KR20130109743A - Light emitting diode package and fabrication method for the same - Google Patents

Light emitting diode package and fabrication method for the same Download PDF

Info

Publication number
KR20130109743A
KR20130109743A KR1020120031736A KR20120031736A KR20130109743A KR 20130109743 A KR20130109743 A KR 20130109743A KR 1020120031736 A KR1020120031736 A KR 1020120031736A KR 20120031736 A KR20120031736 A KR 20120031736A KR 20130109743 A KR20130109743 A KR 20130109743A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light emitting
emitting diode
layer
bump
bonding pad
Prior art date
Application number
KR1020120031736A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101933190B1 (en
Inventor
류승렬
나정현
Original Assignee
서울반도체 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 서울반도체 주식회사 filed Critical 서울반도체 주식회사
Priority to KR1020120031736A priority Critical patent/KR101933190B1/en
Publication of KR20130109743A publication Critical patent/KR20130109743A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101933190B1 publication Critical patent/KR101933190B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73203Bump and layer connectors
    • H01L2224/73204Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8319Arrangement of the layer connectors prior to mounting
    • H01L2224/83192Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1015Shape
    • H01L2924/10155Shape being other than a cuboid
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1015Shape
    • H01L2924/10155Shape being other than a cuboid
    • H01L2924/10158Shape being other than a cuboid at the passive surface

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

PURPOSE: A light emitting diode package and a manufacturing method thereof improve light output efficiency by electrically connecting a bump and a bonding pad using an adhesive layer having conductive particles. CONSTITUTION: A package substrate (21) includes a bonding pad (23a, 23c). A light emitting diode chip (10) includes a bump (17a, 17b) disposed toward the bonding pad. An adhesive layer (30) is disposed between the bonding pad and the bump. The adhesive layer includes insulating resin (33) and conductive particles (35) connected to the bonding pad and the bump. A passivation layer (40) is disposed on the light emitting chip.

Description

발광다이오드 패키지 및 그 제조방법{Light Emitting Diode Package and Fabrication Method for the Same}Light Emitting Diode Package and Fabrication Method for the Same

본 발명은 반도체 패키지에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 발광다이오드 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor package, and more particularly, to a light emitting diode package.

발광다이오드는 n형 반도체층, p형 반도체층, 및 상기 n형 및 p형 반도체층들 사이에 위치하는 활성층을 구비하는 소자이다. 상기 n형 및 p형 반도체층들에 각각 접속하는 n형 및 p형 전극들에 순방향 전계를 인가하면, 상기 활성층 내로 전자와 정공이 주입되고, 상기 활성층 내로 주입된 전자와 정공이 재결합하면서 광을 방출한다.The light emitting diode is an element including an n-type semiconductor layer, a p-type semiconductor layer, and an active layer located between the n-type and p-type semiconductor layers. When a forward electric field is applied to the n-type and p-type electrodes respectively connected to the n-type and p-type semiconductor layers, electrons and holes are injected into the active layer, and holes and electrons injected into the active layer are recombined, Release.

이러한 발광다이오드의 패키지를 제조함에 있어서, 상기 n형 및 p형 전극들을 패키지 기판의 본딩 패드들과 전기적으로 연결시키는데, 이 때 와이어 본딩을 사용하여 것이 일반적이다. 그러나, 발광다이오드로부터 방출되는 광은 와이어에 의해 내부로 다시 반사될 수 있어, 와이어로 인해 광출력 효율이 저하되는 것으로 알려져 있다. 또한, 와이어는 외부 충격에 의해 끊어질 위험이 있다.In manufacturing such a package of light emitting diodes, the n-type and p-type electrodes are electrically connected to the bonding pads of the package substrate, using wire bonding in general. However, it is known that the light emitted from the light emitting diodes can be reflected back to the inside by the wires, so that the light output efficiency is lowered due to the wires. In addition, there is a risk that the wire is broken by an external impact.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 광출력 효율이 높고 외부 충격에 강한 발광다이오드 패키지 및 그의 제조방법을 제공함에 있다.The problem to be solved by the present invention is to provide a light emitting diode package having a high light output efficiency and strong against external impact and a manufacturing method thereof.

상기 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 발광다이오드 패키지를 제공한다. 상기 발광다이오드 패키지는 본딩 패드를 구비하는 패키지 기판을 갖는다. 상기 본딩 패드를 향해 위치한 범프를 구비하는 발광다이오드 칩이 상기 패키지 기판 상에 배치된다. 상기 본딩 패드와 상기 범프 사이에 접착제층이 위치하되, 상기 접착제층 내에 상기 본딩 패드와 상기 범프에 접속하는 도전성 입자가 구비된다. 상기 접착제층은 절연 수지를 더 포함하고, 상기 도전성 입자는 상기 절연 수지 내에 위치할 수 있다.One aspect of the present invention to achieve the above object provides a light emitting diode package. The light emitting diode package has a package substrate having bonding pads. A light emitting diode chip having a bump positioned toward the bonding pad is disposed on the package substrate. An adhesive layer is positioned between the bonding pad and the bump, and the adhesive layer includes conductive particles connected to the bonding pad and the bump. The adhesive layer may further include an insulating resin, and the conductive particles may be located in the insulating resin.

상기 발광다이오드 칩 상에 봉지층이 위치할 수 있다. 상기 봉지층 내에 형광체가 분산되어 있을 수 있다.An encapsulation layer may be positioned on the light emitting diode chip. Phosphors may be dispersed in the encapsulation layer.

상기 발광다이오드 칩은 소자 기판의 상부면 상에 차례로 적층된 제1 반도체층, 활성층, 및 제2 반도체층을 구비할 수 있다. 상기 범프는 상기 반도체층들 중 어느 하나에 접속될 수 있다. 나아가, 상기 발광다이오드 칩은 상기 제1 반도체층을 노출시키는 메사 식각 영역을 구비하고, 상기 범프는 상기 제1 반도체층에 접속하는 제1 범프와 상기 제2 반도체층에 접속하는 제2 범프를 구비할 수 있다. 상기 본딩 패드는 상기 제1 범프에 접속하는 제1 본딩 패드와 상기 제2 범프에 접속하는 제2 본딩 패드를 구비할 수 있다. 상기 소자 기판의 하부면 내에 기판 요철 구조가 형성될 수 있다. 상기 기판 요철 구조 상에 형광체층이 컨포말하게 형성될 수 있다. 상기 제1 반도체층과 상기 제2 반도체층 상에 반사층이 위치할 수 있다.The light emitting diode chip may include a first semiconductor layer, an active layer, and a second semiconductor layer sequentially stacked on an upper surface of the device substrate. The bump may be connected to any one of the semiconductor layers. The light emitting diode chip may further include a mesa etching region exposing the first semiconductor layer, and the bump may include a first bump connected to the first semiconductor layer and a second bump connected to the second semiconductor layer. can do. The bonding pad may include a first bonding pad connected to the first bump and a second bonding pad connected to the second bump. A substrate concave-convex structure may be formed in the lower surface of the device substrate. A phosphor layer may be conformally formed on the substrate uneven structure. A reflective layer may be positioned on the first semiconductor layer and the second semiconductor layer.

