KR20140047893A - Vacuum chamber - Google Patents

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Abstract

Disclosed is a vacuum chamber. The vacuum chamber is a vacuum chamber which includes a first and a second basic material which are combined with each other and divide an inner space. The combination part of the first and the second basic material includes an inner welding part which faces the inner space, and an outer welding part which is formed in the outer part which is opposite to the inner space. The inner welding part includes a welding flux welding part which includes a welding flux. The outer welding part includes an autogenous welding part which doesn′t include a welding flux. According to the present invention, the penetration of a foreign material into a gap of the vacuum chamber can be effectively prevented.

Description

진공 챔버{Vacuum chamber}[0001]

본 발명은 진공 챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum chamber.

반도체, 평판 디스플레이, 태양전지 등을 제조하는 과정에서는, 반도체 기판이나 글라스 기판 등을 대상으로, 증착과 같은 박막공정, 에칭 등의 식각공정, 포토리소그래피와 같은 패터닝 공정, 공정 후에 잔류하는 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등이 수행될 수 있다. 이러한 공정들은 진공상태, 비활성 가스 또는 특정 가스의 분위기 내에서 수행될 수 있으며, 반도체 기판이나 글라스 기판과 같은 가공 대상물을 수용하는 내부공간을 제공하고, 진공상태나 특정 가스의 분위기를 유지하고 외부환경으로부터 오염되지 않고 외부와의 격리된 환경을 제공하기 위한 진공 챔버가 적용될 수 있다.2. Description of the Related Art In the process of manufacturing semiconductors, flat panel displays, solar cells, and the like, thin film processes such as deposition, etching processes such as etching, patterning processes such as photolithography, And a cleaning process for removing the cleaning liquid may be performed. These processes can be performed in an atmosphere of a vacuum state, an inert gas, or a specific gas, and can provide an internal space for accommodating an object to be processed such as a semiconductor substrate or a glass substrate, maintain an atmosphere of a vacuum state or a specific gas, A vacuum chamber for providing an environment isolated from the outside without contamination from the outside can be applied.

상기 진공 챔버는 다수의 금속 모재를 서로 용접하여 형성될 수 있는데, 모재들 사이의 틈새를 통하여 이물질이 침입할 경우, 클린 공정이 요구되는 진공 챔버 내부가 오염될 수 있으며, 진공 챔버의 가동 중에 이물질이 외부로 새어나오게 되어, 진공 챔버를 변색시키고, 진공 챔버의 외관 품격을 떨어뜨리게 된다. 또한, 진공 챔버가 위치되는 클린룸을 오염시키게 되어 제품의 불량을 유발시킬 수 있다.The vacuum chamber may be formed by welding a plurality of metal preforms to each other. When foreign substances enter through a gap between the preforms, the interior of the vacuum chamber, which requires a clean process, may be contaminated. During the operation of the vacuum chamber, The vacuum chamber is discolored and the appearance of the vacuum chamber is deteriorated. Further, the clean room in which the vacuum chamber is located may be contaminated, thereby causing defective products.

본 발명의 일 실시형태는, 진공 챔버의 틈새로 이물질이 침투하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.An embodiment of the present invention can effectively prevent foreign matter from penetrating into a gap in the vacuum chamber.

상기와 같은 과제 및 그 밖의 과제를 해결하기 위한 본 발명의 진공 챔버는,According to an aspect of the present invention, there is provided a vacuum chamber comprising:

내부공간을 구획하도록 서로 결합된 제1, 제2 모재를 포함하는 진공 챔버로서, A vacuum chamber comprising first and second base materials joined together to define an internal space,

상기 제1, 제2 모재의 결합부는,The joining portion of the first and second preforms may include:

상기 내부공간과 마주하는 내측 용접부; 및An inner weld facing the inner space; And

상기 내부공간과 반대되는 외측 편에 형성된 외측 용접부를 포함하되, And an outer weld formed on an outer side opposite to the inner space,

상기 내측 용접부는, 용가제가 혼입된 제1 용가제 용접부를 포함하고,Wherein the inner weld portion includes a first consumable weld portion into which a usable agent is mixed,

상기 외측 용접부는, 용가제가 혼입되지 않은 제1 제살 용접부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.Wherein the outer weld portion includes a first saw-cut welding portion in which a usable agent is not mixed.

예를 들어, 상기 제1 제살 용접부에는 적어도 하나의 요홈이 형성될 수 있다. For example, at least one groove may be formed in the first shedding weld.

예를 들어, 상기 제1 제살 용접부는 연속적으로 이어진 라인 형태의 용접선으로 형성될 수 있다.For example, the first shedding welds may be formed as continuous continuous line-shaped weld lines.

예를 들어, 상기 외측 용접부는,For example,

상기 제1 제살 용접부 상에 중첩되게 형성된 것으로, 용가제가 혼입된 제2 용가제 용접부를 더 포함할 수 있다. And a second usable part welded to the first shedding part welded to the first shedding part.

예를 들어, 상기 제2 용가제 용접부는,For example, the second usable weld portion may be formed,

서로로부터 격리되도록 단속적으로 형성된 다수의 용접 세그먼트들을 포함할 수 있다. And may include a plurality of weld segments formed intermittently to be isolated from each other.

예를 들어, 상기 용접 세그먼트들 사이의 제1 제살 용접부에는 요홈이 형성될 수 있다.For example, a groove may be formed in the first shedding weld between the weld segments.

예를 들어, 상기 내측 용접부는 연속적으로 이어진 라인 형태의 용접선으로 형성될 수 있다.For example, the inner weld may be formed as a continuous continuous weld line in the form of a line.

예를 들어, 상기 진공 챔버는, 상기 내부공간을 구획하는 챔버 본체 상에 결합된 다수의 보강 리브들을 더 포함할 수 있다.For example, the vacuum chamber may further include a plurality of reinforcing ribs coupled to a chamber body that defines the inner space.

예를 들어, 상기 챔버 본체와 보강 리브의 결합부는,For example, the joining portion of the chamber main body and the reinforcing rib may be formed,

용가제가 혼입되지 않은 제2 제살 용접부; 및 A second slaughtering welded portion in which a drug substance is not incorporated; And

용가제가 혼입된 제3 용가제 용접부를 포함할 수 있다.And a third usable weld joint in which the drag agent is incorporated.

예를 들어, 상기 제2 제살 용접부는 연속적으로 이어진 라인 형태의 용접선으로 형성될 수 있다.For example, the second saw-toothed portion may be formed as a continuous weld line in the form of a line.

예를 들어, 상기 제3 용가제 용접부는 서로로부터 격리되도록 단속적으로 형성된 다수의 용접 세그먼트들을 포함할 수 있다.For example, the third disposing weld may comprise a plurality of weld segments formed intermittently so as to be isolated from each other.

