KR20140052310A - Apparatus for attaching functional film - Google Patents

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KR20140052310A
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Abstract

An apparatus for attaching a functional film is disclosed. The apparatus for attaching a functional film according to an embodiment of the present invention comprises: a table which forms a space in which a panel is adsorbed in vacuum to progress a panel loading/unloading process, a protective film peeling process, a panel inspection process, and a functional film attaching process for the panel, and comprises a stage in which an adsorption surface of the panel is divided into a high suction part and a low suction part; and a vacuum module for generating a vacuum pressure to the adsorption surface of the stage by being attached to the stage.

Description

기능성 필름 부착장치{Apparatus for attaching functional film}[0001] Apparatus for attaching functional film [0002]

본 발명은, 기능성 필름 부착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 필름이 부착되는 스테이지의 진공압을 조절할 수 있어 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정의 특성에 맞게 패널을 효율적으로 흡착할 수 있으며, 나아가 다양한 사이즈의 패널이 겸용으로 사용될 수 있어 사용범위를 확장시킬 수 있는 기능성 필름 부착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a functional film adhering apparatus, and more particularly, to a functional film adhering apparatus capable of adjusting the vacuum pressure of a stage to which a film is attached, The present invention relates to a functional film attaching apparatus capable of effectively absorbing a panel according to characteristics and further expanding the use range of a panel of various sizes.

최근 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 역시 발전을 계속하고 있다. 평판디스플레이에는 LCD(liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.Recently, as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, flat panel displays (FPDs) have continued to develop. Flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and organic light emitting diodes (OLEDs).

평판디스플레이 중에서도 특히, OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와, 능동형인 AMOLED로 나뉜다.Among flat panel displays, OLEDs are divided into passive PMOLEDs and active AMOLEDs depending on the driving method.

AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다.AMOLED is a self-emissive display that has a faster response speed than conventional displays, has a natural color and has low power consumption.

그리고 AMOLED는 글라스 패널(glass panel)이 아닌 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 플렉서블 패널(flexible panel) 등에 적용하면 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)의 기술을 구현할 수 있게 된다.And AMOLED can be applied to a flexible panel which can be thin and easily bent instead of a glass panel, so that the technology of a flexible display can be realized.

이러한 OLED를 제조하는 공정에는 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정, 패널에 기능성 필름을 부착하는 기능성 필름 부착공정 등 다양한 공정이 있다.Such OLED manufacturing processes include a pattern forming process, an organic thin film deposition process, a sealing process, a substrate on which an organic thin film is deposited and a substrate on which a sealing process is performed, a functional film attaching process for attaching a functional film to a panel And so on.

한편, 기능성 필름 부착공정은 소위, 기능성 필름 부착장치를 통해 수행될 수 있다.On the other hand, the process of adhering the functional film can be carried out through a so-called functional film adhering apparatus.

이때, 기능성 필름 부착장치에 사용되는 패널은 유리 재질로 된 비교적 두꺼운 글라스 패널(glass panel)일 수도 있고, 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 플렉서블 패널(flexible panel)일 수도 있다.At this time, the panel used in the functional film attaching device may be a relatively thick glass panel made of a glass material, or a flexible panel capable of being thin and easily bendable.

글라스 패널은 기능성 필름이 부착되는 기능성 필름 부착면에 보호필름이 부착되어 있지 않는 경우가 대부분이다. 때문에 이러한 글라스 패널을 기능성 필름 부착장치에 적용할 때는 보호필름을 박리하는 공정 없이 예컨대 편광필름과 같은 기능성 필름을 곧바로 글라스 패널에 부착시킬 수 있다.In most cases, the protective film is not attached to the surface of the glass panel where the functional film is attached. Therefore, when such a glass panel is applied to a functional film attaching apparatus, a functional film such as a polarizing film can be directly attached to the glass panel without peeling the protective film.

하지만, 플렉서블 패널의 경우에는 쉽게 휘어질 수 있는 플렉서블 패널을 보호하기 위해 비교적 두꺼운 보호필름이 일정한 점착력 이상으로 미리 부착되어 있는 경우가 대부분이다.However, in the case of the flexible panel, in order to protect the flexible panel which can be easily bent, a relatively thick protective film is often attached in advance in excess of the predetermined adhesive force.

플렉서블 패널처럼 보호필름이 부착되어 있는 패널에 기능성 필름을 부착하기 위해서는 우선, 패널에 부착되어 있는 보호필름을 박리한 다음에 그 자리에 기능성 필름을 부착해야 한다.In order to attach a functional film to a panel having a protective film such as a flexible panel, the protective film attached to the panel must first be peeled off, and then the functional film must be adhered to the panel.

이때, 기능성 필름이 패널에 부착되기 전에는 보호필름이 제거되어 기능성 필름이 부착될 기능성 필름 부착면 상에 이물이 존재하는 지의 여부를 검사해야 한다.At this time, before the functional film is adhered to the panel, the protective film is removed and it is inspected whether or not the foreign substance is present on the functional film adhering surface to which the functional film is to be adhered.

결과적으로, 패널에 기능성 필름을 부착시키는 일련의 작업이 진행된다는 의미는, 작업 대상의 패널이 로딩(loading)되거나 작업 완료된 패널이 언로딩(unloading)되는 패널 로딩/언로딩 공정, 패널 상의 보호필름을 박리하는 보호필름 박리 공정, 보호필름이 박리된 패널 면에 대한 이물의 존재 여부를 검사하는 패널 검사 공정, 예컨대 편광필름과 같은 기능성 필름을 패널에 부착시키는 기능성 필름 부착 공정의 총 4가지 공정을 차례로 진행하는 것을 의미한다.As a result, the series of operations for attaching the functional film to the panel means that the panel loading / unloading process in which the panel to be worked is loaded or unloaded, the protective film on the panel A panel inspecting step for inspecting the presence or absence of foreign matter on the panel surface from which the protective film has been peeled off, for example, a process for attaching a functional film such as a polarizing film to a panel, It means to proceed in turn.

한편, 이러한 공정들을 진행하기 위해서는 우선 패널이 지지되는 스테이지가 마련되어야 하고, 스테이지의 표면에 패널이 진공으로 흡착되어야 하며, 그래야만 전술한 공정을 용이하게 수행할 수 있다.In order to proceed with these processes, a stage for supporting the panel must first be provided, and the panel must be vacuum-adsorbed on the surface of the stage so that the above-described process can be easily performed.

다만, 패널이 플렉서블 패널이어서 쉽게 구부러질 수 있는, 다시 말해 컬(curl) 현상이 발생될 수 있다는 점을 감안할 때, 스테이지의 진공압이 강하지 않을 경우에는 패널이 스테이지의 표면에 면접촉되지 못하고 들뜰 우려가 있다.Considering that the panel is a flexible panel and can be bent easily, that is, a curl phenomenon may occur, if the vacuum pressure of the stage is not strong, the panel may not be in surface contact with the surface of the stage, There is a concern.

패널이 스테이지의 표면에 흡착되기는 하였지만 컬 현상으로 인해 들뜬 상태로 흡착된 경우, 특히 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 용이하게 수행되기 어렵다. 그렇다고 해서 스테이지의 진공압을 과도하게 강하게 유지할 경우에는 패널이 스테이지의 표면에 들뜨지 않고 면접촉되면서 흡착될 수는 있지만 이러한 경우에는 과도한 흡착력으로 인해 패널 로딩/언로딩 공정에 어려움이 따를 수 있다.Although the panel is adsorbed on the surface of the stage, it is difficult to easily carry out the protective film peeling process, the panel inspection process, and the functional film adhering process particularly when adsorbed in the excited state due to the curling phenomenon. However, if the vacuum pressure of the stage is kept excessively strong, the panel may be adsorbed while being in surface contact with the surface of the stage, but in this case, the panel loading / unloading process may be difficult due to excessive adsorption force.

이처럼 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정의 해당 공정 특성에 맞게 스테이지의 진공압을 효율적으로 조절할 수 있도록 하는 방안이 요구된다.Thus, there is a need for a method for efficiently controlling the vacuum pressure of the stage in accordance with the process characteristics of the panel loading / unloading process, protective film peeling process, panel inspection process, and functional film adhering process.

대한민국특허청 출원번호 제10-2005-0130340호Korea Patent Office Application No. 10-2005-0130340

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 필름이 부착되는 스테이지의 진공압을 조절할 수 있어 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정의 특성에 맞게 패널을 효율적으로 흡착할 수 있으며, 나아가 다양한 사이즈의 패널이 겸용으로 사용될 수 있어 사용범위를 확장시킬 수 있는 기능성 필름 부착장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method and a device for controlling a vacuum pressure of a stage on which a film is adhered, by which a panel can be efficiently and efficiently adjusted in accordance with characteristics of a panel loading / unloading process, a protective film peeling process, And can be used in combination with panels of various sizes, so that it is possible to expand the use range of the functional film.

본 발명의 일 측면에 따르면, 패널에 대한 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 진행되도록 상기 패널이 진공으로 흡착되는 장소를 형성하되 상기 패널의 흡착면이 고진공 파트(high suction part)와 저진공 파트(low suction part)로 분리되는 스테이지를 구비하는 테이블; 및 상기 스테이지에 연결되어 상기 스테이지의 흡착면에 진공압을 발생시키는 진공모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a plasma display panel in which a panel is vacuum-sucked so that a panel loading / unloading process, a protective film peeling process, a panel inspection process, A table having a stage separated into a high suction part and a low suction part; And a vacuum module connected to the stage and generating a vacuum pressure on an adsorption surface of the stage.

상기 고진공 파트는, 대다수의 면을 형성하는 고진공 제1 파트; 및 상기 스테이지의 흡착면에서 상기 고진공 제1 파트의 상부 영역에 형성되되 상기 고진공 제1 파트의 영역보다 작은 영역을 형성하며, 상기 고진공 제1 파트보다 강한 진공압이 형성되는 고진공 제2 파트를 포함할 수 있다.Wherein the high vacuum part comprises: a high vacuum first part forming a majority of surfaces; And a high vacuum second part formed on an upper surface of the high vacuum first part on the adsorption surface of the stage and forming a region smaller than the area of the high vacuum first part and having a stronger vacuum pressure than the high vacuum first part can do.

상기 고진공 제1 파트는 다수의 고진공홀에 의해 형성될 수 있으며, 상기 고진공 제2 파트는 다수의 고진공홀 상에 진공 패드 또는 우레탄 코팅을 부가함으로써 형성될 수 있다.The high vacuum first part may be formed by a plurality of high vacuum holes and the high vacuum second part may be formed by adding a vacuum pad or a urethane coating on a plurality of high vacuum holes.

상기 고진공 제1 파트는 다수의 그룹(group)으로 분할되어 개별적으로 관리될 수 있으며, 상기 고진공 제2 파트는 상기 보호필름 박리 공정 시 사용될 수 있다.The high vacuum first part may be divided into a plurality of groups and managed separately, and the high vacuum second part may be used in the protective film peeling process.

상기 저진공 파트는 개별적으로 구동 가능한 다수의 포트(port)로 구획될 수 있으며, 상기 저진공 파트의 영역이 상기 고진공 파트의 영역보다 클 수 있다.The low vacuum part may be partitioned into a plurality of individually actuatable ports and the area of the low vacuum part may be larger than the area of the high vacuum part.

상기 테이블은 인덱스 테이블일 수 있고, 상기 스테이지는 상기 인덱스 테이블의 둘레면에 형성되어 상기 패널이 수직되게 흡착되는 수직형 스테이지일 수 있다.The table may be an index table, and the stage may be a vertical stage formed on the circumferential surface of the index table and vertically adsorbed by the panel.

상기 인덱스 테이블을 지지하는 테이블 지지체를 더 포함할 수 있으며, 상기 진공모듈은 상기 테이블 지지체 내에 배치될 수 있다.And a table support for supporting the index table, wherein the vacuum module can be disposed in the table support.

상기 테이블 지지체에 마련되어 상기 테이블 지지체 상에서 상기 인덱스 테이블을 단계적으로 회전 구동시키는 테이블 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.And a table rotation driving unit provided on the table support to rotate the index table stepwise on the table support.

상기 테이블의 일측에 배치되며, 상기 패널과 상기 보호필름의 선단부 간의 점착력이 제거되도록 상기 패널과 상기 보호필름의 선단부 사이로 삽입되어 상기 패널에 대한 상기 보호필름의 선단부를 프리(Pre) 박리시키는 박리 나이프를 구비하는 프리 박리 유닛을 더 포함할 수 있다.A peeling knife which is disposed at one side of the table and inserted between the front end of the panel and the protective film so as to remove the adhesive force between the panel and the front end portion of the protective film to peel the front end portion of the protective film against the panel, And a pre-peeling unit having a plurality of pre-peeling units.

상기 프리 박리 유닛은, 상기 패널 상에서 상기 박리 나이프가 이동되는 방향인 X축 방향을 따라 배치되는 프리 박리용 X축 샤프트; 상기 프리 박리용 X축 샤프트에 결합되어 상기 X축 방향을 따라 이동되는 프리 박리용 X축 슬라이더; 및 상기 프리 박리용 X축 슬라이더에 마련되며, 상기 박리 나이프를 클램프시키는 나이프 클램프 모듈을 포함할 수 있다.Wherein the pre-peeling unit comprises: an X-axis shaft for preliminary peeling, the X-axis shaft being disposed along an X-axis direction in which the peeling knife is moved on the panel; An X-axis slider for pre-peeling which is coupled to the X-axis shaft for pre-peeling and is moved along the X-axis direction; And a knife clamp module provided on the X-axis slider for pre-peeling and clamping the peeling knife.

상기 보호필름의 단부 외표면에 접촉되어 구름 이동되면서 상기 보호필름을 상기 패널로부터 박리시키는 박리 롤러를 구비하는 보호필름 박리 유닛을 더 포함할 수 있다.And a peeling roller for peeling off the protective film from the panel while rolling on the outer surface of the end portion of the protective film.

상기 보호필름 박리 유닛은, 필름 박리용 메인 바디; 단부 영역에서 상기 박리 롤러가 회전 가능하게 결합되며, 상기 필름 박리용 메인 바디에 상대 이동 가능하게 결합되는 필름 박리용 서브 바디; 및 상기 필름 박리용 메인 바디에 대하여 상기 필름 박리용 서브 바디의 이동을 위한 동력을 발생시키는 필름 박리용 액추에이터를 포함할 수 있다.The protective film peeling unit comprises: a main body for film peeling; A film peeling sub-body rotatably coupled to the peeling roller in an end region and coupled to the main body for film peeling so as to be relatively movable; And a film peeling actuator for generating power for moving the sub-body for peeling the film to the main body for film peeling.

