KR102040049B1

KR102040049B1 - Permanent Electro Magnetic Chuck

Info

Publication number: KR102040049B1
Application number: KR1020170182818A
Authority: KR
Inventors: 윤근영; 정기동
Original assignee: 호남대학교 산학협력단
Priority date: 2017-12-28
Filing date: 2017-12-28
Publication date: 2019-11-04
Also published as: KR20190080402A

Abstract

본 발명은 영전자 척에 관한 것으로서, 전기커넥터가 마련된 백요크와, 상기 백요크에 설치되는 것으로서, 상기 전기커넥터를 통해 공급되는 전류에 의해 자력을 유도하거나 유도된 자력이 해제되는 다수의 마그네틱 블록;을 구비하고, 상기 마그네틱 블록은 하단부가 상기 백요크에 설치되며, 내부에 설치공간이 마련된 보빈과, 상기 전기커넥터와 전기적으로 연결되며, 상기 보빈의 외주면에 다수회 감긴 코일과, 상기 보빈의 설치공간에 설치되며, 자성을 갖는 극방향 전환자석과, 상기 보빈의 상단부에 설치되는 것으로서, 외주면에 상하방향으로 연장된 5개 이상의 단위측면이 마련될 수 있도록 다각형의 단면을 갖도록 형성되며, 자성을 갖는 하부코어를 구비한다.
본 발명에 따른 영전자 척은 극방향 전환자석 상부에 설치된 하부코어가 팔각형과 같은 다각형의 단면을 갖도록 형성되어 있으므로 하부코어의 모서리부에 발생하는 누설자속을 감소시켜 작동효율을 증가시키는 장점이 있다. The present invention relates to an electromagnet chuck, wherein a back yoke provided with an electrical connector and a plurality of magnetic blocks installed in the back yoke, induce a magnetic force by a current supplied through the electrical connector or release the induced magnetic force. The magnetic block has a lower end installed in the back yoke, a bobbin having an installation space therein, electrically connected to the electrical connector, and a coil wound several times on an outer circumferential surface of the bobbin, and It is installed in the installation space, and is installed to have a magnetic pole direction switching magnet and the upper end of the bobbin, is formed to have a polygonal cross section so that at least five unit side surfaces extending in the vertical direction on the outer peripheral surface, magnetic It has a lower core having.
The electromagnet chuck according to the present invention is formed to have a polygonal cross section such as an octagonal lower core installed on the upper direction switching magnet, thereby reducing the leakage flux generated at the corners of the lower core, thereby increasing operating efficiency. .

Description

Permanent Electro Magnetic Chuck

본 발명은 영전자 척에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 팔각형과 같은 다각 형상으로 형성된 하부코어가 마련된 영전자 척에 관한 것이다. The present invention relates to an electromagnet chuck, and more particularly, to an electromagnet chuck provided with a lower core formed in a polygonal shape such as an octagon.

일반적으로 공작기계의 척은 공작기계의 테이블에 설치되어 공작물을 고정하는 부속장치로서, 척, 에어척, 콜릿척(collet chuck) 등이 있으며, 자석을 이용하여 테이블에 설치되고 공작물을 부착하여 가공할 수 있는 전자석 척이 있다.In general, a chuck of a machine tool is an accessory device installed on a table of a machine tool to fix a work, and includes a chuck, an air chuck, and a collet chuck, and is installed on a table using a magnet and is processed by attaching a work. There is an electromagnet chuck that can do it.

여기서, 전자석 척은 전원을 인가받아 별도의 부재를 사용하지 않고서도 손쉽게 공작물을 부착할 수 있으며, 최근에는 알니코 자석과 희토류(네오디움)자석을 조합한 전자석 척이 제안되었으며, 이러한 전자석 척은 상당히 큰 자력이 발생하므로, 자기장에 의하여 공작물을 고정하는 기능이 매우 우수하다. 상기와 같은Here, the electromagnet chuck can be easily attached to a workpiece without using a separate member by receiving power, and recently, an electromagnet chuck combining an alnico magnet and a rare earth (neodymium) magnet has been proposed. Since a very large magnetic force is generated, the function of fixing the workpiece by the magnetic field is very good. Same as above

종래의 전자석 척은 백요크 및 백요크 상에 매트릭스 형태로 배열된 다수의 마그네틱 블록을 포함한다. 또한, 상기 전자석 척은 백요크를 회전 가능하게 지지하는 지지 테이블을 더 포함할 수 있다.Conventional electromagnet chucks include a back yoke and a plurality of magnetic blocks arranged in a matrix on the back yoke. In addition, the electromagnet chuck may further include a support table for rotatably supporting the back yoke.

상기 백요크는 상부면을 포함하고, 상기 상부면에는 다수의 마그네틱 블록이 장착되는 다수의 장착부가 매트릭스 형태로 배열되어 오목하게 형성된다. 그리고, 상기 백요크의 일측면에는 전기커넥터가 마련된다.The back yoke includes an upper surface, and a plurality of mounting portions on which the plurality of magnetic blocks are mounted are arranged in a matrix to be concave. An electrical connector is provided on one side of the back yoke.

이와 같이 전류에 의해 자성이 유도되거나 또는 유도된 자성이 해제되는 마그네틱 블록은 제 1 영구 자석부, 자기유도부, 제 2 영구 자석부, 상기 제 2 영구 자석부를 감싸는 보빈, 상기 보빈의 둘레에 감기는 자화용 코일로 구성된다. 이때, 상기 제 1 영구 자석부에는 4개의 자석띠가 마련된다. 제 2영구 자석부는 보빈의 내부에 설치되며, 보빈의 상단부에는 제 1 영구 자석부가 설치되어 있다. As described above, the magnetic block in which the magnetism is induced or released by the electric current may be wound around the first bobbin, the magnetic induction part, the second permanent magnet part, the bobbin surrounding the second permanent magnet part, and the bobbin. It is composed of a magnetizing coil. In this case, four magnet bands are provided in the first permanent magnet part. The second permanent magnet part is installed inside the bobbin, and the first permanent magnet part is installed at the upper end of the bobbin.

