KR20140060837A - 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크와 그 제작방법 - Google Patents

도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크와 그 제작방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20140060837A
KR20140060837A KR1020120127664A KR20120127664A KR20140060837A KR 20140060837 A KR20140060837 A KR 20140060837A KR 1020120127664 A KR1020120127664 A KR 1020120127664A KR 20120127664 A KR20120127664 A KR 20120127664A KR 20140060837 A KR20140060837 A KR 20140060837A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
main line
metal mask
plating
wing
present
Prior art date
Application number
KR1020120127664A
Other languages
English (en)
Inventor
성낙훈
Original Assignee
성낙훈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 성낙훈 filed Critical 성낙훈
Priority to KR1020120127664A priority Critical patent/KR20140060837A/ko
Publication of KR20140060837A publication Critical patent/KR20140060837A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41C—PROCESSES FOR THE MANUFACTURE OR REPRODUCTION OF PRINTING SURFACES
    • B41C1/00—Forme preparation
    • B41C1/14—Forme preparation for stencil-printing or silk-screen printing
    • B41C1/142—Forme preparation for stencil-printing or silk-screen printing using a galvanic or electroless metal deposition processing step
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41C—PROCESSES FOR THE MANUFACTURE OR REPRODUCTION OF PRINTING SURFACES
    • B41C1/00—Forme preparation
    • B41C1/14—Forme preparation for stencil-printing or silk-screen printing
    • B41C1/144—Forme preparation for stencil-printing or silk-screen printing by perforation using a thermal head
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41N—PRINTING PLATES OR FOILS; MATERIALS FOR SURFACES USED IN PRINTING MACHINES FOR PRINTING, INKING, DAMPING, OR THE LIKE; PREPARING SUCH SURFACES FOR USE AND CONSERVING THEM
    • B41N1/00—Printing plates or foils; Materials therefor
    • B41N1/24—Stencils; Stencil materials; Carriers therefor
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/12—Production of screen printing forms or similar printing forms, e.g. stencils
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41P—INDEXING SCHEME RELATING TO PRINTING, LINING MACHINES, TYPEWRITERS, AND TO STAMPS
    • B41P2200/00—Printing processes
    • B41P2200/40—Screen printing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
  • Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)

Abstract

본 발명은 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크에 대한 것이다.
도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크는 메인 라인과 상기 메인 라인을 지지하는 날개부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
날개부는 메인 라인의 상부에서 상기 메인 라인의 측면으로 돌출되며, 상기 메인 라인과 일체로 구성된다.
본 발명의 메탈 마스크에 이형재를 코팅하여 충진물의 이형이 잘 되도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 메인 라인의 제작방법은, 도전체 기판에 감광재를 균일하게 도포하는 감광재 도포공정과; 투명부와 불투명부로 구성이 되는 필름에 빛을 조사하여 감광재를 노광시키는 노광공정과; 비노광부를 화학적으로 제거하여 공간부를 형성하는 공간부 형성공정과; 도금조에서 도전체 기판에 전기를 가하여, 상기 공간부에 도금을 실행하여 도금부가 노광부의 높이만큼 성장되는 도금공정을 포함한다.
본 발명에서 날개부의 제작방법은, 메인 라인을 제작할 때, 도금조에서 도금부가 노광부의 높이 이상으로 성장되는 도금공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크와 그 제작방법 {Wing-type metal mask and production method }
종래의 인쇄전자회로는 메쉬나 망을 통하여 비전도성 기판 위에 액상의 실버페이스트를 인쇄를 하는 방법으로 만들어 졌다.
그러나 이러한 종래의 인쇄전기회로는 사용이 되는 메쉬나 망의 크기가 크기 때문에 미세하고 정교한 회로를 인쇄하는 것에는 한계가 있었다.
본 발명은 종래의 한계를 극복할 수가 있도록 하는 마스크를 제작하는 제작방법과 그 방법에 의하여 만들어 지는 것을 특징으로 하는 메탈 마스크에 대한 것이다.
특히 본 발명은 메탈 마스크는 메인 라인에 날개부를 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 사용이 되는 마스크는 기존의 스크린 인쇄 등 인쇄기술에서 사용이 되는 스크린 메쉬 또는 망을 응용한 기술이다.
이러한 마스크의 예로서 종래의 메탈 마스크는 도 1에 의하여 설명을 한다.
금속의 박막에 수많은 관통부를 형성하며, 상기 관통부들을 통하여 의도하는 안료나 물질을 메탈 마스크의 하부에 놓인 기판에 위치토록 하는 것이다.
종래의 스크린 인쇄기법은 종이 또는 섬유 등에 안료를 로울러에 묻혀서 망을 통하여 안료를 필요로 한 부분에만 종이 또는 섬유에 전사시키는 것이다.
