KR20130124680A - Electro-permanent magnetic chuck with easy maintenance - Google Patents

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KR20130124680A
KR20130124680A KR1020120047976A KR20120047976A KR20130124680A KR 20130124680 A KR20130124680 A KR 20130124680A KR 1020120047976 A KR1020120047976 A KR 1020120047976A KR 20120047976 A KR20120047976 A KR 20120047976A KR 20130124680 A KR20130124680 A KR 20130124680A
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KR1020120047976A
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이종열
이종범
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(주) 테크노라이즈
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Abstract

The present invention relates to an electro-permanent magnetic chuck using permanent magnets and electromagnets, which enables easy inspection, repair, and replacement of thereof in case parts, such as electromagnets, installed inside of a main body are out of order because the parts and the main body are detachably coupled to each other. The electro-permanent magnetic chuck is composed of: a main body which is composed of a base and a bed installed on the top of the base to be detached by a first coupling unit; multiple protrusion parts which are protruding from the top and bottom of the bed; permanent magnets which are installed on the protrusion parts and magnetize the protrusion parts to function as upper poles; electromagnets which are installed on the bottom surfaces of the protrusion parts to be detached by second coupling units; and magnet receiving grooves which are formed on the top surface of the base and receive the electromagnets therein.

Description

유지보수가 용이한 영전자 척{Electro-Permanent Magnetic chuck with easy maintenance}Electro-Permanent Magnetic chuck with easy maintenance

본 발명은 영구자석과 전자석을 이용한 영전자 척에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 본체를 비롯한 각 구성이 분리 가능하게 체결되는 구조로 구성되어 본체의 내부에 설치된 전자석 등의 이상으로 고장 발생시 신속 간편하게 점검, 수리 및 교체할 수 있도록 한 유지보수가 용이한 영전자 척에 관한 것이다.
The present invention relates to a permanent magnet and an electromagnet chuck using an electromagnet, and more particularly, it is composed of a structure in which each component including the main body is detachably fastened and checks quickly and easily when a failure occurs due to an abnormality such as an electromagnet installed inside the main body. The present invention relates to an easy-to-maintain, zero-electrode chuck that can be repaired and replaced.

일반적으로 척은 선반 등과 같은 가공기계에 설치되는 것으로, 이는 가공소재를 고정하는 장치이다. 이는 어떠한 힘으로 가공소재를 고정가공소재를 고정하느냐에 따라 영구 척, 전자 척, 영전자 척 등으로 대별된다. In general, the chuck is installed in a machining machine such as a lathe, which is a device for fixing the workpiece. These are roughly classified into permanent chucks, electronic chucks, and zero chucks, depending on which force the fixed workpiece is fixed to.

상기 영구 척은 영구자석의 영구적인 자력을 이용한 것으로, 영구자석의 자력을 물리적으로 제어하여 가공소재의 탈착이 가능하게 된다. 그러나 영구 척은 영구자석의 자력을 물리적으로 제어해야 하므로 구조가 복잡하고 사용도 불편한 단점이 있다. The permanent chuck is to use the permanent magnetic force of the permanent magnet, it is possible to physically control the magnetic force of the permanent magnet to detach the processed material. However, since the permanent chuck must physically control the magnetic force of the permanent magnet, the structure is complicated and inconvenient to use.

상기 전자 척은 전자석을 이용한 것으로, 인가되는 전원을 통해 가공소재의 탈착이 가능하므로 자력의 제어가 용이한 장점이 있으나, 가공소재의 고정시 전원이 상시 인가되어야 하므로 전력소모가 크고 많은 열이 발생하며 정전이나 단선 등으로 전원이 인가되지 않는 경우 작동이 정지되어 안전사고를 유발하는 단점이 있다. The electromagnetic chuck uses an electromagnet, and thus, there is an advantage in that the control of magnetic force is easy because the processing material can be detached from the applied power source. In addition, if power is not applied due to power failure or disconnection, the operation is stopped, causing a safety accident.

상기 영전자 척은 영구 척과 전자 척의 단점을 모두 해소하기 위해 영구자석과 전자석을 모두 이용한 것으로, 전원이 차단되면 영구자석의 자력에 의해 가공소재가 고정되고 전원이 인가되면 전자석이 자화되어 영구자석의 자력을 상쇄시켜 가공소재가 분리 가능하게 된다. The electromagnet chuck uses both permanent magnets and electromagnets to solve both the disadvantages of the permanent chuck and the electronic chuck. When the power is cut off, the workpiece is fixed by the magnetic force of the permanent magnet, and when the power is applied, the electromagnet is magnetized to By canceling the magnetic force, the workpiece becomes separable.

