KR20140026852A - 진공 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 등에 대한 진공 처리를 수행한 진공 처리 장치에 있어서, 진공에 의해 발생하는 진공 챔버의 변형에 효과적으로 대응하는 진공 처리 장치에 대한 것이다.
본 발명은, 기판에 대한 진공 처리를 수행하는 진공 챔버; 상기 진공 챔버를 지지하는 메인 프레임; 및 상기 진공 챔버와 상기 메인 프레임의 연결부에 구비되어 상기 진공 챔버를 지지하며, 상기 진공 챔버의 변형에 따라 수평 방향으로 이동하는 제 1 챔버 지지부;를 포함하는 진공 처리 장치를 제공한다.

Description

진공 처리 장치 {Vacuum Processing Device}
본 발명은 진공 처리 장치에 대한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 기판 등에 대한 진공 처리를 수행한 진공 처리 장치에 있어서, 진공에 의해 발생하는 진공 챔버의 변형에 효과적으로 대응하는 진공 처리 장치에 대한 것이다.
반도체 소자나 액정표시장치(LCD) 또는 유기발광소자(OLDE)와 같은 디스플레이 장치는 그 제조 공정이 진공 분위기에서 이루어지는 경우가 많다.
진공 처리를 통한 반도체 제조물의 일례로서 유기전계발광소자(Organic Light Emitting Diodes : OLED)는 그 제조 공정에 따라 습식 공정을 사용하는 고분자형과 증착 공정을 사용하는 저분자형으로 구분된다. 저분자형 유기전계발광소자는 화소 전극을 포함한 기판 상에 증착 공정에 의해 발광층을 포함하는 유기층을 적층함으로써 제작된다. 상기 증착 공정은 통상적으로 10-3 Torr 이하의 진공 분위기에서 이루어진다.
도 1은 종래 진공 처리 장치의 일례를 도시한 도면이다.
진공 처리 장치(10)는, 기판 등에 대하여 증착 등의 진공 처리가 수행되는 진공 챔버(20)와, 상기 진공 챔버(20)를 지지하고 진공 처리에 필요한 진공 펌프나 증착 소스 등을 내부에 구비하는 메인 프레임(30)을 포함한다.
종래 진공 처리 장치(10)의 진공 챔버(20)는 메인 프레임(30)에 볼트 체결이나 용접 등의 방식의 진공챔버 고정단(12)을 통해 결합된다. 그런데, 진공 챔버(20)에서의 기판 등에 대한 진공 처리 과정에서 진공 챔버(20)는 내부 부압으로 인해 변형이 발생할 수 있다. 그러나, 진공 챔버(20)는 메인 프레임(30)에 볼트 체결 등의 방식으로 결합되어 있어 진공 챔버(20)의 변형은 메인 프레임(30)의 일부 변형을 유도한다. 또한, 진공 챔버 내부(20)에 기판의 이동을 위한 구동 수단이나 기판을 지지하는 기판 지지부가 구비되어 있는 경우 진공 챔버(20)의 변형은 진공 챔버 내부에 구비된 부품들의 변형을 야기할 수 있는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 진공 챔버의 변형을 흡수할 수 있는 진공 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 기판에 대한 진공 처리를 수행하는 진공 챔버; 상기 진공 챔버를 지지하는 메인 프레임; 및 상기 진공 챔버와 상기 메인 프레임의 연결부에 구비되어 상기 진공 챔버를 지지하며, 상기 진공 챔버의 변형에 따라 수평 방향으로 이동하는 제 1 챔버 지지부;를 포함하는 진공 처리 장치를 제공한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제 1 챔버 지지부는, 상기 메인 프레임의 제 1 고정부에 결합된 제 1 가이드블록과, 상기 진공 챔버에 결합되고 상기 제 1 가이드블록에 의해 가이드되어 수평 방향으로 이동가능한 제 1 무빙블록을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 제 1 무빙블록은 롤러 또는 베어링 형태로 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 진공 처리 장치는, 상기 진공 챔버와 상기 메인 프레임의 연결부에 구비되어 상기 진공 챔버를 지지하며, 상기 진공 챔버의 변형에 따라 회전하는 제 2 챔버 지지부를 추가로 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 제 2 챔버 지지부는, 상기 메인 프레임의 제 2 고정부에 결합된 제 2 가이드블록과, 상기 진공 챔버에 결합되고 상기 제 2 가이드블록에 의해 가이드되며 회전하는 제 2 무빙블록을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 제 2 무빙블록은 롤러 또는 베어링 형태로 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 진공 처리 장치는, 상기 진공 챔버의 내부에 구비되는 챔버 내부 부품을 상기 진공 챔버의 변형과 무관하게 지지하는 보조 지지부를 추가로 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 보조 지지부는 상기 챔버 내부 부품을 지지하는 부품 설치대와, 일단은 상기 부품 설치대에 연결되며 타단은 상기 메인 프레임에 고정되는 연결봉과, 상기 연결봉을 내부에 위치시킨 상태에서 상기 진공 챔버와 상기 메인 프레임에 양단이 고정되는 연결관을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 연결관은 기밀성을 유지하도록 상기 진공 챔버와 상기 메인 프레임에 될 수 있다. 또한, 상기 연결관은 벨로우즈 형태로 구비될 수 있다.
