KR20140088998A - Alignment Method for Bonding Substrate and Bare Glass - Google Patents

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Abstract

The present invention provides an aligning method for bonding a substrate to a bare glass which can precisely align the substrate and the bare glass by obtaining images of the substrate and the bare glass facing each other and by aligning relative positions of the bare glass and the substrate, which are disposed by using a separation distance between the outer periphery of the substrate and the outer periphery of the bare glass measured from the obtained images.

Description

기판과 베어 글라스의 합착을 위한 정렬방법 {Alignment Method for Bonding Substrate and Bare Glass}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an alignment method for bonding a substrate and a bare glass,

본 발명은 기판과 기판을 지지하는 베어 글라스(bare glass)를 합착하기 위하여 기판과 베어 글라스의 상대위치를 정렬하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of aligning the relative positions of a substrate and a bare glass in order to attach a substrate and a bare glass supporting the substrate.

일반적으로, 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display；LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel；PDP), 전계 방출 디스플레이(Field Emission Display；FED), 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diode；OLED)와 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display；FPD)는 두 기판 사이에 영상을 구현할 수 있는 소자가 설치되는데, 이와 같은 구조를 가지도록 하기 위해서는 두 기판을 합착하는 공정을 거쳐야 한다.2. Description of the Related Art In general, flat panel displays such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), an organic light emitting diode (OLED) (FPD), a device capable of implementing an image is installed between two substrates. In order to have such a structure, a process of attaching two substrates must be performed.

LCD를 예로 들면, 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT) 기판 및 컬러필터(Color Filter, CF) 기판을 각각 제조한 후, TFT 기판과 CF 기판 사이에 액정층이 구비시키고, TFT 기판과 CF 기판을 합착하여 액정표시패널을 제조한다.For example, a thin film transistor (TFT) substrate and a color filter (CF) substrate are manufactured, and a liquid crystal layer is provided between the TFT substrate and the CF substrate. And they are joined together to manufacture a liquid crystal display panel.

액정표시패널을 제조하기 위한 TFT 기판과 CF 기판의 합착공정에는 합착기가 사용된다.A laminator is used in the laminating process of a TFT substrate and a CF substrate for manufacturing a liquid crystal display panel.

최근, 소비자의 요구와 기술 발달 등에 따라 LCD의 두께가 점차 박막으로 이루어지는 추세에 있다. 0.5t의 LCD가 제조되기도 한다. 이러한 박형 LCD는 합착할 두 박형 기판에 각각 박형 기판을 지지하기 위한 베어 글라스를 합착하여 핸들링이 용이하도록 한 후 합착한다.Recently, the thickness of the LCD gradually becomes thinner according to the demands of the consumers and the development of the technology. 0.5t of LCD is manufactured. These thin LCDs are assembled to two thin substrates to be bonded together by attaching bare glasses for supporting the thin substrates to facilitate handling.

기판과 베어 글라스를 합착하려면 기판과 베어 글라스의 상대위치를 정렬하여야 하나, 아직까지 기판과 베어 글라스의 상대위치를 정밀하게 정렬하기 위한 마땅한 방법이 없는바, 이에 대한 적절한 개선책 마련이 요구되는 실정이다.In order to bond the substrate and the bare glass, the relative positions of the substrate and the bare glass must be aligned. However, there is no proper way to precisely align the relative positions of the substrate and the bare glass. .

본 발명의 목적은 기판과 베어 글라스를 합착하기 위하여 기판과 베어 글라스의 상대위치를 보다 정밀하게 정렬할 수 있는 방법을 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of aligning a relative position of a substrate and a bare glass more precisely so as to adhere the substrate and the bare glass.

본 발명이 해결하려는 과제는 위 과제에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제들은 통상의 기술자(본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자)라면 아래의 기재로부터 명확하게 이해할 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other matters not mentioned can be clearly understood from the following description if they are common knowledge (those skilled in the art to which the present invention belongs).

