KR20140078695A - Device for manufacturing glass substrate, and method for manufacturing glass substrate - Google Patents

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Abstract

글래스 기판의 제조 과정에 있어서 청징관을 가열하여 탈포 처리를 행할 때, 청징제로서 환경 부하가 적은 SnO2 등을 사용해도, 청징관의 내부에 부착되는 휘발물을 저감시킬 수 있는 글래스 기판의 제조 장치 및 제조 방법을 제공한다. 청징관의 내부의 상부의 영역이며, 청징관에 용융 글래스를 통과시켜 탈포할 때에, 용융 글래스의 액면상의 공간으로 되는 기상 공간을 미리 설정한다. 보강부를, 설정한 기상 공간의 적어도 일부에 있어서, 기상 공간에 있어서의 기류의 체류가 발생하지 않는 형상으로 형성한다.A manufacturing method of a glass substrate capable of reducing volatilization to be adhered to the inside of a purifying tube even when SnO 2 having a small environmental load is used as a purifying agent in heating the purifying tube in the manufacturing process of the glass substrate, Device and a manufacturing method thereof. The upper part of the inside of the purifying tube is a vapor phase space which becomes a space on the liquid surface of the molten glass when degassing the molten glass through the purifying tube. The reinforcing portion is formed in a shape that does not cause retention of the airflow in the gas phase space in at least a part of the set gas phase space.

Description

글래스 기판의 제조 장치 및 글래스 기판의 제조 방법{DEVICE FOR MANUFACTURING GLASS SUBSTRATE, AND METHOD FOR MANUFACTURING GLASS SUBSTRATE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an apparatus for manufacturing a glass substrate and a method for manufacturing the same,

본 발명은 글래스 원료를 용융하여 생성시킨 용융 글래스를 성형함으로써 글래스 기판을 제조하는, 글래스 기판의 제조 장치 및 글래스 기판의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a glass substrate manufacturing apparatus and a glass substrate manufacturing method for manufacturing a glass substrate by molding a molten glass produced by melting glass raw materials.

글래스 기판은, 일반적으로, 글래스 원료로부터 용융 글래스를 생성시킨 후, 용융 글래스를 글래스 기판으로 성형하는 공정을 거쳐 제조된다. 상기한 공정 중에, 필요에 따라 용융 글래스가 내포하는 미소한 기포를 제거하는 공정(이하, 청징이라고도 함)이 포함된다. 청징은, 청징관을 가열하면서, 이 청징관에 As2O3 등의 청징제를 배합시킨 용융 글래스를 통과시키고, 청징제의 산화 환원 반응에 의해 용융 글래스 중의 기포가 제거됨으로써 행해진다. 보다 구체적으로는, 대략 용해시킨 용융 글래스의 온도를 더욱 높여 청징제를 기능시키고, 기포를 부상 탈포시킨다. 그 후, 온도를 낮춤으로써, 완전히 탈포되지 않고 남았던 비교적 작은 기포를 용융 글래스에 흡수시킨다. 즉, 청징은, 기포를 부상 탈포시키는 처리(이하, 탈포 처리 또는 탈포 공정이라고도 함) 및 작은 기포를 용융 글래스에 흡수시키는 처리(이하, 흡수 처리 또는 흡수 공정이라고도 함)를 포함한다. 청징제는 종래 As2O3이 일반적이었지만, 최근, 환경 부하를 저감시키는 관점에서, SnO2이나 Fe2O3 등이 사용되도록 되어 오고 있다.A glass substrate is generally manufactured through a step of forming a molten glass from a glass raw material and then molding the molten glass into a glass substrate. In the above process, a step of removing minute bubbles contained in the molten glass (hereinafter also referred to as refining) may be included if necessary. The refining is performed by passing a molten glass containing a refining agent such as As 2 O 3 through the refining tube while heating the refining tube and removing bubbles in the molten glass by redox reaction of the refining agent. More specifically, the temperature of the molten glass that has been substantially dissolved is further increased to make the fining agent function, and the bubbles are flotated off. Thereafter, by lowering the temperature, the relatively small bubbles that have not been completely defoamed are absorbed into the molten glass. That is to say, the refining includes treatment (hereinafter also referred to as a degassing treatment or defoaming process) of bubbling the bubbles and a process of absorbing small bubbles into the molten glass (hereinafter also referred to as an absorption process or an absorption process). Conventionally As 2 O 3 has been generally used as a refining agent, but in recent years, SnO 2 , Fe 2 O 3 and the like have been used from the viewpoint of reducing the environmental load.

고온의 용융 글래스로부터 품위가 높은 글래스 기판을 양산하기 위해서는, 글래스 기판의 결함의 요인으로 되는 이물질 등이, 글래스 기판을 제조하는 어느 장치로부터도 용융 글래스에 혼입되지 않도록 고려하는 것이 요망된다. 이로 인해, 글래스 기판의 제조 과정에 있어서 용융 글래스에 접하는 부재의 내벽은, 그 부재에 접하는 용융 글래스의 온도, 요구되는 글래스 기판의 품질 등에 따라, 적절한 재료에 의해 구성할 필요가 있다. 예를 들어, 상술한 청징관을 구성하는 재료는, 통상 백금 또는 백금 합금 등의 백금족 금속이 사용되고 있는 것이 알려져 있다(특허문헌 1). 백금 또는 백금 합금은, 고가이지만 융점이 높고, 용융 글래스에 대한 내식성도 우수하다.In mass production of glass substrates of high quality from molten glass at a high temperature, it is desired to consider that foreign substances or the like which cause defects of the glass substrate are not mixed into the molten glass from any apparatus for manufacturing glass substrates. Therefore, in the manufacturing process of the glass substrate, the inner wall of the member in contact with the molten glass needs to be made of a suitable material in accordance with the temperature of the molten glass in contact with the member, the quality of the required glass substrate, and the like. For example, it is known that a platinum group metal such as platinum or a platinum alloy is usually used as the material constituting the above-described cleaning tube (Patent Document 1). Platinum or platinum alloys are expensive but have a high melting point and excellent corrosion resistance to molten glass.

탈포 공정 시에 청징관을 가열하는 온도는, 성형해야 하는 글래스 기판의 조성에 따라 상이하지만, 1000∼1650℃ 정도이다.The temperature at which the cleaning tube is heated during the defoaming process varies depending on the composition of the glass substrate to be formed, but is about 1000 to 1650 占 폚.

청징관에 상술한 용융 글래스를 통과시킬 때, 청징관의 내부 표면과 용융 글래스의 액면과의 사이에 일정 넓이의 탈포용의 기상 공간을 갖도록 할 필요가 있다.It is necessary to have a vapor phase space for deaerating a certain width between the inner surface of the purifying tube and the liquid surface of the molten glass when passing the above-mentioned molten glass through the purifying tube.

일본 특허 공표 제2006-522001호 공보Japanese Patent Publication No. 2006-522001

상술한 기상 공간에는 용융 글래스로부터 산소를 포함하는 기포가 방출되므로, 청징관 중 기상 공간에 접하는 내벽 부분의 백금 또는 백금 합금이 휘발된다.Since the air bubbles containing oxygen are released from the molten glass in the above-mentioned vapor phase, platinum or platinum alloy in the inner wall portion of the purifying tube which is in contact with the vapor phase space is volatilized.