메쉬 또는 망은 관통부들을 가지고 있으며, 메쉬 또는 망의 관통부들을 통하여 잉크 또는 실버페이스트 등의 물질이 인쇄를 하고자 하는 기판에 원하는 곳에만 묻도록 하는 것이다.
본 발명에서 사용이 되는 메탈 마스크는 관통부를 가진다.
본 발명에서 사용이 되는 메탈 마스크의 관통부는 원형, 사각형, 라인 형태 등등의 다양한 형태의 모양을 갖는다.
본 발명의 메탈 마스크에 의하여 미세회로를 구성하고자 할 경우에는 관통부는 미세한 회로의 형태로 구성이 됨은 물론이다.
본 발명의 메탈 마스크를 통하여 미세회로를 만들고자 할 경우, 도전성 미세입자를 접착성을 가진 유동성 수지에 섞은 페이스트를 메탈 마스크의 관통부를 통하여 비전도성 기판 위에 위치 시킨다.
주입된 페이스트는 경화되어 도전성 회로부를 형성한다.
페이스트 중에서 가장 바람직한 소재로는 실버페이스트를 들 수가 있다.
본 발명에서는 종래의 인쇄전자회로에 사용이 되는 메쉬 또는 망 보다 정밀하고 미세하게 만들 수가 있는 마스크를 제작하는 것을 그 과제로 한다.
종래의 메쉬 또는 망은 극히 미세한 회로를 구현시키는 것에는 한계를 가진다.
그 이유는 메쉬 또는 망에 의하여 형성이 되는 관통부를 일정 수준 이하의 크기로 만들 수가 없기 때문이다.
미세한 관통부을 구성하면, 미세한 관통부가 너무나 강도가 약하기 때문에 사용을 할 수가 없는 형태가 되는 것이 문제점 이었다.
본 발명의 메탈 마스크는 메인 라인과, 상기 메인 라인을 지지하며 강도를 증가시키기 위하여 메인 라인 상부에 날개부로 구성하는 것을 특징으로 한다.
메인 라인에 대한 설명을 위하여, 도 1을 참고로 칼라 필터를 제작할 때 사용이 되는 메탈 마스크를 통하여 설명을 하겠다.
종래 RGB의 색상을 만들기 위하여 사용이 되는 칼라 필터는 메탈 마스크의 관통부를 통하여 차례로 붉은 색, 그린 색, 푸른 색을 기판에 착색시키는 것이다.
이 때 사용이 되는 메탈 마스크는 얇은 금속판에 에칭에 의하여 관통부를 구성시킨 것이다.
이 메탈 마스크는 동일한 평면상에 관통부가 이루어 진 메인 라인만으로 구성이 된 것이다.
본 발명에서는 동일한 평면에 관통부가 형성된 것으로서 메탈 마스크의 본체를 형성하는 것을 메인 라인으로 정의한다.
이 정의에 따라서 볼 때, 종래의 일반적인 메탈 마스크는 메인 라인으로만 구성된 메탈 마스크라 할 수가 있다.
본 발명은 상기 메인 라인에 날개부를 형성한 것이다.
본 발명에서 날개부란 메탈 마스크의 상부에 위치되며, 상기 메인 라인의 일체로 구성이 되며, 상기 메인 라인의 측면으로 돌출부 형태로 구성된 것으로 정의를 한다.
날개부는 메탈 마스크가 기판에 안착되는 안료의 형상이나 안료의 두께에는 영향을 미치지 않고, 상기 메탈 마스크의 핵심이 되는 메인 라인을 튼튼히 지지하는 것이 목적이다.
본 발명은 메인 라인과 날개부를 구성한 메탈 마스크를 통하여 보다 정교하고 튼튼한 관통부를 가지는 메탈 마스크를 제작을 할 수가 있다.
인쇄를 위한 메탈 마스크는 미세한 관통부가 미세한 홈의 형태로 길이 방향으로 또는 폭 방향으로 수많이 형성이 되어져 있다.
종래에는 이러한 홈이나 라인들을 지지하게 위하여 메탈 마스크의 두께를 상대적으로 두껍게 하여 강도를 보강할 수밖에 없었다.
본 발명은 미세한 홈들이나 라인들을 지지하며, 강도를 높이기 위하여 상기 홈들이나 라인들을 형성하는 메인 라인을 보강하기 위하여 날개부를 구성한 것이 특징이다.
이러한 날개부의 작용으로 인하여, 본 발명의 메탈 마스크는 기존의 메탈 마스크의 미세한 홈이나 라인들보다 훨씬 미세하게 만들 수가 있게 된다.
날개부는 관통부를 완전히 막아서는 안된다.
따라서 날개부의 크기는 메인 라인의 크기에 의하여 제약을 받게 된다.
