KR20140052310A - Apparatus for attaching functional film - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 기능성 필름 부착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 필름이 부착되는 스테이지의 진공압을 조절할 수 있어 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정의 특성에 맞게 패널을 효율적으로 흡착할 수 있으며, 나아가 다양한 사이즈의 패널이 겸용으로 사용될 수 있어 사용범위를 확장시킬 수 있는 기능성 필름 부착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a functional film adhering apparatus, and more particularly, to a functional film adhering apparatus capable of adjusting the vacuum pressure of a stage to which a film is attached, The present invention relates to a functional film attaching apparatus capable of effectively absorbing a panel according to characteristics and further expanding the use range of a panel of various sizes.
최근 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 역시 발전을 계속하고 있다. 평판디스플레이에는 LCD(liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.Recently, as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, flat panel displays (FPDs) have continued to develop. Flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and organic light emitting diodes (OLEDs).
평판디스플레이 중에서도 특히, OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와, 능동형인 AMOLED로 나뉜다.Among flat panel displays, OLEDs are divided into passive PMOLEDs and active AMOLEDs depending on the driving method.
AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다.AMOLED is a self-emissive display that has a faster response speed than conventional displays, has a natural color and has low power consumption.
그리고 AMOLED는 글라스 패널(glass panel)이 아닌 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 플렉서블 패널(flexible panel) 등에 적용하면 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)의 기술을 구현할 수 있게 된다.And AMOLED can be applied to a flexible panel which can be thin and easily bent instead of a glass panel, so that the technology of a flexible display can be realized.
이러한 OLED를 제조하는 공정에는 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정, 패널에 기능성 필름을 부착하는 기능성 필름 부착공정 등 다양한 공정이 있다.Such OLED manufacturing processes include a pattern forming process, an organic thin film deposition process, a sealing process, a substrate on which an organic thin film is deposited and a substrate on which a sealing process is performed, a functional film attaching process for attaching a functional film to a panel And so on.
한편, 기능성 필름 부착공정은 소위, 기능성 필름 부착장치를 통해 수행될 수 있다.On the other hand, the process of adhering the functional film can be carried out through a so-called functional film adhering apparatus.
이때, 기능성 필름 부착장치에 사용되는 패널은 유리 재질로 된 비교적 두꺼운 글라스 패널(glass panel)일 수도 있고, 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 플렉서블 패널(flexible panel)일 수도 있다.At this time, the panel used in the functional film attaching device may be a relatively thick glass panel made of a glass material, or a flexible panel capable of being thin and easily bendable.
글라스 패널은 기능성 필름이 부착되는 기능성 필름 부착면에 보호필름이 부착되어 있지 않는 경우가 대부분이다. 때문에 이러한 글라스 패널을 기능성 필름 부착장치에 적용할 때는 보호필름을 박리하는 공정 없이 예컨대 편광필름과 같은 기능성 필름을 곧바로 글라스 패널에 부착시킬 수 있다.In most cases, the protective film is not attached to the surface of the glass panel where the functional film is attached. Therefore, when such a glass panel is applied to a functional film attaching apparatus, a functional film such as a polarizing film can be directly attached to the glass panel without peeling the protective film.
하지만, 플렉서블 패널의 경우에는 쉽게 휘어질 수 있는 플렉서블 패널을 보호하기 위해 비교적 두꺼운 보호필름이 일정한 점착력 이상으로 미리 부착되어 있는 경우가 대부분이다.However, in the case of the flexible panel, in order to protect the flexible panel which can be easily bent, a relatively thick protective film is often attached in advance in excess of the predetermined adhesive force.
플렉서블 패널처럼 보호필름이 부착되어 있는 패널에 기능성 필름을 부착하기 위해서는 우선, 패널에 부착되어 있는 보호필름을 박리한 다음에 그 자리에 기능성 필름을 부착해야 한다.In order to attach a functional film to a panel having a protective film such as a flexible panel, the protective film attached to the panel must first be peeled off, and then the functional film must be adhered to the panel.
이때, 기능성 필름이 패널에 부착되기 전에는 보호필름이 제거되어 기능성 필름이 부착될 기능성 필름 부착면 상에 이물이 존재하는 지의 여부를 검사해야 한다.At this time, before the functional film is adhered to the panel, the protective film is removed and it is inspected whether or not the foreign substance is present on the functional film adhering surface to which the functional film is to be adhered.
결과적으로, 패널에 기능성 필름을 부착시키는 일련의 작업이 진행된다는 의미는, 작업 대상의 패널이 로딩(loading)되거나 작업 완료된 패널이 언로딩(unloading)되는 패널 로딩/언로딩 공정, 패널 상의 보호필름을 박리하는 보호필름 박리 공정, 보호필름이 박리된 패널 면에 대한 이물의 존재 여부를 검사하는 패널 검사 공정, 예컨대 편광필름과 같은 기능성 필름을 패널에 부착시키는 기능성 필름 부착 공정의 총 4가지 공정을 차례로 진행하는 것을 의미한다.As a result, the series of operations for attaching the functional film to the panel means that the panel loading / unloading process in which the panel to be worked is loaded or unloaded, the protective film on the panel A panel inspecting step for inspecting the presence or absence of foreign matter on the panel surface from which the protective film has been peeled off, for example, a process for attaching a functional film such as a polarizing film to a panel, It means to proceed in turn.
한편, 이러한 공정들을 진행하기 위해서는 우선 패널이 지지되는 스테이지가 마련되어야 하고, 스테이지의 표면에 패널이 진공으로 흡착되어야 하며, 그래야만 전술한 공정을 용이하게 수행할 수 있다.In order to proceed with these processes, a stage for supporting the panel must first be provided, and the panel must be vacuum-adsorbed on the surface of the stage so that the above-described process can be easily performed.
다만, 패널이 플렉서블 패널이어서 쉽게 구부러질 수 있는, 다시 말해 컬(curl) 현상이 발생될 수 있다는 점을 감안할 때, 스테이지의 진공압이 강하지 않을 경우에는 패널이 스테이지의 표면에 면접촉되지 못하고 들뜰 우려가 있다.Considering that the panel is a flexible panel and can be bent easily, that is, a curl phenomenon may occur, if the vacuum pressure of the stage is not strong, the panel may not be in surface contact with the surface of the stage, There is a concern.
패널이 스테이지의 표면에 흡착되기는 하였지만 컬 현상으로 인해 들뜬 상태로 흡착된 경우, 특히 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 용이하게 수행되기 어렵다. 그렇다고 해서 스테이지의 진공압을 과도하게 강하게 유지할 경우에는 패널이 스테이지의 표면에 들뜨지 않고 면접촉되면서 흡착될 수는 있지만 이러한 경우에는 과도한 흡착력으로 인해 패널 로딩/언로딩 공정에 어려움이 따를 수 있다.Although the panel is adsorbed on the surface of the stage, it is difficult to easily carry out the protective film peeling process, the panel inspection process, and the functional film adhering process particularly when adsorbed in the excited state due to the curling phenomenon. However, if the vacuum pressure of the stage is kept excessively strong, the panel may be adsorbed while being in surface contact with the surface of the stage, but in this case, the panel loading / unloading process may be difficult due to excessive adsorption force.
이처럼 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정의 해당 공정 특성에 맞게 스테이지의 진공압을 효율적으로 조절할 수 있도록 하는 방안이 요구된다.Thus, there is a need for a method for efficiently controlling the vacuum pressure of the stage in accordance with the process characteristics of the panel loading / unloading process, protective film peeling process, panel inspection process, and functional film adhering process.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 필름이 부착되는 스테이지의 진공압을 조절할 수 있어 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정의 특성에 맞게 패널을 효율적으로 흡착할 수 있으며, 나아가 다양한 사이즈의 패널이 겸용으로 사용될 수 있어 사용범위를 확장시킬 수 있는 기능성 필름 부착장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method and a device for controlling a vacuum pressure of a stage on which a film is adhered, by which a panel can be efficiently and efficiently adjusted in accordance with characteristics of a panel loading / unloading process, a protective film peeling process, And can be used in combination with panels of various sizes, so that it is possible to expand the use range of the functional film.
본 발명의 일 측면에 따르면, 패널에 대한 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 진행되도록 상기 패널이 진공으로 흡착되는 장소를 형성하되 상기 패널의 흡착면이 고진공 파트(high suction part)와 저진공 파트(low suction part)로 분리되는 스테이지를 구비하는 테이블; 및 상기 스테이지에 연결되어 상기 스테이지의 흡착면에 진공압을 발생시키는 진공모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a plasma display panel in which a panel is vacuum-sucked so that a panel loading / unloading process, a protective film peeling process, a panel inspection process, A table having a stage separated into a high suction part and a low suction part; And a vacuum module connected to the stage and generating a vacuum pressure on an adsorption surface of the stage.
상기 고진공 파트는, 대다수의 면을 형성하는 고진공 제1 파트; 및 상기 스테이지의 흡착면에서 상기 고진공 제1 파트의 상부 영역에 형성되되 상기 고진공 제1 파트의 영역보다 작은 영역을 형성하며, 상기 고진공 제1 파트보다 강한 진공압이 형성되는 고진공 제2 파트를 포함할 수 있다.Wherein the high vacuum part comprises: a high vacuum first part forming a majority of surfaces; And a high vacuum second part formed on an upper surface of the high vacuum first part on the adsorption surface of the stage and forming a region smaller than the area of the high vacuum first part and having a stronger vacuum pressure than the high vacuum first part can do.
상기 고진공 제1 파트는 다수의 고진공홀에 의해 형성될 수 있으며, 상기 고진공 제2 파트는 다수의 고진공홀 상에 진공 패드 또는 우레탄 코팅을 부가함으로써 형성될 수 있다.The high vacuum first part may be formed by a plurality of high vacuum holes and the high vacuum second part may be formed by adding a vacuum pad or a urethane coating on a plurality of high vacuum holes.
상기 고진공 제1 파트는 다수의 그룹(group)으로 분할되어 개별적으로 관리될 수 있으며, 상기 고진공 제2 파트는 상기 보호필름 박리 공정 시 사용될 수 있다.The high vacuum first part may be divided into a plurality of groups and managed separately, and the high vacuum second part may be used in the protective film peeling process.
상기 저진공 파트는 개별적으로 구동 가능한 다수의 포트(port)로 구획될 수 있으며, 상기 저진공 파트의 영역이 상기 고진공 파트의 영역보다 클 수 있다.The low vacuum part may be partitioned into a plurality of individually actuatable ports and the area of the low vacuum part may be larger than the area of the high vacuum part.
상기 테이블은 인덱스 테이블일 수 있고, 상기 스테이지는 상기 인덱스 테이블의 둘레면에 형성되어 상기 패널이 수직되게 흡착되는 수직형 스테이지일 수 있다.The table may be an index table, and the stage may be a vertical stage formed on the circumferential surface of the index table and vertically adsorbed by the panel.
상기 인덱스 테이블을 지지하는 테이블 지지체를 더 포함할 수 있으며, 상기 진공모듈은 상기 테이블 지지체 내에 배치될 수 있다.And a table support for supporting the index table, wherein the vacuum module can be disposed in the table support.
상기 테이블 지지체에 마련되어 상기 테이블 지지체 상에서 상기 인덱스 테이블을 단계적으로 회전 구동시키는 테이블 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.And a table rotation driving unit provided on the table support to rotate the index table stepwise on the table support.