본 발명의 실시예에 따르면, 기판과 상기 기판에 대응되는 베어 글라스를 서로 나란하게 대향시키는 배치단계와; 어느 한 위치 또는 서로 다른 복수 위치에서 상기 배치된 기판과 베어 글라스에 대한 수직방향으로 촬영을 함으로써 상기 기판의 외곽부가 포함된 상기 베어 글라스의 외곽부에 대한 영상을 획득하는 촬영단계와; 상기 획득된 영상에서 상기 기판의 외주와 상기 베어 글라스의 외주 간의 이격간격을 측정하고 상기 측정된 이격간격에 기초하여 상기 배치된 기판과 베어 글라스의 정렬 여부를 판단하는 판단단계를 포함하는, 기판과 베어 글라스의 합착을 위한 정렬방법이 제공된다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, the method comprising: arranging a substrate and a bare glass corresponding to the substrate in parallel to each other; An imaging step of acquiring an image of an outer portion of the bare glass including an outer portion of the substrate by taking an image in a vertical direction with respect to the arranged substrate and the bare glass at any one position or at a plurality of different positions; And a determination step of determining the alignment distance between the outer periphery of the substrate and the outer periphery of the bare glass in the obtained image and determining whether the aligned substrate and the bare glass are aligned based on the measured spacing, An alignment method for bonding a bare glass is provided.

상기 촬영단계는 사각형 형상인 베어 글라스의 각 모서리 부분 중 적어도 2개 부분을 촬영할 수 있다.The photographing step may photograph at least two portions of each corner of the bare glass having a rectangular shape.

상기 촬영단계는 상기 배치된 베어 글라스 측에서 빛을 제공하고, 맞은편인 상기 배치된 기판 측에서 촬영을 할 수 있다.The photographing step may provide light at the disposed bare glass side, and photographing may be performed at the disposed substrate side opposite to the above.

상기 베어 글라스는 면적이 상기 기판에 비하여 클 수 있다. 그리고, 본 발명의 실시예에 따른 정렬방법은, 상기 판단단계에서 상기 측정된 이격간격이 사전에 정하여 둔 설정간격을 벗어나면, 상기 측정된 이격간격에 기초하여 상기 배치된 기판과 베어 글라스의 상대위치를 정렬하는 정렬단계를 더 포함할 수 있다.The bare glass may have an area larger than that of the substrate. The alignment method according to an embodiment of the present invention is characterized in that when the measured spacing distance in the determination step is out of a preset spacing determined in advance, a relative distance between the disposed substrate and the bare glass And an alignment step of aligning the positions.

또는, 상기 기판과 상기 베어 글라스는 형상이 동일할 수 있다. 그리고, 상기 정렬방법은, 상기 판단단계에서 상기 기판의 외주와 상기 베어 글라스의 외주 간의 이격간격을 측정한 결과 이격간격이 발생되면, 상기 측정된 이격간격에 기초하여 상기 기판의 외주와 상기 베어 글라스의 외주가 일치하도록 상기 배치된 기판과 베어 글라스의 상대위치를 정렬하는 정렬단계를 더 포함할 수 있다.Alternatively, the substrate and the bare glass may have the same shape. The alignment method may further include a step of adjusting the distance between the outer periphery of the substrate and the outer periphery of the bare glass based on the measured spacing distance when the spacing distance is generated as a result of measuring the spacing distance between the outer periphery of the substrate and the outer periphery of the bare glass, And aligning the relative positions of the substrate and the bare glass so that the outer circumferences of the substrate and the bare glass coincide with each other.

위 같은 본 발명의 주요한 과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예(발명을 실시하기 위한 구체적인 내용)나 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이고, 나아가서는 위 같은 본 발명의 주요한 과제의 해결 수단 이외에도 다양한 과제의 해결 수단이 이하에서 추가로 제시될 것이다.The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the present invention when taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: Means for solving various problems besides the means will be further presented below.

본 발명은 서로 대향하도록 배치된 기판과 베어 글라스에 대한 영상을 획득하고, 획득된 영상에서 측정한 기판의 외주와 베어 글라스의 외주 간 이격간격을 이용하여 배치된 기판과 베어 글라스의 상대위치를 정렬하기 때문에, 기판과 베어 글라스를 보다 정밀하게 정렬할 수 있고, 이에 따라 기판과 베어 글라스의 합착공정에 대한 신뢰도를 대폭 향상시킬 수 있다.According to the present invention, an image of a substrate and a bare glass arranged opposite to each other is obtained, and the relative positions of the substrate and the bare glass arranged using the outer circumference of the substrate and the outer circumference of the bare glass measured in the obtained image are aligned Therefore, the substrate and the bare glass can be more precisely aligned, and thus the reliability of the bonding process of the substrate and the bare glass can be greatly improved.