상기 보호필름 박리 유닛은, 상기 필름 박리용 서브 바디에 마련되어 상기 박리 롤러를 회전 가능하게 클램프시키는 롤러 클램프 모듈; 및 상기 필름 박리용 서브 바디 상에서 상기 박리 롤러에 이웃하게 배치되는 보조 롤러를 더 포함할 수 있다.Wherein the protective film peeling unit comprises: a roller clamp module provided on the sub-body for film peeling and rotatably clamping the peeling roller; And an auxiliary roller disposed adjacent to the peeling roller on the film-separating sub-body.

상기 보호필름 박리 유닛과 상호 작용하여 상기 보호필름 박리 시 상기 박리 롤러에 되감겨 붙은 보호필름을 상기 박리 롤러에서 제거하는 보호필름 제거 유닛을 더 포함할 수 있다.And a protective film removing unit for removing the protective film, which is wound on the peeling roller when peeling off the protective film, from the peeling roller in cooperation with the protective film peeling unit.

상기 보호필름 제거 유닛은, 필름 제거용 유닛 플레이트; 상기 필름 제거용 유닛 플레이트에 마련되어 상기 박리 롤러로부터 상기 보호필름을 전달 받는 보호필름 리시버; 및 상기 필름 제거용 유닛 플레이트의 상부 영역에서 회전 가능하게 배치되며, 상기 박리 롤러에서 상기 필름 제거용 유닛 플레이트 쪽으로 전달되는 상기 보호필름의 단부 영역을 척킹하는 회전식 보호필름 척킹모듈을 포함할 수 있다.The protective film removing unit comprising: a film removing unit plate; A protective film receiver provided on the unit plate for removing the film and receiving the protective film from the peeling roller; And a rotatable protective film chucking module rotatably disposed in an upper region of the film removing unit plate and chucking an end region of the protective film transferred from the peeling roller toward the film removing unit plate.

상기 보호필름 제거 유닛은, 상기 필름 제거용 유닛 플레이트의 중앙 영역에서 전방으로 돌출 가능하게 배치되어 상기 보호필름 리시버에 전달된 보호필름을 가압력에 의해 상기 보호필름 리시버로부터 분리시키는 보호필름 푸셔를 더 포함할 수 있다.The protective film removing unit further includes a protective film pusher protruding forward from a central region of the film removing unit plate and separating the protective film transferred to the protective film receiver from the protective film receiver by a pressing force can do.

상기 테이블에 대해 상대 이동 가능하게 배치되어 상기 패널에 상기 기능성 필름을 부착시키는 기능성 필름 부착 유닛을 더 포함할 수 있다.And a functional film attaching unit disposed so as to be movable relative to the table and attaching the functional film to the panel.

상기 기능성 필름 부착 유닛은, 상기 기능성 필름이 진공압으로 흡착되는 필름 흡착 스테이지; 상기 필름 흡착 스테이지에 이웃하게 배치되며, 상기 기능성 필름의 표면에 접촉 가압되어 상기 패널 상으로 구름 이동되면서 상기 기능성 필름을 상기 패널에 부착시키는 부착 롤러; 및 상기 부착 롤러의 센터 라인을 기준으로 상기 기능성 필름이 얼라인될 수 있도록 상기 필름 흡착 스테이지를 임의 방향으로 위치 이동시키는 필름 얼라인용 스테이지 이동부를 포함할 수 있다.Wherein the functional film attaching unit comprises: a film adsorption stage in which the functional film is adsorbed by vacuum pressure; An attachment roller disposed adjacent to the film adsorption stage and contacting the surface of the functional film to roll the adhesive film on the panel and attaching the functional film to the panel; And a stage moving unit for moving the film suction stage in an arbitrary direction so that the functional film can be aligned with respect to the center line of the application roller.

상기 필름 얼라인용 스테이지 이동부는, 상기 부착 롤러의 센터 라인 방향인 X1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 이동시키는 제1 스테이지 이동부; 상기 X1 방향에 교차되는 Z1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 이동시키는 제2 스테이지 이동부; 상기 X1 좌표와 상기 Z1 좌표에 의해 형성되는 평면 상에서 상기 필름 흡착 스테이지를 T1 방향을 따라 회전시키는 제3 스테이지 이동부; 상기 제2 스테이지 이동부와 동일한 상기 Z1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 미세 이동시키는 제4 스테이지 이동부; 및 상기 제3 스테이지 이동부와 동일한 상기 T1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 미세 회전시키는 제5 스테이지 이동부를 포함할 수 있다.The stage moving part for the film aligning part may include a first stage moving part for moving the film suction stage along the X1 direction which is the center line direction of the attaching roller; A second stage moving unit moving the film suction stage along a Z1 direction intersecting with the X1 direction; A third stage moving unit for rotating the film adsorption stage along a direction T1 in a plane formed by the X1 coordinate and the Z1 coordinate; A fourth stage moving unit for finely moving the film suction stage along the Z1 direction same as the second stage moving unit; And a fifth stage moving unit for finely rotating the film suction stage along the direction of the same T1 as the third stage moving unit.

상기 필름 얼라인용 스테이지 이동부는, 상기 필름 흡착 스테이지를 수직축선에 대하여 미리 결정된 각도만큼 틸팅(tilting)시키는 틸팅부를 더 포함할 수 있다.The stage moving unit for the film aligning unit may further include a tilting unit tilting the film suction stage by a predetermined angle with respect to the vertical axis.

상기 기능성 필름 부착 유닛은, 상기 부착 롤러와 연결되며, 상기 부착 롤러를 상기 패널에 접근 또는 이격 구동시키는 롤러 액추에이터를 포함할 수 있다.The functional film attaching unit may include a roller actuator connected to the attaching roller and for moving the attaching roller to or away from the panel.

상기 패널은 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 플렉서블 패널(flexible panel)일 수 있으며, 상기 기능성 필름은 상기 패널에 부착되어 빛을 편광시키는 편광필름일 수 있다.The panel may be a flexible panel for OLED (Organic Light Emitting Diodes), and the functional film may be a polarizing film attached to the panel to polarize light.

본 발명에 따르면, 필름이 부착되는 스테이지의 진공압을 조절할 수 있어 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정의 특성에 맞게 패널을 효율적으로 흡착할 수 있으며, 나아가 다양한 사이즈의 패널이 겸용으로 사용될 수 있어 사용범위를 확장시킬 수 있다.According to the present invention, the vacuum pressure of the stage on which the film is adhered can be adjusted, and the panel can be efficiently adsorbed according to the characteristics of the panel loading / unloading process, protective film peeling process, panel inspection process, and functional film adhering process, Furthermore, panels of various sizes can be used for both, which can expand the range of use.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치의 동작을 설명하기 위한 인덱스 테이블의 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 제2 스테이션 영역의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 프리 박리 유닛의 확대 사시도이다.
도 4는 프리 박리 유닛을 다른 각도로 도시한 도면이다.
도 5는 프리 박리 유닛의 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 도 2에 도시된 보호필름 박리 유닛의 사시도이다.
도 7은 보호필름 박리 유닛에 의해 보호필름이 박리되는 과정을 도시한 모식도이다.
도 8은 롤러 공급 유닛의 사시도이다.
도 9는 롤러 공급 유닛과 보호필름 박리 유닛 간의 배치 구조도이다.
도 10은 보호필름 박리 유닛과 보호필름 제거 유닛 간의 배치 구조도이다.
도 11 내지 도 13은 각각 보호필름 제거 유닛의 동작을 단계적으로 도시한 도면들이다.
도 14는 인덱스 테이블과 기능성 필름 부착 유닛 간의 개략적인 배치도이다.
도 15는 패널에 기능성 필름이 부착되는 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 16은 필름 흡착 스테이지의 얼라인 방향을 설명하기 위한 도면이다.
도 17은 기능성 필름 부착 유닛의 사시도이다.
도 18은 인덱스 테이블 영역의 확대 사시도이다.
도 19는 수직형 스테이지의 확대도이다.
1 is a schematic plan view of an index table for explaining an operation of the functional film adhering apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of the second station area of FIG.
3 is an enlarged perspective view of the pre peeling unit shown in Fig.
4 is a view showing the pre-peeling unit at different angles.
5 is a view schematically showing the operation of the pre-peeling unit.
6 is a perspective view of the protective film peeling unit shown in Fig.
7 is a schematic diagram showing a process of peeling the protective film by the protective film peeling unit.
8 is a perspective view of the roller supply unit.
9 is an arrangement structure between the roller supply unit and the protective film peeling unit.
10 is an arrangement structure between the protective film peeling unit and the protective film removing unit.
11 to 13 are diagrams showing the operation of the protective film removing unit in a stepwise manner, respectively.
14 is a schematic layout diagram between the index table and the functional film attaching unit.
15 is a view for explaining a process of attaching a functional film to a panel.
16 is a view for explaining the direction of alignment of the film adsorption stage.
17 is a perspective view of the functional film attaching unit.
18 is an enlarged perspective view of the index table area.
19 is an enlarged view of a vertical stage.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도면 대비 설명에 앞서, 기능성 필름이란, 빛을 최적의 조건으로 투과, 편광시키기 위해, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중에서 선택된 적어도 어느 한 평판디스플레이에 적용될 수 있는 다양한 종류의 광학 필름(혹은 시트(sheet)), 예컨대 EMI 필름, 프리즘 필름, 보호 필름, 확산 필름, 반사 필름, DBEF, PVA, TAC, 이형 필름, 보상 필름, 반사 방지 필름 등이 될 수 있지만 이하에서는 OLED용 플렉서블 패널(flexible panel)에 부착되어 빛을 편광시키는 편광필름을 가리키는 것으로 본다.Prior to describing the drawings, the functional film refers to a film having at least one flat panel display selected from a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP) and an organic light emitting diode (OLED) to transmit and polarize light under optimal conditions Reflective film, DBEF, PVA, TAC, release film, compensation film, antireflection film, etc., which can be applied to various types of optical films (or sheets) Hereinafter, the polarizing film is referred to as a polarizing film attached to a flexible panel for OLED to polarize light.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치의 동작을 설명하기 위한 인덱스 테이블의 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 제2 스테이션 영역의 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 프리 박리 유닛의 확대 사시도이고, 도 4는 프리 박리 유닛을 다른 각도로 도시한 도면이며, 도 5는 프리 박리 유닛의 동작을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 도 2에 도시된 보호필름 박리 유닛의 사시도이며, 도 7은 보호필름 박리 유닛에 의해 보호필름이 박리되는 과정을 도시한 모식도이고, 도 8은 롤러 공급 유닛의 사시도이며, 도 9는 롤러 공급 유닛과 보호필름 박리 유닛 간의 배치 구조도이고, 도 10은 보호필름 박리 유닛과 보호필름 제거 유닛 간의 배치 구조도이며, 도 11 내지 도 13은 각각 보호필름 제거 유닛의 동작을 단계적으로 도시한 도면들이고, 도 14는 인덱스 테이블과 기능성 필름 부착 유닛 간의 개략적인 배치도이며, 도 15는 패널에 기능성 필름이 부착되는 공정을 설명하기 위한 도면이고, 도 16은 필름 흡착 스테이지의 얼라인 방향을 설명하기 위한 도면이며, 도 17은 기능성 필름 부착 유닛의 사시도이고 도 18은 인덱스 테이블 영역의 확대 사시도이고, 도 19는 수직형 스테이지의 확대도이다.FIG. 1 is a schematic plan view of an index table for explaining the operation of the apparatus for attaching a functional film according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a second station area of FIG. 1, Fig. 5 is a view schematically showing the operation of the pre-peeling unit, and Fig. 6 is a cross-sectional view of the protective film shown in Fig. 2, FIG. 8 is a perspective view of the roller supply unit, and FIG. 9 is a perspective view showing the arrangement between the roller supply unit and the protective film peeling unit. FIG. 9 is a perspective view of the peeling unit, FIG. 10 is an arrangement structure between the protective film peeling unit and the protective film removing unit, and FIGS. 11 to 13 are views showing the operation of the protective film removing unit in a stepwise manner, 15 is a view for explaining a process in which a functional film is attached to a panel, FIG. 16 is a view for explaining the direction of alignment of a film adsorption stage, and FIG. FIG. 17 is a perspective view of the functional film attaching unit, FIG. 18 is an enlarged perspective view of an index table region, and FIG. 19 is an enlarged view of a vertical type stage.

이들 도면을 참조하되 우선 도 1, 도 18 및 도 10을 참조하여 본 실시예의 기능성 필름 부착장치의 동작을 간략하게 설명한다.Referring to these drawings, the operation of the functional film applying apparatus of this embodiment will be briefly described with reference to Figs. 1, 18, and 10. Fig.

우선, 본 실시예의 기능성 필름 부착장치에는 패널에 부착된 보호필름을 박리(제거)하고 제거된 자리에 예컨대 편광필름과 같은 기능성 필름을 부착시키기 위한 일련의 공정이 진행되는 장소로서 테이블(110)이 갖춰지는데, 이때의 테이블(110)은 인덱스 테이블(110)로 적용된다.First, in the functional film adhering apparatus of this embodiment, a table 110 is provided as a place where a protective film attached to a panel is removed (removed) and a series of processes for attaching a functional film such as a polarizing film, Wherein the table 110 at this time is applied to the index table 110.

인덱스 테이블(110)은 기능성 필름의 부착과 관련된 모든 공정이 진행되는 장소를 이룬다. 즉 작업 대상의 패널이 로딩(loading)되거나 작업 완료된 패널이 언로딩(unloading)되는 패널 로딩/언로딩 공정, 패널 상의 보호필름을 박리하는 보호필름 박리 공정, 보호필름이 박리된 패널 면에 대한 이물의 존재 여부를 검사하는 패널 검사 공정, 예컨대 편광필름과 같은 기능성 필름을 패널에 부착시키는 기능성 필름 부착 공정의 총 4가지 공정이 도 18과 같은 형태의 인덱스 테이블(110)을 통해 진행될 수 있다.The index table 110 is a place where all processes relating to the attachment of the functional film proceed. A panel loading / unloading process in which a panel to be processed is loaded or an unfinished panel is completed, a protective film peeling process in which a protective film on the panel is peeled, A process of attaching a functional film such as a polarizing film to a panel can be carried out through the index table 110 of the form as shown in Fig.

이를 위해, 인덱스 테이블(110)의 둘레면에는 다수의 즉 4개의 수직형 스테이지(112)가 마련되어 해당 위치에서 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 진행되도록 하고 있다.To this end, a plurality of four vertical stages 112 are provided on the circumference of the index table 110, and a panel loading / unloading process, a protective film peeling process, a panel inspection process, and a process of attaching a functional film are performed .