그리고, 자화용 코일은 제 2 영구 자석부를 둘러싸고 백요크에 마련된 전기커넥터에 전기적으로 연결된다. 각각의 자화용 코일은 서로 직렬 연결되어 전기커넥터에 전기적으로 연결되거나, 또는 미리 정해진 수의 자화용 코일이 먼저 직렬 연결되어 그룹을 형성한 후 각 그룹은 병렬로 전기커넥터에 전기적으로 연결될 수 있다.The magnetizing coil is electrically connected to an electrical connector provided in the back yoke surrounding the second permanent magnet part. Each magnetizing coil may be connected in series and electrically connected to an electrical connector, or a predetermined number of magnetizing coils may be connected in series to form a group, and then each group may be electrically connected to the electrical connector in parallel.

그러나, 종래의 전자석 척은 제1영구 자석부가 사각형의 단면을 갖도록 형성되어 있으므로 제1영구 자석부의 모서부에 의해 누설자속(leakage flux)이 발생하여 유효자속이 감소하는 단점이 있다. However, in the conventional electromagnet chuck, since the first permanent magnet part is formed to have a rectangular cross section, a leakage flux is generated by the edge portion of the first permanent magnet part, which reduces the effective magnetic flux.

등록특허공보 제10-1430152호: 전자석 척 및 이 전자석 척의 몰딩방법Korean Patent No. 10-1430152: Electromagnet Chuck and Molding Method of Electromagnet Chuck

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 창안된 것으로서, 하부 코어의 모서리부분에서 발생되는 누설자속을 감소시킬 수 있는 영전자 척을 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to improve the above problems, and an object thereof is to provide an electrostatic chuck that can reduce the leakage magnetic flux generated at the corner of the lower core.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 영전자 척은 전기커넥터가 마련된 백요크와, 상기 백요크에 설치되는 것으로서, 상기 전기커넥터를 통해 공급되는 전류에 의해 자력을 유도하거나 유도된 자력이 해제되는 다수의 마그네틱 블록을 구비하고, 상기 마그네틱 블록은 하단부가 상기 백요크에 설치되며, 내부에 설치공간이 마련된 보빈과, 상기 전기커넥터와 전기적으로 연결되며, 상기 보빈의 외주면에 다수회 감긴 코일과, 상기 보빈의 설치공간에 설치되며, 자성을 갖는 극방향 전환자석과, 상기 보빈의 상단부에 설치되는 것으로서, 외주면에 상하방향으로 연장된 5개 이상의 단위측면이 마련될 수 있도록 다각형의 단면을 갖도록 형성되며, 자성을 갖는 하부코어를 구비한다. The zero-electron chuck according to the present invention for achieving the above object is to be installed in the back yoke, the back yoke is provided with an electrical connector, the magnetic force induced or released by the current supplied through the electrical connector is released A plurality of magnetic blocks, the magnetic block having a lower end installed in the back yoke, a bobbin provided with an installation space therein, electrically connected to the electrical connector, and a coil wound several times on the outer circumferential surface of the bobbin; It is installed in the installation space of the bobbin, is installed to have a magnetic pole direction magnet and the upper end of the bobbin, formed to have a polygonal cross section so that at least five unit side surfaces extending in the vertical direction on the outer peripheral surface is provided. And a lower core having magnetic properties.

상기 하부코어는 상기 단위측면이 사각형으로 형성된다. The lower core is formed in a rectangular unit side.

상기 하부코어는 팔각형의 단면을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. The lower core is preferably formed to have an octagonal cross section.

상기 하부코어는 외주면에 다수의 제1단위측면 및 상기 제1단위측면의 좌우 폭보다 작은 좌우폭을 갖는 다수의 제2단위측면이 형성되고, 상기 제1 및 제2단위측면은 상기 하부코어의 원주방향을 따라 상호 교번으로 형성될 수도 있다. The lower core has a plurality of first unit side surfaces and a plurality of second unit side surfaces having a left and right width smaller than the left and right widths of the first unit side surface, and the first and second unit side surfaces have a circumference of the lower core. It may be formed alternately along the direction.

본 발명에 따른 영전자 척은 상기 하부코어의 외주면에 상호 이격되게 설치되며, 상기 마그네틱 블록의 자기력을 증가시키기 위해 상기 하부코어를 자화시킬 수 있도록 소정의 자력을 갖는 다수의 영구자석을 더 구비할 수 있다. Electron chuck according to the present invention is installed on the outer circumferential surface of the lower core spaced apart from each other, further comprising a plurality of permanent magnets having a predetermined magnetic force to magnetize the lower core to increase the magnetic force of the magnetic block Can be.

상기 영구자석은 다수개가 상기 하부코어의 원주방향을 따라 상호 이격되게 배열되는 것이 바람직하다. The plurality of permanent magnets are preferably arranged to be spaced apart from each other along the circumferential direction of the lower core.

상기 하부코어는 5개 이상의 상기 단위측면이 형성되고, 상기 영구자석는 상호 인접된 상기 하부코어의 단위측면들 중 어느 하나에 설치될 수도 있다. The lower core has five or more unit side surfaces, and the permanent magnet may be installed on any one of the unit side surfaces of the lower core adjacent to each other.

상기 하부코어는 외주면에 다수의 제1단위측면 및 상기 제1단위측면의 좌우 폭보다 작은 좌우폭을 갖는 다수의 제2단위측면이 형성되며, 상기 제1 및 제2단위측면은 상기 하부코어의 원주방향을 따라 상호 교번으로 형성되고, 상기 영구자석은 상기 제1단위측면들에 각각 설치된다. The lower core has a plurality of first unit side surfaces and a plurality of second unit side surfaces having a left and right width smaller than the left and right widths of the first unit side surface, and the first and second unit side surfaces have a circumference of the lower core. It is formed alternately along the direction, the permanent magnet is provided on each of the first unit side.

