KR20140091340A - 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치 - Google Patents

노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치 Download PDF

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KR20140091340A
KR20140091340A KR1020130003501A KR20130003501A KR20140091340A KR 20140091340 A KR20140091340 A KR 20140091340A KR 1020130003501 A KR1020130003501 A KR 1020130003501A KR 20130003501 A KR20130003501 A KR 20130003501A KR 20140091340 A KR20140091340 A KR 20140091340A
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김종수
송영열
이창환
변지호
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나노전광 주식회사
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Abstract

본 발명은 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치에 관한 것으로서, 상기 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치의 한 예는 고정판, 제1 부분과 상기 제1 부분과 연결되어 있는 제2 부분을 구비하고, 상기 고정판 위에 힌지 결합되어 있는 제1 레버, 상기 고정판 위에 힌지 결합되어 상기 제1 레버와 중첩되어 위치하는 제2 레버, 상기 고정판 위에 상기 제1 및 제2 레버와 인접하게 위치하는 렌즈 프레임, 상기 렌즈 프레임에 에워싸여져 있는 제2 렌즈부, 상기 제2 부분에 삽입되어 회전하고, 상기 회전 정도에 따라 상기 X 방향으로의 이동 정도가 변하여 상기 제1 레버를 Y방향으로 이동시키는 Y방향 위치 조정기, 상기 렌즈 프레임에 삽입되어 회전하고, 상기 회전 정도에 따라 상기 X 방향으로의 이동 정도가 변하여 상기 렌즈부를 상기 X방향으로 이동시키는 X방향 위치 조정기, 상기 제1 및 제2 레버와 상기 렌즈 프레임 사이에 위치하고, 상기 제1 레버와 상기 제2 레버의 이동에 따라 상기 Y 방향으로의 위치가 변하여 상기 렌즈부를 상기 Y 방향으로 이동시키는 위치 조정핀, 그리고 상기 렌즈부와 상기 렌즈 프레임에 위치한 렌즈 고정 나사에 걸쳐 있고 상기 렌즈부의 위치를 유지하는 철선을 구비한다.

Description

노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치{LENS POSITION ADJUSTMENT APPARATUS FOR EXPOSURE SYSTEM}
본 발명은 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치에 관한 것이다.
빛에 반응하는 물질인 감광액(photo-resist)이 코팅된 피노광체(예, 반도체 기판)에 원하는 패턴을 형성하는 노광 시스템은 피노광체 위에 위치하고 원하는 패턴을 갖는 마스크(mask) 위에 광원으로부터 출력되는 빛(예를 들어, 자외선)을 노광시키고, 이로 인해 마스크를 통과하여 입사되는 빛을 피노광체에 조사시켜 피노광체에 원하는 패턴을 전사시키는 장치이다.
노광 시스템은 액정 표시 장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 표시 장치(PDP, plasma display panel), 인쇄 회로 기판(PCB, printed circuit board), 유기 발광 표시 장치(OLED, organic light emitting diode display) 등과 같은 반도체 장치에 많이 사용하고 있다.
이러한 노광 시스템은 해당 위치에 고정 설치된 광원으로부터 발산되는 빛을 노광 스테이지 상에 위치한 피노광체의 전면에 일괄적으로 조사시키는 구조를 갖고 있다.
이때, 빛이 피노광체의 전면에 균일하게 조사될 수 있도록 광원과 피노광체 사이에 렌즈와 미러(mirror) 등을 구비한 광학 장치가 존재한다.
이때, 렌즈는 광원에서 출력되는 빛을 피노광체 위에 균일하게 확산시키기 위해 플라이 아이 렌즈(fly eyed lens)가 사용된다.
비용 절감을 위해, 서로 다른 방향으로 돌출되어 있는 볼록부를 갖는 서로 다른 두 개의 플라이 아이 렌즈를 서로 교차되게 위치시켜 실린더형 플라이 아이 렌즈(cylindrical fly eyed lens)를 구성하게 된다.
이때, 서로 다른 위치에 위치한 플라이 아이 렌즈의 위치가 정확하게 조정되지 않을 경우, 실린더형 플라이 아이 렌즈의 성능이 약화되어 피노광체로 조사되는 빛의 균일도가 감소하는 문제가 발생한다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 노광 시스템에서 실린더형 플라이 아이 렌즈를 구현하기 위해 설치된 플라이 아이 렌즈의 위치를 좀더 용이하게 편리하게 조정하기 위한 것이다.
