KR20140062982A - 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브 - Google Patents

쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브 Download PDF

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Abstract

본 발명은 증착기판(Substrate)에 증착되는 증착 막의 두께 및 질량을 측정하는 석영 크리스탈(Quartz crystal)를 구비한 증착 두께 탐지 센서(Deposition Rate Detecting Sensor)부, 유기 물질의 소스로부터 증발되는 증발 물질을 석영 크리스탈로 유도하는 가이드 튜브 및 가이드 튜브의 외주 연에 설치되어 상기 가이드 튜브를 냉각수로 냉각하는 쿨링 (Cooling)장치로 구성되며 쿨링 장치에 의해 석영 크리스탈의 고유 진동수에 노이즈를 생성하는 열 진동을 줄여 석영 크리스탈에 증착된 물질의 두께와 글래스에 증착된 물질의 두께의 명확한 상관관계를 파악하는 효과와 열로 인한 손상을 줄여 석영 크리스탈의 사용 기간을 연장하는 데도 효과를 가진 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브이다.

Description

쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브{Deposition Material Sensing Guide Tube Equipped with a Cooling Equipment}
본 발명은 기판(Substrate)에 증착되는 물질의 두께를 모니터링 할 수 있도록 하는 석영 크리스탈 두께 측정센서(Quartz Crystal Thinckness Detecting Sensor)에 증착되는 물질의 이동 경로에 쿨링(Cooling) 장치가 장착된 가이드 튜브(Guide tube)에 관한 것이다.
유기발광소자의 증착 장비에 이용되는 증착 속도 측정센서(Deposition Rate Detecting Sensor)가 챔버 내부에 대해 지속적으로 모니터링을 수행하는 동안 챔버 내 유기물질이 증발되면서 석영 크리스탈에 달라붙는다.
이로 인하여 시간이 경과 하게 되면 석영 크리스탈에 증착된 유기물질의 두께가 두꺼워져 센서의 감도가 저하되어 글래스에 증착되는 물질의 두께와 석영 크리스탈의 증착되는 물질의 두께의 상관관계를 명확하게 이해하는데 어려움이 생긴다. 이에 따라 석영 크리스탈의 잦은 교체를 통하여 글래스에 증착되는 물질의 두께를 파악하였다. 그러나 고가의 석영 크리스탈의 잦은 교체는 공정비용 상승을 수반하는 문제점이 제기되어왔다. 이러한 문제에 대해 한국 공개특허 10-2009-0016777에서는 석영 크리스탈을 구비한 센서 부의 사용 기간 연장을 위한 방법으로 센서 부에 선택적으로 개폐가능한 셔터를 구비하여 센서 부로 불필요한 물질이 증착되지 않도록 함으로써 센서 부의 교체 주기를 연장할 수 있도록 하는 유기물 증착 장치 방법을 제안하여 고가의 석영 크리스탈의 잦은 교체를 통한 공정비용 상승의 문제점을 해결하였다. 그러나 상기한 한국 공개특허 10-2009-0016777은 증착되는 물질로부터 전달되는 열에너지에 노출된 석영 크리스탈의 열 진동에 의해 고유 진동수에 오차가 발생하여 석영 크리스탈에 증착된 유기물질의 두께를 정확히 측정하지 못하는 문제는 해결하지 못하였다. 따라서, 석영 크리스탈을 구비한 센서의 교체 주기를 늘리면서 열 진동에 의한 고유 진동수의 오차를 제거하여 센서가 유기 물질의 두께를 정확히 측정 가능한 방안이 요구되고 있다.
본 발명의 목적은 석영 크리스탈이 증착되는 물질의 열로 인한 석영 크리스탈의 고유 진동수에 오차가 발생하여 증착기판(Substrate)에 증착되는 물질의 두께와 석영 크리스탈에 증착되는 물질의 두께의 명확한 상관관계를 파악하는 어려움 해결 및 석영 크리스탈의 열 손상을 줄여 석영 크리스탈의 주기적인 교체를 연장할 수 있도록 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브를 제공함에 있다.
상기한 목적은 본 발명에 따라, 증착기판(Substrate)에 증착되는 증착막의 두께 및 증착속도를 측정하는 석영 크리스탈(Quartz crystal)를 구비한 증착 두께 측정센서(Deposition Rate Detecting Sensor)부 물질의 증발원으로부터 증발되는 물질을 석영 크리스탈로 유도하는 가이드 튜브 및 가이드 튜브의 외주 연에 설치되어 상기 가이드 튜브와 물질이 석영 크리스탈로 이동하는 이동 경로인 가이드 튜브 내부를 냉각수로 냉각하는 쿨링 (Cooling)장치에 의해 달성된다.