진공 챔버의 틈새로 이물질이 침투하는 것을 원천적으로 방지함으로써, 예를 들어, 진공 챔버의 가동시에 내부공간이 오염되거나 또는 진공 챔버의 외부가 변색되어 외관 품질이 떨어지거나, 또는 진공 챔버가 위치하는 클린 환경이 오염되는 것을 방지할 수 있다.It is possible to prevent foreign matter from penetrating into the gap of the vacuum chamber, for example, when the internal space is contaminated during the operation of the vacuum chamber or the exterior of the vacuum chamber is discolored to deteriorate the appearance quality or the vacuum chamber is located The clean environment can be prevented from being contaminated.

도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 진공 챔버의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 진공 챔버의 사시도이다.
도 3a는 도 2의 IIIa-IIIa 선을 따라 취한 단면도이다.
도 3b는 도 2의 IIIb-IIIb 선을 따라 취한 단면도이다.
도 4는 제1, 제2 모재 간의 내측 용접부를 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 2의 V 부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 6a는 도 2의 VIa-VIa 선을 따라 취한 단면도이다.
도 6b는 도 2의 VIb-VIb 선을 따라 취한 단면도이다.
도 7은 EP 용액을 이용한 후처리 공정을 모식적으로 보여주는 도면이다.1 is an exploded perspective view of a vacuum chamber according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of the vacuum chamber shown in Fig.
FIG. 3A is a cross-sectional view taken along line IIIa-IIIa of FIG. 2. FIG.
FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line IIIb-IIIb of FIG. 2. FIG.
4 is a perspective view showing an inner weld between the first and second base metals.
5 is an enlarged view of a portion V in Fig.
6A is a cross-sectional view taken along line VIa-VIa of FIG.
FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line VIb-VIb of FIG. 2. FIG.
7 is a diagram schematically showing a post-treatment process using an EP solution.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 일 실시형태에 관한 진공 챔버에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a vacuum chamber according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1에는 진공 챔버의 분해 사시도가 도시되어 있고, 도 2에는 도 1의 진공 챔버의 사시도가 도시되어 있다.Fig. 1 is an exploded perspective view of the vacuum chamber, and Fig. 2 is a perspective view of the vacuum chamber of Fig.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 진공 챔버는, 중공의 육면체 형상을 가질 수 있고, 진공 챔버의 내부공간(G)에는 반도체 기판이나 글라스 기판과 같은 가공 대상물(미도시)이 수용될 수 있으며, 다양한 가공처리를 위한 공정조건을 제공할 수 있다.1 and 2, the vacuum chamber may have a hollow hexahedral shape, and an object to be processed (not shown) such as a semiconductor substrate or a glass substrate may be accommodated in the internal space G of the vacuum chamber , And process conditions for various processing operations can be provided.

예를 들어, 상기 진공 챔버는, 반도체, 평판 디스플레이, 태양전지를 제조하는 과정에서, 반도체 기판이나 글라스 기판 등을 수용하고, 증착과 같은 박막공정, 에칭 등의 식각공정, 포토리소그래피와 같은 패터닝 공정, 공정 후에 잔류하는 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등이 수행될 수 있다. 예를 들어, 이러한 공정들은 진공상태, 비활성 가스 또는 특정 가스의 분위기 내에서 수행될 수 있으며, 상기 진공 챔버는 이러한 진공 또는 특정 가스의 분위기를 유지하고, 외부의 불순물이 침입하지 않도록 외부환경으로부터 격리되어 밀폐된 내부공간(G)을 제공할 수 있다.For example, the vacuum chamber accommodates a semiconductor substrate or a glass substrate in the process of manufacturing a semiconductor, a flat panel display, or a solar cell, and includes a thin film process such as deposition, an etching process such as etching, a patterning process such as photolithography , A cleaning process for removing residues remaining after the process, and the like can be performed. For example, these processes can be performed in an atmosphere of a vacuum, an inert gas, or a specific gas, and the vacuum chamber maintains the atmosphere of such vacuum or specific gas, and isolates the external environment So as to provide a sealed inner space G.

상기 진공 챔버는 내부공간(G)을 구획하는 챔버 본체(100)와, 상기 챔버 본체(100) 상에 형성된 다수의 보강 리브(150)들을 포함한다. 예를 들어, 상기 챔버 본체(100)는 플레이트 형상의 모재(101,102,103,104,105,106)를 용접하여 형성될 수 있으며, 다수의 모재(101,102,103,104,105,106)들이 서로 맞닿게 배치되고, 서로 맞닿은 부분을 따라 용접을 수행하여 상호 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 챔버 본체(100)는, 상하방향(Z축 방향), 좌우방향(Y축 방향), 그리고 전후방향(X축 방향)으로 서로 마주하게 배치되는 6개의 판 상의 모재(101,102,103,104,105,106)들, 예를 들어, 제1 ~ 제6 모재(101,102,103,104,105,106)들을 서로 용접 결합하여 챔버 본체(100)를 형성할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여, 제1, 제2 모재(101,102)의 용접에 대해 예시적으로 설명하지만, 제1, 제2 모재(101,102)의 용접에 관한 기술적 사항은, 상호 용접되는 모든 제1 ~ 제6 모재(101,102,103,104,105,106)에 대해 동일하게 적용될 수 있다.The vacuum chamber includes a chamber body 100 defining an inner space G and a plurality of reinforcing ribs 150 formed on the chamber body 100. For example, the chamber main body 100 may be formed by welding plate-like base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106, and a plurality of base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106 are disposed in contact with each other, . For example, the chamber main body 100 includes six plate-shaped base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106 arranged to face each other in the vertical direction (Z-axis direction), the lateral direction (Y-axis direction) For example, the first to sixth base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106 may be welded together to form the chamber body 100. Hereinafter, the welding of the first and second base materials 101 and 102 will be described as an example for convenience of description. However, technical matters concerning the welding of the first and second base materials 101 and 102 are not limited to the first The first to sixth base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106 can be similarly applied.

제1, 제2 모재(101,102)의 용접에 대해, 대략 수직으로 맞닿는 제1, 제2 모재(101,102)의 코너 부분에 용융 풀을 형성하는 필렛(fillet) 용접이 수행될 수 있다. 다만, 본 발명에서는, 필렛 용접이나 개선 용접을 포함하는 여하의 용접이 모두 적용될 수 있으며, 예를 들어, 도 1에 도시된 바와 같이, 서로 맞닿은 제1, 제2 모재(101,102)의 모서리 부분에 개선(100`, 그루브, 홈)을 형성하고 개선(100`) 부분을 채우는 형태로 개선 용접이 이루어질 수도 있다. 예를 들어, 상기 챔버 본체(100)는, 비철금속 소재로 형성될 수 있으며, 보다 구체적으로, SUS 재질(스테인레스 소재)로 형성될 수 있다.Fillet welding may be performed to form a molten pool on the corner portions of the first and second base materials 101 and 102 which are substantially vertically abutted with respect to the welding of the first and second base materials 101 and 102. However, in the present invention, any welding including fillet welding or improvement welding may be applied. For example, as shown in FIG. 1, the edge portions of the first and second base materials 101 and 102 Improved welding may be accomplished by forming an improvement (100 ', groove, groove) and filling the improvement (100') portion. For example, the chamber body 100 may be formed of a non-ferrous metal material, more specifically, an SUS material (stainless material).