본 발명의 한 특징에 따른 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치는 고정판, X방향으로 뻗어 있는 제1 부분과 상기 제1 부분과 연결되어 있고 Y방향으로 연결되어 있는 제2 부분을 구비하고, 상기 고정판 위에 힌지 결합되어 있는 제1 레버, 상기 고정판 위에 힌지 결합되어 상기 제1 레버와 중첩되어 위치하며, 상기 제1 레버의 이동에 의해 이동하는 제2 레버, 상기 고정판 위에 상기 제1 및 제2 레버와 인접하게 위치하는 렌즈 프레임, 상기 렌즈 프레임에 에워싸여져 있는 제2 렌즈부, 상기 제1 레버의 상기 제2 부분에 삽입되어 회전하고, 상기 회전 정도에 따라 상기 X 방향으로의 이동 정도가 변하여 상기 제1 레버를 Y방향으로 이동시키는 Y방향 위치 조정기, 상기 렌즈 프레임에 삽입되어 회전하고, 상기 회전 정도에 따라 상기 X 방향으로의 이동 정도가 변하여 상기 렌즈부를 상기 X방향으로 이동시키는 X방향 위치 조정기, 상기 제1 레버와 상기 렌즈 프레임 사이 그리고 상기 제2 레버와 상기 렌즈 프레임 사이에 위치하고, 상기 제1 레버와 상기 제2 레버의 이동에 따라 상기 Y 방향으로의 위치가 변하여 상기 렌즈부를 상기 Y 방향으로 이동시키는 위치 조정핀, 그리고 상기 렌즈부와 상기 렌즈 프레임에 위치한 렌즈 고정 나사에 걸쳐 있고 상기 렌즈부의 위치를 유지하는 철선을 포함한다.
상기 제1 레버는 'L'자 형상을 가질 수 있다.
상기 제2 레버는 일자 형상을 가질 수 있다.
상기 특징에 따른 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치는 상기 고정판 하부 케이스 위에 위치하고 제2 간격 조정 구멍을 구비하고 있는 베이스판, 상기 고정판과 상기 베이스판 사이에 위치하는 제1 렌즈부, 상기 제2 간격 조정 구멍에 삽입되어 상기 베이스판 위로 도출되는 간격 조정기, 그리고 상기 베이스판 위에 도출된 상기 간격 조정기에 삽입되어 상기 제1 렌즈부를 지지하고 있는 탄성 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 특징에 따른 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치는 상기 베이스판 하부에 위치하고, 상기 제2 간격 조정 구멍과 대응되는 위치에 위치하고 상기 간격 조정기가 삽입되는 상기 제1 간격 조정 구멍을 구비한 하부 케이스를 더 포함할 수 있다.
이러한 특징에 따르면, 제2 렌즈부의 간격과 X방향 및 Y방향으로의 위치 이동이 간격 조정기, X 방향 및 Y방향 위치 조정기의 간단한 회전 동작만으로 이루어지므로, 사용자의 편리성이 향상된다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치의 개력적인 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 Y방향 위치 조정부, 렌즈 프레임 및 제2 플라이 아이 렌즈부의 조립도이다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치에서 X방향과 Y방향으로 제2 플라이 아이 렌즈부의 위치를 조정할 때의 동작 상태를 도시한 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
그러면 첨부한 도 1 및 도 2를 참고로 하여 본 발명의 한 실시예에 따른 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치의 구조에 대하여 설명한다.
본 발명의 한 실시예에 따른 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치(100)는 대략 사각형 형상을 갖고 복수의 제1 간격 조정구멍(11)을 구비한 하부 케이스(bottom case)(10), 하부 케이스(10) 위에 위치하며 복수의 제2 간격 조정 구멍(21)을 구비한 베이스판(base plate)(20), 복수의 제1 및 제2 간격 조정 구멍(11, 21)에 차례로 삽입되는 복수의 간격 조정기(31), 베이스판(20)에 위치한 복수의 제2 간격 조정 구멍(21)에 삽입된 복수의 간격 조정기(31) 각각에 삽입되는 복수의 탄성 부재(32), 베이스판(20) 위에 위치하며, 제1 플라이 아이 렌즈(fly eyed lens)(41)를 구비하고 복수의 탄성 부재(32)에 접해 있는 제1 플라이 아이 렌즈부(이하, '제1 렌즈부'라 함)(40), 제1 렌즈부(40) 위에 위치하는 Y 방향 위치 조정부(50), 가운데 부분에 대략 사각형의 빈 공간을 구비하고 있고 Y방향과 교차하는 X방향 나사홈(61)이 위치하는 렌즈 프레임(60), 렌즈 프레임(60)의 빈 공간에 위치하여 렌즈 프레임(60)에 의해 에워싸여져 있고, 제2 플라이 아이 렌즈(71)를 구비한 제2 플라이 아이 렌즈부(이하, '제2 렌즈부'라 함)(70), X방향 나사홈(61)에 삽입되고 X방향으로 제2 렌즈부(70)의 위치를 조정하는 X방향 위치 조정기(80), 렌즈 프레임(60)과 제2 렌즈부(70)에 위치한 렌즈 고정 나사홈(63, 73)에 삽입되는 렌즈 고정 나사(90), 렌즈 고정 나사(90)에 걸쳐 위치하는 철선(100), 그리고 렌즈 프레임(60) 위에 위치하고, 한 측면에 제1 및 제2 위치 조정홀(111, 112)을 구비하며, 하부 케이스(10)와 결합되는 상부 케이스(110)를 구비한다.