상기 본딩 패드는 그의 상부면 내에 패드 요철 구조를 가질 수 있다. 상기 패드 요철 구조의 철부들 사이의 거리는 상기 도전성 입자의 직경과 같거나 이보다 클 수 있다.The bonding pad may have a pad uneven structure in an upper surface thereof. The distance between the convex portions of the pad uneven structure may be equal to or larger than the diameter of the conductive particles.

상기 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 측면은 발광다이오드 패키지 제조방법을 제공한다. 상기 발광다이오드 패키지 제조방법은 본딩 패드를 구비하는 패키지 기판을 제공하는 것을 구비한다. 상기 본딩 패드 상에 도전성 입자를 구비하는 접착제층을 배치한다. 상기 접착제층 상에 상기 본딩 패드를 향해 위치하는 범프를 구비하는 발광다이오드 칩을 배치한다. 상기 발광다이오드 칩을 가압하여, 상기 도전성 입자가 상기 범프와 상기 본딩 패드를 전기적으로 연결한다. Another aspect of the present invention to achieve the above object provides a light emitting diode package manufacturing method. The light emitting diode package manufacturing method includes providing a package substrate having a bonding pad. The adhesive bond layer provided with electroconductive particle is arrange | positioned on the said bonding pad. A light emitting diode chip having a bump positioned toward the bonding pad is disposed on the adhesive layer. Pressing the light emitting diode chip, the conductive particles electrically connect the bump and the bonding pad.

본 발명에 따르면, 범프와 본딩 패드를 도전성 입자를 갖는 접착제층을 사용하여 전기적으로 연결함으로써, 본딩 와이어의 사용을 줄이거나 생략할 수 있어 광출력 효율 향상을 기대할 수 있다. 이와 더불어서, 상기 접착제층은 발광다이오드 칩을 패키지 기판 상에 접착 및 고정시킬 수 있어, 외부 충격에 의해 전기적 접속이 깨지는 것을 막을 수 있다.According to the present invention, by electrically connecting the bumps and the bonding pads using an adhesive layer having conductive particles, the use of the bonding wires can be reduced or omitted, and the light output efficiency can be improved. In addition, the adhesive layer may adhere and fix the light emitting diode chip on the package substrate, thereby preventing the electrical connection from being broken by an external impact.

본딩 패드의 상부면 내에 패드 요철 구조가 형성된 경우에는, 상기 도전성 입자와 상기 본딩 패드 사이의 접촉 면적이 증가될 수 있다. 따라서, 상기 범프와 상기 본딩 패드 사이의 전기적 연결은 강화될 수 있다. 이와 더불어서, 절연 수지와 본딩 패드 사이의 접촉면적 또한 증가될 수 있으므로, 접착력 또한 향상될 수 있다.When the pad uneven structure is formed in the upper surface of the bonding pad, the contact area between the conductive particles and the bonding pad may be increased. Thus, the electrical connection between the bump and the bonding pad can be strengthened. In addition, since the contact area between the insulating resin and the bonding pad can also be increased, the adhesion can also be improved.

제1 반도체층과 제2 반도체층 상에 반사층이 위치하는 경우, 활성층에서 상기 반사층으로 진행된 광은 상기 반사층에서 반사되어 외부로 추출될 수 있다. 또한, 소자 기판의 하부면 내에 기판 요철 구조가 형성되어 있는 경우에는 상기 소자 기판을 통한 광추출 효율을 향상시킬 수 있다. 이에 더하여, 상기 기판 요철 구조 상에 형광체층이 컨포말하게 코팅되어 있는 경우, 상기 소자 기판을 통해 방출되는 광은 상기 형광체층 내에서 거의 동일한 거리를 진행할 수 있어, 형광체층 내에서 다른 거리를 진행하는 경우에 비해 색편차가 감소될 수 있다.When the reflective layer is positioned on the first semiconductor layer and the second semiconductor layer, the light traveling from the active layer to the reflective layer may be reflected by the reflective layer and extracted to the outside. In addition, when the substrate concave-convex structure is formed in the lower surface of the device substrate can improve the light extraction efficiency through the device substrate. In addition, when the phosphor layer is conformally coated on the substrate concave-convex structure, the light emitted through the device substrate may travel about the same distance in the phosphor layer, and thus travel different distances in the phosphor layer. Compared to the case, the color deviation may be reduced.

도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광다이오드의 제조방법을 나타낸 단면도들이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광다이오드를 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광다이오드를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광다이오드를 나타낸 단면도이다.
1A to 1C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view showing a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms.

본 명세서에서 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 층이 개재될 수도 있다. 또한, 본 명세서에서 위쪽, 상(부), 상면 등의 방향적인 표현은 아래쪽, 하(부), 하면 등의 의미로도 이해될 수 있다. 즉, 공간적인 방향의 표현은 상대적인 방향으로 이해되어야 하며, 절대적인 방향을 의미하는 것처럼 한정적으로 이해되어서는 안 된다. 이와 더불어서, 본 명세서에서 "제1" 또는 "제2"는 구성요소들에 어떠한 한정을 가하려는 것은 아니며, 다만 구성요소들을 구별하기 위한 용어로서 이해되어야 할 것이다.Where a layer is referred to herein as "on" another layer or substrate, it may be formed directly on the other layer or substrate, or a third layer may be interposed therebetween. In the present specification, directional expressions of the upper side, the upper side, the upper side, and the like can be understood as meaning lower, lower (lower), lower, and the like. That is, the expression of the spatial direction should be understood in a relative direction, and it should not be construed as definitively as an absolute direction. In addition, in this specification, "first" or "second" should not be construed as limiting the elements, but merely as terms for distinguishing the elements.

또한, 본 명세서에서 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하여 위하여 과장된 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
Further, in the drawings, the thicknesses of layers and regions are exaggerated for clarity. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.

도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광다이오드의 제조방법을 나타낸 단면도들이다.1A to 1C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 1a을 참조하면, 소자 영역 및 주변 영역을 갖는 패키지 기판(21)을 제공한다. 상기 패키지 기판(21)은 실리콘 기판, 금속 기판, 세라믹 기판 또는 수지기판일 수 있다. 상기 패키지 기판(21) 자체가 전도성을 갖는 경우에는 상기 패키지 기판(21)의 외부면 상에 절연막이 코팅되어 있을 수 있다. 상기 소자 영역은 후술하는 발광다이오드 칩이 실장되는 영역이고, 상기 주변 영역은 그 외의 영역일 수 있다.Referring to FIG. 1A, a package substrate 21 having a device region and a peripheral region is provided. The package substrate 21 may be a silicon substrate, a metal substrate, a ceramic substrate, or a resin substrate. When the package substrate 21 itself has conductivity, an insulating film may be coated on the outer surface of the package substrate 21. The device region may be a region in which the LED chip described below is mounted, and the peripheral region may be another region.