한편, 본 발명에 따른 영전자 척은 상기 하부코어의 상부에 설치되며, 자성을 갖는 상부코어를 더 구비할 수도 있다. On the other hand, the electromagnet chuck according to the present invention is installed on the upper portion of the lower core, may further include a magnetic upper core.

상기 상부코어는 외주면에 상하방향으로 연장된 다수의 외부측면이 마련될 수 있도록 다각형의 단면을 갖도록 형성된 것이 바람직하다. The upper core is preferably formed to have a polygonal cross section so that a plurality of outer side surfaces extending in the vertical direction on the outer circumferential surface thereof.

상기 상부코어는 상기 하부코어의 단위측면의 연장선 상에 상기 외부측면에 위치하도록 상기 하부코어의 단면에 대응되는 단면을 갖도록 형성된다. The upper core is formed to have a cross section corresponding to the cross section of the lower core to be located on the outer side on an extension line of the unit side of the lower core.

상기 상부코어는 외주면에 다수의 제1외부측면 및 상기 제1외부측면의 좌우폭보다 작은 좌우폭을 갖는 다수의 제2외부측면이 형성되되, 상기 제1 및 제2외부측면은 상기 상부코어의 원주방향을 따라 상호 교번으로 형성된다. The upper core has a plurality of first outer side surfaces and a plurality of second outer side surfaces having a left and right width smaller than the left and right widths of the first outer side surface, wherein the first and second outer side surfaces are formed in the circumferential direction of the upper core. Are formed alternately along.

상기 하부코어는 외주면에 다수의 제1단위측면 및 상기 제1단위측면의 좌우 폭보다 작은 좌우폭을 갖는 다수의 제2단위측면이 형성되되, 상기 제1 및 제2단위측면은 상기 하부코어의 원주방향을 따라 상호 교번으로 형성되고, 상기 상부코어는 상기 제1외부측면이 상기 하부코어의 제1단위측면의 좌우폭에 대응되는 좌우폭을 갖되, 상기 제1단위측면의 연장선 상에 형성되고, 상기 제2외부측면은 상기 하부코어의 제2단위측면의 좌우폭에 대응되는 좌우폭을 갖되, 상기 제2단위측면의 연장선 상에 마련되도록 상기 하부코어의 단면에 대응되는 단면을 갖도록 형성될 수 있다. The lower core has a plurality of first unit side surfaces and a plurality of second unit side surfaces having a left and right width smaller than the left and right widths of the first unit side surface, and the first and second unit side surfaces have a circumference of the lower core. Are formed alternately along the direction, and the upper core has a left and right width corresponding to the left and right widths of the first unit side of the lower core, and is formed on an extension line of the first unit side. The outer side surface may have a left and right width corresponding to the left and right widths of the second unit side surface of the lower core, and may have a cross section corresponding to the cross section of the lower core so as to be provided on an extension line of the second unit side surface.

상기 상부코어 및 하부코어는 팔각형의 단면을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. The upper core and the lower core is preferably formed to have an octagonal cross section.

상기 상부코어는 상기 하부코어의 상하 높이보다 더 작은 상하 높이를 갖도록 형성될 수도 있다. The upper core may be formed to have a vertical height smaller than the vertical height of the lower core.

본 발명에 따른 영전자 척은 극방향 전환자석 상부에 설치된 하부코어가 팔각형과 같은 다각형의 단면을 갖도록 형성되어 있으므로 하부코어의 모서리부에 발생하는 누설자속을 감소시켜 작동효율을 증가시키는 장점이 있다. The electromagnet chuck according to the present invention has an advantage of increasing operating efficiency by reducing the leakage flux generated at the corners of the lower core since the lower core installed on the upper direction magnet has a polygonal cross section such as an octagon. .

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 영전자 척에 대한 사시도이고,
도 2는 도 1의 영전자 척에 대한 분리 사시도이고,
도 3은 도 1의 영전자 척에 대한 단면도이고,
도 4는 본 발명의 제2실시 예에 따른 영전자 척에 대한 분리 사시도이고,
도 5는 도 4의 영전자 척에 대한 측면도이고,
도 6은 본 발명의 제3실시 예에 따른 영전자 척에 대한 분리 사시도이고,
도 7은 도 6의 영전자 척에 대한 측면도이고,
도 8은 도 6의 영전자 척에 대한 성능 분석 결과에 대한 것이고,
도 9는 도 6의 영전자 척에 대한 전류 공급시 성능 분석 결과에 대한 것이고,
도 10은 도 6의 영전자 척에 대한 전류 미공급시 성능 분석 결과에 대한 것이다. 1 is a perspective view of an electromagnet chuck according to a first embodiment of the present invention,
FIG. 2 is an exploded perspective view of the electromagnet chuck of FIG. 1;
3 is a cross-sectional view of the Young's chuck of FIG.
4 is an exploded perspective view of the zero chuck according to the second embodiment of the present invention;
5 is a side view of the electromagnet chuck of FIG. 4,
6 is an exploded perspective view of the zero-electron chuck according to the third embodiment of the present invention,
7 is a side view of the electromagnet chuck of FIG. 6,
8 is for the results of the performance analysis for the electromagnet chuck of FIG.
9 is for the results of the performance analysis at the time of supplying current to the electromagnet chuck of FIG.
FIG. 10 is a result of analyzing performance when no current is supplied to the zero chuck of FIG. 6.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 영전자 척에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail with respect to the zero-electron chuck according to an embodiment of the present invention. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art, and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

도 1 내지 도 3에는 본 발명의 제1실시 예에 따른 영전자 척(100)이 도시되어 있다. 1 to 3 illustrate an electromagnet chuck 100 according to a first embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 상기 영전자 척(100)은 전기커넥터(112)가 마련된 백요크(back-yoke)(110)와, 상기 백요크(110)에 설치되는 것으로서, 상기 전기커넥터(112)를 통해 공급되는 전류에 의해 자성을 유도하거나 유도된 자성이 해제되는 다수의 마그네틱 블록(120)과, 마그네틱 블록(120)들의 상부에 각각 설치된 다수의 상부코어(130)를 구비한다. Referring to the drawings, the electromagnet chuck 100 is installed on the back yoke 110 and the back yoke 110 in which the electrical connector 112 is provided. It includes a plurality of magnetic blocks 120 for inducing magnetism by the current supplied through or to release the induced magnetism, and a plurality of upper cores 130 respectively installed on the upper portions of the magnetic blocks 120.

