KR20140084394A - Photosensitive Resin Composition and Dry Film Photoresist Formed Thereof - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a photosensitive resin composition and a dry film photoresist manufactured therefrom and, more specifically, provides a photosensitive resin composition and a dry film photoresist manufactured therefrom, which have enhanced chemical resistance, thereby being stable for plating and etching processes; and can work as a resist for an alkali etching solution which is conventionally lack of tolerance, thereby facilitating manufacturing of various shaped boards which were impossible by conventional processes.

Description

감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 드라이 필름 포토레지스트{Photosensitive Resin Composition and Dry Film Photoresist Formed Thereof}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition and a dry film photoresist prepared therefrom,

본 발명은 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 드라이 필름 포토레지스트에 관한 것이다.
The present invention relates to a photosensitive resin composition and a dry film photoresist prepared therefrom.

일반적으로 드라이 필름 포토레지스트는 동박적층판(Copper Clad Laminates) 상에 적층되는 용도로 많이 사용된다. 이와 관련하여 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, 이하 PCB라 함)의 제조과정의 일 예로는, PCB의 원판소재인 동박적층판을 라미네이션하기 위해 먼저 전처리 공정을 거친다. 상기 전처리공정은 외층 공정에서는 드릴링, 디버링(deburing), 정면 등의 순이며, 내층 공정에서는 정면 또는 산세를 거친다. 정면 공정에서는 브리틀 브러쉬(bristle brush) 및 제트 퍼미스(jet pumice) 공정이 주로 사용되며, 산세는 소프트 에칭(soft etching) 및 5wt% 황산 산세를 거칠 수 있다. Generally, dry film photoresists are widely used for lamination on copper clad laminates. In this regard, an example of a manufacturing process of a printed circuit board (hereinafter referred to as a PCB) is a preprocessing process in order to laminate a copper clad laminate as a raw material of a PCB. The pretreatment process is in the order of drilling, deburring, and frontal in the outer layer process, and is faced or pickled in the inner layer process. Bristle brush and jet pumice processes are mainly used in the frontal process, and pickling can be carried out by soft etching and 5 wt% sulfuric acid pickling.

전처리 공정을 거친 동박적층판에 회로를 형성시키기 위해서는 일반적으로 동박적층판의 구리층 위에 드라이 필름 포토레지스트(이하, DFR이라 함)을 라미네이션한다. 이 공정에서는 라미네이터를 이용하여 DFR의 보호 필름을 벗겨내면서 DFR의 포토레지스트층을 구리 표면 위에 라미네이션시킨다. 일반적으로 라미네이션 속도 0.5 내지 3.5m/min, 온도 100 내지 130℃, 로울러 압력 가열롤압력 10 내지 90psi에서 진행한다.In order to form a circuit on the copper-clad laminate after the pretreatment, a dry film photoresist (hereinafter referred to as DFR) is usually laminated on the copper layer of the copper clad laminate. In this process, the photoresist layer of the DFR is laminated on the copper surface while removing the protective film of the DFR using a laminator. Generally, the lamination speed is 0.5 to 3.5 m / min, the temperature is 100 to 130 캜, and the roller pressure is 10 to 90 psi.

라미네이션 공정을 거친 인쇄회로기판은 기판의 안정화를 위하여 15분 이상 방치한 후 원하는 회로패턴이 형성된 포토마스크를 이용하여 DFR의 포토레지스트에 대해 노광을 진행한다. 이 과정에서 포토마스크에 자외선을 조사하면 자외선이 조사된 포토레지스트는 조사된 부위에서 함유된 광개시제에 의해 중합이 개시된다. 먼저 초기에는 포토레지스트 내의 산소가 소모되고, 다음 활성화된 모노머가 중합되어 가교반응이 일어나고 그 후 많은 양의 모노머가 소모되면서 중합반응이 진행된다. 한편 미노광부위는 가교 반응이 진행되지 않은 상태로 존재하게 된다.The laminated printed circuit board is exposed to the photoresist of the DFR using a photomask having a desired circuit pattern after being left for 15 minutes or more for stabilizing the substrate. When the ultraviolet rays are irradiated to the photomask in this process, the photoresist irradiated with ultraviolet light starts to be polymerized by the photoinitiator contained in the irradiated site. Initially, the oxygen in the photoresist is consumed, and the next activated monomer is polymerized to initiate a crosslinking reaction, and then a large amount of monomer is consumed and polymerization proceeds. On the other hand, the unexposed portion exists in a state in which the crosslinking reaction does not proceed.

다음 포토레지스트의 미노광 부분을 제거하는 현상공정을 진행하는데, 알카리 현상성 DFR인 경우 현상액으로 0.8 내지 1.2wt%의 포타슘카보네이트 및 소듐카보네이트 수용액이 사용된다. 이 공정에서 미노광 부분의 포토레지스트는 현상액내에서 결합제 고분자의 카르복시산과 현상액의 비누화 반응에 의해서 씻겨나가고, 경화된 포토레지스트는 구리표면 위에 잔류하게 된다.Next, a developing process for removing the unexposed portion of the photoresist is carried out. In the case of the alkali developing DFR, 0.8 to 1.2 wt% of potassium carbonate and aqueous solution of sodium carbonate are used as the developing solution. In this process, the photoresist of the unexposed portion is washed away by the saponification reaction between the carboxylic acid of the binder polymer and the developer in the developer, and the cured photoresist remains on the copper surface.

