KR20130106362A - 한 옥타브의 음향 광학 변류기 - Google Patents

Abstract

상기 기술된 기술은 한 옥타브의 확장된 주파수 범위를 적용하여 음향 광학 변류기를 구동하고자 하며 이에 따라 대역폭을 단 한 옥타브 미만으로 제한하는 고안 경험 규칙에 반하게 된다. 확장된 주파수 범위와 매우 잘 시간 측정된 빔 블랭킹의 조합은 빔 블랭킹에 의해 소모된 일명 처프 신호의 비례를 감소시킨다. 이는 스윕 신호의 작동하는 효능적인 부분을 증가시킨다.

Description

한 옥타브의 음향 광학 변류기{ACOUSTO-OPTIC DEFLECTORS OVER ONE OCTAVE}

관련 신청

[0001] 본 신청서는 2010년 8월 30일 제출한 미국 임시 특허 신청 번호 61/378, 251 제목 “한 옥타브의 음향 광학 변류기”의 잇점을 주장하고 있다.

[0002] 음향 광학 변류기에 관한 본 발명가의 이전 작업물로서 2004년 3월 2일 발급한 미국 특허 번호 6,700,600이 포함된다.

[0003] 분류의 목적으로서 본 공개물의 일반 기술 분야가 광학 광선 빔을 일명 음향 광학 변류기인 회절하는 크리스탈로 적용된 시간별 음향 신호로 비례로서 횡단하는 특징적 방향을 달리하는 광학적 요소로서 고려될 것을 제시하고자 한다. AOD를 통과하는 광선의 회절은 변류를 일으키는 신호가 변경됨에 따른 시간의 기능이 된다. 변류 기인 신호는 회절 크리스탈의 대부분의 광학적 특징을 변경하며 광학적 전이 매개체를 통하는 회절을 변경시킨다. 표면에 혹은 광산 조절 구성품내에서 생성된 초음파는 광선을 직접 조절하며 광학적 매개변수(예. 굴절 지수)내에 변경을 행하는 구성품의 조건을 설립시킨다.

[0004] 마이크로닉 마이데이터 AB(“마이크로닉”)는 마스크 제조 및 제조공정 제품으로의 직접적 작성을 위한 기본 설비물을 수립한다. 프리시젼과 LRS 패턴 생성기는 예로 최신 패턴 생성기 모델에서 평면 패널 디스플레이나 TV를 대형 제너레이션 10기질에 생성하는데 이용되는 대형 구역 마스크르를 제조한다. 오메가 패턴 생성기는 마스크나 레티클을 칩 제작을 위해 제작한다. 이들 패턴 생성기에 일반화된 것은 음향 광학 변류기에 의해 조절된 스캐닝으로 리지스트에 제조공정제품의 표면상에 잠재 이미지를 형성하는데 스캔된 레이저빔의 사용이 된다. 이 신청은 마이크로닉의 패턴 생성기 이상의 실질적 적용을 갖춘 개선된 AOD를 기술하고 있다.

[0005] 마이크로닉이 사용한 하나의 AOD은 공급업체에 의해 100 MHz의 대역폭에서 작동되도록 상시된다. 일부 신청에서 이 AOD에 적용된 구동 주파수는 200 MHz 중심이 된다. 실질적으로 이 AOD는 약 130 MHz의 주파수 범위에서 사용될 수 있는 것이 판정되었다. 200 MHz를 중심으로 한 이 대역폭을 적용하여 작동범위의 최저 및 최고 주파수는 200-130／2=135MHz 및 200+130／2=265 MHz가 된다. 마이크로닉에 의해 시험된 다른 AOD는 150 MHz의 특정 대역폭을 갖추었다.

[0006] 한 옥타브 미만으로 AOD를 작동하여야 하는 예로 최고 주파수는 최저 주파수보다 2배 이상 낮아야하는 일반 고안 경험규칙이 있다. 이 경험 규칙은 AOD에 의해 휩쓸린 광학이 휩쓸린 빔의 보다 높은 회절 순서(각종 주파수의 배수)를 수거하는 것을 회피하고자 한다. AOD를 구동하기 위해 5 MHz/μs의 주파수 처프가 사용되었으며 이는 직접적 디지털 종합 카드에 의해 생성되었다. 경험 규칙에 일관하여 이 주파수 처프는 약 24 μs의 스위프 시각을 갖춘다. 일명 처프는 톱니 패턴을 생성하며 이는 최대 주파수 제한을 도달한 뒤 최조 주파수 제한으로 내릴 때까지 증가되게 된다. 처프는 주파수에서 반복적 일련의 램프를 생성하고 중단된 감소를 형성한다. 다음 그림에서 오직 하나의 주기의 처프만이 보통 표시되어진다. 본 분야의 이러한 기술은 톱니 패턴이 무기한으로 여러 주기를 통해 지속되는 것을 알 수 있을 것이다.