그런데, 글래스 기판의 제조에 있어서는, 사용하는 청징제에 따라 청징 작용이 효과적으로 발휘되는 온도가 상이한 것이 알려져 있다. 예를 들어, As2O3(아비산)은 기포를 제거하는 능력이 우수하고, 청징 온도도 1500℃ 정도 이상의 범위에서 충분하므로, 종래는 청징제로서 As2O3을 사용하는 것이 일반적이었다. 그러나, 아비산은 환경 부하가 높으므로, 이미 설명한 바와 같이 최근에는 환경 부하가 높지 않은 청징제로서 SnO2(산화주석) 등이 사용되도록 되어 오고 있다. 그러나, 산화주석은 아비산과 비교하여 탈포 공정 시에 기포를 방출하는 힘이 약하기 때문에, 글래스의 점성을 낮게 하여 탈포 효과를 높일 필요가 있고, 따라서 높은 온도에서 청징을 행할 필요가 있다. 예를 들어, 산화주석을 청징제로서 사용한 경우에는, 1600℃ 이상으로 승온시키는 것이 바람직하다. 이로 인해, 상술한 기상 공간에 접하는 청징관의 내벽 부분에 있어서, 이 내벽 부분이 종래보다도 휘발되기 쉬워져 버린다고 하는 과제가 있었다. 이와 같은 백금의 휘발에 의한 박육화나, 고온에 의한 강도의 저하를 방지하기 위해, 청징관에는 둘레 방향으로 링 형상의 보강재 등의 보강부가 설치되는 경우, 보강부의 근방에서 백금의 휘발물이 부착되기 쉬워진다. 이 부착된 휘발물이 낙하하여 탈포 공정 중의 용융 글래스 중에 혼입되어, 글래스 기판의 품질의 저하를 초래할 우려가 있었다.However, it is known that, in the production of a glass substrate, the temperature at which the clarifying action is effectively exerted differs depending on the refining agent to be used. For example, As 2 O 3 (abiic acid) is excellent in the ability to remove bubbles, and the cleaning temperature is sufficient in the range of about 1500 ° C. or higher. As a result, As 2 O 3 was generally used as a cleaning agent. However, as described above, since abiic acid has a high environmental load, SnO 2 (tin oxide) has recently been used as a refining agent having a low environmental load. However, since tin oxide has a weaker force of releasing bubbles in the defoaming process as compared with abiotic acid, it is necessary to lower the viscosity of the glass to enhance the defoaming effect, and therefore, it is necessary to purify at a high temperature. For example, when tin oxide is used as the fining agent, it is preferable to raise the temperature to 1600 占 폚 or higher. As a result, there has been a problem that the inner wall portion of the clarifying tube contacting with the above-mentioned gas-phase space is liable to be more volatile than the conventional one. In the case where a reinforcing portion such as a ring-shaped reinforcing material in the circumferential direction is provided on the purifying tube in order to prevent the thinning of the platinum by volatilization of the platinum and the decrease in the strength due to the high temperature, It gets easier. The volatilized product adheres to the molten glass during the defoaming process, and the quality of the glass substrate may deteriorate.

본 발명은 이상의 점을 감안하여, 글래스 기판의 제조 과정에 있어서 청징관을 가열하여 탈포 처리를 행할 때, 청징제로서 환경 부하가 적은 SnO2 등을 사용해도, 청징관의 강도를 유지하면서, 청징관의 보강부의 근방에 부착되는 휘발물을 저감시킬 수 있는 글래스 기판의 제조 방법 및 제조 장치를 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a glass substrate, in which, when a defoaming treatment is performed by heating a cleaning tube in a manufacturing process of a glass substrate, even when SnO 2 having a low environmental load is used as a cleaning agent, Provided are a manufacturing method and a manufacturing apparatus for a glass substrate which can reduce volatilized substances adhering to the vicinity of a reinforcement portion of a tube.

상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 형태는, 글래스 기판의 제조 공정에 있어서, 용융 글래스를 청징하기 위한 청징조를 갖는 글래스 기판의 제조 장치로서, 상기 청징조는, 백금 또는 백금 합금을 포함하는 청징관과, 상기 청징관의 둘레 방향으로 설치되고, 상기 청징관을 보강하는 보강부와, 상기 청징관의 내부 표면의 상부의 영역이며, 상기 청징관에 용융 글래스를 통과시켜 청징할 때에, 상기 용융 글래스의 액면상의 공간으로서 미리 설정된 기상 공간을 구비하고, 상기 보강부는, 상기 기상 공간의 적어도 일부에 있어서, 상기 기상 공간에 있어서의 기류의 체류가 발생하지 않는 형상으로 형성되어 있다. 즉, 상기 보강부는, 상기 기상 공간에 있어서 백금의 휘발물의 농도가 국소적으로 상승하는 것을 방지하는 형상으로 형성되어 있다. 환언하면, 상기 보강부는, 상기 기상 공간에 있어서의 기류와 역방향의 기류를 발생시키지 않는 형상으로 형성되어 있다.In order to achieve the above object, one embodiment of the present invention is an apparatus for producing a glass substrate having a blue sign for purifying molten glass in a process of manufacturing a glass substrate, wherein the blue sign comprises platinum or a platinum alloy A reinforcing portion provided in a circumferential direction of the purifying pipe and reinforcing the purifying pipe; and an upper portion of an inner surface of the purifying pipe, wherein when the purifying glass is passed through the purifying pipe through the purifying pipe And a gas phase space preliminarily set as a space on the liquid surface of the molten glass, wherein the reinforcing portion is formed in at least a part of the gas phase space such that the air current does not stay in the gas phase space. That is, the reinforcing portion is formed in a shape that prevents the concentration of volatiles of platinum in the vapor phase space from locally rising. In other words, the reinforcing portion is formed in a shape that does not generate the air flow in the direction opposite to the air flow in the vapor space.

또한, 본 발명이 다른 형태는, 글래스 기판의 제조 공정에 있어서, 용융 글래스를 청징하기 위한 청징조를 갖는 글래스 기판의 제조 장치로서, 상기 청징조는, 백금 또는 백금 합금을 포함하는 청징관과, 상기 청징관의 둘레 방향으로 설치되고, 상기 청징관의 내부 표면으로부터 상기 청징관의 내측으로 돌출되는 보강부와, 상기 청징관의 내부 표면의 상부의 영역이며, 상기 청징관에 용융 글래스를 통과시켜 청징할 때에, 상기 용융 글래스의 액면상의 공간으로서 미리 설정된 기상 공간을 구비하고, 상기 기상 공간에 속하는 상기 보강부의 적어도 일부가 제거되어 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a glass substrate having a blue sign for purifying molten glass in a process of manufacturing a glass substrate, wherein the blue sign comprises a cleaning tube containing platinum or a platinum alloy, A reinforcing portion provided in a circumferential direction of the purifying pipe and protruding from the inner surface of the purifying pipe toward the inside of the purifying pipe; and an upper portion of the inner surface of the purifying pipe, wherein the molten glass is passed through the purifying pipe And a reflux condenser for refluxing the reflux condenser, wherein the reflux condenser is provided with a predetermined vapor space as a space on the liquid surface of the molten glass at the time of refining, and at least a part of the reinforcing portion belonging to the vapor space is removed.

상기한 형태에 있어서, 상기 기상 공간에 속하는 보강부의 적어도 일부를 곡면 형상으로 형성해도 된다.In the above-described aspect, at least a part of the reinforcing portion belonging to the vapor phase space may be formed in a curved shape.

또한, 본 발명이 다른 형태는, 글래스 기판의 제조 방법으로서, 상기한 글래스 기판의 제조 장치를 사용하고, 상기 청징관을 가열하면서, 청징제를 배합시킨 용융 글래스를 상기 청징관에 통과시켜 탈포하는 탈포 공정을 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a glass substrate, comprising the steps of using the apparatus for producing a glass substrate described above, heating the cleaning tube, passing the melted glass containing the cleaning agent through the cleaning tube, And a defoaming process.

상기한 형태는, 상기 청징제가 산화주석인 경우에 특히 적합하다.The above-mentioned form is particularly suitable when the refining agent is tin oxide.

상기한 형태는, 상기 용융 글래스는, 점도를 102. 5포아즈로 하는 경우에, 1300℃ 이상의 용융 온도를 필요로 하는 재료로 구성하는 경우에 특히 적합하다.The above-described aspect, the molten glass is, in the case of a viscosity of 10 2.5 poise, are particularly suitable for the case that made of a material which requires more than 1300 ℃ melting temperature.

본 발명의 글래스 기판의 제조 장치 및 글래스 기판의 제조 방법에 의하면, 청징에 관한 온도가 종래보다도 고온을 필요로 하게 되어도, 보강부에 의해 청징관의 강도를 유지하면서, 보강부의 근방에 있어서 휘발물이 부착되기 어려워진다. 따라서, 탈포 공정 중에 용융 글래스에 이물질이 혼입되는 것을 피할 수 있으므로, 글래스 제품의 품질을 유지할 수 있다.According to the apparatus for manufacturing a glass substrate and the method for manufacturing a glass substrate of the present invention, even if the temperature for refinement needs to be higher than the conventional temperature, the strength of the purifying tube is maintained by the reinforcing portion, Is difficult to be attached. Therefore, foreign matter can be prevented from being mixed into the molten glass during the defoaming process, so that the quality of the glass product can be maintained.