예를 들면, 기존의 메탈 마스크를 구성하는 메인 라인의 선폭이 50마이크론의 크기라고 한다면, 본 발명의 날개부의 폭은 5마이크론 ~ 10 마이크론 정도가 바람직하다.
이러한 날개부가 메탈 마스크의 상부에 형성되면, 메탈 마스크의 강도는 종래의 강도보도 훨씬 증가하여 지게 된다.
날개부는 복잡한 다양한 형상으로 구성을 할 수가 있으나, 일반적으로 단순한 직선형태로 구성을 한다.
즉 날개부는 형상은 임의의 선의 형태로 제작될 수가 있음을 의미한다.
날개부는 메탈 마스크의 메인 라인의 상부에 위치한다.
또한 날개부는 메인 라인의 선폭보다 훨씬 가는 폭으로 만들어 진다.
왜냐하면 인쇄하고자 하는 물질이 메인라인을 통하여 하부로 내려가는 것에 방해를 하면 안되기 때문이다.
마스크는 기판에 잉크나 안료 또는 기타 필요한 물질을 기판에 도포 또는 인쇄하기 위하여 주로 사용이 되어져 왔다.
즉 기판 위에 메탈 마스크를 위치시키고, 상기 메탈 마스크의 상부에서 안료를 주입하면, 메탈 마스크의 관통부를 통하여 안료가 기판에 착색되도록 하는 것이다.
이때 메인 라인의 두께와 안료의 두께는 동일하게 형성되도록 하는 것이 본 발명의 메탈 마스크의 또 다른 특징의 하나이다.
본 발명의 메탈 마스크의 메인 라인의 두께는 메탈 마스크를 형성할 때의 감광층의 두께를 조절하여 제작을 할 수가 있는 특징이 있다.
따라서 메인 라인을 제작하는 과정에서 메인 라인의 두께를 원하는 수준으로 제작을 할 수가 있다.
날개부는 기판 위에 놓여진 메탈 마스크의 관통부를 통하여 안료가 내려 갈 때, 안료의 내려가는 길을 방해하지 않아야만 하며, 기판으로의 안료 주입에 어떤 부정적인 영향을 끼치게 해서는 아니된다.
본 발명의 날개부는 기존의 메탈 마스크가 하는 기능에 어떠한 부작용을 초래하지 않으며, 단지 메탈 마스크의 강도를 지지하는 역할을 수행하도록 하여야 한다.
이러한 목적을 달성하도록 하기 위하여, 본 발명의 날개부는 반드시 메인 라인의 상부에 존재하여야만 하며, 또한 미세한 폭으로 구성되어 안료가 관통부를 통하여 기판으로 흘러가는 것에 어떠한 방해를 하지 않도록 한다.
종래에는 메탈 마스크의 강도의 문제로 인하여 메탈 마스크를 이루는 메인 라인의 선폭의 크기를 줄일 수 있는 한계가 있었다.
그러나 본 발명의 날개부를 형성하므로 메탈 마스크의 메인 라인의 선폭을 미세하게 제작을 한다 하더라도 강도를 지지 할 수가 있게 되었다.
도 1은 메인 라인들로 구성이 된 종래의 메탈 마스크에 대한 설명도이다.
도 2는 종래의 메인 라인의 일부분에 대한 상세 설명도이다.
도 3은 본 발명의 메인 라인의 일부분에 대한 상세 설명도이다.
도 4는 도전체 기판에 감광재를 균일하게 도포하는 감광재 도포공정에 대한 설명도이다.
도 5는 메인 라인의 도금공정에 대한 설명도이다.
도 6은 날개부를 형성하는 도금공정의 설명도이다.
도 7은 도전성 기판으로부터의 이탈과 노광부를 화학적으로 제거하는 공정에 대한 설명도이다.
도 8은 메인 라인의 상부를 연마하여 평면을 고르게 하는 작업을 설명하는 설명도이다.
도 9는 메인 라인 도금공정 이전에 프레임을 설치하는 것을 설명하는 설명도이다.
본 발명은 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크에 대한 것이다.
도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크는 메인 라인과 상기 메인 라인을 지지하는 날개부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
날개부는 메인 라인의 상부에서 상기 메인 라인의 측면으로 돌출되며, 상기 메인 라인과 일체로 구성된다.
본 발명의 메탈 마스크에 이형재를 코팅하여 충진물의 이형이 잘 되도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명에서 메인 라인의 제작방법은,
도전체 기판에 감광재를 균일하게 도포하는 감광재 도포공정과; 투명부와 불투명부로 구성이 되는 필름에 빛을 조사하여 감광재를 노광시키는 노광공정과; 비노광부를 화학적으로 제거하여 공간부를 형성하는 공간부 형성공정과; 도금조에서 도전체 기판에 전기를 가하여, 상기 공간부에 도금을 실행하여 도금부가 노광부의 높이만큼 성장되는 도금공정을 포함한다.
