KR20130109743A - Light emitting diode package and fabrication method for the same - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 133
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 62
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 48
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 26
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 3
- 238000002161 passivation Methods 0.000 abstract 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 12
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 7
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/62—Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/1015—Shape
- H01L2924/10155—Shape being other than a cuboid
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/1015—Shape
- H01L2924/10155—Shape being other than a cuboid
- H01L2924/10158—Shape being other than a cuboid at the passive surface
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 패키지에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 발광다이오드 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor package, and more particularly, to a light emitting diode package.
발광다이오드는 n형 반도체층, p형 반도체층, 및 상기 n형 및 p형 반도체층들 사이에 위치하는 활성층을 구비하는 소자이다. 상기 n형 및 p형 반도체층들에 각각 접속하는 n형 및 p형 전극들에 순방향 전계를 인가하면, 상기 활성층 내로 전자와 정공이 주입되고, 상기 활성층 내로 주입된 전자와 정공이 재결합하면서 광을 방출한다.The light emitting diode is an element including an n-type semiconductor layer, a p-type semiconductor layer, and an active layer located between the n-type and p-type semiconductor layers. When a forward electric field is applied to the n-type and p-type electrodes respectively connected to the n-type and p-type semiconductor layers, electrons and holes are injected into the active layer, and holes and electrons injected into the active layer are recombined, Release.
이러한 발광다이오드의 패키지를 제조함에 있어서, 상기 n형 및 p형 전극들을 패키지 기판의 본딩 패드들과 전기적으로 연결시키는데, 이 때 와이어 본딩을 사용하여 것이 일반적이다. 그러나, 발광다이오드로부터 방출되는 광은 와이어에 의해 내부로 다시 반사될 수 있어, 와이어로 인해 광출력 효율이 저하되는 것으로 알려져 있다. 또한, 와이어는 외부 충격에 의해 끊어질 위험이 있다.In manufacturing such a package of light emitting diodes, the n-type and p-type electrodes are electrically connected to the bonding pads of the package substrate, using wire bonding in general. However, it is known that the light emitted from the light emitting diodes can be reflected back to the inside by the wires, so that the light output efficiency is lowered due to the wires. In addition, there is a risk that the wire is broken by an external impact.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 광출력 효율이 높고 외부 충격에 강한 발광다이오드 패키지 및 그의 제조방법을 제공함에 있다.The problem to be solved by the present invention is to provide a light emitting diode package having a high light output efficiency and strong against external impact and a manufacturing method thereof.
상기 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 발광다이오드 패키지를 제공한다. 상기 발광다이오드 패키지는 본딩 패드를 구비하는 패키지 기판을 갖는다. 상기 본딩 패드를 향해 위치한 범프를 구비하는 발광다이오드 칩이 상기 패키지 기판 상에 배치된다. 상기 본딩 패드와 상기 범프 사이에 접착제층이 위치하되, 상기 접착제층 내에 상기 본딩 패드와 상기 범프에 접속하는 도전성 입자가 구비된다. 상기 접착제층은 절연 수지를 더 포함하고, 상기 도전성 입자는 상기 절연 수지 내에 위치할 수 있다.One aspect of the present invention to achieve the above object provides a light emitting diode package. The light emitting diode package has a package substrate having bonding pads. A light emitting diode chip having a bump positioned toward the bonding pad is disposed on the package substrate. An adhesive layer is positioned between the bonding pad and the bump, and the adhesive layer includes conductive particles connected to the bonding pad and the bump. The adhesive layer may further include an insulating resin, and the conductive particles may be located in the insulating resin.
상기 발광다이오드 칩 상에 봉지층이 위치할 수 있다. 상기 봉지층 내에 형광체가 분산되어 있을 수 있다.An encapsulation layer may be positioned on the light emitting diode chip. Phosphors may be dispersed in the encapsulation layer.
상기 발광다이오드 칩은 소자 기판의 상부면 상에 차례로 적층된 제1 반도체층, 활성층, 및 제2 반도체층을 구비할 수 있다. 상기 범프는 상기 반도체층들 중 어느 하나에 접속될 수 있다. 나아가, 상기 발광다이오드 칩은 상기 제1 반도체층을 노출시키는 메사 식각 영역을 구비하고, 상기 범프는 상기 제1 반도체층에 접속하는 제1 범프와 상기 제2 반도체층에 접속하는 제2 범프를 구비할 수 있다. 상기 본딩 패드는 상기 제1 범프에 접속하는 제1 본딩 패드와 상기 제2 범프에 접속하는 제2 본딩 패드를 구비할 수 있다. 상기 소자 기판의 하부면 내에 기판 요철 구조가 형성될 수 있다. 상기 기판 요철 구조 상에 형광체층이 컨포말하게 형성될 수 있다. 상기 제1 반도체층과 상기 제2 반도체층 상에 반사층이 위치할 수 있다.The light emitting diode chip may include a first semiconductor layer, an active layer, and a second semiconductor layer sequentially stacked on an upper surface of the device substrate. The bump may be connected to any one of the semiconductor layers. The light emitting diode chip may further include a mesa etching region exposing the first semiconductor layer, and the bump may include a first bump connected to the first semiconductor layer and a second bump connected to the second semiconductor layer. can do. The bonding pad may include a first bonding pad connected to the first bump and a second bonding pad connected to the second bump. A substrate concave-convex structure may be formed in the lower surface of the device substrate. A phosphor layer may be conformally formed on the substrate uneven structure. A reflective layer may be positioned on the first semiconductor layer and the second semiconductor layer.