상기 테이블의 일측에 배치되며, 상기 패널과 상기 보호필름의 선단부 간의 점착력이 제거되도록 상기 패널과 상기 보호필름의 선단부 사이로 삽입되어 상기 패널에 대한 상기 보호필름의 선단부를 프리(Pre) 박리시키는 박리 나이프를 구비하는 프리 박리 유닛을 더 포함할 수 있다.A peeling knife which is disposed at one side of the table and inserted between the front end of the panel and the protective film so as to remove the adhesive force between the panel and the front end portion of the protective film to peel the front end portion of the protective film against the panel, And a pre-peeling unit having a plurality of pre-peeling units.
상기 프리 박리 유닛은, 상기 패널 상에서 상기 박리 나이프가 이동되는 방향인 X축 방향을 따라 배치되는 프리 박리용 X축 샤프트; 상기 프리 박리용 X축 샤프트에 결합되어 상기 X축 방향을 따라 이동되는 프리 박리용 X축 슬라이더; 및 상기 프리 박리용 X축 슬라이더에 마련되며, 상기 박리 나이프를 클램프시키는 나이프 클램프 모듈을 포함할 수 있다.Wherein the pre-peeling unit comprises: an X-axis shaft for preliminary peeling, the X-axis shaft being disposed along an X-axis direction in which the peeling knife is moved on the panel; An X-axis slider for pre-peeling which is coupled to the X-axis shaft for pre-peeling and is moved along the X-axis direction; And a knife clamp module provided on the X-axis slider for pre-peeling and clamping the peeling knife.
상기 보호필름의 단부 외표면에 접촉되어 구름 이동되면서 상기 보호필름을 상기 패널로부터 박리시키는 박리 롤러를 구비하는 보호필름 박리 유닛을 더 포함할 수 있다.And a peeling roller for peeling off the protective film from the panel while rolling on the outer surface of the end portion of the protective film.
상기 보호필름 박리 유닛은, 필름 박리용 메인 바디; 단부 영역에서 상기 박리 롤러가 회전 가능하게 결합되며, 상기 필름 박리용 메인 바디에 상대 이동 가능하게 결합되는 필름 박리용 서브 바디; 및 상기 필름 박리용 메인 바디에 대하여 상기 필름 박리용 서브 바디의 이동을 위한 동력을 발생시키는 필름 박리용 액추에이터를 포함할 수 있다.The protective film peeling unit comprises: a main body for film peeling; A film peeling sub-body rotatably coupled to the peeling roller in an end region and coupled to the main body for film peeling so as to be relatively movable; And a film peeling actuator for generating power for moving the sub-body for peeling the film to the main body for film peeling.
상기 보호필름 박리 유닛은, 상기 필름 박리용 서브 바디에 마련되어 상기 박리 롤러를 회전 가능하게 클램프시키는 롤러 클램프 모듈; 및 상기 필름 박리용 서브 바디 상에서 상기 박리 롤러에 이웃하게 배치되는 보조 롤러를 더 포함할 수 있다.Wherein the protective film peeling unit comprises: a roller clamp module provided on the sub-body for film peeling and rotatably clamping the peeling roller; And an auxiliary roller disposed adjacent to the peeling roller on the film-separating sub-body.
상기 보호필름 박리 유닛과 상호 작용하여 상기 보호필름 박리 시 상기 박리 롤러에 되감겨 붙은 보호필름을 상기 박리 롤러에서 제거하는 보호필름 제거 유닛을 더 포함할 수 있다.And a protective film removing unit for removing the protective film, which is wound on the peeling roller when peeling off the protective film, from the peeling roller in cooperation with the protective film peeling unit.
상기 보호필름 제거 유닛은, 필름 제거용 유닛 플레이트; 상기 필름 제거용 유닛 플레이트에 마련되어 상기 박리 롤러로부터 상기 보호필름을 전달 받는 보호필름 리시버; 및 상기 필름 제거용 유닛 플레이트의 상부 영역에서 회전 가능하게 배치되며, 상기 박리 롤러에서 상기 필름 제거용 유닛 플레이트 쪽으로 전달되는 상기 보호필름의 단부 영역을 척킹하는 회전식 보호필름 척킹모듈을 포함할 수 있다.The protective film removing unit comprising: a film removing unit plate; A protective film receiver provided on the unit plate for removing the film and receiving the protective film from the peeling roller; And a rotatable protective film chucking module rotatably disposed in an upper region of the film removing unit plate and chucking an end region of the protective film transferred from the peeling roller toward the film removing unit plate.
상기 보호필름 제거 유닛은, 상기 필름 제거용 유닛 플레이트의 중앙 영역에서 전방으로 돌출 가능하게 배치되어 상기 보호필름 리시버에 전달된 보호필름을 가압력에 의해 상기 보호필름 리시버로부터 분리시키는 보호필름 푸셔를 더 포함할 수 있다.The protective film removing unit further includes a protective film pusher protruding forward from a central region of the film removing unit plate and separating the protective film transferred to the protective film receiver from the protective film receiver by a pressing force can do.
상기 테이블에 대해 상대 이동 가능하게 배치되어 상기 패널에 상기 기능성 필름을 부착시키는 기능성 필름 부착 유닛을 더 포함할 수 있다.And a functional film attaching unit disposed so as to be movable relative to the table and attaching the functional film to the panel.
상기 기능성 필름 부착 유닛은, 상기 기능성 필름이 진공압으로 흡착되는 필름 흡착 스테이지; 상기 필름 흡착 스테이지에 이웃하게 배치되며, 상기 기능성 필름의 표면에 접촉 가압되어 상기 패널 상으로 구름 이동되면서 상기 기능성 필름을 상기 패널에 부착시키는 부착 롤러; 및 상기 부착 롤러의 센터 라인을 기준으로 상기 기능성 필름이 얼라인될 수 있도록 상기 필름 흡착 스테이지를 임의 방향으로 위치 이동시키는 필름 얼라인용 스테이지 이동부를 포함할 수 있다.Wherein the functional film attaching unit comprises: a film adsorption stage in which the functional film is adsorbed by vacuum pressure; An attachment roller disposed adjacent to the film adsorption stage and contacting the surface of the functional film to roll the adhesive film on the panel and attaching the functional film to the panel; And a stage moving unit for moving the film suction stage in an arbitrary direction so that the functional film can be aligned with respect to the center line of the application roller.
상기 필름 얼라인용 스테이지 이동부는, 상기 부착 롤러의 센터 라인 방향인 X1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 이동시키는 제1 스테이지 이동부; 상기 X1 방향에 교차되는 Z1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 이동시키는 제2 스테이지 이동부; 상기 X1 좌표와 상기 Z1 좌표에 의해 형성되는 평면 상에서 상기 필름 흡착 스테이지를 T1 방향을 따라 회전시키는 제3 스테이지 이동부; 상기 제2 스테이지 이동부와 동일한 상기 Z1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 미세 이동시키는 제4 스테이지 이동부; 및 상기 제3 스테이지 이동부와 동일한 상기 T1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 미세 회전시키는 제5 스테이지 이동부를 포함할 수 있다.The stage moving part for the film aligning part may include a first stage moving part for moving the film suction stage along the X1 direction which is the center line direction of the attaching roller; A second stage moving unit moving the film suction stage along a Z1 direction intersecting with the X1 direction; A third stage moving unit for rotating the film adsorption stage along a direction T1 in a plane formed by the X1 coordinate and the Z1 coordinate; A fourth stage moving unit for finely moving the film suction stage along the Z1 direction same as the second stage moving unit; And a fifth stage moving unit for finely rotating the film suction stage along the direction of the same T1 as the third stage moving unit.
상기 필름 얼라인용 스테이지 이동부는, 상기 필름 흡착 스테이지를 수직축선에 대하여 미리 결정된 각도만큼 틸팅(tilting)시키는 틸팅부를 더 포함할 수 있다.The stage moving unit for the film aligning unit may further include a tilting unit tilting the film suction stage by a predetermined angle with respect to the vertical axis.
상기 기능성 필름 부착 유닛은, 상기 부착 롤러와 연결되며, 상기 부착 롤러를 상기 패널에 접근 또는 이격 구동시키는 롤러 액추에이터를 포함할 수 있다.The functional film attaching unit may include a roller actuator connected to the attaching roller and for moving the attaching roller to or away from the panel.
상기 패널은 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 플렉서블 패널(flexible panel)일 수 있으며, 상기 기능성 필름은 상기 패널에 부착되어 빛을 편광시키는 편광필름일 수 있다.The panel may be a flexible panel for OLED (Organic Light Emitting Diodes), and the functional film may be a polarizing film attached to the panel to polarize light.
본 발명에 따르면, 필름이 부착되는 스테이지의 진공압을 조절할 수 있어 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정의 특성에 맞게 패널을 효율적으로 흡착할 수 있으며, 나아가 다양한 사이즈의 패널이 겸용으로 사용될 수 있어 사용범위를 확장시킬 수 있다.According to the present invention, the vacuum pressure of the stage on which the film is adhered can be adjusted, and the panel can be efficiently adsorbed according to the characteristics of the panel loading / unloading process, protective film peeling process, panel inspection process, and functional film adhering process, Furthermore, panels of various sizes can be used for both, which can expand the range of use.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치의 동작을 설명하기 위한 인덱스 테이블의 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 제2 스테이션 영역의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 프리 박리 유닛의 확대 사시도이다.
도 4는 프리 박리 유닛을 다른 각도로 도시한 도면이다.
도 5는 프리 박리 유닛의 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 도 2에 도시된 보호필름 박리 유닛의 사시도이다.
도 7은 보호필름 박리 유닛에 의해 보호필름이 박리되는 과정을 도시한 모식도이다.
도 8은 롤러 공급 유닛의 사시도이다.
도 9는 롤러 공급 유닛과 보호필름 박리 유닛 간의 배치 구조도이다.
도 10은 보호필름 박리 유닛과 보호필름 제거 유닛 간의 배치 구조도이다.
도 11 내지 도 13은 각각 보호필름 제거 유닛의 동작을 단계적으로 도시한 도면들이다.
도 14는 인덱스 테이블과 기능성 필름 부착 유닛 간의 개략적인 배치도이다.
도 15는 패널에 기능성 필름이 부착되는 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 16은 필름 흡착 스테이지의 얼라인 방향을 설명하기 위한 도면이다.
도 17은 기능성 필름 부착 유닛의 사시도이다.
도 18은 인덱스 테이블 영역의 확대 사시도이다.
도 19는 수직형 스테이지의 확대도이다.1 is a schematic plan view of an index table for explaining an operation of the functional film adhering apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of the second station area of FIG.
3 is an enlarged perspective view of the pre peeling unit shown in Fig.
4 is a view showing the pre-peeling unit at different angles.
5 is a view schematically showing the operation of the pre-peeling unit.
6 is a perspective view of the protective film peeling unit shown in Fig.
7 is a schematic diagram showing a process of peeling the protective film by the protective film peeling unit.
8 is a perspective view of the roller supply unit.
9 is an arrangement structure between the roller supply unit and the protective film peeling unit.
10 is an arrangement structure between the protective film peeling unit and the protective film removing unit.
11 to 13 are diagrams showing the operation of the protective film removing unit in a stepwise manner, respectively.
14 is a schematic layout diagram between the index table and the functional film attaching unit.
15 is a view for explaining a process of attaching a functional film to a panel.
16 is a view for explaining the direction of alignment of the film adsorption stage.
17 is a perspective view of the functional film attaching unit.