도 1은 실시 형태의 글래스 기판의 제조 방법을 설명하기 위한, 글래스 기판 제조 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 청징조의 기본적인 구성을 도시하는 개략도이다.
도 3의 (a)는 도 2의 3a-3a선을 따르는 단면도이며, (b)는 보강부의 평면도이다.
도 4는 본 실시 형태의 변형예를 도시하는 도면이며, (a) 및 (b)는 도 2의 3a-3a선을 따르는 단면도이다.
도 5는 종래의 보강부 근방에 있어서의 기류의 체류를 설명하는 단면도이다.
도 6은 본 실시 형태의 변형예를 도시하는 보강부 근방의 확대 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a glass substrate manufacturing apparatus for explaining a manufacturing method of a glass substrate according to an embodiment. FIG.
2 is a schematic diagram showing a basic configuration of a blue sign.
Fig. 3 (a) is a sectional view taken along line 3a-3a in Fig. 2, and Fig. 3 (b) is a plan view of a reinforced portion.
Fig. 4 is a view showing a modification of this embodiment, wherein (a) and (b) are sectional views taken along the line 3a-3a in Fig. 2. Fig.
5 is a cross-sectional view for explaining retention of airflow near a conventional reinforcing portion.
6 is an enlarged cross-sectional view of a vicinity of a reinforcing portion showing a modification of the embodiment.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 글래스 기판의 제조 방법의 실시 형태에 대해 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a method of manufacturing a glass substrate of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 실시 형태의 글래스 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 개략도이며, 글래스 기판의 제조에 있어서의 기본적인 흐름을 간략적으로 도시한 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a schematic view for explaining a manufacturing method of a glass substrate according to an embodiment, and schematically shows a basic flow in the production of a glass substrate. Fig.

글래스 기판 제조 장치(이하, 단순히 장치라고도 함)(100)는, 글래스 원료를 가열하여 용융 글래스를 생성하는 용융조(10)와, 용융 글래스를 청징하는 청징조(30)와, 용융 글래스를 성형하는 성형 장치(도시하지 않음)와, 이들 사이를 접속하는 이송관(20, 40)을 구비하고 있다.A glass substrate manufacturing apparatus (hereinafter also simply referred to as apparatus) 100 includes a melting vessel 10 for heating a glass raw material to produce molten glass, a blue screen 30 for purifying the molten glass, (Not shown), and transfer pipes 20 and 40 for connecting between them.

이송관(20)은 용융조(10)와 청징조(30)를 접속하고, 용융조(10)로부터 도출된 용융 글래스를 청징조(30)에 공급한다. 이송관(40)은 청징조(30)와 성형 장치(도시하지 않음)를 접속하고, 청징조(30)로부터 도출된 용융 글래스를 성형 장치(도시하지 않음)에 공급한다. 또한, 청징조(30)와 성형 장치와의 사이에는 용융 글래스를 교반하여 균질화하기 위한 교반조가 배치되는 경우가 있다. 화살표는 용융 글래스가 흐르는 방향을 나타낸다.The transfer pipe 20 connects the molten bath 10 and the blue sign 30 and supplies molten glass derived from the molten bath 10 to the blue sign 30. The transfer pipe 40 connects the blue sign 30 and the molding device (not shown), and supplies the molten glass derived from the blue sign 30 to a molding device (not shown). Further, a stirring tank for homogenizing the molten glass by stirring the molten glass may be disposed between the blue sign 30 and the molding apparatus. The arrow indicates the direction in which the molten glass flows.

용융조(10)에 투입되는 글래스 원료는, 제조해야 하는 글래스 기판의 조성에 따라 적절히 제조된다. 일례로서, TFT형 LCD용 기판으로서 사용하는 글래스 기판을 제조하는 경우를 들면, 글래스 기판을 구성하는 글래스 조성물을 질량％로 표시하여,The glass raw material charged into the melting tank 10 is suitably manufactured in accordance with the composition of the glass substrate to be produced. As an example, in the case of producing a glass substrate to be used as a substrate for a TFT type LCD, the glass composition constituting the glass substrate is expressed in mass%

SiO2:50∼70％,SiO 2 : 50 to 70%

Al2O3:0∼25％,Al 2 O 3 : 0 to 25%

B2O3:1∼15％,B 2 O 3 : 1 to 15%

MgO:0∼10％,MgO: 0 to 10%

CaO:0∼20％,CaO: 0 to 20%

SrO:0∼20％,SrO: 0 to 20%

BaO:0∼10％,BaO: 0 to 10%

RO:5∼30％(단, R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba으로부터 선택되는 적어도 1종이며, 질량％는 이들의 합계량을 의미함)RO: 5 to 30% (R is at least one kind selected from Mg, Ca, Sr and Ba, and mass% means the total amount thereof)

를 함유하는 무알칼리 글래스인 것이, 바람직하다.Is preferably an alkali-free glass.

또한, 본 실시 형태에서는 무알칼리 글래스로 하였지만, 글래스 기판은 알칼리 금속을 미량 포함한 알칼리 미량 함유 글래스이어도 된다. 알칼리 금속을 함유시키는 경우, R'2O의 합계가 0.10％ 이상 0.5％ 이하, 바람직하게는 0.20％ 이상 0.5％ 이하(단, R'는 Li, Na 및 K으로부터 선택되는 적어도 1종이며, 글래스 기판이 함유하는 것임)를 포함하는 것이 바람직하다. 물론, R'2O의 합계가 0.10％ 미만이어도 된다.In the present embodiment, the non-alkali glass is used, but the glass substrate may be an alkali-containing glass containing a trace amount of alkali metal. When an alkali metal is contained, the total amount of R ' 2 O is 0.10% or more and 0.5% or less, preferably 0.20% or more and 0.5% or less (provided that R' is at least one selected from Li, Na and K, It is preferable that the substrate contains the above). Of course, the total of R ' 2 O may be less than 0.10%.

또한, 본 발명의 글래스 기판의 제조 방법을 적용하는 경우에는, 글래스 조성물이, 상기 각 성분 외에, 질량％로 표시하여, SnO2:0.01∼1％(바람직하게는 0.01∼0.5％), Fe2O3:0∼0.2％(바람직하게는 0.01∼0.08％)를 함유하고, 환경 부하를 고려하여, As2O3, Sb2O3 및 PbO을 실질적으로 함유하지 않도록 글래스 원료를 제조해도 된다.In addition, when the glass substrate manufacturing method of the present invention is applied, the glass composition may contain SnO 2 in an amount of 0.01 to 1% (preferably 0.01 to 0.5%), Fe 2 O 3 : 0 to 0.2% (preferably 0.01 to 0.08%), and the glass raw material may be produced so as not to contain As 2 O 3 , Sb 2 O 3 and PbO substantially in consideration of the environmental load.

용융조(10)에서 생성한 용융 글래스는, 이송관(20)을 통해 청징조(30)에 보내진다. 청징조(30)에서는, 용융 글래스가 소정 온도(상기 조성의 글래스의 경우에는, 예를 들어 1500℃ 이상)로 유지되어, 용융 글래스에 포함되는 기포의 제거를 행하는 탈포 공정을 포함하는 청징이 행해진다. 또한, 청징조(30)에서 청징된 용융 글래스는, 이송관(40)을 통해 성형 장치로 보내진다. 용융 글래스는, 청징조(30)로부터 성형 장치로 보내질 때의 이송관(40)에 있어서, 성형에 적합한 온도(상기 조성의 글래스의 경우에는, 예를 들어 1200℃ 정도)로 되도록 냉각된다. 성형 장치에서는, 용융 글래스가 글래스 기판으로 성형된다.The molten glass produced in the molten bath 10 is sent to the blue sign 30 through the transfer pipe 20. In the blue sign 30, refining is carried out including a defoaming process in which the molten glass is maintained at a predetermined temperature (for example, 1500 DEG C or more in the case of the glass of the above composition) to remove bubbles contained in the molten glass All. Further, the molten glass cleaned in the blue oven 30 is sent to the molding apparatus through the transfer pipe 40. The molten glass is cooled to a temperature suitable for molding (in the case of glass of the above composition, for example, about 1200 DEG C) in the transfer pipe 40 when it is sent from the blue sign 30 to the molding apparatus. In the molding apparatus, molten glass is formed into a glass substrate.

이어서, 탈포 공정을 포함하는 청징에 대해 도 2를 사용하여 설명한다. 도 2는 청징조(30)의 기본적인 구성을 도시하는 측면도이다.Next, refinement including a defoaming process will be described with reference to Fig. 2 is a side view showing a basic configuration of the blue sign 30.

청징조(30)는 주로 청징관(31), 청징관(31)에 접속된 히터 전극(32a 및 32b) 및 청징관을 보강하는 보강재로서의 보강부(33)에 의해 구성되어 있다.The blue sign 30 is mainly composed of a cleaning pipe 31, heater electrodes 32a and 32b connected to the cleaning pipe 31 and a reinforcing portion 33 as a reinforcing material for reinforcing the purifying pipe.