본 발명에서 날개부의 제작방법은,
메인 라인을 제작할 때, 도금조에서 도금부가 노광부의 높이 이상으로 성장되는 도금공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 메탈 마스크를 구성하는 메인 라인과 상기 메인 라인을 지지하기 위하여, 메인 라인 상부에 날개부를 구성하는 것을 특징으로 한다.
날개부는 메인 라인의 상부에 메인 라인과 일체로 구성되며, 메일 라인의 측면으로 돌출되도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
이 같이 구성된 것을 본 발명에서는 날개형 메탈 마스크로 정의한다.
메탈 마스크는 미세한 홀들이나, 미세한 홈이 길이 방향으로 또는 폭 방향으로 수많은 관통부가 형성이 되어져 있다.
종래에는 이러한 홈이나 라인들을 지지하게 위하여 메탈 마스크의 두께를 상대적으로 두껍게 하여 강도를 보강할 수밖에 없었다.
그러나 본 발명은 메탈 마스크의 상부에, 메인 라인의 강도를 보강하기 위하여 날개부를 구성한 것이 특징이다.
이러한 날개부의 보강작용으로 인하여, 본 발명의 메탈 마스크는 기존의 메탈 마스크보다 훨씬 관통홀들을 미세하게 만들 수가 있게 된다.
날개부는 메인 라인의 관통부를 완전히 메꾸게 하여서는 아니된다.
예를 들면, 기존의 메탈 마스크를 구성하는 조직들의 선폭이 50마이크론의 크기라고 한다면, 날개부의 폭은 5마이크론 ~ 10마이크론 정도의 돌출부로 구성을 한다. 이러한 날개부에 의하여 메탈 마스크의 강도는 종래의 강도보도 훨씬 증가하여 지게 된다.
날개부는 메탈 마스크의 상부에 위치한다.
또한 날개부는 메탈 마스크의 메인 라인의 두께보다 훨씬 얇아야 하며, 날개부는 메인 라인에 의하여 형성되는 관통부를 막아서는 안된다.
메탈 마스크는 기존에 기판에 잉크나 안료 또는 기타 필요한 물질을 도포하게 주로 사용이 되어져 왔다.
즉 기판 위에 메탈 마스크를 위치시키고, 메탈 마스크의 상부에서 안료를 주입하면 메탈 마스크의 관통부를 통하여 상기 안료가 기판에 묻도록 하는 것이다.
본 발명의 날개부는 종래의 이러한 메탈 마스크의 기능에 어떠한 장애를 주지 않도록 만들어 져야만 한다.
즉 날개부는 기판 위에 놓여진 메탈 마스크의 관통부를 통하여 안료가 내려 갈 때, 안료의 내려가는 길을 방해하지 않아야만 하며, 날개부가 존재하므로 인한 기판에의 안료 주입에 어떤 악영향을 끼치게 해서는 아니된다.
본 발명의 날개부는 기존의 메탈 마스크가 하는 기능에 어떠한 부작용을 초래하지 않으며, 단지 메탈 마스크의 강도를 지지하는 역할을 수행하도록 하여야 한다.
이러한 목적을 달성하도록 하기 위하여 본 발명의 날개부는 반드시 메탈 마스크의 상부에 존재하여야만 하며, 또한 날개부의 폭이 너무 넓지 않게 구성하여 안료가 기판으로 흘러가는 것에 어떠한 방해를 하지 않도록 한다.
본 발명에서와 같은 날개부를 가지는 메탈 마스크는 메탈 마스크의 선폭의 크기를 종래의 메탈 마스크의 선폭에 비하여 현격하게 미세하게 만들 수가 있게 된다.
종래에는 메탈 마스크의 강도의 문제로 인하여 메탈 마스크의 선폭의 크기를 줄일 수 있는 한계가 있었다.
그러나 본 발명의 날개부를 형성하므로 메탈 마스크의 선폭을 아무리 미세하게 제작을 한다 하더라도 강도를 지지 할 수가 있게 되었다.
그러므로 종래에 메탈 마스크를 통하여 작업이 불가능한 미세영역까지 본 발명을 통하여서는 가능케 되었다.
종래의 메탈 마스크를 통하여 실버페이스트를 기판에 인쇄하여 오던 인쇄전자회로 기술 분야에 있어서, 본 발명으로 인하여 획기적인 발전이 가능하게 되었다.
즉 종래에는 메탈 마스크의 선폭의 크기가 굵을 수밖에 없었으므로 종래의 인쇄전자 기술로는 미세한 도전성 라인을 만드는 것에 한계가 있었다.
