KR20160080408A - Photosensitive resin composition for Dry Film Photoresist - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a photosensitive resin composition for dry film photoresist. More specifically, the composition comprises a photopolymerization initiator, an alkali developing binder polymer, and a photopolymerizable compound. The photopolymerizable compound has two or more ethylenically unsaturated bonds, and thus is excellent in tolerance in terms of a plating solution, in particular, has an advantage in a fast stripping speed at the time of stripping.

Description

드라이 필름 포토 레지스트용 감광성 수지 조성물 {Photosensitive resin composition for Dry Film Photoresist}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition for dry film photoresists,

본 발명은 드라이 필름 포토 레지스트용 감광성 수지 조성물에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 광중합 개시제, 알칼리 현상성 바인더 폴리머, 및 광중합성 화합물을 포함하는 드라이 필름 포토 레지스트용 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.
The present invention relates to a photosensitive resin composition for a dry film photoresist, and more particularly to a photosensitive resin composition for a dry film photoresist comprising a photopolymerization initiator, an alkali developable binder polymer, and a photopolymerizable compound.

감광성 수지 조성물은 인쇄회로기판(Printed Circuit Board, 이하 PCB라 칭함)이나 Lead Frame에 사용되고 있는 드라이 필름 포토레지스트(Dry Film Photoresist, 이하 DFR이라 칭함)나 액상 포토레지스트 등의 형태로 사용되고 있다. 이러한 감광성 수지 조성물은 기판 위에 일정 두께로 도포 후, 원하는 회로를 형성하기 위하여 선택적으로 광을 조사한 후, 용매에 의하여 원하는 회로를 형성시키는 현상공정을 거치며, 현상 공정 이후에는 공정에 따라서 기판을 에칭시키거나 또는 기판 부위를 금속을 이용하여 도금하는 공정이 진행된다. The photosensitive resin composition is used in the form of a dry film photoresist (hereinafter referred to as DFR) or a liquid photoresist used in a printed circuit board (hereinafter referred to as a PCB) or a lead frame. Such a photosensitive resin composition is applied on a substrate to a predetermined thickness, and then subjected to a developing process for selectively irradiating light to form a desired circuit and then forming a desired circuit by a solvent. After the developing process, the substrate is etched according to the process Or a process of plating the substrate portion using a metal is performed.

감광성 수지 조성물은 도금에 대한 오염성이 낮은 것이 중요하다. 감광성 수지 조성물이 도금액을 오염시키면 도금 처리를 가한 기판 외관에 변색이 생기거나 도금 효율이 저하되어 단선의 원인이 될 수도 있다.It is important that the photosensitive resin composition has low stain resistance to plating. If the photosensitive resin composition contaminates the plating solution, discoloration may occur on the outer surface of the substrate subjected to the plating treatment or the plating efficiency may be lowered, which may cause disconnection.

또한 감광성 수지 조성물은 경화 후의 박리특성이 요구된다. 박리특성이 부족한 경우 도금 처리 후의 레지스트 박리 공정에 있어서 미세한 배선 간의 레지스트를 박리하는 것이 곤란해져 박리시간이 늘어나 생산효율이 저하된다. 작업성과 생산성 측면에서 박리속도는 빠른 것이 바람직하다.Further, the photosensitive resin composition is required to have a peeling property after curing. In the case where the delamination characteristics are insufficient, it is difficult to peel the resist between fine wirings in the resist stripping process after the plating process, so that the stripping time is increased and the production efficiency is lowered. In terms of workability and productivity, the peeling speed is preferably high.

이와 관련된 기술로, 대한민국 공개특허 제2012-0157531호는 n-페닐 글리신을 포함하는 광중합성 화합물을 적용한 기술을 제시하였으나, 해상도가 충분히 충족되지 않는 한계가 발견되었다.
With this related technology, Korean Patent Laid-Open Publication No. 2012-0157531 discloses a technique of applying a photopolymerizable compound containing n-phenylglycine, but it has been found that the resolution is not sufficiently satisfied.

이에 본 발명은 도금액에 대한 내성이 우수하며, 특히 박리 시에 빠른 박리 속도를 장점으로 가지는 드라이필름 포토레지스트용 감광성 수지 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.
Accordingly, it is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition for a dry film photoresist, which is excellent in resistance to a plating solution and has an advantage of a rapid peeling speed particularly in peeling.

본 발명에 따른 바람직한 제 1 구현예는, [A] 광중합 개시제 2 내지 10 중량%, [B] 알칼리 현상성 바인더 폴리머 40 내지 70 중량%, 및 [C] 광중합성 화합물 10 내지 50 중량%를 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 2개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 화합물인 것을 특징으로 하는 드라이 필름 포토레지스트용 감광성 수지 조성물이다.A first preferred embodiment according to the present invention is a photosensitive composition comprising 2 to 10% by weight of a photopolymerization initiator [A], 40 to 70% by weight of an alkali developable binder polymer, and 10 to 50% by weight of a photopolymerizable compound [C] And the photopolymerizable compound is a compound having two or more ethylenic unsaturated bonds.