따라서 영전자 척은 자력의 제어가 용이하여 가공소재의 탈착 작업이 편리하고 전원이 인가되지 않더라도 가공소재가 분리되지 않아 안전사고를 방지하며 가공소재를 분리할 때만 전원이 필요하므로 전력소모도 줄이고 발열도 적은 장점이 있다. Therefore, the zero-electron chuck is easy to control the magnetic force, so it is convenient to remove and remove the processed material, and even if the power is not applied, the processed material is not separated to prevent safety accidents. There is also less advantage.

이러한 종래의 영전자 척은, 본체와, 본체의 내부에 일정한 간격으로 설치된 복수의 전자석과, 상기 전자석의 상부에 설치된 복수의 영구자석과, 상기 본체에 내부에 영구자석과 전자석을 보호하고 이물질의 유입을 막기 위해 영구자석보다 낮은 깊이로 충진된 수지로 구성된 구조이다. Such a conventional electromagnet chuck has a main body, a plurality of electromagnets provided at regular intervals inside the main body, a plurality of permanent magnets provided on the upper part of the electromagnet, and a permanent magnet and an electromagnet inside the main body to protect foreign substances. It is composed of resin filled to lower depth than permanent magnet to prevent inflow.

이때 사용 중에 전자석의 코일에 합선이나 단선 등이 발생하여 점검, 수리 및 교체하는 유지보수 작업이 요구될 때 본체에 충진되어 있는 수지를 제거해야 한다. At this time, when the short circuit or disconnection occurs in the coil of the electromagnet during use, and the maintenance work such as inspection, repair and replacement is required, the resin filled in the main body should be removed.

그러나 상기 수지는 본체의 내부에 충진되어 영구자석과 전자석에 고착된 상태이다. 따라서 제거가 쉽지 않을 뿐만 아니라 수지를 제거하더라도 전자석을 수리 또는 교체한 후 다시 본체에 수지를 주입하여 굳힌 후 연삭하는 과정이 필요하므로 유지보수 작업이 거의 불가능한 문제점이 있다. However, the resin is filled in the interior of the body and is fixed to the permanent magnet and the electromagnet. Therefore, not only is not easy to remove, but even if the resin is removed, after the repair or replacement of the electromagnet, the resin is injected into the main body to harden and then the grinding process requires a nearly impossible maintenance work.

즉, 종래의 영전자 척은 전자석의 고장으로 인해 작동이 되지 않을 때 부품의 수리 및 교체가 거의 불가능하므로 새것으로 교환하는 방법에 없다. 이에 따라 제조업체에서는 서비스 비용이 증가하고 사용업체에서는 유지보수 비용이 증가하는 악순환이 계속될 수밖에 없다.
In other words, the conventional zero-electrode chuck is almost impossible to repair and replace parts when the electromagnet is not operated due to a failure of the electromagnet, so there is no replacement in a new one. This leads to a vicious cycle in which service costs increase for manufacturers and maintenance costs increase for users.

본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위해 발명된 것으로서, 전자석 등의 이상으로 인한 고장 발생시 점검, 수리 및 교체하는 유지보수 작업이 신속 간편하게 하여 제조업체의 서비스 비용은 물론이고 사용업체의 유지보수 비용을 절감할 수 있도록 분해조립이 용이한 구조를 가진 유지보수가 용이한 영전자 척을 제공하는데 그 목적이 있다.
The present invention has been invented to solve the above problems, the maintenance work to check, repair and replace in the event of a failure due to abnormalities such as electromagnets, etc. quickly and easily reduce the service cost of the manufacturer as well as the maintenance cost of the user The purpose of the present invention is to provide an easy-to-maintain electroless chuck with a structure that is easy to disassemble and assemble.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유지보수가 용이한 영전자 척은 베이스와, 상기 베이스의 상부에 제1체결수단에 의해 분리 가능하게 설치된 베드로 이루어진 본체; 상기 베드의 상하부로 돌출 형성된 복수의 돌출부; 상기 베드의 돌출부에 설치되어 돌출부가 상부폴이 되게 자화시키는 영구자석; 상기 돌출부의 하부면에 제2체결수단에 의해 분리 가능하게 설치된 전자석; 상기 베이스의 상부면에 함몰 형성되어 전자석이 수용되는 자석수용홈;으로 구성됨을 특징으로 한다. Easy maintenance of the present invention to achieve the above object of the electrostatic chuck is a base, the body consisting of a bed detachably installed by the first fastening means on the base; A plurality of protrusions protruding upward and downward of the bed; A permanent magnet installed on the protrusion of the bed to magnetize the protrusion to become an upper pole; An electromagnet detachably installed on a lower surface of the protrusion by a second fastening means; It is formed in the upper surface of the base is recessed to accommodate the magnet receiving magnet; characterized in that consisting of.