본 발명에 따르면, 진공 챔버와 진공 챔버를 지지하는 메인 프레임의 사이에 진공 챔버의 변형을 흡수하는 챔버 지지부를 구비하여 진공 챔버의 변형이 메인 프레임에 전달되지 않도록 한다.
또한, 본 발명에 따르면 진공 챔버가 변형되더라도 진공 챔버 내부에 구비되는 부품들은 진공 챔버와 별도로 지지될 수 있어, 진공 챔버 내부 부품이 보호되고 기판에 대한 효율적인 진공 처리가 이루어질 수 있도록 한다.
도 1은 종래 진공 처리 장치의 일례를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 진공 처리 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 진공 처리 장치에 있어서, 진공 챔버와 메인 프레임을 연결하는 제 1 챔버 지지부의 구성을 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 진공 처리 장치를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 진공 처리 장치에 있어서, 진공 챔버와 메인 프레임을 연결하는 제 2 챔버 지지부의 구성을 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 진공 처리 장치를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 제 3 실시에에 따른 진공 처리 장치에 있어서, 진공 챔버 내부 부품의 지지를 위한 제 1 보조 지지부의 구성을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 제 3 실시에에 따른 진공 처리 장치에 있어서, 진공 챔버 내부 부품의 지지를 위한 제 2 보조 지지부의 구성을 도시한 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 진공 처리 장치를 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 진공 처리 장치에 있어서, 진공 챔버와 메인 프레임을 연결하는 제 1 챔버 지지부의 구성을 도시한 단면도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 처리 장치(10)는 진공 챔버(20)와 상기 진공 챔버(20)를 지지하는 메인 프레임(30)을 포함하되, 상기 진공 챔버(20)의 일측은 제 1 챔버 지지부(40)에 의해 메인 프레임(30)의 상부에서 지지되는 것을 특징으로 한다. 이 경우 진공 챔버(20)의 타측은 종래와 같이 진공챔버 고정단(12)에 의해 메인 프레임(30)의 상부에 고정될 수 있다.
제 1 챔버 지지부(40)는 진공 챔버(20)의 하부를 지지하는 한편, 메인 프레임(30)의 제 1 고정부(32)의 상부에 결합된다. 제 1 챔버 지지부(40)는 진공 챔버(20)의 변형에 따라 수평 방향으로 이동 가능하다.
도 3을 참조하면, 제 1 챔버 지지부(40)는 메인 프레임(30)의 제 1 고정부(32)의 상부에 결합되는 제 1 가이드블록(42)과, 상기 진공 챔버(20)의 하부에 결합되고 상기 제 1 가이드블록(42)에 의해 가이드되어 수평 방향으로 이동가능한 제 1 무빙블록(44)을 포함한다. 일 실시예에 있어서, 제 1 무빙블록(44)과 진공 챔버(20)는 제 1 지지다리(22)를 통해 연결될 수 있다. 또한, 상기 제 1 무빙블록(44)은 롤러 또는 베어링 형태로 구비될 수 있다.
