KR20140068338A - 태양전지용 성막 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치는 기판이 수용되며 중공부가 형성된 몸체를 포함하는 챔버, 중공부에 설치되는 가열장치 및 기판 및 가열장치를 감싸는 단열 부재를 포함한다.

Description

태양전지용 성막 장치{A DEVICE FOR MANUFACTURING A FILM USED FOR A SOLAR CELL}
본 발명은 태양전지용 성막 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 성막 형성을 위한 챔버에 관한 것이다.
태양전지 종류의 하나인 박막계 태양전지는 광 흡수층과 같은 구성 요소를 형성하기 위해 챔버를 이용한다.
예를 들어 구리-인듐-갈륨-셀레늄(Copper Indium Gallium Selenide, GIGS, 이하 CIGS라 칭함) 태양전지에 있어 광 흡습층은, 프리커서(precursor)가 형성된 기판을 챔버 내부에 수용한 후에 고온으로 열처리 하여 형성할 수 있다.
다만, CIGS(CnInGaSe2) CIGS(CnInGaSe2) 박막 태양전지를 제조하기 위해 사용되는 챔버를 운용하기 위해서는 많은 기술적인 어려움이 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 챔버의 내부 압력과 외부 압력을 조절하여 챔버가 파손되는 것을 방지할 수 있는 구조를 포함하는 태양전지용 성막 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 가볍고 내부 공간을 효율적으로 활용할 수 있는 챔버를 포함하는 태양전지용 성막 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치는 제1 챔버 및 제1 챔버에 수용되고 기판이 수용되는 제2 챔버를 포함하는 챔버, 제1 챔버와 제2 챔버 사이에 설치되는 가열장치 및 챔버에 배기라인으로 연결되어 제1 챔버 및 제2 챔버의 압력을 조절하는 압력조절장치를 포함한다.
또한, 배기라인은 제1 챔버에 형성된 제1 배기구에 연결되고, 제2 챔버에는 제1 배기구와 마주보게 제2 배기구가 형성될 수 있다.
또한, 배기라인은 펌프에 연결되는 배기라인 본체, 배기라인 본체의 일 단에서 각각 연장되어 형성되는 제1 배기라인 및 제2 배기라인을 포함할수 있고, 제1 배기라인은 제1 챔버와 제2 챔버의 사이의 공간과 연결될 수 있으며, 제2 배기라인은 제2 챔버의 중공부에 연결될 수 있다.
또한, 배기라인 본체에 설치되는 밸브를 더 포함할 수 있다.
또한, 제1 배기라인에 설치되는 제1 밸브 및 제2 배기라인에 설치되는 제2 밸브를 더 포함할 수 있다.
또한, 배기라인은 제1 챔버와 제2 챔버의 사이에 위치하는 공간에 연결되고 제1 펌프에 연결되는 제1 배기라인 및 제2 챔버의 중공부에 연결되고 제2 펌프에 연결되는 제2 배기라인을 포함할 수 있다.
또한, 제1 배기라인에 설치되는 제1 밸브 및 제2 배기라인에 설치되는 제2 밸브를 더 포함할 수 있다.
또한, 제1 배기라인과 제2 배기라인 사이에 설치되어 제 1 배기라인과 제2 배기라인을 유체적으로 연결하는 안전장치를 더 포함할 수 있다.
또한, 제2 챔버는 복 수의 챔버를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 챔버의 내부와 외부의 압력차이를 최소화할 수 있는 태양전지용 성막장치를 제공할 수 있다.
또한, 경량화된 챔버를 포함하는 태양전지용 성막 장치를 제공할 수 있다.
