 인해, 초기 쇳물 속 규소양을 증가시키는 방안은 여전히 연구 중에 있으나, 아직 실용화 되지 못하고 있는 실정이다. 따라서, 에너지 효율이 우수한 저철손 전기강판을 제조하기 위하여, 크게는 과량의 규소 첨가에 의한 문제를 해결하기 위한 물질의 대체재를 찾는 방안과, 냉간압연시 판파단을 방지하기 위한 비저항 물질 첨가 시점 및 첨가 방안에 대한 시스템적 측면, 두 가지 방면으로 연구가 진행되고 있다.
Recently, as the interest in efficient use of energy has increased, there has been an increasing problem of energy cost due to depletion of fossil fuel. Therefore, development of a low iron loss directional electric steel sheet is required for efficient use of electric energy. In order to reduce the iron loss indicating the amount of energy loss, a method of increasing the specific resistivity of the steel sheet by increasing the amount of silicon tetrachloride can be used. However, the addition of silicon at 3.3% or more causes problems such as plate breakage during cold rolling. As a result, the method of increasing the amount of silicon in the initial stage is still being studied, but it has not yet been put to practical use. Therefore, in order to manufacture a low-loss steel sheet having excellent energy efficiency, a method of finding a substitute material for solving the problem of excessive silicon addition and a point of adding a resistivity material for preventing plate breakage in cold rolling, The systematic aspect of the addition method has been studied in two ways.
우선, 대체 물질 첨가 측면에서 규소와 비슷한 수준의 비저항 증가 특성을 나타내는 알루미늄 및 규소-알루미늄 합금의 첨가 방안이 제안되고 있다. 알루미늄의 경우 비저항 특성은 규소보다는 좋지 못하지만 다른 물질에 비해 가장 유사한 성질을 가지며, 연신율 측면에서는 훨씬 좋은 특성을 나타내는 것으로 알려져 있다.
First, the addition of aluminum and silicon-aluminum alloys, which exhibit a resistivity-increasing characteristic similar to that of silicon in terms of adding substitute materials, has been proposed. The resistivity of aluminum is not as good as that of silicon, but it has the most similar properties to other materials and is known to exhibit much better properties in terms of elongation.
그러나, 상기 알루미늄을 투입하는 방안은 알루미늄의 양을 증가시키는 경우, 2차 재결정을 통한 집합조직 제어의 문제와 알루미늄의 쉬운 산화 특성으로 인해 함유량을 증가시키기 힘들다는 문제가 있다.
However, when the amount of aluminum is increased, there is a problem in that it is difficult to increase the content due to the problem of texture control through secondary recrystallization and the easy oxidation characteristic of aluminum.
한편, 시스템적 측면으로 초기 쇳물 속 규소양을 증가시킨 후 냉간압연방법 이나 온도를 제어하는 방안이 제안되고 있고, 한편으로는 냉간압연이 종료된 후, 최종 제품에 규소를 첨가하는 방안으로서, CVD, 용융도금, 플라즈마 증착법 등 다각적 연구가 진행되었다.
On the other hand, as a system aspect, a method of controlling the cold rolling method and the temperature after increasing the amount of silicon in the initial raw material has been proposed. On the other hand, as a method of adding silicon to the final product after the completion of the cold rolling, , Hot dip galvanizing, and plasma deposition.
대표적으로, NKK에서는 3.3%의 규소를 첨가하여 냉간압연과 2차재결정을 완료한 후 CVD를 이용하여 다시 비저항 원소를 추가 확산시키는 방법을 통해, 무방향성 제품 생산에 성공하였다. 그러나, CVD 기법의 경우 유독성이면서 부식성이 강한 반응성 기체인 사염화규소(SiCl4)를 규소 증착의 원료로 사용하기 때문에 안전을 위한 설비 투자가 필요하다는 단점이 있으며, 또한 설비의 부식이 심해서 잦은 정비가 필요하다는 단점이 있다.
Typically, NKK succeeded in the production of non-oriented products by adding 3.3% of silicon, completing cold rolling and secondary recrystallization, and then further diffusing the resistivity elements by CVD. However, in the case of the CVD technique, since silicon tetrachloride (SiCl 4 ), which is a toxic and highly corrosive reactive gas, is used as a raw material for silicon deposition, there is a disadvantage in that it requires a facility investment for safety. In addition, There is a disadvantage that it is necessary.
이로 인해, 용융도금 및 플라즈마 증착과 같은 물리적 증착방법의 연구가 부각되었는데, 도 1에 나타난 바와 같이 규소, 알루미늄 또는 규소-알루미늄 합금의 용융 도금시 시편과 도금층의 경계면에 이차상(intermetallic commpound)이 형성되고, 알루미늄이나 규소-알루미늄 합금도금시 커캔달(Kirkendall) 효과로 인한 공동(空洞) 형성 문제가 발생하여 아직 연구 단계에 머무르고 있다.
As a result, studies on physical vapor deposition methods such as hot dip coating and plasma deposition have been made. As shown in FIG. 1, when hot dip coating of silicon, aluminum or silicon-aluminum alloy, intermetallic commpound is formed at the interface between the specimen and the plating layer And there is a problem of cavity formation due to the Kirkendall effect when the aluminum or silicon-aluminum alloy is plated, and it is still in the research stage.
또한, 플라즈마 증착법을 이용하여 규소를 증착할 경우에는 도 2에 나타난 바와 같이 확산 열처리 과정에서 표면에 발생하는 공동과 커캔달 효과로 인해 강판 내부에 형성되는 공동 및 이차상의 형성으로 인해 표면상태가 열화되는 결과를 가져왔다. 한편, 알루미늄이나 그 외 합금원소를 이용한 플라즈마 증착법에 대한 연구는 아직 찾아볼 수 없었다.
In addition, when silicon is deposited using the plasma deposition method, as shown in FIG. 2, the surface state is deteriorated due to the formation of cavities and secondary phases formed in the steel sheet due to the cavities and the curtain- . On the other hand, there is no research on the plasma deposition method using aluminum or other alloying elements.
소지철과 도금층의 경계면에 이차상 및 공동과 커캔달 효과로 인한 내부 공동 및 표면 열화가 발생할 경우에는 자화가 발생되는 것에 좋지 않은 영향을 미치며, 존재하지 않는 경우에 비해 더 큰 에너지 손실이 발생하는 것으로 알려져 있다. 즉, 철손이 증가하게 되는 것이다.