상기 제 1 구현예에 의한 광중합성 화합물은 하기 화학식 1로 표현되는 화합물일 수 있다.The photopolymerizable compound according to the first embodiment may be a compound represented by the following general formula (1).

<화학식 1>&Lt; Formula 1 >

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 식에서, l+n은 2 내지 4이고, m은 6 내지 18을 만족한다.Wherein l + n is from 2 to 4 and m is from 6 to 18.

상기 화학식 1로 표현되는 화합물은 광중합성 화합물 총 중량에 대하여, 10 내지 100 중량%로 포함하는 것일 수 있다.The compound represented by Formula 1 may be contained in an amount of 10 to 100% by weight based on the total weight of the photopolymerizable compound.

상기 제 1 구현예에 의한 알칼리 현상성 바인더 폴리머의 평균분자량은 30,000 내지 150,000이고, 유리전이온도는 60 내지 150 ℃인 것을 특징으로 한다.
The alkali developable binder polymer according to the first embodiment has an average molecular weight of 30,000 to 150,000 and a glass transition temperature of 60 to 150 ° C.

본 발명에 따른 드라이 필름 포토레지스트용 감광성 수지 조성물은 박리 시에 빠른 박리 속도를 장점으로 하고, 현상성과 세선 밀착성 모두 우수하며, 특히 도금액에 대한 내성이 우수하여, 드라이 필름 포토레지스트에 용이하게 적용할 수 있다.
The photosensitive resin composition for a dry film photoresist according to the present invention has an advantage of a rapid peeling rate at the time of peeling and is excellent in both developability and fine line adhesion and particularly excellent in resistance to a plating solution and can be easily applied to a dry film photoresist .

본 발명의 일 양태에 따르면, [A] 광중합 개시제 2 내지 10 중량%, [B] 알칼리 현상성 바인더 폴리머 40 내지 70 중량%, 및 [C] 광중합성 화합물 10 내지 50 중량%를 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 2개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 화합물인 것을 특징으로 하는 드라이 필름 포토레지스트용 감광성 수지 조성물을 제공할 수 있다.
According to an embodiment of the present invention, there is provided a photopolymerizable composition comprising: [A] 2 to 10 wt% of a photopolymerization initiator; [B] 40 to 70 wt% of an alkali developable binder polymer; and 10 to 50 wt% The photopolymerizable compound is a compound having two or more ethylenic unsaturated bonds, and can provide a photosensitive resin composition for a dry film photoresist.

본 발명에서는 광중합성 화합물로 적어도 2개의 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 화합물로, 하기 화학식 1로 표현되는 화합물을 사용함으로써, 본 발명의 조성물을 드라이 필름 포토레지스트에 적용할 경우, 소수성을 향상시켜 현상액 및 도금액에 대한 내성을 현저히 증가시키고, 박리속도를 빠르게 할 수 있다.In the present invention, when the composition of the present invention is applied to a dry film photoresist by using a compound represented by the following formula (1) as a compound having at least two ethylenic unsaturated bonds as a photopolymerizable compound, the hydrophobicity is improved, The resistance to the plating solution can be remarkably increased and the peeling speed can be increased.

<화학식 1>&Lt; Formula 1 >

Figure pat00002
Figure pat00002

상기 식에서, l+n은 2 내지 4이고, m은 6 내지 18을 만족한다.
Wherein l + n is from 2 to 4 and m is from 6 to 18.

아울러, 상기 폴리아미드 수지 조성물은 본 발명의 목적을 해치지 않는 범위 내에서, 용제 및 기타 첨가제(가소제, 안정제, 레벨링제 등)를 추가로 포함할 수 있다.In addition, the polyamide resin composition may further include solvents and other additives (plasticizers, stabilizers, leveling agents, etc.) within the range not impairing the object of the present invention.

이하, 본 발명을 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

[A] 광중합 개시제[A] Photopolymerization initiator

감광성 수지조성물에 있어서 광중합 개시제는 UV 및 기타 radiation에 의해서 광중합성 모노머의 연쇄반응을 개시시키는 물질로서, 드라이 필름 레지스트의 경화에 중요한 역할을 하는 화합물이다.The photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition is a substance that initiates a chain reaction of a photopolymerizable monomer by UV and other radiation and is a compound that plays an important role in the curing of a dry film resist.

이같은 광중합 개시제로 사용할 수 있는 화합물로는 2-메틸 안트라퀴논과 2-에틸 안트라퀴논 등의 안트라퀴논 유도체; 및 벤조인 메틸 에테르, 벤조페논, 페난트렌 퀴논, 그리고 4,4'-비스-(디메틸아미노)벤조페논 등의 벤조인 유도체를 들 수 있다.Examples of the compound that can be used as such a photopolymerization initiator include anthraquinone derivatives such as 2-methyl anthraquinone and 2-ethyl anthraquinone; And benzoin derivatives such as benzoin methyl ether, benzophenone, phenanthrenequinone, and 4,4'-bis- (dimethylamino) benzophenone.