그러나 본 발명의 날개부를 구성한 메탈 마스크를 사용하게 되므로 실버페이스트를 사용하는 인쇄전자회로 기술 분야에는 획기적인 발전이 예상된다.
즉 종래의 메탈 마스크를 사용하여 기존에 30~40마이크론의 선폭을 가지는 도전성 회로를 구현 하였다면, 본 발명으로 인하여 10 마이크론 또는 그 이하의 도전성 회로를 메탈 마스크를 통하여 구현을 할 수가 있게 되었다.
또한 본 발명을 사용하면 인쇄되는 도전성 금속의 두께를 어느정도의 범주내에서는 제한 없이 두껍게 만들 수가 있는 장점을 제공한다.
즉, 메탈마스크의 두께는 도금에 의하여 결정이 되므로 메탈마스크의 두께는 감광재의 높이를 조절하므로써 융통성 있게 조절이 가능하다.
도 1과 같은 종래의 메탈 마스크는 주로 에칭에 의하여 가공이 되어졌다.
그러나 본 발명은 에칭에 의한 가공방법을 취하지 않고 감광재의 비노광부를 제거한 공간부에 도금을 실시하는 방법을 취하므로서 메탈 마스크의 선폭을 수 미크론의 크기로도 얼마든지 용이하게 제작을 할 수가 있는 특징이 있다.
전자기술의 발달에 따라서, 해상도를 높이기 위한 노력은 꾸준히 진행이 되고 있다. 디스플레이의 해상도를 높이기 위하여, 즉 화소의 수를 늘리기 위하여, RGB의 색소를 주입하기 위한 관통부의 크기가 작아져야만 한다.
그러나 종래에는 에칭에 의한 가공법으로는 관통부의 가공에 한계를 가지게 되었다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하고 관통부의 크기를 수미크론의 크기까지 만들며, 또한 메탈마스크의 두께는 얼마든지 증가를 시킬 수가 있어서 메탈마스크의 강도를 충분히 유지를 할 수가 있게 한다.
또한 날개부를 구성하므로써 메탈 마스크의 강도는 얼마든지 유지를 시킬 수가 있게 된다.
도 1은 메인 라인들로 구성이 된 종래의 메탈 마스크에 대한 설명도이다.
종래의 메탈 마스크(1)는 얇은 판재에 관통부(2)를 다수 형성한 다양한 형상으로 제작이 된다.
종래의 메탈 마스크는 관통부를 제외한 부분은 모두 동일 평면상에 존재하게 된다.
본 발명에서는 메탈 마스크에서 동일 평면상에 있는 것으로서 관통부를 제외한 부분을 메인 라인(3)이라고 정의를 한다.
기존의 메탈 마스크는 메인 라인들로만 구성이 된다.
기존의 메탈 마스크의 메인 라인은 동일 평면상에 같은 두께로 존재한다.
메인 라인은 가로방향, 세로방향, 가로세로 방향 등 임의의 형상으로 구성이 된다.
종래의 메탈 마스크는 주로 얇은 메탈 판재에 에칭에 의하여 각종 형상의 관통부가 구성이 된 형상으로 되어져 있다.
관통부를 통하여 RGB의 색상이나 각종 안료가 기판 위에 필요에 따라 그려지게 된다.
관통부의 크기가 미세할수록 디스플레이 장치에서는 해상도가 높은 제품을 만들 수가 있다.
도 2는 종래의 메인 라인의 일부분에 대한 상세 설명도이다.
메인 라인은 일정한 두께를 가지며, 선들(4,5)이 서로 연결이 되어져 있는 형태이다.
메일 라인은 관통부(6)를 가진다.
도 3은 본 발명의 메인 라인의 일부분에 대한 상세 설명도이다.
본 발명에서는 메탈 마스크를 구성하는 메인 라인을 지지하기 위하여, 메인 라인의 상부에 도금에 의하여 메인 라인과 일체로 되는 날개부(7,8,9,10,11)를 구성한다.
메탈 마스크에는 미세한 홀들이나, 미세한 홈이 길이 방향으로 또는 폭 방향으로 동일 평면상에 관통부로서 수많이 형성이 되어져 있다.
종래에는 이러한 홈이나 라인들을 지지하게 위하여 메탈 마스크의 두께를 상대적으로 두껍게 하여 강도를 보강할 수밖에 없었다.
본 발명은 종래의 이러한 메탈 마스크의 상부에, 메인 라인의 강도를 지지하는 날개부를 구성한 것이 특징이다.
이러한 날개부의 작용으로 인하여 본 발명의 메탈 마스크는 기존의 메탈 마스크에 비하여 관통부 즉 미세한 홈이나 라인들보다 훨씬 미세하게 만들 수가 있게 된다.