도 1에서는, 서로 인접한 모재(101,102,103,104,105,106)들의 상호 맞닿는 부분들 중에서 내부공간(G)과 반대되는 외측의 서로 맞닿는 모재(101,102,103,104,105,106)의 모서리 부분(도 1에서 용가제 용접부 125 부분)에 개선(100`, 그루브, 홈)을 형성하는 것으로 도시되어 있으나, 이는 이해의 편의를 위한 것이며, 예를 들어, 인접한 모재(101,102,103,104,105,106)들의 내측으로 맞닿는 부분(내부공간 G과 마주하는 부분)에도 개선(100`)이 형성될 수 있으며, 내측 부분에 대해서도 개선 용접이 이루어질 수 있다.In FIG. 1, an improvement 100 '(see FIG. 1) is applied to an edge portion (a portion of the solder weld portion 125 in FIG. 1) of the base materials 101, 102, 103, 104, 105 and 106 abutting against each other outside the inner space G among the mutually abutting portions of the base materials 101, 102, 103, 104, 105, Grooves, grooves), but this is for the sake of understanding. For example, the improvement 100 'may also be applied to the inward abutting portion of the adjacent parent materials 101, 102, 103, 104, 105, And an improved weld can also be made to the inner portion.

도 3a에는 도 2의 IIIa-IIIa 선을 따라 취한 단면도가 도시되어 있고, 도 3b에는 도 2의 IIIb-IIIb 선을 따라 취한 단면도가 도시되어 있다. 도면들을 참조하면, 챔버 본체(100)의 용접에는, 용접 개소에 따라, 용가제가 혼입되는 용가제 용접(용가제 용접부 125)과, 용가제가 혼입되지 않는 제살 용접(제살 용접부 121)이 혼용될 수 있다. 상기 용가제 용접에서는, 용가제(미도시, ex. 용접봉 등)를 투입하며 용접 입열에 따라 용가제와 모재(101,102)가 함께 용융 접합될 수 있다. 한편, 상기 제살 용접에서는, 용가제 없이 용접 입열에 따라 모재(101,102) 자체만으로 용융 접합될 수 있다.FIG. 3A is a cross-sectional view taken along line IIIa-IIIa of FIG. 2, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line IIIb-IIIb of FIG. Referring to the drawings, the welding of the chamber main body 100 may be performed in accordance with the welding position, in which the consumable welding (charging welding portion 125) in which the charging agent is mixed and the genitalline welding (the slaughtering welding portion 121) have. In the above-described welding, the filler and the base material (101, 102) can be fusion-bonded together according to the incoming heat of the welding process by introducing a filler (not shown, ex. On the other hand, in the above-mentioned slaughtering welding, the base materials 101 and 102 themselves can be melt-bonded according to the heat input of the welding material.

예를 들어, 제1, 제2 모재(101,102)의 결합부(110,120)는, 진공 챔버의 내외에 형성된 서로 다른 내측 용접부(110)와 외측 용접부(120)를 포함하는데, 챔버 본체(100)의 내측(내부공간 G)과 마주하는 내측 용접부(110)와, 챔버 본체(100)의 외측과 마주하는 외측 용접부(120)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 내측 용접부(110)는 용가제가 혼입된 용가제 용접부(115, 제1 용가제 용접부)로 형성되며, 외측 용접부(120)는 용가제가 혼입되지 않는 제살 용접부(121, 제1 제살 용접부)와, 용가제가 혼입된 용가제 용접부(125, 제2 용가제 용접부)가 중첩되게 형성될 수 있다.For example, the coupling portions 110 and 120 of the first and second base materials 101 and 102 include different inner welding portions 110 and outer welding portions 120 formed inside and outside the vacuum chamber, An inner weld 110 facing the inner side (inner space G), and an outer weld 120 facing the outer side of the chamber body 100. At this time, the inner welding part 110 is formed of a consumable part welded part (115, first consumable part welded part) mixed with a usable agent, and the outer weld part 120 is formed of a slaughtered weld part (121, first slaughtered weld part) And a usable portion welded portion 125 (second usable portion welded portion) into which a usable agent is mixed.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1, 제2 모재(101,102)의 내측 용접부(110)는 연속적으로 이어지는 라인 형상의 용접선으로 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1, 제2 모재(101,102)의 내측 용접부(110)는 용가제가 혼입된 용가제 용접부(115, 제1 용가제 용접부)로 형성되며, 상기 용가제 용접부(115)는 용가제와 모재 금속이 함께 융합되어 형성되며, 용가제와 모재 금속의 성분을 함께 포함할 수 있다. 상기 내측 용접부(110)는 내부공간(G)과 마주하는 위치에서 제1, 제2 모재(101,102)를 서로 결합시킴으로써, 내부공간(G)을 밀폐하는 역할을 하며, 내부공간(G)의 진공이나 특정 가스의 분위기가 외부환경에 의해 오염되지 않도록 내부공간(G)을 외부로부터 격리시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 내측 용접부(110)는 TIG(Tungsten Inert Gas) 용접으로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 4, the inner welds 110 of the first and second base materials 101 and 102 may be formed as continuous continuous line-shaped weld lines. That is, the inner welds 110 of the first and second base materials 101 and 102 are formed of a consumable weld 115 where the additive is mixed with the first welded portion 115, The base metal is formed by fusion together, and may contain both the filler and the base metal. The inner weld portion 110 serves to seal the inner space G by joining the first and second base materials 101 and 102 to each other at a position facing the inner space G, Or the inner space G can be isolated from the outside so that the atmosphere of the specific gas is not contaminated by the external environment. For example, the inner weld 110 may be formed by TIG (Tungsten Inert Gas) welding.