이외에도 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-[4-모르폴리노페닐] 부탄-1-온, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 1-[4-(2-히드록시메톡시)페닐]-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 2,4-디에틸티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 3,3-디메틸-4-메톡시벤조페논, 벤조페논, 1-클로로-4-프로폭시티옥산톤, 1-(4-이소프로필페닐)2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-(4-도데실페닐)-2하이드록시-2-메틸프로판-1-온, 4-벤조일-4'-메틸디메틸설파이드, 4-디메틸아미노벤조산, 메틸 4-디메틸아미노벤조에이트, 에틸 4-디메틸아미노벤조에이트, 부틸 4-디메틸아미노벤조에이트, 2-에틸헥실 4-디메틸아미노벤조에이트, 2-이소아밀 4-디메틸아미노벤조에이트, 2,2-디에톡시아세토페논, 벤질케톤 디메틸아세탈, 벤질케톤 β-메톡시 디에틸아세탈, 1-페닐-1,2-프로필디옥심-o,o'-(2-카르보닐)에톡시에테르, 메틸 o-벤조일벤조에이트, 비스[4-디메틸아미노페닐)케톤, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4'-디클로로벤조페논, 벤질, 벤조인, 메톡시벤조인, 에톡시벤조인, 이소프로폭시벤조인, n-부톡시벤조인, 이소부톡시벤조인, tert-부톡시벤조인, p-디메틸아미노아세토페논, p-tert-부틸트리클로로아세토페논, p-tert-부틸디클로로아세토페논, 티옥산톤, 2-메틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 디벤조수베론, α,α-디클로로-4-페녹시아세토페논, 펜틸 4-디메틸아미노벤조에이트 중에서 선택된 화합물을 광중합 개시제로서 사용할 수 있다. Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-2-ylmethoxy} Propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- [4-morpholinophenyl] butan- , 4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 1- [4- (2-hydroxymethoxy) phenyl] -2-hydroxy-2-methylpropan- 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzophenone, 1- 2-methylpropan-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2hydroxy- Dimethyl aminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-iso Methyl 4-dimethylaminobenzoate, 2,2-diethoxyacetophenone, benzylketone dimethyl acetal, benzyl ketone? -Methoxydiethyl acetal, 1-phenyl-1,2-propyldioxime-o, Benzoyl benzoate, bis [4-dimethylaminophenyl) ketone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, benzyl Benzoin, methoxybenzoin, ethoxybenzoin, isopropoxybenzoin, n-butoxybenzoin, isobutoxybenzoin, tert-butoxybenzoin, p-dimethylaminoacetophenone, p- Butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone,?,? -Dichloro-4- Phenone, and pentyl 4-dimethylaminobenzoate may be used as a photopolymerization initiator.

상기 광중합 개시제의 함량이 2 중량% 미만일 경우, 광효율이 낮아 노광량이 많이 들어가야 함에 따라 생산효율성이 극히 저하되는 단점이 있고, 10 중량%를 초과할 경우 필름이 brittle 해지는 단점과 현상액 오염성이 높아져 단락 등의 불량을 초래하는 문제가 있다
When the content of the photopolymerization initiator is less than 2% by weight, the photopolymerization initiator has a low light efficiency and requires a large amount of exposure, resulting in extremely low production efficiency. When the content of the photopolymerization initiator exceeds 10% by weight, the film becomes brittle, There is a problem of causing defects of

[B] 알칼리 현상성 바인더 폴리머[B] Alkali developable binder polymer

본 발명의 바인더 폴리머는 (메타)아크릴산과 (메타)아크릴산에스테르의 공중합체인 알칼리 현상성 바인더 폴리머이다. The binder polymer of the present invention is an alkali developable binder polymer which is a copolymer of (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester.

구체적으로는, 다음에서 선택된 둘 이상의 모노머들의 공중합을 통해 얻어진 공중합 아크릴산 고분자이다; 메틸 아크릴레이트, 메틸 메타크릴레이트, 에틸아크릴레이트, 메틸 메타크릴레이트, 부틸 아크릴레이트, 부틸 메타크릴레이트, 아크릴산, 메타크릴산, 2-히드록시 에틸 아크릴레이트, 2-히드록시 에틸 메타크릴레이트, 2-히드록시 프로필 아크릴레이트, 2-히드록시 프로필 메타크릴레이트, 아크릴아마이드, 메타크릴아마이드, 스틸렌 모노머, α-메틸 스틸렌으로 중합된 선형 아크릴산 고분자. Specifically, it is a copolymer acrylic acid polymer obtained through copolymerization of two or more monomers selected from the following; Acrylates such as methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, methyl methacrylate, butyl acrylate, butyl methacrylate, acrylic acid, methacrylic acid, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, Linear acrylic acid polymers polymerized with 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, acrylamide, methacrylamide, styrene monomers and? -Methylstyrene.