이처럼 수직형 스테이지(112)들이 수직된 상태로 배치되고 흡착면에 패널이 진공으로 수직되게 흡착된 상태에서 위의 공정들이 진행되기 때문에 설사 파티클이 공중에 부양되더라도 패널로 안착되지 않아 불량 발생을 감소시킬 수 있는 이점이 있다.Since the above-described processes are performed in a state where the vertical stages 112 are vertically arranged and the panel is vertically adsorbed on the adsorption surface, even if the particles are floating in the air, they are not seated on the panel, There is an advantage that can be made.

이처럼 4개의 수직형 스테이지(112)를 구비하는 인덱스 테이블(110)이 적용되면 장치의 풋 프린트(foot print)를 감소시킬 수 있음은 물론 파티클에 의한 품질 불량 발생을 줄일 수 있으며, 나아가 택트 타임 감소에 따른 생산성 향상을 도모할 수 있어 유리한 측면이 있다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 본 발명이 반드시 수직형 스테이지(112)에 적용될 필요는 없다. 즉 수평형 스테이지에도 본 발명이 충분히 적용될 수 있다.When the index table 110 including four vertical stages 112 is applied, it is possible to reduce the foot print of the apparatus, reduce the occurrence of quality defects due to particles, and further reduce the tact time It is advantageous in that productivity can be improved. However, the scope of the present invention is not limited thereto, and thus the present invention is not necessarily applied to the vertical stage 112. That is, the present invention can be sufficiently applied to the horizontal stage.

인덱스 테이블(110)의 하부 영역에는 인덱스 테이블(110)을 지지하는 테이블 지지체(113)가 마련된다. 인덱스 테이블(110)은 테이블 지지체(113) 상에 올려져 지지될 수 있다.In the lower region of the index table 110, a table support 113 for supporting the index table 110 is provided. The index table 110 can be supported on the table support 113.

테이블 지지체(113)에는 진공홀(112a)들의 진공 형성을 위해 진공압을 발생시키는 진공모듈(114)이 마련된다. 진공모듈(114)은 진공탱크와 각종 라인을 모두 일컫는 용어일 수 있다.The table support 113 is provided with a vacuum module 114 that generates vacuum pressure for vacuum formation of the vacuum holes 112a. The vacuum module 114 may be a term referring to both the vacuum tank and various lines.

또한 테이블 지지체(113)에는 테이블 지지체(113) 상에서 인덱스 테이블(110)을 단계적으로 회전 구동시키는 테이블 회전 구동부(115)가 마련된다. 테이블 회전 구동부(115)는 예컨대 회전 모터 등으로 적용될 수 있다.The table supporting body 113 is provided with a table rotation driving unit 115 for driving the indexing table 110 to rotate stepwise on the table supporting body 113. The table rotation driving unit 115 may be applied, for example, to a rotary motor or the like.

이와 같은 테이블 회전 구동부(115)에 의해 인덱스 테이블(110)이 도 1의 화살표 방향으로 도 1처럼 한번에 90도씩 회전되면서 총 4개의 제1 내지 제4 스테이션(#1~#4)을 거치게 되며, 제4 스테이션(#4)까지 거치게 됨으로써 패널 상에 기능성 필름이 부착된다. 먼저 각 스테이션(#1~#4)에 대해 알아본다.The index table 110 is rotated by 90 degrees at a time as shown in FIG. 1 in the direction of the arrow in FIG. 1 by the table rotation driving unit 115 to pass through the first to fourth stations # 1 to # 4, By passing through the fourth station # 4, the functional film is attached on the panel. Let's start with each station (# 1 ~ # 4).

제1 스테이션(#1)은 작업 대상의 패널이 로딩(loading)되거나 작업 완료된 패널이 언로딩(unloading)되는 패널 로딩/언로딩 공정 위치를 나타낸다. 4개의 수직형 스테이지(112)들이 제1 스테이션(#1)에 배치될 때, 패널이 해당 수직형 스테이지(112)의 표면에 흡착되어 로딩되거나 언로딩된다.The first station # 1 represents the panel loading / unloading process position where the panel to be worked on is loaded or the panel is unloaded. When the four vertical stages 112 are disposed in the first station # 1, the panel is adsorbed on the surface of the vertical stage 112 and loaded or unloaded.

즉 별도의 이송로봇에 의해 옮겨지는 작업 대상의 패널은 제1 스테이션(#1)에 위치된 수직형 스테이지(112)의 표면 진공홀(112a)에 진공으로 흡착되는 공정이 진행된다. 이때의 패널은 전술한 바와 같이, OLED용 플렉서블 패널(flexible panel)로서 기능성 필름이 부착될 기능성 필름 부착면에 보호필름이 미리 부착된 패널이다.That is, the panel to be transferred, which is transferred by a separate transfer robot, is vacuum-sucked to the surface vacuum hole 112a of the vertical stage 112 located at the first station # 1. As described above, the panel is a flexible panel for an OLED, and is a panel to which a protective film is attached in advance on the surface of the functional film to which the functional film is to be attached.

제2 스테이션(#2)은 제1 스테이션(#1)에서 수직형 스테이지(112)에 흡착된 패널이 90도 회전되어 이동된 위치를 가리킨다. 제2 스테이션(#2)의 위치에서 패널 상의 보호필름을 박리하는 보호필름 박리 공정이 진행된다.The second station # 2 indicates a position where the panel attracted to the vertical stage 112 in the first station # 1 is rotated by 90 degrees. The protective film peeling process for peeling off the protective film on the panel proceeds at the position of the second station # 2.

보호필름 박리 공정이 보다 효율적으로 진행될 수 있도록 제2 스테이션(#2)에서는 패널에 미리 부착되어 있는 보호필름을 프리(Pre) 박리시키는 프리 박리 공정, 패널에 대해 프리 박리된 보호필름을 박리 롤러(131, 도 6 참조)를 이용하여 패널로부터 완전히 박리시키는 1차 박리, 다시 말해 보호필름 박리 공정, 보호필름 박리 공정의 진행 시 박리 롤러(131)에 붙은 보호필름을 박리 롤러(131)에서 제거하는 2차 박리, 다시 말해 보호필름 제거 공정이 순차적으로 진행된다.A pre-peeling process for pre-peeling the protective film previously attached to the panel in the second station (# 2) so that the protective film peeling process can proceed more efficiently, a peeling roller The protective film attached to the peeling roller 131 is removed from the peeling roller 131 in the course of the first peeling, that is, the peeling of the protective film and the peeling of the protective film, The second peeling, that is, the protective film removing process, proceeds sequentially.

제3 스테이션(#3)은 제2 스테이션(#2)에서 보호필름이 완전히 박리된 패널이 90도 회전되어 이동된 위치를 가리킨다.The third station # 3 indicates a position where the panel in which the protective film has been completely peeled from the second station # 2 is rotated by 90 degrees.

제3 스테이션(#3)에서는 보호필름이 제거된 패널의 표면, 즉 보호필름이 제거되어 기능성 필름이 부착될 기능성 필름 부착면 상에 이물이 존재하는 지의 여부를 검사하는 패널 검사 공정이 진행된다.In the third station # 3, a panel inspection process is performed to check whether the surface of the panel from which the protective film has been removed, that is, whether the protective film is removed and the foreign substance is present on the surface to which the functional film is to be attached.

제4 스테이션(#4)은 제3 스테이션(#3)에서 패널 검사 공정이 완료된 패널이 90도 회전되어 이동된 위치를 가리킨다.The fourth station (# 4) indicates a position where the panel where the panel inspection process is completed in the third station (# 3) is rotated by 90 degrees.

제4 스테이션(#4)에서는 보호필름이 박리된 패널 및 패널에 부착될 기능성 필름, 예컨대 편광필름 간의 상대적인 얼라인(align) 작업을 진행하는 패널/필름 얼라인 공정이 진행된 이후에, 수직형 스테이지(112)의 표면에 흡착된 패널에 기능성 필름이 부착되는 기능성 필름 부착 공정이 진행된다.In the fourth station (# 4), after the panel / film aligning process for advancing the relative alignment between the protective film-peeled panel and the functional film to be attached to the panel, for example, the polarizing film, A functional film adhering process in which the functional film is adhered to the panel adsorbed on the surface of the substrate 112 is performed.

한편, 위와 같이, 패널은 인덱스 테이블(110)의 수직형 스테이지(112)에 진공으로 흡착된 상태에서 전술한 제1 내지 제4 스테이션(#1~#4)을 거치면서 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정을 수행한다.As described above, in the panel loading / unloading process while passing through the above-described first to fourth stations # 1 to # 4 in a state of being vacuum-adsorbed to the vertical stage 112 of the index table 110 , A protective film peeling process, a panel inspection process, and a functional film attaching process.

이때, 앞서도 기술한 것처럼 본 실시예에 적용되고 있는 패널은 쉽게 구부러질 수 있는, 다시 말해 컬(curl) 현상이 발생될 수 있는 플렉서블 패널이기 때문에 수직형 스테이지(112) 표면의 진공압이 강하지 않을 경우에는 수직형 스테이지(112)의 표면에 면접촉되지 못하고 들뜰 우려가 있다.At this time, as described above, since the panel applied to the present embodiment is a flexible panel that can be bent easily, that is, a curl phenomenon can occur, the vacuum pressure on the surface of the vertical stage 112 is not strong The surface of the vertical type stage 112 may not be in surface contact with the surface of the vertical type stage 112 and may be worn.

패널이 수직형 스테이지(112)의 표면에 흡착되기는 하였지만 컬 현상으로 인해 들뜬 상태로 흡착된 경우, 특히 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 용이하게 수행되기 어렵다. 그렇다고 해서 수직형 스테이지(112)의 진공압을 과도하게 강하게 유지할 경우에는 패널이 수직형 스테이지(112)의 표면에 들뜨지 않고 면접촉되면서 흡착될 수는 있지만 이러한 경우에는 과도한 흡착력으로 인해 패널 로딩/언로딩 공정에 어려움이 따를 수 있다.Although the panel is adsorbed on the surface of the vertical stage 112, it is difficult to easily perform the protective film peeling process, the panel inspection process, and the functional film adhering process particularly when the panel is adsorbed in the excited state due to the curling phenomenon. However, if the vacuum pressure of the vertical stage 112 is kept excessively strong, the panel may be adsorbed while being in surface contact with the surface of the vertical stage 112 in a hurry, but in this case, due to excessive adsorption force, There may be difficulties in the loading process.

따라서 수직형 스테이지(112)의 표면에 형성되는 진공압은 해당 공정의 특성에 맞게 혹은 패널의 사이즈에 맞게 적절하게 조절될 필요가 있으며, 이를 위해 본 발명은 도 19와 같은 수직형 스테이지(112)를 제안하고 있는 것이다.Accordingly, the vacuum pressure formed on the surface of the vertical stage 112 needs to be adjusted appropriately according to the characteristics of the process or the size of the panel. To this end, the present invention is applied to a vertical stage 112, .

인덱스 테이블(110)의 둘레면에 형성되는 각 수직형 스테이지(112)의 표면인 패널의 흡착면은 도 19에 도시된 바와 같이, 고진공 파트(116, high suction part)와 저진공 파트(117, low suction part)로 분리된다.19, the adsorption surface of the panel, which is the surface of each vertical stage 112 formed on the circumferential surface of the index table 110, includes a high vacuum part 116 and a low vacuum part 117, low suction part.

고진공 파트(116)는 저진공 파트(117)보다는 그 영역이 좁게 형성되며, 수직형 스테이지(112)의 패널 흡착면에서 상부 영역에 배치된다. 고진공 파트(116)는 플렉서블 패널이 들뜨지 않고 흡착될 수 있도록 하는 역할을 한다. 고진공 파트(116)는 진공모듈(114)과 개별적으로 연결된다.The high vacuum part 116 is narrower in area than the low vacuum part 117 and is disposed in the upper area on the panel adsorption surface of the vertical stage 112. The high vacuum part 116 plays a role in allowing the flexible panel to be attracted without lifting. The high vacuum part 116 is connected separately to the vacuum module 114.

이러한 고진공 파트(116)는 대다수의 면을 형성하는 고진공 제1 파트(H1)와, 수직형 스테이지(112)의 패널 흡착면에서 고진공 제1 파트(H1)의 상부 영역에 형성되되 고진공 제1 파트(H1)의 영역보다 작은 영역을 형성하며, 고진공 제1 파트(H1)보다 강한 진공압이 형성되는 고진공 제2 파트(H2)를 포함한다.The high vacuum part 116 includes a first part H1 of high vacuum forming a majority of surfaces and a second part H1 of a high vacuum formed on the upper surface of the high vacuum first part H1 on the panel adsorption surface of the vertical stage 112, And a high vacuum second part H2 that forms a region smaller than the region of the high vacuum first portion H1 and forms a stronger vacuum pressure than the high vacuum first portion H1.

이때, 고진공 제1 파트(H1)는 다수의 고진공홀(116a)에 의해 형성될 수 있다. 도면처럼 고진공 제1 파트(H1) 자체도 몇 개의 그룹(group)으로 분할되어 개별적으로 관리될 수 있다.At this time, the high vacuum first part H1 may be formed by a plurality of high vacuum holes 116a. As shown in the drawing, the high vacuum first part H1 itself can be divided into several groups and managed individually.

이에 반해, 고진공 제2 파트(H2)는 고진공 제1 파트(H1)보다는 좀 더 강한 진공압이 형성되어야 하기 때문에 고진공 제2 파트(H2)는 고진공홀 상에 진공 패드(116b)가 부가될 수 있다. 물론, 진공 패드(116b)대신에 우레탄 코팅이 형성될 수도 있다.On the other hand, since the second part H2 of the high vacuum needs to have a stronger vacuum than the first part H1 of the high vacuum, the second part H2 of the high vacuum can be provided with a vacuum pad 116b on the high vacuum hole have. Of course, a urethane coating may be formed instead of the vacuum pad 116b.

진공 패드(116b)의 경우, 미관이 미려하고 개별 교체가 가능한 이점이 있다. 이에 반해, 우레탄 코팅의 경우, 긴 수명을 보장하고 조립 불량으로 인한 에러 요인이 없으며, 흡착면 형상을 가공으로 자유로이 변형시킬 수 있는 이점이 있다.In the case of the vacuum pad 116b, there is an advantage that the aesthetic appearance is nice and can be individually replaced. On the other hand, in the case of the urethane coating, there is an advantage that a long service life is ensured, no error factor is caused by poor assembly, and the shape of the adsorption surface can be freely deformed by machining.

이와 같은 고진공 제2 파트(H2)는 제일 강한 진공압이 형성되기 때문에 후술할 보호필름 박리 공정 시 사용될 수 있다. 특히, 보호필름 박리 공정 시의 프리 박리 공정 시에 사용될 수 있는데, 이때는 프리 박리되는 패널의 상부 단부를 강하게 흡착해야 하기 때문이다.Since the second high vacuum part H2 forms the strongest vacuum pressure, it can be used in the protective film peeling process to be described later. Particularly, it can be used in the pre-peeling process in the protective film peeling process, because the upper end of the panel to be pre-peeled must be strongly adsorbed.

