KR20140081159A - 실린더 랜즈 및 라인광 폭 조절수단을 구비한 광삼각법 측정장치 - Google Patents

실린더 랜즈 및 라인광 폭 조절수단을 구비한 광삼각법 측정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 삼각측정법을 이용한 광삼각 측장장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 측정대상물에 효과적인 라인광을 조사하기 위해 라인광의 선폭을 조절함으로써 측정대상물의 형상을보다 정확하게 측정할 수 있는 광삼각법 측정장치에 관한 것으로, 측정대상물의 일측에 배치되어 라인광을 생성하는 라인광 생성부와, 상기 측정대상물의 타측에 배치되어 상기 라인광의 이미지를 획득하는 이미지 획득부와, 상기 이미지 획득부에서 획득된 이미지를 광삼각법으로 연산처리 하여 측정대상물의 높이를 연산하는 연산부로 구성되며, 상기 라인광을 생성하는 라인광 생성부에는 라인광의 선폭을 조절하는 라인광폭 조절수단을 구비한 것을 특징으로 라인광 선폭 조절장치를 구비한다.

Description

실린더 랜즈 및 라인광 폭 조절수단을 구비한 광삼각법 측정장치{Measurement Device with a means of Width adjustment for line beam and cylinder lens}
본 발명은 삼각측정법을 이용한 광삼각 측장장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 측정대상물에 효과적인 라인광을 조사하기 위해 라인광의 선폭을 조절함으로써 측정대상물의 형상을보다 정확하게 측정할 수 있는 광삼각법 측정장치에 관한 것이다.
반도체 검사 장비, 컴퓨터 그래픽스를 이용한 영화 특수효과, 3D 스캐너 기술 등에 사용하는 3차원 형상 측정방법은 (1) 포인트(Point)광을 이용한 3차원 형상측정(Point Beam Projection)법, (2) 슬릿(Slit)광을 이용한 3차원 형상측정(Slit Beam Projection)법, (3) 공간부호화를 이용한 3차원 형상측정법, (4) 모아레(Moire)를 이용한 3차원 형상 측정법 등을 사용한다.
3D 스캐너 기술은 광삼각법에 기초한 포인트(Point) 광 투영법, 슬릿(Slit) 광 투영법, 그리고 공간부호화법이 사용하며, 많은 격자를 동시에 투영하고 이를 위상천이시켜 측정분해능을 향상시키는 방법으로 영사식 모아레(Moire) 법과 PMP(Phase Measuring Profilometry) 법을 사용한다.
위 기술중에서 특히 광삼각법은 반도체 칩이나 피씨비 기판의 형상을 측정하는데 유용한 측정법으로 널리 활용되고 있다.
도 1a 은 종래의 광삼각법의 원리를 설명하기 위한 도면으로, 이는 BGA(Ball Grid Array) 검사 장비, FC(Flip Chip), CSP(Chip Scale Package) 반도체 검사 장비에 많이 적용된다.
이 원리를 간략히 설명하면 도 1a에 도시된 바와 같이, 레이저 다이오드(laser diode) 발광한 빔을 렌즈로 집광하여 레이저빔(선형 광원)을 만들고 이를 측정 대상체 표면에 입사하면, 측정 대상체 곡면의 높이 변화에 따라 반사된 레이저광이 CCD의 촬상면에 결상되는 광점도 변화하게 되는데, 이때 CCD 촬상면에 결상된 광점의 변화된 위치를 광삼각법(Optical Triangulation)을 사용하여 결정함녀 측정 대상체의 높이를 측정할 수 있다.
이러한 광삼각법은 점광원을 사용하여 측정할 수도 있지만, 측정의 효율을 높이기 위해 여러위치를 동시에 측정이 가는한 라인광을 사용하는 경우가 대부분이다.
여기서 라인광을 측정대상물에 조사하면 상기 라인광의 형상도 높이의 형상에 따라 변하게 되며, 이와 같이 변한 형상을 CCD 카메라로 영상으로 획득한 후 광상각법을 적용하여 측정대상물의 높이를 측정한다.
이러한 광삼각법을 이용한 측정장치는 공개특허 제2002-443호(2002. 1. 5일공개)의 적응적 영역 분할기를 이용한 3차원 표면 형상 측정방법 및 장치(도1b 참조)가 있다.