본 발명의 알칼리 현상성 바인더 폴리머는 드라이 필름 레지스트의 코팅성, 추종성 그리고 회로형성 후 레지스트 자체의 기계적 강도를 고려해서 평균분자량이 30,000 g/mol 내지 150,000 g/mol 인 것이 바람직하다. 평균분자량이 30,000 g/mol 보다 작으면 흘려퍼지는 성질이 강해져서 코딩 도막으로서 사용하기에 적합하지 않고, 내오염성이 저하되는 문제점이 있을 수 있으며, 150,000 g/mol 보다 크면 점도가 상승하여 유동성이 크게 낮아짐에 따라 현상시간이 길어져 생산수율 저하 및 해상도가 나빠지는 단점이 있을 수 있다. The alkali developable binder polymer of the present invention preferably has an average molecular weight of 30,000 g / mol to 150,000 g / mol in consideration of the coating property, followability of the dry film resist, and mechanical strength of the resist itself after formation of the circuit. If the average molecular weight is less than 30,000 g / mol, the property of spreading becomes strong, which is not suitable for use as a coating film, and the stain resistance may be deteriorated. The developing time is prolonged as the temperature is lowered, which may result in a decrease in production yield and a deterioration in resolution.

만일 바인더 폴리머의 유리전이온도가 60 ℃보다 낮으면 광중합모노머와의 조액시 tacky성에 의해 필름화가 어려운 문제가 생길 수 있고, 유리전이온도가 150 ℃를 초과하는 경우에는 brittle하여 필름화시 깨질 수 있으며, 산가가 높게 되어 필름 안정성이 나빠질 수 있기 때문에 바람직하지 않다If the glass transition temperature of the binder polymer is lower than 60 ° C, it may be difficult to form the film due to tacky property during the liquid preparation with the photopolymerizable monomer. If the glass transition temperature exceeds 150 ° C, the binder polymer may brittle and break during film formation , The acid value becomes high and the film stability may deteriorate, which is not preferable

상기 알칼리 현상성 바인더 폴리머의 함량이 전체 감광성 수지 조성물에 대하여 40 중량% 미만일 경우, 현상단 오염이 발생하여 단락 등의 불량을 초래하는 단점이 발생할 수 있고, 70 중량%를 초과할 경우 밀착력과 해상도 등의 회로물성이 불량해 지는 문제가 있을 수도 있다.
If the content of the alkali developable binder polymer is less than 40% by weight based on the entire photosensitive resin composition, development stage contamination may occur and shortcomings such as short circuit may occur. If the content exceeds 70% by weight, There may be a problem in that the circuit properties such as the breakdown voltage become poor.

[C] 분자내에 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 광중합성 화합물[C] Photopolymerizable compound having an ethylenic unsaturated bond in a molecule

본 발명에서 광중합성 화합물은 광중합성 올리고머, 광중합성 단량체로 표현될 수 있다. In the present invention, the photopolymerizable compound may be represented by a photopolymerizable oligomer or a photopolymerizable monomer.

본 발명의 광중합성 화합물은 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 단독으로 사용하거나 말단에 적어도 2개 이상의 에틸렌기를 포함하는 단량체를 적어도 1종 이상 포함한다.The photopolymerizable compound of the present invention may be used alone or in combination with at least one monomer having at least two ethylene groups at the terminal thereof.

<화학식 1>&Lt; Formula 1 >

Figure pat00003
Figure pat00003

상기 식에서, l+n은 2 내지 4이고, m은 6 내지 18을 만족한다.
Wherein l + n is from 2 to 4 and m is from 6 to 18.

상기 화학식 1은 화합물의 소수성을 향상시키는 역할을 한다. 상기와 같이 소수성을 향상시킴으로써, 현상액 및 도금액에 대한 내성을 현저히 증가시키고 박리속도를 빠르게 한다. The above Formula 1 plays a role in improving the hydrophobicity of the compound. By improving the hydrophobicity as described above, the resistance to the developing solution and the plating solution is remarkably increased and the peeling speed is increased.

