KR20140062963A - Device for controlling the horizontality - Google Patents

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KR20140062963A KR1020120129320A KR20120129320A KR20140062963A KR 20140062963 A KR20140062963 A KR 20140062963A KR 1020120129320 A KR1020120129320 A KR 1020120129320A KR 20120129320 A KR20120129320 A KR 20120129320A KR 20140062963 A KR20140062963 A KR 20140062963A
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Abstract

The present invention relates to a device for maintaining horizontality capable of maintaining horizontality by fixing one among the four edges of a rectangle as a reference point and using a simple algorithm. According to the present invention, the device for maintaining horizontality includes: a substrate mounting board which has a rectangular board shape and onto the top of which a substrate is mounted; a reference point which is placed at the lower part of one edge of the substrate mount board while the height is fixed and acts as a reference for horizontal change of the substrate mounting board; an edge elevation unit which is installed in each of the other three edges except for the edge acting as a reference and elevates each edge of the substrate mounting board independently in the up-down direction; a height measuring unit which is installed at the top of each edge of the substrate mounting board and measures the height of each edge of a substrate mounted onto the substrate mounting board; and a horizontality control unit which controls the edge elevation unit according to the height of each edge of the substrate measured by the height measuring unit in order to make the four edges of the substrate have the same height.

Description

수평 유지 장치{DEVICE FOR CONTROLLING THE HORIZONTALITY}{DEVICE FOR CONTROLLING THE HORIZONTALITY}

본 발명은 수평 유지 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 직사각형의 네 모서리 중 한 모서리를 기준점으로 고정하여 간단한 알고리듬에 의하여 수평을 유지할 수 있는 수평 유지 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a horizontal holding device, and more particularly, to a horizontal holding device capable of holding a horizontal edge by a simple algorithm by fixing one corner of four rectangular edges as a reference point.

최근 사용자 인터페이스의 편의를 위하여 터치스크린 패널(TOUCH SCREEN PANEL:TSP) 기술이 널리 사용되고 있다. 특히, 스마트폰(SMART PHONE), 태블릿 PC 등의 급속한 보급 확대로 인하여 이러한 터치스크린 패널의 수요는 더욱 증가하고 있으며, 점차 모니터, TV 등으로 대형화되고 있는 추세이다. Recently, TOUCH SCREEN PANEL (TSP) technology has been widely used for convenience of user interface. In particular, due to the rapid spread of smart phones (smart phones) and tablet PCs, demand for such touch screen panels is increasing more and more.

이러한 터치스크린 패널의 제조과정에서는 유리 패널 또는 필름 상에 레진을 도포한 상태에서 또 다른 유리 패널 또는 필름을 부착하는 공정이 많이 진행된다. 이 부착 공정에서는 부착을 위하여 하부에 배치되는 유리 패널 또는 패널의 수평 상태를 유지하는 것이 중요하다. 즉, 유리 패널 상에 부착을 위한 레진을 도포할 때, 유리 패널이 수평 상태를 유지하지 못하면 패널 상에 도포되는 레진의 두께가 일정하지 않아서 부착 공정에서 불량이 발생할 가능성이 높은 것이다. In the manufacturing process of such a touch screen panel, a process of attaching another glass panel or a film to a glass panel or a film in a state in which the resin is coated on the film is performed. In this attachment process, it is important to maintain the horizontal position of the glass panel or panel disposed below for attachment. That is, when applying a resin for adhesion on a glass panel, if the glass panel is not maintained in a horizontal state, the thickness of the resin applied on the panel is not uniform, so that there is a high possibility that a failure occurs in the adhesion process.

그런데 상기 유리 패널 또는 필름 등은 도 1에 도시된 바와 같이, 패널 자체의 두께가 일정하지 않아서 패널의 상면이 기울어질 수도 있고, 도 2에 도시된 바와 같이, 필름 또는 유리 패널 자체의 형상이 변형되어 평평한 상태를 유지하지 못할 수도 있다. 이러한 경우에는 유리 패널 또는 필름을 지지하고 있는 탑재대의 기울기를 보정하여 유리 패널 또는 필름 상면의 수평을 보정하는 방법이 사용된다. However, as shown in FIG. 1, the glass panel, the film, or the like may not be uniform in thickness, so that the upper surface of the panel may be inclined, and the shape of the film or the glass panel itself may be deformed And may not be able to maintain a flat state. In this case, a method of correcting the horizontal position of the glass panel or the upper surface of the film by correcting the inclination of the glass panel or the table supporting the film is used.