도 1은 본 발명에 따른 정렬방법에 사용되는 장비의 일례를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 장비에 의하여 정렬된 기판과 베어 글라스를 상측에서 본 평면도이다.1 is a schematic view showing an example of equipment used in the alignment method according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view of the substrate and the bare glass arranged by the equipment shown in FIG. 1, viewed from above.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명을 설명하는 데 참조하는 도면에 도시된 구성요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또, 본 발명의 설명에 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 이 용어에 대한 정의는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 내리는 것이 마땅하겠다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For the sake of convenience, the size, line thickness, and the like of the components shown in the drawings referenced in the description of the present invention may be exaggerated somewhat. The terms used in the description of the present invention are defined in consideration of the functions of the present invention, and thus may vary depending on the user, the intention of the operator, customs, and the like. Therefore, the definition of this term should be based on the contents of this specification as a whole.

도 1은 본 발명에 따른 정렬방법에 사용되는 장비의 일례를 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 장비에 의하여 정렬된 기판과 베어 글라스를 나타내는 평면도이다.FIG. 1 is a schematic view showing an example of equipment used in the alignment method according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing a substrate and a bare glass aligned by the equipment shown in FIG.

도 1에서, 도면부호 100은 기판이고, 도면부호 200은 베어 글라스(bare glass)이다.1, reference numeral 100 denotes a substrate, and reference numeral 200 denotes a bare glass.

기판(100)과 베어 글라스(200)는 베어 글라스(200) 상에 기판(100)이 위치하도록 합착된다.The substrate 100 and the bare glass 200 are bonded together such that the substrate 100 is positioned on the bare glass 200.

기판(100)은 사각형의 형상으로 형성된다. 베어 글라스(200)는 면적이 기판(100)에 비하여 약간 큰 사각형의 형상으로 형성된다. 즉, 베어 글라스(200)는 크기가 기판(100)에 대응하여 다소 확대된 형상이다.The substrate 100 is formed in a rectangular shape. The bare glass 200 has a rectangular shape with a slightly larger area than the substrate 100. That is, the bare glass 200 has a slightly enlarged shape corresponding to the size of the substrate 100.

다음, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 정렬방법을 이용하는 기판(100)과 베어 글라스(200)의 합착공정을 살펴본다. 참고로, 도 1에 도시된 장비는 합착기의 일부를 나타낸 것이다.Next, referring to FIGS. 1 and 2, a process of bonding the substrate 100 and the bare glass 200 using the alignment method according to the present invention will be described. For reference, the equipment shown in Fig. 1 shows a part of a joining machine.

기판(100)과 베어 글라스(200)는 합착 시 기판(100)의 외주를 구성하는 서로 대향하는 X축방향 두 변과 베어 글라스(200)의 외주를 성하는 서로 대향하는 X축방향 두 변 사이의 이격간격(G1)이 동일함과 아울러, 기판(100)의 외주를 구성하는 서로 대향하는 Y축방향 두 변과 베어 글라스(200)의 외주를 구성하는 서로 대향하는 Y축방향 두 변 사이의 이격간격(G2)이 동일하여 기판(100)과 베어 글라스(200)의 중심부가 서로 일치하도록 합착이 진행된다.The substrate 100 and the bare glass 200 are arranged such that two mutually opposing X-axis directions constituting the outer periphery of the substrate 100 and two mutually opposed X- Axis direction and two mutually opposed Y-axis directions constituting the outer periphery of the substrate 100 and two Y-axis direction mutually opposing sides constituting the outer periphery of the bare glass 200 So that the adhesion between the substrate 100 and the center portion of the bare glass 200 coincides with each other.