이와 같은 특징의 고진공 파트(116)와 달리 저진공 파트(117)는 고진공 파트(116)의 영역보다 큰 영역을 이룬다. 즉 수직형 스테이지(112)의 패널 흡착면에서 대부분의 영역은 저진공 파트(117)로 마련될 수 있다. 저진공 파트(117) 역시 진공모듈(114)과 개별적으로 연결된다.Unlike the high vacuum part 116 of this feature, the low vacuum part 117 has a larger area than the area of the high vacuum part 116. That is, most of the area on the panel adsorption surface of the vertical type stage 112 may be provided by the low vacuum part 117. The low vacuum part 117 is also connected separately to the vacuum module 114.

본 실시예에서 저진공 파트(117)는 개별적으로 구동 가능한 다수의 포트(port)로 구획될 수 있다. 예컨대, 도 19에서 가운데의 구획라인(L)을 기준으로 하여 안쪽의 제1 포트(P1)와 바깥쪽의 제2 포트(P2)로 저진공 파트(117)는 구획될 수 있다. 제1 포트(P1)와 제2 포트(P2)는 각각 진공모듈(114)과 개별적으로 연결되어 개별 동작됨으로써 다양한 사이즈의 패널에 함께 적용될 수 있도록 한다. 예컨대, 패널의 사이즈가 작으면 제1 포트(P1)만 작동될 것이고 패널의 사이즈가 크면 제1 포트(P1)와 제2 포트(P2)가 함께 작동되어 패널이 들뜨지 않고 흡착될 수 있도록 할 수 있다.In this embodiment, the low vacuum part 117 may be partitioned into a plurality of individually driveable ports. For example, in FIG. 19, the low vacuum part 117 can be partitioned by the first port P1 on the inner side and the second port P2 on the outer side with respect to the center partition line L. The first port (P1) and the second port (P2) are separately connected to the vacuum module (114) and individually operated so that they can be applied together to panels of various sizes. For example, if the size of the panel is small, only the first port P1 will be operated, and if the size of the panel is large, the first port P1 and the second port P2 may be operated together to allow the panel to be attracted without lifting have.

이와 같은 구조의 수직형 스테이지(112)가 적용됨으로써 다양한 공정 특성에 맞게 패널을 효율적으로 흡착할 수 있으며, 나아가 다양한 사이즈의 패널이 겸용으로 사용될 수 있어 사용범위를 확장시킬 수 있다.By employing the vertical stage 112 having such a structure, the panel can be efficiently sucked in accordance with various process characteristics, and further, panels of various sizes can be used for both, and the use range can be expanded.

한편, 본 실시예의 경우, 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정은 인덱스 테이블(110)의 외면에 형성되는 다수의 수직형 스테이지(112)의 표면에서 인덱스 테이블(110)이 90도씩 단계적으로 회전됨에 따라 순차적으로 진행된다. 이처럼 모든 공정들이 다수의 수직형 스테이지(112)를 구비하는 단일의 인덱스 테이블(110)을 통해 동시에 진행될 수 있기 때문에 종래와 달리 장치의 풋 프린트(foot print)를 감소시킬 수 있음은 물론 파티클에 의한 품질 불량 발생을 줄일 수 있으며, 나아가 택트 타임 감소에 따른 생산성 향상을 도모할 수 있게 되는 것이다.On the other hand, in the case of this embodiment, the panel loading / unloading process, protective film peeling process, panel inspection process, and functional film deposition process are performed on the surface of a plurality of vertical stages 112 formed on the outer surface of the index table 110 As the table 110 is rotated stepwise by 90 degrees, it proceeds sequentially. In this way, since all the processes can be performed simultaneously through the single index table 110 having a plurality of vertical stages 112, it is possible to reduce the foot print of the device unlike the related art, It is possible to reduce the occurrence of quality defects and further improve the productivity due to the reduction of the tact time.

이와 같은 제1 내지 제4 스테이션(#1~#4)이 진행되기 위해, 즉 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 순차적으로 진행되기 위해 인덱스 테이블(110)의 주변에는 해당 공정을 수행하기 위한 다양한 장치 또는 모듈들이 갖춰질 수 있다.In order for the first to fourth stations # 1 to # 4 to proceed, that is, the panel loading / unloading process, the protective film peeling process, the panel inspection process, and the functional film attaching process, 110 may be equipped with various devices or modules for performing the process.

이하, 도 2 내지 도 17을 참조하여 위의 공정들을 수행하는 장치 또는 모듈에 대해 설명한다. 참고로, 4의 공정 중에서 패널 로딩/언로딩 공정과 패널 검사 공정에 대한 장치 또는 모듈에 대한 도시 및 설명은 생략했다. 패널 로딩/언로딩 공정은 별도의 로봇에 의해 행해질 수 있고 패널 검사 공정은 카메라에 의해 수행될 수 있기 때문에 생략했다.Hereinafter, an apparatus or a module for performing the above processes will be described with reference to FIGS. 2 to 17. FIG. For reference, the illustration and description of the apparatus or module for the panel loading / unloading process and the panel inspection process in step 4 are omitted. The panel loading / unloading process can be performed by a separate robot, and the panel inspection process can be performed by a camera, so it is omitted.

이하, 프리 박리 유닛(120)과, 박리 롤러(131)를 구비하는 보호필름 박리 유닛(130), 보호필름 제거 유닛(150), 그리고 기능성 필름 부착 유닛(160)에 대해 순차적으로 설명한다.Hereinafter, the protective film peeling unit 130, the protective film removing unit 150, and the functional film attaching unit 160 having the pre-peeling unit 120 and the peeling roller 131 will be sequentially described.

프리 박리 유닛(120), 보호필름 박리 유닛(130) 및 보호필름 제거 유닛(150)은 모두가 제2 스테이션(#2) 영역에 배치된 장치 또는 모듈로서 보호필름의 효율적인 박리 공정을 위해 마련된다.The preliminary peeling unit 120, the protective film peeling unit 130 and the protective film removing unit 150 are all provided for the efficient peeling process of the protective film as an apparatus or module disposed in the second station (# 2) region .

참고로, 프리 박리 유닛(120)은 패널에 대한 보호필름의 선단부(E, 도 5 참조)를 프리(Pre) 박리시키는 것인데, 이처럼 프리 박리가 진행된 후에 박리 롤러(131)를 통한 보호필름의 완전 박리를 진행하면 박리의 효율이 훨씬 높아진다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되지 않으므로 프리 박리 유닛(120)이 적용되지 않은 기능성 필름 부착장치에도 본 발명의 권리범위가 적용될 수 있을 것이다.The pre-peeling unit 120 pre-peels the front end portion E of the protective film against the panel (see FIG. 5). After the pre-peeling progresses, the fullness of the protective film through the peeling roller 131 As the peeling proceeds, the peeling efficiency becomes much higher. However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the scope of the present invention may be applied to a functional film attaching apparatus to which the pre-peeling unit 120 is not applied.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 프리 박리 유닛(120)은 인덱스 테이블(110)의 일측에 배치되어 패널에 대한 보호필름의 선단부를 프리(Pre) 박리시키는 것으로서, 박리 나이프(121), 프리 박리용 X축 샤프트(122), 프리 박리용 X축 슬라이더(123), 나이프 클램프 모듈(124), 그리고 박리 나이프용 Y축 이동부(125)를 포함한다.2 to 5, the pre-peeling unit 120 is disposed at one side of the index table 110 to pre-peel a front end portion of a protective film against the panel, and includes a peeling knife 121, Axis X-axis shaft 122 for pre-separation, an X-axis slider 123 for preliminary separation, a knife clamp module 124, and a Y-axis moving part 125 for a peeling knife.

앞서 기술한 것처럼 프리 박리 유닛(120)에 의한 프리 박리 공정 시 수직형 스테이지(112)의 패널 흡착면에 형성되는 고진공 제2 파트(H2, 도 19 참조)가 강한 진공압으로 패널을 흡착하기 때문에 프리 박리 공정이 실패없이 잘 진행될 수 있다.As described above, the high vacuum second part H2 (see FIG. 19) formed on the panel adsorption surface of the vertical stage 112 during the preliminary peeling process by the preliminary peeling unit 120 adsorbs the panel with strong vacuum pressure The pre-peeling process can proceed well without fail.

박리 나이프(121)는 패널과 보호필름의 선단부(도 5의 E) 간의 점착력이 제거되도록 패널과 보호필름의 선단부(E) 사이로 삽입되어 도 5에 도시된 화살표 X 방향으로 이동되면서 패널에 대한 보호필름의 선단부(E)를 프리(Pre) 박리시키는 역할을 한다.The peeling knife 121 is inserted between the panel and the front end portion E of the protective film so as to remove the adhesive force between the panel and the front end portion (E in Fig. 5) of the protective film and is moved in the direction of arrow X shown in Fig. And serves to pre-peel the front end portion E of the film.

전술한 것처럼 플렉서블 패널의 경우, 보호필름이 일정한 점착력 이상으로 패널에 부착되어 있는 것이 일반적이기 때문에 본 실시예처럼 프리 박리, 즉 패널에 대한 보호필름의 선단부(E)를 미리 떼어내지 않고서는 보호필름 박리 공정을 원활하게 진행하기 어렵다.As described above, in the case of the flexible panel, since the protective film is generally attached to the panel by more than a predetermined adhesive force, the protective film can be pre-peeled, that is, without peeling the front end portion E of the protective film against the panel, It is difficult to smoothly carry out the peeling process.

참고로, 보호필름은 패널의 전면에 부착되어 있는 것이 일반적이지만 본 실시예의 경우에는 도 5의 F 영역만큼 보호필름이 미리 벗겨진 패널을 사용한다. 패널에 도 5의 F 영역만큼 보호필름을 미리 벗기는 작업은 패널이 인덱스 테이블(110)에 도달되기 전에 미리 진행된다.For reference, the protective film is generally attached to the front face of the panel, but in the case of this embodiment, a panel in which the protective film has been previously peeled by F region in FIG. 5 is used. The operation of peeling the protective film in advance by the area F in Fig. 5 to the panel is performed before the panel reaches the index table 110. Fig.

이처럼 패널에 도 5의 F 영역만큼 보호필름이 벗겨진 영역이 존재하기 때문에, 이 영역을 이용하여 박리 나이프(121)를 패널과 보호필름의 선단부(E) 사이로 삽입하여 도 5의 화살표 X 방향으로 이동시키면 보호필름의 선단부(E) 영역에서 패널과 보호필름 간의 점착력이 제거, 즉 소멸되기 때문에 이후에 보호필름을 박리하기가 용이하다. 물론, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 도 5의 F 영역만큼 보호필름이 벗겨진 패널이 반드시 사용되어야 하는 것은 아니다.5, the protective film is peeled off by the area of F. Thus, the peeling knife 121 is inserted between the panel and the tip end portion E of the protective film using this region, and moved in the direction of arrow X in Fig. 5 , The adhesive force between the panel and the protective film in the area of the tip (E) of the protective film is removed, that is, disappears, so that it is easy to peel the protective film thereafter. Of course, the scope of the present invention is not limited thereto, and thus the panel with the protective film peeled off by the area F in FIG. 5 is not necessarily used.

이러한 역할을 담당하는 박리 나이프(121)는 PET(polyethylene terephthalate) 재질로 제작될 수 있으며, 삼각형 또는 사다리꼴 형상을 가질 수 있다.The peeling knife 121 that performs this role may be made of PET (polyethylene terephthalate) material and may have a triangular or trapezoidal shape.

프리 박리용 X축 샤프트(122)는 패널 상에서 박리 나이프가 이동되는 방향인 X축 방향(도 2 좌표 참조)을 따라 배치는 축이다. 프리 박리용 X축 샤프트(122)의 일측에는 프리 박리용 X축 샤프트(122)를 회전 구동시키는 샤프트 구동용 모터(122a)가 연결된다.The X-axis shaft for preliminary peeling 122 is arranged along the X-axis direction (see FIG. 2) in the direction in which the peeling knife is moved on the panel. A shaft driving motor 122a for rotationally driving the X-axis shaft 122 for pre-peeling is connected to one side of the X-axis shaft for peeling 122.

프리 박리용 X축 슬라이더(123)는 프리 박리용 X축 샤프트(122)에 결합되어 X축 방향을 따라 이동되는 구조체이다. 샤프트 구동용 모터(122a)의 정역 방향에 따른 회전 시 프리 박리용 X축 샤프트(122)를 따라 +X축 방향 혹은 -X축 방향으로 이동될 수 있다.The X-axis slider 123 for preliminary peeling is a structure that is coupled to the X-axis shaft for preliminary peeling 122 and moves along the X-axis direction. Can be moved in the + X axis direction or the -X axis direction along the X axis shaft 122 for preliminary separation in the rotation according to the forward and reverse directions of the shaft driving motor 122a.

나이프 클램프 모듈(124)은 프리 박리용 X축 슬라이더(123)에 마련되며, 박리 나이프(121)를 클램프시키는 역할을 한다.The knife clamp module 124 is provided on the X-axis slider 123 for preliminary peeling, and functions to clamp the peeling knife 121.

이러한 나이프 클램프 모듈(124)은 나이프용 고정 클램프(124a)와, 나이프용 고정 클램프(124a)에 대해 접근 또는 이격되며, 나이프용 고정 클램프(124a)와의 사이에 박리 나이프(121)가 클램프되는 나이프용 가동 클램프(124b)와, 나이프용 가동 클램프(124b)에 연결되어 나이프용 가동 클램프(124b)를 나이프용 고정 클램프(124a)에 대해 접근 또는 이격 구동시키는 나이프용 클램프 구동부(124c)를 포함한다. 이에, 나이프용 고정 클램프(124a)와 나이프용 가동 클램프(124b) 사이의 벌어진 간격으로 박리 나이프(121)를 넣고 나이프용 클램프 구동부(124c)를 구동시켜 나이프용 가동 클램프(124b)가 나이프용 고정 클램프(124a)에 조여지도록 함으로써 박리 나이프(121)를 손쉽게 설치할 수 있다.The knife clamp module 124 is provided with a knife fixing clamp 124a and a knife clamping portion 124a which is in contact with or spaced from the knife fixing clamp 124a and in which a peeling knife 121 is clamped between the fixing clamp 124a and the knife fixing clamp 124a, And a knife clamp drive part 124c connected to the movable clamp 124b for knife to move the movable clamp 124b for knife toward or away from the fixed clamp 124a for knife . The peeling knife 121 is inserted at a predetermined gap between the knife fixing clamp 124a and the knife movable clamp 124b and the knife clamp driving portion 124c is driven so that the knife movable clamp 124b is fixed for the knife The peeling knife 121 can be easily installed by being fastened to the clamp 124a.