그런데 종래에는 상기 탑재대의 네 모서리를 모두 상하 방향으로 이동시키면서 수평을 맞추다보니, 수평을 맞추기 위한 알고리듬이 너무 복잡하고 수평을 맞추는데 공정 시간이 너무 길어지는 문제점이 있었다. However, conventionally, when all four corners of the stage are moved in the vertical direction and aligned horizontally, the algorithm for aligning the horizontal is too complicated and the process time is too long for aligning the horizontal.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 직사각형의 네 모서리 중 한 모서리를 기준점으로 고정하여 간단한 알고리듬에 의하여 수평을 유지할 수 있는 수평 유지 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a horizontal holding device capable of holding a horizontal edge by a simple algorithm by fixing one corner of four rectangular corners as a reference point.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 수평 유지 장치는, 직사각형 형상의 판재 구조를 가지며, 상면에 기판이 탑재되는 기판 탑재대; 상기 기판 탑재대의 일 모서리 하부에 높이가 고정된 상태로 구비되며, 상기 기판 탑재대의 수평 변화의 기준이 되는 기준점; 상기 기준점이 설치되는 모서리를 제외한 나머지 세 모서리에 각각 설치되며, 상기 기판 탑재대의 각 모서리를 상하 방향으로 독립적으로 승강시키는 모서리 승강부; 상기 기판 탑재대의 각 모서리 상측에 각각 설치되며, 상기 기판 탑재대에 탑재된 기판의 각 모서리의 높이를 측정하는 높이 측정부; 상기 높이 측정부에 의하여 측정된 상기 기판의 각 모서리 높이에 따라 상기 모서리 승강부를 제어하여 상기 기판의 네 모서리가 모두 같은 높이가 되도록 하는 수평 제어부;를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a horizontal holding apparatus comprising: a substrate table having a rectangular plate-like structure and having a substrate mounted on an upper surface thereof; A reference point which is provided at a bottom of one corner of the substrate mounting table in a fixed state and serves as a reference for horizontal change of the substrate mounting table; A corner elevator installed at each of the other three corners except for the corner where the reference point is installed, and vertically elevating the corners of the board mount stand independently; A height measuring unit installed on each of the corners of the substrate mounting table for measuring a height of each corner of the substrate mounted on the substrate mounting table; And a horizontal control unit controlling the edge elevating unit according to the height of each edge of the substrate measured by the height measuring unit to make all the four corners of the substrate have the same height.

그리고 본 발명에서 기준점과 상기 모서리 승강부는, 상기 기판 탑재대 하면에 회동 가능하도록 결합되는 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable that the reference point and the edge elevating portion are rotatably coupled to the lower surface of the substrate mounting table.

그리고 상기 기판 탑재대에는, 상기 기판 탑재대 상면에 탑재되는 기판을 흡착 고정하는 기판 고정수단이 더 구비되는 것이 바람직하다. The substrate mounting table may further include a substrate fixing means for sucking and fixing a substrate mounted on the substrate mounting table.

또한 상기 모서리 승강부는 서보 모터(SERVO MOTER)로 구성되는 것이 바람직하다.
Further, it is preferable that the corner elevating part is constituted by a servo motor.

본 발명에 따르면 기판 탑재대의 네 모서리 중 하나의 모서리에 높이가 고정되는 기준점을 설치하고, 나머지 세 모서리 부분을 상하 방향으로 이동시키면서 전체 기판의 수평 상태 또는 기판 탑재대의 수평 상태를 조정하고 유지하므로, 수평 유지를 위한 과정이 단순해지고 공정 시간이 단축되는 효과가 있다. According to the present invention, since a reference point at which a height is fixed to one of the four corners of the substrate mounting table is provided and the horizontal state of the entire substrate or the horizontal state of the substrate mounting table is adjusted and maintained while moving the remaining three corner portions in the vertical direction, The process for level maintenance is simplified and the process time is shortened.