본 발명은 메탈 마스크의 메인 라인 상부에, 메인 라인에서 돌출되는 날개부를 구성한 것이 특징이다.
날개부는 메인 라인을 지지한다.
이러한 날개부의 작용으로 인하여 본 발명의 메탈 마스크는 기존의 메탈 마스크보다 관통부의 크기를 작게 할 수가 있으며, 메인 라인의 선폭을 훨씬 미세하게 만들 수가 있게 된다.
본 발명에서 날개부의 크기는 메인 라인의 크기보다 작아야 한다.
예를 들면, 기존의 메탈 마스크를 구성하는 조직들의 선폭이 50마이크론의 크기라고 한다면, 날개부의 선폭은 5마이크론 ~ 10마이크론 정도의 미세한 선폭으로 구성을 한다.
이러한 날개부들이 메탈 마스크의 메인 라인 상부에 메인 라인의 측부로 돌출되어 형성되면, 메탈 마스크의 강도는 훨씬 증가하여 지게 된다.
도 4, 도 5는 메인 라인을 제작하는 공정의 설명도이다.
도 4는 도전체 기판에 감광재를 균일하게 도포하는 감광재 도포공정에 대한 설명도이다.
도전체 기판(13)에 감광재(12)를 균일하게 도포한다.
도전체 기판은 경면을 가지는 스테인레스 판재도 가능하며, 유리와 필름 등과 같은 기판의 상부에 도전성 금속으로 스파트링 층을 형성하여 도전체 기판으로 제작을 할 수가 있다. 물론 상기 스파트링 층 위에 다시 도금층을 형성을 할 수가 있다.
도 5는 메인 라인의 도금공정에 대한 설명도이다.
투명부와 불투명부로 구성이 되는 메인 라인의 형성을 위한 패턴 필름에 빛을 조사하여 감광재를 노광시킨다.
노광부(14)와 비노광부가 형성된다.
상기 비노광부를 화학적으로 제거하여 공간부(15)를 만든다.
상기 공간부에 도금을 실시하여 도금부(16)를 성장시킨다.
상기 도금부(17)가 노광부의 높이와 같도록 성장이 되면, 상기 도금부는 메인 라인이 된다.
도 6은 날개부를 형성하는 도금공정의 설명도이다.
도금에 의하여 날개부(18)를 형성시킨다.
도금조에서 작업을 진행하여, 노광부의 높이까지 성장이 된 메인 라인에 도금을 추가적으로 실시하여, 도금에 의하여 날개부를 형성한다.
날개부의 제작방법은, 메인 라인을 제작할 때, 도금조에서 도금부가 노광부의 높이 이상으로 성장되는 도금공정에 의하여 이루어진다.
이때 날개부가 너무 성장하여 관통부를 완전히 메우는 일이 없도록 하여야 한다.
도 7은 도전성 기판으로부터의 이탈과 노광부를 화학적으로 제거하는 공정에 대한 설명도이다.
이탈 후에 노광부를 제거하거나, 노광부를 제거한 후에 이탈을 시킬 수가 있다.
관통부(20)이 형성된 메인 라인(21)이 있으며, 상기 메인 라인의 상부에는 메인 라인의 측면으로 돌출부가 날개부(19)로 형성이 된다.
본 발명의 메탈 마스크를 완성하기 위하여, 도전체 기판으로부터 이탈을 시키며, 노광부를 화학적으로 제거한다.
노광부와 도금층이 혼재하고 있는 상태에서, 노광부만을 화학적으로 제거하면, 노광부가 있던 장소는 모두 관통부가 된다.
메인 라인과 날개부로 구성되는 메탈 마스크를 도전체 기판으로부터 이탈시키고 나서 노광부를 제거하는 방법이 있다.
또는 이탈을 시키기 이전에 노광부를 제거하는 방법도 가능하다.
이 과정을 거치고 나면, 날개부가 형성된 메탈 마스크가 완성된다.
이 메탈 마스크는 메인 라인(21)과 날개부(19)로 구성이 된다.
본 발명에서 도전체 기판에 이형재를 도포하여 성장이 된 메탈 마스크를 도전체 기판으로부터 용이하게 이탈 시키도록 할 수가 있다.
이형을 원활히 하기 위한 목적으로 도전체 기판에 이형재를 도포하는 이형재 도포공정을 포함을 할 수도 있다.
본 발명에서 메탈 마스크를 도전체 기판으로부터 이탈시킨 후, 메탈 마스크의 전체에 걸쳐서 이형재를 코팅시키는 것이 바람직하다.
메탈 마스크를 통하여 안료 등이 원활하게 메탈 마스크의 하부에 있는 기판으로 흘러가도록 하고, 상기 메탈 마스크에는 안료 등이 묻지 않도록 하기 위함이다.