상기 패키지 기판(21)의 소자 영역 상에 서로 이격하는 제1 본딩 패드(23a) 및 제2 본딩 패드(23c)가 위치할 수 있다. 상기 패키지 기판(21)의 외부에는 상기 본딩 패드들(23a, 23c)에 각각 연결된 외부 연결단자들(미도시)이 배치될 수 있다. 상기 본딩 패드들(23a, 23c) 및 상기 외부 연결단자들은 리드 프레임에 구비된 것들일 수 있다. 상기 본딩 패드들(23a, 23c)은 구리, 니켈, 또는 철 패드들일 수 있다.The first bonding pad 23a and the second bonding pad 23c may be disposed on the device region of the package substrate 21. External connection terminals (not shown) connected to the bonding pads 23a and 23c may be disposed outside the package substrate 21, respectively. The bonding pads 23a and 23c and the external connection terminals may be provided in the lead frame. The bonding pads 23a and 23c may be copper, nickel, or iron pads.

상기 패키지 기판(21)의 하부면 상에 히트 싱크(27)가 배치될 수 있다. 상기 히트 싱크(27)의 재질은 금속일 수 있다.The heat sink 27 may be disposed on the bottom surface of the package substrate 21. The heat sink 27 may be made of metal.

상기 패키지 기판(21)의 주변 영역 상에 캐버티(25a)를 갖는 하우징(25)을 배치할 수 있다. 상기 캐버티(25a) 내에 상기 본딩 패드들(23a, 23c)의 일부들이 노출될 수 있다. 상기 하우징(25)은 실리콘, 금속, 세라믹 또는 수지로 형성될 수 있다. 상기 하우징(25) 자체가 전도성을 갖는 경우에는 상기 하우징(25)의 외부면 상에 절연막이 코팅되어 있을 수 있다. 또한, 상기 하우징(25)은 몰딩법에 의해 형성되거나, 상기 패키지 기판(21) 상에 하우징층을 형성한 후 패터닝하는 방법에 의해 형성될 수도 있다.The housing 25 having the cavity 25a may be disposed on the peripheral area of the package substrate 21. Portions of the bonding pads 23a and 23c may be exposed in the cavity 25a. The housing 25 may be formed of silicon, metal, ceramic, or resin. When the housing 25 itself has conductivity, an insulating film may be coated on the outer surface of the housing 25. In addition, the housing 25 may be formed by a molding method, or may be formed by a method of forming a housing layer on the package substrate 21 and then patterning the housing layer.

상기 패키지 기판(21)과 상기 하우징(25)은 서로 분리되지 않은 일체형일 수 있다. 이 경우에, 상기 패키지 기판(21)과 상기 하우징(25)은 상기 본딩 패드들(23a, 23c)을 사이에 두고 일체로 사출성형된 것일 수 있다.The package substrate 21 and the housing 25 may be integrally separated from each other. In this case, the package substrate 21 and the housing 25 may be integrally injection molded with the bonding pads 23a and 23c interposed therebetween.

상기 본딩 패드들(23a, 23c) 상에 상기 본딩 패드들(23a, 23c)의 상부 일부 영역을 노출시키는 개구부를 갖는 마스크층(24)이 배치될 수 있다. 상기 마스크층(24)에 의해 노출된 상기 본딩 패드들(23a, 23c)의 상부면 내에 패드 요철 구조(R)가 형성될 수 있다.A mask layer 24 may be disposed on the bonding pads 23a and 23c and may have an opening that exposes an upper portion of the bonding pads 23a and 23c. Pad uneven structures R may be formed in upper surfaces of the bonding pads 23a and 23c exposed by the mask layer 24.

상기 캐버티(25a) 내에 노출된 본딩 패드들(23a, 23c) 상에 접착제층(30)을 형성한다. 상기 접착제층(30)은 절연 수지(33)와 상기 절연 수지(33) 내에 분산된 도전성 입자들(35)을 포함할 수 있다. 상기 도전성 입자(35)의 외부면 상에는 커플링제(미도시)가 코팅되어 있을 수 있다. 이 경우, 상기 도전성 입자(35)는 상기 절연 수지(33) 내에서 균일하게 분산될 수 있고 침전이 방지될 수 있다. 상기 도전성 입자(35)는 니켈, 금, 또는 은 입자일 수 있고, 직경은 1 ~ 10um, 일 예로서 3 ~ 5um일 수 있다. 상기 절연 수지(33)는 열경화성 또는 열가소성 수지, 일 예로서 에폭시 수지일 수 있다. 상기 접착제층(30)은 필름 형태의 접착제를 상기 본딩 패드들(23a, 23c) 상에 위치시킨 것일 수 있고, 이와는 달리 페이스트 형태의 접착제를 디스펜싱법 등을 사용하여 상기 본딩 패드들(23a, 23c) 상에 위치시킨 것일 수 있다.The adhesive layer 30 is formed on the bonding pads 23a and 23c exposed in the cavity 25a. The adhesive layer 30 may include an insulating resin 33 and conductive particles 35 dispersed in the insulating resin 33. A coupling agent (not shown) may be coated on the outer surface of the conductive particles 35. In this case, the conductive particles 35 may be uniformly dispersed in the insulating resin 33 and precipitation may be prevented. The conductive particles 35 may be nickel, gold, or silver particles, and the diameter may be 1 to 10 μm, for example, 3 to 5 μm. The insulating resin 33 may be a thermosetting or thermoplastic resin, for example an epoxy resin. The adhesive layer 30 may be formed by placing an adhesive in the form of a film on the bonding pads 23a and 23c. Alternatively, the adhesive in the form of a paste may be used by dispensing the bonding pads 23a, It may be located on 23c).

도 1b를 참조하면, 발광다이오드 칩(10)을 제공한다. 상기 발광다이오드 칩(10)은 소자 기판(11)을 구비한다. 상기 소자 기판(11)은 사파이어(Al2O3), 실리콘 카바이드(SiC), 질화갈륨(GaN), 질화인듐갈륨(InGaN), 질화알루미늄갈륨(AlGaN), 질화알루미늄(AlN), 갈륨 산화물(Ga2O3), 또는 실리콘 기판일 수 있다. 구체적으로, 상기 소자 기판(11)은 사파이어 기판일 수 있다. 상기 소자 기판(11)의 하부면 내에는 상기 소자 기판(11)을 통한 광추출 효율을 향상시킬 수 있는 기판 요철 구조(11a)가 형성되어 있을 수 있다. Referring to FIG. 1B, a light emitting diode chip 10 is provided. The light emitting diode chip 10 includes a device substrate 11. The device substrate 11 includes sapphire (Al 2 O 3), silicon carbide (SiC), gallium nitride (GaN), indium gallium nitride (InGaN), aluminum gallium nitride (AlGaN), aluminum nitride (AlN), gallium oxide (Ga 2 O 3), Or a silicon substrate. Specifically, the device substrate 11 may be a sapphire substrate. A substrate uneven structure 11a may be formed in the lower surface of the device substrate 11 to improve light extraction efficiency through the device substrate 11.