18 is an enlarged perspective view of the index table area.
19 is an enlarged view of a vertical stage.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.
도면 대비 설명에 앞서, 기능성 필름이란, 빛을 최적의 조건으로 투과, 편광시키기 위해, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중에서 선택된 적어도 어느 한 평판디스플레이에 적용될 수 있는 다양한 종류의 광학 필름(혹은 시트(sheet)), 예컨대 EMI 필름, 프리즘 필름, 보호 필름, 확산 필름, 반사 필름, DBEF, PVA, TAC, 이형 필름, 보상 필름, 반사 방지 필름 등이 될 수 있지만 이하에서는 OLED용 플렉서블 패널(flexible panel)에 부착되어 빛을 편광시키는 편광필름을 가리키는 것으로 본다.Prior to describing the drawings, the functional film refers to a film having at least one flat panel display selected from a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP) and an organic light emitting diode (OLED) to transmit and polarize light under optimal conditions Reflective film, DBEF, PVA, TAC, release film, compensation film, antireflection film, etc., which can be applied to various types of optical films (or sheets) Hereinafter, the polarizing film is referred to as a polarizing film attached to a flexible panel for OLED to polarize light.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치의 동작을 설명하기 위한 인덱스 테이블의 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 제2 스테이션 영역의 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 프리 박리 유닛의 확대 사시도이고, 도 4는 프리 박리 유닛을 다른 각도로 도시한 도면이며, 도 5는 프리 박리 유닛의 동작을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 도 2에 도시된 보호필름 박리 유닛의 사시도이며, 도 7은 보호필름 박리 유닛에 의해 보호필름이 박리되는 과정을 도시한 모식도이고, 도 8은 롤러 공급 유닛의 사시도이며, 도 9는 롤러 공급 유닛과 보호필름 박리 유닛 간의 배치 구조도이고, 도 10은 보호필름 박리 유닛과 보호필름 제거 유닛 간의 배치 구조도이며, 도 11 내지 도 13은 각각 보호필름 제거 유닛의 동작을 단계적으로 도시한 도면들이고, 도 14는 인덱스 테이블과 기능성 필름 부착 유닛 간의 개략적인 배치도이며, 도 15는 패널에 기능성 필름이 부착되는 공정을 설명하기 위한 도면이고, 도 16은 필름 흡착 스테이지의 얼라인 방향을 설명하기 위한 도면이며, 도 17은 기능성 필름 부착 유닛의 사시도이고 도 18은 인덱스 테이블 영역의 확대 사시도이고, 도 19는 수직형 스테이지의 확대도이다.FIG. 1 is a schematic plan view of an index table for explaining the operation of the apparatus for attaching a functional film according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a second station area of FIG. 1, Fig. 5 is a view schematically showing the operation of the pre-peeling unit, and Fig. 6 is a cross-sectional view of the protective film shown in Fig. 2, FIG. 8 is a perspective view of the roller supply unit, and FIG. 9 is a perspective view showing the arrangement between the roller supply unit and the protective film peeling unit. FIG. 9 is a perspective view of the peeling unit, FIG. 10 is an arrangement structure between the protective film peeling unit and the protective film removing unit, and FIGS. 11 to 13 are views showing the operation of the protective film removing unit in a stepwise manner, 15 is a view for explaining a process in which a functional film is attached to a panel, FIG. 16 is a view for explaining the direction of alignment of a film adsorption stage, and FIG. FIG. 17 is a perspective view of the functional film attaching unit, FIG. 18 is an enlarged perspective view of an index table region, and FIG. 19 is an enlarged view of a vertical type stage.
이들 도면을 참조하되 우선 도 1, 도 18 및 도 10을 참조하여 본 실시예의 기능성 필름 부착장치의 동작을 간략하게 설명한다.Referring to these drawings, the operation of the functional film applying apparatus of this embodiment will be briefly described with reference to Figs. 1, 18, and 10. Fig.
우선, 본 실시예의 기능성 필름 부착장치에는 패널에 부착된 보호필름을 박리(제거)하고 제거된 자리에 예컨대 편광필름과 같은 기능성 필름을 부착시키기 위한 일련의 공정이 진행되는 장소로서 테이블(110)이 갖춰지는데, 이때의 테이블(110)은 인덱스 테이블(110)로 적용된다.First, in the functional film adhering apparatus of this embodiment, a table 110 is provided as a place where a protective film attached to a panel is removed (removed) and a series of processes for attaching a functional film such as a polarizing film, Wherein the table 110 at this time is applied to the index table 110.
인덱스 테이블(110)은 기능성 필름의 부착과 관련된 모든 공정이 진행되는 장소를 이룬다. 즉 작업 대상의 패널이 로딩(loading)되거나 작업 완료된 패널이 언로딩(unloading)되는 패널 로딩/언로딩 공정, 패널 상의 보호필름을 박리하는 보호필름 박리 공정, 보호필름이 박리된 패널 면에 대한 이물의 존재 여부를 검사하는 패널 검사 공정, 예컨대 편광필름과 같은 기능성 필름을 패널에 부착시키는 기능성 필름 부착 공정의 총 4가지 공정이 도 18과 같은 형태의 인덱스 테이블(110)을 통해 진행될 수 있다.The index table 110 is a place where all processes relating to the attachment of the functional film proceed. A panel loading / unloading process in which a panel to be processed is loaded or an unfinished panel is completed, a protective film peeling process in which a protective film on the panel is peeled, A process of attaching a functional film such as a polarizing film to a panel can be carried out through the index table 110 of the form as shown in Fig.
이를 위해, 인덱스 테이블(110)의 둘레면에는 다수의 즉 4개의 수직형 스테이지(112)가 마련되어 해당 위치에서 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 진행되도록 하고 있다.To this end, a plurality of four
이처럼 수직형 스테이지(112)들이 수직된 상태로 배치되고 흡착면에 패널이 진공으로 수직되게 흡착된 상태에서 위의 공정들이 진행되기 때문에 설사 파티클이 공중에 부양되더라도 패널로 안착되지 않아 불량 발생을 감소시킬 수 있는 이점이 있다.Since the above-described processes are performed in a state where the
이처럼 4개의 수직형 스테이지(112)를 구비하는 인덱스 테이블(110)이 적용되면 장치의 풋 프린트(foot print)를 감소시킬 수 있음은 물론 파티클에 의한 품질 불량 발생을 줄일 수 있으며, 나아가 택트 타임 감소에 따른 생산성 향상을 도모할 수 있어 유리한 측면이 있다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 본 발명이 반드시 수직형 스테이지(112)에 적용될 필요는 없다. 즉 수평형 스테이지에도 본 발명이 충분히 적용될 수 있다.When the index table 110 including four
인덱스 테이블(110)의 하부 영역에는 인덱스 테이블(110)을 지지하는 테이블 지지체(113)가 마련된다. 인덱스 테이블(110)은 테이블 지지체(113) 상에 올려져 지지될 수 있다.In the lower region of the index table 110, a
테이블 지지체(113)에는 진공홀(112a)들의 진공 형성을 위해 진공압을 발생시키는 진공모듈(114)이 마련된다. 진공모듈(114)은 진공탱크와 각종 라인을 모두 일컫는 용어일 수 있다.The
또한 테이블 지지체(113)에는 테이블 지지체(113) 상에서 인덱스 테이블(110)을 단계적으로 회전 구동시키는 테이블 회전 구동부(115)가 마련된다. 테이블 회전 구동부(115)는 예컨대 회전 모터 등으로 적용될 수 있다.The
이와 같은 테이블 회전 구동부(115)에 의해 인덱스 테이블(110)이 도 1의 화살표 방향으로 도 1처럼 한번에 90도씩 회전되면서 총 4개의 제1 내지 제4 스테이션(#1~#4)을 거치게 되며, 제4 스테이션(#4)까지 거치게 됨으로써 패널 상에 기능성 필름이 부착된다. 먼저 각 스테이션(#1~#4)에 대해 알아본다.The index table 110 is rotated by 90 degrees at a time as shown in FIG. 1 in the direction of the arrow in FIG. 1 by the table
제1 스테이션(#1)은 작업 대상의 패널이 로딩(loading)되거나 작업 완료된 패널이 언로딩(unloading)되는 패널 로딩/언로딩 공정 위치를 나타낸다. 4개의 수직형 스테이지(112)들이 제1 스테이션(#1)에 배치될 때, 패널이 해당 수직형 스테이지(112)의 표면에 흡착되어 로딩되거나 언로딩된다.The
즉 별도의 이송로봇에 의해 옮겨지는 작업 대상의 패널은 제1 스테이션(#1)에 위치된 수직형 스테이지(112)의 표면 진공홀(112a)에 진공으로 흡착되는 공정이 진행된다. 이때의 패널은 전술한 바와 같이, OLED용 플렉서블 패널(flexible panel)로서 기능성 필름이 부착될 기능성 필름 부착면에 보호필름이 미리 부착된 패널이다.That is, the panel to be transferred, which is transferred by a separate transfer robot, is vacuum-sucked to the surface vacuum hole 112a of the
제2 스테이션(#2)은 제1 스테이션(#1)에서 수직형 스테이지(112)에 흡착된 패널이 90도 회전되어 이동된 위치를 가리킨다. 제2 스테이션(#2)의 위치에서 패널 상의 보호필름을 박리하는 보호필름 박리 공정이 진행된다.The
보호필름 박리 공정이 보다 효율적으로 진행될 수 있도록 제2 스테이션(#2)에서는 패널에 미리 부착되어 있는 보호필름을 프리(Pre) 박리시키는 프리 박리 공정, 패널에 대해 프리 박리된 보호필름을 박리 롤러(131, 도 6 참조)를 이용하여 패널로부터 완전히 박리시키는 1차 박리, 다시 말해 보호필름 박리 공정, 보호필름 박리 공정의 진행 시 박리 롤러(131)에 붙은 보호필름을 박리 롤러(131)에서 제거하는 2차 박리, 다시 말해 보호필름 제거 공정이 순차적으로 진행된다.A pre-peeling process for pre-peeling the protective film previously attached to the panel in the second station (# 2) so that the protective film peeling process can proceed more efficiently, a peeling roller The protective film attached to the peeling
제3 스테이션(#3)은 제2 스테이션(#2)에서 보호필름이 완전히 박리된 패널이 90도 회전되어 이동된 위치를 가리킨다.The
제3 스테이션(#3)에서는 보호필름이 제거된 패널의 표면, 즉 보호필름이 제거되어 기능성 필름이 부착될 기능성 필름 부착면 상에 이물이 존재하는 지의 여부를 검사하는 패널 검사 공정이 진행된다.In the
제4 스테이션(#4)은 제3 스테이션(#3)에서 패널 검사 공정이 완료된 패널이 90도 회전되어 이동된 위치를 가리킨다.The fourth station (# 4) indicates a position where the panel where the panel inspection process is completed in the third station (# 3) is rotated by 90 degrees.