도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 제1, 제2 모재(101,102)의 외측 용접부(120)는 제1, 제2 모재(101,102) 상에 직접 형성된 제살 용접부(121, 제1 제살 용접부)를 포함할 수 있다. 상기 제살 용접부(121)는 용가제 성분이 혼입되어 있지 않고, 모재(101,102) 금속 자체의 성분을 포함할 수 있다. 상기 제살 용접부(121)는 연속적으로 이어지는 라인 형상의 용접선으로 형성될 수 있다. 상기 제살 용접부(121)는 제1, 제2 모재(101,102) 사이로 이물질, 특히, EP(Electro Plate) 용액이 침입하지 않도록 EP 용액을 차단하는 역할을 한다.3A and 3B, the outer welding portion 120 of the first and second base materials 101 and 102 includes a sludge welding portion 121 (first sludge welding portion) formed directly on the first and second base materials 101 and 102, . ≪ / RTI > The slaughtering welded portion 121 may include a component of the metal itself, without incorporating a solvent component. The saw-toothed weld 121 may be formed as a continuous line-shaped weld line. The shed-welded portion 121 serves to block the EP solution to prevent foreign matter, particularly EP (Electro Plate) solution, from entering between the first and second base materials 101 and 102.

후술하는 바와 같이, 전체적인 형태가 완성된 진공 챔버는, 표면 조도를 낮추어 표면을 매끄럽게 하고, 표면을 세정하는 후처리 과정을 거치게 된다. 상기 후처리 과정에서는 진공 챔버를 EP 용액 조에 침지시키고, 전류를 인가하여 표면가공을 하게 된다. 이때, EP 용액이 제1, 제2 모재(101,102) 사이로 침입하게 되면, 진공 챔버의 가동 중에 EP 용액이 외부로 유출되어, 진공 챔버 내의 가공 대상물(미도시), 예를 들어, 반도체 기판이나 글라스 기판을 오염시키고, 적정의 공정조건으로서의 진공이나 특정 가스의 분위기를 훼손하여 제품의 불량을 유발할 수 있다. 또한, 진공 챔버의 외부로 유출된 EP 용액은 진공 챔버를 변색시키고, 제품 외관을 훼손하여 외관 품격을 저하시키게 된다.As will be described later, the vacuum chamber in which the overall shape is completed is subjected to a post-treatment process in which the surface is smoothed by lowering the surface roughness and the surface is cleaned. In the post-treatment process, the vacuum chamber is immersed in an EP solution bath, and the surface is processed by applying an electric current. At this time, when the EP solution penetrates into the space between the first and second base materials 101 and 102, the EP solution flows out to the outside during the operation of the vacuum chamber, and the processing object (not shown) The substrate may be contaminated and the atmosphere of a vacuum or a specific gas as an appropriate process condition may be damaged to cause defective products. Also, the EP solution leaking out of the vacuum chamber discolors the vacuum chamber, deteriorating the appearance of the product, and degrading the appearance of the product.

본 발명에서는 제1, 제2 모재(101,102)의 외측에 연속적으로 형성된 제살 용접부(121, 제1 제살 용접부)를 형성함으로써, EP 용액의 침투를 차단하여, 진공 챔버의 가동 중에 가공 대상물(미도시)이 오염되는 것을 방지하고 적정의 공정조건을 유지할 수 있으며, 또한, 진공 챔버의 변색을 방지하여 외관 품격을 유지할 수 있다. 예를 들어, 도 2에서 볼 수 있듯이, 챔버 본체(100)를 형성하는 제1 ~ 제6 모재(101,102,103,104,105,106)의 맞닿는 부분들 중에서 외측으로 노출된 부분을 따라서는 전체적으로 제살 용접부(121)가 형성될 수 있다.In the present invention, by forming a shedding weld (121, first shed welding portion) continuously formed on the outer side of the first and second base materials (101, 102), permeation of the EP solution is blocked, and during the operation of the vacuum chamber, ) Can be prevented from being contaminated, proper process conditions can be maintained, and appearance of the vacuum chamber can be prevented by preventing discoloration of the vacuum chamber. For example, as shown in FIG. 2, a cut-off weld 121 is formed entirely along the exposed portions of the first to sixth base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106 forming the chamber main body 100 .

진공 챔버의 밀폐기능은, 제1, 제2 모재(101,102)의 내측에 형성된 내측 용접부(110)가 담당하므로, 제1, 제2 모재(101,102)의 외측에는 EP 용액의 침투를 차단하기에 충분한 제살 용접부(121)를 형성한다. 제살 용접부(121)의 형성에서는 용가제를 투입하지 않으므로 작업시간을 단축할 수 있고 작업성을 향상시킬 수 있으며, 용가제와 같은 원소재의 단가를 절약할 수 있다. 예를 들어, 용가제 용접에서는, 충분한 양의 용융 풀을 형성하기 위해 많은 용접 입열과 공정시간이 요구되므로, 이보다 공정이 단순화되고 공정시간이 절약되는 제살 용접부(121)를 형성하는 것으로 충분하다. 구체적인 일 실시형태에서, 상기 제살 용접부(121)는 TIG(Tungsten Inert Gas) 용접으로 형성될 수 있다.The sealing function of the vacuum chamber is provided by the inner weld 110 formed on the inner side of the first and second base materials 101 and 102 so that the outer surface of the first and second base materials 101 and 102 Thereby forming a shedding weld 121. In the formation of the shed-welded portion 121, since the filler is not applied, the working time can be shortened, workability can be improved, and the cost of the raw material such as the filler can be saved. For example, in welding by welding, a large amount of welding heat input and a process time are required to form a sufficient amount of molten pool, so it is sufficient to form a cut-off weld 121 which simplifies the process and saves the process time. In one specific embodiment, the cut-off weld 121 may be formed by TIG (Tungsten Inert Gas) welding.

도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 제살 용접부(121, 제1 제살 용접부) 상에는 용가제가 혼입된 용가제 용접부(125, 제2 용가제 용접부)가 중첩되게 형성될 수 있다. 상기 용가제 용접부(125)는 용가제와 모재 금속이 함께 융합되어 형성되며, 용가제와 모재 금속의 성분을 함께 포함할 수 있다. 상기 용가제 용접부(125)는 일 열로 배열된 다수의 용접 세그먼트들을 포함하며, 서로 격리되도록 단속적으로 형성된 다수의 용접 세그먼트들을 포함할 수 있다. 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 용가제 용접부는, 인접하는 모재(101,102)들의 맞닿는 모서리 부분에 형성된 개선(100`, 그루브, 홈)에, 용가제와 모재 금속이 함께 융합된 용융 풀을 형성하는 개선 용접으로 형성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 상기 용가제 용접부(125)는 필렛 용접이나 개선 용접을 포함하는 여하의 용접으로도 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3B, the consumable weld portion 125 (second consumable weld portion) in which a solvent is mixed may be formed on the slaughtered weld portion 121 (first slaughtered weld portion). The solder joint portion 125 is formed by fusing the filler and the base metal together, and may include both the filler and the base metal. The optional welds 125 include a plurality of weld segments arranged in a row and may include a plurality of weld segments formed intermittently to be isolated from each other. As shown in FIG. 3B, the consumable weld portion is formed by forming a molten pool in which a solvent and a base metal are fused together in an improvement (100`, groove, groove) formed in an abutting edge portion of adjacent base materials 101 and 102 As shown in Fig. However, the present invention is not limited thereto, and the welded portion 125 may be formed by any welding including fillet welding or improved welding.

