KR20140003704A - Magnetic levitation transfer apparatus - Google Patents

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Abstract

A magnetic levitation transfer device comprises; a transfer body having a permanent magnet to be able to transfer along a transfer path when being levitated by magnetic force; a magnetic force forming unit having a power supplying unit which supplies a power source to an electromagnet so that the magnetic force in which the transfer body can be magnetically levitated is provided to the electromagnet arranged to be faced with the permanent magnet, and an interval between the electromagnet and the permanent magnet; a first sensing unit which senses a distance between the transfer body and the electromagnet; a second sensing unit which senses the power supply of the power supplying unit; an emergency power supplying unit which supplies a power source to the electromagnet when an error in the power supply of the power supplying unit occurs; and a control unit which receives a sensing signal from the first and second sensing units and operates the emergency power supplying unit when an error occurs. [Reference numerals] (29) Control unit

Description

자기 부상 이송 장치{Magnetic levitation transfer apparatus}[0001] Magnetic levitation transfer apparatus [0002]

본 발명은 자기 부상 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 반도체 집적회로 소자 등의 제조에 사용되는 기판 등을 이송하는 이송체를 비접촉 지지하여 이송하는 자기 부상 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic levitation conveying apparatus, and more particularly, to a levitation conveying apparatus for conveying a conveying member for conveying a substrate or the like used for manufacturing semiconductor integrated circuit elements or the like in a noncontact manner.

자기 부상 이송 장치는 이송체에 구비되는 영구 자석 및 언급한 영구 자석과 마주하도록 배치되는 전자석 사이에서 형성되는 자기력을 이용한다. 이에, 이송체는 언급한 자기력에 의해 자기 부상함에 따라 이송 경로를 따라 이송할 수 있는 것이다. 그리고 언급한 자기 부상 이송 장치에 대한 일 예는 대한민국 특허공개 2010-134865호(인용 문헌) 등에 개시되어 있다.The magnetic levitation conveying apparatus uses a magnetic force formed between a permanent magnet provided on the conveying member and an electromagnet arranged to face the aforementioned permanent magnet. Therefore, the conveying member can be conveyed along the conveying path as it floats by the magnetic force mentioned above. An example of the above-mentioned magnetic levitation transfer device is disclosed in Korean Patent Publication No. 2010-134865 (cited document).

그러나 언급한 인용 문헌에 개시된 자기 부상 이송 장치의 경우 전자석으로 공급되는 전원에 이상이 발생할 경우 자기 부상 중인 이송체가 낙하하고, 그 결과 장치적 측면에 손상이 가해지는 상황이 발생할 수 있다.However, in the case of the magnetic levitation conveying apparatus disclosed in the cited document, when a power source supplied to the electromagnet is abnormal, a magnetic levitation conveying member may fall, resulting in a situation where the device side is damaged.