[0007] 한 옥타브 이상으로 약 10-30 퍼센트 이상으로 확장된 주파수 대역폭으로 AOD를 결과하는 경험 규칙이 대항될 수 있는 방법을 기술하고자 한다. 패턴과 검사 시스템의 스윕 전자제품이 개선될 기회가 도래하게 된다.

[0008] 보다 낫고 빠르고 효율적인 구성품과 시스템이 결과할 수가 있게 된다. 공개 기술된 기술은 광학 빔으로의 쓰기와 읽기에 적용된다.

[0009] 기술된 기술 사항은 한 옥타브 이상의 확장된 주파수 범위를 적용하여 음향 광학 변류기를 구동하여서 대역폭을 단지 한 옥타브 아래로 제한하는 경험 규칙에 대항하고자 한다. 확장된 주파수 범위와 빔 블랭킹의 조합은 빔 블랭킹에 의해 소모비된 일명 처프 신호의 비례를 감소한다. 이는 스윕 신호의 작동중이고 효능적인 부분을 증가한다. 현 발명품의 특정 분야는 청구항, 사양, 도면에 기술되어진다.

[0010] 도면 1. 단순화된 광학 시스템에서 AOD로 필드 정지의 사용을 나타낸다.
[0011] 도면 2. 크리스탈의 빔의 크기를 제한하는 구멍 조리개 및 구멍 조리개 스톱의 우측 가장자리에서 200-380 MHz의 구동 주파수를 조정하기 위해 크기 조정된 필드 스톱을 나타낸다.
[0012] 도면 3. 블랭킹 시간이 구멍 조리개 스톱의 넓이와의 상호작용하는 형태를 나타낸다.
[0013] 도면 4-5. 처프 신호의 비례로서 감축된 블랭킹 시간을 나타낸다.
[0014] 도면 6. 구멍 조리개 스톱이 배치될 수 있는 곳을 보여준다. 일반적으로 조명이 조준되거나 거의 조준되는 곳에 배치될 수 있다.

[0015] 다음 상세 기술은 도면을 참조로 작성되었다.선호되는 구현 형태가 현 발명품을 설명하기 위한 것으로서 청구항에 의해 정의되어진 범위의 한정의 목적으로 기술되지 아니하였다. 본 분야의 일반적 기술을 지닌 이로서 다음의 기술에 대한 여러 동등한 변형 상태를 이해할 수가 있다.

[0016] AOD 작동을 한 옥타브로 제한하는 경험 규칙을 대항하는 장치와 방법을 다음 공개한다. 발명자는 경험 규칙에 대항하여 최소한 6.1 MHz/μs의 확장된 주파수 처프를 사용하여 AOD를 구동하였다. 이 확장된 주파수 처프는 대역폭을 구동하는 증가된 AOD 및 AOD를 통과하는 광선의 증가된 스윕 각도에 대응한다. AOD 에서 기인한 보다 높은 주파수는 보다 강한 회절을 생성한다. 대역폭을 한 옥타브 미만으로 이전에 제한된 AOD 구동 대역폭에 반하여 1.3 옥타브 대역폭의 시스템이 기술되어지고 있다.

[0017] 경험 규칙이 기피하는 문제점은 유령 이미지이다. AOD 회절 크리스탈은 첫째 및 둘째 순서 경로 그리고 잠재로서의 추가 경로를 따라 0번째 순서 경로상의 들어오는 빔을 회절한다. 첫째 및 둘재 순서 경로는 한 옥타브에 의해 분리된다. 한 옥타브 대역폭 이상을 활용하기 위해 고안된 시스템은 쉽게 제조 공정 제품에 유령 이미지를 생성한다. 이는 둘째 순서 경로를 따른 회절의 결과로 인한다.