상기 소자 기판(11)의 상부면 상에 제1 반도체층(13a), 활성층(13b), 및 제2 반도체층(13c)이 배치될 수 있다. 상기 제1 반도체층(13a)의 일부 영역은 메사 식각 영역 내에 노출될 수 있다. 상기 제1 반도체층(13a)은 질화물계 반도체층으로서, n형 도펀트가 도핑된 층일 수 있다. 일 예로서, 상기 제1 반도체층(13a)은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0≤y≤1, x+y≤1)층에 n형 도펀드로서 Si가 도핑된 층일 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 반도체층(13a)은 Si가 도핑된 GaN층일 수 있다. 상기 활성층(13b)은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)층일 수 있고, 단일 양자 우물 구조 또는 다중 양자 우물 구조(multi-quantum well; MQW)를 가질 수 있다. 일 예로서, 상기 활성층(13b)은 InGaN층 또는 AlGaN층의 단일 양자 우물 구조, 또는 InGaN/GaN, AlGaN/(In)GaN, 또는 InAlGaN/(In)GaN의 다층구조인 다중 양자 우물 구조를 가질 수 있다. 상기 활성층(13b) 내의 In 또는 Al의 조성을 조절함에 따라 상기 활성층(13b)으로부터 방출되는 파장이 조절될 수 있다. 구체적으로, 상기 활성층(13b)으로부터 가시광, 자외선광 또는 적외선광이 방출될 수 있고, 상기 가시광은 청색, 녹색, 황색 또는 적색일 수 있다. 상기 제2 반도체층(13c) 또한 질화물계 반도체층일 수 있고, p형 도펀트가 도핑된 층일 수 있다. 일 예로서, 상기 제2 반도체층(13c)은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)층에 p형 도펀드로서 Mg 또는 Zn가 도핑된 층일 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 반도체층(13c)은 Mg가 도핑된 GaN층일 수 있다.The first semiconductor layer 13a, the active layer 13b, and the second semiconductor layer 13c may be disposed on the upper surface of the device substrate 11. A portion of the first semiconductor layer 13a may be exposed in the mesa etching region. The first semiconductor layer 13a may be a nitride based semiconductor layer and may be a layer doped with an n-type dopant. As an example, the first semiconductor layer 13a may have Si as an n-type dopant in an In x Al y Ga 1-xy N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, x + y ≦ 1) layer. It may be a doped layer. Specifically, the first semiconductor layer 13a may be a GaN layer doped with Si. The active layer 13b may be an In x Al y Ga 1-xy N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1) layer, and may have a single quantum well structure or a multi quantum well structure ( multi-quantum wells (MQW). As an example, the active layer 13b may have a single quantum well structure having an InGaN layer or an AlGaN layer, or a multi-quantum well structure having a multilayer structure of InGaN / GaN, AlGaN / (In) GaN, or InAlGaN / (In) GaN. Can be. The wavelength emitted from the active layer 13b may be adjusted by adjusting the composition of In or Al in the active layer 13b. Specifically, visible light, ultraviolet light, or infrared light may be emitted from the active layer 13b, and the visible light may be blue, green, yellow, or red. The second semiconductor layer 13c may also be a nitride-based semiconductor layer or a layer doped with a p-type dopant. As an example, the second semiconductor layer 13c may be a p-type dopant in an In x Al y Ga 1-xy N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ x + y ≦ 1) layer. It may be a layer doped with Mg or Zn. Specifically, the second semiconductor layer 13c may be a GaN layer doped with Mg.

상기 메사 식각 영역 내에 노출된 제1 반도체층(13a)과 상기 제2 반도체층(13c) 상에 반사층(15)을 형성할 수 있다. 이 경우, 활성층(13b)에서 상기 반사층(15)으로 진행된 광은 상기 반사층(15)에서 반사되어 외부로 추출될 수 있다. 상기 반사층(15)은 반사 절연막 또는 반사 금속막일 수 있다. 상기 반사 절연막은 서로 굴절률이 다른 한 쌍의 절연막들이 교호 적층된 막인 DBR(Distributed Bragg Reflector)일 수 있다. 상기 DBR을 구성하는 절연막들 각각의 굴절률 및 광학두께는 상기 활성층(13b)에서 방출되는 광을 효과적으로 반사할 수 있도록 조절될 수 있다. 상기 DBR을 구성하는 절연막들은 SiO2(n=1.4), Al2O3(n=1.6), SiNx(0.5<x<1.8, n=2.05 ~ 2.25), 및 TiO2(n=2.1)로 이루어진 군에서 선택되는 한 쌍의 절연막들일 수 있다. 한편, 상기 반사 금속막은 반사도가 높은 은 또는 알루미늄막일 수 있다. 이와 같이, 상기 반사층(15)이 반사 금속막인 경우에는, 금속막의 전도성으로 인해 전류 스프레딩 또한 향상될 수 있다.The reflective layer 15 may be formed on the first semiconductor layer 13a and the second semiconductor layer 13c exposed in the mesa etching region. In this case, the light propagated from the active layer 13b to the reflective layer 15 may be reflected by the reflective layer 15 and extracted to the outside. The reflective layer 15 may be a reflective insulating film or a reflective metal film. The reflective insulating layer may be a distributed bragg reflector (DBR), in which a pair of insulating layers having different refractive indices are alternately stacked. The refractive index and the optical thickness of each of the insulating layers constituting the DBR may be adjusted to effectively reflect the light emitted from the active layer 13b. The insulating layers constituting the DBR include SiO 2 (n = 1.4), Al 2 O 3 (n = 1.6), SiN x (0.5 <x <1.8, n = 2.05 to 2.25), and TiO 2 (n = 2.1). It may be a pair of insulating films selected from the group consisting of. The reflective metal film may be a silver or aluminum film having high reflectivity. As such, when the reflective layer 15 is a reflective metal film, current spreading may also be improved due to the conductivity of the metal film.

상기 제1 반도체층(13a)과 상기 제2 반도체층(13c)에 제1 범프(17a)와 제2 범프(17c)가 각각 접속할 수 있다. 상기 제1 범프(17a)와 제2 범프(17c)의 상부면은 실질적으로 동일한 레벨을 가질 수 있다.The first bump 17a and the second bump 17c may be connected to the first semiconductor layer 13a and the second semiconductor layer 13c, respectively. Top surfaces of the first bump 17a and the second bump 17c may have substantially the same level.