본 발명의 목적은 전자석에 공급되는 전원을 안정적으로 관리함으로써 자기력에 의해 자기 부상하는 이송체가 낙하되는 상황을 방지하기 위한 자기 부상 이송 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a magnetic levitation conveying apparatus for preventing a situation in which a conveying member that floats by magnetic force is stably managed by supplying power to an electromagnet.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치는 자기력에 의해 자기 부상함에 따라 이송 경로를 따라 이송할 수 있도록 영구 자석을 구비하는 이송체; 상기 영구 자석과 마주하도록 배치되는 전자석, 및 상기 전자석과 상기 영구 자석 사이에 상기 이송체가 자기 부상할 수 있는 자기력을 제공하도록 상기 전자석에 전원을 공급하는 전원 공급부를 구비하는 자기력 형성부; 상기 이송체와 상기 전자석 사이의 간격을 센싱하는 제1 센싱부; 상기 전원 공급부의 전원 공급을 센싱하는 제2 센싱부; 상기 전원 공급부의 전원 공급에 이상이 발생할 때 상기 전자석으로 전원을 공급하도록 구비되는 비상 전원 공급부; 및 상기 제1 센싱부 및 상기 제2 센싱부 각각으로부터 센싱 신호를 전달받고, 이상 발생시 상기 비상 전원 공급부를 가동하도록 구비되는 제어부를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a magnetic levitation conveying apparatus comprising: a conveying body having permanent magnets for conveying along a conveying path as it floats by magnetic force; A magnetic force generating unit including an electromagnet disposed to face the permanent magnet and a power supply unit for supplying power to the electromagnet so as to provide a magnetic force between the electromagnet and the permanent magnet so that the conveying member can be magnetically levitated; A first sensing unit sensing an interval between the conveying member and the electromagnet; A second sensing unit sensing a power supply of the power supply unit; An emergency power supply unit configured to supply power to the electromagnet when an abnormality occurs in the power supply of the power supply unit; And a controller receiving the sensing signal from each of the first sensing unit and the second sensing unit and operating the emergency power supply unit when an abnormality occurs.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치에서, 상기 제어부와 상기 비상 전원 공급부 사이에 구비되고, 상기 제어부로부터 제공되는 제어 신호에 의해 상기 비상 전원 공급부의 전원 용량을 조절하는 전원 용량 조절부를 더 포함할 수 있다.In the magnetic levitation transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, a power capacity adjustment for adjusting a power capacity of the emergency power supply unit by a control signal provided between the control unit and the emergency power supply unit, And the like.

본 발명에 따른 자기 부상 이송 장치는 전자석에 공급되는 전원을 안정적으로 관리할 수 있다. 이에, 전원 차단, 순간 전압 강화 등과 같이 전자석에 공급되는 전원에 이상이 발생하여도 자기 부상에 있는 이송체가 낙하하는 상황을 사전에 방지할 수 있다. 따라서 본 발명의 자기 부상 이송 장치는 자기력 상쇄로 인하여 발생하는 장치적 측면에서 파손 등과 같은 이상 상황을 최소화할 수 있다.The magnetic levitation conveying apparatus according to the present invention can stably manage the power supplied to the electromagnet. Thus, even when an abnormality occurs in the power source supplied to the electromagnet, such as power cut-off, instantaneous voltage boost, etc., it is possible to prevent a situation in which the conveying member falls on the magnetic levitation. Therefore, the magnetic levitation conveying apparatus of the present invention can minimize the abnormal situation such as breakage in the device aspect caused by magnetic force cancellation.

또한, 본 발명에 따른 자기 부상 이송 장치는 전자석으로 공급되는 전원에 이상 발생시 전원 용량 조절부에 의해 전자석으로 공급되는 전원 용량을 적절하게 조절함으로써 이송체가 낙하되는 속도까지도 안정적으로 조절할 수 있다. 이에, 언급한 바와 같이 본 발명의 자기 부상 이송 장치는 장치적 측면에서 보다 효율적인 관리가 가능한 효과까지도 기대할 수 있다.In addition, the magnetic levitation conveying apparatus according to the present invention can stably control the dropping speed of the conveying body by properly adjusting the power source capacity supplied to the electromagnet by the power source capacity adjusting unit when the power source supplied to the electromagnet is abnormally generated. As described above, the magnetic levitation conveying apparatus of the present invention can be expected to have a more efficient management effect on the apparatus side.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 자기 부상 이송 장치를 사용하는 방법을 나타내는 개략적인 공정도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic block diagram showing a magnetic levitation conveying apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.
2 is a schematic process diagram showing a method of using the magnetic levitation conveying apparatus of FIG.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

실시예Example

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic block diagram showing a magnetic levitation conveying apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.