본 발명에 따르면, 증착기판(Substrate)에 증착되는 두께를 모니터링하는 석영 크리스탈(Quartz crystal)에 증착 물질이 이동하는 경로에 쿨링(Cooling) 장치가 설치된 가이드 튜브(Guide tube)를 설치함으로써 가열된 증착물질의 입자가 가이드 튜브 내부를 통과하는 동안 냉각되어 석영 크리스탈로 증착되는 동안 전달되는 온도를 감소시킴으로써 석영 크리스탈의 고유 진동수에 노이즈를 생성하는 열 진동을 줄여 석영 크리스탈에 증착된 물질의 두께와 증착기판(Substrate)에 증착된 물질의 두께의 상관관계를 파악하는 효과와 석영 크리스탈의 열로 인한 손상을 줄여 석영 크리스탈의 사용 기간을 연장하는 효과가 있다.
도 1은 튜브(Tube)타입의 쿨링 장치가 가이드 튜브의 외주 연에 일정한 간격으로 설치된 것에 대한 사시도를 도시한다.
도 2는 자켓(Jacket)타입의 쿨링 장치에 가이드 튜브가 삽입되어 있는 것에 대한 사시도를 도시한다.
도 3은 분배기의 일 측면에 설치되는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브에 대한 개념도를 도시한다.
도 4는 분배기의 일 측면에 설치되는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브에 대한 개념도를 도시한다.
도 5는 진공 챔버(Chamber)내에 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브에 대한 개념도를 도시한다.
도 6은 증착 물질 센싱 가이드에 쿨링 장치를 장착하지 않고 모니터링을 한 데이터를 나타낸다.
도 7은 증착 물질 센싱 가이드에 쿨링 장치를 장착한 후 모니터링을 한 데이터를 나타낸다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 튜브(Tube)타입의 쿨링 장치가 가이드 튜브의 외주 연에 일정한 간격으로 설치된 것에 대한 사시도를 도시한다.
도 1을 참조하면, 도시된 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브는 튜브(Tube)타입의 쿨링 장치(100), 원통형 가이드 튜브(110), 체결튜브(120), 냉각수 진출입관(130), 증착 두께 탐지 센서 부(140) 및 석영 크리스탈(150)을 포함하여 구성될 수 있다.
석영 크리스탈(150)은 증착 두께 탐지 센서 부(140) 내에 삽입되며, 증착 두께 탐지 센서부(140)에 삽입되어 접촉 면에 금의 박막을 입혀 전극을 만들어 교류전압을 걸면 석영 크리스탈(150)은 6MHz의 고유 진동수가 출력된다. 그러나 챔버 내에 존재하는 기체 상태의 유기 물질이 증착되어 석영 크리스탈의 일 면에 쌓이게 되면 석영 크리스탈의 무게가 증가하여 고유 진동수에 비해 낮은 진동수가 출력된다.
또한 석영 크리스탈 표면에 쌓이는 증착물질의 열에너지(온도)에 의해 발생되는 열 진동은 고유 진동수를 감소 또는 증가시키는 노이즈(Noise)로 작용하게 되며, 이때 출력되는 두께 및 증착 속도 정보는 증착되는 물질의 특성과 상이한 정보가 출력되게 된다.
따라서, 증착 물질이 석영 크리스탈의 표면에 쌓이게 되면 석영 크리스탈의 무게가 증가하여 고유 진동수가 통상적으로 5.8MHz 이하로 감소하거나 혹은 진동수가 일정하게 감소하지 않고 증가와 감소를 반복하는 노이즈가 발생 할 경우 석영 크리스탈(150)을 교체한다.
증착 두께 탐지 센서 부(140)와 인접하게 마련되어 있는 냉각수 진출입관(130)을 통하여 공급된 냉각수가 공급되어 튜브(110)를 냉각하게 되고, 가열된 증발 물질 입자가 튜브(110)를 통과 하는 동안 입자의 온도가 냉각된 후 석영 크리스탈(150)에 증착됨으로써 고온의 물질입자가 석영 크리스탈(150)에 증착되어 발생 되는 열 진동에 의한 노이즈(Noise)를 억제할 수 있다.
가이드 튜브는 체결 튜브(120)와 원통형 가이드 튜브(110)로 구성된다. 체결 튜브(120)는 직사각경 모양으로서 일 면이 증착 두께 탐지 센서 부(140)의 석영 크리스탈(150)을 덮으면서 연결되어 석영 크리스탈(150)이 원통형 가이드 튜브를 통하여 들어온 증착 물질만 증착 되도록 한다. 원통형 가이드 튜브(110)는 원통형 모양으로 길이는 50mm 내지 300mm 이고 직경은 15mm 내지 60mm으로 형성되어 증착 물질이 석영 크리스탈에 부착이 되도록 하는 이동 경로의 역할을 한다.