도 1, 2는 종래의 기판의 탑재대 지지 상태를 도시하는 도면들이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 수평 유지 장치의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 수평 유지 장치의 구조를 도시하는 사시도이다. Figs. 1 and 2 are views showing a state where a conventional substrate is supported on a mount table.
3 is a cross-sectional view showing a structure of a horizontal holding device according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing a structure of a horizontal holding device according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
Hereinafter, a specific embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 수평 유지 장치(1)는 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 탑재대(10), 기준점(20), 모서리 승강부(30), 높이 측정부(40) 및 수평 제어부(도면에 미도시)를 포함하여 구성된다. 3, the horizontal holding device 1 according to the present embodiment includes a substrate mounting table 10, a reference point 20, a corner elevating portion 30, a height measuring portion 40, and a horizontal control portion (Not shown).

먼저 상기 기판 탑재대(10)는 도 3에 도시된 바와 같이, 직사각형 형상의 판재 구조를 가지며, 상면에 기판(S)이 탑재되는 구성요소이다. 상기 기판 탑재대(10)의 상면 중 정해진 위치에 공정이 진행될 기판(S)이 탑재되는 것이다. 상기 기판 탑재대(10)는 상기 기판(S)을 공정이 진행되는 동안 안정적으로 지지하게 된다. As shown in FIG. 3, the substrate table 10 is a component having a rectangular plate-like structure and on which a substrate S is mounted. The substrate S to be processed is mounted at a predetermined position on the upper surface of the substrate table 10. The substrate table 10 stably supports the substrate S during the process.

이를 위하여 상기 기판 탑재대(10)에는, 상기 기판 탑재대(10) 상면에 탑재되는 기판(S)을 흡착 고정하는 기판 고정수단(도면에 미도시)이 더 구비될 수도 있다. 상기 기판 고정수단은 공정이 진행되는 동안 상기 기판(S)을 흡착 고정하여 공정이 안정적으로 진행되도록 한다. 상기 기판 고정수단은 정전척 또는 진공 흡착척 등 다양한 구조로 구성될 수 있다. The substrate stage 10 may further include substrate fixing means (not shown) for sucking and fixing the substrate S mounted on the upper surface of the substrate stage 10. The substrate fixing means sucks and fixes the substrate S during the process so that the process proceeds stably. The substrate fixing means may have various structures such as an electrostatic chuck or a vacuum chuck.

다음으로 상기 기준점(20)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 기판 탑재대(10)의 일 모서리 하부에 높이가 고정된 상태로 구비되며, 상기 기판 탑재대(10)의 수평 변화의 기준이 되는 구성요소이다. 전술한 바와 같이, 상기 기준점(20)은 그 높이가 고정된 상태로 설치되므로, 수평 유지를 위한 제어 과정에서 그 높이가 변화되지 않으며, 다른 모서리들의 높이 변화에 대하여 기준이 되는 것이다.3, the reference point 20 has a height fixed to a lower portion of one side of the substrate table 10, and the standard of the horizontal change of the substrate table 10 is Lt; / RTI > As described above, since the height of the reference point 20 is set in a fixed state, the height of the reference point 20 is not changed during the control process for maintaining the height of the reference point 20, and is a reference for the height change of the other corners.

예를 들어 후술하는 높이 측정부(40)에서 측정되는 결과에서 상기 기준점(20)이 설치된 모서리 부분이 다른 세 모서리 부분보다 낮다고 측정되면, 상기 기준점(20) 부분 이외의 나머지 세 모서리 부분을 하측으로 이동시켜 수평을 맞추게 된다. For example, if it is determined that the corner portion on which the reference point 20 is provided is lower than the other three corner portions as a result of measurement by a height measuring unit 40 described later, the remaining three corner portions other than the reference point 20 are moved downward And then moved horizontally.