도 8는 메인 라인의 상부를 연마하여 평면을 고르게 하는 작업을 설명하는 설명도이다.
메인 라인 도금공정 이후, 연마공정으로 표면을 매끈하게 하는 것이 필요할 경우가 있다.
메탈 마스크의 표면을 깨끗하게 하기 위하여, 노광부 사이에 성장된 메인 라인의 도금부를 연마하는 것이 바람직하다.
즉 노광부와 도금부가 일체로 형성된 상태에서 연마휠(22)이나 연마장치를 통하여 평면연마를 하면 메탈 마스크의 표면이 깨끗하게 처리가 된다.
도 9는 메인 라인 도금공정 이전에 프레임을 설치하는 것을 설명하는 설명도이다.
메인 라인 도금공정 이전에 프레임을 설치하는 것이 중요하다.
메인 라인의 도금공정 이전에 프레임(23)을 노광부 위에 설치한다.
그 후, 도금작업을 통하여 메인 라인과 프레임이 도금에 의하여 일체로 결합되게 한다.
메인 라인이 도금에 의하여 형성이 되는 것과 동시에, 상기 프레임이 메탈마스크와 일체로 결합된다.
기존에는 메탈 마스크를 완성시킨 뒤, 메탈 마스크를 지지하는 프레임을 별도로 만들어 장착을 한다.
그러나 본 발명에서는 프레임을 본 발명의 도금공정 중에 같이 형성이 될 수가 있도록 할 수가 있다.
즉 본 발명에서는 도금공정 이전에 프레임(23)을 도전체 기판의 상부에 위치시키고, 노광부 사이에 형성되어진 공간부에서 메인 라인이 도금되어질 때, 동시에 프레임과 도금부가 견고히 결합이 되도록 하는 것이다.
이 같이 결합된 프레임(23)과 메탈 마스크를 도전체 기판으로부터 이탈 시키게 되면, 별도의 프레임 결합작업이 필요가 없게 된다.
본 발명에서는 메인 라인을 제작하기 위하여 감광부를 노광시키는 노광공정에서 노광부를 테이퍼지게 노광시킬 수가 있다.
메탈 마스크의 메인 라인에 형성된 관통부를 통하여 RGB 등의 색소가 잘 관통하도록 하기 위하여서, 관통부를 구성하는 도금부들이 테이퍼를 갖도록 하는 것이 바람직하다.
즉 테이퍼를 형성한 관통부를 형성하는 것이 바람직하다.
노광부가 테이퍼의 형상을 지니도록 하기 위하여서는 노광기를 통하여 빛을 조사시킬 때, 얼마든지 빛을 조절하여 이러한 테이퍼 형상의 노광부를 구성을 할 수가 있다.
테이퍼의 형상으로 노광부가 형성되면, 성장이 된 도금부는 역테이퍼 형상을 가지게 된다.
본 발명에서 날개부는 그 폭을 메인 라인의 선폭보다 훨씬 작게 구성을 하는 것이 바람직 하다.
메탈 마스크를 통하여 안료 등을 주입할 때, 안료 등이 메탈 마스크에서 잘 이형을 되도록 하기 위하여, 메탈 마스크에 이형재 코팅을 할 수가 있다.
또한 메인 라인이 역테이퍼의 형상을 갖도록 하여 안료 등이 잘 빠져 나가도록 할 수가 있다.
본 발명은, 이상에서 설명한 제작방법으로 만들어진 것을 특징으로 하는 날개부를 가지는 메탈 메스크 역시 본 발명의 대상으로 한다.
본 발명은, 본 발명에 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환 변형이 가능하므로 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아니다.
1 : 메탈 마스크
2 : 관통부
3 : 메인 라인
4 : 선
5 : 선
6 : 관통부
7,8,9,10,11 : 날개부
12 : 감광재
13 : 기판
14 : 노광부
15 : 공간부
16,17 : 도금부
18,19 : 날개부
20 : 관통부
21 : 메인 라인
22 : 연마휠
23 : 프레임

Claims (9)

  1. 도금 방법에 의한 메탈 마스크의 제작방법에 있어서,
    상기 메탈 마스크는 메인 라인과, 메인 라인을 지지하는 날개부를 포함하는 것을 특징으로 하는 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크의 제작방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 날개부는 메인 라인의 상부에서 상기 메인 라인의 측면으로 돌출되며, 상기 메인 라인과 일체로 구성이 되는 것을 특징으로 하는 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크의 제작방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 메탈 마스크에 이형재를 코팅한 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크의 제작방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    메인 라인의 제작방법은,
    도전체 기판에 감광재를 균일하게 도포하는 감광재 도포공정과;
    투명부와 불투명부로 구성이 되는 필름에 빛을 조사하여 감광재를 노광시키는 노광공정과;
    비노광부를 화학적으로 제거하여 공간부를 형성하는 공간부 형성공정과;
    도금조에서 도전체 기판에 전기를 가하여, 상기 공간부에 도금을 실행하여 도금부가 노광부의 높이만큼 성장되는 도금공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크의 제작방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    날개부의 제작방법은, 메인 라인을 제작함에 있어서, 도금조에서 도금부가 노광부 높이 이상으로 성장되는 도금공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크의 제작방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    날개부를 형성시킨 이후에, 표면을 매끈하게 연마하는 연마공정이 포함되는 것을 특징으로 하는 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크의 제작방법.