상기 영구자석은 돌출부의 하부 외측면에 형성된 복수의 자석삽입홈에 압입 설치됨을 특징으로 한다. The permanent magnet is characterized in that the press-installed in the plurality of magnet insertion groove formed on the lower outer surface of the protrusion.

상기 베이스와 베드의 사이에는 실링부재가 설치됨을 특징으로 한다. A sealing member is installed between the base and the bed.

상기 돌출부와 전자석의 사이에는 제1절연부재가 설치됨을 특징으로 한다. A first insulating member is installed between the protrusion and the electromagnet.

상기 베이스와 전자석의 사이에는 제2절연부재가 설치됨을 특징으로 한다.
A second insulating member is installed between the base and the electromagnet.

상기 과제의 해결 수단에 의해 본 발명은, 고장 발생시 편리하게 유지보수 작업이 가능하므로 제조업체는 서비스 비용을 절감하고 사용업체는 유지보수 비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 제조시 조립 공정도 용이하므로 제조효율도 높일 수 있는 효과가 있다.
By the means of solving the above problems, the present invention, the maintenance work can be carried out conveniently when a failure occurs, the manufacturer can reduce the service cost, the user can reduce the maintenance cost, as well as the assembly process during manufacturing, manufacturing efficiency There is also an effect that can be increased.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 평면도.
도 2는 도 1의 A-A'선 단면도.
도 3은 도 1의 B-B'선 단면도. 1 is a plan view according to a preferred embodiment of the present invention;
2 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 1.
3 is a cross-sectional view taken along the line B-B 'of FIG.

본 발명에 따른 유지보수가 용이한 영전자 척은, 선반 등의 가공기계에 설치되어 가공소재를 상부면에 고정시켜 절삭 등의 가공 작업이 가능하도록, 전원의 차단시 영구자석의 자력을 통해 가공소재를 흡착 고정하고 전원의 인가시 전자석의 자력으로 영구자석의 자력을 상쇄시켜 가공소재를 자유롭게 하는 장치이다. The maintenance-free zero-electron chuck according to the present invention is installed in a machining machine such as a lathe to fix the workpiece to the upper surface so that machining operations such as cutting can be performed through the magnetic force of the permanent magnet when the power is cut off. It is a device that frees processed materials by absorbing and fixing materials and canceling the magnetic force of permanent magnet by magnetic force of electromagnet when power is applied.

이러한 본 발명에 따른 유지보수가 용이한 영전자 척은, 전자석 등에 이상이 발생하여 작동이 제대로 이루어지지 않을 때 신속 간편하게 점검하여 수리 및 교체할 수 있는 것이 특징이다. The zero-electron chuck which is easy to maintain according to the present invention is characterized by being able to quickly and easily check and repair and replace when an error occurs in an electromagnet or the like and is not properly performed.

이러한 특징은 본체가 제1체결수단에 의해 상하로 분리 가능하게 결합된 베드와 베이스로 이분되고, 전자석은 제2체결수단에 의해 베드의 하부면에 분리 가능하게 설치된 구성에 의해 가능하다. 이에 따라 전자석 등에 이상이 발생할 경우 제1체결수단과 제2체결수단을 해체하면 신속 간편하게 점검하여 수리 및 교체할 수 있다. This feature is possible by a configuration in which the main body is divided into a bed and a base detachably coupled up and down by the first fastening means, and the electromagnet is detachably installed on the lower surface of the bed by the second fastening means. Accordingly, when an abnormality occurs in an electromagnet or the like, the first fastening means and the second fastening means can be dismantled to quickly and easily inspect and repair and replace the fastening means.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 평면도이고, 도 2는 도 1의 A-A'선 단면도이며, 도 3은 도 1의 B-B'선 단면도이다. 1 is a plan view according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view taken along the line AA 'of Figure 1, Figure 3 is a cross-sectional view taken along the line B-B' of FIG.