도 1을 참조하면, 자기 부상 이송 장치(100)는 이송체(11), 자기력 형성부(15), 제1 센싱부(23), 제2 센싱부(25), 비상 전원 공급부(27), 제어부(29), 전원 용량 조절부(31) 등을 구비한다.1, the magnetic levitation conveying apparatus 100 includes a conveying member 11, a magnetic force generating unit 15, a first sensing unit 23, a second sensing unit 25, an emergency power supply unit 27, A control unit 29, a power source capacity adjusting unit 31, and the like.

구체적으로, 이송체(11)는 일면에 반도체 집적회로 소자 등으로 제조하기 위한 기판 등이 놓여지는 부재로써, 본 발명에서는 자기 부상에 의해 비접촉 지지되어 이송 경로를 따라 이송하는 구조를 갖는다. 이에, 이송체(11)의 일면에는 기판 등이 놓여지고, 이송체(11)의 타면에는 자기 부상을 위한 자기력의 형성이 가능한 자석(13)이 배치된다. 특히, 본 발명의 경우 이송체(11)의 타면에는 영구 자석(13)이 배치될 수 있다.Specifically, the conveying member 11 is a member on which a substrate for manufacturing a semiconductor integrated circuit device or the like is placed on one surface. In the present invention, the conveying member 11 has a structure that is supported in a non-contact manner by magnetic levitation and is conveyed along a conveying path. Thus, a substrate or the like is placed on one surface of the conveying member 11, and a magnet 13 capable of forming a magnetic force for magnetic levitation is disposed on the other surface of the conveying member 11. [ In particular, in the case of the present invention, the permanent magnet 13 may be disposed on the other surface of the conveying member 11.

자기력 형성부(15)는 전자석(16), 전원 공급부(21) 등을 구비할 수 있다. 전자석(16)은 철심(17)과 코일(19)로 이루어질 수 있다. 특히, 철심(17)의 경우 그 단부(17a)가 언급한 이송체(11)의 영구 자석(13)과 마주하도록 배치된다. 그리고 코일(19)은 철심(17)을 일정 간격으로 감싸도록 구비된다. 전원 공급부(21)는 코일(19)에 전원 공급하도록 구비된다. 이에, 전원 공급부(21)로부터 코일(19)에 전원이 공급됨에 의해 철심(17)에 자기력이 형성될 수 있다.The magnetic force generating section 15 may include an electromagnet 16, a power supply section 21, and the like. The electromagnet 16 may be composed of an iron core 17 and a coil 19. In particular, in the case of the iron core 17, the end portion 17a thereof is disposed so as to face the permanent magnet 13 of the conveying member 11 mentioned above. The coil 19 is provided to surround the iron core 17 at regular intervals. The power supply unit 21 is provided to supply power to the coil 19. Therefore, magnetic force can be formed in the iron core 17 by supplying power from the power supply unit 21 to the coil 19. [

따라서 본 발명의 자기 부상 이송 장치(100)는 서로 마주하도록 배치되는 이송체(11)의 영구 자석(13)과 자기력 형성부(15)의 철심(17) 단부(17a) 사이에 형성되는 자기력, 즉 척력에 의해 이송체(11)가 자기 부상할 수 있는 것이다. 그리고 도시하지는 않았지만, 구동부로부터 제공되는 구동력에 의해 이송체(11)가 이송 경로를 따라 이송할 수 있는 것이다. 언급한 구동부의 예로서는 직선 동력을 발생할 수 있는 선형 동기 추진 방식의 선형 동기 전동기(LSM : liner synchronius motor) 등을 들 수 있다.The magnetic levitation conveying apparatus 100 according to the present invention has the magnetic force formed between the permanent magnet 13 of the conveying member 11 arranged to face each other and the end portion 17a of the iron core 17 of the magnetic force generating portion 15, That is, the conveying member 11 can be magnetically levitated by the repulsive force. Although not shown, the conveying member 11 can be conveyed along the conveying path by the driving force provided from the driving unit. Examples of the driving unit include a linear synchronous propulsion type linear synchronous motor (LSM) that can generate linear power.