제4 스테이션(#4)에서는 보호필름이 박리된 패널 및 패널에 부착될 기능성 필름, 예컨대 편광필름 간의 상대적인 얼라인(align) 작업을 진행하는 패널/필름 얼라인 공정이 진행된 이후에, 수직형 스테이지(112)의 표면에 흡착된 패널에 기능성 필름이 부착되는 기능성 필름 부착 공정이 진행된다.In the fourth station (# 4), after the panel / film aligning process for advancing the relative alignment between the protective film-peeled panel and the functional film to be attached to the panel, for example, the polarizing film, A functional film adhering process in which the functional film is adhered to the panel adsorbed on the surface of the
한편, 위와 같이, 패널은 인덱스 테이블(110)의 수직형 스테이지(112)에 진공으로 흡착된 상태에서 전술한 제1 내지 제4 스테이션(#1~#4)을 거치면서 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정을 수행한다.As described above, in the panel loading / unloading process while passing through the above-described first to
이때, 앞서도 기술한 것처럼 본 실시예에 적용되고 있는 패널은 쉽게 구부러질 수 있는, 다시 말해 컬(curl) 현상이 발생될 수 있는 플렉서블 패널이기 때문에 수직형 스테이지(112) 표면의 진공압이 강하지 않을 경우에는 수직형 스테이지(112)의 표면에 면접촉되지 못하고 들뜰 우려가 있다.At this time, as described above, since the panel applied to the present embodiment is a flexible panel that can be bent easily, that is, a curl phenomenon can occur, the vacuum pressure on the surface of the
패널이 수직형 스테이지(112)의 표면에 흡착되기는 하였지만 컬 현상으로 인해 들뜬 상태로 흡착된 경우, 특히 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 용이하게 수행되기 어렵다. 그렇다고 해서 수직형 스테이지(112)의 진공압을 과도하게 강하게 유지할 경우에는 패널이 수직형 스테이지(112)의 표면에 들뜨지 않고 면접촉되면서 흡착될 수는 있지만 이러한 경우에는 과도한 흡착력으로 인해 패널 로딩/언로딩 공정에 어려움이 따를 수 있다.Although the panel is adsorbed on the surface of the
따라서 수직형 스테이지(112)의 표면에 형성되는 진공압은 해당 공정의 특성에 맞게 혹은 패널의 사이즈에 맞게 적절하게 조절될 필요가 있으며, 이를 위해 본 발명은 도 19와 같은 수직형 스테이지(112)를 제안하고 있는 것이다.Accordingly, the vacuum pressure formed on the surface of the
인덱스 테이블(110)의 둘레면에 형성되는 각 수직형 스테이지(112)의 표면인 패널의 흡착면은 도 19에 도시된 바와 같이, 고진공 파트(116, high suction part)와 저진공 파트(117, low suction part)로 분리된다.19, the adsorption surface of the panel, which is the surface of each
고진공 파트(116)는 저진공 파트(117)보다는 그 영역이 좁게 형성되며, 수직형 스테이지(112)의 패널 흡착면에서 상부 영역에 배치된다. 고진공 파트(116)는 플렉서블 패널이 들뜨지 않고 흡착될 수 있도록 하는 역할을 한다. 고진공 파트(116)는 진공모듈(114)과 개별적으로 연결된다.The
이러한 고진공 파트(116)는 대다수의 면을 형성하는 고진공 제1 파트(H1)와, 수직형 스테이지(112)의 패널 흡착면에서 고진공 제1 파트(H1)의 상부 영역에 형성되되 고진공 제1 파트(H1)의 영역보다 작은 영역을 형성하며, 고진공 제1 파트(H1)보다 강한 진공압이 형성되는 고진공 제2 파트(H2)를 포함한다.The
이때, 고진공 제1 파트(H1)는 다수의 고진공홀(116a)에 의해 형성될 수 있다. 도면처럼 고진공 제1 파트(H1) 자체도 몇 개의 그룹(group)으로 분할되어 개별적으로 관리될 수 있다.At this time, the high vacuum first part H1 may be formed by a plurality of
이에 반해, 고진공 제2 파트(H2)는 고진공 제1 파트(H1)보다는 좀 더 강한 진공압이 형성되어야 하기 때문에 고진공 제2 파트(H2)는 고진공홀 상에 진공 패드(116b)가 부가될 수 있다. 물론, 진공 패드(116b)대신에 우레탄 코팅이 형성될 수도 있다.On the other hand, since the second part H2 of the high vacuum needs to have a stronger vacuum than the first part H1 of the high vacuum, the second part H2 of the high vacuum can be provided with a
진공 패드(116b)의 경우, 미관이 미려하고 개별 교체가 가능한 이점이 있다. 이에 반해, 우레탄 코팅의 경우, 긴 수명을 보장하고 조립 불량으로 인한 에러 요인이 없으며, 흡착면 형상을 가공으로 자유로이 변형시킬 수 있는 이점이 있다.In the case of the
이와 같은 고진공 제2 파트(H2)는 제일 강한 진공압이 형성되기 때문에 후술할 보호필름 박리 공정 시 사용될 수 있다. 특히, 보호필름 박리 공정 시의 프리 박리 공정 시에 사용될 수 있는데, 이때는 프리 박리되는 패널의 상부 단부를 강하게 흡착해야 하기 때문이다.Since the second high vacuum part H2 forms the strongest vacuum pressure, it can be used in the protective film peeling process to be described later. Particularly, it can be used in the pre-peeling process in the protective film peeling process, because the upper end of the panel to be pre-peeled must be strongly adsorbed.
이와 같은 특징의 고진공 파트(116)와 달리 저진공 파트(117)는 고진공 파트(116)의 영역보다 큰 영역을 이룬다. 즉 수직형 스테이지(112)의 패널 흡착면에서 대부분의 영역은 저진공 파트(117)로 마련될 수 있다. 저진공 파트(117) 역시 진공모듈(114)과 개별적으로 연결된다.Unlike the
본 실시예에서 저진공 파트(117)는 개별적으로 구동 가능한 다수의 포트(port)로 구획될 수 있다. 예컨대, 도 19에서 가운데의 구획라인(L)을 기준으로 하여 안쪽의 제1 포트(P1)와 바깥쪽의 제2 포트(P2)로 저진공 파트(117)는 구획될 수 있다. 제1 포트(P1)와 제2 포트(P2)는 각각 진공모듈(114)과 개별적으로 연결되어 개별 동작됨으로써 다양한 사이즈의 패널에 함께 적용될 수 있도록 한다. 예컨대, 패널의 사이즈가 작으면 제1 포트(P1)만 작동될 것이고 패널의 사이즈가 크면 제1 포트(P1)와 제2 포트(P2)가 함께 작동되어 패널이 들뜨지 않고 흡착될 수 있도록 할 수 있다.In this embodiment, the
이와 같은 구조의 수직형 스테이지(112)가 적용됨으로써 다양한 공정 특성에 맞게 패널을 효율적으로 흡착할 수 있으며, 나아가 다양한 사이즈의 패널이 겸용으로 사용될 수 있어 사용범위를 확장시킬 수 있다.By employing the
한편, 본 실시예의 경우, 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정은 인덱스 테이블(110)의 외면에 형성되는 다수의 수직형 스테이지(112)의 표면에서 인덱스 테이블(110)이 90도씩 단계적으로 회전됨에 따라 순차적으로 진행된다. 이처럼 모든 공정들이 다수의 수직형 스테이지(112)를 구비하는 단일의 인덱스 테이블(110)을 통해 동시에 진행될 수 있기 때문에 종래와 달리 장치의 풋 프린트(foot print)를 감소시킬 수 있음은 물론 파티클에 의한 품질 불량 발생을 줄일 수 있으며, 나아가 택트 타임 감소에 따른 생산성 향상을 도모할 수 있게 되는 것이다.On the other hand, in the case of this embodiment, the panel loading / unloading process, protective film peeling process, panel inspection process, and functional film deposition process are performed on the surface of a plurality of
이와 같은 제1 내지 제4 스테이션(#1~#4)이 진행되기 위해, 즉 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정이 순차적으로 진행되기 위해 인덱스 테이블(110)의 주변에는 해당 공정을 수행하기 위한 다양한 장치 또는 모듈들이 갖춰질 수 있다.In order for the first to
이하, 도 2 내지 도 17을 참조하여 위의 공정들을 수행하는 장치 또는 모듈에 대해 설명한다. 참고로, 4의 공정 중에서 패널 로딩/언로딩 공정과 패널 검사 공정에 대한 장치 또는 모듈에 대한 도시 및 설명은 생략했다. 패널 로딩/언로딩 공정은 별도의 로봇에 의해 행해질 수 있고 패널 검사 공정은 카메라에 의해 수행될 수 있기 때문에 생략했다.Hereinafter, an apparatus or a module for performing the above processes will be described with reference to FIGS. 2 to 17. FIG. For reference, the illustration and description of the apparatus or module for the panel loading / unloading process and the panel inspection process in
이하, 프리 박리 유닛(120)과, 박리 롤러(131)를 구비하는 보호필름 박리 유닛(130), 보호필름 제거 유닛(150), 그리고 기능성 필름 부착 유닛(160)에 대해 순차적으로 설명한다.Hereinafter, the protective
프리 박리 유닛(120), 보호필름 박리 유닛(130) 및 보호필름 제거 유닛(150)은 모두가 제2 스테이션(#2) 영역에 배치된 장치 또는 모듈로서 보호필름의 효율적인 박리 공정을 위해 마련된다.The
참고로, 프리 박리 유닛(120)은 패널에 대한 보호필름의 선단부(E, 도 5 참조)를 프리(Pre) 박리시키는 것인데, 이처럼 프리 박리가 진행된 후에 박리 롤러(131)를 통한 보호필름의 완전 박리를 진행하면 박리의 효율이 훨씬 높아진다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되지 않으므로 프리 박리 유닛(120)이 적용되지 않은 기능성 필름 부착장치에도 본 발명의 권리범위가 적용될 수 있을 것이다.The
도 2 내지 도 5를 참조하면, 프리 박리 유닛(120)은 인덱스 테이블(110)의 일측에 배치되어 패널에 대한 보호필름의 선단부를 프리(Pre) 박리시키는 것으로서, 박리 나이프(121), 프리 박리용 X축 샤프트(122), 프리 박리용 X축 슬라이더(123), 나이프 클램프 모듈(124), 그리고 박리 나이프용 Y축 이동부(125)를 포함한다.2 to 5, the
앞서 기술한 것처럼 프리 박리 유닛(120)에 의한 프리 박리 공정 시 수직형 스테이지(112)의 패널 흡착면에 형성되는 고진공 제2 파트(H2, 도 19 참조)가 강한 진공압으로 패널을 흡착하기 때문에 프리 박리 공정이 실패없이 잘 진행될 수 있다.As described above, the high vacuum second part H2 (see FIG. 19) formed on the panel adsorption surface of the
박리 나이프(121)는 패널과 보호필름의 선단부(도 5의 E) 간의 점착력이 제거되도록 패널과 보호필름의 선단부(E) 사이로 삽입되어 도 5에 도시된 화살표 X 방향으로 이동되면서 패널에 대한 보호필름의 선단부(E)를 프리(Pre) 박리시키는 역할을 한다.The peeling
전술한 것처럼 플렉서블 패널의 경우, 보호필름이 일정한 점착력 이상으로 패널에 부착되어 있는 것이 일반적이기 때문에 본 실시예처럼 프리 박리, 즉 패널에 대한 보호필름의 선단부(E)를 미리 떼어내지 않고서는 보호필름 박리 공정을 원활하게 진행하기 어렵다.As described above, in the case of the flexible panel, since the protective film is generally attached to the panel by more than a predetermined adhesive force, the protective film can be pre-peeled, that is, without peeling the front end portion E of the protective film against the panel, It is difficult to smoothly carry out the peeling process.
