KR20140000777A - Supporting member of heat treatment apparatus for glass substrate - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a supporting member of a heat treating device for a glass substrate, which comprises: an upper base member which faces a glass substrate; a substrate supporting member which supports the glass substrate; a substrate heating member to heat the glass substrate which is supported by the upper base member; and a lower base member which faces the upper base member. The upper base member and the lower base member are formed to be split, and the substrate heating member is installed by protruding to the upper base member, and arranged multiply to the vertical and the horizontal direction. The present invention has an effect of rapidly cooling and evenly heating the each part of the glass substrate; simply cleaning the substrate supporting member; simplifying the maintenance work; protecting the all kinds of connectors and cables for supplying the power to the lamp for heating the substrate from the heat.

Description

유리 기판의 열처리장치용 지지부재{SUPPORTING MEMBER OF HEAT TREATMENT APPARATUS FOR GLASS SUBSTRATE}SUPPORTING MEMBER OF HEAT TREATMENT APPARATUS FOR GLASS SUBSTRATE}

본 발명은 유리 기판을 열처리하기 위한 열처리장치에 이용되는 지지부재에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 지지부재의 세척 및 유지보수가 용이하면서도 커넥터와 각종 배선을 열로부터 보호할 수 있도록 구성되는 유리기판의 열처리장치용 지지부재에 관한 것이다.The present invention relates to a support member used in a heat treatment apparatus for heat-treating a glass substrate, and more particularly, to a glass substrate configured to protect the connector and various wirings from heat while being easy to clean and maintain the support member. A support member for a heat treatment apparatus.

일반적으로 열처리장치는, 고속열처리(Rapid Thermal Anealing), 고속 열세정(Rapid Thermal Cleaning), 고속 열화학 증착(Rapid Thermal Chemical Vap. or Deposition)등의 열처리를 위한 장비이다.In general, the heat treatment apparatus is a device for heat treatment such as rapid thermal annealing, rapid thermal cleaning, rapid thermal chemical vapor deposition or the like.

유리기판의 열처리 공정 중 하나인 어닐링 공정은 유리기판 상에 증착된 비정질 실리콘을 폴리실리콘으로 결정화시키는 공정이다.An annealing process, which is one of heat treatment processes of a glass substrate, is a process of crystallizing amorphous silicon deposited on a glass substrate with polysilicon.

상기 열처리 공정을 위한 장치는, 유리기판을 지지하기 위한 기판지지부재와 상기 유리기판을 향해 복사열을 조사하는 다수의 히터를 포함한다. The apparatus for the heat treatment process includes a substrate support member for supporting a glass substrate and a plurality of heaters for radiating radiant heat toward the glass substrate.

이러한 열처리장치는 유리기판의 승온 및 감온이 되도록 짧은 시간에 넓은 온도범위에서 이루어지도록 구성되는 것이 바람직하며, 유리기판의 각 부분에서의 고른 가열과 정밀한 온도제어가 매우 중요한 문제가 된다. Such a heat treatment apparatus is preferably configured to be made in a wide temperature range in a short time so that the temperature and temperature of the glass substrate, and even heating and precise temperature control in each part of the glass substrate becomes a very important problem.

상기와 같은 유리기판의 승온 및 감온과 정밀한 온도제어에 앞서 필수적으로 선행되어야 하는 것은 바로 유리기판을 지지하면서도 열을 균일하게 가열하기 위한 기판지지부재의 설계이다. It is essential to design the substrate support member for heating the heat evenly while supporting the glass substrate.

또한, 유리기판 전체에 열을 균일하게 가열하면서도 열처리 공정이 종료된 후에는 신속하게 기판을 냉각시킬 수 있어야 하며, 전체 열처리 장치의 구성이 단순하며, 유지 보수가 용이하도록 설계되는 것이 바람직하다.In addition, while the heat is uniformly heated throughout the glass substrate, after the heat treatment process is completed, the substrate should be able to be quickly cooled, and it is preferable that the structure of the entire heat treatment apparatus is simple and designed to facilitate maintenance.