박리 나이프용 Y축 이동부(125)는 나이프 클램프 모듈(124)에 연결되며, 패널이 수직형 스테이지(112)에 로딩되는 방향인 Y축 방향(도 2 좌표 참조)을 따라 박리 나이프(121)를 이동시키는 역할을 한다. 박리 나이프용 Y축 이동부(125)에 의한 박리 나이프(121)의 Y축 이동 거리는 미세할 수 있다.The Y-axis moving part 125 for the separation knife is connected to the knife clamp module 124 and is connected to the separation knife 121 along the Y-axis direction (see FIG. 2), which is the direction in which the panel is loaded on the vertical stage 112. [ . The Y-axis moving distance of the peeling knife 121 by the Y-axis moving part 125 for the peeling knife may be finer.

이와 같은 구조의 박리 나이프용 Y축 이동부(125)가 적용됨에 따라 패널과 보호필름의 선단부(E) 사이로 삽입되는 박리 나이프(121)가 패널 쪽으로 가압되면서 패널과 보호필름의 선단부(E) 사이로 삽입될 수 있어 프리 박리의 효율을 높일 수 있다.With the application of the Y-axis moving part 125 for the peeling knife having such a structure, the peeling knife 121 inserted between the panel and the front end E of the protective film is pressed toward the panel, So that the efficiency of pre-peeling can be increased.

한편, 도 2, 도 6 및 도 7을 참조하면, 보호필름 박리 유닛(130)은 프리 박리 유닛(120)에 이웃하게 배치되며, 프리 박리 유닛(120)의 작용으로 인해 프리 박리된 보호필름을 패널로부터 완전히 박리시키는 역할을 한다.2, 6, and 7, the protective film peeling unit 130 is disposed adjacent to the pre-peeling unit 120, and the pre-peeled protective film is peeled off due to the action of the pre- And completely peeled from the panel.

이러한 보호필름 박리 유닛(130)은 박리 롤러(131), 필름 박리용 메인 바디(132), 필름 박리용 서브 바디(133), 필름 박리용 액추에이터(134), 롤러 클램프 모듈(135), 그리고 보조 롤러(136)를 포함한다.The protective film peeling unit 130 includes a peeling roller 131, a main body 132 for peeling the film, a sub-body 133 for film peeling, an actuator 134 for film peeling, a roller clamp module 135, Roller 136 as shown in FIG.

박리 롤러(131)는 프리 박리 유닛(120)의 작용으로 인해 프리 박리된 보호필름의 선단부(도 5의 E) 외표면에 접촉되어 구름 이동되면서 보호필름을 패널로부터 완전히 박리시키는 롤러이다.The peeling roller 131 is a roller which is in contact with the outer surface of the leading end portion (E in Fig. 5) of the pre-peeled protective film due to the action of the pre-peeling unit 120 and rolls to completely peel the protective film from the panel.

프리 박리된 보호필름의 선단부(E)를 척킹하여 그대로 벗겨내는 방식을 고려해볼 수도 있으나 이러한 방식이 적용될 경우, 보호필름이 박리되는 과정에서 접히면서 패널에 손상을 입힐 수도 있고, 또한 보호필름이 완전히 잘 박리되지 않을 수도 있다.It is possible to consider a method in which the tip end portion E of the pre-peeled protective film is chucked and peeled as it is. However, when this type of method is applied, the protective film may be folded while being peeled, It may not be peeled off well.

하지만, 본 실시예처럼 박리 롤러(131)가 프리 박리된 보호필름의 선단부(E)에 접촉되어 구름 이동하면서 즉, 박리 롤러(131)의 외면으로 보호필름이 말리면서 박리되는 방식을 적용할 경우, 보호필름의 박리 실패가 없으며, 특히 패널에 손상을 입히지 않으면서도 보호필름을 용이하게 박리시킬 수 있다.However, when the peeling roller 131 is brought into contact with the leading edge E of the protective film that has been peeled off to peel off the protective film while rolling, that is, when the protective film is dried on the outer surface of the peeling roller 131 , There is no peeling failure of the protective film, and the protective film can easily be peeled off without damaging the panel in particular.

필름 박리용 메인 바디(132)는 보호필름 박리 유닛(130)의 외관을 형성한다. 필름 박리용 메인 바디(132)는 박리 유닛용 Z축 이동부(138)에 의해 박리 유닛용 Z축 컬럼(137)에 연결된다.The film peeling main body 132 forms an outer appearance of the protective film peeling unit 130. The film peeling main body 132 is connected to the Z-axis column 137 for peeling unit by the Z-axis moving section 138 for peeling unit.

박리 유닛용 Z축 컬럼(137)은 도 2에 도시된 바와 같이, 프리 박리 유닛(120)과 연결되며, 보호필름이 박리되는 방향인 Z축 방향(도 2 좌표 참조)을 따라 배치된다. 그리고 박리 유닛용 Z축 이동부(138)는 보호필름 박리 유닛(130)과 박리 유닛용 Z축 컬럼(137)에 연결되어 보호필름 박리 유닛(130)을 박리 유닛용 Z축 컬럼(137)의 길이 방향을 따라 이동시키는 일종의 모터이다.The Z-axis column 137 for the peeling unit is connected to the pre-peeling unit 120 as shown in FIG. 2, and is disposed along the Z-axis direction (see FIG. 2) in which the protective film is peeled. The Z-axis moving unit 138 for the peeling unit is connected to the protective film peeling unit 130 and the Z-axis column 137 for the peeling unit to separate the protective film peeling unit 130 from the Z- It is a kind of motor that moves along the longitudinal direction.

도 7처럼 박리 롤러(131)가 프리 박리된 보호필름의 선단부(도 5의 E) 외표면에 접촉되어 회전되고, 박리 유닛용 Z축 이동부(138)가 보호필름 박리 유닛(130)을 박리 유닛용 Z축 컬럼(137)의 Z축 방향을 따라 이동시킴에 따라 보호필름은 패널에 손상을 주지 않으면서 패널로부터 용이하게 박리될 수 있다.As shown in Fig. 7, the peeling roller 131 is rotated in contact with the outer surface of the protective film (E in Fig. 5) of the pre-peeled protective film, and the Z-axis moving part 138 for peeling unit peels off the protective film peeling unit 130 Axis direction of the Z-axis column 137 for the unit, the protective film can be easily peeled from the panel without damaging the panel.

필름 박리용 서브 바디(133)는 단부 영역에서 박리 롤러(121)가 회전 가능하게 결합되며, 필름 박리용 메인 바디(132)에 상대 이동 가능하게 결합되는 구조체이다.The film separating sub-body 133 is a structure in which the separating roller 121 is rotatably engaged in the end region and is movably coupled to the film separating main body 132.

그리고 필름 박리용 액추에이터(134)는 필름 박리용 메인 바디(132)에 대하여 필름 박리용 서브 바디(133)의 이동을 위한 동력을 발생시키는 역할을 한다. 필름 박리용 액추에이터(134)는 실린더일 수도 있고, 리니어 모터일 수도 있다.The film separating actuator 134 serves to generate power for moving the film separating sub-body 133 relative to the film separating main body 132. The film separating actuator 134 may be a cylinder or a linear motor.

롤러 클램프 모듈(135)은 필름 박리용 서브 바디(133)에 마련되어 박리 롤러(131)를 회전 가능하게 클램프시키는 역할을 한다. 롤러 클램프 모듈(135)에 대해 자세하게 도시하지는 않았으나 롤러 클램프 모듈(135)은 나이프 클램프 모듈(124)의 구조와 유사한 방식으로 적용될 수 있을 것이다.The roller clamp module 135 is provided on the film separating sub-body 133 and rotatably clamps the peeling roller 131. Although not shown in detail with respect to the roller clamp module 135, the roller clamp module 135 may be applied in a manner similar to that of the knife clamp module 124.

보조 롤러(136)는 필름 박리용 서브 바디(133) 상에서 박리 롤러(131)에 이웃하게 배치되는 일종의 버퍼 롤러(buffer roller)이다.The auxiliary roller 136 is a kind of buffer roller disposed adjacent to the peeling roller 131 on the film separating sub-body 133.

한편, 박리 롤러(131)는 보호필름의 외표면에 일정한 점착력으로 붙어서 보호필름을 박리시켜야 하는데, 이러한 박리 롤러(131)는 일정한 주기로 교체되어야 한다.On the other hand, the peeling roller 131 must adhere to the outer surface of the protective film with a constant adhesive force to peel off the protective film. The peeling roller 131 must be replaced at regular intervals.

이를 위해 버퍼 롤러로서의 보조 롤러(136)가 마련되나 패널의 생산량이 많아질 경우, 박리 롤러(131)의 교체 주기가 빨라질 수 있다는 점을 감안할 때, 지체 없이 박리 롤러(131)를 손쉽게 공급할 수 있도록 본 실시예의 기능성 필름 부착장치에는 롤러 공급 유닛(140)이 더 갖춰진다.Considering that the replacement roller 136 as the buffer roller is provided, but the replacement cycle of the peeling roller 131 can be increased when the production amount of the panel is increased, the peeling roller 131 can be easily supplied without delay A roller feeding unit 140 is further provided in the functional film applying apparatus of this embodiment.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 롤러 공급 유닛(140)은 보호필름 박리 유닛(130)의 주변에 배치되며, 보호필름 박리 유닛(130)으로 새로운 롤러(R)를 공급하는 역할을 한다.8 and 9, the roller supply unit 140 is disposed around the protective film peeling unit 130 and serves to supply a new roller R to the protective film peeling unit 130 .

롤러 공급 유닛(140)은 롤러 공급용 유닛 바디(141)와, 롤러 공급용 유닛 바디(141)의 양측에 마련되어 롤러(R)가 거치되는 다수의 롤러 거치대(142)를 포함한다.The roller supply unit 140 includes a roller supply unit body 141 and a plurality of roller mounts 142 provided on both sides of the roller supply unit body 141 and on which the rollers R are mounted.

롤러 공급용 유닛 바디(141)의 상부에는 바디 결합부(143)가 마련된다. 바디 결합부(143)는 롤러 공급용 유닛 바디(141)와 프리 박리 유닛(120)을 연결하는 구조체로서, 필요에 따라 롤러 공급용 유닛 바디(141)를 구동시킬 수도 있다.A body coupling portion 143 is provided at an upper portion of the roller supply unit body 141. The body joining portion 143 is a structure for connecting the roller-supplying unit body 141 and the pre-peeling unit 120, and may drive the roller-supplying unit body 141 if necessary.

롤러 공급용 유닛 바디(141)의 일측에 줄지어진 롤러 거치대(142)들은 새로운 롤러(R)가 배치되는 장소이고, 반대편은 보호필름 박리 유닛(130)에서 사용이 완료되어 교체될 박리 롤러(131)가 거치되는 장소일 수 있다.The roller rollers 142 that are lined up on one side of the roller supply unit body 141 are the places where the new roller R is disposed and the opposite side is the peeling roller 131 ) May be mounted.

한편, 도 2, 그리고 도 10 내지 도 13을 참조하면, 보호필름 제거 유닛(150)은 보호필름 박리 유닛(130)과 상호 작용하여 보호필름 박리 시 박리 롤러(131)에 되감겨 붙은 보호필름을 박리 롤러(131)에서 제거하는 역할을 한다.2 and 10 to 13, the protective film removing unit 150 cooperates with the protective film peeling unit 130 to form a protective film wound on the peeling roller 131 when peeling the protective film And is removed from the peeling roller 131.

앞서 기술한 것처럼 박리 롤러(131)의 회전 및 이동 동작에 의해 패널로부터 박리되는 보호필름은 패널로부터 박리되면서 박리 롤러(131)의 외표면에 되감겨 배치될 수 있는데, 이처럼 박리 롤러(131)의 외표면으로 전해진 보호필름을 박리 롤러(131)로부터 제거하기 위해 보호필름 제거 유닛(150)이 마련된다.As described above, the protective film, which is peeled from the panel by the rotation and movement of the peeling roller 131, can be rewound on the outer surface of the peeling roller 131 while being peeled from the panel. A protective film removing unit 150 is provided to remove the protective film transferred to the outer surface from the peeling roller 131.

실제, 박리 롤러(131)는 수십 회 혹은 수백 회 사용 후에 교체되는 것이 일반적이기 때문에 보호필름 제거 유닛(150)이 박리 롤러(131)의 외표면에 달라붙은 보호필름을 적절하게 제거해줌으로써 공정의 지연 없이 기능성 필름 부착 공정을 용이하게 수행할 수 있다.Since the protective film removing unit 150 appropriately removes the protective film adhered to the outer surface of the peeling roller 131, the delamination roller 131 is usually replaced after several tens or hundreds of times of use, The functional film adhering process can be easily performed.

특히, 보호필름 제거 유닛(150)의 동작에 의해 박리 롤러(131)의 외표면에 달라붙은 보호필름이 제거되는 공정은 별도로 할애되는 공정이 아니라 인덱스 테이블(110)이 90도 회전되거나 프리 박리 공정이 진행되는 공정 중에 수행될 수 있으므로 택트 타임을 지연시키지 않아 효율적일 수 있다.Particularly, the process of removing the protective film sticking to the outer surface of the peeling roller 131 by the operation of the protective film removing unit 150 is not a separate process, but the index table 110 is rotated by 90 degrees or the pre- Can be performed during the ongoing process, so that the tact time is not delayed and can be efficient.

이러한 보호필름 제거 유닛(150)은 필름 제거용 유닛 플레이트(151), 보호필름 리시버(152), 회전식 보호필름 척킹모듈(153), 그리고 보호필름 푸셔(154)를 포함한다.The protective film removing unit 150 includes a film removing unit plate 151, a protective film receiver 152, a rotating protective film chucking module 153, and a protective film pusher 154.

필름 제거용 유닛 플레이트(151)는 보호필름이 제거되는 작업 테이블을 형성한다. 필름 제거용 유닛 플레이트(151) 상에서 회전식 보호필름 척킹모듈(153)에 의해 보호필름이 척킹되고 보호필름 푸셔(154)에 의해 제거될 수 있다.The film removal unit plate 151 forms a work table on which the protective film is removed. The protective film can be chucked by the rotary protective film chucking module 153 on the film removing unit plate 151 and removed by the protective film pusher 154. [

필름 제거용 유닛 플레이트(151)는 보호필름 푸셔(154)가 도 11 및 도 12의 상태에서 도 13처럼 전방으로 돌출될 수 있도록 중앙이 갈라지게 한 쌍으로 마련될 수 있다.The film removing unit plate 151 may be provided in a pair such that the protective film pushers 154 are separated from each other so as to protrude forward as shown in FIG. 13 in the state of FIG. 11 and FIG.