본 발명에 따른 바람직한 실시예에 따른 유지보수가 용이한 영전자 척(100)은, 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 본체(10); 상기 본체(10)의 내부에 설치되어 본체(10)의 상부에 놓이는 가공소재를 자력으로 흡착 고정하는 영구자석(30); 및 상기 영구자석(30)의 하부에 설치되어 영구자석(30)의 자력을 상쇄시켜 본체(10)의 상부에 놓이는 가공소재를 자유롭게 하는 전자석(40);으로 크게 구성된다. Easy-to-maintain electrophoretic chuck 100 according to a preferred embodiment of the present invention, the body 10, as shown in Figures 1 and 2; A permanent magnet (30) installed inside the main body (10) for adsorbing and fixing a workpiece placed on an upper portion of the main body (10) by magnetic force; And an electromagnet 40 installed at the lower portion of the permanent magnet 30 to cancel the magnetic force of the permanent magnet 30 to free the processed material placed on the upper portion of the main body 10.

먼저, 상기 본체(10)는 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이 상부면에 가공소재가 놓이는 베드(12) 및 바닥에 안착되는 베이스(11)로 상하 분리 구성된다. First, the main body 10 is divided up and down by the bed 12 and the base 11 seated on the floor as the workpiece is placed on the upper surface as shown in Figs.

여기서 상기 베이스(11)와 베드(12)는 볼트 등과 같은 제1체결수단(13)을 통해 분리 가능하게 상하로 결합 설치된다. 따라서 상기 베이스(11)와 베드(12)는 상기 제1체결수단(13)을 해체함으로써 신속 간편하게 분리할 수 있다. Here, the base 11 and the bed 12 are installed to be detachably coupled up and down through a first fastening means 13 such as a bolt. Therefore, the base 11 and the bed 12 can be quickly and easily separated by disassembling the first fastening means 13.

그리고 상기 베이스(11)와 베드(12)의 사이에는 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 밀봉이 가능한 재질로 이루어진 실링부재(70)가 설치된다. 따라서 상기 실링부재(70)에 의해 베이스(11)와 베드(12)의 사이가 밀봉됨으로써 본체(10)의 내부로 이물질 등이 침투되는 것을 방지할 수 있다. And between the base 11 and the bed 12, as shown in Figures 2 and 3, a sealing member 70 made of a sealable material is installed. Therefore, the sealing member 70 may be sealed between the base 11 and the bed 12 to prevent foreign matters or the like from penetrating into the main body 10.

또한, 상기 베드(12)의 하부면에는 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 돌출부(20)가 간격을 두면서 하나 이상의 그룹을 이루며 각 그룹별로 간격을 두고 베드(12)에 일체로 돌출 형성된다. In addition, as shown in Figure 2 and 3, the lower surface of the bed 12, a plurality of protrusions 20 are formed at one or more groups with a spaced interval and integrally with the bed 12 at intervals for each group Is formed to protrude.

이때 상기 돌출부(20)는 복수의 영구자석(30)에 의해 자화되어 상부폴이 되면서 가공소재가 베드(12)의 상부면에 흡착 고정되게 하는 역할을 하는데, 보통 배치가 용이하도록 직육면체 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. At this time, the protrusions 20 are magnetized by the plurality of permanent magnets 30 to serve as the upper pole and the workpiece is fixed to the upper surface of the bed 12, it is usually formed in a rectangular parallelepiped shape for easy placement. It is desirable to be.

다음으로, 상기 영구자석(30)은 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이 복수로 구성되어 돌출부(20)에 설치되는데, 바람직하게는 돌출부(20)의 하부 외측면에 각각 형성된 자석삽입홈(60)에 압입 설치되는 것이 바람직하다. Next, the permanent magnet 30 is composed of a plurality as shown in Figures 2 and 3 is installed in the protrusions 20, preferably magnet insertion grooves (each formed on the lower outer surface of the protrusions 20) It is preferable to press-fit to 60).