하부 케이스(10)는 가운데 부분에 광원(도시하지 않음)에서 출력되는 빛이 통과하는 제1 구멍(12)을 구비하고 있다.
이때, 복수의 제1 간격 조정 구멍(11)은 제1 구멍(12)을 중심으로 하여 일정한 간격으로 배치되어 있고, 본 예에서, 복수의 제1 간격 조정 구멍(11)은 대략 정삼각형 형상으로 배치되어 있다.
본 예에서, 복수의 제1 간격 조정 구멍(11)의 개수는 세 개이지만 이에 한정되지 않고 필요에 따라 변경된다.
베이스판(20) 또한 대략 사각형 형상을 갖고 있고, 가운데 부분에 하부 케이스(10)의 제1 구멍(12)과 대응되게 위치하는 제2 구멍(22)을 갖고 있다.
이때, 제2 구멍(22)은 제1 구멍(12)과 대응되게 위치하므로, 제1 구멍(12)과 제2 구멍(22)은 중첩되고, 제2 구멍(22)의 지름은 제1 구멍(12)의 지름과 동일하지만, 서로 상이할 수 있다. 제2 구멍(22) 역시 제1 구멍(12)과 동일하게 광원으로부터 출력되는 빛을 통과시키는 광로로 기능한다.
복수의 제2 간격 조정 구멍(21)는 하부 케이스(10)에 위치한 복수의 제1 간격 조정 구멍(11)에 대응되는 위치한다.
따라서, 복수의 제2 간격 조정 구멍(21) 역시 제2 구멍(22)을 중심으로 일정한 간격으로 배치되고, 복수의 제1 간격 조정 구멍(21)과 동일하게 복수의 제2 간격 조정 구멍(21) 역시 삼각형 형상으로 배치된다. 따라서, 각 제2 간격 조정 구멍(21)은 제1 간격 조정 구멍(11)과 중첩되게 위치한다.
복수의 간격 조정기(31) 각각은 나사나 볼트로 이루어질 수 있고, 본 예에서, 각 간격 조정기(31)는 육각 렌치 볼트로 이루어져 있다.
이러한 간격 조정기(31) 각각은 하부 케이스(10)와 베이스판(20)에 각각 형성된 제1 및 제2 간격 조정 구멍(11, 12) 속에 차례로 삽입된다.
이때, 베이스판(20)을 통과한 간격 조정기(31)에 탄성 부재(32)가 삽입된다.
본 예에서, 탄성 부재(32)는 스프링(spring)이다.
따라서, 제1 렌즈부(40)와 베이스판(20) 사이는 탄성 부재(32)의 탄성에 위해 정해진 간격이 유지된다.
제1 렌즈부(40)는 이미 설명한 것처럼, 제1 렌즈(41)를 구비하고 있고 이 제1 렌즈(41)를 에워싸고 있는 프레임(42)를 구비한다.
이때, 제1 렌즈(41)는 베이스판(20)과 하부 케이스(10)에 각각 위치한 제2 및 제1 구멍(22, 12)에 대응되게 위치한다.
프레임(42)은 간격 조정기(31)에 삽입되어 있는 탄성 부재(32)와 접해 있다.
Y방향 위치 조정부(50)는 고정판(51), 고정판(51) 위에 위치하고, X 방향으로 뻗어있는 제1 부분과 X 방향과 교차하는 Y방향으로 뻗어 있는 제2 부분을 구비하여, 대략 'L'자 형상을 갖는 제1 레버(lever)(52), X방향으로 뻗어 대략 일자 형상을 갖고 하부판(51) 위에 위치하며, 제1 레버(52)와 힌지 결합되어 있는 제2 레버(53), 제1 및 제2 레버(52, 53)를 하부판(51)에 결합하는 제1 및 제2 레버핀(54, 55), 렌즈 프레임(60)의 한 측면에 삽입되고, 제2 레버(53)의 이동에 따라 제2 렌즈부(70)를 위치를 Y 방향으로 이동을 제어하는 위치 조정핀(56), 그리고 제1 레버(52)의 제2 부분 쪽으로 이동하여 제2 부분과 접하는 Y방향 위치 조정기(57)를 구비한다.