다음 내층 및 외층 공정에 따라 다른 공정을 거쳐 회로가 형성된다. 내층 공정에서는 부식과 박리공정을 통하여 기판상에 회로가 형성되며 외층 공정에서는 도금 및 텐팅 공정을 거친 후 에칭과 솔더 박리를 진행하고 소정의 회로를 형성시킨다.The circuit is then formed through other processes depending on the inner and outer layer processes. In the inner layer process, a circuit is formed on the substrate through the etching and peeling process. In the outer layer process, the plating and the tentering process are performed, and etching and solder peeling are performed to form a predetermined circuit.

일반적으로 도금 공정에서 노광된 드라이 필름 포토레지스트는 강산 혹은 강알카리 액 환경에 놓이게 된다. 이러한 이유로 인해 내화학성이 부족할 경우, 드라이 필름 포토레지스트가 동박적층판으로부터 이탈하는 현상이 발생한다.
In general, the dry film photoresist exposed in the plating process is placed in a strong acid or strong alkaline solution environment. For this reason, when the chemical resistance is insufficient, the dry film photoresist is separated from the copper clad laminate.

본 발명의 주된 목적은 드라이 필름 포토레지스트에서의 세선밀착성, 해상도 등 고유의 물성을 발현하면서 내화학성이 향상된 감광성 수지 조성물 및 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 드라이 필름 포토레지스트를 제공하는데 있다.
The main object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition having improved chemical resistance while exhibiting inherent physical properties such as fine line adhesion and resolution in a dry film photoresist, and a dry film photoresist prepared using the photosensitive resin composition.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 구현예는 광중합성 다관능성 단량체; 광중합 개시제; 고분자 결합제; 및 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물을 제공한다.In order to achieve the above object, one embodiment of the present invention relates to a photopolymerizable polyfunctional monomer; A photopolymerization initiator; Polymeric binders; And a copolymer of propylene acrylate and acrylic acid.

본 발명의 바람직한 일 구현예에서, 상기 프로파질 아크릴레이트는 화학식 1로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 할 수 있다.In one preferred embodiment of the present invention, the propargyl acrylate is a compound represented by the general formula (1).

<화학식 1>&Lt; Formula 1 >

Figure pat00001
Figure pat00001

본 발명의 바람직한 일 구현예에서, 상기 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체는 중량평균분자량이 10,000 내지 150,000g/mol인 것을 특징으로 할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the copolymer of propylene acrylate and acrylic acid may have a weight average molecular weight of 10,000 to 150,000 g / mol.

본 발명의 바람직한 일 구현예에서, 상기 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체는 감광성 수지 조성물의 고형분에 대하여, 5 내지 40중량%인 것을 특징으로 할 수 있다.In a preferred embodiment of the present invention, the copolymer of propylene acrylate and acrylic acid is 5 to 40% by weight based on the solid content of the photosensitive resin composition.

본 발명의 다른 구현예는 감광성 수지 조성물로부터 형성된 포토레지스트층을 포함하는 드라이 필름 포토레지스트를 제공한다.
Another embodiment of the present invention provides a dry film photoresist comprising a photoresist layer formed from a photosensitive resin composition.

본 발명에 따른 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 드라이 필름 포토레지스트는 우수한 화학적 내성을 가져 도금, 에칭 공정 등에 안정적이고, 또한 기존 내성이 부족했던 알카리 에칭액에 레지스트로서의 역할이 가능하여 기존의 공정으로 제작할 수 없었던 다양한 형태의 보드 제작이 용이해질 수 있다.
The photosensitive resin composition according to the present invention and the dry film photoresist produced therefrom have excellent chemical resistance and can be used as a resist in an alkaline etching solution which is stable in plating, It is possible to make various types of boards which can not be manufactured easily.

다른 식으로 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 기술적 및 과학적 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 숙련된 전문가에 의해서 통상적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로, 본 명세서에서 사용된 명명법 은 본 기술분야에서 잘 알려져 있고 통상적으로 사용되는 것이다.Unless otherwise defined, all technical and scientific terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. In general, the nomenclature used herein is well known and commonly used in the art.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. Throughout this specification, when an element is referred to as "including " an element, it is understood that the element may include other elements as well, without departing from the other elements unless specifically stated otherwise.

본 발명은 일 관점에서, 광중합성 다관능성 단량체; 광중합 개시제; 고분자 결합제; 및 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention, in one aspect, relates to a photopolymerizable polyfunctional monomer; A photopolymerization initiator; Polymeric binders; And a copolymer of propylene acrylate and acrylic acid.