이 발명은 라인광을 선형의 패턴으로 측정대상체에 조사된 후 CCD카메라에 획득된 측정대상체 영상에서 적응적 영역분할기를 사용하여 적응적으로 라인광의 유사한 강도분포별로 영역을 분할한 후, 분할된 영역에 대해 독립적으로 라인광을 추출하고 라인광의 중심선을 추출함으로써 중심선 추출 정밀도를 높이는 3차원 표면 형상 측정 장치이다.
이와 같이 라인광에서 측정물과 만나는 라인의 형태(약간의 선폭을 갖는 라인광에서 선폭의 중심선)는 정밀도를 높이는데 매우 중요하며, 측정대상물이 작아질 수 선폭이 선명하면서도 작은 라인광은 측정정밀도에 직결된다.
특히 칩의 사이즈가 작아지는 반면에 회로는 더욱 복잡하고 다양하게 변함에 따라 외부회로와의 신호전달에 많은 단자수가 요구되면서 그에 맞추어 BGA(Ball Grid Array)의 볼 사이즈도 수십마이크로까지 변하여 왔다.
아는 바와 같이 볼의 높이는 편차는 조립불량을 유발할 수 있어 볼의 높이를 측정은 필수불가결한 과정이며, 이 경우 볼의 높이를 측정하기 위해서는 삼각법은 수십마이크론의 크기를 식별해 측정하기 위해서는 라인광의 선폭을 십수마이크론으로 형성시켜야 하는 상황이나, 현재의 라인광 생성장치는 사용되는 렌즈의 곡률이나 광원의 특성에 따라 선폭이 결정되므로, 정확한 라인광의 형성에 어려운 문제점이 있다.
또한 종래의 라인광들은 측정대상물에 대해 한 방향에서 광이 조사됨으로 인해 굴곡이 있거나 측면부에는 정확한 영상획득이 어려워 정확한 측정이 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 라인광을 적용한 광삼각 측정장치에 있어서, 분해능을 높이기 위해 상기 라인광의 선폭을 조절할 수 있는 라인광 선폭 조절수단을 제안하고자 한다.
또한 본 발명은 측정대상물에 대해 모든방향에서 조사될 수 있는 전방향 입사광수단을 제안함으로써 정확한 영상획득이 어려운 굴곡이 심하거나 측면부위도 정확한 영상을 얻어 정밀한 측정결과를 얻도록 한다.
본 발명에 따른, 라인광을 적용하여 측정대상물을 측정하는 광삼각법 측정장치는, 측정대상물의 일측에 배치되어 라인광을 생성하는 라인광 생성부와, 상기 측정대상물의 타측에 배치되어 상기 라인광의 이미지를 획득하는 이미지 획득부와, 상기 이미지 획득부에서 획득된 이미지를 광삼각법으로 연산처리 하여 측정대상물의 높이를 연산하는 연산부로 구성된 광삼각법을 응용하는 측정장치에 있어서, 상기 라인광을 생성하는 라인광 생성부에는 라인광의 선폭을 조절하는 라인광선폭 조절수단을 구비한다.
또한 본 발명의 라인광을 적용하여 측정대상물을 측정하는 광삼각법 측정장치는 상기 라인광생성부에 상기 라인광이 측정대상물에 대해 모든방향에서 광이 조사될 수 있는 전방향 입사광수단을 구비한다.
또한 본 발명의 라인광을 적용하여 측정대상물을 측정하는 광삼각법 측정장치는 상기 라인광 선폭 조절수단으로, 실린더렌즈에 근접해 설치되는 광차단기와 광원에 근접해 설치되는 슬릿을 제공한다.
나아가 본 발명의 라인광을 적용하여 측정대상물을 측정하는 광삼각법 측정장치는 상기 슬릿과 광차단기의 간극을 조절하는 간극조절수단을 구비한다.
본 발명에 따라 적용된 라인광을 적용하여 측정대상물을 측정하는 광삼각법 측정장치는 라인광의 선폭을 조절하여 원하는 선폭의 두께와 선명한 선폭을 얻어 측정분해능을 높임으로써, 반도체 칩의 수십마이크로 미터 정도의 BGA 높이를 매우 정확하게 측정하는 장점이 있다.