따라서 상기 기준점(20)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 기판 탑재대(10) 하면에 회동 가능하도록 결합되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 기판 탑재대(10)의 다른 모서리 부분의 상하 방향 구동에 의하여 기판 탑재대(10) 자체의 기울기가 달라지더라도 상기 기준점(20)과 상기 기판 탑재대(10)가 안정적으로 결합될 수 있도록 예를 들어, 볼 베어링(22) 구조로 결합되는 것이다. 이렇게 볼 베어링(22) 구조로 결합되면, 상기 기준점(20)에 대하여 상기 기판 탑재대(10)가 다양한 부분에 대하여 회동가능한 장점이 있다. Therefore, the reference point 20 is preferably rotatably coupled to the lower surface of the substrate mount 10 as shown in FIG. That is, even if the inclination of the substrate table 10 itself is changed by the vertical movement of the other corner portion of the substrate table 10, the reference point 20 and the substrate table 10 are stably coupled For example, a ball bearing (22) structure. When the ball bearing 22 is assembled in this manner, the substrate mount 10 can be rotated with respect to the reference point 20 with respect to various parts.

다음으로 상기 모서리 승강부(30)는 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 상기 탑재대(10) 중 상기 기준점이 설치되는 모서리를 제외한 나머지 세 모서리에 각각 설치되며, 상기 기판 탑재대(10)의 각 모서리를 상하 방향으로 독립적으로 승강시키는 구성요소이다. 상기 모서리 승강부(30)는 상기 기판 탑재대(10)의 모서리 하측에 설치될 수도 있고, 그 측방에 설치될 수도 있고, 다양하게 변화될 수 있다. 3 and 4, the corner elevating unit 30 is installed at each of the three corners except the corner where the reference point is installed, And vertically upward and downward independently of each other. The edge elevating portion 30 may be installed on the lower side of the edge of the substrate mount 10, on the side thereof, or may be variously changed.

또한 상기 모서리 승강부(30)도 상기 기판 탑재대(10)의 기울기를 용이하게 변화시키기 위하여 상기 기준점(20)과 마찬가지로 상기 기판 탑재대(10) 하면에 회동 가능하게 결합되는 것이 바람직하다. 따라서 상기 모서리 승강부(30)도 볼 베러일 구조와 같이 회동가능한 구조로 상기 기판 탑재대(10) 하면에 연결된다. The edge elevating unit 30 is also rotatably coupled to the lower surface of the substrate mount 10 in the same manner as the reference point 20 in order to easily change the inclination of the substrate mount 10. Accordingly, the edge elevating portion 30 is also connected to the lower surface of the substrate mount 10 in a structure rotatable like a ball screw structure.

한편 본 실시예에서는 상기 모서리 승강부(30)가 서보 모터(SERVO MOTER)로 구성되는 것이, 각 모서리의 높이를 매우 정밀하게 상하 방향으로 이동시킬 수 있어서 바람직하다. On the other hand, in the present embodiment, it is preferable that the corner elevating portion 30 is constituted by a servo motor because the height of each corner can be moved in the vertical direction with high precision.

다음으로 상기 높이 측정부(40)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 기판 탑재대(10)의 각 모서리 상측에 각각 설치되며, 상기 기판 탑재대(10)에 탑재된 기판(S)의 각 모서리의 높이를 측정하는 구성요소이다. 상기 모서리 승강부(30)를 구동시켜 상기 기판 탑재대(10) 또는 상기 기판 탑재대(10)에 탑재된 기판(S)의 수평을 유지하기 위해서는 상기 기판 탑재대(10) 또는 상기 기판 탑재대(10)에 탑재된 기판(S)의 각 모서리 부분의 높이를 정확하게 측정할 수 있어야 한다. 따라서 상기 높이 측정부(40)는 실시간으로 상기 기판 탑재대(10) 또는 상기 기판 탑재대(10)에 탑재된 상기 기판(S)의 각 모서리 부분의 높이를 측정하여 그 결과값을 후술하는 수평 제어부에 전달한다. 3, the height measuring unit 40 is installed on each of the corners of the substrate table 10, and detects the height of the substrate S mounted on the substrate table 10, It is a component that measures the height of the corner. In order to maintain the level of the substrate S mounted on the substrate mount 10 or the substrate mount 10 by driving the corner elevating unit 30, the substrate mount 10 or the substrate mount 10, The height of each corner of the substrate S mounted on the substrate 10 must be accurately measured. Therefore, the height measuring unit 40 measures the height of each corner portion of the substrate S mounted on the substrate mount 10 or the substrate mount 10 in real time, and outputs the result as a horizontal To the control unit.