상기 본딩 패드는 그의 상부면 내에 패드 요철 구조를 가질 수 있다. 상기 패드 요철 구조의 철부들 사이의 거리는 상기 도전성 입자의 직경과 같거나 이보다 클 수 있다.The bonding pad may have a pad uneven structure in an upper surface thereof. The distance between the convex portions of the pad uneven structure may be equal to or larger than the diameter of the conductive particles.
상기 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 측면은 발광다이오드 패키지 제조방법을 제공한다. 상기 발광다이오드 패키지 제조방법은 본딩 패드를 구비하는 패키지 기판을 제공하는 것을 구비한다. 상기 본딩 패드 상에 도전성 입자를 구비하는 접착제층을 배치한다. 상기 접착제층 상에 상기 본딩 패드를 향해 위치하는 범프를 구비하는 발광다이오드 칩을 배치한다. 상기 발광다이오드 칩을 가압하여, 상기 도전성 입자가 상기 범프와 상기 본딩 패드를 전기적으로 연결한다. Another aspect of the present invention to achieve the above object provides a light emitting diode package manufacturing method. The light emitting diode package manufacturing method includes providing a package substrate having a bonding pad. The adhesive bond layer provided with electroconductive particle is arrange | positioned on the said bonding pad. A light emitting diode chip having a bump positioned toward the bonding pad is disposed on the adhesive layer. Pressing the light emitting diode chip, the conductive particles electrically connect the bump and the bonding pad.
본 발명에 따르면, 범프와 본딩 패드를 도전성 입자를 갖는 접착제층을 사용하여 전기적으로 연결함으로써, 본딩 와이어의 사용을 줄이거나 생략할 수 있어 광출력 효율 향상을 기대할 수 있다. 이와 더불어서, 상기 접착제층은 발광다이오드 칩을 패키지 기판 상에 접착 및 고정시킬 수 있어, 외부 충격에 의해 전기적 접속이 깨지는 것을 막을 수 있다.According to the present invention, by electrically connecting the bumps and the bonding pads using an adhesive layer having conductive particles, the use of the bonding wires can be reduced or omitted, and the light output efficiency can be improved. In addition, the adhesive layer may adhere and fix the light emitting diode chip on the package substrate, thereby preventing the electrical connection from being broken by an external impact.
본딩 패드의 상부면 내에 패드 요철 구조가 형성된 경우에는, 상기 도전성 입자와 상기 본딩 패드 사이의 접촉 면적이 증가될 수 있다. 따라서, 상기 범프와 상기 본딩 패드 사이의 전기적 연결은 강화될 수 있다. 이와 더불어서, 절연 수지와 본딩 패드 사이의 접촉면적 또한 증가될 수 있으므로, 접착력 또한 향상될 수 있다.When the pad uneven structure is formed in the upper surface of the bonding pad, the contact area between the conductive particles and the bonding pad may be increased. Thus, the electrical connection between the bump and the bonding pad can be strengthened. In addition, since the contact area between the insulating resin and the bonding pad can also be increased, the adhesion can also be improved.
제1 반도체층과 제2 반도체층 상에 반사층이 위치하는 경우, 활성층에서 상기 반사층으로 진행된 광은 상기 반사층에서 반사되어 외부로 추출될 수 있다. 또한, 소자 기판의 하부면 내에 기판 요철 구조가 형성되어 있는 경우에는 상기 소자 기판을 통한 광추출 효율을 향상시킬 수 있다. 이에 더하여, 상기 기판 요철 구조 상에 형광체층이 컨포말하게 코팅되어 있는 경우, 상기 소자 기판을 통해 방출되는 광은 상기 형광체층 내에서 거의 동일한 거리를 진행할 수 있어, 형광체층 내에서 다른 거리를 진행하는 경우에 비해 색편차가 감소될 수 있다.When the reflective layer is positioned on the first semiconductor layer and the second semiconductor layer, the light traveling from the active layer to the reflective layer may be reflected by the reflective layer and extracted to the outside. In addition, when the substrate concave-convex structure is formed in the lower surface of the device substrate can improve the light extraction efficiency through the device substrate. In addition, when the phosphor layer is conformally coated on the substrate concave-convex structure, the light emitted through the device substrate may travel about the same distance in the phosphor layer, and thus travel different distances in the phosphor layer. Compared to the case, the color deviation may be reduced.
도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광다이오드의 제조방법을 나타낸 단면도들이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광다이오드를 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광다이오드를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광다이오드를 나타낸 단면도이다.1A to 1C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view showing a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view showing a light emitting diode according to another embodiment of the present invention.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms.