또한 본 발명에 따른 라인광을 적용하여 측정대상물을 측정하는 광삼각법 측정장치는 측정대상물에 모든방향에서 라인광이 조사됨으로 인해 측정부위에 굴곡이 있거나 표면이 벗겨짐 등으로 인해 그림자가 생기는 부위에 대해서도 최적의 영상을 획득할 수 있어 정확한 측정을 수행할 수 있는 장점이 있다.
도 1a, 및 도1b은 종래 사용하던 광삼각법의 원리를 설명하는 도면,
도 2는 본 발명 따른 라인광 선폭 조절수단인 광차단기와 슬릿이 배치된 도면
도 3은 본 발명 따른 라인광 선폭 조절수단과 전방향 입사광수단(광섬유)이 배치된 도면
도 4는 본 발명 따른 라인광 선폭 조절수단과 전방향 입사광수단(엘이디)이 배치된 도면
도 5는 본 발명 따른 전방향 입사광수단에 의한 광선의 거동을 나타낸 도면
도 6은 본 발명의 전방향 입사광수단을 적용했을 때 획득된 영상의 차이를 나타낸 도면
도 7은 본 발명 따른 라인광 선폭 조절수단의 간극조절수단을 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각법 측정장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명 따른 라인광 선폭 조절수단인 광차단기와 슬릿이 배치된 도면, 도 3 및 도 4는 본 발명 따른 라인광 선폭 조절수단과 전방향 입사광수단(광섬유, 엘이디)이 배치된 도면, 도 5는 본 발명 따른 전방향 입사광수단에 의한 광선의 거동을 나타낸 도면, 도 6은 본 발명의 전방향 입사광수단을 적용했을 때 획득된 영상의 차이를 나타낸 도면, 도 7은 본 발명 따른 라인광 선폭 조절수단의 간극조절수단을 도시한 도면이다.
본 발명에 따른 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각법 측정장치는 측정대상물의 일측에 배치되어 라인광을 생성하는 라인광 생성부와, 상기 측정대상물의 타측에 배치되어 상기 라인광의 이미지를 획득하는 이미지 획득부와, 상기 이미지 획득부에서 획득된 이미지를 광삼각법으로 연산처리하여 측정대상물의 높이를 연산하는 연산부로 구성된 광삼각법을 적용한 측정장치에 있어서, 상기 라인광을 생성하는 라인광 생성부에는 라인광의 선폭을 조절하는 라인광폭 조절수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각법 측정장치에 대하여 설명한다.
도 2에 의하면 라인광 생성부는 광원(26)과 광원렌즈(25)와 실린더 렌즈(20)를 포함하며, 이미지 획득부는 카메라(28)과 카메라 렌즈부(27)을 포함한다.
여기서 카메라 렌즈부(27)에 정확한 영상을 획득하기위해 대해서는 다수의 렌즈가 포함되어야 하나 본 발명에서는 이 부분에 대한 상세한 내용은 도시하지 않는다.
도 2 및 도 3 을 통해 라인광 생성부을 좀더 설명한다. 라인광은 광원(26)에서 발생한 광을 광원렌즈(25)를 거쳐 실린더 렌즈(20)을 통과하면 라인광이 형성된다. 라인광은 어떤형태로든 선폭(도 3에서 부호 'C' 참조)이 존재하는데 이 선폭의 두께에 따라 측정분해능이 결정된다. 즉 선폭이 1mm 라면 측정대상물의 1mm 이하의 물체는 라인광의 선폭에 모두 포함되므로, 형상확인이 되지 않아 측정이 불가능하다. 이로부터 라인광의 선폭의 두께가 작을수록 작은 측정물까지 측정할 수 있어 측정분해능이 향상됨을 알 수 있다.
종래의 라인광 발생부에서 생성한 라인광의 선폭의 두께는 광원(26)과 광원렌즈(25) 및 실린더 렌즈(20)가 정해지면 그들의 값에 따라 결정되는 값으로, 이때는 광원에서 생성되는 주변광이나, 렌즈의 수차등으로 인해 라인광 선폭의 선명도가 떨어질 수 있다.