상기 용가제 용접부(125, 제2 용가제 용접부)는 제1, 제2 모재(101,102)의 결합 강도를 높이기 위한 목적에 기여할 수 있다. 용가제 용접부(125)는 용가제와 모재 금속이 함께 혼입된 충분한 양의 용융 풀을 형성하므로, 기계적인 강도 측면에서 제살 용접부(121, 제1 제살 용접부)를 보강할 수 있다. 다만, 상기 용가제 용접부(125)를 연속적인 용접 라인 형태가 아닌 단속적인 형태로 형성함으로써, 용접시간이나 소재비용을 줄일 수 있고, 단속적으로 형성하더라도, 제살 용접부(121)의 기계적인 강도를 보충하기에 충분하다. 예를 들어, 상기 외측 용접부(120)의 용가제 용접부(125)는 MIG(Metal Inert Gas) 용접으로 형성될 수 있다.The solder joint portion 125 (second solder joint portion) can contribute to the purpose of increasing the bond strength between the first and second base materials 101 and 102. The consumable weld portion 125 forms a sufficient amount of molten pool in which the filler and the base metal are mixed together, so that it is possible to reinforce the slaughtered weld portion 121 (the first slaughtered weld portion) in terms of mechanical strength. However, it is possible to reduce the welding time and the material cost by forming the use-welded portion 125 in an intermittent form rather than a continuous welding line form, and even if the welded portion 125 is intermittently formed, the mechanical strength of the cut- It is enough to do. For example, the welded portion 125 of the outer weld 120 may be formed by MIG (Metal Inert Gas) welding.

도 5는 도 2의 V 부분을 확대하여 도시한 사시도이다. 도면을 참조하면, 상기 용가제 용접부(125, 제2 용가제 용접부)의 용접 세그먼트들 사이이고, 제살 용접부(121, 제1 제살 용접부) 상에는 요홈(121`)이 형성될 수 있다. 상기 요홈(121`)은 리크 테스트(leak test)를 위한 것으로, 상기 요홈(121`)을 통하여 헬륨가스를 투입하고, 진공 챔버 내부에서 헬륨가스가 검출되는지를 확인함으로써, 진공 챔버의 밀폐 여부를 확인할 수 있다. 만일 진공 챔버 내부에서 헬륨가스가 검출된다면, 예를 들어, 제1, 제2 모재(101,102)의 내측 용접부(110)에 크랙과 같은 틈새가 있다는 것이므로, 제품 불량으로 판정될 수 있다.5 is an enlarged perspective view of part V of Fig. Referring to the drawing, grooves 121 'may be formed on the weld seams of the consumable weld portion 125 and the second welded portion 125 and on the slaughtered weld portion 121. The groove 121 'is for leak testing, and helium gas is injected through the groove 121' to confirm whether helium gas is detected in the vacuum chamber. Thus, whether or not the vacuum chamber is sealed Can be confirmed. If helium gas is detected in the vacuum chamber, for example, there may be cracks like cracks in the inner welds 110 of the first and second base materials 101 and 102, so that a product defect can be determined.

상기 요홈(121`)은 제살 용접부(121, 제1 제살 용접부)에 형성되는데, 이와 달리, 만일 상기 요홈(121`)이 용가제 용접부(125, 제2 용가제 용접부)에 형성된다면, 용가제 용접부(125)의 기계적인 강도가 그만큼 떨어지게 된다. 이에, 제살 용접부(121), 그러니까 용가제 용접부(125)의 세그먼트들 사이로 노출된 제살 용접부(121)에 요홈(121`)을 형성할 수 있다. 상기 요홈(121`)은 원활한 리크 테스트를 수행하기 위하여, 적어도 하나 이상 다수로 형성될 수 있다.If the groove 121 'is formed in the welded portion 125 of the welded portion, the welded portion 121' is formed in the cut-off welded portion 121. Alternatively, if the groove 121 ' The mechanical strength of the welded portion 125 is reduced accordingly. Thus, grooves 121 'may be formed in the shedding weld 121 exposed between the segments of the shedding weld 121, that is, the welded portion 125. In order to perform a smooth leak test, the groove 121 'may be formed of at least one or more than one.

도 2를 참조하면, 상기 보강 리브(150)는, 진공 챔버의 기계적인 강성을 보강하는 것으로, 챔버 본체(100)의 외면상에 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 보강 리브(150)는, 진공 챔버의 변형, 예를 들어, 진공 챔버의 가공이나 가동 중에 발생될 수 있는 열 변형(ex. 용접 입열에 따른 열 변형)이나 기계적인 변형을 억제할 수 있다. 상기 보강 리브(150)는 챔버 본체(100)의 외면상에 복수로 형성될 수 있으며, 여러 다양한 개소에 다수로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 2, the reinforcing rib 150 reinforces the mechanical rigidity of the vacuum chamber, and may be formed on the outer surface of the chamber body 100. For example, the reinforcing rib 150 suppresses deformation of the vacuum chamber, for example, thermal deformation (thermal deformation due to heat input to the weld) or mechanical deformation that may occur during processing or operation of the vacuum chamber can do. The plurality of reinforcing ribs 150 may be formed on the outer surface of the chamber body 100 and may be formed in a plurality of various locations.

도 6a는 도 2의 VIa-IVa 선을 따라 취한 단면도이고, 도 6b는 도 2의 VIb-VIb를 따라 취한 단면도이다.FIG. 6A is a cross-sectional view taken along line VIa-IVa of FIG. 2, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along VIb-VIb of FIG.