[0018] 공개 기술에서 한 옥타브 경험 규칙으로 이끈 유령 이미지의 문제점을 감소하는 것으로 여러 대책으로 보여지고 있다. 구멍 조리개의 구성과 블랭킹 간격으로 하여 AOD 구동 대역폭의 사용을 이루어 이는 한 옥타브를 초과하며 경험 규칙에 반한 사항이 되게 된다.

[0019] 도면 1은 단순화된 광학 시스템에서 AOD로 필드 스톱의 사용을 나타낸다. 조명 근원에서의 광선 빔 101 a, 101b, 101c는 회절 크리스탈 110의 광학 경로를 통해 투영된다. 이는 때로는 브래그 각도로 알려진 각도 104에서 행해진다. 이 광선은 첫번째 및 두번째 가장자리 105, 106을 가진 구멍 조리개 스톱 103을 통과한다. AOD는 최소한 1개의 RF 드라이버111에 의해 그리고 때로 여러 RF 드라이버에 의해 구동된다. 이는 서로간의 단계 관계에 의해 조정될 수 있다. RF 드라이버는 음파 113을 AOD에서 산출한다. 105-106의 거리를 거의 동시에 다루는 라디오나 광파와 달리 음파는 AOD 크리스탈을 통해 구멍 조리개 넓이 크기를 횡단하며 확고한 무시될 수 없는 증식 시간을 갖춘다. 이러한 증식 시간으로 인하여 음파는 AOD 크리스탈의넓이에 걸친 주파수에 여러 형태를 나타내게 된다. 또한 음파의 강도는 넓이에 걸쳐 약화되게 된다. 시스템이 이를 보상될 수 있도록 고안되었다.

[0020] 크리스탈의 회절 성질은 음파의 지역적 주파수에 의존한다. 도면에서 크리스탈내에서 다른 지역적 음향 주파수에 반응하는 약간 다른 회절 각도는 광선 101a, 101b, 101c에 대하여 나타내고 있다.

이는 AOD를 통과하는 회절 강선간의 각도 및 비회절 광선의 확대 로 나타낸다. 렌즈 구성품 117, 119는 다른 광선을 필드 스톱 120에 전달한다. 필드 스톱은 음향 주파수의 조화를 필드 스톱을 통해 통과하는 것으로부터 방지한다. 예로 도면 2에서 200 MHz 회절 신호가 광선 101c의 최소 회절을 생성하여 필드 스톱 120의 가장 자리 126내에 바로 떨어지게 되면 200 MHz 신호 화성인 400 MHz 회절 신호는 광선을 회절하게 되어 스톱의 반대 가장자리 125에 의해 중단되게 된다. 125, 126 가장자리 사이의 간격은 사용된 최저 주파수의 화성이 필드 스톱외로 떨어질만큼 작다.

[0021] 도면 2는 우측 구멍 조리개 가장자리에서 200-380 MHz의 구동 주파수에 맞추어 크기 조정된 필드 스톱 120를 나타낸다. 광선 101 c의 경로는200MHz(231),380MHz(232),2*200 혹은 400MHz(233)의 구동 주파수를 위해 추적된다. 필드 스톱에서 200 MHz 신호 (231)은 126 가장자리에서 필드 스톱을 통해 통과한다. 380 MHz 신호 (232)는 필드 스톱을 통해 반대 가장자리 125에서 통과한다. 400 MHz 신호 (233)은 필드 스톱에서 중지되고 가장자리 125의 좌측으로 떨어진다.

[0022] 광선 101 a의 경로는 270, 450 및 2*270 혹은 540 MHz (241, 242, 243)을 위해 구동 주파수를 위해 추적된다. 예측과 같이 광선 101 a는 270 MHz 신호 (241)에 의해 회절되는 경우 필스 스톱을 통해 통과한다. 또한 예상과 같이 광선 101a 구멍 조리개 스톱 103의 좌측 가장자리 105에서 540 MHz 신호 (243)에 의해 회절되는 경우 필드 스톱 120의 입구 외로 크게 떨어지게 된다. 그러나 광선 101a가 450 MHz 구동 주파수(242)에 의해 회절되는 경우 필드 스톱을 통해 통과하는 것처럼 된다. 200-380 MHz의 작동 범위에서 이는 빔의 블랭킹으로 하여 실지로 일어나지 않을 것이다.