본 발명의 광중합성 올리고머는 상기 화학식 1로 표시되는 화합물 이외에도 말단에 적어도 2개의 에틸렌기를 갖는 단량체를 포함할 수도 있다. 상기 말단에 적어도 2개의 에틸렌기를 갖는 단량체로는 에틸렌글리콜디메타크릴레이트(ethylene glycol dimethacrylate), 디에틸렌글리콜디메타크릴레이트(diethylene glycol dimethacrylate), 테트라에틸렌글리콜디메타크릴레이트(tetraethylene glycol dimethacrylate), 프로필렌글리콜디메타크릴레이트(propylene glycol dimethacrylate), 폴리프로필렌글리콜디메타크릴레이트(polypropylene glycol dimethacrylate), 부틸렌글리콜디메타크릴레이트(butylene glycol dimethacrylate), 네오펜틸글리콜디메타크릴레이트(neopentyl glycol dimethacrylate), 1,6-헥산글리콜디메타크릴레이트(1,6-hexane glycol dimethacrylate), 트리메틸올프로판 트리메타크릴레이트(trimethyolpropane trimethacrylate), 글리세린 디메타크릴레이트(glycerin dimethacrylate), 펜타에리트리톨 디메타크릴레이트(pentaerythritol dimethacrylate), 펜타에리트리톨 트리메타크릴레이트(pentaerythritol trimethacrylate), 디펜타에리트리톨 펜타메타크릴레이트(dipentaerythritol pentamethacrylate), 2,2-비스(4-메타크릴옥시디에톡시페닐)프로판(2,2-bis(4-methacryloxydiethoxyphenyl)propane), 2-히드록시-3-메타크릴로일옥시프로필 메타크릴레이트(2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyl methacrylate), 에틸렌글리콜 디글리시딜에테르 디메타크릴레이트(ethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate), 디에틸렌글리콜 디글리시딜에테르 디메타크릴레이트(diethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate), 프탈산 디글리시딜에스테르 디메타크릴레이트(phthalic acid diglycidyl ester dimethacrylate), 글리세린 폴리글리시딜에테르 폴리메타크릴레이트(glycerin polyglycidyl ether polymethacrylate) 및 우레탄기를 함유한 다관능 (메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.The photopolymerizable oligomer of the present invention may contain a monomer having at least two ethylene groups at the terminal thereof in addition to the compound represented by the above formula (1). Examples of the monomer having at least two ethylene groups at the terminal thereof include ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, But are not limited to, propylene glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, 1,6-hexane glycol dimethacrylate, trimethyolpropane trimethacrylate, glycerin dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, 1,6-hexane glycol dimethacrylate, (pentaerythritol dimethacrylate), pentaerythritol trimethacrylate Pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, 2,2-bis (4-methacryloxydiethoxyphenyl) propane, 2 (2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyl methacrylate), ethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate, diethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate, But are not limited to, diethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate, phthalic acid diglycidyl ester dimethacrylate, glycerin polyglycidyl ether polymethacrylate, And polyfunctional (meth) acrylates containing a urethane group.

상기 광중합성 올리고머의 함량은 감광성 수지 조성물 중에 10 내지 50중량%로 포함되는 것이 바람직하다. 상기 광중합성 올리고머의 함량이 상기 범위 내에 있는 경우 광감도와 해상도, 밀착성을 강화하는 효과를 얻을 수 있다.The content of the photopolymerizable oligomer is preferably 10 to 50% by weight in the photosensitive resin composition. When the content of the photopolymerizable oligomer is within the above range, the effect of enhancing photosensitivity, resolution and adhesion can be obtained.

한편, 상기 화학식 1로 표현되는 화합물은 광중합성 화합물 총 중량에 대하여, 10 내지 100 중량% 로 함유되는 것으로, 상기 화학식 1의 화합물이 감광성 수지 조성물 총 중량에 10% 미만으로 함유될 경우에는 투입되는 양 대비 그 효과가 미미할 수 있다.The compound represented by Formula 1 is contained in an amount of 10 to 100% by weight based on the total weight of the photopolymerizable compound. When the compound of Formula 1 is contained in an amount of less than 10% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition, The effect may be minimal compared to the amount.

본 발명의 실시예에서는 TM2207(트로닐)을 사용하였다.
In the example of the present invention, TM2207 (Tronyl) was used.

<용제 및 기타 첨가제><Solvents and other additives>

본 발명의 감광성 수지 조성물의 용제로는 일반적으로 메틸에틸케톤(MEK), 메탄올, THF, 톨루엔, 아세톤, 초산에틸 중에서 선택된 것을 사용하며 상기 용제로 특별히 한정되어지는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물은 상기한 조성 이외에도 통상 첨가되는 가소제. 안정제, 레벨링제 등의 첨가제를 더 포함할 수 있음은 물론인 바, 이들의 구체 성분과 함량은 특별히 한정되는 것은 아니고 통상 첨가되는 수준이다.As the solvent for the photosensitive resin composition of the present invention, a solvent selected from among methyl ethyl ketone (MEK), methanol, THF, toluene, acetone and ethyl acetate is generally used. Further, the photosensitive resin composition of the present invention is usually added in addition to the above-mentioned composition. Stabilizers, leveling agents and the like. The specific components and their contents are not particularly limited, but are usually added.

본 발명에서는 상기와 같은 조성으로 된 드라이 필름 포토레지스트 수지 조성물을 제조하여, 폴리에틸렌테레프탈레이트와 같은 통상의 기재 필름 위에 통상의 코팅 방법을 이용하여 두께 5 내지 200㎛로 감광성 수지층을 코팅시킨 다음, 건조시킨다. 건조시킨 감광성 수지층 위에 폴리에틸렌과 같은 통상의 보호 필름을 이용하여 라미네이션시킨다. 또한, 드라이 필름을 노광, 현상시켜 각각의 물성을 평가하는 방법으로 수행한다.
In the present invention, a dry film photoresist resin composition having the above composition is prepared, a photosensitive resin layer having a thickness of 5 to 200 탆 is coated on a conventional base film such as polyethylene terephthalate by a conventional coating method, And dried. The dried photosensitive resin layer is laminated using a conventional protective film such as polyethylene. Further, the dry film is exposed and developed to evaluate the properties of the respective films.