In the case where the inner cavity and the surface deterioration due to the secondary phase and the cavity and the curcumin effect are generated at the interface between the substrate iron and the plating layer, the magnetization is adversely affected and the energy loss is greater . That is, iron loss is increased.
이처럼 현재까지는 물리적 증착법을 이용하여 비저항 원소를 첨가하는 방법을 성공한 사례가 없으며, 여전히 이차상 및 공동 발생의 문제가 존재하기 때문에 알루미늄 및 그 외 합금 원소를 통한 플라즈마 증착법의 연구 필요성이 대두되고 있는 실정이다.
As a result, there has been no successful method of adding a resistivity element by physical vapor deposition until now, and there is still a problem of secondary phase and co-occurrence. Therefore, there is a need for research on plasma deposition method using aluminum and other alloying elements to be.
본 발명은 규소의 대체재를 물리적 증착법을 이용하여 소재에 침투시킴으로써, 공동 및 이차상이 발생하지 않고, 표면 열화 또한 방지할 수 있는 저철손 방향성 전기 강판의 제조방법을 제공하고자 하는 것이다.
The present invention is intended to provide a method of manufacturing a low iron loss directional electrical steel sheet which is capable of preventing cavitation and secondary phase from occurring and preventing surface deterioration by penetrating a substitute material of silicon with a physical vapor deposition method.
본 발명의 일 실시형태는 2차 재결정이 완료된 방향성 전기강판에 알루미늄 증착층이 형성되도록 300~400℃의 진공분위기에서 플라즈마를 이용하여 알루미늄을 증착하는 단계; 상기 알루미늄 증착층이 형성된 방향성 전기강판을 110℃/min이상의 속도로 가열한 뒤, 1050~1150℃에서 확산열처리하고, 110℃/min이상의 속도로 냉각하는 단계; 및 상기 냉각된 방향성 전기강판을 전해연마하는 단계를 포함하는 방향성 전기 강판의 제조방법을 제공한다.
According to an embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: depositing aluminum using a plasma in a vacuum atmosphere at 300 to 400 ° C so that an aluminum deposition layer is formed on a directionally oriented electrical steel sheet after secondary recrystallization; Heating the directional electrical steel sheet having the aluminum deposition layer at a rate of 110 ° C / min or more, diffusion heat treatment at 1050 to 1150 ° C, and cooling at a rate of 110 ° C / min or more; And electrolytically polishing the cooled directional electrical steel sheet. The present invention also provides a method for manufacturing a directional electrical steel sheet.
본 발명에 따르면, 공동 및 이차상이 발생하지 않아 기존 대비 15%이상 에너지 효율이 높은 저철손 방향성 전기 강판을 제공할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, it is possible to provide a low iron loss directional electric steel sheet which is free from cavities and secondary phases and has an energy efficiency of 15% or more as compared with the conventional method.
또한, 본 발명이 제공하는 저철손 방향성 전기 강판은 화학적 증착법을 이용하지 않아 공해유발 및 설비의 부식 문제를 해결할 수 있으며, 기존 규소 및 알루미늄 확산시 발생하는 커캔달 효과에 의한 내부 공동 생성 및 표면 열화가 일으키는 철손 증가 문제 또한 해결할 수 있어, 저철손이 요구되는 대형 변압기나 모터 등에 바람직하게 적용될 수 있다.
In addition, since the low iron-strength directional electrical steel sheet provided by the present invention does not use the chemical vapor deposition method, it can solve the pollution inducing and corrosion problems of the equipment, and the internal cavity generation and surface deterioration And also can be suitably applied to a large-sized transformer or a motor requiring low iron loss.
도 1은 규소, 알루미늄 또는 규소-알루미늄 합금을 용융 도금한 후, 소재의 미세조직을 관찰한 사진의 일례이다.
도 2는 규소를 플라즈마 증착 및 열처리한 후, 소재의 미세조직을 관찰한 사진의 일례이다.
도 3은 알루미늄을 플라즈마 증착한 뒤, 10℃/min의 속도로 가열하여 확산열처리한 후 서냉하고 나서, 소재의 미세조직을 관찰한 사진의 일례이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따라 알루미늄을 플라즈마 증착한 뒤, 급속가열 냉각 방식을 적용하여 확산열처리한 후, 소재 내부의 미세조직을 관찰한 사진의 일례이다.
도 5는 도 4의 측면 표면을 관찰한 미세조직 사진이다.
도 6은 도 4의 상부 표면을 관찰한 미세조직 사진이다.
도 7은 본 발명의 일 실시형태에 따른 전해연마공정을 거친 소재의 상부 표면을 관찰한 미세조직 사진이다.Fig. 1 is an example of a photograph of a microstructure of a material after hot-dip coating of silicon, aluminum or a silicon-aluminum alloy.
FIG. 2 is an example of a photograph of a microstructure of a workpiece after plasma-deposited and heat-treated with silicon.
FIG. 3 is an example of a photograph of a microstructure of a workpiece after plasma-deposited aluminum, followed by diffusion heat treatment at a heating rate of 10 ° C / min, followed by gradual cooling.
FIG. 4 is an example of a photograph of microstructure inside a material after plasma-deposited aluminum according to an embodiment of the present invention, followed by diffusion heat treatment by applying a rapid heating and cooling method.
5 is a microstructure photograph of the side surface of FIG. 4 observed.
FIG. 6 is a microstructure photograph of the upper surface of FIG. 4 observed. FIG.
FIG. 7 is a microstructure photograph of an upper surface of a workpiece subjected to an electrolytic polishing process according to an embodiment of the present invention. FIG.
본 발명자들은 저철손 특성을 갖는 방향성 전기 강판을 제조함에 있어서, 규소를 대체할 수 있는 새로운 비저항 물질 첨가와 더불어 방향성 전기 강판 제조 공정 중 비저항 물질 첨가 시점 및 첨가 방안에 관한 시스템적 측면에 대하여 연구를 행하던 중, 냉간압연 및 2차 재결정이 완료된 방향성 전기 강판을 플라즈마 증착법을 이용하여 알루미늄을 증착한 후, 특정 영역의 온도 조건에서 열처리함에 있어 급속 가열 및 급속냉각을 통한 확산 소둔을 한 다음, 전해 연마를 행함으로써 우수한 표면 특성과 함께 낮은 철손 특성을 갖는 방향성 전기 강판을 제조할 수 있다는 식견하에 본 발명을 완성하게 되었다.