[0023] 광선 101c에 대해 필드 스톱은 한 옥타브의 구동 주파수를 사용할 수만 있다는 경험 규칙에 순응한다. 반대로 광선 101a에 대하여 필드 스톱은 한 옥타브를 초과할 수 있는 주파수를 통과하는 것처럼 보인다. 이는 450 MHz가 2*200 혹은 400 MHz보다 크기 때문이다. 빔의 블랭킹으로 하여 이는 실지로 일어나지 않는다. 도면 2에서와 같이 총 주파수 범위는 옥타브보다 큰 범위를 갖추나 각 구멍 조리개 스톱의 지점(101a, 101b, 101c)에서 한 옥타브 미만이 사용된다. 그림 2에서 보여진 바와 같이 최저 주파수의 구멍 조리개 가장자리 106가 한 옥타브를 도달할때 예로 200-380 MHz인 경우 주파수 범위의 제한이 발생한다.

[0024] 그림 6은 구멍 조리개 스톱이 배치될 수 있는 위치의 일부를 나타내어 준다. 일반적으로 조명이 조중되거나 거의 조준되어지는 곳에서 배치될 수 있다. 구멍 조리개는 회절이 발생하는 곳에 가까운 것이 선호된다. 이상적인 형태로서 구멍 조리개는 605일 수 있고 회절 크리스탈내에 있게 된다. 보다 실질적으로서 구멍 조리개는AOD의 603 이전 혹은 607 이후에 위치될 수 있다. 실질 시스템에 있어 분광기 L7과 AOD간에 망원경L5-L6 및/혹은 AOD와 최종 렌즈 L2간에 망원경 L3-L4가 있을 수 있다.

L1은 AOD에서 명백한 실린더 효과를 보상하는 실린더 렌즈이다. 구멍 조리개 스톱이 배치될 수 있는 605로의 동등한 구멍조리개 평면은 601 및/혹은 609에서 찾을 수 있다. 구멍조리개 스톱은 필드 스톱 이후에 배치될 수 있음에 주의한다. 필드 스톱은 AOD와 제조 공정 제품간에 위치하여야 하며 이미지 평면에 가깝게 위치할 수도 있다. 예로 망원경 L3-L4이나 제조 공정 제품에 근접한 곳이 된다.

[0025] 도면 3은 블랭킹 시간이 구멍조리개 103의 입구의 넓이 105-106과의 상호작용을 이루는 형태를 보여준다. 도면 3의 일반 정렬 형태에서 블랭킹 시간은 음파가 105-106 가장자리까지에 구멍조리개 스톱 입구에 걸쳐 크리스탈 110을 통해 증식하기 위해 발생하는 시간이 된다. 또는 채우는 시간은 초음파가 AOD에서 이를 “채우거나” 이를 채우기 위해” 구멍 조리개를 지나는데 걸리는 시간을 말한다. 빔은 처프 신호의불연속이 입구를 횡단하는 동안에 크리스탈이 변류기로 작동하는 것을 회피하기 위해 소거된다. 파장 313은 바로 블랭킹 이전에 크리스탈에서 처프 위치를 나타낸다. 최고 주파수는 좌에서 우로 크리스탈을 통해 증식되게 된다. 처프 신호가 최고에서 최저 주파수로 감소될 때 불연속은 즉시 고주파수를 따르게 된다. 파장 314는 구멍 조리개 중간의 불연속을 보여준다. 파장 315는 구멍 조리개의 가장 먼 가장자리 106으로 통과하는 불연속을 보인다. 파장 313-315는 불연속이 통과함에 빔 회절을 위한 빔의 블랭킹 및 크리스탈의 미사용을 대충 보여준다. 혁신적인 처프는 2가지 방식으로 이득이 되게 되어 첫째는 보다 넓은 주파수 범위가 사용되게 하여 보다 넓은 각도의 스캐닝이 가능하고 둘째로 보다 작은 부분의 총시간이 블랭킹되게 하거나 보다 높은 처프율이 사용되어 스캐닝을 보다 빨리 하게 하여준다.

[0026] 도면 4-5는 처프 신호의 비례로서의 감소된 블랭킹 시간을 나타낸다. 도면 4는 크리스탈을 통해 좌에서 우로 증식됨에 따라 이전 기술의 처프를 나타낸다. X축은 AOD 크리스탈내의 처프의위치를 나타낸다 (그래프의 우측의 최초의 생성된 주파수로). y축은 1x에서 2x까지의 여러 주파수를 한 옥타브를 통하여 나타내어준다. 도면에서 반대 정렬이 채택될 수 있음에도 저주파수는 먼저 크리스탈을 횡단하게 된다. 램프간의 불연속이나 단계(그림 3, 313 참조)가 좌측의 근처 구멍조리개 입구 105를 도달할 때까지AOD는 처프가 크리스탈을 통과함에 따라 사용이 가능하다. 블랭킹은 불연속이 가장 먼 구멍 조리개 입구 106을 통과할 때까지 계속된다. (315 참조). 이전 기술의 처프를 사용하여불연속이 구멍조리개 입구를 통과함에 처프 주파수 범위의 일부 퍼센트 동안 빔이 블랭킹된다.