제1 센싱부(23)는 이송체(11)와 전자석(16) 사이의 간격을 센싱하도록 구비된다. 제1 센싱부(23)는 이송체(11)의 자기 부상시 설정 간격 이상으로 부상되고 있는 가를 센싱하는 것으로써, 자기력 형성부(15) 쪽에 구비될 수 있다. 이에, 제1 센싱부(23)는 이송체(11) 타면을 바라보는 자기력 형성부(15)의 철심(17) 쪽에 구비될 수 있다.The first sensing unit 23 is provided to sense the distance between the conveying member 11 and the electromagnet 16. The first sensing unit 23 can be provided on the side of the magnetic force generating unit 15 by sensing whether the transfer member 11 is lifted above a set interval during magnetic levitation. The first sensing unit 23 may be provided on the iron core 17 side of the magnetic force generating unit 15 facing the other surface of the conveying member 11.

제2 센싱부(25)는 전원 공급부(21)의 전원 공급을 센싱하도록 구비된다. 제2 센싱부(25)는 전원 공급부(21)의 전원 공급이 이상이 없는 가를 센싱하는 것으로써, 전자석(16)의 코일(19)에 전원 공급이 원활하게 이루어지는 가를 센싱할 수 있다.The second sensing unit 25 is provided to sense the power supply of the power supply unit 21. The second sensing unit 25 can sense whether the power supply to the coil 19 of the electromagnet 16 is smoothly performed by sensing whether there is no abnormality in the power supply of the power supply unit 21. [

제어부(29)는 언급한 제1 센싱부(23) 및 제2 센싱부(25) 각각으로부터 센싱 신호를 전달받도록 구비된다. 즉, 제어부(29)는 제1 센싱부(23)로부터 이송체(11)와 전자석(16) 사이의 간격에 대한 센싱 신호를 전달받고, 제2 센싱부(25)로부터 전원 공급부(21)로 공급되는 전원에 대한 센싱 신호를 전달받도록 구비되는 것이다.The control unit 29 is provided to receive a sensing signal from the first sensing unit 23 and the second sensing unit 25, respectively. That is, the control unit 29 receives the sensing signal for the interval between the conveying member 11 and the electromagnet 16 from the first sensing unit 23 and receives the sensing signal from the second sensing unit 25 to the power supply unit 21 And to receive a sensing signal for the supplied power source.

비상 전원 공급부(27)는 전원 공급부(21)의 전원 공급에 대한 이상 발생시 가동하도록 구비된다. 즉, 비상 전원 공급부(27)는 전원 차단, 순간 전압 강화 등과 같이 전원 공급부(21)의 전원 공급에 대한 이상 발생시 가동하도록 구비되는 것으로써, 전자석(16)에 전원을 공급할 수 있도록 구비된다. 특히, 비상 전원 공급부(27)는 제어부(29)의 제어 신호에 의해 가동하도록 구비된다. 언급한 비상 전원 공급부(27)의 예로서는 배터리 등을 들 수 있다.The emergency power supply unit 27 is provided to operate when an abnormality occurs with respect to the power supply of the power supply unit 21. That is, the emergency power supply unit 27 is provided so as to be able to supply power to the electromagnet 16 when the power supply unit 21 is powered off. In particular, the emergency power supply 27 is provided to be actuated by a control signal from the control unit 29. An example of the emergency power supply unit 27 is a battery or the like.