The inventors of the present invention have studied a systematic aspect of addition of a new resistivity material that can replace silicon and a point of addition of a resistivity material in a directional electric steel sheet manufacturing process in the production of a grain- Aluminum was deposited on the grain-oriented electrical steel sheet subjected to the cold rolling and the second recrystallization in the course of performing cold rolling and secondary recrystallization, and then subjected to diffusion annealing through rapid heating and rapid cooling in the heat treatment in a specific temperature range, , It is possible to produce a grain-oriented electrical steel sheet having excellent surface characteristics and low iron loss properties.
이하, 본 발명의 방향성 전기 강판의 제조방법에 대하여 설명한다.
Hereinafter, a method for producing the grain-oriented electrical steel sheet of the present invention will be described.
우선, 냉간압연 및 2차 재결정이 완료된 방향성 전기강판을 준비한다. 본 발명에 적용가능한 강판은 당해 기술분야에서 통상적으로 사용되는 방향성 전기 강판이라면 모두 사용가능하며, 예를 들면, 약 3%의 Si를 함유하는 방향성 전기 강판을 사용할 수 있다. 또한, 본 발명에서는 전기강판의 두께에 대하여 특별히 한정하지 않으며, 당해 기술분야에서 통상적으로 이용되는 두께 범위의 강판을 이용할 수 있다. 예를 들면, 220~230㎛ 두께의 전기강판을 이용할 수 있다. 상기 냉간압연 및 2차 재결정 또한 당해 기술분야에서 이용되는 통상의 조건을 적용할 수 있다.
First, a directional electrical steel sheet having been subjected to cold rolling and secondary recrystallization is prepared. The steel sheet applicable to the present invention can be used in any directional steel sheet commonly used in the related art. For example, a grain oriented steel sheet containing about 3% of Si can be used. Further, in the present invention, the thickness of the electric steel sheet is not particularly limited, and a steel sheet having a thickness range generally used in this technical field can be used. For example, an electrical steel sheet having a thickness of 220 to 230 mu m can be used. The cold rolling and the secondary recrystallization may also be performed under ordinary conditions used in the related art.
이후, 상기 2차 재결정이 완료된 방향성 전기강판에 알루미늄 증착층이 형성되도록 300~400℃에서 진공분위기에서 플라즈마를 이용하여 알루미늄을 증착하는 것이 바람직하다. 상기 온도범위는 알루미늄을 진공증착하기 위한 분위기 온도인데, 이와 같이, 강판을 300℃ 이상의 고온으로 유지함으로써 알루미늄 입자들이 높은 열에너지를 갖도록 하여 전기 강판 표면에 바람직하게 증착되도록 할 수 있다. 만일, 상기 유지 온도가 300℃ 미만인 상태에서 진공증착할 경우에는 전기강판과 알루미늄 간의 접착력에 비하여 알루미늄과 알루미늄 간의 접착력이 더 강하여 전기강판과 알루미늄 증착층이 박리되는 현상이 일어나기 쉽다. 또한, 전기강판과 알루미늄 증착층 간의 양호한 접촉상태를 확보하는 것이 곤란하여 확산 소둔 공정(확산열처리)시 알루미늄 증착층이 전기강판 내부로 쉽게 침투하지 못해 불균일 확산이 일어나고, 이 때문에 공극이 형성되어 강판 내부로 빠른 확산이 일어나지 못하는 결과가 발생할 수 있다. 나아가, 산소 분위기에 장시간 노출될 경우 상기 공극 내부로 산소가 많이 들어가게 되는 문제를 발생시켜 철손이 증가하게 되는 원인이 될 수 있다. 따라서, 상기 강판 유지 온도는 300℃이상이 될 필요가 있다. 다만, 상기 강판 유지 온도가 400℃를 초과하는 경우에는 알루미늄이 산화되거나 이차상을 형성할 수 있고, 심할 경우 상기 알루미늄이 용융될 수 있는 단점이 있을 수 있으므로, 상기 강판 유지 온도는 300~400℃의 범위를 갖는 것이 바람직하다. 한편, 상기 온도 제어시 진공분위기가 이루어지지 않을 경우에는 고온으로 인하여 강판에 산화가 일어나 본 발명에서 요구하는 제품의 특성을 얻기 곤란할 수 있다.
Thereafter, aluminum is preferably deposited using plasma in a vacuum atmosphere at 300 to 400 ° C so that an aluminum deposition layer is formed on the directionally oriented electrical steel sheet after the secondary recrystallization. The temperature range is an atmospheric temperature for vacuum deposition of aluminum. By maintaining the steel sheet at a high temperature of 300 ° C or higher, the aluminum particles can have a high thermal energy and can be preferably deposited on the surface of the steel sheet. If the vacuum deposition is performed at a holding temperature of less than 300 캜, the adhesion between aluminum and aluminum is stronger than the adhesion between an electrical steel sheet and aluminum, so that the electrical steel sheet and the aluminum deposition layer are easily peeled off. In addition, it is difficult to secure a good contact state between the steel sheet and the aluminum deposition layer, so that the aluminum deposition layer can not easily penetrate into the steel sheet during the diffusion annealing process (diffusion heat treatment) There is a possibility that rapid diffusion does not occur inside. Further, if the oxygen atmosphere is exposed to the atmosphere for a long time, a large amount of oxygen may be introduced into the pores, which may cause iron loss to increase. Therefore, the steel sheet holding temperature needs to be 300 DEG C or higher. However, if the steel sheet holding temperature is higher than 400 ° C, aluminum may be oxidized or a secondary phase may be formed, and if it is too large, the aluminum may be melted. Therefore, Lt; / RTI > On the other hand, if the vacuum atmosphere is not maintained during the temperature control, the steel sheet is oxidized due to the high temperature, and it may be difficult to obtain the characteristics of the product required in the present invention.