보호필름 리시버(152)는 필름 제거용 유닛 플레이트(151)에 마련되어 박리 롤러(131)로부터 보호필름을 전달 받는 역할을 한다.The protective film receiver 152 is provided on the film removing unit plate 151 and serves to receive the protective film from the peeling roller 131.

본 실시예에서 보호필름 리시버(152)는 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 중앙 영역에서 폐루프 방식으로 회전되는 한 쌍의 벨트(152)로 적용된다. 한 쌍의 벨트(152)는 벨트 회전 구동부(155)에 의해 그 위치에서 연속적으로 회전되면서 박리 롤러(131)로부터 보호필름을 전달 받는다. 즉 박리 롤러(131)가 역회전되면서 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 하방으로 이동되고 이와 동시에 한 쌍의 벨트(152)가 회전됨에 따라 한 쌍의 벨트(152)가 박리 롤러(131)로부터 보호필름을 전달 받을 수 있다.In this embodiment, the protective film receiver 152 is applied to a pair of belts 152 that are rotated in a closed loop manner in a central region of the film removal unit plate 151. [ The pair of belts 152 are continuously rotated at that position by the belt rotation driving unit 155 to receive the protective film from the peeling roller 131. That is, the peeling roller 131 is reversely rotated and moved downwardly of the film removal unit plate 151. At the same time, as the pair of belts 152 are rotated, a pair of belts 152 are separated from the peeling roller 131 A protective film can be delivered.

본 실시예에서 벨트 회전 구동부(155)는 모터(155a)와 모터 샤프트(155b)를 포함하고 있으며, 이들의 동작에 의해 한 쌍의 벨트(152)가 연속적으로 회전되도록 한다.In this embodiment, the belt rotation drive unit 155 includes a motor 155a and a motor shaft 155b, and by these operations, the pair of belts 152 are continuously rotated.

회전식 보호필름 척킹모듈(153)은 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 상부 영역에서 회전 가능하게 배치되며, 박리 롤러(131)에서 필름 제거용 유닛 플레이트(151) 쪽으로 전달되는 보호필름의 단부 영역을 척킹하는 역할을 한다.The rotatable protective film chucking module 153 is rotatably disposed in the upper region of the film removing unit plate 151 and has an end area of the protective film transferred to the film removing unit plate 151 from the peeling roller 131 Chucking.

이러한 회전식 보호필름 척킹모듈(153)은 회전 바아(153a)와, 회전 바아(153a)의 단부에 결합되어 보호필름을 척킹하는 보호필름 척킹부재(153b)를 포함한다. 회전 바아(153a)는 바아 회전 구동부(156)에 의해 도 11에서 도 12처럼 회전될 수 있으며, 도 12처럼 회전될 때 보호필름 척킹부재(153b)에 의해 보호필름의 단부 영역이 척킹된다.The rotary protective film chucking module 153 includes a rotary bar 153a and a protective film chucking member 153b coupled to an end of the rotary bar 153a to chuck the protective film. The rotary bar 153a can be rotated by the bar rotation driving unit 156 as shown in Fig. 11 to Fig. 12, and the end region of the protective film is chucked by the protective film chucking member 153b when rotated as shown in Fig.

바아 회전 구동부(156)는 회전 바아(153a)의 회전축심을 형성하는 바아 샤프트(156a)와, 바아 샤프트(156a)의 단부에 결합되는 피니언 기어(156b)와, 피니언 기어(156b)에 치형 맞물림되는 랙 기어(156c)와, 랙 기어(156c)를 이동시키는 기어 이동부(156d)를 포함한다. 기어 이동부(156d)는 예컨대, 리니어 모터일 수 있는데, 기어 이동부(156d)가 이동되어 랙 기어(156c)가 이동됨에 따라 랙 기어(156c)의 직선 운동이 피니언 기어(156b)의 회전 운동으로 변환되고 이 운동이 바아 샤프트(156a)를 통해 회전 바아(153a)로 전달됨으로써 회전 바아(153a)가 도 11에서 도 12처럼 또는 그 역으로 회전될 수 있다.The bar rotation drive unit 156 includes a bar shaft 156a forming a rotation axis of the rotary bar 153a, a pinion gear 156b coupled to an end of the bar shaft 156a, and a pinion gear 156b meshing with the pinion gear 156b A rack gear 156c, and a gear moving portion 156d for moving the rack gear 156c. The linear movement of the rack gear 156c is transmitted to the rotational movement of the pinion gear 156b as the gear moving portion 156d is moved and the rack gear 156c is moved, And this motion is transmitted to the rotating bar 153a through the bar shaft 156a so that the rotating bar 153a can be rotated as shown in FIG. 11 to 12 or vice versa.

보호필름 푸셔(154)는 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 중앙 영역에서 전방으로 돌출 가능하게 배치되어 보호필름 리시버(152)에 전달된 보호필름을 가압력에 의해 보호필름 리시버(152)로부터 분리시키는 역할을 한다.The protective film pusher 154 is disposed so as to protrude forward in the central region of the film removing unit plate 151 so that the protective film transferred to the protective film receiver 152 is separated from the protective film receiver 152 by a pressing force It plays a role.

즉 박리 롤러(131)에서 보호필름 리시버(152)로 보호필름이 완전히 전달되고 나면 보호필름 박리 유닛(130)은 인덱스 테이블(110) 쪽으로 상향 이동되는데, 이때 도 11 및 도 12처럼 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 안쪽에 들어있던 보호필름 푸셔(154)가 도 13처럼 전방으로 돌출되어 보호필름 리시버(152)에 임시로 붙어 있던 보호필름을 제거하게 된다. 제거된 보호필름은 아래쪽의 휴지통에 수거된다.11 and 12, when the protective film is completely transferred to the protective film receiver 152 in the peeling roller 131, the protective film peeling unit 130 is moved upward to the index table 110. At this time, The protective film pusher 154 inside the plate 151 protrudes forward as shown in FIG. 13 to remove the protective film temporarily attached to the protective film receiver 152. The removed protective film is collected in the trash can at the bottom.

한편, 도 14 내지 도 17에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 기능성 필름 부착장치는 인덱스 테이블(110)에 대해 상대 이동 가능하게 배치되어 보호필름이 박리된 패널에 기능성 필름을 부착시키는 기능성 필름 부착 유닛(160)을 포함한다.14 to 17, the functional film attaching apparatus of the present embodiment includes a functional film attaching unit (not shown) disposed movably relative to the index table 110 to attach a functional film to a panel having a protective film peeled off, (160).

기능성 필름 부착 유닛(160)은 도 1의 제4 스테이션(#4) 영역에 마련되는 장치 또는 모듈로서 기능성 필름을 패널에 부착시키는 공정을 수행하기 위해 마련된다.The functional film attaching unit 160 is provided to perform a process of attaching the functional film to the panel as an apparatus or module provided in the fourth station (# 4) region of FIG.

즉, 위에서 기술한 구성들, 즉 프리 박리 유닛(120), 박리 롤러(131)를 구비하는 보호필름 박리 유닛(130), 그리고 보호필름 제거 유닛(150)의 구조와 작용에 의해 패널로부터 보호필름이 박리되어 제거된 이후에는 그 자리에 예컨대, 편광필름과 같은 기능성 필름이 부착된다. 이러한 기능성 필름의 부착 공정은 도 17에 도시된 기능성 필름 부착 유닛(160)에 의해 수행될 수 있다.That is, by the structure and action of the above-described configurations, that is, the protective film peeling unit 130 having the pre-peeling unit 120, the peeling roller 131, and the protective film removing unit 150, A functional film such as a polarizing film is adhered in place. This attaching process of the functional film can be performed by the functional film attaching unit 160 shown in Fig.

특히, 본 실시예에서 기능성 필름 부착 유닛(160)은, 부착 롤러(162)의 센터 라인(C/L, 도 16 참조)을 기준으로 기능성 필름을 얼라인한 다음 기능성 필름이 패널에 부착되도록 함으로써 항상 일정한 위치에서 기능성 필름의 부착 공정이 진행되도록 하면서 기능성 필름의 부착 정도가 향상될 수 있도록 하고 있다.Particularly, in the present embodiment, the functional film attaching unit 160 is configured to deflect the functional film on the basis of the center line (C / L, see Fig. 16) of the attaching roller 162, The adhesion of the functional film can be improved while the process of attaching the functional film proceeds at a certain position.

이러한 역할을 담당하는 기능성 필름 부착 유닛(160)은 필름 흡착 스테이지(161), 부착 롤러(162), 그리고 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)를 포함한다.The functional film attaching unit 160 that performs this role includes a film adsorption stage 161, an attaching roller 162, and a stage moving section 170 for film aligning.

필름 흡착 스테이지(161)는 기능성 필름이 진공압으로 흡착되는 장소를 이룬다. 따라서 필름 흡착 스테이지(161)의 표면에는 다수의 진공홀(161a)이 형성된다.The film adsorption stage 161 is a place where the functional film is adsorbed by vacuum pressure. Therefore, a plurality of vacuum holes 161a are formed on the surface of the film adsorption stage 161. [

부착 롤러(162)는 필름 흡착 스테이지(161)에 이웃하게 배치되며, 기능성 필름의 표면에 접촉 가압되어 패널 상으로 구름 이동되면서 기능성 필름을 패널에 부착시키는 역할을 한다.The attaching roller 162 is disposed adjacent to the film adsorption stage 161 and functions to attach the functional film to the panel while being pressed against the surface of the functional film to roll over the panel.

본 실시예처럼 부착 롤러(162)를 이용하는 경우, 부착 롤러(162)가 기능성 필름의 표면 전 영역에 접촉된 후에 구름 이동되면서 기능성 필름을 패널의 표면에 부착시킬 수 있기 때문에 기능성 필름이 들뜨지 않고 패널에 부착될 수 있다.In the case of using the attaching roller 162 as in the present embodiment, since the attaching roller 162 can roll and move after contacting the entire surface area of the functional film, the functional film can be adhered to the surface of the panel, Lt; / RTI >

필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)는 부착 롤러(162)의 센터 라인(C/L)을 기준으로 기능성 필름이 얼라인될 수 있도록 필름 흡착 스테이지(161)를 임의 방향으로 위치 이동시키는 역할을 한다. 특히, 본 실시예의 경우, 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)가 필름 흡착 스테이지(161)를 도 16에 도시된 5축 방향으로 위치 이동시키면서 필름 흡착 스테이지(161)를 얼라인시키고 있기 때문에 얼라인 정도가 높아 기능성 필름의 부착 정도가 향상될 수 있다.The stage moving part 170 for film aligning serves to move the film suction stage 161 in any direction so that the functional film can be aligned with respect to the center line C / L of the attaching roller 162 . Particularly, in the case of this embodiment, since the film moving stage 170 for film aligning moves the film suction stage 161 in the 5-axis direction shown in FIG. 16 while aligning the film suction stage 161, The degree of adhesion of the functional film can be improved.

필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)는 도시 않은 제어부에 의해 그 동작이 제어될 수 있다. 이때, 제어부는 필름 흡착 스테이지(161)에 흡착된 기능성 필름의 위치를 감지하는 감지부(미도시)로부터 그 정보를 받아 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)의 동작을 제어한다. 이때의 감지부는 도시하지 않았으나 카메라일 수 있다.The operation of the stage aligning unit 170 for film aligning can be controlled by a control unit (not shown). At this time, the control unit receives the information from the sensing unit (not shown) that senses the position of the functional film adsorbed on the film adsorption stage 161, and controls the operation of the stage moving unit 170 for film aligning. The sensing unit may be a camera, not shown.

한편, 도 16 및 도 17을 참조하면, 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)는, 부착 롤러(162)의 센터 라인(C/L) 방향인 X1 방향을 따라 필름 흡착 스테이지(161)를 이동시키는 제1 스테이지 이동부(171)와, X1 방향에 교차되는 Z1 방향을 따라 필름 흡착 스테이지(161)를 이동시키는 제2 스테이지 이동부(172)와, X1 좌표와 Z1 좌표에 의해 형성되는 평면 상에서 필름 흡착 스테이지(161)를 T1 방향을 따라 회전시키는 제3 스테이지 이동부(173)와, 제2 스테이지 이동부(172)와 동일한 Z1 방향을 따라 필름 흡착 스테이지(161)를 미세 이동시키는 제4 스테이지 이동부(174)와, 제3 스테이지 이동부(173)와 동일한 T1 방향을 따라 필름 흡착 스테이지(161)를 미세 회전시키는 제5 스테이지 이동부(175)를 포함한다. 제1, 제2, 제4 스테이지 이동부(171,172,174)는 리니어 모터일 수 있고, 제3 및 제5 스테이지 이동부(173,175)는 회전 모터일 수 있다.16 and 17, the stage moving part 170 for film aligning moves the film adsorption stage 161 along the X1 direction in the center line (C / L) direction of the attaching roller 162 A second stage moving section 172 for moving the film attracting stage 161 along the Z1 direction intersecting the X1 direction and a second stage moving section 172 for moving the film on the plane formed by the X1 coordinate and the Z1 coordinate, A third stage moving section 173 for rotating the suction stage 161 along the T1 direction and a fourth stage moving section 173 for fine moving the film suction stage 161 along the Z1 direction the same as the second stage moving section 172 And a fifth stage moving unit 175 for finely rotating the film suction stage 161 along the same direction as the third stage moving unit 173. The first, second, and fourth stage moving units 171, 172, and 174 may be linear motors, and the third and fifth stage moving units 173 and 175 may be rotating motors.

이처럼 5축 이동 구조를 갖는 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)는 제어부의 제어에 의해 제1 내지 제3 스테이지 이동부(171~173)가 먼저 동작되어 필름 흡착 스테이지(161)의 얼라인 작업을 1차로 진행하고, 이어 제4 및 제5 스테이지 이동부(174,175)가 동작되어 필름 흡착 스테이지(161)의 미세 얼라인 작업을 2차로 진행하는 방식을 적용하고 있기 때문에 보다 정밀하고 정확한 얼라인 작업이 진행될 수 있다.In this way, the stage moving unit 170 for the film aligning unit having the five-axis moving structure controls the first to third stage moving units 171 to 173 under the control of the control unit to perform the aligning operation of the film suction stage 161 And the fourth and fifth stage moving parts 174 and 175 are operated so that the fine alignment operation of the film suction stage 161 is progressed secondarily, Can proceed.

