KR102371572B1 - A method of manufacturing the cube-on-face texture using diffusion and an electrical steel sheet produced thereby - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion and an electrical steel sheet manufactured thereby. To this end, there is provided a heat treatment step in which a metal plate composed of iron (Fe) or an iron-based alloy in contact with silicon (Si) or a silicon compound on a plane perpendicular to a normal direction (ND) is thermally treated in an ideal region where austenite (γ) and ferrite (α) are mixed or in a region where the austenite (γ) phase is stable. According to this, a very high Si fraction can be secured by a simple method, and at the same time, texture having a {100} plane on the surface can be produced with a very high fraction.

Description

확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법 및 이를 통해 제조된 전기강판{A method of manufacturing the cube-on-face texture using diffusion and an electrical steel sheet produced thereby}A method of manufacturing the cube-on-face texture using diffusion and an electrical steel sheet produced thereby}

본 발명은 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법 및 이를 통해 제조된 전기강판에 관한 것이다. The present invention relates to a method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion and an electrical steel sheet manufactured through the same.

전기강판(Electrical steel sheet)은 구조용강이나 공구용, 외판용으로 쓰이는 다른 금속재료와 달리 주로 모터나 변압기 같은 전기기기에 사용되어 효율을 높여 주는 역할을 한다. 특히 고효율 모터나 고효율 변압기를 제조하기 위해서는 자속밀도가 높고 철손이 최소화 된 전기강판의 제조가 필수적이다. Electrical steel sheet is mainly used in electrical equipment such as motors and transformers, unlike other metal materials used for structural steel, tools, and exterior plates, and plays a role in increasing efficiency. In particular, in order to manufacture high-efficiency motors or high-efficiency transformers, it is essential to manufacture electrical steel sheets with high magnetic flux density and minimal iron loss.

이러한 전기강판은 변압기(Transformer) 등의 정지기에 사용되는 방향성(Grain-oriented) 전기강판과 모터(Motor) 등의 회전기에 사용되는 무방향성(Non-oriented) 전기강판으로 나뉜다. The electrical steel sheet is divided into a grain-oriented electrical steel sheet used in stationary machines such as a transformer and a non-oriented electrical steel sheet used in a rotating machine such as a motor.

방향성 전기강판(Grain-oriented)은 고스 텍스쳐(Goss Texture)를 포함하는 전기강판이다. Goss Texture는 압연 방향(Rolling direction)에 대해 평행한 {100}면 및 상기 압연 방향에 평행한 <001> 자성 방향을 갖는 {110}<001> 집합조직({110}<001> texture)이 형성되는 것을 의미한다. 방향성 전기강판 제조공정은 일반적으로 열간압연, 예비소둔(스케일 브레이커 및 염산 탱크를 통해 열연소재 표면에 형성된 녹을 제거하고 열처리를 통해 냉간 압연성을 개선하여 자기적 특성을 향상시키는 공정), 냉간압연(용도에 맞는 두께와 재질 확보를 위해 40%~90%의 통상압하율로 진행되는 공정), 탈탄소둔(소재 내 탄소 제거 및 MgO 코팅 진행되는 공정), 고온소둔, 평탄화소둔, 절연코팅 단계(전기강판을 가공 및 적층하여 철심으로 사용시 가공성 개선 및 강판의 두께에 비례하는 와전류 손실을 최소화하기 위해 강판상하에 절연 코팅액을 도포하는 공정)를 포함할 수 있다. 큐브 온 페이스 텍스쳐(Cube-on-face texture)를 포함하는 전기강판도 특별한 경우에는 방향성 전기강판으로 활용될 수 있다. The grain-oriented electrical steel sheet is an electrical steel sheet including a Goss texture. Goss Texture is a {110}<001> texture ({110}<001> texture) having a {100} plane parallel to the rolling direction and a <001> magnetic direction parallel to the rolling direction. means to be Grain-oriented electrical steel sheet manufacturing process is generally hot rolling, preliminary annealing (a process of improving magnetic properties by removing rust formed on the surface of hot rolled material through a scale breaker and hydrochloric acid tank and improving cold rolling properties through heat treatment), cold rolling ( In order to secure the thickness and material suitable for the application, the process is carried out at a normal reduction ratio of 40% to 90%), decarburization annealing (a process in which carbon is removed from the material and MgO coating is carried out), high temperature annealing, flattening annealing, insulation coating stage (electrical In order to improve workability and minimize eddy current loss proportional to the thickness of the steel sheet when processing and laminating the steel sheet and using it as an iron core), an insulating coating solution is applied to the top and bottom of the steel sheet). An electrical steel sheet including a cube-on-face texture can also be used as a grain-oriented electrical steel sheet in special cases.

무방향성 전기강판(Non-oriented)은 큐브 온 페이스 텍스쳐(Cube-on-face texture) 또는 랜덤 텍스쳐(Random texture)를 포함하는 전기강판이다. 큐브 온 페이스 텍스쳐는 ND에 수직인 면에 대해 평행한 {100}면을 가지면서 회전방향으로는 균일하게 {100}이 분포된 특성을 갖는 것이다. 즉, 큐브 온 페이스 텍스쳐는 결정립의 <100>방향 Normal Direction에 대해서 평행한 자성 방향, RD, TD에 대해서는 자화가 쉬운 {100}면이 균일하게 분포된 집합조직({100}<0vw> texture)이 형성되는 것을 의미한다. 랜덤 텍스쳐는 RD, ND, TD에 대해 모두 랜덤한 방향의 자성 방향을 갖는 집합조직이 형성되는 것을 의미한다. 무방향성 전기강판 제조공정은 일반적으로 열간압연, 예비소둔, 냉간압연, 최종 소둔, 절연 코팅 단계를 포함할 수 있다. Non-oriented electrical steel sheet (Non-oriented) is an electrical steel sheet including a cube-on-face texture (Cube-on-face texture) or a random texture (Random texture). The cube-on-face texture has a {100} plane parallel to a plane perpendicular to the ND and has a uniform distribution of {100} in the rotational direction. That is, the cube-on-face texture is a texture in which the magnetic direction parallel to the normal direction of the grain <100> direction, and the {100} plane, which is easy to magnetize for RD, TD, is uniformly distributed ({100}<0vw> texture) This means that it is formed. The random texture means that a texture having a magnetic direction in a random direction with respect to RD, ND, and TD is formed. In general, the non-oriented electrical steel sheet manufacturing process may include hot rolling, preliminary annealing, cold rolling, final annealing, and insulating coating steps.

하지만, 기존의 방법으로는 전기강판에서 ND(Normal Direction)에 수직인 면이 전기강판의 결정립의 {100}면과 평행하고, RD(Rolling Direction)와 TD(Transverse Direction)으로는 결정립의 방향이 랜덤한 큐브 온 페이스 집합조직을 만드는 것은 매우 어렵고, 대부분 랜덤 텍스쳐(Random texture)가 생성되는 문제가 있었다. 기존의 선행문헌들인 JFE Steel의 대한민국 공개특허 10-2017-0072278, 주식회사 포스코의 대한민국 등록특허 10-1722702 및 성진경 등의 대한민국 등록특허 10-0797895에서도 철손이 낮고 자성이 우수한 무방향성 전기강판을 제조한다는 목적을 갖고 있지만, 선행문헌 상의 제조방법에는 강판에 함유되어 있는 성분의 종류 및 조성 비율에 대한 차별점만이 제시되어 있을 뿐, 큐브 온 페이스 집합조직의 생성비율을 높이는 제조방법에 대해서는 개시되어 있지 않다.However, in the conventional method, the plane perpendicular to the ND (Normal Direction) of the electrical steel sheet is parallel to the {100} plane of the crystal grains of the electrical steel sheet, and the direction of the crystal grains is RD (Rolling Direction) and TD (Transverse Direction). It is very difficult to make a random cube-on-face texture, and there is a problem that most of the random textures are generated. Korean Patent Publication No. 10-2017-0072278 of JFE Steel, Korean Patent No. 10-1722702 of POSCO Co., Ltd., and Korean Patent No. 10-0797895 such as Seong Jin-kyung, which are existing prior documents, also show that non-oriented electrical steel sheet with low iron loss and excellent magnetism is manufactured. Although it has a purpose, in the manufacturing method in the prior literature, only the differences with respect to the type and composition ratio of the components contained in the steel sheet are presented, and the manufacturing method for increasing the generation rate of the cube-on-face texture is not disclosed. .

또한, Tomida(1995)에서는 오스테나이트(γ)가 안정한 수준의 고온 및 10-3Pa 수준의 고진공 분위기에서 Mn을 vaporizing 하여 전기강판 표면에서 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로의 상변태가 발생되면서 {100}이 한쪽에 몰려있는 rotated cube texture가 생성되는 것을 제시하고 있지만, ND에 수직인 면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)의 형성과는 거리가 멀고, 고진공, 고온에서의 장시간 열처리가 필요하여 전기강판 양산 공정에 적용하는 것이 매우 어려운 문제가 있었다. Also, in Tomida (1995), austenite (γ) phase transformation from austenite (γ) to ferrite (α) occurs on the surface of the electrical steel sheet by vaporizing Mn at a stable high temperature and 10 -3 Pa level in a high vacuum atmosphere. Although it is suggested that a rotated cube texture with {100} clustered on one side is generated, it is different from the formation of a cube-on-face texture having a {100} plane parallel to the plane perpendicular to the ND. It was very difficult to apply to the mass production process of electrical steel sheet because the distance was long and long-term heat treatment in high vacuum and high temperature was required.

또한, J.K. Sung(2011)에서는 Continuous Cooling에 의해 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로의 상변태가 발생되면서 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)의 형성을 제시하고 있지만, Pure iron과 Fe-1wt%Si 조성에 한정되는 문제 및 고온에서의 장시간 열처리가 필요하여 전기강판 양산 공정에 적용하는 것이 매우 어려운 문제가 있었다. Also, J.K. Sung (2011) suggests the formation of a {100}<0vw> cube-on-face texture as the phase transformation from austenite (γ) to ferrite (α) occurs by continuous cooling, but There was a problem limited to the composition of pure iron and Fe-1wt%Si and it was very difficult to apply it to the mass production process of electrical steel sheet because heat treatment at high temperature was required for a long time.

또한, Y.K. Ahn(2020)에서는 Continuous Cooling에 의해 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로의 상변태가 발생될 때 전기강판 표면에 Stress를 인가하여 표면에서의 핵생성 barrier가 감소되면서 표면 핵생성을 유도하고, 이에 의한 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)의 형성을 제시하고 있지만, Fe-2wt%Si-1wt%Ni 조성의 결과까지만 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)의 형성을 제시한 바 있으며, 2wt%Si 초과의 결과가 제시된 바 없는 문제가 있었다. Also, Y.K. In Ahn (2020), when the phase transformation from austenite (γ) to ferrite (α) occurs by continuous cooling, stress is applied to the surface of the electrical steel sheet to reduce the nucleation barrier on the surface and induce surface nucleation. Although the formation of a {100}<0vw> cube-on-face texture by The formation of a tissue (cube-on-face texture) was suggested, and there was a problem in that no results of more than 2 wt% Si were presented.

위와 같이, 기존의 선행문헌들에서 무방향성 전기강판은 고정되어 있는 조성에서 열처리를 통해 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로의 상변태를 발생시켜 표면 핵생성을 야기하여 집합조직을 생성하는 방식, 고진공 상태에서 Mn vaporizing을 통해 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로의 상변태를 발생시켜 표면 핵생성을 야기하여 집합조직을 생성하는 방식 또는 열처리를 통해 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로의 상변태를 발생시키는 과정에서 stress 인가를 통해 표면 핵생성을 야기하여 집합조직을 생성하는 방식을 사용하여 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)을 생성하는 것을 제시하고 있지만, 구체적으로 ND에 수직인 면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)의 분율이 향상되면서 동시에 Si 분율이 2wt% 초과되도록 향상되는 효율적인 전기강판 제조방법은 제시하지 못하고 있다. As described above, in the existing prior literature, the non-oriented electrical steel sheet generates a texture by causing surface nucleation by generating a phase transformation from austenite (γ) to ferrite (α) through heat treatment in a fixed composition, high vacuum Phase transformation from austenite (γ) to ferrite (α) occurs through Mn vaporizing in the state of being austenite (γ) to ferrite (α) by generating a textured structure by causing surface nucleation or by heat treatment It is suggested to create a cube-on-face texture by using a method of generating a texture by causing surface nucleation through the application of stress in the An efficient electrical steel sheet manufacturing method in which the fraction of cube-on-face texture having parallel {100} planes is improved while the Si fraction is improved to exceed 2 wt% has not been proposed.

대한민국 공개특허 10-2017-0072278, 무방향성 전기 강판 및 무방향성 전기 강판의 제조 방법, JFE SteelKorean Patent Laid-Open Patent No. 10-2017-0072278, Non-oriented electrical steel sheet and manufacturing method of non-oriented electrical steel sheet, JFE Steel 대한민국 등록특허 10-1722702, 무방향성 전기강판 및 그 제조방법, 주식회사 포스코Republic of Korea Patent Registration 10-1722702, Non-oriented electrical steel sheet and its manufacturing method, POSCO Co., Ltd. 대한민국 등록특허 10-0797895, 표면 (100) 면 형성 방법, 이를 이용한 무방향성 전기강판의 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 무방향성 전기강판, 성진경, 주식회사 큐브스틸, 성지윤, 성현민Republic of Korea Patent 10-0797895, surface (100) surface forming method, manufacturing method of non-oriented electrical steel sheet using the same and non-oriented electrical steel sheet manufactured using the same, Jinkyung Sung, Cube Steel Co., Ltd., Jiyoon Sung, Hyunmin Sung

Toshiro Tomida, Takashi Tanaka, Developmentof (100) Texture in Silicon Steel Sheets by Removal of Manganeseand Decarbunzatron, ISIJ International. Vol. 35 (1995). No. 5, pp. 548-556 Toshiro Tomida, Takashi Tanaka, Developmentof (100) Texture in Silicon Steel Sheets by Removal of Manganeseand Decarbunzatron, ISIJ International. Vol. 35 (1995). No. 5, pp. 548-556 J.K. Sung, D.N. Lee, D. H. Wang and Y. M. Koo, Efficient Generation of Cube-on-Face Crystallographic Texture in Iron and its Alloys, ISIJ Int. 51 (2011) 284-290. J.K. Sung, D.N. Lee, D. H. Wang and Y. M. Koo, Efficient Generation of Cube-on-Face Crystallographic Texture in Iron and its Alloys, ISIJ Int. 51 (2011) 284-290. Yong-Keun Ahn, Soo-Bin Kwon, Yong-Kwon Jeong, Ji-Ung Cho, Tae-Young Kim, Nong-Moon Hwang. Fabrication of cube-on-face textured Fe-1wt%Si and Fe-2wt%Si-1wt%Ni electrical steel using surface nucleation during γ→α phase transformation. Materials Characterization 170 (2020), 110724. Yong-Keun Ahn, Soo-Bin Kwon, Yong-Kwon Jeong, Ji-Ung Cho, Tae-Young Kim, Nong-Moon Hwang. Fabrication of cube-on-face textured Fe-1wt%Si and Fe-2wt%Si-1wt%Ni electrical steel using surface nucleation during γ→α phase transformation. Materials Characterization 170 (2020), 110724.