[0027] 도면 5는 혁신적인 처프를 나타내며 이는 1.3 옥타브 이상의 범위에 의하여 경험 규칙을 항거하게 된다. 이 그래프에서 주파수 스윕의 0.3 부분은 여전히 블랭킹되나 처프는 1.3 옥타브를 통해 일소된다. 이전 기술과 비교하여 블랭킹에 잃은 처프의 비례는 .3/1.0에서 .3/1.3이나 .30에서 .23으로부터 감소된다.

[0028] 이 혁신적인 처프로부터의 기인된 디자인 개선은 최적화없이 실현이 가능하다. 예로 AOD를 위한 구동 신호는 보상을 위해 과장되는 블랭킹으로 불연속이 크리스탈의 활동적인 부분을 전달하기 위하여 필요한 것 보다 길게 한 옥타브 이상으로 오를 수 있다. 혹은 구동 신호는 불연속이 구멍 조리개를 횡단하는데 필요한 시간보다 감소된 시간동안 한 옥타브 이상으로 오를 수 있다. 그리하여 잠재적으로 이용이 가능한 사용률의 일부가 블랭킹에 초점을 이룰 수 있다.

[0029] 대부분 일반적으로 최소한 5퍼센트 혹은 약 10퍼센트까지 사용되거나 블랭킹되지 않은 구동 주파수 범위의 비례를 개선하는 것이 유용한 것으로 간주한다. 처프 주파수 범위와 기인하는 잠재적 회절을10퍼센트 이상 증가하는 것이 유용하다. 위의 실현에 일관하여 최소한 1.10, 1.15, 1.20, 1.25 혹은 1.30 옥타브의 확장된 AOD 구동 주파수 범위나 이들 가치 숫자 중 2개간의 주파수 범위에서 산업 유용성을 살펴볼 수 있다. 이론적으로 주파수 범위는 -2.00 이상으로 더 높아질 수 있다.

[0030] 일반적으로 AOD 산출량은 보다 높은 대역폭으로 증가된다. 회절을 위해 사용된 처프의 부분은 최대 한 옥타브(혹은 그보다 약간 작은)로 제한되고 처프 주파수 범위의 나머지가 블랭킹되며 채우는 시간에 상응하게 된다. 실질상에서 스캔의 길이는 상동할 수 있으나 스위프는 빨라질 수 있다. 동시에 보다 많은 처프 주기가 블랭킹 시간에 의해 소모되게 된다. 스캔에 상응하는 처프의 부분은 최대 한 옥타브(혹은 그보다 약간 작은)로 제한되고 나머지 처프는 블랭킹된다. 처프의 다른 부분은 구멍 조리개에서 다른 위치에 대하여 블랭킹된다. 블랭킹 시간은 초음파가 구멍 조리개를 가로지르는데 걸리는 시간과 동일하다 (혹은 보다 긴). 보다 넓은 주파수 범위로서 한 옥타브 외의. 주파수는 블랭킹 시간동안 처핑된다. 그러므로 보다 넓은 주파수 범위는 높은 스캐닝 속도와 높은 픽셀 클록과 동일하다. 넓은 대역폭과 높은 데이타율에 선택된 균형은 높은 픽셀율을 어떻게 사용하느냐에 따라 달라진다. 한 옥타브의 주파수 범위 이상(저주파수의 2배인 고주파수가 된다)에서 증가된 범위와의 산출량에서의 획득량이 사라지게 된다. 이 주파수의 실용적인 범위의 하나로는 약 1.3배를 들 수 있다. 실질적으로 2.0 옥타브 이상의주파수 범위는 불리한 교환을 생성하게 되는 것이 기대된다. 시간 측정의 정밀도에 대한 현재의 실질적인 제한성으로 하여 주파수 범위의 보다 높은 부분은 1.65 옥타브가 될 수 있다. 이는 보다 빠른 클록을 변경할 수 있으며 계산이 실질적 비용으로서 가능할 수 있게 된다.