백요크(110)는 공작기계의 테이블(미도시)에 설치되는 것으로서, 상면에 다수의 마그네틱 블럭이 설치될 수 있도록 장착부(111)가 마련되어 있다. 상기 장착부(111)는 백요크(110)의 상면에 대해 하방으로 소정 깊이 인입되게 형성된다. 또한, 백요크(110)의 측면에는 마그네틱 블록(120)에 전류를 공급하기 위한 전기커넥터(112)가 마련되어 있다. The back yoke 110 is installed on a table (not shown) of the machine tool, and a mounting portion 111 is provided to allow a plurality of magnetic blocks to be installed on the top surface. The mounting portion 111 is formed to be drawn in a predetermined depth downward with respect to the upper surface of the back yoke 110. In addition, an electrical connector 112 for supplying current to the magnetic block 120 is provided on the side surface of the back yoke 110.

상기 전기커넥터(112)는 전류를 공급하는 배터리나 건축물의 전원기기와 같은 전원 공급 수단(미도시)에 연결되며, 상기 전원 공급 수단으로부터 공급되는 전류를 마그네틱 블록(120)에 공급한다. 이때, 전기커넥터(112)는 컨트롤러(미도시)에 전기적으로 연결되어 후술되는 마그네틱 블록(120)의 보빈(121)에 감긴 자화용 코일(122)에 전류의 공급을 단속하여 마그네틱 블록(120)의 자력을 유도하거나 유도된 자력을 해제하게 된다. The electrical connector 112 is connected to a power supply means (not shown), such as a battery for supplying current or a power supply of a building, and supplies the current supplied from the power supply means to the magnetic block 120. At this time, the electrical connector 112 is electrically connected to a controller (not shown) to interrupt the supply of current to the magnetizing coil 122 wound around the bobbin 121 of the magnetic block 120 to be described later, the magnetic block 120. Induces magnetic force or releases the induced magnetic force.

한편, 도면에 도시되진 않았지만, 백요크(110)의 하부에는 백요크(110)를 회전 가능하게 지지하는 회전 테이블(미도시)이 설치되고, 상기 회전 테이블은 공작기계의 테이블에 설치될 수도 있다. On the other hand, although not shown in the drawings, the lower portion of the back yoke 110 is provided with a rotary table (not shown) rotatably supporting the back yoke 110, the rotary table may be installed on a table of the machine tool. .

상기 마그네틱 블록(120)은 백요크(110)의 장착부(111)에 설치되며, 다수개가 전후방향 및 좌우방향을 따라 상호 이격되게 배열된다. 상기 마그네틱 블록(120)은 하단부가 상기 백요크(110)에 설치되며, 내부에 설치공간(125)이 마련된 보빈(121)과, 상기 전기커넥터(112)와 전기적으로 연결되며, 상기 보빈(121)의 외주면에 다수회 감긴 코일(122)과, 상기 보빈(121)의 설치공간(125)에 설치되며, 자성을 갖는 극방향 전환자석(123)과, 상기 보빈(121)의 상단부에 설치되는 하부코어(124)를 구비한다. The magnetic block 120 is installed on the mounting portion 111 of the back yoke 110, and a plurality of the magnetic blocks 120 are arranged to be spaced apart from each other along the front and rear directions and the left and right directions. The magnetic block 120 has a lower end installed in the back yoke 110, a bobbin 121 having an installation space 125 formed therein, and electrically connected to the electrical connector 112, and the bobbin 121. Coil 122 wound on the outer circumferential surface of the plurality of times, and installed in the installation space 125 of the bobbin 121, the magnetic pole switch 123 having a magnetic and is installed on the upper end of the bobbin 121 A lower core 124 is provided.

보빈(121)은 백요크(110)의 장착부(111)에 설치되며, 내부에 설치공간(125)이 형성되는데, 상기 설치공간(125)은 상하방향으로 관통되게 형성된다. 상기 보빈(121)은 상단부 및 하단부에 플랜지부재가 마련되어 있다. 상기 플랜지 부재(126)는 보빈(121)에 대해 멀어지는 방향으로 연장되게 형성되어 백요크(110) 및 하부코어(124)에 대한 접촉면적이 증가한다. 한편, 보빈(121)은 절연성을 갖는 플라스틱을 소재로 사출 방식을 통해 제조된다. Bobbin 121 is installed in the mounting portion 111 of the back yoke 110, the installation space 125 is formed therein, the installation space 125 is formed to penetrate in the vertical direction. The bobbin 121 is provided with a flange member on the upper end and the lower end. The flange member 126 is formed to extend in a direction away from the bobbin 121 to increase the contact area of the back yoke 110 and the lower core 124. On the other hand, the bobbin 121 is manufactured through an injection method from a plastic material having insulation.

코일(122)은 보빈(121)의 외주면에 다수회 감겨 있고, 백요크(110)의 전기커넥터(112)에 전기적으로 연결되어 있다. 전기커넥터(112)로부터 공급되는 전류는 보빈(121)에 감긴 코일(122)에 공급된다. The coil 122 is wound on the outer circumferential surface of the bobbin 121 a plurality of times, and is electrically connected to the electrical connector 112 of the back yoke 110. The current supplied from the electrical connector 112 is supplied to the coil 122 wound on the bobbin 121.