이하, 본 발명을 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

(1) 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체(1) Copolymer of propylene acrylate and acrylic acid

본 발명의 감광성 수지 조성물에 포함되는 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체는 유기용매 중에서 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산을 60 내지 100℃에서 4 내지 8 시간 동안 반응시켜 얻어진다. 이때, 상기 프로파질 아크릴레이트는 노광시 광중합이 가능한 불포화기를 가져 노광 후 광가교 밀도를 증가시켜 화학적 내성을 증가시킬 수 있는 화합물로, 바람직하게는 화학식 1로 표시되는 화합물일 수 있다.The copolymer of propylene acrylate and acrylic acid contained in the photosensitive resin composition of the present invention is obtained by reacting propylene acrylate and acrylic acid in an organic solvent at 60 to 100 ° C for 4 to 8 hours. At this time, the prophylactic acrylate has an unsaturated group capable of photopolymerization at the time of exposure to increase the photochemical resistance by increasing the photocrosslinking density after exposure, and it may be a compound represented by the general formula (1).

<화학식 1>&Lt; Formula 1 >

Figure pat00002
Figure pat00002

또한, 상기 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체에서, 상기 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 중량비는 1: 0.1 내지 1 : 2인 것이 바람직하다. 만일, 프로파질 아크릴레이트의 중량비에 대하여, 아크릴산 0.1 중량비 미만으로 함유된 경우, 광중합 효과가 미미하고, 프로파질 아크릴레이트의 중량비에 대하여 2중량비를 초과하는 경우에는 박리성이 저하되는 문제점이 발생될 수 있다. In the copolymer of propylene acrylate and acrylic acid, the weight ratio of propylene acrylate to acrylic acid is preferably 1: 0.1 to 1: 2. If the weight ratio of propylene acrylate is less than 0.1 weight part of acrylic acid, the effect of photopolymerization is insignificant and if the weight ratio of propylene acrylate is more than 2 weight parts, peeling property is lowered .

상기 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체는 구조적으로 감광성 불포화기와 알칼리 현상성 산을 동시에 가짐으로써 일반적인 고분자 결합체보다 경화물의 화학적 내성을 향상시키는 효과를 가진다. The copolymer of propylene acrylate and acrylic acid has the effect of improving the chemical resistance of the cured product than a general polymer conjugate by structurally having a photosensitive unsaturated group and an alkali developing acid at the same time.

상기 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체는 중량평균분자량이 10,000 내지 150,000g/mol인 것이 바람직하다. 상기 중량평균분자량이 상기 범위 내에 있는 경우 화학적 내성이 우수한 효과를 가질 수 있다. The copolymer of propylene acrylate and acrylic acid preferably has a weight average molecular weight of 10,000 to 150,000 g / mol. When the weight average molecular weight is within the above range, it can have an excellent chemical resistance.

상기 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체는 감광성 수지 조성물의 고형분 중에 5 내지 40중량%로 포함되는 것이 바람직하다. 만일, 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체의 함량이 감광성 수지 조성물의 고형분에 대하여, 5중량% 미만일 경우, 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산 첨가에 대한 효과가 미미하고, 40중량% 미만일 경우에는 박리성이 저하될 수 있다.
The copolymer of propylene acrylate and acrylic acid is preferably contained in an amount of 5 to 40% by weight based on the solid content of the photosensitive resin composition. If the content of the copolymer of propylene acrylate and acrylic acid is less than 5% by weight based on the solid content of the photosensitive resin composition, the effect on the addition of propylene acrylate and acrylic acid is insignificant. If the content is less than 40% by weight, Can be lowered.

(2) 광중합성 다관능성 단량체(2) Photopolymerizable polyfunctional monomer

본 발명의 광중합성 다관능성 단량체는 적어도 2개의 말단 에틸렌기를 갖는 것이 바람직하고, 그 일예로는 1,6-헥산디올(메타)아크릴레이트, 1,4-사이클로헥산디올-(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 트리메틸롤프로판 트리아크릴레이트, 폴리-프로필렌글리콜-(메타)아크릴레이트, 폴리-에틸렌글리콜-(메타)아크릴레이트, 2-디-(p-하이드록시 페닐)-프로판-디-(메타)아크릴레이트, 글리세롤 트리(메타)아크릴레이트, 트리메티롤 프로판 트리-(메타)아크릴레이트, 2,2'-비스-[4-(메타크릴옥시-폴리에톡시)페닐]프로판, 폴리옥시 프로필 트리메티롤 프로판 트리-(메타)아크릴레이트, 비스페놀 A 기를 함유한 폴리에틸렌(프로필렌) 디(메타)아크릴레이트 및 우레탄기를 함유한 다관능기 (메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다. The photopolymerizable polyfunctional monomer of the present invention preferably has at least two terminal ethylene groups, and examples thereof include 1,6-hexanediol (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol- (meth) (Meth) acrylate, 2-di- (p-hydroxyphenyl) -propane-, diethylene-, diethylene-, Di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, trimethylol propane tri- (meth) acrylate, 2,2'-bis- [4- (methacryloxy-polyethoxy) , Poly (propylene) di (meth) acrylate containing a bisphenol A group, and polyfunctional (meth) acrylate containing a urethane group, and the like.