청징관(31)은 백금 또는 백금 로듐 합금 등의 백금 합금의 금속관이며, 일반적으로 원통 형상의 것이 채용되어 있다. 청징관(31)의 관로를 유로로 하여, 용융 글래스(MG)는 청징관(31)의 내부를 흐른다.The cleaning tube 31 is a metal tube made of a platinum alloy such as platinum or a platinum-rhodium alloy, and generally has a cylindrical shape. The molten glass MG flows in the inside of the purifying pipe 31 with the conduit of the purifying pipe 31 as a flow passage.

히터 전극(32a 및 32b)은 청징관(31)의 외주벽면으로부터 청징관(31)으로 전류를 흘린다. 청징관(31)에 전류가 흐르면, 청징관(31)의 저항에 의해 줄열이 발생하여, 청징관(31)의 외주벽이 가열되고, 용융 글래스(MG)의 온도가 소정의 온도로 상승한다. 이와 같이 하여, 청징조(30)는 용융 글래스(MG)를 가열하면서, 청징제를 배합시킨 용융 글래스(MG)를 청징관(31)에 통과시켜, 용융 글래스(MG)의 탈포를 행한다.The heater electrodes 32a and 32b flow current from the outer peripheral wall surface of the cleaning tube 31 to the cleaning tube 31. [ When electric current flows through the cleaning tube 31, joule heat is generated by the resistance of the cleaning tube 31, the outer peripheral wall of the cleaning tube 31 is heated, and the temperature of the molten glass MG rises to a predetermined temperature . In this manner, the blue sign 30 passes the molten glass MG containing the refining agent through the cleaning tube 31 while heating the molten glass MG, thereby defoaming the molten glass MG.

보강부(33)는 백금 또는 백금 로듐 합금 등의 백금 합금의 금속판이며, 청징관(31, 31)의 사이에 배치되고, 양측에 청징관(31, 31)이 용접되어 접속된 링 형상의 판재이다. 보강부(33)는 청징관(31)의 둘레 방향으로 설치되어, 청징관(31)을 보강하고 있다. 본 실시 형태에서는, 보강부(33)의 외경은, 청징관(31)과 동등하게 되어 있다. 또한, 보강부(33)의 외경을 청징관(31)보다도 약간 크게 하여, 보강부(33)가 청징관(31)의 외주면으로부터 돌출되도록 해도 된다. 이에 의해, 용접의 시공성을 향상시킴과 함께, 청징관(31)의 강도를 보다 향상시킬 수 있다.The reinforcing portion 33 is a metal plate of a platinum alloy such as platinum or a platinum-rhodium alloy and is disposed between the cleaning tubes 31 and 31. The reinforcing portion 33 is formed by joining the cleaning tubes 31 and 31 to the ring- to be. The reinforcing portion 33 is provided in the circumferential direction of the purifying pipe 31 to reinforce the purifying pipe 31. In the present embodiment, the outer diameter of the reinforcing portion 33 is the same as that of the purifying pipe 31. The outer diameter of the reinforcing portion 33 may be slightly larger than that of the cleaning tube 31 so that the reinforcing portion 33 may protrude from the outer circumferential surface of the cleaning tube 31. [ As a result, the workability of the welding can be improved and the strength of the cleaning tube 31 can be further improved.

청징관(31)의 내부를 흐르는 용융 글래스(MG)는, 청징관(31)의 유로 단면 전체를 흐르는 것은 아니고, 통상, 청징관(31) 내부의 상방에는, 용융 글래스(MG)의 탈포 처리에 의해 탈포한 기포를 방출시키기 위한 기상 공간(g)이 존재한다. 기상 공간(g)은, 청징관(31)에 용융 글래스(MG)를 통과시켜 탈포할 때에 용융 글래스(MG)의 액면상의 공간으로서, 미리 설정되어 있다. 또한, 청징관(31) 상부에는, 기상 공간(g)으로부터 방출한 기포 중의 가스 성분을 대기에 방출시키기 위한 가스 배기구(30a)가 형성되어 있다. 기상 공간(g)에 있어서의 기류(F)는, 청징관(31)의 내부 표면(31a)을 따라, 가스 배기구(30a)를 향해 흐르고 있다.The molten glass MG flowing through the inside of the purifying pipe 31 does not flow over the entire cross-section of the purifying pipe 31 but is normally supplied to the upper part of the purifying pipe 31 for degassing the molten glass MG There is a vapor space g for discharging bubbles defoamed by the vapor phase space g. The vapor phase space g is preset as a space on the liquid surface of the molten glass MG when the molten glass MG is passed through the cleaning tube 31 and defoamed. Further, on the upper part of the purifying pipe 31, a gas exhaust port 30a for releasing the gas component in the gas bubbles discharged from the gas phase space g into the atmosphere is formed. The airflow F in the gas space g flows along the inner surface 31a of the purifying pipe 31 toward the gas exhaust port 30a.

이어서, 본 실시 형태의 글래스 기판의 제조 방법 및 글래스 기판 제조용의 청징조에 대해, 도 3을 이용하여 상세하게 설명한다. 도 3에 있어서, (a)는 도 2의 3a-3a선을 따르는 단면도이며, (b)는 보강부(33)의 정면도이다.Next, a method of manufacturing a glass substrate and a blue sign for manufacturing a glass substrate according to the present embodiment will be described in detail with reference to Fig. 3 (a) is a cross-sectional view taken along line 3a-3a in Fig. 2, and Fig. 3 (b) is a front view of the reinforcing portion 33. Fig.

도 3의 (a)에 도시한 바와 같이, 보강부(33)는 청징관(31)의 둘레 방향으로 설치되고, 청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터 청징관(31)의 내측으로 돌출된 링 형상의 부재이다. 보강부(33)의 둘레 방향의 버클링 강도는, 청징관(31)의 둘레 방향의 버클링 강도보다도 높다. 그로 인해, 청징관(31)에 보강부(33)를 설치함으로써, 청징관(31)의 둘레 방향의 버클링 강도가 향상된다. 본 실시 형태에 있어서는, 상술한 탈포 공정을 포함하는 글래스 기판의 제조 방법에 있어서, 청징관(31)의 내부 표면(31a)의 상부의 영역이며, 청징관(31)에 용융 글래스(MG)를 통과시켜 탈포할 때에 용융 글래스(MG)의 액면상의 공간으로서 미리 기상 공간(g)을 설정한다. 그리고, 기상 공간(g)에 속하는 보강부(33)를 제거하고 있다.3 (a), the reinforcing portion 33 is provided in the circumferential direction of the purifying pipe 31 and extends from the inner surface 31a of the purifying pipe 31 to the inside of the purifying pipe 31 And is a protruded ring-shaped member. The buckling strength in the circumferential direction of the reinforcing portion 33 is higher than the buckling strength in the circumferential direction of the purifying pipe 31. [ Therefore, by providing the reinforcing portion 33 in the purifying pipe 31, the strength of buckling in the circumferential direction of the purifying pipe 31 is improved. In the present embodiment, in the above-described method of manufacturing a glass substrate including the defoaming process, the molten glass MG is supplied to the cleaning tube 31 at the upper portion of the inner surface 31a of the cleaning tube 31 The gas phase space g is set in advance as a space on the liquid surface of the molten glass MG at the time of defoaming. Then, the reinforcing portion 33 belonging to the vapor space g is removed.