도 1c를 참조하면, 상기 접착제층(30) 상에 상기 범프들(17a, 17c)이 상기 마스크(24) 내에 노출된 상기 본딩 패드들(23a, 23c)을 바라보도록 상기 발광다이오드 칩(10)을 플립하여 배치한다. 이 후, 상기 발광다이오드 칩(10)을 가압하여 상기 범프들(17a, 17c)이 상기 본딩 패드들(23a, 23c)에 전기적으로 접속될 수 있도록 한다. 구체적으로, 상기 접착제층(30) 내의 도전성 입자들(35) 중 일부는 상기 범프들(17a, 17c)과 상기 본딩 패드들(23a, 23c) 사이에 위치하여 상기 범프들(17a, 17c)과 상기 본딩 패드들(23a, 23c)을 전기적으로 연결한다. 한편, 상기 접착제층(30) 내의 다른 영역에서는 도전성 입자들(35)이 서로 연결되지 않고 상기 절연 수지(33) 내에서 균일하게 분산될 수 있어 절연성을 나타낸다. 상기 발광다이오드 칩(10)을 가압하는 과정에서 열을 가할 수 있는데, 이 경우 상기 접착제층(30) 구체적으로, 상기 절연 수지(33)는 경화되면서 상기 발광다이오드 칩(10)을 고정시킬 수 있다.Referring to FIG. 1C, the light emitting diode chip 10 may face the bonding pads 23a and 23c exposed in the mask 24 on the adhesive layer 30. Flip to place. Thereafter, the light emitting diode chip 10 is pressed to allow the bumps 17a and 17c to be electrically connected to the bonding pads 23a and 23c. Specifically, some of the conductive particles 35 in the adhesive layer 30 may be disposed between the bumps 17a and 17c and the bonding pads 23a and 23c so as to be connected to the bumps 17a and 17c. The bonding pads 23a and 23c are electrically connected to each other. Meanwhile, in other regions of the adhesive layer 30, the conductive particles 35 may be uniformly dispersed in the insulating resin 33 without being connected to each other, thereby indicating insulation. Heat may be applied in the process of pressing the light emitting diode chip 10. In this case, the adhesive layer 30 may specifically fix the light emitting diode chip 10 while the insulating resin 33 is cured. .

이와 같이, 상기 범프(17a, 17c)와 상기 본딩 패드(23a, 23c)를 상기 도전성 입자들(35)을 갖는 접착제층(30)을 사용하여 전기적으로 연결함으로써, 본딩 와이어의 사용을 줄이거나 생략할 수 있어 광출력 효율 향상을 기대할 수 있다. 이와 더불어서, 상기 접착제층(30)은 상기 발광다이오드 칩(10)을 상기 패키지 기판(21) 상에 접착 및 고정시킬 수 있어, 외부 충격에 의해 전기적 접속이 깨지는 것을 막을 수 있다.As such, the bumps 17a and 17c and the bonding pads 23a and 23c are electrically connected by using the adhesive layer 30 having the conductive particles 35 to thereby reduce or eliminate the use of bonding wires. It can be expected to improve the light output efficiency. In addition, the adhesive layer 30 may adhere and fix the light emitting diode chip 10 to the package substrate 21, thereby preventing the electrical connection from being broken by an external impact.

상기 본딩 패드들(23a, 23c)의 상부면 내에 패드 요철 구조(R)가 형성된 경우에, 상기 도전성 입자들(35)과 상기 본딩 패드들(23a, 23c)사이의 접촉면적이 증가될 수 있어 상기 범프들(17a, 17c)과 상기 본딩 패드들(23a, 23c) 사이의 전기적 연결은 강화될 수 있다. 이를 위해, 상기 패드 요철 구조(R)의 철부들 사이의 거리는 상기 도전성 입자들(35)의 직경과 같거나 이보다 클 수 있다. 이와 더불어서, 상기 절연 수지(33)와 상기 본딩 패드들(23a, 23c)사이의 접촉면적 또한 증가될 수 있으므로, 접착성 또한 향상될 수 있다. In the case where the pad uneven structure R is formed in the upper surfaces of the bonding pads 23a and 23c, the contact area between the conductive particles 35 and the bonding pads 23a and 23c may be increased. The electrical connection between the bumps 17a and 17c and the bonding pads 23a and 23c may be strengthened. To this end, the distance between the convex portions of the pad uneven structure R may be equal to or larger than the diameter of the conductive particles 35. In addition, since the contact area between the insulating resin 33 and the bonding pads 23a and 23c can also be increased, adhesiveness can also be improved.

이 후, 상기 발광다이오드 칩(10) 상에 봉지층(40)을 형성할 수 있다. 상기 봉지층(40)을 형성하는 것은 봉지 유체를 프린팅법 또는 디스펜싱법을 사용하여 도팅한 후, 상기 도팅된 봉지 유체를 경화시키는 것을 포함할 수 있다. 상기 봉지 유체는 상기 캐버티(25a)를 채울 수 있다. 상기 봉지 유체는 광투과성 수지일 수 있으며, 예를 들어 상기 광투과성 수지는 실리콘(silicone) 수지 또는 에폭시 수지일 수 있다.Thereafter, an encapsulation layer 40 may be formed on the light emitting diode chip 10. Forming the encapsulation layer 40 may include doping the encapsulating fluid using a printing method or a dispensing method, and then curing the doped encapsulation fluid. The encapsulation fluid may fill the cavity 25a. The encapsulating fluid may be a light transmissive resin, for example, the light transmissive resin may be a silicone resin or an epoxy resin.

상기 봉지 유체 즉, 상기 봉지층(40)은 형광체(phosphore; P)를 더 포함할 수 있다. 이로써, 상기 발광다이오드 칩(10)에서 발생된 광을 더 낮은 파장의 광으로 변환시켜 백색 소자를 구현할 수 있다. 일 예로서, 상기 발광다이오드 칩(10)이 자외선을 발생시키는 소자인 경우에, 상기 봉지층(40) 내에 적색 형광체, 녹색 형광체 및 청색 형광체를 구비시켜 백색 소자를 구현할 수 있고, 상기 발광다이오드 칩(10)이 청색을 발생시키는 소자인 경우에 상기 봉지층(40) 내에 황색 형광체를 구비시켜 백색 소자를 구현할 수 있다.The encapsulation fluid, that is, the encapsulation layer 40 may further include phosphor (P). As a result, the white light may be realized by converting the light generated from the light emitting diode chip 10 into light having a lower wavelength. For example, when the light emitting diode chip 10 is a device for generating ultraviolet rays, a white device may be implemented by including a red phosphor, a green phosphor, and a blue phosphor in the encapsulation layer 40, and the light emitting diode chip When 10 is a device generating blue color, a white device may be realized by providing a yellow phosphor in the encapsulation layer 40.