즉, 상기 돌출부(20)의 하부 외측면에 형성된 총 4개의 자석삽입홈(60)에 총 4개의 영구자석(30)이 압입 설치된다. 단, 한 그룹 내에서 상하 좌우로 이웃하는 두 돌출부(20)의 사이에는 자석삽입홈(60)이 1개만 형성되어 있으므로 1개의 영구자석(30)만이 압입 설치된다. That is, a total of four permanent magnets 30 are press-fitted into four magnet insertion grooves 60 formed on the lower outer surface of the protrusion 20. However, since only one magnet insertion groove 60 is formed between the two protruding portions 20 that are adjacent to each other vertically and horizontally in one group, only one permanent magnet 30 is press-installed.

따라서 상기 돌출부(20)는 총 4개의 영구자석(30)에 의해 자화되어 베드(12)의 흡착력을 강화시킬 수 있다. 이때 각 돌출부(20)의 극성은 그 자석삽입홈(60)에 압입 설치된 해당 영구자석(30)의 극성에 따라 N극 또는 S극으로 자화된다. Therefore, the protrusion 20 may be magnetized by a total of four permanent magnets 30 to enhance the adsorption force of the bed 12. At this time, the polarity of each protrusion 20 is magnetized to the N pole or the S pole according to the polarity of the permanent magnet 30 is pressed into the magnet insertion groove (60).

단, 베드(12)가 소재를 고정하는 흡착력을 발휘할 수 있도록 각 그룹에 속하는 돌출부(20)의 극성은 순차적으로 N극과 S극으로 자화되어야 하므로, 이를 자화시키는 영구자석(30)을 돌출부(20)의 극성을 순차적으로 N극과 S극으로 자화시키는 극성으로 배치하는 것이 바람직하다. However, since the polarity of the protrusions 20 belonging to each group must be magnetized sequentially to the N pole and the S pole so that the bed 12 can exert the adsorption force to fix the material, the protrusions (the permanent magnet 30 to magnetize them) It is preferable to arrange the polarity of 20) in the order of polarization to magnetize sequentially to the N pole and the S pole.

다음으로, 상기 전자석(40)은 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 돌출부(20)의 하부면에 볼트 등과 같은 제2체결수단(43)을 통해 분리 가능하게 설치된다. 이는 전원의 인가로 자화되면서 상부폴이 되는 돌출부(20)의 자력을 상쇄시켜 베드(12)에 놓인 가공소재가 베드(12)에서 자유롭게 분리되게 하는 역할을 한다. Next, as shown in FIGS. 2 and 3, the electromagnet 40 is detachably installed on the lower surface of the protrusion 20 through a second fastening means 43 such as a bolt. This magnetizes the magnetic force of the protrusion 20 which becomes the upper pole while being magnetized by the application of a power source, and serves to freely separate the workpiece from the bed 12.

따라서 상기 전자석(40)은 제1체결수단(13)만을 해체하면 베드(12)에서 신속 간편하게 분리할 수 있다. Therefore, the electromagnet 40 can be quickly and easily separated from the bed 12 by dismantling only the first fastening means 13.

상기 전자석(40)은 돌출부(20)의 하부면에 제1체결수단(13)을 통해 결합된 하부폴(41)과, 상기 하부폴(41)의 외주면에 권회되어 하부폴(41)을 자화시키는 코일(42)로 구성된다. The electromagnet 40 is wound on the lower pole 41 coupled to the lower surface of the protrusion 20 through the first fastening means 13 and the outer circumferential surface of the lower pole 41 to magnetize the lower pole 41. It is composed of a coil (42).

이때 상기 돌출부(20)와 전자석(40)의 사이에는 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이 절연재질로 이루어진 제1절연부재(80)가 설치된다. 이는 전원이 인가되는 전자석(40)으로부터 돌출부(20)를 전기적으로 분리시켜 전자석(40)의 자화를 원활하게 하는 역할을 한다. In this case, a first insulating member 80 made of an insulating material is installed between the protrusion 20 and the electromagnet 40 as shown in FIGS. 2 and 3. This serves to electrically separate the protrusion 20 from the electromagnet 40 to which power is applied, thereby facilitating magnetization of the electromagnet 40.

다음으로, 상기 베이스(11)는 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이 상부면에 복수의 자석수용홈(50)이 돌출부(20)의 그룹에 대응되는 간격으로 형성된다. 상기 자석수용홈(50)은 베이스(11)와 베드(12)가 제1체결수단(13)을 통해 상하로 결합 설치될 때 베드(12)의 돌출부(20)에 설치된 전자석(40)을 내부로 수용하는 역할을 한다. Next, as shown in FIGS. 2 and 3, the base 11 has a plurality of magnet receiving grooves 50 formed at intervals corresponding to a group of the protrusions 20 on the upper surface thereof. The magnet accommodating groove 50 has an electromagnet 40 installed in the protrusion 20 of the bed 12 when the base 11 and the bed 12 are installed up and down through the first fastening means 13. It serves as an accommodation.