본 발명의 목적은, 유리 기판의 각 부분을 고루 가열하고 신속히 냉각할 수 있도록 구성되는 유리기판의 가열장치용 지지부재를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a support member for a heating apparatus for a glass substrate, which is configured to be able to heat each part of the glass substrate evenly and rapidly cool it.

본 발명의 또 다른 목적은, 유리기판의 지지부재 세척이 용이하고 유지 보수 작업을 단순화할 수 있는 유리기판의 가열장치용 지지부재를 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a support member for a heating apparatus for a glass substrate, which can easily wash the support member of the glass substrate and simplify the maintenance work.

본 발명의 또 다른 목적은, 기판가열을 위한 램프에 전원을 공급하기 위한 각종 커넥터 및 전선을 열로부터 보호할 수 있도록 구성되는 유리기판의 가열장치용 지지부재를 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a support member for a heating apparatus for a glass substrate, which is configured to protect various connectors and wires for supplying power to a lamp for heating a substrate from heat.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유리기판의 열처리 장치용 지지부재는 유리기판과 대면하는 상부베이스부재와, 유리기판을 지지하기 위한 기판지지부재와, 상기 기판지지부재에 지지된 유리기판을 가열하기 위한 기판가열부재와, 상기 상부베이스부재와 대면하는 하부베이스부재와를 포함하며, 상기 상부베이스부재와 하부베이스부재는 분할가능하게 구성되며, 상기 기판가열부재는 상기 상부베이스부재 상으로 돌출되도록 설치되되 가로와 세로 방향으로 복수개 배치된다.The support member for the heat treatment apparatus of the glass substrate according to the present invention for achieving the above object is an upper base member facing the glass substrate, a substrate support member for supporting the glass substrate, and a glass substrate supported on the substrate support member A substrate heating member for heating, and a lower base member facing the upper base member, wherein the upper base member and the lower base member are configured to be divided, and the substrate heating member protrudes onto the upper base member. Installed so as to be arranged in plurality in the horizontal and vertical direction.

바람직하게는, 냉각수 유입 및 유출을 위한 유입부와 유출부를 추가적으로 포함한다.Preferably, the apparatus further includes an inlet and an outlet for cooling water inlet and outlet.

또한, 상기 하부베이스부재에 형성되는 냉각수 유로부를 추가적으로 포함할 수 있다.In addition, it may further include a cooling water flow path portion formed in the lower base member.

여기서, 상기 하부베이스부재에는 상기 기판가열부재에 전원을 공급하기 위한 커넥터가 설치되며, 상기 기판가열부재는 "ㄷ" 형 램프로 구성될 수 있다.Here, the lower base member is provided with a connector for supplying power to the substrate heating member, the substrate heating member may be composed of a "c" type lamp.

한편, 상기 기판지지부재는 상기 하부베이스부재에 고정되되 상기 상부베이스부재를 관통하여 배치될 수 있다.The substrate supporting member may be fixed to the lower base member and disposed to penetrate the upper base member.

바람직하게는, 상기 기판지지부재에 의해 지지되는 유리기판의 온도를 감지하기 위한 온도감지부재를 추가적으로 포함한다.Preferably, the apparatus further includes a temperature sensing member for sensing a temperature of the glass substrate supported by the substrate supporting member.

본 발명에 의해, 유리 기판의 각 부분을 고루 가열하고 신속히 냉각할 수 있다.According to the present invention, each part of the glass substrate can be heated evenly and rapidly cooled.

또한, 유리기판의 지지부재 세척이 용이하고 유지 보수 작업을 단순화할 수 있다.In addition, it is easy to clean the support member of the glass substrate and simplify the maintenance work.

또한, 기판가열을 위한 램프에 전원을 공급하기 위한 각종 커넥터 및 전선을 열로부터 보호할 수 있다.In addition, various connectors and wires for supplying power to the lamp for heating the substrate can be protected from heat.