고정판(51)은 양 단부에 형성된 제1 및 제2 레버 삽입홀(51a, 51b)를 구비한다.
따라서, 제1 레버 핀(54)은 제1 레버(52)에 위치한 제1 홀(521)과 제1 레버 핀 삽입홀(51a)에 삽입되고, 이로 인해, 제1 레버(52)는 제1 레버 핀(54)에 의해 고정판(51)에 힌지 결합되고, 제2 레버 핀(55)은 제2 레버(53)에 위치한 제2 홀(531)과 제2 레버 핀 삽입홀(51b)에 삽입되고, 이로 인해, 제2 레버(52)는 제2 레버 핀(55)에 의해 고정판(51)에 힌지 결합된다.
이때, 제1 홀(521)은 제1 부분과 제2 부분이 연결되는 부분에 위치하고, 제2 홀(531)은 단부에 위치한다.
제1 레버(52)에서, 제1 부분이 돌출되어 있지 않는 제2 부분의 단부는 제2 레버(53)의 단부와 중첩되고, 이때, 중첩되는 부분에 위치한 제1 부분은 홈이 형성되어 제2 레버(53)의 단부가 위치하도록 한다.
또한, 제2 레버(53)의 단부에서, 렌즈 프레임(60)의 한 측면과 접하는 부분은 정해진 각도로 경사져 있어, 제2 레버(53)의 단부는 경사진 부분을 갖고 있다.
위치 조정핀(56)는 제1 레버(52)의 이동에 의해 제2 레버 핀(55)을 중심으로 렌즈 프레임(60) 쪽으로 제2 레버(53)가 이동할 때, 제1 및 제2 레버(53)에 밀려 렌즈 프레임(60) 내에 위치한 제2 렌즈부(70)를 Y 방향으로 민다.
따라서, 위치 조정핀(56) 각각은 제1 및 제2 레버(53)의 한 면 즉, 렌즈 프레임(60)의 인접한 면과 접해 있다.
Y방향 위치 조정기(57)는 나사산을 구비한 나사나 볼트로 이루어질 수 있다
Y방향 위치 조정기(57)의 회전 동작에 의해 제1 레버(52)의 제1 부분의 측면에 접하게 되고, 접한 상태에서 Y방향 위치 조정기(57)를 제1 레버(52)쪽으로 이동하도록 Y방향 위치 조정기(57)를 회전시키면, 제1 레버(52)는 중첩해 있는 제2 레버(53)를 렌즈 프레임(60) 쪽으로 이동시키는 방향으로 제1 레버 핀(54)를 중심으로 회전하게 된다.
따라서, 제2 레버(53)의 회전 동작에 의해 위치 조정핀(56)이 Y 방향으로 이동하게 되어 렌즈 프레임(60) 내에 위치한 제2 렌즈부(70)를 Y 방향으로 이동시킨다.
이때, 제2 렌즈부(70)의 이동량을 위치 조정핀(56)의 이동량에 정해지고, 위치 조정핀(56)의 이동량은 제2 레버(53)의 회전량에 정해지며, 제2 레버(53)의 회전량은 Y방향 위치 조정기(57)의 이동량에 따라 정해진다.
렌즈 프레임(60)은, 이미 설명한 것처럼, 제2 렌즈부(70)를 내장하고 있으므로, 가운데 부분에 형성된 빈 공간의 형상을 제2 렌즈부(70)의 형상과 유사한다.
렌즈 프레임(60)은 X방향 나사홈(61) 뿐만 아니라 복수의 위치 조정핀(56)이 각각 삽입되고 수평 방향으로는 렌즈 프레임(60)을 관통하는 복수의 조정핀 삽입홈(62), 그리고 렌즈 프레임(60)을 수직 방향으로 관통하는 복수의 렌즈 고정 나사홈(63), 그리고 렌즈 프레임(60)의 측면을 관통하게 형성된 위치 이동홈(64)을 구비한다.
X방향 나사홈(61)은 자신이 위치한 렌즈 프레임(60)의 테두리의 가운데 부분에 위치한다.
복수의 조정핀 삽입홈(62)은 렌즈 프레임(60)의 동일한 측면에 서로 이격되게 위치한다.
두 개의 위치 조정핀(56)은 조정핀 삽입홈(62)에 각각 삽입되어 렌즈 프레임(60) 내에 위치하는 제2 렌즈부(70)를 Y 방향으로 이동시킨다.
본 예에서, 복수의 렌즈 고정 나사홈(63)의 개수는 두 개이다.