이에, 본 발명의 자기 부상 이송 장치(100)는 제어부(29)에 제1 센싱부(23) 및 제2 센싱부(25) 각각으로부터 센싱 신호가 전달되고, 언급한 센싱 신호의 판독 결과 이상이 발생할 경우 제어부(29)가 비상 전원 공급부(27)로 제어 신호를 전달하는 구성을 갖는다. 즉, 전자석(16)으로 제공되는 전원 공급부(21)의 전원 공급에 이상이 발생할 경우 이송체(11)가 자기 부상되는 간격이 설정 간격을 벗어날 것이고, 전원 공급부(21)의 전원 공급 자체도 설정 범위를 벗어날 것이기에 이를 제어부(29)가 이상 상황으로 판독하고, 언급한 바와 같이 비상 전원 공급부(27)를 가동시켜 전원 공급부(21)의 전원 공급 이상에 대처하는 것이다.Accordingly, in the magnetic levitation conveyance apparatus 100 of the present invention, the sensing signal is transmitted from the first sensing unit 23 and the second sensing unit 25 to the control unit 29, And the control unit 29 transmits the control signal to the emergency power supply unit 27 when it occurs. That is, when an abnormality occurs in the power supply of the power supply unit 21 provided to the electromagnet 16, the interval at which the conveyance member 11 floats up will exceed the set interval, and the power supply itself of the power supply unit 21 is also set The control unit 29 reads the abnormal state as described above and operates the emergency power supply unit 27 to cope with the power supply failure of the power supply unit 21 as mentioned above.

또한, 전원 용량 조절부(31)는 제어부(29)와 비상 전원 공급부(27) 사이에 배치되도록 구비될 수 있다. 그리고 전원 용량 조절부(31)는 제어부(29)에 의해 가동되도록 연결될 수 있다. 이에, 언급한 전원 공급부(21)의 이상 발생으로 인하여 비상 전원 공급부(27)를 가동시킬 때 제어부(29)는 전원 용량 조절부(31)를 통하여 비상 전원 공급부(27)의 전원 용량을 조절할 수 있는 것이다.In addition, the power source capacity adjusting unit 31 may be disposed between the control unit 29 and the emergency power source supply unit 27. The power supply capacity adjustment unit 31 may be connected to be operated by the control unit 29. When the emergency power supply 27 is operated due to an abnormality of the power supply unit 21, the control unit 29 can adjust the power capacity of the emergency power supply unit 27 through the power supply capacity adjustment unit 31 It is.

이하, 언급한 자기 부상 이송 장치(100)를 사용하는 방법에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of using the above-mentioned magnetic levitation transfer apparatus 100 will be described.

도 2는 도 1의 자기 부상 이송 장치를 사용하는 방법을 나타내는 개략적인 공정도이다.2 is a schematic process diagram showing a method of using the magnetic levitation conveying apparatus of FIG.

도 2를 참조하면, 전원 공급부(21)를 사용하여 전자석(16)에 전원을 공급한다.(S200) 이에, 전자석(16)과 영구 자석(13) 사이에서 형성되는 자기력에 의해 이송체(11)는 자기 부상한다. 그리고 언급한 구동부에 의해 이송체(11)는 이송 경로를 따라 이송이 이루어진다.2, power is supplied to the electromagnet 16 by using the power supply unit 21 (S200). Thus, by the magnetic force formed between the electromagnet 16 and the permanent magnet 13, ) Are self-injured. The conveying member 11 is conveyed along the conveying path by the driving unit mentioned above.

제1 센싱부(23) 및 제2 센싱부(25) 각각은 이송체(11)의 자기 부상되는 간격이 설정된 간격을 유지하는 가를 센싱하고, 전원 공급부(21)의 전원 공급이 원활하게 이루어지는 가를 센싱한다. 이에, 제1 센싱부(23) 및 제2 센싱부(25) 각각은 센싱 신호를 제어부(29)로 전달한다. 그러면, 제어부(29)는 언급한 센싱 신호로부터 이송체(11)의 자기 부상되는 간격이 설정된 간격을 유지하는 가를 판독하고, 전원 공급부(21)의 전원 공급이 원활하게 이루어지는 가를 판독한다.(S210) 언급한 판독 결과 아무런 이상이 발견되지 않을 경우에는 전원 공급부(21)의 계속적인 전원 공급을 통하여 자기 부상되는 이송체(11)의 이송이 계속적으로 이루어진다.Each of the first sensing unit 23 and the second sensing unit 25 senses whether the spacing of the conveying member 11 on the magnetic float maintains the set interval and determines whether the power supply of the power supply unit 21 is smoothly supplied Sensing. Each of the first sensing unit 23 and the second sensing unit 25 transmits a sensing signal to the controller 29. Then, the control unit 29 reads from the sensing signal whether the spacing of the magnet 11 on the conveying member 11 maintains the predetermined interval, and reads whether the power supply of the power supply unit 21 is smoothly supplied or not (S210 If no abnormality is found as a result of the above-mentioned reading, the conveying of the conveying member 11, which is levitated through the continuous power supply of the power supply unit 21, is continuously performed.