참고로, 보호필름은 패널의 전면에 부착되어 있는 것이 일반적이지만 본 실시예의 경우에는 도 5의 F 영역만큼 보호필름이 미리 벗겨진 패널을 사용한다. 패널에 도 5의 F 영역만큼 보호필름을 미리 벗기는 작업은 패널이 인덱스 테이블(110)에 도달되기 전에 미리 진행된다.For reference, the protective film is generally attached to the front face of the panel, but in the case of this embodiment, a panel in which the protective film has been previously peeled by F region in FIG. 5 is used. The operation of peeling the protective film in advance by the area F in Fig. 5 to the panel is performed before the panel reaches the index table 110. Fig.
이처럼 패널에 도 5의 F 영역만큼 보호필름이 벗겨진 영역이 존재하기 때문에, 이 영역을 이용하여 박리 나이프(121)를 패널과 보호필름의 선단부(E) 사이로 삽입하여 도 5의 화살표 X 방향으로 이동시키면 보호필름의 선단부(E) 영역에서 패널과 보호필름 간의 점착력이 제거, 즉 소멸되기 때문에 이후에 보호필름을 박리하기가 용이하다. 물론, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 도 5의 F 영역만큼 보호필름이 벗겨진 패널이 반드시 사용되어야 하는 것은 아니다.5, the protective film is peeled off by the area of F. Thus, the peeling
이러한 역할을 담당하는 박리 나이프(121)는 PET(polyethylene terephthalate) 재질로 제작될 수 있으며, 삼각형 또는 사다리꼴 형상을 가질 수 있다.The peeling
프리 박리용 X축 샤프트(122)는 패널 상에서 박리 나이프가 이동되는 방향인 X축 방향(도 2 좌표 참조)을 따라 배치는 축이다. 프리 박리용 X축 샤프트(122)의 일측에는 프리 박리용 X축 샤프트(122)를 회전 구동시키는 샤프트 구동용 모터(122a)가 연결된다.The X-axis shaft for
프리 박리용 X축 슬라이더(123)는 프리 박리용 X축 샤프트(122)에 결합되어 X축 방향을 따라 이동되는 구조체이다. 샤프트 구동용 모터(122a)의 정역 방향에 따른 회전 시 프리 박리용 X축 샤프트(122)를 따라 +X축 방향 혹은 -X축 방향으로 이동될 수 있다.The
나이프 클램프 모듈(124)은 프리 박리용 X축 슬라이더(123)에 마련되며, 박리 나이프(121)를 클램프시키는 역할을 한다.The
이러한 나이프 클램프 모듈(124)은 나이프용 고정 클램프(124a)와, 나이프용 고정 클램프(124a)에 대해 접근 또는 이격되며, 나이프용 고정 클램프(124a)와의 사이에 박리 나이프(121)가 클램프되는 나이프용 가동 클램프(124b)와, 나이프용 가동 클램프(124b)에 연결되어 나이프용 가동 클램프(124b)를 나이프용 고정 클램프(124a)에 대해 접근 또는 이격 구동시키는 나이프용 클램프 구동부(124c)를 포함한다. 이에, 나이프용 고정 클램프(124a)와 나이프용 가동 클램프(124b) 사이의 벌어진 간격으로 박리 나이프(121)를 넣고 나이프용 클램프 구동부(124c)를 구동시켜 나이프용 가동 클램프(124b)가 나이프용 고정 클램프(124a)에 조여지도록 함으로써 박리 나이프(121)를 손쉽게 설치할 수 있다.The
박리 나이프용 Y축 이동부(125)는 나이프 클램프 모듈(124)에 연결되며, 패널이 수직형 스테이지(112)에 로딩되는 방향인 Y축 방향(도 2 좌표 참조)을 따라 박리 나이프(121)를 이동시키는 역할을 한다. 박리 나이프용 Y축 이동부(125)에 의한 박리 나이프(121)의 Y축 이동 거리는 미세할 수 있다.The Y-
이와 같은 구조의 박리 나이프용 Y축 이동부(125)가 적용됨에 따라 패널과 보호필름의 선단부(E) 사이로 삽입되는 박리 나이프(121)가 패널 쪽으로 가압되면서 패널과 보호필름의 선단부(E) 사이로 삽입될 수 있어 프리 박리의 효율을 높일 수 있다.With the application of the Y-
한편, 도 2, 도 6 및 도 7을 참조하면, 보호필름 박리 유닛(130)은 프리 박리 유닛(120)에 이웃하게 배치되며, 프리 박리 유닛(120)의 작용으로 인해 프리 박리된 보호필름을 패널로부터 완전히 박리시키는 역할을 한다.2, 6, and 7, the protective
이러한 보호필름 박리 유닛(130)은 박리 롤러(131), 필름 박리용 메인 바디(132), 필름 박리용 서브 바디(133), 필름 박리용 액추에이터(134), 롤러 클램프 모듈(135), 그리고 보조 롤러(136)를 포함한다.The protective
박리 롤러(131)는 프리 박리 유닛(120)의 작용으로 인해 프리 박리된 보호필름의 선단부(도 5의 E) 외표면에 접촉되어 구름 이동되면서 보호필름을 패널로부터 완전히 박리시키는 롤러이다.The peeling
프리 박리된 보호필름의 선단부(E)를 척킹하여 그대로 벗겨내는 방식을 고려해볼 수도 있으나 이러한 방식이 적용될 경우, 보호필름이 박리되는 과정에서 접히면서 패널에 손상을 입힐 수도 있고, 또한 보호필름이 완전히 잘 박리되지 않을 수도 있다.It is possible to consider a method in which the tip end portion E of the pre-peeled protective film is chucked and peeled as it is. However, when this type of method is applied, the protective film may be folded while being peeled, It may not be peeled off well.
하지만, 본 실시예처럼 박리 롤러(131)가 프리 박리된 보호필름의 선단부(E)에 접촉되어 구름 이동하면서 즉, 박리 롤러(131)의 외면으로 보호필름이 말리면서 박리되는 방식을 적용할 경우, 보호필름의 박리 실패가 없으며, 특히 패널에 손상을 입히지 않으면서도 보호필름을 용이하게 박리시킬 수 있다.However, when the peeling
필름 박리용 메인 바디(132)는 보호필름 박리 유닛(130)의 외관을 형성한다. 필름 박리용 메인 바디(132)는 박리 유닛용 Z축 이동부(138)에 의해 박리 유닛용 Z축 컬럼(137)에 연결된다.The film peeling
박리 유닛용 Z축 컬럼(137)은 도 2에 도시된 바와 같이, 프리 박리 유닛(120)과 연결되며, 보호필름이 박리되는 방향인 Z축 방향(도 2 좌표 참조)을 따라 배치된다. 그리고 박리 유닛용 Z축 이동부(138)는 보호필름 박리 유닛(130)과 박리 유닛용 Z축 컬럼(137)에 연결되어 보호필름 박리 유닛(130)을 박리 유닛용 Z축 컬럼(137)의 길이 방향을 따라 이동시키는 일종의 모터이다.The Z-
도 7처럼 박리 롤러(131)가 프리 박리된 보호필름의 선단부(도 5의 E) 외표면에 접촉되어 회전되고, 박리 유닛용 Z축 이동부(138)가 보호필름 박리 유닛(130)을 박리 유닛용 Z축 컬럼(137)의 Z축 방향을 따라 이동시킴에 따라 보호필름은 패널에 손상을 주지 않으면서 패널로부터 용이하게 박리될 수 있다.As shown in Fig. 7, the peeling
필름 박리용 서브 바디(133)는 단부 영역에서 박리 롤러(121)가 회전 가능하게 결합되며, 필름 박리용 메인 바디(132)에 상대 이동 가능하게 결합되는 구조체이다.The
그리고 필름 박리용 액추에이터(134)는 필름 박리용 메인 바디(132)에 대하여 필름 박리용 서브 바디(133)의 이동을 위한 동력을 발생시키는 역할을 한다. 필름 박리용 액추에이터(134)는 실린더일 수도 있고, 리니어 모터일 수도 있다.The
롤러 클램프 모듈(135)은 필름 박리용 서브 바디(133)에 마련되어 박리 롤러(131)를 회전 가능하게 클램프시키는 역할을 한다. 롤러 클램프 모듈(135)에 대해 자세하게 도시하지는 않았으나 롤러 클램프 모듈(135)은 나이프 클램프 모듈(124)의 구조와 유사한 방식으로 적용될 수 있을 것이다.The
보조 롤러(136)는 필름 박리용 서브 바디(133) 상에서 박리 롤러(131)에 이웃하게 배치되는 일종의 버퍼 롤러(buffer roller)이다.The
한편, 박리 롤러(131)는 보호필름의 외표면에 일정한 점착력으로 붙어서 보호필름을 박리시켜야 하는데, 이러한 박리 롤러(131)는 일정한 주기로 교체되어야 한다.On the other hand, the peeling
이를 위해 버퍼 롤러로서의 보조 롤러(136)가 마련되나 패널의 생산량이 많아질 경우, 박리 롤러(131)의 교체 주기가 빨라질 수 있다는 점을 감안할 때, 지체 없이 박리 롤러(131)를 손쉽게 공급할 수 있도록 본 실시예의 기능성 필름 부착장치에는 롤러 공급 유닛(140)이 더 갖춰진다.Considering that the
도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 롤러 공급 유닛(140)은 보호필름 박리 유닛(130)의 주변에 배치되며, 보호필름 박리 유닛(130)으로 새로운 롤러(R)를 공급하는 역할을 한다.8 and 9, the
롤러 공급 유닛(140)은 롤러 공급용 유닛 바디(141)와, 롤러 공급용 유닛 바디(141)의 양측에 마련되어 롤러(R)가 거치되는 다수의 롤러 거치대(142)를 포함한다.The
롤러 공급용 유닛 바디(141)의 상부에는 바디 결합부(143)가 마련된다. 바디 결합부(143)는 롤러 공급용 유닛 바디(141)와 프리 박리 유닛(120)을 연결하는 구조체로서, 필요에 따라 롤러 공급용 유닛 바디(141)를 구동시킬 수도 있다.A
롤러 공급용 유닛 바디(141)의 일측에 줄지어진 롤러 거치대(142)들은 새로운 롤러(R)가 배치되는 장소이고, 반대편은 보호필름 박리 유닛(130)에서 사용이 완료되어 교체될 박리 롤러(131)가 거치되는 장소일 수 있다.The
한편, 도 2, 그리고 도 10 내지 도 13을 참조하면, 보호필름 제거 유닛(150)은 보호필름 박리 유닛(130)과 상호 작용하여 보호필름 박리 시 박리 롤러(131)에 되감겨 붙은 보호필름을 박리 롤러(131)에서 제거하는 역할을 한다.2 and 10 to 13, the protective
앞서 기술한 것처럼 박리 롤러(131)의 회전 및 이동 동작에 의해 패널로부터 박리되는 보호필름은 패널로부터 박리되면서 박리 롤러(131)의 외표면에 되감겨 배치될 수 있는데, 이처럼 박리 롤러(131)의 외표면으로 전해진 보호필름을 박리 롤러(131)로부터 제거하기 위해 보호필름 제거 유닛(150)이 마련된다.As described above, the protective film, which is peeled from the panel by the rotation and movement of the peeling
실제, 박리 롤러(131)는 수십 회 혹은 수백 회 사용 후에 교체되는 것이 일반적이기 때문에 보호필름 제거 유닛(150)이 박리 롤러(131)의 외표면에 달라붙은 보호필름을 적절하게 제거해줌으로써 공정의 지연 없이 기능성 필름 부착 공정을 용이하게 수행할 수 있다.Since the protective
특히, 보호필름 제거 유닛(150)의 동작에 의해 박리 롤러(131)의 외표면에 달라붙은 보호필름이 제거되는 공정은 별도로 할애되는 공정이 아니라 인덱스 테이블(110)이 90도 회전되거나 프리 박리 공정이 진행되는 공정 중에 수행될 수 있으므로 택트 타임을 지연시키지 않아 효율적일 수 있다.Particularly, the process of removing the protective film sticking to the outer surface of the peeling
이러한 보호필름 제거 유닛(150)은 필름 제거용 유닛 플레이트(151), 보호필름 리시버(152), 회전식 보호필름 척킹모듈(153), 그리고 보호필름 푸셔(154)를 포함한다.The protective
필름 제거용 유닛 플레이트(151)는 보호필름이 제거되는 작업 테이블을 형성한다. 필름 제거용 유닛 플레이트(151) 상에서 회전식 보호필름 척킹모듈(153)에 의해 보호필름이 척킹되고 보호필름 푸셔(154)에 의해 제거될 수 있다.The film