먼저, 합착기의 상부 스테이지에 기판(100)을 지지시키고 하부 스테이지에 베어 글라스(200)를 지지시켜 기판(100)과 베어 글라스(200)를 서로 정면으로 대향하고 수평으로 나란하도록 배치한다.First, the substrate 100 is supported on the upper stage of the cohesive machine, and the bare glass 200 is supported on the lower stage to arrange the substrate 100 and the bare glass 200 so as to face each other and horizontally.

다음, 배치된 기판(100)과 베어 글라스(200)에 대하여 수직방향인 상하방향에서 복수의 촬영기구(카메라)(300)와 조명기구(400)를 이용하여 기판(100)과 베어 글라스(200)의 대응하는 모서리 부분을 같이 각각 촬영함으로써 기판(100)의 모서리 부분이 포함된 베어 글라스(200)의 모서리 부분에 대한 4개 영상을 획득한다.Next, the substrate 100 and the bare glass 200 are irradiated with a plurality of photographing mechanisms (cameras) 300 and a lighting device 400 in the vertical direction perpendicular to the arranged substrate 100 and the bare glass 200, And four corresponding images of the corner portion of the bare glass 200 including the corner portion of the substrate 100 are obtained.

그 다음, 영상처리수단 등을 이용, 획득된 각 영상에서 기판(100)의 외주를 구성하는 X축방향 두 변과 베어 글라스(200)의 외주를 구성하는 X축방향 두 변 사이의 이격간격(이하, 제1이격간격이라 한다.)(G1)을 각각 측정하고 기판(100)의 외주를 구성하는 Y축방향 두 변과 베어 글라스(200)의 외주를 구성하는 Y축방향 두 변 사이의 이격간격(이하, 제2이격간격이라 한다.)(G2)을 각각 측정한다. 그리고, 측정된 각각의 제1이격간격(G1)과 제2이격간격(G2)에 기초하여 배치된 기판(100)과 베어 글라스(200)의 정렬 여부를 판단한다.Next, the two sides in the X-axis direction constituting the outer periphery of the substrate 100 in the respective images obtained by using the image processing means or the like and the distance between the two sides in the X-axis direction constituting the outer periphery of the bare glass 200 (Hereinafter referred to as first spacing distance) G1 are measured, and the two sides in the Y-axis direction constituting the outer periphery of the substrate 100 and the two sides in the Y-axis direction constituting the outer periphery of the bare glass 200 (Hereinafter referred to as a second spacing distance) G2. Then, it is determined whether the substrate 100 and the bare glass 200 are aligned based on the measured first gap G1 and the second gap G2.

다음, 기판(100)과 베어 글라스(200)의 정렬이 요구되면, 측정된 각각의 제1이격간격(G1)과 제2이격간격(G2)에 기초하여 기판(100)과 베어 글라스(200)의 상대위치를 정렬한다.Next, when the substrate 100 and the bare glass 200 are required to be aligned, the substrate 100 and the bare glass 200 are separated based on the measured first and second spacing G1 and G2, As shown in FIG.

그 다음, 기판(100)과 베어 글라스(200)의 상대위치 정렬이 완료되면, 기판(100)과 베어 글라스(200)를 합착한다.Then, when the relative alignment of the substrate 100 and the bare glass 200 is completed, the substrate 100 and the bare glass 200 are bonded together.

촬영기구(300)는 4개가 구비된다. 조명기구(400)는 하나만 구비될 수 있다. 촬영기구(300)와 조명기구(400)는 배치된 기판(100)과 베어 글라스(200)를 사이에 두고 서로 대향하도록 배치된다. 촬영기구(300)는 상부 스테이지 측에 장착하여 기판(100) 측에 위치시키는 것이 바람직하고, 조명기구(400)는 하부 스테이지 측에 장착하여 베어 글라스(200) 측에 위치시키는 것이 바람직하다.Four shooting mechanisms 300 are provided. Only one lighting apparatus 400 may be provided. The photographing mechanism 300 and the lighting device 400 are disposed so as to face each other with the substrate 100 disposed therebetween and the bare glass 200 interposed therebetween. It is preferable that the photographing mechanism 300 is mounted on the upper stage side and positioned on the side of the substrate 100. The lighting mechanism 400 is preferably mounted on the lower stage side and positioned on the side of the bare glass 200. [