사각형 형태로 연결되게 배열되어 렌즈 프레임(60)을 구성하는 네 개의 테두리 중에서, 두 개의 렌즈 고정 나사홈(63)은 X 방향 나사홈(61)이 위치하지 않고 서로 이웃하여 연결되어 있는 두 개의 테두리에 각각 위치한다.
렌즈 프레임(60)의 네 개의 테두리 중에서, 위치 조정핀 삽입홈(62)은 X 방향 나사홈(61)과 렌즈 고정 나사홈(63)이 위치하지 않는 나머지 하나의 테두리에 위치한다.
위치 이동홈(64)은 고정 나사홈(63)이 위치한 두 개의 테두리 중 하나의 테두리에 위치하고 위치 조정핀 삽입홈(62)과 마주보고 있으며, X 방향 나사홈(61)는 고정 나사홈(63)이 위치한 두 개의 테두리 중 나머지 하나의 테두리와 마주보는 면에 위치한다.
제2 렌즈부(70)는 제1 렌즈부(40)와 동일하게 제2 렌즈(71)를 에워싸고 있는 프레임(72)을 구비하고 있다. 추가로 렌즈 프레임(60)의 위치 이동홈(64)과 마주보고 있는 측면에 위치하고 위치 이동홈(64)에 삽입되어, 위치 이동홈(64)을 따라 X 방향과 Y 방향으로 이동하는 걸림핀(74)을 구비한다.
따라서, X 방향으로의 제2 렌즈부(70)의 이동 범위는 위치 이동홈(64)의 폭에 따라 정해지고, Y 방향으로의 제2 렌즈부(70)의 이동 범위는 걸림핀(74)의 길이에 따라 정해진다.
제2 렌즈(71)의 볼록부의 연장 방향은 제1 렌즈(41)의 볼록부의 연장 방향과 서로 교차하고, 한 예로서 90도로 직교할 수 있다.
이러한 제2 렌즈(71)는 제1 렌즈(41)와 함께 실린더형 플라이 아이 렌즈(cylindrical fly eyed lens)를 구성한다.
X방향 위치 조정기(80)는 나사산을 구비한 나사나 볼트를 이루어질 수 있고, 렌즈 프레임(60)의 X방향 나사홈(61)에 삽입되고 X방향 나사홈(61)을 따라 이동한다.
따라서, X방향 위치 조정기(80)의 회전에 의해 렌즈 프레임(60) 내에 위치하는 제2 렌즈부(70)는 X 방향으로 움직인다.
이때, 복수의 렌즈 고정 나사(90)의 개수는 세 개이고, 이들 렌즈 고정 나사(90) 각각은 수직 방향으로 형성된 렌즈 고정 나사홈(63, 73)에 각각 삽입된다.
철선(100)은 도 2에 도시한 것처럼, 세 개의 렌즈 고정 나사(90)에 각각 걸려 있다.
따라서, 렌즈 프레임(60) 내에 위치하는 제2 렌즈부(70)는 이 철선(100)에 작용하는 탄성에 의해 렌즈 프레임(60) 내에서 정해진 위치를 유지한다.
상부 케이스(110)는 정해진 높이만큼 돌출되어 있는 형상을 갖고 있다. 따라서, 상부 케이스(110)는 하부 케이스(10)와 나사 결합되어, 상부 케이스(110)와 하부 케이스(10) 사이에 위치하는 구성요소들(40, 50, 60, 70)을 보호한다.
이러한 상부 케이스(110)는 가운데 부분에 광원으로부터 출력되는 빛이 입사되는 제3 구멍(113)을 갖고 있다.
이때, 제3 구멍(113)의 형상은 제1 및 제2 렌즈부(40, 70)에 위치한 제1 및 제2 렌즈(41, 71)의 형상과 크기가 동일할 수 있다.
상부 케이스(110)의 제1 위치 조정홀(111)에는 Y방향 위치 조정나사(57)가 관통하여 제1 레버(52)의 제2 부분 쪽으로 이동하고, 상부 케이스(110)의 제2 위치 조정홀(111)에는 X방향 위치 조정기(80)가 관통하여 렌즈 프레임(60)의 X방향 나사홈(61)을 통과해 제2 렌즈부(70) 쪽으로 이동한다.
이와 같이 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치를 구성하는 각 구성요소에는 또한 나사나 볼트 등과 같은 체결 부재를 이용하여 해당 구성요소와의 결합을 위한 복수의 나사홈을 구비하고 있다.
또한, 도 1에 도시하지 않았지만, 본 발명의 한 실시예에 따른 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치는 하부 케이스(10) 하부에 하부 케이스(10)의 제1 구멍(12)을 막게 위치하는 셔터와 이 셔터를 구동하는 모터를 더 구비할 수 있다.