이러한 구성에 의해 진공 챔버(20)가 진공 처리 과정에서 변형이 발생하는 경우, 제 1 무빙블록(44)은 제 1 가이드블록(42)에 의해 가이드되면서 수평 방향(도 3을 기준으로 할 때 우측 또는 좌측 방향)으로 이동될 수 있다. 또한, 제 1 무빙블록(44)을 롤러 또는 베어링 형태로 구비하는 경우, 제 1 무빙블록(44)은 제 1 가이드블록(42)에 의해 가이드되어 롤링하면서 수평 방향으로 이동한다. 또한, 제 1 가이드블록(42)은 제 1 무빙블록(44)의 수평 이동을 위한 좌측 및 우측 여유 공간을 제공하는 한편, 도 3에서와 같이 좌측과 우측에 제 1 무빙블록(44)의 이동을 제한하는 벽을 구비하는 것이 바람직할 수 있다.
도 4는 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 진공 처리 장치를 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 진공 처리 장치에 있어서, 진공 챔버와 메인 프레임을 연결하는 제 2 챔버 지지부의 구성을 도시한 단면도이다.
도 4에 따른 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 진공 처리 장치(10)는 진공 챔버(20)를 메인 프레임(30)의 상부에 결합함에 있어서, 제 1 챔버 지지부(40)와 더불어 제 2 챔버 지지부(50)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
제 2 챔버 지지부(50)는 진공 챔버(20)의 한 쪽을 메인 프레임(30)의 제 2 고정부(34)로부터 지지하며, 상기 진공 챔버(20)의 변형에 따라 회전할 수 있도록 구성된다. 이러한 제 2 챔버 지지부(50)는 일종의 힌지와 같은 구성으로 이루어질 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제 2 챔버 지지부(50)는, 상기 메인 프레임(20)의 제 2 고정부(34)에 결합된 제 2 가이드블록(52)과, 상기 진공 챔버(20)에 결합되고 상기 제 2 가이드블록(52)에 의해 가이드되며 회전하는 제 2 무빙블록(54)을 포함하여 구성될 수 있다. 제 2 무빙블록(54)은 제 2 지지다리(24)를 통해 진공 챔버(20)에 연결될 수 있다. 상기 제 2 무빙블록(54)은 롤러 또는 베어링 형태로 구비될 수 있다.
도 5를 참조하면, 제 2 가이드블록(52)은 롤러 또는 베어링 형태의 제 1 무빙블록(54)의 외주연을 적어도 3면(하부 및 좌우측)에서 지지하여 제 2 무빙블록(54)의 수평이동을 방지하는 상태에서 제 2 무빙블록(54)의 회전이 가능하도록 구성된다. 다만, 본 발명의 실시에 있어서는 제 2 챔버 지지부(50)의 구성을 제 1 챔버 지지부(40)와 동일하게 하는 것도 가능함은 물론이다.
한편, 진공 챔버(20) 내부에는 기판의 구동이나 기판에 대한 진공 처리를 위하여 다른 구성 부품이 구비될 수 있다. 진공 챔버(20) 내부의 구성 부품들은 진공 챔버(20)가 진공 처리 과정에서의 내부 부압으로 인해 일부 변형되더라도 진공 챔버(20)의 변형과 무관하게 지지될 필요가 있을 수 있다. 이를 위하여, 본 발명에 따른 진공 처리 장치는 진공 챔버(20) 내부 구성 부품의 지지를 위한 추가적인 구성을 포함할 수 있다.
도 6은 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 진공 처리 장치를 도시한 도면이다. 또한, 도 7은 본 발명의 바람직한 제 3 실시에에 따른 진공 처리 장치에 있어서, 진공 챔버 내부 부품의 지지를 위한 제 1 보조 지지부의 구성을 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명의 바람직한 제 3 실시에에 따른 진공 처리 장치에 있어서, 진공 챔버 내부 부품의 지지를 위한 제 2 보조 지지부의 구성을 도시한 도면이다.
도 6 내지 8을 참조하면, 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 진공 처리 장치(10)는, 메인 프레임(30)과, 제 1 챔버 지지부(40) 및 제 2 챔버 지지부(50)에 의해 상기 메인 프레임(30)의 상부에 지지되는 진공 챔버(20) 및, 진공 챔버(20) 내부 부품을 지지하기 위한 보조 지지부(60a, 60b)를 포함한다.
제 1 보조 지지부(60a)는 메인 프레임(30)의 제 1 고정부(32) 측에 구비되며, 제 2 보조 지지부(60b)는 메인 프레임(30)의 제 2 고정부(34) 측에 구비된다.