기판(100)과 베어 글라스(200)의 정렬 여부는 측정된 각각의 제1이격간격(G1)과 제2이격간격(G2)을 미리 설정하여 놓은 설정간격과 비교하고, 그 결과 측정된 각각의 제1이격간격(G1)과 제2이격간격(G2)이 설정간격을 벗어나면 정렬을 하여야 하는 것으로 판단하는 방식으로 결정될 수 있다.Whether or not the substrate 100 and the bare glass 200 are aligned is determined by comparing the measured first spacing distance G1 and the second spacing distance G2 with a predetermined setting interval, It may be determined that the first and second spacing G1 and G2 are out of the set interval and that alignment is required.

이와 같은 판단방식에 따르면, 제1이격간격(G1)과 제2이격간격(G2)은 모두 측정되지 않을 수 있다. 즉, 제1이격간격(G1)과 제2이격간격(G2) 중 어느 하나, 또는 둘이나 셋만 측정할 수도 있는 것이다. 물론, 이에 따라 구비되는 촬영기구(300)의 개수도 감소될 수 있다.According to this determination method, neither the first separation distance G1 nor the second separation distance G2 may be measured. That is, only one or two or three of the first gap G1 and the second gap G2 may be measured. Of course, the number of the photographing mechanisms 300 thus provided can also be reduced.

기판(100)과 베어 글라스(200)의 상대위치 정렬은 상부 스테이지 및/또는 하부 스테이지를 회전 및/또는 수평방향으로의 직선이동 가능하게 구성하여 상부 스테이지 및/또는 하부 스테이지를 회전 및/또는 이동시킴으로써, 기판(100) 및/또는 베어 글라스(200)를 함께 회전 및/또는 이동시키는 방식으로 이루어질 수 있다.Relative alignment of the substrate 100 and the bare glass 200 can be achieved by rotating and / or horizontally moving the upper stage and / or lower stage to rotate and / or move the upper stage and / Or moving the substrate 100 and / or the bare glass 200 together.

또는, 기판(100)과 베어 글라스(200)의 상대위치 정렬은 하부 스테이지 상에서 베어 글라스(200)를 구동유닛에 의하여 작동하는 얼라인 핀(align pin)으로 밀어 이동시키는 방식으로 진행될 수도 있다.Alternatively, the relative positioning of the substrate 100 and the bare glass 200 may be performed by pushing the bare glass 200 on the lower stage by pushing the bare glass 200 to an align pin operated by the driving unit.

한편, 위에서는 베어 글라스(200)가 기판(100)에 대응하여 다소 확대된 형상을 가지는 것으로 설명하였으나, 이와 달리, 베어 글라스(200)는 기판(100)과 동일한 형상을 가지도록 형성될 수도 있다.In the above description, the bare glass 200 has a somewhat enlarged shape corresponding to the substrate 100. Alternatively, the bare glass 200 may be formed to have the same shape as the substrate 100 .

이와 같은 경우에는 획득된 각 영상에서 기판(100)의 외주를 구성하는 X축방향 두 변과 베어 글라스(200)의 외주를 구성하는 X축방향 두 변 사이의 이격간격이 발생되었는지를 측정하고, 기판(100)의 외주를 구성하는 Y축방향 두 변과 베어 글라스(200)의 외주를 구성하는 Y축방향 두 변 사이의 이격간격이 발생되었는지를 측정한 후, 이격간격이 발생되면 측정된 이격간격에 기초하여 기판(100)과 베어 글라스(200)의 상대위치를 정렬함으로써 기판(100)의 외주(특히, 모서리)와 베어 글라스(200)의 외주(특히, 모서리)를 일치시킨 상태에서 합착을 진행할 수 있다.In this case, it is determined whether or not a distance between the two sides in the X-axis direction constituting the outer periphery of the substrate 100 and a distance between two sides in the X-axis direction constituting the outer periphery of the bare glass 200, After measuring whether the two sides in the Y axis direction constituting the outer periphery of the substrate 100 and the spacing between the two sides in the Y axis direction constituting the outer periphery of the bare glass 200 are generated, By aligning the relative positions of the substrate 100 and the bare glass 200 on the basis of the gap between the outer periphery (in particular, the edge) of the substrate 100 and the outer periphery (in particular, the edge) of the bare glass 200, .