따라서, 모터의 회전 동작에 의해 셔터가 작용하여 제1 구멍을 개폐하게 되고, 셔터의 동작에 의한 제1 구멍의 개폐 동작에 의해 제2 및 제1 렌즈(71, 41)를 통과한 광원의 빛은 하부 케이스(10) 하부에 위치한 목표물에 조사된다.
이러한 구조를 갖는 본 발명의 한 실시예에 따른 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치의 동작은 다음과 같다.
먼저, 제1 및 제2 렌즈부(40, 70)간의 간격이 조정되는 경우에 대하여 설명한다.
하부 케이스(10)와 베이스판(20)의 제1 및 제2 간격 조정 구멍(11, 12)에 각각 삽입되어 있는 간격 조정기(31)에 탄성 부재(32)가 삽입된다.
이로 인해, 제1 렌즈부(40)와 베이스판(20 사이에 탄성 부재(32)가 위치한다.
제1 및 제2 간격 조정 구멍(11, 12)에 삽입되는 간격 조정기(31)의 삽입 정도에 따라 베이스판(20)과 제1 렌즈부(40) 사이에 위치한 탄성 부재(32)의 압축 정도가 달라지게 되고, 이 탄성 부재(32)의 압축 정도에 따라 베이스판(20)과 제1 렌즈부(40) 사이의 간격이 달라진다.
따라서, 베이스판(20) 위에 위에서 탄성 부재(32)에 지지되고 있는 제1 렌즈부(40)의 높이는 탄성 부재(32)의 압축 정도를 변한다.
즉, 간격 조정기(31)의 삽입 정도가 증가할수록 탄성 부재(32)의 압축 정도는 커져 제1 렌즈부(40)의 높이는 낮아지게 된다. 이때, 제2 렌즈부(70)이 높이는 초기 설치 높이에서 변하지 않으므로, 제1 렌즈부(40)의 높이가 낮아지면, 제1 및 제2 렌즈부(70)의 간격을 증가하게 된다.
반대로, 간격 조정기(31)의 삽입 정도가 감소할 수록 탄성 부재(32)의 압축 정도 또한 감소하여 제1 렌즈부(40)의 높이는 증가하게 되므로, 제1 및 제2 렌즈부(70)의 간격을 줄어들게 된다.
이처럼, 간격 조정기(31)의 회전 동작만으로 제1 및 제2 렌즈부(40, 70)에 의해 형성되는 실린더형 플라이 아이 렌즈의 성능이 최대가 되도록 제1 및 제2 렌즈부(4, 70) 간의 간격이 조정하므로, 사용자의 편리성이 향상된다.
다음, 도 2 및 도 3을 참고로 하여, 제2 렌즈부(70)를 X 방향과 Y방향으로 이동시키는 동작에 대하여 설명한다.
먼저, 도 2를 참고로 하여, Y방향 위치 조정부(50), 렌즈 프레임(60), 제2 렌즈부(70), X방향 위치 조정기(80), 렌즈 고정 나사(90) 및 철선(100)의 조립 상태를 설명한다.
먼저, X방향으로 길게 Y방향 위치 조정부(50)의 고정판(51)이 배치되고, 이 고정판(51) 바로 위에 제1 및 제2 레버 핀(54, 55)를 이용하여 제1 및 제2 레버(52, 53)가 장착된다.
본 예에서, 제1 레버(52)와 제2 레버(53)는 각 제1 레버 핀(54)과 제2 레버 핀(55)에 의해 힌지 결합되므로, 제1 레버핀(54)과 제2 레버 핀(55)을 중심으로 각각 회전 동작이 이루어진다.
또한, 고정판(51)의 양 단부에 각각 위치한 제1 및 제2 레버핀 삽입홀(51a, 51b)에 의해 제1 및 제2 레버(52, 53)는 고정판(51) 위에서 제1 레버(52)의 제1 부분의 단부와 제2 레버 핀(55)과 연결되어 있는 않은 제2 레버(53)의 단부는 서로 맞물리게 위치한다.
따라서, 제1 레버(52)의 회전 동작에 의해, 제1 레버(52)의 제1 부분의 단부는 제2 레버(53)의 단부를 렌즈 프레임(60) 쪽으로 밀게 된다.
이때, 제1 레버(52)의 제1 부분의 측면과 제2 레버(53)의 측면은 고정판(51)의 측면과 동일선 상에 위치한다.
제1 레버(52)와 제2 레버(53)가 위치하지 않고 노출된 고정판(51)의 상부 쪽에 렌즈 프레임(60)의 한 테두리, 즉 위치 조정핀 삽입홈(62)이 위치한 테두리에 위치하여 나사 등을 통해 제1 고정판(51)의 상부 쪽과 체결된다.