  7. 제 4항에 있어서,
    메인 라인을 형성하기 위한 노광시키는 노광공정에서 노광부를 테이퍼지게 노광시키는 것을 특징으로 하는 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크의 제작방법.
  8. 제 4항에 있어서,
    메인 라인 도금공정을 시작하기 이전에 프레임을 설치하여, 메인 라인의 도금이 진행됨과 동시에 상기 프레임이 상기 메인 라인과 일체로 결합되는 것을 특징으로 하는 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크의 제작방법.
  9. 제 1항에서 제 8항의 어느 한 항에 의한 방법으로 제작된 것을 특징으로 하는 도금 방법에 의하여 제작된 날개형 메탈 마스크.
KR1020120127664A 2012-11-12 2012-11-12 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크와 그 제작방법 KR20140060837A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120127664A KR20140060837A (ko) 2012-11-12 2012-11-12 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크와 그 제작방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120127664A KR20140060837A (ko) 2012-11-12 2012-11-12 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크와 그 제작방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20140060837A true KR20140060837A (ko) 2014-05-21

Family

ID=50890030

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120127664A KR20140060837A (ko) 2012-11-12 2012-11-12 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크와 그 제작방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20140060837A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113388805A (zh) * 2020-03-11 2021-09-14 株式会社日本显示器 蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113388805A (zh) * 2020-03-11 2021-09-14 株式会社日本显示器 蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法
KR20210114884A (ko) * 2020-03-11 2021-09-24 가부시키가이샤 재팬 디스프레이 증착 마스크 및 증착 마스크의 제조 방법
CN113388805B (zh) * 2020-03-11 2024-07-02 株式会社日本显示器 蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105159502B (zh) 一种触控面板及其制备方法
US2166367A (en) Process for the production of metallic screens
CN103547081B (zh) 一种超厚铜箔电路板的阻焊加工方法、系统及电路板
CN102795006B (zh) 印刷线路板的绿油丝印方法
CN110366323B (zh) 一种线路板防焊层的制作方法
CN106061218A (zh) 电磁屏蔽膜及电磁屏蔽窗的制作方法
KR20070071011A (ko) 패턴 형성 방법 및 그를 이용한 액정표시소자 제조방법
CN104777665A (zh) 黑色矩阵的制作方法
CN106783554A (zh) 一种电子元器件电极的制作方法及电子元器件
DE2507102A1 (de) Matrize zum herstellen von mehrfachkopien
KR20140033736A (ko) 도금방식으로 성장시킨 메탈 마스크와 그 제작방법
US8736991B2 (en) Color filter array and manufacturing method thereof
KR20140060837A (ko) 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크와 그 제작방법
KR20140062290A (ko) 날개부를 구비한 메탈 마스크와 그의 제작방법.
CN109275278B (zh) 一种改善阻焊鬼影的阻焊工艺方法
KR20140040957A (ko) 도금 방법에 의한 날개형 메탈 마스크와 그 제작방법
KR20140042201A (ko) 날개부를 구비한 메탈 마스크와 그의 제작방법.
JP3560042B2 (ja) パターニング・マスクおよびパターニング方法
KR102117951B1 (ko) 브릿지 라인의 상부면과 메인 라인의 상부면이 동일 평면상에 위치되는 것을 특징으로 하는 마스크와 그의 제작방법.
KR20140062991A (ko) 브릿지 라인의 상부면과 메인 라인의 상부면이 동일 평면상에 위치되는 것을 특징으로 하는 마스크와 그의 제작방법.
KR20140060998A (ko) 도금 방법에 의한 터널형 메탈 마스크와 그 제작방법
DE102006004845A1 (de) Verfahren und Schaltungsstruktur, die eine photoabgebildete Lötmaske verwenden
KR20140040956A (ko) 도금 방법에 의한 터널형 메탈 마스크와 그 제작방법
KR102008985B1 (ko) 도전성 페이스트를 충진시켜서 회로기판을 제작하는 방법과 그 방법에 의하여 제작된 회로기판
KR20140039834A (ko) 브릿지 라인을 가지는 터널형 마스크와 그 제작방법

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
WITN Withdrawal due to no request for examination