또한, 설계 자유도가 높은 챔버를 포함하는 태양전지용 성막 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치를 개략적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 도 1 에서 II-II선을 따라 잘라본 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예의 변형예에 따른 태양전지용 성막 장치의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예의 변형예에 따른 태양전지용 성막 장치의 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 이하에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에 있어서, 설명의 명확화를 위해 층 또는 영역의 치수는 과장되게 도시될 수 있다. 하나의 층 또는 요소가 다른 층 또는 기재의 "위에" 있다고 하는 것은 직접적으로 위에 있거나, 그 사이에 또 다른 층을 개재하여 있는 것으로 이해될 것이다. 그리고, 하나의 층이 다른 층의 "아래"에 있다고 하는 것은 직접적으로 아래에 있거나, 그 사이에 하나 이상의 또 다른 층을 개재하여 있는 것으로 이해될 것이다. 나아가, 하나의 층이 두 개의 층들 "사이"에 있다고 하는 것은 그 하나의 층이 두 개의 층들 사이의 유일한 층이거나, 그 사이에 하나 이상의 또 다른 층이 개재하여 있는 것으로 이해될 것이다. 그리고 본 명세서 및 도면에서 동일한 부호는 동일한 구성요소를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치를 개략적으로 나타내는 분해 사시도이고, 도 2는 도 1 에서 II-II선을 따라 잘라본 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하여 설명하면, 본 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치(101)는 제1 챔버(10) 및 제2 챔버(20)를 포함하는 챔버(100), 제1 챔버(10) 및 제2 챔버(20)의 사이에 설치되는 가열장치(30), 기판(50)이 장착되어 제2 챔버(20)에 수용되는 기판 운반장치(40) 및 챔버(100)에 연결되는 압력조절장치(60)를 포함할 수 있다.
여기서, 본 실시예에 따른 성막 장치(101)는 기판(50)에 박막 또는 후막을 형성시킬 수 있다. 다만, 이하에서는 편의상 기판(50)에 박막을 형성하는 것에 관하여 설명한다.
본 실시예에 따른 제1 챔버(10)는 중공부가 형성된 몸체(11), 도어(12) 및 도어(12)에 의하여 개폐되는 개구(13)를 포함할 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따른 제1 챔버(10)는 개구(13)에 의하여 밀폐되므로 외부의 공기가 유입되지 않는 완전 밀폐 상태로 가동될 수 있다.
또한, 몸체(11)는 한 쌍의 측벽과 측벽들을 연결하는 면들로 구성될 수 있으며, 몸체(11)의 단면의 모양은 사각형일 수 있다.
다만, 몸체(11)의 단면의 모양은 사각형에 한정되지 않으며, 원형, 타원형 또는 정육각형 중 하나로 이루어질 수 있다.
제1 챔버의 내측에는 제1 압력센서(15)가 설치되어 제1 챔버(10)의 내부 압력을 측정할 수 있다.
본 실시예에 따르면 제2 챔버(20)는 제1 챔버(10)의 중공부에 수용되고, 기판(50)이 장착된 기판 운반장치(40)는 제2 챔버(20)의 중공부에 수용될 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 제2 챔버(20)의 내측에는 제2 압력 센서(22)가 설치되어 제2 챔버(20)의 중공부의 압력을 측정할 수 있다.
보다 상세하게는, 본 실시예에 따른 제1 압력 센서(15)와 제2 압력 센서(22)는 제어장치(미도시)에 연결되어, 제1 챔버(10)와 제2 챔버(20)의 압력을 제어장치(미도시)에 전달할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따르면 제1 챔버(10)와 제2 챔버(20) 사이의 제1 공간(A1)과 제2 챔버(20)의 중공부를 포함하는 제2 공간(A2)으로 나누어 질 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따른 제1 압력센서(15)는 제1 공간(A1)의 압력을 측정할 수 있고, 제2 압력센서(22)는 제2 공간(A2)의 압력을 측정할 수 있다.
또한, 제1 챔버(10)와 제2 챔버(20) 사이에 위치한 제1 공간(A1)에는 제1 가스 분사 장치(70)가 설치될 수 있고, 제2 공간(A2)에는 제2 가스 분사 장치(80)가 설치될 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따른 제1 공간(A1)은 진공인 상태에서 제2 가스 분사 장치(80)에 의하여 구리(Cu), 인듐(In), 갈륨(Ga) 및 셀레늄(se)으로 채워질 수 있다.