본 발명에 따른 조성물을 사용하여 제조된 드라이필름 포토레지스트는 세선밀착력이 27 um 이하이고, 해상도는 38 이하를 나타내며, 내오염성이 높고 박리속도가 현저히 빨라, 드라이필름 포토레지스트용 조성물로 적용할 수 있다
The dry film photoresist prepared using the composition according to the present invention has a fine line adhesion of less than 27 탆 and a resolution of not more than 38. It has a high stain resistance and a markedly rapid peeling speed and can be applied as a composition for a dry film photoresist have

이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시한다. 그러나 하기의 실시예는 본 발명을 보다 쉽게 이해하기 위하여 제공되는 것일 뿐, 실시예에 의해 본 발명의 내용이 한정되는 것은 아니다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in order to facilitate understanding of the present invention. However, the following examples are provided only for the purpose of easier understanding of the present invention, and the present invention is not limited by the examples.

[[ 실시예Example ]]

실시예Example 1~3,  1 to 3, 비교예Comparative Example 1, 및 2 1, and 2

광중합성 다관능성 단량체, 광중합개시제, 바인더 폴리머 및 첨가제를 하기 표 1에서 나타낸 바와 같은 조성으로 조액하여 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름위에 건조후 두께가 40㎛되도록 코팅하고 건조하였다. 건조후 폴리에틸렌 필름을 보호필름으로 라미네이션하여 드라이필름 포토레지스트를 제조하였다.
The photopolymerizable polyfunctional monomer, the photopolymerization initiator, the binder polymer and the additive were adjusted to have compositions as shown in the following Table 1, dried on a polyethylene terephthalate film, coated to a thickness of 40 탆, and dried. After drying, the polyethylene film was laminated with a protective film to prepare a dry film photoresist.

성 분ingredient 상품명 (또는 성분명)Product name (or ingredient name) 함량 (중량%)Content (% by weight) 실시예1Example 1 실시예2Example 2 실시예3Example 3 비교예1Comparative Example 1 비교예2Comparative Example 2 알칼리 현상성 바인더 폴리머Alkali developable binder polymer 메틸메타크릴산/메틸메타크릴레이트/스틸렌모노머 /부틸아크릴레이트 공중합체 (20/50/20/10 (중량비), 중량평균분자량 60,000, 고형분 50%)Methyl methacrylate / methyl methacrylate / styrene monomer / butyl acrylate copolymer (20/50/20/10 (weight ratio), weight average molecular weight 60,000, solids content 50%) 57.057.0 57.057.0 57.057.0 57.057.0 57.057.0 광중합개시제Photopolymerization initiator EAB 1) EAB 1) 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.50.5 BCIM 2) BCIM 2) 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 1.51.5 첨가제additive 톨루엔술폰산1수화물
(Aldrich Chemical)
Toluenesulfonic acid monohydrate
(Aldrich Chemical)
0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.50.5 0.50.5
루이코 크리스탈 바이올렛
(일본 Hodogaya Co.)
Ruiko Crystal Violet
(Japan Hodogaya Co.)
0.30.3 0.30.3 0.30.3 0.30.3 0.30.3
다이아몬드 그린 GH
(일본 Hodogaya Co.)
Diamond Green GH
(Japan Hodogaya Co.)
0.20.2 0.20.2 0.20.2 0.20.2 0.20.2
광중합성 화합물Photopolymerizable compound TM2207(트로닐)
l+n=3, m=13
TM2207 (Tronyl)
l + n = 3, m = 13
20.020.0 10.010.0 10.010.0 -- --
M21013 ) M2101 3 ) -- 10.010.0 -- 20.020.0 -- BPE-500 4) BPE-500 4) -- -- 10.010.0 -- 20.020.0 용 제Solvent MEK(Methyl Ethyl Ketone)
(Aldrich Chemical, 99%)
Methyl (Ethyl Ketone)
(Aldrich Chemical, 99%).
20.020.0 20.020.0 20.020.0 20.020.0 20.020.0
(1) EAB : 4,4'-(Bisdiethylamino)benzophenone(Aldrich Chemical)
(2) BCIM : 2,2'-Bis-(2-chlorophenyl-4,5,4'5'tetraphenylbisimidazole(Aldrich Chemical)
(3) M2101 : Bisphenol A (EO)10 dimethacrylate(미원스페셜티케미칼)
(4) BPE-500(신나카무라) : 2,2-bis[4-(methacryloxypolyethoxy)phenyl]propane
(1) EAB: 4,4 '- (Bisdiethylamino) benzophenone (Aldrich Chemical)
(2) BCIM: 2,2'-Bis- (2-chlorophenyl-4,5,4'-tetraphenylbisimidazole (Aldrich Chemical)
(3) M2101: Bisphenol A (EO) 10 dimethacrylate (Miwon Specialty Chemical)
(4) BPE-500 (Shin Nakamura): 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane

상기 조성에 의해 제조한 감광성 수지 조성물을 사용하여 제조된 드라이필름 포토레지스트는 다음과 같은 공정으로 실시하였다.
The dry film photoresist prepared using the photosensitive resin composition prepared above was subjected to the following steps.