극방향 전환자석(123)은 코일(122)의 설치공간(125)에 인입되게 설치되며, 코일(122)의 설치공간(125)에 대응되는 형상으로 형성된다. 이때, 극방향 전환자석(123)은 코일(122)에 공급된 순간적인 전류에 따라 극성이 변경될 수 있는 Alnico(알루미늄-니켈-코발트) 자석이 적용되는 것이 바람직하다. The pole switch magnet 123 is installed to be inserted into the installation space 125 of the coil 122, and is formed in a shape corresponding to the installation space 125 of the coil 122. In this case, it is preferable that the pole switch magnet 123 is an Alnico (aluminum-nickel-cobalt) magnet whose polarity is changed according to the instantaneous current supplied to the coil 122.

하부코어(124)는 보빈(121)의 상부에 설치되며, 강자성체인 S45C와 같은 금속성 소재로 형성된다. 이때, 하부코어(124)는 외주면에 상하방향으로 연장된 단위측면이 마련되는데, 모서리부에 발생되는 누설자속을 감소시킬 수 있도록 5개 이상의 단위측면이 마련될 수 있도록 다각형의 단면을 갖도록 형성되어 있다. 상기 하부코어(124)는 상기 단위측면이 사각형으로 형성되며, 팔각형의 단면을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. The lower core 124 is installed on the bobbin 121 and is formed of a metallic material such as S45C, which is a ferromagnetic material. At this time, the lower core 124 is provided with a unit side surface extending in the vertical direction on the outer circumferential surface, is formed to have a polygonal cross section so that at least five unit side surfaces can be provided to reduce the leakage magnetic flux generated in the corner portion have. The lower core 124 is preferably formed in the unit side is formed in a square, having an octagonal cross section.

한편, 하부코어(124)의 단위측면 구조를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다. 하부코어(124)에 형성된 단위측면들은 제1단위측면(127)과 제2단위측면(128)으로 이루어지는데, 제2단위측면(128)은 제1단위측면(127)의 좌우폭보다 작은 좌우폭을 갖도록 형성된다. 또한, 제1 및 제2단위측면(127,128)들은 상기 하부코어(124)의 원주방향을 상호 교번으로 형성되는 것이 바람직하다. On the other hand, the unit side structure of the lower core 124 will be described in more detail as follows. The unit side surfaces formed on the lower core 124 may include a first unit side 127 and a second unit side 128, and the second unit side 128 may have a left and right width smaller than the left and right widths of the first unit side 127. It is formed to have. In addition, the first and second unit side surfaces 127 and 128 may be alternately formed in the circumferential direction of the lower core 124.

또한, 하부코어(124)의 외주면, 즉 단위측면에는 다수의 영구자석(129)이 하부코어(124)의 외주면에 상호 이격되게 설치되어 있다. 상기 영구자석(129)은 하부코어(124)에 초기 착좌시 극성변화가 발생되지 않은 것으로서, 소정의 자력을 갖는 네오디움 자석이 적용된다. 상기 영구자석(129)은 하부코어(124)들에 대한 설치위치에 따라 하부코어(124)의 중심방향 또는 하부코어(124)의 외측방향으로 소정의 자속을 제공한다. In addition, on the outer circumferential surface of the lower core 124, that is, the unit side surface, a plurality of permanent magnets 129 are provided to be spaced apart from each other on the outer circumferential surface of the lower core 124. The permanent magnet 129 is a polarity change does not occur during initial seating on the lower core 124, a neodymium magnet having a predetermined magnetic force is applied. The permanent magnet 129 provides a predetermined magnetic flux in the central direction of the lower core 124 or the outer direction of the lower core 124 according to the installation position of the lower core 124.

이때, 상기 영구자석(129)은 상호 인접된 상기 하부코어(124)의 단위측면들 중 어느 하나에 설치되는데, 단위측면들 중 제1단위측면(127)에 설치된다. 상기 영구자석(129)은 제1단위측면(127)의 폭에 대응되는 길이만큼 연장형성되는 것이 바람직하다. In this case, the permanent magnet 129 is installed on any one of the unit side surfaces of the lower core 124 adjacent to each other, it is installed on the first unit side 127 of the unit side surfaces. The permanent magnet 129 is preferably extended by a length corresponding to the width of the first unit side 127.

상부코어(130)는 하부코어(124)의 상부에 고정되며, 소정의 자성을 갖을 수 있도록 철과 같은 강자성체로 형성된다. 상기 상부코어(130)는 공작물과 하부코어(124) 사이에 소정의 간격을 제공하여 가공작업의 편의성을 제공하는데, 특히 공작물에 구멍, 포켓, 프로파일 등의 관통작업을 보다 용이하게 수행하는데 필요하다. 상술된 상부코어(130)는 강자성체로 이루어지므로 하부코어(124)의 자력과 동일한 자력을 유지할 수 있다. The upper core 130 is fixed to the upper portion of the lower core 124, is formed of a ferromagnetic material such as iron to have a predetermined magnetic. The upper core 130 provides convenience for machining by providing a predetermined gap between the workpiece and the lower core 124, in particular, it is necessary to more easily perform the penetrating operation of holes, pockets, profiles, etc. in the workpiece. . Since the upper core 130 is made of a ferromagnetic material, the upper core 130 may maintain the same magnetic force as that of the lower core 124.

한편, 도면에 도시되진 않았지만, 극방향 전환자석(123), 하부코어(124) 및 상부코어(130)는 고정수단에 의해 백요크(110)에 고정된다. 상기 고정수단은 적어도 하나의 고정볼트를 구비하는데, 상기 고정볼트는 극방향 전환자석(123), 하부코어(124) 및 상부코어(130)를 관통하며, 하단부는 백요크(110)에 나사결합된다. 한편, 고정수단은 이에 한정하는 것이 아니라 극방향 전환자석(123), 하부코어(124) 및 상부코어(130)를 백요크(110)에 고정시킬 수 있는 수단이면 무엇이든 가능하다. On the other hand, although not shown in the drawings, the pole switch magnet 123, the lower core 124 and the upper core 130 is fixed to the back yoke 110 by the fixing means. The fixing means has at least one fixing bolt, the fixing bolt passes through the polarizing switch magnet 123, the lower core 124 and the upper core 130, the lower end is screwed to the back yoke 110 do. On the other hand, the fixing means is not limited to this, any means that can be fixed to the pole direction magnet 123, the lower core 124 and the upper core 130 to the back yoke 110 is possible.