본 실시예에 따른 제1 챔버(10) 및 제2 챔버(20)는 금속으로 만들어 질 수 있다. 다만, 제1 챔버(10) 및 제2 챔버(20)는 금속으로 만들어 지는 것에 한정되지 않고 석영(quartz)으로 만들어 지는 것도 가능하다.
본 실시예에 따른 제1 챔버(10) 및 제2 챔버(20)는 압력 조절 장치(60)와 연결될 수 있다.
본 실시예에 따른 압력 조절 장치(60)는 배기관(61) 및 펌프(62)를 포함할 수 있다.
압력 조절 장치(60)의 배기관(61)의 일 측 끝 단은 제1 챔버(10)에 형성된 제1 배기구(14)에 연결될 수 있으며, 압력 조절 장치 (60)의 배기라인(61)은 제1 챔버(10)에 형성된 1 배기구(14)에 연결될 수 있고, 제2 챔버(20)에는 제1 배기구(14)와 마주보게 형성된 제2 배기구(21)가 형성될 수 있다.
보다 상세하게는, 본 실시예에 따른 제1 챔버(10)에 형성된 제1 배기구(14)는 제1 챔버(10)와 제2 챔버(20) 사이에 위치하는 제1 공간(A1)에 위치할 수 있고, 제2 챔버(20)에 형성된 제2 배기구(21)는 제2 챔버(20)의 중공부를 포함하는 제2공간(A2)에 위치할 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따르면 압력 조절 장치(60)의 배기라인(61)은 제1 배기구(14) 및 제2 배기구(21)를 통하여 제1 공간(A1) 및 제2 공간(A2)과 유체적으로 연결될 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따르면 제1 및 제2 압력센서(15, 22)에서 측정된 압력 값은 제어 장치(미도시)로 송신되어, 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 압력이 다를 경우 압력 조절 장치(60)의 펌프(62)를 가동시켜 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 압력 차를 동일하게 할 수 있다.
예를 들면, 본 실시예에 따른 제1 챔버(20)의 중공부를 포함하는 제2 공간(A2)은 진공 상태로 되어 내부 압력이 0 토르(torr)인 상태에서 기판(50)이 장착된 기판 운반장치(40)가 제2 공간(A2)에 수용되게 된다.
다만, 제1 공간(A1)에 설치된 가열장치(30)가 작동하게 되면 제1 공간(A1)의 압력 값과 제2 공간(A2)의 압력 값이 차이가 발생하게 된다.
이때, 제1 압력센서(15)와 제2 압력 센서(22)가 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 압력 값을 측정하여 제어장치(미도시)에 송신하며, 제어장치(미도시)는 펌프(62)를 가동시켜 배기라인(61)을 통하여 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 공기를 챔버(100) 외부로 배출할 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따르면 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 압력이 대략 동일하게 유지되는 것이 가능하다.
결국, 본 실시예에 따르면 제2 챔버(20) 내부의 제2 공간(A2)과 제2 챔버(20) 외부의 제1 공간(A1)의 압력차이를 최소화 하는 것이 가능하다.
따라서, 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 압력 차이에 의해 제2 챔버(20)가 변형되거나 파손되는 것을 방지하는 것이 가능하다.
또한, 제2 챔버(20)의 내외부의 압력차가 없으므로 제2 챔버(20)의 두께를 줄여 설계하는 것이 가능하며, 제2 챔버(20)의 무게를 경량화 할 수 있다.
또한, 제2 챔버(20)의 단면의 모양을 원형이나 타원형으로 한정하지 않고 사각형 모양 등으로 만드는 것이 가능하므로, 제2 챔버(20)의 설계 자유도가 높아지는 것이 가능하다.
따라서, 본 실시예에 따르면 단면의 모양이 원형이나 타원형인 챔버와 비교하여 가스 소모량이 적고 많은 기판을 성막 할 수 있는 챔버를 제공하는 것이 가능하다.