본 발명의 목적은, 상변태를 통한 표면 핵생성에 대한 새로운 접근에 관한 것으로서, ND에 수직인 면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)의 분율이 향상되면서 동시에 Si 분율이 2wt%Si 초과로 향상되는, 오스테나이트(γ)가 안정한 온도에서의 페라이트(ferrite) 안정화 원소의 확산을 이용한 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법 및 이를 통해 제조된 전기강판을 제공하는 데에 있다. An object of the present invention relates to a novel approach to surface nucleation through phase transformation, wherein the fraction of cube-on-face texture having a {100} plane parallel to a plane perpendicular to ND is {100}<0vw> cube-on-face texture manufacturing method using diffusion of a ferrite stabilizing element at a temperature at which austenite (γ) is stable, and at the same time the Si fraction is improved to more than 2wt%Si It is to provide an electric steel sheet.

이하 본 발명의 목적을 달성하기 위한 구체적 수단에 대하여 설명한다.Hereinafter, specific means for achieving the object of the present invention will be described.

본 발명의 목적은, 철(Fe) 또는 철계 합금으로 구성된 금속판재에 대해 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역 또는 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역에서 상기 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면에 실리콘(Si) 또는 실리콘 화합물을 접촉시켜 열처리하는 열처리 단계; 를 포함하고, 상기 금속판재에 접촉된 상기 실리콘 또는 상기 실리콘 화합물의 실리콘 입자가 상기 면의 적어도 일부로 확산되고, 상기 금속판재에 확산된 상기 실리콘 입자에 의해 상기 면의 상기 적어도 일부가 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로 상변태 되면서, 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)이 형성되는 것을 특징으로 하는, 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법을 제공하여 달성될 수 있다.It is an object of the present invention, for a metal plate composed of iron (Fe) or an iron-based alloy, the ND ( A heat treatment step of heat treatment by contacting silicon (Si) or a silicon compound on a surface perpendicular to the Normal Direction); including, wherein the silicon particles of the silicon or the silicon compound in contact with the metal plate are diffused to at least a part of the surface, and the at least part of the surface is austenite (γ) by the silicon particles diffused into the metal plate. ) to ferrite (α), the cube-on-face texture having a {100} plane parallel to the plane is formed, characterized in that the cube-on-face texture production using diffusion This can be achieved by providing a method.

또한, 상기 금속판재에 접촉된 상기 실리콘 또는 상기 실리콘 화합물은 실리콘 웨이퍼, 실란계 가스 및 염화규소 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the silicon or the silicon compound in contact with the metal plate may be characterized in that it comprises at least one of a silicon wafer, a silane-based gas, and silicon chloride.

또한, 상기 금속판재에 접촉된 상기 특정 원소는 실리콘(Si)를 의미하는 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the specific element in contact with the metal plate may be characterized in that it means silicon (Si).

또한, 상기 금속판재에 접촉된 상기 특정 원소는 실리콘 웨이퍼를 포함하고, 상기 화합물은 실란계 가스 및 염화규소 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the specific element in contact with the metal plate may include a silicon wafer, and the compound may include at least one of a silane-based gas and silicon chloride.

또한, 형성된 상기 큐브 온 페이스 집합조직은, 상기 금속판재의 표면에서 50% 분율 이상인 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the cube-on-face texture formed may be characterized in that the 50% or more fraction on the surface of the metal plate material.

또한, 형성된 상기 큐브 온 페이스 집합조직은, 상기 금속판재의 표면에서 35% 분율 이상인 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the cube-on-face texture formed may be characterized in that the fraction of 35% or more on the surface of the metal plate material.

또한, 형성된 상기 큐브 온 페이스 집합조직은, ±15도 이하의 오차범위 내에서 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the formed cube-on-face texture may be characterized in that it has a {100} plane parallel to the plane within an error range of ±15 degrees or less.

또한, 상기 금속판재에 접촉된 상기 특정 원소는, 페라이트(ferrite) 안정화 원소 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the specific element in contact with the metal plate may be characterized in that it includes at least one of ferrite (ferrite) stabilizing element.

본 발명의 다른 목적은, ND(Normal Direction)에 수직인 면에 실리콘(Si) 또는 실리콘 화합물이 접촉된 철(Fe) 또는 철계 합금으로 구성된 금속판재를 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역 또는 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역에서 열처리하는 열처리 단계; 를 포함하고, 상기 금속판재에 접촉된 상기 실리콘 또는 상기 실리콘 화합물의 실리콘 입자가 상기 면의 적어도 일부로 확산되고, 상기 금속판재에 확산된 상기 실리콘 입자에 의해 상기 면의 상기 적어도 일부가 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로 상변태 되면서, 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)이 형성되는 것을 특징으로 하는, 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법을 제공하여 달성될 수 있다.Another object of the present invention, austenite (γ) and ferrite (α) is a metal plate composed of iron (Fe) or iron-based alloy in contact with silicon (Si) or a silicon compound on a surface perpendicular to ND (Normal Direction) a heat treatment step of heat-treating in a mixed abnormal region or in a region in which the austenite (γ) phase is stable; including, wherein the silicon particles of the silicon or the silicon compound in contact with the metal plate are diffused to at least a part of the surface, and the at least part of the surface is austenite (γ) by the silicon particles diffused into the metal plate. ) to ferrite (α), the cube-on-face texture having a {100} plane parallel to the plane is formed, characterized in that the cube-on-face texture production using diffusion This can be achieved by providing a method.

본 발명의 다른 목적은, ND(Normal Direction)에 수직인 면에 실리콘(Si) 또는 실리콘 화합물이 접촉된 철(Fe) 또는 철계 합금으로 구성된 금속판재를 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역 또는 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역에서 열처리하여, 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)이 형성되도록 제조된, 무방향성 전기강판을 제공하여 달성될 수 있다. Another object of the present invention, austenite (γ) and ferrite (α) is a metal plate composed of iron (Fe) or iron-based alloy in contact with silicon (Si) or a silicon compound on a surface perpendicular to ND (Normal Direction) Non-directional electricity manufactured so that a cube-on-face texture having a {100} plane parallel to the plane is formed by heat treatment in a mixed abnormal region or a region in which the austenite (γ) phase is stable It can be achieved by providing a steel plate.

본 발명의 다른 목적은, 철(Fe) 또는 철계 합금으로 구성된 금속판재에 대해 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역 또는 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역에서 상기 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면에 실리콘(Si) 또는 실리콘 화합물을 접촉시켜 열처리하여, 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)이 형성되도록 제조된, 무방향성 전기강판을 제공하여 달성될 수 있다.Another object of the present invention is the ND of the metal plate in an ideal region in which austenite (γ) and ferrite (α) are mixed or in a region in which the austenite (γ) phase is stable for a metal plate composed of iron (Fe) or an iron-based alloy (Normal Direction) is heat-treated by contacting silicon (Si) or a silicon compound on a surface perpendicular to the surface, so that a cube-on-face texture having a {100} surface parallel to the surface is formed This can be achieved by providing a non-oriented electrical steel sheet.

또한, 상기 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물의 접촉은, 증착 또는 코팅에 의한 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the contact of the specific element or the compound of the specific element may be characterized by vapor deposition or coating.

또한, 상기 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물의 접촉은, 상기 열처리 단계 이전에 이루어지고, 상기 열처리 단계의 상기 열처리는, 배치 소둔에 의한 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the contact of the specific element or the compound of the specific element is made before the heat treatment step, and the heat treatment in the heat treatment step may be characterized by batch annealing.

상기한 바와 같이, 본 발명에 의하면 이하와 같은 효과가 있다.As described above, according to the present invention, there are the following effects.

첫째, 본 발명의 일실시예에 따른 큐브 온 페이스 텍스쳐 및 전기강판 제조방법에 따르면, 간단한 방법으로 매우 높은 Si 분율을 확보할 수 있으면서 동시에 표면에서 {100}면을 갖는 집합조직을 매우 높은 분율로 만들어낼 수 있는 효과가 있다. 특허문헌 0003 등의 선행문헌에서는 pure Fe 또는 Fe-1wt%Si조성에서만 cube-on-face 집합조직을 형성하는 것을 제시하고 있다. 선행문헌의 방식대로는 높은 분율의 큐브 온 페이스 텍스쳐를 포함하는 동시에 Si의 분율이 높은 무방향성 전기강판을 제조하는 것이 어려운 문제가 발생된다. First, according to the cube-on-face texture and electrical steel sheet manufacturing method according to an embodiment of the present invention, a very high Si fraction can be secured by a simple method, and at the same time, the texture having a {100} plane on the surface is reduced to a very high fraction. There are effects that can be created. Prior documents such as Patent Document 0003 suggest that a cube-on-face texture is formed only in pure Fe or Fe-1wt%Si composition. According to the method of the prior literature, it is difficult to manufacture a non-oriented electrical steel sheet having a high fraction of Si while including a cube-on-face texture of a high fraction.

둘째, 본 발명의 일실시예에 따른 큐브 온 페이스 텍스쳐 및 전기강판 제조방법에 따르면, 금속판재의 ND에 수직인 면과 평행한 {100}면을 갖는 집합조직의 자성 방향 다양성을 확보할 수 있는 효과가 있다. Second, according to the cube-on-face texture and the electrical steel sheet manufacturing method according to an embodiment of the present invention, the magnetic direction diversity of the texture having the {100} plane parallel to the ND of the metal plate can be secured. It works.

셋째, 본 발명의 일실시예에 따른 큐브 온 페이스 텍스쳐 및 전기강판 제조방법에 따르면, 분위기 제어에 대한 제약이 상당히 저감된 상태에서 우수한 자기특성의 방향성/무방향성 전기강판 제조가 가능해지기 때문에 방향성/무방향성 전기강판의 대량 생산 라인에 적용하기 용이한 효과가 있다. Third, according to the cube-on-face texture and the method for manufacturing an electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention, it is possible to manufacture a oriented/non-oriented electrical steel sheet with excellent magnetic properties in a state in which restrictions on atmosphere control are significantly reduced. It has the effect of being easy to apply to the mass production line of non-oriented electrical steel sheet.

넷째, 본 발명의 일실시예에 따른 큐브 온 페이스 텍스쳐 및 전기강판 제조방법에 따르면, 비교적 단기간의 열처리만으로도 매우 높은 분율의 cube-on-face texture를 생성할 수 있게 되는 효과가 발생된다.Fourth, according to the method for manufacturing a cube-on-face texture and an electrical steel sheet according to an embodiment of the present invention, there is an effect of being able to generate a cube-on-face texture of a very high fraction only by heat treatment in a relatively short period of time.

다섯째, 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법에 따르면, 증착 공정 또는 코팅 공정의 적용이 가능하고 열처리 시간이 상대적으로 짧게 구성될 수 있으므로, 전기강판의 양산을 위한 연속공정에 적용이 가능해지는 효과가 발생된다.Fifth, according to the method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion according to an embodiment of the present invention, since a deposition process or a coating process can be applied and the heat treatment time can be configured to be relatively short, continuous for mass production of electrical steel sheet There is an effect that can be applied to the process.

여섯째, 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법에 따르면, 배치 소둔의 적용이 가능하여 큐브 온 페이스 텍스쳐를 포함하는 전기강판의 양산 시 연속 소둔 열처리에 비해 좁은 공간에서도 열처리가 가능하며, 그로 인해 설비 투자비 감소 효과가 발생된다.Sixth, according to the method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion according to an embodiment of the present invention, batch annealing can be applied and heat treatment even in a narrow space compared to continuous annealing heat treatment when mass-producing electrical steel sheets including a cube-on-face texture possible, resulting in a reduction in facility investment cost.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법을 도시한 흐름도,
도 2는 온도와 압력에 따른 철(Fe)의 상평형도를 도시한 그래프(Fe phase diagram, Baohua Zhang, AIP Advances 4, 017128 (2014)),
도 3은 본 발명의 일실시예에 따라 금속판재의 적어도 일표면에 실리콘 웨이퍼가 접촉된 상태에서 열처리 단계(S10)를 수행하는 것을 도시한 모식도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따라 금속판재에 실리콘이 증착되는 동시에 상기 열처리 단계(S10)가 수행되는 것을 도시한 모식도,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 실리콘 확산 단계를 도시한 모식도,
도 6은 실시예 1의 시편을 도시한 모식도 및 사진,
도 7은 실시예 1의 열처리를 도시한 그래프,
도 8은 실시예 1의 EBSD 결과,
도 9는 실시예 1의 XRF 분석 결과,
도 10은 실시예 2의 금속판재 시편과 실리콘 웨이퍼의 장입을 도시한 모식도,
도 11은 실시예 2의 열처리 단계를 도시한 그래프,
도 12는 실시예 2의 열처리 이후의 금속판재 시편과 실리콘 웨이퍼를 도시한 사진,
도 13, 14는 실시예 2의 EBSD 결과,
도 15는 실시예 2의 Cross Section (IQ map) 분석 결과,
도 16은 실시예 2의 Cross Section (IPF map) 분석 결과,
도 17은 실시예 2의 Cross Section (Line EDS) 분석 결과,
도 18은 실시예 3의 열처리 단계(S10) 이후의 금속판재 시편의 EBSD 결과,
도 19는 실시예 3의 실리콘 확산 단계(S20) 및 상변태 단계(S30) 이후의 금속판재 시편의 EBSD 결과,
도 20은 실시예 4의 상변태 단계(S30) 이후의 금속판재 시편의 EBSD 결과,
도 21, 22, 23은 비교예 1의 1.00wt%Si의 금속판재 시편의 열처리 단계(S10) 이후 EBSD 결과,
도 24, 25, 26은 비교예 1의 2.00wt%Si의 금속판재 시편의 열처리 단계(S10) 이후 EBSD 결과,
도 27은 비교예 2의 1.00wt%Si의 금속판재 시편에 열처리를 통한 온도의 변화에 의해 γ상에서 α상으로의 상변태를 진행한 이후 EBSD 결과,
도 28은 비교예 3의 α상 영역에 있는 1.00wt%Si의 금속판재 시편에 기상증착(Vapor Deposition) 방법으로 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면 중 적어도 일표면에 실리콘 입자를 접촉시키는 방법으로 실리콘 확산을 진행한 이후의 EBSD 결과를 도시한 것,
도 29는 Fe-1wt%Si의 DSC analysis를 도시한 그래프,
도 30은 온도 별 Si 확산 예의 금속판재 시편의 성분 분석 결과를 도시한 것,
도 31, 32, 33은 온도 별 Si 확산 예의 EBSD 결과를 도시한 것,
도 34는 α상에서의 비교예의 1.00wt%Si의 금속판재 시편의 900℃ 2시간 열처리 이후를 도시한 사진,
도 35는 α상에서의 비교예의 EBSD 결과를 도시한 것,
도 36은 α상에서의 비교예의 Si wt%를 도시한 것,
도 37은 큐브 온 페이스 집합조직 분율 상한 실시예의 EBSD 분석을 도시한 것이다.
도 38은 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착 공정을 이용한 연속공정을 도시한 모식도,
도 39는 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착 공정을 이용하지 않은 연속공정(코팅 공정을 이용한 연속공정)을 도시한 모식도,
도 40은 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착(또는 코팅) 후 확산을 이용한 연속공정을 도시한 모식도,
도 41은 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 배치소둔을 이용한 배치공정을 도시한 모식도이다.
The following drawings attached to this specification illustrate preferred embodiments of the present invention, and serve to further understand the technical spirit of the present invention together with the detailed description of the present invention, so the present invention is limited only to the matters described in such drawings should not be interpreted as
1 is a flow chart showing a cube-on-face texture manufacturing method using diffusion;
2 is a graph showing the phase balance of iron (Fe) according to temperature and pressure (Fe phase diagram, Baohua Zhang, AIP Advances 4, 017128 (2014)),
3 is a schematic diagram illustrating performing a heat treatment step (S10) in a state in which a silicon wafer is in contact with at least one surface of a metal plate according to an embodiment of the present invention;
4 is a schematic diagram showing that the heat treatment step (S10) is performed while silicon is deposited on a metal plate according to an embodiment of the present invention;
5 is a schematic diagram showing a silicon diffusion step according to an embodiment of the present invention;
6 is a schematic diagram and a photograph showing the specimen of Example 1;
7 is a graph showing the heat treatment of Example 1;
8 is an EBSD result of Example 1;
9 is an XRF analysis result of Example 1;
10 is a schematic diagram showing the loading of the metal plate specimen and the silicon wafer of Example 2;
11 is a graph showing the heat treatment step of Example 2;
12 is a photograph showing a metal plate specimen and a silicon wafer after the heat treatment of Example 2;
13 and 14 are EBSD results of Example 2,
15 is a cross section (IQ map) analysis result of Example 2;
16 is a cross section (IPF map) analysis result of Example 2;
17 is a cross section (Line EDS) analysis result of Example 2,
18 is an EBSD result of a metal plate specimen after the heat treatment step (S10) of Example 3;
19 is an EBSD result of a metal plate specimen after the silicon diffusion step (S20) and the phase transformation step (S30) of Example 3;
20 is an EBSD result of a metal plate specimen after the phase transformation step (S30) of Example 4;
21, 22, and 23 are EBSD results after the heat treatment step (S10) of the metal plate specimen of 1.00 wt% Si of Comparative Example 1,
24, 25 and 26 are EBSD results after the heat treatment step (S10) of the metal plate specimen of 2.00 wt% Si of Comparative Example 1,
27 is an EBSD result after the phase transformation from the γ phase to the α phase by a change in temperature through heat treatment on the 1.00 wt% Si metal plate specimen of Comparative Example 2;
28 is a vapor deposition (Vapor Deposition) method on a metal plate specimen of 1.00 wt% Si in the α-phase region of Comparative Example 3, at least one surface of the plane perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate in contact with silicon particles. Showing the EBSD results after silicon diffusion as a method of
29 is a graph showing DSC analysis of Fe-1wt%Si;
30 is a view showing the component analysis results of a metal plate specimen of an example of Si diffusion by temperature;
31, 32, and 33 show the EBSD results of Si diffusion examples by temperature;
34 is a photograph showing after heat treatment at 900° C. for 2 hours of a metal plate specimen of 1.00 wt% Si of Comparative Example in α phase;
35 shows the EBSD results of a comparative example on α;
Figure 36 shows the Si wt% of the comparative example in the α phase,
37 depicts the EBSD analysis of the cube on face upper bound tissue fraction example.
38 is a schematic diagram illustrating a continuous process using a deposition process of a cube-on-face texture manufacturing method using diffusion according to an embodiment of the present invention;
39 is a schematic diagram showing a continuous process (continuous process using a coating process) without using a deposition process of the cube-on-face texture manufacturing method using diffusion according to an embodiment of the present invention;
40 is a schematic diagram illustrating a continuous process using diffusion after deposition (or coating) of a method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion according to an embodiment of the present invention;
41 is a schematic diagram illustrating a batch process using batch annealing in a method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion according to an embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 쉽게 실시할 수 있는 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 동작원리를 상세하게 설명함에 있어서 관련된 공지기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, embodiments in which those skilled in the art can easily practice the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, in the detailed description of the operating principle of the preferred embodiment of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다. 또한, 특정 구성요소를 포함한다는 것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for parts having similar functions and functions. In addition, the inclusion of specific components does not exclude other components unless otherwise stated, but means that other components may be further included.