상기 광중합성 다관능성 단량체의 함량은 전체 감광성 수지 조성물의 고형분 중 20 내지 60중량%인 것이 세선밀착력 및 해상도면에서 바람직하다.
The content of the photopolymerizable polyfunctional monomer is preferably 20 to 60% by weight based on the solids content of the entire photosensitive resin composition in view of fine line adhesion and resolution.

(3) 광중합 개시제(3) Photopolymerization initiator

본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서 광중합 개시제는 UV 및 기타 radiation에 의해서 광중합성 올리고머와의 연쇄반응을 개시시키는 물질로서, 일 예로는 안트라퀴논 유도체 즉, 2-메틸 안트라퀴논, 2-에틸 안트라퀴논, 벤조인 유도체 즉, 벤조인 메틸 에테르, 벤조페논, 페난트렌 퀴논, 그리고 4,4‘ 비스-(디메틸아미노)벤조페논 등을 들 수 있다. In the photosensitive resin composition of the present invention, the photopolymerization initiator is a substance that initiates a chain reaction with a photopolymerizable oligomer by UV and other radiation. Examples of the photopolymerization initiator include anthraquinone derivatives such as 2-methyl anthraquinone, Benzoin derivatives such as benzoin methyl ether, benzophenone, phenanthrenequinone, and 4,4 'bis- (dimethylamino) benzophenone.

이 외에도 1-하이드록시시클로헥실페닐케톤, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-[4-모르폴리노페닐]부탄-1-온, 2-하이드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 1-[4-(2-하이드록시메톡시)페닐]-2-하이드록시-2-메틸프로판-1-온, 2,4-디에틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 3,3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 벤조페논, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤, 1-(4-이소프로필페닐)2-하이드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2-하이드록시-2-메틸프로판-1-온, 4-벤조일-4‘-메틸디메틸설파이드, 4-디메틸아미노벤조산, 메틸 4-디메틸아미노벤조에이트, 에틸 4-디메틸아미노벤조에이트, 부틸 4-디메틸아미노벤조에이트, 2-에틸헥실 4-디메틸아미노벤조에이트, 2-이소아밀 4-디메틸아미노벤조에이트, 2,2-디에톡시아세토페논, 벤질케톤 디메틸아세탈, 벤질케톤 β-메톡시 디에틸아세탈, 1-페닐-1,2-프로필디옥심-o,o'-(2-카르보닐)에톡시에테르, 메틸 o-벤조일벤조에이트, 비스[4-디메틸아미노페닐)케톤, 4,4’-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4‘-디클로로벤조페논, 벤질, 벤조인, 메톡시벤조인, 에톡시벤조인, 이소프로폭시벤조인, n-부톡시벤조인, 이소부톡시벤조인, tert-부톡시벤조인, p-디메틸아미노아세토페논, p-tert-부틸트리클로로아세토페논, p-tert-부틸디클로로아세토페논, 티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 디벤조수베론, α,α-디클로로-4-페녹시아세토페논, 펜틸 4-디메틸아미노벤조에이트 중에서 선택된 화합물을 들 수 있다. In addition to these, there may be mentioned 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 2-methyl- 1- [4- (methylthio) 1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- [4-morpholinophenyl] butan- 2-methylpropan-1-one, 2,4-diethyl (2-hydroxyethyl) 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzophenone, 1-chloro-4- (4-isopropylphenyl) 2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- Dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2,2-diethoxyacetophenone, benzylketone dimethyl acetal, benzyl ketone? -Methoxydiethyl acetal, 1-phenyl-1,2-propyldioxime-o methyl o-benzoyl benzoate, bis [4-dimethylaminophenyl) ketone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4'- Benzoin, methoxybenzoin, ethoxybenzoin, isopropoxybenzoin, n-butoxybenzoin, isobutoxybenzoin, tert-butoxybenzoin, p-dimethylaminoacetophenone , p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, 4-phenoxyacetophenone, and pentyl 4-dimethylaminobenzoate.

상기 광중합 개시제의 함량은 전체 감광성 수지 조성물의 고형분 중 2 내지 10중량%인 것이 통상 바람직하다. 만약, 전체 감광성 수지 조성물의 고형분 중, 광중합 개시제가 2 중량% 미만으로 첨가되는 경우, 광가교가 제대로 이루어지지 않는 문제점이 발생될 수 있고, 10 중량%를 초과하는 경우에는 광가교가 노광에서 필요 이상으로 이루어지는 문제점이 발생될 수 있다.
The content of the photopolymerization initiator is usually preferably 2 to 10% by weight based on the solid content of the entire photosensitive resin composition. If the content of the photopolymerization initiator is less than 2% by weight, the photopolymerization initiator may fail to be crosslinked properly. If the amount of the photopolymerization initiator is more than 10% by weight, Or more.