본 명세서에서 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 층이 개재될 수도 있다. 또한, 본 명세서에서 위쪽, 상(부), 상면 등의 방향적인 표현은 아래쪽, 하(부), 하면 등의 의미로도 이해될 수 있다. 즉, 공간적인 방향의 표현은 상대적인 방향으로 이해되어야 하며, 절대적인 방향을 의미하는 것처럼 한정적으로 이해되어서는 안 된다. 이와 더불어서, 본 명세서에서 "제1" 또는 "제2"는 구성요소들에 어떠한 한정을 가하려는 것은 아니며, 다만 구성요소들을 구별하기 위한 용어로서 이해되어야 할 것이다.Where a layer is referred to herein as "on" another layer or substrate, it may be formed directly on the other layer or substrate, or a third layer may be interposed therebetween. In the present specification, directional expressions of the upper side, the upper side, the upper side, and the like can be understood as meaning lower, lower (lower), lower, and the like. That is, the expression of the spatial direction should be understood in a relative direction, and it should not be construed as definitively as an absolute direction. In addition, in this specification, "first" or "second" should not be construed as limiting the elements, but merely as terms for distinguishing the elements.
또한, 본 명세서에서 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하여 위하여 과장된 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
Further, in the drawings, the thicknesses of layers and regions are exaggerated for clarity. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.
도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광다이오드의 제조방법을 나타낸 단면도들이다.1A to 1C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.
도 1a을 참조하면, 소자 영역 및 주변 영역을 갖는 패키지 기판(21)을 제공한다. 상기 패키지 기판(21)은 실리콘 기판, 금속 기판, 세라믹 기판 또는 수지기판일 수 있다. 상기 패키지 기판(21) 자체가 전도성을 갖는 경우에는 상기 패키지 기판(21)의 외부면 상에 절연막이 코팅되어 있을 수 있다. 상기 소자 영역은 후술하는 발광다이오드 칩이 실장되는 영역이고, 상기 주변 영역은 그 외의 영역일 수 있다.Referring to FIG. 1A, a
상기 패키지 기판(21)의 소자 영역 상에 서로 이격하는 제1 본딩 패드(23a) 및 제2 본딩 패드(23c)가 위치할 수 있다. 상기 패키지 기판(21)의 외부에는 상기 본딩 패드들(23a, 23c)에 각각 연결된 외부 연결단자들(미도시)이 배치될 수 있다. 상기 본딩 패드들(23a, 23c) 및 상기 외부 연결단자들은 리드 프레임에 구비된 것들일 수 있다. 상기 본딩 패드들(23a, 23c)은 구리, 니켈, 또는 철 패드들일 수 있다.The
상기 패키지 기판(21)의 하부면 상에 히트 싱크(27)가 배치될 수 있다. 상기 히트 싱크(27)의 재질은 금속일 수 있다.The
상기 패키지 기판(21)의 주변 영역 상에 캐버티(25a)를 갖는 하우징(25)을 배치할 수 있다. 상기 캐버티(25a) 내에 상기 본딩 패드들(23a, 23c)의 일부들이 노출될 수 있다. 상기 하우징(25)은 실리콘, 금속, 세라믹 또는 수지로 형성될 수 있다. 상기 하우징(25) 자체가 전도성을 갖는 경우에는 상기 하우징(25)의 외부면 상에 절연막이 코팅되어 있을 수 있다. 또한, 상기 하우징(25)은 몰딩법에 의해 형성되거나, 상기 패키지 기판(21) 상에 하우징층을 형성한 후 패터닝하는 방법에 의해 형성될 수도 있다.The
상기 패키지 기판(21)과 상기 하우징(25)은 서로 분리되지 않은 일체형일 수 있다. 이 경우에, 상기 패키지 기판(21)과 상기 하우징(25)은 상기 본딩 패드들(23a, 23c)을 사이에 두고 일체로 사출성형된 것일 수 있다.The
상기 본딩 패드들(23a, 23c) 상에 상기 본딩 패드들(23a, 23c)의 상부 일부 영역을 노출시키는 개구부를 갖는 마스크층(24)이 배치될 수 있다. 상기 마스크층(24)에 의해 노출된 상기 본딩 패드들(23a, 23c)의 상부면 내에 패드 요철 구조(R)가 형성될 수 있다.A