확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법Cube-on-face texture manufacturing method using diffusion

도 1은 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법을 도시한 흐름도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법은 열처리 단계(S10), 실리콘 확산 단계(S20), 상변태 단계(S30)를 포함할 수 있다. 1 is a flowchart illustrating a method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion. As shown in FIG. 1 , the method for manufacturing a cube-on-face texture according to an embodiment of the present invention may include a heat treatment step S10 , a silicon diffusion step S20 , and a phase transformation step S30 .

열처리 단계(S10)는 철 또는 철계 합금으로 구성된 금속판재를 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역 또는 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역에서 열처리하는 열처리 단계이고, 상기 열처리 이전에 또는 이후에 ND(Normal Direction)에 수직인 면에 실리콘(Si) 입자 또는 실리콘 화합물이 상기 금속판재에 접촉되도록 구성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의 상 금속판재를 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역에서 열처리하는 열처리 단계로 기재하였으나, 본 발명의 범위는 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역으로 열처리하는 열처리 단계를 포함한다. The heat treatment step (S10) is a heat treatment step of heat-treating a metal plate made of iron or an iron-based alloy in an ideal region in which austenite (γ) and ferrite (α) are mixed or in a region in which the austenite (γ) phase is stable, before the heat treatment Alternatively, silicon (Si) particles or a silicon compound on a surface perpendicular to the ND (Normal Direction) may be configured to contact the metal plate. Hereinafter, for convenience of explanation, a heat treatment step of heat-treating a metal sheet in a region in which the austenite (γ) phase is stable has been described, but the scope of the present invention is a heat treatment in an abnormal region in which austenite (γ) and ferrite (α) are mixed. includes steps.

도 2는 온도와 압력에 따른 철(Fe)의 상평형도를 도시한 그래프(Fe phase diagram, Baohua Zhang, AIP Advances 4, 017128 (2014))이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 철(Fe) 또는 철계 합금은 온도, 압력 및 조성에 따라 오스테나이트(γ) 및 페라이트(α)의 원자배열 구조를 포함한 다양한 고체 상태를 나타낼 수 있다. 철 또는 철계 합금으로 구성된 금속판재에 대하여 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역은 철 또는 철계 합금의 원자배열 구조가 면심 입방격자(FCC)를 이루는 상태를 의미한다. 또한, 철 또는 철계 합금으로 구성된 금속판재에 대하여 페라이트(α) 상이 안정한 영역은 철 또는 철계 합금의 원자배열 구조가 체심입방 격자(BCC)를 이루는 상태를 의미한다. 철 또는 철계 합금으로 구성된 금속판재에 대하여 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역은 상변태의 경계 구간을 의미한다.2 is a graph showing the phase equilibrium of iron (Fe) according to temperature and pressure (Fe phase diagram, Baohua Zhang, AIP Advances 4, 017128 (2014)). As shown in FIG. 2 , iron (Fe) or an iron-based alloy may exhibit various solid states, including atomic arrangement structures of austenite (γ) and ferrite (α), depending on temperature, pressure, and composition. The region in which the austenite (γ) phase is stable with respect to a metal sheet composed of iron or an iron-based alloy means a state in which the atomic arrangement structure of iron or iron-based alloy forms a face-centered cubic lattice (FCC). In addition, the region in which the ferrite (α) phase is stable with respect to a metal plate made of iron or iron-based alloy means a state in which the atomic arrangement structure of iron or iron-based alloy forms a body-centered cubic lattice (BCC). For a metal sheet composed of iron or an iron-based alloy, the ideal region in which austenite (γ) and ferrite (α) are mixed means a boundary section of phase transformation.

열처리 단계(S10)의 온도 조건 및 압력 조건은 해당 금속판재의 조성(금속판재에 포함된 성분 원소들의 종류 및 함량)에 대하여 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역 또는 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역의 온도 조건 및 압력 조건을 의미하고, 금속판재에 포함된 성분 원소들의 종류 및 함량에 따라 가변적이다.The temperature and pressure conditions of the heat treatment step (S10) are an ideal region or austenite in which austenite (γ) and ferrite (α) are mixed with respect to the composition (type and content of component elements included in the metal plate) of the metal plate. (γ) means a temperature condition and pressure condition in a region where the phase is stable, and is variable depending on the type and content of component elements included in the metal plate.

본 발명의 일실시예에 따라 금속판재가 실리콘 또는 실리콘 화합물과 접촉된 상태로 구성하는 방법은, 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면 중 적어도 일표면에 실리콘 웨이퍼(Si Wafer) 또는 고체 상태의 실리콘 화합물이 접촉된 상태에서 상기 열처리 단계(S10)가 수행되도록 구성될 수 있다. 도 3은 본 발명의 일실시예에 따라 금속판재의 적어도 일표면에 실리콘 웨이퍼가 접촉된 상태에서 열처리 단계(S10)를 수행하는 것을 도시한 모식도이다. 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따르면, (a) 히터에 의한 열처리 이전에 챔버 외부에서 금속판재에 실리콘이 접촉된 상태에서 실리콘이 접촉된 금속판재가 챔버에 장입되어 열처리 단계(S10)가 수행되도록 구성되거나, (b) 실리콘이 접촉된 금속판재를 챔버 내부에 둔 상태에서 열처리 단계(S10)가 수행되도록 구성될 수 있다. 챔버의 분위기는 H2 가스 등의 같은 환원 분위기로 구성될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the method of configuring the metal plate in a state in which it is in contact with silicon or a silicon compound is a silicon wafer (Si Wafer) or solid state on at least one surface of the planes perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate. It may be configured such that the heat treatment step (S10) is performed in a state in which the silicon compound is in contact. FIG. 3 is a schematic diagram illustrating performing a heat treatment step (S10) in a state in which a silicon wafer is in contact with at least one surface of a metal plate according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, according to an embodiment of the present invention, (a) before heat treatment by a heater, a metal sheet in contact with silicon is charged into the chamber in a state in which silicon is in contact with the metal sheet outside the chamber, and the heat treatment step ( S10) may be performed, or (b) the heat treatment step S10 may be performed in a state in which the silicon-contacted metal plate is placed inside the chamber. The atmosphere of the chamber may be composed of a reducing atmosphere such as H 2 gas.

또는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 금속판재가 실리콘 또는 실리콘 화합물과 접촉되도록 구성하는 방법은 기상증착(Vapor Deposition) 방법으로 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면 중 적어도 일표면에 실리콘 입자가 접촉된 상태에서 상기 열처리 단계(S10)가 수행되도록 구성되거나, 상기 열처리 단계(S10) 이후에 기상증착(Vapor Deposition) 방법으로 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면 중 적어도 일표면에 실리콘 입자가 접촉되도록 구성될 수 있다. 예를 들어 화학기상증착(CVD, Chemical Vapor Deposition)이 이용되는 경우에는 실란계 가스(SinH2n+2), 염화규소 등의 기체 상태의 실리콘 화합물이 활용될 수 있다. 도 4는 본 발명의 일실시예에 따라 금속판재에 실리콘이 증착되는 동시에 상기 열처리 단계(S10)가 수행되는 것을 도시한 모식도이다. 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 금속판재가 챔버에 장입되고 히터에 의해 열처리가 진행되는 동시에 챔버 내부의 기상증착으로 금속판재에 실리콘이 증착되어 열처리 단계(S10)가 수행되도록 구성될 수 있고, 챔버의 분위기는 H2 가스 등의 같은 환원 분위기로 구성될 수 있다. 즉, 본 발명의 범위는 금속판재가 실리콘 또는 실리콘 화합물과 챔버 외부 및 챔버 내부에서 접촉되도록 구성되는 것을 모두 포함한다.Alternatively, the method for configuring the metal plate according to another embodiment of the present invention to be in contact with silicon or a silicon compound is a vapor deposition method using silicon particles on at least one surface of the planes perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate. is configured so that the heat treatment step (S10) is performed in a contact state, or at least one of the surfaces perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate by a vapor deposition method after the heat treatment step (S10) On at least one surface The silicon particles may be configured to be in contact. For example, when chemical vapor deposition (CVD) is used, a gaseous silicon compound such as a silane-based gas (Si n H 2n+2 ) or silicon chloride may be used. 4 is a schematic diagram illustrating that silicon is deposited on a metal plate and the heat treatment step (S10) is performed at the same time according to an embodiment of the present invention. As shown in Figure 4, according to another embodiment of the present invention, the metal plate is charged into the chamber and heat treatment is performed by the heater, while silicon is deposited on the metal plate by vapor deposition inside the chamber, so that the heat treatment step (S10) is performed. It may be configured to be so, and the atmosphere of the chamber may be composed of a reducing atmosphere such as H 2 gas. That is, the scope of the present invention includes both the metal plate material configured to be in contact with silicon or a silicon compound outside and inside the chamber.

위에 따라, 화학기상증착을 이용하게 되면 금속판재의 표면을 실리콘으로 균일하게 피복할 수 있고, 실리콘 확산층의 형성에 대해 선택할 수 있으며, 고-진공이 불필요하고, 표면 세척 및 후처리가 용이한 효과가 발생된다. 특히, 실란계 가스를 이용하는 경우에는 다른 기체상의 실리콘 화합물에 의한 기상증착 장치의 부식 등의 문제, 할로겐 화합물에 의한 금속판재의 휘발, 탄소용착과 실리콘 이산화물의 형성 등과 같이 실리콘 확산층의 형성을 방해하는 문제점들이 저감되는 효과가 발생된다.According to the above, when chemical vapor deposition is used, the surface of the metal plate can be uniformly coated with silicon, the formation of a silicon diffusion layer can be selected, high-vacuum is not required, and surface cleaning and post-treatment are easy. is generated In particular, when using a silane-based gas, there are problems such as corrosion of the vapor deposition device by other gaseous silicon compounds, volatilization of metal plates by halogen compounds, carbon deposition and formation of silicon dioxide, etc. An effect is produced in which problems are reduced.

이외에도, 본 발명의 다른 실시예에 따른 금속판재가 실리콘 또는 실리콘 화합물과 접촉되도록 구성하는 방법으로서 본 발명의 범위는 챔버 내에서 고형물(solids)과 gas 사이의 반응에 의해 휘발성 실리콘 화합물을 발생시킴으로써 금속판재에 실리콘 또는 실리콘 화합물을 접촉시키는 Pack cementation 방법, 금속판재에 실리콘이 확산되지 않는 온도에서 실리콘을 두껍게 증착하여 막을 형성시킨 다음 급속 승온 열처리를 통해 상변태를 유도하여 cube-on-face 집합조직을 형성하는 실리콘막 방법, 실리콘 파우더, 실리콘 화합물 파우더 또는 파우더의 슬러리를 금속판재에 도포하여 금속판재에 실리콘 또는 실리콘 화합물을 접촉시키는 파우더 도포 방법, 실리콘을 포함한 sol 전구체를 이용하여 금속판재의 표면에 실리콘 함유 gel을 형성하는 졸-겔 방법, 금속판재 표면에 실리콘 또는 실리콘 화합물을 용융 분무하는 열 분사법, 실리콘 이온 주입법, 실리콘 또는 실리콘 화합물의 물리적 기상증착법 등으로 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면에 실리콘 또는 실리콘 화합물을 접촉시키는 방법을 포함할 수 있다. In addition, the scope of the present invention as a method for configuring the metal sheet according to another embodiment of the present invention to be in contact with silicon or a silicon compound is by generating a volatile silicon compound by a reaction between solids and gas in a chamber. Pack cementation method in which silicon or a silicon compound is brought into contact with the metal plate, by depositing silicon thickly at a temperature at which silicon does not diffuse on the metal plate to form a film, and then inducing phase transformation through rapid heat treatment to form a cube-on-face texture. Silicon film method, silicon powder, silicon compound powder, or powder coating method in which silicon or silicon compound is in contact with a metal plate by applying a slurry of silicon powder or powder to a metal plate, a silicon-containing gel on the surface of a metal plate by using a sol precursor containing silicon The surface perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate by the sol-gel method to form It may include a method of contacting a silicone or a silicone compound to the.