냉각수 진출입관(130)으로 형성된 튜브 타입의 쿨링 장치(100)는 원통형 가이트 튜브(110)의 외주 연에 등 간격으로 촘촘하게 나선형으로 감겨있어 석영 크리스탈(150)에 증착될 입자를 쿨링하여 석영 크리스탈의 온도 상승을 억제하여 고유 진동수에 노이즈를 생성하는 열 진동 발생을 줄인다.
따라서, 노이즈가 없는 석영 크리스탈(150)의 고유 진동수 변화를 통하여 증착기판(Substrate)에 증착된 물질의 두께를 파악할 수 있다.
도 2는 자켓(Jacket)타입의 쿨링 장치에 가이드 튜브가 삽입되어 있는 것에 대한 사시도를 도시한다.
도 2을 참조하면, 도시된 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브는 자켓(Jacket)타입의 쿨링 장치(100), 원통형 가이드 튜브(110), 체결튜브(120), 냉각수 진출입관(130), 증착 두께 탐지 센서 부(140) 및 석영 크리스탈(150)을 포함하여 구성될 수 있다.
석영 크리스탈(150)은 증착 두께 탐지 센서 부(140) 내에 삽입되며, 증착 두께 탐지 센서부(140)에 삽입되어 접하는 면에 금의 박막을 입혀 전극을 만들어 교류전압을 걸면 석영 크리스탈(150)은 6MHz의 고유 진동수가 출력된다. 그러나 챔버 내에 존재하는 기체 상태의 유기 물질이 증착되어 석영 크리스탈의 일 면에 쌓이게 되면 석영 크리스탈의 무게가 증가하여 고유 진동수에 비해 낮은 진동수가 출력된다.
또한 석영 크리스탈 표면에 쌓이는 증착물질의 열에너지(온도)에 의해 발생되는 열 진동은 고유 진동수를 감소 또는 증가시키는 노이즈(Noise)로 작용하게 되며, 이때 출력되는 두께 및 증착 속도 정보는 증착되는 물질의 특성과 상이한 정보가 출력되게 된다.
따라서, 증착 물질이 석영 크리스탈의 표면에 쌓이게 되면 석영 크리스탈의 무게가 증가하여 고유 진동수가 통상적으로 5.8MHz 이하로 감소하거나 혹은 진동수가 일정하게 감소하지 않고 증가와 감소를 반복하는 노이즈가 발생 할 경우 석영 크리스탈(150)을 교체한다.
증착 두께 탐지 센서 부(140)와 인접하게 마련되어 있는 냉각수 진출입관(130)을 통하여 공급된 냉각수가 공급되어 튜브(110)를 냉각하게 되고, 가열된 증발 물질 입자가 튜브(110)를 통과하는 동안 입자의 온도가 냉각된 후 석영 크리스탈(150)에 증착되어 발생되는 열 진동에 의한 노이즈(Noise)를 억제할 수 있다.
가이드 튜브는 체결 튜브(120)와 원통형 가이드 튜브(110)로 구성된다. 체결 튜브(120)는 직사각경 모양으로서 일 면이 증착 두께 탐지 센서 부(140)의 석영 크리스탈(150)을 덮으면서 연결되어 석영 크리스탈(150)이 원통형 가이드 튜브를 통하여 들어온 증착 물질만 증착 되도록 한다. 원통형 가이드 튜브(110)는 원통형 모양으로 길이는 50mm 내지 300mm 이고 직경은 15mm 내지 60mm으로 형성되어 증착 물질이 석영 크리스탈에 부착이 되도록 하는 이동 경로의 역할을 한다.
냉각수 진출입관(130)으로 형성된 자켓 타입의 쿨링 장치(200)는 원통형 가이트 튜브(110) 전체를 감싸고 있어 석영 크리스탈(150)에 증착될 입자를 쿨링하여 석영 크리스탈의 온도 상승을 억제하여 고유 진동수에 노이즈를 생성하는 열 진동 발생을 줄인다.
따라서, 노이즈가 없는 석영 크리스탈(150)의 고유 진동수 변화를 통하여 증착기판(Substrate)에 증착된 물질의 두께를 파악할 수 있게 된다.
도 3은 분배기의 일 측면에 설치되는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브에 대한 개념도를 도시한다.