<라미네이션><Lamination>

드라이필름 포토레지스트를 브러시(Brush) 연마 처리된 1.6mm 두께의 동장적층판에 기판예열 롤 온도 120 ℃, 라미네이터 롤 온도 115 ℃, 롤 압력 4.0kgf/㎠ 그리고 롤 속도 2.0min/m의 조건으로 HAKUTO MACH 610i를 이용하여 라미네이션하였다.
A dry film photoresist was applied to a 1.6 mm thick copper clad laminate having a brush-polished surface, using a HAKUTO MACH (registered trademark) HAKUTO MACH Co., Ltd. under the conditions of a substrate preheating roll temperature of 120 캜, a laminator roll temperature of 115 캜, a roll pressure of 4.0 kgf / 610i. &Lt; / RTI &gt;

<현상 및 해상도><Phenomenon and resolution>

동장적층판에 라미네이션한 드라이필름 포토레지스트를 회로평가용 포토마스크를 사용하여 Perkin-ElmerTM OB7120(평행광 노광기)을 이용하여 40mJ/cm2의 노광량으로 자외선을 조사한 후 15분 방치하였다. 그 후 Na2CO3 1.0wt% 수용액으로 스프레이 분사방식의 현상조건으로 현상을 실시하였다. 동장적층판 상의 미노광 부위의 드라이필름 포토레지스트가 현상액에 완전히 씻겨지기까지 소요된 시간을 초시계를 이용하여 측정하였으며(최소현상시간) 제품 평가시는 브레이크 포인트 50%로 고정하였다(최소현상시간의 2배).
The dry film photoresist laminated on the copper-clad laminate was irradiated with ultraviolet rays at an exposure dose of 40 mJ / cm 2 using a Perkin-Elmer (TM) OB7120 (parallel light exposing machine) using a circuit evaluating photomask, and left for 15 minutes. Thereafter, the development was carried out under the development conditions of the spraying method with a 1.0 wt% aqueous solution of Na 2 CO 3 . The time taken until the dry film photoresist on the uncoated portion of the copper clad laminate was completely washed in the developing solution was measured using a stopwatch (minimum developing time), and the product was fixed at a breaking point of 50% ship).

물성평가Property evaluation

상기 실시예 및 비교예에서 제조한 감광성 수지 조성물을 사용하여 제조된 드라이필름 포토레지스트의 물성을 아래 방법으로 측정하여 그 결과를 하기 표 2에 나타내었다.
The properties of the dry film photoresist prepared using the photosensitive resin compositions prepared in the above Examples and Comparative Examples were measured by the following methods, and the results are shown in Table 2 below.

<세선 밀착력(단위: ㎛)>&Lt; Fine wire adhesion (unit: 占 퐉)

현상후 독립된 레지스트가 살아남아 있는 최소선폭으로 ZEISS AXIOPHOT Microscope으로 측정하였다.
The ZEISS AXIOPHOT Microscope was used to measure the minimum line width at which independent resist remained after development.

<해상도(단위: ㎛)><Resolution (unit: 탆)>

회로라인과 비회로라인 사이의 공간을 1:1로 하여 측정한 값으로, ZEISS AXIOPHOT Microscope으로 측정하였다.
The space between the circuit and non-circuit lines was 1: 1 and measured with a ZEISS AXIOPHOT Microscope.

<도금에 대한 오염 방지성 평가><Evaluation of Pollution Prevention for Plating>

상기 감광성 수지 조성물로 제조된 드라이필름 포토레지스트를 40cm×50cm 크기로 자르고, 보호필름을 제거하여 스텝 타블렛이 20단/41단이 되는 노광량으로 노광을 실시하고 PET 필름을 박리하여 경화막을 얻었다. 이 경화막을 황산구리/황산 수용액의 도금액 1L에 3일간 침지하였다. 할셀 시험 욕조(정도시험기연구소 제품)를 이용하여 동판에 전류 2A로 10분간 전해 동도금을 실시하였다. The dry film photoresist made of the photosensitive resin composition was cut into a size of 40 cm x 50 cm and the protective film was removed. The step tablet was exposed at an exposure amount of 20 steps / 41 steps and the PET film was peeled to obtain a cured film. This cured film was immersed in 1 L of a plating solution of copper sulfate / sulfuric acid aqueous solution for 3 days. The copper plate was electrolytically copper plated at a current of 2A for 10 minutes using a Halsel test bath (manufactured by Precision Testers Lab.).

경화막을 침지하지 않은 도금액을 기준샘플로 하여 경화막을 침지한 도금액으로 도금했을 때 도금의 외관을 눈으로 관찰하여 도금 외관 이상이나 광택 변화가 발생한 경우 X, 기준샘플과 동일하여 전혀 이상이 없는 경우 O로 판단하였다.
When the coating solution immersed in the cured film is used as the reference sample and the plating solution immersed in the cured film is observed, the appearance of the plating is visually observed to see if there is a plating appearance abnormality or gloss change. X, Respectively.