이후, 상기 방향성 전기강판에 알루미늄 증착층이 형성되도록 플라즈마를 이용하여 알루미늄을 증착한다. 상기 플라즈마 증착법을 이용함에 따라 용융 도금시 발생하는 이차상의 형성을 억제할 수 있어, 철손 감소 효과를 발현할 수 있다. 물론, 본 발명이 제안하는 바와 같이 플라즈마 증착법을 이용하더라도 확산열처리시 가열속도 및 냉각속도의 제어가 이루어지지 않는 경우에는 이차상이 발생할 수 있으므로 후공정인 확산열처리 공정의 제어가 수반되어야 한다.
Thereafter, aluminum is deposited using plasma to form an aluminum deposition layer on the grain-oriented electrical steel sheet. By using the plasma deposition method, the formation of the secondary phase which occurs during the hot dip coating can be suppressed, and the iron loss reducing effect can be exhibited. Of course, even if the plasma deposition method is used, as the present invention proposes, if the heating rate and the cooling rate can not be controlled during the diffusion heat treatment, a secondary phase may occur.
이 때, 상기 알루미늄의 증착은 상기 방향성 전기강판의 양표면에 이루어지는 것이 바람직하다. 강판의 단면에만 알루미늄을 증착하는 경우에는 소둔공정에서 알루미늄이 증착된 면과 증착되지 않은 면과의 열팽창계수 차이로 인하여 증착된 면 쪽으로 강판이 휘어지는 현상이 발생하게 된다.
At this time, it is preferable that the aluminum is deposited on both surfaces of the directional electrical steel sheet. In the case of depositing aluminum only on the end face of a steel sheet, a phenomenon occurs in which the steel sheet is bent toward the deposited face due to the difference in thermal expansion coefficient between the aluminum-deposited surface and the non-deposited surface in the annealing step.
이후, 상기 알루미늄 증착층이 형성된 방향성 전기강판을 110℃/min이상의 속도로 가열하여 1050~1150℃에서 확산열처리(소둔)하여 상기 알루미늄 증착층을 상기 방향성 전기강판 내부로 확산시키는 것이 바람직하다. 상기와 같이 고온에서 110℃/min이상의 급속 가열을 통해 알루미늄 증착층이 순간적으로 액체 상태가 되고, 그 상태에서 확산열처리에 의해 강판 내부로 확산되는 과정을 거치함으로써, 알루미늄이 상기 전기강판 내부에 용이하게 침투되도록 할 수 있다. 상기 가열속도가 110℃/min 미만일 경우에는 강판 표면으로부터 두께 방향으로 10~20㎛ 지점에서 커캔달 효과에 의한 공동 생성이 활발해져 철손을 증가시키게 되는 단점이 있으므로, 상기 가열속도는 110℃/min 이상인 것이 바람직하다. 상기 가열속도는 높을수록 유리하므로, 그 상한을 특별히 한정하지 않는다. 다만, 공정의 한계상 220℃/min을 초과하기는 어렵다.
Thereafter, the directional electric steel sheet having the aluminum deposition layer formed thereon is preferably heated at a rate of 110 ° C / min or more to diffuse heat treatment (anneal) at 1050 to 1150 ° C to diffuse the aluminum deposition layer into the directional electric steel sheet. By rapidly heating the aluminum deposition layer at a high temperature of 110 ° C / min or more at such a high temperature as described above, the aluminum deposition layer is instantaneously brought into a liquid state and diffused into the steel sheet by diffusion heat treatment in this state, . When the heating rate is less than 110 ° C / min, co-generation due to the curcumed effect occurs at 10 to 20 μm from the surface of the steel sheet in the thickness direction to increase the iron loss, so that the heating rate is 110 ° C./min or more . The higher the heating rate, the more advantageous it is, so the upper limit is not particularly limited. However, it is difficult to exceed 220 캜 / min in the limit of the process.
또한, 상기 확산열처리 온도가 1050℃미만일 경우에는 알루미늄이 확산하는데 걸리는 시간이 길어지게 되어 증착된 알루미늄이 강판 내부로 확산하는 양보다 표면에서 산화되는 양이 더 많아지게 되며, 결국 소둔(열처리)시간이 길어져 강판 내부로 확산되는 산소의 양 또한 증가하여 히스테리시스손(hystetesis loss)에도 영향을 미치게 된다. 상기 확산열처리 온도는 높을수록 유리하므로, 그 상한을 특별히 한정하지 않는다. 다만, 생산성 확보 차원에서 상기 확산열처리 온도는 1150℃를 초과하지 않는 것이 바람직하다. 상기 확산열처리 온도는 980~1130℃의 범위를 갖는 것이 보다 바람직하며, 970~1120℃의 범위를 갖는 것이 보다 더 바람직하다.
If the diffusion heat treatment temperature is less than 1050 DEG C, the time required for diffusion of aluminum becomes longer, so that the amount of aluminum oxidized on the surface becomes larger than the amount of aluminum deposited on the steel sheet. As a result, And the amount of oxygen diffused into the steel sheet also increases, thereby affecting hysteresis loss. The higher the diffusion heat treatment temperature is, the more advantageous it is, so the upper limit is not particularly limited. However, in order to ensure productivity, it is preferable that the diffusion heat treatment temperature does not exceed 1150 占 폚. The diffusion heat treatment temperature is more preferably in the range of 980 to 1130 ° C, and more preferably in the range of 970 to 1120 ° C.
이 때, 상기 확산열처리는 0.5~6시간동안 행하여지는 것이 바람직한데, 상기 확산열처리 시간이 0.5시간 미만일 경우에는 알루미늄이 소재 내부로 모두 확산하지 못하여 내부 물성이 균일해지지 못할 수 있고, 이로 인해 물성 저하가 발생하는 단점을 가질 수 있으며, 6시간을 초과하는 경우에는 알루미늄뿐만 아니라 분위기 중 산소가 소재 내부로 확산하는 시간이 길어져 소재 내부에서 상기 알루미늄이 산소와 결합함으로써 철손의 증가를 유발할 수 있는 개재물이 형성될 수 있다. 따라서, 상기 확산열처리는 0.5~6시간 동안 행하여지는 것이 바람직하며, 1~4시간 동안 행하여지는 것이 보다 바람직하다.