필름 제거용 유닛 플레이트(151)는 보호필름 푸셔(154)가 도 11 및 도 12의 상태에서 도 13처럼 전방으로 돌출될 수 있도록 중앙이 갈라지게 한 쌍으로 마련될 수 있다.The film removing
보호필름 리시버(152)는 필름 제거용 유닛 플레이트(151)에 마련되어 박리 롤러(131)로부터 보호필름을 전달 받는 역할을 한다.The
본 실시예에서 보호필름 리시버(152)는 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 중앙 영역에서 폐루프 방식으로 회전되는 한 쌍의 벨트(152)로 적용된다. 한 쌍의 벨트(152)는 벨트 회전 구동부(155)에 의해 그 위치에서 연속적으로 회전되면서 박리 롤러(131)로부터 보호필름을 전달 받는다. 즉 박리 롤러(131)가 역회전되면서 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 하방으로 이동되고 이와 동시에 한 쌍의 벨트(152)가 회전됨에 따라 한 쌍의 벨트(152)가 박리 롤러(131)로부터 보호필름을 전달 받을 수 있다.In this embodiment, the
본 실시예에서 벨트 회전 구동부(155)는 모터(155a)와 모터 샤프트(155b)를 포함하고 있으며, 이들의 동작에 의해 한 쌍의 벨트(152)가 연속적으로 회전되도록 한다.In this embodiment, the belt
회전식 보호필름 척킹모듈(153)은 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 상부 영역에서 회전 가능하게 배치되며, 박리 롤러(131)에서 필름 제거용 유닛 플레이트(151) 쪽으로 전달되는 보호필름의 단부 영역을 척킹하는 역할을 한다.The rotatable protective
이러한 회전식 보호필름 척킹모듈(153)은 회전 바아(153a)와, 회전 바아(153a)의 단부에 결합되어 보호필름을 척킹하는 보호필름 척킹부재(153b)를 포함한다. 회전 바아(153a)는 바아 회전 구동부(156)에 의해 도 11에서 도 12처럼 회전될 수 있으며, 도 12처럼 회전될 때 보호필름 척킹부재(153b)에 의해 보호필름의 단부 영역이 척킹된다.The rotary protective
바아 회전 구동부(156)는 회전 바아(153a)의 회전축심을 형성하는 바아 샤프트(156a)와, 바아 샤프트(156a)의 단부에 결합되는 피니언 기어(156b)와, 피니언 기어(156b)에 치형 맞물림되는 랙 기어(156c)와, 랙 기어(156c)를 이동시키는 기어 이동부(156d)를 포함한다. 기어 이동부(156d)는 예컨대, 리니어 모터일 수 있는데, 기어 이동부(156d)가 이동되어 랙 기어(156c)가 이동됨에 따라 랙 기어(156c)의 직선 운동이 피니언 기어(156b)의 회전 운동으로 변환되고 이 운동이 바아 샤프트(156a)를 통해 회전 바아(153a)로 전달됨으로써 회전 바아(153a)가 도 11에서 도 12처럼 또는 그 역으로 회전될 수 있다.The bar
보호필름 푸셔(154)는 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 중앙 영역에서 전방으로 돌출 가능하게 배치되어 보호필름 리시버(152)에 전달된 보호필름을 가압력에 의해 보호필름 리시버(152)로부터 분리시키는 역할을 한다.The
즉 박리 롤러(131)에서 보호필름 리시버(152)로 보호필름이 완전히 전달되고 나면 보호필름 박리 유닛(130)은 인덱스 테이블(110) 쪽으로 상향 이동되는데, 이때 도 11 및 도 12처럼 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 안쪽에 들어있던 보호필름 푸셔(154)가 도 13처럼 전방으로 돌출되어 보호필름 리시버(152)에 임시로 붙어 있던 보호필름을 제거하게 된다. 제거된 보호필름은 아래쪽의 휴지통에 수거된다.11 and 12, when the protective film is completely transferred to the
한편, 도 14 내지 도 17에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 기능성 필름 부착장치는 인덱스 테이블(110)에 대해 상대 이동 가능하게 배치되어 보호필름이 박리된 패널에 기능성 필름을 부착시키는 기능성 필름 부착 유닛(160)을 포함한다.14 to 17, the functional film attaching apparatus of the present embodiment includes a functional film attaching unit (not shown) disposed movably relative to the index table 110 to attach a functional film to a panel having a protective film peeled off, (160).
기능성 필름 부착 유닛(160)은 도 1의 제4 스테이션(#4) 영역에 마련되는 장치 또는 모듈로서 기능성 필름을 패널에 부착시키는 공정을 수행하기 위해 마련된다.The functional
즉, 위에서 기술한 구성들, 즉 프리 박리 유닛(120), 박리 롤러(131)를 구비하는 보호필름 박리 유닛(130), 그리고 보호필름 제거 유닛(150)의 구조와 작용에 의해 패널로부터 보호필름이 박리되어 제거된 이후에는 그 자리에 예컨대, 편광필름과 같은 기능성 필름이 부착된다. 이러한 기능성 필름의 부착 공정은 도 17에 도시된 기능성 필름 부착 유닛(160)에 의해 수행될 수 있다.That is, by the structure and action of the above-described configurations, that is, the protective
특히, 본 실시예에서 기능성 필름 부착 유닛(160)은, 부착 롤러(162)의 센터 라인(C/L, 도 16 참조)을 기준으로 기능성 필름을 얼라인한 다음 기능성 필름이 패널에 부착되도록 함으로써 항상 일정한 위치에서 기능성 필름의 부착 공정이 진행되도록 하면서 기능성 필름의 부착 정도가 향상될 수 있도록 하고 있다.Particularly, in the present embodiment, the functional
이러한 역할을 담당하는 기능성 필름 부착 유닛(160)은 필름 흡착 스테이지(161), 부착 롤러(162), 그리고 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)를 포함한다.The functional
필름 흡착 스테이지(161)는 기능성 필름이 진공압으로 흡착되는 장소를 이룬다. 따라서 필름 흡착 스테이지(161)의 표면에는 다수의 진공홀(161a)이 형성된다.The
부착 롤러(162)는 필름 흡착 스테이지(161)에 이웃하게 배치되며, 기능성 필름의 표면에 접촉 가압되어 패널 상으로 구름 이동되면서 기능성 필름을 패널에 부착시키는 역할을 한다.The attaching
본 실시예처럼 부착 롤러(162)를 이용하는 경우, 부착 롤러(162)가 기능성 필름의 표면 전 영역에 접촉된 후에 구름 이동되면서 기능성 필름을 패널의 표면에 부착시킬 수 있기 때문에 기능성 필름이 들뜨지 않고 패널에 부착될 수 있다.In the case of using the attaching
필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)는 부착 롤러(162)의 센터 라인(C/L)을 기준으로 기능성 필름이 얼라인될 수 있도록 필름 흡착 스테이지(161)를 임의 방향으로 위치 이동시키는 역할을 한다. 특히, 본 실시예의 경우, 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)가 필름 흡착 스테이지(161)를 도 16에 도시된 5축 방향으로 위치 이동시키면서 필름 흡착 스테이지(161)를 얼라인시키고 있기 때문에 얼라인 정도가 높아 기능성 필름의 부착 정도가 향상될 수 있다.The
필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)는 도시 않은 제어부에 의해 그 동작이 제어될 수 있다. 이때, 제어부는 필름 흡착 스테이지(161)에 흡착된 기능성 필름의 위치를 감지하는 감지부(미도시)로부터 그 정보를 받아 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)의 동작을 제어한다. 이때의 감지부는 도시하지 않았으나 카메라일 수 있다.The operation of the
한편, 도 16 및 도 17을 참조하면, 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)는, 부착 롤러(162)의 센터 라인(C/L) 방향인 X1 방향을 따라 필름 흡착 스테이지(161)를 이동시키는 제1 스테이지 이동부(171)와, X1 방향에 교차되는 Z1 방향을 따라 필름 흡착 스테이지(161)를 이동시키는 제2 스테이지 이동부(172)와, X1 좌표와 Z1 좌표에 의해 형성되는 평면 상에서 필름 흡착 스테이지(161)를 T1 방향을 따라 회전시키는 제3 스테이지 이동부(173)와, 제2 스테이지 이동부(172)와 동일한 Z1 방향을 따라 필름 흡착 스테이지(161)를 미세 이동시키는 제4 스테이지 이동부(174)와, 제3 스테이지 이동부(173)와 동일한 T1 방향을 따라 필름 흡착 스테이지(161)를 미세 회전시키는 제5 스테이지 이동부(175)를 포함한다. 제1, 제2, 제4 스테이지 이동부(171,172,174)는 리니어 모터일 수 있고, 제3 및 제5 스테이지 이동부(173,175)는 회전 모터일 수 있다.16 and 17, the
이처럼 5축 이동 구조를 갖는 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)는 제어부의 제어에 의해 제1 내지 제3 스테이지 이동부(171~173)가 먼저 동작되어 필름 흡착 스테이지(161)의 얼라인 작업을 1차로 진행하고, 이어 제4 및 제5 스테이지 이동부(174,175)가 동작되어 필름 흡착 스테이지(161)의 미세 얼라인 작업을 2차로 진행하는 방식을 적용하고 있기 때문에 보다 정밀하고 정확한 얼라인 작업이 진행될 수 있다.In this way, the
특히, 본 실시예의 경우에는 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)가 부착 롤러(162)의 센터 라인(C/L)을 기준으로 기능성 필름이 흡착된 필름 흡착 스테이지(161)를 얼라인하고 있기 때문에 항상 일정한 위치에서 기능성 필름의 부착 공정이 진행될 수 있으며, 이에 따라 기능성 필름의 부착 정도가 향상될 수 있다.Particularly, in the case of this embodiment, since the
본 실시예의 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)에는 틸팅부(176)가 더 마련된다. 틸팅부(176)는 도 17처럼 수직 방향으로 나란하게 배치되던 필름 흡착 스테이지(161)를 수직축선에 대하여 미리 결정된 각도만큼, 즉 도 15처럼 필름 흡착 스테이지(161)를 경사지게 틸팅(tilting)시키는 역할을 한다. 도 15처럼 필름 흡착 스테이지(161)가 틸팅되고 부착 롤러(162)가 기능성 필름을 패널 측(P1)으로 가압한 이후에, 부착 롤러(162)가 회전되면서 P2 방향으로 이동되도록 함으로써 기능성 필름의 부착 공정을 진행할 수 있다.The tilting portion 176 is further provided in the
도 15의 P1 방향으로 부착 롤러(162)가 패널에 접근되거나 그 반대로 이격 구동될 수 있도록 롤러 액추에이터(164)가 마련된다. 본 실시예에서 롤러 액추에이터(164)는 저마찰 실린더로 적용된다. 따라서 부착 롤러(162)가 패널에 과도한 압력으로 가압되는 현상을 적절하게 예방할 수 있다.A
부착 롤러(162)의 주변에는 한 쌍의 평행도 측정센서(165)가 마련된다. 평행도 측정센서(165)들은 부착 롤러(162)의 주변에 배치되어 패널의 표면에 대한 부착 롤러(162)의 평행도를 측정하는 역할을 한다.A pair of
이하, 기능성 필름 부착장치의 작용을 설명한다.Hereinafter, the function of the functional film adhering apparatus will be described.