상기 캐버티(25a) 내에 노출된 본딩 패드들(23a, 23c) 상에 접착제층(30)을 형성한다. 상기 접착제층(30)은 절연 수지(33)와 상기 절연 수지(33) 내에 분산된 도전성 입자들(35)을 포함할 수 있다. 상기 도전성 입자(35)의 외부면 상에는 커플링제(미도시)가 코팅되어 있을 수 있다. 이 경우, 상기 도전성 입자(35)는 상기 절연 수지(33) 내에서 균일하게 분산될 수 있고 침전이 방지될 수 있다. 상기 도전성 입자(35)는 니켈, 금, 또는 은 입자일 수 있고, 직경은 1 ~ 10um, 일 예로서 3 ~ 5um일 수 있다. 상기 절연 수지(33)는 열경화성 또는 열가소성 수지, 일 예로서 에폭시 수지일 수 있다. 상기 접착제층(30)은 필름 형태의 접착제를 상기 본딩 패드들(23a, 23c) 상에 위치시킨 것일 수 있고, 이와는 달리 페이스트 형태의 접착제를 디스펜싱법 등을 사용하여 상기 본딩 패드들(23a, 23c) 상에 위치시킨 것일 수 있다.The
도 1b를 참조하면, 발광다이오드 칩(10)을 제공한다. 상기 발광다이오드 칩(10)은 소자 기판(11)을 구비한다. 상기 소자 기판(11)은 사파이어(Al2O3), 실리콘 카바이드(SiC), 질화갈륨(GaN), 질화인듐갈륨(InGaN), 질화알루미늄갈륨(AlGaN), 질화알루미늄(AlN), 갈륨 산화물(Ga2O3), 또는 실리콘 기판일 수 있다. 구체적으로, 상기 소자 기판(11)은 사파이어 기판일 수 있다. 상기 소자 기판(11)의 하부면 내에는 상기 소자 기판(11)을 통한 광추출 효율을 향상시킬 수 있는 기판 요철 구조(11a)가 형성되어 있을 수 있다. Referring to FIG. 1B, a light emitting
상기 소자 기판(11)의 상부면 상에 제1 반도체층(13a), 활성층(13b), 및 제2 반도체층(13c)이 배치될 수 있다. 상기 제1 반도체층(13a)의 일부 영역은 메사 식각 영역 내에 노출될 수 있다. 상기 제1 반도체층(13a)은 질화물계 반도체층으로서, n형 도펀트가 도핑된 층일 수 있다. 일 예로서, 상기 제1 반도체층(13a)은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0≤y≤1, x+y≤1)층에 n형 도펀드로서 Si가 도핑된 층일 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 반도체층(13a)은 Si가 도핑된 GaN층일 수 있다. 상기 활성층(13b)은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)층일 수 있고, 단일 양자 우물 구조 또는 다중 양자 우물 구조(multi-quantum well; MQW)를 가질 수 있다. 일 예로서, 상기 활성층(13b)은 InGaN층 또는 AlGaN층의 단일 양자 우물 구조, 또는 InGaN/GaN, AlGaN/(In)GaN, 또는 InAlGaN/(In)GaN의 다층구조인 다중 양자 우물 구조를 가질 수 있다. 상기 활성층(13b) 내의 In 또는 Al의 조성을 조절함에 따라 상기 활성층(13b)으로부터 방출되는 파장이 조절될 수 있다. 구체적으로, 상기 활성층(13b)으로부터 가시광, 자외선광 또는 적외선광이 방출될 수 있고, 상기 가시광은 청색, 녹색, 황색 또는 적색일 수 있다. 상기 제2 반도체층(13c) 또한 질화물계 반도체층일 수 있고, p형 도펀트가 도핑된 층일 수 있다. 일 예로서, 상기 제2 반도체층(13c)은 InxAlyGa1-x-yN(0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)층에 p형 도펀드로서 Mg 또는 Zn가 도핑된 층일 수 있다. 구체적으로, 상기 제2 반도체층(13c)은 Mg가 도핑된 GaN층일 수 있다.The
상기 메사 식각 영역 내에 노출된 제1 반도체층(13a)과 상기 제2 반도체층(13c) 상에 반사층(15)을 형성할 수 있다. 이 경우, 활성층(13b)에서 상기 반사층(15)으로 진행된 광은 상기 반사층(15)에서 반사되어 외부로 추출될 수 있다. 상기 반사층(15)은 반사 절연막 또는 반사 금속막일 수 있다. 상기 반사 절연막은 서로 굴절률이 다른 한 쌍의 절연막들이 교호 적층된 막인 DBR(Distributed Bragg Reflector)일 수 있다. 상기 DBR을 구성하는 절연막들 각각의 굴절률 및 광학두께는 상기 활성층(13b)에서 방출되는 광을 효과적으로 반사할 수 있도록 조절될 수 있다. 상기 DBR을 구성하는 절연막들은 SiO2(n=1.4), Al2O3(n=1.6), SiNx(0.5<x<1.8, n=2.05 ~ 2.25), 및 TiO2(n=2.1)로 이루어진 군에서 선택되는 한 쌍의 절연막들일 수 있다. 한편, 상기 반사 금속막은 반사도가 높은 은 또는 알루미늄막일 수 있다. 이와 같이, 상기 반사층(15)이 반사 금속막인 경우에는, 금속막의 전도성으로 인해 전류 스프레딩 또한 향상될 수 있다.The
상기 제1 반도체층(13a)과 상기 제2 반도체층(13c)에 제1 범프(17a)와 제2 범프(17c)가 각각 접속할 수 있다. 상기 제1 범프(17a)와 제2 범프(17c)의 상부면은 실질적으로 동일한 레벨을 가질 수 있다.The
도 1c를 참조하면, 상기 접착제층(30) 상에 상기 범프들(17a, 17c)이 상기 마스크(24) 내에 노출된 상기 본딩 패드들(23a, 23c)을 바라보도록 상기 발광다이오드 칩(10)을 플립하여 배치한다. 이 후, 상기 발광다이오드 칩(10)을 가압하여 상기 범프들(17a, 17c)이 상기 본딩 패드들(23a, 23c)에 전기적으로 접속될 수 있도록 한다. 구체적으로, 상기 접착제층(30) 내의 도전성 입자들(35) 중 일부는 상기 범프들(17a, 17c)과 상기 본딩 패드들(23a, 23c) 사이에 위치하여 상기 범프들(17a, 17c)과 상기 본딩 패드들(23a, 23c)을 전기적으로 연결한다. 한편, 상기 접착제층(30) 내의 다른 영역에서는 도전성 입자들(35)이 서로 연결되지 않고 상기 절연 수지(33) 내에서 균일하게 분산될 수 있어 절연성을 나타낸다. 상기 발광다이오드 칩(10)을 가압하는 과정에서 열을 가할 수 있는데, 이 경우 상기 접착제층(30) 구체적으로, 상기 절연 수지(33)는 경화되면서 상기 발광다이오드 칩(10)을 고정시킬 수 있다.Referring to FIG. 1C, the light emitting