도 2, 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 상기 보강 리브(150)는 챔버 본체(100)의 외면상에 용접 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 보강 리브(150)는 챔버 본체(100)의 모재(106) 상에 용접 결합될 수 있다. 상기 보강 리브(150)와 챔버 본체(100) 간의 결합부(160)는, 제살 용접부(161, 제2 제살 용접부)와, 상기 제살 용접부(161) 상에 중첩되게 형성된 용가제 용접부(165, 제3 용가제 용접부)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제살 용접부(161)는 보강 리브(150)와 챔버 본체(100)의 맞닿는 부분을 따라서 라인 형태로 연속적으로 이어진 용접선으로 형성될 수 있다. 상기 제살 용접부(161)는 외부 이물질이 보강 리브(150)와 챔버 본체(100) 사이의 틈새로 침투하지 못하도록 함으로써, 예를 들어, 후처리 공정에서 EP 용액이 보강 리브(150)와 챔버 본체(100) 사이로 스며들었다가 가동 중에 외부로 유출되어, 오염이나 변색 등의 문제를 일으키는 것을 원천적으로 방지한다.Referring to FIGS. 2, 6A and 6B, the reinforcing ribs 150 may be welded on the outer surface of the chamber body 100. For example, the reinforcing ribs 150 may be welded onto the base material 106 of the chamber body 100. The joining portion 160 between the reinforcing rib 150 and the chamber main body 100 includes a shedding weld portion 161 and a second shedding weld portion 161, 3 < / RTI > welded joint). For example, the sawdust welded portion 161 may be formed as a welded wire continuously extending in a line form along the abutting portion of the reinforcing rib 150 and the chamber main body 100. The EP solution is prevented from penetrating into the gap between the reinforcing rib 150 and the chamber main body 100 in the post-treatment process, for example, by preventing the foreign matter from penetrating into the gap between the reinforcing rib 150 and the chamber main body 100, 100, and then flows out to the outside during operation to prevent problems such as contamination and discoloration.

상기 제살 용접부(161, 제2 제살 용접부) 상에는 용가제 용접부(165, 제3 용가제 용접부)가 형성된다. 상기 용가제 용접부(165)는 보강 리브(150)와 챔버 본체(100)의 맞닿는 부분을 따라서 단속적으로 형성될 수 있으며, 서로 이격되도록 일 열로 배열된 다수의 용접 세그먼트들을 포함할 수 있다. 상기 용가제 용접부(165)는 보강 리브(150)와 챔버 본체(100) 간의 결합 강도를 향상시키는 역할을 한다. 즉, 연속적으로 형성된 제살 용접부(161)를 이용하여, 보강 리브(150)와 챔버 본체(100) 사이로 EP 용액이 스며들지 못하도록 EP 용액의 침투를 차단할 수 있고, 제살 용접부(161) 상에 단속적으로 용가제 용접부(165)를 형성함으로써, 보강 리브(150)와 챔버 본체(100) 간의 결합 강도를 높일 수 있다. 상기 용가제 용접부(165)는, 연속적인 형태로 형성하지 않고 단속적인 형태로 형성함으로써, 용접시간을 단축하고 용가제와 같은 소재의 원가를 절감할 수 있다. A welded portion (165, third welded portion) is formed on the shedding portion (161, second shedding portion). The optional welds 165 may be intermittently formed along the abutting portions of the reinforcing ribs 150 and the chamber main body 100 and may include a plurality of weld segments arranged in a line to be spaced apart from each other. The use-welded portion 165 serves to improve the bonding strength between the reinforcing rib 150 and the chamber body 100. That is, penetration of the EP solution can be blocked so that the EP solution does not permeate between the reinforcing rib 150 and the chamber main body 100 by using the continuously formed shedding weld portion 161, and the EP solution can be intermittently The joining strength between the reinforcing rib 150 and the chamber main body 100 can be increased by forming the usable welded portion 165. The useable weld portion 165 is formed in an intermittent form rather than in a continuous form, thereby shortening the welding time and reducing the cost of the material such as the filler.

도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 보강 리브(150)와 챔버 본체(100) 간의 결합부(160)는 보강 리브(150)의 양편으로 대칭적으로 형성될 수 있으며, 이러한 대칭적인 구조는, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 챔버 본체(100)를 형성하는 제1, 제2 모재(101,102) 간의 결합부(110,120)가 내측 용접부(110)와, 외측 용접부(120)에서 서로 차별화된 구성을 갖는 것과 다르다.6A and 6B, the coupling portion 160 between the reinforcing rib 150 and the chamber body 100 may be symmetrically formed on both sides of the reinforcing rib 150, The joining portions 110 and 120 between the first and second base materials 101 and 102 forming the chamber body 100 are formed by the inner welding portion 110 and the outer welding portion 120 as shown in Figures 3A and 3B, It differs from having differentiated configurations.

본 발명의 다른 실시형태에서, 상기 보강 리브(150)는, 제살 용접부(161) 없이, 용가제 용접부(165)만으로 형성될 수 있다. 이때, 상기 용가제 용접부(165)는 연속적으로 이어진 라인 형태의 용접선으로 형성될 수 있다. 기계적인 강도 측면에서 제살 용접보다 유리한 용가제 용접을 전면적으로 수행함으로써, 진공 챔버의 변형을 효과적으로 방지할 수 있다.In another embodiment of the present invention, the reinforcing ribs 150 may be formed only of the welded portion 165 without the shedding welded portion 161. [ At this time, the consumable welded portion 165 may be formed as a continuous weld line in the form of a line. It is possible to effectively prevent the deformation of the vacuum chamber by performing full-use welding which is advantageous in terms of mechanical strength more favorable than the slaughtering welding.

이하에서는 본 발명의 바람직한 일 실시형태에 따른 진공 챔버의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of manufacturing a vacuum chamber according to a preferred embodiment of the present invention will be described.

먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 챔버 본체(100)를 형성할 모재(101,102,103,104,105,106)와 챔버 본체(100) 상에 결합될 보강 리브(150)를 준비한다. 예를 들어, 상기 모재(101,102,103,104,105,106) 및 보강 리브(150)는 적어도 둘 이상 다수로 마련될 수 있으며, 보다 구체적으로, 대략 육면체 중공 형상의 챔버 본체(100)를 형성하기 위한 제1 ~ 제6 모재(101,102,103,104,105,106)와, 다수의 보강 리브(150)들을 준비할 수 있다. 예를 들어, 상기 모재(101,102,103,104,105,106) 및 보강 리브(150)는 비철 계열의 금속으로 형성될 수 있으며, SUS 재질(스테인레스 소재)로 형성될 수 있다.First, as shown in FIG. 1, base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106 for forming the chamber main body 100 and reinforcing ribs 150 to be coupled on the chamber main body 100 are prepared. For example, the base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106 and the reinforcing ribs 150 may be provided in at least two or more. More specifically, the first to sixth base materials 100, (101, 102, 103, 104, 105, 106) and a plurality of reinforcing ribs (150). For example, the base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106 and the reinforcing ribs 150 may be formed of non-ferrous metal or stainless steel.

다음에, 상기 진공 챔버의 대강 형태를 잡기 위한 가접을 수행한다. 상기 가접은 본격적인 용접 이전에 모재(101,102,103,104,105,106)들 사이의 형태를 고정하기 위한 것으로, 예를 들어, 제1, 제2 모재(101,102) 간의 맞닿은 부분을 따라 간헐적으로 스폿 용접을 수행함으로써, 대강의 형태를 미리 잡아둘 수 있다. 구체적인 실시형태에 따라, 상기 가접은 챔버 본체(100)를 형성하는 모재(101,102,103,104,105,106)와, 보강 리브(150)들 사이에도 수행될 수 있다.Next, the vacuum is performed to catch the rough shape of the vacuum chamber. 102, 103, 104, 105, 106 prior to full-strength welding, for example, by performing intermittent spot welding along the abutting portion between the first and second base materials 101, 102, Can be held in advance. According to a specific embodiment, it may also be carried out between the reinforcing ribs 150 and the base material 101, 102, 103, 104, 105, 106 forming the folded chamber body 100.