이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

100 : 보호유리
200 : 액정표시패널
300 : 촬영기구
400 : 조명기구100: protective glass
200: liquid crystal display panel
300:
400: Lighting fixture

Claims (5)

기판과 상기 기판에 대응되는 베어 글라스를 서로 나란하게 대향시키는 배치단계와;
어느 한 위치 또는 서로 다른 복수 위치에서 상기 배치된 기판과 베어 글라스에 대한 수직방향으로 촬영을 함으로써 상기 기판의 외곽부가 포함된 상기 베어 글라스의 외곽부에 대한 영상을 획득하는 촬영단계와;
상기 획득된 영상에서 상기 기판의 외주와 상기 베어 글라스의 외주 간의 이격간격을 측정하고 상기 측정된 이격간격에 기초하여 상기 배치된 기판과 베어 글라스의 정렬 여부를 판단하는 판단단계를 포함하는, 기판과 베어 글라스의 합착을 위한 정렬방법.A placement step of placing the substrate and the bare glass corresponding to the substrate in parallel to each other;
An imaging step of acquiring an image of an outer portion of the bare glass including an outer portion of the substrate by taking an image in a vertical direction with respect to the arranged substrate and the bare glass at any one position or at a plurality of different positions;
And a determination step of determining the alignment distance between the outer periphery of the substrate and the outer periphery of the bare glass in the obtained image and determining whether the aligned substrate and the bare glass are aligned based on the measured spacing, Alignment method for bonding a bare glass. 청구항 1에 있어서,
상기 촬영단계는 사각형 형상인 베어 글라스의 각 모서리 부분 중 적어도 2개 부분을 촬영하는, 기판과 베어 글라스의 합착을 위한 정렬방법.The method according to claim 1,
Wherein the photographing step photographs at least two portions of each corner of the bare glass having a rectangular shape, for aligning the substrate and the bare glass. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 촬영단계는 상기 배치된 베어 글라스 측에서 빛을 제공하고, 맞은편인 상기 배치된 기판 측에서 촬영을 하는, 기판과 베어 글라스의 합착을 위한 정렬방법.The method according to claim 1 or 2,
Wherein the imaging step provides light at the disposed bare glass side and takes a picture at the side of the disposed substrate opposite to the alignment side. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 베어 글라스는 면적이 상기 기판에 비하여 크고,
상기 정렬방법은, 상기 판단단계에서 상기 측정된 이격간격이 사전에 정하여 둔 설정간격을 벗어나면, 상기 측정된 이격간격에 기초하여 상기 배치된 기판과 베어 글라스의 상대위치를 정렬하는 정렬단계를 더 포함하는, 기판과 베어 글라스의 합착을 위한 정렬방법.The method according to claim 1 or 2,
The bare glass has an area larger than that of the substrate,
The aligning method may further include a aligning step of aligning the relative positions of the disposed substrate and the bare glass on the basis of the measured spacing distance when the measured spacing distance exceeds a predetermined spacing previously determined in the determining step A method for aligning a substrate and a bare glass. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 기판과 상기 베어 글라스는 형상이 동일하고,
상기 정렬방법은, 상기 판단단계에서 상기 기판의 외주와 상기 베어 글라스의 외주 간의 이격간격을 측정한 결과 이격간격이 발생되면, 상기 측정된 이격간격에 기초하여 상기 기판의 외주와 상기 베어 글라스의 외주가 일치하도록 상기 배치된 기판과 베어 글라스의 상대위치를 정렬하는 정렬단계를 더 포함하는, 기판과 베어 글라스의 합착을 위한 정렬방법.The method according to claim 1 or 2,
Wherein the substrate and the bare glass have the same shape,
The alignment method may further comprise a step of adjusting the distance between the outer periphery of the substrate and the outer periphery of the bare glass based on the measured spacing distance as a result of measuring a spacing distance between the outer periphery of the substrate and the outer periphery of the bare glass, And aligning the relative position of the disposed substrate with the bare glass so that the alignment of the substrate and the bare glass coincides with each other.
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