다음으로 상기 수평 제어부는, 상기 높이 측정부(40)에 의하여 측정된 상기 기판(S)의 각 모서리 높이에 따라 상기 모서리 승강부(30)를 제어하여 상기 기판(S)의 네 모서리가 모두 같은 높이가 되도록 하는 구성요소이다. 즉, 상기 수평 제어부는 상기 높이 측정부(40)에 의하여 측정된 각 모서리에 대한 높이 데이타를 바탕으로 미리 입력된 수평 조정 프로그램을 이용하여 상기 모서리 승강부(30) 각각을 상하 방향으로 조정하여 상기 기판 탑재대(10) 또는 상기 기판 탑재대(10)에 탑재된 기판(S)의 수평을 조정하는 것이다.
Next, the horizontal control unit controls the edge elevating unit 30 according to the height of each edge of the substrate S measured by the height measuring unit 40 so that four corners of the substrate S are all the same Height. That is, the horizontal control unit adjusts each of the corner elevating units 30 in the vertical direction by using a horizontal adjustment program previously input based on the height data of the corners measured by the height measuring unit 40, And adjusts the horizontal position of the substrate table 10 or the substrate S mounted on the substrate table 10.

1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 수평 유지 장치
10 : 기판 탑재대 20 : 기준점
30 : 모서리 승강부 40 : 높이 측정부1: A horizontal holding device according to an embodiment of the present invention
10: Substrate mounting base 20: Reference point
30: edge elevating part 40: height measuring part

Claims (4)

직사각형 형상의 판재 구조를 가지며, 상면에 기판이 탑재되는 기판 탑재대;
상기 기판 탑재대의 일 모서리 하부에 높이가 고정된 상태로 구비되며, 상기 기판 탑재대의 수평 변화의 기준이 되는 기준점;
상기 기준점이 설치되는 모서리를 제외한 나머지 세 모서리에 각각 설치되며, 상기 기판 탑재대의 각 모서리를 상하 방향으로 독립적으로 승강시키는 모서리 승강부;
상기 기판 탑재대의 각 모서리 상측에 각각 설치되며, 상기 기판 탑재대에 탑재된 기판의 각 모서리의 높이를 측정하는 높이 측정부;
상기 높이 측정부에 의하여 측정된 상기 기판의 각 모서리 높이에 따라 상기 모서리 승강부를 제어하여 상기 기판의 네 모서리가 모두 같은 높이가 되도록 하는 수평 제어부;를 포함하는 기판 수평 유지 장치.A substrate mounting table having a rectangular plate-like structure and on which a substrate is mounted;
A reference point which is provided at a bottom of one corner of the substrate mounting table in a fixed state and serves as a reference for horizontal change of the substrate mounting table;
A corner elevator installed at each of the other three corners except for the corner where the reference point is installed, and vertically elevating the corners of the board mount stand independently;
A height measuring unit installed on each of the corners of the substrate mounting table for measuring a height of each corner of the substrate mounted on the substrate mounting table;
And a horizontal control unit controlling the edge elevating unit according to the height of each edge of the substrate measured by the height measuring unit so that all four corners of the substrate are the same height. 제1항에 있어서, 상기 기준점과 상기 모서리 승강부는,
상기 기판 탑재대 하면에 회동 가능하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 수평 유지 장치.The apparatus according to claim 1, wherein the reference point and the edge elevating section
Wherein the substrate holding member is rotatably coupled to the lower surface of the substrate mounting table. 제1항에 있어서, 상기 기판 탑재대에는,
상기 기판 탑재대 상면에 탑재되는 기판을 흡착 고정하는 기판 고정수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 수평 유지 장치.The substrate processing apparatus according to claim 1,
Further comprising a substrate fixing means for sucking and fixing a substrate mounted on the upper surface of the substrate loading table. 제1항에 있어서,
상기 모서리 승강부는 서보 모터(SERVO MOTER)로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 수평 유지 장치.The method according to claim 1,
Wherein the edge elevating portion is constituted by a servo motor.
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