특정 구현화

[0031] 공개 기술은 제조업체의 장치, 방법, 물품 혹은 소프트웨어로서 시행되어질 수 있다.

[0032] 한 장치는 음향 광학 변류기로서 회절 크리스탈, 회절 크리스탈에 결합된 최소한 1개 RF 드라이버, RF 드라이버에 반응하는 회절 특성을 갖춘 회절 크리스탈을 통한 광학 회절 경로를 포함한다. 드라이버 전기 회로망은 첫 주파수에서 둘째 주파수로 확장된 주파수 범위를 일소하는 RF 드라이버에 결합된다. 이때 첫째 및 둘째 주파수는 한 옥타브 이상의 주파수 범위에 걸치게 된다. RF 드라이브는 음파를 회절 크리스탈을 통하여 유발한다. 블랭킹된 스위프의 부분에서 구별되어 확장된 주파수 범위는 일소된 주파수의 작동 부분을 증가시키게 된다. 이러한 획득은 여러 방식으로 나타내어질 수 있다.

[0033] 일부 실행에 있어 음향 광학 변류기는 또한 블랭킹구간 기준을 생성하는 전기 회로망을 포함하며 이때 블랭킹 구간 기준은 광학 회절 경로를 가로지르는 빔이 한 옥타브 이상의 확장된 주파수 범위의 사용을 제한하는 블랭킹 시간동안 블랭킹되도록 하게 한다. 그리하여 음향 광학 변류기의 블랭킹되지 않은 작동 주파수 범위는 한 옥타브 작게 된다.

[0034] 다른 실행물에서 음향 광학 변류기는 또한 블랭킹 전기 회로망을 포함하게 되며 이때 블랭킹 전기 회로망은 광학 회절 경로를 가로지르는 빔이 블랭킹되게 한다. 드라이버 전기 회로망으로부터 고저 주파수간의 불연속성이 광학 회절 경로를 통해 증식되는 동안 이루어지게 된다. 이에 의하여 음향 광학 변류기의 블랭킹되지 않은 작동 주파수는 한 옥타브 이상의 확장된 주파수 범위를 일소하는 드라이버 전기 회로망으로 인해 완벽한 한 옥타브를 도달하게 된다.

[0035] 다른 하나의 실행물에서 회절 크리스탈 이전의 광학 회절 경로를 따라 위치하는 구멍 조리개 스톱을 포함한다. 이 실행에서 드라이버 전기 회로망은 구동 주파수의 불연속이 구멍 조리개 스톱을 가로지르는데 걸리는 시간에 거의 동일한 시간동안에 일소된 주파수가 첫 주파수보다 한 옥타브 이상으로 초과하도록 지속적으로 상승하게 한다. 거의 동일하다는 의미는 2퍼센트내를 뜻한다. 또는 일소된 주파수는 구동 주파수내 불연속이 구멍 조리개 스탑을 이동하는데 걸리는 시간보다 작게 혹은 위에서 기술한 시간보다 길게 수행 반사와 함께 저주파수보다 한 옥타브를 초과하여 지속적으로 증대될 수 있다.

[0036] 이들 실행들은 또한 회절 크리스탈과 제조 공정 제품간의 위치한 필드 스톱을 포함할 수 있다. 필드 스톱의 블랭킹과 입구의 조합은 회절된 방사선이 확장된 주파수범위의 한 옥타브 이상을 통해 필드 스톱을 통과하지 않게 한다.

[0037] 첫째와 둘째 주파수간의 비율의 범위는 상업적으로 유용한 결과를 낳을 수 있다. 공개된 5개 비율(+/- 3 퍼센트)은 1.10, 1.15, 1.20, 1.25, 1.30 옥타브를 포함한다. 또한 최소 이들 가치 숫자인 첫째와 둘째 주파수간의 비율을 사용하여 공개하도록 한다.이들 비율의 근거는 위에 상기 기술되었다. 옥타브율의 범위는 이들 비율의 둘로 예를 들어 1.10-1.20 혹은 1.15- 1.30으로 결합될 수 있다.