예를 들면, 본 발명에 따르면 챔버가 제1 및 제2 챔버(10, 20) 두 개로 한정되는 것은 아니며, 챔버가 3 개 이상의 다중 챔버를 포함하는 것도 가능하다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치의 단면도이다.
도 3을 참고하여 설명하면, 본 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치(102)는 압력 조절 장치(160)를 제외하고는 본 발명의 제1 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치(101)와 동일한 구성을 포함한다.
따라서, 이하에서는 본 발명의 제1 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치(101)와 동일한 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.
도 3을 참고하면 본 실시예에 따른 압력조절장치(160)는 배기라인 본체(163), 제1 배기라인(162), 제2 배기라인(161), 펌프(164) 및 밸브(165)를 포함할 수 있다.
보다 상세하게는, 배기라인 본체(163)의 일 단은 펌프(164)에 연결되어 있고, 배기라인 본체(163)의 타 단에서 연장되어 형성된 제1 배기라인(162) 및 제2 배기라인(161)은 제1 챔버(10) 및 제2 챔버(20)에 각각 연결될 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따르면 제1 공간(A1) 및 제2 공간(A2)이 분리되어 있으므로 제1 공간(A1)으로 제2 공간(A2)에 채워진 구리(Cu), 인듐(In), 갈륨(Ga) 및 셀레늄(se) 등이 유입되지 않는다.
따라서, 제1 챔버(10)의 외 측벽이 구리(Cu), 인듐(In), 갈륨(Ga) 및 셀레늄(se) 등에 의하여 부식되는 것을 방지할 수 있으며, 제1 챔버(10)의 외 측벽을 스테인레스로 만드는 것도 가능하다.
따라서, 본 실시예에 따르면 제1 배기라인(162)을 통하여 제2 챔버(20)의 외측에 위치하는 제1 공간(A1)의 압력이 조절될 수 있고, 제2 배기라인(161)을 통하여 제2 챔버(20)의 내측에 위치하는 제2 공간(A1)의 압력이 조절되는 것이 가능하다.
보다 상세하게는, 제1 및 제2 압력센서(15, 22)에서 측정된 압력 값은 제어 장치(미도시)로 송신되어, 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 압력이 다를 경우 압력 조절 장치(160)의 펌프(164)를 가동시켜 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 압력 차를 동일하게 할 수 있다.
예를 들면, 본 실시예에 따른 제1 챔버(20)의 중공부를 포함하는 제2 공간(A2)은 진공 상태로 되어 내부 압력이 0 토르(torr)인 상태에서 기판(50)이 장착된 기판 운반장치(40)가 제2 공간(A2)에 수용되게 된다.
다만, 제1 공간(A1)에 설치된 가열장치(30)가 작동하게 되면 제1 공간(A1)의 압력 값과 제2 공간(A2)의 압력 값이 차이가 발생하게 된다.
이때, 제1 압력센서(15)와 제2 압력 센서(22)가 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 압력 값을 측정하여 제어장치(미도시)에 송신하며, 제어장치(미도시)는 펌프(165)를 가동시켜 제1 배기라인(162)과 제2 배기라인(161)을 통하여 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 공기를 챔버(100) 외부로 배출할 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따르면 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 압력이 대략 동일하게 유지되는 것이 가능하다.
또한, 본 실시예에 따르면 배기라인 본체(163)에는 밸브가 설치되어, 제1 배기라인(162) 및 제2 배기라인(161)에서 배출되는 공기의 양을 조절할 수 있다.
여기서, 본 실시예에 따른 밸브(165)로 게이트 밸브 또는 APC 밸브가 사용될 수 있다.
결국, 본 실시예에 따르면 제2 챔버(20) 내부의 제2 공간(A2)과 제2 챔버(20) 외부의 제1 공간(A1)의 압력차이를 최소화 하는 것이 가능하다.