특히, 본 실시예의 경우에는 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)가 부착 롤러(162)의 센터 라인(C/L)을 기준으로 기능성 필름이 흡착된 필름 흡착 스테이지(161)를 얼라인하고 있기 때문에 항상 일정한 위치에서 기능성 필름의 부착 공정이 진행될 수 있으며, 이에 따라 기능성 필름의 부착 정도가 향상될 수 있다.Particularly, in the case of this embodiment, since the stage moving section 170 for film aligning aligns the film adsorption stage 161 on which the functional film is adsorbed based on the center line (C / L) of the attaching roller 162 The process of attaching the functional film can always proceed at a certain position, and thus the degree of attachment of the functional film can be improved.

본 실시예의 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)에는 틸팅부(176)가 더 마련된다. 틸팅부(176)는 도 17처럼 수직 방향으로 나란하게 배치되던 필름 흡착 스테이지(161)를 수직축선에 대하여 미리 결정된 각도만큼, 즉 도 15처럼 필름 흡착 스테이지(161)를 경사지게 틸팅(tilting)시키는 역할을 한다. 도 15처럼 필름 흡착 스테이지(161)가 틸팅되고 부착 롤러(162)가 기능성 필름을 패널 측(P1)으로 가압한 이후에, 부착 롤러(162)가 회전되면서 P2 방향으로 이동되도록 함으로써 기능성 필름의 부착 공정을 진행할 수 있다.The tilting portion 176 is further provided in the stage moving portion 170 for the film aligning of the present embodiment. The tilting portion 176 tilts the film adsorption stage 161 arranged in the vertical direction as shown in FIG. 17 by a predetermined angle with respect to the vertical axis, that is, tilting the film adsorption stage 161 as shown in FIG. 15 . After the film attracting stage 161 is tilted as shown in Fig. 15 and the attaching roller 162 presses the functional film toward the panel side P1, the attaching roller 162 is moved in the P2 direction while being rotated, The process can be carried out.

도 15의 P1 방향으로 부착 롤러(162)가 패널에 접근되거나 그 반대로 이격 구동될 수 있도록 롤러 액추에이터(164)가 마련된다. 본 실시예에서 롤러 액추에이터(164)는 저마찰 실린더로 적용된다. 따라서 부착 롤러(162)가 패널에 과도한 압력으로 가압되는 현상을 적절하게 예방할 수 있다.A roller actuator 164 is provided so that the attachment roller 162 in the direction of P1 in Figure 15 can be moved closer to the panel or vice versa. In this embodiment, the roller actuator 164 is applied as a low friction cylinder. Therefore, the phenomenon that the attaching roller 162 is pressed against the panel with excessive pressure can be suitably prevented.

부착 롤러(162)의 주변에는 한 쌍의 평행도 측정센서(165)가 마련된다. 평행도 측정센서(165)들은 부착 롤러(162)의 주변에 배치되어 패널의 표면에 대한 부착 롤러(162)의 평행도를 측정하는 역할을 한다.A pair of parallelism measuring sensors 165 are provided around the attaching roller 162. The parallelism measuring sensors 165 are disposed around the attaching roller 162 to measure the degree of parallelism of the attaching roller 162 to the surface of the panel.

이하, 기능성 필름 부착장치의 작용을 설명한다.Hereinafter, the function of the functional film adhering apparatus will be described.

우선, 일측에 보호필름이 부착되어 있는 패널이 인덱스 테이블(110)의 제1 스테이션(#1)에 위치된 수직형 스테이지(112)로 이송되어 수직형 스테이지(112) 상에 진공으로 흡착되면서 로딩된다.First, a panel having a protective film on one side is transferred to a vertical stage 112 located at the first station # 1 of the index table 110, and vacuum adsorbed on the vertical stage 112, do.

패널이 흡착되어 로딩되면 인덱스 테이블(110)이 테이블 회전 구동부(115)에 의해 90도만큼 회전된다. 따라서 패널은 제2 스테이션(#2)으로 옮겨지며, 제1 스테이션(#1)에 위치된 빈 수직형 스테이지(112)로 다시 새로운 패널이 이송되어 흡착 로딩된다.When the panel is adsorbed and loaded, the index table 110 is rotated by 90 degrees by the table rotation driving unit 115. [ Thus, the panel is transferred to the second station # 2, and the new panel is transferred again to the empty vertical stage 112 located in the first station # 1 to be adsorbed and loaded.

한편, 수직형 스테이지(112) 상에 흡착된 패널이 제2 스테이션(#2)에 옮겨지면, 제2 스테이션(#2)에서 패널에 미리 부착되어 있는 보호필름을 프리(Pre) 박리시키는 프리 박리 공정, 패널에 대해 프리 박리된 보호필름을 박리 롤러(131)를 이용하여 패널로부터 완전히 박리시키는 1차 박리, 다시 말해 보호필름 박리 공정, 보호필름 박리 공정의 진행 시 박리 롤러(131)에 붙은 보호필름을 박리 롤러(131)에서 제거하는 2차 박리, 다시 말해 보호필름 제거 공정이 순차적으로 진행된다.On the other hand, when the panel adsorbed on the vertical stage 112 is transferred to the second station # 2, the preliminary peeling of the protective film previously attached to the panel in the second station # The protective film peeled off from the panel using the peeling roller 131, that is, the protective film peeling process, and the protection against the peeling roller 131 in the course of the protective film peeling process The second peeling process for removing the film from the peeling roller 131, that is, the process for removing the protective film, proceeds sequentially.

이에 대해 살펴보면, 우선 프리 박리 유닛(120)에 의해 프리 박리 공정이 진행된다. 즉 프리 박리 유닛(120)의 박리 나이프(121)가 도 5의 F 영역만큼 보호필름이 벗겨진 영역을 통해 패널과 보호필름의 선단부(E) 사이로 삽입된 후, 도 5의 화살표 X 방향으로 이동됨으로써 보호필름의 선단부(E) 영역에서 패널과 보호필름 간의 점착력이 제거, 즉 소멸되도록 하여 프리 박리 공정이 진행되도록 한다.In this regard, the pre-peeling unit 120 first carries out the pre-peeling process. That is, after the peeling knife 121 of the pre-peeling unit 120 is inserted between the panel and the front end E of the protective film through the area where the protective film is peeled by the area F in Fig. 5, The adhesive force between the panel and the protective film is removed or eliminated in the region of the front edge (E) of the protective film, thereby allowing the pre-peeling process to proceed.

프리 박리 공정 이후에는 보호필름 박리 유닛(130)에 의해 보호필름 박리 공정이 진행된다. 이때는 도 7처럼 박리 롤러(131)가 프리 박리된 보호필름의 선단부(도 5의 E) 외표면에 접촉되어 회전되고, 박리 유닛용 Z축 이동부(138)가 보호필름 박리 유닛(130)을 박리 유닛용 Z축 컬럼(137)의 Z축 방향을 따라 이동시킴에 따라 보호필름은 패널로부터 박리될 수 있다. 보호필름 박리 공정 시 패널로부터 박리된 보호필름은 박리 롤러(131)에 붙게 된다.After the pre-peeling process, the protective film peeling unit 130 advances the protective film peeling process. At this time, the peeling roller 131 is rotated in contact with the outer surface of the protective film (E in Fig. 5) of the pre-peeled protective film as shown in Fig. 7 and the Z axis moving part 138 for the peeling unit moves the protective film peeling unit 130 By moving along the Z-axis direction of the Z-axis column 137 for the peeling unit, the protective film can be peeled from the panel. The protective film peeled from the panel during the protective film peeling step is attached to the peeling roller 131.

보호필름 박리 공정 이후에는 보호필름 제거 유닛(150)에 의해 보호필름 제거 공정이 진행된다. 동작을 살펴보면, 박리 롤러(131)가 역회전되면서 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 하방으로 이동되고 이와 동시에 한 쌍의 벨트(152)가 회전됨에 따라 한 쌍의 벨트(152)가 박리 롤러(131)로부터 보호필름을 전달 받을 수 있다. 박리 롤러(131)에서 보호필름 리시버(152)로 보호필름이 완전히 전달되고 나면 보호필름 박리 유닛(130)은 인덱스 테이블(110) 쪽으로 상향 이동되는데, 이때 도 11 및 도 12처럼 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 안쪽에 들어있던 보호필름 푸셔(154)가 도 13처럼 전방으로 돌출되어 보호필름 리시버(152)에 임시로 붙어 있던 보호필름을 제거하게 된다. 제거된 보호필름은 아래쪽의 휴지통에 수거된다.After the protective film peeling process, the protective film removing unit 150 performs the protective film removing process. As the pair of belts 152 are rotated, the pair of belts 152 are separated from each other by the peeling roller (not shown) 131). ≪ / RTI > The protective film peeling unit 130 is moved upward to the index table 110 after the protective film is completely transferred from the peeling roller 131 to the protective film receiver 152. At this time, The protector film pusher 154 inside the protector 151 protrudes forward as shown in FIG. 13 to remove the protective film temporarily attached to the protector film receiver 152. The removed protective film is collected in the trash can at the bottom.

한편, 위와 같이 제2 스테이션(#2) 상에서 프리 박리 공정, 보호필름 박리 공정 및 보호필름 제거 공정이 진행되고 나면 인덱스 테이블(110)이 다시 90도만큼 회전된다. 따라서 보호필름이 박리된 패널은 제3 스테이션(#3)으로 옮겨진다.On the other hand, after the pre-peeling process, the protective film peeling process, and the protective film removing process are performed on the second station # 2, the index table 110 is rotated by 90 degrees again. Therefore, the panel with the protective film peeled is transferred to the third station # 3.

제3 스테이션(#3)에서는 보호필름이 제거된 패널의 표면, 즉 보호필름이 제거되어 기능성 필름이 부착될 기능성 필름 부착면 상에 이물이 존재하는 지의 여부를 검사하는 패널 검사 공정이 진행된다.In the third station # 3, a panel inspection process is performed to check whether the surface of the panel from which the protective film has been removed, that is, whether the protective film is removed and the foreign substance is present on the surface to which the functional film is to be attached.

제3 스테이션(#3)에서 패널 검사 공정이 진행된 패널은 인덱스 테이블(110)이 다시 90도만큼 회전됨에 따라 제4 스테이션(#4)으로 옮겨진다.The panel on which the panel inspection process is performed in the third station # 3 is moved to the fourth station # 4 as the index table 110 is rotated by 90 degrees again.

제4 스테이션(#4)에서는 보호필름이 박리된 패널 및 패널에 부착될 기능성 필름, 예컨대 편광필름 간의 상대적인 얼라인(align) 작업을 진행된 이후에, 비로소 패널에 기능성 필름이 부착되는 기능성 필름 부착 공정이 진행된다.In the fourth station (# 4), after the relative alignment between the panel on which the protective film is peeled and the functional film to be attached to the panel, for example, the polarizing film, is proceeded, the functional film adhering process .

이에 대해 살펴보면, 우선 카메라로 적용되는 감지부가 기능성 필름의 위치를 확인하여 그 정보를 제어부로 보낸다.First, the sensing unit applied to the camera confirms the position of the functional film and sends the information to the control unit.

그러면 제어부에서는 보정값을 토대로 하여 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)의 동작을 제어하여 필름 흡착 스테이지(161)의 얼라인 작업을 진행한다. 즉 제1 내지 제3 스테이지 이동부(171~173)가 먼저 동작되어 필름 흡착 스테이지(161)의 얼라인 작업을 1차로 진행하며, 이어 제4 및 제5 스테이지 이동부(174,175)가 동작되어 필름 흡착 스테이지(161)의 미세 얼라인 작업을 2차로 진행함으로써 필름 흡착 스테이지(161)의 얼라인 작업을 완료한다.Then, the control unit controls the operation of the stage moving unit 170 for aligning the film based on the correction value, thereby advancing the aligning operation of the film suction stage 161. That is, the first to third stage moving parts 171 to 173 are operated first to advance the aligning operation of the film suction stage 161 first, and then the fourth and fifth stage moving parts 174 and 175 are operated, The aligning operation of the film adsorption stage 161 is completed by advancing the fine alignment work of the adsorption stage 161 to the second stage.

필름 흡착 스테이지(161)의 얼라인 작업이 완료되면 도 15처럼 필름 흡착 스테이지(161)가 틸팅되며, 부착 롤러(162)가 기능성 필름을 패널 측(P1)으로 가압한 이후에, 부착 롤러(162)가 회전되면서 P2 방향으로 이동되도록 함으로써 기능성 필름의 부착 공정을 진행할 수 있다. 기능성 필름인 부착된 패널은 후공정으로 이송된다.When the aligning operation of the film adsorption stage 161 is completed, the film adsorption stage 161 is tilted as shown in FIG. 15, and after the application roller 162 presses the functional film toward the panel side P1, Is moved in the P2 direction while being rotated, so that the process of attaching the functional film can be performed. The attached panel, which is a functional film, is conveyed to a post-process.