이 경우 라인광의 선명도 또한 선폭과 마찬가지로 측정정밀도에 영향을 미치는데, 본 발명에서는 라인광의 선폭을 조절하는 라인광 선폭조절장치를 도입함으로써 라인광의 선폭의 조절뿐만 아니라 선명도도 함께 높이는 방안을 제시한다.
본 발명에서는 라인광의 선폭의 조절과 함께 선명도를 높이기 위해 라인광 선폭 조절수단을 도입하되 이는 광원과 실린더렌즈 사이에 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 라인광 선폭 조절수단으로 광원에 근접해 설치되는 슬릿을 포함하며, 상기 슬릿의 중심에는 광원에서 입사되는 광을 통과시키는 틈새(간극)가 구비되고, 상기 틈새(간극)은 길이방향으로 연속적으로 형성되며, 상기 길이방향은 실린더 렌즈의 축 방향과 일치하도록 배치한다.
또한 상기 라인광 선폭 조절수단에는 실린더렌즈에 근접해 설치되는 광차단기(21)를 포함하며 상기 광차단기의 중심에는 광원에서 입사되는 광을 통과시키는 틈새(간극)가 구비되고, 상기 틈새(간극)은 길이방향으로 연속적으로 형성되며, 상기 길이방향은 실린더 렌즈의 축 방향과 일치하도록 배치한다.
만약 위에서 설명한 슬릿과 광차단기의 틈새를 조절할 수 있다면 실린더렌즈에 입사되는 빔의 폭을 변경시켜 라인광의 선폭을 조절할 수 있는데 이를 위해 본 발명에서는 슬릿(22) 또는 광차단기(21)에는 상기 틈새(간극)을 조절할 수 있는 틈새(간극) 조절수단을 구비한다.
도 7은 틈새조절수단의 일예를 도시한 도면을 나타낸다. 이러한 틈새조절수단은 슬릿이나 광차단기의 양쪽끝에 브라켓(71, 73)을 두고 그 브라켓에 장공(72, 74)을 형성시킨후, 그 장공을 따라 슬릿 또는 광차단기를 이동시켜 틈새가 크게하거나 좁혀지도록 조절한다. 물론 이때는 틈새의 폭이 동일하도록 조절해야 함은 당연하다.
이와 같은 구성을 통해 광원을 출발한 광은 슬릿의 간극을 통과하면서 광원의 광에서 주변광은 차단되고 균일한 중심광이 슬릿을 통과되어 라인광이 생성되므로, 라인광 선폭의 조절이 용이함은 물론 라인광의 선명도도 함께 증가시킬 수 있다.
또한 본 발명은 실린더 렌즈에 근접하여 광차단기(21)를 설치한다. 이 광차단기의 역할은 위에서 설명한 슬릿과 유사하지만 슬릿과 광차단기를 동시에 설치하여 라인광의 선폭과 선명도를 좀더 쉽게 조절할 수 있음은 당연하다.
경우에 따라 슬릿과 광차단기를 동시에 설치하거나 슬릿만 설치하거나, 광차단기만을 별도로 설치 할 수 있음도 당연하다.
라인광을 적용하여 영상을 획득함에 있어서, 획득한 영상이 선명하거나, 좀더 많은 영상이 보인다면 이러한 영상을 통해 측정정밀도를 높일 수 있다. 이를 위해 본 발명에서는 상기 라인광생성부에 라인광이 측정대상물에 대해 모든방향에서 광이 조사될 수 있는 전(모든)방향 입사광수단을 구비한다.
본 발명에서는 이러한 전방향 입사광수단의 하나의 실시예로, 광원은 LED 이고 상기 LED는 상기 슬릿의 간극위에 두개 이상 설치되되, 상기 LED들은 일정거리만큼 떨어져 일렬로 배치되면서 슬릿의 간극의 길이만큼 커버할 수 있는 숫자를 설치한다
즉 LED가 상기 슬릿의 간극위에 일렬로 설치되되 다수의 LED가 상기 실린더 렌즈의 축방향과 평행하게 설치되어, 라인광의 선폭 내부에서 측정대상물에 대해 여려방향에서 광이 조사되도록 한다.
전방향 입사광수단의 또 다른 실시예로는 광섬유를 사용하는 방식으로, 광원은 광섬유와 조명램프로 구성되고, 상기 광섬유는 묶여진 다발형태로서 구성되며, 상기 다발형태의 한쪽끝은 상기 슬릿의 간극위에 일렬로 설치되되 상기 일렬의 방향은 상기 실린더 렌즈의 축방향과 평행하다.