그러나 언급한 판독 결과 이송체(11)의 자기 부상되는 간격이 설정된 간격을 유지하지 못하거나, 전원 공급부(21)의 전원 공급이 원활하게 이루어지지 않을 경우 제어부(29)는 이상이 발생한 것으로 판단하고, 비상 전원 공급부(27)로 제어 신호를 제공한다. 이에, 비상 전원 공급부(27)는 제어부(29)의 제어 신호에 의해 전자석으로 비상 전원을 제공한다.(S220)However, if the readout result of the readout does not maintain the set spacing of the conveying member 11 or the power supply to the power supply unit 21 is not smooth, the control unit 29 determines that an abnormality has occurred , And supplies the control signal to the emergency power supply unit 27. Thus, the emergency power supply 27 supplies the emergency power to the electromagnet by the control signal of the controller 29 (S220)

만약, 순간 전압 강화, 전원 차단 등과 같은 이상 발생시 제어부(29) 및 비상 전원 공급부(27)에 의한 전원 공급이 이루어지지 않을 경우 이송체(11)는 낙하하는 상황이 발생하고, 그 결과 낙하 충돌로 인하여 장치적 측면에서 파손이 이루어지는 상황이 발생한다. 이에, 본 발명의 자기 부상 이송 장치(100)는 언급한 바와 같이 비상 전원의 공급을 통하여 이송체(11)를 계속적으로 자기 부상시킴에 따라 이송체(11)가 낙하하는 상황을 사전에 충분히 방지할 수 있다.If power is not supplied by the control unit 29 and the emergency power supply unit 27 in the event of an abnormality such as an instantaneous voltage increase or a power shutdown, the conveying member 11 falls down. As a result, A situation occurs in which device breakdown occurs. As described above, the magnetic levitation conveying apparatus 100 of the present invention sufficiently prevents a situation in which the conveying member 11 falls due to continuous levitation of the conveying member 11 through supply of the emergency power source can do.

또한, 제어부(29)는 언급한 이상 발생시 비상 전원 공급부(27)를 가동하기 위한 제어 신호를 전원 용량 조절부(31)를 통하여 제공한다. 이에, 전원 용량 조절부(31)에 의해 조절된 전원이 전자석(16)으로 공급된다.(S230) 그리고 언급한 전원 용량부(21)에 의해 조절된 전원을 공급함으로써 이송체(11)가 서서히 낙하하도록 유도할 수 있다. 이는, 언급한 비상 전원 공급부(27)를 통한 전원 공급으로 이송체(11)의 계속적인 이송을 실시하는 것이 무리일 수 있기 때문으로 언급한 전원 용량 조절부(31)를 통하여 이송체(11)를 서시히 낙하시킨 후, 이상 발생에 대한 조치를 수행하기 위함이다.In addition, the control unit 29 provides a control signal for activating the emergency power supply unit 27 through the power capacity adjustment unit 31 when an abnormality is mentioned. The electric power adjusted by the electric power capacity adjusting unit 31 is supplied to the electromagnet 16 in step S230. By supplying the electric power adjusted by the power capacity unit 21 mentioned above, It can be induced to drop. This is because it is difficult to carry out the continuous conveyance of the conveying member 11 by the power supply through the emergency power supply unit 27, And then to take measures against the occurrence of abnormality.