At this time, it is preferable that the diffusion heat treatment is performed for 0.5 to 6 hours. If the diffusion heat treatment time is less than 0.5 hour, the aluminum may not diffuse into the material and the internal properties may not be uniform, If the time exceeds 6 hours, not only aluminum but also the time for diffusing oxygen in the atmosphere into the material becomes longer, so that inclusions that can cause the increase of iron loss due to the bonding of aluminum to oxygen inside the material . Therefore, the diffusion heat treatment is preferably performed for 0.5 to 6 hours, more preferably for 1 to 4 hours.
또한, 상기 확산열처리는 1×10-4torr이하의 고진공도에서 이루어지는 것이 바람직하다. 1×10-4torr이하의 분위기에서 소둔할 경우 분위기 중 잔존 산소에 의해 알루미늄이 산화물로 산화되는 비율을 최소화하여 알루미늄 증착량 대비 확산량 비율을 90%이상으로 높일 수 있다. 그러나, 1×10-4torr초과의 저진공 상태에서 소둔할 경우 알루미늄 증착량 대비 확산량 비율이 50%이하로 떨어져 최종 전해연마 과정에서 알루미늄 산화물을 제거할 경우 알루미늄 손실율이 증가하게 되는 단점이 있다. 따라서, 상기 알루미늄의 증착은 1×10-4torr이하의 고진공도에서 이루어지는 것이 바람직하며, 보다 높은 고진공도일수록 유리하다. 따라서, 본 발명에서는 상기 진공도의 하한에 대해서 특별히 한정하지 않는다. 다만, 장치 성능의 한계로 인하여, 상기 진공도는 1×10-10torr미만이 되기 어렵다.
The diffusion heat treatment is preferably performed at a high degree of vacuum of 1 x 10 -4 torr or less. When annealing is performed in an atmosphere of 1 × 10 -4 torr or less, the rate of oxidation of aluminum to oxide by residual oxygen in the atmosphere is minimized, and the diffusion amount ratio to aluminum deposition amount can be increased to 90% or more. However, when annealing is performed under a low vacuum of more than 1 × 10 -4 torr, the diffusion amount ratio to the aluminum deposition amount becomes 50% or less, which is disadvantageous in that the aluminum loss rate is increased when the aluminum oxide is removed in the final electrolytic polishing process . Therefore, it is preferable that the deposition of aluminum is performed at a high degree of vacuum of 1 x 10 < -4 > torr or lower, and a higher vacuum degree is more advantageous. Therefore, in the present invention, the lower limit of the vacuum degree is not particularly limited. However, due to the limitations of the apparatus performance, the vacuum degree is less likely to be less than 1 x 10 < -10 > torr.
또는, 상기 확산열처리는 수소분위기에서 이루어질 수도 있는데, 이 경우에는 이슬점을 조절하여 내부 수증기의 양과 산소의 영향을 배제시킴으로써 알루미늄이 산화되는 것을 억제할 수 있다. 나아가, 챔버 내에 산소가 거의 존재하지 않기 때문에, 비교적 저진공도에서 알루미늄을 증착시킬 수 있다는 장점이 있다.
Alternatively, the diffusion heat treatment may be performed in a hydrogen atmosphere. In this case, by controlling the dew point, the amount of internal water vapor and the influence of oxygen are excluded, thereby preventing oxidation of aluminum. Furthermore, since there is little oxygen in the chamber, there is an advantage that aluminum can be deposited at a relatively low degree of vacuum.
한편, 상기 확산열처리를 통해 얻어지는 상기 전기강판의 Al함량은 1~3중량%의 범위를 갖는 것이 바람직하다. 상기 Al함량이 1중량%미만일 경우에는 철손의 감소 효과가 충분하지 않을 수 있으며, 3중량%를 초과하는 경우에는 오히려 손실율이 증가하는 문제점이 발생할 수 있다.
Meanwhile, the Al content of the electrical steel sheet obtained through the diffusion heat treatment is preferably in the range of 1 to 3% by weight. If the Al content is less than 1 wt%, the iron loss reduction effect may not be sufficient. If the Al content is more than 3 wt%, the loss ratio may increase.
상기 확산열처리 후에는 110℃/min의 속도로 냉각하는 것이 바람직하다. 상기와 같이, 110℃/min이상의 급속냉각을 통해 소재 내부로 확산되는 산소의 양을 감소시키는 효과를 얻을 수 있다. 상기 냉각속도가 110℃/min 미만일 경우에는 산소의 양이 증가하여 손실율이 증가할 수 있다. 한편, 상기 냉각속도 또한 빠르면 빠를수록 유리한 효과를 발현하기 때문에, 그 상한에 대해서 특별히 한정하지 않는다. 다만, 공정의 한계상 상기 냉각속도는 220℃/min을 초과하기는 어렵다.
After the diffusion heat treatment, it is preferable to cool at a rate of 110 ° C / min. As described above, it is possible to obtain an effect of reducing the amount of oxygen diffused into the material through rapid cooling at 110 ° C / min or more. When the cooling rate is less than 110 ° C / min, the amount of oxygen increases and the loss rate may increase. On the other hand, the higher the cooling rate is, the more advantageous the effect is obtained, so the upper limit is not particularly limited. However, it is difficult for the cooling rate to exceed 220 캜 / min at the limit of the process.
도 3은 알루미늄을 플라즈마 증착한 뒤, 천천히 가열하여 확산열처리한 후 서냉하고 나서, 소재의 미세조직을 관찰한 사진의 일례이다. 도 3에서 알 수 있듯이, 본 발명이 제안하는 급속 가열 냉각 방식을 이용하지 않은 경우에는 강판 표면으로부터 두께 방향으로 10~20㎛ 지점에서 커캔달 효과에 의해 강판 내부에 공동이 형성됨을 알 수 있다.
FIG. 3 is an example of a photograph of a microstructure of a workpiece after plasma-deposited aluminum, followed by slow heating and diffusion heat treatment, followed by gradual cooling. As can be seen from FIG. 3, when the rapid heating and cooling system proposed by the present invention is not used, it can be seen that cavities are formed in the steel sheet due to the curcumin effect at 10 to 20 μm in the thickness direction from the surface of the steel sheet.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따라 알루미늄을 플라즈마 증착한 뒤, 급속가열 냉각 방식을 적용하여 확산열처리한 후, 소재의 미세조직을 관찰한 사진의 일례이다. 도 4에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시형태에 따라 전기강판을 제조하는 경우에는 도 3과 달리 커캔달 효과에 의한 내부 공동이 발생하지 않는 것을 알 수 있다.