도 1 은 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 사시도이며,
도 2 는 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재에서 상부베이스부재가 제거된 상태를 도시하는 사시도이며,
도 3 은 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 일측부를 도시하는 부분사시도이며,
도 4 는 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 이면을 도시하는 사시도이다.1 is a perspective view of a support member for a heat treatment apparatus of a glass substrate according to the present invention,
Figure 2 is a perspective view showing a state in which the upper base member is removed from the support member for the heat treatment apparatus of the glass substrate according to the present invention,
3 is a partial perspective view showing one side of a support member for a heat treatment apparatus for a glass substrate according to the present invention;
4 is a perspective view showing the rear surface of the support member for the heat treatment apparatus of the glass substrate according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms used in the specification and claims should not be construed in a dictionary sense, and the inventor may, on the principle that the concept of a term can be properly defined in order to explain its invention in the best way And should be construed in light of the meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments shown in the present specification and the drawings are only exemplary embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are presented. Therefore, various equivalents It should be understood that water and variations may exist.

도 1 은 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 사시도이며, 도 2 는 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재에서 상부베이스부재가 제거된 상태를 도시하는 사시도이며, 도 3 은 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 일측부를 도시하는 부분사시도이며, 도 4 는 본 발명에 따른 유리기판의 열처리장치용 지지부재의 이면을 도시하는 사시도이다.1 is a perspective view of a support member for a heat treatment apparatus of a glass substrate according to the present invention, Figure 2 is a perspective view showing a state in which the upper base member is removed from the support member for a heat treatment apparatus of the glass substrate according to the present invention, Figure 3 Is a partial perspective view showing one side of the support member for the heat treatment apparatus of the glass substrate according to the present invention, Figure 4 is a perspective view showing the back surface of the support member for the heat treatment apparatus of the glass substrate according to the present invention.

도 1 내지 4 를 참조하면, 본 발명에 따른 유리기판의 열처리 장치용 지지부재는 유리기판과 대면하는 상부베이스부재(10)와, 유리기판(미도시)을 지지하기 위한 기판지지부재(20)와, 상기 기판지지부재(20)에 지지된 유리기판을 가열하기 위한 기판가열부재(30)와, 상기 상부베이스부재(10)와 대면하는 하부베이스부재(40)를 포함하며, 상기 상부베이스부재(10)와 하부베이스부재(40)는 분할가능하게 구성되며, 상기 기판가열부재(30)는 상기 상부베이스부재(10) 상으로 돌출되도록 설치되되 가로와 세로 방향으로 복수개 배치된다.1 to 4, a support member for a heat treatment apparatus of a glass substrate according to the present invention includes an upper base member 10 facing a glass substrate, and a substrate support member 20 for supporting a glass substrate (not shown). And a substrate heating member 30 for heating the glass substrate supported by the substrate support member 20, and a lower base member 40 facing the upper base member 10. 10 and the lower base member 40 is configured to be divided, the substrate heating member 30 is installed so as to protrude onto the upper base member 10 is disposed in a plurality of horizontal and vertical directions.

상기 상부베이스부재(10)는 본 발명에 따른 유리기판의 열처리 장치용 지지부재의 상면을 이루는 구성으로서, 상기 상부베이스부재(10) 상으로 상기 기판가열부재(30) 및 기판지지부재(20)가 돌출되어 설치된다.The upper base member 10 constitutes an upper surface of the support member for the heat treatment apparatus of the glass substrate according to the present invention, and the substrate heating member 30 and the substrate support member 20 onto the upper base member 10. Is installed to protrude.

상기 상부베이스부재(10)는 복수 개의 사각 판형으로 구성되어, 필요 시 분할 해체가 용이하도록 구성되어, 상기 상부베이스부재(10)에 유리기판의 공정 처리에 따른 여러 물질 부착 시에 용이하게 해체하여 세척하거나 파손될 경우 용이하게 교체가능하도록 구성된다.The upper base member 10 is composed of a plurality of rectangular plate shape, is configured to facilitate the disassembly if necessary, and easily dismantled when attaching a variety of materials in accordance with the processing process of the glass substrate on the upper base member 10 It is configured to be easily replaceable when washed or broken.