이와 같이, 상기 범프(17a, 17c)와 상기 본딩 패드(23a, 23c)를 상기 도전성 입자들(35)을 갖는 접착제층(30)을 사용하여 전기적으로 연결함으로써, 본딩 와이어의 사용을 줄이거나 생략할 수 있어 광출력 효율 향상을 기대할 수 있다. 이와 더불어서, 상기 접착제층(30)은 상기 발광다이오드 칩(10)을 상기 패키지 기판(21) 상에 접착 및 고정시킬 수 있어, 외부 충격에 의해 전기적 접속이 깨지는 것을 막을 수 있다.As such, the
상기 본딩 패드들(23a, 23c)의 상부면 내에 패드 요철 구조(R)가 형성된 경우에, 상기 도전성 입자들(35)과 상기 본딩 패드들(23a, 23c)사이의 접촉면적이 증가될 수 있어 상기 범프들(17a, 17c)과 상기 본딩 패드들(23a, 23c) 사이의 전기적 연결은 강화될 수 있다. 이를 위해, 상기 패드 요철 구조(R)의 철부들 사이의 거리는 상기 도전성 입자들(35)의 직경과 같거나 이보다 클 수 있다. 이와 더불어서, 상기 절연 수지(33)와 상기 본딩 패드들(23a, 23c)사이의 접촉면적 또한 증가될 수 있으므로, 접착성 또한 향상될 수 있다. In the case where the pad uneven structure R is formed in the upper surfaces of the
이 후, 상기 발광다이오드 칩(10) 상에 봉지층(40)을 형성할 수 있다. 상기 봉지층(40)을 형성하는 것은 봉지 유체를 프린팅법 또는 디스펜싱법을 사용하여 도팅한 후, 상기 도팅된 봉지 유체를 경화시키는 것을 포함할 수 있다. 상기 봉지 유체는 상기 캐버티(25a)를 채울 수 있다. 상기 봉지 유체는 광투과성 수지일 수 있으며, 예를 들어 상기 광투과성 수지는 실리콘(silicone) 수지 또는 에폭시 수지일 수 있다.Thereafter, an
상기 봉지 유체 즉, 상기 봉지층(40)은 형광체(phosphore; P)를 더 포함할 수 있다. 이로써, 상기 발광다이오드 칩(10)에서 발생된 광을 더 낮은 파장의 광으로 변환시켜 백색 소자를 구현할 수 있다. 일 예로서, 상기 발광다이오드 칩(10)이 자외선을 발생시키는 소자인 경우에, 상기 봉지층(40) 내에 적색 형광체, 녹색 형광체 및 청색 형광체를 구비시켜 백색 소자를 구현할 수 있고, 상기 발광다이오드 칩(10)이 청색을 발생시키는 소자인 경우에 상기 봉지층(40) 내에 황색 형광체를 구비시켜 백색 소자를 구현할 수 있다.The encapsulation fluid, that is, the
이상에서, 플립칩 타입 발광다이오드 패키지를 제조하는 방법을 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 수직형 발광다이오드의 일측 범프를 패키지 기판의 본딩 패드와 상술한 접착제층에 의해 전기적으로 연결하고, 타측 범프는 와이어를 사용하여 연결할 수도 있다. 그러나, 이 경우에도 일측의 와이어 공정은 생략될 수 있어 양측 모두 와이어 공정을 사용하는 경우에 비해 광방출 효율이 높아질 수 있으며, 외부 충격에도 강할 수 있다.In the above description, a method of manufacturing a flip chip type light emitting diode package has been described, but the present invention is not limited thereto, and one side bump of the vertical light emitting diode is electrically connected to the bonding pad of the package substrate by the adhesive layer described above, and the other side thereof. Bumps can also be connected using wires. However, even in this case, the wire process on one side may be omitted, so that both sides may increase light emission efficiency and may be stronger against external impact than when the wire process is used.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광다이오드 패키지를 나타낸 단면도이다. 본 실시예에 따른 발광다이오드 패키지는 후술하는 것을 제외하고는, 도 1a 내지 도 1c를 참조하여 설명한 발광다이오드 패키지와 유사하다.2 is a cross-sectional view showing a light emitting diode package according to another embodiment of the present invention. The light emitting diode package according to the present embodiment is similar to the light emitting diode package described with reference to FIGS. 1A to 1C except as described below.