FIG. 4 is an example of a photograph of microstructure of a workpiece after plasma-deposited aluminum according to an embodiment of the present invention, followed by diffusion heat treatment by applying a rapid heating and cooling system. As can be seen from FIG. 4, in the case of manufacturing the electrical steel sheet according to the embodiment of the present invention, it can be seen that the inner cavity due to the curtain-like effect does not occur, unlike in FIG.
도 5는 도 4의 표면을 관찰한 미세조직 사진이다. 도 5에서 알 수 있듯이, 본 발명이 제안하는 확산열처리 조건을 이용하여 전기강판에 알루미늄 증착층을 확산열처리하여 내부 공동이 형성되는 것을 방지하더라도 표면층의 문제가 발생하게 된다. 상기 전기강판 상에는 전기강판 내부로 미처 침투하지 못한 알루미늄 증착층이 일부 잔류하게 되며, 이러한 알루미늄 증착층과 방향성 전기강판의 경계면에는 공동이 형성되는 것을 알 수 있다. 이러한 현상은 크게 두 가지 요인에 의해 발생한다. 첫째는, 고온 온도에서 급속 가열로 인해 알루미늄 증착층과 소지철의 열팽창계수 차이로 인해 부피차이가 발생하게 되며, 이로 인해 알루미늄 증착층과 소지철 계면의 일정 영역에서 박리가 일어나게 되는 것이다. 둘째는, 알루미늄 증착층과 소지철간 일정 영역에서 양호한 접촉상태를 확보하지 못하여, 이로 인해 알루미늄 증착층 내에서도 확산속도의 차이가 발생하게 되고, 이 때문에 계면 사이에 밀도차가 발생하게 된다. 이러한 밀도차이는 부피차이를 발생시키게 되고, 결국 박리를 일으키게 된다.
Fig. 5 is a microstructure photograph of the surface of Fig. 4 observed. Fig. As can be seen from FIG. 5, even though the aluminum vapor deposition layer is diffusion-heat treated on the electrical steel sheet using the diffusion heat treatment conditions proposed in the present invention, the formation of the inner cavity is prevented, but the surface layer is problematic. A part of the aluminum deposition layer which has not yet penetrated into the electrical steel sheet remains on the electrical steel sheet and a cavity is formed at the interface between the aluminum deposition layer and the directional electrical steel sheet. This phenomenon is mainly caused by two factors. First, due to the rapid heating at a high temperature, a volume difference occurs due to a difference in thermal expansion coefficient between the aluminum deposition layer and the base steel, thereby causing peeling in a certain region of the aluminum deposition layer and the base iron interface. Second, a good contact state can not be ensured in a certain region between the aluminum deposition layer and the base metal, which causes a difference in the diffusion rate even in the aluminum deposition layer, resulting in a density difference between the interfaces. This density difference causes a volume difference, which eventually results in peeling.
나아가, 본 발명이 제안하는 확산열처리 공정을 거친 전기강판의 자성을 측정해보면, 확산열처리를 거치기 전에 비하여 오히려 철손이 증가하였음을 알 수 있었는데, 이와 같은 에디손실이 증가하는 이유 또한 크게 두 가지로 나눌 수 있다. 첫째는, 알루미늄의 증착으로 인해 강판의 두께 또한 증가하게 되는데, 통상적으로 강판 두께의 증가는 에디손 전류에 의한 철손의 증가를 가져오는 것으로 알려져 있다. 둘째는, 불균일한 표면 상태가 에디손 전류가 흐르는데 방해요인으로 작용하여 에디손실이 증가하기 때문이다.
Further, when the magnetic properties of the electric steel sheet subjected to the diffusion heat treatment process proposed by the present invention were measured, it was found that the iron loss was increased rather than before the diffusion heat treatment. The reason why the eddy loss is increased is also divided into two . First, the thickness of the steel sheet is also increased due to the deposition of aluminum. It is generally known that the increase in the steel sheet thickness leads to an increase in iron loss due to Edison current. Second, the uneven surface state acts as an obstacle to the eddy current flow, which leads to increased eddy loss.
도 6은 도 4의 상부 표면을 관찰한 미세조직 사진이다. 도 6에서 알 수 있듯이, 고온에서 급속 가열하기 때문에 알루미늄 증착층이 순간적으로 액체 상태가 되고, 그 상태에서 확산열처리에 의해 강판 내부로 알루미늄이 확산되는 과정을 거치게 되는데, 이 때 미처 확산되지 못한 알루미늄이 용융과 냉각을 거치게 되면서 불균일한 표면을 형성하게 된다.
FIG. 6 is a microstructure photograph of the upper surface of FIG. 4 observed. FIG. As can be seen from FIG. 6, since the aluminum deposition layer rapidly becomes a liquid state due to rapid heating at a high temperature, aluminum is diffused into the steel sheet by diffusion heat treatment in this state. At this time, aluminum Which is then melted and cooled to form a non-uniform surface.
이에 따라, 상기 확산열처리 공정 후에는, 전해연마 공정을 거쳐 강판 표면을 경면화 처리하는 것이 바람직하다. 상기 전해연마 공정은 표면의 경면화 처리 뿐만 아니라 강판 표면과 잔류하는 알루미늄 증착층 간에 형성되는 공동 또한 제거하는 효과를 가진다. 상기 전해연마는 과염소산: 10~40질량%와 아세트산: 60~90질량%이하로 이루어지는 용액을 이용하여 행하여지는 것이 바람직하다. 상기 과염소산의 함량이 10질량%미만이거나 상기 아세트산의 함량이 90질량%를 초과할 경우에는 산세시간이 늘어나며 오히여 표면에서 제거되는 산화층의 양보다 다시 산화되는 산화층의 양이 많아지게 된다. 반면, 상기 과염소산의 함량이 40질량%를 초과하거나 상기 아세트산의 함량이 60질량%미만일 경우에는 산세시간이 늘어나며 오히려 표면에서 제거되는 산화층의 양보다 다시 산화되는 산화층의 양이 많아지게 된다. 따라서, 상기 전해연마는 과염소산: 10~40질량%와 아세트산: 60~90질량%로 이루어지는 용액을 이용하는 것이 바람직하다.