도 3의 (b)에 도시한 바와 같이, 보강부(33)는 기상 공간(g)에 속하는 부분에 대응하여, 절결부(33a)가 형성되어 있다. 절결부(33a)의 내측 테두리를 구성하는 원호의 반경 r은, 청징관(31)의 내주원의 반경 R, 즉 청징관(31)의 내경 D의 1/2과 동등하다. 그로 인해, 보강부(33)에 절결부(33a)가 형성되어 있는 부분은, 도 3의 (a)에 도시한 바와 같이, 청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터 보강부(33)가 돌출되지 않고, 기상 공간(g)에 속하는 부분이 제거된 상태로 된다. 즉, 본 실시 형태에서는, 기상 공간(g)에 있어서, 청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터 보강부(33)가 돌출되는 양 p가 0으로 되도록 하고 있다. 그 외의 부분에서는, 보강부(33)는 청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터, 0보다도 큰 소정의 돌출량 p로 돌출되도록 설치되어 있다. 여기서, 보강부(33)의 돌출량 p는, 청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터의 청징관(31)의 직경 방향의 높이이며, 청징관(31)의 두께 t, 휘발량, 온도 및 강도, 보강부(33)의 판 두께 등을 고려하여 결정된다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 절결부(33a)의 폭 w는, 청징관(31)의 두께 t와 동등하거나, 약간 크게 되어 있다.As shown in Fig. 3 (b), the reinforcing portion 33 is formed with a cutout portion 33a corresponding to a portion belonging to the vapor space g. The radius r of the arc constituting the inner edge of the cutout portion 33a is equal to the radius R of the inner circle of the cleaning tube 31, that is, 1/2 of the inner diameter D of the cleaning tube 31. [ 3 (a), a portion of the reinforcing portion 33 where the cutout portion 33a is formed is formed in a portion extending from the inner surface 31a of the purifying pipe 31 to the reinforcing portion 33, And the portion belonging to the vapor space g is removed. That is, in the present embodiment, the amount p in which the reinforcing portion 33 protrudes from the inner surface 31a of the cleaning tube 31 is zero in the vapor phase space g. In other portions, the reinforcing portion 33 is provided so as to protrude from the inner surface 31a of the cleaning tube 31 at a predetermined protrusion amount p larger than zero. The projecting amount p of the reinforcing portion 33 is the height in the radial direction of the purifying pipe 31 from the inner surface 31a of the purifying pipe 31. The thickness t of the purifying pipe 31, Temperature and strength, plate thickness of the reinforced portion 33, and the like. In the present embodiment, the width w of the cutout portion 33a is equal to or slightly larger than the thickness t of the cleaning tube 31.

기상 공간(g)은, 청징조(30)의 청징관(31)을 흐르는 용융 글래스(MG)의 액면 수위의 조정을 함으로써 소정의 넓이를 얻는 것이 가능하다. 또한, 일정한 넓이의 기상 공간(g)을 유지할 수도 있다. 상기한 액면 수위는, 예를 들어 레이저 변위계를 사용하여 필요에 따라 계측하고, 용융조(10)에 투입하는 글래스 재료의 양을 증감하는 등의 적합한 방법에 의해 조정한다. 용융 글래스의 액면 수위가 낮아지면, 보강부(33)의 청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터 돌출된 부분이 기상 공간(g)에 노출될 우려가 있으므로, 용융 글래스의 액면 수위는 미리 설정한 기상 공간(g)의 하한보다도 아래로 되지 않도록 조정하는 것이 바람직하다.The vapor space g can obtain a predetermined area by adjusting the liquid surface level of the molten glass MG flowing through the purifying pipe 31 of the blue sign 30. It is also possible to maintain the vapor space g having a constant width. The level of the liquid surface is adjusted by a suitable method, for example, by using a laser displacement gauge to measure the amount as necessary and by increasing or decreasing the amount of the glass material to be charged into the melting tank 10. There is a possibility that a portion protruding from the inner surface 31a of the cleaning tube 31 of the reinforcing portion 33 may be exposed to the vapor space g when the surface level of the molten glass is lowered, It is preferable to adjust so as not to be lower than the lower limit of the set vapor space g.

청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터 휘발된 휘발물은 기상 공간(g) 내의 기류(F)가 체류하는 부분에 부착된다. 도 2에 도시한 바와 같이, 기상 공간(g)에 있어서의 기류(F)는, 청징관(31)의 내부 표면(31a)을 따라, 가스 배출구(30a)를 향하도록 형성되어 있다. 그로 인해, 도 5에 도시한 바와 같이, 청징관에 보강부가 설치되는 경우, 보강부가 청징관의 내부 표면으로부터 청징관의 내측으로 돌출되어 있으면, 보강부의 근방의 기류(F)에 발생하는 와류 등에 의해, 보강부의 근방에 기류(F)가 체류된다. 이에 의해, 보강부의 근방의 휘발물의 농도가 상승하여 과포화 상태로 되면, 그 부근에 휘발물이 부착되기 쉬워진다. 여기서, 보강부의 근방이라 함은, 보강부의 표면을 포함하고, 보강부의 영향을 받아 기류(F)가 체류될 수 있는 영역이다. 이 보강부의 근방에 부착된 휘발물이 낙하하여 탈포 공정 중의 용융 글래스(MG) 중에 혼입되어, 글래스 기판의 품질의 저하를 초래할 우려가 있었다.Volatiles volatilized from the inner surface 31a of the purifying pipe 31 are attached to the portion where the airflow F in the vapor space g stays. 2, the air flow F in the vapor space g is formed so as to face the gas discharge port 30a along the inner surface 31a of the cleaning tube 31. As shown in Fig. 5, when the reinforcing portion is provided on the purifying tube, if the reinforcing portion protrudes from the inner surface of the purifying tube to the inside of the purifying tube, the vortex generated in the air flow F in the vicinity of the reinforcing portion The airflow F stays near the reinforced portion. As a result, when the concentration of the volatiles in the vicinity of the reinforcing portion rises and becomes a supersaturated state, volatiles easily attach to the vicinity thereof. Here, the vicinity of the reinforcing portion is a region including the surface of the reinforcing portion, which is susceptible to the influence of the reinforcing portion and in which the airflow F can stay. Volatiles adhering in the vicinity of the reinforcing portion fall and are mixed into the molten glass (MG) during the defoaming process, which may result in deterioration of the quality of the glass substrate.

본 실시 형태의 글래스 기판의 제조 방법 및 글래스 기판 제조용의 청징조(30)에서는, 청징관(31)에 용융 글래스를 통과시켜 탈포 처리를 행할 때에, 용융 글래스(MG)의 액면상의 공간으로서 미리 기상 공간(g)을 설정하고 있다. 그리고, 기상 공간(g)에 속하는 보강부(33)를 제거함으로써, 보강부(33)를 기상 공간(g)에 있어서의 기류(F)의 체류가 발생하지 않는 형상으로 형성하고 있다. 즉, 보강부(33)는 기상 공간(g)의 적어도 일부에 있어서, 백금의 휘발물 농도가 국소적으로 상승하는 것을 방지하는 형상으로 형성되어 있다. 환언하면, 보강부(33)는 기상 공간(g)의 적어도 일부에 있어서, 가스 배기구(30a)를 향하는 기류(F)와 역방향의 기류나, 기류(F)의 흐름을 정체, 체류시키는 기류를 발생시키지 않는 형상으로 형성되어 있다.The method of manufacturing a glass substrate and the blue sign 30 for manufacturing a glass substrate according to the present embodiment are characterized in that when the degassing process is performed by passing the molten glass through the cleaning tube 31, Space (g) is set. The reinforcing portion 33 belonging to the gas phase space g is removed so that the reinforcing portion 33 is formed in such a shape that the flow of the airflow F in the gas phase space g does not occur. That is, the reinforcing portion 33 is formed in at least a part of the vapor space g so as to prevent the volatilization concentration of platinum from locally rising. In other words, the reinforcing portion 33 is provided at least in a part of the gas-phase space g so that a flow of air flowing in a direction opposite to the gas flow F toward the gas exhaust port 30a and a flow of the airflow F And is formed in such a shape as not to generate.

이로 인해, 용융 글래스(MG)에 배합시키는 청징제로서 환경 부하가 적은 SnO2을 사용함으로써 청징에 관한 온도가 고온을 필요로 하고, 청징관(31)의 기상 공간(g)에 접하는 부분이 휘발을 한 경우라도, 보강부(33)의 근방에 기상 공간(g) 내의 기류가 체류되지 않고, 휘발물의 농도가 국소적으로 상승하여 과포화 상태로 되는 경우가 없으므로, 휘발물이 보강부(33)의 근방에 부착되지 않는다. 또한, 기상 공간(g)을 제외하고, 보강부(33)가 청징관(31)의 둘레 방향으로 설치되어 있으므로, 보강부(33)에 의해 청징관(31)의 강도를 유지할 수 있다. 따라서, 탈포 공정 중에, 청징관(31)의 강도를 유지하면서, 용융 글래스(MG)에 이물질이 혼입되는 것을 효과적으로 피할 수 있어, 글래스 제품의 품질을 유지할 수 있다.Therefore, by using SnO 2 having a low environmental load as a fining agent to be blended with the molten glass (MG), the temperature for purifying needs to be high and the portion of the purifying tube (31) in contact with the vapor space (g) The volatiles do not stay in the vicinity of the reinforced portion 33 and do not stay in the gas space and the concentration of volatiles does not rise locally to become supersaturated. As shown in Fig. Since the reinforcing portion 33 is provided in the circumferential direction of the purifying pipe 31 except for the vapor space g, the strength of the purifying pipe 31 can be maintained by the reinforcing portion 33. Therefore, during the defoaming process, foreign matter can be effectively prevented from being mixed with the molten glass MG while maintaining the strength of the cleaning tube 31, and the quality of the glass product can be maintained.