도 2를 참조하면, 기판 요철 구조(11a) 상에 형광체층(PL)을 형성할 수 있다. 상기 형광체층(PL)은 상기 기판 요철 구조(11a) 상에 컨포말(conformal)하게 코팅될 수 있다. 이 경우, 기판(11)을 통해 방출되는 광은 상기 형광체층(PL) 내에서 거의 동일한 거리를 진행할 수 있어, 형광체층 내에서 다른 거리를 진행하는 경우에 비해 색편차가 감소될 수 있다. 상기 기판 요철 구조(11a) 상에 형광체층(PL)이 형성되므로, 봉지층(40)은 추가적인 형광체를 포함하지 않을 수 있다.
Referring to FIG. 2, the phosphor layer PL may be formed on the substrate
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광다이오드 패키지를 나타낸 단면도이다. 본 실시예에 따른 발광다이오드 패키지는 후술하는 것을 제외하고는, 도 1a 내지 도 1c를 참조하여 설명한 발광다이오드 패키지와 유사하다.3 is a cross-sectional view showing a light emitting diode package according to another embodiment of the present invention. The light emitting diode package according to the present embodiment is similar to the light emitting diode package described with reference to FIGS. 1A to 1C except as described below.
도 3을 참조하면, 돔 형태의 봉지층(40)이 형성될 수 있다. 이를 위해 하우징(도 1a의 25)을 형성하는 것을 생략할 수 있다. 상기 봉지층(40)을 형성하는 것은 봉지 유체를 프린팅법 또는 디스펜싱법을 사용하여 도팅한 후, 상기 도팅된 봉지 유체를 경화시키는 것을 포함할 수 있다. 상기 봉지 유체 즉, 상기 봉지층(40)은 형광체(phosphore; P)를 더 포함할 수 있다.
Referring to FIG. 3, an
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광다이오드 패키지를 나타낸 단면도이다. 본 실시예에 따른 발광다이오드 패키지는 후술하는 것을 제외하고는, 도 1a 내지 도 1c를 참조하여 설명한 발광다이오드 패키지와 유사하다.4 is a cross-sectional view showing a light emitting diode package according to another embodiment of the present invention. The light emitting diode package according to the present embodiment is similar to the light emitting diode package described with reference to FIGS. 1A to 1C except as described below.
도 4를 참조하면, 패키지 기판(21)은 인쇄회로기판일 수 있다. 또한, 상기 패키지 기판(21) 상에 다수 개의 발광다이오드 칩들(10)이 도 1c를 참조하여 설명한 방법을 사용하여 실장될 수 있다. 상기 다수 개의 발광다이오드 칩들(10)은 상기 패키지 기판(21) 내에 인쇄된 배선(미도시)에 의해 직렬 연결 및/또는 병렬 연결될 수 있다. 상기 발광다이오드 칩들(10)을 실장한 후, 상기 발광다이오드 칩들(10)이 실장된 영역의 주변 영역 상에 측벽(60)을 배치한 후, 상기 발광다이오드 칩들(10) 상에 봉지층(40)을 형성할 수 있다. 상기 봉지층(40)을 형성하는 것은 봉지 유체를 프린팅법 또는 디스펜싱법을 사용하여 도팅한 후, 상기 도팅된 봉지 유체를 경화시키는 것을 포함할 수 있다. 상기 봉지 유체는 상기 측벽(60)에 의해 정의된 영역을 채울 수 있다. 상기 봉지 유체 즉, 상기 봉지층(40)은 형광체(phosphore; P)를 더 포함할 수 있다.
Referring to FIG. 4, the
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형 및 변경이 가능하다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, This is possible.
21: 패키지 기판 23a, 23c: 본딩 패드
24: 마스크층 27: 히트 싱크
10: 발광다이오드 칩 11: 소자 기판
13a: 제1 반도체층 13b: 활성층
13c: 제2 반도체층 15: 반사층
17a, 17c: 범프 25: 하우징
40: 봉지층 P: 형광체
30: 접착제층 33: 절연 수지
35: 도전성 입자21:
24: mask layer 27: heat sink
10: light emitting diode chip 11: element substrate
13a:
13c: second semiconductor layer 15: reflective layer
17a, 17c: bump 25: housing
40: sealing layer P: phosphor
30: adhesive layer 33: insulating resin
35: conductive particles
Claims (22)
상기 본딩 패드를 향해 배치된 범프를 구비하는 발광다이오드 칩; 및
상기 본딩 패드와 상기 범프 사이에 배치되고, 상기 본딩 패드와 상기 범프에 접속하는 도전성 입자를 구비하는 접착제층을 포함하는 발광다이오드 패키지.A package substrate having a bonding pad;
A light emitting diode chip having bumps disposed toward the bonding pads; And
A light emitting diode package disposed between the bonding pad and the bump and including an adhesive layer having conductive particles connected to the bonding pad and the bump.