Accordingly, after the diffusion heat treatment step, the surface of the steel sheet is preferably mirror-polished through an electrolytic polishing step. The electrolytic polishing process has the effect of not only removing the surface of the steel sheet but also a cavity formed between the steel sheet surface and the remaining aluminum deposition layer. The electrolytic polishing is preferably carried out using a solution comprising 10 to 40 mass% of perchloric acid and 60 to 90 mass% or less of acetic acid. If the content of the perchloric acid is less than 10 mass% or the content of acetic acid is more than 90 mass%, the pickling time increases and the amount of the oxidized layer oxidized again more than the amount of the oxide removed from the surface increases. On the other hand, when the content of the perchloric acid exceeds 40 mass% or the content of the acetic acid is less than 60 mass%, the pickling time is increased and the amount of the oxidized layer oxidized again rather than the amount of the oxidized layer removed from the surface is increased. Therefore, it is preferable to use a solution comprising 10 to 40% by weight of perchloric acid and 60 to 90% by weight of acetic acid as the electrolytic polishing.
상기 전해연마시 전류는 6㎃/㎠이상의 범위를 갖는 것이 바람직하다. 상기 전류가 6㎃/㎠미만일 경우에는 전해연마 되는 양보다 산에 부식되는 양이 더 많아 전해연마가 되지 않거나 연마 시간이 무한대로 길어질 수 있는 단점이 있다. 한편, 상기 전류가 60㎃/㎠를 초과하는 경우에는 과한 전류가 흘러서 소재의 전체 표면에 균일한 반응을 얻기 힘들어 표면의 균일성이 저하될 수 있다.
It is preferable that the electric current at the electrolytic polishing has a range of 6 mA / cm 2 or more. If the current is less than 6 mA / cm 2, the amount of corrosion to the acid is greater than the amount of electrolytic polishing, which causes electrolytic polishing or polishing time to be infinite. On the other hand, when the current exceeds 60 mA / cm 2, an excessive current flows and it is difficult to obtain a uniform reaction on the entire surface of the workpiece, so that the uniformity of the surface may be lowered.
도 7은 본 발명의 일 실시형태에 따른 전해연마공정을 거친 소재의 상부 표면을 관찰한 미세조직 사진이다. 도 7에서 나타난 바와 같이, 전해연마 공정을 거친 소재의 표면은 도 6에 비하여 매우 매끄러운 상태임을 알 수 있으며, 이를 통해 우수한 에너지 효율을 갖는 저철손 전기강판을 제조할 수 있음을 용이하게 유추할 수 있다.
FIG. 7 is a microstructure photograph of an upper surface of a workpiece subjected to an electrolytic polishing process according to an embodiment of the present invention. FIG. As shown in FIG. 7, it can be seen that the surface of the material subjected to the electrolytic polishing process is in a very smooth state as compared with FIG. 6, and it is easy to deduce that a low iron loss electrical steel sheet having excellent energy efficiency can be manufactured have.
전술한 바와 같이, 본 발명이 제안하는 방향성 전기강판의 제조방법에 따르면, 공동 및 이차상의 발생이나 표면열화에 따른 철손 증가 문제를 해결하여, 기존 대비 에너지 효율을 15%이상 향상시킴으로써, 대형 변압기나 모터 등에 바람직하게 적용될 수 있는 저철손 방향성 전기 강판을 제공할 수 있다. 또한, 물리적 증착법을 이용하기 때문에 화학적 증착법에 의해 발생하는 공해 및 설비 부식 문제를 해결할 수 있다.
As described above, according to the method for manufacturing a grain-oriented electrical steel sheet proposed by the present invention, by solving the problem of increase in iron loss due to generation of cavities and secondary phases and surface deterioration, and by improving the energy efficiency by more than 15% It is possible to provide a low iron loss directional electric steel sheet which can be preferably applied to a motor or the like. In addition, because physical vapor deposition is used, pollution and facility erosion caused by chemical vapor deposition can be solved.
이하, 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명한다. 다만, 하기 실시예는 본 발명을 보다 상세히 설명하기 위한 예시일 뿐, 본 발명의 권리범위를 한정하지는 않는다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples. However, the following examples are only for illustrating the present invention in more detail and do not limit the scope of the present invention.
(실시예)(Example)
두께가 0.23mm이며, Si함량이 3%인 방향성 전기강판의 표면을 알코올로 세착하여 불순물을 최대한 제거한 뒤, 상기 강판을 스퍼터링하기 위한 진공로에 삽입하고 1×10-5torr이하의 진공도로 배기한 후, 진공이 이루어진 상태에서 상기 강판을 300℃로 가열하였다. 이후, 1×10-3torr에서 1×10-2torr 사이의 진공도를 갖도록 아르곤 가스를 진공로 내에 도입한 후, 상기 강판에 직류 전압을 인가하여 알루미늄을 플라즈마 진공증착하였다. 이 때 사용된 알루미늄 타겟 순도는 99.999%였으며, 진공증착은 강판의 양면에 균일하게 증착이 이루어지도록, 강판의 한 면을 증착한 후 배기시킨 다음, 상기 과정을 반복하여 다시 강판 반대편 면에 알루미늄을 증착하는 방법을 이용하였다. 또한, 알루미늄 증착층이 전기강판의 총 중량 대비 2중량%가 되도록 한 면당 10㎛씩 총 20㎛의 두께로 증착하였고, 그 뒤, 100℃이하로 냉각시킨 후 진공로에서 탈착하였다. 이후, 1×10-5torr이하의 진공도로 배기된 열처리 진공로에 상기 알루미늄이 증착된 강판을 삽입하여 하기 표 1의 조건으로 열처리하였다. 이후, 강판 표면의 경면화를 위해 전해 연마를 6분간 실시하였다. 상기 전해연마시 용액은 10질량%의 과염소산과 90질량%의 아세트산이 혼합된 용액을 사용하였고, 전압은 3~5V/㎠, 전류는 6㎃/㎠였으며, 양극에 상기 강판을 연결하고, 음극에는 순철을 연결하였다. 이후, 상기 강판을 알코올로 세정한 후 표면에 남아 있는 알코올을 제거한 뒤, 6㎝/6㎝ SST(Single sheet tester) 자성 측정기를 이용하여 상기 강판의 철손을 측정하였으며, 그 결과를 하기 표 1에 나타내었다.