그런데, 청징조(30) 내에 있어서는, 용융 글래스는 청징제의 산소의 방출 반응이 촉진되도록, 기포가 부상하기 쉬운 점도, 바람직하게는 120poise(포아즈)로부터 400포아즈까지의 범위로 되도록, 청징조(30)에 공급되기 전에 가열된다. 예를 들어, 무알칼리 글래스나 알칼리를 미량만 포함하는 알칼리 미량 함유 글래스(고온 점성 글래스), 즉, 예를 들어 102. 5포아즈로 하는 경우에 1300℃ 이상, 바람직하게는 1400℃ 이상, 더욱 바람직하게는 1500℃ 이상의 용융 온도를 필요로 하는 글래스 재료의 경우에는, 1700℃, 바람직하게는 1710℃, 더욱 바람직하게는 1720℃ 근방까지 승온된다.In the blue sign 30, the molten glass is heated so as to promote the release reaction of oxygen of the fining agent so that the bubble is liable to float, preferably in the range of 120 poise (poise) to 400 poise Is heated before being supplied to the oven (30). For example, alkali-containing trace alkali containing glass or alkali glass, only a very small amount (high viscosity glass), that is, for example, 10 or more 2. 1300 ℃ if a 5 poise, preferably at least 1400 ℃, More preferably, in the case of a glass material requiring a melting temperature of 1500 ° C or higher, the temperature is raised to 1700 ° C, preferably 1710 ° C, more preferably around 1720 ° C.

즉, 청징조(30)의 온도를, 청징조(30)를 구성하는 청징관(31)의 백금 또는 백금 합금의 내온도 근방까지 높일 필요가 있다.That is, it is necessary to increase the temperature of the blue sign 30 to the vicinity of the inner temperature of the platinum or platinum alloy of the cleaning tube 31 constituting the blue sign 30.

따라서 본 실시 형태는, 고온 점성이 높은 글래스 재료를 사용하여 글래스 기판을 제조하는 경우에 특히 적합하다. 구체적으로는, 용융 글래스를 102. 5포아즈로 하는 경우에 1300℃ 이상의 용융 온도를 필요로 하는 글래스 재료로 구성하는 경우에 특히 적합하다. 상기한 용융 온도는 1400℃ 이상, 또한 1500℃ 이상의 용융 온도를 필요로 하는 글래스 재료에 보다 적합하다.Therefore, this embodiment is particularly suitable when a glass substrate is manufactured using a glass material having a high-temperature high viscosity. Specifically, it is particularly suitable for constituting the molten glass 2 in the glass material 10 that require more than 1300 ℃ in the case of a 5 poise melting temperature. The above-mentioned melting temperature is more suitable for a glass material requiring a melting temperature of 1400 DEG C or more, and 1500 DEG C or more.

또한, 산화주석을 청징제로서 사용한 경우에는, 1630℃∼1700℃, 바람직하게는 1630℃∼1710℃, 더욱 바람직하게는 1630℃∼1720℃ 근방까지 승온된다. 즉, 청징조(30)의 온도를, 청징조(30)를 구성하는 본체의 백금 또는 백금 합금의 내열 온도 근방까지 높일 필요가 있다. 따라서, 본 발명은 산화주석을 청징제로서 사용하는 글래스 기판의 제조에 특히 적합하다.When tin oxide is used as the fining agent, the temperature is raised to 1630 to 1700 占 폚, preferably 1630 to 1710 占 폚, and more preferably to 1630 to 1720 占 폚. That is, it is necessary to raise the temperature of the blue sign 30 to the vicinity of the heat resistance temperature of the platinum or platinum alloy of the main body constituting the blue sign 30. Therefore, the present invention is particularly suitable for the production of a glass substrate using tin oxide as a fining agent.

본 발명은 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)용의 글래스 기판의 제조에 특히 적합하다.The present invention is particularly suitable for the production of glass substrates for flat panel displays (FPD) such as liquid crystal displays, plasma displays, organic EL displays and the like.

어느 경우든 본 발명을 적용함으로써, 청징관(31)의 내벽의, 기상 공간(g)에 접하는 부분이 휘발된 경우에도, 청징관(31)의 내부 표면(31a)에 휘발물이 부착되는 것을 억제할 수 있다.In any case, by applying the present invention, even when a portion of the inner wall of the cleaning tube 31, which is in contact with the vapor space g, is volatilized, volatilized material adheres to the inner surface 31a of the cleaning tube 31 .

본 발명의 글래스 기판의 제조 방법의 실시 시에, 상술한 실시 형태의 제조 방법으로 한정되는 것은 아닌 것은 명백하다. 예를 들어, 상술한 실시 형태에서 예시한 글래스 원료 이외의 글래스 원료에 대해서도, 종래부터 사용되어 온 범용의 원료를 사용하면 본 발명의 글래스 기판의 제조 방법을 적용할 수 있다.It is obvious that the method of manufacturing the glass substrate of the present invention is not limited to the manufacturing method of the above-described embodiments. For example, the glass substrate manufacturing method of the present invention can be applied to a glass raw material other than the glass raw materials exemplified in the above-described embodiments by using a conventionally used general purpose raw material.

또한, 상술한 실시 형태에서는, 용융 글래스(MG)의 액면상의 공간으로서 미리 설정된 기상 공간(g)에 속하는 보강부(33)를 모두 제거하도록 하였다. 그러나, 도 4의 (a) 또는 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 보강부(33)는 기상 공간(g)에 속하는 적어도 일부를 제거함으로써, 제거한 부분에 있어서의 기류의 체류가 발생하지 않는 형상으로 형성할 수도 있다. 청징관(31)의 기상 공간(g)에 접하는 부분이 휘발된 경우, 청징관(31)의 정상부 a에 있어서 휘발물이 부착되기 쉬운 경향이 있다. 그로 인해, 기상 공간(g)의 적어도 정상부 a에 있어서, 청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터 보강부(33)가 돌출되지 않도록, 보강부(33)의 일부를 제거한다. 이에 의해, 보강부(33)는 정상부 a의 근방에서 기류의 체류가 발생하지 않는 형상으로 되어, 보강부(33)의 근방에의 휘발물의 부착이 억제된다. 따라서, 보강부(33)에 의해 청징관(31)의 강도를 유지하면서, 용융 글래스(MG)에의 이물의 혼입을 억제하여, 글래스 제품의 품질을 유지할 수 있다. 또한, 기상 공간(g)에 속하는 보강부(33)에 1 또는 2 이상의 구멍을 형성함으로써, 보강부(33)의 근방에 있어서의 기류의 체류가 발생하지 않도록 해도 된다. 또한, 기상 공간(g)의 적어도 일부에 있어서, 청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터 보강부(33)가 돌출되는 양 p를, 그 외의 부분보다도 작게 하는 것만으로도 일정한 효과가 얻어진다. 즉, 청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터 보강부(33)가 돌출되는 양 p가 종래보다도 감소하므로, 보강부(33)의 근방에 있어서의 기류의 체류가 억제되고, 휘발물의 부착이 억제되고, 용융 글래스(MG)에의 이물의 혼입이 억제되어, 글래스 제품의 품질을 유지할 수 있다. 또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 기상 공간(g)에 속하는 보강부(33)의 적어도 일부를 곡면 형상, 바람직하게는 매끄러운 곡면 형상으로 형성하여, 보강부(33)의 근방에 있어서의 기류(F)의 체류가 발생하지 않도록 해도 된다.In the above-described embodiment, all of the reinforcing portions 33 belonging to the preset vapor space g as the space on the liquid surface of the molten glass MG are removed. However, as shown in Fig. 4 (a) or 4 (b), the reinforcing portion 33 removes at least a part belonging to the vapor space g, so that the stagnation of the airflow in the removed portion occurs It may be formed in a shape that does not have a shape. Volatile matter tends to adhere to the top portion a of the purifying pipe 31 when the portion of the purifying pipe 31 contacting the vapor space g is volatilized. A part of the reinforcing portion 33 is removed so that the reinforcing portion 33 does not protrude from the inner surface 31a of the purifying pipe 31 at least at the top portion a of the vapor space g. As a result, the reinforcing portion 33 has a shape that does not cause retention of the air current in the vicinity of the top portion a, and adhesion of volatilization to the vicinity of the reinforcing portion 33 is suppressed. Therefore, the strength of the cleaning tube 31 can be maintained by the reinforcing portion 33, the mixing of the foreign matter into the molten glass MG can be suppressed, and the quality of the glass product can be maintained. Further, by forming one or two or more holes in the reinforcing portion 33 belonging to the vapor space g, it is also possible to prevent the stagnation of the airflow in the vicinity of the reinforcing portion 33. [ It is also possible to obtain a certain effect by only making the amount p of the reinforcing portion 33 protruding from the inner surface 31a of the purifying pipe 31 smaller than the other portion in at least part of the vapor space g Loses. That is, since the amount p of the reinforcing portion 33 protruding from the inner surface 31a of the cleaning tube 31 is reduced as compared with the conventional one, the retention of the airflow in the vicinity of the reinforcing portion 33 is suppressed, And the mixing of foreign matters into the molten glass (MG) is suppressed, so that the quality of the glass product can be maintained. 6, at least a part of the reinforcing portion 33 belonging to the vapor space g is formed into a curved shape, preferably a smooth curved shape, so that the air flow in the vicinity of the reinforcing portion 33 (F) may not occur.