이와 같은 구조와 동작을 갖는 본 실시예에 따르면, 필름이 부착되는 수직형 스테이지(112)의 진공압을 조절할 수 있어 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정의 특성에 맞게 패널을 효율적으로 흡착할 수 있으며, 나아가 다양한 사이즈의 패널이 겸용으로 사용될 수 있어 사용범위를 확장시킬 수 있게 된다.According to the present embodiment having such a structure and operation, it is possible to control the vacuum pressure of the vertical type stage 112 on which the film is attached, so that the panel loading / unloading process, the protective film peeling process, the panel inspection process, The panel can be efficiently sucked according to the characteristics of the panel, and furthermore, panels of various sizes can be used for both, which makes it possible to expand the use range.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

110 : 인덱스 테이블 111 : 테이블 바디
112 : 수직형 스테이지 113 : 테이블 지지체
114 : 진공모듈 116 : 고진공 파트
117 : 저진공 파트 120 : 프리 박리 유닛
121 : 박리 나이프 122 : 프리 박리용 X축 샤프트
123 : 프리 박리용 X축 슬라이더 124 : 나이프 클램프 모듈
124a : 나이프용 고정 클램프 124b : 나이프용 가동 클램프
124c : 나이프용 클램프 구동부 125 : 박리 나이프용 Y축 이동부
130 : 보호필름 박리 유닛 131 : 박리 롤러
132 : 필름 박리용 메인 바디 133 : 필름 박리용 서브 바디
134 : 필름 박리용 액추에이터 135 : 롤러 클램프 모듈
136 : 보조 롤러 137 : 박리 유닛용 Z축 컬럼
138 : 박리 유닛용 Z축 이동부 140 : 롤러 공급 유닛
141 : 롤러 공급용 유닛 바디 142 : 롤러 거치대
143 : 바디 결합부 150 : 보호필름 제거 유닛
151 : 필름 제거용 유닛 플레이트 152 : 보호필름 리시버
153 : 회전식 보호필름 척킹모듈 153a : 회전 바아
153b : 보호필름 척킹부재 154 : 보호필름 푸셔
155 : 벨트 회전 구동부 156 : 바아 회전 구동부
160 : 기능성 필름 부착 유닛 161 : 필름 흡착 스테이지
162 : 부착 롤러 164 : 롤러 액추에이터
165 : 평행도 측정센서 170 : 필름 얼라인용 스테이지 이동부
110: index table 111: table body
112: vertical type stage 113: table support
114: Vacuum module 116: High vacuum part
117: low vacuum part 120: pre-peeling unit
121: peeling knife 122: X-axis shaft for preliminary peeling
123: X-axis slider for pre-peeling 124: Knife clamp module
124a: Fixing clamp for knife 124b: Movable clamp for knife
124c: Clamp driving part for knife 125: Y-axis moving part for peeling knife
130: protective film peeling unit 131: peeling roller
132: Main body for film peeling 133: Sub-body for film peeling
134: Film peeling actuator 135: Roller clamp module
136: Auxiliary roller 137: Z-axis column for peeling unit
138: Z-axis moving part for peeling unit 140: roller feed unit
141: unit for roller supply body 142: roller holder
143: Body coupling part 150: Protective film removing unit
151: Film removing unit plate 152: Protective film receiver
153: Rotary protective film chucking module 153a: rotating bar
153b: protective film chucking member 154: protective film pusher
155: Belt rotation driving part 156: Bar rotation driving part
160: Functional film attaching unit 161: Film adsorption stage
162: attaching roller 164: roller actuator
165: parallelism measuring sensor 170: stage moving part for film aligning

Claims (22)

패널에 대한 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 진행되도록 상기 패널이 진공으로 흡착되는 장소를 형성하되 상기 패널의 흡착면이 고진공 파트(high suction part)와 저진공 파트(low suction part)로 분리되는 스테이지를 구비하는 테이블; 및
상기 스테이지에 연결되어 상기 스테이지의 흡착면에 진공압을 발생시키는 진공모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
A panel is attached to the suction surface of the panel in such a way that the panel is loaded with a high suction part so that the panel is loaded and unloaded, the protective film peeling process, the panel inspection process, A table having a stage separated into a low suction part and a low suction part; And
And a vacuum module connected to the stage and generating a vacuum pressure on an adsorption surface of the stage.
제1항에 있어서,
상기 고진공 파트는,
대다수의 면을 형성하는 고진공 제1 파트; 및
상기 스테이지의 흡착면에서 상기 고진공 제1 파트의 상부 영역에 형성되되 상기 고진공 제1 파트의 영역보다 작은 영역을 형성하며, 상기 고진공 제1 파트보다 강한 진공압이 형성되는 고진공 제2 파트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
The method according to claim 1,
The high-
A first high vacuum part forming a majority of the surfaces; And
And a high vacuum second part formed on an upper surface of the high vacuum first part on an adsorption surface of the stage and forming a region smaller than a region of the high vacuum first part and having a stronger vacuum pressure than the high vacuum first part, Wherein the functional film is attached to the functional film.
제2항에 있어서,
상기 고진공 제1 파트는 다수의 고진공홀에 의해 형성되며,
상기 고진공 제2 파트는 다수의 고진공홀 상에 진공 패드 또는 우레탄 코팅을 부가함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the high vacuum first part is formed by a plurality of high vacuum holes,
Wherein the high vacuum second part is formed by adding a vacuum pad or a urethane coating on a plurality of high vacuum holes.
제2항에 있어서,
상기 고진공 제1 파트는 다수의 그룹(group)으로 분할되어 개별적으로 관리되며,
상기 고진공 제2 파트는 상기 보호필름 박리 공정 시 사용되는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the high vacuum first part is divided into a plurality of groups and individually managed,
Wherein the high vacuum second part is used in the protective film peeling process.
제1항에 있어서,
상기 저진공 파트는 개별적으로 구동 가능한 다수의 포트(port)로 구획되며,
상기 저진공 파트의 영역이 상기 고진공 파트의 영역보다 큰 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
The method according to claim 1,
The low vacuum part is divided into a plurality of individually actuatable ports,
Wherein the area of the low vacuum part is larger than the area of the high vacuum part.
제1항에 있어서,
상기 테이블은 인덱스 테이블이고,
상기 스테이지는 상기 인덱스 테이블의 둘레면에 형성되어 상기 패널이 수직되게 흡착되는 수직형 스테이지인 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
The method according to claim 1,
The table is an index table,
Wherein the stage is a vertical stage formed on a circumferential surface of the index table and vertically attracting the panel.
제6항에 있어서,
상기 인덱스 테이블을 지지하는 테이블 지지체를 더 포함하며,
상기 진공모듈은 상기 테이블 지지체 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
The method according to claim 6,
Further comprising a table support for supporting the index table,
Wherein the vacuum module is disposed within the table support.
제7항에 있어서,
상기 테이블 지지체에 마련되어 상기 테이블 지지체 상에서 상기 인덱스 테이블을 단계적으로 회전 구동시키는 테이블 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
8. The method of claim 7,
Further comprising: a table rotation driving unit that is provided on the table support and rotates the index table stepwise on the table support.
제1항에 있어서,
상기 테이블의 일측에 배치되며, 상기 패널과 상기 보호필름의 선단부 간의 점착력이 제거되도록 상기 패널과 상기 보호필름의 선단부 사이로 삽입되어 상기 패널에 대한 상기 보호필름의 선단부를 프리(Pre) 박리시키는 박리 나이프를 구비하는 프리 박리 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
The method according to claim 1,
A peeling knife which is disposed at one side of the table and inserted between the front end of the panel and the protective film so as to remove the adhesive force between the panel and the front end portion of the protective film to peel the front end portion of the protective film against the panel, And a releasing unit for releasing the releasing film from the releasing unit.
제9항에 있어서,
상기 프리 박리 유닛은,
상기 패널 상에서 상기 박리 나이프가 이동되는 방향인 X축 방향을 따라 배치되는 프리 박리용 X축 샤프트;
상기 프리 박리용 X축 샤프트에 결합되어 상기 X축 방향을 따라 이동되는 프리 박리용 X축 슬라이더; 및
상기 프리 박리용 X축 슬라이더에 마련되며, 상기 박리 나이프를 클램프시키는 나이프 클램프 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
10. The method of claim 9,
The pre-
An X-axis shaft for preliminary separation disposed along the X-axis direction in which the separation knife is moved on the panel;
An X-axis slider for pre-peeling which is coupled to the X-axis shaft for pre-peeling and is moved along the X-axis direction; And
And a knife clamp module provided on the X-axis slider for pre-peeling and clamping the peeling knife.
제1항에 있어서,
상기 보호필름의 단부 외표면에 접촉되어 구름 이동되면서 상기 보호필름을 상기 패널로부터 박리시키는 박리 롤러를 구비하는 보호필름 박리 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
The method according to claim 1,
And a peeling roller for peeling off the protective film from the panel while rolling on the outer surface of the end portion of the protective film.
제11항에 있어서,
상기 보호필름 박리 유닛은,
필름 박리용 메인 바디;
단부 영역에서 상기 박리 롤러가 회전 가능하게 결합되며, 상기 필름 박리용 메인 바디에 상대 이동 가능하게 결합되는 필름 박리용 서브 바디; 및
상기 필름 박리용 메인 바디에 대하여 상기 필름 박리용 서브 바디의 이동을 위한 동력을 발생시키는 필름 박리용 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
12. The method of claim 11,
Wherein the protective film peeling unit comprises:
Main body for film peeling;
A film peeling sub-body rotatably coupled to the peeling roller in an end region and coupled to the main body for film peeling so as to be relatively movable; And
And a film peeling actuator for generating a power for moving the sub-body for peeling off the film to the main body for film peeling.
제12항에 있어서,
상기 보호필름 박리 유닛은,
상기 필름 박리용 서브 바디에 마련되어 상기 박리 롤러를 회전 가능하게 클램프시키는 롤러 클램프 모듈; 및
상기 필름 박리용 서브 바디 상에서 상기 박리 롤러에 이웃하게 배치되는 보조 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
13. The method of claim 12,
Wherein the protective film peeling unit comprises:
A roller clamp module provided on the sub-body for peeling the film and rotatably clamping the peeling roller; And
Further comprising an auxiliary roller disposed adjacent to the peeling roller on the film separating sub-body.
제11항에 있어서,
상기 보호필름 박리 유닛과 상호 작용하여 상기 보호필름 박리 시 상기 박리 롤러에 되감겨 붙은 보호필름을 상기 박리 롤러에서 제거하는 보호필름 제거 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
12. The method of claim 11,
Further comprising a protective film removing unit for removing the protective film, which is wound on the peeling roller, from the peeling roller in cooperation with the protective film peeling unit and peeling off the protective film.
제14항에 있어서,
상기 보호필름 제거 유닛은,
필름 제거용 유닛 플레이트;
상기 필름 제거용 유닛 플레이트에 마련되어 상기 박리 롤러로부터 상기 보호필름을 전달 받는 보호필름 리시버; 및
상기 필름 제거용 유닛 플레이트의 상부 영역에서 회전 가능하게 배치되며, 상기 박리 롤러에서 상기 필름 제거용 유닛 플레이트 쪽으로 전달되는 상기 보호필름의 단부 영역을 척킹하는 회전식 보호필름 척킹모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
15. The method of claim 14,
Wherein the protective film removing unit comprises:
A unit plate for film removal;
A protective film receiver provided on the unit plate for removing the film and receiving the protective film from the peeling roller; And
And a rotary protective film chucking module rotatably disposed in an upper region of the film removing unit plate and chucking an end region of the protective film transferred from the peeling roller toward the film removing unit plate. Functional film attachment device.
제15항에 있어서,
상기 보호필름 제거 유닛은,
상기 필름 제거용 유닛 플레이트의 중앙 영역에서 전방으로 돌출 가능하게 배치되어 상기 보호필름 리시버에 전달된 보호필름을 가압력에 의해 상기 보호필름 리시버로부터 분리시키는 보호필름 푸셔를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
16. The method of claim 15,
Wherein the protective film removing unit comprises:
Further comprising a protective film pusher disposed to protrude forward from a central region of the film removing unit plate and separating the protective film transferred to the protective film receiver from the protective film receiver by a pressing force. Attaching device.
제1항에 있어서,
상기 테이블에 대해 상대 이동 가능하게 배치되어 상기 패널에 상기 기능성 필름을 부착시키는 기능성 필름 부착 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a functional film attaching unit disposed to be movable relative to the table and attaching the functional film to the panel.
제17항에 있어서,
상기 기능성 필름 부착 유닛은,
상기 기능성 필름이 진공압으로 흡착되는 필름 흡착 스테이지;
상기 필름 흡착 스테이지에 이웃하게 배치되며, 상기 기능성 필름의 표면에 접촉 가압되어 상기 패널 상으로 구름 이동되면서 상기 기능성 필름을 상기 패널에 부착시키는 부착 롤러; 및
상기 부착 롤러의 센터 라인을 기준으로 상기 기능성 필름이 얼라인될 수 있도록 상기 필름 흡착 스테이지를 임의 방향으로 위치 이동시키는 필름 얼라인용 스테이지 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
18. The method of claim 17,
The functional film attaching unit includes:
A film adsorption stage in which the functional film is adsorbed by vacuum pressure;
An attachment roller disposed adjacent to the film adsorption stage and contacting the surface of the functional film to roll the adhesive film on the panel and attaching the functional film to the panel; And
And a stage moving unit for moving the film suction stage in an arbitrary direction so that the functional film can be aligned with respect to the center line of the attaching roller.
제18항에 있어서,
상기 필름 얼라인용 스테이지 이동부는,
상기 부착 롤러의 센터 라인 방향인 X1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 이동시키는 제1 스테이지 이동부;
상기 X1 방향에 교차되는 Z1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 이동시키는 제2 스테이지 이동부;
상기 X1 좌표와 상기 Z1 좌표에 의해 형성되는 평면 상에서 상기 필름 흡착 스테이지를 T1 방향을 따라 회전시키는 제3 스테이지 이동부;
상기 제2 스테이지 이동부와 동일한 상기 Z1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 미세 이동시키는 제4 스테이지 이동부; 및
상기 제3 스테이지 이동부와 동일한 상기 T1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 미세 회전시키는 제5 스테이지 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
19. The method of claim 18,
Wherein the stage moving unit for the film aligner includes:
A first stage moving part moving the film suction stage along a direction X1 which is the center line direction of the attaching roller;
A second stage moving unit moving the film suction stage along a Z1 direction intersecting with the X1 direction;
A third stage moving unit for rotating the film adsorption stage along a direction T1 in a plane formed by the X1 coordinate and the Z1 coordinate;
A fourth stage moving unit for finely moving the film suction stage along the Z1 direction same as the second stage moving unit; And
And a fifth stage moving unit for fine-rotating the film suction stage along the direction of the same T1 as the third stage moving unit.
제18항에 있어서,
상기 필름 얼라인용 스테이지 이동부는,
상기 필름 흡착 스테이지를 수직축선에 대하여 미리 결정된 각도만큼 틸팅(tilting)시키는 틸팅부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
19. The method of claim 18,
Wherein the stage moving unit for the film aligner includes:
Further comprising a tilting portion for tilting the film suction stage by a predetermined angle with respect to a vertical axis line.
제18항에 있어서,
상기 기능성 필름 부착 유닛은,
상기 부착 롤러와 연결되며, 상기 부착 롤러를 상기 패널에 접근 또는 이격 구동시키는 롤러 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
19. The method of claim 18,
The functional film attaching unit includes:
And a roller actuator connected to the attaching roller for moving the attaching roller toward or away from the panel.
제1항에 있어서,
상기 패널은 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 플렉서블 패널(flexible panel)이며,
상기 기능성 필름은 상기 패널에 부착되어 빛을 편광시키는 편광필름인 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
The method according to claim 1,
The panel is a flexible panel for OLED (Organic Light Emitting Diodes)
Wherein the functional film is a polarizing film attached to the panel to polarize light.
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Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100499571B1 (en) * 2002-11-20 2005-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Apparatus for bonding the touchscreen to LCD panel and method for bonding the same
KR100622410B1 (en) * 2004-05-21 2006-09-19 주식회사 휘닉스 디지탈테크 Tft-lcd module assembly assembling apparatus and tft-lcd module assembly assembling method using the same
KR20080071337A (en) * 2007-01-30 2008-08-04 삼성전자주식회사 Apparatus for removing protection film of polarizer and method thereof
JP5010652B2 (en) * 2009-08-19 2012-08-29 株式会社東芝 Sheet peeling apparatus and display device manufacturing method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190073962A (en) * 2017-12-19 2019-06-27 성진세미텍주식회사 Film separating device

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