(4) 고분자 결합제(4) Polymer Binder

본 발명의 감광성 수지 조성물에 있어서 고분자 결합제는 (메타)아크릴산과 (메타)아크릴산에스테르와의 공중합체로서 알칼리 가용성 고분자 수지이다. (메타)아크릴산과 (메타)아크릴산에스테르와의 공중합체는 다음 중에서 선택된 2 이상의 모노머들의 공중합을 통해 얻어질 수 있다: 메틸 아크릴레이트, 메틸 메타크릴레이트, 에틸 아크릴레이트, 에틸 메타크릴레이트, 부틸 아크릴레이트, 부틸 메타크릴레이트, 아크릴산, 메타크릴산, 2-히드록시 에틸 아크릴레이트, 2-히드록시 에틸 메타크릴레이트, 2-히드록시 프로필 아크릴레이트, 2-히드록시 프로필 메타크릴레이트, 아크릴아마이드, 메타크릴아마이드, 스타이렌, α-메틸 스타이렌. In the photosensitive resin composition of the present invention, the polymer binder is an alkali-soluble polymer resin as a copolymer of (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester. A copolymer of (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester can be obtained through copolymerization of two or more monomers selected from the following: methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, butyl acrylate Acrylate, methacrylic acid, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, acrylamide, Methacrylamide, styrene, alpha -methyl styrene.

이들 공중합체는 드라이 필름 레지스트의 코팅성 및 추종성과 회로형성 후 레지스트 자체의 기계적 강도를 고려하여 중량평균분자량이 30,000 내지 150,000g/mol인 것이 바람직하고, 유리전이온도는 50 내지 150℃인 것이 바람직하다. These copolymers preferably have a weight average molecular weight of 30,000 to 150,000 g / mol and a glass transition temperature of 50 to 150 DEG C in consideration of the coating property and followability of the dry film resist and the mechanical strength of the resist itself after formation of the circuit Do.

상기 고분자 결합제의 함량은 전체 감광성 수지 조성물의 고형분 중 20 내지 60중량%인 것이 통상 바람직하다. 만약, 전체 감광성 수지 조성물의 고형분 중, 고분자 결합제가 20중량% 미만으로 첨가되는 경우, 필름의 점착성이 크게 증가할 수 있고, 60중량%를 초과하는 경우에는 외부 충격에 의해 필름에 크랙(crack)이 발생될 수 있다.
The content of the polymer binder is usually preferably 20 to 60% by weight based on the solid content of the entire photosensitive resin composition. If the polymer binder is added in an amount of less than 20% by weight, the adhesion of the film can be greatly increased. When the content of the polymer binder exceeds 60% by weight, May occur.

(5) 첨가제(5) Additives

본 발명의 감광성 수지 조성물에는 임의적 목적에 따라 다이아몬드 그린 등의 염료, 트리 브로모 페닐 술폰, 로이코 크리스탈 바이올렛 등의 발색제 등이 사용될 수 있으며 함량은, 전체 감광성 수지 조성물의 고형분 중 0.01 내지 10 중량%인 것이 통상 바람직하다.The photosensitive resin composition of the present invention may contain a dye such as diamond green, a coloring agent such as tribromophenylsulfone, leuco crystal violet and the like depending on an optional purpose, and the content thereof is preferably 0.01 to 10% by weight of the solid content of the entire photosensitive resin composition Is usually preferred.

그 밖에, 감광성 수지 조성물은 용매를 임의의 목적에 따라 적절히 조절하여 포함할 수 있다. 상기 용매로는 메틸에틸케톤, 메탄올, 에탄올, 아세톤, 톨루엔 등을 들 수 있다. In addition, the photosensitive resin composition may contain a solvent by appropriately adjusting it according to a certain purpose. Examples of the solvent include methyl ethyl ketone, methanol, ethanol, acetone, and toluene.

또한, 상기 감광성 수지 조성물은 염료를 첨가하여 미노광은 녹색으로, 노광부분은 파란색으로 변하게 함으로서 노광과 미노광을 구분할 수 있게 한다. In addition, the photosensitive resin composition makes it possible to distinguish exposure from unexposed light by changing the unoccluded light to green and the exposed part to blue by adding a dye.

또한, 상기 감광성 수지 조성물은 열안정제, 장기보관 안정성을 위한 첨가제 등을 필요에 따라 선택적으로 더 포함할 수 있다. In addition, the photosensitive resin composition may further include a heat stabilizer, an additive for long-term storage stability, and the like, if necessary.

본 발명은 다른 관점에서, 상기 감광성 수지 조성물을 이용하여 제조된 드라이 필름 포토레지스트에 관한 것이다.In another aspect, the present invention relates to a dry film photoresist prepared using the photosensitive resin composition.