도 3을 참조하면, 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브를 사용하는 실시 예로서 'T' 자형 분배기(300), 노즐(310), 원통형 가이드 튜브(110), 체결튜브(120) 및 증착 두께 탐지 센서 부(140)을 포함하여 구성될 수 있다.
'T' 자형 분배기(300)는 증착 기판(Substrate)에 증착시킬 증발 물질을 다수개의 노즐에 분배되도록 하며, 분배기의 일 측면에는 튜브 타입의 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브가 체결 가능하다.
노즐(310)은 'T' 자형 분배기(300) 상단에 글래스(미도시) 방향 쪽으로 상이한 간격을 두고 설치되어 증발 물질이 글래스에 증착되도록 한다.
가이드 튜브는 체결 튜브(120)와 원통형 가이드 튜브(110)로 구성된다. 체결 튜브(120)는 직사각경 모양으로서 일 면이 증착 두께 탐지 센서 부(140)의 석영 크리스탈(150)을 덮으면서 연결되어 석영 크리스탈(150)이 원통형 가이드 튜브를 통하여 들어온 증착 물질만 증착 되도록 한다. 원통형 가이드 튜브(110)는 원통형 모양으로 길이는 50mm 내지 300mm 이고 직경은 15mm 내지 60mm으로 형성되어 증착 물질이 석영 크리스탈에 부착이 되도록 하는 이동 경로의 역할을 한다.
석영 크리스탈(미도시)은 증착 두께 탐지 센서 부(140) 내에 삽입되며, 증착 두께 탐지 센서부(140)에 삽입되어 접하는 면에 금의 박막을 입혀 전극을 만들어 교류전압을 걸면 석영 크리스탈(미도시)은 6MHz의 고유 진동수가 출력된다. 그러나 챔버 내에 존재하는 기체 상태의 유기 물질이 증착되어 석영 크리스탈(미도시)의 일 면에 쌓이게 되면 석영 크리스탈(미도시)의 무게가 증가하여 고유 진동수에 비해 낮은 진동수가 출력된다.
따라서, 증착 두께 탐지 센서 부(140)의 고유 진동수가 설정된 값까지 감소 되면, 기판의 표면에도 설정된 두께의 증착 막이 형성된 것으로 간주하며, 증착 막이 설정된 두께로 형성될 때까지의 시간을 산정할 수 있어 증착 속도를 조절할 수 있는 기본적인 데이터를 제공하여 분배기의 노즐(310)을 통하여 분출되는 입자가 글래스에 증착되는 두께를 모니터링을 한다. 아울러 복 수개의 노즐(310)이 부착되어 있는 'T' 자형 분배기(300)의 일 측면에는 도 2에서 설명한 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브가 삽입될 수도 있다.
도 4는 분배기의 일 측면에 설치되는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브에 대한 개념도를 도시한다.
도 4를 참조하면, 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브를 사용하는 실시 예로서 'ㄱ' 자형 분배기(400), 노즐(410), 원통형 가이드 튜브(110), 체결튜브(120) 및 증착 두께 탐지 센서 부(140)을 포함하여 구성될 수 있다.
'ㄱ' 자형 분배기(400)는 글래스에 증착시킬 유기 증발 물질을 다수개의 노즐에 분배되도록 하며, 분배기의 일 측면에는 튜브 타입의 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브가 체결가능하다.
노즐(410)는 'ㄱ' 자형 분배기(400) 상단에 글래스(미도시)에 방향으로 상이한 간격으로 설치되어 유기 증발 물질이 글래스에 증착되도록 한다.
가이드 튜브는 체결 튜브(120)와 원통형 가이드 튜브(110)로 구성된다. 체결 튜브(120)는 직사각경 모양으로서 일 면이 증착 두께 탐지 센서 부(140)의 석영 크리스탈(150)을 덮으면서 연결되어 석영 크리스탈(150)이 원통형 가이드 튜브를 통하여 들어온 증착 물질만 증착 되도록 한다. 원통형 가이드 튜브(110)는 원통형 모양으로 길이는 50mm 내지 300mm 이고 직경은 15mm 내지 60mm으로 형성되어 증착 물질이 석영 크리스탈에 부착이 되도록 하는 이동 경로의 역할을 한다.
석영 크리스탈(미도시)은 증착 두께 탐지 센서 부(140) 내에 삽입되며, 증착 두께 탐지 센서부(140)에 삽입되어 접하는 면에 금의 박막을 입혀 전극을 만들어 교류전압을 걸면 석영 크리스탈(미도시)은 6MHz의 고유 진동수가 출력된다. 그러나 챔버 내에 존재하는 기체 상태의 유기 물질이 증착되어 석영 크리스탈(미도시)의 일 면에 쌓이게 되면 석영 크리스탈(미도시)의 무게가 증가하여 고유 진동수에 비해 낮은 진동수가 출력된다.