따라서, 제1 공간(A1)과 제2 공간(A2)의 압력 차이에 의해 제2 챔버(20)가 변형되거나 파손되는 것을 방지하는 것이 가능하다.
또한, 제2 챔버(20)의 내외부의 압력차가 없으므로 제2 챔버(20)의 두께를 줄여 설계하는 것이 가능하며 제2 챔버(20)의 무게를 경량화 할 수 있다.
또한, 제2 챔버(20)의 단면의 모양을 원형이나 타원형으로 한정하지 않고 사각형 모양 등으로 만드는 것이 가능하므로, 제2 챔버(20)의 설계 자유도가 높아지는 것이 가능하다.
따라서, 본 실시예에 따르면 단면의 모양이 원형이나 타원형인 챔버와 비교하여 가스 소모량이 적고 보다 많은 기판을 성막 할 수 있는 챔버를 제공하는 것이 가능하다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예의 변형예에 따른 태양전지용 성막 장치의 단면도이다.
도 4를 참고하여 설명하면, 본 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치(102a)는 압력 조절 장치(160a)를 제외하고 본 발명의 제2 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치(102)와 동일한 구성으로 이루어진다.
따라서, 이하에서는 본 발명의 제2 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치(102)와 동일한 구성에 대해서는 구체적인 설명은 생략한다.
도 4를 참고하면, 본 실시예에 따른 압력조절장치(160a)는 배기라인 본체(163a), 제1 배기라인(162a), 제2 배기라인(161a), 펌프(164a) 및 제1 밸브(165a) 및 제2 밸브(166a)를 포함할 수 있다.
여기서, 본 실시예에 따른 압력조절장치(160a)는 제1 및 제2 밸브(165a, 166a)를 제외하고는 본 발명의 제2 실시예에 따른 압력조절장치(160)와 동일한 구성으로 이루어지므로, 이하에서는 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 제1 밸브(165a)는 제1 배기라인(162a)에 결합될 수 있고, 제2 밸브(166a)는 제2 배기라인(166a)에 결합될 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따르면 제1 공간(A1) 및 제2 공간(A2)의 압력을 개별적으로 조절하는 것이 가능하다.
여기서, 본 실시예에 따른 제1 및 제2 밸브(165a, 166a)는 게이트 밸브 또는 APC 밸브 일 수 있다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치의 단면도이다.
도 5를 참고하여 설명하면, 본 실시예에 따른 태양전지용 성막장치(103)는 압력조절장치(260)를 제외하고는 본 발명의 제1 실시예에 따른 태양전지용 성막장치와 동일한 구성으로 이루어진다.
따라서, 이하에서는 본 발명의 제1 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치(101)와 동일한 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
도 5를 참고하여 설명하면, 본 실시예에 따른 압력조절장치(103)는 제1 배기라인(262), 제2 배기라인(261), 제1 펌프(264), 제2 펌프(263), 제1 밸브(266) 및 제2 밸브(265)를 포함할 수 있다.
보다 상세하게는, 본 실시예에 따른 제1 배기라인(262)은 제1 공간(A1)에 연결될 수 있고, 제1 밸브(266)은 제1 배기라인(262)에 설치될 수 있으며, 제1 배기라인(262)의 일 단은 제1 펌프(264)에 연결될 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 제2 배기라인(261)은 제2 공간(A2)에 연결될 수 있고, 제2 밸브(265)는 제2 배기라인(261)에 설치될 수 있으며, 제2 배기라인(261)의 일 단은 제2 펌프(263)에 연결될 수 있다.
여기서, 본 실시예에 따른 제1 및 제2 밸브(265, 266)는 게이트 밸브 또는 APC 밸브 일 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따르면 제1 공간(A1) 및 제2 공간(A2)의 압력이 개별적으로 조절되는 것이 가능하다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예의 변형예에 따른 태양전지용 성막 장치의 단면도이다.