실리콘 확산 단계(S20)는 금속판재가 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역 또는 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역에서 열처리 된 조건 하에서 금속판재와 접촉된 실리콘(Si) 또는 실리콘 화합물의 실리콘(Si)이 오스테나이트(γ) 상의 금속판재의 표면의 적어도 일부에 확산되는 단계이다. Silicon diffusion step (S20) is a silicon (Si) or silicon compound in contact with the metal plate under the condition that the metal plate is heat treated in an ideal region in which austenite (γ) and ferrite (α) are mixed or in a region in which the austenite (γ) phase is stable. This is a step in which silicon (Si) of the austenite (γ) phase is diffused on at least a portion of the surface of the metal plate.

본 발명의 일실시예에 따른 실리콘 확산은, 금속판재의 적어도 일표면에 실리콘 웨이퍼(Si Wafer) 또는 고체 상태의 실리콘 화합물이 접촉된 상태에서 상기 열처리 단계(S10) 및 상기 실리콘 확산 단계(S20)가 수행되어 상기 실리콘 웨이퍼 또는 실리콘 화합물의 실리콘이 금속판재의 표면에 확산되도록 구성될 수 있다. 또는, 본 발명의 다른 실시예에 따라 실리콘이 기상증착(Vapor Deposition) 방법으로 금속판재와 접촉된 경우의 실리콘 확산은, S10 단계 이전에, S10 단계 이후에 또는 S10 단계와 동시에 금속판재의 표면에 실리콘이 형성되고, 형성된 실리콘이 금속판재의 표면에 확산되도록 구성될 수 있다. In the silicon diffusion according to an embodiment of the present invention, the heat treatment step (S10) and the silicon diffusion step (S20) in a state in which a silicon wafer or a silicon compound in a solid state is in contact with at least one surface of a metal plate is performed so that the silicon of the silicon wafer or silicon compound is diffused on the surface of the metal plate. Alternatively, according to another embodiment of the present invention, silicon diffusion when silicon is in contact with a metal plate by a vapor deposition method is performed before step S10, after step S10, or simultaneously with step S10 on the surface of the metal plate. Silicon is formed, and the formed silicon may be configured to diffuse on the surface of the metal plate.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 실리콘 확산 단계를 도시한 모식도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 실리콘 확산 단계(S20)는 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면 중 적어도 일부에 접촉된 실리콘 또는 실리콘 화합물(실리콘 웨이퍼, 실리콘 입자, 실리콘 막 등의 형태)에서 실리콘 입자가 γ-Fe 금속판재의 방향으로 확산되어 실리콘 확산층을 형성하도록 구성될 수 있다. 5 is a schematic diagram illustrating a silicon diffusion step according to an embodiment of the present invention. As shown in Figure 5, the silicon diffusion step (S20) according to an embodiment of the present invention is a silicon or silicon compound (silicon wafer, silicon in contact with at least some of the surfaces perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate material. In the form of particles, silicon film, etc.), the silicon particles are diffused in the direction of the γ-Fe metal plate to form a silicon diffusion layer.

본 발명의 일실시예에 따른 금속판재에 대한 실리콘 확산의 기전으로는, 상호확산(Interdiffusion), 공공 확산(Vacancy Diffusion), 침입형 확산(Interstitial Diffusion) 등이 포함될 수 있고, 실리콘 확산의 원점을 기반으로 분류하면 격자면 확산(Lattice Diffusion) 또는 결정립면 확산(Grain Boundary Diffusion) 등이 포함될 수 있다. 선행문헌 Yunker, M.L., Van Orman,J.A.(2007) Interdiffusion of solid iron and nickel at high pressure. Earth and Planetary Science Letters, 254, 203-213에 따르면, γ-Fe 를 포함한 결정립 크기가 100μm 이상인 fcc metal에 대한 확산의 형태는 비교적 높은 압력에서는 격자면 확산(Lattice Diffusion)이 우세하였음을 제시한 바 있다. The mechanism of silicon diffusion for a metal plate according to an embodiment of the present invention may include interdiffusion, vacancy diffusion, interstitial diffusion, and the like, and determine the origin of silicon diffusion. When classified as a basis, lattice diffusion or grain boundary diffusion may be included. Prior literature Yunker, M.L., Van Orman, J.A. (2007) Interdiffusion of solid iron and nickel at high pressure. According to Earth and Planetary Science Letters, 254, 203-213, the diffusion pattern for fcc metal containing γ-Fe with a grain size of 100 μm or more showed that lattice diffusion was dominant at relatively high pressure. there is.

아래 수학식은 Non-Steady-State diffusion에 기인한 실리콘 확산의 농도에 대하여 Fick의 확산 제2법칙을 기초로 계산된 계산식이다.The following equation is a calculation formula based on Fick's second law of diffusion for the concentration of silicon diffusion due to non-steady-state diffusion.

Figure 112021072787154-pat00001
Figure 112021072787154-pat00001

위 수학식에서, C(x,t)는 금속판재 표면에서의 실리콘 확산 깊이 x 및 시간 t에 대한 확산된 실리콘 농도를 의미한다. C0은 금속판재에 기포함된 Si 농도, Cs는 Si Source인 실리콘 또는 실리콘 화합물의 Si 농도를 의미한다. erf는 오차 함수, erfc는 상보 오차 함수(여오차함수, 餘誤差函數), D는 확산계수를 의미한다. 이하 수학식은 확산계수 D에 대한 계산식이다. In the above equation, C(x,t) means the silicon diffusion depth x and the silicon diffusion concentration for time t on the surface of the metal plate. C 0 is the concentration of Si contained in the metal plate material, C s is the Si source means the Si concentration of silicon or a silicon compound. erf is the error function, erfc is the complementary error function (referential error function, 餘誤差函數), and D is the diffusion coefficient. The following equation is a calculation equation for the diffusion coefficient D.

Figure 112021072787154-pat00002
Figure 112021072787154-pat00002

위 수학식에서, D는 확산계수, D0은 상수, R은 기체상수, T는 절대온도, H*(P)는 활성화 엔탈피를 의미한다. H*(P)=E*+PV*이므로, 활성화 엔탈피는 압력에 선형적으로 비례하고, 수학식 2에 따르면 실리콘 확산의 확산계수는 압력에 반비례 및 온도에 비례함을 확인할 수 있다. 본 발명의 일실시예에 따른 실리콘 확산 단계(S20)에서는 수학식 1 및 수학식 2를 기초로 챔버의 온도 조건, 압력 조건을 조절하여 실리콘 확산층의 깊이 및 금속판재에 확산되는 실리콘 농도를 조절할 수 있다. In the above equation, D is a diffusion coefficient, D 0 is a constant, R is a gas constant, T is an absolute temperature, and H * (P) is an activation enthalpy. Since H * (P) = E * +PV * , the activation enthalpy is linearly proportional to the pressure, and according to Equation 2, it can be confirmed that the diffusion coefficient of silicon diffusion is inversely proportional to the pressure and proportional to the temperature. In the silicon diffusion step (S20) according to an embodiment of the present invention, the depth of the silicon diffusion layer and the silicon concentration diffused in the metal plate can be adjusted by adjusting the temperature and pressure conditions of the chamber based on Equations 1 and 2 there is.

상변태 단계(S30)는 금속판재의 표면에 확산된 실리콘에 의해 금속판재의 표면의 적어도 일부가 상변태하여 오스테나이트(γ) 상에서 페라이트(α) 상으로 변화하는 단계이고, S30에 의해 금속판재의 표면에 평행한 {100}면을 갖는 α-Fe 핵이 형성되게 되고, 금속판재의 표면에 평행한 {100}면을 갖는 α-Fe 핵에 의해 금속판재의 표면에 결정립의 <100>면방향이 금속판재의 ND에 평행하면서 RD 및 TD에 대해서는 무방향성을 갖는 집합조직인 Cube-on-texture({100}<0vw> texture)가 생성되게 된다. 표면에서 α상의 핵 생성 장벽(Nucleation barrier)이 가장 낮은 곳은 Triple Junction이 되고, 표면을 제외한 나머지 부분(Bulk)에서 핵 생성 장벽이 가장 낮은 곳은 Quadruple Junction이 된다. 이에 따라 본 발명의 일실시예에 따르면 금속판재의 표면에 평행한 {100}면을 갖는 α-Fe의 핵 생성이 금속판재의 표면에서 주로 발생되게 되고, 이는 금속판재의 표면에서 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)을 형성하게 된다. The phase transformation step (S30) is a step in which at least a portion of the surface of the metal plate is phase transformed by silicon diffused on the surface of the metal plate to change from austenite (γ) to ferrite (α) phase, and the surface of the metal plate by S30 α-Fe nuclei having a {100} plane parallel to the Cube-on-texture ({100}<0vw> texture), which is parallel to the ND of the metal plate and has no orientation with respect to RD and TD, is generated. The place where the nucleation barrier of the α phase is lowest on the surface becomes a triple junction, and the place where the nucleation barrier is the lowest in the bulk except for the surface becomes a quadruple junction. Accordingly, according to an embodiment of the present invention, nucleation of α-Fe having a {100} plane parallel to the surface of the metal plate is mainly generated on the surface of the metal plate, which is a cube-on-face set on the surface of the metal plate. It forms a cube-on-face texture.

본 발명의 일실시예에 따른 상변태와 관련하여, γ상 또는 γ상과 α상이 혼재하는 이상영역에서의 Si 확산을 통해 γ상에서 α상으로 상변태 단계(S30)를 수행할 수 있으며, 이는 Si 확산(diffusion)을 통한 조성의 변화로 야기된 상변태로서, 실리콘이 확산된 영역에서 높은 실리콘 분율이 나타나게 되는 것으로 Si 확산을 확인할 수 있다. With respect to the phase transformation according to an embodiment of the present invention, the phase transformation step (S30) may be performed from the γ phase to the α phase through Si diffusion in the γ phase or an ideal region in which the γ phase and the α phase are mixed, which is the Si diffusion As a phase transformation caused by a change in composition through (diffusion), a high silicon fraction appears in the region where silicon is diffused, confirming Si diffusion.

위와 같은 본 발명의 일실시예에 따른 상변태 단계(S30)에 따르면, 금속판재의 표면의 Fe 결정립이 γ상에서 α상으로 상변태 진행되는 과정에서 α-Fe 결정립의 {100}면이 금속판재 면에 평행하게 배열되고, ND에 수직한 RD와 TD에 <100>이 균일하게 분포(금속판재에서 회전하는 회전방향으로 자화 용이가 쉬운 <100>이 균일하게 분포하여 이방성이 없는 상태)되는 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 특정 수준 이상 생성되는 효과가 발생되게 된다.According to the phase transformation step (S30) according to an embodiment of the present invention as described above, in the process of the phase transformation of Fe crystal grains on the surface of the metal plate from γ to α phase, the {100} plane of α-Fe crystal grains is on the metal plate surface. Cube-on-face arranged in parallel and having <100> evenly distributed in RD and TD perpendicular to ND (a state where <100>, which is easy to magnetize in the rotational direction of the metal plate, is uniformly distributed and there is no anisotropy) The effect that the cube-on-face texture is generated above a certain level is generated.

바람직하게는, 본 발명의 일실시예에 따라 금속판재의 표면에 생성되는 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직의 분율은 50% 이상, 각도 오차 ±15 degree 이내로 생성될 수 있다. Preferably, the fraction of {100}<0vw> cube-on-face texture generated on the surface of the metal plate according to an embodiment of the present invention may be 50% or more, and the angular error may be generated within ±15 degrees.

보다 바람직하게는, 본 발명의 일실시예에 따라 금속판재의 표면에 생성되는 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직의 분율은 35% 이상, 각도 오차 ±15 degree 이내로 생성될 수 있다. More preferably, the fraction of {100}<0vw> cube-on-face texture generated on the surface of the metal plate according to an embodiment of the present invention may be 35% or more, and an angular error of ±15 degrees may be generated.

또한, 바람직하게는, 본 발명의 일실시예에 따라 표면에 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직이 생성된 금속판재의 표면 실리콘(Si) 분율은 2wt% 이상으로 생성될 수 있다. Also, preferably, according to an embodiment of the present invention, the surface silicon (Si) fraction of the metal sheet having the {100}<0vw> cube-on-face texture formed on the surface may be 2 wt% or more.

보다 바람직하게는, 본 발명의 일실시예에 따라 표면에 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직이 생성된 금속판재의 표면 실리콘(Si) 분율은 3wt% 이상으로 생성될 수 있다. More preferably, the surface silicon (Si) fraction of the metal sheet having the {100}<0vw> cube-on-face texture formed on the surface according to an embodiment of the present invention may be 3 wt% or more.

위에 기재된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따르면 철 또는 철계 합금으로 구성된 금속판재의 표면에 큐브 온 페이스(cube-on-face) 집합조직을 생성하는 동시에 높은 실리콘(Si) 분율을 확보할 수 있게 되는 효과가 발생된다. 실리콘 분율이 향상되면 전기강판의 철손이 저감되고 자속밀도가 향상되는 효과가 발생되므로 실리콘 분율이 향상될수록 좋은 전기강판이라고 볼 수 있으나, 실제 전기강판 공정에서는 공정의 특성상 Si 분율이 3 wt% 내외인 전기강판을 주로 생산하고 있다. 특허문헌 0003 등의 선행문헌에 따르면, Si의 분율이 높은 전기강판(특히, 무방향성)을 제조하는 것이 어려운 문제가 발생된다. As described above, according to an embodiment of the present invention, it is possible to secure a high silicon (Si) fraction while creating a cube-on-face texture on the surface of a metal plate made of iron or an iron-based alloy. The effect that there is will occur. When the silicon fraction is improved, the iron loss of the electrical steel sheet is reduced and the magnetic flux density is improved, so it can be seen that the higher the silicon fraction is, the better the electrical steel sheet. It mainly produces electrical steel sheets. According to prior documents such as Patent Document 0003, it is difficult to manufacture an electrical steel sheet (especially non-oriented) having a high Si fraction.

또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 확산에 의해 γ→α 상변태가 야기되므로, 분위기 제어에 대한 제약이 상당히 저감된 상태에서 우수한 자기특성의 전기강판 제조(특히, 무방향성 전기강판)가 가능해지는 효과가 발생된다. 특히 이는 양산 비용 절감 효과로 이어질 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, since γ→α phase transformation is caused by diffusion, it is possible to manufacture electrical steel sheets with excellent magnetic properties (especially non-oriented electrical steel sheets) in a state in which restrictions on atmosphere control are significantly reduced. A disengagement effect occurs. In particular, this can lead to cost savings in mass production.

또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, n단계 열처리 또는 정교한 n차 로냉이 요구되지 않아, 공정의 단순화 및 비용절감 효과가 발생된다.In addition, according to an embodiment of the present invention, n-step heat treatment or elaborate n-th furnace cooling is not required, thereby simplifying the process and reducing costs.