또한 상기 다발형태의 다른끝은 원형형태를 갖되, 상기 원형형태에 상기 조명램프의 광을 집광시켜 입사시키며, 상기 입사된 광은 광섬유를 거쳐 슬릿의 간극위에 일렬로 배치된 광섬유의 끝부분을 통해 상기 슬릿의 간극으로 조사됨으로써 , 라인광의 선폭 내부에서 측정대상물에 대해 여러방향에서 광이 조사되도록 한다.
도 3은 전방향 입사광수단에 대한 하나의 실시예로, 광섬유를 통해 측정대상물에 여러방향에서 광을 조사하는 구조를 도시한 도면이다. 이를 자세히 설명하면, 광원(36)의 광을 집광렌즈(35)를 통해 집광시킨후 이를 묶여진 다발형태의 광섬유(35)의 끝부분에 입사시킨다. 이때 입사된 광은 광섬유를 거쳐 슬릿위에 일렬로 배치된 광섬유의 단부(끝부분)를 통해 슬릿으로 입사된다.
도 4는 전방향 입사광수단에 대한 또 다른 하나의 실시예로, LED 를 통해 측정대상물에 여러방향에서 광을 조사하는 구조를 도시한 도면이다. 이를 자세히 설명하면, 다수의 LED가 배치된 광원(46)의 광을 집광렌즈(45)를 통해 슬릿의 간극으로 입사시킨다.
여기서 슬릿의 간극에 입사되는 광의 형태를 보면, 도 3은 광섬유의 끝단부이고, 도 4는 LED이므로 점광원처럼 광이 진행되면서 슬릿의 간극을 통해 실린더 렌즈로 입사된다.
도 5는 전방향 입사광 수단을 적용할 때의 광선(ray)의 거동을 나타낸 것이다. 여기서 슬릿(22)에 입사되는 광은 점광원(51)에서 광이 조사되는 것처럼 거동한다. 이때 도 5의 점광원(51)은 LED(도 4 참조)나 광섬유의 끝단부(도 3 참조)에 해당한다.
이를 좀더 설명하면, 점광원(51)에서 발생한 광은 방사형태로 슬릿(22)에 입사한 후, 실린더렌즈(20)로 입사되며, 실린더 렌즈를 통해 측정대상물(53)로 조사된다. 이때 만약 점광원(51)이 하나였다면 측정대상물(53)에 도달하는 광선은 한방향에서 조사되는 형태로 입사하지만, 점광원(51)이 다수개라면 여러개의 점광원에서 나온 광선들(22)은 실린더 렌즈(20)를 거쳐 측정대상물(53)에 입사되는 광선들(52)는 측정대상물에 대해 여러방향에서 조사되는 형태로 거동한다.
도 6은 동일한 측정대상물에 대해 한방향에서 광선(ray)이 조사되는 형태를 포함하는 라인광과 여러방향에서 광선이 조사되는 형태를 포함하는 라인광이 측정대상물에 조사되었을때 카메라로 획득하는 형상을 나타낸 결과이다.
도 6에서 보는 바와 같이 동일측정대상물에 대해 한방향의 광선을 포함하는 라인광의 경우 동일한 방향에서 광선이 측정물에 도달하므로, 측면부위의 일부분에는 광선이 도달하지 못하나, 여러방향의 광선을 포함하는 라인광은 여러방향에서 광선이 측정물에 도달하므로, 측면부위의 많은 영역에도 광선이 도달할 확률이 높다.
따라서 한방향의 광선을 포함하는 라인광이 측면부에 도달하지 못한 부위(h1)가, 여러방향의 광선을 포함하는 라인광이 측면부에 도달하지 못한 부위(h2)보다 크며, 이를 영상으로 보면, 한방향의 광선을 포함하는 라인광으로 얻은 라운드형상(64)보다, 여러방향의 광선을 포함하는 라인광으로 얻은 라운드형상(65)이 더 많이 보임에 따라(즉 더 많은 정보를 갖음) 좀 더 정확한 측정값을 얻을 수 있다.