The surface of the grain-oriented electrical steel sheet having a thickness of 0.23 mm and an Si content of 3% is cleaned with alcohol to remove impurities as much as possible. The steel sheet is then inserted into a vacuum furnace for sputtering and is discharged at a vacuum degree of 1 x 10 -5 torr or less Thereafter, the steel sheet was heated to 300 DEG C under a vacuum condition. Thereafter, argon gas was introduced into the vacuum furnace so as to have a degree of vacuum of 1 × 10 -3 torr to 1 × 10 -2 torr, and then a DC voltage was applied to the steel sheet to plasma-vacuum aluminum. In this case, the purity of the aluminum target used was 99.999%. In order to uniformly deposit on both surfaces of the steel sheet, the surface of the steel sheet was evaporated and then exhausted. Deposition method was used. The aluminum deposition layer was deposited to a thickness of 20 탆 in an amount of 10 탆 per surface so that the aluminum deposition layer was 2% by weight of the total weight of the electrical steel sheet. Thereafter, the aluminum deposition layer was cooled to 100 캜 or less and then desorbed in a vacuum furnace. Thereafter, the aluminum-deposited steel sheet was inserted into a heat-treated vacuum furnace evacuated at a vacuum degree of 1 x 10 -5 torr or less and heat-treated under the conditions shown in Table 1 below. Thereafter, electrolytic polishing was carried out for 6 minutes in order to make the surface of the steel sheet mirror-finished. The electrolytic polishing solution used was a mixture of 10% by mass of perchloric acid and 90% by mass of acetic acid, the voltage was 3 to 5 V / cm 2 and the current was 6 mA / cm 2. The steel plate was connected to the anode, Pure iron was connected. Thereafter, the steel sheet was washed with alcohol, and the residual alcohol on the surface was removed. Then, the iron loss of the steel sheet was measured using a 6 cm / 6 cm SST (single sheet tester) magnetometer. The results are shown in Table 1 Respectively.
(㎛)Steel sheet thickness after electrolytic polishing
(탆)
(중량%)Al content in steel sheet
(weight%)
(℃/min)Heating rate
(° C / min)
(℃)Heat treatment temperature
(° C)
(시간)Heat treatment time
(time)
(℃/min)Cooling rate
(° C / min)
열처리 전diffusion
Before heat treatment
열처리 후diffusion
After heat treatment
상기 표 1에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명이 제안하는 제조조건을 만족하는 발명예 1 내지 3의 경우에는 확산열처리 전에 비하여 철손이 매우 감소하였음을 알 수 있고, 특히 Al함량이 증가함에 따라 철손 또한 점점 감소하여, 철손이 약 5~15% 감소하였음을 알 수 있다.
As can be seen from Table 1, in the case of Examples 1 to 3, which satisfy the manufacturing conditions proposed by the present invention, iron loss is greatly reduced compared to that before diffusion heat treatment. Particularly, as the Al content is increased, Also, it can be seen that the iron loss decreased by about 5 ~ 15%.
그러나, 본 발명이 제안하는 조건을 만족하지 않는 비교예 1 내지 3의 경우에는 가열속도 및 냉각속도나 열처리온도를 만족하지 않아, 철손 감소 효과가 거의 없는 것을 알 수 있다. 이는 가열속도나 열처리 온도가 본 발명의 조건을 만족하지 않아 열처리시간이 길어지면서 내부에 산소의 유입으로 인한 히스테리시스손신 및 에디손실이 영향을 미쳤을 것으로 예상된다.However, in the case of Comparative Examples 1 to 3, which do not satisfy the conditions proposed by the present invention, the heating rate, the cooling rate and the heat treatment temperature are not satisfied and it is found that there is almost no iron loss reduction effect. It is expected that the heating rate and the heat treatment temperature do not satisfy the conditions of the present invention, so that the hysteresis loss due to the inflow of oxygen into the inside and the eddy loss have been affected as the heat treatment time becomes longer.
Claims (7)
상기 알루미늄 증착층이 형성된 방향성 전기강판을 110℃/min이상의 속도로 가열한 뒤, 1050~1150℃에서 확산열처리하고, 110℃/min이상의 속도로 냉각하는 단계; 및
상기 냉각된 방향성 전기강판을 전해연마하는 단계를 포함하는 방향성 전기 강판의 제조방법.Depositing aluminum using a plasma in a vacuum atmosphere at 300 to 400 캜 so that an aluminum deposition layer is formed on the grain-oriented electrical steel sheet after completion of secondary recrystallization;
Heating the directional electrical steel sheet having the aluminum deposition layer at a rate of 110 ° C / min or more, diffusion heat treatment at 1050 to 1150 ° C, and cooling at a rate of 110 ° C / min or more; And
And electrolytically polishing the cooled directional electrical steel sheet.
상기 알루미늄의 증착은 상기 방향성 전기강판의 양표면에 이루어지는 방향성 전기 강판의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the aluminum is deposited on both surfaces of the directional electrical steel sheet.
상기 확산열처리는 0.5~6시간동안 행하여지는 방향성 전기 강판의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the diffusion heat treatment is performed for 0.5 to 6 hours.
상기 확산열처리는 1×10-5torr이하의 진공도에서 이루어지거나, 수소분위기에서 이루어지는 방향성 전기 강판의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the diffusion heat treatment is performed at a degree of vacuum of 1 x 10 -5 torr or less, or in a hydrogen atmosphere.
상기 확산열처리 후, 상기 방향성 전기강판은 1~3중량%의 Al함량을 갖는 방향성 전기 강판의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the directional electrical steel sheet has an Al content of 1 to 3% by weight after the diffusion heat treatment.
상기 전해연마는 과염소산: 10~40질량%와 아세트산: 60~90질량%로 이루어지는 용액을 이용하여 행하여지는 방향성 전기 강판의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the electrolytic polishing is carried out using a solution comprising 10 to 40 mass% of perchloric acid and 60 to 90 mass% of acetic acid.
상기 전해연마시 전류는 6~60㎃/㎠인 방향성 전기 강판의 제조방법.The method according to claim 1,
Wherein the electric current during the electrolytic polishing is 6 to 60 mA / cm 2.
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