[실시예 1][Example 1]

실시예 1에서는 중량%로 Fe-1%Si 금속판재 시편을 준비하였다. 실시예 1은 H2 환경(99.9999%, 1000sccm, 6N)에서 이루어졌다. 도 6은 실시예 1의 시편을 도시한 모식도 및 사진이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 실시예1에서는 금속판재 시편의 면에 실리콘 웨이퍼를 접촉시킨 상태에서 열처리 단계(S10)부터 수행 하였다. In Example 1, Fe-1%Si metal plate specimens were prepared in wt%. Example 1 was made in a H 2 environment (99.9999%, 1000 sccm, 6N). 6 is a schematic diagram and a photograph showing the specimen of Example 1. As shown in FIG. 6 , in Example 1, the heat treatment step (S10) was performed in a state in which the silicon wafer was in contact with the surface of the metal plate specimen.

도 7은 실시예 1의 열처리를 도시한 그래프이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 실시예 1에서는 950℃까지 10℃/min으로 승온하여 5분 유지 후 1100℃까지 승온하였고, 열처리로 1100℃에서 5분 동안 열처리하였다. 이후 950℃까지 1차 냉각(-1.2℃/min로 냉각)하였다. 950℃에서 더 빠른 냉각 속도로 2차 로냉하였다. 실시예 1은 1100℃ 열처리 단계에서 γ상이 되었고(S10), 실리콘 확산(S20)을 통한 조성의 변화에 의해 α상으로 상변태 단계(S30)가 진행되었다. 7 is a graph showing the heat treatment of Example 1. 7, in Example 1, the temperature was raised to 950 °C at 10 °C/min and maintained for 5 minutes, then the temperature was raised to 1100 °C, and heat treatment was performed at 1100 °C for 5 minutes by heat treatment. Thereafter, the first cooling was performed to 950° C. (cooled at -1.2° C./min). The secondary furnace was cooled at 950°C at a faster cooling rate. Example 1 became the γ phase in the 1100° C. heat treatment step (S10), and the phase transformation step (S30) was performed to the α phase by the change of the composition through silicon diffusion (S20).

도 8은 실시예 1의 EBSD 결과를 도시한 것이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 금속판재 시편의 표면에 상당히 높은 분율(81.9%)의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 형성된 것을 확인할 수 있고, Grain size는 446μm임을 확인할 수 있다.8 shows the EBSD results of Example 1. FIG. As shown in Figure 8, it can be confirmed that a fairly high fraction (81.9%) of {100}<0vw> Cube-on-face texture is formed on the surface of the metal plate specimen, and the grain size It can be confirmed that is 446 μm.

도 9는 실시예 1의 XRF 분석 결과를 도시한 것이다. 도 9에 도시된 바와 같이, XRF 분석 결과에 따르면, 금속판재 시편의 표면에 상당히 높은 분율(81.9%)의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 형성된 동시에, 1 wt% 이었던 Si 가 10.25 wt%까지 상승한 것을 확인할 수 있다. 즉, 본 발명의 일실시예에 따를 때 발생되는 효과인 매우 높은 Si 분율을 확보할 수 있으면서 동시에 표면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)을 매우 높은 분율로 만들어낼 수 있는 효과 및 비교적 단기간의 열처리만으로도 매우 높은 분율의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)을 생성할 수 있게 되는 효과를 실시예 1로 확인할 수 있다.9 shows the XRF analysis result of Example 1. As shown in FIG. 9 , according to the XRF analysis result, a {100}<0vw> cube-on-face texture of a fairly high fraction (81.9%) was formed on the surface of the metal plate specimen at the same time , it can be seen that the Si content of 1 wt% increased to 10.25 wt%. That is, it is possible to secure a very high Si fraction, which is an effect that occurs when an embodiment of the present invention is applied, and at the same time, a cube-on-face texture having a {100} plane parallel to the surface is very The effect that can be created with a high fraction and the effect of generating a very high fraction of {100}<0vw> cube-on-face texture with only a relatively short heat treatment will be confirmed in Example 1 can

[실시예 2][Example 2]

실시예 2에서는 중량%로, C: <0.003%, Si: 0.96%, Mn: 0.045%, P: 0.005%, S: <0.003%, Al: <0.003%, Ti: 0.0005%, N: 0.0012%, Ni: 0% 및 나머지 Fe 및 기타 불가피한 불순물로 조성되는 금속판재 시편(두께 350㎛)을 준비하였다. 실시예 2는 1000 sccm의 유량의 H2 환경(6N)에서 이루어졌다. 도 10은 실시예 2의 금속판재 시편과 실리콘 웨이퍼의 장입을 도시한 모식도이다. 도 10에 도시된 바와 같이, 실시예 2에서는 금속판재 시편의 상면에 실리콘 웨이퍼(두께 650㎛)를 접촉시켜 S10, S20 및 S30을 진행하였다. In Example 2, in wt%, C: <0.003%, Si: 0.96%, Mn: 0.045%, P: 0.005%, S: <0.003%, Al: <0.003%, Ti: 0.0005%, N: 0.0012% , Ni: A metal plate specimen (thickness of 350 μm) composed of 0% and the remaining Fe and other unavoidable impurities was prepared. Example 2 was made in an H 2 environment (6N) at a flow rate of 1000 sccm. 10 is a schematic view showing the loading of the metal plate specimen and the silicon wafer of Example 2. As shown in FIG. 10 , in Example 2, S10, S20 and S30 were performed by contacting a silicon wafer (thickness of 650 μm) on the upper surface of the metal plate specimen.

도 11은 실시예 2의 열처리 단계를 도시한 그래프이다. 도 11에 도시된 바와 같이, 실시예 2에서는 열처리로 1100℃에서 각각 2분, 4분, 7.5분, 15분, 30분, 60분 동안 열처리하였고, 열처리 후 장출하였다. 실시예 1은 열처리 단계에서 γ상이 되었고(S10), 실리콘 확산(S20)을 통한 조성의 변화에 의해 α상으로 상변태 단계(S30)가 진행되었다. 11 is a graph showing the heat treatment step of Example 2. 11 , in Example 2, heat treatment was performed at 1100° C. for 2 minutes, 4 minutes, 7.5 minutes, 15 minutes, 30 minutes, and 60 minutes, respectively, and the heat treatment was performed after heat treatment. Example 1 became the γ phase in the heat treatment step (S10), and the phase transformation step (S30) was performed to the α phase by the change of the composition through silicon diffusion (S20).

도 12는 실시예 2의 열처리 이후의 금속판재 시편과 실리콘 웨이퍼를 도시한 사진이다. 도 12에 도시된 바와 같이, 실시예 2의 열처리 이후의 금속판재 시편은 중량 증가가 발생되었음을 확인할 수 있다. 1100℃에서 2분 열처리 한 경우 0.02g, 4분 열처리 한 경우 0.04g, 7.5분 열처리 한 경우 0.05g, 15분 열처리 한 경우 0.09g, 30분 열처리 한 경우 0.15g, 60분 동안 열처리 한 경우 0.15g의 중량 증가가 발생되었다.12 is a photograph showing a metal plate specimen and a silicon wafer after heat treatment of Example 2. Referring to FIG. As shown in FIG. 12 , it can be confirmed that the weight increase of the metal plate specimen after the heat treatment of Example 2 occurred. At 1100°C for 2 minutes, heat treatment 0.02 g, 4 minutes heat treatment 0.04 g, 7.5 minutes heat treatment 0.05 g, 15 minutes heat treatment 0.09 g, 30 minutes heat treatment 0.15 g, 60 minutes heat treatment 0.15 A weight gain in g occurred.

도 13, 14는 실시예 2의 EBSD 결과를 도시한 것이다. 도 13, 14에 도시된 바와 같이, 실시예 2에서는 열처리 시간과 관계없이 실리콘 웨이퍼가 닿은 금속판재의 표면에서 금속판재의 표면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직이 우세(dominant)한 것을 확인할 수 있다. 1100℃에서 2분 열처리 한 경우 금속판재 시편 표면에서 77.9% 분율 및 결정립 크기 107μm의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture), 4분 열처리 한 경우 58.8% 분율 및 결정립 크기 147μm의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture), 7.5분 열처리 한 경우 86.9% 분율 및 결정립 크기 230μm의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture), 15분 열처리 한 경우 55.9% 분율 및 결정립 크기 274μm의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture), 30분 열처리 한 경우 63.7% 분율 및 결정립 크기 351μm의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture), 60분 동안 열처리 한 경우 74.6% 분율 및 결정립 크기 367μm의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 형성되었음을 확인할 수 있다.13 and 14 show the EBSD results of Example 2. 13 and 14, in Example 2, the cube-on-face texture having a {100} plane parallel to the surface of the metal sheet on the surface of the metal sheet to which the silicon wafer is touched is dominant regardless of the heat treatment time. ) can be checked. {100}<0vw> cube-on-face texture with a fraction of 77.9% and a grain size of 107 μm on the surface of the metal sheet specimen when heat treated at 1100° C. for 2 minutes, 58.8% fraction and {100}<0vw> cube-on-face texture with a grain size of 147 μm, 86.9% fraction when heat treated for 7.5 minutes and a {100}<0vw> cube-on-face texture with a grain size of 230 μm (Cube-on-face texture) -on-face texture), when heat treated for 15 minutes, {100}<0vw> cube-on-face texture with 55.9% fraction and grain size of 274μm, 63.7% fraction and grain size when heat treated for 30 minutes {100}<0vw> cube-on-face texture with a size of 351 μm, a {100}<0vw> cube-on-face texture with a grain size of 367 μm and a 74.6% fraction when heat treated for 60 minutes -on-face texture) was formed.

도 15는 실시예 2의 Cross Section (IQ map) 분석 결과를 도시한 것이다. 도 16은 실시예 2의 Cross Section (IPF map) 분석 결과를 도시한 것이다. 도 17은 실시예 2의 Cross Section (Line EDS) 분석 결과를 도시한 것이다. 도 15, 16, 17에 도시된 바와 같이, 열처리 시간이 길어질수록 금속판재 시편에 Si가 확산된 깊이가 깊어지는 것을 확인할 수 있다. 1100℃에서 2분 열처리 한 경우 금속판재 시편 표면에서 깊이 125μm 및 실리콘 함량 8.79wt%Si의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture), 4분 열처리 한 경우 깊이 179μm 및 실리콘 함량 10.10wt%Si의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture), 7.5분 열처리 한 경우 깊이 288μm 및 실리콘 함량 9.67wt%Si의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture), 15분 열처리 한 경우 깊이 382μm 및 실리콘 함량 9.60wt%Si의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture), 30분 열처리 한 경우 깊이 476μm 및 실리콘 함량 11.03wt%Si의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture), 60분 동안 열처리 한 경우 깊이 507μm 및 실리콘 함량 11.38wt%Si의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 형성되었음을 확인할 수 있다.15 shows a cross section (IQ map) analysis result of Example 2. 16 shows the cross section (IPF map) analysis result of Example 2. Figure 17 shows the cross section (Line EDS) analysis results of Example 2. As shown in FIGS. 15, 16, and 17 , it can be seen that as the heat treatment time increases, the depth in which Si is diffused in the metal plate specimen increases. {100}<0vw> cube-on-face texture with a depth of 125 μm and a silicon content of 8.79 wt% Si from the surface of the metal plate specimen when heat treated at 1100° C. for 2 minutes, depth 179 μm when heat treated for 4 minutes and {100}<0vw> cube-on-face texture with a silicon content of 10.10wt%Si, a {100}<0vw> cube with a depth of 288μm and a silicon content of 9.67wt%Si when heat treated for 7.5 minutes Cube-on-face texture, {100}<0vw> Cube-on-face texture with a depth of 382 μm and a silicon content of 9.60 wt% Si when annealed for 15 minutes, 30 minutes {100}<0vw> Cube-on-face texture with a depth of 476 μm and a silicon content of 11.03 wt% Si when heat treated, { with a depth of 507 μm and a silicon content of 11.38 wt% Si when heat treated for 60 minutes 100}<0vw> It can be seen that a cube-on-face texture is formed.

[실시예 3][Example 3]

실시예 3에서는 1.00wt%Si의 금속판재 시편의 각 단계별 EBSD 분석을 수행하였다. 실시예 3에서는 금속판재 시편의 상면에 실리콘 웨이퍼(두께 650㎛)를 접촉시켜 1000℃ 내지 1100℃ 사이에서 열처리 단계(S10), 실리콘 확산 단계(S20) 및 상변태 단계(S30)를 진행하였다. In Example 3, EBSD analysis was performed for each step of the 1.00 wt% Si metal plate specimen. In Example 3, a silicon wafer (thickness 650 μm) was brought into contact with the upper surface of the metal plate specimen, and a heat treatment step (S10), a silicon diffusion step (S20), and a phase transformation step (S30) were performed between 1000°C and 1100°C.

도 18은 실시예 3의 열처리 단계(S10) 이후의 금속판재 시편의 EBSD 결과를 도시한 것이다. 도 18에 도시된 바와 같이, 실시예 3의 열처리 단계(S10)의 금속판재 시편에서는 상당 부분이 γ-fiber 집합조직이고 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직이 거의 형성되지 않았다. Si의 조성이 0.91wt%인 것으로 보았을 때, 도 18의 결과는 Si확산에 의한 상변태가 유도되지 않은 것으로 보이며, Si 확산으로 조성의 변화에 의한 상변태가 일어나지 않아 표면으로부터 핵생성이 유도되지 않았기 때문에 파생된 결과임을 확인할 수 있다.18 shows the EBSD results of the metal plate specimen after the heat treatment step (S10) of Example 3. As shown in FIG. 18 , in the metal plate specimen of the heat treatment step S10 of Example 3, a significant portion was a γ-fiber texture, and a {100}<0vw> cube-on-face texture was hardly formed. Considering that the composition of Si is 0.91 wt%, the result of FIG. 18 shows that the phase transformation by Si diffusion is not induced, and since the phase transformation by the change in the composition does not occur due to Si diffusion, nucleation from the surface was not induced. It can be seen that this is a derived result.

도 19는 실시예 3의 실리콘 확산 단계(S20) 및 상변태 단계(S30) 이후의 금속판재 시편의 EBSD 결과를 도시한 것이다. 도 19에 도시된 바와 같이, 실시예 3의 실리콘 확산 단계(S20) 및 상변태 단계(S30) 이후의 금속판재 시편에서는 10.98wt%Si로 Si 조성이 증가하였기 때문에 Si 확산이 진행되었음을 확인할 수 있다. 이러한 점에 따르면, 금속판재 시편이 γ상에서 Si 확산을 통한 조성의 변화에 의해 α상으로 상변태 되었음을 확인할 수 있다. 19 shows the EBSD results of the metal plate specimen after the silicon diffusion step (S20) and the phase transformation step (S30) of Example 3; As shown in FIG. 19, in the metal plate specimen after the silicon diffusion step (S20) and the phase transformation step (S30) of Example 3, since the Si composition increased to 10.98 wt% Si, it can be confirmed that Si diffusion proceeded. According to these points, it can be confirmed that the metal plate specimen was phase-transformed to the α-phase by the change of the composition through Si diffusion in the γ-phase.

따라서, 실시예 3에 따르면 열처리 단계에서 γ상이 되었고(S10), 실리콘 확산(S20)을 통한 조성의 변화에 의해 α상으로 상변태 단계(S30)가 진행되었다는 점을 확인할 수 있다.Therefore, according to Example 3, it can be confirmed that the γ phase was obtained in the heat treatment step (S10), and the phase transformation step (S30) proceeded to the α phase by a change in the composition through silicon diffusion (S20).