상기 기판지지부재(20)는 상기 하부베이스부재(40)에 설치되어 상기 상부베이스부재(10)를 관통하여 돌출되도록 설치되며, 상기 기판지지부재(20) 상에 공정 처리 대상인 유리기판이 지지된다.The substrate support member 20 is installed on the lower base member 40 to protrude through the upper base member 10, and a glass substrate, which is a process target, is supported on the substrate support member 20. .

상기 기판가열부재(30)는 예를 들어 "ㄷ" 형상의 램프로 구성되어, 상기 하부베이스부재(40)에 마련되는 커넥터에 접속된 상태로 상기 상부베이스부재(10)로부터 돌출되도록 설치된다.The substrate heating member 30 is configured to include, for example, a “c” shaped lamp, and is installed to protrude from the upper base member 10 while being connected to a connector provided in the lower base member 40.

즉, 상기 램프를 접속하기 위한 커넥터와 각종의 전선들은 상기 하부베이스부재(40) 상에 설치된 상태에서 상기 "ㄷ" 형상 램프의 단부를 상기 상부베이스부재(10)에 마련된 관통개구를 통과시켜 상기 커넥터에 접속되도록 결합시킨다.That is, the connector and various electric wires for connecting the lamp are passed through the through opening provided in the upper base member 10 through the end of the "c" shaped lamp in the state installed on the lower base member 40 To be connected to the connector.

그리하여, 유리기판을 가열하기 위한 상기 램프(30)와 각종 전선들 사이에 상기 상부베이스부재(10)가 배치되도록 함으로써, 상기 기판가열부재(30)에서 발생되는 열로부터 상기 커넥터 및 각종 전선들을 보호할 수 있다.Thus, the upper base member 10 is disposed between the lamp 30 and the various wires for heating the glass substrate, thereby protecting the connector and the various wires from the heat generated by the substrate heating member 30. can do.

상기와 같이 각종 전선 및 커넥터들을 열로부터 보호하기 위해 상기 상부베이스부재(10)는 세라믹재질로 구성될 수 있다.As described above, the upper base member 10 may be formed of a ceramic material to protect various wires and connectors from heat.

상기 하부베이스부재(40)는 상기 상부베이스부재(10)와 대면하여 배치되며, 상기 상부베이스부재(10)와 하부베이스부재(40)가 이루는 공간의 측면을 폐쇄하는 측면패널(60)에는 냉각수의 유입 및 유출을 위한 냉각수유입부(42)와 냉각수유출부(44)가 설치된다.The lower base member 40 is disposed to face the upper base member 10, and coolant is provided on the side panel 60 that closes the side surface of the space formed by the upper base member 10 and the lower base member 40. Cooling water inlet 42 and the cooling water outlet 44 for the inlet and outlet of the.

또한, 상기 측면패널(60)에는 세라믹 재질의 커넥터(70)가 설치되어 외부 전원으로부터 상기 기판가열부재(30) 등에 전력을 공급하도록 구성된다.In addition, the side panel 60 is provided with a connector 70 made of a ceramic material is configured to supply power to the substrate heating member 30 and the like from an external power source.

또한, 상기 하부베이스부재(40)에는 냉각수의 유동을 위한 냉각수유로부(50)가 설치된다.In addition, the lower base member 40 is provided with a cooling water flow path 50 for the flow of cooling water.

그리하여, 상기 상부베이스부재(10) 상으로 돌출되도록 가로와 세로 방향으로 복수개 설치되는 기판가열부재(30)들에 의해 유리기판이 고루 가열되면서도, 상기 냉각수유입부(42)와 냉각수유출부(44) 및 냉각수유로부(50)를 통한 냉각수의 유동에 의해 유리기판의 신속한 냉각을 이룰 수 있다.Thus, the glass substrate is heated evenly by the plurality of substrate heating members 30 installed in a plurality of horizontal and vertical directions so as to protrude onto the upper base member 10. ) And rapid cooling of the glass substrate by the flow of the cooling water through the cooling water flow path unit 50.