상술한 실시 형태에서는, 보강부(33)는 둘레 방향으로 끊긴 곳 없는 링 형상의 판재를 사용하고, 청징관(31, 31)의 사이에 보강부(33)를 배치하여, 보강부(33)의 양측에 청징관(31)이 접속되는 구성을 채용하고 있다. 그러나, 본 발명 형태는 상술한 실시 형태로 한정되지 않는다. 예를 들어, 끊긴 곳을 갖는 링 형상의 보강부를 청징관(31)의 내부 표면(31a)에 고정하고, 보강부(33)의 끊긴 부분을 청징관(31)의 내부에 미리 설정된 기상 공간(g)에 대응시킨다. 이와 같이 하여, 보강부(33)의 끊긴 부분을, 청징관(31)의 내부 표면(31a)으로부터 보강부(33)가 돌출되지 않은 영역으로서 설정해도 된다. 또한, 보강부(33)는 절결부(33a)를 갖는 둘레 방향으로 끊긴 곳이 없는 링 형상의 판재를, 청징관(31)의 내부 표면(31a)에 고정해도 된다. 또한, 절결부(33a)의 원호의 반경 r을, 가스 배기구(30a)에 접근할수록 크게 함으로써, 기류(F)가 가스 배기구(30a)를 향하도록 해도 된다.The reinforcing portion 33 is disposed between the purifying pipes 31 and 31 and the reinforcing portion 33 is provided between the purifying pipes 31 and 31. In this embodiment, And a cleaning tube 31 is connected to both sides of the cleaning tube 31. [ However, the present invention is not limited to the above-described embodiments. For example, a ring-shaped reinforcing portion having a broken portion may be fixed to the inner surface 31a of the cleaning tube 31, and a cut portion of the reinforcing portion 33 may be formed in a predetermined vapor space (for example, g. In this way, the broken portion of the reinforcing portion 33 may be set as an area where the reinforcing portion 33 does not protrude from the inner surface 31a of the purifying pipe 31. [ The reinforcing portion 33 may be fixed to the inner surface 31a of the cleaning tube 31 by a ring-shaped plate material having no cut portion in the circumferential direction having the cutout portion 33a. The radius r of the arc of the cutout portion 33a may be increased toward the gas exhaust port 30a so that the airflow F may be directed toward the gas exhaust port 30a.

또한, 본 명세서에 있어서, 「백금족 금속」은, 백금족 원소를 포함하는 금속을 의미하고, 단일의 백금족 원소를 포함하는 금속뿐만 아니라 백금족 원소의 합금을 포함하는 용어로서 사용한다. 여기서, 백금족 원소라 함은, 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 로듐(Rh), 루테늄(Ru), 오스뮴(Os), 이리듐(Ir)의 6원소를 가리킨다. 백금족 금속은 고가이지만, 융점이 높고, 용융 글래스에 대한 내식성도 우수하다.In this specification, the term " platinum group metal " means a metal containing a platinum group element, and is used as a term including an alloy of a platinum group element as well as a metal containing a single platinum group element. Here, the platinum group element refers to six elements of platinum (Pt), palladium (Pd), rhodium (Rh), ruthenium (Ru), osmium (Os) and iridium (Ir). Platinum group metals are expensive, but have a high melting point and excellent corrosion resistance to molten glass.

또한, 청징조는, 도시한 바와 같이 원통형인 것이 바람직하지만, 용융 글래스(MG)를 그 내부에 수용하는 공간이 확보되어 있으면 그 형상에 제한은 없고, 예를 들어 그 외형이 직육면체 등이어도 된다.It is preferable that the blue sign is cylindrical as shown in the drawing. However, the shape is not limited if a space for accommodating the molten glass MG therein is secured. For example, the outer shape may be a rectangular parallelepiped or the like.

본 발명은 오버플로우·다운드로법으로 글래스를 성형하는 글래스 기판의 제조에 적합하다. 본 발명은 오버플로우·다운드로법으로 글래스를 성형하는 글래스 기판의 제조에 적합하다. 오버플로우·다운드로법은, 용융 글래스를 쐐기 형상 성형체의 양측면을 따라 유하(流下)시켜, 전술한 쐐기 형상 성형체의 하단부에서 합류시킴으로써 판 형상 글래스로 성형하고, 성형된 판 형상 글래스를 서랭하고, 절단한다. 오버플로우·다운드로법은, 용해된 글래스를 어느 것에도 접촉시키지 않고 수직 방향으로 잡아 늘여 냉각함으로써, 매끄러운 표면을 실현할 수 있다. 그 후, 절단된 판 형상 글래스는, 고객의 사양에 맞추어 소정의 크기로 더 절단되고, 단부면 연마, 세정 등이 행해지고, 출하된다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is suitable for the production of a glass substrate for forming a glass by an overflow downdraw method. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is suitable for the production of a glass substrate for forming a glass by an overflow downdraw method. In the overflow downtraw method, molten glass is flowed down along both side faces of a wedge-shaped formed body, and is formed into a plate-shaped glass by joining at the lower end of the aforementioned wedge-shaped formed body, Cut it. The overflow downdraw method can realize a smooth surface by cooling the drawn glass in a vertical direction without contacting any of the molten glass. Thereafter, the cut-out plate-shaped glass is further cut to a predetermined size in accordance with the specification of the customer, the end face is polished, cleaned, and the like, and then shipped.

본 발명은, 예를 들어 두께가 0.5∼0.7㎜이고, 크기가 300×400㎜∼2850×3050㎜의 FPD용 글래스 기판의 제조에 적합하다.The present invention is suitable, for example, for producing a glass substrate for FPD having a thickness of 0.5 to 0.7 mm and a size of 300 x 400 mm to 2850 x 3050 mm.

또한, 액정 표시 장치용 글래스 기판 등은, 그 표면에 반도체 소자가 형성되므로, 알칼리 금속 성분을 전혀 함유하지 않거나 또는 포함되어 있어도 반도체 소자에 영향을 미치지 않는 정도의 미량인 것이 바람직하다. 또한, 액정 표시 장치용 글래스 기판 등은, 글래스 기판 중에 기포가 존재하면 표시 결함의 원인으로 되기 때문에, 기포를 최대한 저감시키는 것이 바람직하다. 이러한 점에서, 액정 표시 장치용 글래스 기판 등에서는, 상술한 바와 같이, 글래스 조성, 용융 글래스의 온도, 청징제 등이 선택되므로, 본 발명은 액정 표시 장치용 글래스 기판 등의 제조에 적합하다.In addition, since a glass substrate for a liquid crystal display device or the like has a semiconductor element formed on its surface, it is preferable that the glass substrate does not contain an alkali metal component or contains an alkali metal component in such a small amount as not to affect the semiconductor element. In addition, glass substrates and the like for a liquid crystal display device cause defects in display when bubbles are present in the glass substrate, so that it is preferable to reduce bubbles as much as possible. In this respect, the glass composition, the temperature of the molten glass, the refining agent, and the like are selected in the glass substrate or the like for a liquid crystal display device, and the present invention is suitable for manufacturing a glass substrate for a liquid crystal display device and the like.

그 외, 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 적합한 다른 형태로의 변경이 가능하다.In addition, it is possible to change to other suitable forms without departing from the gist of the invention.