이때, 렌즈 프레임(60)의 위치 조정핀 삽입홈(62)에는 위치 조정핀(56)이 삽입되어 있고, 두 개의 위치 조정핀(56)은 각각 제1 레버(52)의 제1 부분과 제2 레버(53)에 접해 있다.
또한, 제1 레버(52)의 제2 부분의 단부에는 Y방향 위치 조정기(57)가 삽입된다.
렌즈 프레임(60)의 X방향 나사홈(61)에는 X방향 위치 조정기(80)가 삽입되어 있고, 세 개의 렌즈 고정 나사(90) 중 두 개의 렌즈 고정 나사(90)는 렌즈 프레임(60)의 렌즈 고정 나사홈(63)에 삽입되어 있고, 나머지 하나의 렌즈 고정 나사(90)는 제2 렌즈부(70)의 프레임(72)의 해당 부분에 위치한 렌즈 고정 나사홈(73)에 삽입되어 있다.
또한, 렌즈 프레임(60)의 내부 빈 공간에는 제1 렌즈부(70)가 위치한다. 이때, 렌즈 프레임(60)의 위치 이동홈(64) 속에 제2 렌즈부(70)의 걸림핀(74)이 삽입되어 위치 이동홈(64)에 걸림핀(74)이 걸려 있다.
도 2에 도시한 것처럼, 세 개의 렌즈 고정 나사(90)에 걸쳐 있는 철선(90)의 미는 힘에 의해 제2 렌즈부(70)와 렌즈 프레임(60) 간의 긴장 관계가 유지되어, 제2 렌즈부(70)는 렌즈 프레임(60) 내에 해당 위치에 위치한다.
이러한 조립 상태에서, X방향 나사홈(61)에 삽입된 X방향 위치 조정기(80)를 회전시켜 X방향을 따라 렌즈 프레임(60) 쪽으로 X방향 위치 조정기(80)를 이동시키면, X방향 위치 조정기(80)는 렌즈 프레임(60)를 관통해 제2 렌즈부(90)의 프레임(72)의 한 측면에 닿게 된다. 이 상태에서 X방향 위치 조정기(80)를 렌즈 프레임(60)쪽으로 계속 삽입하게 되면 철선(100)의 장력(tension)을 극복하고 제2 렌즈부(70)는 X 방향으로 움직이게 된다.
따라서, X방향 위치 조정기(80)의 삽입 정도에 따라 위치 이동홈(64)의 폭 범위 내에서 X 방향으로 이동하는 제2 렌즈부(70)의 이동량이 정해지므로, X 방향 위치 조정기(80)의 삽입 정도를 조정하여 X 방향의 원하는 위치에 제2 렌즈부(70)를 위치시킨다.
다음, Y 방향으로 제2 렌즈부(70)의 위치를 조정하는 방법에 대하여 설명한다.
제1 레버(52)의 제2 부분에 삽입된 Y방향 위치 조정기(57)를 회전시켜 렌즈프레임(60) 쪽으로 Y방향 위치 조정기(57)를 이동시키면, Y방향 위치 조정기(57)는 제1 레버(52)의 제2 부분을 관통하여 렌즈 프레임(60)의 해당 측면에 접하게 된다.
이 상태에서 Y방향 위치 조정기(57)가 렌즈 프레임(60) 쪽으로 삽입되면, 렌즈 프레임(60) 쪽으로 더 이상 Y방향 위치 조정기(57)는 이동하지 못하므로 대신 제1 레버(52)가 Y방향 위치 조정기(57)에 형성된 나사산을 따라서 도 3의 ① 방향 쪽으로 이동하게 된다.
이러한 제1 레버(52)의 이동에 의해, 제1 레저(52)는 제1 레버 핀(54)을 중심으로 ②방향으로 이동하게 되고, ② 방향으로 이동한 제1 레버(52)의 제1 부분의 단부는 중첩해있는 제2 레버(53)의 단부를 렌즈 프레임(60)쪽을 밀게 된다.
이러한 제1 및 제2 레버(52, 53)의 회전 동작에 의해, 제1 및 제2 레버(52, 53)가 렌즈 프레임(60) 쪽으로 이동하게 되면, 제1 및 제2 레버(52, 53)에 각각 접해 있는 위치 조정핀(56)을 렌즈 프레임(60)의 내부 공간 쪽으로, 즉 제2 렌즈부(70) 쪽으로 밀게 되고, 이러한 위치 조정핀(56)의 미는 힘이 철선(100)의 장력을 극복하여 Y 방향으로 제2 렌즈부(70)는 움직이게 된다.