상술된 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 영전자 척(100)의 작동을 상세히 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the electromagnet chuck 100 according to the present invention configured as described in detail as follows.

먼저, 상부코어(130)에 자기 흡착력을 발생시키기 위해 전기커넥터(112)를 통해 각 마그네틱 블록(120)의 코일(122)에 전류를 공급한다. 이때, 상호 인접된 마그네틱 블록(120)들의 코일(122)에는 각각 +전류, -전류가 인가된다. 즉, 상호 인접된 마그네틱 블록(120)들 중 영구자석(129)으로부터 하부코어(124)의 내측으로 자력이 인가되는 마그네틱 블록(120)의 코일(122)에는 +전류를 공급하고, 영구자석(129)으로부터 하부코어(124)의 외측으로 자력이 인가되는 마그네틱 블록(120)의 코일(122)에는 -전류를 공급한다. First, in order to generate a magnetic attraction force to the upper core 130, a current is supplied to the coil 122 of each magnetic block 120 through the electrical connector 112. In this case, + current and − current are applied to the coils 122 of the magnetic blocks 120 adjacent to each other. That is, + current is supplied to the coil 122 of the magnetic block 120 in which magnetic force is applied from the permanent magnet 129 to the inner side of the lower core 124 among the magnetic blocks 120 adjacent to each other, and the permanent magnet ( The current is supplied to the coil 122 of the magnetic block 120 to which the magnetic force is applied from the 129 to the outside of the lower core 124.

+전류가 코일(122)에 인가된 마그네틱 블록(120)의 하부코어(124) 및 상부코어(130)에는 상방으로 자력이 발생하고, -전류가 코일(122)에 인가된 마그네틱 블록의 하부코어(124) 및 상부코어(130)에는 하방으로 자력이 발생한다. 이에 따라, 상부코어(130)들의 상측에 접촉된 공작물에도 자력이 작용하여 공작물을 고정시킨다. The magnetic force is generated upward in the lower core 124 and the upper core 130 of the magnetic block 120 in which + current is applied to the coil 122, and the lower core of the magnetic block in which the current is applied to the coil 122. 124 and the upper core 130, the magnetic force is generated downward. Accordingly, magnetic force acts on the workpieces in contact with the upper sides of the upper cores 130 to fix the workpieces.

한편, 상부코어(130)에 자기 흡착력 발생을 차단시킬 경우, 상호 인접된 마그네틱 블록(120)들 중 영구자석(129)으로부터 하부코어(124)의 내측으로 자력이 인가되는 마그네틱 블록(120)의 코일(122)에는 -전류를 공급하고, 영구자석(129)으로부터 하부코어(124)의 외측으로 자력이 인가되는 마그네틱 블록(120)의 코일(122)에는 +전류를 공급한다. 이때, 마그네틱 블록(120)은 자력 발생 범위가 하부코어(124) 범위로 제한되어 공작물에 자기 흡착력이 미발생된다. On the other hand, when blocking the magnetic attraction force generated in the upper core 130, the magnetic block 120 of the magnetic block is applied to the inner side of the lower core 124 from the permanent magnet 129 of the adjacent magnetic blocks 120 The coil 122 is supplied with a current, and a + current is supplied to the coil 122 of the magnetic block 120 to which magnetic force is applied from the permanent magnet 129 to the outside of the lower core 124. At this time, the magnetic block 120 is the magnetic force generation range is limited to the lower core 124 range, the magnetic attraction force is not generated in the workpiece.

이때, 보빈(121) 내부에 설치된 극방향 전환자석(123)은 코일(122)에 입력된 순각적인 전류에 의해 극성이 변경되므로 영전자 척(100)의 작동에 소요되는 전력을 감소시킬 수 있다. In this case, since the polarity is changed by the instantaneous current input to the coil 122, the polarity change magnet 123 installed in the bobbin 121 may reduce the power required for the operation of the electromagnet chuck 100. .

또한, 상기 하부코어(124)는 팔각형과 같은 다각형의 단면을 갖도록 형성되어 있으므로 하부코어(124)의 모서리부에 발생하는 누설자속을 감소시켜 작동효율을 증가시키는 장점이 있다. In addition, since the lower core 124 is formed to have a polygonal cross section such as an octagon, the lower core 124 has an advantage of increasing operating efficiency by reducing the leakage magnetic flux generated at the corners of the lower core 124.

하기의 표1은 기존의 영전자척과 본 발명의 제1실시 예의 영전자 척(100)을 종래에 일반적으로 사용되는 해석 프로그램을 사용하여 성능 분석을 한 결과값이다. 기존의 영전자척 및 제1실시 예의 영전자 척(100)은 모두 4개의 마그네틱 블록(120)을 2X2 array로 세팅한 상태로 모델링하여 공작물에 대한 발생 자기 흡착력의 분석을 실시하였다. Table 1 below shows the results of performance analysis using the conventional electromagnet chuck and the electromagnet chuck 100 of the first embodiment of the present invention using an analysis program generally used in the related art. The conventional zero-electrode chuck and the zero-electrode chuck 100 of the first embodiment were modeled with four magnetic blocks 120 set in a 2 × 2 array to analyze the generated magnetic adsorption force on the workpiece.