예를 들어, 상술한 실시 형태에서는, 보강부로서 링 형상의 판재를 사용하는 경우에 대해 설명하였지만, 보강부는 청징관을 굴곡시켜 청징관의 둘레 방향으로 설치한 요철부이어도 된다. 청징관을 직경 방향 외측으로 돌출되도록 굴곡시켜 보강부를 형성한 경우에는, 청징관의 내부 표면에는 오목부가 형성된다. 또한, 청징관을 직경 방향 내측으로 돌출되도록 굴곡시켜 보강부를 형성한 경우에는, 청징관의 내부 표면에는 볼록부가 형성된다. 보강부로서 이와 같은 오목부 또는 볼록부를 갖는 경우, 기상 공간의 적어도 일부에 있어서, 이들 오목부 또는 볼록부를 기상 공간에 있어서의 기류의 체류가 발생하지 않는 형상으로 형성할 수 있다. 구체적으로는, 기상 공간에 있어서의 오목부 또는 볼록부를 그 외의 영역보다도 작게 형성하거나, 또는 기상 공간에 있어서 오목부 또는 볼록부를 형성하지 않고, 청징관의 내부 표면을 평탄하게 할 수 있다.For example, in the above-described embodiment, a ring-shaped plate member is used as the reinforcing portion, but the reinforcing portion may be a concave-convex portion bent in the circumferential direction of the purifying tube by bending the purifying tube. When the purifying tube is bent so as to protrude outward in the radial direction to form a reinforcing portion, a concave portion is formed on the inner surface of the purifying tube. In addition, when the cleaning tube is bent so as to protrude inward in the radial direction, a convex portion is formed on the inner surface of the cleaning tube. In the case of such a concave portion or convex portion as the reinforcing portion, these concave portions or convex portions can be formed in at least a part of the vapor phase space in such a shape as to prevent the flow of airflow in the vapor phase space. Concretely, the concave portion or the convex portion in the gas phase space may be formed smaller than the other region, or the inner surface of the purifying tube may be made flat without forming the concave portion or the convex portion in the vapor phase space.

본 발명의 장치는, 용융 글래스를 성형함으로써 글래스 기판, 특히 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)용의 글래스 기판을 제조할 때에 유리하게 사용할 수 있다.The device of the present invention can be advantageously used when a glass substrate, particularly a glass substrate for a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display, a plasma display, and an organic EL display, is produced by molding molten glass.

31 : 청징관
31a : 청징관의 내부 표면
33 : 보강부
10 : 용융조
20, 40 : 이송관
30 : 청징조
g : 기상 공간31: Purification Hall
31a: inner surface of the purifying tube
33:
10:
20, 40: transfer pipe
30: Blue sign
g: weather space

Claims (4)

글래스 기판의 제조 공정에 있어서, 용융 글래스를 청징하기 위한 청징조를 갖는 글래스 기판의 제조 장치로서,
상기 청징조는,
백금 또는 백금 합금을 포함하는 청징관과,
상기 청징관의 둘레 방향으로 설치되고, 상기 청징관을 보강하는 보강부와,
상기 청징관 내부 표면의 상부의 영역이며, 상기 청징관에 용융 글래스를 통과시켜 청징할 때에, 상기 용융 글래스의 액면상의 공간으로서 미리 설정된 기상 공간
을 포함하고,
상기 보강부는, 상기 기상 공간의 적어도 일부에 있어서, 상기 기상 공간에 있어서의 기류의 체류가 발생하지 않는 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는
글래스 기판의 제조 장치.An apparatus for manufacturing a glass substrate having a blue sign for purifying molten glass in a process of manufacturing a glass substrate,
The blue-
A cleaning tube containing platinum or a platinum alloy,
A reinforcing portion provided in the circumferential direction of the purifying pipe and reinforcing the purifying pipe,
Wherein the cleaning tube is an upper area of the inner surface of the cleaning tube, and when the cleaning glass is purged by passing the molten glass through the cleaning tube,
/ RTI >
Characterized in that the reinforcing portion is formed in at least a part of the vapor-phase space such that the flow of the airflow in the vapor-phase space does not occur
A manufacturing apparatus for a glass substrate. 글래스 기판의 제조 공정에 있어서, 용융 글래스를 청징하기 위한 청징조를 갖는 글래스 기판의 제조 장치로서,
상기 청징조는,
백금 또는 백금 합금을 포함하는 청징관과,
상기 청징관의 둘레 방향으로 설치되고, 상기 청징관의 내부 표면으로부터 상기 청징관의 내측으로 돌출되는 보강부와,
상기 청징관의 내부 표면의 상부의 영역이며, 상기 청징관에 용융 글래스를 통과시켜 청징할 때에, 상기 용융 글래스의 액면상의 공간으로서 미리 설정된 기상 공간
을 포함하고,
상기 기상 공간에 속하는 상기 보강부의 적어도 일부가 제거되어 있는
글래스 기판의 제조 장치.An apparatus for manufacturing a glass substrate having a blue sign for purifying molten glass in a process of manufacturing a glass substrate,
The blue-
A cleaning tube containing platinum or a platinum alloy,
A reinforcing portion provided in the circumferential direction of the purifying pipe and protruding from the inner surface of the purifying pipe toward the inside of the purifying pipe;
Wherein the cleaning tube is an area above the inner surface of the purifying tube, and when purifying the purifying tube by passing the molten glass through the purifying tube,
/ RTI >
And at least a part of the reinforcing portion belonging to the vapor phase space is removed
A manufacturing apparatus for a glass substrate. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 기상 공간에 속하는 보강부의 적어도 일부를 곡면 형상으로 형성하는
글래스 기판의 제조 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
At least a part of the reinforcing portion belonging to the vapor phase space is formed into a curved surface shape
A manufacturing apparatus for a glass substrate. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 글래스의 제조 장치를 사용하고,
상기 청징관을 가열하면서, 청징제를 배합시킨 용융 글래스를 상기 청징관에 통과시켜 탈포하는 탈포 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판의 제조 방법.A process for producing a glass according to any one of claims 1 to 3,
And a defoaming step of defoaming the molten glass containing the cleaning agent while passing through the cleaning tube while heating the cleaning tube.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190094146A (en) * 2016-12-16 2019-08-12 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 Plate glass manufacturing method, clarification vessel and plate glass manufacturing equipment

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102288421B1 (en) * 2013-10-18 2021-08-11 코닝 인코포레이티드 Apparatus and Method for Making Glass
JP2018172225A (en) * 2017-03-31 2018-11-08 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 Device for manufacturing glass substrate and method for manufacturing glass substrate
JP7138843B2 (en) * 2018-05-30 2022-09-20 日本電気硝子株式会社 Method for manufacturing glass article
JP7465864B2 (en) 2018-09-27 2024-04-11 コーニング インコーポレイテッド Modular molten glass supply system

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003266544A (en) * 2002-03-18 2003-09-24 Youwa:Kk Tubular member joining method
CN100467409C (en) * 2002-12-27 2009-03-11 旭硝子株式会社 Conduit for molten glass, molten glass degassing method and molten glass degassing apparatus
JP2006206439A (en) * 2003-02-04 2006-08-10 Asahi Glass Co Ltd Conduit for molten glass, connecting conduit for molten glass and vacuum degassing apparatus
JP4617089B2 (en) * 2004-02-26 2011-01-19 株式会社日立国際電気 Substrate processing apparatus, exhaust pipe and substrate processing method
JP4789072B2 (en) * 2006-10-20 2011-10-05 日本電気硝子株式会社 Heat-resistant metal reinforcing tube, glass article manufacturing apparatus, and glass article manufacturing method
WO2008108943A1 (en) * 2007-03-01 2008-09-12 Corning Incorporated Apparatus for fining glass
US8925353B2 (en) * 2007-11-08 2015-01-06 Corning Incorporated Process and system for fining glass
JP2011092799A (en) * 2009-10-27 2011-05-12 Panasonic Electric Works Co Ltd Water treatment apparatus, and water passage thereof
KR20130084215A (en) * 2010-05-19 2013-07-24 아사히 가라스 가부시키가이샤 Pressure reducing and defoaming device for molten glass, molten glass manufacturing method, and glass product manufacturing method
JP2013216519A (en) * 2012-04-05 2013-10-24 Avanstrate Inc Method for manufacturing glass substrate and device for manufacturing glass substrate
JP5731639B2 (en) * 2012-04-05 2015-06-10 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 Glass substrate manufacturing method and glass substrate manufacturing apparatus
JP5818164B2 (en) * 2012-05-25 2015-11-18 日本電気硝子株式会社 Tubular body for molten glass, molten glass supply device, and pipe member

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190094146A (en) * 2016-12-16 2019-08-12 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 Plate glass manufacturing method, clarification vessel and plate glass manufacturing equipment

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