이때 상기 자석수용홈(50)은 도 2와 도 3에 도시된 같이 영구자석(30)의 하부를 빈공간으로 포함하도록 형성되는 것이 바람직하다. 이는 영구자석(30)의 자력이 베이스(11)로 전달되지 않고 돌출부(20)로만 전달되게 하여 돌출부(20)의 흡착력을 높이기 위한 것이다. At this time, the magnet accommodating groove 50 is preferably formed to include a lower portion of the permanent magnet 30 as shown in Figure 2 and 3 as an empty space. This is to increase the adsorption force of the protrusion 20 by allowing the magnetic force of the permanent magnet 30 is not transmitted to the base 11 but only to the protrusion 20.

그리고 상기 전자석(40)과 베이스(11)의 사이에는 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이 절연재질로 이루어진 제2절연부재(90)가 설치된다. 이 또한 전원이 인가되는 전자석(40)으로부터 베이스(11)를 전기적으로 분리시켜 전자석(40)의 자화를 원활하게 하는 역할을 한다. A second insulating member 90 made of an insulating material is installed between the electromagnet 40 and the base 11 as shown in FIGS. 2 and 3. In addition, the base 11 is electrically separated from the electromagnet 40 to which power is applied, thereby serving to facilitate magnetization of the electromagnet 40.

이상과 같이 본 발명에 따른 유지보수가 용이한 영전자 척(100)은, 제1체결수단(13)과 제2체결수단(43)을 차례대로 해체하면 본체(10)를 구성하는 베이스(11)와 베드(12)가 간단하게 분리되고 전자석(40)도 베드(12)에서 간단하게 분리된다. As described above, the zero-electron chuck 100 which is easy to maintain according to the present invention, when the first fastening means 13 and the second fastening means 43 are dismantled in order, the base 11 constituting the main body 10. ) And bed 12 are simply separated and electromagnet 40 is also simply separated from bed 12.

이에 따라 상기 전자석(40)의 코일(42)에 합선, 단선, 접속불량 등과 같은 이상이 발생하면 베드(12)를 베이스(11)에서 분리하여 전자석(40)을 외부로 노출시켜 점검한 후 이상이 있는 전자석(40)을 베드(12)에서 분리하여 수리 또는 교체하는 유지보수 작업을 신속 간편하게 할 수 있다. Accordingly, when an abnormality such as a short circuit, a disconnection, or a connection failure occurs in the coil 42 of the electromagnet 40, the bed 12 is separated from the base 11, and the electromagnet 40 is exposed to the outside for inspection. It is possible to quickly and easily maintenance work to remove or repair the electromagnet 40 with the bed 12 to replace or replace.

그리고 베이스(11)와 베드(12)의 사이에 설치된 실링부재(70), 베드(12)와 전자석(40)의 사이에 설치된 제1절연부재(80) 및 전자석(40)과 베이스(11)의 사이에 설치된 제2절연부재(90) 등의 이상으로 이를 점검 및 교체할 때도 상기와 같은 과정을 통해 신속 간편하게 작업할 수 있다. And the sealing member 70 provided between the base 11 and the bed 12, the first insulating member 80 and the electromagnet 40 and the base 11 provided between the bed 12 and the electromagnet 40 Even when the inspection and replacement of the second insulating member 90, etc. installed between the above can be quickly and simply work through the above process.

또한, 베이스(11)와 베드(12), 베드(12)와 전자석(40)은 각각 제2체결수단(43)와 제1체결수단(13)에 의해 간단하게 조립되는 구조임에 따라, 제조시 용접 등의 공정이 별도로 필요하지 않을 뿐만 아니라 수지를 내부에 주입하는 공정이나 수지의 노출면을 고르게 연삭하는 공정 또한 필요하지 않으므로 제조효율을 크게 높일 수 있다. In addition, since the base 11 and the bed 12, the bed 12 and the electromagnet 40 are simply assembled by the second fastening means 43 and the first fastening means 13, respectively, In addition, a process such as welding is not required separately, and a process of injecting a resin into the inside or a process of grinding the exposed surface of the resin evenly is not required, thereby greatly increasing manufacturing efficiency.