위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 광삼각법 측정장치는 라인광 선폭조절수단을 포함하여 라인광의 선폭을 조절할 수 있을 뿐 아니라, 상기 라인광의 광선이 여러방향에서 측정대상물에 조사될 수 있는 전(모든)방향 입사광수단이 포함되어 있어 라인광이 입사하기 어려운 측면부위도 더 많이 영상을 획득할 수 있어,종래의 광삼각법에 비해 높은 측정정밀도을 얻을 수 있다.
또한, 본 발명은 슬릿과 광차단기의 간극 조절수단을 구비함으로써 측정대상물의 특성에 따라 라인광의 선폭을 조절할 수 있어 측정대상물의 특성에 맞는 라인광을 제공하는 이점이 있다.
이상, 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용에 한정되는 것이 아니다.
오히려, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
20: 실린더 렌즈 21: 광차단기
22: 슬릿 25, 35, 45: 집광렌즈
26, 36: 광원 27: 카메라 렌즈
28: 카메라 34: 광섬유 다발
46: 엘이디(LED)

Claims (8)

  1. 측정대상물의 일측에 배치되어 라인광을 생성하는 라인광 생성부와, 상기 측정대상물의 타측에 배치되어 상기 라인광의 이미지를 획득하는 이미지 획득부와, 상기 이미지 획득부에서 획득된 이미지를 광삼각법으로 연산처리 하여 측정대상물의 높이를 연산하는 연산부로 구성된 광삼각법을 응용하는 측정장치에 있어서,
    상기 라인광을 생성하는 라인광 생성부에는 라인광의 선폭을 조절하는 라인광폭 조절수단을 구비한 것을 특징으로 하는 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각 측정장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 라인광 생선부는 광원과 실린더렌즈를 포함하며, 상기 라인광 선폭 조절수단은 광원과 실린더렌즈 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각 측정장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 라인광 선폭 조절수단은 광원에 근접해 설치되는 슬릿을 포함하며, 상기 슬릿의 중심에는 광이 통과할 수 있는 틈새(간극)가 구비되고, 상기 틈새(간극)은 길이방향으로 연속적으로 형성되며, 상기 길이방향은 실린더 렌즈의 축 방향과 일치하는 것을 특징으로 하는 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각 측정장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 라인광 선폭 조절수단은 실린더렌즈에 근접해 설치되는 광차단기를 포함하며 상기 광차단기의 중심에는 광이 통과할 수 있는 틈새가 구비되고, 상기 틈새는 길이방향으로 연속적으로 형성되며, 상기 길이방향은 실린더 렌즈의 축 방향과 일치하는 것을 특징으로 하는 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각 측정장치.
  5. 제 3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 슬릿 또는 광차단기에는 상기 틈새를 조절할 수 있는 틈새 조절수단을 구비한 것을 특징으로 하는 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각 측정장치.
  6. 제 3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 라인광생성부는 상기 라인광이 측정대상물에 대해 모든방향에서 광이 조사될 수 있는 전(모든)방향 입사광수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각 측정장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 전방향 입사광수단으로, 광원은 LED 이고 상기 슬릿의 틈새위에 설치되되 두개이상의 LED가 상기 실린더 렌즈의 축방향과 평행하게 설치되어, 라인광의 선폭 내부에서 측정대상물에 대해 여러방향에서 광이 조사되는 것을 특징으로 하는 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각 측정장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 전방향 입사광수단으로, 광원은 광섬유와 조명램프로 구성되고, 상기 광섬유는 묶여진 다발형태로서 구성되며, 상기 다발형태의 한쪽끝은 상기 슬릿의 틈새위에 일렬로 설치되되 상기 일렬의 방향은 상기 실린더 렌즈의 축방향과 평행하고, 상기 다발형태의 다른끝은 원형형태를 갖되, 상기 원형형태에 상기 조명램프의 광을 집광시켜 입사시키며, 상기 입사된 광은 광섬유를 거쳐 슬릿의 틈새위에 일렬로 배치된 광섬유의 끝부분을 통해 상기 슬릿의 틈새로 조사됨으로써, 라인광의 선폭 내부에서 측정대상물에 대해 여러방향에서 광이 조사되는 것을 특징으로 하는 라인광 선폭 조절장치를 탑재한 광삼각 측정장치.








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