공작물에 대한 자기 흡착력Magnetic attraction force to the workpiece 종래의 영전자척Conventional Electron Chuck 973.6N973.6N 제1실시 예의 영전자척Electron chuck of the first embodiment 992.9N(▲2.0%)992.9 N (▲ 2.0%)

상기 표1을 살펴보면, 전류공급시 제1실시 예에 따른 영전자 척(100)은 기존의 영전자척보다 더 큰 자기 흡착력을 발생시킴을 알 수 있다. 상술된 바와 같이 본 발명에 따른 영전자 척(100)은 하부코어(124)가 팔각형의 단면으로 형성되어 있으므로 모서리부에서 발생되는 누설자속을 감소시켜 유효자속분이 증대된다는 장점이 있다.Looking at the Table 1, it can be seen that the zero-electron chuck 100 according to the first embodiment generates a greater magnetic attraction force than the conventional zero-electron chuck when the current is supplied. As described above, the zero-electrode chuck 100 according to the present invention has an advantage that the effective magnetic flux is increased by reducing the leakage magnetic flux generated at the corners because the lower core 124 is formed in an octagonal cross section.

한편, 도 4 및 도 5에는 본 발명의 제2실시 예에 따른 영전자 척(210)이 도시되어 있다. Meanwhile, FIGS. 4 and 5 illustrate the electromagnet chuck 210 according to the second embodiment of the present invention.

앞서 도시된 도면에서와 동일한 기능을 하는 요소는 동일 참조부호로 표기한다.Elements having the same function as in the above-described drawings are denoted by the same reference numerals.

도면을 참조하면, 영전자 척(210)은 상부코어(211)가 외주면에 상하방향으로 연장된 다수의 외부측면이 마련될 수 있도록 다각형의 단면을 갖도록 형성된다. 이때, 상부코어(211)는 모서리부에 발생되는 누설자속을 감소시킬 수 있도록 5개 이상의 외부측면이 마련될 수 있도록 다각형의 단면을 갖도록 형성되어 있다. 상기 상부코어(211)는 상기 외부측면이 사각형으로 형성되며, 팔각형의 단면을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. Referring to the drawings, the electromagnet chuck 210 is formed to have a polygonal cross section so that the upper core 211 may be provided with a plurality of outer side surfaces extending in the vertical direction. At this time, the upper core 211 is formed to have a polygonal cross section so that at least five outer side surfaces can be provided to reduce the leakage magnetic flux generated in the corner portion. The upper core 211 is preferably formed such that the outer side is formed in a quadrangle, and has an octagonal cross section.

한편, 상부코어(211)의 외부측면 구조를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다. 상부코어(211)에 형성된 외부측면들은 제1외부측면(212)과 제2외부측면(213)으로 이루어지는데, 제2외부측면(213)은 제1외부측면(212)의 좌우폭보다 작은 좌우폭을 갖도록 형성된다. 또한, 제1 및 제2외부측면(212,213)들은 상기 상부코어(211)의 원주방향을 상호 교번으로 형성되는 것이 바람직하다. On the other hand, the outer side structure of the upper core 211 will be described in more detail as follows. The outer side surfaces formed on the upper core 211 are composed of the first outer side surface 212 and the second outer side surface 213, and the second outer side surface 213 has a left and right width smaller than the left and right widths of the first outer side surface 212. It is formed to have. In addition, the first and second outer side surfaces 212 and 213 are preferably formed alternately in the circumferential direction of the upper core 211.

이때, 상부코어(211)는 상기 하부코어(124)의 단위측면의 연장선 상에 상기 외부측면에 위치하도록 상기 하부코어(124)의 단면에 대응되는 단면을 갖도록 형성된다. 즉, 상기 상부코어(211)는 상기 제1외부측면(212)이 상기 하부코어(124)의 제1단위측면(127)의 좌우폭에 대응되는 좌우폭을 갖되, 상기 제1단위측면(127)의 연장선 상에 형성되고, 상기 제2외부측면(213)은 상기 하부코어(124)의 제2단위측면(128)의 좌우폭에 대응되는 좌우폭을 갖되, 상기 제2단위측면(128)의 연장선 상에 마련되도록 상기 하부코어(124)의 단면에 대응되는 단면을 갖도록 형성된 것이 바람직하다.At this time, the upper core 211 is formed to have a cross section corresponding to the cross section of the lower core 124 to be located on the outer side on the extension line of the unit side surface of the lower core 124. That is, the upper core 211 has a left and right width corresponding to the left and right width of the first unit side surface 127 of the lower core 124, the first outer side surface 212 of the first unit side surface 127 Is formed on an extension line, the second outer side surface 213 has a left and right width corresponding to the left and right width of the second unit side surface 128 of the lower core 124, on the extension line of the second unit side 128 It is preferable to have a cross section corresponding to the cross section of the lower core 124 to be provided.

상술된 바와 같이 구성된 상부코어(211)는 하부코어(124)와 동일하게 팔각형의 단면을 갖도록 형성되므로 모서리부에서 발생되는 누설자속을 감소시키고, 단면적이 종래의 상부코어(211)보다 작게 형성되어 공작물을 고정시키는 자력이 증대되는 장점이 있다.Since the upper core 211 configured as described above has the same octagonal cross section as the lower core 124, the leakage magnetic flux generated at the corners is reduced, and the cross section is formed smaller than the conventional upper core 211. There is an advantage that the magnetic force holding the workpiece is increased.

한편, 도 6 및 도 7에는 본 발명의 제3실시 예에 따른 영전자 척(220)이 도시되어 있다. Meanwhile, FIGS. 6 and 7 illustrate the electromagnet chuck 220 according to the third embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 상기 영전자 척(220)은 상부코어(221)가 사각형의 단면을 갖도록 형성되어 있다. 이때, 상부코어(221)는 상기 하부코어(124)의 상하 높이보다 더 작은 상하 높이를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. Referring to the drawings, the electromagnet chuck 220 is formed such that the upper core 221 has a rectangular cross section. At this time, the upper core 221 is preferably formed to have a vertical height smaller than the vertical height of the lower core 124.