우선, 일측에 보호필름이 부착되어 있는 패널이 인덱스 테이블(110)의 제1 스테이션(#1)에 위치된 수직형 스테이지(112)로 이송되어 수직형 스테이지(112) 상에 진공으로 흡착되면서 로딩된다.First, a panel having a protective film on one side is transferred to a
패널이 흡착되어 로딩되면 인덱스 테이블(110)이 테이블 회전 구동부(115)에 의해 90도만큼 회전된다. 따라서 패널은 제2 스테이션(#2)으로 옮겨지며, 제1 스테이션(#1)에 위치된 빈 수직형 스테이지(112)로 다시 새로운 패널이 이송되어 흡착 로딩된다.When the panel is adsorbed and loaded, the index table 110 is rotated by 90 degrees by the table
한편, 수직형 스테이지(112) 상에 흡착된 패널이 제2 스테이션(#2)에 옮겨지면, 제2 스테이션(#2)에서 패널에 미리 부착되어 있는 보호필름을 프리(Pre) 박리시키는 프리 박리 공정, 패널에 대해 프리 박리된 보호필름을 박리 롤러(131)를 이용하여 패널로부터 완전히 박리시키는 1차 박리, 다시 말해 보호필름 박리 공정, 보호필름 박리 공정의 진행 시 박리 롤러(131)에 붙은 보호필름을 박리 롤러(131)에서 제거하는 2차 박리, 다시 말해 보호필름 제거 공정이 순차적으로 진행된다.On the other hand, when the panel adsorbed on the
이에 대해 살펴보면, 우선 프리 박리 유닛(120)에 의해 프리 박리 공정이 진행된다. 즉 프리 박리 유닛(120)의 박리 나이프(121)가 도 5의 F 영역만큼 보호필름이 벗겨진 영역을 통해 패널과 보호필름의 선단부(E) 사이로 삽입된 후, 도 5의 화살표 X 방향으로 이동됨으로써 보호필름의 선단부(E) 영역에서 패널과 보호필름 간의 점착력이 제거, 즉 소멸되도록 하여 프리 박리 공정이 진행되도록 한다.In this regard, the
프리 박리 공정 이후에는 보호필름 박리 유닛(130)에 의해 보호필름 박리 공정이 진행된다. 이때는 도 7처럼 박리 롤러(131)가 프리 박리된 보호필름의 선단부(도 5의 E) 외표면에 접촉되어 회전되고, 박리 유닛용 Z축 이동부(138)가 보호필름 박리 유닛(130)을 박리 유닛용 Z축 컬럼(137)의 Z축 방향을 따라 이동시킴에 따라 보호필름은 패널로부터 박리될 수 있다. 보호필름 박리 공정 시 패널로부터 박리된 보호필름은 박리 롤러(131)에 붙게 된다.After the pre-peeling process, the protective
보호필름 박리 공정 이후에는 보호필름 제거 유닛(150)에 의해 보호필름 제거 공정이 진행된다. 동작을 살펴보면, 박리 롤러(131)가 역회전되면서 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 하방으로 이동되고 이와 동시에 한 쌍의 벨트(152)가 회전됨에 따라 한 쌍의 벨트(152)가 박리 롤러(131)로부터 보호필름을 전달 받을 수 있다. 박리 롤러(131)에서 보호필름 리시버(152)로 보호필름이 완전히 전달되고 나면 보호필름 박리 유닛(130)은 인덱스 테이블(110) 쪽으로 상향 이동되는데, 이때 도 11 및 도 12처럼 필름 제거용 유닛 플레이트(151)의 안쪽에 들어있던 보호필름 푸셔(154)가 도 13처럼 전방으로 돌출되어 보호필름 리시버(152)에 임시로 붙어 있던 보호필름을 제거하게 된다. 제거된 보호필름은 아래쪽의 휴지통에 수거된다.After the protective film peeling process, the protective
한편, 위와 같이 제2 스테이션(#2) 상에서 프리 박리 공정, 보호필름 박리 공정 및 보호필름 제거 공정이 진행되고 나면 인덱스 테이블(110)이 다시 90도만큼 회전된다. 따라서 보호필름이 박리된 패널은 제3 스테이션(#3)으로 옮겨진다.On the other hand, after the pre-peeling process, the protective film peeling process, and the protective film removing process are performed on the
제3 스테이션(#3)에서는 보호필름이 제거된 패널의 표면, 즉 보호필름이 제거되어 기능성 필름이 부착될 기능성 필름 부착면 상에 이물이 존재하는 지의 여부를 검사하는 패널 검사 공정이 진행된다.In the
제3 스테이션(#3)에서 패널 검사 공정이 진행된 패널은 인덱스 테이블(110)이 다시 90도만큼 회전됨에 따라 제4 스테이션(#4)으로 옮겨진다.The panel on which the panel inspection process is performed in the
제4 스테이션(#4)에서는 보호필름이 박리된 패널 및 패널에 부착될 기능성 필름, 예컨대 편광필름 간의 상대적인 얼라인(align) 작업을 진행된 이후에, 비로소 패널에 기능성 필름이 부착되는 기능성 필름 부착 공정이 진행된다.In the fourth station (# 4), after the relative alignment between the panel on which the protective film is peeled and the functional film to be attached to the panel, for example, the polarizing film, is proceeded, the functional film adhering process .
이에 대해 살펴보면, 우선 카메라로 적용되는 감지부가 기능성 필름의 위치를 확인하여 그 정보를 제어부로 보낸다.First, the sensing unit applied to the camera confirms the position of the functional film and sends the information to the control unit.
그러면 제어부에서는 보정값을 토대로 하여 필름 얼라인용 스테이지 이동부(170)의 동작을 제어하여 필름 흡착 스테이지(161)의 얼라인 작업을 진행한다. 즉 제1 내지 제3 스테이지 이동부(171~173)가 먼저 동작되어 필름 흡착 스테이지(161)의 얼라인 작업을 1차로 진행하며, 이어 제4 및 제5 스테이지 이동부(174,175)가 동작되어 필름 흡착 스테이지(161)의 미세 얼라인 작업을 2차로 진행함으로써 필름 흡착 스테이지(161)의 얼라인 작업을 완료한다.Then, the control unit controls the operation of the
필름 흡착 스테이지(161)의 얼라인 작업이 완료되면 도 15처럼 필름 흡착 스테이지(161)가 틸팅되며, 부착 롤러(162)가 기능성 필름을 패널 측(P1)으로 가압한 이후에, 부착 롤러(162)가 회전되면서 P2 방향으로 이동되도록 함으로써 기능성 필름의 부착 공정을 진행할 수 있다. 기능성 필름인 부착된 패널은 후공정으로 이송된다.When the aligning operation of the
이와 같은 구조와 동작을 갖는 본 실시예에 따르면, 필름이 부착되는 수직형 스테이지(112)의 진공압을 조절할 수 있어 패널 로딩/언로딩 공정, 보호필름 박리 공정, 패널 검사 공정 및 기능성 필름 부착 공정의 특성에 맞게 패널을 효율적으로 흡착할 수 있으며, 나아가 다양한 사이즈의 패널이 겸용으로 사용될 수 있어 사용범위를 확장시킬 수 있게 된다.According to the present embodiment having such a structure and operation, it is possible to control the vacuum pressure of the
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.
110 : 인덱스 테이블 111 : 테이블 바디
112 : 수직형 스테이지 113 : 테이블 지지체
114 : 진공모듈 116 : 고진공 파트
117 : 저진공 파트 120 : 프리 박리 유닛
121 : 박리 나이프 122 : 프리 박리용 X축 샤프트
123 : 프리 박리용 X축 슬라이더 124 : 나이프 클램프 모듈
124a : 나이프용 고정 클램프 124b : 나이프용 가동 클램프
124c : 나이프용 클램프 구동부 125 : 박리 나이프용 Y축 이동부
130 : 보호필름 박리 유닛 131 : 박리 롤러
132 : 필름 박리용 메인 바디 133 : 필름 박리용 서브 바디
134 : 필름 박리용 액추에이터 135 : 롤러 클램프 모듈
136 : 보조 롤러 137 : 박리 유닛용 Z축 컬럼
138 : 박리 유닛용 Z축 이동부 140 : 롤러 공급 유닛
141 : 롤러 공급용 유닛 바디 142 : 롤러 거치대
143 : 바디 결합부 150 : 보호필름 제거 유닛
151 : 필름 제거용 유닛 플레이트 152 : 보호필름 리시버
153 : 회전식 보호필름 척킹모듈 153a : 회전 바아
153b : 보호필름 척킹부재 154 : 보호필름 푸셔
155 : 벨트 회전 구동부 156 : 바아 회전 구동부
160 : 기능성 필름 부착 유닛 161 : 필름 흡착 스테이지
162 : 부착 롤러 164 : 롤러 액추에이터
165 : 평행도 측정센서 170 : 필름 얼라인용 스테이지 이동부110: index table 111: table body
112: vertical type stage 113: table support
114: Vacuum module 116: High vacuum part
117: low vacuum part 120: pre-peeling unit
121: peeling knife 122: X-axis shaft for preliminary peeling
123: X-axis slider for pre-peeling 124: Knife clamp module
124a: Fixing clamp for
124c: Clamp driving part for knife 125: Y-axis moving part for peeling knife
130: protective film peeling unit 131: peeling roller
132: Main body for film peeling 133: Sub-body for film peeling
134: Film peeling actuator 135: Roller clamp module
136: Auxiliary roller 137: Z-axis column for peeling unit
138: Z-axis moving part for peeling unit 140: roller feed unit
141: unit for roller supply body 142: roller holder
143: Body coupling part 150: Protective film removing unit
151: Film removing unit plate 152: Protective film receiver
153: Rotary protective
153b: protective film chucking member 154: protective film pusher
155: Belt rotation driving part 156: Bar rotation driving part
160: Functional film attaching unit 161: Film adsorption stage
162: attaching roller 164: roller actuator
165: parallelism measuring sensor 170: stage moving part for film aligning
Claims (22)
상기 스테이지에 연결되어 상기 스테이지의 흡착면에 진공압을 발생시키는 진공모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.A panel is attached to the suction surface of the panel in such a way that the panel is loaded with a high suction part so that the panel is loaded and unloaded, the protective film peeling process, the panel inspection process, A table having a stage separated into a low suction part and a low suction part; And
And a vacuum module connected to the stage and generating a vacuum pressure on an adsorption surface of the stage.