[0038] 또한 공개된 기술이 회절 크리스탈과 구멍 조리개를 포함하는 음향 광학 변류기의 방법으로 될 수 있다. 구멍 조리개는 조명원과 회절 크리스탈간에 위치한다. 이러한 방법은 구동 신호를 회절 크리스탈에 적용하는 것을 포함한다. 구동 신호는 한 옥타브 이상의 주파수 범위를 일소한다. 방법은 또한 구멍조리개의 입구를 통해 회절 크리스탈로한 방향의 최소한 한 빔을 블랭킹하는 것을 포함한다. 이때 구동 신호의 주파수 범위에서 불연속은 구멍조리개의 입구에 의해 빔에 노출된 회절 크리스탈의 일부분을 통해 증식한다.

[0039] 일부 실행에서 이러한 방법은 또한 불연속이 구멍조리개의 입구를 통과하는데 걸리는 시간과 거의 동일한 시간동안 한 옥타브 이상으로 지속적으로 증식하는 주파수를 이용해 회절 크리스탈을 구동하는 것을 포함한다. 확장된 주파수 범위와 블랭킹간의 이러한 관계는 여러 다른 방식으로 이루어질 수 있으며 약간의 여러 형식에 걸친 청구항을 포함하게 된다.

[0040] 선택적으로서 방법은 또한 불연속이 구멍조리개의 입구를 통과하는데 걸리는 시간보다 작게 한 옥타브 이상으로 지속적으로 증식하는 주파수를 이용해 주파수를 포함하는 크리스탈의 구동을 포함한다.

[0041] 방법은 구멍조리개를 통해 크리스탈로의 방향인 그리고 필드 스탑을 통한 빔을 전달하는 것을 포함한다. 이때 필드 스톱의 블랭킹과 구멍조리개의 조합은 필드 스톱을 통하고 제조 공정 제품으로 도달하는 회절된 방사선을 구멍조리개에서 한 지점에 대해 구동 신호의 한 옥타브 미만으로 회절된 방사선으로 제한한다.

[0042] 장치 실행에서 기술한 바와 같이 첫째와 둘째 주파수간의 비율의 범위는 상업적으로 유용한 결과를 낳을 수 있다. 5개 공개 비율(+/- 3 퍼센트)은 1.10, 1.15, 1.20, 1.25, 1.30 옥타브를 포함한다. 또한 최소한 이들 가치 숫자가 되는 첫째와 둘때 주파수간의 비율을 사용하여 공개하도록 한다. 옥타브율의 범위는 이들 비율의 둘 혹은 가치 숫자로 예를 들어 1.10-1.20 혹은 1.15- 1.30으로 결합될 수 있다.

[0043] 제조업체의 상응하는 물품은 일시적이지 않은 저장 미디어로서 컴퓨터 지시사항을 포함하고 있다. 프로세서나 조절기에 실행시에 컴퓨터 지시사항은 프로세서나 조절기와 관련기기가 위에 기술된 방식들을 실행하게 한다. 또는, 컴퓨터 지시사항과 적적한 하드웨어를 사용하여 위에 서술한 장비를 만들 수도 있다.

[0044] 설비물이 상기 기술된 방법 중 하나를 수행하게 한다. 또는 컴퓨터 지시사항은 적절한 하드웨어와 결합시에 기술된 장치 중 하나를 생성하게 된다.

상응하는 소프트웨어는 수행 방법 이나 장치의 구성품으로서 사용되게 된다. 프로세서나 조절기에 실행시에 소프트웨어는 프로세서나 조절기 및 관련 설비물이 기술된 방법 중 하나를 수행하게 한다. 또는 적절한 하드웨어와 결합시에 소프트웨어는 기술된 장치 중 하나를 생성하게 된다.

[0045] 청구항은 다음과 같다:

Claims (14)