본 발명에 따른 드라이 필름 포토레지스트는 전술된 감광성 수지 조성물을 기재필름의 적어도 일면에 도포하여 감광층(포토레지스트층)을 형성하여 얻을 수 있다. 이때, 감광층(포토레지스트층) 형성방법은 통상적으로 수지 조성물을 이용하여 감광층을 형성할 수 있는 방법이면 특별히 제한 없이 사용할 수 있다.The dry film photoresist according to the present invention can be obtained by applying the above-described photosensitive resin composition to at least one surface of a base film to form a photosensitive layer (photoresist layer). At this time, the method of forming the photosensitive layer (photoresist layer) can be generally used without particular limitation, as long as the photosensitive layer can be formed using a resin composition.

또한, 여기서 상술한 고분자 결합제, 광중합성 다관능성 단량체, 광중합개시제 등은 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니며, 당업계의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 변형시키지 않는 범주에서 다양한 화합물들로서 변형할 수 있는 정도의 것임은 물론이다.
The polymeric binder, the photopolymerizable polyfunctional monomer, the photopolymerization initiator, and the like described above are not intended to limit the present invention, and those skilled in the art will understand that various compounds Of course.

이하 본 발명의 바람직한 실시예 및 비교예를 설명한다. 그러나 하기한 실시예는 본 발명의 바람직한 일 실시예일 뿐, 본 발명이 하기한 실시예에 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, preferred embodiments and comparative examples of the present invention will be described. However, the following embodiments are merely preferred embodiments of the present invention, and the present invention is not limited to the following embodiments.

<< 제조예Manufacturing example 1> 1>

4구 둥근 바닥 플리스크에 교반기(mechanical stirrer)와 환류 장치를 장착한 후 용매인 메틸에틸케톤(MEK) 100g에 열중합 개시제인 AIBN(Azobisisobutyronitrile) 1.0g 을 용해시켰다. 화학식 1로 표시되는 프로파질 아크릴레이트 70g과 아크릴산 30g을 플라스크에 각각 투입하고 80℃까지 승온 시킨 다음, 4시간 동안 중합시켜 중량평균분자량이 35,000g/mol인 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체를 제조하였다.
A mechanical stirrer and a reflux condenser were attached to a four-neck round bottom flask, and 1.0 g of azobisisobutyronitrile (AIBN) as a thermal polymerization initiator was dissolved in 100 g of methyl ethyl ketone (MEK) as a solvent. 70 g of the propylene acrylate represented by the formula (1) and 30 g of acrylic acid were charged into a flask, respectively, and the temperature was raised to 80 DEG C, followed by polymerization for 4 hours to obtain a copolymer of propylene acrylate and acrylic acid having a weight average molecular weight of 35,000 g / .

<< 실시예Example 1> 1>

제조예 1에서 수득된 프로파질 아크릴레이트, 아크릴산의 공중합체, 광중합성 다과능성 단량체, 광중합 개시제, 고분자 결합제 및 첨가제를 하기 표 1에 기재된 바와 같은 조성으로 조액하여 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 위에 건조 후, 30㎛ 두께가 되도록 코팅하고 건조하였다. 건조 후 보호필름으로 폴리에틸렌 필름을 라미네이션하여 드라이 필름 포토레지스트를 제조하였다. 하기 표 1에서의 함량은 감광성 수지 조성물의 고형분 중에 포함되는 중량%를 의미한다. The copolymer of propargyl acrylate, acrylic acid, photopolymerizable polyfunctional monomer, photopolymerization initiator, polymer binder and additives obtained in Preparation Example 1 was conditioned in the composition as shown in Table 1, dried on a polyethylene terephthalate film, Mu m thickness and dried. After drying, a polyethylene film was laminated with a protective film to prepare a dry film photoresist. The content in Table 1 means the weight percentage contained in the solid content of the photosensitive resin composition.

성분ingredient 함량(중량%)Content (% by weight) 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체Copolymer of propylene acrylate and acrylic acid 화학식 1로 표시되는 프로파질 아크릴레이트와 메틸아크릴산의 중량비는 70:30임(고형분 50중량%)The weight ratio of the propylene acrylate represented by the formula (1) to the methyl acrylate was 70:30 (solid content: 50% by weight) 1010 고분자 결합제Polymer binder 메틸메타크릴산/메틸메타크릴레이트/스타이렌 모노머 공중합체(28/22/50(중량비), 중량평균분자량 60,000g/mol, (고형분 50%)Methyl methacrylate / styrene monomer copolymer (28/22/50 by weight, weight average molecular weight 60,000 g / mol, 50% by solid content) 3535 광중합성
다관능성 단량체
Photopolymerization
Multifunctional monomer
폴리에틸렌글리콜 디메타크릴레이트Polyethylene glycol dimethacrylate 1010
트리메틸롤프로판트리 아크릴레이트Trimethylolpropane triacrylate 1010 2,2'-비스-[4-(메타크릴옥시-폴리에톡시)페닐]프로판2,2'-bis- [4- (methacryloxy-polyethoxy) phenyl] propane 3030 광중합 개시제Photopolymerization initiator 벤조페논Benzophenone 2.22.2 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논4,4'-bis (diethylamino) benzophenone 2.02.0 첨가제additive 로이코크리스탈 바이올렛Loico Crystal Violet 0.30.3 다이아몬드 그린 GHDiamond Green GH 0.50.5

상기 조성에 의해 제조한 감광성 수지 조성물을 사용하여 제조된 드라이 필름 포토레지스트는 다음과 같은 공정으로 실시하였다.
The dry film photoresist prepared using the photosensitive resin composition prepared above was subjected to the following steps.