이상에서, 플립칩 타입 발광다이오드 패키지를 제조하는 방법을 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 수직형 발광다이오드의 일측 범프를 패키지 기판의 본딩 패드와 상술한 접착제층에 의해 전기적으로 연결하고, 타측 범프는 와이어를 사용하여 연결할 수도 있다. 그러나, 이 경우에도 일측의 와이어 공정은 생략될 수 있어 양측 모두 와이어 공정을 사용하는 경우에 비해 광방출 효율이 높아질 수 있으며, 외부 충격에도 강할 수 있다.In the above description, a method of manufacturing a flip chip type light emitting diode package has been described, but the present invention is not limited thereto, and one side bump of the vertical light emitting diode is electrically connected to the bonding pad of the package substrate by the adhesive layer described above, and the other side thereof. Bumps can also be connected using wires. However, even in this case, the wire process on one side may be omitted, so that both sides may increase light emission efficiency and may be stronger against external impact than when the wire process is used.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광다이오드 패키지를 나타낸 단면도이다. 본 실시예에 따른 발광다이오드 패키지는 후술하는 것을 제외하고는, 도 1a 내지 도 1c를 참조하여 설명한 발광다이오드 패키지와 유사하다.2 is a cross-sectional view showing a light emitting diode package according to another embodiment of the present invention. The light emitting diode package according to the present embodiment is similar to the light emitting diode package described with reference to FIGS. 1A to 1C except as described below.

도 2를 참조하면, 기판 요철 구조(11a) 상에 형광체층(PL)을 형성할 수 있다. 상기 형광체층(PL)은 상기 기판 요철 구조(11a) 상에 컨포말(conformal)하게 코팅될 수 있다. 이 경우, 기판(11)을 통해 방출되는 광은 상기 형광체층(PL) 내에서 거의 동일한 거리를 진행할 수 있어, 형광체층 내에서 다른 거리를 진행하는 경우에 비해 색편차가 감소될 수 있다. 상기 기판 요철 구조(11a) 상에 형광체층(PL)이 형성되므로, 봉지층(40)은 추가적인 형광체를 포함하지 않을 수 있다.
Referring to FIG. 2, the phosphor layer PL may be formed on the substrate uneven structure 11a. The phosphor layer PL may be conformally coated on the substrate uneven structure 11a. In this case, the light emitted through the substrate 11 may travel substantially the same distance in the phosphor layer PL, so that the color deviation may be reduced as compared with the case where the other distance is traveled in the phosphor layer. Since the phosphor layer PL is formed on the substrate uneven structure 11a, the encapsulation layer 40 may not include additional phosphor.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광다이오드 패키지를 나타낸 단면도이다. 본 실시예에 따른 발광다이오드 패키지는 후술하는 것을 제외하고는, 도 1a 내지 도 1c를 참조하여 설명한 발광다이오드 패키지와 유사하다.3 is a cross-sectional view showing a light emitting diode package according to another embodiment of the present invention. The light emitting diode package according to the present embodiment is similar to the light emitting diode package described with reference to FIGS. 1A to 1C except as described below.

도 3을 참조하면, 돔 형태의 봉지층(40)이 형성될 수 있다. 이를 위해 하우징(도 1a의 25)을 형성하는 것을 생략할 수 있다. 상기 봉지층(40)을 형성하는 것은 봉지 유체를 프린팅법 또는 디스펜싱법을 사용하여 도팅한 후, 상기 도팅된 봉지 유체를 경화시키는 것을 포함할 수 있다. 상기 봉지 유체 즉, 상기 봉지층(40)은 형광체(phosphore; P)를 더 포함할 수 있다.
Referring to FIG. 3, an encapsulation layer 40 may be formed. To this end, it may be omitted to form the housing (25 of Figure 1a). Forming the encapsulation layer 40 may include doping the encapsulating fluid using a printing method or a dispensing method, and then curing the doped encapsulation fluid. The encapsulation fluid, that is, the encapsulation layer 40 may further include phosphor (P).

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광다이오드 패키지를 나타낸 단면도이다. 본 실시예에 따른 발광다이오드 패키지는 후술하는 것을 제외하고는, 도 1a 내지 도 1c를 참조하여 설명한 발광다이오드 패키지와 유사하다.4 is a cross-sectional view showing a light emitting diode package according to another embodiment of the present invention. The light emitting diode package according to the present embodiment is similar to the light emitting diode package described with reference to FIGS. 1A to 1C except as described below.

도 4를 참조하면, 패키지 기판(21)은 인쇄회로기판일 수 있다. 또한, 상기 패키지 기판(21) 상에 다수 개의 발광다이오드 칩들(10)이 도 1c를 참조하여 설명한 방법을 사용하여 실장될 수 있다. 상기 다수 개의 발광다이오드 칩들(10)은 상기 패키지 기판(21) 내에 인쇄된 배선(미도시)에 의해 직렬 연결 및/또는 병렬 연결될 수 있다. 상기 발광다이오드 칩들(10)을 실장한 후, 상기 발광다이오드 칩들(10)이 실장된 영역의 주변 영역 상에 측벽(60)을 배치한 후, 상기 발광다이오드 칩들(10) 상에 봉지층(40)을 형성할 수 있다. 상기 봉지층(40)을 형성하는 것은 봉지 유체를 프린팅법 또는 디스펜싱법을 사용하여 도팅한 후, 상기 도팅된 봉지 유체를 경화시키는 것을 포함할 수 있다. 상기 봉지 유체는 상기 측벽(60)에 의해 정의된 영역을 채울 수 있다. 상기 봉지 유체 즉, 상기 봉지층(40)은 형광체(phosphore; P)를 더 포함할 수 있다.
Referring to FIG. 4, the package substrate 21 may be a printed circuit board. In addition, a plurality of light emitting diode chips 10 may be mounted on the package substrate 21 using the method described with reference to FIG. 1C. The plurality of light emitting diode chips 10 may be connected in series and / or in parallel by wires (not shown) printed in the package substrate 21. After mounting the light emitting diode chips 10, the sidewall 60 is disposed on a peripheral area of the region where the light emitting diode chips 10 are mounted, and then an encapsulation layer 40 is formed on the light emitting diode chips 10. ) Can be formed. Forming the encapsulation layer 40 may include doping the encapsulating fluid using a printing method or a dispensing method, and then curing the doped encapsulation fluid. The encapsulation fluid may fill an area defined by the sidewall 60. The encapsulation fluid, that is, the encapsulation layer 40 may further include phosphor (P).

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형 및 변경이 가능하다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, This is possible.