도 6을 참고하여 설명하면, 본 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치(103a)는 압력조절장치(260a)를 제외하고는 본 발명의 제3 실시예에 따른 태양전지용 성막 장치(103)와 동일한 구성으로 이루어지므로, 이하에서는 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 6을 참고하여 설명하면, 본 실시예에 따른 압력조절장치(260a)는 제1 배기라인(262a), 제2 배기라인(261a), 제1 펌프(264a), 제2 펌프(263a), 제1 밸브(266a), 제2 밸브(265a) 및 안전장치(267a)를 포함할 수 있다.
다만, 본 실시예에 따른 압력조절장치(260a)는 안전장치(267a)를 제외하고 본 발명의 제3 실시예에 따른 압력조절장치(260a)와 동일한 구성으로 이루어진다.
따라서, 이하에서는 본 발명의 제3 실시예와 동일한 구성에 대해서는 상세한 설명은 생략한다.
도 6을 참고하면, 본 실시예에 따른 안전장치(267a)는 제1 배기라인(262a) 및 제2 배기라인(261a)의 사이에 설치되어, 제1 배기라인(262a) 및 제2 배기라인(261a)을 유체적으로 연결시킬 수 있다.
즉, 본 실시예에 따른 안전장치(267a)는 제1 배기라인(262a) 및 제2 배기라인(261a)의 압력차이가 설정 압력 이상일 때 파열되어, 제1 배기라인(262a) 및 제2 배기라인(261a)을 유체적으로 연결 시킬 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따른 안전장치(267a)에 의하면 제1 배기라인(262a)과 제2 배기라인(261a)의 압력 차이가 줄어드는 것이 가능하다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
101, 102, 102a, 103, 103a: 태양전지용 성막 장치
10: 제1 챔버 11: 몸체
12: 도어 20: 제2 챔버
30: 가열장치 40: 기판 운반장치
50: 기판
60, 160, 106a, 260, 260a: 압력조절장치
70: 제1 가스 분사 장치 80: 제2 가스 분사 장치

Claims (9)

  1. 제1 챔버 및 상기 제1 챔버에 수용되고 기판이 수용되는 제2 챔버를 포함하는 챔버;
    상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버 사이에 설치되는 가열장치; 및
    상기 챔버에 배기라인으로 연결되어 상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버의 압력을 조절하는 압력조절장치를 포함하는 태양전지용 성막 제조 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 배기라인은 상기 제1 챔버에 형성된 제1 배기구에 연결되고, 상기 제2 챔버에는 상기 제1 배기구와 마주보게 제2 배기구가 형성되는 태양전지용 성막 제조 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 배기라인은 펌프에 연결되는 배기라인 본체, 상기 배기라인 본체의 일 단에서 각각 연장되어 형성되는 제1 배기라인 및 제2 배기라인을 포함하고,
    상기 제1 배기라인은 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 사이의 공간과 연결되며,
    상기 제2 배기라인은 상기 제2 챔버의 중공부에 연결되는 태양전지용 성막장치
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 배기라인 본체에 설치되는 밸브를 더 포함하는 태양전지용 성막 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 배기라인에 설치되는 제1 밸브 및
    상기 제2 배기라인에 설치되는 제2 밸브를 더 포함하는 태양전지용 성막 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 배기라인은,
    상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 사이에 위치하는 공간에 연결되고 제1 펌프에 연결되는 제1 배기라인 및
    상기 제2 챔버의 중공부에 연결되고 제2 펌프에 연결되는 제2 배기라인을 포함하는 태양전지용 성막 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 배기라인에 설치되는 제1 밸브 및
    상기 제2 배기라인에 설치되는 제2 밸브를 더 포함하는 태양전지용 성막 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 배기라인과 상기 제2 배기라인 사이에 설치되어 상기 제 1 배기라인과 상기 제2 배기라인을 유체적으로 연결하는 안전장치를 더 포함하는 태양전지용 성막 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 챔버는 복 수의 챔버를 포함하는 태양전지용 성막 장치.
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