도 8 내지 도 10에는 본 발명의 제3실시 예에 따른 영전자 척(220)을 종래에 일반적으로 사용되는 해석 프로그램을 사용하여 성능 분석을 실시한 결과가 도시되어 있다. 제3실시 예의 영전자 척(220)은 모두 4개의 마그네틱 블록(120)을 2X2 array로 세팅한 상태로 모델링하여 발생 자력에 대한 분석을 실시하였다. 도 8은 제3실시 예의 영전자 척(220)의 자속밀도를 나타낸 결과이고, 도 9는 공작물(15)로 자기 흡착력이 발생되도록 상호 인접된 마그네틱 블록(120)들의 코일(122)로 전류가 공급시 제3실시 예의 영전자 척(220)의 자속밀도를 나타낸 결과이고, 도 10은 공작물(15)로 자기 흡착력이 미발생되도록 상호 인접된 마그네틱 블록(120)들의 코일(122)로 전류가 공급시 제3실시 예의 영전자 척(220)의 자속밀도를 나타낸 결과이다. 성능 분석 결과, 제3실시 예에 따른 영전자 척(220)은 자기 흡착력 발생시 상부코어(130)에 1055.8N의 자력이 발생되고, 자기 흡착력이 미발생시 상부코어(130)에 26.6N의 자력이 발생되어 기존의 영전자 척보다 높은 자력을 발생시킴을 알 수 있다. 8 to 10 show the results of performance analysis of the electromagnet chuck 220 according to the third embodiment of the present invention using an analysis program generally used in the related art. The electromagnet chuck 220 of the third embodiment was modeled with all four magnetic blocks 120 set to a 2 × 2 array to analyze the generated magnetic force. 8 is a result showing the magnetic flux density of the electromagnet chuck 220 of the third embodiment, Figure 9 is a current to the coil 122 of the adjacent magnetic blocks 120 to generate a magnetic attraction force to the workpiece 15 This is a result showing the magnetic flux density of the electromagnet chuck 220 of the third embodiment at the time of supply, FIG. It is a result which shows the magnetic flux density of the electromagnet chuck 220 of 3rd Example at the time of supply. As a result of the performance analysis, the electromagnet chuck 220 according to the third embodiment generates 1055.8N of magnetic force on the upper core 130 when the magnetic attraction force is generated, and 26.6N of the magnetic force is applied to the upper core 130 when the magnetic attraction force is not generated. It can be seen that it generates a higher magnetic force than conventional electrostatic chuck.

하기의 표2는 기존의 영전자척과 본 발명의 제3실시 예의 영전자 척(100)을 종래에 일반적으로 사용되는 해석 프로그램을 사용하여 성능 분석을 한 결과값이다. Table 2 below shows the results of performance analysis using the conventional electromagnet chuck and the electromagnet chuck 100 of the third embodiment of the present invention using an analysis program generally used in the related art.

공작물에 대한 자기 흡착력Magnetic attraction force to the workpiece 종래의 영전자척Conventional Electron Chuck 973.6N973.6N 제3실시 예의 영전자척Young's chuck of the third embodiment 1055.8N(▲8.4%)1055.8N (▲ 8.4%)

제시된 실시예들에 대한 설명은 임의의 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 이용하거나 또는 실시할 수 있도록 제공된다. 이러한 실시예들에 대한 다양한 변형들은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진자에게 명백할 것이며, 여기에 정의된 일반적인 원리들은 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 다른 실시예들에 적용될 수 있다. 그리하여, 본 발명은 여기에 제시된 실시예들로 한정되는 것이 아니라, 여기에 제시된 원리들 및 신규한 특징들과 일관되는 최광의의 범위에서 해석되어야 할 것이다.The description of the presented embodiments is provided to enable any person skilled in the art to make or use the present invention. Various modifications to these embodiments will be apparent to those skilled in the art, and the generic principles defined herein may be applied to other embodiments without departing from the scope of the invention. Thus, the present invention should not be limited to the embodiments set forth herein but should be construed in the broadest scope consistent with the principles and novel features set forth herein.

100: 영전자 척
110: 백요크
111: 장착부
112: 전기커넥터
120: 마그네틱 블록
121: 보빈
122: 코일
123: 극방향 전환자석
124: 하부코어
125: 설치공간
126: 플랜지 부재
127: 제1단위측면
128: 제2단위측면
129: 자석띠
130: 상부코어100: Electron Chuck
110: Back York
111: mounting portion
112: electrical connector
120: magnetic block
121: bobbin
122: coil
123: pole switch magnet
124: lower core
125: installation space
126: flange member
127: first unit aspect
128: second unit aspect
129: magnetic stripe
130: upper core

Claims

A back yoke provided with an electrical connector;
And a plurality of magnetic blocks installed in the back yoke to induce a magnetic force or to release the induced magnetic force by a current supplied through the electrical connector.
The magnetic block is
A bobbin having a lower end installed in the back yoke and having an installation space therein;
A coil electrically connected to the electrical connector and wound several times on an outer circumferential surface of the bobbin;
A polarizing magnet installed in an installation space of the bobbin and having magnetic force and having a rectangular cross section;
A lower core which is installed at an upper end of the bobbin and has a polygonal cross section so that at least five unit side surfaces extending in the vertical direction may be provided on an outer circumferential surface thereof;
A plurality of permanent magnets spaced apart from each other on the outer circumferential surface of the lower core and having a predetermined magnetic force to magnetize the lower core;
Is installed on top of the lower core, the upper core which is a magnetic body;
The lower core is formed to have an octagonal cross section, and four first unit sides and four second unit sides having a width smaller than the width of the first unit side are formed on the outer circumferential surface, and the first and second sides are formed. Unit sides are formed alternately along the circumferential direction of the lower core,
The second unit side surface is formed to be inclined in a direction crossing with respect to the width direction of the adjacent first unit side surface,
The permanent magnets are formed to extend by a length corresponding to the width of the first unit side, and a plurality of permanent magnets are respectively provided on the first unit side except for the second unit side,
The upper core is formed to have a rectangular cross section different from the cross section of the lower core, and formed to have a vertical height smaller than the vertical height of the lower core,
Electron Chuck.

The method of claim 1,
The lower core is formed in a rectangular unit side,
Electron Chuck.

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