21: 패키지 기판 23a, 23c: 본딩 패드
24: 마스크층 27: 히트 싱크
10: 발광다이오드 칩 11: 소자 기판
13a: 제1 반도체층 13b: 활성층
13c: 제2 반도체층 15: 반사층
17a, 17c: 범프 25: 하우징
40: 봉지층 P: 형광체
30: 접착제층 33: 절연 수지
35: 도전성 입자
21: package substrate 23a, 23c: bonding pad
24: mask layer 27: heat sink
10: light emitting diode chip 11: element substrate
13a: first semiconductor layer 13b: active layer
13c: second semiconductor layer 15: reflective layer
17a, 17c: bump 25: housing
40: sealing layer P: phosphor
30: adhesive layer 33: insulating resin
35: conductive particles

Claims (22)

본딩 패드를 구비하는 패키지 기판;
상기 본딩 패드를 향해 배치된 범프를 구비하는 발광다이오드 칩; 및
상기 본딩 패드와 상기 범프 사이에 배치되고, 상기 본딩 패드와 상기 범프에 접속하는 도전성 입자를 구비하는 접착제층을 포함하는 발광다이오드 패키지.
A package substrate having a bonding pad;
A light emitting diode chip having bumps disposed toward the bonding pads; And
A light emitting diode package disposed between the bonding pad and the bump and including an adhesive layer having conductive particles connected to the bonding pad and the bump.
제1항에 있어서,
상기 접착제층은 절연 수지를 더 포함하고, 상기 도전성 입자는 상기 절연 수지 내에 위치하는 발광다이오드 패키지.
The method of claim 1,
The adhesive layer further includes an insulating resin, wherein the conductive particles are located in the insulating resin light emitting diode package.
제1항에 있어서,
상기 발광다이오드 칩 상에 위치하는 봉지층을 더 포함하는 발광다이오드 패키지.
The method of claim 1,
A light emitting diode package further comprising an encapsulation layer on the light emitting diode chip.
제3항에 있어서,
상기 봉지층 내에 분산된 형광체를 더 포함하는 발광다이오드 패키지.
The method of claim 3,
The LED package further comprises a phosphor dispersed in the encapsulation layer.
제1항에 있어서,
상기 발광다이오드 칩은 소자 기판의 상부면 상에 차례로 적층된 제1 반도체층, 활성층, 및 제2 반도체층을 구비하고,
상기 범프는 상기 반도체층들 중 어느 하나에 접속된 발광다이오드 패키지.
The method of claim 1,
The light emitting diode chip includes a first semiconductor layer, an active layer, and a second semiconductor layer sequentially stacked on an upper surface of the device substrate.
The bump is connected to any one of the semiconductor layer light emitting diode package.
제5항에 있어서,
상기 발광다이오드 칩은 상기 제1 반도체층을 노출시키는 메사 식각 영역을 구비하고,
상기 범프는 상기 제1 반도체층에 접속하는 제1 범프와 상기 제2 반도체층에 접속하는 제2 범프를 구비하며,
상기 본딩 패드는 상기 제1 범프에 접속하는 제1 본딩 패드와 상기 제2 범프에 접속하는 제2 본딩 패드를 구비하는 발광다이오드 패키지.
The method of claim 5,
The light emitting diode chip has a mesa etching region exposing the first semiconductor layer,
The bump includes a first bump connected to the first semiconductor layer and a second bump connected to the second semiconductor layer,
The bonding pad includes a first bonding pad connected to the first bump and a second bonding pad connected to the second bump.
제6항에 있어서,
상기 소자 기판의 하부면 내에 기판 요철 구조가 형성된 발광다이오드 패키지.
The method according to claim 6,
A light emitting diode package having a substrate uneven structure formed in a lower surface of the device substrate.
제7항에 있어서,
상기 기판 요철 구조 상에 컨포말하게 형성된 형광체층을 더 포함하는 발광다이오드 패키지.
The method of claim 7, wherein
A light emitting diode package further comprising a phosphor layer conformally formed on the substrate uneven structure.
제6항에 있어서,
상기 제1 반도체층과 상기 제2 반도체층 상에 위치하는 반사층을 더 포함하는 발광다이오드 패키지.
The method according to claim 6,
The light emitting diode package of claim 1, further comprising a reflective layer on the first semiconductor layer and the second semiconductor layer.
제1항에 있어서,
상기 본딩 패드는 그의 상부면 내에 패드 요철 구조를 갖는 발광다이오드 패키지.
The method of claim 1,
The bonding pad is a light emitting diode package having a pad uneven structure in the upper surface thereof.
제10항에 있어서,
상기 패드 요철 구조의 철부들 사이의 거리는 상기 도전성 입자의 직경과 같거나 이보다 큰 발광다이오드 패키지.
The method of claim 10,
The light emitting diode package of claim 1, wherein the distance between the convex portions of the pad uneven structure is greater than or equal to the diameter of the conductive particles.
본딩 패드를 구비하는 패키지 기판을 제공하고,
상기 본딩 패드 상에 도전성 입자를 구비하는 접착제층을 배치하고,
상기 접착제층 상에 상기 본딩 패드를 향해 위치하는 범프를 구비하는 발광다이오드 칩을 배치하고,
상기 발광다이오드 칩을 가압하여, 상기 도전성 입자가 상기 범프와 상기 본딩 패드를 전기적으로 연결하도록 하는 것을 포함하는 발광다이오드 패키지 제조방법.
Providing a package substrate having a bonding pad,
An adhesive bond layer provided with electroconductive particle is arrange | positioned on the said bonding pad,
Arranging a light emitting diode chip having a bump located toward the bonding pad on the adhesive layer;
And pressing the light emitting diode chip so that the conductive particles electrically connect the bump and the bonding pad.
제12항에 있어서,
상기 접착제층은 절연 수지를 더 포함하고, 상기 도전성 입자는 상기 절연 수지 내에 위치하는 발광다이오드 패키지 제조방법.
The method of claim 12,
The adhesive layer further comprises an insulating resin, wherein the conductive particles are located in the insulating resin light emitting diode package manufacturing method.
제12항에 있어서,
상기 발광다이오드 칩 상에 봉지층을 형성하는 것을 더 포함하는 발광다이오드 패키지 제조방법.
The method of claim 12,
The method of manufacturing a light emitting diode package further comprising forming an encapsulation layer on the light emitting diode chip.
제14항에 있어서,
상기 봉지층은 그 내부에 분산된 형광체를 포함하는 발광다이오드 패키지 제조방법.
15. The method of claim 14,
The encapsulation layer is a light emitting diode package manufacturing method comprising a phosphor dispersed therein.
제12항에 있어서,
상기 발광다이오드 칩은 소자 기판의 상부면 상에 차례로 적층된 제1 반도체층, 활성층, 및 제2 반도체층을 구비하고,
상기 범프는 상기 반도체층들 중 어느 하나에 접속된 발광다이오드 패키지 제조방법.
The method of claim 12,
The light emitting diode chip includes a first semiconductor layer, an active layer, and a second semiconductor layer sequentially stacked on an upper surface of the device substrate.
The bump is connected to any one of the semiconductor layer manufacturing method of the light emitting diode package.
제16항에 있어서,
상기 발광다이오드 칩은 상기 제1 반도체층을 노출시키는 메사 식각 영역을 구비하고,
상기 범프는 상기 제1 반도체층에 접속하는 제1 범프와 상기 제2 반도체층에 접속하는 제2 범프를 구비하며,
상기 본딩 패드는 상기 제1 범프에 접속하는 제1 본딩 패드와 상기 제2 범프에 접속하는 제2 본딩 패드를 구비하는 발광다이오드 패키지 제조방법.
17. The method of claim 16,
The light emitting diode chip has a mesa etching region exposing the first semiconductor layer,
The bump includes a first bump connected to the first semiconductor layer and a second bump connected to the second semiconductor layer,
The bonding pad includes a first bonding pad connected to the first bump and a second bonding pad connected to the second bump.
제17항에 있어서,
상기 소자 기판의 하부면 내에 기판 요철 구조가 형성된 발광다이오드 패키지 제조방법.
18. The method of claim 17,
A light emitting diode package manufacturing method having a substrate uneven structure formed in a lower surface of the device substrate.
제18항에 있어서,
상기 기판 요철 구조 상에 형광체층을 컨포말하게 형성하는 것을 더 포함하는 발광다이오드 패키지 제조방법.
19. The method of claim 18,
A method of manufacturing a light emitting diode package further comprising conformally forming a phosphor layer on the substrate uneven structure.
제17항에 있어서,
상기 발광다이오드 칩은 상기 제1 반도체층과 상기 제2 반도체층 상에 위치하는 반사층을 더 포함하는 발광다이오드 패키지 제조방법.
18. The method of claim 17,
The light emitting diode chip manufacturing method of a light emitting diode package further comprises a reflective layer located on the first semiconductor layer and the second semiconductor layer.
제12항에 있어서,
상기 본딩 패드는 그의 상부면 내에 패드 요철 구조를 갖는 발광다이오드 패키지 제조방법.
The method of claim 12,
The bonding pad is a light emitting diode package manufacturing method having a pad concave-convex structure in the upper surface thereof.
제21항에 있어서,
상기 패드 요철 구조의 철부들 사이의 거리는 상기 도전성 입자의 직경과 같거나 이보다 큰 발광다이오드 패키지 제조방법.
The method of claim 21,
The method of manufacturing a light emitting diode package having a distance between the convex portions of the pad uneven structure is greater than or equal to the diameter of the conductive particles.
KR1020120031736A 2012-03-28 2012-03-28 Light Emitting Diode Package and Fabrication Method for the Same KR101933190B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120031736A KR101933190B1 (en) 2012-03-28 2012-03-28 Light Emitting Diode Package and Fabrication Method for the Same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120031736A KR101933190B1 (en) 2012-03-28 2012-03-28 Light Emitting Diode Package and Fabrication Method for the Same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130109743A true KR20130109743A (en) 2013-10-08
KR101933190B1 KR101933190B1 (en) 2018-12-31