따라서, 증착 두께 탐지 센서 부(140)의 고유 진동수가 설정된 값까지 감소 되면, 기판의 표면에도 설정된 두께의 증착 막이 형성된 것으로 간주하며, 증착 막이 설정된 두께로 형성될 때까지의 시간을 산정할 수 있어 증착 속도를 조절할 수 있는 기본적인 데이터를 제공하여 분배기의 노즐(410)을 통하여 분출되는 입자가 글래스에 증착되는 두께를 모니터링을 한다. 아울러 복 수개의 노즐(410)이 부착되어 있는 'ㄱ' 자형 분배기(400) 상단에는 도 1에서 설명한 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브가 삽입될 수도 있다.
도 5는 진공 챔버(Chamber)내에 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브에 대한 개념도를 도시한다.
도 5를 참조하면, 도시된 진공 챔버 내에 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브는 원통형 가이드 튜브(110), 체결튜브(120), 증착 두께 탐지 센서 부(140) 유기 물질의 소스를 증발하는 증발원(500) 및 글래스(510)을 포함하여 구성된다.
유기 물질의 소스를 증발하는 증발원(500)은 유기 물질을 250도 내지 550도로 증발시켜 챔버내의 최상단에 설치되어 있는 글래스(510) 및 챔버의 일 측면에 설치되어 있는 증착 두께 탐지 센서 부(140)에 증착되어 석영 크리스탈(미도시)의 질량을 증가시켜 석영 크리스탈(미도시)의 고유 진동수를 감소시킨다.
도 6은 증착 물질 센싱 가이드에 쿨링 장치를 장착하지 않고 모니터링을 한 데이터를 나타낸다.
도 6을 참조하면, 증착 시간동안 고온의 증착 물질이 석영 크리스탈에 증착되어 발생되는 열 진동에 의해 증착 속도(Deposition Rate)가 심하게 흔들리는(Fluctuation)현상이 발생하였다.
증착 속도가 0.25A/sec에서 0.5A/sec로 증가함에 따라 증발되는 물질 입자의 온도 및 수량이 증가하여 증착되기 때문에, 이로 인해 발생되는 열 진동의 영향도 증가하여 노이즈가 상승하였다.
도 7은 증착 물질 센싱 가이드에 쿨링 장치를 장착한 후 모니터링을 한 데이터를 나타낸다.
도 7를 참조하면, 증착 시간 동안 고온의 증착 물질 입자가 쿨링장치가 장착된 가이드튜브(110)를 통과하는 동안 입자의 온도가 낮아져 석영 크리스탈에 증착된 후에도 증착 물질 입자의 열에너지(온도)에 의해 발생 되는 열 진동에 의한 노이즈가 생성되지 않았다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구 범위에서 청구 하 는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
100: 튜브(Tube)형 쿨링(Cooling) 장치 110: 원통형 가이드 튜브
120: 체결 튜브 130: 냉각수 진출입관
140: 증착 두께 탐지 센서 부 150: 석영 크리스탈

Claims (7)

  1. 증착기판(Substrate)에 증착되는 증착 막의 두께 및 질량을 측정하는 석영 크리스탈(Quartz crystal)을 구비한 증착 두께 탐지 센서(Deposition Rate Detecting Sensor)부;
    유기 물질의 소스로부터 증발되는 증발 물질을 상기 석영 크리스탈로 유도하는 가이드 튜브; 및
    상기 가이트 튜브의 외주 연에 설치되어 상기 가이드 튜브를 냉각수로 냉각하는 쿨링(Cooling)장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드 튜브는
    원통형 가이드 튜브와 체결 튜브로 구성되는 것을 특징으로 하는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가이드 튜브의 길이는,
    50mm 내지 300mm인 것을 특징으로 하는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가이드 튜브의 직경는,
    15mm 내지 60mm인 것을 특징으로 하는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 쿨링 장치는
    튜브(Tube)타입 및 자켓(Jacket)타입 중 어느 하나의 타입인 것을 특징으로 하는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 쿨링 장치가 상기 튜브 타입인 경우,
    상기 가이드 튜브에 등 간격으로 감겨 있는 것을 특징으로 하는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 쿨링 장치가 상기 자켓 타입인 경우,
    원통형 가이드 튜브의 직경에 1.5배 내지 2.0배인 것을 특징으로 하는 쿨링 장치가 장착된 증착 물질 센싱 가이드 튜브.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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