<박리속도><Peeling speed>

박리속도는 제조된 감광성 드라이 필름 레지스트의 PE 필름을 제거하고 난 후, 가열압착롤러를 이용하여 동판에 라미네이션시키고, 감광성 수지 조성물을 노광하고 현상하여, 50mm×50mm의 크기의 광경화막을 제작하였다. 그리고 3% 수산화나트륨 수용액(온도 50 ℃)를 사용하여 박리를 하였다. 박리속도 평가는 광경화막이 동판에서 떨어지는 시간을 측정하였다.
The peeling speed was obtained by removing the PE film of the prepared photosensitive dry film resist and then laminating it on a copper plate using a heat press roller, exposing the photosensitive resin composition to light, and developing it to produce a photocured film having a size of 50 mm x 50 mm. And peeling was performed using a 3% sodium hydroxide aqueous solution (temperature: 50 ° C). The peel rate evaluation measured the time that the photocurable film fell off the copper plate.

구분division 세선밀착력*1 Fine wire adhesion * 1 해상도*2 Resolution * 2 도금액 오염성*3 Pollution of plating solution * 3 박리속도(초)Peeling speed (sec) 실시예 1Example 1 26㎛26 탆 32㎛32 탆 OO 3939 실시예 2Example 2 24㎛24 탆 34㎛34 탆 OO 5151 실시예 3Example 3 26㎛26 탆 38㎛38 탆 OO 6060 비교예 1Comparative Example 1 22㎛22 탆 36㎛36 탆 XX 6565 비교예 2Comparative Example 2 24㎛24 탆 44㎛44 탆 XX 7878

*1 세선밀착력는 현상후 독립된 선폭이 살아남아 있는 최소선폭이다. * 1 Fine wire adhesion is the minimum line width at which independent line widths survive development.

*2 해상도는 회로라인과 비회로라인 사이의 공간을 1:1로 하여 측정한 값이다* 2 Resolution is measured with a 1: 1 space between the circuit and non-circuit lines

*3 동도금하여 기준샘플과의 이상 유무를 확인한 결과이다.
* 3 This is the result of copper plating and confirming the abnormality with reference sample.

상기 표 2서 보는 바와 같이 실시예 1 내지 3이 비교예 대비 유사 수준의 세선 밀착력 및 해상도를 유지하면서 박리속도가 빠르다. 또한, 비교예 1 및 2에서는 광택이 사라지는 이상을 보여, 실시예 1 내지 3이 도금액에 대한 내성이 우수함을 알 수 있었다.
As shown in Table 2, the peeling speed of Examples 1 to 3 is fast while maintaining the similar level of fine line adhesion and resolution as compared with the comparative examples. In addition, in Comparative Examples 1 and 2, the gloss disappeared, and it was found that Examples 1 to 3 were excellent in resistance to the plating solution.

이상으로 본 발명 내용의 특정한 부분을 상세히 기술하였는 바, 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 이러한 구체적 기술은 단지 바람직한 실시양태일 뿐이며, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되는 것이 아닌 점은 명백할 것이다. 따라서, 본 발명의 실질적인 범위는 첨부된 청구항들과 그것들의 등가물에 의하여 정의된다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to specific embodiments thereof, those skilled in the art will appreciate that such specific embodiments are merely preferred embodiments and that the scope of the present invention is not limited thereto will be. Accordingly, the actual scope of the present invention will be defined by the appended claims and their equivalents.

Claims (5)

[A] 광중합 개시제 2 내지 10 중량%, [B] 알칼리 현상성 바인더 폴리머 40 내지 70 중량%, 및 [C] 광중합성 화합물 10 내지 50 중량%를 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 2개 이상의 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 화합물인 것을 특징으로 하는, 조성물.
[A] 2 to 10% by weight of a photopolymerization initiator, 40 to 70% by weight of an alkali developable binder polymer, and 10 to 50% by weight of a photopolymerizable compound [C] Wherein the composition is a compound having an unsaturated bond.
제 1 항에 있어서,
상기 광중합성 화합물은 하기 화학식 1로 표현되는 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 드라이 필름 포토레지스트용 감광성 수지 조성물.
<화학식 1>
Figure pat00004

상기 식에서, l+n은 2 내지 4이고, m은 6 내지 18을 만족한다.
The method according to claim 1,
Wherein the photopolymerizable compound comprises a compound represented by the following general formula (1).
&Lt; Formula 1 >
Figure pat00004

Wherein l + n is from 2 to 4 and m is from 6 to 18.
제 1 항에 있어서,
상기 화학식 1로 표현되는 화합물은 광중합성 화합물 총 중량에 대하여, 10 내지 100 중량%로 포함하는 것을 특징으로 하는 드라이 필름 포토레지스트용 감광성 수지 조성물.
The method according to claim 1,
The photosensitive resin composition for a dry film photoresist according to claim 1, wherein the compound represented by Formula 1 is contained in an amount of 10 to 100% by weight based on the total weight of the photopolymerizable compound.
제 1 항에 있어서,
상기 알칼리 현상성 바인더 폴리머의 평균분자량은 30,000 내지 150,000인 것을 특징으로 하는, 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the average molecular weight of the alkali developable binder polymer is from 30,000 to 150,000.
제 1 항에 있어서,
상기 알칼리 현상성 바인더 폴리머의 유리전이온도는 60 내지 150 ℃인 것을 특징으로 하는, 조성물.
The method according to claim 1,
Wherein the alkali developable binder polymer has a glass transition temperature of 60 to 150 캜.
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