다음에, 챔버 본체(100)를 형성하기 위한 모재(101,102,103,104,105,106)들 간의 용접을 수행한다. 도 3a 및 도 3b를 참조하여 설명하면, 상기 용접은 제1, 제2 모재(101,102)의 내측 용접부(110)를 먼저 형성한 다음에, 외측 용접부(120)를 형성하는 순서로 진행할 수 있으며, 진공 챔버의 밀폐 기능을 발휘하는 내측 용접부(110)를 우선시하고, 용접 가스의 배출을 원활히 하여, 내측 용접부(110)의 밀폐 특성을 향상시키기 위한 것이다.Next, welding is performed between the base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106 for forming the chamber body 100. [ 3A and 3B, the welding may be performed in the order of forming the inner weld portion 110 of the first and second base materials 101 and 102 and then forming the outer weld portion 120, The inner welding portion 110 exhibiting the sealing function of the vacuum chamber is given priority and the discharge of the welding gas is facilitated to improve the sealing property of the inner welding portion 110. [

상술한 바와 같이, 상기 내측 용접부(110)는, 용가제가 혼입되는 용가제 용접(제1 용가제 용접부 115)으로 형성될 수 있으며, 용접봉과 같은 용가제를 투입하여 모재(101,102)와 함께 용융 풀을 형성하여 이들을 용융 접합시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 내측 용접부(110)는 연속적으로 이어지는 라인 형상의 용접선으로 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 내측 용접부(110)는 TIG(Tungsten Inert Gas) 용접으로 형성될 수 있다.As described above, the inner weld portion 110 can be formed by welding (a first consumable weld portion 115) in which a usable agent is incorporated, and a filler such as a welding rod is inserted into the inner weld portion 110, So that they can be melt-bonded. For example, the inner weld portion 110 may be formed as a continuous continuous line-shaped weld line. More specifically, the inner weld 110 may be formed by TIG (Tungsten Inert Gas) welding.

상술한 바와 같이, 상기 외측 용접부(120)는, 용가제가 혼입되지 않는 제살 용접부(121, 제1 제살 용접부)를 먼저 형성하고, 상기 제살 용접부(121) 위에 중첩적으로 용가제 용접부(125, 제2 용가제 용접부)를 형성하는 방식으로 형성될 수 있다. 상기 제살 용접부(121)는, 제1, 제2 모재(101,102)의 맞닿는 부분을 따라 연속적으로 이어진 라인 형태의 용접선으로 형성될 수 있으며, 상기 용가제 용접부(125)는, 제살 용접부(121) 위에서 제살 용접부(121)를 따라 간헐적으로 서로 이격되게 배열된 다수의 용접 세그먼트들로 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 제살 용접부(121)는 TIG(Tungsten Inert Gas) 용접으로 형성될 수 있고, 상기 용가제 용접부(125)는 MIG(Metal Inert Gas) 용접으로 형성될 수 있다.As described above, the outer weld portion 120 is formed by first forming a shed welding portion 121 (first shed welding portion) in which a usable agent is not incorporated, and superposing the welding sidewalls 125 2-use welded portion). The slaughtering welded part 121 may be formed as a continuous weld line in the form of a line extending continuously along the abutting part of the first and second base materials 101 and 102, And may be formed of a plurality of weld segments spaced apart from each other intermittently along the cut- More specifically, the cut-off weld 121 may be formed by TIG (Tungsten Inert Gas) welding, and the weld 125 may be formed by MIG (Metal Inert Gas) welding.

상기에서 설명의 편의를 위하여, 제1, 제2 모재(101,102)의 용접을 예시적으로 설명하였으나, 서로 결합부(110,120)를 형성하는 모든 제1 ~ 제6 모재(101,102,103,104,105,106)를 상호 용접하여 챔버 본체(100)를 형성한 다음에, 상기 챔버 본체(100) 상에 다수의 보강 리브(150)들을 용접시킬 수 있다. 도 6a 및 도 6b를 참조하여 설명하면, 상기 챔버 본체(100)와 보강 리브(150)들 간의 결합부(160)는, 용가제가 혼입되지 않은 제살 용접부(161, 제2 제살 용접부)와, 상기 제살 용접부(161) 상에 형성된 용가제 용접부(165, 제3 용가제 용접부)로 형성되거나, 또는 용가제가 혼입된 용가제 용접부(165)만으로 형성될 수 있다. Although welding of the first and second base materials 101 and 102 has been exemplarily described for convenience of explanation, all the first to sixth base materials 101, 102, 103, 104, 105, and 106 forming the coupling parts 110 and 120 are welded to each other, A plurality of reinforcing ribs 150 may be welded on the chamber body 100 after the body 100 is formed. 6A and 6B, the coupling portion 160 between the chamber body 100 and the reinforcing ribs 150 includes a shedding welded portion 161 (a second shedding welded portion) in which a solvent is not mixed, The second welded portion 165 may be formed of a welded portion 165 formed on the shedding weld portion 161 or may be formed only of the welded portion 165 having a filler mixed therein.

다음에, 형태가 완성된 진공 챔버의 표면을 절삭 가공하여, 치수의 정밀도를 맞추는 2차 가공이 수행될 수 있다. 예를 들어, 상기 2차 가공에서는 진공 챔버의 열 변형 등으로 왜곡이나 뒤틀림 등에 따라 치수의 정밀도가 떨어지는 부분을 표면 절삭 등을 통하여 정밀하게 가공하게 된다.Next, the surface of the completed vacuum chamber can be subjected to a cutting process, and a secondary processing for adjusting the dimensional accuracy can be performed. For example, in the secondary processing, a portion having a reduced dimensional accuracy due to distortion or distortion due to thermal deformation of the vacuum chamber or the like is precisely processed through surface cutting or the like.

다음에, 도 7에 도시된 바와 같이, 후처리 공정이 수행된다. 상기 후처리 공정에서는 진공 챔버(200)의 표면 조도를 낮추어 표면을 매끄럽게 가공하고, 표면의 오염물질을 제거하는 세정 공정을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 후처리 공정에서는 EP 용액(310)이 수용된 EP 용액 조(300) 내에 진공 챔버(200)를 침지시키고, 전극(350)과 진공 챔버(200) 간에 적정의 전류를 인가하여, 주로 표면을 가공하게 된다.Next, as shown in Fig. 7, a post-treatment process is performed. The post-treatment step may include a cleaning step of lowering the surface roughness of the vacuum chamber 200 to smooth the surface and removing contaminants on the surface. For example, in the post-treatment process, the vacuum chamber 200 is immersed in the EP solution tank 300 containing the EP solution 310, an appropriate current is applied between the electrode 350 and the vacuum chamber 200, The surface is mainly processed.