이때, Y방향으로 위치 조정핀(56)의 이동 정도는 Y방향 위치 조정기(57)의 삽입 정도에 따라 Y 방향으로의 걸림핀(74)의 이동 정도가 달라져, Y방향 위치 조정기(57)의 삽입 정도에 따라 Y방향의 해당 위치에 제2 렌즈부(70)는 위치하게 된다.
이와 같이, X 방향 위치 조정기(57)와 Y방향 위치 조정기(80)를 각각 조정하여 제2 렌즈부(70)를 X방향과 Y 방향으로 각각 이동시킬 경우, 사용자는 제2 및 제1 렌즈부(70, 40)를 통해 출력되는 빛의 확산 상태와 균일도 등을 육안으로 확인하면서 최적의 위치에 제2 렌즈부(70)가 위치하도록 한다. 따라서, 제2 및 제1 렌즈부(70, 40)의 결합에 의해 최적 조건의 실린더형 플라이 아이 렌즈가 구현되도록 한다.
이처럼, X방향 위치 조정기(57)와 Y방향 위치 조정기(80)의 조정만으로 제2 렌즈부(70)의 위치가 간단하고 용이하게 제어되므로, 사용자의 편리성이 향상된다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
10: 하부 케이스 20: 베이스판,
11: 제1 간격 조정 구멍 12: 제2 간격 조정 구멍,
31: 간격 조정기 32: 탄성 부재
40: 제1 렌즈부 41: 제1 렌즈
50: Y방향 위치 조정부 51: 고정판
52: 제1 레버 53: 제2 레버
54: 제1 레버 핀 55 제1 레버 핀
56: 위치 조정핀 57: Y방향 위치 조정기
60: 렌즈 프레임 61: X방향 나사홈
62: 위치 조정핀 삽입홈 63: 렌즈 고정 나사홈
70: 제2 렌즈부 71: 제2 렌즈
73: 렌즈 고정 나사홈 80: X방향 위치 조정기
90: 렌즈 고정 나사 100: 철선
110: 상부 케이스 111: 제1 위치 조정홀
112: 제2 위치 조정홀

Claims (5)

  1. 고정판,
    X방향으로 뻗어 있는 제1 부분과 상기 제1 부분과 연결되어 있고 Y방향으로 연결되어 있는 제2 부분을 구비하고, 상기 고정판 위에 힌지 결합되어 있는 제1 레버,
    상기 고정판 위에 힌지 결합되어 상기 제1 레버와 중첩되어 위치하며, 상기 제1 레버의 이동에 의해 이동하는 제2 레버,
    상기 고정판 위에 상기 제1 및 제2 레버와 인접하게 위치하는 렌즈 프레임,
    상기 렌즈 프레임에 에워싸여져 있는 제2 렌즈부,
    상기 제1 레버의 상기 제2 부분에 삽입되어 회전하고, 상기 회전 정도에 따라 상기 X 방향으로의 이동 정도가 변하여 상기 제1 레버를 Y방향으로 이동시키는 Y방향 위치 조정기,
    상기 렌즈 프레임에 삽입되어 회전하고, 상기 회전 정도에 따라 상기 X 방향으로의 이동 정도가 변하여 상기 렌즈부를 상기 X방향으로 이동시키는 X방향 위치 조정기,
    상기 제1 레버와 상기 렌즈 프레임 사이 그리고 상기 제2 레버와 상기 렌즈 프레임 사이에 위치하고, 상기 제1 레버와 상기 제2 레버의 이동에 따라 상기 Y 방향으로의 위치가 변하여 상기 렌즈부를 상기 Y 방향으로 이동시키는 위치 조정핀, 그리고
    상기 렌즈부와 상기 렌즈 프레임에 위치한 렌즈 고정 나사에 걸쳐 있고 상기 렌즈부의 위치를 유지하는 철선
    을 포함하는 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 레버는 'L'자 형상을 갖는 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 제2 레버는 일자 형상을 갖고 있는 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치.
  4. 제1항에서,
    상기 고정판 하부 케이스 위에 위치하고 제2 간격 조정 구멍을 구비하고 있는 베이스판,
    상기 고정판과 상기 베이스판 사이에 위치하는 제1 렌즈부,
    상기 제2 간격 조정 구멍에 삽입되어 상기 베이스판 위로 도출되는 간격 조정기, 그리고
    상기 베이스판 위에 도출된 상기 간격 조정기에 삽입되어 상기 제1 렌즈부를 지지하고 있는 탄성 부재
    를 더 포함하는 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치.
  5. 제4항에서,
    상기 베이스판 하부에 위치하고, 상기 제2 간격 조정 구멍과 대응되는 위치에 위치하고 상기 간격 조정기가 삽입되는 상기 제1 간격 조정 구멍을 구비한 하부 케이스를 더 포함하는 노광 시스템용 렌즈 위치 조정 장치.
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