1. 다음을 포함하는 음향 광학 변류기
   회절 크리스탈
   회절 크리스탈에 결합한 최소한 1개의 RF 드라이버
   RF 드라이버에 반응하는 굴절 특성을 지닌 회절 크리스탈을 통한 광학 회절 경로
   첫 주파수에서 둘째 주파수로 확장된 범위를 일소하는 RF 드라이버에 결합된 드라이버 전기회로망. 이때 첫 주파수와 둘째 주파수는 한 옥타브 이상의 주파수 범위에 걸치게 된다.
2. 청구항 1의 음향 광학 변류기는 다음을 포함한다:
   구멍조리개 스톱, 블랭킹 구간 기준이 광학 회절 경로를 횡단하는 빔이 한 옥타브 이상의 확장된 주파수 범위? 사용을 제한하는 블랭킹 시간동안 블랭킹되게 하는 블랭킹 구간 기준을 생성하는 전기회로망. 그리하여 구멍 조리개 스톱내의 어느 한 지점에서 음향 광학 변류기의 블랭킹되지 않은 작동 주파수 범위는 한 옥타브 작게 된다.
3. 청구항 1의 음향 광학 변류기는 다음을 포함한다:
   구멍조리개 스톱, 블랭킹 전기회로망이 광학 회절 경로를 지나는 빔이 블랭킹되게 하는 블랭킹 전기 회로망. 이때 드라이버 전기회로망에서 고저 주파수간의 불연속이 광학 회절 경로를 통해 증식되게 된다. 이에 의해 음향 광학 변류기의 블랭킹되지 않은 작동 주파수는 한 옥타브 이상의 확장된 주파수 범위를 일소하는 드라이버 전기 회로망에 의해 구멍조리개 스톱내의 적어도 한 지점에 대하여 완벽한 한 옥타브를 도달하게 된다.
4. 청구항 1의 음향 광학 변류기는 다음을 또한 포함한다:
   드라이버 전기 회로망이 일소된 주파수가 구도오 주파수의 불연속이 구멍조리개 스톱을 가로지르는데 걸리는 시간과 거의 동일한 시간동안 지속적으로 첫 주파수에서 한 옥타브 이상으로 증식되게 하는 구멍조리개 스톱.
5. 청구항 1의 음향 광학 변류기는 다음을 또한 포함한다:
   드라이버전기 회로망이 일소된 주파수가구동 주파수의 불연속이 구멍조리개 스톱을 통과하는데 걸리는 시간보다 적게 저주파수에서 한 옥타브 이상으로 지속적으로 증식되게 하는 구멍조리개 스톱.
6. 청구항 1 - 4의 음향 광학 변류기는 다음을 또한 포함한다:
   회절 크리스탈과 제조 공정 제품간의 위치한 필드 스톱으로 필드 스톱내의 블랭킹과 입구의 결합이 구멍 조리개의 어느 한 지점에서 회절된 방사선이 확장된 주파수 범위의한 옥타브 이상을 통해 필드 스톱을 통해 통과하게 한다.
7. 청구항 1 - 6의 음향 광학 변류기로서 첫째와 둘째 주파수의 비율이 최소한 1.10 옥타브가 된다.
8. 청구항 1 - 6의 음향 광학 변류기로서 첫째와 둘째 주파수의 비율이 최소한 1.20 옥타브가 된다.
9. 청구항 1 - 6의 음향 광학 변류기로서 첫째와 둘째 주파수의 비율이 최소한 1.30 옥타브가 된다.
10. 회절 크리스탈과 조명원과 회절 크리스탈간에 위치한 구멍 조리개를 포함하는 음향 광학 변류기를 구동하는 방법으로서 다음을 포함하게 된다:
    구동 신호를 회절 크리스탈에 적용
    구동 신호가 한 옥타브 이상의 주파수 범위를 일소한다.
    구멍 조리개의 입구를 통해 회절 크리스탈을 향한 최소한 1개의 빔을 블랭킹. 이때 구동 신호의 주파수 범위의 불연속은 구멍 조리개의 입구에 의해 빔에 노출된 회절 크리스탈의 일부를 통해 증식한다.
11. 청구항 10의 방법으로 다음을 포함한다:
    불연속이 구멍 조리개의 입구를 지나는데 걸리는 시간과 거의 동일한 시간 동안 한 옥타브 이상으로 지속적으로 증가하는 주파수를 이용해 회절 크리스탈의 구동.
12. 청구항 10의 방법으로 다음을 포함한다:
    불연속이 구멍조리개의 입구를 지나는데 걸리는 시간보다 작게 한 옥타브 이상으로 지속적으로 증가하는 주파수를 이용한 크리스탈의 구동.
13. 청구항 10의 방법으로 다음을 포함한다:
    구멍조리개를 통해 필드 스톱을 통해 크리스탈을 향한 빔을 전달. 이때 필드 스톱의 블랭킹과 입구의 결합이 구동 신호의 한 옥타브보다 작게 회절된 방사선으로 필드 스톱을 통과하는 방사선을 회절한다.
14. 청구항 10 - 13의 방법으로 다음을 포함한다:
    최소한 1.20 옥타브의 범위를 갖춘 음향 주파수를 이용

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