Family

ID=49631918

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120031736A KR101933190B1 (en) 2012-03-28 2012-03-28 Light Emitting Diode Package and Fabrication Method for the Same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101933190B1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019225866A1 (en) * 2018-05-24 2019-11-28 서울반도체주식회사 Light-emitting device
KR20210095191A (en) * 2018-11-26 2021-07-30 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 Light emitting devices and methods for manufacturing light emitting devices
CN113330588A (en) * 2019-01-15 2021-08-31 首尔伟傲世有限公司 Light emitting element package and display device including the same

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005166937A (en) * 2003-12-02 2005-06-23 Toyoda Gosei Co Ltd Light emitting device
JP2009164423A (en) * 2008-01-08 2009-07-23 Nichia Corp Light-emitting element
JP5402804B2 (en) * 2010-04-12 2014-01-29 デクセリアルズ株式会社 Method for manufacturing light emitting device
JP5172915B2 (en) * 2010-09-07 2013-03-27 株式会社東芝 Light emitting device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019225866A1 (en) * 2018-05-24 2019-11-28 서울반도체주식회사 Light-emitting device
CN110785861A (en) * 2018-05-24 2020-02-11 首尔半导体株式会社 Light emitting element
KR20210095191A (en) * 2018-11-26 2021-07-30 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 Light emitting devices and methods for manufacturing light emitting devices
CN113330588A (en) * 2019-01-15 2021-08-31 首尔伟傲世有限公司 Light emitting element package and display device including the same
CN113330588B (en) * 2019-01-15 2024-04-12 首尔伟傲世有限公司 Light emitting element package and display device including the same

Also Published As

Publication number Publication date
KR101933190B1 (en) 2018-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101193740B1 (en) Chip-scale methods for packaging light emitting devices and chip-scale packaged light emitting devices
US8847257B2 (en) Semiconductor light emitting devices and submounts
EP2458656B1 (en) Light emitting apparatus
TWI535077B (en) Light emitting?apparatus and light emitting module thereof
TWI637537B (en) Light emitting device and method of manufacturing the same
JP2015513226A (en) Light emitting semiconductor component and method for manufacturing light emitting semiconductor component
CN105529385A (en) Light emitting device, light emitting device package, and lighting apparatus including the package
KR101291092B1 (en) Method of manufacutruing semiconductor device structure
KR101933190B1 (en) Light Emitting Diode Package and Fabrication Method for the Same
US8368300B2 (en) Light emitting device, light emitting device package, and lighting system
KR101360324B1 (en) Method of manufacutruing semiconductor device structure
KR20180074638A (en) Semiconductor light emitting device
KR20190136826A (en) Semiconductor device, method for fabricating the same, and semiconductor device package
KR101360881B1 (en) Light emitting diode with conductive connect line
KR20170109440A (en) Light emitting device package and light source array including the same
KR101863538B1 (en) Semiconductor Light Emitting Device And Method of Manufacturing the same
KR20170036292A (en) Semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same
KR102504008B1 (en) A device having multiple stacked light emitting devices
KR101779084B1 (en) Semicondutor light emitting device structure and method of manufacturing the same
US12107201B2 (en) Semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same
KR101300463B1 (en) Method of manufacutruing semiconductor device structure
KR20180018442A (en) Semiconductor light emitting device
KR101644501B1 (en) Light emitting device, light emitting device package, and lighting apparatus
KR20120057670A (en) Light emitting device, method for fabricating the light emitting device, light emitting device package and lighting system
KR102404655B1 (en) Light emitting device and light emitting device package having thereof

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right