한편, 상기 하부베이스부재(40)에는 유리기판의 온도를 감지하기 위한 온도감지부재(80)가 상기 상부베이스부재(10)를 관통하여 돌출되도록 설치된다.On the other hand, the lower base member 40 is installed so that the temperature sensing member 80 for sensing the temperature of the glass substrate protrudes through the upper base member 10.

그리하여, 상기 온도감지부재(80)를 통해 가열되는 유리기판의 온도를 감지할 수 있도록 구성된다.Thus, it is configured to detect the temperature of the glass substrate heated through the temperature sensing member (80).

이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments and the drawings, it is to be understood that the technical scope of the present invention is not limited to these embodiments and that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. Various modifications and variations may be made without departing from the scope of the appended claims.

10: 상부베이스부재 20: 기판지지부재
30: 기판가열부재 40: 하부베이스부재
50: 냉각수유로부 60: 측면패널10: upper base member 20: substrate support member
30: substrate heating member 40: lower base member
50: cooling water flow path 60: side panel

Claims (6)

유리기판과 대면하는 상부베이스부재와;
유리기판을 지지하기 위한 기판지지부재와;
상기 기판지지부재에 지지된 유리기판을 가열하기 위한 기판가열부재와;
상기 상부베이스부재와 대면하는 하부베이스부재와를 포함하며,
상기 상부베이스부재와 하부베이스부재는 분할가능하게 구성되고,
상기 기판가열부재는 상기 상부베이스부재 상으로 돌출되도록 설치되되 가로와 세로 방향으로 복수개 배치되는 유리기판의 열처리 장치용 지지부재.An upper base member facing the glass substrate;
A substrate support member for supporting the glass substrate;
A substrate heating member for heating the glass substrate supported by the substrate supporting member;
A lower base member facing the upper base member,
The upper base member and the lower base member is configured to be divided,
The substrate heating member is installed to protrude onto the upper base member, the support member for a heat treatment apparatus of the glass substrate is disposed in a plurality in the horizontal and vertical direction. 제 1 항에 있어서,
냉각수 유입 및 유출을 위한 유입부와 유출부를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 열처리 장치용 지지부재.The method of claim 1,
A support member for a heat treatment apparatus for a glass substrate, further comprising an inlet and an outlet for cooling water inlet and outlet. 제 2 항에 있어서,
상기 하부베이스부재에 형성되는 냉각수 유로부를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 열처리 장치용 지지부재.3. The method of claim 2,
And a cooling water flow path part formed on the lower base member. 제 3 항에 있어서,
상기 하부베이스부재에는 상기 기판가열부재에 전원을 공급하기 위한 커넥터가 설치되며, 상기 기판가열부재는 "ㄷ" 형 램프로 구성되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 열처리 장치용 지지부재.The method of claim 3, wherein
The lower base member is provided with a connector for supplying power to the substrate heating member, wherein the substrate heating member is a support member for the heat treatment apparatus of the glass substrate, characterized in that consisting of a "c" type lamp. 제 4 항에 있어서,
상기 기판지지부재는 상기 하부베이스부재에 고정되되 상기 상부베이스부재를 관통하여 배치되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 열처리 장치용 지지부재.5. The method of claim 4,
The substrate support member is fixed to the lower base member, the support member for the heat treatment apparatus of the glass substrate, characterized in that disposed through the upper base member. 제 5 항에 있어서,
상기 기판지지부재에 의해 지지되는 유리기판의 온도를 감지하기 위한 온도감지부재를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 열처리 장치용 지지부재.

The method of claim 5, wherein
And a temperature sensing member for sensing a temperature of the glass substrate supported by the substrate supporting member.

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