상기 고진공 파트는,
대다수의 면을 형성하는 고진공 제1 파트; 및
상기 스테이지의 흡착면에서 상기 고진공 제1 파트의 상부 영역에 형성되되 상기 고진공 제1 파트의 영역보다 작은 영역을 형성하며, 상기 고진공 제1 파트보다 강한 진공압이 형성되는 고진공 제2 파트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.The method according to claim 1,
The high-
A first high vacuum part forming a majority of the surfaces; And
And a high vacuum second part formed on an upper surface of the high vacuum first part on an adsorption surface of the stage and forming a region smaller than a region of the high vacuum first part and having a stronger vacuum pressure than the high vacuum first part, Wherein the functional film is attached to the functional film.
상기 고진공 제1 파트는 다수의 고진공홀에 의해 형성되며,
상기 고진공 제2 파트는 다수의 고진공홀 상에 진공 패드 또는 우레탄 코팅을 부가함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.3. The method of claim 2,
Wherein the high vacuum first part is formed by a plurality of high vacuum holes,
Wherein the high vacuum second part is formed by adding a vacuum pad or a urethane coating on a plurality of high vacuum holes.
상기 고진공 제1 파트는 다수의 그룹(group)으로 분할되어 개별적으로 관리되며,
상기 고진공 제2 파트는 상기 보호필름 박리 공정 시 사용되는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.3. The method of claim 2,
Wherein the high vacuum first part is divided into a plurality of groups and individually managed,
Wherein the high vacuum second part is used in the protective film peeling process.
상기 저진공 파트는 개별적으로 구동 가능한 다수의 포트(port)로 구획되며,
상기 저진공 파트의 영역이 상기 고진공 파트의 영역보다 큰 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.The method according to claim 1,
The low vacuum part is divided into a plurality of individually actuatable ports,
Wherein the area of the low vacuum part is larger than the area of the high vacuum part.
상기 테이블은 인덱스 테이블이고,
상기 스테이지는 상기 인덱스 테이블의 둘레면에 형성되어 상기 패널이 수직되게 흡착되는 수직형 스테이지인 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.The method according to claim 1,
The table is an index table,
Wherein the stage is a vertical stage formed on a circumferential surface of the index table and vertically attracting the panel.
상기 인덱스 테이블을 지지하는 테이블 지지체를 더 포함하며,
상기 진공모듈은 상기 테이블 지지체 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.The method according to claim 6,
Further comprising a table support for supporting the index table,
Wherein the vacuum module is disposed within the table support.
상기 테이블 지지체에 마련되어 상기 테이블 지지체 상에서 상기 인덱스 테이블을 단계적으로 회전 구동시키는 테이블 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.8. The method of claim 7,
Further comprising: a table rotation driving unit that is provided on the table support and rotates the index table stepwise on the table support.
상기 테이블의 일측에 배치되며, 상기 패널과 상기 보호필름의 선단부 간의 점착력이 제거되도록 상기 패널과 상기 보호필름의 선단부 사이로 삽입되어 상기 패널에 대한 상기 보호필름의 선단부를 프리(Pre) 박리시키는 박리 나이프를 구비하는 프리 박리 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.The method according to claim 1,
A peeling knife which is disposed at one side of the table and inserted between the front end of the panel and the protective film so as to remove the adhesive force between the panel and the front end portion of the protective film to peel the front end portion of the protective film against the panel, And a releasing unit for releasing the releasing film from the releasing unit.
상기 프리 박리 유닛은,
상기 패널 상에서 상기 박리 나이프가 이동되는 방향인 X축 방향을 따라 배치되는 프리 박리용 X축 샤프트;
상기 프리 박리용 X축 샤프트에 결합되어 상기 X축 방향을 따라 이동되는 프리 박리용 X축 슬라이더; 및
상기 프리 박리용 X축 슬라이더에 마련되며, 상기 박리 나이프를 클램프시키는 나이프 클램프 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.10. The method of claim 9,
The pre-
An X-axis shaft for preliminary separation disposed along the X-axis direction in which the separation knife is moved on the panel;
An X-axis slider for pre-peeling which is coupled to the X-axis shaft for pre-peeling and is moved along the X-axis direction; And
And a knife clamp module provided on the X-axis slider for pre-peeling and clamping the peeling knife.
상기 보호필름의 단부 외표면에 접촉되어 구름 이동되면서 상기 보호필름을 상기 패널로부터 박리시키는 박리 롤러를 구비하는 보호필름 박리 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.The method according to claim 1,
And a peeling roller for peeling off the protective film from the panel while rolling on the outer surface of the end portion of the protective film.
상기 보호필름 박리 유닛은,
필름 박리용 메인 바디;
단부 영역에서 상기 박리 롤러가 회전 가능하게 결합되며, 상기 필름 박리용 메인 바디에 상대 이동 가능하게 결합되는 필름 박리용 서브 바디; 및
상기 필름 박리용 메인 바디에 대하여 상기 필름 박리용 서브 바디의 이동을 위한 동력을 발생시키는 필름 박리용 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.12. The method of claim 11,
Wherein the protective film peeling unit comprises:
Main body for film peeling;
A film peeling sub-body rotatably coupled to the peeling roller in an end region and coupled to the main body for film peeling so as to be relatively movable; And
And a film peeling actuator for generating a power for moving the sub-body for peeling off the film to the main body for film peeling.
상기 보호필름 박리 유닛은,
상기 필름 박리용 서브 바디에 마련되어 상기 박리 롤러를 회전 가능하게 클램프시키는 롤러 클램프 모듈; 및
상기 필름 박리용 서브 바디 상에서 상기 박리 롤러에 이웃하게 배치되는 보조 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.13. The method of claim 12,
Wherein the protective film peeling unit comprises:
A roller clamp module provided on the sub-body for peeling the film and rotatably clamping the peeling roller; And
Further comprising an auxiliary roller disposed adjacent to the peeling roller on the film separating sub-body.
상기 보호필름 박리 유닛과 상호 작용하여 상기 보호필름 박리 시 상기 박리 롤러에 되감겨 붙은 보호필름을 상기 박리 롤러에서 제거하는 보호필름 제거 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.12. The method of claim 11,
Further comprising a protective film removing unit for removing the protective film, which is wound on the peeling roller, from the peeling roller in cooperation with the protective film peeling unit and peeling off the protective film.
상기 보호필름 제거 유닛은,
필름 제거용 유닛 플레이트;
상기 필름 제거용 유닛 플레이트에 마련되어 상기 박리 롤러로부터 상기 보호필름을 전달 받는 보호필름 리시버; 및
상기 필름 제거용 유닛 플레이트의 상부 영역에서 회전 가능하게 배치되며, 상기 박리 롤러에서 상기 필름 제거용 유닛 플레이트 쪽으로 전달되는 상기 보호필름의 단부 영역을 척킹하는 회전식 보호필름 척킹모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.15. The method of claim 14,
Wherein the protective film removing unit comprises:
A unit plate for film removal;
A protective film receiver provided on the unit plate for removing the film and receiving the protective film from the peeling roller; And
And a rotary protective film chucking module rotatably disposed in an upper region of the film removing unit plate and chucking an end region of the protective film transferred from the peeling roller toward the film removing unit plate. Functional film attachment device.
상기 보호필름 제거 유닛은,
상기 필름 제거용 유닛 플레이트의 중앙 영역에서 전방으로 돌출 가능하게 배치되어 상기 보호필름 리시버에 전달된 보호필름을 가압력에 의해 상기 보호필름 리시버로부터 분리시키는 보호필름 푸셔를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.16. The method of claim 15,
Wherein the protective film removing unit comprises:
Further comprising a protective film pusher disposed to protrude forward from a central region of the film removing unit plate and separating the protective film transferred to the protective film receiver from the protective film receiver by a pressing force. Attaching device.
상기 테이블에 대해 상대 이동 가능하게 배치되어 상기 패널에 상기 기능성 필름을 부착시키는 기능성 필름 부착 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.The method according to claim 1,
Further comprising a functional film attaching unit disposed to be movable relative to the table and attaching the functional film to the panel.
상기 기능성 필름 부착 유닛은,
상기 기능성 필름이 진공압으로 흡착되는 필름 흡착 스테이지;
상기 필름 흡착 스테이지에 이웃하게 배치되며, 상기 기능성 필름의 표면에 접촉 가압되어 상기 패널 상으로 구름 이동되면서 상기 기능성 필름을 상기 패널에 부착시키는 부착 롤러; 및
상기 부착 롤러의 센터 라인을 기준으로 상기 기능성 필름이 얼라인될 수 있도록 상기 필름 흡착 스테이지를 임의 방향으로 위치 이동시키는 필름 얼라인용 스테이지 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.18. The method of claim 17,
The functional film attaching unit includes:
A film adsorption stage in which the functional film is adsorbed by vacuum pressure;
An attachment roller disposed adjacent to the film adsorption stage and contacting the surface of the functional film to roll the adhesive film on the panel and attaching the functional film to the panel; And
And a stage moving unit for moving the film suction stage in an arbitrary direction so that the functional film can be aligned with respect to the center line of the attaching roller.
상기 필름 얼라인용 스테이지 이동부는,
상기 부착 롤러의 센터 라인 방향인 X1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 이동시키는 제1 스테이지 이동부;
상기 X1 방향에 교차되는 Z1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 이동시키는 제2 스테이지 이동부;
상기 X1 좌표와 상기 Z1 좌표에 의해 형성되는 평면 상에서 상기 필름 흡착 스테이지를 T1 방향을 따라 회전시키는 제3 스테이지 이동부;
상기 제2 스테이지 이동부와 동일한 상기 Z1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 미세 이동시키는 제4 스테이지 이동부; 및
상기 제3 스테이지 이동부와 동일한 상기 T1 방향을 따라 상기 필름 흡착 스테이지를 미세 회전시키는 제5 스테이지 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.19. The method of claim 18,
Wherein the stage moving unit for the film aligner includes:
A first stage moving part moving the film suction stage along a direction X1 which is the center line direction of the attaching roller;
A second stage moving unit moving the film suction stage along a Z1 direction intersecting with the X1 direction;
A third stage moving unit for rotating the film adsorption stage along a direction T1 in a plane formed by the X1 coordinate and the Z1 coordinate;
A fourth stage moving unit for finely moving the film suction stage along the Z1 direction same as the second stage moving unit; And
And a fifth stage moving unit for fine-rotating the film suction stage along the direction of the same T1 as the third stage moving unit.
상기 필름 얼라인용 스테이지 이동부는,
상기 필름 흡착 스테이지를 수직축선에 대하여 미리 결정된 각도만큼 틸팅(tilting)시키는 틸팅부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.19. The method of claim 18,
Wherein the stage moving unit for the film aligner includes:
Further comprising a tilting portion for tilting the film suction stage by a predetermined angle with respect to a vertical axis line.
상기 기능성 필름 부착 유닛은,
상기 부착 롤러와 연결되며, 상기 부착 롤러를 상기 패널에 접근 또는 이격 구동시키는 롤러 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.19. The method of claim 18,
The functional film attaching unit includes:
And a roller actuator connected to the attaching roller for moving the attaching roller toward or away from the panel.
상기 패널은 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 플렉서블 패널(flexible panel)이며,
상기 기능성 필름은 상기 패널에 부착되어 빛을 편광시키는 편광필름인 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.The method according to claim 1,
The panel is a flexible panel for OLED (Organic Light Emitting Diodes)
Wherein the functional film is a polarizing film attached to the panel to polarize light.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
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