다음에, 진공 챔버의 밀폐 정도를 확인하고 양/불량 판정을 위한 리크 테스트가 수행된다. 예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 챔버 본체를 형성하는 제1, 제2 모재(101,102)의 외측 용접부(120)에 요홈(121`)을 형성할 수 있다. 이때, 상기 요홈(121`)은 외측 용접부(120) 중에서 간헐적으로 형성된 용가제 용접부(125, 제2 용가제 용접부)들 사이로 노출된 제살 용접부(121, 제1 제살 용접부)에 형성될 수 있다. 그리고, 상기 요홈(121`)을 통하여 헬륨가스를 주입하고, 진공 챔버의 내부공간(G)에서 헬륨가스가 검출되는지를 확인하여 진공 챔버의 밀폐 정도를 확인하고 양품/불량품을 판정할 수 있다. 예를 들어, 불량품으로 판정된 진공 챔버에 대해서는 보수 및 재가공이 수행될 수 있다.Next, the degree of sealing of the vacuum chamber is checked, and a leak test is performed to determine whether the vacuum chamber is positive or negative. For example, as shown in FIG. 5, the groove 121 'may be formed in the outer weld 120 of the first and second base materials 101 and 102 forming the chamber body. At this time, the groove 121 'may be formed in a shedding weld 121 (first shedding weld), which is exposed between a consumable weld 125 and a second sour welded portion formed intermittently in the outer weld 120. Then, helium gas is injected through the groove 121 'to check whether the helium gas is detected in the internal space G of the vacuum chamber, thereby confirming the degree of sealing of the vacuum chamber and judging the good / defective product. For example, repair and rework can be performed on a vacuum chamber determined as a defective product.

본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications and variations will be apparent to those skilled in the art. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

100: 챔버 본체 100`: 개선
101~106: 제1 ~ 제6 모재 110: 내측 용접부
115: 내측 용접부의 용가제 용접부(제1 용가제 용접부)
120: 외측 용접부
121: 외측 용접부의 제살 용접부(제1 제살 용접부)
121`: 요홈
125: 외측 용접부의 용가제 용접부(제2 용가제 용접부)
150: 보강 리브
160: 챔버 본체와 보강 리브 간의 결합부
161: 제살 용접부(제2 제살 용접부)
165: 용가제 용접부(제3 용가제 용접부)
G: 내부공간100: chamber body 100 ': improvement
101 to 106: first to sixth base materials 110: inner side welds
115: Welding portion of the inner welding portion (the first welding portion)
120: outer welded portion
121: a slaughtering welded portion of the outer welded portion (a first slaughtered welded portion)
121`: groove
125: Welding portion of the outer welding portion (second welding portion)
150: reinforcing rib
160: coupling portion between the chamber body and the reinforcing rib
161: Sewage welding part (second slaughtering part)
165: Welding part for welding (third welding part)
G: Interior space

Claims (11)

내부공간을 구획하도록 서로 결합된 제1, 제2 모재를 포함하는 진공 챔버로서,
상기 제1, 제2 모재의 결합부는,
상기 내부공간과 마주하는 내측 용접부; 및
상기 내부공간과 반대되는 외측 편에 형성된 외측 용접부를 포함하되,
상기 내측 용접부는, 용가제가 혼입된 제1 용가제 용접부를 포함하고,
상기 외측 용접부는, 용가제가 혼입되지 않은 제1 제살 용접부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.A vacuum chamber comprising first and second base materials joined together to define an internal space,
The joining portion of the first and second preforms may include:
An inner weld facing the inner space; And
And an outer weld formed on an outer side opposite to the inner space,
Wherein the inner weld portion includes a first consumable weld portion into which a usable agent is mixed,
And the outer welding part includes a first desalination welding part in which a solvent is not mixed. 제1항에 있어서,
상기 제1 제살 용접부에는 적어도 하나의 요홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 1,
Wherein at least one groove is formed in the first cut-through welding portion. 제1항에 있어서,
상기 제1 제살 용접부는 연속적으로 이어진 라인 형태의 용접선으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 1,
Wherein the first saw-toothed welds are formed in a continuous continuous weld line. 제1항에 있어서,
상기 외측 용접부는,
상기 제1 제살 용접부 상에 중첩되게 형성된 것으로, 용가제가 혼입된 제2 용가제 용접부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버. The method of claim 1,
The outer weld portion
And a second usable portion welded on the first squeezed weld portion, the second usable weld portion being mixed with a usable agent. 제4항에 있어서,
상기 제2 용가제 용접부는,
서로로부터 격리되도록 단속적으로 형성된 다수의 용접 세그먼트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.5. The method of claim 4,
The second usable weld portion may be formed of a metal,
And a plurality of welding segments intermittently formed to be isolated from each other. 제5항에 있어서,
상기 용접 세그먼트들 사이의 제1 제살 용접부에는 요홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버. 6. The method of claim 5,
Wherein a groove is formed in the first shedding weld between the weld segments. 제1항에 있어서,
상기 내측 용접부는 연속적으로 이어진 라인 형태의 용접선으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.The method of claim 1,
Wherein the inner weld is formed by a continuous continuous weld line in the form of a line. 제1항에 있어서,
상기 내부공간을 구획하는 챔버 본체 상에 결합된 다수의 보강 리브들을 더 포함하는 것을 특징으로 진공 챔버.The method of claim 1,
Further comprising a plurality of reinforcing ribs coupled to the chamber body defining the inner space. 제8항에 있어서,
상기 챔버 본체와 보강 리브의 결합부는,
용가제가 혼입되지 않은 제2 제살 용접부; 및
용가제가 혼입된 제3 용가제 용접부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.9. The method of claim 8,
The coupling portion of the chamber main body and the reinforcing rib,
A second slaughtering welded portion in which a drug substance is not incorporated; And
And a third usable portion welded with a dosing agent. 제9항에 있어서,
상기 제2 제살 용접부는 연속적으로 이어진 라인 형태의 용접선으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.10. The method of claim 9,
Wherein the second saw-toothed portion is formed by a continuous continuous weld line in the form of a line. 제9항에 있어서,
상기 제3 용가제 용접부는 서로로부터 격리되도록 단속적으로 형성된 다수의 용접 세그먼트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.10. The method of claim 9,
Wherein the third consumable weld comprises a plurality of weld segments formed intermittently to be isolated from each other.
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