상기 접착제층은 절연 수지를 더 포함하고, 상기 도전성 입자는 상기 절연 수지 내에 위치하는 발광다이오드 패키지.The method of claim 1,
The adhesive layer further includes an insulating resin, wherein the conductive particles are located in the insulating resin light emitting diode package.
상기 발광다이오드 칩 상에 위치하는 봉지층을 더 포함하는 발광다이오드 패키지.The method of claim 1,
A light emitting diode package further comprising an encapsulation layer on the light emitting diode chip.
상기 봉지층 내에 분산된 형광체를 더 포함하는 발광다이오드 패키지.The method of claim 3,
The LED package further comprises a phosphor dispersed in the encapsulation layer.
상기 발광다이오드 칩은 소자 기판의 상부면 상에 차례로 적층된 제1 반도체층, 활성층, 및 제2 반도체층을 구비하고,
상기 범프는 상기 반도체층들 중 어느 하나에 접속된 발광다이오드 패키지.The method of claim 1,
The light emitting diode chip includes a first semiconductor layer, an active layer, and a second semiconductor layer sequentially stacked on an upper surface of the device substrate.
The bump is connected to any one of the semiconductor layer light emitting diode package.
상기 발광다이오드 칩은 상기 제1 반도체층을 노출시키는 메사 식각 영역을 구비하고,
상기 범프는 상기 제1 반도체층에 접속하는 제1 범프와 상기 제2 반도체층에 접속하는 제2 범프를 구비하며,
상기 본딩 패드는 상기 제1 범프에 접속하는 제1 본딩 패드와 상기 제2 범프에 접속하는 제2 본딩 패드를 구비하는 발광다이오드 패키지.The method of claim 5,
The light emitting diode chip has a mesa etching region exposing the first semiconductor layer,
The bump includes a first bump connected to the first semiconductor layer and a second bump connected to the second semiconductor layer,
The bonding pad includes a first bonding pad connected to the first bump and a second bonding pad connected to the second bump.
상기 소자 기판의 하부면 내에 기판 요철 구조가 형성된 발광다이오드 패키지.The method according to claim 6,
A light emitting diode package having a substrate uneven structure formed in a lower surface of the device substrate.
상기 기판 요철 구조 상에 컨포말하게 형성된 형광체층을 더 포함하는 발광다이오드 패키지.The method of claim 7, wherein
A light emitting diode package further comprising a phosphor layer conformally formed on the substrate uneven structure.
상기 제1 반도체층과 상기 제2 반도체층 상에 위치하는 반사층을 더 포함하는 발광다이오드 패키지.The method according to claim 6,
The light emitting diode package of claim 1, further comprising a reflective layer on the first semiconductor layer and the second semiconductor layer.
상기 본딩 패드는 그의 상부면 내에 패드 요철 구조를 갖는 발광다이오드 패키지.The method of claim 1,
The bonding pad is a light emitting diode package having a pad uneven structure in the upper surface thereof.
상기 패드 요철 구조의 철부들 사이의 거리는 상기 도전성 입자의 직경과 같거나 이보다 큰 발광다이오드 패키지.The method of claim 10,
The light emitting diode package of claim 1, wherein the distance between the convex portions of the pad uneven structure is greater than or equal to the diameter of the conductive particles.
상기 본딩 패드 상에 도전성 입자를 구비하는 접착제층을 배치하고,
상기 접착제층 상에 상기 본딩 패드를 향해 위치하는 범프를 구비하는 발광다이오드 칩을 배치하고,
상기 발광다이오드 칩을 가압하여, 상기 도전성 입자가 상기 범프와 상기 본딩 패드를 전기적으로 연결하도록 하는 것을 포함하는 발광다이오드 패키지 제조방법.Providing a package substrate having a bonding pad,
An adhesive bond layer provided with electroconductive particle is arrange | positioned on the said bonding pad,
Arranging a light emitting diode chip having a bump located toward the bonding pad on the adhesive layer;
And pressing the light emitting diode chip so that the conductive particles electrically connect the bump and the bonding pad.
상기 접착제층은 절연 수지를 더 포함하고, 상기 도전성 입자는 상기 절연 수지 내에 위치하는 발광다이오드 패키지 제조방법.The method of claim 12,
The adhesive layer further comprises an insulating resin, wherein the conductive particles are located in the insulating resin light emitting diode package manufacturing method.
상기 발광다이오드 칩 상에 봉지층을 형성하는 것을 더 포함하는 발광다이오드 패키지 제조방법.The method of claim 12,
The method of manufacturing a light emitting diode package further comprising forming an encapsulation layer on the light emitting diode chip.