[실시예 4][Example 4]

실시예 4에서는 1.00wt%Si의 금속판재 시편의 S30 단계 이후 EBSD 분석을 수행하였다. 실시예 4에서는 금속판재 시편에 실란가스 기상증착(Vapor Deposition) 방법으로 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면 중 적어도 일표면에 실리콘 입자를 접촉시키는 방법으로 열처리 단계(S10), 실리콘 확산 단계(S20) 및 상변태 단계(S30)를 진행하였다. In Example 4, EBSD analysis was performed after step S30 of a metal plate specimen of 1.00 wt% Si. In Example 4, a heat treatment step (S10), silicon diffusion as a method of contacting silicon particles on at least one surface of the surfaces perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate by a silane gas vapor deposition (Vapor Deposition) method on a metal plate specimen A step (S20) and a phase transformation step (S30) were performed.

도 20은 실시예 4의 상변태 단계(S30) 이후의 금속판재 시편의 EBSD 결과를 도시한 것이다. 도 20에 도시된 바와 같이, 실시예 4의 상변태 단계(S30) 이후의 금속판재 시편에서는 Si 조성이 9.82wt%Si이 되었고 실리콘 확산(S20)을 통한 조성의 변화에 의해 γ상에서 α상으로 상변태가 일어났음을 확인할 수 있고, 큐브 온 페이스 텍스쳐의 분율이 39.0%에 달하는 것을 확인할 수 있다. 따라서, 실시예 4에 따르면 기상증착 방법으로 본 발명의 열처리 단계(S10), 실리콘 확산 단계(S20) 및 상변태 단계(S30)의 구현이 가능함을 확인할 수 있다. 20 shows the EBSD results of the metal plate specimen after the phase transformation step (S30) of Example 4. As shown in Fig. 20, in the metal plate specimen after the phase transformation step (S30) of Example 4, the Si composition was 9.82 wt% Si, and phase transformation from γ to α phase by the change of the composition through silicon diffusion (S20) It can be confirmed that this has occurred, and it can be seen that the fraction of the cube-on-face texture reaches 39.0%. Therefore, according to Example 4, it can be confirmed that the heat treatment step (S10), the silicon diffusion step (S20) and the phase transformation step (S30) of the present invention can be implemented by the vapor deposition method.

[비교예 1][Comparative Example 1]

비교예 1에서는 1.00wt%Si 또는 2.00wt%Si의 금속판재 시편에 열처리 단계(S10)를 진행하고 EBSD 분석을 수행하였다. In Comparative Example 1, a heat treatment step (S10) was performed on a metal plate specimen of 1.00 wt% Si or 2.00 wt% Si, and EBSD analysis was performed.

도 21, 22, 23은 비교예 1의 1.00wt%Si의 금속판재 시편의 열처리 단계(S10) 이후 EBSD 결과를 도시한 것이고, 도 24, 25, 26은 비교예 1의 2.00wt%Si의 금속판재 시편의 열처리 단계(S10) 이후 EBSD 결과를 도시한 것이다. 도 21 내지 27에 도시된 바와 같이, 열처리 단계(S10) 만으로는 큐브 온 페이스 텍스쳐가 생성되지 않는 것을 확인할 수 있다. 21, 22, and 23 show the EBSD results after the heat treatment step (S10) of the 1.00 wt% Si metal plate specimen of Comparative Example 1, and FIGS. 24, 25 and 26 are the 2.00 wt% Si metal of Comparative Example 1. The EBSD results after the heat treatment step (S10) of the plate specimen are shown. As shown in FIGS. 21 to 27 , it can be confirmed that the cube-on-face texture is not generated only by the heat treatment step ( S10 ).

[비교예 2][Comparative Example 2]

비교예 2에서는 1.00wt%Si의 금속판재 시편에 열처리를 통한 온도의 변화에 의해 γ상에서 α상으로의 상변태를 진행하고 EBSD 분석을 수행하였다. In Comparative Example 2, a metal plate specimen of 1.00 wt% Si was subjected to a phase transformation from a γ phase to an α phase by a change in temperature through heat treatment, and EBSD analysis was performed.

도 27은 비교예 2의 1.00wt%Si의 금속판재 시편에 열처리를 통한 온도의 변화에 의해 γ상에서 α상으로의 상변태를 진행한 이후 EBSD 결과를 도시한 것이다. 도 27에 도시된 바와 같이, 1.00wt%Si의 금속판재 시편에 열처리를 통한 온도의 변화에 의해 야기되는 γ상에서 α상으로의 상변태를 진행하게 되면 랜덤 텍스쳐(Random Texture)가 형성되고, {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 생성되지 않는 것을 확인할 수 있다. 27 shows the EBSD results after the phase transformation from the γ phase to the α phase by the change of temperature through heat treatment on the 1.00 wt% Si metal plate specimen of Comparative Example 2. FIG. As shown in FIG. 27, when the phase transformation from the γ phase to the α phase caused by a change in temperature through heat treatment on a 1.00 wt% Si metal plate specimen proceeds, a random texture is formed, {100 }<0vw> It can be seen that Cube-on-face texture is not generated.

[비교예 3][Comparative Example 3]

비교예 3에서는 α상 영역에 있는 1.00wt%Si의 금속판재 시편에 실란가스 기상증착(Vapor Deposition) 방법으로 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면 중 적어도 일표면에 실리콘 입자를 접촉시키는 방법으로 실리콘 확산을 진행하고 EBSD 분석을 수행하였다. In Comparative Example 3, silicon particles were brought into contact with at least one surface of the surfaces perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate by a silane gas vapor deposition method on a metal plate specimen of 1.00 wt% Si in the α phase region. Silicon diffusion was carried out as a method and EBSD analysis was performed.

도 28은 비교예 3의 α상 영역에 있는 1.00wt%Si의 금속판재 시편에 기상증착(Vapor Deposition) 방법으로 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면 중 적어도 일표면에 실리콘 입자를 접촉시키는 방법으로 실리콘 확산을 진행한 이후의 EBSD 결과를 도시한 것이다. 도 28에 도시된 바와 같이, α상 영역에 있는 1.00wt%Si의 금속판재 시편에 기상증착(Vapor Deposition) 방법으로 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면 중 적어도 일표면에 실리콘 입자를 접촉시키는 방법으로 실리콘 확산을 진행하게 되면 금속판재의 Si 분율만 상승하고 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 유의미하게 생성되지 않는 것(큐브 온 페이스 집합조직이 4.1% 생성)을 확인할 수 있다. 본 발명과 달리, 비교예 3에서는 실리콘 확산 시에 금속판재가 α상 영역에 있기 때문에, 실리콘 확산에도 불구하고 조성의 변화에 의해 야기되는 γ상에서 α상으로의 상변태가 일어나지 않는다. 28 is a vapor deposition (Vapor Deposition) method on a metal plate specimen of 1.00 wt% Si in the α-phase region of Comparative Example 3 Contacting silicon particles on at least one surface of the planes perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate. It shows the EBSD results after silicon diffusion was carried out in the following manner. 28, silicon particles on at least one surface of the surfaces perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate by a vapor deposition method on a metal plate specimen of 1.00 wt% Si in the α-phase region. When silicon diffusion proceeds by a contact method, only the Si fraction of the metal sheet increases and {100}<0vw> Cube-on-face texture is not significantly generated (Cube-on-face texture) This 4.1% generation) can be seen. Unlike the present invention, in Comparative Example 3, since the metal plate is in the α-phase region during silicon diffusion, the phase transformation from the γ-phase to the α-phase caused by the change in the composition does not occur despite the silicon diffusion.

[온도 별 Si 확산 예][Example of Si diffusion by temperature]

본 예시에서는 본 발명의 일실시예에 따른 각 단계에서의 1.00wt%Si의 금속판재 시편의 특정 온도 별 성분 분석을 수행하였다. 구체적으로, 본 예시에서는 금속판재 시편의 상면에 실리콘 웨이퍼(두께 650㎛)를 접촉시켜 1100℃ 에서 열처리 단계(S10), 실리콘 확산 단계(S20) 및 상변태 단계(S30)를 진행하였고, 1000℃, 1050℃, 1100℃에서의 성분 분석을 수행하였다. 도 29는 Fe-1wt%Si의 DSC analysis를 도시한 그래프이다. 도 29에 도시된 바와 같이, Fe-1wt%Si의 경우 약 999℃ 내외에서부터 α상에서 γ상으로의 온도 변화에 의한 상변태가 발생하게 되므로, 본 예시에서 1000℃의 경우에는 실제 시편 온도를 고려하였을 때 α상 혹은 α상과 γ상이 혼재하는 이상영역에 가깝다고 볼 수 있고, 1050℃ 및 1100℃의 경우에는 γ상에 가깝다고 판단된다.In this example, component analysis was performed for each specific temperature of a metal plate specimen of 1.00 wt% Si in each step according to an embodiment of the present invention. Specifically, in this example, a silicon wafer (thickness 650 μm) was brought into contact with the upper surface of the metal plate specimen, and the heat treatment step (S10), the silicon diffusion step (S20) and the phase transformation step (S30) were performed at 1100° C., 1000° C., Component analysis was performed at 1050°C and 1100°C. 29 is a graph showing DSC analysis of Fe-1 wt%Si. As shown in FIG. 29, in the case of Fe-1wt%Si, a phase transformation occurs due to a temperature change from an α phase to a γ phase from around 999°C. When the α phase or α phase and γ phase are mixed, it can be considered close to the ideal region, and in the case of 1050°C and 1100°C, it is judged to be close to the γ phase.

도 30은 온도 별 Si 확산 예의 금속판재 시편의 성분 분석 결과를 도시한 것이다. 도 30에 도시된 바와 같이, 1000℃ 조건에서는 0.91wt%Si로서 Si 확산이 진행되지 않은 것으로 판단되고, 1050℃ 조건에서는 Si 확산이 점차 이루어지고 있는 것을 확인할 수 있으며, 1100℃ 조건에서는 14.4wt%Si로서 Si 확산이 충분히 진행된 것을 확인할 수 있다. 30 is a view showing the component analysis results of the metal plate specimen of the Si diffusion example for each temperature. As shown in FIG. 30 , it was determined that Si diffusion did not proceed as 0.91 wt% Si under the 1000°C condition, and it was confirmed that Si diffusion was gradually made under the 1050°C condition, and 14.4 wt% at 1100°C condition. As Si, it can be confirmed that Si diffusion has sufficiently progressed.

도 31, 32, 33은 온도 별 Si 확산 예의 EBSD 결과를 도시한 것이다. 도 31에 도시된 바와 같이, 1000℃에서 5분 열처리 한 경우 금속판재 시편 표면에서 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 거의 나타나지 않은 0.02% 분율을 나타냈고, Grain size는 123μm로 확인되었다. 도 31의 조건에서는 강한 γ상 fiber texture가 형성된 것을 확인할 수 있다. 도 32에 도시된 바와 같이, 1050℃ 조건에서는 금속판재 시편 표면에서 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 67.1% 분율을 나타냈고, Grain size는 311μm로 확인되었다. 도 34에 도시된 바와 같이, 1100℃ 조건에서는 금속판재 시편 표면에서 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 81.9% 분율을 나타냈고, Grain size는 446μm로 확인되었다. 31, 32, and 33 show EBSD results of Si diffusion examples according to temperature. As shown in FIG. 31 , when heat treatment was performed at 1000° C. for 5 minutes, {100}<0vw> cube-on-face texture showed a 0.02% fraction on the surface of the metal plate specimen, which hardly appeared. , and the grain size was confirmed to be 123 μm. It can be confirmed that a strong γ-phase fiber texture is formed under the conditions of FIG. 31 . As shown in Figure 32, under the 1050 ℃ condition, {100} <0vw> cube-on-face texture on the surface of the metal plate specimen showed a 67.1% fraction, the grain size was confirmed to be 311 μm became As shown in FIG. 34, under the condition of 1100° C., {100}<0vw> cube-on-face texture on the surface of the metal plate specimen exhibited an 81.9% fraction, and the grain size was confirmed to be 446 μm. became

도 31, 32, 33의 결과에 따르면, 금속판재 시편이 γ상에서 Si 확산을 통한 조성의 변화에 의해 α상으로 상변태 되면서 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 생성되었음을 확인할 수 있다. 따라서, 온도 별 Si 확산 예에 따르면 열처리 단계에서 γ상이 되었고(S10), 실리콘 확산(S20)을 통한 조성의 변화에 의해 α상으로 상변태 단계(S30)가 진행되었다는 점을 다시 한번 확인할 수 있다.According to the results of FIGS. 31, 32, and 33, {100}<0vw> Cube-on-face texture as the metal plate specimen is phase-transformed to α-phase by a change in composition through Si diffusion from γ-phase You can check that this has been created. Therefore, according to the example of diffusion of Si by temperature, it can be confirmed once again that the phase transformation step (S30) proceeded to the α phase due to the change in the composition through the silicon diffusion (S20) and the γ phase in the heat treatment step (S10).

[α상에서의 비교예][Comparative example on α phase]

α상에서의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)의 생성과 관련하여, 1.00wt%Si의 금속판재 시편의 900℃ 열처리 이후 성분 분석을 수행하였다. 도 29에 도시된 바와 같이, Fe-1wt%Si의 경우 약 999℃ 내외에서부터 α상에서 γ상으로의 온도 변화에 의한 상변태가 발생하게 되므로, 본 예시에서 900℃의 경우에는 α상에 가깝다고 판단된다. In relation to the generation of the {100}<0vw> cube-on-face texture in the α phase, component analysis was performed after heat treatment at 900° C. of a metal sheet specimen of 1.00 wt% Si. As shown in FIG. 29, in the case of Fe-1wt%Si, a phase transformation occurs due to a temperature change from α to γ phase from around 999° C., so it is judged close to the α phase in the case of 900° C. in this example. .

도 34는 α상에서의 비교예의 1.00wt%Si의 금속판재 시편의 900℃ 2시간 열처리 이후를 도시한 사진, 도 35는 α상에서의 비교예의 EBSD 결과를 도시한 것, 도 36은 α상에서의 비교예의 Si wt%를 도시한 것이다. 도 34, 35, 36에 도시된 바와 같이, α상에서 Si 확산이 없는 경우 강한 γ fiber texture가 형성되었고, {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 거의 생성되지 않음을 확인할 수 있다. 34 is a photograph showing a metal sheet specimen of 1.00 wt% Si of Comparative Example in α phase after heat treatment at 900° C. for 2 hours, FIG. 35 is an EBSD result of a comparative example in α phase, and FIG. 36 is a comparison in α phase. Examples of Si wt% are shown. 34, 35 and 36, in the absence of Si diffusion in the α phase, a strong γ fiber texture was formed, and {100}<0vw> Cube-on-face texture was hardly generated. can confirm that it is not.

α상에서 Si 확산이 있는 경우의 비교예는 위 비교예 3을 통해 설명할 수 있으며, 비교예 3에 설명된 바와 같이, α상에서 Si 확산이 있는 경우에는 금속판재의 Si 분율만 상승하고 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(Cube-on-face texture)이 유의미하게 생성되지 않는 것(큐브 온 페이스 집합조직이 4.1% 생성)을 확인할 수 있다. A comparative example in the case of Si diffusion in the α phase can be explained through Comparative Example 3 above, and as described in Comparative Example 3, when there is Si diffusion in the α phase, only the Si fraction of the metal plate increases and {100} <0vw> It can be seen that the cube-on-face texture is not significantly generated (4.1% of the cube-on-face texture is generated).