<< 라미네이션Lamination >>

드라이 필름 포토레지스트를 브러시(Brush) 연마 처리된 1.6mm 두께의 동박적층판에 기판예열 롤 온도 120℃, 라미네이터 롤 온도 115℃, 롤 압력 4.0kgf/cm2 그리고 롤 속도 2.5min/m의 조건으로 HAKUTO MACH 610i를 이용하여 라미네이션하였다.
The dry film photoresist was polished to a brush-polished copper-clad laminate having a thickness of 1.6 mm, a substrate preheating roll temperature of 120 캜, a laminator roll temperature of 115 캜, a roll pressure of 4.0 kgf / cm 2 And laminated using a HAKUTO MACH 610i under a roll speed of 2.5 min / m.

<현상 및 해상도><Phenomenon and resolution>

동박적층판에 라미네이션한 드라이 필름 포토레지스트를 회로평가용 포토마스크를 사용하여 Perkin-ElmerTM OB7120(평행광 노광기)을 이용하여 40mJ의 노광량으로 자외선을 조사한 후 20분 방치하였다. 그 후 Na2CO3 1.0wt% 수용액으로 Spray 분사 방식의 현상조건으로 현상을 실시하였다. 동박적층판 상의 미노광 부위의 드라이 필름 포토레지스트가 현상액에 완전히 씻겨지기까지 소요된 시간을 초시계를 이용하여 측정하였으며(최소현상시간) 제품 평가시는 브레이크 포인트 50%로 고정하였다(최소현상시간의 2배).
The dry film photoresist laminated on the copper-clad laminate was irradiated with ultraviolet rays at an exposure dose of 40 mJ using a Perkin-Elmer ( TM) OB7120 (parallel light exposing machine) using a circuit evaluation photomask, and left for 20 minutes. Thereafter, the development was carried out under the development conditions of spraying method with a 1.0 wt% aqueous solution of Na 2 CO 3 . The time taken until the dry film photoresist on the copper foil laminates was completely washed in the developing solution was measured using a stopwatch (minimum development time), and the product was fixed at a break point of 50% (minimum development time 2 ship).

<< 실시예Example 2 내지 5 및  2 to 5 and 비교예Comparative Example 1> 1>

프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체의 함량과 분자량 그리고 고분자 결합제의 함량을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 감광성 조성물을 제조한 후, 드라이 필름 포토레지스트를 제조하였다. 하기 표 2에 실시예 및 비교예에서 사용한 화합물 및 함량을 나타내었다. 하기 표 2에서의 함량은 감광성 수지 조성물의 고형분 중에 포함되는 중량%를 의미한다.
The photosensitive composition was prepared in the same manner as in Example 1 except for the content and molecular weight of the copolymer of propylene acrylate and acrylic acid and the content of the polymer binder, and then a dry film photoresist was prepared. Table 2 shows the compounds and contents used in Examples and Comparative Examples. The content in the following Table 2 means the weight percentage contained in the solid content of the photosensitive resin composition.

하기 표 2의 중량평균분자량은 아래와 같은 방법으로 측정하였다.
The weight average molecular weights of the following Table 2 were measured by the following methods.

<중량평균분자량>&Lt; Weight average molecular weight &

Waters 450 GPC를 이용하여 폴리스타이렌을 스텐다드로 측정하였다. 컬럼은 Shodex 105, 104 및 103을 사용하였다.
Polystyrene was measured with a standard Waters 450 GPC. Columns were Shodex 10 5 , 10 4 and 10 3 .

구분division 고분자 결합제의 함량
(중량%)
The content of polymer binder
(weight%)
1,3,5-헥사트리엔 모노머와 아크릴산의 공중합체의 함량(중량%)Content (% by weight) of copolymer of 1,3,5-hexatriene monomer and acrylic acid 1,3,5-헥사트리엔 모노머와 아크릴산의 공중합체의 중량평균분자량
(g/mol)
The weight average molecular weight of a copolymer of 1,3,5-hexatriene monomer and acrylic acid
(g / mol)
실시예 1Example 1 3838 1010 30,00030,000 실시예 2Example 2 2828 2020 60,00060,000 실시예 3Example 3 3434 1414 100,000100,000 실시예 4Example 4 1414 3434 70,00070,000 실시예 5Example 5 2424 2424 120,000120,000 비교예 1Comparative Example 1 4848 00 ---

상기 실시예 1 내지 5 및 비교예 1에서 제조한 감광성 수지 조성물을 사용하여 제조된 드라이 필름 포토레지스트의 물성을 아래 방법으로 측정하여 그 결과를 하기 표 3에 나타내었다.
The properties of the dry film photoresist prepared using the photosensitive resin compositions prepared in Examples 1 to 5 and Comparative Example 1 were measured by the following methods, and the results are shown in Table 3 below.