상기한 실시예는 예시적인 것에 불과한 것으로, 당해 기술분야에 대한 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양하게 변형된 다른 실시예가 가능하다. The above embodiments are merely exemplary, and those having ordinary skill in the art may have other embodiments modified in various ways.

따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위에는 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상에 의해 상기한 실시예 뿐만 아니라 다양하게 변형된 다른 실시예가 포함되어야 한다.
Therefore, the true technical protection scope of the present invention should include not only the above-described embodiment but also various other embodiments modified by the technical spirit of the invention described in the claims below.

10: 본체 11: 베이스
12: 베드 13: 제1체결수단
20: 돌출부 30: 영구자석
40: 전자석 41: 하부폴
42: 코일 43: 제2체결수단
50: 자석수용홈 60: 자석삽입홈
70: 실링부재 80: 제1절연부재
90: 제2절연부재 100: 영전자 척10: body 11: base
12: Bed 13: First fastener
20: protrusion 30: permanent magnet
40: electromagnet 41: lower pole
42: coil 43: second fastening means
50: magnet receiving groove 60: magnet insertion groove
70: sealing member 80: first insulating member
90: second insulating member 100: electromagnet chuck

Claims (5)

베이스(11)와, 상기 베이스(11)의 상부에 제1체결수단(13)에 의해 분리 가능하게 설치된 베드(12)로 이루어진 본체(10);
상기 베드(12)의 상하부로 돌출 형성된 복수의 돌출부(20);
상기 베드(12)의 돌출부(20)에 설치되어 돌출부(20)가 상부폴이 되게 자화시키는 영구자석(30);
상기 돌출부(20)의 하부면에 제2체결수단(43)에 의해 분리 가능하게 설치된 전자석(40);
상기 베이스(11)의 상부면에 함몰 형성되어 전자석(40)이 수용되는 자석수용홈(50);으로 구성됨을 특징으로 하는 유지보수가 용이한 영전자 척.
A main body (10) comprising a base (11) and a bed (12) detachably installed on the base (11) by a first fastening means (13);
A plurality of protrusions 20 protruding upward and downward of the bed 12;
A permanent magnet 30 installed on the protrusion 20 of the bed 12 to magnetize the protrusion 20 to become an upper pole;
An electromagnet 40 detachably installed on the lower surface of the protrusion 20 by a second fastening means 43;
It is recessed in the upper surface of the base 11 is a magnet receiving groove (50) for receiving the electromagnet (40); easy to maintain the zero-electron chuck.
제1항에 있어서,
상기 영구자석(30)은,
돌출부(20)의 하부 외측면에 형성된 복수의 자석삽입홈(60)에 압입 설치됨을 특징으로 하는 유지보수가 용이한 영전자 척.
The method of claim 1,
The permanent magnet (30)
Easy-maintenance zero-electron chuck, characterized in that the press-fit installation in the plurality of magnet insertion groove (60) formed on the lower outer surface of the protrusion (20).
제1항에 있어서,
상기 베이스(11)와 베드(12)의 사이에는,
실링부재(70)가 설치됨을 특징으로 하는 유지보수가 용이한 영전자 척.
The method of claim 1,
Between the base 11 and the bed 12,
Easy-maintenance zero-electron chuck, characterized in that the sealing member 70 is installed.
제1항에 있어서,
상기 돌출부(20)와 전자석(40)의 사이에는,
제1절연부재(80)가 설치됨을 특징으로 하는 유지보수가 용이한 영전자 척.
The method of claim 1,
Between the protrusion 20 and the electromagnet 40,
Easy-maintenance zero-electron chuck, characterized in that the first insulating member (80) is installed.
제1항에 있어서,
상기 베이스(11)와 전자석(40)의 사이에는,
제2절연부재(90)가 설치됨을 특징으로 하는 유지보수가 용이한 영전자 척.
The method of claim 1,
Between the base 11 and the electromagnet 40,
Easy-maintenance zero-electron chuck, characterized in that the second insulating member 90 is installed.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104308624A (en) * 2014-10-15 2015-01-28 株洲悍威磁电科技有限公司 Free splicing electric permanent magnetic suction disc
KR20180104798A (en) * 2017-03-13 2018-09-27 주식회사 아바코 Apparatus for Holding Substrate and Chamber Apparatus

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