[큐브 온 페이스 집합조직 분율 상한 실시예][Example of upper limit of cube on face texture fraction]

본 발명의 일실시예에 따라 금속판재의 표면에 생성되는 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직의 분율의 상한은 조건에 따라 100%에 가깝게 형성될 수 있다. 본 실시예에서는 중량%로 Fe-2%Si-1wt%Ni 금속판재 시편을 준비하였다. 본 실시예에서는 금속판재 시편의 면에 실리콘 웨이퍼를 접촉시킨 상태에서 열처리 단계(S10)부터 수행 하였다. According to an embodiment of the present invention, the upper limit of the fraction of {100}<0vw> cube-on-face texture generated on the surface of the metal plate may be close to 100% depending on conditions. In this example, Fe-2%Si-1wt%Ni metal plate specimens were prepared in wt%. In this embodiment, the heat treatment step (S10) was performed in a state in which the silicon wafer was in contact with the surface of the metal plate specimen.

도 37은 큐브 온 페이스 집합조직 분율 상한 실시예의 EBSD 분석을 도시한 것이다. 도 37에 도시된 바와 같이, 큐브 온 페이스 집합조직 분율 상한 실시예의 시편에 대하여 본 발명의 일실시예에 따른 각 단계를 수행하였을 때, 96.8%의 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직의 분율이 나타남을 확인할 수 있다. 도 37에 도시된 바와 같이, 금속판재의 표면에 생성되는 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직의 분율의 상한은 조건에 따라 100%에 가깝게 형성될 수 있음을 확인할 수 있다. Figure 37 depicts the EBSD analysis of the cube on face texture fraction upper bound example. As shown in FIG. 37 , when each step according to an embodiment of the present invention is performed on the specimen of the cube-on-face texture fraction upper limit embodiment, 96.8% of {100}<0vw> cube-on-face texture It can be seen that the fraction appears. As shown in FIG. 37 , it can be confirmed that the upper limit of the fraction of {100}<0vw> cube-on-face texture generated on the surface of the metal plate may be close to 100% depending on conditions.

다만, Si 첨가에 의해 전기강판의 연신율이 급격히 감소하여 약 6.5%Si 이상은 공업적으로 냉간압연이 불가능한 것으로 알려져 있고, 실무적으로 6.5wt%Si 이상의 조성으로 전기강판이 양산되는 경우는 매우 드물기 때문에 전기강판의 표면에 생성되는 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직의 분율의 상한은 그 의미가 중요하지 않을 수 있다. However, it is known that cold rolling is not possible industrially for about 6.5% Si or more because the elongation of the electrical steel sheet is rapidly reduced due to the addition of Si. The upper limit of the fraction of {100}<0vw> cube-on-face texture generated on the surface of the electrical steel sheet may not be significant.

[양산 공정 실시예][Example of mass production process]

도 38은 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착 공정을 이용한 연속공정을 도시한 모식도이다. 도 38에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착 공정을 이용한 연속공정은, 금속판재가 소둔 챔버에 장입되고 오스테나이트(γ) 상이 안정한 온도로 열처리 단계(S10)가 진행되며, 오스테나이트(γ) 상의 상태에서 챔버 내부의 증착 공정으로 금속판재의 표면에 실리콘이 증착되어 실리콘이 금속판재의 표면으로 확산되며(실리콘 확산(S20)), 실리콘 확산에 의한 조성의 변화에 의해 금속판재의 적어도 일부가 페라이트(α) 상으로 상변태(상변태 단계(S30)) 진행되게 된다. 이때, 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착 공정을 이용한 연속공정에서 증착 공정은, PVD(Physical Vapor Deposition), CVD(Chemical Vapor Deposition), ALD(Atomic Layer Deposition) 등의 증착 공정이 이용될 수 있다. PVD 공정이 이용되는 경우에는 Thermal Evaporation, E-beam Evaporation, Sputtering 등의 증착방법이 적용될 수 있다. CVD 공정이 이용되는 경우에는 기판과 반응기 벽의 온도에 따라 Hot wall CVD 또는 Cold wall CVD, 반응기 내부의 온도에 따라 Atmosphere Pressure CVD 또는 Low Pressure CVD, 활성화 에너지 공급 방법에 따라 Thermal CVD, Plasma Enhanced CVD 또는 Photo CVD, 반응 온도에 다라 High Temp. CVD 또는 Low Temp. CVD, 증착막의 종류에 따라 Dielectric CVD 또는 Poly and Metal CVD 등의 증착방법이 적용될 수 있다. 38 is a schematic diagram illustrating a continuous process using a deposition process of a method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion according to an embodiment of the present invention. 38, in the continuous process using the deposition process of the cube-on-face texture manufacturing method using diffusion according to an embodiment of the present invention, the metal plate is charged into the annealing chamber and the austenite (γ) phase is at a stable temperature. A heat treatment step (S10) proceeds, silicon is deposited on the surface of the metal plate by a deposition process inside the chamber in the austenite (γ) phase state, and the silicon is diffused to the surface of the metal plate (silicon diffusion (S20)), silicon At least a portion of the metal plate material undergoes phase transformation (phase transformation step (S30)) into the ferrite (α) phase due to the change in composition due to diffusion. At this time, in the continuous process using the deposition process of the cube-on-face texture manufacturing method using diffusion according to an embodiment of the present invention, the deposition process is PVD (Physical Vapor Deposition), CVD (Chemical Vapor Deposition), ALD (Atomic Layer Deposition) ) and the like may be used. When the PVD process is used, a deposition method such as thermal evaporation, e-beam evaporation, or sputtering may be applied. If the CVD process is used, hot wall CVD or cold wall CVD depending on the temperature of the substrate and the reactor wall, Atmosphere Pressure CVD or Low Pressure CVD depending on the temperature inside the reactor, Thermal CVD, Plasma Enhanced CVD, or Plasma Enhanced CVD depending on the activation energy supply method Photo CVD, depending on the reaction temperature High Temp. CVD or Low Temp. Depending on the type of CVD or deposition film, a deposition method such as dielectric CVD or poly and metal CVD may be applied.

이와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법은 증착 공정의 적용이 가능하고 열처리 시간이 상대적으로 짧게 구성될 수 있으므로, 전기강판의 양산을 위한 연속공정에 적용이 가능해지는 효과가 발생된다. 선행문헌에 개시된 기존의 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법은 전기강판의 양산을 위한 연속공정에 적용이 어려운 문제가 있었다. 예를 들어, Tomida(1995)의 경우에는 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)의 형성과는 거리가 멀고, 고진공 및 고온에서의 장시간 열처리가 필요하여 전기강판 양산 공정에 적용하는 것이 매우 어려운 문제가 있었다. 또한, J.K. Sung(2011)에서는 Pure iron과 Fe-1wt%Si 조성에 한정되는 문제 및 고온에서의 장시간 열처리가 필요하여 전기강판 양산 공정에 적용하는 것이 매우 어려운 문제가 있었다. 또한, Y.K. Ahn(2020)에서는 Fe-2wt%Si-1wt%Ni 조성의 결과까지만 {100}<0vw> 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)의 형성을 제시한 바 있으며 2wt%Si 초과의 결과가 제시된 바 없는 문제가 있었고, 열처리 중 금속판재의 표면에 stress를 발생시켜야 하는 제한 사항이 있어서 전기강판의 양산을 위한 연속공정에 적용이 어려운 문제가 있었다. 특히, 선행문헌 중 Y.K. Ahn(2020)에서는 열처리 중 금속판재의 표면에 stress를 발생시켜야 하는 제한 사항이 있기 때문에 위와 같은 증착 공정과는 거리가 먼 문제가 있었다. As such, the cube-on-face texture manufacturing method using diffusion according to an embodiment of the present invention can be applied to a deposition process and the heat treatment time can be configured to be relatively short, so it can be applied to a continuous process for mass production of electrical steel sheet. A possible effect occurs. The conventional cube-on-face texture manufacturing method disclosed in the prior literature had a problem in that it was difficult to apply to a continuous process for mass production of electrical steel sheets. For example, in the case of Tomida (1995), {100}<0vw> is far from the formation of a cube-on-face texture, and long-term heat treatment in high vacuum and high temperature is required, so electrical steel sheet There was a problem that was very difficult to apply to the mass production process. Also, J.K. In Sung (2011), there was a problem limited to the composition of pure iron and Fe-1wt%Si, and it was very difficult to apply it to the mass production process of electrical steel sheet because heat treatment at high temperature was required for a long time. Also, Y.K. Ahn (2020) suggests the formation of a {100}<0vw> cube-on-face texture only up to the result of the Fe-2wt%Si-1wt%Ni composition, and results in excess of 2wt%Si There was a problem that was not suggested, and there was a limitation that stress should be generated on the surface of the metal sheet during heat treatment, so it was difficult to apply it to the continuous process for mass production of electrical steel sheet. In particular, among the prior literature, Y.K. Ahn (2020) has a problem that is far from the above deposition process because there is a limitation to generate stress on the surface of the metal plate during heat treatment.

도 39는 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착 공정을 이용하지 않은 연속공정(코팅 공정을 이용한 연속공정)을 도시한 모식도이다. 도 39에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착 공정을 이용하지 않은 연속공정(코팅 공정을 이용한 연속공정)은, 금속판재가 소둔 챔버에 장입되고 오스테나이트(γ) 상이 안정한 온도로 열처리 단계(S10)가 진행되며, 오스테나이트(γ) 상의 상태에서 용융도금 공정, 전해도금 공정 또는 분말접촉 공정 등의 코팅 공정으로 금속판재의 표면에 실리콘이 코팅되어 실리콘이 금속판재의 표면으로 확산되며(실리콘 확산(S20)), 실리콘 확산에 의한 조성의 변화에 의해 금속판재의 적어도 일부가 페라이트(α) 상으로 상변태(상변태 단계(S30)) 진행되게 된다. 39 is a schematic diagram illustrating a continuous process (continuous process using a coating process) without using a deposition process of the method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion according to an embodiment of the present invention. As shown in Figure 39, the continuous process (continuous process using the coating process) without using the deposition process of the cube-on-face texture manufacturing method using diffusion according to an embodiment of the present invention, the metal plate material is charged into the annealing chamber and the austenite (γ) phase is subjected to a heat treatment step (S10) at a stable temperature. It is coated so that silicon is diffused to the surface of the metal plate (silicon diffusion (S20)), and at least a part of the metal plate is phase transformation (phase transformation step (S30)) to ferrite (α) by a change in composition due to silicon diffusion do.

이와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법은 증착 공정의 적용이 어려운 경우에도 용융도금 공정, 전해도금 공정 또는 분말접촉 공정 등의 코팅 공정으로 실리콘 코팅을 수행하여 연속공정의 적용이 가능하고 열처리 시간이 상대적으로 짧게 구성될 수 있으므로, 전기강판의 양산을 위한 연속공정에 적용이 가능해지는 효과가 발생된다. 특히, 선행문헌 중 Y.K. Ahn(2020)에서는 열처리 중 금속판재의 표면에 stress를 발생시켜야 하는 제한 사항이 있기 때문에 위와 같은 코팅 공정과는 거리가 먼 문제가 있었다. As such, the cube-on-face texture manufacturing method using diffusion according to an embodiment of the present invention performs silicon coating with a coating process such as a hot dip plating process, an electrolytic plating process, or a powder contact process even when it is difficult to apply a deposition process. Since the continuous process can be applied and the heat treatment time can be configured to be relatively short, there is an effect that can be applied to the continuous process for mass production of electrical steel sheet. In particular, in the prior literature, Y.K. In Ahn (2020), there is a problem that is far from the above coating process because there is a limitation to generate stress on the surface of the metal plate during heat treatment.

도 40은 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착(또는 코팅) 후 확산을 이용한 연속공정을 도시한 모식도이다. 도 40에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착(또는 코팅) 후 확산을 이용한 연속공정은, 도 38 및 39에 도시된 연속공정의 변형예로서, 금속판재가 증착 챔버(또는 코팅 챔버)에 먼저 장입되고 PVD, CVD 또는 ALD 등의 증착 공정(코팅 챔버가 적용되는 경우에는 용융도금 공정, 전해도금 공정 또는 분말접촉 공정 등의 코팅 공정)이 열처리 단계(S10) 이전에 적용되어 금속판재 표면에 실리콘 코팅이 수행되며, 이후 금속판재가 소둔 챔버에 장입되고 오스테나이트(γ) 상이 안정한 온도로 열처리 단계(S10)가 진행되며, 오스테나이트(γ) 상의 상태에서 앞선 증착 공정(또는 코팅 공정)으로 금속판재의 표면에 기증착(또는 기코팅)된 실리콘이 금속판재의 표면으로 확산되며(실리콘 확산(S20)), 실리콘 확산에 의한 조성의 변화에 의해 금속판재의 적어도 일부가 페라이트(α) 상으로 상변태(상변태 단계(S30)) 진행되게 된다. 40 is a schematic diagram illustrating a continuous process using diffusion after deposition (or coating) of a method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 40, the continuous process using diffusion after deposition (or coating) of the method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion according to an embodiment of the present invention is a variation of the continuous process shown in FIGS. 38 and 39 For example, a metal plate is first charged into the deposition chamber (or coating chamber), and a deposition process such as PVD, CVD, or ALD (when a coating chamber is applied, a coating process such as a hot dip plating process, an electrolytic plating process, or a powder contact process) It is applied before the heat treatment step (S10) and silicon coating is performed on the surface of the metal plate, after which the metal plate is charged into the annealing chamber and the heat treatment step (S10) is performed at a temperature at which the austenite (γ) phase is stable, austenite (γ) In the phase state, silicon donated (or pre-coated) on the surface of the metal plate by the previous deposition process (or coating process) is diffused to the surface of the metal plate (silicon diffusion (S20)), and changes in composition due to silicon diffusion By this, at least a portion of the metal plate is subjected to a phase transformation (phase transformation step (S30)) into the ferrite (α) phase.

이와 같은 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 증착(또는 코팅) 후 확산을 이용한 연속공정에 따르면, 연속공정 내에서 증착 챔버(또는 코팅 챔버)와 소둔 챔버를 분리할 수 있으므로, 실리콘 증착(또는 코팅)의 효율을 더 향상시킬 수 있는 효과가 발생된다. According to the continuous process using diffusion after deposition (or coating) of the cube-on-face texture manufacturing method using diffusion according to an embodiment of the present invention, the deposition chamber (or coating chamber) and the annealing chamber are separated in the continuous process. Therefore, the effect of further improving the efficiency of silicon deposition (or coating) is generated.