<세선 밀착력(단위: ㎛)>&Lt; Fine wire adhesion (unit: 占 퐉)

현상 후, 독립된 레지스트가 살아남아 있는 최소선폭으로 ZEISS AXIOPHOT Microscope으로 측정하였다.After development, the ZEISS AXIOPHOT Microscope was used to measure the minimum line width at which the independent resist survives.

<해상도(단위: ㎛)><Resolution (unit: 탆)>

회로라인과 회로라인 사이의 공간을 1:1로 하여 측정한 값으로, ZEISS AXIOPHOT Microscope으로 측정하였다.The space between the circuit line and the circuit line was measured at 1: 1 and measured with a ZEISS AXIOPHOT Microscope.

<붕불산 내성(단위: 분)><Tolerance of borohydric acid (unit: minute)>

해당 업계에서 일반적으로 사용되는 붕불산액에 현상 공정까지 끝난 동박적층판을 딥핑(deeping)하여 화학적 내성을 평가하였다. 붕불산액에 담근 후 10분 마다 꺼내어 동박적층판에 드라이 필름 포토레지스트가 제대로 붙어있는지를 확인하였다. 즉, 선폭 100㎛의 세선이 부착되어 있는 시간을 확인하여 측정한 것이다. 확인하는 방법은 고압의 air를 line 폭 100 ㎛ 회로에 분사시켜서 레지스트의 탈부착을 육안으로 확인하는 것으로 하였다.
The chemical resistance was evaluated by deeping the copper clad laminates which had been subjected to the development process to the borofluoric acid solution commonly used in the relevant industries. Boron hydrofluoric acid solution and taken out every 10 minutes to confirm whether or not the dry film photoresist adhered to the copper-clad laminate. That is, the time when the thin line having a line width of 100 mu m is attached is measured and measured. The method of confirming was that high-pressure air was sprayed on a line width of 100 mu m to visually confirm the detachment of the resist.

구분division 세선 밀착력*1 Fine wire adhesion * 1 해상도*2 Resolution * 2 붕불산 내성*3 Borohydric acid resistance * 3 실시예 1Example 1 2525 3030 130130 실시예 2Example 2 2525 2828 180180 실시예 3Example 3 2020 3030 150150 실시예 4Example 4 3535 4040 250250 실시예 5Example 5 3535 3535 230230 비교예 1Comparative Example 1 2525 2828 9090

*1 세선밀착력는 현상 후 독립된 선폭이 살아남아 있는 최소선폭임. * 1 The fine line adhesion is the minimum line width in which the independent linewidth survives after development.

*2 해상도는 회로라인과 회로라인 사이의 공간을 1:1로 하여 측정한 값임. * 2 Resolution is the value measured 1: 1 between the circuit line and the circuit line.

*3 붕불산 내성: 선폭 100㎛의 세선이 부착되어있는 시간임.
* 3 Borophosphoric acid resistance: Time at which fine lines with a line width of 100 μm are attached.

상기 표 3에서 보는 바와 같이 실시예 1 내지 5가 비교예 1 대비 동등 수준의 세선 밀착력 및 해상도를 유지하면서도 붕불산액에 대한 화학적 내성이 현저하게 우수함을 알 수 있었다.
As shown in Table 3, it can be seen that Examples 1 to 5 are remarkably superior in chemical resistance to borofluoric acid solution while maintaining the same fine line adhesion and resolution as Comparative Example 1.

본 발명의 단순한 변형 또는 변경은 모두 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있으며 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

Claims (5)

광중합성 다관능성 단량체; 광중합 개시제; 고분자 결합제; 및 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
Photopolymerizable polyfunctional monomer; A photopolymerization initiator; Polymeric binders; And a copolymer of propylene acrylate and acrylic acid.
제1항에 있어서, 상기 프로파질 아크릴레이트는 화학식 1로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
<화학식 1>
Figure pat00003

The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the propylene acrylate is a compound represented by the following formula (1).
&Lt; Formula 1 >
Figure pat00003

제1항에 있어서, 상기 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체는 중량평균분자량이 10,000 내지 150,000g/mol인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the copolymer of propylene acrylate and acrylic acid has a weight average molecular weight of 10,000 to 150,000 g / mol.
제1항에 있어서, 상기 프로파질 아크릴레이트와 아크릴산의 공중합체는 감광성 수지 조성물의 고형분에 대하여, 5 내지 40중량%인 것을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the copolymer of propylene acrylate and acrylic acid is 5 to 40% by weight based on the solid content of the photosensitive resin composition.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 감광성 수지 조성물로부터 형성된 포토레지스트층을 포함하는 드라이 필름 포토레지스트.A dry film photoresist comprising a photoresist layer formed from the photosensitive resin composition of any one of claims 1 to 4.
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