상기 봉지층은 그 내부에 분산된 형광체를 포함하는 발광다이오드 패키지 제조방법.15. The method of claim 14,
The encapsulation layer is a light emitting diode package manufacturing method comprising a phosphor dispersed therein.
상기 발광다이오드 칩은 소자 기판의 상부면 상에 차례로 적층된 제1 반도체층, 활성층, 및 제2 반도체층을 구비하고,
상기 범프는 상기 반도체층들 중 어느 하나에 접속된 발광다이오드 패키지 제조방법.The method of claim 12,
The light emitting diode chip includes a first semiconductor layer, an active layer, and a second semiconductor layer sequentially stacked on an upper surface of the device substrate.
The bump is connected to any one of the semiconductor layer manufacturing method of the light emitting diode package.
상기 발광다이오드 칩은 상기 제1 반도체층을 노출시키는 메사 식각 영역을 구비하고,
상기 범프는 상기 제1 반도체층에 접속하는 제1 범프와 상기 제2 반도체층에 접속하는 제2 범프를 구비하며,
상기 본딩 패드는 상기 제1 범프에 접속하는 제1 본딩 패드와 상기 제2 범프에 접속하는 제2 본딩 패드를 구비하는 발광다이오드 패키지 제조방법.17. The method of claim 16,
The light emitting diode chip has a mesa etching region exposing the first semiconductor layer,
The bump includes a first bump connected to the first semiconductor layer and a second bump connected to the second semiconductor layer,
The bonding pad includes a first bonding pad connected to the first bump and a second bonding pad connected to the second bump.
상기 소자 기판의 하부면 내에 기판 요철 구조가 형성된 발광다이오드 패키지 제조방법.18. The method of claim 17,
A light emitting diode package manufacturing method having a substrate uneven structure formed in a lower surface of the device substrate.
상기 기판 요철 구조 상에 형광체층을 컨포말하게 형성하는 것을 더 포함하는 발광다이오드 패키지 제조방법.19. The method of claim 18,
A method of manufacturing a light emitting diode package further comprising conformally forming a phosphor layer on the substrate uneven structure.
상기 발광다이오드 칩은 상기 제1 반도체층과 상기 제2 반도체층 상에 위치하는 반사층을 더 포함하는 발광다이오드 패키지 제조방법.18. The method of claim 17,
The light emitting diode chip manufacturing method of a light emitting diode package further comprises a reflective layer located on the first semiconductor layer and the second semiconductor layer.
상기 본딩 패드는 그의 상부면 내에 패드 요철 구조를 갖는 발광다이오드 패키지 제조방법.The method of claim 12,
The bonding pad is a light emitting diode package manufacturing method having a pad concave-convex structure in the upper surface thereof.
상기 패드 요철 구조의 철부들 사이의 거리는 상기 도전성 입자의 직경과 같거나 이보다 큰 발광다이오드 패키지 제조방법.The method of claim 21,
The method of manufacturing a light emitting diode package having a distance between the convex portions of the pad uneven structure is greater than or equal to the diameter of the conductive particles.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120031736A KR101933190B1 (en) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | Light Emitting Diode Package and Fabrication Method for the Same |
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---|---|---|---|
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---|---|
KR20130109743A true KR20130109743A (en) | 2013-10-08 |
KR101933190B1 KR101933190B1 (en) | 2018-12-31 |
Family
ID=49631918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020120031736A KR101933190B1 (en) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | Light Emitting Diode Package and Fabrication Method for the Same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101933190B1 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019225866A1 (en) * | 2018-05-24 | 2019-11-28 | 서울반도체주식회사 | Light-emitting device |
KR20210095191A (en) * | 2018-11-26 | 2021-07-30 | 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 | Light emitting devices and methods for manufacturing light emitting devices |
CN113330588A (en) * | 2019-01-15 | 2021-08-31 | 首尔伟傲世有限公司 | Light emitting element package and display device including the same |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005166937A (en) * | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Toyoda Gosei Co Ltd | Light emitting device |
JP2009164423A (en) * | 2008-01-08 | 2009-07-23 | Nichia Corp | Light-emitting element |
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JP5172915B2 (en) * | 2010-09-07 | 2013-03-27 | 株式会社東芝 | Light emitting device |
-
2012
- 2012-03-28 KR KR1020120031736A patent/KR101933190B1/en active IP Right Grant
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019225866A1 (en) * | 2018-05-24 | 2019-11-28 | 서울반도체주식회사 | Light-emitting device |
CN110785861A (en) * | 2018-05-24 | 2020-02-11 | 首尔半导体株式会社 | Light emitting element |
KR20210095191A (en) * | 2018-11-26 | 2021-07-30 | 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 | Light emitting devices and methods for manufacturing light emitting devices |
CN113330588A (en) * | 2019-01-15 | 2021-08-31 | 首尔伟傲世有限公司 | Light emitting element package and display device including the same |
CN113330588B (en) * | 2019-01-15 | 2024-04-12 | 首尔伟傲世有限公司 | Light emitting element package and display device including the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101933190B1 (en) | 2018-12-31 |
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---|---|---|---|
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