도 7을 참조하면, 제 1 보조 지지부(60a)는, 제 1 고정부(32)에 상부에 고정되는 제 1 연결봉(64a)과 상기 제 1 연결봉(64a)을 내부에 위치시킨 상태에서 상기 진공 챔버(20)의 외벽과 상기 메인 프레임(30)의 제 1 고정부(32)에 양단이 고정되는 제 1 연결관(62a)을 포함한다. 또한, 제 1 연결봉(64a)에는 챔버 내부 부품을 지지하는 제 1 부품 설치대(66a)가 결합될 수 있다.
제 1 연결봉(64a) 및 제 1 부품 설치대(66a)에 의해 진공 챔버(20)의 내부 부품은 진공 챔버(20)의 변형과 무관하게 상기 메인 프레임(30)의 상부에 지지될 수 있다. 한편, 상기 제 1 연결관(62a)은 상기 진공 챔버(20)와 상기 제 1 고정부(32)의 상부에 결합되면서 기밀을 유지할 수 있도록 함이 바람직하다. 이는 진공 챔버(20) 내에서의 진공 처리가 수행되는 경우 제 1 보조 지지부(60a)에서의 누설을 방지하기 위함이다.
제 2 보조 지지부(60b)의 구성은 실질적으로 제 1 보조 지지부(60a)의 구성과 동일하다. 도 8을 참조하면, 제 2 보조 지지부(60b)는 제 2 연결관(62b)과, 제 2 연결봉(64b), 및 제 2 부품 설치대(66b)를 포함한다.
상기한 구성에 있어서, 상기 제 1 연결관(62a) 및 제 2 연결관(62b)은 진공 챔버(20)의 변형에 따라 어느 정도의 변형이 가능할 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다. 일 실시예에 있어서, 상기 제 1 연결관(62a) 및 제 2 연결관(62b)은 벨로우즈 형태로 구성될 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10 : 진공 처리 장치 20 : 진공 챔버
22 : 제 1 지지다리 24 : 제 2 지지다리
30 : 메인 프레임 32 : 제 1 고정부
34 : 제 2 고정부 40 : 제 1 챔버 지지부
42 : 제 1 가이드블록 44 : 제 1 무빙블록
50 : 제 2 챔버 지지부 52 : 제 2 가이드블록
54 : 제 2 무빙블록 60a : 제 1 보조 지지부
60b : 제 2 보조 지지부

Claims (10)

  1. 기판에 대한 진공 처리를 수행하는 진공 챔버;
    상기 진공 챔버를 지지하는 메인 프레임; 및
    상기 진공 챔버와 상기 메인 프레임의 연결부에 구비되어 상기 진공 챔버를 지지하며, 상기 진공 챔버의 변형에 따라 수평 방향으로 이동하는 제 1 챔버 지지부;
    를 포함하는 진공 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 챔버 지지부는, 상기 메인 프레임의 제 1 고정부에 결합된 제 1 가이드블록과, 상기 진공 챔버에 결합되고 상기 제 1 가이드블록에 의해 가이드되어 수평 방향으로 이동가능한 제 1 무빙블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 무빙블록은 롤러 또는 베어링 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공 챔버와 상기 메인 프레임의 연결부에 구비되어 상기 진공 챔버를 지지하며, 상기 진공 챔버의 변형에 따라 회전하는 제 2 챔버 지지부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 챔버 지지부는, 상기 메인 프레임의 제 2 고정부에 결합된 제 2 가이드블록과, 상기 진공 챔버에 결합되고 상기 제 2 가이드블록에 의해 가이드되며 회전하는 제 2 무빙블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 2 무빙블록은 롤러 또는 베어링 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 챔버의 내부에 구비되는 챔버 내부 부품을 상기 진공 챔버의 변형과 무관하게 지지하는 보조 지지부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 보조 지지부는 상기 챔버 내부 부품을 지지하는 부품 설치대와, 일단은 상기 부품 설치대에 연결되며 타단은 상기 메인 프레임에 고정되는 연결봉과, 상기 연결봉을 내부에 위치시킨 상태에서 상기 진공 챔버와 상기 메인 프레임에 양단이 고정되는 연결관을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 연결관은 기밀성을 유지하도록 상기 진공 챔버와 상기 메인 프레임에 고정되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 연결관은 벨로우즈 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
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