아울러, 언급한 전원 공급부(27)를 통한 전원 공급에 이상이 발생할 경우 경보 기능을 별도로 구비할 수도 있다.In addition, if an abnormality occurs in the power supply through the power supply unit 27, an alarm function may be separately provided.

본 발명에 따른 자기 부상 이송 장치는 전원 공급의 이상으로 인하여 자기 부상 중에 있는 이송체가 낙하하는 상황을 사전에 방지함으로써 장치적 측면에서 파손 등과 같은 이상 상황을 최소화할 수 있고, 그 결과 언급한 자기 부상 이송 장치를 생산 현장에 적용할 경우 생산성의 향상은 물론이고 유지 보수에도 보다 효율적일 수 있다.The magnetic levitation conveying apparatus according to the present invention can minimize the abnormal situation such as breakage in the device aspect by preventing the drop of the conveying member during the magnetic levitation due to the abnormality of the power supply in advance, When the transfer device is applied to the production site, it can be more efficient in maintenance as well as productivity.

11 : 이송체 13 : 영구 자석
15 : 자기력 형성부 16 : 전자석
17 : 철심 19 : 코일
21 : 전원 공급부 23 : 제1 센서
25 : 제2 센서 27 : 비상 전원 공급부
29 : 제어부 31 : 전원 용량 조절부
100 : 자기 부상 이송 장치11: transfer member 13: permanent magnet
15: magnetic force forming section 16: electromagnet
17: iron core 19: coil
21: power supply unit 23: first sensor
25: second sensor 27: emergency power supply
29: control unit 31: power capacity adjusting unit
100: Magnetic wound transfer device

Claims (2)

자기력에 의해 자기 부상함에 따라 이송 경로를 따라 이송할 수 있도록 영구 자석을 구비하는 이송체;
상기 영구 자석과 마주하도록 배치되는 전자석, 및 상기 전자석과 상기 영구 자석 사이에 상기 이송체가 자기 부상할 수 있는 자기력을 제공하도록 상기 전자석에 전원을 공급하는 전원 공급부를 구비하는 자기력 형성부;
상기 이송체와 상기 전자석 사이의 간격을 센싱하는 제1 센싱부;
상기 전원 공급부의 전원 공급을 센싱하는 제2 센싱부;
상기 전원 공급부의 전원 공급에 이상이 발생할 때 상기 전자석으로 전원을 공급하도록 구비되는 비상 전원 공급부; 및
상기 제1 센싱부 및 상기 제2 센싱부 각각으로부터 센싱 신호를 전달받고, 이상 발생시 상기 비상 전원 공급부를 가동하도록 구비되는 제어부를 포함하는 자기 부상 이송 장치.A conveying body provided with a permanent magnet so as to be conveyed along a conveying path as it floats by magnetic force;
A magnetic force generating unit including an electromagnet disposed to face the permanent magnet and a power supply unit for supplying power to the electromagnet so as to provide a magnetic force between the electromagnet and the permanent magnet so that the conveying member can be magnetically levitated;
A first sensing unit sensing an interval between the conveying member and the electromagnet;
A second sensing unit sensing a power supply of the power supply unit;
An emergency power supply unit configured to supply power to the electromagnet when an abnormality occurs in the power supply of the power supply unit; And
And a control unit that receives a sensing signal from each of the first sensing unit and the second sensing unit and operates the emergency power supply unit when an error occurs. 제1 항에 있어서, 상기 제어부와 상기 비상 전원 공급부 사이에 구비되고, 상기 제어부로부터 제공되는 제어 신호에 의해 상기 비상 전원 공급부의 전원 용량을 조절하는 전원 용량 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치.The apparatus as claimed in claim 1, further comprising a power capacity adjusting unit provided between the control unit and the emergency power supply unit and adjusting a power capacity of the emergency power supply unit by a control signal provided from the control unit, Conveying device.
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