도 41은 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 배치소둔을 이용한 배치공정을 도시한 모식도이다. 도 41에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 배치소둔을 이용한 공정은, 도 40에 도시된 연속공정의 변형예로서, 금속판재가 증착 챔버(또는 코팅 챔버)에 먼저 장입되고 PVD, CVD 또는 ALD 등의 증착 공정(코팅 챔버가 적용되는 경우에는 용융도금 공정, 전해도금 공정 또는 분말접촉 공정 등의 코팅 공정)이 열처리 단계(S10) 이전에 적용되어 금속판재 표면에 실리콘 코팅이 수행되며, 이후 금속판재가 배치식 열처리를 위한 배치 소둔 챔버에 장입되고 오스테나이트(γ) 상이 안정한 온도로 열처리 단계(S10)가 진행되며, 오스테나이트(γ) 상의 상태에서 앞선 증착 공정(또는 코팅 공정)으로 금속판재의 표면에 기증착(또는 기코팅)된 실리콘이 금속판재의 표면으로 확산되며(실리콘 확산(S20)), 실리콘 확산에 의한 조성의 변화에 의해 금속판재의 적어도 일부가 페라이트(α) 상으로 상변태(상변태 단계(S30)) 진행되게 된다. 41 is a schematic diagram illustrating a batch process using batch annealing in a method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 41, the process using batch annealing of the cube-on-face texture manufacturing method using diffusion according to an embodiment of the present invention is a modification of the continuous process shown in FIG. or coating chamber), and a deposition process such as PVD, CVD or ALD (if a coating chamber is applied, a coating process such as a hot dip plating process, an electrolytic plating process, or a powder contact process) is applied before the heat treatment step (S10) Silicon coating is performed on the surface of the metal plate, and then the metal plate is charged into the batch annealing chamber for batch-type heat treatment, and the austenite (γ) phase heat treatment step (S10) is performed at a stable temperature, and the austenite (γ) phase state In the preceding deposition process (or coating process), silicon donated (or pre-coated) on the surface of the metal plate is diffused to the surface of the metal plate (silicon diffusion (S20)). At least a portion of the plate material is to undergo a phase transformation (phase transformation step (S30)) into the ferrite (α) phase.

이와 같은 본 발명의 일실시예에 따른 확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법의 배치소둔을 이용한 배치공정에 따르면, 공정 내에서 증착 챔버(또는 코팅 챔버)와 소둔 챔버를 분리할 수 있으므로, 실리콘 증착(또는 코팅)의 효율을 더 향상시킬 수 있는 효과가 발생된다. 또한, 배치식으로 열처리를 진행하게 되므로, 좁은 공간에서도 열처리가 가능하여 설비 투자비 감소 효과가 발생된다. According to the batch annealing process of the cube-on-face texture manufacturing method using diffusion according to an embodiment of the present invention, the deposition chamber (or coating chamber) and the annealing chamber can be separated within the process, so silicon deposition An effect that can further improve the efficiency of (or coating) is generated. In addition, since the heat treatment is performed in a batch manner, heat treatment can be performed even in a narrow space, thereby reducing the facility investment cost.

선행문헌에 개시된 기존의 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법은 위와 같은 배치 공정에 적용이 어려운 문제가 있었다. 예를 들어, Tomida(1995)의 경우에는 고진공 및 고온에서의 Mn Vaporization이 필요하여 배치 공정에 적용하는 것이 매우 어려운 문제가 있었다. 또한, J.K. Sung(2011)에서는 고온에서의 장시간 열처리가 필요하여 배치 공정에 적용하는 것이 어려운 문제가 있었다. 또한, Y.K. Ahn(2020)에서는 열처리 중 금속판재의 표면에 stress를 발생시켜야 하는 제한 사항이 있어서 배치 공정에 적용하는 것이 어려운 문제가 있었다. The existing cube-on-face texture manufacturing method disclosed in the prior literature had a problem in that it was difficult to apply to the above batch process. For example, in the case of Tomida (1995), it was very difficult to apply Mn vaporization in a high vacuum and high temperature to a batch process. Also, J.K. Sung (2011) had a problem in that it was difficult to apply to a batch process because it required long-term heat treatment at high temperature. Also, Y.K. In Ahn (2020), there is a limitation that stress must be generated on the surface of the metal sheet during heat treatment, so it is difficult to apply it to the batch process.

환경과 관련하여, 설명의 편의를 위하여 H2 환경으로 기재되었으나, 본 발명의 범위가 H2 환경에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 범위는 수소 환경을 포함한 불활성 기체, 환원성 활성 기체 등의 환원 분위기 또는 진공 분위기를 포함할 수 있다.With respect to the environment, it has been described as an H 2 environment for convenience of description, but the scope of the present invention is not limited to the H 2 environment. The scope of the present invention may include an inert gas including a hydrogen environment, a reducing atmosphere such as a reducing active gas, or a vacuum atmosphere.

실리콘 확산과 관련하여, 설명의 편의를 위하여 Si를 기초로 기재되었으나, Al, Mo, Cr, Ti, P, V, W 등의 페라이트(ferrite) 안정화 원소도 발명의 범위에 포함될 수 있다. With respect to silicon diffusion, although it has been described based on Si for convenience of description, ferrite stabilizing elements such as Al, Mo, Cr, Ti, P, V, and W may also be included in the scope of the present invention.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 기술자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함하는 것으로 해석되어야 한다.As described above, those skilled in the art to which the present invention pertains will be able to understand that the present invention may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention.

본 명세서 내에 기술된 특징들 및 장점들은 모두를 포함하지 않으며, 특히 많은 추가적인 특징들 및 장점들이 도면들, 명세서, 및 청구항들을 고려하여 당업자에게 명백해질 것이다. 더욱이, 본 명세서에 사용된 언어는 주로 읽기 쉽도록 그리고 교시의 목적으로 선택되었고, 본 발명의 주제를 묘사하거나 제한하기 위해 선택되지 않을 수도 있다는 것을 주의해야 한다.The features and advantages described herein are not all inclusive, and many additional features and advantages will become apparent to those skilled in the art, particularly upon consideration of the drawings, the specification, and the claims. Moreover, it should be noted that the language used herein has been selected primarily for readability and teaching purposes, and may not be selected to delineate or limit the subject matter of the present invention.

본 발명의 실시예들의 상기한 설명은 예시의 목적으로 제시되었다. 이는 개시된 정확한 형태로 본 발명을 제한하거나, 빠뜨리는 것 없이 만들려고 의도한 것이 아니다. 당업자는 상기한 개시에 비추어 많은 수정 및 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있다.The foregoing description of embodiments of the invention has been presented for purposes of illustration. It is not intended to be exhaustive or to limit the invention to the precise form disclosed. Those skilled in the art will appreciate that many modifications and variations are possible in light of the above disclosure.

그러므로 본 발명의 범위는 상세한 설명에 의해 한정되지 않고, 이를 기반으로 하는 출원의 임의의 청구항들에 의해 한정된다. 따라서, 본 발명의 실시예들의 개시는 예시적인 것이며, 이하의 청구항에 기재된 본 발명의 범위를 제한하는 것은 아니다.Therefore, the scope of the present invention is not limited by the detailed description, but by any claims of the application based thereon. Accordingly, the disclosure of the embodiments of the present invention is illustrative, and does not limit the scope of the present invention as set forth in the following claims.

Claims (24)

0.96wt%Si 내지 2wt%Si를 포함하는 철계 합금을 포함하는 금속판재를 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역 또는 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역으로 열처리하는 열처리 단계;
상기 열처리 단계 이전 또는 이후에 상기 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면에 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물을 접촉시키는 접촉 단계; 및
상기 특정 원소 또는 상기 화합물의 입자가 상기 면으로 확산되고, 상기 확산에 의해 상기 면의 일부가 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로 상변태 되는 상변태 단계;
를 포함하고,
상기 특정 원소는 Si를 포함하며,
상기 상변태 단계 이후에, 상기 면의 상기 일부에 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)이 형성되는 것을 특징으로 하는,
확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법.
A heat treatment step of heat-treating a metal sheet including an iron-based alloy containing 0.96 wt% Si to 2 wt% Si into an ideal region in which austenite (γ) and ferrite (α) are mixed or austenite (γ) phase is stable;
A contact step of contacting a specific element or a compound of the specific element to a surface perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate before or after the heat treatment step; and
a phase transformation step in which particles of the specific element or compound are diffused to the surface, and a part of the surface is phase transformed from austenite (γ) to ferrite (α) by the diffusion;
including,
The specific element includes Si,
After the phase transformation step, characterized in that the cube-on-face texture (cube-on-face texture) having a {100} plane parallel to the plane is formed on the part of the plane,
A method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
형성된 상기 큐브 온 페이스 집합조직은, 상기 금속판재의 표면에서 35% 분율 이상에서 96.8% 분율 이하인 것을 특징으로 하는,
확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법.
According to claim 1,
The cube-on-face texture formed is characterized in that the fraction is greater than or equal to 35% and less than or equal to 96.8% on the surface of the metal plate,
A method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion.
제1항에 있어서,
형성된 상기 큐브 온 페이스 집합조직은, ±15도 이하의 오차범위 내에서 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 것을 특징으로 하는,
확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법.
The method of claim 1,
The cube-on-face texture formed is characterized in that it has a {100} plane parallel to the plane within an error range of ±15 degrees or less,
A method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물의 접촉은, 증착 또는 코팅에 의한 것을 특징으로 하는,
확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법.
According to claim 1,
The contact of the specific element or the compound of the specific element is characterized in that by vapor deposition or coating,
A method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion.
제1항에 있어서,
상기 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물의 접촉은, 상기 열처리 단계 이전에 이루어지고,
상기 열처리 단계의 상기 열처리는, 배치 소둔에 의한 것을 특징으로 하는,
확산을 이용한 큐브 온 페이스 텍스쳐 제조방법.
According to claim 1,
The contact of the specific element or the compound of the specific element is made before the heat treatment step,
The heat treatment of the heat treatment step is characterized in that by batch annealing,
A method for manufacturing a cube-on-face texture using diffusion.
전기강판의 제조방법으로서,
0.96wt%Si 내지 2wt%Si를 포함하는 철계 합금을 포함하는 금속판재를 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역 또는 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역에서 열처리하는 열처리 단계;
상기 열처리 단계 이전 또는 이후에 상기 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면에 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물을 접촉시키는 접촉 단계; 및
상기 특정 원소 또는 상기 화합물의 입자가 상기 면으로 확산되고, 상기 확산에 의해 상기 면의 일부가 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로 상변태 되는 상변태 단계;
를 포함하고,
상기 특정 원소는 Si를 포함하며,
상기 상변태 단계 이후에, 상기 면의 상기 일부에 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)이 형성된 상기 전기강판이 제조되는 것을 특징으로 하는,
확산을 이용한 전기강판 제조방법.
A method for manufacturing an electrical steel sheet, comprising:
A heat treatment step of heat-treating a metal sheet comprising an iron-based alloy containing 0.96 wt% Si to 2 wt% Si in an ideal region in which austenite (γ) and ferrite (α) are mixed or austenite (γ) phase is stable;
A contact step of contacting a specific element or a compound of the specific element to a surface perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal plate before or after the heat treatment step; and
a phase transformation step in which particles of the specific element or compound are diffused to the surface, and a part of the surface is phase transformed from austenite (γ) to ferrite (α) by the diffusion;
including,
The specific element includes Si,
After the phase transformation step, characterized in that the electrical steel sheet is manufactured in which a cube-on-face texture having a {100} plane parallel to the plane is formed on the part of the plane,
A method for manufacturing an electrical steel sheet using diffusion.
삭제delete 삭제delete 제9항에 있어서,
형성된 상기 큐브 온 페이스 집합조직은, 상기 금속판재의 표면에서 35% 분율 이상에서 96.8% 분율 이하인 것을 특징으로 하는,
확산을 이용한 전기강판 제조방법.
10. The method of claim 9,
The cube-on-face texture formed is characterized in that the fraction is greater than or equal to 35% and less than or equal to 96.8% on the surface of the metal plate,
A method for manufacturing an electrical steel sheet using diffusion.
제9항에 있어서,
형성된 상기 큐브 온 페이스 집합조직은, ±15도 이하의 오차범위 내에서 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 것을 특징으로 하는,
확산을 이용한 전기강판 제조방법.
10. The method of claim 9,
The cube-on-face texture formed is characterized in that it has a {100} plane parallel to the plane within an error range of ±15 degrees or less,
A method for manufacturing an electrical steel sheet using diffusion.
삭제delete 제9항에 있어서,
상기 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물의 접촉은, 증착 또는 코팅에 의한 것을 특징으로 하는,
확산을 이용한 전기강판 제조방법.
10. The method of claim 9,
The contact of the specific element or the compound of the specific element is characterized in that by vapor deposition or coating,
A method for manufacturing an electrical steel sheet using diffusion.
제9항에 있어서,
상기 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물의 접촉은, 상기 열처리 단계 이전에 이루어지고,
상기 열처리 단계의 상기 열처리는, 배치 소둔에 의한 것을 특징으로 하는,
확산을 이용한 전기강판 제조방법.
10. The method of claim 9,
The contact of the specific element or the compound of the specific element is made before the heat treatment step,
The heat treatment of the heat treatment step is characterized in that by batch annealing,
A method for manufacturing an electrical steel sheet using diffusion.
0.96wt%Si 내지 2wt%Si를 포함하는 철계 합금을 포함하는 금속판재를 오스테나이트(γ)와 페라이트(α)가 혼재하는 이상영역 또는 오스테나이트(γ) 상이 안정한 영역에서 열처리하고, 상기 열처리의 이전 또는 이후에 상기 금속판재의 ND(Normal Direction)에 수직인 면에 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물을 접촉시켜, 상기 특정 원소 또는 상기 화합물의 입자가 상기 면으로 확산되고, 상기 확산에 의해 상기 면의 일부가 오스테나이트(γ)에서 페라이트(α)로 상변태 되고, 상기 특정 원소는 Si를 포함하며, 상기 상변태 이후에 상기 면의 상기 일부에 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 큐브 온 페이스 집합조직(cube-on-face texture)이 형성되도록 제조된, 전기강판.
A metal sheet comprising an iron-based alloy containing 0.96 wt% Si to 2 wt% Si is heat-treated in an ideal region in which austenite (γ) and ferrite (α) are mixed or in a region in which the austenite (γ) phase is stable, and By contacting a specific element or a compound of the specific element to the surface perpendicular to the ND (Normal Direction) of the metal sheet before or after or after, the particles of the specific element or the compound are diffused to the surface, and by the diffusion A part of the face is phase transformed from austenite (γ) to ferrite (α), the specific element contains Si, and after the phase transformation, the cube on the part of the face has a {100} face parallel to the face An electrical steel sheet manufactured to form a cube-on-face texture.
삭제delete 삭제delete 제17항에 있어서,
형성된 상기 큐브 온 페이스 집합조직은, 상기 금속판재의 표면에서 35% 분율 이상에서 96.8% 분율 이하인 것을 특징으로 하는,
전기강판.
18. The method of claim 17,
The cube-on-face texture formed is characterized in that the fraction is greater than or equal to 35% and less than or equal to 96.8% on the surface of the metal plate,
electric steel plate.
제17항에 있어서,
형성된 상기 큐브 온 페이스 집합조직은, ±15도 이하의 오차범위 내에서 상기 면과 평행한 {100}면을 갖는 것을 특징으로 하는,
전기강판.
18. The method of claim 17,
The cube-on-face texture formed is characterized in that it has a {100} plane parallel to the plane within an error range of ±15 degrees or less,
electric steel plate.
삭제delete 제17항에 있어서,
상기 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물의 접촉은, 증착 또는 코팅에 의한 것을 특징으로 하는,
전기강판.
18. The method of claim 17,
The contact of the specific element or the compound of the specific element is characterized in that by vapor deposition or coating,
electric steel plate.
제17항에 있어서,
상기 특정 원소 또는 상기 특정 원소의 화합물의 접촉은, 상기 열처리의 이전에 이루어지고,
상기 열처리는, 배치 소둔에 의한 것을 특징으로 하는,
전기강판.

18. The method of claim 17,
The contact of the specific element or the compound of the specific element is made before the heat treatment,
The heat treatment is characterized in that by batch annealing,
electric steel plate.

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